特許 7412957 テープ貼着装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-01-04

(45)【発行日】2024-01-15

(54)【発明の名称】テープ貼着装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/683 20060101AFI20240105BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 N

【請求項の数】 3

(21)【出願番号】P 2019193370

(22)【出願日】2019-10-24

(65)【公開番号】P2021068817

(43)【公開日】2021-04-30

【審査請求日】2022-08-24

(73)【特許権者】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】110001014

【氏名又は名称】弁理士法人東京アルパ特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】伊藤 史哲

【審査官】内田 正和

(56)【参考文献】

【文献】特開２００９－０１０１５４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１９－１１７８３４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開昭６３－１６５２７１（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／６８３

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

帯状のシートの長手方向に円形のテープを並べて貼着した帯状のテープユニットの該シートから剥がした該テープを、リングフレームと該リングフレームの開口に配置したウェーハとに貼着し、該リングフレームと該ウェーハとを該テープで一体化させるテープ貼着装置であって、
該リングフレームを保持するリングフレーム保持部と該リングフレームの該開口内で該ウェーハを保持するウェーハ保持部とからなる保持手段と、
回転しつつ該テープユニットを送り出す送り出しユニットと、
該テープが剥がされた該シートを回転しつつ巻き取る巻き取りユニットと、
該送り出しユニットと該巻き取りユニットとの間で該シートに接触させ該シートを内側にして該テープユニットを屈曲させ該シートから該テープを剥離させるピールプレートと、
該シートから剥離した該テープを該リングフレームと該ウェーハとに押し付けながら貼着する貼着ローラと、
該ピールプレート及び該貼着ローラに対し相対的に該保持手段を水平方向に移動させる保持手段移動手段と、
該リングフレーム保持部に配置され、該貼着ローラの回転軸に対し直交する方向で、該リングフレーム保持部が保持する該リングフレームの外周より外側から該貼着ローラに向かってエアを噴射する噴射ノズルと、を備え、
該シートから剥離され垂れ落ちようとする該テープを、該噴射ノズルから噴射させたエアによって該貼着ローラの側面に押し付けながら、該保持手段移動手段によって該保持手段を移動させ該貼着ローラを転動させ該テープを該リングフレームと該ウェーハとに貼着して、該シートから剥離された該テープの最後に貼り付けられる外周部分を該噴射ノズルから噴射させたエアによって該貼着ローラの側面に押し付けながら該リングフレームに貼着する、テープ貼着装置。

【請求項2】

前記噴射ノズルは、前記リングフレーム保持部に保持される前記リングフレームの上面に沿ってエアを噴射させる請求項１記載のテープ貼着装置。

【請求項3】

前記噴射ノズルから噴射するエアの噴射角度は、前記リングフレームの上面に平行な方向を０度とし、０度から上方向に４５度の範囲内である請求項１記載のテープ貼着装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、リングフレームとウェーハとにテープを貼着するテープ貼着装置に関する。

【背景技術】

【0002】

例えば特許文献１に開示されているように、円形の開口を備えるリングフレームに円形のテープ（例えば、ダイシングテープ）を貼着して開口を塞ぎ、開口から露出したテープにウェーハを貼着し、テープでリングフレームとウェーハとを一体化させるテープ貼着装置がある。

【0003】

上記のようなテープ貼着装置においては、円形のテープを帯状の保護シートの長手方向に、等間隔で並べて貼着して一体化させたテープユニットを用いている。このテープユニットは、円形のテープを内側にしてロール状に巻筒に巻回されている。そして、このロール状のテープユニットがテープ貼着装置のシャフトに巻筒が貫装された状態で、ロールテープの外周の端からシートを把持して引き出し、シートをピールプレートに対して内側にしてピールプレートを押し当てて屈曲させつつシートからテープの端を剥がす。

【0004】

さらに、シートから剥がした円形のテープの端をリングフレームの上に位置づけ、転動するローラでテープをリングフレームに押し付け、テープの端をリングフレームに貼着し、さらに、シートを剥がしながらテープをローラで押し付けていき、ウェーハの上面とリングフレームの上面とに貼着している。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【文献】特開２０１１－０８６６８７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

上記のようにシートからテープを剥がしながら貼着する為、ピールプレートとローラとの間には隙間が有る。そして、ウェーハとリングフレームとに対するテープの貼り終わりの際に、シートから自重で落下するように離れたテープがリングフレームにテープ自体の重みで貼られ、その後、ローラがテープをリングフレームに押し付けることになる。そのため、テープは、皺が入った状態でリングフレームに貼着されたり、気泡が入って貼着されたりする。

【0007】

そのため、ウェーハに貼着したテープを拡張してウェーハを分割した際等に、リングフレームに貼着されたテープの皺が入った部分は貼着力が弱いことから、拡張されたテープが充分に拡張されていないことがあり、それによってチップ同士が接触しチップ欠けが発生するという問題や、リングフレームからテープが剥がれるという問題がある。

【0008】

したがって、テープ貼着装置においては、皺や気泡が入らないようにリングフレーム及びウェーハに円形のテープを貼着するという課題がある。

【課題を解決するための手段】

【0009】

上記課題を解決するための本発明は、帯状のシートの長手方向に円形のテープを並べて貼着した帯状のテープユニットの該シートから剥がした該テープを、リングフレームと該リングフレームの開口に配置したウェーハとに貼着し、該リングフレームと該ウェーハとを該テープで一体化させるテープ貼着装置であって、該リングフレームを保持するリングフレーム保持部と該リングフレームの該開口内で該ウェーハを保持するウェーハ保持部とからなる保持手段と、回転しつつ該テープユニットを送り出す送り出しユニットと、該テープが剥がされた該シートを回転しつつ巻き取る巻き取りユニットと、該送り出しユニットと該巻き取りユニットとの間で該シートに接触させ該シートを内側にして該テープユニットを屈曲させ該シートから該テープを剥離させるピールプレートと、該シートから剥離した該テープを該リングフレームと該ウェーハとに押し付けながら貼着する貼着ローラと、該ピールプレート及び該貼着ローラに対し相対的に該保持手段を水平方向に移動させる保持手段移動手段と、該リングフレーム保持部に配置され、該貼着ローラの回転軸に対し直交する方向で、該リングフレーム保持部が保持する該リングフレームの外周より外側から該貼着ローラに向かってエアを噴射する噴射ノズルと、を備え、該シートから剥離され垂れ落ちようとする該テープを、該噴射ノズルから噴射させたエアによって該貼着ローラの側面に押し付けながら、該保持手段移動手段によって該保持手段を移動させ該貼着ローラを転動させ該テープを該リングフレームと該ウェーハとに貼着して、該シートから剥離された該テープの最後に貼り付けられる外周部分を該噴射ノズルから噴射させたエアによって該貼着ローラの側面に押し付けながら該リングフレームに貼着する、テープ貼着装置である。

【0010】

前記噴射ノズルは、前記リングフレーム保持部に保持される前記リングフレームの上面に沿ってエアを噴射させると好ましい。

【0011】

前記噴射ノズルから噴射するエアの噴射角度は、前記リングフレームの上面に平行な方向を０度とし、０度から上方向に４５度の範囲内であると好ましい。

【発明の効果】

【0012】

本発明に係るテープ貼着装置は、貼着ローラの回転軸に対し直交する方向で、リングフレーム保持部が保持するリングフレームの外周より外側から貼着ローラに向かってエアを噴射する噴射ノズルを備えることで、シートから剥離され垂れ落ちようとするテープを、噴射ノズルから噴射させたエアによって貼着ローラの側面に押し付けながら、貼着ローラを転動させテープをリングフレームとウェーハとに貼着することができるため、皺や気泡が入らないように、リングフレームとウェーハとにテープを貼着することができる。したがって、ウェーハを分割しテープを拡張させた際に、分割された隣り合うチップ同士の接触を防止し、チップ欠けを起こさせないようにする事が可能となる。

【0013】

噴射ノズルは、リングフレーム保持部に保持されるリングフレームの上面に沿ってエアを噴射させることで、エアによって貼着ローラの側面にテープをより確実に押し付けることが可能となる。

【0014】

噴射ノズルから噴射するエアの噴射角度は、リングフレームの上面に平行な方向を０度とし、０度から上方向に４５度の範囲内であることで、エアによって貼着ローラの側面にテープをより確実に押し付けることが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【0015】

【図1】ロール状に巻回されたテープユニットの一例を示す斜視図である。

【図2】テープ貼着装置の一例を示す斜視図である。

【図3】テープ貼着装置において、リングフレームとウェーハとにテープが貼着し始められた状態を説明する側面図である。

【図4】テープ貼着装置において、リングフレームの上面に沿って噴射されたエアによって、テープが貼着ローラの側面に押し付けられつつ、リングフレームとウェーハとにテープが貼着し終えられる状態を説明する側面図である。

【図5】テープ貼着装置において、リングフレームの上面に沿って噴射されたエアによって、テープが貼着ローラの側面に押し付けられつつ、リングフレームとウェーハとにテープが貼着し終えられる状態を拡大して説明する側面図である。

【図6】テープ貼着装置において、リングフレームの上面に平行な方向を０度とし、０度から上方向に４５度の範囲内で噴射されたエアによって、テープが貼着ローラの側面に押し付けられつつ、リングフレームとウェーハとにテープが貼着し終えられる状態を拡大して説明する側面図である。

【発明を実施するための形態】

【0016】

図１に示すテープユニットＴＵは、例えばポリオレフィン系樹脂等で構成される基材Ｔ５１と該基材Ｔ５１の一方の面に形成された粘着層Ｔ５２とで構成される帯状テープＴ５と、粘着層Ｔ５２を保護する帯状の保護シートＴ１（以下、シートＴ１とする）と、が貼り合わせられた構造となっている。
本実施形態に示す帯状テープＴ５は、予め貼着対象となる円環板状のリングフレームＦ（図２参照）の開口の径に応じて円形状に複数プリカットされており、シートＴ１にウェーハＷの円形の形状に対応した円形のテープＴ２が複数、シートＴ１の長手方向（図１においてはＸ軸方向）に等間隔を空けて貼着された状態になっている。上記テープユニットＴＵは、図１に示すように円筒Ｔ３にテープＴ２を内側にしてロール状に巻回されたロールテープの状態になっている。なお、テープＴ２は、リングフレームＦの円形の開口（図２参照）の内径よりも大径で、かつリングフレームＦの外径よりも小径となっている。

【0017】

図２に示す本発明に係るテープ貼着装置１は、後述する各発明構成要素が配設され長手方向がＸ軸方向である基台１０を備えており、リングフレームＦとウェーハＷとを円形のテープＴ２で一体化させたワークセットを形成できる。

【0018】

図２に示すように、リングフレームＦは、所定の金属（例えば、ＳＵＳ等）で構成されており環状平板状となっており、ウェーハＷの外径よりも大きい内径の円形の開口を備えている。また、リングフレームＦは、例えば、その外周の一部をフラットに切欠くことで、平行に向かい合った一対の第一平坦面と、一対の第二平坦面とを備えており、一対の第一平坦面及び一対の第二平坦面は、リングフレームＦの位置決めに使用される。

【0019】

ウェーハＷは、例えば、シリコン母材等からなる円形の半導体ウェーハであり、図２において下方を向いているウェーハＷの表面Ｗａ（下面Ｗａ）は、格子状に区画された領域に複数のデバイスが形成されており、図示しない保護テープが貼着されて保護されている。ウェーハＷの裏面Ｗｂ（上面Ｗｂ）は、テープＴ２が貼着される面となる。なお、ウェーハＷはシリコン以外にガリウムヒ素、サファイア、窒化ガリウム、セラミックス、樹脂、又はシリコンカーバイド等で構成されていてもよいし、矩形のパッケージ基板等であってもよい。

【0020】

テープ貼着装置１の基台１０の上面は水平面となっており、基台１０の後方側（＋Ｘ方向側）の上方には、回転しつつテープユニットＴＵを送り出す送り出しユニット８０が配設されている。送り出しユニット８０は、図１に示すロール状となっているテープユニットＴＵの円筒Ｔ３に軸方向が水平面においてＸ軸方向に直交するＹ軸方向である回転シャフトを挿通させた状態で、テープユニットＴＵを回転可能に支持している。該回転シャフトが回転することに伴って、ロール状のテープユニットＴＵが回転し、テープユニットＴＵが帯状となってピールプレート１５に向かって送り出される。なお、ピールプレート１５と送り出しユニット８０との間には、テープユニットＴＵの弛み等を防止する図示しない挟み込みローラ等が配設されている。

【0021】

送り出しユニット８０の下方後方となる位置には、テープＴ２が剥がされたシートＴ１を回転しつつ巻き取る巻き取りユニット８２が配設されており、送り出しユニット８０の前方斜め下方となる位置には、送り出しユニット８０と巻き取りユニット８２との間でシートＴ１に接触させシートＴ１を内側にしてテープユニットＴＵを屈曲させシートＴ１からテープＴ２を剥離させるピールプレート１５が配設されている。

【0022】

ピールプレート１５は、例えば、Ｙ軸方向から見た場合に側面視三角形状となる斜板であり、シートＴ１の幅（Ｙ軸方向長さ）以上の長さでＹ軸方向に延在している。ピールプレート１５の先端側は、テープユニットＴＵを傷つけないようにＲ状に丸まっていてもよい。図３、４に示すように、ピールプレート１５が、その先端側でシートＴ１を押圧して鋭角に屈曲させることにより、シートＴ１からテープＴ２を剥離することができる。

【0023】

例えば、図５に示すように、ピールプレート１５は、シートＴ１から剥離したテープＴ２をリングフレームＦとウェーハＷとに押し付けながら貼着する貼着ローラ３０に対向して、斜め上方に延在するプレート基台１６０上にプレート可動部材１６１を介して配設されている。プレート可動部材１６１は、図示しないボールねじ機構等によってプレート基台１６０を斜め上下方向に往復移動可能となっており、これによってピールプレート１５のテープユニットＴＵに対する適切な位置づけが可能となっている。なお、図２～図４においては、ピールプレート１５を可動させるプレート基台１６０及びプレート可動部材１６１は省略して示している。

【0024】

図２に示すように、ピールプレート１５によってテープＴ２が剥離されたシートＴ１は、ピールプレート１５の後方（＋Ｘ方向）に送られる。そして、モータ等の回転駆動源によりＹ軸方向の回転軸を軸に回転する巻き取りユニット８２によって、シートＴ１はロール状に巻き取られる。巻き取りユニット８２の該回転駆動源は、例えば、トルク制御でロール状のテープユニットＴＵからのシートＴ１の引き出し速度を制御する。なお、巻き取りユニット８２とピールプレート１５との間には、シート支持ローラ８２０が配設されており、シート支持ローラ８２０によって、テープＴ２が剥離されたシートＴ１が弛まないようにされている。

【0025】

図２に示すように、テープ貼着装置１は、リングフレームＦを保持するリングフレーム保持部２０とリングフレームＦの開口内でウェーハＷを保持するウェーハ保持部２１とからなる保持手段２と、シートＴ１から剥離したテープＴ２をリングフレームＦとウェーハＷとに押し付けながら貼着する貼着ローラ３０と、を備えている。

【0026】

図２、３に示すリングフレーム保持部２０は、例えば、平面視正方形状に形成されており、その中央に形成された凹部２００内にウェーハ保持部２１を収容している。リングフレーム保持部２０の上面２０ａは、平坦面であるリングフレーム保持面となる。リングフレーム保持部２０の上面２０ａには、開口を有し凹状の例えば４つの図示しない吸盤収容部が設けられている。これら４つの図示しない吸盤収容部には、それぞれリングフレームＦを吸着可能な吸盤２５（図２のみ図示）が配設されている。吸盤２５は、例えば、変形可能なゴム等の弾性材を平面視円形状に形成したものである。各吸盤２５は、真空発生装置等の図示しない吸引源に連通している。
なお、リングフレーム保持部２０の外形や構造等は、本実施形態に限定されるものではない。

【0027】

リングフレーム保持部２０の上面２０ａには、リングフレームＦを上面２０ａ上で位置決め（センタリング）するための、固定ピン等からなる第１の固定位置決め部２３、および、第１の固定位置決め部２３に向かい合い上面２０ａに平行な方向で第１の固定位置決め部２３に接近および離間する可動ピン等からなる第１の可動位置決め部２４が配置されている。さらに、上面２０ａには、第２の固定位置決め部２６、および、第２の固定位置決め部２６に向かい合い上面２０ａに平行な方向で第２の固定位置決め部２６に接近および離間する可動ピン等からなる第２の可動位置決め部２７が配置されている。
例えば、第１の固定位置決め部２３と第１の可動位置決め部２４とが向かい合う方向と、第２の固定位置決め部２６と第２の可動位置決め部２７とが向かい合う方向とは、水平面内において互いに略直交している。

【0028】

本実施形態においては、第１の固定位置決め部２３および第１の可動位置決め部２４と、第２の固定位置決め部２６および第２の可動位置決め部２７との少なくともいずれか一方が、リングフレームＦの外周における一対の第一の平坦面及び一対の第二の平坦面の少なくともいずれか一方を挟んで、リングフレームＦを、リングフレーム保持部２０の上面２０ａ上で目標位置に位置決め（センタリング）する。その後、各吸盤２５でリングフレームＦが吸引保持される。

【0029】

図３に詳しく示すウェーハ保持部２１は、例えば、その外形が円形状であり、ポーラス部材等からなりウェーハＷを吸着する吸着部２１０と、縦断面が凹形状となっており吸着部２１０を支持する枠体２１１とを備える。枠体２１１の凹部にはめ込まれた状態の吸着部２１０は、図示しない吸引源に連通している。吸着部２１０の上面であり平坦面である保持面２１０ａに吸引源が生み出す吸引力が伝達されることで、ウェーハ保持部２１は保持面２１０ａ上でウェーハＷを吸引保持する。

【0030】

例えば、リングフレーム保持部２０の上面２０ａの高さは、ウェーハＷをウェーハ保持部２１の保持面２１０ａで保持し、リングフレーム保持部２０の上面２０ａでリングフレームＦを保持した場合に、リングフレームＦの上面とウェーハＷの上面Ｗｂとが略同一の高さになるように設定されている。

【0031】

図２、３に示すように、基台１０上には、ウェーハ保持部２１及びリングフレーム保持部２０をＸ軸方向に往復移動させる保持手段移動手段１３が配設されている。保持手段移動手段１３は、Ｘ軸方向の軸心を有するボールネジ１３０と、ボールネジ１３０と平行に配設されたガイドレール１３１と、ボールネジ１３０に連結しボールネジ１３０を回動させるモータ１３２と、を備え、リングフレーム保持部２０は、その下面側に備える図示しないナットがボールネジ１３０に螺合している。そして、モータ１３２がボールネジ１３０を回動させると、これに伴いウェーハ保持部２１及びリングフレーム保持部２０がガイドレール１３１にガイドされてＸ軸方向に往復移動する。

【0032】

図２に示すように、リングフレーム保持部２０の移動経路の上方の位置で、かつ、貼着位置まで下降したピールプレート１５の先端近傍となる位置には、貼着ローラ３０が配設されている。貼着ローラ３０は、例えば、リングフレーム保持部２０のＹ軸方向の幅以上の長さを備え、図示しないローラフレーム及びローラ回転軸３２（以下、回転軸３２とする）によって回転可能に支持されている。そして、貼着ローラ３０は、リングフレーム保持部２０をＹ軸方向に横断しており、ローラ上下動手段３１（図５参照）によって、上下方向に移動可能となっている。

【0033】

図２、３に示すように、テープ貼着装置１は、軸方向がＹ軸方向である貼着ローラ３０の回転軸３２に対し水平面内において直交するＸ軸方向で、リングフレーム保持部２０が保持するリングフレームＦの外周より外側から貼着ローラ３０に向かってエアを噴射する噴射ノズル３５を備えている。

【0034】

例えば、リングフレーム保持部２０の＋Ｘ方向側の側面の中央には、ノズル設置台３６が水平方向に張り出すように配設されており、ノズル設置台３６に噴射ノズル３５が固定されている。
噴射ノズル３５は、例えば、側面視Ｌ字状の外形をしており、その噴射口３５０が図２、３に示す例においては、－Ｘ方向側を向いており、噴射口３５０から噴射されるエアは、リングフレーム保持部２０に保持されるリングフレームＦの上面に沿って－Ｘ方向側に流れていく。図３に示すように、噴射ノズル３５には、コンプレッサー等で構成され圧縮エアを供給可能なエア供給源３５９が連通している。
例えば、噴射ノズル３５の噴射口３５０は、テープＴ２の最後に貼り付けられることになる外周部分を貼着ローラ３０の側面に押し付けることができればよいため、貼着ローラ３０の側面の長手方向（Ｙ軸方向）の少なくとも中央の領域に対向していればよい。なお、噴射ノズル３５は、第１の固定位置決め部２３の後方（＋Ｘ方向側）に位置している。噴射ノズル３５が噴射したエアは、第１の固定位置決め部２３の２本の位置決め固定ピンの間を抜けて行くことができるため、噴射されたエアの流れは第１の固定位置決め部２３によって妨げられることはない。

【0035】

例えば、図６に示す貼着ローラ３０を通過した位置まで－Ｘ方向に移動した状態の保持手段２の上方となる位置には、ウェーハＷ及びリングフレームＦに貼着されたテープＴ２の除電を行うためのイオナイザー６が配設されている。イオナイザー６は、例えば、ノズルタイプのパルスＡＣ方式のものであるが、これに限定されない。図２、３に示すように、イオナイザー６は、例えば、保持手段２に保持されたリングフレームＦに貼着されたテープＴ２とＺ軸方向において噴射口６０ａが対向するように配設されたイオン化ノズル６０と、イオン化ノズル６０に連通するエア源６１とを備えている。
図２に示す例においては、イオン化ノズル６０は、保持手段２を横断する長さでＹ軸方向に延在しており、下方を通過するテープＴ２の外周縁から中心を挟んで反対側の外周縁までイオン化エアを噴き付けられるようになっているが、これに限定されるものではない。

【0036】

以下に、図２に示すテープ貼着装置１の動作例について説明する。
まず、ウェーハＷが保持手段２のウェーハ保持部２１に互いの中心を略合わせて載置されるとともに、リングフレームＦがリングフレーム保持部２０に載置される。続いて、図示しない吸引源が作動し、ウェーハ保持部２１の保持面２１０ａでウェーハＷが吸引保持され、リングフレーム保持部２０の保持面である上面２０ａでリングフレームＦが吸引保持される。

【0037】

また、送り出しユニット８０が回転しつつテープユニットＴＵをピールプレート１５に向かって送り出していく。

【0038】

この状態で、保持手段移動手段１３が保持手段２を例えば－Ｘ方向に移動させることで、リングフレームＦを保持するリングフレーム保持部２０が貼着ローラ３０の直下に近づけられていく。その後、ローラ上下動手段３１（図２には不図示）により、貼着ローラ３０が下降して、貼着ローラ３０が、テープＴ２をリングフレーム保持部２０で保持されたリングフレームＦに貼着する際の高さ位置に位置づけられる。

【0039】

また、ピールプレート１５が下降してテープ剥離位置に位置することで、例えば、ピールプレート１５の先端部と貼着ローラ３０の外周側面との隙間をテープユニットＴＵが通過している状態になる。なお、該隙間は、テープユニットＴＵがぎりぎり通過できるだけの小さな隙間である。そのため、ピールプレート１５は、先端がリングフレーム保持部２０に保持されたリングフレームＦの上面より上になるように配置されている。リングフレームＦの上面とピールプレート１５の先端との距離は、貼着ローラ３０の半径以内である。
なお、図３、４のようにピールプレート１５を水平に近い角度で配置すると、上記の距離を小さくすることができる。しかし、テープ貼着装置１がＸ軸方向に大きくなるという問題が有る。対して、図５、６のようにピールプレート１５を垂直に近い角度に配置すると、上記の距離が大きくなる。そのため、本発明のように、後述するエアを噴射させテープＴ２を貼着ローラ３０に押し付ける機構がより有効活用される。また、ピールプレート１５を垂直に近い角度に配置することにより、テープ貼着装置１のＸ軸方向の距離を小さくできる。そして、ピールプレート１５の先端部がテープユニットＴＵのシートＴ１に接触・押圧して、シートＴ１を内側にしてテープユニットＴＵを屈曲させ鋭角に形成する。そうすると、テープユニットＴＵからテープＴ２が剥離され、貼着ローラ３０の下方にテープＴ２が送り込まれる。

【0040】

図３に示すように、送り出しユニット８０によってテープユニットＴＵがピールプレート１５に対して送られつつ、貼着ローラ３０が所定の回転速度で回転し、さらに、図３に示すように、保持手段移動手段１３によってリングフレーム保持部２０及びウェーハ保持部２１が－Ｘ方向に送り出されていくことで、貼着ローラ３０によって、リングフレーム保持部２０に保持されたリングフレームＦの一方側からテープＴ２が押し付けられる。
また、巻き取りユニット８２はテープＴ２が剥離されたシートＴ１を巻き取っていく。

【0041】

そして、貼着ローラ３０でテープＴ２をリングフレームＦ及びウェーハＷに押し付けながら、図４、５に示すように、保持手段２を貼着ローラ３０を通過し終える所定の位置に至るまで－Ｘ方向に移動させると、ウェーハＷとリングフレームＦとに一枚のテープＴ２を貼着することができ、ウェーハＷとリングフレームＦとをテープＴ２で一体化させたワークセットを作成できる。

【0042】

ここで、本発明に係るテープ貼着装置１においては、図５に示すように、最後までシートＴ１に貼着されているテープＴ２の外周部分が、シートＴ１から剥離されテープＴ２の自重によってリングフレームＦの上面に垂れ落ちようとするのを、噴射ノズル３５から噴射するエアによって防止する。即ち、図５に示すように、エア供給源３５９から噴射ノズル３５に対して圧縮エアが供給され、噴射口３５０から噴射されたエアが、リングフレーム保持部２０が保持するリングフレームＦの外周より外側から貼着ローラ３０に向かっていく。その際、該エアは、例えば、リングフレーム保持部２０に保持されるリングフレームＦの上面に沿って流れていき、テープＴ２の下面側（糊層側）に当たり、さらに、シートＴ１から剥離され垂れ落ちようとするテープＴ２を下側から支えるように上昇していく。即ち、該エアによってテープＴ２が貼着ローラ３０の側面に沿うように押し付けられつつ、ウェーハＷとリングフレームＦとに一枚のテープＴ２を貼着する。その結果、皺や気泡が入らないように、リングフレームＦとウェーハＷとにテープＴ２を貼着することができる。したがって、後にウェーハＷを分割しテープＴ２を拡張させた際に、分割された隣り合うチップ同士の接触を防止し、チップ欠けを起こさせないようにする事が可能となる。

【0043】

例えば、図６に示すように、最後までシートＴ１に貼着されているテープＴ２の外周部分が、シートＴ１から剥離されリングフレームＦの上面に垂れ落ちようとするのを、図５に示す噴射ノズル３５の別形態である噴射ノズル３７から噴射するエアによって防止するものとしてもよい。

【0044】

図６に示す噴射ノズル３７は、例えば、リングフレーム保持部２０と一体的に形成されており、リングフレーム保持部２０の側面に開口するエア導入口３７０と、リングフレーム保持部２０の上面で第１の固定位置決め部２３の後方の領域において開口するエア噴射口３７１とを備えている。そして、エア導入口３７０には、エア供給源３５９が連通している。リングフレーム保持部２０のエア噴射口３７１の近傍には、エア噴射口３７１から真上に噴射されるエアを、保持手段２側の斜め上方に向かうようにガイドするＲ状に形成されたガイド部２０５が形成されている。エア噴射口３７１から真上に噴出したエアは、ガイド部２０５のＲ状（Ｒ面）に沿ってエアの流れる方向が変えられ、ガイド部２０５の上面に平行に流れることにより、リングフレーム保持部２０に保持されたリングフレームＦの上面を流れ、貼着ローラ３０に向かう。さらに、ガイド部２０５の斜め上方の位置には、噴射ノズル３７から噴射されガイド部２０５でガイドされたエアの流れを一定に整えるための整流板３７５が配設されている。

【0045】

図６に示すように、エア供給源３５９から噴射ノズル３７に対して圧縮エアが供給され、エア噴射口３７１から噴射されたエアは、リングフレーム保持部２０が保持するリングフレームＦの外周より外側から貼着ローラ３０に向かっていく。ここで、該エアの噴射角度は、例えば、整流板３７５の角度を調整することで、リングフレームＦの上面に平行な方向を０度とし、図６においては０度から上方向（紙面手前側から見て時計回り方向）に４５度の範囲内となる。そして、エアは、テープＴ２の下面側に当たり、さらに、シートＴ１から剥離され垂れ落ちようとするテープＴ２を下方から支えるように上昇していく。即ち、該エアによってテープＴ２が貼着ローラ３０の側面に沿うように押し付けられつつ、ウェーハＷとリングフレームＦとに一枚のテープＴ２が貼着されていく。その結果、皺や気泡が入らないように、リングフレームＦとウェーハＷとにテープＴ２を貼着することができる。したがって、後にウェーハＷを分割しテープＴ２を拡張させた際に、分割された隣り合うチップ同士の接触を防止し、チップ欠けを起こさせないようにする事が可能となる。なお、例えば、噴射ノズル３７から噴射されたエアが、シートＴ１から剥離され未だ貼着されていないテープＴ２に対して直交するように当たると、テープＴ２は貼着ローラ３０に弛みを持った状態で沿ってしまうが、エアの噴射角度が０度から上方向に４５度の範囲内にあるとこのような弛みが発生してしまうのを防ぐことができる。

【0046】

図５に示す噴射ノズル３５、又は図６に示す噴射ノズル３７によるエア噴射を行いつつ、例えば、ウェーハＷとリングフレームＦとにテープＴ２が貼着されてワークセットが作成された後に、例えば、図５に示すエア源６１からイオン化ノズル６０に対してエアが供給され、イオン化ノズル６０から概略同じ量の（＋）に帯電したイオン化エアと、（－）に帯電したイオン化エアとが、イオン化ノズル６０の下方を通過するワークセットのテープＴ２に噴き付けられて、シートＴ１からの剥離によって帯電したテープＴ２の除電が行われる。その後、ワークセットとしてリングフレームＦを介したハンドリングが可能となったウェーハＷは、図示しない搬送手段によって例えばダイシング装置等に移送されてダイシング等が行われる。

【0047】

本発明に係るテープ貼着装置１は本実施形態に限定されるものではなく、また、添付図面に図示されているテープ貼着装置１の構成の形状等についても、これに限定されず、本発明の効果を発揮できる範囲内で適宜変更可能である。

【符号の説明】

【0048】

ＴＵ：テープユニット Ｔ１：シート Ｔ２：円形のテープ Ｔ３：円筒
Ｗ：ウェーハ Ｆ：リングフレーム
１：テープ貼着装置 １０：基台
８０：送り出しユニット ８２：巻き取りユニット ８２０：シート支持ローラ
１５：ピールプレート １６０：プレート基台 １６１：プレート可動部材
２：保持手段 ２０：リングフレーム保持部 ２１：ウェーハ保持部 ２１０ａ：保持面２５：吸盤
２３：第１の固定位置決め部 ２４：第１の可動位置決め部 ２６：第２の固定位置決め部 ２７：第２の可動位置決め部
１３：保持手段移動手段 １３０：ボールネジ １３２：モータ
３０：貼着ローラ ３１：ローラ上下動手段 ３２：ローラ回転軸
３５：噴射ノズル ３６：ノズル設置台 ３５９：エア供給源
６：イオナイザー ６０：イオン化ノズル ６１：エア源
３７：噴射ノズル ３７０：エア導入口 ３７１：エア噴射口
２０５：ガイド部 ３７５：整流板

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】