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特許7406646チャンバ状態モニタリングのための容量性センサハウジング
発明の名称 チャンバ状態モニタリングのための容量性センサハウジング
出願人 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド （識別番号 390040660）
特許公開件数ランキング 23 位（269件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 63 位（132件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-7406646
公報発行日 2023年12月27
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7406646
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