特許 7408336 隙間ゲージ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-12-22

(45)【発行日】2024-01-05

(54)【発明の名称】隙間ゲージ

(51)【国際特許分類】

   G01B 3/30 20060101AFI20231225BHJP

【ＦＩ】

G01B3/30

【請求項の数】 2

(21)【出願番号】P 2019186845

(22)【出願日】2019-10-10

(65)【公開番号】P2021063666

(43)【公開日】2021-04-22

【審査請求日】2022-08-24

(73)【特許権者】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】110003524

【氏名又は名称】弁理士法人愛宕綜合特許事務所

(74)【代理人】

【識別番号】100113217

【弁理士】

【氏名又は名称】奥貫 佐知子

(74)【代理人】

【識別番号】100202496

【弁理士】

【氏名又は名称】鹿角 剛二

(74)【代理人】

【識別番号】100202692

【弁理士】

【氏名又は名称】金子 吉文

(72)【発明者】

【氏名】大段 佑貴

【審査官】信田 昌男

(56)【参考文献】

【文献】実開昭５５－００５３０２（ＪＰ，Ｕ）

【文献】特開平１０－１０３９４３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０３－１０８７０１（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｇ０１Ｂ ３／３０

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

隙間を計測する隙間ゲージであって、
底部及び該底部と所定の角度をもって傾斜した斜面とからなる楔体と、該楔体の斜面に配設され押圧する位置によって抵抗値が変化する可変抵抗シートとを備えた測定部と、
該可変抵抗シートに電気を流す電源と、
該可変抵抗シートを経由した電圧又は電流を検出する検出器と、
該可変抵抗シートを押圧する位置と、該検出器によって検出された電圧値又は電流値との相関関係に従って該可変抵抗シートが押圧された位置の斜面の高さを算出する算出部と、
該算出部で算出された該斜面の高さの値を表示する表示部と、
を備え、
該可変抵抗シートは、導電体からなる導電板と、抵抗体と、該可変抵抗シートに外力が働いていない定常状態で該導電体と該抵抗体とにより挟まれる領域に空洞を形成する絶縁体からなるスペーサと、を備え、
該検出器は、該可変抵抗シートに外力が働き該導電体と該抵抗体とが接した点を経由した回路の電圧又は電流を検出する隙間ゲージ。

【請求項2】

該算出部によって算出された値を記録する記録部と、該記録部に記録された値を消去する消去部と、をさらに備える請求項１に記載の隙間ゲージ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

ＩＣ、ＬＳＩ等の複数のデバイスが分割予定ラインによって区画され表面に形成されたウエーハは、研削装置によって裏面が研削され所定の厚みに形成された後、ダイシング装置、レーザー加工装置によって個々のデバイスチップに分割され、携帯電話、パソコン等の電気機器に利用される。

【背景技術】

【0002】

研削装置は、ウエーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウエーハを研削する研削砥石を環状に配設した研削ホイールを回転可能に備えた研削手段と、該研削手段を該チャックテーブルに接近及び離反させる移動手段と、から概ね構成されていて、ウエーハを高精度に研削することができる（例えば、特許文献１を参照）。

【0003】

また、ウエーハを研削する前に、チャックテーブルの保持面と研削砥石との隙間を、隙間ゲージを用いて計測して、該研削手段を作動する際の基準値を算出している。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特開２００５－２４６４９１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

上記した隙間ゲージとしては、例えば、シクネスゲージが知られており、リーフと呼ばれる薄い金属板を隙間に応じて複数枚重ねて挿入し、挿入可能なリーフの枚数を調整しながら挿入可能な該金属板の総数に基づいて、その隙間の寸法を計測する。また、隙間ゲージの他の例としては、厚み方向、又は幅方向に形成されたテーパーを隙間に挿入して隙間を測定するテーパーゲージも知られている。

【0006】

上記したシクネスゲージでは、実際に計測を実施する作業者が、薄い金属板の枚数を調整して該隙間に挿入される枚数を決定し手作業により挿入して隙間寸法を計測する。その際、挿入される枚数の調整を作業者が行い、その限界を決定するため、作業が煩雑である上、作業者に応じた誤差が生じやすい。また、テーパーゲージを使用する場合、隙間の計測を実施するチャックテーブルと研削砥石が対向する領域に、必ずしも上記したテーパーゲージのメモリを目視するための十分なスペースがあるとはいえず、該隙間にテーパーゲージを挿入し、どの位置まで挿入されたのかを確認することが困難である場合がある。よって、上記したシクネスゲージ、テーパーゲージを用いた計測では、計測を行う作業者の個人差に応じた計測値のばらつき（誤差）が生じ、研削加工を実施する際の隙間の基準値が正しく設定されず、研削加工が精度よく実施されないという問題がある。

【0007】

なお、上記したような計測時の誤差が生じるという問題は、研削装置のチャックテーブルと研削砥石との隙間を計測して基準値を設定する際の問題に限らず、隙間寸法を計測する場合には、いずれの隙間であっても生じ得る。

【0008】

本発明は、上記事実に鑑みなされたものであり、その主たる技術課題は、個人差によって計測値にばらつきが生じない、又は目視による計測が容易な隙間ゲージを提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0009】

上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、隙間を計測する隙間ゲージであって、底部及び該底部と所定の角度をもって傾斜した斜面とからなる楔体と、該楔体の斜面に配設され押圧する位置によって抵抗値が変化する可変抵抗シートとを備えた測定部と、該可変抵抗シートに電気を流す電源と、該可変抵抗シートを経由した電圧又は電流を検出する検出器と、該可変抵抗シートを押圧する位置と、該検出器によって検出された電圧値又は電流値との相関関係に従って該可変抵抗シートが押圧された位置の斜面の高さを算出する算出部と、該算出部で算出された該斜面の高さの値を表示する表示部と、を備え、該可変抵抗シートは、導電体からなる導電板と、抵抗体と、該可変抵抗シートに外力が働いていない定常状態で該導電体と該抵抗体とにより挟まれる領域に空洞を形成する絶縁体からなるスペーサと、を備え、該検出器は、該可変抵抗シートに外力が働き該導電体と該抵抗体とが接した点を経由した回路の電圧又は電流を検出する隙間ゲージが提供される。

【0010】

該算出部によって算出された値を記録する記録部と、該記録部に記録された値を消去する消去部と、をさらに備えることが好ましい。

【発明の効果】

【0011】

本発明の隙間ゲージは、隙間を計測する隙間ゲージであって、底部及び該底部と所定の角度をもって傾斜した斜面とからなる楔体と、該楔体の斜面に配設され押圧する位置によって抵抗値が変化する可変抵抗シートとを備えた測定部と、 該可変抵抗シートに電気を流す電源と、該可変抵抗シートを経由した電圧又は電流を検出する検出器と、該可変抵抗シートを押圧する位置と、該検出器によって検出された電圧値又は電流値との相関関係に従って該可変抵抗シートが押圧された位置の斜面の高さを算出する算出部と、該算出部で算出された該斜面の高さの値を表示する表示部と、を備え、該可変抵抗シートは、導電体からなる導電板と、抵抗体と、該可変抵抗シートに外力が働いていない定常状態で該導電体と該抵抗体とにより挟まれる領域に空洞を形成する絶縁体からなるスペーサと、を備え、該検出器は、該可変抵抗シートに外力が働き該導電体と該抵抗体とが接した点を経由した回路の電圧又は電流を検出することから、隙間に楔体を挿入するだけで、隙間を計測することができ、個人差によって計測誤差が生じるという問題、又は目視による計測が困難であるという問題が解消される。

【図面の簡単な説明】

【0012】

【図1】（ａ）本実施形態の隙間ゲージの一例を示す斜視図、（ｂ）隙間ゲージの他の例を示す斜視図である。

【図2】（ａ）図１に示す可変抵抗シートの断面図、及び図１に示す表示ツールの構成の概略を示すブロック図、（ｂ）（ａ）に示す可変抵抗シートの位置Ｐに外力Ｆを付与して押圧する状態を示す断面図、及び表示ツールの構成の概略を示すブロック図、（ｃ）（ａ）に示す実施形態とは別の実施形態である可変抵抗シートの断面図及び表示ツールの構成の概略を示すブロック図である。

【図3】可変抵抗シートを押圧する位置と可変抵抗を経由した電圧値、又は電流値との相関関係を示す相関関係テーブル、又は相関関係図である。

【図4】本実施形態の隙間ゲージによって隙間を計測する際の態様を側方からみた側面図である。

【発明を実施するための形態】

【0013】

以下、本発明に基づいて構成される隙間ゲージの実施形態について、添付図面を参照しながら、詳細に説明する。

【0014】

図１（ａ）には、本発明に基づいて構成された第一の実施形態の隙間ゲージ１Ａが示されている。隙間ゲージ１Ａは、測定部１０Ａと、表示ツール１００Ａとを含み構成される。

【0015】

測定部１０Ａは、楔体３０Ａと、可変抵抗シート２０とを備えている。楔体３０Ａは、底部３２Ａと、底部３２Ａと所定の角度θをもって傾斜した斜面３４Ａとを備える。可変抵抗シート２０は、図１（ａ）に示すように、表面２０ａを上方に向け、裏面２０ｂを下方にして、先端２０ｃを、楔体３０Ａの先端３６Ａに一致させて斜面３４Ａ上に取り付けられる。

【0016】

可変抵抗シート２０の内部には、押圧する位置によって抵抗値が変化するセンサー回路４０が収容されている。センサー回路４０は、配線２２、２４によって表示ツール１００Ａに接続され、後述する電源によって電気が流される。表示ツール１００Ａは、可変抵抗シート２０のセンサー回路４０の抵抗値が、長手方向において押圧された位置に応じて変化することに基づき、可変抵抗シート２０に配設されたセンサー回路４０を経由した電圧、又は電流を検出し、可変抵抗シート２０を押圧する位置と電圧値又は電流値との相関関係に従って押圧された位置を検出する。そして、該押圧された位置に基づいて、可変抵抗シート２０が押圧された位置の斜面の高さを算出し、算出された値を表示部１１０Ａに表示する。なお、表示ツール１００Ａには、電源をオンオフしたり、後述する所定の処理を実行したりするためのボタン５０Ａが配設される。

【0017】

図２を参照しながら、楔体３０Ａの斜面３４Ａ上に配設される可変抵抗シート２０と表示ツール１００Ａについて、より具体的に説明する。図２（ａ）は、可変抵抗シート２０の中心を長手方向に切った縦断面図と、表示ツール１００Ａの概略構成を示す回路図である。

【0018】

図２（ａ）に示すように、可変抵抗シート２０は、薄い導電体からなる導電板４２と、抵抗体４４(抵抗値＝Ｒ_０）とを備えるセンサー回路４０を備えている。導電板４２と、抵抗体４４とにより挟まれる領域の外周には、絶縁体からなるスペーサ４６が配設されており、可変抵抗シート２０に外力が働いていない定常状態では、導電板４２と抵抗体４４との間に空洞が形成され、導電板４２と抵抗体４４とが離反されている。センサー回路４０は、センサー回路４０を保護するための薄膜シートによって被覆され、該薄膜シートは、表面２０ａと、裏面２０ｂと、先端２０ｃとにより構成される。なお、本実施形態の可変抵抗シート２０の厚みは、例えば０．５ｍｍ以下で構成されるが、図２は、説明の都合上、実際の寸法比に沿って記載したものではない。また、導電板４２の表面には必ずしも該薄膜シート（２０ａ）を被覆させる必要はなく、導電板４２を表面に露出させてもよい。

【0019】

図２（ａ）に示すように、表示ツール１００Ａは、可変抵抗シート２０に電気を流す出力電圧がＶ_０の電源１０２、可変抵抗シート２０を経由した電圧（Ｖ_１）を検出する検出器１０４、検出器１０４の検出位置を挟んで抵抗体４４とは反対側の接地側に配設された抵抗器１０６を備えている。なお、本実施形態においては、抵抗器１０６の抵抗値は抵抗体４４全体で実現される抵抗値と同一（＝Ｒ_０）である。また、表示ツール１１０Ａは、さらに、可変抵抗シート２０が押圧される位置と、検出器１０４によって検出される電圧値との相関関係に従って可変抵抗シート２０が押圧された斜面の高さを算出する算出部１２２と、算出部１２２で算出された値を記録する記録部１２４と、記録部１２４に記録された値を必要に応じて消去する消去部１２６とを備え、算出部１２２で算出された値、又は算出部１２２で算出された値を記録する記録部１２４の値を表示する表示部１１０Ａとを備えている。なお、上記した算出部１２２、消去部１２６は、制御プログラムによって実現され、該制御プログラムを実行するためのマイコン１２０によって実現される。また、記録部１２４は、マイコン１２０に備えられた演算結果等を一時的に格納するためのランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ）によって構成される。

【0020】

センサー回路４０を構成する抵抗体４４は、例えば長さＬが１００ｍｍであり、全体としての抵抗値Ｒ_０は例えば１０ｋΩであり、したがって、抵抗器１０６の抵抗値も１０ｋΩである。また、電源１０２は、出力電圧がＶ_０＝１０Ｖである。図２（ｂ）に示すように、可変抵抗シート２０が外力Ｆによって押圧された際の位置Ｐを算出する手順について以下に説明する。

【0021】

図２（ｂ）に示すように、可変抵抗シート２０の任意の位置Ｐに外力Ｆが付与されることにより、定常状態で離反された状態で維持されている導電板４２と抵抗体４４とが、点Ｑで接する。導電板４２と抵抗体４４とが点Ｑにおいて接することにより、導電板４２に接続された配線２２を介して電源１０２に接続された側と、抵抗体４４に接続され抵抗器１０６が配設された配線２４の接地側とにおいて電気回路が形成される。ここで、可変抵抗シート２０の先端２０ｃから該位置Ｐまでの距離をｘとすると、抵抗体４４は、点Ｑから接地側における（Ｌ－ｘ）ｍｍの長さで規定される領域において抵抗器として機能することから、当該領域において形成される抵抗値Ｒ_１は、抵抗体４４全体の抵抗値をＲ_０とした場合に、以下の如く計算される。
Ｒ_１＝（（Ｌ－ｘ）／Ｌ）・Ｒ_０ ・・・（１）

【0022】

上記した位置Ｐにおいて可変抵抗シート２０が押圧された場合に、図２（ｂ）に示される検出器１０４によって検出される電圧Ｖ_１は、上記式（１）、及び分圧の計算式から、以下の如く計算される。
Ｖ_１＝（Ｒ_１／（Ｒ_１＋Ｒ_０））・Ｖ_０
＝（（Ｌ－ｘ）／（２Ｌ－ｘ））・Ｖ_０ ・・・（２）

【0023】

上記したように、Ｖ_０＝１０Ｖであることから、式（２）に基づけば、ｘは、以下の如く算出される。
ｘ＝（２ＬＶ_１－１０Ｌ）／（Ｖ_１－１０） ・・・（３）

【0024】

上記した式（３）は、可変抵抗シート２０を押圧する位置Ｐと可変抵抗シート２０を経由した位置の電圧値との相関関係を表すものであり、上記したように、Ｌ＝１００ｍｍであることから、検出器１０４によって検出する電圧Ｖ_１と、前記Ｌ＝１００ｍｍを上記した式（３）に適用することで、先端２０ｃから位置Ｐまでの距離ｘ、すなわち押圧された位置Ｐが算出される。

【0025】

なお、可変抵抗シート２０が押圧された位置Ｐ（先端２０ｃからの距離ｘ［ｍｍ］）と可変抵抗シート２０を経由した位置の電圧値Ｖ_１との相関関係を表すものとしては、上記した式（３）に限定されず、例えば、図３に示すように、可変抵抗シート２０の位置Ｐ（ｘ［ｍｍ］）と、検出器１０４によって検出される電圧値Ｖ_１との相関関係を示す相関テーブル１３０、又は、前記相関テーブル１３０に基づいて作成、又は実験的に作成した相関関係図１４０であってもよい。検出器１０４によって検出した電圧値Ｖ_１を上記式（３）に適用することに代えて、相関テーブル１３０、又は相関関係図１４０を使用する場合は、マイコン１２０のメモリに相関テーブル１３０、又は相関関係図１４０を記憶しておき、検出器１０４によって検出される電圧Ｖ_１に基づいて、相関テーブル１３０、又は相関関係図１４０を参照することで、可変抵抗シート２０が押圧された位置Ｐ（ｘ［ｍｍ］）を算出することができる。なお、図３に示す相関関係テーブル１３０を使用する際には、Ｖ_１の各値間において適宜補間演算等を実施することにより、より細かい間隔で可変抵抗シート２０が押圧された位置Ｐ（ｘ［ｍｍ］）を求めることができる。

【0026】

本実施形態の表示ツール１００Ａの算出部１２２は、さらに、上記した位置Ｐを示すｘ［ｍｍ］を用いて、隙間ゲージ１Ａを任意の隙間に対して測定部１０Ａを挿入した場合の可変抵抗シート２０が押圧された位置Ｐにおける斜面の高さＨを算出する。以下に、図４を参照しながら、隙間ゲージ１Ａを使用して、隙間Ｗの寸法を測定すべく、可変抵抗シート２０が押圧された位置Ｐの斜面の高さＨを算出する手順について説明する。

【0027】

図４に示す実施形態では、チャックテーブルＴの表面Ｔａと、表面Ｔａの上方に、隙間Ｗを挟んで、研削砥石Ｓが位置付けられている。隙間Ｗの計測を実施する際には、図４（ａ）に示すように、この隙間Ｗに対して、隙間ゲージ１Ａの測定部１０Ａを矢印Ｒで示す方向に移動して側方から挿入する。この際、測定部１０Ａを構成する楔体３０Ａの底部３２ＡをチャックテーブルＴの表面Ｔａに密着させる。

【0028】

図４（ｂ）に示すように、測定部１０Ａを隙間Ｗに挿入して、研削砥石Ｓの角部Ｓｃに可変抵抗シート２０の表面２０ａを当接させる。研削砥石Ｓの角部Ｓｃが可変抵抗シート２０の表面２０ａに当接して押圧すると、図２（ｂ）に基づいて説明したように、センサー回路４０の導電板４２と抵抗体４４とが、位置Ｐの直下（点Ｑ）で接触して回路を形成し、電源１０２からの電流が可変抵抗シート２０に流れ、検出器１０４において電圧値Ｖ_１が検出される。上記したように、電圧値Ｖ_１が検出されることで、可変抵抗シート２０を押圧する位置Ｐと電圧値Ｖ_１との相関関係を示す上記した式（３）に基づいて、可変抵抗シート２０の先端２０ｃから位置Ｐまでの距離ｘ［ｍｍ］が算出される。ところで、図４（ｂ）に示すように、研削砥石Ｓの角部Ｓｃと、測定部１０Ａの楔体３０Ａとの間には、可変抵抗シート２０が介在しており、楔体３０Ａの底部３２Ａに対して垂直な方向であって、位置Ｐを通る位置において、一定の厚み（＝Ｈ_２）を有している。そして、位置Ｐを通り楔体３０Ａの底部３２Ａに対して垂直な方向における楔体３０Ａの高さをＨ_１とすると、チャックテーブルＴの表面Ｔａと研削砥石Ｓとで形成される隙間Ｗの寸法である高さＨは、以下のように算出される。
Ｈ＝Ｈ_１＋Ｈ_２＝ｘ・ｓｉｎθ＋Ｈ_２ ・・・（４）

【0029】

ここで、本実施形態においては、楔体３０Ａの底部３２Ａと斜面３４Ａとにより形成される角度θを１１．５°として、ｓｉｎθ＝２．０として演算する。また、Ｈ_２の値は、押圧した際の厚みを実際に計測することにより求められ、本実施形態においてはＨ_２＝０．１ｍｍとする。よって、上記した式（４）は、以下のような式になる。
Ｈ＝２．０ｘ＋０．１ ［ｍｍ］ ・・・（５）

【0030】

上記したように、表示ツール１００Ａに備えられるマイコン１２０の算出部１２２に、可変抵抗シート２０を押圧する位置Ｐと電圧値Ｖ_１との相関関係を示す情報（上記した式（３）、又は、図３に示す相関テーブル１３０及び相関関係図１４０のいずれか）と、上記した式（５）を記憶しておき、検出器１０４によって電圧値Ｖ_１を検出することで、可変抵抗シート２０を押圧する位置Ｐと電圧値Ｖ_１との相関関係に従って、可変抵抗シート２０が押圧された位置Ｐの斜面の高さＨ、すなわち隙間Ｗの寸法を算出することができる。

【0031】

上記したように、マイコン１２０の算出部１２２において、可変抵抗シート２０が押圧された位置Ｐの斜面の高さＨを算出したならば、マイコン１２０に接続された表示部１１０Ａに該高さＨを表示する。この際、算出部１２２によって算出された値をそのまま表示してもよいが、本実施形態においては、マイコン１２０を構成する記録部１２４に記録し、記録部１２４に記録された高さＨの値を表示部１１０Ａに表示するようにする。記録部１２４に一旦記録された高さＨの値は、記録部１２４の情報を消去するための操作（例えば、ボタン５０Ａの長押し等）が行われない限り保持される。記録部１２４の情報を消去するための操作が指示された場合は、マイコン１２０に設定された制御プログラムによって構成された消去部１２６が実行されて記録部１２４の情報が消去される。

【0032】

本発明によれば、上記した実施形態に限定されず、種々の変形例が提供される。例えば、図１（ａ）に示す実施形態では、表示ツール１００Ａが測定部１０Ａの外部に構成され、測定部１０Ａとは配線２２、２４によって接続されていたが、本発明はこれに限定されず、図１（ｂ）に示すように、底部３２Ｂ及び底部３２Ｂと所定の角度θをもって傾斜した斜面３４Ｂとからなる楔体３０Ｂと、楔体３０Ｂの斜面３４Ｂに配設される可変抵抗シート２０とを備えた測定部１０Ｂの内部に、上記した表示ツール１００Ａと同等の機能を有する表示ツール１００Ｂを内蔵し、表示ツール１００Ｂによって算出した隙間Ｗとして算出される斜面の高さＨを、測定部１０Ｂに配設された表示部１１０Ｂに表示する隙間ゲージ１Ｂとすることもできる。なお、その際は、配線２２、２４は、楔体３０Ｂの内部に収容され、測定部１０Ｂの楔体３０Ｂにスイッチ５０Ｂを配設し、表示ツール１００Ｂの電源のオン、オフ、及び消去部１２６の実行等を指示できるようにしてもよい。

【0033】

また、例えば、上記した実施形態では、表示ツール１００Ａ、１００Ｂに配設された検出器１０４によって可変抵抗シート２０を経由した電圧（Ｖ_１）を検出し、可変抵抗シート２０を押圧する位置Ｐと電圧値Ｖ_１との相関関係に従って可変抵抗シート２０が押圧された位置Ｐの斜面の高さＨを算出したが、本発明はこれに限定されない。図２（ｃ）に示す他の実施形態では、上記した表示ツール１００Ａ、１００Ｂに配設された検出器１０４に替えて、可変抵抗シート２０を経由した電流（Ａ_１）を検出する電流計として機能する検出器１０８を配設し、算出部１２２によって、可変抵抗シート２０を押圧する位置Ｐと電流値Ａ_１との相関関係に従って可変抵抗シート２０が押圧された位置Ｐの斜面の高さＨを算出する表示ツール１００Ａ’、１００Ｂ’とすることもできる。なお、表示ツール１００Ａ’、１００Ｂ’の構成は、検出器１０８を除き上記した表示ツール１００Ａ，１００Ｂと同一である。以下に、検出器１０８によって検出される電流値Ａ_１に基づいて高さＨを算出する手順について、より具体的に説明する。

【0034】

表示ツール１００Ａ’、１００Ｂ’に配設される電源１０２の出力電圧はＶ_０であり、押圧される位置Ｐに応じて変化する抵抗体４４の抵抗値（Ｒ_１）は上記した式（１）に記載したとおりである。ここで、図２（ｃ）に示すように、可変抵抗シート２０が位置Ｐにおいて外力Ｆによって押圧された際に、検出器１０８において検出される電流値Ａ_１は、以下のように計算される。
Ａ_１＝Ｖ_０／（Ｒ_１＋Ｒ_０）
＝Ｖ_０／（（（Ｌ－ｘ）／Ｌ）・Ｒ_０＋Ｒ_０）
＝（Ｌ／（２Ｌ－ｘ））・（Ｖ_０／Ｒ_０） ・・・（６）

【0035】

さらに、本実施形態では、Ｖ_０＝１０Ｖ、Ｒ_０＝１０ｋΩであることから、上記した式（６）に基づけば、上記した位置Ｐの位置を示すｘは、以下に示す演算式によって算出される。
ｘ＝（２Ａ_１Ｌ－１０^－３Ｌ）／Ａ_１ ・・・（７）

【0036】

上記した式（７）は、可変抵抗シート２０が押圧される位置Ｐと、可変抵抗シート２０を経由した位置の電流値Ａ_１との相関関係を表すものであり、Ｌ＝１００ｍｍと、検出器１０８によって検出される電流Ａ_１とを、上記した式（７）に適用することで、先端２０ｃから位置Ｐまでの距離ｘが算出される。

【0037】

そして、上記したように、可変シート２０において押圧された位置Ｐが算出されたならば、図４に基づいて説明した式（４）、式（５）によって、チャックテーブルＴの表面Ｔａと研削砥石Ｓとで形成される隙間Ｗにおける高さＨが算出される。なお、本実施形態においても、先に説明した実施形態と同様に、ｘを算出する方法は、必ずしも上記した式（７）に基づいて算出することに限定されず、図３に示すように、可変抵抗シート２０の位置Ｐ（ｘ［ｍｍ］）と、検出器１０８によって検出される電流値Ａ_１との相関関係を示す相関テーブル１３０、又は、前記相関テーブル１３０基づいて作成、又は実験的に作成した相関関係図１４０を使用して、可変抵抗シート２０が押圧された位置Ｐ（ｘ［ｍｍ］）を算出することもできる。なお、図３に示す相関関係テーブル１３０を使用する際には、適宜補間演算等を実施することにより、より細かい単位で可変抵抗シート２０が押圧された位置Ｐ（ｘ［ｍｍ］）を求めることができる。

【0038】

上記したように、マイコン１２０の算出部１２２において、可変抵抗シート２０が押圧された位置Ｐの斜面の高さＨを算出したならば、マイコン１２０に接続された表示部１１０Ａ’（又は１１０Ｂ’）に該高さＨを表示する。この際、算出部１２２によって算出された値をそのまま表示してもよいが、本実施形態においては、マイコン１２０を構成する演算結果等を一時的に格納するための記録部１２４（ランダムアクセスメモリ：ＲＡＭ）に記録し、記録部１２４に記録された高さＨの値を表示部１１０Ａ’（又は１１０Ｂ’）に表示するようにしてもよい。記録部１２４に一旦記録された高さＨの値は、記録部１２４の情報を消去するための操作が行われない限り保持される。記録部１２４の情報を消去するための操作が指示された場合は、マイコン１２０に設定された制御プログラムによって構成された消去部１２６が実行されて記録部１２４の情報が消去される。

【符号の説明】

【0039】

１Ａ、１Ｂ：隙間ゲージ
１０Ａ、１０Ｂ：測定部
３０Ａ、３０Ｂ：楔体
３２Ａ、３２Ｂ：底部
３４Ａ、３４Ｂ：斜面
４０：センサー回路
４２：導電板
４４：抵抗体
１００Ａ、１００Ｂ、１００Ａ’、１００Ｂ’：表示ツール
１０２：電源
１０４：検出器
１０６：抵抗器
１０８：検出器
１１０Ａ、１１０Ｂ、１１０Ａ’、１１０Ｂ’：表示部
１２０：マイコン
１２２：算出部
１２４：記録部
１２６：消去部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】