特許 7421418 テーブル装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-01-16

(45)【発行日】2024-01-24

(54)【発明の名称】テーブル装置

(51)【国際特許分類】

   B23Q 3/08 20060101AFI20240117BHJP

   B24B 41/06 20120101ALI20240117BHJP

   H01L 21/301 20060101ALI20240117BHJP

【ＦＩ】

B23Q3/08 A

B24B41/06 L

H01L21/78 N

【請求項の数】 3

(21)【出願番号】P 2020091291

(22)【出願日】2020-05-26

(65)【公開番号】P2021186894

(43)【公開日】2021-12-13

【審査請求日】2023-04-03

(73)【特許権者】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】110001014

【氏名又は名称】弁理士法人東京アルパ特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】現王園 二郎

【審査官】亀田 貴志

(56)【参考文献】

【文献】特開２００２－９０１９（ＪＰ，Ａ）

【文献】実開平７－３１２４６（ＪＰ，Ｕ）

【文献】米国特許第５６７６３６０（ＵＳ，Ａ）

【文献】特開平９－２５２０４５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１７－２２８４０２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１２－１９５０９８（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ２３Ｑ １／００ － ３／０８

Ｂ２４Ｂ ４１／０６

Ｈ０１Ｌ ２１／３０１

Ｈ０１Ｌ ２１／３０４

Ｂ２５Ｂ １１／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

保持面によってワークを吸引保持するテーブルと、該テーブルにおける該保持面とは反対側の面である下面を支持面によって支持するテーブルベースと、該テーブルベースと該テーブルとを脱着する脱着機構とを備えるテーブル装置であって、
該脱着機構は、
該テーブルの該下面から下方に突出するように形成される連結部と、
該テーブルベースの該支持面の中心を中心とする円弧状または該支持面の中心を中心とする環状に該支持面から凹んで形成され、該連結部が進入可能な溝であって、該支持面の中心と該下面の中心とが同一直線上に配置され、該溝に該連結部が進入し、該テーブルの該下面と該支持面とが連接されて、該同一直線を軸に該テーブルベースに対し該テーブルが回転された際に、該連結部の該同一直線に沿う移動を規制する溝と、
該溝によって該同一直線に沿う該連結部の移動が規制された状態で、該テーブルの回転を固定する固定部と、
該テーブルベースから該テーブルが取り外される際に、該固定部による該テーブルの回転の固定を解除する解除部と、を備える、
テーブル装置。

【請求項2】

該保持面は、中央保持面と、該中央保持面の周囲を囲む環状保持面とを備え、
該テーブルは、該中央保持面を有する中央テーブルと、該環状保持面を有する環状テーブルとを備え、
該テーブルベースは、該中央テーブルを支持する中央支持面と、該環状保持面を支持する環状支持面とを備え、
該脱着機構は、少なくとも、該環状テーブルと該テーブルベースとを脱着するように構成されている、
請求項１記載のテーブル装置。

【請求項3】

該テーブルの該下面に一方の端である第１開口部を有し、該保持面と該下面とを連通する第１連通管と、
該テーブルベースの該支持面に一方の端である第２開口部を有し、該支持面と吸引源とを連通する第２連通管と、を備え、
該脱着機構を用いて、該テーブルの該下面と該テーブルベースの該支持面とが連接されて、該固定部によって該テーブルの回転が固定された際に、該第１連通管と該第２連通管とが接続されるように、該第１連通管の該第１開口部と該第２連通管の該第２開口部とが配置されている、
請求項１または請求項２記載のテーブル装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、テーブル装置に関する。

【背景技術】

【0002】

被加工物を加工する加工装置には、例えば、切削ブレードによって被加工物を切削する切削装置や、研削砥石によって被加工物を研削する研削装置などがある。このような加工装置は、保持面によって被加工物を保持するチャックテーブルを備えている。

【0003】

チャックテーブルには、特許文献１の従来技術欄に記載のように、保持面に同心円環状の仕切りを備え、被加工物の大きさに対応して保持面の面積を切り換えられるものがある。

【0004】

しかし、このようなチャックテーブルが研削装置に用いられる場合、ポーラス部材からなる保持面と、密な部材からなる仕切りとでは、硬さが違うため、研削荷重による沈み込み量にも違いがある。このため、被加工物における保持面に支持されている部分と、仕切りに支持されている部分とに、厚み差が生じる。

【0005】

また、保持面の外周部分は、ウェーハの外周部分から、研削屑を含んだ研削廃液を吸引する。このため、研削屑が詰まるために、外周部分の吸引力が弱くなる。

【0006】

被加工物に厚み差を生じさせる仕切りを用いることなく保持面の面積を変更するため、また、保持面の外周部分の吸引力を回復させるためには、チャックテーブルを交換することが好ましい。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0007】

【文献】特開２００１－０３８５５６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0008】

しかし、チャックテーブルは、テーブルベースに対して、複数のネジによって固定されている。このため、チャックテーブルの交換作業には、複数のネジの取り外しおよび取り付けが必要となるため、時間がかかる。

【0009】

なお、加工装置には、被加工物を加工する際に被加工物を保持するチャックテーブル以外に、加工後の被加工物を洗浄するための洗浄テーブル（スピンナテーブル）などの、他のテーブルが設けられている場合もある。このような他のテーブルも、保持面の面積を変更する等のために、容易に交換できることが好ましい。

【0010】

したがって、本発明の目的は、加工装置のテーブルを容易に交換することにある。

【課題を解決するための手段】

【0011】

本発明のテーブル装置（本テーブル装置）は、保持面によってワークを吸引保持するテーブルと、該テーブルにおける該保持面とは反対側の面である下面を支持面によって支持するテーブルベースと、該テーブルベースと該テーブルとを脱着する脱着機構とを備えるテーブル装置であって、該脱着機構は、該テーブルの該下面から下方に突出するように形成される連結部と、該テーブルベースの該支持面の中心を中心とする円弧状または該支持面の中心を中心とする環状に該支持面から凹んで形成され、該連結部が進入可能な溝であって、該支持面の中心と該下面の中心とが同一直線上に配置され、該溝に該連結部が進入し、該テーブルの該下面と該支持面とが連接されて、該同一直線を軸に該テーブルベースに対し該テーブルが回転された際に、該連結部の該同一直線に沿う移動を規制する溝と、該溝によって該同一直線に沿う該連結部の移動が規制された状態で、該テーブルの回転を固定する固定部と、該テーブルベースから該テーブルが取り外される際に、該固定部による該テーブルの回転の固定を解除する解除部と、を備える。

【0012】

本テーブル装置では、該保持面は、中央保持面と、該中央保持面の周囲を囲む環状保持面とを備えてもよく、該テーブルは、該中央保持面を有する中央テーブルと、該環状保持面を有する環状テーブルとを備えてもよく、該テーブルベースは、該中央テーブルを支持する中央支持面と、該環状保持面を支持する環状支持面とを備えてもよく、該脱着機構は、少なくとも、該環状テーブルと該テーブルベースとを脱着するように構成されていてもよい。

【0013】

本テーブル装置では、該テーブルの該下面に一方の端である第１開口部を有し、該保持面と該下面とを連通する第１連通管と、該テーブルベースの該支持面に一方の端である第２開口部を有し、該支持面と吸引源とを連通する第２連通管と、を備えてもよく、該脱着機構を用いて、該テーブルの該下面と該テーブルベースの該支持面とが連接されて、該固定部によって該テーブルの回転が固定された際に、該第１連通管と該第２連通管とが接続されるように、該第１連通管の該第１開口部と該第２連通管の該第２開口部とが配置されていてもよい。

【発明の効果】

【0014】

本テーブル装置では、テーブルベースの溝にテーブルの連結部を進入させてテーブルを回転させることによって、固定部により、テーブルの回転を固定することができる。これにより、テーブルベースに対して、テーブルを装着することができる。また、解除部によって固定部によるテーブルの回転の固定を解除すること、および、テーブルベースに対してテーブルを逆方向に回転させることによって、テーブルベースからテーブルを取り外すことができる。したがって、本テーブル装置では、テーブルベースに対するテーブルの脱着を、容易に行うことが可能となる。したがって、テーブルを容易に交換することができる。

【図面の簡単な説明】

【0015】

【図1】テーブル装置の構成を示す斜視図である。

【図2】テーブルの構成を示す斜視図である。

【図3】テーブルの構成を示す断面図である。

【図4】テーブルベースに対するテーブルの固定動作を示す説明図である。

【図5】テーブルベースにおける固定部の近傍の構成を示す説明図である。

【図6】テーブルベースの固定部およびテーブルの解除部の近傍の構成を示す説明図である。

【図7】テーブルベースからテーブルを取り外す動作を示す説明図である。

【図8】テーブルベースからテーブルを取り外す動作を示す説明図である。

【図9】他の構成のテーブルを有するテーブル装置を示す斜視図である。

【発明を実施するための形態】

【0016】

図１に示す本実施形態にかかるテーブル装置１は、研削装置や切削装置などの加工装置において、被加工物を保持するためのテーブルとして機能するものである。テーブル装置１は、たとえば、被加工物を加工する際に被加工物を保持するチャックテーブル、および、加工後の被加工物を洗浄するための洗浄テーブル（スピンナテーブル）として用いられることができる。ワークは、たとえば半導体ウェーハである。

【0017】

図１に示すように、テーブル装置１は、被加工物としてのワークを保持面１１によって吸引保持するテーブル１０と、テーブルベース３０とを備えている。テーブルベース３０は、テーブル１０に連結されて、テーブル１０を支持する。

【0018】

テーブル１０は、略円柱状を有しており、その一方の面に保持面１１が形成されている。保持面１１は、ポーラス材からなる円板状のポーラス部材１１０（図３も参照）の表面であり、吸引源に連通されることにより、ワークを吸引保持することが可能である。
また、テーブル１０は、枠体１２０を備えている。枠体１２０は、保持面１１を含むポーラス部材１１０の周囲に形成されて、ポーラス部材１１０を保持する。

【0019】

さらに、テーブル１０における保持面１１とは反対側の面は、下面１２となっている。テーブル１０では、この下面１２および保持面１１に関して、テーブル中心軸１０１が設定されている。このテーブル中心軸１０１は、テーブル１０の下面１２および保持面１１の中心を通り、下面１２に対して垂直に延びる軸である。

【0020】

また、この下面１２には、下面１２から下方に（すなわち、下面１２に対して略垂直に）突出するように形成された、一対の連結部１３が備えられている。一対の連結部１３は、図１および図２に示すように、下面１２におけるテーブル中心軸１０１に関して対称な２つの位置に設けられている。

【0021】

図２に示すように、連結部１３は、下面１２から下方に延びる延出部１３１と、延出部１３１の先端からテーブル中心軸１０１を向いて延びる略矩形板状の係止部１３２とを備えている。

【0022】

また、図３に示すように、テーブル１０の枠体１２０内には、保持面１１と下面１２とを連通する、２本の第１連通管１５が設けられている。第１連通管１５は、図２および図３に示すように、下面１２に、一方の端である第１開口部１５１を有している。第１連通管１５の他方の端は、図３に示すように、ポーラス部材１１０の下面に接続されている。

【0023】

また、図２に示すように、テーブル１０は、枠体１２０の側面における第１開口部１５１の近傍に、一対の解除部１７を備えている。この解除部１７は、テーブル１０とテーブルベース３０との連結を解除するための部材であり、枠体１２０の側面に設けられた長孔１２１を介して、テーブル中心軸１０１に沿って移動することが可能となっている。

【0024】

また、図１に示すように、テーブルベース３０は、略円柱形状を有している。テーブルベース３０は、その一方の面として、テーブル１０の下面１２を支持する支持面３１を有している。
テーブルベース３０では、この支持面３１に関して、ベース中心軸３０１が設定されている。このベース中心軸３０１は、テーブルベース３０の支持面３１の中心を通り、支持面３１に対して垂直に延びる軸である。支持面３１は、テーブル１０の下面１２と略等しい大きさを有する平面である。

【0025】

また、支持面３１には、一対の溝３３が形成されている。溝３３は、テーブルベース３０の支持面３１の中心を中心とする円弧状に、支持面３１から凹んで形成されている。なお、テーブルベース３０における溝３３からベース中心軸３０１までの距離は、テーブル１０におけるテーブル中心軸１０１から連結部１３までの距離と略等しくなっている。

【0026】

各溝３３は、図１および図４に示すように、テーブル１０の連結部１３における係止部１３２が進入可能な幅を有する入り口３３１と、溝３３の入り口３３１を除いた部分であるレール部３３２とを有している。溝３３のレール部３３２における底部近傍の部分は、溝３３に進入した連結部１３の係止部１３２を移動させるための移動路３３３となっている。

【0027】

また、レール部３３２における移動路３３３の上方には、支持面３１から溝３３の深さ方向に延びる、規制壁３５が設けられている。規制壁３５は、溝３３のレール部３３２の内側に設けられている。規制壁３５は、レール部３３２における移動路３３３を除いた部分（移動路３３３の上方の部分）の幅（径方向の長さ）を、連結部１３の係止部１３２の径方向の長さよりも短くするように構成されている。

【0028】

すなわち、溝３３のレール部３３２における底部近傍の移動路３３３は、入り口３３１と同じ幅を有している。一方、レール部３３２における移動路３３３よりも上方の部分は、規制壁３５が形成されていることによって、入り口３３１よりも狭くなるように、すなわち、連結部１３の係止部１３２よりも狭くなるように、幅狭化されている。これにより、溝３３におけるレール部３３２は、略Ｌ字状の断面を有している。

【0029】

テーブル１０とテーブルベース３０とが連結される際、図１に示すように、テーブル１０の下面１２の中心であるテーブル中心軸１０１と、テーブルベース３０の支持面３１の中心であるベース中心軸３０１とが、同一直線上に配置される。すなわち、テーブル中心軸１０１とベース中心軸３０１とが、同一直線となる。

【0030】

そして、テーブルベース３０の支持面３１に形成された溝３３に、テーブル１０の下面１２に形成された連結部１３が進入する。すなわち、図４に示すように、テーブル１０の連結部１３は、その係止部１３２から、テーブルベース３０の溝３３における規制壁３５が設けられていない幅広の入り口３３１を介して、矢印５０１に示すように、溝３３に進入する。

【0031】

連結部１３の係止部１３２が溝３３の入り口３３１の底部に当接されると、テーブル１０の下面１２（図３参照）とテーブルベース３０の支持面３１とが連接（面接触）される。その後、テーブルベース３０に対して、連結部１３を有するテーブル１０が、テーブル中心軸１０１およびベース中心軸３０１を軸に、たとえば図４に矢印５０３によって示す方向に回転される。

【0032】

これにより、テーブル１０の連結部１３が、テーブルベース３０の溝３３に沿って、溝３３の入り口３３１からレール部３３２の末端３３５まで移動される。レール部３３２内では、連結部１３の係止部１３２の上に、規制壁３５の底辺が配置される。このため、連結部１３は、テーブル中心軸１０１に沿った方向の移動を規制される。このように、テーブルベース３０の溝３３は、テーブルベース３０に対してテーブル１０が回転された際に、テーブル１０の連結部１３のテーブル中心軸１０１およびベース中心軸３０１に沿う移動を規制する。

【0033】

また、本実施形態では、図４に示すように、溝３３のレール部３３２に設けられた規制壁３５の下辺３５１が、溝３３の入り口３３１からレール部３３２の末端３３５にかけて低くなる（溝３３の底辺に近づく）ように、傾斜している。すなわち、溝３３のレール部３３２における入り口３３１に近い部位では、連結部１３の係止部１３２が移動するための移動路３３３の高さが、比較的に高くなっている。このため、連結部１３の係止部１３２が、入り口３３１からレール部３３２に入ること、および、レール部３３２内を末端３３５に向けて移動することが、容易となっている。

【0034】

なお、本実施形態では、規制壁３５の下辺３５１は、連結部１３の係止部１３２がレール部３３２内を末端３３５に到達したときに、下辺３５１が係止部１３２の上部に接するように、傾斜している。このため、溝３３は、連結部１３の係止部１３２がレール部３３２内を末端３３５に到達したときに、連結部１３におけるテーブル中心軸１０１およびベース中心軸３０１に沿う移動を、堅固に規制することが可能となる。

【0035】

また、図１に示すように、テーブルベース３０内には、支持面３１と吸引源６１およびエア源６２（図５参照）とを連通する、２本の第２連通管３６が設けられている。第２連通管３６は、支持面３１に、一方の端である第２開口部３６１を有している。

【0036】

また、図１に示すように、テーブルベース３０は、支持面３１における第２開口部３６１に、一対の固定部４０を備えている。この固定部４０は、溝３３によってテーブル１０における連結部１３のテーブル中心軸１０１およびベース中心軸３０１に沿う移動が規制された状態で、テーブル１０の回転を固定するものである。

【0037】

以下に、テーブルベース３０の固定部４０およびテーブル１０の解除部１７の近傍の構成、および、テーブルベース３０に対するテーブル１０の脱着について説明する。なお、本実施形態では、テーブル１０の連結部１３および解除部１７と、テーブルベース３０の溝３３および固定部４０とは、脱着機構の一例を構成する。

【0038】

テーブルベース３０の固定部４０は、第２連通管３６の第２開口部３６１に設けられている。すなわち、図５に示すように、テーブルベース３０における第２連通管３６は、支持面３１に開口されている第２開口部３６１と、第２開口部３６１から下方に延びる第２配管部３６２とを有している。第２配管部３６２は、第２開口部３６１と吸引源６１およびエア源６２とを接続するように構成されている。

【0039】

また、図５に示すように、第２開口部３６１は、支持面３１の近傍において、側壁３６３、底面３６４および上面３６５を有する円柱状の空間として形成されている。上面３６５の略中央には、開口孔３６６が形成されている。第２配管部３６２は、第２開口部３６１に、その側壁３６３を介して連通されている。

【0040】

そして、第２開口部３６１内に、上述した固定部４０が設けられている。固定部４０は、第２開口部３６１の底面３６４に下端を固定されたコイルバネ４１、コイルバネ４１の上端に配置された円板状の台座４２、および、台座４２の上面に設けられた回り止めピン４３を備えている。また、支持面３１における回り止めピン４３の周囲（第２開口部３６１の周囲）には、Ｏリングからなるシール部４５が設けられている。

【0041】

図５に示すように、テーブル１０とテーブルベース３０とが連結されていない場合には、固定部４０の台座４２は、コイルバネ４１の付勢力により、支持面３１に向けて移動され、第２開口部３６１の上面３６５における開口孔３６６の周囲に押しつけられる。これにより、台座４２に設けられた回り止めピン４３が、開口孔３６６を介して、支持面３１から突出する。

【0042】

また、テーブル１０の解除部１７は、第１連通管１５の第１開口部１５１に連通するように設けられている。すなわち、図６に示すように、テーブル１０における第１連通管１５は、下面１２に開口されている第１開口部１５１と、第１開口部１５１からポーラス部材１１０（図１参照）に向かって延びる第１配管部１５２とを有している。第１配管部１５２は、第１開口部１５１とポーラス部材１１０とを接続するように構成されている。

【0043】

また、図６に示すように、第１開口部１５１は、円柱状の窪み部１５３を有する空間として形成されている。窪み部１５３には、その底部１５４およびシールベアリング１５５を介して、解除部１７が連通されている。

【0044】

解除部１７は、全体として、テーブル１０内で、下面１２に垂直な方向（テーブル中心軸１０１（図１参照）に沿う方向）に沿って移動することが可能なように構成されている。解除部１７は、図６に示すように、下面１２に垂直に延びて、底部１５４から窪み部１５３内に突出可能な押圧部１７１と、押圧部１７１を、その一端において下面１２に垂直な方向に移動させる操作部１７２とを備えている。操作部１７２の他端は、テーブル１０の枠体１２０に設けられた長孔１２１（図２も参照）から、外部に突出している。

【0045】

ここで、本実施形態では、脱着機構を用いて、テーブル１０の下面１２とテーブルベース３０の支持面３１とが連接されて、固定部４０によってテーブル１０の回転が固定された際に、第１連通管１５と第２連通管３６とが接続されるように、第１連通管１５の第１開口部１５１と第２連通管３６の第２開口部３６１とが配置されている。

【0046】

すなわち、テーブル１０が、連結部１３および溝３３によってテーブルベース３０に連結されて、テーブル中心軸１０１（ベース中心軸３０１）に沿うテーブル１０の移動が規制された状態（図４参照）では、テーブル１０の第１開口部１５１は、図６に示すように、テーブルベース３０の第２開口部３６１に対向するように配置される。これにより、テーブルベース３０における固定部４０の回り止めピン４３が、コイルバネ４１の付勢力により、テーブル１０の第１開口部１５１に進入し、解除部１７の押圧部１７１に接触して押し上げて、窪み部１５３に嵌合される。その結果、固定部４０が、テーブルベース３０に対するテーブル１０の回転を固定（規制）する。

【0047】

このように、固定部４０は、テーブル中心軸１０１およびベース中心軸３０１（同一直線）に沿う連結部１３（テーブル１０）の移動が溝３３によって規制された状態で、テーブル１０の回転を固定する。

【0048】

このようにして、本実施形態では、連結部１３を溝３３に進入させて、テーブルベース３０に対してテーブル１０を回転させることにより、固定部４０を用いて、テーブルベース３０に対してテーブル１０を装着することができる。

【0049】

また、このとき、テーブル１０の第１開口部１５１が、テーブルベース３０の第２開口部３６１に対向しているため、テーブル１０の第１連通管１５とテーブルベース３０の第２連通管３６とが、互いに連通される。また、シール部４５により、互いに連通された第１連通管１５および第２連通管３６の気密が確保される。これにより、吸引源６１の吸引力を、第２連通管３６および第１連通管１５を介して、テーブル１０のポーラス部材１１０の表面である保持面１１に伝達することが可能となる。したがって、保持面１１が、ワークを吸引保持することが可能となる。また、エア源６２からのエアを保持面１１に伝達することにより、保持面１１によるワークの吸引保持を解除することも可能となる。

【0050】

また、解除部１７は、テーブルベース３０からテーブル１０が取り外される際に、固定部４０によるテーブル１０の回転の固定を解除する。

【0051】

すなわち、テーブルベース３０からテーブル１０が取り外される際には、枠体１２０の長孔１２１から突出している解除部１７の操作部１７２が、下面１２に垂直な方向（テーブル中心軸１０１に沿う方向）に押圧される。これにより、図７に示すように、解除部１７の押圧部１７１が、この方向に沿って下方に移動される。その結果、押圧部１７１を押し上げていた固定部４０の回り止めピン４３が、コイルバネ４１の付勢力に抗して、第１開口部１５１の窪み部１５３から押し出されて、テーブルベース３０の第２開口部３６１内にまで押し下げられる。

【0052】

これにより、固定部４０によるテーブル１０の回転の固定が解除される。したがって、テーブル１０を、たとえば図８に矢印５０７に示すように、テーブル１０の装着時とは反対方向に回転させることができる。これにより、テーブル１０の連結部１３を、テーブルベース３０の溝３３におけるレール部３３２の末端３３５から、溝３３の入り口３３１にまで移動させることができる（図４参照）。これにより、連結部１３を溝３３から取り外すこと、すなわち、テーブル１０をテーブルベース３０から取り外すことが可能となる。

【0053】

以上のように、本実施形態では、テーブルベース３０の溝３３にテーブル１０の連結部１３を進入させてテーブル１０を回転させることによって、固定部４０により、テーブル１０の回転を固定することができる。これにより、テーブルベース３０に対して、テーブル１０を装着することができる。また、解除部１７によって、固定部４０によるテーブル１０の回転の固定を解除すること、および、テーブルベース３０に対してテーブル１０を逆方向に回転させることによって、テーブルベース３０からテーブル１０を取り外すことができる。したがって、本実施形態では、テーブルベース３０に対するテーブル１０の脱着を、容易に行うことが可能となる。これにより、テーブル装置１では、テーブル１０を容易に交換することができる。

【0054】

なお、本実施形態では、溝３３は、テーブルベース３０の支持面３１の中心であるベース中心軸３０１を中心とする円弧状に、支持面３１から凹んで形成されている。これに代えて、溝３３は、支持面３１のベース中心軸３０１を中心とする環状に、支持面３１から凹んで形成されてもよい。

【0055】

また、本実施形態では、略円柱状のテーブル１０を有するテーブル装置１について説明している。これに代えて、本発明の他の実施形態にかかるテーブル装置は、図９に示すようなテーブル装置２として構成されていてもよい。
テーブル装置２は、図１に示したテーブル装置１の構成において、テーブル１０に代えてテーブル２０を有する構成である。テーブル２０も、テーブル１０と同様に、ワークを保持面によって吸引保持するものである。

【0056】

テーブル２０は、円柱状の中央テーブル２１と、中央テーブル２１を囲む円環柱状の環状テーブル２２を有している。環状テーブル２２は、その中央に貫通孔２２２を有している。貫通孔２２２の径は、中央テーブル２１を隙間なく嵌め込むことの可能な大きさに設定されている。

【0057】

また、環状テーブル２２は、ワークを保持するための保持面の一部としての環状保持面２２０を備えている。環状保持面２２０は、ポーラス材からなる円環柱状の環状ポーラス部材２５０の表面であり、円環状を有している。環状保持面２２０は、吸引源に連通されることにより、ワークを吸引保持することが可能である。

【0058】

また、環状テーブル２２は、環状保持面２２０を含む環状ポーラス部材２５０の周囲に形成されて、環状ポーラス部材２５０を保持する枠体２６０を備えている。さらに、環状テーブル２２における環状保持面２２０とは反対側の面は、下面２２１となっている。

【0059】

また、環状テーブル２２は、その内部に、図１に示したテーブル１０のものと同様の第１連通管１５および解除部１７を有しているとともに、その下面２２１に、テーブル１０のものと同様の一対の連結部１３を有している。

【0060】

また、中央テーブル２１は、ワークを保持するための保持面の他の部分としての中央保持面２１０を有している。中央保持面２１０は、ポーラス材からなる円柱状の中央ポーラス部材２４０の表面であり、吸引源に連通されることにより、ワークを吸引保持することが可能である。

【0061】

中央テーブル２１と環状テーブル２２とは、互いに等しい厚さを有するように構成されている。したがって、環状テーブル２２の貫通孔２２２に中央テーブル２１が嵌め込まれた際、環状保持面２２０は、中央保持面２１０を囲むように配置されるとともに、これらは互いに面一となる。また、この際、中央テーブル２１の中央ポーラス部材２４０と環状テーブル２２の環状ポーラス部材２５０とが、互いに連通される。

【0062】

また、この構成では、テーブルベース３０は、図１に示したテーブル装置１のテーブルベース３０と同様の構成を有している。ただし、テーブルベース３０の支持面３１は、中央テーブル２１（中央テーブル２１の下面）を支持する部分である中央支持面３１１と、環状テーブル２２（下面２２１）を支持する分である環状支持面３１２とを備えるように構成される。すなわち、支持面３１の中央部分が中央支持面３１１となり、その周囲の部分が環状支持面３１２となる。
また、この構成では、テーブルベース３０の溝３３、固定部４０および第２開口部３６１は、環状支持面３１２の表面に形成されている。

【0063】

そして、この構成では、テーブル２０の連結部１３および解除部１７と、テーブルベース３０の溝３３および固定部４０とが、脱着機構の一例を構成する。そして、この構成では、脱着機構は、少なくとも、環状テーブル２２とテーブルベース３０とを脱着するように構成されている。

【0064】

すなわち、この構成では、中央テーブル２１は、たとえば、テーブルベース３０の支持面３１における中央支持面３１１に対して、任意の手法によって固定されている。そして、環状テーブル２２が、図１～図８を用いて説明したように、連結部１３、解除部１７、溝３３および固定部４０を用いて、テーブルベース３０に対して脱着されることが可能である。
なお、中央テーブル２１がテーブルベース３０に対し脱着可能に構成してもよい。つまり、環状テーブル２２と同様に中央テーブル２１に連結部と解除部とを形成し、中央支持面３１１に溝が形成されている。なお、中央テーブル２１の解除部は、側壁から飛び出さないように形成されている。

【0065】

この構成では、テーブル２０が、中央テーブル２１と環状テーブル２２とを有する２つの部品から構成されている。すなわち、テーブルベース３０に中央テーブル２１を残したままで、環状テーブル２２のみを脱着すること、すなわち、環状テーブル２２のみを交換することが可能である。

【0066】

ここで、テーブル２０では、研削屑などの加工屑は、中央テーブル２１よりも環状テーブル２２に蓄積されやすい。したがって、環状テーブル２２のみを交換することにより、テーブル２０の全体を交換する場合よりも低コストで、加工屑の影響を抑制できる。

【0067】

また、この構成では、環状テーブル２２の環状保持面２２０が、円環状を有している。これに関し、環状テーブル２２は、より大きい（あるいは小さい）外径の円環状を有する環状保持面２２０、あるいは、矩形などの他の形状を有する環状保持面２２０を備えるように構成されていてもよい。

【0068】

すなわち、ワークには複数のサイズがあり、また、ワークの形状も、円形や矩形など、様々である。この構成では、環状テーブル２２を、ワークのサイズおよび形状に応じた環状保持面２２０を有するものに交換することができる。したがって、テーブル２０の全体を交換するよりも低コストで、ワークに適したサイズおよび形状のテーブル２０を形成することができる。

【符号の説明】

【0069】

１：テーブル装置、
１０：テーブル、１１：保持面、１２：下面、１０１：テーブル中心軸、
１１０：ポーラス部材、１２０：枠体、１２１：長孔、
１３：連結部、１３１：延出部、１３２：係止部、
１５：第１連通管、１５１：第１開口部、１５２：第１配管部、１５３：窪み部、１５４：底部、
１７：解除部、１７１：押圧部、１７２：操作部、
３０：テーブルベース、３１：支持面、３０１：ベース中心軸、
３３：溝、３５：規制壁、
３３１：入り口、３３２：レール部、
３３３：移動路、３３５：末端、３５１：下辺、
３６：第２連通管、３６１：第２開口部、３６２：第２配管部、
３６３：側壁、３６４：底面、３６５：上面、３６６：開口孔、
６１：吸引源、６２：エア源、
４０：固定部、４１：コイルバネ、４２：台座、４３：回り止めピン、
２：テーブル装置、２０：テーブル、２１：中央テーブル、２２：環状テーブル、
２１０：中央保持面、２２０：環状保持面、２２１：下面、２２２：貫通孔、
２４０：中央ポーラス部材、２５０：環状ポーラス部材、２６０：枠体、
３１１：中央支持面、３１２：環状支持面

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】