発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明のカプセル化クリーンルームシステムは、処理室と外部空間との間に収納区画を有し、作動時に、収納区画の気圧が、処理室および外部空間の気圧よりも低圧、または高圧であることにより、処理室内への外部気体の侵入と、外部空間への処理室内の気体の漏出とを、同時に防ぐことができる。
収納区画と、処理室及び外部空間との気圧差の絶対値が、０．１Ｐａ以上１０Ｐａ以下である本発明のカプセル化クリーンルームシステムは、気圧差が大気圧（１０１，３２５Ｐａ）の１００００分の１以下と僅かであり、気圧差を維持するための装置を小型化、軽量化することができ、また、気圧差の維持に必要な気体の量、エネルギー量も少なくすることができる。

収納区画の気圧が、処理室および外部空間の気圧よりも低圧の場合は、処理室内の気体および外部気体はより低圧な収納区画へ移動することができるが、収納区画からより高圧である処理室及び外部空間へ気体は移動することができない。すなわち、収納区画が、処理室と外部空間との間の気体の移動を妨げる谷のように作用することで、処理室内への外部気体の侵入と、外部空間への処理室内の気体の漏出とを、同時に防ぐことができる。
収納区画の気圧が、処理室および外部空間の気圧よりも高圧の場合は、処理室内の気体および外部気体は、より高圧である収納区画へ移動することができない。すなわち、収納区画が、処理室と外部空間との間の気体の移動を妨げる山のように作用することで、処理室内への外部気体の侵入と、外部空間への処理室内の気体の漏出とを、同時に防ぐことができる。