特許 7408474 ウエーハ生成装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-12-22

(45)【発行日】2024-01-05

(54)【発明の名称】ウエーハ生成装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/304 20060101AFI20231225BHJP

   H01L 21/677 20060101ALI20231225BHJP

【ＦＩ】

H01L21/304 611Z

H01L21/68 D

【請求項の数】 2

(21)【出願番号】P 2020073430

(22)【出願日】2020-04-16

(65)【公開番号】P2021170601

(43)【公開日】2021-10-28

【審査請求日】2023-02-28

(73)【特許権者】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】110003524

【氏名又は名称】弁理士法人愛宕綜合特許事務所

(74)【代理人】

【識別番号】100113217

【弁理士】

【氏名又は名称】奥貫 佐知子

(74)【代理人】

【識別番号】100202496

【弁理士】

【氏名又は名称】鹿角 剛二

(74)【代理人】

【識別番号】100202692

【弁理士】

【氏名又は名称】金子 吉文

(72)【発明者】

【氏名】飯塚 健太呂

(72)【発明者】

【氏名】山本 涼兵

【審査官】境 周一

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１９－１０６４５８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０６－１８３５２２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００２－３４７９１１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００７－１５０３６９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０４－１５９９０２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１１－１４４０００（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／３０４

Ｈ０１Ｌ ２１／６７７

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

インゴットからウエーハを生成するウエーハ生成装置であって、
インゴットを収容するインゴット収容部とインゴットから生成されたウエーハを収容するウエーハ収容部とを備えた搬送トレーと、該搬送トレーを各加工機に搬送するベルトコンベアーユニットと、ウエーハを収容するカセットが該搬送トレーに対応して載置されるカセットラックと、該搬送トレーの該ウエーハ収容部から該カセットラックに載置された該カセットにウエーハを移し替える移し替え手段と、を含み、
該搬送トレーには識別マークが施され、該搬送トレーに対応する該カセットラックまたは該カセットには該搬送トレーに施された識別マークと同じ識別マークが施されるウエーハ生成装置。

【請求項2】

該識別マークは、色彩、記号、文字、図形、模様、絵のいずれか、または組み合わせである請求項１記載のウエーハ生成装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、インゴットからウエーハを生成するウエーハ生成装置に関する。

【背景技術】

【0002】

ＩＣ、ＬＳＩ、ＬＥＤ等のデバイスは、Ｓｉ（シリコン）やＡｌ_２Ｏ_３（サファイア）等を素材としたウエーハの表面に機能層が積層され分割予定ラインによって区画されて形成される。また、パワーデバイス、ＬＥＤ等は単結晶ＳｉＣ（炭化ケイ素）を素材としたウエーハの表面に機能層が積層され分割予定ラインによって区画されて形成される。デバイスが形成されたウエーハは、切削装置、レーザー加工装置によって分割予定ラインに加工が施されて個々のデバイスチップに分割され、分割された各デバイスチップは携帯電話やパソコン等の電気機器に利用される。

【0003】

デバイスが形成されるウエーハは、一般的に円柱形状のインゴットをワイヤーソーで薄く切断することにより生成される。切断されたウエーハの表面および裏面は、研磨することにより鏡面に仕上げられる（たとえば特許文献１参照）。しかし、インゴットをワイヤーソーで切断し、切断したウエーハの表面および裏面を研磨すると、インゴットの大部分（７０～８０％）が捨てられることになり不経済であるという問題がある。特に単結晶ＳｉＣインゴットにおいては、硬度が高くワイヤーソーでの切断が困難であり相当の時間を要するため生産性が悪いと共に、インゴットの単価が高く効率よくウエーハを生成することに課題を有している。

【0004】

そこで、単結晶ＳｉＣに対して透過性を有する波長のレーザー光線の集光点を単結晶ＳｉＣインゴットの内部に位置づけて単結晶ＳｉＣインゴットにレーザー光線を照射して切断予定面に剥離層を形成し、剥離層が形成された切断予定面に沿って単結晶ＳｉＣインゴットからウエーハを剥離するウエーハ生成装置が提案されている（たとえば特許文献２参照）。

【0005】

また、下記特許文献２に開示されているウエーハ生成装置においては、インゴットが収容された搬送トレーをベルトコンベアーユニットに常時数個（たとえば４個）載置し、ベルトコンベアーユニットでインゴットを各加工機に搬送してインゴットからウエーハを生成し、ウエーハを生成したインゴットと同じ搬送トレーにウエーハを収容し、ウエーハ搬出領域において、インゴットに紐づけられたカセットにウエーハを収容する一連の作業を効率良く実施することができる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【文献】特開２０００－９４２２１号公報

【文献】特開２０１９－１０６４５８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

ところが、停電またはトラブルによってウエーハ生成装置の稼働が停止し、搬送トレーをベルトコンベアーユニットから搬出等し、その後再稼働するとインゴットに紐づけられたカセットにウエーハを収容できない場合があり、インゴットとウエーハとの親子関係が不明確になるという問題がある。

【0008】

上記事実に鑑みてなされた本発明の課題は、停電またはトラブルが発生してもインゴットとウエーハとの親子関係が崩れず常に明確になるウエーハ生成装置を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0009】

本発明は上記課題を解決するために以下のウエーハ生成装置を提供する。すなわち、インゴットからウエーハを生成するウエーハ生成装置であって、インゴットを収容するインゴット収容部とインゴットから生成されたウエーハを収容するウエーハ収容部とを備えた搬送トレーと、該搬送トレーを各加工機に搬送するベルトコンベアーユニットと、ウエーハを収容するカセットが該搬送トレーに対応して載置されるカセットラックと、該搬送トレーの該ウエーハ収容部から該カセットラックに載置された該カセットにウエーハを移し替える移し替え手段と、を含み、該搬送トレーには識別マークが施され、該搬送トレーに対応する該カセットラックまたは該カセットには該搬送トレーに施された識別マークと同じ識別マークが施されるウエーハ生成装置を本発明は提供する。

【0010】

該識別マークは、色彩、記号、文字、図形、模様、絵のいずれか、または組み合わせであるのが好ましい。

【発明の効果】

【0011】

本発明のウエーハ生成装置は、インゴットを収容するインゴット収容部とインゴットから生成されたウエーハを収容するウエーハ収容部とを備えた搬送トレーと、該搬送トレーを各加工機に搬送するベルトコンベアーユニットと、ウエーハを収容するカセットが該搬送トレーに対応して載置されるカセットラックと、該搬送トレーの該ウエーハ収容部から該カセットラックに載置された該カセットにウエーハを移し替える移し替え手段と、を含み、該搬送トレーには識別マークが施され、該搬送トレーに対応する該カセットラックまたは該カセットには該搬送トレーに施された識別マークと同じ識別マークが施されるので、停電またはトラブルが発生しウエーハ生成装置の稼働が停止した場合でも、インゴットに紐づけられたカセットにウエーハを確実に収容することができ、インゴットとウエーハとの親子関係が崩れず常に明確になる。

【図面の簡単な説明】

【0012】

【図1】本発明に従って構成されたウエーハ生成装置の斜視図。

【図2】図１に示す搬送トレーの斜視図。

【図3】図１に示すウエーハ生成装置の一部斜視図。

【発明を実施するための形態】

【0013】

以下、本発明に従って構成されたウエーハ生成装置の好適実施形態について図面を参照しつつ説明する。

【0014】

図１に示すウエーハ生成装置２は、インゴットおよびウエーハを収容する搬送トレー４と、搬送トレー４を各加工機に搬送するベルトコンベアーユニット６と、ウエーハを収容するカセット８が搬送トレー４に対応して載置されるカセットラック１０と、搬送トレー４からカセットラック１０に載置されたカセット８にウエーハを移し替える移し替え手段１２とを含む。

【0015】

図２を参照して説明すると、搬送トレー４は、矩形状の上壁１４と、上壁１４の下方に配置された矩形状の下壁１６と、上壁１４と下壁１６とを連結する矩形状の一対の側壁１８と、上壁１４と下壁１６と一対の側壁１８とで形成されるトンネル２０とを備える。

【0016】

上壁１４の上面には、インゴットを収容するインゴット収容部２２が形成されている。図示の実施形態のインゴット収容部２２は、上壁１４の上面から下方に没入した環状の第一のインゴット収容部２２ａと、第一のインゴット収容部２２ａよりも直径が小さく第一のインゴット収容部２２ａよりも更に下方に没入した円形の第二のインゴット収容部２２ｂとを有する。第一のインゴット収容部２２ａと第二のインゴット収容部２２ｂとは同心状に形成されている。

【0017】

第一のインゴット収容部２２ａの直径は比較的大径（たとえば直径６インチ）の円柱状インゴット２４よりも若干（数ｍｍ程度）大きく、第一のインゴット収容部２２ａには比較的大径のインゴット２４が収容される。第二のインゴット収容部２２ｂの直径は比較的小径（たとえば直径４インチ）の円柱状インゴット２６よりも若干大きく、第二のインゴット収容部２２ｂには比較的小径のインゴット２６が収容される。

【0018】

このように図示の実施形態のインゴット収容部２２は、２種類の大きさのインゴット２４、２６に対応した同心状の第一・第二のインゴット収容部２２ａ、２２ｂを備える。なお、インゴット収容部２２は、１種類の大きさのインゴットに対応した単一の円形収容凹部であってもよく、あるいは、３種類以上の大きさのインゴットに対応した同心状の複数の収容凹部を備えていてもよい。

【0019】

図２に示すとおり、下壁１６の上面には、インゴットから生成されたウエーハを収容するウエーハ収容部２８が形成されている。図示の実施形態のウエーハ収容部２８は、下壁１６の上面から下方に没入した環状の第一のウエーハ収容部２８ａと、第一のウエーハ収容部２８ａよりも直径が小さく第一のウエーハ収容部２８ａよりも更に下方に没入した円形の第二のウエーハ収容部２８ｂとを有する。第一のウエーハ収容部２８ａと第二のウエーハ収容部２８ｂとは同心状に形成されている。

【0020】

第一のウエーハ収容部２８ａの直径は比較的大径（たとえば直径６インチ）の円板状ウエーハ３０よりも若干大きく、第一のウエーハ収容部２８ａには比較的大径のウエーハ３０が収容される。第二のウエーハ収容部２８ｂの直径は比較的小径（たとえば直径４インチ）の円板状ウエーハ３２よりも若干大きく、第二のウエーハ収容部２８ｂには比較的小径のウエーハ３２が収容される。

【0021】

このように図示の実施形態のウエーハ収容部２８は、２種類の大きさのウエーハ３０、３２に対応した同心状の第一・第二のウエーハ収容部２８ａ、２８ｂを備える。なお、ウエーハ収容部２８は、１種類の大きさのウエーハに対応した単一の円形収容凹部であってもよく、あるいは、３種類以上の大きさのウエーハに対応した同心状の複数の収容凹部を備えていてもよい。なお、図示の実施形態とは逆に、上壁１４の上面にウエーハ収容部２８が形成され、下壁１６の上面にインゴット収容部２２が形成されていてもよい。

【0022】

図１および図２に示すとおり、搬送トレー４には識別マーク３４が施されている。識別マーク３４は、色彩、記号、文字、図形、模様、絵のいずれかでよく、または色彩、記号、文字、図形、模様、絵の２個以上の組み合わせでもよい。図示の実施形態では、識別マーク３４として文字Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄが搬送トレー４の側壁１８の外面に施されているが、識別マーク３４として、赤色、青色、緑色、黄色等の色彩が施されていてもよく、○、△、□、☆等の図形が施されていてもよく、あるいは絵が描かれていてもよい。

【0023】

図１に示すとおり、インゴット（図示の実施形態では比較的大径のインゴット２４）を収容した搬送トレー４は搬送トレーラック３６に収容される。図示の実施形態の搬送トレーラック３６は、図１に矢印Ｘで示すＸ軸方向に貫通した４個の収容部３８を有する。搬送トレーラック３６においては、図１においてＸ軸方向手前側から収容部３８に搬送トレー４を収容可能であり、かつ図１においてＸ軸方向奥側から収容部３８内の搬送トレー４を搬出可能となっている。なお、図１に矢印Ｙで示すＹ軸方向はＸ軸方向に直交する方向であり、図１に矢印Ｚで示すＺ軸方向はＸ軸方向およびＹ軸方向に直交する上下方向である。Ｘ軸方向およびＹ軸方向が規定するＸＹ平面は実質上水平である。

【0024】

図１および図３を参照して、インゴットを収容した搬送トレー４が搬送される各加工機について説明する。図示の実施形態のウエーハ生成装置２は、加工機として、インゴット研削ユニット４０と、レーザー照射ユニット４２と、ウエーハ剥離ユニット４４とを備える。

【0025】

図３に示すとおり、インゴット研削ユニット４０は、インゴットを吸引保持する回転可能な保持テーブル４６と、保持テーブル４６に吸引保持されたインゴットの上面を研削して平坦化する研削手段４８とを含む。研削手段４８は、研削砥石（図示していない。）を有する回転可能な研削ホイール５０を有する。そして、インゴット研削ユニット４０は、インゴットを吸引保持した保持テーブル４６を回転させると共に研削ホイール５０を回転させながら、研削砥石をインゴットの上面に接触させることにより、インゴットの上面を研削して平坦化する。

【0026】

レーザー照射ユニット４２は、インゴットを吸引保持しＸ軸方向に移動可能かつ回転可能な保持テーブル５２と、保持テーブル５２に吸引保持されたインゴットにレーザー光線を照射するレーザー照射手段５４とを含む。レーザー照射手段５４は、レーザー発振器（図示していない。）が発振したパルスレーザー光線を集光してインゴットに照射すると共にＹ軸方向に移動可能な集光器５６を有する。

【0027】

レーザー照射ユニット４２は、インゴットを吸引保持した保持テーブル５２をＸ軸方向に移動させながら、あるいは集光器５６をＹ軸方向に移動させながら、インゴットの上面から生成すべきウエーハの厚みに相当する深さに、インゴットに対して透過性を有する波長のレーザー光線の集光点を位置づけてレーザー光線をインゴットに照射することにより、インゴットの内部に強度が低下した剥離層を形成する。

【0028】

ウエーハ剥離ユニット４４は、インゴットを吸引保持しＸ軸方向に移動可能な保持テーブル５８と、保持テーブル５８と協働して液体収容空間を形成する液槽体６０と、保持テーブル５８に吸引保持されたインゴットに超音波振動を付与すると共にインゴットから剥離したウエーハを吸引保持する超音波振動生成部材６２とを含む。

【0029】

ウエーハ剥離ユニット５６は、インゴットを吸引保持した保持テーブル５８と液槽体６０とによって形成した液体収容空間に液体を収容した後、超音波振動生成部材６２を作動させてインゴットに超音波振動を付与することにより、剥離層を起点としてインゴットからウエーハを剥離する。

【0030】

図示の実施形態では、インゴット研削ユニット４０とレーザー照射ユニット４２とウエーハ剥離ユニット４４とに搬送トレー４をベルトコンベアーユニット６が搬送するようになっている。

【0031】

ベルトコンベアーユニット６は、Ｙ１方向に搬送トレー４を搬送する往路ベルトコンベアー６４と、Ｙ２方向（Ｙ１の反対方向）に搬送トレー４を搬送する復路ベルトコンベアー６６と、往路ベルトコンベアー６４の終点から復路ベルトコンベアー６６の始点に搬送トレー４を搬送すると共に往路ベルトコンベアー６４で搬送されている搬送トレー４をウエーハ剥離ユニット４４に対面する位置で停止させる第一の搬送手段６８と、復路ベルトコンベアー６６の終点から往路ベルトコンベアー６４の始点に搬送トレー４を搬送する第二の搬送手段７０とを含む。

【0032】

また、ベルトコンベアーユニット６は、往路ベルトコンベアー６４で搬送されている搬送トレー４をインゴット研削ユニット４０に対面する位置で停止させる昇降可能な第一の搬送トレーストッパー７２と、往路ベルトコンベアー６４で搬送されている搬送トレー４をレーザー照射ユニット４２に対面する位置で停止させる昇降可能な第二の搬送トレーストッパー７４とを含む。

【0033】

さらに、ベルトコンベアーユニット６は、第一の搬送トレーストッパー７２で停止された搬送トレー４とインゴット研削ユニット４０との間でインゴットを移動させる第一の移動手段７６と、第二の搬送トレーストッパー７４で停止された搬送トレー４とレーザー照射ユニット４２との間でインゴットを移動させる第二の移動手段７８と、第一の搬送手段６８で停止された搬送トレー４とウエーハ剥離ユニット４４との間でインゴットを移動させると共にインゴットから剥離されたウエーハをウエーハ剥離ユニット４４から搬送トレー４に移動させる第三の移動手段８０とを含む。

【0034】

共通の構成でよい第一・第二・第三の移動手段７６、７８、８０のそれぞれは、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向およびＺ軸方向に移動可能な多関節アーム８２と、多関節アーム８２の先端に上下反転自在に装着された吸着片８４とを含む。吸着片８４の片面には、吸引手段（図示していない。）に接続された複数の吸引孔（図示していない。）が形成されている。

【0035】

図１に示すとおり、図示の実施形態のカセットラック１０は、Ｙ軸方向に貫通した１６個の収容部８６を有する。各収容部８６には、インゴットから剥離されたウエーハを収容するカセット８が収容される。カセットラック１０においては、図１においてＹ軸方向手前側から収容部８６にカセット８を収容可能であり、かつ図１においてＹ軸方向奥側から収容部８６内のカセット８にウエーハを収容可能となっている。

【0036】

搬送トレー４に対応するカセットラック１０には搬送トレー４に施された識別マーク３４と同じ識別マーク３４’が施され、または搬送トレー４に対応するカセット８には搬送トレー４に施された識別マーク３４と同じ識別マーク３４”が施されているのが重要である。図示の実施形態では、搬送トレー４の識別マーク３４と同じ文字Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄが識別マーク３４’としてカセットラック１０の収容部８６に施されていると共に、搬送トレー４の識別マーク３４と同じ文字Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄが識別マーク３４”としてカセット８の外面に施されている。カセットラック１０の収容部８６には、各収容部８６の識別マーク３４’と同じ識別マーク３４”が施されているカセット８が載置される。なお、図１においては、カセットラック１０の最上段の収容部８６のみに識別マーク３４’が施されているが、他の収容部８６にも識別マーク３４’が施されていてもよい。

【0037】

図３を参照して説明すると、移し替え手段１２は、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向およびＺ軸方向に移動可能な多関節アーム８８と、多関節アーム８８の先端に上下反転自在に装着された吸着片９０とを含む。吸着片９０の片面には、吸引手段（図示していない。）に接続された複数の吸引孔（図示していない。）が形成されている。移し替え手段１２は、搬送トレーラック３６内の搬送トレー４をベルトコンベアーユニット６まで搬送すると共に、搬送トレー４のウエーハ収容部２８からカセットラック１０に載置されたカセット８にウエーハを移し替える。

【0038】

ウエーハ生成装置２によってインゴットからウエーハを生成する際は、図１に示すとおり、まず、１個以上のインゴット（図示の実施形態では４個の大径のインゴット２４）を準備する。次いで、それぞれのインゴット２４を搬送トレー４の第一のインゴット収容部２２ａに収容し、インゴット２４を収容した搬送トレー４を搬送トレーラック３６に収容する。

【0039】

次いで、搬送トレーラック３６からレーザー照射ユニット４２にインゴット２４を搬送する第一の搬送工程を実施する。通常、インゴットは、後述の剥離層形成工程におけるレーザー光線の入射を妨げない程度に端面が平坦化されているため、図示の実施形態では、第一の搬送工程において搬送トレーラック３６からレーザー照射ユニット４２にインゴット２４を搬送する例を説明するが、インゴット２４の端面が剥離層形成工程におけるレーザー光線の入射を妨げない程度に平坦化されていない場合には、第一の搬送工程において搬送トレーラック３６からインゴット研削ユニット４０にインゴット２４を搬送してもよい。

【0040】

第一の搬送工程では、まず、移し替え手段１２の多関節アーム８８を駆動させ、吸引孔を上に向けた吸着片９０を搬送トレー４のトンネル２０に挿入する。次いで、トンネル２０内において吸着片９０を若干上昇させて搬送トレー４の上壁１４の下面を吸着片９０で吸引保持する。次いで、吸着片９０で吸引保持した搬送トレー４を搬送トレーラック３６から往路ベルトコンベアー６４に搬送する。

【0041】

搬送トレー４を往路ベルトコンベアー６４に載せた後、レーザー照射ユニット４２に対面する位置まで往路ベルトコンベアー６４でＹ１方向に搬送トレー４を搬送する。この際には、第一の搬送トレーストッパー７２を下降させると共に、第二の搬送トレーストッパー７４を上昇させることにより、レーザー照射ユニット４２に対面する位置で搬送トレー４を停止させる。次いで、第二の移動手段７８の多関節アーム８２を駆動させ、搬送トレー４上のインゴット２４を吸着片８４で吸引保持する。次いで、吸着片８４で吸引保持したインゴット２４を搬送トレー４からレーザー照射ユニット４２の保持テーブル５２に移動させる。

【0042】

第一の搬送工程を実施した後、保持テーブル５２でインゴット２４を吸引保持すると共に、保持テーブル５２で吸引保持したインゴット２４の上面から生成すべきウエーハの厚みに相当する深さに、インゴット２４に対して透過性を有する波長のレーザー光線の集光点を位置づけて、レーザー光線をインゴット２４に照射し剥離層を形成する剥離層形成工程をレーザー照射ユニット４２において実施する。

【0043】

剥離層形成工程を実施した後、剥離層が形成されたインゴット２４をレーザー照射ユニット４２からウエーハ剥離ユニット４４に搬送する第二の搬送工程を実施する。

【0044】

第二の搬送工程では、まず、第二の移動手段７８の多関節アーム８２を駆動させ、保持テーブル５２上のインゴット２４を吸着片８４で吸引保持すると共に、保持テーブル５２の吸引力を解除する。次いで、吸着片８４で吸引保持したインゴット２４を保持テーブル５２から搬送トレー４の第一のインゴット収容部２２ａに移動させる。

【0045】

次いで、ウエーハ剥離ユニット４４に対面する位置まで往路ベルトコンベアー６４でＹ１方向に搬送トレー４を搬送する。この際には、第一の搬送手段６８によって搬送トレー４をウエーハ剥離ユニット４４に対面する位置で停止させる。次いで、第三の移動手段８０の多関節アーム８２を駆動させ、搬送トレー４上のインゴット２４を吸着片８４で吸引保持する。次いで、吸着片８４で吸引保持したインゴット２４を搬送トレー４からウエーハ剥離ユニット４４の保持テーブル５８に移動させる。

【0046】

第二の搬送工程を実施した後、剥離層が形成されたインゴット２４を保持テーブル５８で吸引保持すると共に、保持テーブル５８で吸引保持したインゴット２４の上面を保持し剥離層を起点としてインゴット２４からウエーハ３０を剥離するウエーハ剥離工程をウエーハ剥離ユニット４４において実施する。

【0047】

ウエーハ剥離工程を実施した後、インゴット２４から剥離されたウエーハ３０（図２参照。）をウエーハ剥離ユニット４４からカセットラック１０のカセット８に搬送すると共に、ウエーハ３０が剥離されたインゴット２４をウエーハ剥離ユニット４４からインゴット研削ユニット４０に搬送する第三の搬送工程を実施する。

【0048】

第三の搬送工程では、まず、第三の移動手段８０の多関節アーム８２を駆動させ、インゴット２４から剥離されたウエーハ３０を吸着片８４で吸引保持する。次いで、吸着片８４で吸引保持したウエーハ３０をウエーハ剥離ユニット４４から搬送トレー４の第一のウエーハ収容部２８ａに移動させる。

【0049】

次いで、第三の移動手段８０の多関節アーム８２を駆動させ、保持テーブル５８上のインゴット２４を吸着片８４で吸引保持すると共に、保持テーブル５８の吸引力を解除する。次いで、吸着片８４で吸引保持したインゴット２４を保持テーブル５８から搬送トレー４の第一のインゴット収容部２２ａに移動させる。

【0050】

次いで、インゴット２４およびウエーハ３０を収容した搬送トレー４を第一の搬送手段６８によって往路ベルトコンベアー６４から復路ベルトコンベアー６６に搬送する。次いで、復路ベルトコンベアー６６によって搬送トレー４をＹ２方向に搬送して第二の搬送手段７０に搬送トレー４を受け渡す。次いで、第二の搬送手段７０によって往路ベルトコンベアー６４に向かって搬送トレー４を搬送する。

【0051】

第二の搬送手段７０から往路ベルトコンベアー６４に搬送トレー４が受け渡される前に第二の搬送手段７０を一旦停止させる。次いで、移し替え手段１２の多関節アーム８８を駆動させ、第二の搬送手段７０上の搬送トレー４に収容されたウエーハ３０を吸着片９０で吸引保持する。そして、吸着片９０で吸引保持したウエーハ３０を搬送トレー４から搬出して、カセットラック１０のカセット８内にウエーハ３０を移し替える。この際は、搬送トレー４の識別マーク３４と同じ識別マーク３４”が施されたカセット８にウエーハ３０を移し替える。

【0052】

次いで、第二の搬送手段７０を作動させ、第二の搬送手段７０から往路ベルトコンベアー６４に搬送トレー４を受け渡した後、インゴット研削ユニット４０に対面する位置まで往路ベルトコンベアー６４でＹ１方向に搬送トレー４を搬送する。この際には、第一の搬送トレーストッパー７２を上昇させることにより、インゴット研削ユニット４０に対面する位置で搬送トレー４を停止させる。次いで、第一の移動手段７６の多関節アーム８２を駆動させ、搬送トレー４上のインゴット２４を吸着片８４で吸引保持する。次いで、吸着片８４で吸引保持したインゴット２４を搬送トレー４からインゴット研削ユニット４０の保持テーブル４６に移動させる。

【0053】

第三の搬送工程を実施した後、ウエーハ３０が剥離されたインゴット２４を保持テーブル４６で吸引保持すると共に、保持テーブル４６で吸引保持したインゴット２４の上面（剥離面）を研削して平坦化するインゴット研削工程をインゴット研削ユニット４０において実施する。

【0054】

インゴット研削工程を実施した後、上面が平坦化されたインゴット２４をインゴット研削ユニット４０からレーザー照射ユニット４２に搬送する第四の搬送工程を実施する。

【0055】

第四の搬送工程では、まず、第一の移動手段７６の多関節アーム８２を駆動させ、保持テーブル４６上のインゴット２４を吸着片８４で吸引保持すると共に、保持テーブル４６の吸引力を解除する。次いで、吸着片８４で吸引保持したインゴット２４を保持テーブル４６から搬送トレー４の第一のインゴット収容部２２ａに移動させる。

【0056】

次いで、レーザー照射ユニット４２に対面する位置まで往路ベルトコンベアー６４でＹ１方向に搬送トレー４を搬送する。次いで、第二の移動手段７８の多関節アーム８２を駆動させ、搬送トレー４上のインゴット２４を吸着片８４で吸引保持する。次いで、吸着片８４で吸引保持したインゴット２４を搬送トレー４からレーザー照射ユニット４２の保持テーブル５２に移動させる。

【0057】

第四の搬送工程を実施した後、上述の剥離層形成工程をレーザー照射ユニット４２において実施する。そして、剥離層形成工程と、ウエーハ剥離工程と、インゴット研削工程と、第二から第四までの搬送工程とを繰り返し実施することにより、インゴット２４から生成可能な数量のウエーハ３０を生成し、搬送トレー４に施された識別マーク３４と同じ識別マーク３４”が施されたカセット８にウエーハ３０を収容する。

【0058】

図示の実施形態では、ウエーハ生成装置２で実施する各工程を１個のインゴット２４に着目して説明したが、搬送トレーラック３６からレーザー照射ユニット４２にインゴット２４を搬送する第一の搬送工程を実施した後、適宜の間隔をおいて、第一の搬送工程を繰り返し実施すると共に、剥離層形成工程と、ウエーハ剥離工程と、インゴット研削工程と、第二から第四までの搬送工程とを並行して複数のインゴット２４に対して繰り返し実施することにより、複数のインゴット２４から生成可能な数量のウエーハ３０を生成することができる。

【0059】

また、ウエーハ生成装置２では、搬送トレー４に識別マーク３４が施され、搬送トレー４に対応するカセットラック１０またはカセット８に搬送トレー４の識別マーク３４と同じ識別マーク３４’、３４”が施されるので、停電またはトラブルが発生しウエーハ生成装置２の稼働が停止した場合でも、インゴット２４に紐づけられたカセット８にウエーハ３０を確実に収容することができ、インゴット２４とウエーハ３０との親子関係が崩れず常に明確になる。

【符号の説明】

【0060】

２：ウエーハ生成装置
４：搬送トレー
６：ベルトコンベアーユニット
８：カセット
１０：カセットラック
１２：移し替え手段
２２：インゴット収容部
２２ａ：第一のインゴット収容部
２２ｂ：第二のインゴット収容部
２８：ウエーハ収容部
２８ａ：第一のウエーハ収容部
２８ｂ：第二のウエーハ収容部
３４：搬送トレーの識別マーク
３４’：カセットラックの識別マーク
３４”：カセットの識別マーク

【図1】

【図2】

【図3】