特許 7408637 ステーション間の均一性を提供するための方法および装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-12-22

(45)【発行日】2024-01-05

(54)【発明の名称】ステーション間の均一性を提供するための方法および装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/3065 20060101AFI20231225BHJP

   C23C 16/455 20060101ALI20231225BHJP

【ＦＩ】

H01L21/302 101G

C23C16/455

【請求項の数】 12

(21)【出願番号】P 2021510748

(86)(22)【出願日】2019-08-12

(65)【公表番号】

(43)【公表日】2021-12-27

(86)【国際出願番号】 US2019046171

(87)【国際公開番号】W WO2020046565

(87)【国際公開日】2020-03-05

【審査請求日】2022-08-02

(31)【優先権主張番号】16/115,970

(32)【優先日】2018-08-29

(33)【優先権主張国・地域又は機関】US

(73)【特許権者】

【識別番号】592010081

【氏名又は名称】ラム リサーチ コーポレーション

【氏名又は名称原語表記】ＬＡＭ ＲＥＳＥＡＲＣＨ ＣＯＲＰＯＲＡＴＩＯＮ

(74)【代理人】

【識別番号】110000028

【氏名又は名称】弁理士法人明成国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】ラボア・エイドリアン

(72)【発明者】

【氏名】アガーワル・プルキット

【審査官】船越 亮

(56)【参考文献】

【文献】米国特許出願公開第２０１８／００４６２０６（ＵＳ，Ａ１）

【文献】特開２０１１－２３３９０５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１１－１８７５０７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００５－３１０８１９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００４－１１９７０５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００３－２２１６７３（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／３０６５

Ｈ０１Ｌ ２１／２０５

Ｈ０１Ｌ ２１／３０２

Ｈ０１Ｌ ２１／３１

Ｈ０１Ｌ ２１／３６５

Ｈ０１Ｌ ２１／４６１

Ｈ０１Ｌ ２１／４６９

Ｈ０１Ｌ ２１／８６

Ｃ２３Ｃ １６／００－１６／５６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

基板を処理するための装置であって、
第１ガス源と、
前記第１ガス源に接続された第１ガスマニホルドと、
前記第１ガス源に接続された第２ガスマニホルドと、
第１ガス流出口を有する第１処理ステーションであって、前記第１ガス流出口は、前記第１ガスマニホルドに接続されている、第１処理ステーションと、
第２ガス流出口を有する第２処理ステーションであって、前記第２ガス流出口は、前記第２ガスマニホルドに接続されている、第２処理ステーションと、
前記第１ガスマニホルドに沿って、前記第１ガス源と前記第１ガス流出口との間にある第１可変コンダクタンスバルブと、
前記第２ガスマニホルドに沿って、前記第１ガス源と前記第２ガス流出口との間にある第２可変コンダクタンスバルブと、
前記第１ガスマニホルドに沿って、前記第１可変コンダクタンスバルブと前記第１ガス流出口との間にある第１混合マニホルドと、
前記第２ガスマニホルドに沿って、前記第２可変コンダクタンスバルブと前記第２ガス流出口との間にある第２混合マニホルドと、
第２ガス源と、
前記第２ガス源と前記第１混合マニホルドとの間に接続された第３ガスマニホルドと、
前記第２ガス源と前記第２混合マニホルドとの間に接続された第４ガスマニホルドと、
前記第３ガスマニホルドに沿って、前記第２ガス源と前記第１混合マニホルドとの間に接続された第３可変コンダクタンスバルブと、
前記第４ガスマニホルドに沿って、前記第２ガス源と前記第２混合マニホルドとの間に接続された第４可変コンダクタンスバルブと、
前記第１混合マニホルドと前記第１ガス流出口との間にある第５可変コンダクタンスバルブと、
前記第２混合マニホルドと前記第２ガス流出口との間にある第６可変コンダクタンスバルブと、
を備える、装置。

【請求項2】

請求項１に記載の装置であって、さらに、
前記第１ガス源に接続された第５ガスマニホルドと、
前記第１ガス源に接続された第６ガスマニホルドと、
前記第２ガス源に接続された第７ガスマニホルドと、
前記第２ガス源に接続された第８ガスマニホルドと、
第３ガス流出口を有する第３処理ステーションと、
第４ガス流出口を有する第４処理ステーションと、
前記第５ガスマニホルドおよび前記第７ガスマニホルドと前記第３ガス流出口との間に接続された第３混合マニホルドと、
前記第１ガス源と前記第３混合マニホルドとの間にある第７可変コンダクタンスバルブと、
前記第２ガス源と前記第３混合マニホルドとの間にある第８可変コンダクタンスバルブと、
前記第６ガスマニホルドおよび前記第８ガスマニホルドと前記第４ガス流出口との間に接続された第４混合マニホルドと、
前記第１ガス源と前記第４混合マニホルドとの間に接続された第９可変コンダクタンスバルブと、
前記第２ガス源と前記第４混合マニホルドとの間にある第１０可変コンダクタンスバルブと、
前記第３混合マニホルドと前記第３ガス流出口との間にある第１１可変コンダクタンスバルブと、
前記第４混合マニホルドと前記第４ガス流出口との間にある第１２可変コンダクタンスバルブと、
を備える、装置。

【請求項3】

請求項２に記載の装置であって、さらに、処理チャンバを備え、 前記第１処理ステーション、前記第２処理ステーション、前記第３処理ステーション、および、前記第４処理ステーションが、前記処理チャンバ内にある、装置。

【請求項4】

請求項３に記載の装置であって、さらに、ＲＦ電力を前記処理チャンバに供給するためのＲＦ源を備える、装置。

【請求項5】

請求項１に記載の装置であって、さらに、処理チャンバを備え、
前記第１処理ステーションおよび前記第２処理ステーションが、前記処理チャンバ内にある、装置。

【請求項6】

請求項５に記載の装置であって、さらに、ＲＦ電力を前記処理チャンバに供給するためのＲＦ源を備える、装置。

【請求項7】

請求項１に記載の装置であって、前記第１および第２可変コンダクタンスバルブは、調整可能な流れ抵抗を提供する、装置。

【請求項8】

請求項７に記載の装置であって、さらに、前記第１および第２可変コンダクタンスバルブに制御可能に接続されたコントローラを備え、
前記コントローラは、前記第１および第２可変コンダクタンスバルブの流れ抵抗を調整するよう適合されている、装置。

【請求項9】

請求項１に記載の装置であって、前記第１および第２可変コンダクタンスバルブは、バタフライバルブである、装置。

【請求項10】

処理システム内で複数のスタックを処理する方法であって、
前記処理システムは、第１ガス源と、前記第１ガス源に接続された第１ガスマニホルドと、前記第１ガス源に接続された第２ガスマニホルドと、第１ガス流出口を有する第１処理ステーションであって、前記第１ガス流出口は、前記第１ガスマニホルドに接続されている、第１処理ステーションと、第２ガス流出口を有する第２処理ステーションであって、前記第２ガス流出口は、前記第２ガスマニホルドに接続されている、第２処理ステーションと、前記第１ガスマニホルドに沿って、前記第１ガス源と前記第１ガス流出口との間にある第１可変コンダクタンスバルブと、前記第２ガスマニホルドに沿って、前記第１ガス源と前記第２ガス流出口との間にある第２可変コンダクタンスバルブと、前記第１ガスマニホルドに沿って、前記第１可変コンダクタンスバルブと前記第１ガス流出口との間にある第１混合マニホルドと、前記第２ガスマニホルドに沿って、前記第２可変コンダクタンスバルブと前記第２ガス流出口との間にある第２混合マニホルドと、第２ガス源と、前記第２ガス源と前記第１混合マニホルドとの間に接続された第３ガスマニホルドと、前記第２ガス源と前記第２混合マニホルドとの間に接続された第４ガスマニホルドと、前記第３ガスマニホルドに沿って、前記第２ガス源と前記第１混合マニホルドとの間に接続された第３可変コンダクタンスバルブと、前記第４ガスマニホルドに沿って、前記第２ガス源と前記第２混合マニホルドとの間に接続された第４可変コンダクタンスバルブと、前記第１混合マニホルドと前記第１ガス流出口との間にある第５可変コンダクタンスバルブと、前記第２混合マニホルドと前記第２ガス流出口との間にある第６可変コンダクタンスバルブと、を備え、
前記方法は、前記第１可変コンダクタンスバルブ、前記第２可変コンダクタンスバルブ、前記第３可変コンダクタンスバルブ、前記第４可変コンダクタンスバルブ、前記第５可変コンダクタンスバルブ、および、前記第６可変コンダクタンスバルブを調整して、前記第１処理ステーションと前記第２処理ステーションとの間の均一性を改善する工程を備える、方法。

【請求項11】

請求項１０に記載の方法であって、さらに、
前記第１処理ステーションおよび前記第２処理ステーション内でテストウエハの基板を処理する工程と、
前記基板を測定する工程と、
前記第１処理ステーションと前記第２処理ステーションとの間で、ステーション間の均一性を決定する工程と、
を備える、方法。

【請求項12】

請求項１１に記載の方法であって、さらに、前記第１処理ステーションおよび前記第２処理ステーション内で生産用ウエハの基板を処理する工程を備える、方法。

【発明の詳細な説明】

【背景技術】

【0001】

［関連出願への相互参照］
本願は、２０１８年８月２９日出願の米国特許出願第１６／１１５，９７０号に基づく優先権の利益を主張し、その出願は、参照によってすべての目的に対して本明細書に援用される。

【0002】

本開示は、半導体デバイスの形成に関する。より具体的には、本開示は、複数のステーションがガス源を共有するシステムにおける半導体デバイスの形成に関する。

【発明の概要】

【0003】

上記を達成するために、本発明の目的に従い、基板を処理するための装置が提供されている。第１ガス源が提供されている。第１ガスマニホルドが、第１ガス源に接続されている。第２ガスマニホルドが、第１ガス源に接続されている。第１処理ステーションが、第１ガス流出口を有しており、第１ガス流出口は、第１ガスマニホルドに接続されている。第２処理ステーションが、第２ガス流出口を有しており、第２ガス流出口は、第２ガスマニホルドに接続されている。第１可変コンダクタンスバルブが、第１ガスマニホルドに沿って、第１ガス源と第１ガス流出口との間にある。第２可変コンダクタンスバルブが、第２ガスマニホルドに沿って、第１ガス源と第２ガス流出口との間にある。

【0004】

別の態様において、スタックを処理するための装置が提供されている。第１ガス源が提供されている。第１ガスマニホルドが、第１ガス源に接続されている。第１処理ステーションが、第１ガス流出口を有しており、第１ガス流出口は、第１ガスマニホルドに接続されている。第１可変コンダクタンスバルブが、第１ガスマニホルドに沿って、第１ガス源と第１ガス流出口との間にある。

【0005】

別の態様において、処理システム内で複数のスタックを処理する方法が提供されており、処理システムは、第１ガス源と、第１ガス源に接続された第１ガスマニホルドと、第１ガス源に接続された第２ガスマニホルドと、第１ガス流出口を有する第１処理ステーションであって、第１ガス流出口は、第１ガスマニホルドに接続されている、第１処理ステーションと、第２ガス流出口を有する第２処理ステーションであって、第２ガス流出口は、第２ガスマニホルドに接続されている、第２処理ステーションと、第１ガスマニホルドに沿って、第１ガス源と第１ガス流出口との間にある第１可変コンダクタンスバルブと、第２ガスマニホルドに沿って、第１ガス源と第２ガス流出口との間にある第２可変コンダクタンスバルブと、第１ガスマニホルドと第１ガス流出口との間にある第１混合マニホルドであって、第１可変コンダクタンスバルブは、第１ガス源と第１混合マニホルドとの間にある、第１混合マニホルドと、第２ガスマニホルドと第２ガス流出口との間にある第２混合マニホルドであって、第２可変コンダクタンスバルブは、第１ガス源と第２混合マニホルドとの間にある、第２混合マニホルドと、第２ガス源と、第２ガス源と第１混合マニホルドとの間に接続された第３ガスマニホルドと、第２ガス源と第２混合マニホルドとの間に接続された第４ガスマニホルドと、第３ガスマニホルドに沿って、第２ガス源と第１混合マニホルドとの間に接続された第３可変コンダクタンスバルブと、第４ガスマニホルドに沿って、第２ガス源と第２混合マニホルドとの間に接続された第４可変コンダクタンスバルブと、第１混合マニホルドと第１ガス流出口との間にある第５可変コンダクタンスバルブと、第２混合マニホルドと第２ガス流出口との間にある第６可変コンダクタンスバルブと、を備え、方法は、第１可変コンダクタンスバルブ、第２可変コンダクタンスバルブ、第３可変コンダクタンスバルブ、第４可変コンダクタンスバルブ、第５可変コンダクタンスバルブ、および、第６可変コンダクタンスバルブを調整して、第１処理ステーションと第２処理ステーションとの間の均一性を改善する工程を備える。

【0006】

添付の図面を参照しつつ行う本開示の詳細な説明において、本開示の上述の特徴およびその他の特徴を詳述する。

【図面の簡単な説明】

【0007】

添付の図面では、限定ではなく例示を目的として本開示を図示する。なお、これらの添付図面においては、同様の構成要素には同様の符号が付されている。

【0008】

【図1】一実施形態の概略図。

【0009】

【図2】一実施形態で利用できる処理チャンバを示す概略図。

【0010】

【図3】一実施形態の実施に利用できるコンピュータシステムを示す概略図。

【0011】

【図4】一実施形態のフローチャート。

【0012】

【図5A】別の実施形態の切り欠き上面図。

【0013】

【図5B】図５Ａに示した実施形態の切り欠き側面図。

【0014】

【図6】図５Ａに示した実施形態で用いられるガスシステムの概略図。

【発明を実施するための形態】

【0015】

以下では、添付図面に例示されたいくつかの好ましい実施形態を参照しつつ、本開示の詳細な説明を行う。以下の説明では、本開示の完全な理解を促すために、数多くの具体的な詳細事項が示されている。しかしながら、当業者にとって明らかなように、本開示は、これらの具体的な詳細事項の一部または全てがなくとも実施することが可能である。また、本開示が不必要に不明瞭となるのを避けるため、周知の処理工程および／または構造については、詳細な説明を省略した。

【0016】

図１は、一実施形態の概略図である。この例では、システムに、第１ガス源１０４および第２ガス源１０８が提供されている。第１ガス源１０４は、第１可変コンダクタンスバルブ１１２および第２可変コンダクタンスバルブ１１６に接続されている。可変コンダクタンスバルブは、調節可能な流れ抵抗を提供するバルブである。第２ガス源１０８は、第３可変コンダクタンスバルブ１２０および第４可変コンダクタンスバルブ１２４に接続されている。システムは、さらに、第１処理ステーション１２８および第２処理ステーション１３２を備える。第１処理ステーション１２８は、第１ガス流出口１３６を有する。第２処理ステーション１３２は、第２ガス流出口１４０を有する。第５可変コンダクタンスバルブ１４４が、第１ガス流出口１３６に接続されている。第６可変コンダクタンスバルブ１４８が、第２ガス流出口１４０に接続されている。第１混合マニホルド１５２が、第５可変コンダクタンスバルブ１４４に接続されている。第２混合マニホルド１５６が、第６可変コンダクタンスバルブ１４８に接続されている。第１マニホルド１６０が、第１可変コンダクタンスバルブ１１２と第１混合マニホルド１５２との間に接続されている。第２マニホルド１６４が、第２可変コンダクタンスバルブ１１６と第２混合マニホルド１５６との間に接続されている。第３マニホルド１６８が、第３可変コンダクタンスバルブ１２０と第１混合マニホルド１５２との間に接続されている。第４マニホルド１７２が、第４可変コンダクタンスバルブ１２４と第２混合マニホルド１５６との間に接続されている。この段落において、接続は、第１アイテムから第２アイテムへ流体が通過することを許容する流体接続である。例えば、第１混合マニホルド１５２は、第５可変コンダクタンスバルブ１４４に接続されているので、ガスなどの流体が、第１混合マニホルド１５２から第５可変コンダクタンスバルブ１４４へ通過できる。さらに、流体が、第１マニホルド１６０、第１混合マニホルド１５２、および、第５可変コンダクタンスバルブ１４４を通して、第１可変コンダクタンスバルブ１１２から第１ガス流出口１３６へ通過できるので、第１可変コンダクタンスバルブ１１２は、第１ガス流出口１３６に接続されている。

【0017】

図２は、一実施形態において第１処理ステーション１２８に利用できる処理チャンバを示す概略図である。１または複数の実施形態において、第１処理ステーション１２８は、チャンバ壁２５２に囲まれたチャンバ２４９内に、分配プレートの形態の第１ガス流出口１３６と、ウエハ支持体２０８と、を備える。チャンバ２４９内で、基板２０３が、ウエハ支持体２０８上に配置されている。エッジリング２０９が、ウエハ支持体２０８を取り囲んでいる。支持体温度コントローラ２５０が、ウエハ支持体２０８に接続されている。高周波（ＲＦ）源２３０が、上側電極にＲＦ電力を提供し、上側電極は、この実施形態においては、第１ガス流出口１３６である。例示的実施形態において、４００ｋＨｚ、１３．５６ＭＨｚ、および、任意選択的に２ＭＨｚ、２７ＭＨｚの電源が、ＲＦ源２３０を構成する。この実施形態においては、ウエハ支持体２０８が接地されている。この実施形態においては、各周波数に対して１つの発生器が提供されている。別の実施形態において、複数の発生器が、別個のＲＦ源内にあってもよいし、別個のＲＦ発生器が、異なる電極に接続されてもよい。例えば、上側電極は、異なるＲＦ源に接続された内側および外側電極を有してよい。ＲＦ源および電極の他の構成が、他の実施形態で用いられてもよい。コントローラ２３５が、ＲＦ源２３０、排気ポンプ２２０、および、ガス源２１０に制御可能に接続されている。かかるチャンバの一例は、カリフォルニア州フレモントのラムリサーチ社製のＳｔｒｉｋｅｒ（商標）酸化物システムである。

【0018】

図３は、実施形態で用いられるコントローラ２３５を実装するのに適切なコンピュータシステム３００を示すハイレベルブロック図である。コンピュータシステムは、集積回路、プリント基板、および、小型携帯デバイスから大型スーパコンピュータまで、多くの物理的形態を有してよい。コンピュータシステム３００は、１以上のプロセッサ３０２を備えており、さらに、電子ディスプレイデバイス３０４（画像、テキスト、および、その他のデータを表示するためのもの）と、メインメモリ３０６（例えば、ランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ））と、ストレージデバイス３０８（例えば、ハードディスクドライブ）と、リムーバブルストレージデバイス３１０（例えば、光学ディスクドライブ）と、ユーザインターフェースデバイス３１２（例えば、キーボード、タッチスクリーン、キーパッド、マウス、または、その他のポインティングデバイスなど）と、通信インターフェース３１４（例えば、無線ネットワークインターフェース）と、を備えてもよい。通信インターフェース３１４は、リンクを介してコンピュータシステム３００および外部デバイスの間でソフトウェアおよびデータを転送することを可能にする。システムは、さらに、上述のデバイス／モジュールが接続される通信インフラ３１６（例えば、通信バス、クロスオーバーバー、または、ネットワーク）を備えてもよい。

【0019】

通信インターフェース３１４を介して転送される情報は、電子信号、電磁信号、光信号、または、信号を搬送する通信リンクを介して通信インターフェース３１４によって受信できるその他の信号など、信号の形態であってよく、電線すなわちケーブル、光ファイバ、電話回線、携帯電話リンク、無線周波リンク、および／または、通信チャネルを用いて実施されてよい。かかる通信インターフェースを用いて、１または複数のプロセッサ３０２は、上述の方法の工程を実行する際に、ネットワークから情報を受信、または、ネットワークに情報を出力しうることが想定される。さらに、方法の実施形態は、プロセッサだけで実行されてもよいし、インターネットなどのネットワークを介して、処理の一部を分担する遠隔プロセッサと協働で実行されてもよい。

【0020】

「非一時的なコンピュータ読み取り可能媒体」という用語は、一般に、メインメモリ、二次メモリ、リムーバブルストレージ、および、ストレージデバイスなどのメディア（ハードディスク、フラッシュメモリ、ディスクドライブメモリ、ＣＤ－ＲＯＭ、および、その他の形態の持続性メモリなど）を指すために用いられ、搬送波または信号など、一時的な対象を網羅すると解釈されるべきではない。コンピュータコードの例としては、コンパイラによって生成されたコードなどのマシンコードや、インタープリタを用いてコンピュータによって実行される高級言語コードを含むファイルが挙げられる。コンピュータ読み取り可能な媒体は、搬送波で具現化されたコンピュータデータ信号によって転送されると共にプロセッサが実行可能な一連の命令を表すコンピュータコードであってもよい。

【0021】

図４は、別の実施形態で用いられる方法のハイレベルフローチャートである。複数の基板２０３が、第１処理ステーション１２８および第２処理ステーション１３２で処理される（工程４０４）。基板２０３は、テスト用のブランクウエハもしくはウエハ上にスタックおよび／またはデバイスを備えたウエハなど、テストウエハであってよい。処理された基板２０３は、ステーション間の均一性を測定して決定するために測定される（工程４０８）。第１、第２、第３、第４、第５、および、第６可変コンダクタンスバルブ１１２、１１６、１２０、１２４、１４４、および、１４８は、流量を調整してステーション間の均一性を改善するために、流れ抵抗を変更するよう調整される（工程４１２）。変更の結果をチェックするために、さらなるテストが必要とされる場合（工程４１６）、処理は、工程４０４へ戻る。そうでなければ、第１処理ステーション１２８および第２処理ステーション１３２は、生産で基板２０３を処理するために用いられる（工程４２０）。基板２０３は、ステーションをテストするのではなくデバイスを生産するために用いられる生産用ウエハであってよい。

【0022】

上記の処理チャンバ例において、第１処理ステーション１２８および第２処理ステーション１３２は、酸化シリコン（ＳｉＯ_２）の原子層蒸着に用いられる。上記の例において、第１処理ステーション１２８は、第２処理ステーション１３２とは別個の処理チャンバ内にある。上記の例において、および、その他のタイプの基板処理において、異なるステーションが共通のガス源を共有する場合のステーション間の均一性は、必ずしも達成されるわけではない。理論に縛られることなく、ガス流システムの異なる抵抗、異なる容積、異なる電力、または、異なる温度など、ステーション間の差異が、異なるステーションにおけるウエハの処理における差異を引き起こすと考えられる。異なる可変コンダクタンスバルブを用いてガス流の抵抗を変更することにより、ガス流システムにおける抵抗の差以外の処理チャンバにおける差異によって不均一性が引き起こされている場合でも、ステーション間の均一性を改善することができることが予想外にわかった。

【0023】

別の実施形態において、異なる数のステーションが、共通のガス源を共有してもよい。いくつかの実施形態において、２以上の処理ステーションが、単一のチャンバ内にあってよい。別の実施形態が、異なる数のガス源を有してもよい。例えば、一実施形態が、２以上の処理ステーションに対して単一のガス源を有してよい。別の例は、２以上の処理ステーションに対して３以上のガス源を有してもよい。

【0024】

いくつかの実施形態において、可変コンダクタンスバルブは、可変コンダクタンスバルブの抵抗を調整するよう設計されたバタフライバルブであってよい。別の実施形態において、一連の異なるサイズのオリフィスが、可変コンダクタンスバルブを提供するために抵抗を調整するのに用いられてよい。いくつかの実施形態において、可変コンダクタンスバルブは、機械的に調整されてよい。別の実施形態において、可変コンダクタンスバルブは、電子的に調整されてもよい。電子的に調整される可変コンダクタンスバルブは、コントローラ２３５によって調整されてよい。基板の処理、処理された基板の測定、コントローラ２３５による可変コンダクタンスバルブの調整、および、その後のさらなる基板の処理は、フィードバックループを提供する。第１ガス源１０４は、マスフローコントローラを有してよい。第２ガス源１０８は、マスフローコントローラを有してよい。可変コンダクタンスバルブは、マスフローコントローラが流量を提供するよう設定されるので、マスフローコントローラから分離して異なっているが、調整可能な可変コンダクタンスバルブが、調整可能な流れ抵抗を提供する。

【0025】

別の例において、単一処理ステーションが、１または複数のガス源に接続され、単一処理ステーションと１または複数のガス源との間に可変コンダクタンスバルブが設けられてもよい。この例では、単一処理ステーションが、他の単一処理ステーションとガス源を共有しない場合でも、可変コンダクタンスバルブの存在を利用して、ステーション間の均一性を改善できる。処理に対して、レシピが提供されてよい。レシピは、複数ステーションに用いられてよい。上記のステーションが別の容積を有するか、または、ヒータが正確に測定されていない場合、提供されたレシピは、別のステーションとは異なる結果を出すことになる。可変コンダクタンスバルブの調整は、差異（異なる容積または温度など）を補償するために用いられうると考えられる。かかる補償は、処理ステーションが、所与のレシピについて、その他の処理ステーションと共に、より均一な結果を提供することを可能にする。

【0026】

別の実施形態において、４つの処理ステーションが、単一の処理チャンバ内でガス源を共有してもよい。図５Ａは、４つの処理ステーションを備えた処理チャンバ５００の切り欠き上面図である。処理チャンバ５００は、チャンバ壁５０４を有する。図５Ｂは、チャンバの切り欠き側面図である。チャンバ壁５０４内では、処理チャンバ５００内の４つの処理ステーションに配置された４つの基板５０８が配置されている。各処理ステーションは、基板５０８を支持するためのペデスタル５１２と、基板５０８にガスを供給するためのガス流出口５１６と、ガス流出口５１６を可変コンダクタンスバルブおよび混合マニホルド（図示せず）に接続するマニホルド５２０と、を備える。

【0027】

図６は、図５の処理チャンバ５００に利用できるガス供給システム６００の概略図である。この例において、ガス供給システム６００は、第１ガス源６０４および第２ガス源６０８を有する。第１ガス源６０４は、この例では、４つの処理ステーション（図示せず）のための４つのガス流出口５１６の間で共有されているので、４つの可変コンダクタンスバルブ６１２と流体接続している。第２ガス源６０８は、４つの可変コンダクタンスバルブ６１６と流体接続している。４つのガス流出口５１６の各々は、図に示すように、マニホルド５２０を通して可変コンダクタンスバルブ６２０および混合マニホルド６２４に接続されている。各混合マニホルド６２４は、マニホルド６２８を通して、第１ガス源６０４と流体接続する可変コンダクタンスバルブ６１２に接続され、マニホルド６３２を通して、第２ガス源６０８と流体接続する可変コンダクタンスバルブ６１６に接続されている。

【0028】

この実施形態は、同じガス源に接続されている４つの処理ステーションについて、ステーション間の均一性の改善を可能にする。かかるシステムにおけるステーション間の不均一性は、不均一性の最も重大な原因であることがわかった。

【0029】

以上、いくつかの好ましい実施形態を参照しつつ本開示について説明したが、本開示の範囲内で、様々な代替物、変形物、置換物、および、等価物が存在する。また、本開示の方法および装置を実施する他の態様が数多く存在することにも注意されたい。したがって、添付の特許請求の範囲は、本開示の真の趣旨および範囲内に含まれる代替物、変形物、置換物、および、等価物の全てを網羅するものとして解釈される。本開示は以下の適用例を含む。
［適用例１］
基板を処理するための装置であって、
第１ガス源と、
前記第１ガス源に接続された第１ガスマニホルドと、
前記第１ガス源に接続された第２ガスマニホルドと、
第１ガス流出口を有する第１処理ステーションであって、前記第１ガス流出口は、前記第１ガスマニホルドに接続されている、第１処理ステーションと、
第２ガス流出口を有する第２処理ステーションであって、前記第２ガス流出口は、前記第２ガスマニホルドに接続されている、第２処理ステーションと、
前記第１ガスマニホルドに沿って、前記第１ガス源と前記第１ガス流出口との間にある第１可変コンダクタンスバルブと、
前記第２ガスマニホルドに沿って、前記第１ガス源と前記第２ガス流出口との間にある第２可変コンダクタンスバルブと、
を備える、装置。
［適用例２］
適用例１に記載の装置であって、さらに、
前記第１ガスマニホルドに沿って、前記第１可変コンダクタンスバルブと前記第１ガス流出口との間にある第１混合マニホルドと、
前記第２ガスマニホルドに沿って、前記第２可変コンダクタンスバルブと前記第２ガス流出口との間にある第２混合マニホルドと、
第２ガス源と、
前記第２ガス源と前記第１混合マニホルドとの間に接続された第３ガスマニホルドと、
前記第２ガス源と前記第２混合マニホルドとの間に接続された第４ガスマニホルドと、
前記第３ガスマニホルドに沿って、前記第２ガス源と前記第１混合マニホルドとの間に接続された第３可変コンダクタンスバルブと、
前記第４ガスマニホルドに沿って、前記第２ガス源と前記第２混合マニホルドとの間に接続された第４可変コンダクタンスバルブと、
前記第１混合マニホルドと前記第１ガス流出口との間にある第５可変コンダクタンスバルブと、
前記第２混合マニホルドと前記第２ガス流出口との間にある第６可変コンダクタンスバルブと、
を備える、装置。
［適用例３］
適用例２に記載の装置であって、さらに、
前記第１ガス源に接続された第５ガスマニホルドと、
前記第１ガス源に接続された第６ガスマニホルドと、
前記第２ガス源に接続された第７ガスマニホルドと、
前記第２ガス源に接続された第８ガスマニホルドと、
第３ガス流出口を有する第３処理ステーションと、
第４ガス流出口を有する第４処理ステーションと、
前記第５ガスマニホルドおよび前記第７ガスマニホルドと前記第３ガス流出口との間に接続された第３混合マニホルドと、
前記第１ガス源と前記第３混合マニホルドとの間にある第７可変コンダクタンスバルブと、
前記第２ガス源と前記第３混合マニホルドとの間にある第８可変コンダクタンスバルブと、
前記第６ガスマニホルドおよび前記第８ガスマニホルドと前記第４ガス流出口との間に接続された第４混合マニホルドと、
前記第１ガス源と前記第４混合マニホルドとの間に接続された第９可変コンダクタンスバルブと、
前記第２ガス源と前記第４混合マニホルドとの間にある第１０可変コンダクタンスバルブと、
前記第３混合マニホルドと前記第３ガス流出口との間にある第１１可変コンダクタンスバルブと、
前記第４混合マニホルドと前記第４ガス流出口との間にある第１２可変コンダクタンスバルブと、
を備える、装置。
［適用例４］
適用例３に記載の装置であって、さらに、処理チャンバを備え、 前記第１処理ステーション、前記第２処理ステーション、前記第３処理ステーション、および、前記第４処理ステーションが、前記処理チャンバ内にある、装置。
［適用例５］
適用例４に記載の装置であって、さらに、ＲＦ電力を前記処理チャンバに供給するためのＲＦ源を備える、装置。
［適用例６］
適用例１に記載の装置であって、さらに、処理チャンバを備え、
前記第１処理ステーションおよび前記第２処理ステーションが、前記処理チャンバ内にある、装置。
［適用例７］
適用例６に記載の装置であって、さらに、ＲＦ電力を前記処理チャンバに供給するためのＲＦ源を備える、装置。
［適用例８］
適用例１に記載の装置であって、前記第１および第２可変コンダクタンスバルブは、調整可能な流れ抵抗を提供する、装置。
［適用例９］
適用例８に記載の装置であって、さらに、前記第１および第２可変コンダクタンスバルブに制御可能に接続されたコントローラを備え、
前記コントローラは、前記第１および第２可変コンダクタンスバルブの流れ抵抗を調整するよう適合されている、装置。
［適用例１０］
適用例１に記載の装置であって、前記第１および第２可変コンダクタンスバルブは、バタフライバルブである、装置。
［適用例１１］
スタックを処理するための装置であって、
第１ガス源と、
前記第１ガス源に接続された第１ガスマニホルドと、
第１ガス流出口を有する第１処理ステーションであって、前記第１ガス流出口は、前記第１ガスマニホルドに接続されている、第１処理ステーションと、
前記第１ガスマニホルドに沿って、前記第１ガス源と前記第１ガス流出口との間にある第１可変コンダクタンスバルブと、
を備える、装置。
［適用例１２］
適用例１１に記載の装置であって、さらに、
処理チャンバであって、前記第１処理ステーションが前記処理チャンバ内にある、処理チャンバと、
ＲＦ電力を前記処理チャンバに供給するためのＲＦ源と、
を備える、装置。
［適用例１３］
処理システム内で複数のスタックを処理する方法であって、
前記処理システムは、第１ガス源と、前記第１ガス源に接続された第１ガスマニホルドと、前記第１ガス源に接続された第２ガスマニホルドと、第１ガス流出口を有する第１処理ステーションであって、前記第１ガス流出口は、前記第１ガスマニホルドに接続されている、第１処理ステーションと、第２ガス流出口を有する第２処理ステーションであって、前記第２ガス流出口は、前記第２ガスマニホルドに接続されている、第２処理ステーションと、前記第１ガスマニホルドに沿って、前記第１ガス源と前記第１ガス流出口との間にある第１可変コンダクタンスバルブと、前記第２ガスマニホルドに沿って、前記第１ガス源と前記第２ガス流出口との間にある第２可変コンダクタンスバルブと、前記第１ガスマニホルドに沿って、前記第１可変コンダクタンスバルブと前記第１ガス流出口との間にある第１混合マニホルドと、前記第２ガスマニホルドに沿って、前記第２可変コンダクタンスバルブと前記第２ガス流出口との間にある第２混合マニホルドと、第２ガス源と、前記第２ガス源と前記第１混合マニホルドとの間に接続された第３ガスマニホルドと、前記第２ガス源と前記第２混合マニホルドとの間に接続された第４ガスマニホルドと、前記第３ガスマニホルドに沿って、前記第２ガス源と前記第１混合マニホルドとの間に接続された第３可変コンダクタンスバルブと、前記第４ガスマニホルドに沿って、前記第２ガス源と前記第２混合マニホルドとの間に接続された第４可変コンダクタンスバルブと、前記第１混合マニホルドと前記第１ガス流出口との間にある第５可変コンダクタンスバルブと、前記第２混合マニホルドと前記第２ガス流出口との間にある第６可変コンダクタンスバルブと、を備え、
前記方法は、前記第１可変コンダクタンスバルブ、前記第２可変コンダクタンスバルブ、前記第３可変コンダクタンスバルブ、前記第４可変コンダクタンスバルブ、前記第５可変コンダクタンスバルブ、および、前記第６可変コンダクタンスバルブを調整して、前記第１処理ステーションと前記第２処理ステーションとの間の均一性を改善する工程を備える、方法。
［適用例１４］
適用例１３に記載の方法であって、さらに、
前記第１処理ステーションおよび前記第２処理ステーション内でテストウエハの基板を処理する工程と、
前記基板を測定する工程と、
前記第１処理ステーションと前記第２処理ステーションとの間で、ステーション間の均一性を決定する工程と、
を備える、方法。
［適用例１５］
適用例１４に記載の方法であって、さらに、前記第１処理ステーションおよび前記第２処理ステーション内で生産用ウエハの基板を処理する工程を備える、方法。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5A】

【図5B】

【図6】