近年、基板上の不要な金属含有物を除去する際、エッチング液として用いる組成物が金属含有物に対する溶解能（エッチング性能）に優れることが、より一層求められている。特に、ルテニウム（Ｒｕ）含有物を有する被処理物に対するエッチング性能に優れる組成物が求められている。 一方、金属含有物を除去する工程以前に行う基板の処理等の工程において、金属含有物がその表面から酸化されて酸化物が形成されることがある。従来使用されているエッチング液は、目的とする金属含有物に対する溶解能を有していても、その金属含有物に含まれる金属の酸化物に対しては必ずしも溶解能を有するとは言えず、このような酸化金属（特に、酸化ルテニウム（ＲｕＯ２））の含有物に対しても十分な溶解能を有する組成物が求められている。

本発明者は、課題を解決すべく鋭意検討した結果、以下の構成により課題を解決できることを見出した。