特許 7418913 治具及び装着方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-01-12

(45)【発行日】2024-01-22

(54)【発明の名称】治具及び装着方法

(51)【国際特許分類】

   B24B 45/00 20060101AFI20240115BHJP

   H01L 21/304 20060101ALI20240115BHJP

【ＦＩ】

B24B45/00 A

H01L21/304 631

H01L21/304 621B

【請求項の数】 3

(21)【出願番号】P 2020001193

(22)【出願日】2020-01-08

(65)【公開番号】P2021109262

(43)【公開日】2021-08-02

【審査請求日】2022-11-25

(73)【特許権者】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】100075384

【弁理士】

【氏名又は名称】松本 昂

(74)【代理人】

【識別番号】100172281

【弁理士】

【氏名又は名称】岡本 知広

(74)【代理人】

【識別番号】100206553

【弁理士】

【氏名又は名称】笠原 崇廣

(74)【代理人】

【識別番号】100189773

【弁理士】

【氏名又は名称】岡本 英哲

(74)【代理人】

【識別番号】100184055

【弁理士】

【氏名又は名称】岡野 貴之

(72)【発明者】

【氏名】和田 健太郎

(72)【発明者】

【氏名】力石 利康

(72)【発明者】

【氏名】服部 真人

【審査官】須中 栄治

(56)【参考文献】

【文献】特開２００８－２０７２７７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１９－１７７４４４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１１－１２１１２８（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許第０４９９８３８４（ＵＳ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ２４Ｂ３／００－７／３０

Ｂ２４Ｂ２１／００－５１／００

Ｂ２４Ｄ３／００－９９／００

Ｂ２３Ｂ３１／００－３３／００

Ｂ２３Ｑ３／００－３／１８

Ｂ２３Ｑ５／００－５／５８

Ｈ０１Ｌ２１／３０４；２１／４６３

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

被加工物を研削又は研磨するための工具が装着される円盤状のマウントと、該マウントに連結され該マウントを回転させるためのスピンドルと、を含む加工ユニットの該マウントに該工具を装着するとき、又は、該マウントから該工具を取り外すときに用いられる治具であって、
該工具を下方から支持する板状の支持部と、
該支持部の外周部に設けられ、該マウントに掛止される複数の掛止部と、
該複数の掛止部の各々に設けられる仮止め用ネジと、を備え、
該仮止め用ネジは、該工具が該支持部に支持された状態で、該マウントに形成されている貫通穴を介して、該工具の基台に形成されている螺合穴に螺合可能であることを特徴とする治具。

【請求項2】

該支持部は、該支持部の平坦な上面よりも上方に突出し、該工具の研削砥石又はパッド部が該支持部の該上面に接触しない態様で該基台を支持する突起部を更に有することを特徴とする請求項１記載の治具。

【請求項3】

被加工物を研削又は研磨するための工具が装着される円盤状のマウントに治具を使用して該工具を装着する装着方法であって、
該工具を下方から支持する板状の支持部と、該支持部の外周部に設けられた複数の掛止部と、を有する該治具の該複数の掛止部を該マウントに掛止して、該支持部及び該工具を該マウントの直下に位置付ける工具配置ステップと、
該工具配置ステップの後、該複数の掛止部の各々に設けられる仮止め用ネジを、該マウントに設けられた貫通穴を介して、該工具の基台に設けられた螺合穴に螺合し、該基台を該マウントに密着させる工具密着ステップと、
該工具密着ステップの後、該仮止め用ネジが螺合されていない螺合穴に固定用ネジを螺合し、該工具を該マウントに固定する第１の工具固定ステップと、
該第１の工具固定ステップの後、該仮止め用ネジを外し、該治具を該マウントから取り外す治具取り外しステップと、
該治具取り外しステップの後、該仮止め用ネジが取り外された螺合穴に、固定用ネジを螺合する第２の工具固定ステップと、を備えることを特徴とする装着方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、被加工物を研削又は研磨するための工具を加工ユニットのマウントに装着するとき又は工具をマウントから取り外すときに用いられる治具、及び、治具を使用してマウントに工具を装着する装着方法に関する。

【背景技術】

【0002】

半導体チップを製造する工程においては、通常、研削・研磨装置を用いて複数のデバイスが表面側に形成された半導体ウェーハの裏面側を研削及び研磨する。具体的には、研削・研磨装置の粗研削ユニット及び仕上げ研削ユニットを用いて半導体ウェーハの裏面側を順次研削した後、研削・研磨装置の研磨ユニットを用いて研削後の裏面側を研磨する(例えば、特許文献１参照)。

【0003】

粗研削ユニット、仕上げ研削ユニット及び研磨ユニットの各々は、鉛直方向に略平行に配置された円柱状のスピンドルを備える。各スピンドルの下端部には、円盤状のマウントが固定されている。

【0004】

各マウントの外周部には、通常、マウントの厚さ方向に貫通する複数の貫通穴が形成されている。各マウントの下面には、粗研削ホイール、仕上げ研削ホイール、研磨パッド等の工具が取り付けられる。マウントの下面と向き合う各工具の一面側には、ボルトがそれぞれ螺合する複数の螺合穴が形成されている。

【0005】

工具をマウントに取り付ける際には、例えば、作業者が手で工具を支持した状態で、貫通穴と螺合穴とが重なる様にマウントと工具との位置を調整した後、貫通穴を介して螺合穴にボルトを固定する。これにより、工具はマウントに装着される。また、工具をマウントから取り外す場合には、作業者が手で工具を支持した状態で螺合穴からボルトを取り外す。

【0006】

この様な工具の着脱作業は、装置の点検等のために定期的に行われる。しかし、研削ホイールや研磨パッド等の工具は比較的重いので、着脱作業には労力を有する。この労力を軽減するために、取り付け用治具が提案された(例えば、特許文献２参照)。

【0007】

当該治具は、上面側が閉じた円筒状の昇降台を有する。昇降台は、円筒の中心軸の周りの所定方向に回転させることで上昇する様に構成されている。この治具を用いて、研削ホイールをマウントに装着するときには、まず、マウントの直下に配置されたチャックテーブル上に治具を配置する。

【0008】

そして、昇降台の上面に研削ホイールを載置し、昇降台を回転させることで研削ホイールを上昇させる。しかし、昇降台の上昇量には限界があるので、通常、昇降台を最大限上昇させた後、スピンドルを下降させる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0009】

【文献】特開２００２－２８３２１１号公報

【文献】特開２０１２－１５２８３２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0010】

例えば、手作業でスピンドルを下降させる際、作業者が操作を誤るとマウントの下面と研削ホイールの一面とが衝突して、研削ホイールや研削装置の破損につながるリスクがある。

【0011】

本発明は係る問題点に鑑みてなされたものであり、マウントに工具を装着する際に、工具や装置の破損のリスクを低減することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0012】

本発明の一態様によれば、被加工物を研削又は研磨するための工具が装着される円盤状のマウントと、該マウントに連結され該マウントを回転させるためのスピンドルと、を含む加工ユニットの該マウントに該工具を装着するとき、又は、該マウントから該工具を取り外すときに用いられる治具であって、該工具を下方から支持する板状の支持部と、該支持部の外周部に設けられ、該マウントに掛止される複数の掛止部と、該複数の掛止部の各々に設けられる仮止め用ネジと、を備え、該仮止め用ネジは、該工具が該支持部に支持された状態で、該マウントに形成されている貫通穴を介して、該工具の基台に形成されている螺合穴に螺合可能である治具が提供される。

【0013】

好ましくは、該支持部は、該支持部の平坦な上面よりも上方に突出し、該工具の研削砥石又はパッド部が該支持部の該上面に接触しない態様で該基台を支持する突起部を更に有する。

【0014】

本発明の他の態様によれば、被加工物を研削又は研磨するための工具が装着される円盤状のマウントに治具を使用して該工具を装着する装着方法であって、該工具を下方から支持する板状の支持部と、該支持部の外周部に設けられた複数の掛止部と、を有する該治具の該複数の掛止部を該マウントに掛止して、該支持部及び該工具を該マウントの直下に位置付ける工具配置ステップと、該工具配置ステップの後、該複数の掛止部の各々に設けられる仮止め用ネジを、該マウントに設けられた貫通穴を介して、該工具の基台に設けられた螺合穴に螺合し、該基台を該マウントに密着させる工具密着ステップと、該工具密着ステップの後、該仮止め用ネジが螺合されていない螺合穴に固定用ネジを螺合し、該工具を該マウントに固定する第１の工具固定ステップと、該第１の工具固定ステップの後、該仮止め用ネジを外し、該治具を該マウントから取り外す治具取り外しステップと、該治具取り外しステップの後、該仮止め用ネジが取り外された螺合穴に、固定用ネジを螺合する第２の工具固定ステップと、を備える装着方法が提供される。

【発明の効果】

【0015】

本発明の一態様に係る治具は、工具を支持する板状の支持部と、支持部の外周部に設けられマウントに掛止される複数の掛止部と、複数の掛止部の各々に設けられる仮止め用締結ネジと、を備える。マウントには貫通穴が形成されており、工具の基台には螺合穴が形成されている。工具が支持部に載置された状態で、仮止め用締結ネジが貫通穴を介して螺合穴に螺合されると、工具は支持部から持ち上げられてマウントに装着される。

【0016】

それゆえ、当該治具を用いれば、工具を装着する際に、スピンドルを下降させる必要が無い。従って、スピンドルを下降させる操作を誤り、マウントの下面と工具とが衝突することもないので、工具や装置の破損のリスクを低減できる。

【図面の簡単な説明】

【0017】

【図1】加工ユニット、研削ホイール及び治具を分離して示す斜視図である。

【図2】図２（Ａ）は工具配置ステップを示す斜視図であり、図２（Ｂ）は工具配置ステップを示す側面図である。

【図3】図３（Ａ）は工具密着ステップを示す斜視図であり、図３（Ｂ）は工具密着ステップを示す側面図である。

【図4】図４（Ａ）は第１の工具固定ステップを示す斜視図であり、図４（Ｂ）は第１の工具固定ステップを示す側面図である。

【図5】図５（Ａ）は治具取り外しステップを示す斜視図であり、図５（Ｂ）は治具取り外しステップを示す側面図である。

【図6】図６（Ａ）は第２の工具固定ステップを示す斜視図であり、図６（Ｂ）は第２の工具固定ステップを示す側面図である。

【図7】治具を使用してマウントに研削ホイールを装着する装着方法のフロー図である。

【図8】治具を使用してマウントから研削ホイールを取り外す方法のフロー図である。

【図9】図９（Ａ）は第２の実施形態に係る治具の斜視図であり、図９（Ｂ）は第２の実施形態に係る治具及び研磨パッドの一部断面側面図である。

【図10】第３の実施形態に係る治具及び研削ホイールの一部断面側面図である。

【発明を実施するための形態】

【0018】

添付図面を参照して、本発明の一態様に係る実施形態について説明する。まず、研削装置２が備える加工ユニット２ａ等の構造について説明する。図１は、研削装置２を構成する加工ユニット２ａ、研削ホイール１２及び治具２０を分離して示す斜視図である。

【0019】

加工ユニット２ａは、円筒状のスピンドルハウジング４を有する。スピンドルハウジング４内には、円柱状のスピンドル６（例えば図２（Ｂ）参照）の一部が回転可能な態様で収容されている。スピンドル６の上端部には、モーター等の回転駆動源（不図示）が連結されている。

【0020】

スピンドル６の下端部には、円盤状のマウント８が連結されている。スピンドル６を回転させると、スピンドル６を回転軸としてマウント８は回転する。マウント８の外周部には、マウント８の上面８ａから下面８ｂまでそれぞれ貫通する複数の貫通穴１０が形成されている。

【0021】

複数の貫通穴１０は、マウント８の周方向に沿って離散的に配置されている。いずれの貫通穴１０も、それぞれ後述する仮止め用ネジ２６及び固定用ネジ２８の軸部よりも大きな径を有する。

【0022】

マウント８の下面８ｂ側には、被加工物を研削するための円環状の研削ホイール（工具）１２が装着される。なお、研削ホイール１２に代えて、被加工物を研磨するための円盤状の研磨パッド３２（図９（Ｂ）参照）が装着されてもよい。

【0023】

研削ホイール１２は、アルミニウム等の金属で形成された円環状のホイール基台１４を有する。ホイール基台１４の上面１４ａ側には、複数の螺合穴１４ｂが、ホイール基台１４の周方向に沿って離散的に形成されている。各螺合穴１４ｂの内周側面には、雌ネジが形成されている。

【0024】

螺合穴１４ｂの数は貫通穴１０の数と同じであり、本実施形態では、螺合穴１４ｂ及び貫通穴１０の数は各々６個である。螺合穴１４ｂは、上面１４ａから、ホイール基台１４の下面１４ｃに達しない所定の深さまで形成されている。

【0025】

ホイール基台１４の下面１４ｃ側には、ホイール基台１４の周方向に沿って複数の研削砥石１６が離散的に配置されている。この研削ホイール１２をマウント８に装着するときに、後述する治具２０が用いられる。

【0026】

治具２０は、円盤状の支持板（支持部）２２を有する。支持板２２は、ポリ塩化ビニル等の樹脂又はステンレス鋼等の金属で形成されている。なお、支持板２２を樹脂で形成すれば治具２０の重量が軽くなるので、支持板２２が金属で形成されている場合に比べて、後述する装着等の作業が容易になる。

【0027】

支持板２２の外周部２２ａには、複数の掛止部２４が連結されている。本実施形態では、支持板２２の平坦な上面２２ｂの中心を挟んで対向する様に一対の掛止部２４が設けられている。但し、掛止部２４の配置は、図１に示す例に限定されない。

【0028】

例えば、支持板２２の外周部２２ａには、支持板２２の周方向において互いに略１２０度離れた態様で、３個の掛止部２４が設けられてもよい。また、支持板２２の周方向において互いに略９０度離れた態様で、４個の掛止部２４が設けられてもよい。なお、５個以上の掛止部２４が設けられてもよい。

【0029】

掛止部２４は、支持板２２をマウント８に掛止するための構造を有する。本実施形態の掛止部２４は、略Ｌ字形状のアームである。掛止部２４は、外周部２２ａに連結された第１板部２４ａを有する。本実施形態の第１板部２４ａの一端部は、支持板２２に対して固定されており、上面２２ｂに対して略垂直な方向に延伸している。

【0030】

但し、第１板部２４ａの一端部は、第１板部２４ａが支持板２２の外側へ回転可能な様に、蝶番等で支持板２２に連結されていてもよい。例えば、外周部２２ａに３個以上の掛止部２４が設けられる場合、第１板部２４ａの一端部が外周部２２ａに対して回転可能に連結される。

【0031】

第１板部２４ａの他端部には、第１板部２４ａの長手方向に略直交する態様で第２板部２４ｂが連結されている。本実施形態における各第２板部２４ｂは、外周部２２ａから上面２２ｂの中心に向けて突出し、上面２２ｂに略平行に配置されている。

【0032】

第２板部２４ｂには、仮止め用ネジ２６が挿入される貫通開口（不図示）が形成されている。本実施形態の仮止め用ネジ２６は、ボルトである。第２板部２４ｂの貫通開口は、仮止め用ネジ２６の軸部よりも大きく、且つ、仮止め用ネジ２６の頭部よりも小さい所定の径を有する。

【0033】

なお、貫通開口に挿入された仮止め用ネジ２６の軸部において、第２板部２４ｂの下側（裏面側）に位置する所定位置には、仮止め用ネジ２６が貫通開口から抜けるのを防止するためのワッシャー（所謂、抜け止めワッシャー）が固定されてもよい。

【0034】

次に、図２（Ａ）及び図２（Ｂ）から図７を用い、治具２０を使用して研削ホイール１２をマウント８に装着する装着方法について説明する。なお、図７は、治具２０を使用してマウント８に研削ホイール１２を装着する装着方法のフロー図である。

【0035】

本実施形態では、まず、工具配置ステップ（Ｓ１０）を行う。図２（Ａ）は、工具配置ステップ（Ｓ１０）を示す斜視図であり、図２（Ｂ）は、工具配置ステップ（Ｓ１０）を示す側面図である。

【0036】

工具配置ステップ（Ｓ１０）では、まず、一対の掛止部２４の第２板部２４ｂの各貫通開口がマウント８の貫通穴１０と鉛直方向で一致する様に、第２板部２４ｂをマウント８の上面８ａに掛止する。

【0037】

その後、マウント８、一対の掛止部２４及び支持板２２で規定される空間の側方から、ホイール基台１４が上方に位置し且つ研削砥石１６が下方に位置する態様で、研削ホイール１２を差し込む。

【0038】

なお、研削ホイール１２を差し込んだ後又は差し込む前に、螺合穴１４ｂが、マウント８の貫通穴１０の直下に位置する様に、研削ホイール１２の向きを調整する。この様にして、支持板２２で支持された研削ホイール１２をマウント８の直下に位置付ける。

【0039】

ところで、工具配置ステップ（Ｓ１０）では、治具２０を掛止した後に研削ホイール１２を差し込むことに代えて、支持板２２で研削ホイール１２を支持した状態で、一対の掛止部２４の第２板部２４ｂをマウント８の上面８ａに掛止してもよい。

【0040】

この場合、支持板２２上に研削ホイール１２を載置する際に、研削ホイール１２の向きを調整できる。更に、研削ホイール１２をゆっくりと降下させて支持板２２上に載置できるので、治具２０を掛止した後に研削ホイール１２を差し込む場合に比べて、研削砥石１６が支持板２２で擦れて損傷することを防止できる。

【0041】

工具配置ステップ（Ｓ１０）の後、工具密着ステップ（Ｓ２０）が行われる。図３（Ａ）は、工具密着ステップ（Ｓ２０）を示す斜視図であり、図３（Ｂ）は、工具密着ステップ（Ｓ２０）を示す側面図である。

【0042】

工具密着ステップ（Ｓ２０）では、貫通穴１０を介して各仮止め用ネジ２６を螺合穴１４ｂに螺合することにより、研削ホイール１２を持ち上げて、ホイール基台１４の上面１４ａをマウント８の下面８ｂに密着させる。

【0043】

この様に、本実施形態では、研削ホイール１２をマウント８に装着する際に、スピンドル６を下降させる必要が無い。従って、スピンドル６を下降させる操作を誤り、マウント８の下面８ｂと研削ホイール１２とが衝突する事態を防止できるので、工具や装置の破損のリスクを低減できる。

【0044】

工具密着ステップ（Ｓ２０）の後、第１の工具固定ステップ（Ｓ３０）を行う。図４（Ａ）は、第１の工具固定ステップ（Ｓ３０）を示す斜視図であり、図４（Ｂ）は、第１の工具固定ステップ（Ｓ３０）を示す側面図である。

【0045】

第１の工具固定ステップ（Ｓ３０）では、仮止め用ネジ２６が螺合されていない螺合穴１４ｂに貫通穴１０を介して固定用ネジ２８を螺合し、研削ホイール１２をマウント８に固定する。本実施形態では、空いている４つの螺合穴１４ｂのそれぞれに固定用ネジ２８を螺合する。本実施形態の固定用ネジ２８は、仮止め用ネジ２６と同じボルトである。

【0046】

第１の工具固定ステップ（Ｓ３０）の後、治具取り外しステップ（Ｓ４０）を行う。図５（Ａ）は、治具取り外しステップ（Ｓ４０）を示す斜視図であり、図５（Ｂ）は、治具取り外しステップ（Ｓ４０）を示す側面図である。

【0047】

治具取り外しステップ（Ｓ４０）では、まず、全て（本実施形態では２個）の仮止め用ネジ２６を研削ホイール１２から取り外す。次に、例えば横方向に治具２０をスライドさせて、治具２０をマウント８から取り外す。

【0048】

なお、第１板部２４ａの一端部が支持板２２の外側へ回転可能に連結されている場合、全ての仮止め用ネジ２６を取り外した後、第１板部２４ａを支持板２２の外側に回転させることで、治具２０をマウント８から取り外してもよい。

【0049】

治具取り外しステップ（Ｓ４０）の後、第２の工具固定ステップ（Ｓ５０）を行う。図６（Ａ）は、第２の工具固定ステップ（Ｓ５０）を示す斜視図であり、図６（Ｂ）は、第２の工具固定ステップ（Ｓ５０）を示す側面図である。第２の工具固定ステップ（Ｓ５０）では、仮止め用ネジ２６が取り外された螺合穴１４ｂに貫通穴１０を介して固定用ネジ２８を螺合する。

【0050】

次に、マウント８に装着された研削ホイール１２をマウント８から取り外す手順について説明する。図８は、治具２０を使用してマウント８から研削ホイール１２を取り外す方法のフロー図である。

【0051】

研削ホイール１２を取り外す場合には、まず、掛止部２４の貫通開口に対応する２箇所の固定用ネジ２８を取り外した上で、マウント８に治具２０の掛止部２４を配置する（治具配置ステップ（Ｓ６０））。

【0052】

治具配置ステップ（Ｓ６０）の後、掛止部２４の貫通開口及びマウント８の貫通穴１０を介して、ホイール基台１４の螺合穴１４ｂに仮止め用ネジ２６を螺合することで、治具２０をマウント８及び研削ホイール１２に固定する（治具固定ステップ（Ｓ７０））。治具固定ステップ（Ｓ７０）の後、全て（本実施形態では４個）の固定用ネジ２８を取り外す（第１のネジ取り外しステップ（Ｓ８０））。

【0053】

第１のネジ取り外しステップ（Ｓ８０）の後、全て（本実施形態では２個）の仮止め用ネジ２６を取り外すことで、研削ホイール１２をマウント８から取り外す（第２のネジ取り外しステップ（Ｓ９０））。これにより、研削ホイール１２は、マウント８に掛止されている支持板２２の上面２２ｂに載置される。

【0054】

第２のネジ取り外しステップ（Ｓ９０）の後、マウント８と支持板２２との間から研削ホイール１２を抜き出す、又は、治具２０と共に研削ホイール１２をマウント８から取り離す（工具取り離しステップ（Ｓ１００））。

【0055】

この様に治具２０を用いることで、研削ホイール１２等の工具をマウント８から取り外す際にも、スピンドル６を下降させる必要が無い。従って、研削砥石１６を上述の昇降台に衝突させることがないので、工具や装置の破損のリスクを低減できる。

【0056】

次に、第２の実施形態について説明する。第２の実施形態に係る治具２０は、外周部２２ａ側の上面２２ｂに、ポリ塩化ビニル等の樹脂又はステンレス鋼等の金属で形成された複数の円弧状の突起部３０を有する。図９（Ａ）は、第２の実施形態に係る治具２０の斜視図である。

【0057】

図９（Ａ）に示す様に、突起部３０は、例えば、各第１板部２４ａの一端部近傍に形成されるが、突起部３０の配置は、この例に限定されない。上面２２ｂには、３個以上の円弧状の突起部３０が設けられてよい。また、突起部３０の形状は円弧状に限定されず、円柱状であってもよい。

【0058】

突起部３０上には、例えば、研磨パッド（工具）３２が載置される。研磨パッド３２は、円環状のパッド部３４を有する。パッド部３４は、例えば、高分子発泡体と、高分子発泡体に分散された複数の砥粒とで構成される。パッド部３４の一面には、パッド部３４の外径よりも大きな外径を有し、アルミニウム等の金属で形成された円盤状の基台３６が固定されている。

【0059】

突起部３０は、上面２２ｂよりも上方に突出しており、突起部３０の厚さは、パッド部３４の厚さよりも大きい。それゆえ、研磨パッド３２が支持板２２上に配置されると、基台３６が突起部３０により支持され、パッド部３４の下面は支持板２２の上面２２ｂに接触しない。

【0060】

図９（Ｂ）は、第２の実施形態に係る治具２０及び研磨パッド３２の一部断面側面図である。研磨パッド３２の下面と支持板２２の上面２２ｂとの接触を防ぐことで、パッド部３４の損傷等を低減できる。また、突起部３０により、上面２２ｂの径方向での研磨パッド３２の位置決めが容易になる。

【0061】

なお、研磨パッド３２に限らず、上述の研削ホイール１２が、複数の突起部３０で支持されてもよい。例えば、突起部３０の厚さを、研削砥石１６の下面１４ｃから突出する厚さよりも大きくすれば、研削砥石１６の下面が支持板２２の上面２２ｂに接触しない態様で、ホイール基台１４を突起部３０で支持できる。

【0062】

次に、第３の実施形態について説明する。第３の実施形態に係る治具２０は、上面２２ｂ側の中央部に、上面２２ｂよりも上方に突出している１つの円盤状の突起部３０ａを有する。図１０は、第３の実施形態に係る治具２０及び研削ホイール１２の一部断面側面図である。

【0063】

突起部３０ａは、所定の突出長さを有する。所定の突出長さは、上面２２ｂから突起部３０ａの頂面までの長さであり、例えば、研削砥石１６の下面から円環状のホイール基台１４の内周側に設けられている傾斜面（内周傾斜面）の最下点までの長さよりも大きい。また、突起部３０ａの外径は、ホイール基台１４の内周傾斜面の最下点の開口径と略同じである。

【0064】

研削ホイール１２が支持板２２上に配置された場合に、研削砥石１６の下面は上面２２ｂに接触しない態様で、ホイール基台１４の内周傾斜面が突起部３０ａの頂面の外周部により支持される。それゆえ、研削砥石１６の損傷を低減できる。また、突起部３０ａにより、上面２２ｂの径方向での研削ホイール１２の位置決めが容易になる。

【0065】

なお、１つの円盤状の突起部３０ａに代えて、上面２２ｂ側の中央部に複数（例えば、３個以上）の円柱状の突起部を設けてもよい。この場合、当該複数の突起部により、研削砥石１６の下面が支持板２２の上面２２ｂに接触しない態様で、ホイール基台１４の内周側に位置する傾斜面が支持される。

【0066】

その他、上記実施形態に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。

【符号の説明】

【0067】

２ ：研削装置
２ａ ：加工ユニット
４ ：スピンドルハウジング
６ ：スピンドル
８ ：マウント
８ａ ：上面
８ｂ ：下面
１０ ：貫通穴
１２ ：研削ホイール（工具）
１４ ：ホイール基台
１４ａ ：上面
１４ｂ ：螺合穴
１４ｃ ：下面
１６ ：研削砥石
２０ ：治具
２２ ：支持板（支持部）
２２ａ ：外周部
２２ｂ ：上面
２４ ：掛止部
２４ａ ：第１板部
２４ｂ ：第２板部
２６ ：仮止め用ネジ
２８ ：固定用ネジ
３０，３０ａ ：突起部
３２ ：研磨パッド（工具）
３４ ：パッド部
３６ ：基台

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】