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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2023-12-22
(45)【発行日】2024-01-05
(54)【発明の名称】ワーク収容機構
(51)【国際特許分類】
H01L 21/673 20060101AFI20231225BHJP
H01L 21/677 20060101ALI20231225BHJP
H01L 21/301 20060101ALI20231225BHJP
【ＦＩ】
H01L21/68 U
H01L21/68 A
H01L21/78 P
【請求項の数】
3
(21)【出願番号】P 2019186305
(22)【出願日】2019-10-09
(65)【公開番号】P2021061381
(43)【公開日】2021-04-15
【審査請求日】2022-08-24
(73)【特許権者】
【識別番号】000134051
【氏名又は名称】株式会社ディスコ
(74)【代理人】
【識別番号】110002147
【氏名又は名称】弁理士法人酒井国際特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】北浦 毅
【審査官】鈴木 孝章
(56)【参考文献】
【文献】特開平１０－３０５８９４（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開平０５－１７５３２１（ＪＰ，Ａ）
【文献】登録実用新案第３２２２２０５（ＪＰ，Ｕ）
【文献】特開２０１０－１７１３２１（ＪＰ，Ａ）
【文献】米国特許出願公開第２０１５／０３１１０９８（ＵＳ，Ａ１）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｈ０１Ｌ ２１／６７３
Ｈ０１Ｌ ２１／６７７
Ｈ０１Ｌ ２１／３０１
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
ワーク収容機構であって、ワークを収容する収容トレイと、
該収容トレイを載置する載置台と、を備え、
該収容トレイは、
ワークを搬入または搬出する搬出入口と、
ワークを両脇で支持するガイドレールと、
該ガイドレール同士を連結する連結部と、
収容されたワークの上方を覆う蓋体と、を含み、
該蓋体は、
蓋と、
該蓋を上下方向に移動可能に保持する蓋保持部と、
該蓋に固定され、該蓋が下方に移動したとき該ガイドレールに支持されたワークの側面と接触する位置に形成されるストッパーと、を含み、
該載置台は、
該収容トレイが置かれたときに該蓋保持部に接触する突起を含み、
該収容トレイを該載置台に置くと、該蓋保持部が該突起に接触し該蓋が上方に移動して該収容トレイに対してワークの搬出及び搬入が可能になり、
該収容トレイを該載置台から外すと、該蓋が下方に移動し該ストッパーがワークの移動を規制することを特徴とするワーク収容機構。
【請求項2】
該蓋保持部は、蓋の両脇から該ガイドレールの外側へ垂下する一対の板を含み、
該収容トレイは、該ガイドレールとの間に該一対の板を上下方向にスライド可能な間隙を空けて挟持する側壁部を含み、
該突起は一対の該板の下方にそれぞれ少なくとも二つは形成され、該板が該載置台の該突起に接触することで該蓋が上方に移動して該収容トレイに対してワークの搬出及び搬入が可能になることを特徴とする請求項１に記載のワーク収容機構。
【請求項3】
該側壁部の上面には、収容トレイを持ち運ぶハンドルが固定されていることを特徴とする請求項２に記載のワーク収容機構。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、ワーク収容機構に関する。
【背景技術】
【0002】
半導体ウェーハやパッケージ基板、セラミックス基板、ガラス基板などのワーク（被加工物）を切削したり研削したりする加工装置が知られている。この加工装置においては、収容カセット内に複数のワークを収容し、該ワークを順に加工する。また、加工装置は、収容カセットの下側に、検査用ワークを収容するワーク収容機構を備える場合がある（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【文献】特開２００９－１０５１０９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
インスペクションステージに設けられたワーク収容機構からオペレーターが検査用ワークを取り出すと検査用ワークに汚れがつきやすいという問題があった。また、オペレーターが、ワーク収容機構から取り出した検査用ワークを顕微鏡などに移動させているときに検査用ワークが落下する恐れもあった。
【0005】
そこで、本発明は、検査用ワークに汚れが付着しにくく落下もしにくいワーク収容機構を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0006】
前述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明のワーク収容機構は、ワークを収容する収容トレイと、該収容トレイを載置する載置台と、を備え、該収容トレイは、ワークを搬入または搬出する搬出入口と、ワークを両脇で支持するガイドレールと、該ガイドレール同士を連結する連結部と、収容されたワークの上方を覆う蓋体と、を含み、該蓋体は、蓋と、該蓋を上下方向に移動可能に保持する蓋保持部と、該蓋に固定され、該蓋が下方に移動したとき該ガイドレールに支持されたワークの側面と接触する位置に形成されるストッパーと、を含み、該載置台は、該収容トレイが置かれたときに該蓋保持部に接触する突起を含み、該収容トレイを該載置台に置くと、該蓋保持部が該突起に接触し該蓋が上方に移動して該収容トレイに対してワークの搬出及び搬入が可能になり、該収容トレイを該載置台から外すと、該蓋が下方に移動し該ストッパーがワークの移動を規制する。
【0007】
前述したワーク収容機構において、該蓋保持部は、蓋の両脇から該ガイドレールの外側へ垂下する一対の板を含み、該収容トレイは、該ガイドレールとの間に該一対の板を上下方向にスライド可能な間隙を空けて挟持する側壁部を含み、該突起は一対の該板の下方にそれぞれ少なくとも二つは形成され、該板が該載置台の該突起に接触することで該蓋が上方に移動して該収容トレイに対してワークの搬出及び搬入が可能になるようにしてもよい。
【0008】
前述したワーク収容機構において、該側壁部の上面には、収容トレイを持ち運ぶハンドルが固定されているようにしてもよい。
【発明の効果】
【0009】
本願発明によれば、検査用ワークに汚れが付着しにくく落下もしにくいワーク収容機構を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【0010】
【発明を実施するための形態】
【0011】
本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。
【0012】
【0013】
図１に示す加工装置１００は、被加工物であるウェーハ２００を切削する切削装置である。実施形態において、加工対象であるウェーハ２００は、シリコン、サファイア、ガリウムなどを母材とする円板状の半導体ウェーハや光デバイスウェーハである。図２に示すように、ウェーハ２００は、表面２０１に格子状に形成された複数の分割予定ライン２０２によって格子状に区画された領域にデバイス２０３が形成されている。実施形態では、分割予定ライン２０２は、互いに平行な複数の一方の分割予定ライン２０２と、一方の分割予定ライン２０２に対して直交しかつ互いに平行な複数の他方の分割予定ライン２０２とを備えている。実施形態において、ウェーハ２００は、環状フレーム２０６が装着されたテープ２０５に表面２０１の裏側の裏面２０４が貼着されて、テープ２０５によって環状フレーム２０６の開口内に支持されている。このように、ウェーハ２００がテープ２０５を介して環状フレーム２０６に支持されることにより、フレームユニット２１０（ワーク）が構成される。即ち、フレームユニット２１０（ワーク）は、ウェーハ２００と、テープ２０５と、環状フレーム２０６と、を備える。
【0014】
加工装置１００は、フレームユニット２１０のウェーハ２００をチャックテーブル１０で保持し分割予定ライン２０２に沿って切削ブレード２１で切削加工して、分割予定ライン２０２に切削溝を形成する装置である。加工装置１００は、図１に示すように、ウェーハ２００を保持面１１に保持するチャックテーブル１０と、チャックテーブル１０で保持されたウェーハ２００に切削加工を施す切削ユニット２０と、図示しない撮像ユニットと、加工装置１００の動作を制御する制御ユニット９０とを備える。
【0015】
また、基台１０１の上面１０２には、Ｙ軸方向（割出方向）に沿ってそれぞれ延在するとともに、チャックテーブル１０を跨いで配置される門型の支持構造１２，１４が設けられている。一方の支持構造１４には、切削ユニット２０をＹ軸方向（割出方向）に移動させるＹ軸移動ユニット１７が設けられる。Ｙ軸移動ユニット１７には、切削ユニット２０をＺ軸方向（鉛直方向）に移動させるＺ軸移動ユニット１８が設けられる。
【0016】
チャックテーブル１０は、ウェーハ２００を保持面１１で吸引保持するものである。チャックテーブル１０は、円盤形状であり、ウェーハ２００を保持する保持面１１がポーラスセラミック等から形成されている。また、チャックテーブル１０は、Ｘ軸移動ユニットにより切削ユニット２０の下方の加工領域と、切削ユニット２０の下方から離間してウェーハ２００が搬入出される搬入出領域とに亘ってＸ軸方向に移動自在に設けられ、かつ回転駆動源によりＺ軸方向と平行な軸心回りに回転自在に設けられている。チャックテーブル１０は、図示しない真空吸引源と接続され、真空吸引源により吸引されることで、保持面１１に載置されたフレームユニット２１０のウェーハ２００を吸引保持する。
【0017】
切削ユニット２０は、チャックテーブル１０に保持されたフレームユニット２１０のウェーハ２００を切削するものである。切削ユニット２０は、それぞれ、チャックテーブル１０に保持されたウェーハ２００に対して、Ｙ軸移動ユニット１７によりＹ軸方向に移動自在に設けられ、かつ、Ｚ軸移動ユニット１８によりＺ軸方向に移動自在に設けられている。
【0018】
切削ユニット２０は、Ｙ軸移動ユニット１７及びＺ軸移動ユニット１８により、チャックテーブル１０の保持面１１の任意の位置に切削ブレード２１を位置付け可能となっている。切削ユニット２０は、Ｙ軸移動ユニット１７及びＺ軸移動ユニット１８によりＹ軸方向及びＺ軸方向に移動自在に設けられたスピンドルハウジングと、スピンドルハウジングに軸心回りに回転自在に設けられかつモータにより回転される図示しないスピンドルと、スピンドルの先端に装着される切削ブレード２１と、を備える。切削ブレード２１は、略リング形状を有する極薄の切削砥石である。
【0019】
撮像ユニットは、チャックテーブル１０の保持面１１で保持されたフレームユニット２１０のウェーハ２００を撮像するものである。実施形態では、撮像ユニットは、切削ユニット２０と一体的に移動するように、切削ユニット２０に固定されている。撮像ユニットは、チャックテーブル１０に保持された切削前のウェーハ２００の分割すべき領域を撮像する撮像素子を備えている。撮像素子は、例えば、ＣＣＤ（Charge-Coupled Device）撮像素子又はＣＭＯＳ（Complementary MOS）撮像素子である。撮像ユニットは、チャックテーブル１０に保持されたウェーハ２００を撮像して、ウェーハ２００の分割予定ライン２０２と切削ブレード２１との位置合わせを行なうアライメントを遂行するため等の画像を得、得た画像を制御ユニット９０に出力する。
【0020】
インスペクションカセット３１の上面には、切削前後のフレームユニット２１０を収容するカセット４が載置される。カセット４は、切削加工前後のフレームユニット２１０をＺ軸方向に間隔をあけて複数収容する。カセット４内に収容される複数のフレームユニット２１０のうちいずれか一つは、切削ユニット２０による加工結果が検査される検査用のフレームユニット２１０である。実施形態では、検査用のフレームユニット２１０の構成は、カセット４内に収容される他のフレームユニット２１０と構成が同じである。インスペクションカセット３１は、切削加工後の検査用のフレームユニット２１０を収容する。カセットエレベータ１０３は、インスペクションカセット３１及びカセット４をＺ軸方向に沿って昇降させる。
【0021】
搬送装置６０は、他方の支持構造１２に設けられている。搬送装置６０は、支持構造１２の側面に配置されＹ軸方向に平行なガイドレール６１と、ガイドレール６１上をスライド移動可能な移動ユニット６２とを備える。搬送装置６０は、切削加工前のフレームユニット２１０及び検査用のフレームユニット２１０をカセット４からチャックテーブル１０に搬送するとともに、切削加工後のフレームユニット２１０及び検査用のフレームユニット２１０をチャックテーブル１０から洗浄ユニット５０に搬送する。また、搬送装置６０は、洗浄後のフレームユニット２１０を洗浄ユニット５０からカセット４内に搬送するとともに、洗浄後の検査用のフレームユニット２１０を洗浄ユニット５０からインスペクションカセット３１に搬送する。
【0022】
洗浄搬送部７０は、搬送装置６０と同様に、支持構造１２に設けられ、フレームユニット２１０をそれぞれ前述した割出方向と平行となるＹ軸方向（搬出入方向）に沿って５０に搬送する。
【0023】
制御ユニット９０は、加工装置１００の前述した構成要素をそれぞれ制御して、ウェーハ２００及び検査用のウェーハ２００に対する加工動作を加工装置１００に実施させるものである。加工動作では、制御ユニット９０は、搬送装置６０に切削加工前のフレームユニット２１０又は検査用のフレームユニット２１０をカセット４から取り出してチャックテーブル１０の保持面１１に載置させ、チャックテーブル１０にフレームユニット２１０を吸引保持し、クランプ部にフレームユニット２１０における環状フレーム２０６をクランプさせる。
【0024】
その後、制御ユニット９０は、Ｘ軸移動ユニットにチャックテーブル１０を移動させて、撮像ユニットにチャックテーブル１０上のウェーハ２００又は検査用のウェーハ２００を撮像させ、ウェーハ２００又は検査用のウェーハ２００の分割予定ライン２０２と切削ブレード２１との位置合わせを行うアライメントを遂行する。制御ユニット９０は、チャックテーブル１０と切削ユニット２０の切削ブレード２１とを分割予定ライン２０２に沿って相対的に移動させながら分割予定ライン２０２に切削ブレード２１を切り込ませて、ウェーハ２００又は検査用のウェーハ２００を分割予定ライン２０２に沿って切削する。
【0025】
制御ユニット９０は、切削ブレード２１を全ての分割予定ライン２０２に切り込ませて、全ての分割予定ライン２０２を切削した後、チャックテーブル１０の吸引保持及びクランプ部のクランプを解除し、搬送装置６０にチャックテーブル１０上のフレームユニット２１０又は検査用のフレームユニット２１０を洗浄ユニット５０に搬送させる。制御ユニット９０は、洗浄ユニット５０にフレームユニット２１０又は検査用のフレームユニット２１０を洗浄させて、搬送装置６０に洗浄ユニット５０からフレームユニット２１０をカセット４まで搬送させてカセット４内に搬入させるとともに、洗浄ユニット５０から検査用のフレームユニット２１０をインスペクションカセット３１まで搬送させてインスペクションカセット３１に搬入させる。
【0026】
制御ユニット９０は、カセット４内のウェーハ２００及び検査用のウェーハ２００の切削加工が完了すると、切削加工が完了したウェーハ２００及び検査用のウェーハ２００に対応した情報を記憶し、カセット４内の全てのウェーハ２００及び検査用のウェーハ２００の切削加工が完了したか否かを記憶する。
【0027】
なお、制御ユニット９０は、ＣＰＵ（central processing unit）のようなマイクロプロセッサを有する演算処理装置と、ＲＯＭ（read only memory）又はＲＡＭ（random access memory）のようなメモリを有する記憶装置と、入出力インターフェース装置とを有するコンピュータである。制御ユニット９０の演算処理装置は、記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムに従って演算処理を実施して、加工装置１００を制御するための制御信号を、入出力インターフェース装置を介して加工装置１００の前述した構成要素に出力する。
【0028】
次に、本実施形態によるワーク収容機構３について説明する。図３は、実施形態によるインスペクションカセット及び載置台を示す斜視図である。図４は、インスペクションカセット及び載置台の分解斜視図である。図５は、インスペクションカセットを載置台から持ち上げた状態を示す斜視図である。図６は、インスペクションカセットの右側部の内側を左側から見た斜視図である。図７は、インスペクションカセットの右側部の内側を左側から見た一部が断面の斜視図であり、インスペクションカセットを載置台から持ち上げた状態を示す図である。図８は、図７の状態からインスペクションカセットを載置台に載置した状態を示す斜視図である。図９は、第２ストッパーでフレームユニットの後部を支持している状態を上方から見た模式図である。図１０は、インスペクションカセットの右側部の内側を左側から見た一部が断面の斜視図であり、インスペクションカセットを載置台に載置した状態を示す図である。図１１は、インスペクションカセットの左側部の外側を左側から見た斜視図であり、インスペクションカセットを載置台に載置した状態を示す図である。図１２は、図１１のＸＩＩ－ＸＩＩ線による一部断面の斜視図である。図１３は、インスペクションカセットの左側部を後方の内側から見た分解斜視図である。図１４は、インスペクションカセットの左側部を前方の内側から見た分解斜視図である。以下、図面において、Ｘ方向を左右方向とも呼び、Ｙ方向を前後方向とも呼ぶ。
【0029】
図３から図６に示すように、ワーク収容機構３は、インスペクションカセット３１（収容トレイ）と、載置台３２と、を備える。インスペクションカセット３１（収容トレイ）は、フレームユニット２１０（ワーク）を収容する。載置台３２は、インスペクションカセット３１（収容トレイ）を載置する。以下に詳述する。
【0030】
【0031】
図３から図６に示すように、搬出入口３３は、インスペクションカセット３１の前部に設けられる。搬出入口３３から、フレームユニット２１０（ワーク）を搬入または搬出することができる。なお、インスペクションカセット３１の後部に設けられた開口部３９からもフレームユニット２１０（ワーク）を搬入または搬出することができるが、通常は、前部に設けられた搬出入口３３から、フレームユニット２１０（ワーク）を搬入または搬出する。
【0032】
図３から図６に示すように、ガイドレール３４は、左右両側に一対に設けられる。即ち、ガイドレール３４は、左側のガイドレール３４と、右側のガイドレール３４と、を有する。左側のガイドレール３４及び右側のガイドレール３４は、それぞれ前後方向（Ｙ方向）に延び、かつ、互いに左右方向（Ｘ方向）に離隔して配置されている。また、図７に示すように、ガイドレール３４は、下側に位置する本体部３４１と、本体部３４１の上側に位置する壁部３４２と、を有する。本体部３４１の左右幅（Ｘ方向の幅）は、壁部３４２の左右幅よりも大きい。本体部３４１の上面３４３には、フレームユニット２１０の環状フレーム２０６が載置されるため、ガイドレール３４は、フレームユニット２１０（ワーク）を両脇で支持している。なお、図７以降では、フレームユニット２１０におけるウェーハ２００とテープ２０５とを省略している。壁部３４２の上面３４４には、蓋保持部３６２の横板３６６が載置される。
【0033】
図３から図６に示すように、連結部３５は、前後に一対に配置される。前側の連結部３５及び後側の連結部３５は、それぞれ左右方向に延び、左右のガイドレール３４同士を連結する。具体的には、前側の連結部３５は、ガイドレール３４の前端部に固定され、後側の連結部３５は、ガイドレール３４の後端部に固定されている。
【0034】
図３から図４に示すように、フレームユニット２１０の上方を蓋体３６が覆っている。蓋体３６は、蓋３６１と、蓋保持部３６２と、図６に示す第１ストッパー３６３（ストッパー）と、を有する。蓋３６１は、平面視で略矩形状であり、例えば透明な樹脂板で形成される。蓋３６１の下面には、図７及び図８に示すように、下方に延びる環状壁３６１１が一体に設けられる。図４に示すように、環状壁３６１１は、平面視で円形状である。環状壁３６１１は、フレームユニット２１０（ワーク）の環状フレーム２０６またはテープ２０５を上方向から保持することにより、フレームユニット２１０のＸ軸方向及びＹ軸方向と、Ｘ軸方向とＹ軸方向と直交するＺ軸方向と、への位置ずれを抑制する。
【0035】
図３から図６に示すように、蓋保持部３６２は、蓋３６１と一体に固定され、蓋３６１を上下方向に移動可能に保持する。蓋保持部３６２は、図８に示す縦板３６５（板）と、横板３６６とを有する。図７及び図８に示すように、横板３６６の端部３６７の上に蓋３６１が載置される。横板３６６において、端部３６７は下方に凹んでいる。
【0036】
図３から図６に示すように、前側に第１ストッパー３６３（ストッパー）が配置され、後側に第２ストッパー３６４が配置されている。第１ストッパー３６３（ストッパー）は、蓋３６１に固定されている。第２ストッパー３６４は、ガイドレール３４に固定されている。第１ストッパー３６３及び第２ストッパー３６４の構成は、後述する。
【0037】
図３から図６に示すように、載置台３２は、平面視で略矩形状の板材である。載置台３２は、例えば金属板であり、図３及び図５に示すように、本体部３３２の後側には、左右両側に配置され後方に突出する突出部３３０と、左右の突出部３３０同士の間に位置する切欠き部３３１と、が設けられる。突出部３３０には、ボルト穴３３３が複数設けられる。ボルト穴３３３には、図示しないボルトが挿入され、このボルトを介して載置台３２がカセットエレベータ１０３（図１参照）に固定される。載置台３２には、図３から図５に示すように、４つの突起３２１，３２２が固定される。図４に示すように、４つの突起３２１，３２２は、前側の左右両側に配置された一対の突起３２２と、後側の左右両側に配置された一対の突起３２１とである。載置台３２を平面視した場合、４つの突起３２１，３２２は、矩形状の角部に位置する。即ち、４つの突起３２１，３２２を結ぶと矩形状となる。突起３２１，３２２の詳細な構成についても後述する。
【0038】
図３及び図５に示すように、側壁部３７は、合計で４つ設けられており、それぞれの側壁部３７は、図１１に示すように、ガイドレール３４の前端部及び後端部の外側に固定されている。図３から図６に示すように、前側の側壁部３７と後側の側壁部３７とは、前後方向に延びるＬ字ブラケット３１０を介して連結される。
【0039】
即ち、図１３に示すように、側壁部３７の内側面は、平坦部３７１と、平坦部３７１から内側に突出する凸面部３７２と、を有する。凸面部３７２と平坦部３７１とのＸ方向に沿った距離（凸面部３７２の平坦部３７１に対するＸ方向高さ）は、蓋保持部３６２の縦板３６５（板）の板厚よりも大きい。凸面部３７２は、ガイドレール３４の外側に突き当てられた状態で側壁部３７がガイドレール３４に固定されると、側壁部３７の平坦部３７１とガイドレール３４の外側との間に、蓋保持部３６２の縦板３６５（板）の板厚よりも大きい間隙が生じる。従って、この間隙に蓋保持部３６２の縦板３６５（板）を配置することにより、側壁部３７とガイドレール３４との間に縦板３６５（板）を上下方向にスライド可能な間隙を空けて挟持することができる。
【0040】
図１２に示すように、突起３２１は、外側ベース部３２３と、内側ベース部３２４と、縦壁部３２５と、を有する。内側ベース部３２４の上面３２７に、蓋保持部３６２の縦板３６５（板）の下端３６８が載置される。内側ベース部３２４の内側面３２８は、図１２の右側（内側）に行くに従って下方に向かう斜め下方に傾斜している。なお、突起３２２も突起３２１と同一構造を有する。
【0041】
また、図１２に示すように、保持ピン４００は、突起３２１の縦壁部３２５の貫通孔３２９に嵌合している。保持ピン４００は、ピン本体４１０と、中空部４２０と、ピン先端４３０と、図示しないバネと、を有する。中空部４２０には、バネが収容され、バネはピン先端４３０を図１２の右側に向けて押し出すように付勢している。ピン先端４３０の表面は、湾曲形状を有する。蓋保持部３６２の縦板３６５（板）には、貫通孔３６５１が設けられている。よって、バネによって、ピン先端４３０が縦板３６５（板）の貫通孔３６５１に挿入される。これにより、蓋保持部３６２を突起３２１に保持することができ、また、蓋保持部３６２の位置ズレを抑制することができる。
【0042】
図８及び図１３に示すように、第１ストッパー３６３（ストッパー）は、上側ベース部３６３１と、下側ベース部３６３３と、傾斜部３６３２と、を有する。第１ストッパー３６３は、ボルト３６３４を介して蓋保持部３６２の横板３６６に固定され、横板３６６から下方に突出する。上側ベース部３６３１は、下側ベース部３６３３に対して内側（図８及び図１３の右側）に突出している。傾斜部３６３２は、後方に行くに従って下方に向かう斜め方向に傾斜している。また、図８に示すように、インスペクションカセット３１を載置台３２に載置した状態では、傾斜部３６３２の下端３６３５とガイドレール３４の本体部３４１の上面３４３とは、高さ方向（Ｚ方向）に間隙が生じる。この間隙は、フレームユニット２１０の環状フレーム２０６の厚さよりも大きい。従って、インスペクションカセット３１を載置台３２に載置した状態では、傾斜部３６３２の下端３６３５とガイドレール３４の本体部３４１の上面３４３との間隙をフレームユニット２１０の環状フレーム２０６が通過可能である。一方、図７に示すように、インスペクションカセット３１を載置台３２から外した状態では、傾斜部３６３２の下端３６３５はガイドレール３４の本体部３４１の上面３４３に接触する。従って、図７に示すように、第１ストッパー３６３の上側ベース部３６３１が、フレームユニット２１０の側面２０６１と接触し、フレームユニット２１０の移動を規制する。
【0043】
図１０から図１４に示すように、Ｌ字ブラケット３１０は、縦壁３１１と、横壁３１２と、を有する。図１３に示すように、横壁３１２には、内側（図１３の右側）に突出する延設部３１３が横壁３１２と一体に設けられる。延設部３１３には、ハンドル３８が設けられる。作業者は、ハンドル３８を把持してインスペクションカセット３１を持ち上げることができる。また、図１０に示すように、Ｌ字ブラケット３１０の横壁３１２の下面には、マグネット３２０が固定される。蓋保持部３６２の横板３６６は、金属であるため、マグネット３２０に吸着可能である。
【0044】
図１０に示すように、第２ストッパー３６４は、下側ベース部３６４１と、上側ベース部３６４２と、上下連結部３６４３と、を有する。これらの下側ベース部３６４１、上側ベース部３６４２及び上下連結部３６４３は一体である。下側ベース部３６４１の上面３６４４は、後方に行くに従って下方に向けて傾斜している。即ち、上面３６４４の前部は後部よりも上側に位置する。上側ベース部３６４２の下面３６４５は、下側ベース部３６４１の上面３６４４と平行に延びる。下側ベース部３６４１の内側側面と、上側ベース部３６４２の内側側面とは共に、内側（図１０の右側）に凸の円筒面である。図１０に示すように、下側ベース部３６４１には、上下方向に貫通する雌ねじが設けられ、雌ねじにボルトの雄ねじが噛み合っている。これにより、第２ストッパー３６４は、ガイドレール３４に固定されている。なお、図９に示すように、平面視した場合、フレームユニット２１０の環状フレーム２０６の後部は、左右の第２ストッパー３６４で支持可能である。インスペクションカセット３１を上下方向に立てて設置する場合、フレームユニット２１０が第２ストッパー３６４の下側ベース部３６４１で支持されることにより、フレームユニット２１０の落下を抑制することができる。
【0045】
次に、インスペクションカセット３１を載置台３２から持ち上げたときの各部位の動きを説明する。まず、前述したように、縦板３６５（板）が側壁部３７とガイドレール３４との間に上下方向にスライド可能である。従って、蓋体３６は、側壁部３７とガイドレール３４とに対して上下方向にスライド可能である。
【0046】
インスペクションカセット３１を載置台３２に載置した状態では、図１２に示すように、内側ベース部３２４の上面３２７に、蓋保持部３６２の縦板３６５（板）の下端３６８が載置される。これにより、上面３２７が縦板３６５の下端３６８を上方に持ち上げるため、蓋体３６は、側壁部３７とガイドレール３４とに対して相対的に上側に上がっている。また、図１２に示すように、ピン先端４３０が縦板３６５の貫通孔３６５１に挿入されるため、蓋体３６は保持ピン４００を介しても突起３２１，３２２に保持される。さらに、図８に示すように、第１ストッパー３６３（ストッパー）の傾斜部３６３２の下端３６３５とガイドレール３４の本体部３４１の上面３４３との間隙をフレームユニット２１０の環状フレーム２０６が通過可能である。一方、図９及び図１０に示すように、フレームユニット２１０の環状フレーム２０６の後部は、左右の第２ストッパー３６４で支持可能である。なお、図３に示すように、前部に設けられた搬出入口３３が上下に開くため、フレームユニット２１０（ワーク）を搬出入口３３から搬入または搬出することができる。
【0047】
オペレーターが例えば図５に示すハンドル３８を把持してインスペクションカセット３１を持ち上げると、図１２に示す内側ベース部３２４の上面３２７から、蓋保持部３６２の縦板３６５（板）の下端３６８が持ち上がる。すると、蓋体３６は、側壁部３７とガイドレール３４とに対して相対的に下側に下がるとともに、図１２に示すピン先端４３０が縦板３６５の貫通孔３６５１から外れる。また、ピン先端４３０が縦板３６５の貫通孔３６５１から外れる過程で、縦板３６５がピン先端４３０に引っかかっていることにより下方向に引っ張られ、確実に蓋体３６が下方向に降りてフレームユニット２１０(ワーク)を固定することができる。これにより、図７に示すように、第１ストッパー３６３の上側ベース部３６３１が、フレームユニット２１０の側面２０６１と接触し、フレームユニット２１０の移動を規制する。
【0048】
以上、説明したように、ワーク収容機構３は、フレームユニット２１０（ワーク）を収容するインスペクションカセット３１（収容トレイ）と、インスペクションカセット３１を載置する載置台３２と、を備える。インスペクションカセット３１は、フレームユニット２１０を搬入または搬出する搬出入口３３と、フレームユニット２１０を両脇で支持するガイドレール３４と、ガイドレール３４同士を連結する連結部３５と、収容されたフレームユニット２１０の上方を覆う蓋体３６と、を含む。蓋体３６は、蓋３６１と、蓋３６１を上下方向に移動可能に保持する蓋保持部３６２と、蓋３６１に固定され、蓋３６１が下方に移動したときガイドレール３４に支持されたフレームユニット２１０の側面２０６１と接触する位置に形成される第１ストッパー３６３（ストッパー）と、を含む。載置台３２は、インスペクションカセット３１が置かれたときに蓋保持部３６２に接触する突起３２１，３２２を含む。
【0049】
従って、インスペクションカセット３１を載置台３２に載置した状態では、図１２に示すように、蓋体３６は、側壁部３７とガイドレール３４とに対して相対的に上側に上がっている。従って、図３に示すように、前部に設けられた搬出入口３３が上下に開くため、フレームユニット２１０（ワーク）を搬出入口３３から搬入または搬出することができる。
【0050】
一方、インスペクションカセット３１を持ち上げると、蓋体３６は、側壁部３７とガイドレール３４とに対して相対的に下側に下がる。これにより、図７に示すように、第１ストッパー３６３の上側ベース部３６３１が、フレームユニット２１０の側面２０６１と接触し、フレームユニット２１０の移動を規制する。
【0051】
以上より、インスペクションカセット３１が載置台３２から取り外せて搬送できるのでオペレーターが直接フレームユニット２１０に触れないため、フレームユニット２１０に汚れが付着しにくい。また、オペレーターは、インスペクションカセット３１に収容されたフレームユニット２１０の環状フレーム２０６を把持して取り出すことができるため、ウェーハ２００に汚れが付着しにくく、フレームユニット２１０の落下もしにくいという効果が得られる。さらに、蓋３６１が設けてあるため、フレームユニット２１０に汚れが付着しにくい。さらにまた、インスペクションカセット３１を載置台３２から取り外すと第１ストッパー３６３及び第２ストッパー３６４が作用し、インスペクションカセット３１の落下を防止できるのでオペレーターが安全に運ぶことが出来る。
【0052】
また、蓋保持部３６２は、蓋３６１の両脇からガイドレール３４の外側へ垂下する一対の縦板３６５（板）を含み、インスペクションカセット３１（収容トレイ）は、ガイドレール３４との間に一対の縦板３６５を上下方向にスライド可能な間隙を空けて挟持する側壁部３７を含み、突起３２１，３２２は一対の縦板３６５の下方に４つ（少なくとも二つ）は形成される。
【0053】
前述したように、側壁部３７とガイドレール３４との間に、蓋保持部３６２の縦板３６５（板）の板厚よりも大きい間隙が生じる。従って、この間隙に蓋保持部３６２の縦板３６５（板）を配置することにより、側壁部３７とガイドレール３４との間に縦板３６５（板）を上下方向にスライド可能な間隙を空けて挟持することができる。
【0054】
さらに、側壁部３７の上面には、ハンドル３８が固定されているため、オペレーターが安全にインスペクションカセット３１を安全に持ち運ぶことが出来る。
【0055】
なお、本発明は、前述した実施形態に限定されるものではない。すなわち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。例えば、本実施形態では、左右及び前後に合計４つの突起３２１，３２２を配置したが、例えば、右側かつ前側の突起３２２と左側かつ後側の突起３２１との２つの突起でもよく、また、左側かつ前側の突起３２２と右側かつ後側の突起３２１との２つの突起でもよい。
【0056】
さらに、蓋３６１における中央のウェーハ２００に対応する部分を、例えば蝶番を介して蓋保持部３６２に対して開閉可能としてもよい。
【0057】
なお、本実施形態では、蓋保持部３６２を金属とし、Ｌ字ブラケット３１０にマグネット３２０を設けたが、蓋保持部３６２を金属以外の材質とし、Ｌ字ブラケット３１０にマグネット３２０を設けない態様も適用可能である。
【0058】
なお、第１ストッパー３６３及び第２ストッパー３６４は左右に一つずつでなく、それぞれが任意の一辺のみに配置されていてもよい。
【符号の説明】
【0059】
３ ワーク収容機構
３１ インスペクションカセット（収容トレイ）
３２ 載置台
３３ 搬出入口
３４ ガイドレール
３５ 連結部
３６ 蓋体
３７ 側壁部
３８ ハンドル
２１０ フレームユニット（ワーク）
３２１，３２２ 突起
３６１ 蓋
３６２ 蓋保持部
３６３ 第１ストッパー（ストッパー）
３６５ 縦板（板）
３１ インスペクションカセット（収容トレイ）
３２ 載置台
３３ 搬出入口
３４ ガイドレール
３５ 連結部
３６ 蓋体
３７ 側壁部
３８ ハンドル
２１０ フレームユニット（ワーク）
３２１，３２２ 突起
３６１ 蓋
３６２ 蓋保持部
３６３ 第１ストッパー（ストッパー）
３６５ 縦板（板）
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】