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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2024-01-04
(45)【発行日】2024-01-15
(54)【発明の名称】ウエットエッチング方法
(51)【国際特許分類】
H01L 21/306 20060101AFI20240105BHJP
【ＦＩ】
H01L21/306 J
【請求項の数】
3
(21)【出願番号】P 2020037701
(22)【出願日】2020-03-05
(65)【公開番号】P2021141195
(43)【公開日】2021-09-16
【審査請求日】2023-01-13
(73)【特許権者】
【識別番号】000134051
【氏名又は名称】株式会社ディスコ
(74)【代理人】
【識別番号】110001014
【氏名又は名称】弁理士法人東京アルパ特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】松崎 栄
【審査官】小▲高▼ 孔頌
(56)【参考文献】
【文献】特開２００２－３２９７０５（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００３－０９３９８４（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００６－２７８６０６（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１１－１１９３２８（ＪＰ，Ａ）
【文献】特表２００７－５２９１０６（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｈ０１Ｌ ２１／３０６
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
エッチング液を用いてウェーハの上面をエッチングするウエットエッチング方法であって、表面張力によってウェーハの上面に該エッチング液を溜めるエッチング液供給工程と、
ウェーハの上面に溜められた該エッチング液に先端を着液したノズルに連通し、ウェーハの上面に溜められた該エッチング液を吸引可能なエッチング液吸引ポンプを用いて、表面張力によってウェーハの上面に溜められた該エッチング液を吸い取ることと、吸い取った該エッチング液を該エッチング液吸引ポンプからウェーハの上面に戻すこととを繰り返しウェーハの上面で該エッチング液の流れを生じさせウェーハの上面をエッチングするエッチング工程と、
該エッチング工程後、ウェーハの上面を洗浄する洗浄工程と、
を含むウエットエッチング方法。
【請求項2】
該洗浄工程は、表面張力によってウェーハの上面に洗浄液を溜める洗浄液供給工程と、
ウェーハの上面に溜められた該洗浄液に先端を着液したノズルに連通し、ウェーハの上面に溜められた該洗浄液を吸引可能な洗浄液吸引ポンプを用いて、表面張力によってウェーハの上面に溜められた該洗浄液を吸い取ることと、吸い取った該洗浄液を該洗浄液吸引ポンプからウェーハの上面に戻すこととを繰り返しウェーハの上面で該洗浄液の流れを生じさせる、
請求項１記載のウエットエッチング方法。
【請求項3】
該洗浄工程の後に、ウェーハ上面に形成したマスクを除去するマスク除去工程を含み、該マスク除去工程は、
表面張力によってウェーハの上面にマスク除去液を溜めるマスク除去液供給工程と、
ウェーハの上面に溜められた該マスク除去液に先端を着液したノズルに連通し、ウェーハの上面に溜められた該マスク除去液を吸引可能なマスク除去液吸引ポンプを用いて、表面張力によってウェーハの上面に溜められた該マスク除去液を吸い取ることと、吸い取った該マスク除去液を該マスク除去液吸引ポンプからウェーハの上面に戻すこととを繰り返しウェーハの上面で該マスク除去液の流れを生じさせる、
請求項１記載のウエットエッチング方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、ウエットエッチング方法に関する。
【背景技術】
【0002】
特許文献１～３には、シリコンウェーハの上面にエッチング液を溜めてウェーハの上面をウエットエッチングするウエットエッチング方法が開示されている。
かかるウエットエッチング方法を用いたウエットエッチング後には、ウェーハを洗浄するためにウェーハをテーブルに保持して、テーブルに保持されたウェーハの中心上方から洗浄液を供給しつつ、ウェーハの中心を軸にウェーハを回転させて、洗浄液をウェーハの中心から外周にむけて流すことにより、ウェーハの上面に付着しているエッチング液を除去している。
かかるウエットエッチング方法を用いたウエットエッチング後には、ウェーハを洗浄するためにウェーハをテーブルに保持して、テーブルに保持されたウェーハの中心上方から洗浄液を供給しつつ、ウェーハの中心を軸にウェーハを回転させて、洗浄液をウェーハの中心から外周にむけて流すことにより、ウェーハの上面に付着しているエッチング液を除去している。
【0003】
ウェーハの上面にエッチング液を溜めてエッチングする事によりエッチング液の節約と、ウェーハ毎のエッチング速度を均一にする事とを可能としている。このように、回転するウェーハの上面に洗浄液を供給すると、ウェーハの上面に供給された洗浄液が飛散する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【文献】特開１９９０－０８６１３０号公報
【文献】特開１９９４－２６５８６９号公報
【文献】特開２０１７－０２８２５７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
上記のエッチング方法を用いたエッチングではエッチング速度が遅い。従って、ウエットエッチング方法には、エッチング速度を速くするという課題がある。
また、ウエットエッチング方法には、洗浄液の飛散を抑制するという課題もある。
また、ウエットエッチング方法には、洗浄液の飛散を抑制するという課題もある。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本発明は、エッチング液を用いてウェーハの上面をエッチングするウエットエッチング方法であって、表面張力によってウェーハの上面にエッチング液を溜めるエッチング液供給工程と、ウェーハの上面に溜められた該エッチング液に先端を着液したノズルに連通し、ウェーハの上面に溜められた該エッチング液を吸引可能なエッチング液吸引ポンプを用いて、表面張力によってウェーハの上面に溜められた該エッチング液を吸い取ることと、吸い取った該エッチング液を該エッチング液吸引ポンプからウェーハの上面に戻すことと、を繰り返しウェーハの上面で該エッチング液の流れを生じさせウェーハの上面をエッチングするエッチング工程と、該エッチング工程後、ウェーハの上面を洗浄する洗浄工程と、を含むウエットエッチング方法である。
上記のウエットエッチング方法に備える該洗浄工程は、表面張力によってウェーハの上面に該洗浄液を溜める洗浄液供給工程と、ウェーハの上面に溜められた該洗浄液に先端を着液したノズルに連通し、ウェーハの上面に溜められた該洗浄液を吸引可能な洗浄液吸引ポンプを用いて、表面張力によってウェーハの上面に溜められた該洗浄液を吸い取ることと、吸い取った該洗浄液を該洗浄液吸引ポンプからウェーハの上面に戻すこととを繰り返しウェーハの上面で該洗浄液の流れを生じさせる、工程であることが望ましい。
上記のウエットエッチング方法に備える該洗浄工程の後に、ウェーハ上面に形成したマスクを除去するマスク除去工程を含み、該マスク除去工程は、表面張力によってウェーハの上面にマスク除去液を溜めるマスク除去液供給工程と、ウェーハの上面に溜められた該マスク除去液に先端を着液したノズルに連通し、ウェーハの上面に溜められた該マスク除去液を吸引可能なマスク除去液吸引ポンプを用いて、表面張力によってウェーハの上面に溜められた該マスク除去液を吸い取ることと、該吸い取ったマスク除去液を該マスク除去液吸引ポンプからウェーハの上面に戻すこととを繰り返しウェーハの上面で該マスク除去液の流れを生じさせる、工程であることが望ましい。
上記のウエットエッチング方法に備える該洗浄工程は、表面張力によってウェーハの上面に該洗浄液を溜める洗浄液供給工程と、ウェーハの上面に溜められた該洗浄液に先端を着液したノズルに連通し、ウェーハの上面に溜められた該洗浄液を吸引可能な洗浄液吸引ポンプを用いて、表面張力によってウェーハの上面に溜められた該洗浄液を吸い取ることと、吸い取った該洗浄液を該洗浄液吸引ポンプからウェーハの上面に戻すこととを繰り返しウェーハの上面で該洗浄液の流れを生じさせる、工程であることが望ましい。
上記のウエットエッチング方法に備える該洗浄工程の後に、ウェーハ上面に形成したマスクを除去するマスク除去工程を含み、該マスク除去工程は、表面張力によってウェーハの上面にマスク除去液を溜めるマスク除去液供給工程と、ウェーハの上面に溜められた該マスク除去液に先端を着液したノズルに連通し、ウェーハの上面に溜められた該マスク除去液を吸引可能なマスク除去液吸引ポンプを用いて、表面張力によってウェーハの上面に溜められた該マスク除去液を吸い取ることと、該吸い取ったマスク除去液を該マスク除去液吸引ポンプからウェーハの上面に戻すこととを繰り返しウェーハの上面で該マスク除去液の流れを生じさせる、工程であることが望ましい。
【発明の効果】
【0007】
ウェーハのエッチング時に、エッチング液吸引ポンプを用いてウェーハの上面に溜められたエッチング液を吸い取ったり、吸い取られたエッチング液をウェーハの上面に再度供給したりすることにより、エッチング速度を速めることができる。また、エッチング液が飛散するのを抑制することができる。さらには、エッチング液の省薬化が図られる。
ウェーハの洗浄時に、洗浄液吸引ポンプを用いて洗浄液の吸引と供給とを繰り返し行って、洗浄速度を速めてウェーハの洗浄にかかる時間を短縮できる。また、洗浄液が飛散するのを抑制することができる。さらには、洗浄液を省薬できる。
ウェーハのマスク除去時に、マスク除去液吸引ポンプを用いてマスク除去液の吸引と供給とを繰り返し行って、マスク除去速度を速めてウェーハのマスク除去にかかる時間を短縮できる。また、マスク除去液が飛散するのを抑制することができる。さらには、第２液を省薬できる。
ウェーハの洗浄時に、洗浄液吸引ポンプを用いて洗浄液の吸引と供給とを繰り返し行って、洗浄速度を速めてウェーハの洗浄にかかる時間を短縮できる。また、洗浄液が飛散するのを抑制することができる。さらには、洗浄液を省薬できる。
ウェーハのマスク除去時に、マスク除去液吸引ポンプを用いてマスク除去液の吸引と供給とを繰り返し行って、マスク除去速度を速めてウェーハのマスク除去にかかる時間を短縮できる。また、マスク除去液が飛散するのを抑制することができる。さらには、第２液を省薬できる。
【図面の簡単な説明】
【0008】
【図1】準備工程の様子を表す断面図である。
【図2】ウェーハ支持具の斜視図である。
【図3】ウェーハ支持具がエッチング液用ボトルに装着されている様子を表す斜視図である。
【図4】エッチング液供給工程を表す断面図である。
【図5】エッチング工程を表す断面図である。
【図6】洗浄工程を表す断面図である。
【図7】第１液をウェーハの上面に供給し、供給された第１液をウェーハの上面からの吸引する様子を表す断面図である。
【図8】第２液のウェーハの上面への供給と、ウェーハの上面からの吸引とを繰り返す様子を表す断面図である。
【図9】ウェーハを乾燥させる様子を表す断面図である。
【図10】ウェーハ支持具が乾燥装置に固定されている様子を表す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【0009】
１ 準備工程
ウェーハ１１のウエットエッチング方法について以下に説明する。まず、図１に示すように、ウェーハ１１をウェーハ支持具３に載置する。
ウェーハ１１のウエットエッチング方法について以下に説明する。まず、図１に示すように、ウェーハ１１をウェーハ支持具３に載置する。
【0010】
ここで、ウェーハ支持具３について説明する。図２に示すウェーハ支持具３は、ウェーハ１１が支持される支持具である。
ウェーハ支持具３は、ウェーハ１１を支持する本体部３０を備えている。本体部３０は、ウェーハ１１が載置されるベース部３４を備えている。ベース部３４は、環状の内枠部３４０と、内枠部３４０の外側に配設された環状の外枠部３４２とを備えている。外枠部３４２は内枠部３４０よりも大径に形成されており、内枠部３４０の環の中心と外枠部３４２の環の中心とは一致しているものとする。
内枠部３４０と外枠部３４２とは、内枠部３４０と外枠部３４２との間に配設された複数の連結部３４１によって連結されている。内枠部３４０、外枠部３４２、及び連結部３４１で囲われた領域は、孔部３４３となっている。
ウェーハ支持具３は、ウェーハ１１を支持する本体部３０を備えている。本体部３０は、ウェーハ１１が載置されるベース部３４を備えている。ベース部３４は、環状の内枠部３４０と、内枠部３４０の外側に配設された環状の外枠部３４２とを備えている。外枠部３４２は内枠部３４０よりも大径に形成されており、内枠部３４０の環の中心と外枠部３４２の環の中心とは一致しているものとする。
内枠部３４０と外枠部３４２とは、内枠部３４０と外枠部３４２との間に配設された複数の連結部３４１によって連結されている。内枠部３４０、外枠部３４２、及び連結部３４１で囲われた領域は、孔部３４３となっている。
【0011】
ベース部３４の外枠部３４２の上面には、複数の支柱３５が等間隔を空けて立設されている。本実施形態では、外枠部３４２の上面に６本の支柱３５が立設されている。支柱３５の上には、外枠部３４２と同径に形成された環状部材であるリング部３３が支持されている。
【0012】
リング部３３の側面には、リング部３３の外側に向けて放射状に延ばされた複数の足３１が連結されている。足３１のリング部３３に連結されていない側の端部には、留め具３２が連結されている。
【0013】
２ エッチング液供給工程
準備工程にてウェーハ支持具３のベース部３４にウェーハ１１を載置した後、図３に示すように、ウェーハ１１が支持されているウェーハ支持具３をエッチング液用ボトル９１に装着する。
準備工程にてウェーハ支持具３のベース部３４にウェーハ１１を載置した後、図３に示すように、ウェーハ１１が支持されているウェーハ支持具３をエッチング液用ボトル９１に装着する。
【0014】
ここで、エッチング液用ボトル９１は、ウェーハ支持具３の複数の留め具３２によって描かれる円の外径よりも僅かに小さな外径の開口９１１を備えている。
エッチング液用ボトル９１の開口９１１の略中央部分にウェーハ支持具３の本体部３０を載置することにより、足３１がエッチング液用ボトル９１の上面９１０に接触し、足３１及び留め具３１２がエッチング液用ボトル９１の外周縁に係合する。これにより、ウェーハ支持具３がエッチング液用ボトル９１に装着される。
エッチング液用ボトル９１の開口９１１の略中央部分にウェーハ支持具３の本体部３０を載置することにより、足３１がエッチング液用ボトル９１の上面９１０に接触し、足３１及び留め具３１２がエッチング液用ボトル９１の外周縁に係合する。これにより、ウェーハ支持具３がエッチング液用ボトル９１に装着される。
【0015】
エッチング液用ボトル９１にウェーハ支持具３を装着した後、ウェーハ１１の上面１１０にエッチング液４００を供給する。
エッチング液４００をウェーハ１１の上面１１０に供給する際には、まず、図４に示すように、エッチング液供給源４１にエッチング液ノズル４０を接続する。そして、エッチング液供給源４１に接続されたエッチング液ノズル４０をウェーハ１１の上方に位置づける。
エッチング液４００をウェーハ１１の上面１１０に供給する際には、まず、図４に示すように、エッチング液供給源４１にエッチング液ノズル４０を接続する。そして、エッチング液供給源４１に接続されたエッチング液ノズル４０をウェーハ１１の上方に位置づける。
【0016】
ここで、エッチング液供給源４１には、エッチング液４００が蓄えられている。
エッチング液ノズル４０がウェーハ１１の上方に位置づけられている状態で、エッチング液供給源４１からエッチング液４００を供給する。これにより、エッチング液４００がウェーハ１１の上面１１０に供給され、ウェーハ１１の上面１１０に働く表面張力によって、ウェーハ１１の上面１１０にエッチング液４００が溜められていく。
所定量のエッチング液４００がウェーハ１１の上面１１０に溜められると、エッチング液ノズル４０の先端４３がエッチング液４００に着液される。
エッチング液ノズル４０がウェーハ１１の上方に位置づけられている状態で、エッチング液供給源４１からエッチング液４００を供給する。これにより、エッチング液４００がウェーハ１１の上面１１０に供給され、ウェーハ１１の上面１１０に働く表面張力によって、ウェーハ１１の上面１１０にエッチング液４００が溜められていく。
所定量のエッチング液４００がウェーハ１１の上面１１０に溜められると、エッチング液ノズル４０の先端４３がエッチング液４００に着液される。
【0017】
このとき、ウェーハ１１の上面１１０に供給されたエッチング液４００のうち、ウェーハ１１の上面１１０から溢れ落ちたものは、エッチング液用ボトル９１の内部に回収される。
【0018】
３ エッチング工程
ウェーハ１１の上面１１０にエッチング液４００を供給した後、図５に示すエッチング液吸引ポンプ４２を用いて、エッチング液４００をウェーハ１１の上面１１０から吸い取る。
ウェーハ１１の上面１１０にエッチング液４００を供給した後、図５に示すエッチング液吸引ポンプ４２を用いて、エッチング液４００をウェーハ１１の上面１１０から吸い取る。
【0019】
【0020】
そして、エッチング液ノズル４０にエッチング液吸引ポンプ４２が接続されている状態で、エッチング液吸引ポンプ４２を用いて、ウェーハ１１の上面１１０に溜められているエッチング液４００を吸い取る。
【0021】
ここで、エッチング液吸引ポンプ４２は、例えばシリンダ４２１と、シリンダ４２１の内部に配設されたピストン４２２とを備えるエアシリンダ機構であり、ピストン４２２は、図示しない吸引源に接続されている。また、シリンダ４２１の下面及び側面並びにピストン４２２の下面により形成される空間は、エッチング液４００を収容可能な収容室４１０となっている。
【0022】
ウェーハ１１の上面１１０に溜められているエッチング液４００を吸い取る際には、該吸引源を用いてピストン４２２の上面を吸引する。すると、ピストン４２２の上面が＋Ｚ方向へと引き上げられて、収容室４１０の内部の圧力が陰圧になり、収容室４１０に吸引力が生み出されるとともに、生み出された吸引力がエッチング液ノズル４０に伝達される。これにより、ウェーハ１１の上面１１０に堆積されているエッチング液４００がエッチング液ノズル４０から吸い込まれていき、収容室４１０へと収容される。
【0023】
次に、エッチング液吸引ポンプ４２を用いて、エッチング液吸引ポンプ４２の収容室４１０に吸い取られたエッチング液４００をウェーハ１１の上面１１０に戻す。
具体的には、該吸引源を停止させてピストン４２２に作用していた吸引力を取り除く。すると、例えばピストン４２２が自重によって－Ｚ方向に降下していき、収容室４１０に収容されているエッチング液４００がピストン４２２から押圧荷重を受けて収容室４１０から押し出され、エッチング液ノズル４０を通ってウェーハ１１の上面１１０に戻される。
具体的には、該吸引源を停止させてピストン４２２に作用していた吸引力を取り除く。すると、例えばピストン４２２が自重によって－Ｚ方向に降下していき、収容室４１０に収容されているエッチング液４００がピストン４２２から押圧荷重を受けて収容室４１０から押し出され、エッチング液ノズル４０を通ってウェーハ１１の上面１１０に戻される。
【0024】
以上のように、エッチング液吸引ポンプ４２を用いて、ウェーハ１１の上面１１０に溜められたエッチング液４００を吸い取ることと、吸い取ったエッチング液４００をウェーハ１１の上面１１０に戻すこととを繰り返す。これにより、ウェーハ１１の上面１１０上においてエッチング液４００の流れが生じ、上面１１０がエッチングされる。
【0025】
なお、ウェーハ１１の上面１１０に溜められたエッチング液４００の吸い取りと、吸い取ったエッチング液４００のウェーハ１１の上面１１０への送り出しとを繰り返し行うと、エッチング液４００に不純物が混入してエッチング液４００が汚染されることがある。従って、エッチング液４００の吸い取りと送り出しとを所定の回数繰り返したら、エッチング液４００を新しいものに入れ換えてから再開する。
なお、所定の回数を繰り返していないエッチング液４００は、収容室４１０に収容させて次のエッチングが開始されるまで待機して、次のエッチングで使用するようにしてもよい。
なお、所定の回数を繰り返していないエッチング液４００は、収容室４１０に収容させて次のエッチングが開始されるまで待機して、次のエッチングで使用するようにしてもよい。
【0026】
４ 洗浄工程
ウェーハ１１の上面１１０をエッチングした後、ウェーハ１１の上面１１０の洗浄を行う。そこで、まず、ウェーハ支持具３をエッチング液用ボトル９１から取り外して、図６に示すように、洗浄液用ボトル９２に装着する。
ウェーハ１１の上面１１０をエッチングした後、ウェーハ１１の上面１１０の洗浄を行う。そこで、まず、ウェーハ支持具３をエッチング液用ボトル９１から取り外して、図６に示すように、洗浄液用ボトル９２に装着する。
【0027】
ここで、洗浄液用ボトル９２はエッチング液用ボトル９１と同様に構成されている。洗浄液用ボトル９２は、開口９２１を有している。
【0028】
ウェーハ支持具３を洗浄液用ボトル９２に装着した後、エッチング液ノズル４０をウェーハ１１の上方から離間させてから、洗浄液供給工程を行う。洗浄液供給工程においては、図示しない洗浄液源からウェーハ１１の上面１１０に洗浄液５００を供給して、ウェーハ１１の上面１１０に洗浄液５００を溜める。
【0029】
該洗浄液源からウェーハ１１の上面１１０に供給された洗浄液５００のうち、ウェーハ１１の上面１１０から溢れ落ちたものは、洗浄液用ボトル９２の内部に回収される。
【0030】
次に、図６に示すように、洗浄液吸引ポンプ５２に接続された洗浄液ノズル５０をウェーハ１１の上方に位置づけて、洗浄液ノズル５０の先端５３がウェーハ１１の上面１１０に供給された洗浄液５００に着液された状態にする。
【0031】
ここで、洗浄液ノズル５０及び洗浄液吸引ポンプ５２は、エッチング液ノズル４０及びエッチング液吸引ポンプ４２と同様に構成されている。
洗浄液吸引ポンプ５２は、例えばシリンダ５２１と、シリンダ５２１の内部に配設されたピストン５２２とを備えるエアシリンダ機構であり、ピストン５２２は、図示しない吸引源に接続されている。また、シリンダ５２１の下面、及び側面、並びにピストン５２２の下面により形成される空間は、洗浄液５００を収容可能な収容室５１０となっている。
洗浄液吸引ポンプ５２は、例えばシリンダ５２１と、シリンダ５２１の内部に配設されたピストン５２２とを備えるエアシリンダ機構であり、ピストン５２２は、図示しない吸引源に接続されている。また、シリンダ５２１の下面、及び側面、並びにピストン５２２の下面により形成される空間は、洗浄液５００を収容可能な収容室５１０となっている。
【0032】
洗浄液吸引ポンプ５２に接続された洗浄液ノズル５０がウェーハ１１の上方に位置づけられており、ウェーハ１１の上面１１０に溜められた洗浄液５００に洗浄液ノズル５０の先端５３が着液されている状態で、洗浄液吸引ポンプ５２を用いてウェーハ１１の上面１１０に溜められている洗浄液５００を吸い取る。
【0033】
具体的には、ピストン５２２に接続されている図示しない吸引源を用いてピストン５２２の上面を吸引して、ピストン５２２の上面を＋Ｚ方向へと引き上げる。すると、収容室５１０の内部の圧力が陰圧になり、収容室５１０に吸引力が生み出されるとともに、生み出された吸引力が洗浄液ノズル５０に伝達される。これにより、ウェーハ１１の上面１１０に堆積されている洗浄液５００が洗浄液ノズル５０から吸い込まれて、収容室５１０へと収容される。
【0034】
次に、洗浄液吸引ポンプ５２を用いて、洗浄液吸引ポンプ５２の収容室５１０に吸い取られた洗浄液５００をウェーハ１１の上面１１０に戻す。
【0035】
具体的には、該吸引源を停止させてピストン５２２に作用していた吸引力を取り除く。すると、例えばピストン５２２が自重によって－Ｚ方向に降下していき、収容室５１０に収容されている洗浄液５００がピストン５２２から押圧荷重を受けて収容室５１０から押し出され、洗浄液ノズル５０を通ってウェーハ１１の上面１１０に戻される。
【0036】
このように、洗浄液吸引ポンプ５２を用いて、ウェーハ１１の上面１１０に溜められた洗浄液５００を吸い取ることと、吸い取った洗浄液５００をウェーハ１１の上面１１０に戻すこととを繰り返す。これにより、ウェーハ１１の上面１１０上において洗浄液５００の流れが生じ、上面１１０が洗浄される。
【0037】
なお、ウェーハ１１の上面１１０に洗浄液５００を供給する際には、図示しない洗浄液供給源を洗浄液ノズル５０に接続して、該洗浄液供給源からウェーハ１１の上面１１０に洗浄液５００を供給するという構成にかえて、洗浄液吸引ポンプ５２の収容室５１０に予め適量の洗浄液５００を収容しておき、その洗浄液５００をウェーハ１１の上面１１０に供給するという構成でもよい。
なお、洗浄液５００は、ウェーハ１１毎に新しい洗浄液５００に交換する。よって、洗浄を行っていないときの収容室５１０は、新しい洗浄液５００を適量収容しておくか、空にしておく。
なお、洗浄液５００は、ウェーハ１１毎に新しい洗浄液５００に交換する。よって、洗浄を行っていないときの収容室５１０は、新しい洗浄液５００を適量収容しておくか、空にしておく。
【0038】
５ マスク除去工程
ウェーハ１１の上面１１０の洗浄を行った後、ウェーハ１１の上面１１０に形成されているマスクの除去を行う。
まず、ウェーハ支持具３を洗浄液用ボトル９２から取り外して、図７に示すように、マスク除去液用ボトル９３に装着する。
ウェーハ１１の上面１１０の洗浄を行った後、ウェーハ１１の上面１１０に形成されているマスクの除去を行う。
まず、ウェーハ支持具３を洗浄液用ボトル９２から取り外して、図７に示すように、マスク除去液用ボトル９３に装着する。
【0039】
ここで、マスク除去液用ボトル９３はエッチング液用ボトル９１と同様に構成されている。マスク除去液用ボトル９３は、開口９３１を有している。
【0040】
ウェーハ支持具３をマスク除去液用ボトル９３に装着した後、図示しない第１液源からウェーハ１１の上面１１０に第１液６０１を供給する。第１液６０１はアルコール系のマスク除去液である。
ウェーハ１１の上面１１０に第１液６０１を供給すると、ウェーハ１１の上面１１０に働く表面張力により、ウェーハ１１の上面１１０に第１液６０１が溜められる。
ウェーハ１１の上面１１０に第１液６０１を供給すると、ウェーハ１１の上面１１０に働く表面張力により、ウェーハ１１の上面１１０に第１液６０１が溜められる。
【0041】
なお、ウェーハ１１の上面１１０に供給された第１液６０１のうち、ウェーハ１１の外周縁から溢れ落ちたものは、マスク除去液用ボトル９３の内部に回収される。
【0042】
ウェーハ１１の上面１１０に第１液６０１を供給した後、第１液ノズル６１５をウェーハ１１の上方に位置づける。
【0043】
ここで、第１液ノズル６１５には、第１液吸引ポンプ６１が接続されている。
第１液ノズル６１５及び第１液吸引ポンプ６１は、エッチング液ノズル４０及びエッチング液吸引ポンプ４２と同様に構成されている。第１液吸引ポンプ６１は、例えばシリンダ６１１と、シリンダ６１１の内部に配設されたピストン６１２とを備えるエアシリンダ機構であり、ピストン６１２は、図示しない吸引源に接続されている。
第１液ノズル６１５及び第１液吸引ポンプ６１は、エッチング液ノズル４０及びエッチング液吸引ポンプ４２と同様に構成されている。第１液吸引ポンプ６１は、例えばシリンダ６１１と、シリンダ６１１の内部に配設されたピストン６１２とを備えるエアシリンダ機構であり、ピストン６１２は、図示しない吸引源に接続されている。
【0044】
ウェーハ１１の上面１１０に第１液６０１が供給されている状態で、第１液ノズル６１５をウェーハ１１の上方に位置づけることにより、第１液ノズル６１５の先端６１６が、ウェーハ１１の上面１１０に供給された第１液６０１に着液される。
【0045】
次に、第１液吸引ポンプ６１を用いてウェーハ１１の上面１１０に溜められている第１液６０１を吸い取る。
【0046】
具体的には、ピストン６１２に接続されている図示しない吸引源を用いてピストン６１２の上面を吸引し、ピストン６１２の上面を＋Ｚ方向へと引き上げる。すると、収容室６１０の内部の圧力が陰圧になり、収容室６１０に吸引力が生み出されるとともに、生み出された吸引力が第１液ノズル６１５に伝達される。これにより、ウェーハ１１の上面１１０に堆積されている第１液６０１が第１液ノズル６１５から吸い込まれて、収容室６１０へと収容される。
【0047】
第１液６０１をウェーハ１１の上面１１０に供給し、そして、吸引除去することにより、ウェーハ１１の上面１１０の水分が取り除かれる。
【0048】
次に、ウェーハ１１の上方から第１液ノズル６１５を離間させる。そして、図示しない第２液源から第２液６０２をウェーハ１１の上面１１０に供給する。第２液６０２は、マスク除去液の一種であり、例えばアセトンとする。
ウェーハ１１の上面１１０に第２液６０２を供給すると、ウェーハ１１の上面１１０に働く表面張力により、ウェーハ１１の上面１１０に第２液６０２が溜められる。
ウェーハ１１の上面１１０に第２液６０２を供給すると、ウェーハ１１の上面１１０に働く表面張力により、ウェーハ１１の上面１１０に第２液６０２が溜められる。
【0049】
なお、ウェーハ１１の上面１１０に供給された第２液６０２のうち、ウェーハ１１の上面１１０から溢れ落ちたものは、マスク除去液用ボトル９３の内部に回収される。
【0050】
ウェーハ１１の上面１１０に第２液６０２を供給した後、ウェーハ１１の上方に第２液ノズル６２５を位置付ける。
【0051】
ここで、第２液ノズル６２５には、第２液吸引ポンプ６２が接続されている。第２液ノズル６２５及び第２液吸引ポンプ６２は、エッチング液ノズル４０及びエッチング液吸引ポンプ４２と同様に構成されている。第２液吸引ポンプ６２は、例えばシリンダ６２１と、シリンダ６２１の内部に配設されたピストン６２２とを備えるエアシリンダ機構であり、ピストン６２２は、図示しない吸引源に接続されている。
【0052】
ウェーハ１１の上面１１０に第２液６０２が溜められている状態で、第２液ノズル６２５をウェーハ１１の上方に位置づけることにより、第２液ノズル６２５の先端６２６が、ウェーハ１１の上面１１０に供給された第２液６０２に着液される。
【0053】
次に、第２液吸引ポンプ６２を用いてウェーハ１１の上面１１０に溜められている第２液６０２を吸い取る。
具体的には、ピストン６２２に接続されている図示しない吸引源を用いてピストン６２２の上面を吸引し、ピストン６２２の上面を＋Ｚ方向へと引き上げる。すると、収容室６２０の内部の圧力が陰圧になり、収容室６２０に吸引力が生み出されるとともに、生み出された吸引力が第２液ノズル６２５に伝達される。これにより、ウェーハ１１の上面１１０に堆積されている第２液６０２が第２液ノズル６２５から吸い込まれて、収容室６２０へと収容される。
具体的には、ピストン６２２に接続されている図示しない吸引源を用いてピストン６２２の上面を吸引し、ピストン６２２の上面を＋Ｚ方向へと引き上げる。すると、収容室６２０の内部の圧力が陰圧になり、収容室６２０に吸引力が生み出されるとともに、生み出された吸引力が第２液ノズル６２５に伝達される。これにより、ウェーハ１１の上面１１０に堆積されている第２液６０２が第２液ノズル６２５から吸い込まれて、収容室６２０へと収容される。
【0054】
さらに、該吸引源を停止させてピストン６２２に作用していた吸引力を取り除く。これにより、ピストン６２２が自重によって－Ｚ方向に降下していき、収容室６２０に収容されている第２液６０２がピストン６２２から押圧荷重を受けて収容室６２０から押し出される。こうして、収容室６２０に収容されていた第２液６０２が第２液ノズル６２５を通ってウェーハ１１の上面１１０に戻される。
【0055】
第２液吸引ポンプ６２を用いて、上記の第２液６０２の供給と吸い取りとを繰り返し行うことにより、ウェーハ１１の上面１１０上において第２液６０２の流れが生じ、上面１１０に形成されているマスクが除去される。
【0056】
なお、ウェーハ１１の上面１１０に溜められた第２液６０２の吸い取りと、吸い取った第２液６０２のウェーハ１１の上面１１０への送り出しとを繰り返し行うと、第２液６０２に不純物が混入して汚染されることがある。従って、第２液６０２の吸い取りと送り出しとを所定の回数繰り返したら、第２液６０２を新しいものに入れ換えてから第２液６０２の吸い取りと送り出しとを再開する。
なお、所定の回数を繰り返していない第２液６０２は、収容室６２０に収容させて次のマスク除去が開始されるまで待機して、次のマスク除去で使用するようにしてもよい。
なお、所定の回数を繰り返していない第２液６０２は、収容室６２０に収容させて次のマスク除去が開始されるまで待機して、次のマスク除去で使用するようにしてもよい。
【0057】
６ 乾燥工程
最後に、図９に示す乾燥装置８を用いてウェーハ１１の乾燥を行う。
最後に、図９に示す乾燥装置８を用いてウェーハ１１の乾燥を行う。
【0058】
乾燥装置８は、保持テーブル８０と、保持テーブル８０を回転させる回転手段８７と、保持テーブル８０と回転手段８７とを連結する連結部材８６とを備えている。
【0059】
保持テーブル８０は、吸引部８２と、吸引部８２を支持する枠体８１とを備えている。枠体８１は、図２に示したウェーハ支持具３の内枠部３４０よりも小径に形成されている。吸引部８２の上面は、ウェーハ１１を保持する保持面８２０であり、保持面８２０は、枠体８１の上面８１０と面一に形成されている。また、吸引部８２は、図示しない吸引源に接続されている。
【0060】
保持テーブル８０は、環状の底板８４に囲繞されている。保持面８２０及び枠体８１の上面８１０は、底板８４の上面８４０よりも高い高さ位置に配置されている。
【0061】
図１０に示すように、底板８４の上面には、複数の支持柱対８５が立設されている。支持柱対８５は、２本の支持柱８５０から形成されている。２本の支持柱８５０の間には、ウェーハ支持具３の足３１を挟むことができる。
【0062】
ウェーハ１１の乾燥を行う際には、まず、ウェーハ支持具３を図８に示したマスク除去液用ボトル９３から取り外す。
そして、図９に示すように、ウェーハ１１を支持している状態のウェーハ支持具３を保持テーブル８０の上に配置する。これにより、保持テーブル８０がウェーハ支持具３の内枠部３４０を貫通して、ウェーハ１１が保持面８２０に支持されるとともに、ウェーハ支持具３の本体部３０の下面が底板８４の上面８４０に支持される。
このとき、図１０に示すように、ウェーハ支持具３の足３１を２本の支持柱８５０の間に挟み入れてウェーハ支持具３を固定する。
そして、図９に示すように、ウェーハ１１を支持している状態のウェーハ支持具３を保持テーブル８０の上に配置する。これにより、保持テーブル８０がウェーハ支持具３の内枠部３４０を貫通して、ウェーハ１１が保持面８２０に支持されるとともに、ウェーハ支持具３の本体部３０の下面が底板８４の上面８４０に支持される。
このとき、図１０に示すように、ウェーハ支持具３の足３１を２本の支持柱８５０の間に挟み入れてウェーハ支持具３を固定する。
【0063】
ウェーハ１１が保持面８２０に載置されている状態で、保持テーブル８０の吸引部８２に接続されている図示しない吸引手段を作動させて、吸引部８２に載置されているウェーハ１１を吸引する。これにより、吸引部８２の保持面８２０に載置されているウェーハ１１が保持面８２０に吸引保持される。
【0064】
かかる状態で回転手段８７を用いて保持テーブル８０を回転させる。これにより、保持面８２０に保持されているウェーハ１１が回転して、ウェーハ１１の上面１１０に残存している液体（例えば、第１液６０１、及び第２液６０２）が気化し、ウェーハ１１の上面１１０が乾燥される。
【0065】
以上のように、ウェーハ１１のエッチング時には、エッチング液吸引ポンプ４２を用いてウェーハ１１の上面１１０に溜められたエッチング液４００を吸い取ったり、吸い取られたエッチング液４００をウェーハ１１の上面１１０に再度供給したりすることにより、エッチング速度を速めることができる。また、エッチング液４００が飛散するのを抑制することができる。さらには、エッチング液４００の省薬化が図られる。
ウェーハ１１の洗浄時には、洗浄液吸引ポンプ５２を用いて洗浄液５００の吸引と供給とを繰り返し行って、洗浄速度を速めてウェーハ１１の洗浄にかかる時間を短縮できる。また、洗浄液５００が飛散するのを抑制することができる。さらには、洗浄液５００を省薬できる。
ウェーハ１１のマスク除去時には、第２液吸引ポンプ６２を用いて第２液６０２の吸引と供給とを繰り返し行って、マスク除去速度を速めてウェーハ１１のマスク除去にかかる時間を短縮できる。また、第２液６０２が飛散するのを抑制することができる。さらには、第２液６０２を省薬できる。
ウェーハ１１の洗浄時には、洗浄液吸引ポンプ５２を用いて洗浄液５００の吸引と供給とを繰り返し行って、洗浄速度を速めてウェーハ１１の洗浄にかかる時間を短縮できる。また、洗浄液５００が飛散するのを抑制することができる。さらには、洗浄液５００を省薬できる。
ウェーハ１１のマスク除去時には、第２液吸引ポンプ６２を用いて第２液６０２の吸引と供給とを繰り返し行って、マスク除去速度を速めてウェーハ１１のマスク除去にかかる時間を短縮できる。また、第２液６０２が飛散するのを抑制することができる。さらには、第２液６０２を省薬できる。
【0066】
そして、エッチング液４００等の薬液がウェーハ１１の上面１１０から飛散するのが抑制されると、ウェーハ支持具３やエッチング液用ボトル９１等に薬液飛散防止用のカバーを設けることを要さず、装置のコンパクト化が図られる。
【符号の説明】
【0067】
１１：ウェーハ １１０ ：上面
３：ウェーハ支持具 ３０：本体部 ３１：足 ３２：留め具 ３３：リング部
３４：ベース部 ３５：支柱 ３４０：内枠部３４１：連結部 ３４２：外枠部
３４３：孔部 ４０：エッチング液ノズル ４００：エッチング液
４１：エッチング液供給源 ４２：エッチング液吸引ポンプ
４１０：収容室 ４２１：シリンダ ４２２：ピストン ４３：先端
５０：洗浄液ノズル ５００：洗浄液 ５２：洗浄液吸引ポンプ
５１０：収容室 ５２１：シリンダ ５２２：ピストン ５３：先端
６１：第１液吸引ポンプ ６０１：第１液 ６０２：第２液
６１０：収容室 ６１１：シリンダ ６１２：ピストン
６１５：第１液ノズル ６１６：先端 ６２０：収容室
６２：第２液吸引ポンプ ６２１：シリンダ
６２２：ピストン ６２５：第２液ノズル ６２６：先端
８：乾燥装置 ８０：保持テーブル ８１：枠体 ８１０：上面
８２：吸引部 ８２０：保持面 ８４：底板 ８４０：上面
８５：支持柱対 ８５０：支持柱 ８６：連結部材 ８７：回転手段
９１：エッチング液用ボトル ９１０：上面 ９１１：開口
９２：洗浄液用ボトル ９２１：開口
９３：マスク除去液用ボトル ９３１：開口
３：ウェーハ支持具 ３０：本体部 ３１：足 ３２：留め具 ３３：リング部
３４：ベース部 ３５：支柱 ３４０：内枠部３４１：連結部 ３４２：外枠部
３４３：孔部 ４０：エッチング液ノズル ４００：エッチング液
４１：エッチング液供給源 ４２：エッチング液吸引ポンプ
４１０：収容室 ４２１：シリンダ ４２２：ピストン ４３：先端
５０：洗浄液ノズル ５００：洗浄液 ５２：洗浄液吸引ポンプ
５１０：収容室 ５２１：シリンダ ５２２：ピストン ５３：先端
６１：第１液吸引ポンプ ６０１：第１液 ６０２：第２液
６１０：収容室 ６１１：シリンダ ６１２：ピストン
６１５：第１液ノズル ６１６：先端 ６２０：収容室
６２：第２液吸引ポンプ ６２１：シリンダ
６２２：ピストン ６２５：第２液ノズル ６２６：先端
８：乾燥装置 ８０：保持テーブル ８１：枠体 ８１０：上面
８２：吸引部 ８２０：保持面 ８４：底板 ８４０：上面
８５：支持柱対 ８５０：支持柱 ８６：連結部材 ８７：回転手段
９１：エッチング液用ボトル ９１０：上面 ９１１：開口
９２：洗浄液用ボトル ９２１：開口
９３：マスク除去液用ボトル ９３１：開口
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
