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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2024-01-29
(45)【発行日】2024-02-06
(54)【発明の名称】切削装置、及び、切削方法
(51)【国際特許分類】
B24B 55/02 20060101AFI20240130BHJP
B23Q 11/10 20060101ALI20240130BHJP
B23Q 11/12 20060101ALI20240130BHJP
B24B 27/06 20060101ALI20240130BHJP
H01L 21/301 20060101ALI20240130BHJP
【ＦＩ】
B24B55/02 D
B23Q11/10 A
B23Q11/12 A
B24B27/06 M
H01L21/78 F
【請求項の数】
4
(21)【出願番号】P 2020003153
(22)【出願日】2020-01-10
(65)【公開番号】P2021109284
(43)【公開日】2021-08-02
【審査請求日】2022-11-25
(73)【特許権者】
【識別番号】000134051
【氏名又は名称】株式会社ディスコ
(74)【代理人】
【識別番号】100142804
【弁理士】
【氏名又は名称】大上 寛
(72)【発明者】
【氏名】山本 直子
【審査官】マキロイ 寛済
(56)【参考文献】
【文献】特開２００５－１６７１４５（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１４－１８０７３８（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１８－１３３３８７（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００４－３０３８５５（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｂ２４Ｂ ５５／０２
Ｂ２３Ｑ １１／１０
Ｂ２３Ｑ １１／１２
Ｂ２４Ｂ ２７／０６
Ｈ０１Ｌ ２１／３０１
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
切削ブレードを有した切削ユニットと、該切削ブレードで切削する被加工物を保持する保持面を含む保持テーブルと、
該保持テーブルで保持された被加工物を切削する該切削ブレードに向かって切削液を噴射して供給する切削液ノズルと、
該切削ブレードを避けた方向に冷却液を噴射する冷却液ノズルと、
該切削ブレードで被加工物を切削していないときに該切削液ノズルからの該切削液の供給を停止するとともに、該冷却液ノズルから冷却液を供給するよう制御するコントローラと、を備え、
該コントローラは、アイドリング時間をカウントするためのアイドリング時間カウント部を有し、該アイドリング時間が所定時間に達した際に該切削液の供給を停止させる構成とする、切削装置。
【請求項2】
該冷却液は、該切削液と同一の供給源から供給され、該冷却液ノズルは、切削中の被加工物に向けられ、
該切削ブレードによる被加工物の切削中に該冷却液ノズルから被加工物に該冷却液を噴射して該被加工物に異物が付着するおそれを低減する、ことを特徴とする請求項１に記載の切削装置。
【請求項3】
該アイドリング時間は、切削装置を起動した後に最初の切削加工が開始される前の準備時間、あるいは、前の被加工物の切削加工を終えてから次の被加工物の切削加工が開始されるまでの間の待機時間、である、
ことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の切削装置。
【請求項4】
請求項１乃至請求項３に記載の切削装置で複数の被加工物を切削する切削方法であって、第一の被加工物を該保持テーブルで保持する第一保持ステップと、
該切削液ノズルから該切削液を該切削ブレードに供給しつつ該保持テーブルで保持された第一の被加工物を該切削ブレードで切削する第一切削ステップと、
該第一切削ステップ終了後に該保持テーブル上から第一の被加工物を搬出する搬出ステップと、
該搬出ステップを実施した後、該保持テーブルで第二の被加工物を保持する第二保持ステップと、
該切削液ノズルから該切削液を該切削ブレードに供給しつつ該保持テーブルで保持された第二の被加工物を該切削ブレードで切削する第二切削ステップと、を有し、
ある被加工物についての該第一切削ステップを終了してから、次の被加工物についての該第一切削ステップが開始されるまでのアイドリング時間が予め設定された所定時間に達したときに、該切削液の供給を停止するとともに、該冷却液を該冷却液ノズルから噴射した状態にする切削液停止ステップを更に有する、切削方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、切削ブレードを高速回転させて被加工物を切削する切削装置に関するものであり、より詳しくは、切削ブレードやワークを切削液で冷却する方法に関する。
【背景技術】
【0002】
従来、例えば、特許文献１に開示されるように、切削ブレードを高速回転させることでワーク（被加工物）の切削加工を行う切削装置において、加工中に切削液を切削ブレードとワークに供給し、異物（コンタミ）の除去や、加工点の冷却を行うことが知られている。ワークが半導体デバイスウェーハの場合には、切削液として純水が広く利用されている。
【0003】
そして、装置の稼働による発熱に起因する加工点の位置ずれを防止するため、アライメント時やカーフチェック、セットアップ等の工程以外のいわゆるアイドリング時においては、切削ブレードに対して常に切削液の供給が行われることとしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【文献】特開平１１－１１４９４９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
しかし、切削液が切削ブレードに長時間噴射され続けることで切削ブレードのボンド材の腐食や溶出が発生してしまうことが懸念される。
【0006】
特に、純水には金属イオン等の不純物が溶け込み易く、切削ブレードのボンド材の腐食や溶出が発生しやすいものといえる。そして、切削ブレードに腐食や溶出が生じると、切削ブレードの異常摩耗等を引き起すことになり、切削ブレードの寿命の低下や加工品質の悪化を招くことになる。
【0007】
本発明は以上の問題に鑑み、切削ブレードへの切削液の最適な供給を可能とする新規な技術を提案するものである。
【課題を解決するための手段】
【0008】
本発明の一態様によれば、
切削ブレードを有した切削ユニットと、
該切削ブレードで切削する被加工物を保持する保持面を含む保持テーブルと、
該保持テーブルで保持された被加工物を切削する該切削ブレードに向かって切削液を噴射して供給する切削液ノズルと、
該切削ブレードを避けた方向に冷却液を噴射する冷却液ノズルと、
該切削ブレードで被加工物を切削していないときに該切削液ノズルからの該切削液の供給を停止するとともに、該冷却液ノズルから冷却液を供給するよう制御するコントローラと、を備えた切削装置とする。
切削ブレードを有した切削ユニットと、
該切削ブレードで切削する被加工物を保持する保持面を含む保持テーブルと、
該保持テーブルで保持された被加工物を切削する該切削ブレードに向かって切削液を噴射して供給する切削液ノズルと、
該切削ブレードを避けた方向に冷却液を噴射する冷却液ノズルと、
該切削ブレードで被加工物を切削していないときに該切削液ノズルからの該切削液の供給を停止するとともに、該冷却液ノズルから冷却液を供給するよう制御するコントローラと、を備えた切削装置とする。
【0009】
また、本発明の一態様によれば、
該冷却液は、該切削液と同一の供給源から供給され、
該冷却液ノズルは、切削中の被加工物に向けられ、
該切削ブレードによる被加工物の切削中に該冷却液ノズルから被加工物に該冷却液を噴射して該被加工物に異物が付着するおそれを低減する、こととする。
該冷却液は、該切削液と同一の供給源から供給され、
該冷却液ノズルは、切削中の被加工物に向けられ、
該切削ブレードによる被加工物の切削中に該冷却液ノズルから被加工物に該冷却液を噴射して該被加工物に異物が付着するおそれを低減する、こととする。
【0010】
また、本発明の一態様によれば、
上記記載の切削装置で複数の被加工物を切削する切削方法であって、
第一の被加工物を該保持テーブルで保持する第一保持ステップと、
該切削液ノズルから該切削液を該切削ブレードに供給しつつ該保持テーブルで保持された第一の被加工物を該切削ブレードで切削する第一切削ステップと、
該第一切削ステップ終了後に該保持テーブル上から第一の被加工物を搬出する搬出ステップと、
該搬出ステップを実施した後、該保持テーブルで第二の被加工物を保持する第二保持ステップと、
該切削液ノズルから該切削液を該切削ブレードに供給しつつ該保持テーブルで保持された第二の被加工物を該切削ブレードで切削する第二切削ステップと、を有し、
該第一切削ステップを終了した後、該切削液の供給を停止するとともに該冷却液を該冷却液ノズルから噴射した状態にする切削液停止ステップを更に有する、切削方法とする。
上記記載の切削装置で複数の被加工物を切削する切削方法であって、
第一の被加工物を該保持テーブルで保持する第一保持ステップと、
該切削液ノズルから該切削液を該切削ブレードに供給しつつ該保持テーブルで保持された第一の被加工物を該切削ブレードで切削する第一切削ステップと、
該第一切削ステップ終了後に該保持テーブル上から第一の被加工物を搬出する搬出ステップと、
該搬出ステップを実施した後、該保持テーブルで第二の被加工物を保持する第二保持ステップと、
該切削液ノズルから該切削液を該切削ブレードに供給しつつ該保持テーブルで保持された第二の被加工物を該切削ブレードで切削する第二切削ステップと、を有し、
該第一切削ステップを終了した後、該切削液の供給を停止するとともに該冷却液を該冷却液ノズルから噴射した状態にする切削液停止ステップを更に有する、切削方法とする。
【発明の効果】
【0011】
被加工物を切削していないときには切削液が噴出しないため、切削液が過剰に切削ブレードに向けて噴出されることによる切削ブレードの腐食の進行を防ぐことができる。また、冷却液が噴出することで、切削ユニットの周囲の雰囲気温度の上昇が防がれる。
【図面の簡単な説明】
【0012】
【図1】本発明の一実施形態に係る切削装置の斜視図である。
【図2】切削ユニットの構成について説明する正面図である。
【図3】（Ａ）は切削ユニットの構成について説明する斜視図である。（Ｂ）はブレードクーラーアセンブリを移動させた状態について説明する図である。
【図4】切削ユニットの他の構成例について説明する図である。
【図5】（Ａ）は切削液、冷却液の供給経路の構成例について説明する図である。（Ｂ）は切削液、冷却液の供給経路の他の構成例について説明する図である。
【図6】切削装置を制御するコントローラの構成について説明する図である。
【図7】アイドリング時間とアイドリング累積時間の関係について説明する図である。
【図8】被加工物の一例であるウェーハの構成について説明する図である。
【図9】（Ａ）は第一保持ステップについて示す図である。（Ｂ）はアライメントステップについて示す図である。（Ｃ）は切削ステップについて示す図である。
【図10】（Ａ）は切削液停止ステップについて示す図である。（Ｂ）は搬出ステップについて示す図である。（Ｃ）はドレス判定ステップにおけるドレッシングについて示す図である。
【図11】加工方法の一実施形態について示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【0013】
以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図１は、本発明の一実施形態に係る切削装置２について示す斜視図である。切削装置２はベース４を有しており、ベース４上には保持テーブル８が図示せぬ切削送り機構（Ｘ軸移動機構）によりＸ軸方向に往復動可能に配設されている。
【0014】
ベース４の上面には、図示せぬ被加工物を収容するカセット５を載置するカセット載置部５ａと、切削加工後の被加工物を洗浄するための洗浄装置６が設けられている。被加工物は、図示せぬ搬送装置によりカセット５から保持テーブル８上に搬入され、切削ユニット３４にて切削加工された後、洗浄装置６へ搬送されて洗浄され、洗浄後はカセット５へと搬出される。
【0015】
保持テーブル８の周囲には複数のクランプ９及びウォーターカバー１１が配設されており、このウォーターカバー１１とベース４にわたり、下方に配置される切削送り機構を保護するための蛇腹１２が連結されている。
【0016】
ウォーターカバー１１の上面には、ドレスボード５０の上面を露出させて保持するドレスボードテーブル５２が設けられている。ウォーターカバー１１は保持テーブル８とともにＸ軸方向に移動するものであり、このウォーターカバー１１の移動に伴ってドレスボードテーブル５２もＸ軸方向に移動されるものである。
【0017】
ベース４には門型形状のコラム１４が立設され、コラム１４の側面にはＹ軸方向に伸長する一対のガイドレール１５と、ボールねじ１６ａとパルスモータ１６ｂとからなるＹ軸移動機構１７と、Ｙ軸移動ブロック１８と、が設けられ、Ｙ軸移動ブロック１８がＹ軸移動機構１７の駆動によりガイドレール１５に沿ってＹ軸方向に移動する。
【0018】
Ｙ軸移動ブロック１８にはＺ軸方向に伸長する一対のガイドレール１９と、ボールねじ３１ａとパルスモータ３１ｂとからなるＺ軸移動機構３２と、Ｚ軸移動ブロック３０とが設けられ、Ｚ軸移動ブロック３０がＺ軸移動機構３２の駆動によりガイドレール１９に沿ってＺ軸方向に移動する。
【0019】
Ｚ軸移動ブロック３０には切削ユニット３４が取り付けられており、切削ユニット３４のスピンドルハウジング３６内に図示せぬスピンドルが回転可能に収容され、スピンドルの先端部に切削ブレード３８が装着されている。切削ブレード３８の略上半分はブレードカバー（ホイールカバー）４０により覆われている。切削ユニット３４の近傍には撮像ユニット７が配設されている。
【0020】
図２、及び、図３（Ａ）（Ｂ）は切削ユニット３４の構成について説明する図である。切削ユニット３４は、切削ブレード３８とブレードカバー４０を備え、ブレードカバー４０の下方にむけて切削ブレード３８の刃先が突出される。ブレードカバー４０には、切削ブレード３８の下部に純水等の切削液を供給するブレードクーラーノズル４１ａ，４１ｂと、切削ブレード３８の外周部分に切削液を供給するシャワーノズル４６と、が設けられている。
【0021】
図２に示すように、切削ブレード３８は、例えば、アルミからなる基台（ハブ基台）３８ａに、電着で切り刃３８ｂを形成したハブタイプブレードや、基台がなく切り刃をフランジで固定する形態の切削ブレードについても、本発明は好適に実施可能である。
【0022】
【0023】
図３（Ｂ）に示すように、開閉プレート４８にはエアシリンダが内蔵されており、エアシリンダのピストンロッド４３の先端にはブレードクーラーアセンブリ４４が取り付けられている。ブレードクーラーアセンブリ４４は、切削ブレード３８の周囲において周方向約半分を覆うカバー部材４５を有する。
【0024】
図３（Ｂ）に示すように、ピストンロッド４３が伸長されると、その先端のブレードクーラーアセンブリ４４がＸ軸方向において切削ブレード３８から離れる一側方向に移動し、ブレードクーラーアセンブリ４４と開閉プレート４８が互いに離れることにより、切削ブレード３８の周囲が広く開放され、切削ブレード３８の交換が可能な状態となる。
【0025】
図３（Ａ）（Ｂ）に示すように、ブレードクーラーアセンブリ４４は、一対の接続ポート５３ａ，５３ｂと、各接続ポート５３ａ，５３ｂに接続される略Ｌ字状のパイプ材で構成されるブレードクーラーノズル４１ａ，４１ｂと、を有する。ブレードクーラーノズル４１ａは切削ブレード３８の表側（手前側）において水平に伸長するように配置され、ブレードクーラーノズル４１ｂは切削ブレード３８の裏側（奥側）において水平に伸長するように配置される。各ブレードクーラーノズル４１ａ，４１ｂの水平部分において、その周面には、切削ブレード３８に対向する側に切削液を噴出させる複数のスリットが形成される。
【0026】
図２、及び、図３（Ａ）（Ｂ）に示すように、ブレードクーラーノズル４１ａ，４１ｂから、それぞれ切削ブレード３８の表面と裏面に向けて切削液が噴出されることで、切削ブレード３８及び被加工物が冷却され、切削ブレード３８と被加工物の接触領域となる加工点で生じる摩擦熱に起因する加工不良が抑制される。また、切削ブレードや被加工物に付着した切削屑が切削液により排出される。
【0027】
図２、及び、図３（Ａ）（Ｂ）に示すように、開閉プレート４８において、ブレードクーラーアセンブリ４４と反対側となる位置には、シャワーノズルブロック５４が固定されている。シャワーノズルブロック５４の下端部には、切削ブレード３８の外周部に向かって開口するシャワーノズル４６が設けられる。シャワーノズル４６には、シャワーノズルブロック５４に接続される接続ポート５５を通じて切削液が供給される。
【0028】
図２に示すように、シャワーノズル４６から、切削ブレード３８の外周部に向かって切削役が噴出されることで、切削ブレード３８が冷却される。また、切削ブレード３８の回転によって切削液が切削ブレード３８と被加工物との接触領域となる加工点に供給され、加工点で生じる摩擦熱に起因する加工不良が防がれる。
【0029】
ここで、図２、及び、図３（Ａ）（Ｂ）に示されるブレードクーラーノズル４１ａ，４１ｂとシャワーノズル４６は、切削ブレード３８を冷却することを目的として設けられるものであり、両者を合わせて切削液ノズルが構成される。なお、ブレードクーラーノズル４１ａ，４１ｂとシャワーノズル４６のいずれかを設けることで、切削液ノズルとしてもよい。
【0030】
図２、及び、図３（Ａ）（Ｂ）に示すように、シャワーノズルブロック５４の下端部には、切削ブレード３８を避けた方向に向けられ、被加工物を冷却させる冷却液を噴出する冷却液ノズル６０ａ，６０ｂが設けられる。冷却液は、被加工物の冷却と、雰囲気温度の上昇の抑制することを目的とするものである。
【0031】
図２、及び、図３（Ａ）（Ｂ）に示すように、本実施例では、冷却液ノズル６０ａ，６０ｂは、切削ブレード３８の軸方向にずらして二箇所に設けられており、各冷却液ノズル６０ａ，６０ｂから真下に冷却液が噴出されるように構成される。冷却液ノズル６０ａ，６０ｂには、シャワーノズルブロック５４に接続される接続ポート６２を通じて冷却液が供給される。
【0032】
図２、及び、図３（Ａ）（Ｂ）に示すように、シャワーノズルブロック５４には、冷却液ノズル６０ａ，６０ｂと切削ブレード３８を隔離するための壁部５６が形成される。この壁部５６によって、冷却液ノズル６０ａ，６０ｂから噴出される冷却液が切削ブレード３８に当たらないようにしている。
【0033】
【0034】
図４は、切削ユニット３８ｘの他の構成例を示すものである。
この構成例では、冷却液ノズル６０ｘが切削ブレード３８ｘが装着されたスピンドルの軸方向の延長線上に配置される。冷却液ノズル６０ｘは、冷却液が切削ブレード３８ｘに供給されない方向に向けられるのであればよく、特に配置が限定されるものではない。
この構成例では、冷却液ノズル６０ｘが切削ブレード３８ｘが装着されたスピンドルの軸方向の延長線上に配置される。冷却液ノズル６０ｘは、冷却液が切削ブレード３８ｘに供給されない方向に向けられるのであればよく、特に配置が限定されるものではない。
【0035】
図５（Ａ）は、各ノズルへの切削液、冷却液の供給経路の構成について説明する図である。
切削液供給源７１の切削液は、切削液供給路７２及び切削液制御弁７３を介し、接続ポート５３ａ，５３ｂや接続ポート５５に供給され、ブレードクーラーノズル４１ａ，４１ｂやシャワーノズル４６から噴出される。
切削液供給源７１の切削液は、切削液供給路７２及び切削液制御弁７３を介し、接続ポート５３ａ，５３ｂや接続ポート５５に供給され、ブレードクーラーノズル４１ａ，４１ｂやシャワーノズル４６から噴出される。
【0036】
図５（Ａ）に示すように、切削液供給路７２には、二酸化炭素制御弁７４を介して二酸化炭素供給源７５が接続され、切削液に二酸化炭素を混入させ、比抵抗値を下げて（電気伝導率を上げて）被加工物の帯電を防止することができる。切削液は二酸化炭素が混入されることで酸性に傾く。
【0037】
図５（Ａ）に示すように、切削液供給路７２に検出器７６を設けることで、切削液のｐＨ、導電率、比抵抗値等をモニタリングできるようになっている。
【0038】
図５（Ａ）に示すように、冷却液供給源８１の冷却液は、冷却液供給路８２、及び冷却液制御弁８３を介し、接続ポート６２に供給され、冷却液ノズル６０ａ，６０ｂから噴出される。
【0039】
図５（Ａ）に示すように、冷却液供給路８２に検出器８６を設けることで、切削液のｐＨ、導電率、比抵抗値等をモニタリングできるようになっている。
【0040】
切削液供給源７１や冷却液供給源８１から供給する切削液や冷却液は、純水とする他、被加工物や切削ブレードの属性、加工条件などによって適宜選択することができる。
【0041】
また、図５（Ｂ）に示すように、冷却液として切削液と同じものを使用する場合には、切削液供給路７２を分岐し冷却液制御弁８３に接続し、切削液供給路７２から供給される切削液を冷却液として使用することとしてもよい。
【0042】
図６は、以上の構成とする切削装置を制御するコントローラの構成の概要について示す図である。
コントローラ１０には、タッチパネルやキーボード等の入力手段１０１が接続され、加工条件や、加工の開始／停止などの各種情報がオペレータにより入力可能となっている。
コントローラ１０には、タッチパネルやキーボード等の入力手段１０１が接続され、加工条件や、加工の開始／停止などの各種情報がオペレータにより入力可能となっている。
【0043】
コントローラ１０には、ディスプレイ等の表示手段１０２が接続され、加工状況や動作状況などがモニタリングできるようになっている。
【0044】
コントローラ１０は、切削ブレードや保持テーブルなどの各駆動部を制御する動作制御部１１０を有し、動作制御部１１０が切削加工の実施を制御する。
【0045】
コントローラ１０は、図５（Ａ）にも示される切削液制御弁７３、二酸化炭素制御弁７４、冷却液制御弁８３の動作をそれぞれ制御する切削液制御部１１１，二酸化炭素制御部１１２，冷却液制御部１１３を有する。これらの各制御部により各制御弁の開／閉が制御され、切削ユニットでの切削液や冷却液の噴出のＯＮ／ＯＦＦが制御される。このＯＮ／ＯＦＦ制御の例については、後に詳述する。
【0046】
コントローラ１０は、各アイドリング時間Ｔ１，Ｔ２・・・をカウントするアイドリング時間カウント部１１４を有する。図７に示すように、アイドリング時間Ｔ１，Ｔ２・・・とは、切削装置を起動した後に最初の切削加工が開始される前の準備時間、あるいは、前の被加工物の切削加工を終えてから次の被加工物の切削加工が開始されるまでの間の待機時間、をいうものである。アイドリング時間Ｔ１，Ｔ２・・・は、切削加工が開始／再開された際にリセットされ、切削加工が停止するとゼロからカウントを再開する。
【0047】
コントローラ１０は、各アイドリング時間の合計であるアイドリング累積時間Ｔｒ（図７）をカウントするためのアイドリング累積時間カウント部１１５を有する。図７には、アイドリング累積時間Ｔｒとアイドリング時間Ｔ１，Ｔ２・・・の関係が示される。
【0048】
コントローラ１０は、ドレス制御部１１６を有する。ドレス制御部１１６ｄでは、アイドリング累積時間Ｔｒと、予め規定されたドレッシング時間Ｔｄを比較し、アイドリング累積時間Ｔｒがドレッシング時間Ｔｄを超えた場合には、動作制御部１１０を制御してドレッシングを実施させる。
【0049】
次に、以上の装置構成を用いた加工方法について説明する。以下で説明する各ステップの流れは図１１のフローチャートを参照されたい。
【0050】
まず、図８に示す、被加工物の一例であるウェーハ２０について説明する。ウェーハ２０の表面２０ａ側には、デバイス２２が格子状に配置されており、各デバイス２２の間が分割予定ライン２４（ストリート）として構成され、分割予定ライン２４に沿って切削加工することで、半導体チップに分割されるものである。
【0051】
ウェーハ２０の裏面２０ｂは、粘着テープ２６に貼着され、ウェーハ２０の周囲を囲むようにして環状フレーム２８が同じく粘着テープ２６に貼着される。
【0052】
以上のようにして、ウェーハ２０が粘着テープ２６を介して環状フレーム２８に固定されてなるウェーハユニット２９が構成され、このウェーハユニット２９が切削装置にてハンドリングされる。
【0053】
＜第一保持ステップＳ１－１＞
図９（Ａ）に示すように、第一（一枚目）の被加工物であるウェーハ２０を保持テーブル８で保持するステップである。
この例では、粘着テープ２６を介してウェーハ２０が保持テーブル８の表面に吸着保持される。環状フレーム２８は、クランプ９によって挟持される。
図９（Ａ）に示すように、第一（一枚目）の被加工物であるウェーハ２０を保持テーブル８で保持するステップである。
この例では、粘着テープ２６を介してウェーハ２０が保持テーブル８の表面に吸着保持される。環状フレーム２８は、クランプ９によって挟持される。
【0054】
このステップでは、図６に示すように、切削液制御部１１１が切削液制御弁７３を閉とし、冷却液制御弁８３が冷却液制御部１１３を閉とする。これにより、切削ユニット３４では、切削液は噴出せず、冷却液Ｒは噴出する。
【0055】
このように、第一保持ステップでは、切削液が噴出しないため、切削液が過剰に供給されて切削ブレードが腐食することが防がれる。また、冷却液Ｒが噴出することで、切削ユニット３４の周囲の雰囲気温度の上昇が防がれる。
【0056】
＜アライメントステップＳ１－２＞
図９（Ｂ）に示すように、第一（一枚目）の被加工物であるウェーハ２０の表面２０ａを撮像ユニット７にて撮像して分割予定ライン２４（図８）を検出し、分割予定ライン２４が加工送り方向（Ｘ軸方向）（図１）と平行となるように保持テーブル８を回転させてアライメントを行うステップである。
図９（Ｂ）に示すように、第一（一枚目）の被加工物であるウェーハ２０の表面２０ａを撮像ユニット７にて撮像して分割予定ライン２４（図８）を検出し、分割予定ライン２４が加工送り方向（Ｘ軸方向）（図１）と平行となるように保持テーブル８を回転させてアライメントを行うステップである。
【0057】
このステップでは、図６に示すように、切削液制御部１１１が切削液制御弁７３を閉とし、冷却液制御弁８３が冷却液制御部１１３を閉とする。これにより、切削ユニット３４では、冷却液と切削液は両方とも噴出しない。
【0058】
このように、アライメントステップでは、切削液が噴出しないため、切削液が過剰に供給されて切削ブレードが腐食することが防がれる。
【0059】
【0060】
図８において第一の方向（Ｘ軸方向）に伸びる分割予定ライン２４について、保持テーブル８の加工送りと、切削ブレード３８（図９（Ｃ））のＹ軸方向のインデックス送りを交互に繰り返すことで、第一の方向（Ｘ軸方向）の全ての分割予定ライン２４について切削加工を行った後、保持テーブル８を９０度回転させることで、第二の方向（Ｙ軸方向）に伸びる分割予定ライン２４についての切削加工が行われる。
【0061】
このステップでは、図６に示すように、切削液制御部１１１が切削液制御弁７３を開とし、冷却液制御弁８３が冷却液制御部１１３を開とする。これにより、図９（Ｃ）に示すように、切削ユニット３４では、冷却液Ｒと切削液Ｓの両方が噴出する。切削液Ｓが噴出することで、切削ブレード３８や加工点が冷却される。また、冷却液Ｒが噴出することで、切削液Ｓとともに、ウェーハ２０の表面２０ａ上から切削屑を洗い流すことができる（異物除去）。なお、冷却液Ｒは噴出しないこととしてもよい。
【0062】
＜搬出ステップＳ１－４＞
図１０（Ｂ）に示すように、保持テーブル８上から第一被加工物を搬出するステップである。
このステップでは、図６に示すように、切削液制御部１１１が切削液制御弁７３を閉とし、冷却液制御弁８３が冷却液制御部１１３を開とする。これにより、切削ユニット３４では、切削液は噴出せず、冷却液Ｒは噴出する。
図１０（Ｂ）に示すように、保持テーブル８上から第一被加工物を搬出するステップである。
このステップでは、図６に示すように、切削液制御部１１１が切削液制御弁７３を閉とし、冷却液制御弁８３が冷却液制御部１１３を開とする。これにより、切削ユニット３４では、切削液は噴出せず、冷却液Ｒは噴出する。
【0063】
このように、切削液が噴出しないため、切削液が噴出しないため、切削液が過剰に供給されて切削ブレードが腐食することが防がれる。また、冷却液Ｒが噴出することで、切削ユニット３４の周囲の雰囲気温度の上昇が防がれる。
【0064】
＜第二保持ステップＳ２―１＞
図９（Ａ）に示すように、第二（二枚目）の被加工物であるウェーハ２０を保持テーブル８で保持するステップである。
図９（Ａ）に示すように、第二（二枚目）の被加工物であるウェーハ２０を保持テーブル８で保持するステップである。
【0065】
このステップでは、図６に示すように、切削液制御部１１１が切削液制御弁７３を閉とし、冷却液制御弁８３が冷却液制御部１１３を閉とする。これにより、切削ユニット３４では、切削液は噴出せず、冷却液Ｒは噴出する。
【0066】
このように、第二保持ステップでは、切削液が噴出しないため、切削液が過剰に供給されて切削ブレードが腐食することが防がれる。また、冷却液Ｒが噴出することで、切削ユニット３４の周囲の雰囲気温度の上昇が防がれる。
【0067】
以降は同様に、アライメントステップ、切削ステップ、搬出ステップが繰り返される。
【0068】
＜切削液停止ステップＳ６＞
図７のアイドリング時間Ｔ３に示すように、ある被加工物についての切削ステップを終了してから、次の被加工物についての切削ステップが開始されるまでのアイドリング時間が予め設定された所定時間Ｔｓに達したときに、切削液の供給を停止するとともに冷却液を噴射するステップである。
図７のアイドリング時間Ｔ３に示すように、ある被加工物についての切削ステップを終了してから、次の被加工物についての切削ステップが開始されるまでのアイドリング時間が予め設定された所定時間Ｔｓに達したときに、切削液の供給を停止するとともに冷却液を噴射するステップである。
【0069】
より具体的には、切削ステップ終了後、図６及び図７に示すように、アイドリング時間カウント部１１４によりアイドリング時間のカウントが開始され、切削液制御部１１１はアイドリング時間が所定時間Ｔｓに達した際に切削液制御弁７３を閉じることで、切削液の供給を停止させるものである。図７の例では、アイドリング時間Ｔ３において所定時間Ｔｓが経過したことを示している。
【0070】
他方、冷却液制御弁８３は冷却液制御部１１３を開として、冷却液の供給は続行される。
【0071】
以上により、図１０（Ａ）に示すように、アイドリング時間が所定時間Ｔｓに達した後は、切削液が噴出しないため、切削液が過剰に供給されて切削ブレードが腐食することが防がれる。また、冷却液Ｒが噴出することで、切削ユニット３４の周囲の雰囲気温度の上昇が防がれる。なお、切削ステップの終了時に冷却液Ｒの供給を停止し、所定時間Ｔｓ経過後に冷却液Ｒの噴出が再開されることとしてもよい。また、切削ステップ中には冷却液Ｒの供給を停止しておき、所定時間Ｔｓ経過後に冷却液Ｒを噴出させるようにしてもよい。
【0072】
さらに、所定時間Ｔｓをゼロに設定することとしてもよい。この設定によれば、切削装置の起動直後や切削ステップ終了直後から切削液の供給が停止され、切削液が噴出されない状態とすることができる。この場合、切削ステップがされる際に、切削液の供給が開始されることとすればよい。
【0073】
＜ドレス判定ステップＳ７＞
図６、図７，図１０（Ｃ）に示すように、ドレス制御部１１６が、アイドリング累積時間Ｔｒと、予め規定されたドレッシング時間Ｔｄを比較し、アイドリング累積時間Ｔｒがドレッシング時間Ｔｄに達した場合に、動作制御部１１０を制御してドレッシングをするステップである。
図６、図７，図１０（Ｃ）に示すように、ドレス制御部１１６が、アイドリング累積時間Ｔｒと、予め規定されたドレッシング時間Ｔｄを比較し、アイドリング累積時間Ｔｒがドレッシング時間Ｔｄに達した場合に、動作制御部１１０を制御してドレッシングをするステップである。
【0074】
図７の例では、アイドリング時間Ｔｘがカウントされた際に、アイドリング累積時間Ｔｒがドレッシング時間Ｔｄを超過したことを示している。
【0075】
この際、図１０（Ｃ）に示すように、切削ユニット３４をドレスボード５０の位置まで移動し、切削ブレード３８をドレスボード５０に切り込ませることにより、ドレッシングが行われる。
【0076】
このステップでは、図６に示すように、切削液制御部１１１が切削液制御弁７３を開とし、冷却液制御部１１３が冷却液制御弁８３を閉とする。これにより、切削ユニット３４では、切削液が噴出し、冷却液は噴出しない。なお、冷却液制御部１１３が冷却液制御弁８３も開とすることで、冷却液と切削液を両方とも噴出させてもよい。
【0077】
また、図７において、切削液の停止の基準となる所定時間Ｔｓや、ドレッシングの実施の基準となるドレッシング時間Ｔｄは、は、切削ブレードの粒径、ボンドタイプ、厚み、切削液のPh等に基づいて事前に設定されるものである。
【0078】
例えば、切削ブレードの品種と切削液の組合せにおいて、切削ブレードが変質する時間を測定するテストを行うことで、所定時間Ｔｓを設定することができる。同様に、切削ブレードがドレッシングせずに使用することができる限界の時間を測定するテストを行うことで、ドレッシング時間Ｔｄを設定することができる。
【0079】
以上のようにして本発明を実施できる。
即ち、図２、図３（Ａ）（Ｂ）及び、図６に示すように、
切削ブレード３８を有した切削ユニット３４と、
切削ブレード３８で切削する被加工物２０を保持する保持面を含む保持テーブル８と、
保持テーブル８で保持された被加工物２０を切削する切削ブレード３８に向かって切削液を噴射して供給する切削液ノズル（ブレードクーラーノズル４１ａ，４１ｂ、シャワーノズル４６）と、
切削ブレード３８を避けた方向に冷却液を噴射する冷却液ノズル６０ａ，６０ｂと、
切削ブレード３８で被加工物２０を切削していないときに切削液ノズル（ブレードクーラーノズル４１ａ，４１ｂ、シャワーノズル４６）からの切削液の供給を停止するとともに、冷却液ノズル６０ａ，６０ｂから冷却液を供給するよう制御するコントローラ１０と、を備えた切削装置とするものである。
即ち、図２、図３（Ａ）（Ｂ）及び、図６に示すように、
切削ブレード３８を有した切削ユニット３４と、
切削ブレード３８で切削する被加工物２０を保持する保持面を含む保持テーブル８と、
保持テーブル８で保持された被加工物２０を切削する切削ブレード３８に向かって切削液を噴射して供給する切削液ノズル（ブレードクーラーノズル４１ａ，４１ｂ、シャワーノズル４６）と、
切削ブレード３８を避けた方向に冷却液を噴射する冷却液ノズル６０ａ，６０ｂと、
切削ブレード３８で被加工物２０を切削していないときに切削液ノズル（ブレードクーラーノズル４１ａ，４１ｂ、シャワーノズル４６）からの切削液の供給を停止するとともに、冷却液ノズル６０ａ，６０ｂから冷却液を供給するよう制御するコントローラ１０と、を備えた切削装置とするものである。
【0080】
これにより、被加工物２０を切削していないときには切削液が噴出しないため、切削液が過剰に切削ブレードに向けて噴出されることによる切削ブレードの腐食の進行を防ぐことができる。また、冷却液が噴出することで、切削ユニット３４の周囲の雰囲気温度の上昇が防がれる。
【0081】
また、図５（Ｂ）、及び、図９（Ｃ）に示すように、
冷却液は、切削液と同一の供給源から供給され、
冷却液ノズル６０ａ，６０ｂは、切削中の被加工物２０に向けられ、
切削ブレード３８による被加工物２０の切削中に冷却液ノズル６０ａ，６０ｂから被加工物２０に冷却液を噴射して被加工物２０に異物が付着するおそれを低減する。
冷却液は、切削液と同一の供給源から供給され、
冷却液ノズル６０ａ，６０ｂは、切削中の被加工物２０に向けられ、
切削ブレード３８による被加工物２０の切削中に冷却液ノズル６０ａ，６０ｂから被加工物２０に冷却液を噴射して被加工物２０に異物が付着するおそれを低減する。
【0082】
この構成によれば、冷却液ノズル６０ａ，６０ｂは、切削ユニット３４の周囲の雰囲気温度の上昇を防ぐ機能に加え、異物除去の機能も兼ね備えることができる。
【0083】
また、図２、図３（Ａ）（Ｂ）及び図１１に示すように、
第一の被加工物２０を保持テーブル８で保持する第一保持ステップと、
切削液ノズル（ブレードクーラーノズル４１ａ，４１ｂ、シャワーノズル４６）から切削液を切削ブレード３８に供給しつつ保持テーブル８で保持された第一の被加工物２０を切削ブレード３８で切削する第一切削ステップと、
第一切削ステップ終了後に保持テーブル８上から第一の被加工物２０を搬出する搬出ステップと、
搬出ステップを実施した後、保持テーブル８で第二の被加工物２０を保持する第二保持ステップと、
切削液ノズル（ブレードクーラーノズル４１ａ，４１ｂ、シャワーノズル４６）から切削液を切削ブレード３８に供給しつつ保持テーブル８で保持された第二の被加工物２０を切削ブレード３８で切削する第二切削ステップと、を有し、
第一切削ステップを終了した後、切削液の供給を停止するとともに冷却液を冷却液ノズル６０ａ，６０ｂから噴射した状態にする切削液停止ステップを更に有する、切削方法とするものである。
第一の被加工物２０を保持テーブル８で保持する第一保持ステップと、
切削液ノズル（ブレードクーラーノズル４１ａ，４１ｂ、シャワーノズル４６）から切削液を切削ブレード３８に供給しつつ保持テーブル８で保持された第一の被加工物２０を切削ブレード３８で切削する第一切削ステップと、
第一切削ステップ終了後に保持テーブル８上から第一の被加工物２０を搬出する搬出ステップと、
搬出ステップを実施した後、保持テーブル８で第二の被加工物２０を保持する第二保持ステップと、
切削液ノズル（ブレードクーラーノズル４１ａ，４１ｂ、シャワーノズル４６）から切削液を切削ブレード３８に供給しつつ保持テーブル８で保持された第二の被加工物２０を切削ブレード３８で切削する第二切削ステップと、を有し、
第一切削ステップを終了した後、切削液の供給を停止するとともに冷却液を冷却液ノズル６０ａ，６０ｂから噴射した状態にする切削液停止ステップを更に有する、切削方法とするものである。
【0084】
これにより、被加工物２０を切削していないときには切削液が噴出しないため、切削液が過剰に切削ブレードに向けて噴出されることによる切削ブレードの腐食の進行を防ぐことができる。また、冷却液が噴出することで、切削ユニット３４の周囲の雰囲気温度の上昇が防がれる。
【符号の説明】
【0085】
２ 切削装置
７ 撮像ユニット
８ 保持テーブル
１０ コントローラ
３４ 切削ユニット
３８ 切削ブレード
４０ ブレードカバー
４１ａ ブレードクーラーノズル
４１ｂ ブレードクーラーノズル
４４ ブレードクーラーアセンブリ
４６ シャワーノズル
４８ 開閉プレート
５０ ドレスボード
５４ シャワーノズルブロック
５６ 壁部
６０ａ 冷却液ノズル
６０ｂ 冷却液ノズル
６２ａ 接続ポート
６２ｂ 接続ポート
７１ 切削液供給源
７２ 切削液供給路
７３ 切削液制御弁
７４ 二酸化炭素制御弁
７５ 二酸化炭素供給源
７６ 検出器
８１ 冷却液供給源
８２ 冷却液供給路
８３ 冷却液制御弁
８６ 検出器
Ｔ１ アイドリング時間
Ｔｄ ドレッシング時間
Ｔｒ アイドリング累積時間
Ｓ 切削液
Ｒ 冷却液
７ 撮像ユニット
８ 保持テーブル
１０ コントローラ
３４ 切削ユニット
３８ 切削ブレード
４０ ブレードカバー
４１ａ ブレードクーラーノズル
４１ｂ ブレードクーラーノズル
４４ ブレードクーラーアセンブリ
４６ シャワーノズル
４８ 開閉プレート
５０ ドレスボード
５４ シャワーノズルブロック
５６ 壁部
６０ａ 冷却液ノズル
６０ｂ 冷却液ノズル
６２ａ 接続ポート
６２ｂ 接続ポート
７１ 切削液供給源
７２ 切削液供給路
７３ 切削液制御弁
７４ 二酸化炭素制御弁
７５ 二酸化炭素供給源
７６ 検出器
８１ 冷却液供給源
８２ 冷却液供給路
８３ 冷却液制御弁
８６ 検出器
Ｔ１ アイドリング時間
Ｔｄ ドレッシング時間
Ｔｒ アイドリング累積時間
Ｓ 切削液
Ｒ 冷却液
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
