特許 7428846 シリンダキャビネット

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B1)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-01-29

(45)【発行日】2024-02-06

(54)【発明の名称】シリンダキャビネット

(51)【国際特許分類】

   F17C 13/08 20060101AFI20240130BHJP

【ＦＩ】

F17C13/08 301A

【請求項の数】 8

(21)【出願番号】P 2023106841

(22)【出願日】2023-06-29

【審査請求日】2023-06-29

【早期審査対象出願】

(73)【特許権者】

【識別番号】320011650

【氏名又は名称】大陽日酸株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001634

【氏名又は名称】弁理士法人志賀国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】野口 明之

(72)【発明者】

【氏名】城 和則

(72)【発明者】

【氏名】曽根 大介

(72)【発明者】

【氏名】杉浦 遼

【審査官】二ッ谷 裕子

(56)【参考文献】

【文献】特開平１０－１７６７９８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特許第７１５７８９１（ＪＰ，Ｂ１）

【文献】特開２０２２－１５６７８０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０２２－１８２４５０（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許第８４５９３１６（ＵＳ，Ｂ２）

【文献】特開平８－１９３７００（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平８－１００４１２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平１０－１１０８９７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０００－６５２９７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０２１－６５９８１（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｆ１７Ｃ １３／０８

Ｆ１７Ｃ １／００ － １３／１２

Ｂ６２Ｂ

Ｂ６５Ｂ

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

使用中又は使用されるガスボンベを格納可能で、かつ前記ガスボンベを搬入、搬出する開口部を有するキャビネット本体と、
前記開口部を自動で開閉する扉と、
前記扉を前記キャビネット本体における前記開口部の反対側に退避させた位置である退避位置と、前記開口部を前記扉で閉鎖可能な位置である進出位置との間において、前記キャビネット本体の側壁に沿って前記扉を移動可能なスライド機構と、
前記スライド機構により移動する前記扉を、前記開口部を閉鎖する閉鎖位置と、前記開口部を開放する開放位置との間において開閉可能に案内し、かつ前記扉を吊下げ状態に支持する回転支持機構と、
前記扉の開閉を制御する機器と、
前記スライド機構に設けられ、前記キャビネット本体の備える床部に沿って前記扉に追従可能な台車と、
を備え、
前記台車は、
前記スライド機構に設けられた台車本体と、
前記床部に対して交差する方向へ移動可能にサスペンションを介して前記台車本体に設けられたローラと、を備える、
シリンダキャビネット。

【請求項2】

前記回転支持機構は、
前記キャビネット本体の頂部に設けられ、前記扉を開閉可能に案内するカーブレールと、
前記カーブレールに沿って移動可能で、前記扉を吊り下げる懸垂部と、を備え、
前記スライド機構による前記扉の移動に追従して前記カーブレールに沿って前記懸垂部を移動させることにより前記扉を開閉する、請求項１に記載のシリンダキャビネット。

【請求項3】

前記回転支持機構及び前記スライド機構は、前記キャビネット本体の内部に設けられている、請求項１に記載のシリンダキャビネット。

【請求項4】

前記スライド機構は、前記扉を前記側壁に沿って移動させエアシリンダを備える、請求項１に記載のシリンダキャビネット。

【請求項5】

前記扉の位置状況を判断する位置センサを備える、請求項１から４のいずれか一項に記載のシリンダキャビネット。

【請求項6】

前記扉の移動範囲を検知するエリアセンサを備える、請求項１から４のいずれか一項に記載のシリンダキャビネット。

【請求項7】

前記エリアセンサで障害物を検知した場合に、前記移動範囲の周囲に前記扉の開閉を周知させる警告部を備える、請求項６に記載のシリンダキャビネット。

【請求項8】

前記扉の開閉作動を自動と手動とに切り替える切替スイッチを備える、請求項１から４のいずれか一項に記載のシリンダキャビネット。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、シリンダキャビネットに関する。

【背景技術】

【0002】

例えば、シリンダキャビネットは、各種ガスを供給するための設備として広く用いられている。シリンダキャビネットでは、扉を開閉し、その内側の格納スペースに一対のガスボンベを並立した状態で格納している。シリンダキャビネットでは、何れか一方のガスボンベからガスを供給している間に、何れか他方のガスボンベを交換することで、ガスの供給を中断することなく行うことが可能となっている。

【0003】

ところで、上述したガスボンベの交換作業では、ボンベ搬送用台車を用いて、ガスボンベの搬送を行うと共に、ボンベ搬送用台車とシリンダキャビネットとの間で、ガスボンベの搬出及び搬入（入れ替え）が行われる。

【0004】

しかしながら、このようなガスボンベの交換作業は、作業者が重量物であるガスボンベを抱え上げて行う必要があり、非常に危険で且つ重労働である。さらに、ガスボンベの交換作業は、シリンダキャビネットの狭い格納スペースに対してガスボンベの搬出及び搬入を行わなければならず、作業性も悪かった。

【0005】

そこで、下記特許文献１、２に記載の発明では、ガスボンベの交換作業を容易にするため、シリンダキャビネットの開口部からガスボンベの搬出及び搬入をボンベ搬送用台車により自動で行うことが提案されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【文献】特許第６７４５９５７号公報

【文献】特許第６８１２６１４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

しかしながら、シリンダキャビネットの開口部を開閉するためには、扉を手動により開放、閉鎖する必要がある。このため、上述したボンベ搬送用台車によりガスボンベの搬出及び搬入が自動化されるにつれて、開口部の開閉を自動化する必要性が高まってきた。また、例えば、開放された扉が、ボンベ搬送用台車の移動経路に干渉することを抑えるべき旨の課題がある。

【0008】

上記事情に鑑み、本発明は、シリンダキャビネットに備えた扉の開閉を自動化しつつ、ボンベ搬送用台車の移動に支障をきたさないようにすることができる技術の提供を目的としている。

【課題を解決するための手段】

【0009】

本発明の一態様は、使用中又は使用されるガスボンベを格納可能で、かつ前記ガスボンベを搬入、搬出する開口部を有するキャビネット本体と、前記開口部を開閉する扉と、前記扉を前記キャビネット本体における前記開口部の反対側に退避させた位置である退避位置と、前記開口部を前記扉で閉鎖可能な位置である進出位置との間において、前記キャビネット本体の側壁に沿って前記扉を移動可能なスライド機構と、前記スライド機構により移動する前記扉を、前記開口部を閉鎖する閉鎖位置と、前記開口部を開放する開放位置との間において開閉可能に案内し、かつ前記扉を吊下げ状態に支持する回転支持機構と、を備えるシリンダキャビネットである。

【0010】

本発明の一態様は、前記回転支持機構は、前記キャビネット本体の頂部に設けられ、前記扉を開閉可能に案内するカーブレールと、前記カーブレールに沿って移動可能で、前記扉を吊り下げる懸垂部と、を備え、前記スライド機構による前記扉の移動に追従して前記カーブレールに沿って前記懸垂部を移動させることにより前記扉を開閉する。

【0011】

本発明の一態様は、前記スライド機構に設けられ、前記キャビネット本体の備える床部に沿って前記扉に追従可能な台車を備え、前記台車は、前記スライド機構に設けられた台車本体と、前記床部に対して交差する方向へ移動可能にサスペンションを介して前記台車本体に設けられたローラと、を備える。

【0012】

本発明の一態様は、前記回転支持機構及び前記スライド機構は、前記キャビネット本体の内部に設けられている。

【0013】

本発明の一態様は、前記スライド機構は、前記扉を前記側壁に沿って移動させるエアシリンダを備える。

【0014】

本発明の一態様は、前記扉の位置状況を判断する位置センサを備える。

【0015】

本発明の一態様は、前記扉の移動範囲を検知するエリアセンサを備える。

【0016】

本発明の一態様は、前記エリアセンサで障害物を検知した場合に、前記移動範囲の周囲に前記扉の開閉を周知させる警告部を備える。

【発明の効果】

【0017】

本発明によれば、シリンダキャビネットに備えた扉の開閉を自動化しつつ、ボンベ搬送
用台車の移動に支障をきたさないようにすることができる。

【図面の簡単な説明】

【0018】

【図1】本発明の実施形態に係るシリンダキャビネットを扉が閉鎖された状態において幅方向に複数個並べた斜視図である。

【図2】実施形態に係るシリンダキャビネットを扉が開放された状態において開口部から破断した正面図である。

【図3】図２のシリンダキャビネットをＩＩＩ－ＩＩＩ線に沿って破断した断面図である。

【図4】図２のシリンダキャビネットをＩＶ－ＩＶ線に沿って破断した断面図である。

【図5】実施形態に係るシリンダキャビネットの回転支持機構を示す斜視図である。

【図6】実施形態に係るシリンダキャビネットの開口部を扉で閉鎖した状態を示す断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0019】

以下、本発明の一実施形態を、図面を参照しながら説明する。
（シリンダキャビネット）
本発明の一実施形態として、例えばガスボンベＧＢを収納するシリンダキャビネット１について説明する。
図１は、実施形態に係るシリンダキャビネットを扉が閉鎖された状態において幅方向に複数個並べた斜視図である。図２は、実施形態に係るシリンダキャビネットを扉が開放された状態において開口部から破断した正面図である。

【0020】

図１、図２に示すように、シリンダキャビネット１は、ガスボンベＧＢ内に充填されたガスを半導体製造装置（図示せず）に供給する設備として、フロア（床面）ＦＬの上に設置されている。シリンダキャビネット１は、全体として略直方体状を為すと共に、開口部１０に左右一対の扉３を有している。
以下、シリンダキャビネット１において開口部１０側を前方、開口部１０の反対側を後方、シリンダキャビネット１を開口部１０の正面側からみて左側を左方向、右側を右方向として説明する。また、シリンダキャビネット１を設置するフロアＦＬ側を下方、フロアＦＬの反対側を上方として説明する。

【0021】

シリンダキャビネット１では、扉３を開閉し、その内側の格納スペースＳに一対のガスボンベＧＢを左右方向（幅方向）に並立した状態で格納している。また、シリンダキャビネット１では、何れか一方のガスボンベＧＢからガスを供給している間に、何れか他方のガスボンベＧＢを交換することで、ガスの供給を中断することなく行うことが可能となっている。

【0022】

なお、シリンダキャビネット１には、例えば、制御ボックス、配管用ボックス（何れも図示せず）等が設けられている。不図示の制御ボックスは、ガスボンベＧＢと接続される配管や、扉３の開閉、弁の開閉や圧力の監視、ガス漏れの監視等を行うための機器を収納する。不図示の配管用ボックスは、半導体製造装置等に接続するための配管を収納する。
また、不図示の制御ボックスには、上位装置と通信するための通信部（図示せず）が備えられ、通信部によって扉３の開閉の情報、弁の開閉の情報、圧力の監視結果、ガス漏れの監視結果及びガスボンベＧＢの残量の情報等が上位装置に送信される。

【0023】

図３は、図２のシリンダキャビネットをＩＩＩ－ＩＩＩ線に沿って破断した断面図である。図４は、図２のシリンダキャビネットをＩＶ－ＩＶ線に沿って破断した断面図である。
図２～図４に示すように、シリンダキャビネット１は、キャビネット本体２と、左右一対の扉３と、左右一対のスライド機構４と、左右一対の回転支持機構５と、左右一対の台車６と、を備えている。また、シリンダキャビネット１は、位置センサと、エリアセンサと、警告部と、切替スイッチ（何れも図示せず）と、を備えている。

【0024】

（キャビネット本体）
キャビネット本体２は、使用中又は使用されるガスボンベＧＢを格納可能に全体として略直方体状に形成されている。キャビネット本体２は、床部２ａ、左側壁（側壁）２ｂ、右側壁（側壁）２ｃ、頂部２ｄ、及び背面壁２ｅ等を有している。キャビネット本体２は、床部２ａ、左側壁２ｂ、右側壁２ｃ、頂部２ｄ、及び背面壁２ｅ等によりガスボンベＧＢを格納可能な格納スペースＳが形成されている。また、キャビネット本体２は、ガスボンベＧＢを搬入、搬出する開口部１０を正面に有している。開口部１０は、正面視において矩形状に形成されている。

【0025】

キャビネット本体２の内部（すなわち、ガスボンベＧＢを格納する格納スペースＳ）には、左右一対のスライド機構４、左右一対の回転支持機構５、及び左右一対の台車６が設けられている。左側のスライド機構４及び左側の回転支持機構５に左側の扉３が、開口部１０における左側半分を開閉可能に支持されている。また、右側のスライド機構４及び右側の回転支持機構５に右側の扉３が、開口部１０における右側半分を開閉可能に支持されている。

【0026】

なお、シリンダキャビネット１の左側構成と右側構成とは、概ね左右対称に構成されている。よって、シリンダキャビネット１の左側構成及び右側構成において各構成部材に同じ符号を付し、左側構成について詳しく説明して右側構成の説明を省略する。また、左側の扉３が開口部１０の左側半分を開閉する作動を、「扉３が開口部１０を開閉する」と略記する。

【0027】

（扉）
扉３は、開口部１０を開閉可能にスライド機構４及び回転支持機構５に支持されている。扉３は、スライド機構４により退避位置と進出位置との間を移動可能である。退避位置は、開口部１０を開放した扉３を、キャビネット本体２における開口部１０の反対側に退避させてキャビネット本体２の背面壁２ｅ側に配置することによりキャビネット本体２の内部に収納する位置である。進出位置は、扉３をキャビネット本体２の開口部１０側の位置で、かつ開口部１０を扉３で閉鎖可能な位置ある。扉３は、スライド機構４により退避位置と進出位置との間を自動的に移動する。

【0028】

また、扉３は、回転支持機構５により開放位置と閉鎖位置との間を移動可能である。開放位置は、扉３が、キャビネット本体２の開口部１０を開放する位置である。閉鎖位置は、扉３が、キャビネット本体２の開口部１０を閉鎖する位置である。扉３は、スライド機構４及び回転支持機構５により開放位置と閉鎖位置との間を自動的に移動する。
以下、扉３において、スライド機構４及び回転支持機構５に支持される側を基端部３ａ、基端部３ａの反対側を先端部３ｂとして説明する。

【0029】

（スライド機構）
スライド機構４は、扉３の退避位置と進出位置との間において、扉３をキャビネット本体２の左側壁２ｂに沿って移動可能である。スライド機構４は、第１ロッドレスシリンダ１２と、第１リニアガイド１３と、第２リニアガイド１４と、第１スライドプレート１５と、第２ロッドレスシリンダ１６と、第２スライドプレート１７と、を備えている。

【0030】

第１ロッドレスシリンダ１２は、キャビネット本体２の左側壁２ｂに設けられている。第１ロッドレスシリンダ１２は、第１シリンダ本体２１と、第１スライダ２２と、を備えている。第１シリンダ本体２１は、左側壁２ｂの上下方向中央において前後方向に向けて配置されている。第１シリンダ本体２１の内部に第１ピストン（不図示）が空圧で移動自在に収納され、第１ピストンに第１スライダ２２が設けられている。すなわち、第１ロッドレスシリンダ１２は、エアシリンダである。第１スライダ２２は、扉３の進出位置と退避位置との間において第１シリンダ本体２１に沿って空圧で前後方向に移動する。第１スライダ２２は、第１スライドプレート１５において上端部寄りの部位１５ａに固定されている。

【0031】

第１リニアガイド１３は、第１ロッドレスシリンダ１２の上方においてキャビネット本体２の左側壁２ｂに設けられている。第１リニアガイド１３は、第１レール２４と、第１ブロック２５と、を備えている。第１レール２４は、キャビネット本体２の左側壁２ｂにおいて扉３の進出位置と退避位置との間に前後方向に沿って固定されている。第１ブロック２５は、扉３の進出位置と退避位置との間において第１レール２４に沿って円滑に移動可能に支持されている。第１ブロック２５は、第１スライドプレート１５の上端部１５ｂに固定されている。

【0032】

第２リニアガイド１４は、第１ロッドレスシリンダ１２の下方においてキャビネット本体２の左側壁２ｂに設けられている。第２リニアガイド１４は、第１リニアガイド１３と同様に構成され、第２レール２７と、第２ブロック２８と、を備えている。第２レール２７は、キャビネット本体２の左側壁２ｂにおいて扉３の進出位置と退避位置との間に前後方向に沿って固定されている。第２ブロック２８は、扉３の進出位置と退避位置との間において第２レール２７に沿って円滑に移動可能に支持されている。第２ブロック２８は、第１スライドプレート１５の下端部１５ｃ寄りの部位１５ｄに固定されている。

【0033】

第１スライドプレート１５は、第１ロッドレスシリンダ１２の第１スライダ２２、第１リニアガイド１３の第１ブロック２５、及び第２リニアガイド１４の第２ブロック２８に固定されている。第１スライドプレート１５は、一定の幅寸法で直線に延びる帯状に形成されている。第１スライドプレート１５は、左側壁２ｂにおいて下端部寄りの部位２ｂ１と上下方向中央の上方部位２ｂ２との間に上下方向へ向けて配置されている。第１スライドプレート１５には、第１支持ブラケット３１、第２支持ブラケット３２、第３支持ブラケット３３、及び第４支持ブラケット３４が固定されている。

【0034】

第１支持ブラケット３１は、第１リニアガイド１３の上方に配置されている。第２支持ブラケット３２は、第１リニアガイド１３と第１ロッドレスシリンダ１２との間に配置されている。第３支持ブラケット３３は、第１ロッドレスシリンダ１２の下方に配置されている。第４支持ブラケット３４は、第２リニアガイド１４の下方に配置されている。第１支持ブラケット３１、第２支持ブラケット３２、第３支持ブラケット３３、及び第４支持ブラケット３４には、ヒンジシャフト３８が貫通されている。第１支持ブラケット３１～第４支持ブラケット３４は同様に構成されている。

【0035】

ヒンジシャフト３８は、第１支持ブラケット３１～第４支持ブラケット３４に対して周方向へ回転可能に支持されて配置されている。ヒンジシャフト３８は、キャビネット本体２の頂部２ｄと床部２ａ寄りの部位との間において上下方向に向けて配置されている。
ヒンジシャフト３８の上端部３８ａは、第１ヒンジ部４１に対して周方向へ回転可能に支持されている。第１ヒンジ部４１は、扉３の基端部３ａにおいて上端部３ａ１に取り付けられている。また、ヒンジシャフト３８の下端部３８ｂは、第２ヒンジ部４２に対して周方向へ回転可能に支持されている。第２ヒンジ部４２は、扉３の基端部３ａにおいて下端部寄りの部位３ａ２に取り付けられている。さらに、ヒンジシャフト３８の中央部３８ｃは、第３ヒンジ部４３に対して周方向へ回転可能に支持されている。第３ヒンジ部４３は、扉３の基端部３ａにおいて中央３ａ３に取り付けられている。
第１ヒンジ部４１、第２ヒンジ部４２、及び第３ヒンジ部４３は、例えば、扉３の開閉作動で発生する摩擦により、扉３を任意の位置に停止させるトルクヒンジしての機能を備える。

【0036】

ここで、ヒンジシャフト３８は、第１ヒンジ部４１、第２ヒンジ部４２、及び第３ヒンジ部４３を介して扉３の基端部３ａに取り付けられている。ヒンジシャフト３８には第１支持ブラケット３１～第４支持ブラケット３４を介して第１スライドプレート１５が連結されている。すなわち、第１スライドプレート１５は、第１支持ブラケット３１～第４支持ブラケット３４、ヒンジシャフト３８、及び第１ヒンジ部４１～第３ヒンジ部４３を介して扉３の基端部３ａに連結されている。第１スライドプレート１５は、扉３の基端部３ａにおいて上下方向の下半部に配置されている。

【0037】

第２ロッドレスシリンダ１６は、第１ロッドレスシリンダ１２と同様に構成され、キャビネット本体２の左側壁２ｂに設けられている。第２ロッドレスシリンダ１６は、第２シリンダ本体４５と、第２スライダ４６と、を備えている。第２シリンダ本体４５は、左側壁２ｂの上部において前後方向に向けて配置されている。第２シリンダ本体４５の内部に第２ピストン（不図示）が空圧で移動自在に収納され、第２ピストンに第２スライダ４６が設けられている。すなわち、第２ロッドレスシリンダ１６は、エアシリンダである。第２スライダ４６は、扉３の進出位置と退避位置との間において第２シリンダ本体４５に沿って空圧で前後方向に移動する。第２スライダ４６は、第２スライドプレート１７において上下方向中央に固定されている。

【0038】

第２スライドプレート１７は、第２スライダ４６に固定された状態において、左側壁２ｂの上部に上下方向へ向けて配置されている。第２スライドプレート１７には、第５支持ブラケット４８及び第６支持ブラケット４９が固定されている。
第５支持ブラケット４８は、第２ロッドレスシリンダ１６の上方に配置されている。第６支持ブラケット４９は、第２ロッドレスシリンダ１６の下方に配置されている。第５支持ブラケット４８及び第６支持ブラケット４９には、ヒンジシャフト３８が貫通された状態において周方向へ回転可能に支持されている。第５支持ブラケット４８及び第６支持ブラケット４９は、第１支持ブラケット３１～第４支持ブラケット３４と同様に構成されている。

【0039】

ヒンジシャフト３８には第５支持ブラケット４８及び第６支持ブラケット４９を介して第２スライドプレート１７が連結されている。すなわち、第２スライドプレート１７は、第５支持ブラケット４８、第６支持ブラケット４９、ヒンジシャフト３８、及び第１ヒンジ部４１～第３ヒンジ部４３を介して扉３の基端部３ａに連結されている。第２スライドプレート１７は、扉３の基端部３ａにおいて上部に配置されている。

【0040】

スライド機構４は、第１ヒンジ部４１、第２ヒンジ部４２、及び第３ヒンジ部４３が扉３の基端部３ａに取り付けられることにより、扉３の基端部３ａに第１スライドプレート１５及び第２スライドプレート１７が連結されている。スライド機構４は、第１ロッドレスシリンダ１２の第１スライダ２２及び第２ロッドレスシリンダ１６の第２スライダ４６が上下方向において同一位置に配置されている。第１スライダ２２及び第２スライダ４６は、同期した状態で、扉３の進出位置と退避位置との間を移動する。すなわち、第１スライドプレート１５及び第２スライドプレート１７は、上下方向において同一位置に配置された状態で、扉３の進出位置と退避位置との間を同期移動する。

【0041】

具体的には、第１ロッドレスシリンダ１２の第１スライダ２２が扉３の進出位置と退避位置との間を移動することにより、第１スライドプレート１５が扉３の進出位置と退避位置との間を移動する。ここで、第１スライドプレート１５は、第１リニアガイド１３の第１ブロック２５及び第２リニアガイド１４の第２ブロック２８に固定されている。よって、第１スライドプレート１５は、第１リニアガイド１３及び第２リニアガイド１４に安定的に支持されている。これにより、第１スライドプレート１５は、第１スライダ２２の移動に追従して円滑に、かつ安定的に移動する。

【0042】

また、第２ロッドレスシリンダ１６の第２スライダ４６が扉３の進出位置と退避位置との間を移動することにより、第２スライドプレート１７が扉３の進出位置と退避位置との間を移動する。ここで、第２スライドプレート１７は、上下方向中央に第２スライダ４６が固定されている。よって、第２スライドプレート１７は、第２スライダ４６の移動に追従して円滑に、かつ安定的に移動する。

【0043】

このように、第１スライドプレート１５及び第２スライドプレート１７が扉３の進出位置から退避位置まで矢印Ａの如く移動することにより、扉３を進出位置から退避位置まで矢印Ａの如く左側壁２ｂに沿って後方に退避（移動）させることができる。
また、第１スライドプレート１５及び第２スライドプレート１７が扉３の退避位置から進出位置まで矢印Ｂの如く移動することにより、扉３を退避位置から進出位置まで矢印Ｂの如く左側壁２ｂに沿って前方に進出（移動）させることができる。

【0044】

加えて、扉３の基端部３ａにおいて上下方向の下半部に、第１スライドプレート１５が第１支持ブラケット３１～第４支持ブラケット３４、ヒンジシャフト３８、及び第１ヒンジ部４１～第３ヒンジ部４３を介して連結されている。さらに、扉３の基端部３ａにおいて上部に、第２スライドプレート１７が第５支持ブラケット４８、第６支持ブラケット４９、ヒンジシャフト３８、及び第１ヒンジ部４１～第３ヒンジ部４３を介して連結されている。よって、扉３の基端部３ａにおいて上下方向の概ね全域を、第１スライドプレート１５及び第２スライドプレート１７で支持できる。
これにより、スライド機構４（具体的には、第１ロッドレスシリンダ１２及び第２ロッドレスシリンダ１６）で、扉３を安定させた状態において前後方向へ平行に移動させることができる。

【0045】

（回転支持機構）
図５は、実施形態に係るシリンダキャビネットの回転支持機構を示す斜視図である。
図３～図５に示すように、回転支持機構５は、スライド機構４により移動する扉３を閉鎖位置と開放位置との間において開閉可能に案内し、かつ扉３を吊下げ状態に支持する。回転支持機構５は、カーブレール５２と、懸垂部５３と、扉連結部５４と、を備えている。カーブレール５２は、例えばキャビネット本体２の頂部２ｄに複数の固定部５５を介して設けられている。カーブレール５２は、頂部２ｄに沿って前後方向に向けて配置されている。また、カーブレール５２は、扉３が退避位置に配置された状態において、第１ヒンジ部４１及び扉３に対してキャビネット本体２の内側に位置し、かつ第２スライドプレート１７の上方に配置されている。

【0046】

カーブレール５２は、レール直線部５６と、レール湾曲部（湾曲部）５７と、を有する。レール直線部５６は、第２ロッドレスシリンダ１６に沿って前後方向に向けて配置されている。レール直線部５６の前端部５６ａにレール湾曲部５７の後端部５７ａが設けられている。すなわち、レール湾曲部５７の後端部５７ａは、レール直線部５６の前端部５６ａに対して同じ位置に形成されている。レール湾曲部５７は、後端部５７ａから前端部５７ｂまで開口部１０に向かうに従って開口部１０の中央に向けて湾曲状に延びている。カーブレール５２には懸垂部５３が支持されている。

【0047】

懸垂部５３は、移動部６１と、懸垂シャフト６２と、を備えている。移動部６１は、カーブレール５２に沿ってレール直線部５６の後端部５６ｂとレール湾曲部５７の前端部５７ｂとの間において移動可能に支持されている。
移動部６１は、例えば、一対の第１ローラ６４，６４及び一対の第２ローラ６５，６５が一対の連結ブロック６６，６６で連結されている。移動部６１は、一対の第１ローラ６４，６４及び一対の第２ローラ６５，６５でカーブレール５２に沿って移動可能に支持されている。また、移動部６１は、例えば、支持ブロック６７が一対のシャフト６８に取り付けられ、カーブレール５２の下方に配置されている。支持ブロック６７から懸垂シャフト６２が下方に向けて延びている。

【0048】

懸垂シャフト６２には扉連結部５４が懸垂シャフト６２の周方向へ回転可能に連結されている。扉連結部５４は、扉３の上端部３ａ１に固定されている。すなわち、カーブレール５２には、懸垂シャフト６２及び扉連結部５４を介して扉３の上端部３ａ１が吊り下げられている。よって、扉３の自重を回転支持機構５のカーブレール５２で支えることができる。換言すれば、扉３を回転支持機構５で支持することができる。
移動部６１は、第１ロッドレスシリンダ１２及び第２ロッドレスシリンダ１６により扉３を進出位置と退避位置との間で移動する際に、扉３の移動に追従してレール直線部５６の後端部５６ｂとレール湾曲部５７の前端部５７ｂとの間で移動する。

【0049】

ここで、第１ロッドレスシリンダ１２及び第２ロッドレスシリンダ１６により扉３が進出位置に進出することにより、扉３の進出移動に追従して移動部６１（すなわち、懸垂部５３）がレール湾曲部５７の前端部５７ｂに移動する。この状態において、扉３が開口部１０を閉鎖する閉鎖位置に配置される。
また、第１ロッドレスシリンダ１２及び第２ロッドレスシリンダ１６により扉３が進出位置から退避位置側に退避することにより、扉３の退避移動に追従して移動部６１がレール湾曲部５７の後端部５７ａに移動する。この状態において、扉３が開口部１０を開放する開放位置に配置される。すなわち、レール湾曲部５７は、扉３の移動に追従して移動部６１がレール湾曲部５７に沿って前端部５７ｂと後端部５７ａとの間を移動することにより、扉３を開閉可能に案内する。

【0050】

さらに、第１ロッドレスシリンダ１２及び第２ロッドレスシリンダ１６により扉３が退避位置側に退避することにより、扉３の退避作動に追従して移動部６１がレール直線部５６の後端部５６ｂに移動する。この状態において、扉３がキャビネット本体２の内部において左側壁２ｂに沿って配置され、扉３の先端部３ｂが開口部１０に対して面一に配置される。すなわち、扉３がキャビネット本体２の内部に退避する。

【0051】

（台車）
図２、図３に示すように、スライド機構４の第１スライドプレート１５において下端部１５ｃに台車６が設けられている。台車６は、台車本体７２と、ローラ７３と、サスペンション７３ｓと、を備えている。台車本体７２は、第１スライドプレート１５の下端部１５ｃに設けられている。ローラ７３は、台車本体７２にサスペンション７３ｓを介して設けられている。ローラ７３は、キャビネット本体２の備える床部２ａに載置され、例えば床部２ａに設けられたガイドレール（図示せず）に沿って前後方向へ移動する。ローラ７３は、サスペンション７３ｓにより床部２ａに対して交差する方向へ移動可能に支持されている。

【0052】

台車６は、第１スライドプレート１５の下端部１５ｃに設けられることにより、扉３の進出位置と退避位置との間において第１スライドプレート１５とともに前後方向に移動する。第１スライドプレート１５は、第１ヒンジ部４１、第２ヒンジ部４２、及び第３ヒンジ部４３を介して扉３の基端部３ａに連結されている。すなわち、台車６は、扉３に追従して移動可能に第１スライドプレート１５に設けられている。

【0053】

よって、台車６は、扉３の開閉をガイドすることにより、扉３を円滑に動作させることができる。また、台車６は、床部２ａに載置されることにより、扉３の想定外の動きを抑えて扉３を安定させることができる。
さらに、ローラ７３が台車本体７２にサスペンション７３ｓを介して設けられている。よって、台車６は、例えば、シリンダキャビネット１が設置されるフロアＦＬが傾いている等の理由によって床部２ａが傾いている場合に、床部２ａに柔軟に対応させることができる。

【0054】

（位置センサ）
不図示の位置センサは、例えば、第１ロッドレスシリンダ１２の第１スライダ２２及び第２ロッドレスシリンダ１６の第２スライダ４６の少なくとも一方の位置を検知するシリンダ位置センサである。第１スライダ２２及び第２スライダ４６の少なくとも一方の位置を位置センサで検知することにより、例えば扉３が閉鎖位置、開放位置、退避位置、進出位置等に配置されたことを把握できる。これにより、シリンダキャビネット１の制御装置を経由して搬送システムに位置信号を提供することにより、扉３の位置状況を判断できる。
シリンダキャビネット１の制御装置は、位置センサで検知した扉３の位置状況に基づいて、スライド機構４に備えた第１ロッドレスシリンダ１２及び第２ロッドレスシリンダ１６等の作動を制御する。

【0055】

なお、制御装置は、例えば、不図示の開放開始スイッチの操作信号に基づいて扉３を開放するように第１ロッドレスシリンダ１２及び第２ロッドレスシリンダ１６等の作動を制御する。また、制御装置は、例えば、不図示の閉鎖開始スイッチの操作信号に基づいて扉３を閉鎖するように第１ロッドレスシリンダ１２及び第２ロッドレスシリンダ１６等の作動を制御する。

【0056】

なお、制御装置は、例えば、ボンベ搬送用台車がシリンダキャビネット１に接近したことに基づいて扉３を開放するように第１ロッドレスシリンダ１２及び第２ロッドレスシリンダ１６等の作動を制御する。ボンベ搬送用台車は、シリンダキャビネット１に格納されたガスボンベＧＢを搬出及び搬入する。また、制御装置は、例えば、ボンベ搬送用台車がシリンダキャビネット１から離反したことに基づいて扉３を閉鎖するように第１ロッドレスシリンダ１２及び第２ロッドレスシリンダ１６等の作動を制御する。

【0057】

（エリアセンサ）
不図示のエリアセンサは、扉３の移動範囲を検知する。扉３の移動範囲の周囲をエリアセンサで検知することにより、扉３を開閉する前に、移動範囲の周囲における障害物を検知できる。
特に、スライド機構４に第１ロッドレスシリンダ１２及び第２ロッドレスシリンダ１６においてエアシリンダを使用した場合、扉３の作動途中に第１ロッドレスシリンダ１２及び第２ロッドレスシリンダ１６を停止することが難しい。このため、移動範囲の周囲における障害物を検知することが好ましい。

【0058】

（警告部）
不図示の警告部は、エリアセンサで障害物を検知した場合に、移動範囲の周囲に扉３の開閉を周知させることができる。このように、扉３の移動範囲を検知するエリアセンサに警告部を併用できる。これにより、移動範囲の周囲において障害物を検知した場合に、例えば扉３を開閉する前に移動範囲の周囲に扉３の開閉を周知させることができる。

【0059】

（切替スイッチ）
なお、シリンダキャビネット１には切替スイッチ（図示せず）が備えられている。不図示の切替スイッチは、扉３の開閉作動を「自動」と「手動」とに切り替えるスイッチである。すなわち、シリンダキャビネット１の扉３を「手動」で開閉する場合が必要なことが考えられる。よって、不図示の切替スイッチを備えることにより、扉３を手動で開閉する場合に適切に対応することが可能である。

【0060】

（扉の開閉作動）
つぎに、シリンダキャビネット１の扉３を自動的に開閉する作動を図３、図４、図６に基づいて説明する。なお、扉３を自動的に開閉する作動の説明においては、位置センサ、エリアセンサ、警告部についての説明を省略する。
まず、シリンダキャビネット１の扉３を閉鎖位置から自動的に開放する作動について説明する。
図６は、実施形態に係るシリンダキャビネットの開口部を扉で閉鎖した状態を示す断面図である。
図６に示すように、シリンダキャビネット１の扉３が閉鎖位置に配置され、扉３で開口部１０が閉鎖されている。扉３で開口部１０を閉鎖した状態において、第１スライドプレート１５及び第２スライドプレート１７が扉３の進出位置に配置される。また、懸垂部５３がレール湾曲部５７の前端部５７ｂに配置される。この状態において、例えば、不図示の開放開始スイッチを操作することで、扉３の開放作動を開始する。

【0061】

図３、図６に示すように、開放開始スイッチを操作すること等により、スライド機構４に備えた第１ロッドレスシリンダ１２の第１スライダ２２が扉３の進出位置から後方の退避位置側に移動する。同時に、スライド機構４に備えた第２ロッドレスシリンダ１６の第２スライダ４６が扉３の進出位置から後方の退避位置側に移動する。よって、第１スライドプレート１５及び第２スライドプレート１７が扉３の進出位置から後方の退避位置側に矢印Ａの如く移動する。
第１スライドプレート１５及び第２スライドプレート１７が後方に移動することにより、懸垂部５３がレール湾曲部５７の前端部５７ｂからレール湾曲部５７に沿って後方に矢印Ｃの如く移動する。よって、扉３を矢印Ｄの如くヒンジシャフト３８を軸にして閉鎖位置から開放できる。

【0062】

第１スライドプレート１５及び第２スライドプレート１７を継続して後方に移動することにより、懸垂部５３がレール湾曲部５７の後端部５７ａまでレール湾曲部５７に沿って矢印Ｃの如く移動する。懸垂部５３がレール湾曲部５７の後端部５７ａまで移動することにより、扉３を矢印Ｄの如くヒンジシャフト３８を軸にして継続して開放位置まで開放する。扉３を開放位置まで矢印Ｄの如く開放することにより、扉３がキャビネット本体２の左側壁２ｂに対して平行に配置される。

【0063】

図３、図４に示すように、第１スライドプレート１５及び第２スライドプレート１７を継続して退避位置まで後方に矢印Ａの如く移動する。これにより、懸垂部５３がレール湾曲部５７の後端部５７ａからレール直線部５６を経てレール直線部５６の後端部５６ｂまで矢印Ｅの如く移動する。懸垂部５３がレール直線部５６の後端部５６ｂまで移動することにより、扉３の先端部３ｂが開口部１０に対して面一（あるいは、概ね面一）に配置される。よって、扉３がキャビネット本体２の内部に退避してシリンダキャビネット１の開口部１０が開放される。
退避した扉３は、キャビネット本体２の内部において左側壁２ｂに沿って配置される。これにより、シリンダキャビネット１の扉３を閉鎖位置から開放位置に自動的に開放する作動が完了する。

【0064】

つぎに、シリンダキャビネット１の扉３を開放位置から自動的に閉鎖する作動について説明する。
図３、図４に示すように、シリンダキャビネット１の扉３が退避位置に配置され、扉３で開口部１０が開放されている。この状態において、例えば、不図示の閉鎖開始スイッチを操作することで、扉３の閉鎖作動を開始する。閉鎖開始スイッチを操作すること等により、スライド機構４に備えた第１ロッドレスシリンダ１２の第１スライダ２２が扉３の退避位置から前方の進出位置側に移動する。同時に、スライド機構４に備えた第２ロッドレスシリンダ１６の第２スライダ４６が扉３の退避位置から前方の進出位置側に移動する。よって、第１スライドプレート１５及び第２スライドプレート１７が扉３の退避位置から前方の進出位置側に矢印Ｂの如く移動する。

【0065】

第１スライドプレート１５及び第２スライドプレート１７が前方に移動することにより、懸垂部５３がレール直線部５６の後端部５６ｂからレール直線部５６を経てレール湾曲部５７の後端部５７ａまで前方に矢印Ｆの如く移動する。
第１スライドプレート１５及び第２スライドプレート１７を継続して前方に移動することにより、懸垂部５３がレール湾曲部５７の後端部５７ａからレール湾曲部５７に沿って矢印Ｇの如く移動する。

【0066】

図３、図６に示すように、懸垂部５３がレール湾曲部５７に沿って矢印Ｇの如く移動することにより、扉３がヒンジシャフト３８を軸にして矢印Ｈの如く開口部１０を閉鎖する方向に移動する。懸垂部５３がレール湾曲部５７の前端部５７ｂまで移動することにより、扉３を閉鎖位置まで移動する。閉鎖位置まで移動した扉３でキャビネット本体２の開口部１０が閉鎖される。これにより、シリンダキャビネット１の扉３を退避位置から閉鎖位置に自動的に閉鎖する作動が完了する。

【0067】

以上説明した実施形態のシリンダキャビネット１によれば、図３、図４、図６に示すように、不図示の開放開始スイッチを操作すること等により、スライド機構４及び回転支持機構５で扉３を回転させて開口部１０を自動的に開放できる。さらに、開放された扉３をスライド機構４でキャビネット本体２の内部に自動的に退避できる。この状態において、扉３がキャビネット本体２の内部に収納される。
また、不図示の閉鎖開始スイッチを操作すること等により、開かれた扉３をスライド機構４及び回転支持機構５で開口部１０側に自動的に進出できる。さらに、開口部１０側に進出した扉３をスライド機構４及び回転支持機構５で回転させて開口部１０を自動的に閉鎖できる。
これにより、シリンダキャビネット１に備えた扉３の開閉を自動化できる。したがって、シリンダキャビネット１の開口部１０を開閉するために、扉３を手動で開放、閉鎖する必要がない。この結果、シリンダキャビネット１は、ガスボンベＧＢを搬出及び搬入する際の自動化に寄与できる。

【0068】

加えて、開かれた扉３をスライド機構４及び回転支持機構５で退避させて、キャビネット本体２の内部に収納できる。よって、キャビネット本体２の前方において正面側の開口部１０をフルフラットにできる。このため、例えばガスボンベＧＢを搬出及び搬入する自動化に使用されるボンベ搬送用台車（図示せず）が開口部１０に近づく際に、扉３が邪魔になることを防止できる。これにより、ボンベ搬送用台車の移動に支障をきたさないようにすることができる。また、ボンベ搬送用台車を開口部１０に適切にドッキング（接触）できる。したがって、ボンベ搬送用台車への対応が可能になり、ガスボンベＧＢを搬出及び搬入する際の自動化に一層適切に寄与できる。

【0069】

ここで、キャビネット本体２は、設置されるフロアＦＬの平滑度により鉛直性が左右される。例えば、キャビネット本体２を設置するフロアＦＬが斜めに傾斜している場合、キャビネット本体２が斜めに設置される。この場合、扉３をスライド機構４で開閉する際に、スライド機構４に扉３が引っかかり、スライド機構４による扉３の開閉に支障をきたすことが考えられる。

【0070】

そこで、扉３を回転支持機構５で吊下げ状態に支持するようにした。よって、例えば、キャビネット本体２をフロアＦＬに斜めに設置した場合でも、フロアＦＬからの影響を最小限に抑えて扉３を回転支持機構５で安定的に支えることができる。これにより、扉３をスライド機構４及び回転支持機構５で支障なく円滑（スムーズ）に開閉でき、シリンダキャビネット１に備えた扉３の開閉を一層好適に自動化できる。

【0071】

また、キャビネット本体２の頂部２ｄに回転支持機構５のカーブレール５２を設けた。さらに、カーブレール５２に沿って移動可能な懸垂部５３に扉３を吊り下げた。このように、キャビネット本体２の頂部２ｄにカーブレール５２を設けることにより、扉３の上端部３ａ１をカーブレール５２に吊り下げることができる。すなわち、扉３の自重をカーブレール５２で支えることができる。よって、例えば、キャビネット本体２が斜めに設置された場合でも、扉３をカーブレール５２で安定的に支えることができる。これにより、扉３をスライド機構４及び回転支持機構５で支障なく開閉でき、シリンダキャビネット１に備えた扉３の開閉を一層好適に自動化できる。

【0072】

さらに、カーブレール５２のレール湾曲部５７で移動部６１（すなわち、懸垂部５３）を移動することにより、扉３を開閉可能に案内するようにした。よって、扉３を開閉する際に、扉３をカーブレール５２のレール湾曲部５７で吊下げ状態に支えることができる。これにより、扉３をカーブレール５２で安定的に支えることができ、扉３を支障なく開閉できる。

【0073】

加えて、スライド機構４の第１スライドプレート１５において下端部１５ｃに台車６を設け、台車６を扉３に追従可能とした。スライド機構４は、第１ヒンジ部４１、第２ヒンジ部４２、及び第３ヒンジ部４３が扉３の基端部３ａに取り付けられることにより、扉３の基端部３ａに連結されている。扉３の開閉を台車６でガイドすることにより、扉３を円滑に動作させることができる。また、台車６を床部２ａに載置させることにより、扉３の動きを台車６で抑えて扉３を安定させることができる。

【0074】

また、台車６のローラ７３を台車本体７２にサスペンション７３ｓを介して設け、ローラ７３を床部２ａに対して交差する方向（すなわち、上下方向）へ移動可能とした。よって、例えば、台車６を扉３に追従させて移動する際に、ローラ７３を床部２ａに対応させて上下方向に移動させることができる。すなわち、例えば、シリンダキャビネット１が設置されるフロアＦＬが傾いている等の理由によって床部２ａが傾いている場合に、台車６を床部２ａに柔軟に対応させることができる。これにより、扉３をスライド機構４及び回転支持機構５で支障なく開閉でき、シリンダキャビネット１に備えた扉３の開閉を一層好適に自動化できる。

【0075】

ここで、シリンダキャビネット１に扉３を開閉するスライド機構４及び回転支持機構５を備える場合、スライド機構４及び回転支持機構５をキャビネット本体２の外側に設けることも考えられる。しかし、例えば、図１に示すように、シリンダキャビネット１を設置するフロアＦＬに複数のシリンダキャビネット１を左右方向に並べて配置する場合がある。この場合、フロアＦＬに複数のシリンダキャビネット１を設置するために、隣接するシリンダキャビネット１間の間隔が比較的狭く抑えられる。
よって、キャビネット本体２の外側に設けたスライド機構４及び回転支持機構５のメンテナンスをおこなう空間が狭くなる。このため、スライド機構４及び回転支持機構５のメンテナンスが困難になることが考えられる。

【0076】

そこで、スライド機構４及び回転支持機構５をキャビネット本体２の内部（すなわち、ガスボンベＧＢを格納する格納スペースＳ）に設けるようにした。ガスボンベＧＢの格納スペースＳは、ガスボンベＧＢを円滑に搬入、搬出するために、ガスボンベＧＢに対して比較的大きな空間に形成されている。よって、複数のシリンダキャビネット１を左右方向に並べて配置した状態においても（図１参照）、スライド機構４及び回転支持機構５のメンテナンスをおこなう空間を十分に確保できる。これにより、スライド機構４及び回転支持機構５のメンテナンス性を向上させることができる。

【0077】

また、スライド機構４に備えた第１ロッドレスシリンダ１２及び第２ロッドレスシリンダ１６をエアシリンダとした。よって、スライド機構４をエアで作動させることができる。これにより、シリンダキャビネット１に収納するガスボンベＧＢに対して好ましい駆動源とすることができる。
さらに、第１ロッドレスシリンダ１２及び第２ロッドレスシリンダ１６のユーティリティ入口（図示せず）に、調整器（スピードコントローラ）又はオリフィスを設けることにより、扉３の開閉速度を調整できる。
加えて、複数のシリンダキャビネット１の扉３を同時に開閉する可能性もあるため、第１ロッドレスシリンダ１２及び第２ロッドレスシリンダ１６の蓄圧器（バッファタンク）を装備し、作動用空気が不足しないよう考慮することが好ましい。
実施形態では、スライド機構４の駆動源として、空圧で作動する第１ロッドレスシリンダ１２及び第２ロッドレスシリンダ１６を例に説明するが、空圧による駆動源に代えて電気モータ等を駆動源としてもよい。

【0078】

また、扉３の位置状況を判断する位置センサを備える。これにより、扉３の位置状況に基づいて制御装置による扉３の制御を円滑に行うことに寄与することができる。

【0079】

また、扉３の移動範囲を検知するエリアセンサを備える。これにより、扉３の移動範囲に位置する障害物を検知することができる。よって、例えば、障害物の検知に合わせて扉３の開閉を制御することで、扉３が障害物と干渉することを抑えることができる。

【0080】

また、エリアセンサで障害物を検知した場合に、移動範囲の周囲に扉３の開閉を周知させる警告部を備える。これにより、例えば、扉３の開閉を安全に行うことに寄与することができる。

【0081】

なお、本発明の技術的範囲は前記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。

【0082】

その他、本発明の趣旨に逸脱しない範囲で、前記実施形態における構成要素を周知の構成要素に置き換えることは適宜可能であり、また、前記した変形例を適宜組み合わせてもよい。

【符号の説明】

【0083】

１…シリンダキャビネット ２…キャビネット本体 ２ａ…床部 ２ｂ…キャビネット本体の左側壁（キャビネット本体の側壁） ２ｄ…キャビネット本体の頂部 ３…扉 ４…スライド機構 ５…回転支持機構 ６…台車 １０…開口部 ５２…カーブレール ５３…懸垂部 ６１…移動部 ７２…台車本体 ７３…ローラ ＧＢ…ガスボンベ Ｓ…格納スペース（キャビネット本体の内部）

【要約】

【課題】シリンダキャビネットに備えた扉の開閉を自動化しつつ、ボンベ搬送用台車の移
動に支障をきたさないようにすること。
【解決手段】使用中又は使用されるガスボンベＧＢを格納可能で、かつガスボンベＧＢを搬入、搬出する開口部１０を有するキャビネット本体２と、開口部１０を開閉する扉３と、扉３を退避位置と進出位置との間においてキャビネット本体２の左側壁２ｂに沿って移動可能なスライド機構４と、スライド機構４により移動する扉３を、開口部１０を閉鎖する閉鎖位置と、開口部１０を開放する開放位置との間において開閉可能に案内し、かつ扉３を吊下げ状態に支持する回転支持機構５と、を備えるシリンダキャビネット。
【選択図】図４

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】