特許 7430641 基板搬送装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-02-02

(45)【発行日】2024-02-13

(54)【発明の名称】基板搬送装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/677 20060101AFI20240205BHJP

   B25J 9/06 20060101ALI20240205BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 A

B25J9/06 D

【請求項の数】 45

(21)【出願番号】P 2020549654

(86)(22)【出願日】2019-03-18

(65)【公表番号】

(43)【公表日】2021-11-11

(86)【国際出願番号】 US2019022768

(87)【国際公開番号】W WO2019178600

(87)【国際公開日】2019-09-19

【審査請求日】2022-03-03

(31)【優先権主張番号】16/354,954

(32)【優先日】2019-03-15

(33)【優先権主張国・地域又は機関】US

(31)【優先権主張番号】62/644,053

(32)【優先日】2018-03-16

(33)【優先権主張国・地域又は機関】US

(73)【特許権者】

【識別番号】522041444

【氏名又は名称】ブルックス オートメーション ユーエス、エルエルシー

(74)【代理人】

【識別番号】110001896

【氏名又は名称】弁理士法人朝日奈特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】ビュシエール、クリストファー エー

(72)【発明者】

【氏名】タシジャン、ブレイク アール

【審査官】湯川 洋介

(56)【参考文献】

【文献】特表２０１７－５０３６６６（ＪＰ，Ａ）

【文献】実開昭６０－０８７６９２（ＪＰ，Ｕ）

【文献】実開平０３－０２９７４６（ＪＰ，Ｕ）

【文献】特開２０１４－２４０６７７（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／６７７

Ｂ２５Ｊ ９／０６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

捻れ運動駆動部材であって、前記捻れ運動駆動部材の回転軸を囲繞する外周面を有する捻れ運動駆動部材と、
本体部、および前記本体部に回転可能に連結されるベアリングカラーを含む捻れ運動従動部材であって、前記捻れ運動従動部材は、寸法略不変インターフェースによって、前記捻れ運動駆動部材に連結され、前記ベアリングカラーは、前記外周面が全体として前記ベアリングカラーに対して自由であるように、前記捻れ運動駆動部材の前記外周面から切り離される、捻れ運動従動部材と
を備える基板搬送装置。

【請求項2】

前記ベアリングカラーは、前記寸法略不変インターフェースから切り離される、請求項１記載の基板搬送装置。

【請求項3】

前記捻れ運動駆動部材は、駆動部材位置基準面を有し、前記捻れ運動従動部材は、従動部材位置基準面を有し、前記駆動部材位置基準面および前記従動部材位置基準面は、前記捻れ運動駆動部材および前記捻れ運動従動部材の互いに対する所定の位置を設定する所定の並びである、請求項１記載の基板搬送装置。

【請求項4】

前記寸法略不変インターフェースは、前記寸法略不変インターフェースによる前記捻れ運動駆動部材の前記駆動部材位置基準面、および前記捻れ運動従動部材の前記従動部材位置基準面との係合が、前記捻れ運動従動部材および前記捻れ運動駆動部材の両方に対する前記寸法略不変インターフェースの再現可能な所定位置をもたらすように、前記捻れ運動駆動部材の前記駆動部材位置基準面、および前記捻れ運動従動部材の前記従動部材位置基準面を補完する構成を有する、請求項３記載の基板搬送装置。

【請求項5】

前記基板搬送装置は、前記捻れ運動従動部材を前記捻れ運動駆動部材に連結するように構成されるトルクバーをさらに備え、前記寸法略不変インターフェースは、前記トルクバー上に配置され、前記捻れ運動駆動部材および前記捻れ運動従動部材に同時に係合し、前記捻れ運動駆動部材から前記捻れ運動従動部材への捻れ力の伝達をもたらす、請求項３記載の基板搬送装置。

【請求項6】

前記トルクバーは、第１端部、第２端部、および前記第１端部と前記第２端部との間に配置されるスラスト面を含み、前記スラスト面は、前記寸法略不変インターフェースの少なくとも一部を画定し、前記捻れ運動駆動部材の前記駆動部材位置基準面に係合するように構成される、請求項５記載の基板搬送装置。

【請求項7】

前記第１端部は、第１くさび面を含み、前記第２端部は、第２くさび面を含み、前記第１くさび面および前記第２くさび面は、前記寸法略不変インターフェースを前記従動部材位置基準面に対して着座させ、付勢部材の端部制御面に予圧付与するために、第１付勢部材および第２付勢部材のそれぞれと係合するように構成される、請求項６記載の基板搬送装置。

【請求項8】

前記寸法略不変インターフェースは、前記捻れ運動従動部材を前記捻れ運動駆動部材に連結する略無摩擦継手である、請求項１記載の基板搬送装置。

【請求項9】

前記捻れ運動駆動部材の前記外周面は、前記ベアリングカラーが、前記捻れ運動駆動部材の前記外周面を囲繞するが、前記捻れ運動駆動部材の前記外周面に連結されないように、全体的に自由表面である、請求項１記載の基板搬送装置。

【請求項10】

前記捻れ運動従動部材は、プーリである、請求項１記載の基板搬送装置。

【請求項11】

前記基板搬送装置は、前記プーリに接続される予圧付与されたバンド－プーリ継手をさらに備える、請求項１０記載の基板搬送装置。

【請求項12】

前記捻れ運動従動部材は、アームリンクである、請求項１記載の基板搬送装置。

【請求項13】

前記捻れ運動駆動部材は、駆動シャフトである、請求項１記載の基板搬送装置。

【請求項14】

前記捻れ運動駆動部材は、多軸駆動スピンドルの駆動シャフトである、請求項１記載の基板搬送装置。

【請求項15】

前記捻れ運動駆動部材は、多軸駆動スピンドルの内側駆動シャフトまたは外側駆動シャフトのうちの１つである、請求項１記載の基板搬送装置。

【請求項16】

前記基板搬送装置は、アームリンクハウジングをさらに備え、前記捻れ運動従動部材は、前記本体部を前記ベアリングカラー上に着座させる少なくとも１つの軸受けをさらに備え、前記少なくとも１つの軸受けの軸受レースは、前記アームリンクハウジングに従属し、前記捻れ運動駆動部材から独立する、請求項１記載の基板搬送装置。

【請求項17】

前記ベアリングカラーは、前記捻れ運動駆動部材から独立する前記アームリンクハウジングに従属する、請求項１６記載の基板搬送装置。

【請求項18】

前記寸法略不変インターフェースは、前記捻れ運動駆動部材から前記捻れ運動従動部材に付与されるトルクの各方向に対して剛性かつ略不変である、請求項１記載の基板搬送装置。

【請求項19】

前記寸法略不変インターフェースは、付与される方向における最大トルクにて、およびトルクの過渡の間中、剛性かつ略不変であり、付与されるトルクの前記方向は、反対の適用される方向に、別の最大トルクへと切り替えられる、請求項１８記載の基板搬送装置。

【請求項20】

捻れ運動駆動部材であって、前記捻れ運動駆動部材の回転軸の周りに外周面を有する捻れ運動駆動部材と、
本体部、および前記本体部に回転可能に連結されるベアリングカラーを含む捻れ運動従動部材であって、前記捻れ運動従動部材は、寸法略不変インターフェースによって、前記捻れ運動駆動部材に連結され、前記ベアリングカラーは、前記外周面が全体として前記ベアリングカラーから解放されるように、前記捻れ運動駆動部材の前記外周面から自由である、捻れ運動従動部材と
を備える基板搬送装置。

【請求項21】

ベアリングカラーおよび本体部を含む捻れ運動従動部材を設けること
を含む方法であって、
前記捻れ運動従動部材は、寸法略不変インターフェースにより、捻れ運動駆動部材に連結され、前記ベアリングカラーは、前記捻れ運動駆動部材の外周面が全体として前記ベアリングカラーに対して自由であるように、前記捻れ運動駆動部材の外周面から切り離される、
方法。

【請求項22】

前記ベアリングカラーは、前記寸法略不変インターフェースから切り離される、請求項２１記載の方法。

【請求項23】

前記捻れ運動駆動部材は、駆動部材位置基準面を有し、前記捻れ運動従動部材は、従動部材位置基準面を有し、前記駆動部材位置基準面および前記従動部材位置基準面は、前記捻れ運動駆動部材および前記捻れ運動従動部材の互いに対する所定の位置を設定する所定の並びである、請求項２１記載の方法。

【請求項24】

前記寸法略不変インターフェースは、前記寸法略不変インターフェースによる前記捻れ運動駆動部材の前記駆動部材位置基準面、および前記捻れ運動従動部材の前記従動部材位置基準面との係合が、前記捻れ運動従動部材および前記捻れ運動駆動部材の両方に対する前記寸法略不変インターフェースの再現可能な所定位置をもたらすように、前記捻れ運動駆動部材の前記駆動部材位置基準面、および前記捻れ運動従動部材の前記従動部材位置基準面を補完する構成を有する、請求項２３記載の方法。

【請求項25】

前記捻れ運動従動部材を前記捻れ運動駆動部材に連結するように構成されるトルクバーを設けることと、前記捻れ運動駆動部材および前記捻れ運動従動部材を同時に、前記トルクバー上に配置される前記寸法略不変インターフェースと係合させることと、前記捻れ運動駆動部材から前記捻れ運動従動部材への捩れ力の伝達をもたらすこととをさらに含む、請求項２３記載の方法。

【請求項26】

前記寸法略不変インターフェースは、前記捻れ運動従動部材を前記捻れ運動駆動部材に連結する略無摩擦継手である、請求項２１記載の方法。

【請求項27】

前記捻れ運動駆動部材の前記外周面は、前記ベアリングカラーが、前記捻れ運動駆動部材の前記外周面を囲繞するが、前記捻れ運動駆動部材の前記外周面に連結されないように、全体的に自由表面である、請求項２１記載の方法。

【請求項28】

前記方法は、少なくとも１つの軸受けにより、前記本体部を前記ベアリングカラー上に着座させることをさらに含み、前記少なくとも１つの軸受けの軸受レースは、アームリンクハウジングに従属し、前記捻れ運動駆動部材から独立する、請求項２１記載の方法。

【請求項29】

ツールフレームと、
前記ツールフレームに接続される基板搬送部と
を備える基板処理ツールであって、
前記基板搬送部は、
前記ツールフレームに対して回転し、トルクを発生させるように、移動可能に接続される回転駆動部材と、
前記回転駆動部材に接続される回転従動部材であって、前記回転従動部材は、前記回転駆動部材から前記回転従動部材に付与される前記トルクにより、前記ツールフレームに対する回転駆動部材の運動に従動するように、前記回転駆動部材に接続される、回転従動部材と、
前記回転駆動部材と前記回転従動部材との間の、接触式トルク伝達インターフェースを有する回転トルク伝達継手であって、前記接触式トルク伝達インターフェースは、剛性の略非滑り性インターフェースであり、前記剛性の略非滑り性インターフェースは、略非摩擦伝達により、前記回転駆動部材から前記回転トルク伝達継手を横切って前記回転従動部材への、前記トルクの双方向性のトルク伝達をもたらすように、前記接触式トルク伝達インターフェースにて所定の再現可能な双方向性の剛性および略非滑り性の接触を前記剛性の略非滑り性インターフェースが有するように構成される、回転トルク伝達継手と
を有する、
基板処理ツール。

【請求項30】

前記回転従動部材は、前記回転駆動部材が前記回転従動部材の少なくとも一部の周りに配置されるように、少なくとも部分的に前記回転駆動部材の内部に位置する、請求項２９記載の基板処理ツール。

【請求項31】

前記回転駆動部材は、前記回転従動部材が前記回転駆動部材の少なくとも一部の周りに配置されるように、少なくとも部分的に前記回転従動部材の内部に位置する、請求項２９記載の基板処理ツール。

【請求項32】

前記基板搬送部は、高精度運動基板搬送装置である、請求項２９記載の基板処理ツール。

【請求項33】

前記高精度運動基板搬送装置は、２５μｍの、または２５μｍよりも小さい運動の再現可能な正確性を有する高精度運動を有する、請求項３２記載の基板処理ツール。

【請求項34】

前記回転駆動部材は、駆動部材位置基準面を有し、前記回転従動部材は、従動部材位置基準面を有し、前記駆動部材位置基準面および前記従動部材位置基準面は、前記回転駆動部材および前記回転従動部材の互いに対する所定の位置を設定する所定の並びである、請求項２９記載の基板処理ツール。

【請求項35】

前記接触式トルク伝達インターフェースは、前記接触式トルク伝達インターフェースによる前記回転駆動部材の前記駆動部材位置基準面、および前記回転従動部材の前記従動部材位置基準面との係合が、前記回転従動部材および前記回転駆動部材の両方に対する前記接触式トルク伝達インターフェースの再現可能な所定位置をもたらすように、前記回転駆動部材の前記駆動部材位置基準面、および前記回転従動部材の前記従動部材位置基準面を補完する構成を有する、請求項３４記載の基板処理ツール。

【請求項36】

前記回転トルク伝達継手は、第１端部、第２端部、および前記第１端部と前記第２端部との間に配置されるスラスト面を含み、前記スラスト面は、前記接触式トルク伝達インターフェースの少なくとも一部を画定し、前記回転駆動部材の駆動部材位置基準面に係合するように構成される、請求項２９記載の基板処理ツール。

【請求項37】

前記第１端部は、第１くさび面を含み、前記第２端部は、第２くさび面を含み、前記第１くさび面および前記第２くさび面は、従動部材位置基準面に対して前記回転トルク伝達継手を着座させ、付勢部材の端部制御面に予圧付与するために、第１付勢部材および第２付勢部材のそれぞれと係合するように構成される、請求項３６記載の基板処理ツール。

【請求項38】

前記第１付勢部材および前記第２付勢部材のそれぞれは、前記第１くさび面および前記第２くさび面のそれぞれの１つに係合するためのくさび係合面を含み、付勢部材のそれぞれと前記第１端部および前記第２端部との間の係合は、前記付勢部材を着座させ、補剛する、請求項３７記載の基板処理ツール。

【請求項39】

実質的に圧縮荷重が摩擦荷重から切り離されて、前記回転駆動部材から前記接触式トルク伝達インターフェースを横切って捻れ運動および総トルクの伝達をもたらすように、前記回転駆動部材から前記回転トルク伝達継手の前記スラスト面へ、ならびに前記第１端部および前記第２端部のそれぞれの端部制御スラストインターフェースから前記回転従動部材へ、圧縮荷重が伝達される、請求項３８記載の基板処理ツール。

【請求項40】

各付勢部材は、反作用荷重がピンにより前記回転従動部材に伝達されるように、前記回転従動部材にピン留めされる、請求項３９記載の基板処理ツール。

【請求項41】

前記回転駆動部材の外周面は、前記回転従動部材が、前記回転駆動部材の前記外周面を囲繞するが、前記回転駆動部材の前記外周面に連結されないように、全体的に自由表面である、請求項２９記載の基板処理ツール。

【請求項42】

前記回転従動部材は、プーリである、請求項２９記載の基板処理ツール。

【請求項43】

前記基板処理ツールは、前記プーリに接続される予圧付与されたバンド－プーリ継手をさらに備える、請求項４２記載の基板処理ツール。

【請求項44】

前記接触式トルク伝達インターフェースは、前記回転駆動部材から前記回転従動部材に付与される前記トルクの各方向に対して剛性かつ略不変である、請求項２９記載の基板処理ツール。

【請求項45】

前記接触式トルク伝達インターフェースは、付与される方向の最大トルクにおいて、およびトルクの過渡の間中、剛性かつ略不変であり、付与されるトルクの方向は、反対の付与される方向に、別の最大トルクへと切り替えられる、請求項２９記載の基板処理ツール。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

［関連出願の相互参照］
本出願は、２０１８年３月１６日に出願された米国仮特許出願第６２／６４４，０５３号の利益を主張する通常出願であって、その開示内容の全ては、参照により本明細書に組み込まれる。

【0002】

［技術分野］
例示的実施形態は、概して、自動化された処理装置に関し、より具体的には、基板搬送装置に関する。

【背景技術】

【0003】

一般的に、半導体処理基板は、所定の位置内の処理位置に設置される。基板は、基板搬送装置によって、所定の位置に設置される。これらの基板搬送装置は、所定の位置における基板の再現可能な設置を可能にする駆動システム（たとえば、モータ、プーリ、ベルト、バンドなど）を有して構成される。たとえば、従来の基板搬送装置は、概して、約１００μｍの再現性で基板を設置する。しかし、技術の進歩に伴って基板上の特徴部がよりいっそう複雑になるにつれて、従来の基板搬送装置の設置精度は、ますます複雑となる特徴部に対応する望ましい精度で基板を処理位置に繰り返し設置するためには十分でない可能性がある。

【発明の概要】

【0004】

たとえば、駆動部とアームリンクとの間におけるモータヒステリシスの影響を実質的に制限するために、基板搬送部のエンドエフェクタを駆動部と接続する略不変の剛性トルク継手を基板搬送部に設けることは有利となる。

【図面の簡単な説明】

【0005】

開示される実施形態の前述の態様および他の特徴を、添付の図面に関連して、以下の記述にて説明する。

【0006】

【図1A】開示される実施形態の態様による基板処理装置の概略図である。

【図1B】開示される実施形態の態様による基板処理装置の概略図である。

【図1C】開示される実施形態の態様による基板処理装置の概略図である。

【図1D】開示される実施形態の態様による基板処理装置の概略図である。

【図1E】開示される実施形態の態様による図１Ａ～１Ｄの基板処理装置の一部の概略図である。

【図1F】開示される実施形態の態様による図１Ａ～１Ｄの基板処理装置の一部の概略図である。

【図1G】開示される実施形態の態様による基板処理装置の概略図である。

【図1H】開示される実施形態の態様による基板処理装置の概略図である。

【図1I】開示される実施形態の態様による基板処理装置の概略図である。

【図1J】開示される実施形態の態様による基板処理装置の概略図である。

【図1K】開示される実施形態の態様による基板処理装置の概略図である。

【図1L】開示される実施形態の態様による基板処理装置の概略図である。

【図1M】開示される実施形態の態様による基板処理装置の概略図である。

【図2A】開示される実施形態の態様による基板搬送駆動セクションの一部の概略図である。

【図2B】開示される実施形態の態様による基板搬送駆動セクションの一部の概略図である。

【図2C】開示される実施形態の態様による基板搬送駆動セクションの一部の概略図である。

【図2D】開示される実施形態の態様による基板搬送駆動セクションの一部の概略図である。

【図3A】開示される実施形態の態様による搬送アームの概略図である。

【図3B】開示される実施形態の態様による搬送アームの概略図である。

【図3C】開示される実施形態の態様による搬送アームの概略図である。

【図3D】開示される実施形態の態様による搬送アームの概略図である。

【図3E】開示される実施形態の態様による搬送アームの概略図である。

【図4】開示される実施形態の態様による基板搬送装置の概略図である。

【図5】開示される実施形態の態様による、図１～４に図示される基板搬送装置の様々な態様を表す一部の概略図である。

【図6A】開示される実施形態の態様による、図４に図示される基板搬送装置の一部の概略図の斜視図である。

【図6B】開示される実施形態の態様による、図４に図示される基板搬送装置の一部の概略図の斜視図である。

【図6C】開示される実施形態の態様による、図４に図示される基板搬送装置の一部の概略図の斜視図である。

【図7】開示される実施形態の態様による、図５に図示される基板搬送装置の一部の断面立面概略図である。

【図8】開示される実施形態の態様による、図５に図示される基板搬送装置の一部の拡大された部分断面立面概略図である。

【図9】開示される実施形態の態様による、図５に図示される基板搬送装置の一部の拡大された部分断面立面概略図である。

【図10】開示される実施形態の態様による、図１～４に図示される基板搬送装置の様々な態様を表す一部の平面概略図である。

【図11】開示される実施形態の態様による、図１０に図示される基板搬送装置の一部の部分断面立面概略図である。

【図12A】開示される実施形態の態様による、図５および図１０に図示される基板搬送装置の一部の概略図である。

【図12B】開示される実施形態の態様による、図５および図１０に図示される基板搬送装置の一部の概略図である。

【図13】開示される実施形態の１つまたは複数の態様による基板搬送部の動作の方法のフローチャートである。

【発明を実施するための形態】

【0007】

図１Ａ～１Ｍは、開示される実施形態の態様による基板処理装置の概略図である。開示される実施形態の態様を図面に関連して説明するが、開示される実施形態の態様は、様々な形態で具体化され得ることが理解されるべきである。さらに、任意の適切なサイズ、形状または種類の要素または材料が使用されてもよい。

【0008】

開示される実施形態の態様は、基板搬送装置１０４Ａの高精度運動をもたらす方法および装置を提供する（図４）。高精度運動は、基板搬送装置１０４Ａに、既知の基板搬送装置に対し、基板の設置の再現性の向上を、そして特定の例においては、約１００ミクロンより優れた基板の設置の再現性もたらす動きであり、それによって、基板搬送装置１０４Ａのエンドエフェクタ、およびその上で担持される基板は、基板を設置する（または取り出す）ために、ウェハ搬送平面に沿って再現可能に伸長する。たとえば、以下においてさらに説明するように、開示される実施形態の態様は、基板搬送装置１０４Ａのトルク継手に寸法略不変インターフェース５００（図５）を含む基板搬送装置１０４Ａを提供する。寸法略不変インターフェース５００は、たとえば、基板搬送装置１０４Ａの環境または他の動作条件により、（一貫性のない）影響を受ける可能性のある駆動システム内の摩擦継手（およびそれに固有の、一貫性のない、または再現不可能なばらつき）を実質的になくすことによって、基板搬送装置１０４Ａの基板の設置の再現性および正確性を実質的に上昇させる。

【0009】

従来の基板搬送装置では、たとえば、膨張および収縮などの熱的影響、ロボット部品の摩耗、ロボット部品のずれ、モータヒステリシスなどにより引き起こされるロボットの性能の変動が、たとえば、処理ステーション１３０からの基板Ｓの設置および取り出しにおける再現性のエラーの原因となり得る。たとえば、ロボットアームは、処理中に温度変化に曝されるときに、（他の熱的影響および／または他の変動の中でも）熱膨張および熱収縮を受ける可能性がある。これらの温度変化は、エンドエフェクタの中央揃えされた位置（たとえば、所定の基板保持位置）がオフセットされるか、または位置変動Δ_PVを有するように、ロボットアームの位置決めに影響を及ぼす。たとえば、搬送アーム３１５’（図４）のこれらの可変性を低減し、再現性および正確性を向上させるために、搬送アーム３１５’の基板搬送装置１０４Ａの回転駆動部材と回転従動部材との間の継手（たとえば、トルク継手）は、寸法略不変インターフェース５００（図５）と連結されてもよく、寸法略不変インターフェース５００は、その略不変インターフェースによって、（「バング－バング（bang-bang）」制御を備えた定格モータτまたは最大モータの適用による最適軌道を含むすべての経路および軌道に沿った）アーム運動の最大範囲に亘り、再現性を提供する。アーム運動の範囲および軌道の適切な例は、２０１６年１２月１３日発行の、「ＴＩＭＥ－ＯＰＴＩＭＡＬ ＴＲＡＪＥＣＴＯＲＩＥＳ ＦＯＲ ＲＯＢＯＴＩＣ ＴＲＡＮＳＦＥＲ ＤＥＶＩＣＥＳ」と題される米国特許第９，５１７，５５８号明細書（その開示内容の全ては、参照により本明細書に組み込まれる）に記載されているが、開示される実施形態は、任意の適切な軌道に適用可能である。以下においてさらに説明するように、寸法略不変インターフェース５００は、略非摩擦トルク伝達によって、回転駆動部材と回転従動部材との間の、（アーム運動制御中のすべてのトルクの過渡に対し、およびそのトルクの過渡に亘る）総トルクのトルク伝達をもたらすための、剛性の、略非滑り性インターフェースである。

【0010】

たとえば、半導体ツールステーションなどの、開示される実施形態の態様による処理装置１００Ａ、１００Ｂ、１００Ｃ、１００Ｄ、１００Ｅ、１００Ｆ、１００Ｇ、１００Ｈが示される。半導体ツールステーションが図中に示されるが、本明細書において説明する、開示される実施形態の態様は、トルク継手を使用する任意のツールステーションまたは応用例に適用されてもよい。一態様では、処理装置１００Ａ、１００Ｂ、１００Ｃ、１００Ｄ、１００Ｅ、１００Ｆ、１００Ｇ、１００Ｈ、１００Ｉは、クラスタツール配置を有して示され（たとえば、基板保持ステーションが中央チャンバに接続されている）、一方、他の態様では、処理装置は、（その開示内容の全ては、参照により本明細書に組み込まれる）２０１３年３月１９日に発行された、「Ｌｉｎｅａｒｌｙ Ｄｉｓｔｒｉｂｕｔｅｄ Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ Ｗｏｒｋｐｉｅｃｅ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｔｏｏｌ」と題される米国特許第８，３９８，３５５号明細書に記載されるもののような線形に配置されたツール１００Ｌ、１００Ｍであってもよいが、開示される実施形態の態様は、任意の適切なツールステーションに適用されてもよい。装置１００Ａ、１００Ｂ、１００Ｃ、１００Ｄ、１００Ｅ、１００Ｆ、１００Ｇ、１００Ｈ、１００Ｉは、概して、大気フロントエンド１０１、少なくとも１つの真空ロードロック１０２、１０２Ａ、１０２Ｂ、１０２Ｃおよび真空バックエンド１０３を含む。少なくとも１つの真空ロードロック１０２、１０２Ａ、１０２Ｂ、１０２Ｃは、任意の適切な配置で、フロントエンド１０１および／またはバックエンド１０３の任意の適切な（１つまたは複数の）ポートまたは（１つまたは複数の）開口部に連結されてもよい。たとえば、一態様では、１つまたは複数のロードロック１０２、１０２Ａ、１０２Ｂ、１０２Ｃは、図１Ｂ～１Ｄおよび１Ｇ～１Ｋに見られるように、共通の水平面上において横並び配置で配置されてもよい。他の態様では、１つまたは複数のロードロックは、少なくとも２つのロードロック１０２Ａ、１０２Ｂ、１０２Ｃ、１０２Ｄが、図１Ｅに示すように、行（たとえば互いに離間した水平面）および列（たとえば互いに離間した垂直面）をなして配置されるように、グリッド形式で配置されてもよい。さらに他の態様では、１つまたは複数のロードロックは、図１Ａに示すような、単一の一列のロードロック１０２であってもよい。さらに別の態様では、少なくとも１つロードロック１０２、１０２Ｅは、図１Ｆに示すような、積層された一列の配置で配置されてもよい。ロードロックは、搬送チャンバ１２５Ａ、１２５Ｂ、１２５Ｃ、１２５Ｄ、１２５Ｅ、１２５Ｆの端部１００Ｅ１または面１００Ｆ１上で図示されているが、他の態様では、１つまたは複数のロードロックは、搬送チャンバ１２５Ａ、１２５Ｂ、１２５Ｃ、１２５Ｄ、１２５Ｅ、１２５Ｆの、任意の数の側部１００Ｓ１、１００Ｓ２、端部１００Ｅ１、１００Ｅ２または面１００Ｆ１～１００Ｆ８上に配置されてもよいことが理解されるべきである。少なくとも１つロードロックのそれぞれは、また、１つまたは複数のウェハ／基板載置平面ＷＲＰ（図１Ｆ）を含んでもよく、載置平面にて、基板は、それぞれのロードロック内で適切な支持部上に保持される。他の態様では、ツールステーションは、任意の適切な構成を有してもよい。フロントエンド１０１、少なくとも１つのロードロック１０２、１０２Ａ、１０２Ｂ、１０２Ｃ、およびバックエンド１０３のそれぞれの構成要素は、たとえば、クラスタ型アーキテクチャ制御などの任意の適切な制御アーキテクチャの一部であってもよい制御装置１１０に接続されてもよい。制御システムは、その開示内容の全てが、参照により本明細書に組み込まれる、２０１１年３月８日に発行された、「Ｓｃａｌａｂｌｅ Ｍｏｔｉｏｎ Ｃｏｎｔｒｏｌ Ｓｙｓｔｅｍ」と題される米国特許第７，９０４，１８２号明細書に記載されるものなどの、主制御装置（一態様では制御装置１１０であってもよい）、クラスタ制御装置、および自律型遠隔制御装置を有する閉ループ制御装置であってもよい。他の態様では、任意の適切な制御装置および／または制御システムが利用されてもよい。

【0011】

一態様では、フロントエンド１０１は、概して、ロードポートモジュール１０５、および、たとえば、イクイップメントフロントエンドモジュール（ＥＦＥＭ）などのミニエンバイロメント１０６を含む。ロードポートモジュール１０５は、３００ｍｍロードポートのＳＥＭＩ規格Ｅ１５．１、Ｅ４７．１、Ｅ６２、Ｅ１９．５またはＥ１．９、前開き型または底開き型ボックス／ポッドおよびカセットに適合した、ボックスオープナー／ローダーツール標準（ＢＯＬＴＳ）インターフェースであってもよい。他の態様では、ロードポートモジュールは、２００ｍｍウェハ／基板インターフェース、４５０ｍｍウェハ／基板インターフェース、または、たとえば、より大型もしくはより小型の半導体ウェハ／基板、平面パネルディスプレイのための平面パネル、ソーラパネル、焦点板、他の任意の適切な物体のような、他の任意の適切な基板インターフェースとして構成されてもよい。図１Ａ～１Ｄ、１Ｊ、および１Ｋには３つのロードポートモジュール１０５が示されているが、他の態様では、任意の適切な数のロードポートモジュールが、フロントエンド１０１に組み込まれてもよい。ロードポートモジュール１０５は、オーバーヘッド型搬送システム、無人搬送車、有人搬送車、レール型搬送車、または他の任意の適切な搬送手段から、基板キャリアまたはカセットＣを受容するように構成されていてもよい。ロードポートモジュール１０５は、ロードポート１０７を通じて、ミニエンバイロメント１０６と接合してもよい。ロードポート１０７は、基板カセットとミニエンバイロメント１０６との間で、基板の通過を可能にしてもよい。ミニエンバイロメント１０６は、概して、本明細書において説明する１つまたは複数の開示される実施形態の態様を組み込んでもよい、任意の適切な移送ロボット１０８を含む。一態様では、ロボット１０８は、たとえば、その開示内容の全てが、参照により本明細書に組み込まれる、１９９９年１２月１４日に発行された米国特許第６，００２，８４０号明細書、２０１３年４月１６日に発行された米国特許第８，４１９，３４１号明細書、および２０１０年１月１９日に発行された米国特許第７，６４８，３２７号明細書に記載されるもののようなトラック搭載ロボットであってもよい。他の態様では、ロボット１０８は、バックエンド１０３に対して本明細書において説明するものに実質的に類似であってもよい。ミニエンバイロメント１０６は、複数のロードポートモジュール間での基板移送のための、制御されたクリーンゾーンを提供してもよい。

【0012】

少なくとも１つの真空ロードロック１０２、１０２Ａ、１０２Ｂ、１０２Ｃは、ミニエンバイロメント１０６とバックエンド１０３との間に位置してもよく、ミニエンバイロメント１０６およびバックエンド１０３に接続されてもよい。他の態様では、ロードポート１０５は、少なくとも１つロードロック１０２、１０２Ａ、１０２Ｂ、１０２Ｃ、または搬送チャンバ１２５Ａ、１２５Ｂ、１２５Ｃ、１２５Ｄ、１２５Ｅ、１２５Ｆに実質的に直接連結されてもよく、基板キャリアＣは、搬送チャンバ１２５Ａ、１２５Ｂ、１２５Ｃ、１２５Ｄの真空へと真空引きされ、基板は、基板キャリアＣと、ロードロックまたは移送チャンバとの間で直接移送される。この態様では、基板キャリアＣは、搬送チャンバの処理真空が基板キャリアＣ内へと延びるように、ロードロックとして機能してもよい。理解できるように、基板キャリアＣが、適切なロードポートを通してロードロックに実質的に直接連結される場合、基板を基板キャリアＣへ、および基板キャリアＣから移送するために、任意の適切な移送装置が、ロードロック内に設けられてもよい、またはキャリアＣへのアクセスを有してもよい。なお、本明細書において使用される真空という用語は、基板が処理される、１０^-5Ｔｏｒｒ以下のような高真空を意味してもよい。少なくとも１つのロードロック１０２、１０２Ａ、１０２Ｂ、１０２Ｃは概して、大気および真空スロットバルブを含む。ロードロック１０２、１０２Ａ、１０２Ｂの（および処理ステーション１３０のための）スロットバルブは、大気フロントエンドから基板を搭載した後に、ロードロック内を排気するために使用され、窒素などの不活性ガスを用いてロック内に通気するときに、搬送チャンバ内の真空を維持するために使用される環境隔離を提供してもよい。本明細書において説明するように、処理装置１００Ａ、１００Ｂ、１００Ｃ、１００Ｄ、１００Ｅ、１００Ｆ（および線形の処理装置１００Ｇ、１００Ｈ）のスロットバルブは、少なくとも処理ステーション１３０、および搬送チャンバ１２５Ａ、１２５Ｂ、１２５Ｃ、１２５Ｄ、１２５Ｅ、１２５Ｆに連結されるロードロック１０２、１０２Ａ、１０２Ｂ、１０２Ｃへの、ならびにそれらからの基板の移送に対応するために、同一平面上に、もしくは垂直方向に積み重なった別々の平面上に位置してもよく、または、（ロードポートに関して既に説明したように）同一平面上に位置するスロットバルブおよび垂直方向に積み重なった別々の平面上に位置するスロットバルブの組合せであってもよい。少なくとも１つのロードロック１０２、１０２Ａ、１０２Ｂ、１０２Ｃ（および／またはフロントエンド１０１）は、また、基板の基準を、処理のための所望の位置に位置合わせするためのアライナ、または他の任意の適切な基板測定機器を含んでもよい。他の態様では、真空ロードロックは、処理装置の任意の適切な場所に設置されていてもよく、任意の適切な構成を有していてもよい。

【0013】

真空バックエンド１０３は、概して、搬送チャンバ１２５Ａ、１２５Ｂ、１２５Ｃ、１２５Ｄ、１２５Ｅ、１２５Ｆ、１つまたは複数の処理ステーションまたはたモジュール１３０、および本明細書において説明する、１つまたは複数の開示される実施形態の態様を含んでもよい１つまたは複数の搬送ロボットを含む任意の適切な数の基板搬送装置１０４を含む。搬送チャンバ１２５Ａ、１２５Ｂ、１２５Ｃ、１２５Ｄ、１２５Ｅ、１２５Ｆは、たとえば、ＳＥＭＩ規格Ｅ７２ガイドラインに準拠する任意の適切な形状およびサイズを有してもよい。基板搬送装置１０４および１つまたは複数の搬送ロボットは、以下において説明され、ロードロック１０２、１０２Ａ、１０２Ｂ、１２０Ｃと（またはロードポートに位置するカセットＣと）、様々な処理ステーション１３０との間で基板を搬送するために、少なくとも部分的に、搬送チャンバ１２５Ａ、１２５Ｂ、１２５Ｃ、１２５Ｄ、１２５Ｅ、１２５Ｆ内に位置してもよい。一態様では、基板搬送装置１０４は、基板搬送装置１０４がＳＥＭＩ規格Ｅ７２ガイドラインに準拠するように、モジュラユニットとして搬送チャンバ１２５Ａ、１２５Ｂ、１２５Ｃ、１２５Ｄ、１２５Ｅ、１２５Ｆから取り外し可能であってもよい。

【0014】

処理ステーション１３０は、様々な、成膜、エッチング、または他の種類の処理を通じて、基板上に電気回路または他の望ましい構造体を形成するために、基板に対して動作してもよい。典型的な処理は、限定されないが、プラズマエッチングまたは他のエッチング処理、化学蒸着（ＣＶＤ）、プラズマ蒸着（ＰＶＤ）、イオン注入などの注入、測定、急速熱処理（ＲＴＰ）、乾燥細片原子層成膜（ＡＬＤ）、酸化／拡散、窒化物の形成、真空リソグラフィ、エピタキシ（ＥＰＩ）、ワイヤボンダ、および蒸発のような、真空を使用する薄膜処理、または他の真空圧を使用する薄膜処理を含む。搬送チャンバ１２５Ａ、１２５Ｂ、１２５Ｃ、１２５Ｄ、１２５Ｅ、１２５Ｆから処理ステーション１３０に、またはその逆に、基板を通過させることを可能にするために、処理ステーション１３０は、搬送チャンバ１２５Ａ、１２５Ｂ、１２５Ｃ、１２５Ｄ、１２５Ｅ、１２５Ｆに、スロットバルブＳＶを通してなど、任意の適切な方法で伝達可能に接続される。搬送チャンバ１２５Ａ、１２５Ｂ、１２５Ｃ、１２５Ｄ、１２５Ｅ、１２５ＦのスロットバルブＳＶは、対の（共通ハウジング内に位置するたとえば２つ以上の基板処理チャンバ）または横並びの処理ステーション１３０Ｔ１～１３０Ｔ８、単一の処理ステーション１３０Ｓおよび／または積み重ねられた処理モジュール／ロードロック（図１Ｅおよび１Ｆ）の接続を可能にするように配置されてもよい。以下においてさらに説明するように、基板搬送装置は、それぞれの処理装置内の処理に応じて基板搬送装置が曝される温度および圧力／真空の範囲および変化に亘り、再現性および正確性をもたらす。

【0015】

なお、移送チャンバ１２５Ａ、１２５Ｂ、１２５Ｃ、１２５Ｄ、１２５Ｅ、１２５Ｆに連結される処理ステーション１３０、ロードロック１０２、１０２Ａ、１０２Ｂ、１０２Ｃ（またはカセットＣ）への、およびそれらからの基板の移送は、基板搬送装置１０４の１つまたは複数のアームが、基板搬送装置１０４の伸長および収縮軸Ｒに沿って、所定の処理ステーション１３０と位置合わせされるときに、行われてもよい。開示される実施形態の態様によると、１つまたは複数の基板は、個別に、または略同時に（たとえば、図１Ｂ、１Ｃ、１Ｄおよび１Ｇ～１Ｋに示すように、基板が横並びまたは縦並びの処理ステーションから取り出し／設置されるときなど）それぞれの所定の処理ステーション１３０に移送されてもよい。一態様では、基板搬送装置１０４は、ブームアーム１４３（たとえば図１Ｄおよび１Ｇ～１Ｉ参照）上に取り付けられてもよく、ブームアーム１４３は、単一のブームリンクもしくは複数のブームリンク１２１、１２２、または、その開示内容の全てが、参照により本明細書に組み込まれる、「Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ａｐｐａｒａｔｕｓ」と題され、２０１３年１０月１８日に出願された米国仮特許出願第６１／８９２，８４９号明細書、「Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ａｐｐａｒａｔｕｓ」と題され、２０１３年１１月１５日に出願された米国仮特許出願第６１／９０４，９０８号明細書、「Ｓｕｂｓｔｒａｔｅ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ａｐｐａｒａｔｕｓ」と題され、２０１３年２月１１日に出願された国際出願第ＰＣＴ／ＵＳ１３／２５５１３号明細書などに記載される線形キャリッジ１４４を有する。

【0016】

次に図１Ｌを参照すると、ツールインターフェースセクション２０１２が、概して搬送チャンバ３０１８の長手方向軸Ｘに（たとえば内向きに）向くが、長手方向軸Ｘからずれるように、ツールインターフェースセクション２０１２が搬送チャンバモジュール３０１８に取り付けられている、線形ウェハ処理システム１００Ｇの概略平面図が示されている。搬送チャンバモジュール３０１８は、すでに参照により本明細書に組み込まれた、米国特許第８，３９８，３５５号明細書に記載されたように、他の搬送チャンバモジュール３０１８Ａ、３０１８Ｉ、３０１８Ｊを接続部２０５０、２０６０、２０７０に取り付けることによって、任意の適切な方向に延長されてもよい。各搬送チャンバモジュール３０１８、３０１８Ａ、３０１８Ｉ、３０１８Ｊは、ウェハを、処理システム１００Ｇの全体に亘って、および、たとえば、処理モジュールＰＭの内外へ搬送するために、本明細書において説明する、開示される実施形態の１つまたは複数の態様を含んでもよい、任意の適切なウェハ搬送部２０８０を含んでいる。理解できるように、各チャンバモジュールは、隔離された、または制御された雰囲気（たとえば、Ｎ２、清浄空気、真空）を維持することが可能であってもよい。

【0017】

図１Ｍを参照すると、線形搬送チャンバ４１６の長手方向軸Ｘに沿った、例示的な処理ツール１００Ｈの概略的な立面図が示されている。図１Ｍに示される、開示される実施形態の態様では、ツールインターフェースセクション１２は典型的に、搬送チャンバ４１６に接続されてもよい。この態様では、インターフェースセクション１２は、ツール搬送チャンバ４１６の一方の端部を画定してもよい。図１Ｍに見られるように、搬送チャンバ４１６は、たとえば、インターフェースステーション１２から反対の端部に、別のワークピース進入／退出ステーション４１２を有していてもよい。他の態様では、搬送チャンバからワークピースを挿入／除去するための、他の進入／退出ステーションが設けられてもよい。一態様では、インターフェースセクション１２および進入／退出ステーション４１２は、ツールからのワークピースの搭載および取出しを可能にしてもよい。他の態様では、ワークピースは、一方の端部からツールに搭載され、他方の端部から取り除かれてもよい。一態様では、搬送チャンバ４１６は、１つまたは複数の搬送チャンバモジュール１８Ｂ、１８ｉを有してもよい。各チャンバモジュールは、隔離された、または制御された雰囲気（たとえば、Ｎ２、清浄空気、真空）を保持することが可能であってもよい。既に述べられたように、図１Ｍに示される搬送チャンバ４１６を形成する搬送チャンバモジュール１８Ｂ、１８ｉ、ロードロックモジュール５６Ａ、５６、およびワークピースステーションの構成／配置は例示的なものに過ぎず、他の態様では、搬送チャンバは、任意の望ましいモジュール配置で配置された、より多くのまたはより少ないモジュールを有してもよい。示される態様では、ステーション４１２はロードロックであってもよい。他の態様では、ロードロックモジュールは、（ステーション４１２に類似の）端部進入／退出ステーションの間に設置されてもよく、または、隣の（モジュール１８ｉに類似の）搬送チャンバモジュールは、ロードロックとして動作するように構成されてもよい。

【0018】

既に述べられたように、搬送チャンバモジュール１８Ｂ、１８ｉは、搬送チャンバモジュール１８Ｂ、１８ｉに設置され、本明細書において説明する、開示される実施形態の１つまたは複数の態様を含んでもよい１つまたは複数の対応する基板搬送装置２６Ｂ、２６ｉを有してもよい。それぞれの搬送チャンバモジュール１８Ｂ、１８ｉの基板搬送装置２６Ｂ、２６ｉは、搬送チャンバ内に線形に分散されたワークピース搬送システム４２０を提供するために連携してもよい。この態様では、基板搬送装置２６Ｂは、一般的なＳＣＡＲＡアーム構成を有してもよい（他の態様では、搬送アームは、以下において説明するような、他の任意の所望の配置を有してもよい）。

【0019】

図１Ｍに示される、開示される実施形態の態様では、搬送装置２６Ｂのアームおよび／またはエンドエフェクタは、取り出し／配置場所から素早くウェハを交換する搬送を可能にする、いわゆる迅速交換配置（fast swap arrangement）を提供するように配置されてもよい。基板搬送装置２６Ｂは、任意の適切な数の自由度（たとえば、Ｚ軸運動を伴う、肩および肘関節部の周りの独立回転）を各アームに提供するために、任意の適切な駆動セクション（たとえば、同軸配置駆動シャフト、並置駆動シャフト、水平方向に隣接するモータ、垂直方向に積み重ねられたモータなど）を有してもよい。図１Ｍに見られるように、この態様では、モジュール５６Ａ、５６、３０ｉは、搬送チャンバモジュール１８Ｂと１８ｉとの間に介在して設置されてもよく、適切な処理モジュール、（１つまたは複数の）ロードロック、（１つまたは複数の）バッファステーション、（１つまたは複数の）測定ステーション、または他の任意の望ましい（１つまたは複数の）ステーションを画定してもよい。たとえば、ロードロック５６Ａ、５６、およびワークピースステーション３０ｉなどの中間モジュールはそれぞれ、搬送チャンバの線形軸Ｘに沿った搬送チャンバの全長に亘って、ワークピースの搬送を可能にするために基板搬送装置と連携する静止型ワークピース支持部／棚５６Ｓ１、５６Ｓ２、３０Ｓ１、３０Ｓ２を有する。例として、（１つまたは複数の）ワークピースが、インターフェースセクション１２によって、搬送チャンバ４１６に搭載されてもよい。（１つまたは複数の）ワークピースは、インターフェースセクションの基板搬送装置１５を用いて、ロードロックモジュール５６Ａの（１つまたは複数の）支持部上に位置決めされてもよい。ロードロックモジュール５６Ａ内で、（１つまたは複数の）ワークピースは、モジュール１８Ｂ内の基板搬送装置２６Ｂによって、ロードロックモジュール５６Ａとロードロックモジュール５６との間で移動させられてもよく、同様の連続的な方法で、（モジュール１８ｉ内の）基板搬送装置２６ｉを用いて、ロードロック５６とワークピースステーション３０ｉとの間で、モジュール１８ｉ内の基板搬送装置２６ｉを用いて、ステーション３０ｉとステーション４１２との間で移動させられてもよい。（１つまたは複数の）ワークピースを反対の方向に移動させるために、この処理は全体的に、または部分的に逆行されてもよい。したがって、一態様では、ワークピースは、軸Ｘに沿って任意の方向に、および搬送チャンバに沿って任意の位置に移動させられてもよく、搬送チャンバと連通する任意の望ましいモジュール（処理モジュール、あるいは別のモジュール）に、または任意の望ましいモジュールから、搭載または取り出されてもよい。他の態様では、静止型ワークピース支持部または棚を有する中間搬送チャンバモジュールは、搬送チャンバモジュール１８Ｂと１８ｉの間には設けられない。そのような態様では、隣接する搬送チャンバモジュールの基板搬送装置は、搬送チャンバを通してワークピースを移動させるために、ワークピースを、１つのエンドエフェクタまたは１つの搬送アームから直接、別の基板搬送装置のエンドエフェクタまたは搬送アームへ受け渡してもよい。処理ステーションモジュールは、様々な、成膜、エッチング、または他の種類の処理を通じて、ウェハ上に電気回路または他の望ましい構造体を形成するために、ウェハに対し動作してもよい。ウェハが、搬送チャンバから処理ステーションに、またはその逆に、受け渡されることを可能にするために、処理ステーションモジュールは、搬送チャンバモジュールに接続される。図１Ｄに示された処理装置と類似の一般的特徴を有する処理ツールの適切な例は、既に参照により本明細書に組み込まれている、米国特許第８，３９８，３５５号明細書に記載されている。

【0020】

次に、図２Ａ、２Ｂ、２Ｃ、２Ｄを参照すると、一態様では、基板搬送装置１０４は、少なくとも１つの駆動セクション２００、２００Ａ、２００Ｂ、２００Ｃ、および以下において説明するロボットアーム３１４、３１５、３１６、３１７、３１８などの、少なくとも１つのロボットアームを含む。なお、図示される基板搬送装置１０４は、例示的であり、他の態様では、その開示内容の全てが参照により本明細書に組み込まれる、２０１４年１２月１２日出願の、「Ｓｕｂｓｔｒａｔｅ ｔｒａｎｓｐｏｒｔ ａｐｐａｒａｔｕｓ」と題された、米国特許出願第１４／５６８，７４２号明細書に記載されるものに実質的に類似の、任意の適切な構成を有してもよい。１つまたは複数のロボットアーム３１４、３１５、３１６、３１７、３１８は、（１つまたは複数の）駆動シャフトの回転が、（１つまたは複数の）搬送アーム３１４、３１５、３１６、３１７、３１８のそれぞれの移動をもたらすように、本明細書において説明するように、任意の適切な接続部ＣＮＸにて駆動セクション２００、２００Ａ～２００Ｃの１つのそれぞれの駆動シャフトに連結されてもよい。以下において説明するように、一態様では、搬送アーム３１４、３１５、３１６、３１７、３１８は、駆動セクションとの接続部ＣＮＸにて１つの搬送アームを別の搬送アームと交換するように、複数の別個の交換可能搬送アーム３１４、３１５、３１６、３１７、３１８から交換可能である。

【0021】

少なくとも１つの駆動セクション２００、２００Ａ、２００Ｂ、２００Ｃは、処理装置１００Ａ～１００Ｈの任意の適切なフレームに取り付けられる。一態様では、上記のように、基板搬送装置１０４は、任意の適切な方法で、リニアスライド１４４またはブームアーム１４３（なお、ブームアームは、本明細書にて説明する本開示の１つまたは複数の態様を含んでもよい）に取り付けられてもよく、リニアスライドおよび／またはブームアーム１４３は、本明細書において説明する駆動セクション２００、２００Ａ、２００Ｂ、２００Ｃに実質的に類似である駆動セクションを有する。少なくとも１つの駆動セクション２００、２００Ａ、２００Ｂ、２００Ｃは、Ｚ軸駆動部２７０および回転駆動セクション２８２のうちの１つまたは複数を収容するフレーム２００Ｆを含む共通の駆動セクションを含んでもよい。フレーム２００Ｆの内部２００ＦＩは、以下において説明するように任意の適切な方法で密閉されてもよい。一態様では、Ｚ軸駆動部は、搬送アーム３１４、３１５、３１６、３１７、３１８をＺ軸に沿って移動させるように構成される任意の適切な駆動部であってもよい。Ｚ軸駆動部は、図２Ａでは、スクリュー型駆動部として図示されるが、他の態様では、駆動部は、リニアアクチュエータ、ピエゾモータなど任意の適切なリニア駆動部であってもよい。回転駆動セクション２８２は、たとえばハーモニック駆動セクションのような、任意の適切な駆動セクションとして構成されてもよい。たとえば、回転駆動セクション２８２は、駆動セクション２８２が、たとえば、３つの同軸配置されるハーモニック駆動モータ２８０、２８０Ａ、２８０Ｂを含んでいる図２Ｂに見られるもののような、任意の適切な数の、同軸配置されるハーモニック駆動モータ２８０を含んでもよい。他の態様では、駆動セクション２８２の駆動部は、横並びで位置してもよい、および／または共軸配置であってもよい。一態様では、図２Ａに示す回転駆動セクション２８２は、駆動シャフト２８０Ｓを駆動するための１つのハーモニック駆動モータ２８０を含むが、しかし、他の態様では、駆動セクションは、たとえば、共軸駆動システムにおいて任意の適切な数の駆動シャフト２８０Ｓ、２８０ＡＳ、２８０ＢＳ（図２Ｂ）に対応する、任意の適切な数のハーモニック駆動モータ２８０、２８０Ａ、２８０Ｂ（図２Ｂ）を含んでもよい。

【0022】

ハーモニック駆動モータ２８０は、磁性流体シール２７６、２７７の構成部品が、基板搬送装置１０４の望ましい回転Ｔおよび伸長Ｒ移動の間、十分な安定性および間隔で、中心に配置され、少なくとも部分的にハーモニック駆動モータ２８０により支持されるように、高容量出力軸受けを有してもよい。なお、磁性流体シール２７６、２７７は、以下において説明するように略同心の同軸シールを形成する複数の部分を含んでもよい。この例では、回転駆動セクション２８２は、上で説明したもの、および／またはその開示内容の全てが、参照により本明細書に組み込まれる、米国特許第６，８４５，２５０号明細書、米国特許第５，８９９，６５８号明細書、米国特許第５，８１３，８２３号明細書、および米国特許第５，７２０，５９０号明細書に記載されるものに実質的に類似であってもよい、１つまたは複数の駆動モータ２８０を収容するハウジング２８１を含む。磁性流体シール２７６、２７７は、駆動シャフト組立体の中の各駆動シャフト２８０Ｓ、２８０ＡＳ、２８０ＢＳを密閉するような耐性を有し得る。一態様では、磁性流体シールは、設けられなくてもよい。たとえば、駆動セクション２８２は、搬送アームが動作する環境から実質的に密閉されるステータを有する駆動部を含んでもよく、一方で、ロータおよび駆動シャフトは、アームが動作する環境を共有する。磁性流体シールを有しておらず、開示される実施形態の態様に利用されてもよい駆動セクションの適切な例には、以下において説明するような密閉キャン配置（sealed can arrangement）を有し得るＢｒｏｏｋｓ Ａｕｔｏｍａｔｉｏｎ、Ｉｎｃ．製のＭａｇｎａＴｒａｎ（登録商標）７およびＭａｇｎａＴｒａｎ（登録商標）８ロボット駆動セクションが含まれる。なお、（１つまたは複数の）駆動シャフト２８０Ｓ、２８０ＡＳ、２８０ＢＳは、また、たとえば、その開示内容の全てが、参照により本明細書に組み込まれる、２０１６年７月７日に出願され、２０１６年１１月１０日に米国特許第２０１６／０３２５４４０号明細書として公開された米国特許出願第１５／１１０，１３０号明細書に記載されるもののような別の駆動セクション、任意の適切な位置エンコーダ、制御装置、および／または駆動セクション２００、２００Ａ、２００Ｂ、２００Ｃに取り付けられる少なくとも１つの移送アーム３１４、３１５、３１６、３１７、３１８への接続のために駆動部組立体を、ワイヤ２９０または他の任意の適切なアイテムが通過することを可能にするために、中空構造（たとえば、駆動シャフトの中心に沿って長手方向に延びる孔を有する）を有してもよい。理解できるように、駆動セクション２００、２００Ａ、２００Ｂ、２００Ｃの駆動モータのそれぞれは、各搬送アーム３１４、３１５、３１６、３１７、３１８のエンドエフェクタ３１４Ｅ、３１５Ｅ、３１６Ｅ、３１７Ｅ１、３１７Ｅ１、３１８Ｅ１、３１８Ｅ２の位置を判定するために、それぞれのモータの位置を検出するように構成される任意の適切なエンコーダを含んでもよい。

【0023】

一態様では、ハウジング２８１は、キャリッジ２７０Ｃに取り付けられてもよく、キャリッジ２７０Ｃは、Ｚ軸駆動部２７０が、キャリッジ（およびその上に位置するハウジング２８１）をＺ軸に沿って移動させるように、Ｚ軸駆動部２７０に連結される。理解できるように、搬送アーム３１４、３１５、３１６、３１７、３１８が動作する制御雰囲気を、（気圧ＡＴＭ環境内で動作してもよい）駆動セクション２００、２００Ａ、２００Ｂ、２００Ｃの内部２００ＦＩから密閉するために、駆動セクション２００、２００Ａ、２００Ｂ、２００Ｃは、上記の磁性流体シール２７６、２７７のうちの１つまたは複数、およびベローシール２７５を含んでもよい。ベローシール２７５は、フレーム２００Ｆの内部２００ＦＩが、搬送アーム３１４、３１５、３１６、３１７、３１８が動作する制御雰囲気から隔離されるように、キャリッジ２７０Ｃに連結される一端部、およびフレーム２００Ｆの任意の適切な部分に連結される他端部を有してもよい。

【0024】

他の態様では、上記のように、Ｂｒｏｏｋｓ Ａｕｔｏｍａｔｉｏｎ、Ｉｎｃ．製のＭａｇｎａＴｒａｎ（登録商標）７およびＭａｇｎａＴｒａｎ（登録商標）８ロボット駆動セクションなど、搬送アームが磁性流体シールなしで動作する雰囲気から密閉されるステータを有する駆動部が、キャリッジ２７０Ｃ上に設けられてもよい。たとえば、図２Ｃおよび２Ｄも参照すると、回転駆動セクション２８２は、モータのステータが、搬送アームが動作する環境から密閉されるように構成され、一方で、モータのロータは、ロボットアームが動作する環境を共有するように構成される。図２Ｃを参照すると、３軸回転駆動セクション２８２が図示されている。この態様では、駆動シャフト２８０Ａ、２８０ＡＳ、２８０ＢＳのそれぞれに連結されるロータ２８０Ｒ’、２８０ＡＲ’、２８０ＢＲ’をそれぞれ有する３つのモータ２８０’、２８０Ａ’、２８０Ｂ’が存在する。各モータ２８０’、２８０Ａ’、２８０Ｂ’は、また、それぞれのキャンシール２８０ＳＣ、２８０ＡＣＳ、２８０ＢＣＳにより、（１つまたは複数の）搬送アームが動作する雰囲気から密閉されてもよい、それぞれのステータ２８０Ｓ’、２８０ＡＳ’、２８０ＢＳ’を含む。理解できるように、駆動シャフト（および（１つまたは複数の）駆動シャフトが動作させる（１つまたは複数の）アーム）の位置を判定するために、任意の適切なエンコーダ／センサが設けられてもよい。理解できるように、一態様では、図２Ｃに図示されるモータの駆動シャフトは、ワイヤ２９０フィードスルーを可能にしなくてもよく、一方で、他の態様では、ワイヤが、たとえば、図２Ｃに図示されるモータの中空の駆動シャフトを通過されてもよいように、任意の適切なシールが設けられてもよい。

【0025】

図２Ｄに図示される駆動セクション２００Ｃは、４つの駆動シャフト１２６Ｓ１～１２６Ｓ４が同軸に配置され、４つのモータ１２６Ｍ１～１２６Ｍ４が、入れ子状に同軸に配置されるような、４モータ入れ子状または同心構成を含む。たとえば、モータ１２６Ｍ１は、モータ１２６Ｍ２内に入れ子になり（たとえば、モータ１２６Ｍ２に径方向に囲繞される）、モータ１２６Ｍ３は、モータ１２６Ｍ４内に入れ子になる。入れ子状のモータ１２６Ｍ１、１２６Ｍ２は、入れ子状のモータ１２６Ｍ１、１２６Ｍ２が、入れ子状のモータ１２６Ｍ３、１２５Ｍ４の上方に同軸に配置されるように、入れ子状のモータ１２６Ｍ３、１２６Ｍ４に対して同軸に配置される。しかし、モータ１２６Ｍ１～１２６Ｍ４は、積み重ね配置、並置配置、または図２Ｄに示す同心配置などの任意の適切な配置を有してもよいことが理解されるべきである。他の態様では、モータは、その開示内容の全てが参照により本明細書に組み込まれる、２０１１年８月３０日発行の「Ｓｕｂｓｔｒａｔｅ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ａｐｐａｒａｔｕｓ ｗｉｔｈ Ｍｏｔｏｒｓ Ｉｎｔｅｇｒａｌ ｔｏ Ｃｈａｍｂｅｒ Ｗａｌｌｓ」と題される米国特許第８，００８，８８４号明細書、および２０１２年１０月９日発行の「Ｒｏｂｏｔ Ｄｒｉｖｅ ｗｉｔｈ Ｍａｇｎｅｔｉｃ Ｓｐｉｎｄｌｅ Ｂｅａｒｉｎｇｓ」と題される米国特許第８，２８３，８１３号明細書に記載されるものに略類似である方法で、モータが互いに同心で入れ子状になる、薄型平面型または「パンケーキ」型ロボット駆動構成であってもよい。

【0026】

モータは、回転モータとして図示されているが、他の態様では、たとえば、直接駆動リニアモータ、リニア圧電モータ、リニア誘導モータ、リニア同期モータ、ブラシまたはブラシレスリニアモータ、リニアステッパモータ、リニアサーボモータ、リラクタンスモータなど、（１つまたは複数の）任意の適切なモータおよび／または（１つまたは複数の）適切な駆動伝達部が使用されてもよい。適切なリニアモータの例は、たとえば、その開示内容の全てが参照により本明細書に組み込まれる、２０１１年１０月３１日出願の「Ｌｉｎｅａｒ Ｖａｃｕｕｍ Ｒｏｂｏｔ ｗｉｔｈ Ｚ Ｍｏｔｉｏｎ ａｎｄ Ａｒｔｉｃｕｌａｔｅｄ Ａｒｍ」と題される米国特許出願第１３／２８６，１８６号明細書、２０１１年６月１３日出願の「Ｓｕｂｓｔｒａｔｅ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ａｐｐａｒａｔｕｓ」と題される米国特許出願第１３／１５９，０３４号明細書、２０１１年３月８日発行の「Ａｐｐａｒａｔｕｓ ａｎｄ Ｍｅｔｈｏｄｓ ｆｏｒ Ｔｒａｎｓｐｏｒｔｉｎｇ ａｎｄ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｓｕｂｓｔｒａｔｅｓ」と題される米国特許第７，９０１，５３９号明細書、２０１２年１０月２３日発行の「Ａｐｐａｒａｔｕｓ ａｎｄ Ｍｅｔｈｏｄｓ ｆｏｒ Ｔｒａｎｓｐｏｒｔｉｎｇ ａｎｄ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｓｕｂｓｔｒａｔｅｓ」と題される米国特許第８，２９３，０６６号明細書、２０１３年４月１６日発行の「Ｌｉｎｅａｒ Ｖａｃｕｕｍ Ｒｏｂｏｔ ｗｉｔｈ Ｚ Ｍｏｔｉｏｎ ａｎｄ Ａｒｔｉｃｕｌａｔｅｄ Ａｒｍ」と題される米国特許第８，４１９，３４１号明細書、２００９年８月１８日発行の「Ｓｕｂｓｔｒａｔｅ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ａｐｐａｒａｔｕｓ」と題される米国特許第７，５７５，４０６号明細書、および２０１１年６月１４日発行の「Ｓｕｂｓｔｒａｔｅ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ａｐｐａｒａｔｕｓ」と題される米国特許第７，９５９，３９５号明細書に記載されている。

【0027】

次に図３Ａ～３Ｅを参照すると、ブームアーム１４３および／または基板搬送装置１０４は、（１つまたは複数の）任意の適切なアームリンク機構を含んでもよい。アームリンク機構の適切な例は、たとえば、その開示内容の全てが、参照により本明細書に組み込まれる、２００９年８月２５日に発行された米国特許第７，５７８，６４９号明細書、１９９８年８月１８日に発行された米国特許第５，７９４，４８７号明細書、２０１１年５月２４日に発行された米国特許第７，９４６，８００号明細書、２００２年１１月２６日に発行された米国特許第６，４８５，２５０号明細書、２０１１年２月２２日に発行された米国特許第７，８９１，９３５号明細書、２０１３年４月１６日に発行された米国特許第８，４１９，３４１号明細書、「Ｄｕａｌ Ａｒｍ Ｒｏｂｏｔ」と題され、２０１１年１１月１０日に出願された米国特許出願第１３／２９３，７１７号明細書、および「Ｌｉｎｅａｒ Ｖａｃｕｕｍ Ｒｏｂｏｔ ｗｉｔｈ Ｚ Ｍｏｔｉｏｎ ａｎｄ Ａｒｔｉｃｕｌａｔｅｄ Ａｒｍ」と題され、２０１３年９月５日に出願された米国特許出願第１３／８６１，６９３号明細書に見られる。開示される実施形態の態様では、各基板搬送装置１０４、ブームアーム１４３および／またはリニアスライド１４４の少なくとも１つの移送アームは、アッパーアーム３１５Ｕ、バンド駆動フォアアーム３１５Ｆおよびバンド拘束エンドエフェクタ３１５Ｅを含む従来のＳＣＡＲＡアーム３１５（水平多関節ロボットアーム）（図３Ｃ）型設計より、または伸縮式アーム設計もしくはデカルト線形スライドアーム３１４（図３Ｂ）など、他の任意の適切なアーム設計より導出され得る。搬送アームの適切な例は、たとえば、その開示内容の全てが、参照により本明細書に組み込まれる、「Ｓｕｂｓｔｒａｔｅ Ｔｒａｎｓｐｏｒｔ Ａｐｐａｒａｔｕｓ ｗｉｔｈ Ｍｕｌｔｉｐｌｅ Ｍｏｖａｂｌｅ Ａｒｍｓ Ｕｔｉｌｉｚｉｎｇ ａ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｓｗｉｔｃｈ Ｍｅｃｈａｎｉｓｍ」と題され、２００８年５月８日に出願された米国特許出願第１２／１１７，４１５号明細書、および２０１０年１月１９日に発行された米国特許第７，６４８，３２７号明細書に見られる。

【0028】

移送アームの動作は、互いに独立してもよく（たとえば各アームの伸長／収縮が他のアームから独立している）、ロストモーションスイッチにより動作されてもよく、またはアームが少なくとも１つの共通駆動軸を共有するように、任意の適切な方法で動作可能にリンクされてもよい。さらに他の態様では、搬送アームは、フロッグレッグアーム３１６（図３Ａ）構成、リープフロッグアーム３１７（図３Ｅ）構成、左右対称アーム３１８（図３Ｄ）構成など、他の任意の望ましい配置を有してもよい。搬送アームの適切な例は、その開示内容の全てが、参照により本明細書に組み込まれる、２００１年５月１５日に発行された米国特許第６，２３１，２９７号明細書、１９９３年１月１９日に発行された米国特許第５，１８０，２７６号明細書、２００２年１０月１５日に発行された米国特許第６，４６４，４４８号明細書、２００１年５月１日に発行された米国特許第６，２２４，３１９号明細書、１９９５年９月５日に発行された米国特許第５，４４７，４０９号明細書、２００９年８月２５日に発行された米国特許第７，５７８，６４９号明細書、１９９８年８月１８日に発行された米国特許第５，７９４，４８７号明細書、２０１１年５月２４日に発行された米国特許第７，９４６，８００号明細書、２００２年１１月２６日に発行された米国特許第６，４８５，２５０号明細書、２０１１年２月２２日に発行された米国特許第７，８９１，９３５号明細書、「Ｄｕａｌ Ａｒｍ Ｒｏｂｏｔ」と題され、２０１１年１１月１０日に出願された米国特許出願第１３／２９３，７１７号明細書および「Ｃｏａｘｉａｌ Ｄｒｉｖｅ Ｖａｃｕｕｍ Ｒｏｂｏｔ」と題され、２０１１年１０月１１日に出願された米国特許出願第１３／２７０，８４４号明細書に見られる。なお、ブームアーム１４３は、基板搬送装置１０４がエンドエフェクタ３１５Ｅ、３１６Ｅ、３１７Ｅ１、３１７Ｅ１、３１８Ｅ１、３１８Ｅ２の代わりにブームアーム１４３に取り付けられる、搬送アーム３１４、３１５、３１６、３１７、３１８に実質的に類似である構成を有してもよい。理解できるように、（１つまたは複数の）搬送アーム３１４、３１５、３１６、３１７、３１８は、それぞれの駆動セクション２００、２００Ａ、２００Ｂ、２００Ｃに、開示される実施形態の態様に従い、回転可能に連結され、それによって、それぞれの駆動セクション２００、２００Ａ、２００Ｂ、２００Ｃは、駆動セクション２００、２００Ａ、２００Ｂ、２００Ｃから搬送アーム３１４、３１５、３１６、３１７、３１８への略非摩擦のトルク伝達をもたらして、フレーム２００Ｆまたは処理ツール１００Ａ～１００Ｈの任意の適切なフレームなどのフレームに対する、搬送アーム３１４、３１５、３１６、３１７、３１８の関節運動をもたらす。以下においてより詳細に説明するように、制御装置１１０などの任意の適切な制御装置は、搬送アーム３１４、３１５、３１６、３１７、３１８の関節運動をもたらすように、駆動セクション２００、２００Ａ、２００Ｂ、２００Ｃを駆動させるために、任意の適切な方法で駆動セクション２００、２００Ａ、２００Ｂ、２００Ｃに連結される。

【0029】

次に図４を参照すると、開示される実施形態の態様による例示的な基板搬送装置１０４Ａが図示される。基板搬送装置１０４Ａは、図１Ａ～１Ｄおよび１Ｇ～１Ｋに関して既に説明した基板搬送部１０４に略類似であり、処理装置１００Ａ、１００Ｂ、１００Ｃ、１００Ｄ、１００Ｅ、１００Ｆ、１００Ｇ、１００Ｈに関して既に説明したものなどの、任意の適切な大気環境または真空環境にて採用されてもよい。一態様では、基板搬送装置１０４Ａは、上記の搬送チャンバ１２５Ａ、１２５Ｂ、１２５Ｃ、１２５Ｄ、１２５Ｅ、１２５Ｆのいずれか１つに略類似であり得る例示的な搬送チャンバ１２５’内に、少なくとも部分的に配置されてもよい。

【0030】

基板搬送装置１０４Ａは、駆動セクション２００’が内部に配置された基部４００ＢＡを含む。基板搬送装置１０４Ａは、駆動セクション２００’に回転可能に連結される搬送アーム３１５’をさらに含む。搬送アーム３１５’は、アッパーアーム４０１、フォアアーム４０２、およびエンドエフェクタ４０３を含む。なお、駆動セクション２００’は、三軸駆動セクション（図２Ｃに関して上で説明した駆動セクション２８２に略類似である）として図示および説明されるが、駆動セクション２００’は、図２Ａ、２Ｂ、および２Ｄに関して上で説明したものなど、任意の適切な駆動セクション構成を有してもよい。さらに、搬送アーム３１５’は、図３Ｃに関して上で説明した従来のＳＣＡＲＡアーム３１５に略類似である構成を有して図示および説明されるが、搬送アーム３１５’は、上記のアーム構成３１４、３１６、３１７、３１８などの、任意の適切なアーム構成を有してもよい。理解できるように、基板搬送装置１０４Ａは、回転従動部材を駆動する回転駆動部材の間に少なくとも１つのトルク継手を有する他の任意の適切な基板搬送部であってもよい。

【0031】

理解できるように、基板搬送装置１０４Ａは、上記の制御装置１１０などの任意の適切な制御装置に接続され、その制御装置と通信し、それによって、制御装置１１０が、搬送アーム３１５’の移動を制御してもよい。より具体的には、制御装置１１０は、制御装置モジュール１１０Ｍを含み、制御装置モジュール１１０Ｍは、既知の制御された方法で、搬送アーム３１５’のエンドエフェクタ４０３を、（基板搬送装置１０４Ａの届く範囲内の）処理装置１００Ａ、１００Ｂ、１００Ｃ、１００Ｄ、１００Ｅ、１００Ｆ、１００Ｇ、１００Ｈ内の任意の望ましい位置へと移動させるために、基板搬送装置１０４Ａの位置移動を命令するように構成される。たとえば、搬送アーム３１５’は、既に説明したもの（すなわち、ハーモニック駆動部、固定ベース駆動部、三軸など）のような任意の適切な駆動セクションであってもよい駆動セクション２００’に連結されてもよく、基板搬送装置１０４Ａの動作をもたらすために、任意の適切な非一時的プログラムコードを有する制御装置モジュール１１０Ｍを含んでもよい。一態様では、制御装置１１０は、駆動セクション２００’の最大トルクτ_maxを用いて、エンドエフェクタ４０３など、基板搬送装置１０４Ａの少なくとも一部の時間最適運動を生成するためにバング－バング制御装置として構成されてもよい。駆動セクション２００’は、制御装置１１０の制御装置モジュール１１０Ｍに接続される任意の望ましい位置判定装置（たとえば、位置エンコーダまたはモータエンコーダ２９６など、図２Ａ）を含んでもよい。エンコーダ２９６は、（１つまたは複数の）任意の適切な信号を、制御装置モジュール１１０Ｍに送信して、制御装置モジュール１１０Ｍが、搬送チャンバ１２５’に対する搬送アーム３１５’上の所定の点（エンドエフェクタの中心または他の任意の適切な場所）の位置を判定することを可能にする。

【0032】

図４に示す例示的実施形態では、駆動セクション２００’は、多軸駆動スピンドル組立体４１０、および３つのモータ４２０、４２１、４２２を収容する基部４００ＢＡ内に配置される。多軸駆動スピンドル組立体４１０は、たとえば、同軸構成に配置される３つの駆動シャフト４１０Ａ、４１０Ｂ、４１０Ｃを有する。この態様では、駆動シャフト４１０Ａ、４１０Ｂ、４１０Ｃは、ステンレス鋼によって構成されるが、他の任意の適切な材料であってもよい。上記のように、他の態様では、駆動セクションは、３つよりも多いまたは少ないモータと、３つよりも多いまたは少ない駆動シャフトを有してもよい。

【0033】

３つのモータ４２０、４２１、４２２は、それぞれ、ステータ４２０ＳＴ、４２１ＳＴ、４２２ＳＴと、内側駆動シャフト４１０Ａ、中間駆動シャフト４１０Ｂ、および外側駆動シャフト４１０Ｃのそれぞれの１つと連結されるロータ４２０ＲＴ、４２１ＲＴ、４２２ＲＴとを備える。各ステータ４２０ＳＴ、４２１ＳＴ、４２２ＳＴは、概して、電磁コイルを備え、基部４００ＢＡに沿って、異なる垂直方向の高さまたは位置にて、基部４００ＢＡに固定するように取り付けられる。各ロータ４２０ＲＴ、４２１ＲＴ、４２２ＲＴは、永久磁石を含むが、代替的に、永久磁石を有していない磁気誘導ロータを備えてもよく、本明細書において説明する、開示される実施形態の態様によるそれぞれの駆動シャフト４１０Ａ、４１０Ｂ、４１０Ｃに回転可能に連結されてもよい。様々な軸受けが、各駆動シャフト４１０Ａ、４１０Ｂ、４１０Ｃが互いに対して、および基部４００ＢＡに対して独立して回転可能にするために、駆動シャフト４１０Ａ、４１０Ｂ、４１０Ｃおよび基部４００ＢＡの周りに設けられてもよい。各駆動シャフト４１０Ａ、４１０Ｂ、４１０Ｃには、互いに対する、および／または基部４００ＢＡに対する駆動シャフト４１０Ａ、４１０Ｂ、４１０Ｃの回転位置を判定するために、それぞれの駆動シャフト４１０Ａ、４１０Ｂ、４１０Ｃの位置信号を制御装置１１０に提供する適切な位置センサ／エンコーダが設けられてもよい。光学センサまたは誘導センサなど、任意の適切なセンサ／エンコーダが使用され得る。

【0034】

図４をさらに参照すると、搬送アーム３１５’のアッパーアーム４０１は、外側駆動シャフト４１０Ｃおよびアッパーアーム４０１が、一体となって、以下においてさらに説明するような再現性および正確性を有して肩回転軸Ｚ１の周りを回転するように、寸法略不変インターフェースを介して、基板搬送装置１０４Ａの肩部４０４にて駆動セクション２００’の外側駆動シャフト４１０Ｃに連結される。アッパーアーム４０１は、概して、アッパーアームハウジング４０１Ｈおよびアッパーアームベアリングカラー４０１ＢＣを含む。

【0035】

フォアアーム４０２は、肘駆動シャフト組立体４３０を介して、基板搬送装置１０４Ａの肘部４０５にてアッパーアーム４０１に連結される。フォアアーム４０２は、概して、フォアアームハウジング４０２Ｈおよび（以下においてより詳細に説明するものと類似の方法で、ハウジング内にてフォアアームハウジング４０２Ｈに従属し、かつ肘駆動アセンブリ組立体４３０から独立する）フォアアームベアリングカラー４０２ＢＣを含む。内側駆動シャフト４１０Ａは、アッパーアーム４０１内の第１伝動部４７０に動作可能に連結される。第１伝動部４７０は、駆動プーリ４７１、アイドラプーリ４７２および駆動バンド４７３を含む。駆動プーリ４７１は、寸法略不変インターフェースを介して内側駆動シャフト４１０Ａに連結され（以下においてさらに説明する）、駆動バンド４７３によりアイドラプーリ４７２に接続される。アイドラプーリ４７２は、アイドラプーリ４７２および肘部外側駆動シャフト４３１が、一体として、正確かつ再現可能に回転するように、寸法略不変インターフェースを介して、肘駆動シャフト組立体４３０の肘部外側駆動シャフト４３１（以下においてさらに説明する）に連結される。フォアアーム４０２をアッパーアーム４０１に接続する肘駆動シャフト組立体４３０は、肘駆動シャフト組立体４３０がアッパーアーム４０１に対して肘回転軸Ｚ２の周りを回転することを可能にする適切な軸受けにより、アッパーアーム４０１から回転可能に支持される。フォアアーム４０２は、肘部外側駆動シャフト４３１およびフォアアーム４０２が、軸Ｚ２の周りを一体として正確かつ再現可能に回転するように、寸法略不変インターフェースを介して、肘駆動シャフト組立体４３０の肘部外側駆動シャフト４３１に連結される。フォアアーム４０２は、アッパーアーム４０１内の第１伝動部４７０の駆動プーリ４７１が、駆動セクション２００’の内側駆動シャフト４１０Ａによって回転させられると、軸Ｚ２の周りを回転させられる。したがって、駆動セクション２００’の内側駆動シャフト４１０Ａは、フォアアーム４０２をアッパーアーム４０１に対して独立して回転させるために使用される。

【0036】

エンドエフェクタ４０３は、基板搬送装置１０４Ａの手首部４０６にある手首部駆動シャフト４４０によって、フォアアーム４０２に連結される。中間駆動シャフト４１０Ｂは、アッパーアーム４０１内の第２伝動部４８０に動作可能に連結される。アッパーアーム４０１内の第２伝動部４８０は、駆動プーリ４８１、アイドラプーリ４８２および駆動バンド４８３を含む。駆動プーリ４８１は、寸法略不変インターフェースを介して、駆動セクション２００’内の多軸駆動スピンドル組立体４１０の中間駆動シャフト４１０Ｂに連結される。アイドラプーリ４８２は、寸法略不変インターフェースを介して、（フォアアーム４０２をアッパーアーム４０１に接続する）肘駆動シャフト組立体４３０の肘部内側駆動シャフト４３２に連結される。駆動バンド４８３は、駆動プーリ４８１をアイドラプーリ４８２に接続する。肘駆動シャフト組立体４３０の肘部内側駆動シャフト４３２は、フォアアーム４０２内の第３伝動部４９０に動作可能に接続される。フォアアーム４０２内の第３伝動部４９０は、駆動プーリ４９１、アイドラプーリ４９２および駆動バンド４９３を含む。駆動プーリ４９１は、寸法略不変インターフェースを介して、肘駆動シャフト組立体４３０の肘部内側駆動シャフト４３２に連結される。アイドラプーリ４９２は、寸法略不変インターフェースを介して、手首部駆動シャフト４４０に連結される。駆動バンド４９３は、駆動プーリ４９１をアイドラプーリ４９２に接続する。手首部駆動シャフト４４０は、手首部駆動シャフト４４０が、フォアアーム４０２に対して手首回転軸Ｚ３の周りを回転することを可能にする適切な軸受けにより、フォアアーム４０２から回転可能に支持される。エンドエフェクタ４０３は、軸Ｚ３の周りを一体として正確かつ再現可能に回転するように、寸法略不変インターフェースを介して、手首部駆動シャフト４４０に連結される。エンドエフェクタ４０３は、第３伝動部４９０のアイドラプーリ４９２が駆動プーリ４９１によって回転させられると、軸Ｚ３の周りを回転させられる。次に駆動プーリ４９１は、肘シャフト組立体４３０の肘部内側駆動シャフト４３２によって回転させられる。アッパーアーム４０１内の第２伝動部４８０のアイドラプーリ４８２が駆動セクション２００’の中間駆動シャフト４１０Ｂによって回転させられると、肘部内側駆動シャフト４３２が、回転させられる。ゆえに、エンドエフェクタ４０３は、以下においてさらに説明するように、再現性および正確性を有して、フォアアーム４０２およびアッパーアーム４０１に対して、軸Ｚ３の周りを独立して回転され得る。

【0037】

基板搬送装置１０４Ａの回転可能継手のそれぞれは、回転または捻れ運動駆動部材５３０（すなわち、駆動部材のそれぞれを参照すると、たとえば、駆動シャフト４１０Ａ、４１０Ｂ、４１０Ｃ、４３１、４３２、４４０、ロータ４２０ＲＴ、４２１ＲＴ、４２２ＲＴ、およびアイドラプーリ４７２、４８２、４９２）と、回転または捻れ運動従動部材５３５（すなわち、従動部材のそれぞれを参照すると、たとえば、アームリンク４０１、４０２、４０３、プーリ４７１、４８１、４９１、および駆動シャフト４１０Ａ、４１０Ｂ、４１０Ｃ、４３１、４３２、４４０）との間のトルク継手により画定される。なお、いくつかの例においては、捻れ運動駆動部材は、捻れ運動従動部材であってもよい。たとえば、肘部内側駆動シャフト４３２は、肘部内側駆動シャフト４３２とアイドラプーリ４８２との間のトルク継手に対する捻れ運動従動部材であり、同時に、肘部内側駆動シャフト４３２と駆動プーリ４９１との間のトルク継手に対する捻れ運動駆動部材でもある。一態様では、回転従動部材５３５は、回転駆動部材５３０が回転従動部材５３５の少なくとも一部の周りに配置されるように、少なくとも部分的に回転駆動部材５３０の内部に位置する（たとえば、肘部内側駆動シャフト４３２が少なくとも部分的にアイドラプーリ４８２の内部に位置する）。別の態様では、回転駆動部材５３０は、回転従動部材５３５が回転駆動部材５３０の少なくとも一部の周りに配置されるように、少なくとも部分的に回転従動部材５３５の内部に位置する（たとえば、肘部内側駆動シャフト４３２は、少なくとも部分的に駆動プーリ４９１の内部に位置する）。各捻れ運動駆動部材５３０、およびそれぞれの捻れ運動従動部材５３５は、寸法略不変インターフェース５００、５００’（図５および図１０）を用いた略非摩擦トルク伝達により、互いの間でトルクを伝達するために互いに連結される。

【0038】

たとえば、図５～９を参照して、捻れ運動駆動部材５３０（たとえば、肘部内側駆動シャフト４３２）と、捻れ運動従動部材５３５（たとえば、駆動プーリ４９１）との間のトルク継手４９９（図４）を、開示される実施形態の態様に従い説明する。なお、開示される実施形態の態様は、利便性のみのため、たとえば、肘部内側駆動シャフト４３２と駆動プーリ４９１との間のトルク継手４９９への特定の参照により本明細書において説明するが、基板搬送装置１０４Ａの１つまたは複数の他のトルク継手は、略類似の特徴を有してもよく、上記のものと実質的に同じ方法で連結されてもよい。

【0039】

上記のように、捻れ運動従動部材５３５は、捻れ運動駆動部材５３０に連結される。より具体的には、捻れ運動従動部材５３５は、トルクを捻れ運動駆動部材５３０から捻れ運動従動部材５３５へ伝達するために、寸法略不変インターフェース５００（接触式トルク伝達インターフェースとも呼称される）により捻れ運動駆動部材５３０に連結される。一態様では、寸法略不変インターフェース５００は、剛性の、略非滑り性インターフェースである。寸法略不変インターフェース５００は、剛性の、略非滑り性インターフェースが、寸法略不変インターフェース５００にて、所定の再現可能な双方向性の剛性かつ略非滑り性接触部を有するように構成される。所定の再現可能な双方向性の剛性かつ略非滑り性接触部は、略非摩擦伝達により、たとえば、捻れ運動駆動部材５３０から捻れ運動従動部材５３５へのトルクのトルク伝達をもたらす。上記のように、制御装置１１０は、最大トルクτ_maxを基板搬送装置１０４Ａに付与するように構成されるバング－バング制御装置であってもよい。寸法略不変インターフェース５００は、トルク継手に付与されるトルク（すなわち、双方向性である）の各方向に対して、（既知の基板搬送装置に対して改善された、かついくつかの特定の例においては、運動の最大範囲に亘り約１００ミクロンより優れた運動再現性に関して）剛性を有し、かつ略不変であるように構成される。たとえば、寸法略不変インターフェース５００は、ゼロトルクの付与から最大トルク＋τ_maxの付与に亘り、およびそれらの間の各過渡において、剛性を有し、かつ略不変である。さらに、寸法略不変インターフェース５００は、付与されるトルクの方向が、反対方向へと（すなわち、基板搬送装置１０４Ａが完全に伸長され、トルクが基板搬送装置１０４Ａを収縮するように切り替えられるときなどに＋τ_maxから－τ_maxへと）切り替えられるトルクの過渡の間中、剛性を有し、かつ略不変である。寸法略不変インターフェース５００は、各過渡トルクの付与を通して（すなわち、－τ_maxから＋τ_maxまでの間）剛性かつ略不変である。なお、一態様では、τ_maxは、基板搬送装置運動軌道の最適（たとえば、時間最適）「バング－バング」制御をもたらす制御装置により付与されるもののような、最大定格モータトルクである。一態様では、寸法略不変インターフェース５００は、また、真空中および任意の温度を含む、安定状態動作条件における動作に対して、基板搬送装置１０４Ａの教示／設定中を含め、常に剛性かつ略不変となるように構成される。寸法略不変インターフェース５００は、たとえば、約４００°Ｆまたはそれより高い温度で動作し得る処理ステーション１３０内での動作中の温度のすべての範囲において、剛性かつ略不変となるように構成される。寸法略不変インターフェース５００は、「低」温（すなわち、初期のウォームアップの間、または非動作時）、および動作温度（たとえば、処理ステーション１３０または搬送チャンバ１２５Ａ～Ｆの動作温度）の両方で、剛性かつ略不変となるように構成される。

【0040】

この態様では、捻れ運動駆動部材５３０は、肘回転軸Ｚ２を囲繞する外周面５３０Ｅ（図６Ｂ）を有する。捻れ運動駆動部材５３０は、駆動部材位置基準面６９９および座面６９８を含む（図６Ｂ）。駆動部材位置基準面６９９は、以下においてさらに説明するように、部分的に、寸法略不変インターフェース５００を画定する。

【0041】

捻れ運動従動部材５３５は、本体部５１０、および本体部５１０に回転可能に連結されるベアリングカラー５１１を含む。捻れ運動従動部材５３５の本体部５１０は、従動部材位置基準面５９９および従動部係合面９１０を含む（図９）。一態様では、捻れ運動従動部材５３５は、本体部５１０をベアリングカラー５１１に着座させる少なくとも１つの軸受け５１２をさらに含む（図８）。ベアリングカラー５１１は、たとえば、アームリンクハウジング４０２Ｈのねじ４０２Ｔ、たとえばフォアアーム４０２と連結するように構成されるねじ５１１Ｔ（図８）を含む。図７および図８に最もよく見られるように、一態様では、少なくとも１つの軸受け５１２の軸受レース５１２Ａ、５１２Ｂが、捻れ運動駆動部材５３０から独立して、たとえば、捻れ運動従動部材５３５に従属し、それによって、ベアリングカラー５１１は、捻れ運動駆動部材５３０から独立する（すなわち、ベアリングカラー５１１は、捻れ運動駆動部材５３０の外周面５３０Ｅが、（たとえば、ベアリングカラーが摩擦継手内の駆動シャフトに従属する、または、その駆動シャフト上に、もしくはその駆動シャフトに対して直接着座される従来のＳＣＡＲＡトルク継手と比較して）全体として、ベアリングカラー５１１に対して自由であるように、捻れ運動駆動部材５３０に直接、連結しない）。一態様では、ベアリングカラー５１１は、寸法略不変インターフェース５００から切り離される。ベアリングカラー５１１は、ステンレス鋼または他の任意の適切な材料で構成されてもよく、低熱膨張率を有してもよい。たとえば、ベアリングカラー５１１は、たとえば、－１００～７０°Ｆ（－７３～２１°Ｃ）の温度範囲にて、５．８×１０⁶ｉｎ／ｉｎ／°Ｆ（１０．４μｍ／ｍ・Ｋ）の平均熱膨張率、７０～２００°Ｆ（２１～９３°Ｃ）の温度範囲にて、６．０×１０⁶ｉｎ／ｉｎ／°Ｆ（１０．８μｍ／ｍ・Ｋ）の平均熱膨張率、７０～６００°Ｆ（２１～３１６°Ｃ）の温度範囲にて、６．３×１０⁶ｉｎ／ｉｎ／°Ｆ（１１．３μｍ／ｍ・Ｋ）の平均熱膨張率、７０～８００°Ｆ（２１～４２７°Ｃ）の温度範囲にて、６．５×１０⁶ｉｎ／ｉｎ／°Ｆ（１１．７μｍ／ｍ・Ｋ）の平均熱膨張率を有する１７－Ｈ９００ステンレス鋼で構成されてもよい。一態様では、ベアリングカラー５１１は、駆動特徴部を備える。

【0042】

捻れ運動駆動部材５３０の駆動部材位置基準面６９９、および捻れ運動従動部材５３５の本体部５１０の従動部材位置基準面５９９は、捻れ運動駆動部材５３０および捻れ運動従動部材５３５の互いに対する所定の位置を設定する所定の並びで配置される。一態様では、寸法略不変インターフェース５００は、捻れ運動駆動部材５３０の駆動部材位置基準面６９９、および捻れ運動従動部材５３５の従動部材位置基準面５９９を補完する構成を有する。この構成により、駆動部材位置基準面６９９および従動部材位置基準面５９９と係合する寸法略不変インターフェース５００は、捻れ運動従動部材５３５および捻れ運動駆動部材５３０の両方に対する寸法略不変インターフェース５００の再現可能な所定の同心位置をもたらす。

【0043】

図５～９をさらに参照すると、一態様では、基板搬送装置１０４Ａは、トルクバー５５０（回転トルク伝達継手とも呼称される）、第１付勢部材５６０、および第２付勢部材５６５をさらに含む。一態様では、トルクバー５５０は、第１くさび面５５１が上に配置される第１端部５５０Ｅ１と、第２くさび面５５２が上に配置される第２端部５５０Ｅ２と、第１端部５５０Ｅ１と第２端部５５０Ｅ２との間に配置されるスラスト面５５５と、少なくとも１つのトルクバー取付部材５５３、５５４とを含む。トルクバー５５０は、捻れ運動駆動部材５３０の座面６９８に着座し（または着座され）、トルクバー取付部材５５３、５５４（たとえば、捻れ運動駆動部材５３０およびトルクバー５５０との係合からの実質的に軸荷重のみのために配置されるねじ付きクリアランスキャップボルト）により捻れ運動駆動部材５３０に連結するように構成される。少なくとも１つのトルクバー取付部材５５３、５５４は、捻れ運動駆動部材５３０に対してトルクバー５５０を予圧付与するように構成され、たとえば、ナットとボルト、ねじ、または他の任意の適切な締結部材であってもよい。トルクバー５５０は、（本明細書において説明するように）、捻れ運動従動部材５３５に連結するようにさらに構成され、それによって、捻れ運動従動部材５３５の捻れ運動駆動部材５３０への連結がもたらされる。他の態様では、捻れ運動駆動部材およびトルクバー要素は、捻れ運動駆動部材およびトルクバーが、一体ユニットを画定するように、一体ユニット（たとえばモノリシック）として形成されてもよい。そのような、捻れ運動駆動部材およびトルクバーの統合一体ユニットは、図５および図９に図示されるように、第１付勢部材５６０および第２付勢部材５６５と同様に、捻れ運動従動部材５３５に連結される。

【0044】

一態様では、トルクバー５５０は、部分的に、寸法略不変インターフェース５００を画定する。たとえば、一態様では、寸法略不変インターフェース５００は、トルクバー５５０上に配置され、捻れ運動駆動部材５３０および捻れ運動従動部材５３５に同時に係合する。この、トルクバー５５０の、捻れ運動駆動部材５３０および捻れ運動従動部材５３５との同時の係合は、捻れ運動駆動部材５３０から捻れ運動従動部材５３５への回転運動／捻れ（またはトルク）の伝達をもたらす。一態様では、トルクバー５５０のスラスト面５５５は、捻れ運動駆動部材５３０の駆動部材位置基準面６９９に係合するように構成され、寸法略不変インターフェース５００の少なくとも一部を画定する。スラスト面５５５の、駆動部材位置基準面６９９との係合が、捻れ運動駆動部材５３０から、略均一のスラスト荷重を寸法略不変インターフェース５００の面に亘り、トルクバー５５０に分散させるように構成される制御分散接触スラストインターフェース８００（図５）を画定する。トルクバー５５０のそれぞれのスラスト面５５５と、捻れ運動駆動部材５３０の位置基準面６９９との間の予圧は、略均一のスラスト荷重が、τ_maxにて、およびその間の過渡にインターフェースに亘り生じるように、上記のように（取付部材５５３、５５４により）付与される。一体ユニットとして形成される、統合型の捻れ運動駆動部材およびトルクバーの態様では、スラストインターフェースは排除され、トルクバー部は、均一な伝達荷重と釣り合う略均一のトルクおよび運動伝達荷重分散をもたらすために、平面かつ断面に形状決めされてもよい。理解できるように、捻れ運動従動部材５３５と、統合型モノリシック捻れ運動駆動部材およびトルクバーとの間の係合は、捻れ運動駆動部材５５０および捻れ運動従動部材５３５の回転に対して接線方向に方向決めされる、統合型モノリシック捻れ運動駆動部材およびトルクバーの外周面から切り離されたままである。

【0045】

図６Ｂおよび図６Ｃにもっともよく見られるように、一態様では、第１付勢部材５６０および第２付勢部材５６５のそれぞれは、本体５６１、５６６、くさび係合面５６０ＷＳ、５６５ＷＳ、ピン５６２、５６７、および取付部材５６３、５６８をそれぞれ含む。第１付勢部材５６０および第２付勢部材５６５は、トルクバー５５０の第１端部５５０Ｅ１および第２端部５５０Ｅ２のそれぞれに係合するように構成される。より具体的には、第１付勢部材５６０および第２付勢部材５６５のくさび係合面５６０ＷＳ、５６５ＷＳは、トルクバー５５０の第１くさび面５５１および第２くさび面５５２のそれぞれの１つに係合し、圧力面を画定するように構成される。各付勢部材５６０、５６５と、第１端部５５０Ｅ１および第２端部５５０Ｅ２のそれぞれとの間の係合は、従動部材位置基準面５９９に対して、駆動部材位置基準面６９９に着座されるトルクバー５５０（および寸法略不変インターフェース５００）を着座させるように構成される。開示される実施形態の態様は、くさび面を有するものとして本明細書において説明するが、他の態様では、トルクバー５５０は、以下において説明するように、捻れ運動従動部材の側面を貫通する機械加工など任意の適切な方法で、または他の任意の適切な方法で着座されてもよい。

【0046】

一態様では、ピン５６２、５６７は、トルク荷重９３０が、ピン５６２、５６７を通して捻れ運動駆動部材５３０から捻れ運動従動部材５３５へと伝達される（たとえば、図９に示すように、トルク荷重が従動部係合面９１０にて反作用される）ように、それぞれの付勢部材５６０、５６５を捻れ運動従動部材５３５にピン留めする（または所定の場所に固定する）ように構成される。理解できるように、付勢部材は、くさびインターフェースに沿って、くさびインターフェースによって方向決めされるリンクを画定し、付勢部材は、寸法略不変インターフェース５００と強固に整列されるように、ピン継手にて、（完全に回転させるために）予圧を付与する。付勢部材は、トルク荷重９３０を、トルクバー５５０を通して、捻れ運動駆動部材５３０から捻れ運動従動部材５３５の従動部係合面９１０へと伝達するために、同時に、捻れ運動従動部材５３５にピン留めされ、トルクバー５５０の第１端部５５０Ｅ１および第２端部５５０Ｅ２のそれぞれと係合されるように構成される。

【0047】

取付部材５６３、５６８は、上記のトルクバー締結部材５５３、５５４に略類似であってもよい。取付部材５６３、５６８は、第１付勢部材５６０および第２付勢部材５６５のそれぞれを所定の位置に締結および強固に係止し、略同時にトルクバー５５０の第１端部５５０Ｅ１および第２端部５５０Ｅ２と係合するように構成され、ピン５６２、５６７は、第１付勢部材５６３および第２付勢部材５６８をそれぞれ、捻れ運動従動部材５３５にピン留めする。取付部材５６３、５６８は、トルクバー５５０が、駆動部材位置基準面６９９および従動部材位置基準面５９９に押し当てられる／押し付けられるように、第１付勢部材５６３および第２付勢部材５６８のくさび係合面５６０ＷＳ、５６５ＷＳの、トルクバー５５０の第１くさび面５５１および第２くさび面５５２との係合を強制する。第１付勢部材５６０および第２付勢部材５６５が締結されることによって、トルクバー５５０の各端部５５０Ｅ１、５５０Ｅ２にて、予圧が各付勢部材５６０、５６５の端部制御面９２０（図９）に付与される。一態様では、取付部材５６３、５６８は、締結されると、任意の熱成長ばらつきが接続部の弾性により吸収されるように、ばねのように動作するようにさらに構成される。

【0048】

一態様では、第１付勢部材５６０および第２付勢部材５６５は、締結位置で、捻れ運動従動部材５３５から実質的に分離されたままである（すなわち、第１付勢部材５６０および第２付勢部材５６５のそれぞれと、捻れ運動従動部材５３５の本体部５１０との間に、間隙ＧＡＰが存在する（図９））。捻れ運動従動部材５３５の本体部５１０との間に間隙ＧＡＰを維持する付勢部材５６０、５６５が、捻れ運動駆動部材５３０から捻れ運動従動部材５３５へのトルクの略非摩擦伝達を可能にする。

【0049】

一態様では、トルクバー５５０は、第１端部５５０Ｅ１および第２端部５５０Ｅ２のそれぞれにて、端部制御スラストインターフェース９００を画定する。スラスト荷重またはトルク荷重９３０は、端部制御スラストインターフェース９００のそれぞれから、捻れ運動従動部材５３５の従動部係合面９１０のそれぞれへと伝達される。一態様では、端部制御スラストインターフェース９００のそれぞれから、それぞれの従動部係合面９１０への、トルクのスラスト荷重伝達は、略非摩擦伝達である。一態様では、端部制御スラストインターフェース９００は、捻れ運動従動部材５３５および制御分散接触スラストインターフェース８００に対して、所定の略一定位置を有するように配置される（図５）。一態様では、実質的に圧縮荷重が摩擦荷重から切り離されて、捻れ運動駆動部材５３０から、寸法略不変インターフェース５００を横切って、捻れ運動および総トルクの伝達をもたらすように、捻れ運動駆動部材５３０から寸法略不変インターフェース５００のスラスト面５５５へ、およびトルクバー５５０の第１端部５５０Ｅ１および第２端部５５０Ｅ２のそれぞれの端部制御スラストインターフェース９００から捻れ運動従動部材５３５へ、圧縮荷重が伝達される。

【0050】

一態様では、捻れ運動従動部材５３５は、捻れ運動従動部材５３５に接続される予圧付与されたバンド－プーリ継手５１５をさらに含む。予圧付与されたバンド－プーリ継手５１５は、駆動バンド５９３を捻れ運動従動部材５３５に連結するように構成される。予圧付与されたバンド－プーリ継手５１５は、取付部材５１８、バンド取付部材５１９（図６Ｃ）、および付勢部材５７０（図６Ｃ）を含む。取付部材５１８は、予圧付与されたバンド－プーリ継手５１５を、捻れ運動従動部材５３５の本体部５１０に連結するように構成される。バンド取付部材５１９は、バンド５９３を予圧付与されたバンド－プーリ継手５１５に取り付けるように構成される。付勢部材５７０は、上記の第１付勢部材５６０および第２付勢部材５６５に略類似であり、取付部材５１７と、予圧付与されたバンド－プーリ継手５１５を捻れ運動従動部材５３５の本体部５１０にピン留めするための、上記のピン５６２、５６７に略類似であるピン５１６とを含む。付勢部材５７０は、バンド５９３からのスラスト荷重６００が、上記のものと略類似のピン５１６にて、捻れ運動従動部材５３５により反作用するように構成される。

【0051】

別の例では、図１０、図１１、および図１２Ａ～１２Ｂを参照すると、捻れ運動従動部材５３５’（たとえば、アッパーアーム４０１）は、捻れ運動駆動部材５３０’から捻れ運動従動部材５３５’にトルクを伝達するために、寸法略不変インターフェース５００’により、捻れ運動駆動部材５３０’（たとえば、外側駆動シャフト４１０Ｃ）に連結される。寸法略不変インターフェース５００’は、上記の寸法略不変インターフェース５００に略類似である。この態様では、捻れ運動駆動部材５３０’は、肩回転軸Ｚ１を囲繞する外周面５３０Ｅ’と、中間駆動シャフト４１０Ｂおよび内側駆動シャフト４１０Ａが、捻れ運動駆動部材５３０’の中心を通過し得るように構成される貫通部１０００とを有する。捻れ運動駆動部材５３０’は、駆動部材位置基準面６９９’を含む。駆動部材位置基準面６９９’は、以下においてさらに説明するように、部分的に、寸法略不変インターフェース５００’を画定する。

【0052】

アッパーアーム４０１は、捻れ運動従動部材５３５に関して上で説明したものに略類似である本体部５１０’、および本体部５１０’に回転可能に連結されるベアリングカラー５１１’（図１１）を含む。アッパーアーム４０１の本体部５１０’は、従動部材位置基準面５９９’を含む。捻れ運動駆動部材５３０と略同様に、捻れ運動駆動部材５３０’の外周面５３０Ｅ’は、全体的に自由表面である（すなわち、ベアリングカラー５１１’は、捻れ運動駆動部材５３０’に直接連結しない）。さらに、ベアリングカラー５１１’は、寸法略不変インターフェース５００’から切り離される。

【0053】

捻れ運動駆動部材５３０’の駆動部材位置基準面６９９’、およびアッパーアーム４０１の本体部５１０’の従動部材位置基準面５９９’は、捻れ運動駆動部材５３０’およびアッパーアーム４０１の互いに対する所定の位置を設定する所定の並びで配置される。寸法略不変インターフェース５００’は、捻れ運動駆動部材５３０’の駆動部材位置基準面６９９’およびアッパーアーム４０１の従動部材位置基準面５９９’を補完し、アッパーアーム４０１および捻れ運動駆動部材５３０’の両方に対する寸法略不変インターフェース５００’の再現可能な所定の同心位置をもたらす構成を有する。

【0054】

図１０、図１１、および図１２Ａ～１２Ｂをさらに参照すると、トルクバー５５０’は、第１端部５５０Ｅ１’、第２端部５５０Ｅ２’、第１端部５５０Ｅ１’と第２端部５５０Ｅ２’との間に配置されるスラスト面５５５’、およびトルクバー取付部材５５３’、５５４’を含む。上記のトルクバー５５０に略類似して、トルクバー５５０’は、トルクバーを捻れ運動駆動部材５３０’に対して予圧付与するために、トルクバー取付部材５５３’、５５４’により、捻れ運動駆動部材５３０’に連結するように構成される。トルクバー５５０’は、アッパーアーム４０１に連結し、それによってアッパーアーム４０１の、捻れ運動駆動部材５３０’への連結をもたらすようにさらに構成される。この態様では、トルクバー５５０’は、捻れ運動駆動部材５３０’に連結されると、貫通部１０００の一部を画定する。

【0055】

一態様では、トルクバー５５０’は、部分的に、寸法略不変インターフェース５００’を画定する。たとえば、一態様では、寸法略不変インターフェース５００’は、トルクバー５５０’上に配置され、捻れ運動駆動部材５３０’およびアッパーアーム４０１に同時に係合する。トルクバー５５０’が捻れ運動駆動部材５３０’およびアッパーアーム４０１と同時に係合することで、捻れ運動駆動部材５３０’からアッパーアーム４０１への捻れ力の伝達がもたらされる。一態様では、トルクバー５５０’のスラスト面５５５’は、捻れ運動駆動部材５３０’の駆動部材位置基準面６９９’に係合するように構成され、寸法略不変インターフェース５００’の少なくとも一部を画定する。スラスト面５５５’の、駆動部材位置基準面６９９’との係合は、略均一のスラスト荷重を、捻れ運動駆動部材５３０’から、寸法略不変インターフェース５００’の面に亘り、トルクバー５５０’へと分散させるように構成される制御分散接触スラストインターフェース８００’を画定する。

【0056】

第１付勢部材および第２付勢部材５６０’、５６５’が、上記の付勢部材５６０、５６５と実質的に同様に動作してもよい。別の態様では、図１２Ｂに図示するように、トルクバー５５０’’は、アッパーアーム４０１の１つまたは複数の側面４０１Ｓ１、４０１Ｓ２を通して、アッパーアーム４０１にピン留めされてもよい。ピン１０１０は、トルクバー５５０’’の各端部５５０Ｅ１’’、５５０Ｅ２’’にて、凹状穴１０２０に挿入される。凹状穴１０２０内のテーパ面１０２１は、付勢部材５６０、５６５に関して上で説明したものと類似のトルクバー５５０’’を位置決めするために、ピン１０１０のテーパ面１０１１と接合するように構成される。

【0057】

一態様では、トルクバー５５０’は、第１端部５５０Ｅ１’および第２端部５５０Ｅ２’のそれぞれにて、端部制御スラストインターフェースを画定する。端部制御スラストインターフェースのそれぞれからアッパーアーム４０１のそれぞれの従動部係合面へ、スラスト荷重が伝達される。一態様では、端部制御スラストインターフェース９００’のそれぞれから従動部係合面９１０’のそれぞれへのトルクのスラスト荷重伝達は、略非摩擦伝達である。一態様では、端部制御スラストインターフェースは、アッパーアーム４０１および制御分散接触スラストインターフェース８００’に対する所定の略一定位置を有するように配置される。

【0058】

一態様では、実質的に圧縮荷重が摩擦荷重から切り離されて、捻れ運動駆動部材５３０’から寸法略不変インターフェース５００’を横切って捻れ運動および総トルクの伝達をもたらすように、上記のものと類似の方法で、捻れ運動駆動部材５３０’から寸法略不変インターフェース５００’のスラスト面５５５’へ、ならびにトルクバー５５０’の第１端部および第２端部５５０Ｅ１’、５５０Ｅ２’のそれぞれの端部制御スラストインターフェースからアッパーアーム４０１へ、圧縮荷重が伝達される。

【0059】

次に図１３を参照して、開示される実施形態の態様の例示的動作を説明する。一態様では、方法１３００は、ベアリングカラー５１１および本体部５１０を含む捻れ運動従動部材５３５などの捻れ運動従動部材を設けることを含む（図１３、ブロック１２０１）。方法は、捻れ運動従動部材５３５を、寸法略不変インターフェース５００により、捻れ運動駆動部材５３０などの捻れ運動駆動部材に連結することをさらに含む（図１３、ブロック１２０２）。ベアリングカラー５１１は、外周面４１０ＢＥが、全体として、ベアリングカラー５１１に対して自由であるように、捻れ運動駆動部材５３０の外周面４１０ＢＥから切り離される。捻れ運動駆動部材５３０は、駆動セクション２００’の中間駆動シャフト４１０Ｂによって駆動される第２伝動部４８０によって回転させられる。第２伝動部４８０により捻れ運動駆動部材５３０に提供されるトルクは、寸法略不変インターフェース５００により、捻れ運動従動部材５３５に伝達される。

【0060】

一態様では、方法は、トルクバー５５０によって、捻れ運動従動部材５３５を捻れ運動駆動部材５３０に連結することをさらに含む。トルクバー５５０は、捻れ運動駆動部材５３０および捻れ運動従動部材５３５に同時に係合し、捻れ運動駆動部材５３０から捻れ運動従動部材５３５への捻れ力の伝達をもたらす（図１３、ブロック１２０３）。一態様では、トルクバー５５０は、第１端部５５０Ｅ１および第２端部５５０Ｅ２のそれぞれにて、端部制御スラストインターフェース９００を画定する。端部制御スラストインターフェース９００のそれぞれから、捻れ運動従動部材５３５のそれぞれの従動部係合面９１０へとスラスト荷重が伝達される。一態様では、方法は、実質的に圧縮荷重が摩擦荷重から切り離されて、捻れ運動駆動部材５３０から、寸法略不変インターフェース５００を横切って、捻れ運動および総トルクの伝達をもたらすように、捻れ運動駆動部材５３０から寸法略不変インターフェース５００のスラスト面５５５へ、および第１端部５５０Ｅ１および第２端部５５０Ｅ２のそれぞれの端部制御スラストインターフェース９００から捻れ運動従動部材５３５へ、圧縮荷重を伝達することをさらに含む。

【0061】

開示される実施形態の１つまたは複数の態様によると、基板搬送装置が提供される。基板搬送装置は、捻れ運動駆動部材であって、捻れ運動駆動部材の回転軸を囲繞する外周面を有する捻れ運動駆動部材と、本体部、および本体部に回転可能に連結されるベアリングカラーを含む捻れ運動従動部材であって、捻れ運動従動部材は、寸法略不変インターフェースによって、捻れ運動駆動部材に連結され、ベアリングカラーは、外周面が全体としてベアリングカラーに対して自由であるように、捻れ運動駆動部材の外周面から切り離される、捻れ運動従動部材とを含む。

【0062】

開示される実施形態の１つまたは複数の態様によると、ベアリングカラーは、捻れ運動駆動部材および捻れ運動従動部材の回転に対して接線方向に方向決めされる外周面が、全体として、ベアリングカラーに対して自由であるように、捻れ運動駆動部材および捻れ運動従動部材の回転に対して接線方向に方向決めされる外周面から切り離される。

【0063】

開示される実施形態の１つまたは複数の態様によると、ベアリングカラーは、寸法略不変インターフェースから切り離される。

【0064】

開示される実施形態の１つまたは複数の態様によると、捻れ運動駆動部材は、駆動部材位置基準面を有し、捻れ運動従動部材は、従動部材位置基準面を有し、駆動部材位置基準面および従動部材位置基準面は、捻れ運動駆動部材および捻れ運動従動部材の互いに対する所定の位置を設定する所定の並びである。

【0065】

開示される実施形態の１つまたは複数の態様によると、寸法略不変インターフェースは、寸法略不変インターフェースによる捻れ運動駆動部材の駆動部材位置基準面、および捻れ運動従動部材の従動部材位置基準面との係合が、捻れ運動従動部材および捻れ運動駆動部材の両方に対する寸法略不変インターフェースの再現可能な所定位置をもたらすように、捻れ運動駆動部材の駆動部材位置基準面、および捻れ運動従動部材の従動部材位置基準面を補完する構成を有する。

【0066】

開示される実施形態の１つまたは複数の態様によると、再現可能な所定位置は、同心位置である。

【0067】

開示される実施形態の１つまたは複数の態様によると、トルクバーは、捻れ運動従動部材を捻れ運動駆動部材に連結するように構成され、寸法略不変インターフェースは、トルクバー上に配置され、捻れ運動駆動部材および捻れ運動従動部材に同時に係合し、捻れ運動駆動部材から捻れ運動従動部材への捻れ力の伝達をもたらす。

【0068】

開示される実施形態の１つまたは複数の態様によると、トルクバーは、第１端部、第２端部、および第１端部と第２端部との間に配置されるスラスト面を含み、スラスト面は、寸法略不変インターフェースの少なくとも一部を画定し、捻れ運動駆動部材の駆動部材位置基準面に係合するように構成される。

【0069】

開示される実施形態の１つまたは複数の態様によると、スラスト面の、駆動部材位置基準面との係合は、略均一のスラスト荷重を、捻れ運動駆動部材から、寸法略不変インターフェースの面に亘って分散させるように構成される制御分散接触スラストインターフェースを画定する。

【0070】

開示される実施形態の１つまたは複数の態様によると、トルクバーは、第１端部および第２端部のそれぞれにて、端部制御スラストインターフェースを画定し、端部制御スラストインターフェースのそれぞれから、捻れ運動従動部材の、それぞれの従動部係合面にスラスト荷重が伝達される。

【0071】

開示される実施形態の１つまたは複数の態様によると、端部制御スラストインターフェースのそれぞれから、それぞれの従動部係合面へのトルクのスラスト荷重伝達は、略非摩擦伝達である。

【0072】

開示される実施形態の１つまたは複数の態様によると、端部制御スラストインターフェースは、捻れ運動従動部材および制御分散接触スラストインターフェースに対する所定の略一定位置を有するように配置される。

【0073】

開示される実施形態の１つまたは複数の態様によると、第１端部は、第１くさび面を含み、第２端部は、第２くさび面を含み、第１くさび面および第２くさび面は、寸法略不変インターフェースを従動部材位置基準面に対して着座させ、付勢部材の端部制御面に予圧付与するために、第１付勢部材および第２付勢部材のそれぞれと係合するように構成される。

【0074】

開示される実施形態の１つまたは複数の態様によると、第１付勢部材および第２付勢部材のそれぞれは、第１くさび面および第２くさび面のそれぞれの１つに係合するためのくさび係合面を含み、各付勢部材と第１端部および第２端部との間の係合は、付勢部材を着座させ、補剛する。

【0075】

開示される実施形態の１つまたは複数の態様によると、実質的に圧縮荷重が摩擦荷重から切り離されて、捻れ運動駆動部材から寸法略不変インターフェースを横切って捻れ運動および総トルクの伝達をもたらすように、捻れ運動駆動部材から寸法略不変インターフェースのスラスト面へ、ならびに第１端部および第２端部のそれぞれの端部制御スラストインターフェースから捻れ運動従動部材へ、圧縮荷重が伝達される。

【0076】

開示される実施形態の１つまたは複数の態様によると、各付勢部材は、反作用荷重が、ピンにより捻れ運動従動部材に伝達されるように、捻れ運動従動部材にピン留めされる。

【0077】

開示される実施形態の１つまたは複数の態様によると、寸法略不変インターフェースは、捻れ運動従動部材と捻れ運動駆動部材との間の略無摩擦継手である。

【0078】

開示される実施形態の１つまたは複数の態様によると、捻れ運動駆動部材の外周面は、全体的に自由表面である。

【0079】

開示される実施形態の１つまたは複数の態様によると、捻れ運動従動部材は、プーリである。

【0080】

開示される実施形態の１つまたは複数の態様によると、プーリに接続される予圧付与されたバンド－プーリ継手をさらに備える。

【0081】

開示される実施形態の１つまたは複数の態様によると、捻れ運動従動部材は、アームリンクである。

【0082】

開示される実施形態の１つまたは複数の態様によると、捻れ運動駆動部材は、駆動シャフトである。

【0083】

開示される実施形態の１つまたは複数の態様によると、捻れ運動駆動部材は、多軸駆動スピンドルの駆動シャフトである。

【0084】

開示される実施形態の１つまたは複数の態様によると、捻れ運動駆動部材は、多軸駆動スピンドルの内側駆動シャフトまたは外側駆動シャフトのうちの１つである。

【0085】

開示される実施形態の１つまたは複数の態様によると、アームリンクハウジングをさらに備え、捻れ運動従動部材は、本体部をベアリングカラー上に着座させる少なくとも１つの軸受けをさらに備え、少なくとも１つの軸受けの軸受レースは、アームリンクハウジングに従属し、捻れ運動駆動部材から独立する。

【0086】

開示される実施形態の１つまたは複数の態様によると、ベアリングカラーは、捻れ運動駆動部材から独立するアームリンクハウジングに従属する。

【0087】

開示される実施形態の１つまたは複数の態様によると、捻れ運動従動部材は、ステンレス鋼を備える。

【0088】

開示される実施形態の１つまたは複数の態様によると、捻れ運動駆動部材は、ステンレス鋼を備える。

【0089】

開示される実施形態の１つまたは複数の態様によると、ベアリングカラーは、低熱膨張率を有する。

【0090】

開示される実施形態の１つまたは複数の態様によると、ベアリングカラーは、駆動特徴部を備える。

【0091】

開示される実施形態の１つまたは複数の態様によると、寸法略不変インターフェースは、捻れ運動駆動部材から捻れ運動従動部材に付与されるトルクの各方向に対して剛性かつ略不変である。

【0092】

開示される実施形態の１つまたは複数の態様によると、寸法略不変インターフェースは、付与される方向の最大トルクにおいて、およびトルクの過渡の間中、剛性かつ略不変であり、付与されるトルクの方向は、反対の付与される方向に、別の最大トルクへと切り替えられる。

【0093】

開示される実施形態の１つまたは複数の態様によると、寸法略不変インターフェースは、最大トルクと別の最大トルクとの間のそれぞれのトルクの適用の過渡の間中、剛性かつ略不変である。

【0094】

開示される実施形態の１つまたは複数の態様によると、方法が提供される。方法は、ベアリングカラーおよび本体部を含む捻れ運動従動部材を設けることを含み、捻れ運動従動部材は、寸法略不変インターフェースにより、捻れ運動駆動部材に連結され、ベアリングカラーは、捻れ運動駆動部材の外周面が全体としてベアリングカラーに対して自由であるように、捻れ運動駆動部材の外周面から切り離される。

【0095】

開示される実施形態の１つまたは複数の態様によると、ベアリングカラーは、寸法略不変インターフェースから切り離される。

【0096】

開示される実施形態の１つまたは複数の態様によると、捻れ運動駆動部材は、駆動部材位置基準面を有し、捻れ運動従動部材は、従動部材位置基準面を有し、駆動部材位置基準面および従動部材位置基準面は、捻れ運動駆動部材および捻れ運動従動部材の互いに対する所定の位置を設定する所定の並びである。

【0097】

開示される実施形態の１つまたは複数の態様によると、寸法略不変インターフェースは、寸法略不変インターフェースによる捻れ運動駆動部材の駆動部材位置基準面、および捻れ運動従動部材の従動部材位置基準面との係合が、捻れ運動従動部材および捻れ運動駆動部材の両方に対する寸法略不変インターフェースの再現可能な所定位置をもたらすように、捻れ運動駆動部材の駆動部材位置基準面、および捻れ運動従動部材の従動部材位置基準面を補完する構成を有する。

【0098】

開示される実施形態の１つまたは複数の態様によると、再現可能な所定位置は、同心位置である。

【0099】

開示される実施形態の１つまたは複数の態様によると、捻れ運動従動部材を捻れ運動駆動部材に連結するように構成されるトルクバーを設けることと、捻れ運動駆動部材および捻れ運動従動部材を同時に、トルクバー上に配置される寸法略不変インターフェースと係合させることと、捻れ運動駆動部材から捻れ運動従動部材への捻れ力の伝達をもたらすこととを含む。

【0100】

開示される実施形態の１つまたは複数の態様によると、トルクバーは、第１端部、第２端部、および第１端部と第２端部との間に配置されるスラスト面を含み、スラスト面は、寸法略不変インターフェースの少なくとも一部を画定し、方法は、捻れ運動駆動部材の駆動部材位置基準面をスラスト面と係合させることをさらに含む。

【0101】

開示される実施形態の１つまたは複数の態様によると、スラスト面を駆動部材位置基準面と係合させることは、略均一のスラスト荷重を、捻れ運動駆動部材から、寸法略不変インターフェースの面に亘って分散させるように構成される制御分散接触スラストインターフェースを画定する。

【0102】

開示される実施形態の１つまたは複数の態様によると、トルクバーは、第１端部および第２端部のそれぞれにて、端部制御スラストインターフェースを画定し、方法は、スラスト荷重を、端部制御スラストインターフェースのそれぞれから、捻れ運動従動部材のそれぞれの従動部係合面に伝達することをさらに含む。

【0103】

開示される実施形態の１つまたは複数の態様によると、端部制御スラストインターフェースのそれぞれからそれぞれの従動部係合面へのスラスト荷重の伝達は、略非摩擦伝達である。

【0104】

開示される実施形態の１つまたは複数の態様によると、端部制御スラストインターフェースは、捻れ運動従動部材および制御分散接触スラストインターフェースに対する所定の略一定位置を有するように配置される。

【0105】

開示される実施形態の１つまたは複数の態様によると、第１端部は、第１くさび面を含み、第２端部は、第２くさび面を含み、方法は、寸法略不変インターフェースを従動部材位置基準面に対して着座させ、付勢部材の端部制御面に予圧付与するために、第１くさび面および第２くさび面を、第１付勢部材および第２付勢部材のそれぞれと係合させることをさらに含む。

【0106】

開示される実施形態の１つまたは複数の態様によると、第１付勢部材および第２付勢部材のそれぞれは、第１くさび面および第２くさび面のそれぞれの１つに係合するためのくさび係合面を含み、各付勢部材と第１端部および第２端部との間の係合は、付勢部材を着座させ、補剛する。

【0107】

開示される実施形態の１つまたは複数の態様によると、方法は、実質的に圧縮荷重が摩擦荷重から切り離されて、捻れ運動駆動部材から寸法略不変インターフェースを横切って捻れ運動および総トルクの伝達をもたらすように、捻れ運動駆動部材から寸法略不変インターフェースのスラスト面へ、ならびに第１端部および第２端部のそれぞれの端部制御スラストインターフェースから捻れ運動従動部材へ、圧縮荷重を伝達することを含む。

【0108】

開示される実施形態の１つまたは複数の態様によると、方法は、各付勢部材を捻れ運動従動部材にピン留めすることと、ピンによって、反作用荷重を捻れ運動従動部材に伝達することとを含む。

【0109】

開示される実施形態の１つまたは複数の態様によると、寸法略不変インターフェースは、捻れ運動従動部材と捻れ運動駆動部材との間の略無摩擦継手である。

【0110】

開示される実施形態の１つまたは複数の態様によると、捻れ運動駆動部材の外周面は、全体的に自由表面である。

【0111】

開示される実施形態の１つまたは複数の態様によると、捻れ運動従動部材は、プーリである。

【0112】

開示される実施形態の１つまたは複数の態様によると、プーリに接続される予圧付与されたバンド－プーリ継手を備える。

【0113】

開示される実施形態の１つまたは複数の態様によると、捻れ運動従動部材は、アームリンクである。

【0114】

開示される実施形態の１つまたは複数の態様によると、捻れ運動駆動部材は、駆動シャフトである。

【0115】

開示される実施形態の１つまたは複数の態様によると、捻れ運動駆動部材は、多軸駆動スピンドルの駆動シャフトである。

【0116】

開示される実施形態の１つまたは複数の態様によると、捻れ運動駆動部材は、多軸駆動スピンドルの内側駆動シャフトまたは外側駆動シャフトのうちの１つである。

【0117】

開示される実施形態の１つまたは複数の態様によると、少なくとも１つの軸受けにより、本体部をベアリングカラー上に着座させることをさらに含み、少なくとも１つの軸受けの軸受レースは、アームリンクハウジングに従属し、捻れ運動駆動部材から独立する。

【0118】

開示される実施形態の１つまたは複数の態様によると、ベアリングカラーは、捻れ運動駆動部材から独立するアームリンクハウジングに従属する。

【0119】

開示される実施形態の１つまたは複数の態様によると、捻れ運動従動部材は、ステンレス鋼を含む。

【0120】

開示される実施形態の１つまたは複数の態様によると、捻れ運動駆動部材は、ステンレス鋼を含む。

【0121】

開示される実施形態の１つまたは複数の態様によると、ベアリングカラーは、低熱膨張率を有する。

【0122】

開示される実施形態の１つまたは複数の態様によると、ベアリングカラーは、駆動特徴部を備える。

【0123】

開示される実施形態の１つまたは複数の態様によると、基板処理ツールが提供される。基板処理ツールは、ツールフレームと、ツールフレームに接続される基板搬送部とを含み、基板搬送部は、ツールフレームに対して回転し、トルクを発生させるように移動可能に接続される回転駆動部材と、回転駆動部材に接続される回転従動部材であって、回転従動部材は、回転駆動部材から回転従動部材に付与されるトルクにより、ツールフレームに対する回転駆動部材の運動に従動するように、回転駆動部材に接続される、回転従動部材と、回転駆動部材と回転従動部材との間の、接触式トルク伝達インターフェースを有する回転トルク伝達継手であって、接触式トルク伝達インターフェースは、剛性の略非滑り性インターフェースであり、剛性の略非滑り性インターフェースは、略非摩擦伝達により、回転駆動部材から回転トルク伝達継手を横切って回転従動部材への、トルクの双方向性のトルク伝達をもたらすように、接触式トルク伝達インターフェースにて所定の再現可能な双方向性の剛性および略非滑り性の接触を剛性の略非滑り性インターフェースが有するように構成される、回転トルク伝達継手とを有する。

【0124】

開示される実施形態の１つまたは複数の態様によると、回転従動部材は、回転駆動部材が回転従動部材の少なくとも一部の周りに配置されるように、少なくとも部分的に回転駆動部材の内部に位置する。

【0125】

開示される実施形態の１つまたは複数の態様によると、回転駆動部材は、回転従動部材が回転駆動部材の少なくとも一部の周りに配置されるように、少なくとも部分的に回転従動部材の内部に位置する。

【0126】

開示される実施形態の１つまたは複数の態様によると、基板搬送装置は、高精度運動基板搬送装置である。

【0127】

開示される実施形態の１つまたは複数の態様によると、高精度運動基板搬送装置は、約１００ミクロンより優れた運動の再現性を有する高精度運動を有する。

【0128】

開示される実施形態の１つまたは複数の態様によると、回転駆動部材は、駆動部材位置基準面を有し、回転従動部材は、従動部材位置基準面を有し、駆動部材位置基準面および従動部材位置基準面は、回転駆動部材および回転従動部材の互いに対する所定の位置を設定する所定の並びである。

【0129】

開示される実施形態の１つまたは複数の態様によると、接触式トルク伝達インターフェースは、接触式トルク伝達インターフェースによる回転駆動部材の駆動部材位置基準面、および回転従動部材の従動部材位置基準面との係合が、回転従動部材および回転駆動部材の両方に対する接触式トルク伝達インターフェースの再現可能な所定位置をもたらすように、回転駆動部材の駆動部材位置基準面、および回転従動部材の従動部材位置基準面を補完する構成を有する。

【0130】

開示される実施形態の１つまたは複数の態様によると、再現可能な所定位置は、同心位置である。

【0131】

開示される実施形態の１つまたは複数の態様によると、接触式トルク伝達インターフェースは、回転駆動部材および回転従動部材に同時に係合し、回転駆動部材から回転従動部材への捻れ力の伝達をもたらす。

【0132】

開示される実施形態の１つまたは複数の態様によると、回転トルク伝達継手は、第１端部、第２端部、および第１端部と第２端部との間に配置されるスラスト面を含み、スラスト面は、接触式トルク伝達インターフェースの少なくとも一部を画定し、回転駆動部材の駆動部材位置基準面に係合するように構成される。

【0133】

開示される実施形態の１つまたは複数の態様によると、スラスト面の、駆動部材位置基準面との係合は、略均一のスラスト荷重を、回転駆動部材から、接触式トルク伝達インターフェースの面に亘って、分散させるように構成される制御分散接触スラストインターフェースを画定する。

【0134】

開示される実施形態の１つまたは複数の態様によると、回転トルク伝達継手は、第１端部および第２端部のそれぞれにて、端部制御スラストインターフェースを画定し、スラスト荷重は、端部制御スラストインターフェースのそれぞれから回転従動部材のそれぞれの従動部係合面に伝達される。

【0135】

開示される実施形態の１つまたは複数の態様によると、端部制御スラストインターフェースのそれぞれからそれぞれの従動部係合面へのトルクのスラスト荷重伝達は、略非摩擦伝達である。

【0136】

開示される実施形態の１つまたは複数の態様によると、端部制御スラストインターフェースは、回転従動部材および制御分散接触スラストインターフェースに対する所定の略一定位置を有するように配置される。

【0137】

開示される実施形態の１つまたは複数の態様によると、第１端部は、第１くさび面を含み、第２端部は、第２くさび面を含み、第１くさび面および第２くさび面は、従動部材位置基準面に対して回転トルク伝達継手を着座させ、付勢部材の端部制御面に予圧付与するために、第１付勢部材および第２付勢部材のそれぞれと係合するように構成される。

【0138】

開示される実施形態の１つまたは複数の態様によると、第１付勢部材および第２付勢部材のそれぞれは、第１くさび面および第２くさび面のそれぞれの１つに係合するためのくさび係合面を含み、付勢部材のそれぞれと第１端部および第２端部との間の係合は、付勢部材を着座させ、補剛する。

【0139】

開示される実施形態の１つまたは複数の態様によると、実質的に圧縮荷重が摩擦荷重から切り離されて、回転駆動部材から接触式トルク伝達インターフェースを横切って捻れ運動および総トルクの伝達をもたらすように、回転駆動部材から回転トルク伝達継手のスラスト面へ、ならびに第１端部および第２端部のそれぞれの端部制御スラストインターフェースから回転従動部材へ、圧縮荷重が伝達される。

【0140】

開示される実施形態の１つまたは複数の態様によると、各付勢部材は、反作用荷重がピンにより回転従動部材に伝達されるように、回転従動部材にピン留めされる。

【0141】

開示される実施形態の１つまたは複数の態様によると、回転駆動部材の外周面は、全体的に自由表面である。

【0142】

開示される実施形態の１つまたは複数の態様によると、回転従動部材は、プーリである。

【0143】

開示される実施形態の１つまたは複数の態様によると、プーリに接続される予圧付与されたバンド－プーリ継手をさらに備える。

【0144】

開示される実施形態の１つまたは複数の態様によると、回転従動部材は、アームリンクである。

【0145】

開示される実施形態の１つまたは複数の態様によると、回転駆動部材は、駆動シャフトである。

【0146】

開示される実施形態の１つまたは複数の態様によると、回転駆動部材は、多軸駆動スピンドルの駆動シャフトである。

【0147】

開示される実施形態の１つまたは複数の態様によると、回転駆動部材は、多軸駆動スピンドルの内側駆動シャフトまたは外側駆動シャフトの１つである。

【0148】

開示される実施形態の１つまたは複数の態様によると、アームリンクハウジングを備え、回転従動部材は、本体部をベアリングカラー上に着座させる少なくとも１つの軸受けをさらに備え、少なくとも１つの軸受けの軸受レースは、回転駆動部材から独立するアームリンクハウジングに従属する。

【0149】

開示される実施形態の１つまたは複数の態様によると、ベアリングカラーは、回転駆動部材から独立するアームリンクハウジングに従属する。

【0150】

開示される実施形態の１つまたは複数の態様によると、回転従動部材は、ステンレス鋼を含む。

【0151】

開示される実施形態の１つまたは複数の態様によると、回転駆動部材は、ステンレス鋼を含む。

【0152】

開示される実施形態の１つまたは複数の態様によると、ベアリングカラーは、低熱膨張率を有する。

【0153】

開示される実施形態の１つまたは複数の態様によると、ベアリングカラーは、駆動特徴部を備える。

【0154】

開示される実施形態の１つまたは複数の態様によると、接触式トルク伝達インターフェースは、捻れ運動駆動部材から捻れ運動従動部材に付与されるトルクの各方向に対して剛性かつ略不変である。

【0155】

開示される実施形態の１つまたは複数の態様によると、接触式トルク伝達インターフェースは、付与される方向の最大トルクにおいて、およびトルクの過渡の間中、剛性かつ略不変であり、付与されるトルクの方向は、反対の付与される方向に、別の最大トルクへと切り替えられる。

【0156】

開示される実施形態の１つまたは複数の態様によると、接触式トルク伝達インターフェースは、最大トルクと別の最大トルクとの間のそれぞれのトルクの適用の過渡の間中、剛性かつ略不変である。

【0157】

上記の記載は、開示される実施形態の態様の例示にすぎないことを理解されるべきである。当業者によって、様々な代替例および修正例が、開示される実施形態の態様から逸脱することなく案出され得る。したがって、開示された実施形態の態様は、添付の請求項の範囲に該当する、そのような代替例、修正例、および変形例のすべてを含むことを意図している。さらに、異なる特徴が、相互に異なる従属または独立請求項に詳述されるという一事実は、これらの特徴の組み合わせを有利に使用することが出来ないということを意味せず、そのような組み合わせは、本発明の態様の範囲内に留まる。

【図1A】

【図1B】

【図1C】

【図1D】

【図1E】

【図1F】

【図1G】

【図1H】

【図1I】

【図1J】

【図1K】

【図1L】

【図1M】

【図2A】

【図2B】

【図2C】

【図2D】

【図3A】

【図3B】

【図3C】

【図3D】

【図3E】

【図4】

【図5】

【図6A】

【図6B】

【図6C】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12A】

【図12B】

【図13】