発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋

以上にしてなる本願発明に係る反射型Ｘ線光学素子は、反射部の反射面に沿った光軸方向である子午線方向に直交する方向の端部に連続して設けられ、子午線方向に延びる把持部を備えるので、当該把持部を支持することにより、反射部（反射面）を精度よく安定した姿勢に、容易かつ確実に保持することができる。したがって、集光素子の場合には集光性能を向上させることができる。また、アライメント自体も当該把持部を動かすことで高精度に行うことが可能となる。

特に、前記把持部が、反射部の端部から子午線方向に沿った一方向にのみ延設され、略Ｌ字状に構成されたものでは、効率的な構造となり、たとえばＫＢミラー光学系のように複数の素子を組み合わせた光学系を構築する場合にも、素子の設置に関する自由度が向上し、光学系全体の設計の自由度も向上して装置の小型化も容易となる。

本発明は、前記反射面の子午線方向に沿ったミラー長が１０ｍｍ以下の小型のＸ線光学素子に特に効果的である。すなわち、本発明はこのような小型の光学素子であっても把持部を備えることで反射部（反射面）を精度よく安定した姿勢に、容易かつ確実に保持可能としたものである。

具体的には、前記反射面が子午線方向に部分楕円形状をもつＸ線集光用の反射面である、いわゆる楕円形集光ミラーに好適である。

また、この部分楕円形状をもつＸ線光学素子を２つ設け、第１のＸ線光学素子を、把持部から反射部が縦方向に延び、反射面がＸ線の入射する前後方向（光軸方向）に対して横方向を向くように設置し、第２のＸ線光学素子を、把持部を第１のＸ線光学素子の把持部と側方に並べ、反射部は第１のＸ線光学素子がある側の横方向に延び、反射面が縦方向を向くように設置し、第１のＸ線光学素子の前記反射面によりＸ線を水平方向に集光し、且つ第２のＸ線光学素子の前記反射面によりＸ線を鉛直方向に集光し、これによりＫＢミラー光学系を成す、反射型Ｘ線光学素子を用いたＸ線集光システムでは、互いに並んだ双方のＸ線光学素子の把持部を支持することで各光学素子の反射部（反射面）を精度よく安定した姿勢に容易かつ確実に保持でき、優れた集光性能を有するＫＢミラー光学系を提供することができる。

また、本発明の反射型Ｘ線光学素子の製造方法として、前記反射部および前記把持部を、一つの平凹シリンドリカルレンズから切り出して形成し、前記平凹シリンドリカルレンズの凹レンズ面より前記反射面を形成することとしたので、凹凸レンズ面形状を利用して部分楕円形状の反射面を効率よく作製できるとともに、当該反射部と把持部とを同一素材で連続した一体品として提供することができるので、環境変化によるアライメント誤差も生じにくく、かつ把持部を支持することで反射部の反射面をより安定的に精度よく保持することができる。

特に、前記切り出し後の凹レンズ面に薄膜を成長させて子午線方向に部分楕円形状をもつＸ線集光用の前記反射面を形成する方法では、前記凹レンズ面を利用して効率よく成膜することができるが、当該成膜の際、把持部を支持することで成膜する反射部を安定保持し、より精度良く反射面を形成することができる。