特許7405994非対称な輪郭を有する共振器コイル

発明の名称　非対称な輪郭を有する共振器コイル

出願人　アプライド　マテリアルズ　インコーポレイテッド　（識別番号 390040660）

　　　　特許公開件数ランキング 23 位（269件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 63 位（132件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7405994

公報発行日　2023年12月26

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7405994

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