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特許7432588基板処理装置

書誌要約請求の範囲詳細な説明課題実施例実施するための形態図面の説明

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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-02-07

(45)【発行日】2024-02-16

(54)【発明の名称】基板処理装置

(51)【国際特許分類】

H01L 21/677 20060101AFI20240208BHJP

B25J 9/06 20060101ALI20240208BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 A

B25J9/06 D

【請求項の数】 20

(21)【出願番号】P 2021518777

(86)(22)【出願日】2019-10-04

(65)【公表番号】

(43)【公表日】2022-01-13

(86)【国際出願番号】 US2019054780

(87)【国際公開番号】W WO2020072950

(87)【国際公開日】2020-04-09

【審査請求日】2022-10-03

(31)【優先権主張番号】62/742,000

(32)【優先日】2018-10-05

(33)【優先権主張国・地域又は機関】US

(31)【優先権主張番号】16/592,431

(32)【優先日】2019-10-03

(33)【優先権主張国・地域又は機関】US

【早期審査対象出願】

【前置審査】

(73)【特許権者】

【識別番号】522041444

【氏名又は名称】ブルックスオートメーションユーエス、エルエルシー

(74)【代理人】

【識別番号】110001896

【氏名又は名称】弁理士法人朝日奈特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】ツァン、ビンセントダブリュー

(72)【発明者】

【氏名】キャベニー、ロバートティー

【審査官】境周一

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１７－０８５１２７（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許出願公開第２０１８／００１９１５５（ＵＳ，Ａ１）

【文献】特開２０１８－１３７４５３（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ２１／６７７

Ｂ２５Ｊ９／０６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

基板処理装置であって、前記基板処理装置が、
フレームと、
ＳＣＡＲＡアームであって、前記ＳＣＡＲＡアームが、前記ＳＣＡＲＡアームのショルダ関節で前記フレームに枢動可能に取り付けられ、前記ＳＣＡＲＡアームが、少なくとも１つのエンドエフェクタが従属する２リンクアームであり、前記２リンクアームが、一端で前記ショルダ関節を含み、決定するアッパーアーム、および前記ＳＣＡＲＡアームのエルボ関節を画定するように前記アッパーアームに枢動可能に接合されたフォアアームを画定し、前記少なくとも１つのエンドエフェクタの各々が、リスト関節軸を中心に前記フォアアームに対して回転するように、前記ＳＣＡＲＡアームのリスト関節で前記フォアアームに枢動可能に接合される、ＳＣＡＲＡアームと、
前記ショルダ関節でショルダ軸を中心に前記ＳＣＡＲＡアームを回転させ、前記ＳＣＡＲＡアームを伸長および収縮で関節運動させるように、トランスミッションを介して前記ＳＣＡＲＡアームに動作可能に連結された少なくとも１つの自由度を有する駆動セクションと、
を備え、
前記少なくとも１つのエンドエフェクタは、前記少なくとも１つのエンドエフェクタの少なくとも高さがリスト関節プーリの少なくとも高さとオーバーラップするように、リスト関節プーリに連結され、前記リスト関節プーリは、前記ＳＣＡＲＡアームの伸長および収縮が、前記リスト関節プーリおよび連結された前記少なくとも１つのエンドエフェクタの、前記フォアアームに対する、前記リスト関節軸を中心にしたユニットとして一緒の回転をもたらすように構成され、
前記少なくとも１つのエンドエフェクタの高さは、前記少なくとも１つのエンドエフェクタおよび前記リスト関節の合計スタック高さが、移送チャンバのスロットバルブのパススルーに適合し、移送チャンバのスロットバルブのパススルーを通過するよう寸法決めされるように、前記リスト関節のスタック高さプロファイル内にある、基板処理装置。

【請求項2】

前記リスト関節の前記スタック高さプロファイルが前記リスト関節プーリを含み、ＳＣＡＲＡアームの伸長が、前記少なくとも１つのエンドエフェクタ、および前記リスト関節プーリの少なくとも一部を、前記移送チャンバのスロットバルブの前記パススルーを通して伸長させる、請求項１記載の基板処理装置。

【請求項3】

前記リスト関節プーリの回転をもたらす、前記リスト関節プーリに連結された別個のバンドセグメントのセグメント化トランスミッションループをさらに備え、前記バンドセグメントの少なくとも１つが、プーリとエンドエフェクタとの間の連結の一部を形成する前記リスト関節プーリのレベル面に対して接触して着座するエンドエフェクタのレベル接触面を横切って直立してまたがる高さを有する、請求項１記載の基板処理装置。

【請求項4】

別のＳＣＡＲＡアームをさらに備え、前記別のＳＣＡＲＡアームは、前記ショルダ軸が前記ＳＣＡＲＡアームおよび前記別のＳＣＡＲＡアームの両方に対する共通のショルダ軸となるように、前記フレームに取り付けられる、請求項１記載の基板処理装置。

【請求項5】

前記別のＳＣＡＲＡアームが、別のリスト関節に別のエンドエフェクタを有し、前記別のエンドエフェクタおよび前記別のリスト関節が、前記移送チャンバのスロットバルブの前記パススルーに適合し、前記移送チャンバのスロットバルブの前記パススルーを通過するように寸法決めされた合計スタック高さを有する別のスタック高さプロファイルを画定する、請求項４記載の基板処理装置。

【請求項6】

前記ＳＣＡＲＡアームおよび前記別のＳＣＡＲＡアームは、前記少なくとも１つのエンドエフェクタおよび前記別のエンドエフェクタがそれぞれ、互いに積み重ねられた異なる移送面を画定するように、構成されている、請求項５記載の基板処理装置。

【請求項7】

前記駆動セクションが、前記ＳＣＡＲＡアームおよび前記別のＳＣＡＲＡアームの少なくとも１つに動作可能に接続されたＺ軸駆動部を含み、前記Ｚ軸駆動部が、それぞれのスタック高さプロファイルのそれぞれの合計スタック高さと前記パススルーとの間の間隙に基づいて、前記少なくとも１つのエンドエフェクタおよび前記別のエンドエフェクタの１つまたは複数のＺ軸移動を生成する、請求項５記載の基板処理装置。

【請求項8】

前記リスト関節プーリが、別個のバンドセグメントのセグメント化トランスミッションループによって前記駆動セクションに連結され、少なくとも１つの別個のバンドセグメントが、前記少なくとも１つのエンドエフェクタに隣接した前記リスト関節プーリのレベル縁部に近接して配置され、前記リスト関節プーリに対して着座した前記少なくとも１つのエンドエフェクタのレベル着座面から前記少なくとも１つのエンドエフェクタに向かって突出する、請求項１記載の基板処理装置。

【請求項9】

前記別個のバンドセグメントの少なくとも１つが前記プーリ上に巻き付き、それにより、前記少なくとも１つのエンドエフェクタに最も近接し、少なくとも１つの別個のバンドセグメントの巻き付きに対向するプーリ周囲縁部が、前記巻き付きのレベルまたはそれより下に配置されるように、前記別個のバンドセグメントの各々を前記リスト関節プーリに接合するバンドアンカーポイントが配置される、請求項８記載の基板処理装置。

【請求項10】

前記リスト関節プーリが、前記フレームに対するエンドエフェクタレベルを画定する、前記少なくとも１つのエンドエフェクタに対して着座したエンドエフェクタインターフェース着座面を有し、前記エンドエフェクタインターフェース着座面が、前記リスト関節プーリに連結された前記別個のバンドセグメントの少なくとも１つと共通するまたはそれより下のレベルにある、請求項８記載の基板処理装置。

【請求項11】

基板処理装置のフレームを提供する工程と、
ＳＣＡＲＡアームを提供する工程であって、前記ＳＣＡＲＡアームが、前記ＳＣＡＲＡアームのショルダ関節で前記フレームに枢動可能に取り付けられ、前記ＳＣＡＲＡアームが、少なくとも１つのエンドエフェクタが従属する２リンクアームであり、前記２リンクアームが、一端で前記ショルダ関節を含み、決定するアッパーアーム、および前記ＳＣＡＲＡアームのエルボ関節を画定するように前記アッパーアームに枢動可能に接合されたフォアアームを画定し、前記少なくとも１つのエンドエフェクタの各々が、リスト関節軸を中心に前記フォアアームに対して回転するように、前記ＳＣＡＲＡアームのリスト関節で前記フォアアームに枢動可能に連結され、リスト関節プーリに連結されている、工程と、
前記ショルダ関節でショルダ軸を中心に前記ＳＣＡＲＡアームを回転させ、前記ＳＣＡＲＡアームを伸長および収縮で関節運動させるように、トランスミッションを介して前記ＳＣＡＲＡアームに動作可能に連結された少なくとも１つの自由度を有する駆動セクションを提供する工程と、
前記ＳＣＡＲＡアームの伸長および収縮の際に、前記リスト関節プーリおよび連結された前記少なくとも１つのエンドエフェクタの、前記フォアアームに対する、前記リスト関節軸を中心にしたユニットとして一緒の回転をもたらす工程と、
を含む方法であって、
前記少なくとも１つのエンドエフェクタの少なくとも高さが、前記リスト関節プーリの少なくとも高さとオーバーラップし、前記少なくとも１つのエンドエフェクタの高さは、前記少なくとも１つのエンドエフェクタおよび前記リスト関節の合計スタック高さが、移送チャンバのスロットバルブのパススルーに適合し、移送チャンバのスロットバルブのパススルーを通過するよう寸法決めされるように、前記リスト関節のスタック高さプロファイル内にある、方法。

【請求項12】

前記リスト関節の前記スタック高さプロファイルが前記リスト関節プーリを含み、ＳＣＡＲＡアームの伸長が、前記少なくとも１つのエンドエフェクタ、および前記リスト関節プーリの少なくとも一部を、前記移送チャンバのスロットバルブの前記パススルーを通して伸長させる、請求項１１記載の方法。

【請求項13】

前記リスト関節プーリに連結された別個のバンドセグメントのセグメント化トランスミッションループを用いて前記リスト関節プーリの回転をもたらす工程であって、前記バンドセグメントの少なくとも１つが、プーリとエンドエフェクタとの間の連結の一部を形成する前記リスト関節プーリのレベル面に対して接触して着座する前記エンドエフェクタのレベル接触面を横切って直立してまたがる高さを有する、工程をさらに含む、請求項１１記載の方法。

【請求項14】

別のＳＣＡＲＡアームを提供する工程であって、前記別のＳＣＡＲＡアームは、前記ショルダ軸が前記ＳＣＡＲＡアームおよび前記別のＳＣＡＲＡアームの両方に対する共通のショルダ軸となるように、前記フレームに取り付けられる、工程をさらに含む、請求項１１記載の方法。

【請求項15】

【請求項16】

前記ＳＣＡＲＡアームおよび前記別のＳＣＡＲＡアームは、前記少なくとも１つのエンドエフェクタおよび前記別のエンドエフェクタがそれぞれ、互いに積み重ねられた異なる移送面を画定するように、構成されている、請求項１５記載の方法。

【請求項17】

前記ＳＣＡＲＡアームおよび前記別のＳＣＡＲＡアームの少なくとも１つに動作可能に接続された前記駆動セクションのＺ軸駆動部を用いて、それぞれのスタック高さプロファイルのそれぞれの合計スタック高さと前記パススルーとの間の間隙に基づいて、前記少なくとも１つのエンドエフェクタおよび前記別のエンドエフェクタの１つまたは複数のＺ軸移動を生成する工程をさらに含む、請求項１５記載の方法。

【請求項18】

【請求項19】

【請求項20】

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

［関連出願への相互参照］
この非仮特許出願は、２０１８年１０月５日に出願された米国仮特許出願第６２／７４２，０００号の優先権および利益を主張し、その開示は、その全体が引用により本明細書に組み込まれる。

【0002】

［技術分野］
例示的な実施形態は、概して、基板処理ツール、より具体的には、基板搬送装置に関する。

【背景技術】

【0003】

半導体処理では、半導体プロセスモジュールへ、および半導体プロセスモジュールからウェハを移送するために、デュアルＳＣＡＲＡ（水平多関節ロボット）アームロボットが使用され得る。デュアルＳＣＡＲＡアームロボットは、概して、プロセスモジュールへ、およびプロセスモジュールからの基板の高速交換を可能にし、高速交換は、デュアルＳＣＡＲＡアームロボットのショルダ軸を中心にデュアルＳＣＡＲＡアームロボットをユニットとして回転させることのない、およびアームをバッテリー位置または完全に収縮位置に実質的に収縮させることのない、迅速に続く、プロセスモジュールからの１つの基板の取り出しおよび同じプロセスモジュールへの別の異なる基板の配置と呼ばれ得る。

【0004】

概して、デュアルＳＣＡＲＡアームロボットの各アームは、ショルダ軸を中心に回転可能なアッパーアームと、エルボ軸を中心にアッパーアームに回転可能に連結されたフォアアームと、リスト軸を中心にフォアアームに連結されたエンドエフェクタまたは基板ホルダとを含む。概して、図８Ａおよび８Ｂを参照すると、リストプーリ８００が、それに連結されたそれぞれのエンドエフェクタ８１１、８１２の回転を駆動させるために、各リスト軸８５０に配置されている。ここで、リストプーリ８００およびそれぞれのエンドエフェクタ８１１、８１２は、ユニットとしてリスト軸８５０を中心に回転する（たとえば、リストプーリ８００は、それぞれのエンドエフェクタ８１１、８１２と一致して回転する）。リストプーリは、リストプーリ８００の回転軸に対して約１８０度に及ぶ弧をカバーするようにリストプーリ８００の周りに巻き付けられている２つのバンド８０１、８０２から構成されるトランスミッションループ８０３によって駆動される。ここで、バンド８０１、８０２は、リストプーリ８００上に上下に積み重ねられなければならず、それにより、リストプーリ８００の高さＰＨを、単一のバンド８０１、８０２の高さＢＨの少なくとも２倍であるように画定する。リストプーリ８００は、概して、それぞれのフォアアーム８２０、８２１内に配置され、シャフトによってそれぞれのエンドエフェクタ８１１、８１２に連結され、その結果、それぞれのエンドエフェクタ８１１、８１２は、それぞれのフォアアーム８２０、８２１の上（または下）で回転する。このように、たとえば、従来のＳＣＡＲＡアームロボットの単一のアームの場合、リスト関節８３０の高さＷＪＨは、単一のバンド８０１、８０２の高さＢＨの少なくとも２倍に、それぞれのエンドエフェクタ８１１、８１２のリストプレート８１１Ｐ、８１２Ｐの厚さを加え、さらにそれぞれのフォアアーム８２０、８２１の壁厚さの２倍を加えたものになる。

【0005】

基板搬送ロボットは、概して、搬送チャンバ内で動作し、搬送チャンバの内部高さは、たとえば、アームと搬送チャンバの壁との間の必要とされる操作上のクリアランスに加えて、搬送ロボットのデュアルＳＣＡＲＡアームの高さ、アームのＺ移動範囲に対応している。搬送チャンバは、典型的に、スロットバルブを含み、スロットバルブは、エンドエフェクタおよび／またはリスト関節がスロットバルブの開口部を通過することができるような寸法の開口部を有している。場合によっては、スロットバルブの開口部は、リスト関節が通過するのに十分な大きさではなく、リスト関節がスロットバルブの開口部を通過しないようにしながら、それぞれのＳＣＡＲＡアームの到達距離をもたらす長いエンドエフェクタのパンオフセットにつながる。しかし、エンドエフェクタのパンオフセットを大きくすると、エンドエフェクタの剛性が低下し、ＳＣＡＲＡアームのスイング直径が大きくなる。

【発明の概要】

【0006】

開示された実施形態の前述の態様および他の特徴は、添付の図面に関連して行われた以下の記載において説明される。

【図面の簡単な説明】

【0007】

【図1】開示された実施形態の１つまたは複数の態様による基板搬送装置の概略図である。

【図2】開示された実施形態の１つまたは複数の態様による基板搬送装置の一部の概略図である。

【図3A】開示された実施形態の１つまたは複数の態様による図１の基板搬送装置の一部の概略図である。

【図3B】開示された実施形態の１つまたは複数の態様による図１の基板搬送装置の一部の概略図である。

【図4】開示された実施形態の１つまたは複数の態様による基板搬送装置の概略図である。

【図5A】開示された実施形態の１つまたは複数の態様による基板搬送装置の概略図である。

【図5B】開示された実施形態の１つまたは複数の態様による基板搬送装置の概略図である。

【図5C】開示された実施形態の１つまたは複数の態様による基板搬送装置の概略図である。

【図5D】開示された実施形態の１つまたは複数の態様による基板搬送装置の概略図である。

【図5E】開示された実施形態の１つまたは複数の態様による基板搬送装置の概略図である。

【図5F】開示された実施形態の１つまたは複数の態様による基板搬送装置の概略図である。

【図5G】開示された実施形態の１つまたは複数の態様による基板搬送装置の概略図である。

【図5H】開示された実施形態の１つまたは複数の態様によるスロットバルブを通る移送アームの伸長の概略図である。

【図6A】開示された実施形態の１つまたは複数の態様による基板搬送装置の一部の概略図である。

【図6B】開示された実施形態の１つまたは複数の態様による基板搬送装置の一部の概略図である。

【図6C】開示された実施形態の１つまたは複数の態様によるエンドエフェクタ駆動トランスミッションの一部の概略図である。

【図6D】開示された実施形態の１つまたは複数の態様によるエンドエフェクタ駆動トランスミッションの一部の概略図である。

【図6E】開示された実施形態の１つまたは複数の態様によるエンドエフェクタ駆動トランスミッションの一部の概略図である。

【図6F】開示された実施形態の１つまたは複数の態様による移送アームのリスト関節の概略断面図である。

【図6G】開示された実施形態の１つまたは複数の態様によるスロットバルブを通って伸長する図６Ｆのリスト関節の概略図である。

【図6H】開示された実施形態の１つまたは複数の態様によるそれぞれの移送アームのエンドエフェクタの一部の概略図である。

【図6I】開示された実施形態の１つまたは複数の態様によるそれぞれの移送アームのエンドエフェクタの一部の概略図である。

【図6J】開示された実施形態の１つまたは複数の態様による基板搬送装置の一部の概略図である。

【図6K】開示された実施形態の１つまたは複数の態様による基板搬送装置の一部の概略図である。

【図6L】開示された実施形態の１つまたは複数の態様による基板搬送装置の一部の概略図である。

【図6M】開示された実施形態の１つまたは複数の態様による基板搬送装置の一部の概略図である。

【図7A】開示された実施形態の１つまたは複数の態様による基板搬送装置の一部の概略図である。

【図7B】開示された実施形態の１つまたは複数の態様による基板搬送装置の一部の概略図である。

【図7C】開示された実施形態の１つまたは複数の態様による基板搬送装置の一部の概略図である。

【図7D】開示された実施形態の１つまたは複数の態様による基板搬送装置の一部の概略図である。

【図7E】開示された実施形態の１つまたは複数の態様による基板搬送装置の一部の概略図である。

【図7F】開示された実施形態の１つまたは複数の態様による基板搬送装置の一部の概略図である。

【図7G】開示された実施形態の１つまたは複数の態様による基板搬送装置の一部の概略図である。

【図7H】開示された実施形態の１つまたは複数の態様による基板搬送装置の一部の概略図である。

【図8A】従来の基板搬送装置の一部の概略図である。

【図8B】従来の基板搬送装置の一部の概略図である。

【図9A】開示された実施形態の１つまたは複数の態様による基板搬送装置の一部の概略図である。

【図9B】開示された実施形態の１つまたは複数の態様による基板搬送装置の一部の概略図である。

【図10A】開示された実施形態の１つまたは複数の態様による基板搬送装置の一部の概略図である。

【図10B】開示された実施形態の１つまたは複数の態様による基板搬送装置の一部の概略図である。

【図11A】開示された実施形態の１つまたは複数の態様による基板搬送装置の一部の概略図である。

【図11B】開示された実施形態の１つまたは複数の態様による基板搬送装置の一部の概略図である。

【図11C】開示された実施形態の１つまたは複数の態様による基板搬送装置の一部の概略図である。

【図12】開示された実施形態の１つまたは複数の態様による方法のフロー図である。

【図13】開示された実施形態の１つまたは複数の態様による方法のフロー図である。

【発明を実施するための形態】

【0008】

リスト関節がスロットバルブの開口部を通過することができるように、および搬送チャンバの内部高さを低くされ、それによって搬送チャンバおよび／またはそのそれぞれのプロセスモジュールの内部容積が減少するように、リスト関節の高さを低くすることに利点がある。リスト関節がスロットバルブの開口部を通過するようにすることで、エンドエフェクタのパンオフセットがより短くなり、これにより、エンドエフェクタの剛性が高まり、（１つまたは複数の）基板搬送ロボットアームのスイング直径が短くなる。（１つまたは複数の）基板搬送アームのスイング直径を短くすると、移送チャンバの内部容積が減少し、これにより、チャンバをポンプダウンして真空にする、および／またはチャンバを排気して大気圧にする時間が短縮されるので、半導体処理システムのスループットが向上され得る。さらに、搬送チャンバの全体の高さを低くすると、搬送チャンバのコストが減少する。本開示の態様では、本明細書で説明するように、とりわけ、リストプーリバンド／ケーブルラップの量を減少させることによって、移送アームのリスト関節の高さを低くする。移送アームのリスト関節の高さを低くすると、リスト関節の少なくとも一部はスロットバルブ開口部を通過し得るが、これは、上記の利点に影響を与え得る。

【0009】

図１は、開示された実施形態の態様によるデュアルＳＣＡＲＡアーム基板処理装置１００（本明細書では「搬送装置１００」とも呼ばれる）を例示する。開示された実施形態の態様は、図面を参照して説明されるが、開示された実施形態の態様が、多くの形態で具体化され得ることが理解されるべきである。さらに、任意の適切な寸法、形状、またはタイプの要素または材料が使用され得る。

【0010】

一態様では、搬送装置１００は、キャリッジまたはフレーム１０６、ＳＣＡＲＡアームのショルダ関節でフレームに枢動可能に取り付けられたＳＣＡＲＡアーム１１０、１２０、およびフレームに取り付けられ、ＳＣＡＲＡアーム１１０、１２０に連結された駆動セクション１０８を含む。一態様では、搬送装置１００は、少なくとも２つのＳＣＡＲＡアーム１１０、１２０を含む。任意の適切な制御装置１９９は、駆動セクション１０８に接続され、本明細書に記載されるような搬送装置１００の動作をもたらすための任意の適切なプログラムコードを含む。

【0011】

一態様では、少なくとも２つのＳＣＡＲＡアームは、フレーム１０６に接続された第１のＳＣＡＲＡアーム１１０と、フレーム１０６に接続された第２のＳＣＡＲＡアーム１２０とを含む。第１のＳＣＡＲＡアーム１１０は、少なくとも１つのエンドエフェクタ１１０Ｅが従属する２リンクアームである。たとえば、第１のＳＣＡＲＡアーム１１０の２つのリンクは、アッパーアームリンク１１０Ｕおよびフォアアームリンク１１０Ｆを画定する。アッパーアームリンク１１０Ｕは、ショルダ関節１１０ＳＪを含み、決定し、アッパーアームリンク１１０Ｕは、アッパーアームリンク１１０Ｕの近位端（たとえば、ショルダ関節１１０ＳＪ）でショルダ回転軸ＳＡＸを中心にフレーム１０６に回転可能に接続される。フォアアームリンク１１０Ｆは、エルボ回転軸ＥＸ１を画定するように、フォアアームリンク１１０Ｆの近位端でアッパーアームリンク１１０Ｕの遠位端に回転可能に（たとえば、枢動可能に）接続される。少なくとも１つのエンドエフェクタ１１０Ｅの各々は、リスト回転軸ＷＸ１を中心にフォアアーム１１０Ｆに対して回転するように、リスト回転軸ＷＸ１を中心にリスト関節１１０ＷＪでフォアアームリンク１１０Ｆの遠位端に回転可能に（たとえば、枢動可能に）連結される。

【0012】

第２のＳＣＡＲＡアーム１２０は、少なくとも１つのエンドエフェクタ１２０Ｅが従属する２リンクアームである。たとえば、第２のＳＣＡＲＡアーム１２０の２つのリンクは、アッパーアームリンク１２０Ｕおよびフォアアームリンク１２０Ｆを画定する。アッパーアームリンク１２０Ｕは、ショルダ関節１２０ＳＪを含み、決定し、アッパーアームリンク１２０Ｕは、アッパーアームリンク１２０Ｕの近位端で（たとえば、ショルダ関節１２０ＳＪで）ショルダ回転軸ＳＡＸを中心にフレーム１０６に回転可能に接続される。フォアアームリンク１２０Ｆは、エルボ回転軸ＥＸ２を画定するように、フォアアームリンク１２０Ｆの近位端でアッパーアームリンク１２０Ｕの遠位端に回転可能に（たとえば、枢動可能に）接続される。少なくとも１つのエンドエフェクタ１２０Ｅの各々は、リスト回転軸ＷＸ２を中心にフォアアーム１２０Ｆに対して回転するように、リスト回転軸ＷＸ２を中心にリスト関節１２０ＷＪでフォアアームリンク１２０Ｆの遠位端に回転可能に（たとえば、枢動可能に）連結される。

【0013】

単一のエンドエフェクタ１１０Ｅ、１２０Ｅのみが、各リスト回転軸ＷＸ１、ＷＸ２に連結されるように例示されているが、他の態様では、基板の一括移送または基板の高速交換をもたらすために、任意の適切な数のエンドエフェクタが、リスト軸ＷＸ１、ＷＸ２の１つまたは複数に連結され得る。本態様では、ショルダ回転軸ＳＡＸは、第１および第２のＳＣＡＲＡアーム１１０、１２０の両方に共通しており、他の態様では、第１および第２のＳＣＡＲＡアーム１１０、１２０は、並んで配置されているそれぞれのショルダ回転軸を有し得る。さらに、本開示の態様は、ＳＣＡＲＡ型移送アームに関して説明されているが、本開示の態様は、（１つまたは複数の）従属エンドエフェクタまたはそれぞれの駆動軸によって駆動されるエンドエフェクタを有する任意の適切なタイプの移送アームに等しく適用可能であり、ここで、円弧端から円弧端へのエンドエフェクタの回転は約１８０°またはそれより下である。他の態様では、エンドエフェクタの円弧端から円弧端への回転は、約１８０°を超えてもよく、ここでは、移送アームリストのアイドラプーリ６０４、６０５のエンドエフェクタインターフェース着座面６０４ＥＳ、６０５ＥＳの表面積（図６Ｄおよび６Ｅを参照）は縮小されるが、それでも、その上でエンドエフェクタ１１０Ｅ、１２０Ｅを支持するのに十分な表面積である。

【0014】

また図２、３Ａおよび３Ｂを参照すると、一態様では、駆動セクション１０８は、任意の適切な方法でフレーム１０６に取り付けられている。駆動セクション１０８は、それぞれのショルダ関節１１０ＳＪ、１２０ＳＪでショルダ回転軸ＳＡＸを中心にＳＣＡＲＡアーム１１０、１２０を回転させ、およびＳＣＡＲＡアーム１１０、１２０の各々を伸長および収縮で関節運動させるように、トランスミッション２９９（図２および７Ａを参照）を介してＳＣＡＲＡアーム１１０、１２０に動作可能に連結される少なくとも１つの自由度を有している。一態様では、駆動セクション１０８は、３軸（たとえば３自由度）の駆動セクションであり、他の態様では、駆動セクションは、任意の適切な数の駆動軸（たとえば、３つより多いまたは少ない駆動軸）を含み得る。一態様では、駆動セクション１０８は、概して、駆動シャフトアセンブリ２４１（これは、本明細書に記載されるような任意の適切なプーリ／バンドシステムと共にトランスミッション２９９の一部であり得る）および３つのモータ２４２、２４４、２４６を備える。本態様では、駆動シャフトアセンブリ２４１は、３つの駆動シャフト２５０Ａ、２５０Ｂ、２５０Ｃを有する。理解され得るように、駆動システムは、３つのモータおよび３つの駆動シャフトに限定され得ない。

【0015】

第１のモータ２４２は、ステータ２４８Ａ、および中央シャフト２５０Ａに接続されたロータ２６０Ａを備える。第２のモータ２４４は、ステータ２４８Ｂ、および外側シャフト２５０Ｂに接続されたロータ２６０Ｂを備える。第３のモータ２４６は、ステータ２４８Ｃ、および内側シャフト２５０Ｃに接続されたロータ２６０Ｃを備える。３つのステータ２４８Ａ、２４８Ｂ、２４８Ｃは、フレーム１０６に沿った異なる垂直高さまたは位置でフレーム１０６に固定して取り付けられている（なお、開示全体が引用により本明細書に組み込まれる、２０１１年１１月１０日に出願された米国特許出願第１３／２９３，７１７号明細書および２０１１年８月３０日に発行された米国特許第８，００８，８８４号明細書に記載されているものなどの放射状に入れ子になったモータを含む３軸駆動システムも、搬送装置１００を駆動するために使用され得る）。説明目的のみで、第１のステータ２４８Ａは中央ステータであり、第２のステータ２４８Ｂは上部ステータであり、第３のステータ２４８Ｃは下部ステータである。各ステータは概して電磁コイルを備える。

【0016】

３つの駆動シャフト２５０Ａ、２５０Ｂ、および２５０Ｃは、同軸駆動シャフトとして配置されている。３つのロータ２６０Ａ、２６０Ｂ、２６０Ｃは、好ましくは、永久磁石から構成されるが、代替的に、永久磁石を有していない磁気誘導ロータを備えてもよい。スリーブまたは薄いキャンシール２６２は、好ましくは、ステータ２４８Ａ、２４８Ｂ、２４８ＣをＳＣＡＲＡアーム１１０、１２０の動作環境から密閉するために、および駆動シャフトアセンブリ２４１が真空環境に配置され、ステータ２４８Ａ、２４８Ｂ、２４８Ｃが真空環境の外側に配置されている状態で、搬送装置１００を真空環境で使用可能にするために、ロータ２６０Ａ、２６０Ｂ、２６０Ｃとそれぞれのステータ２４８Ａ、２４８Ｂ、２４８Ｃとの間に配置される。しかし、搬送装置１００が大気環境での使用のみを目的としている場合、スリーブ２６２を設ける必要はない。

【0017】

第３のシャフト２５０Ｃは内側シャフトであり、下部ステータ２４８Ｃから伸長する。内側シャフト２５０Ｃは、下部ステータ２４８Ｃと並べられた第３のロータ２６０Ｃを有する。中央シャフト２５０Ａは、中央ステータ２４８Ａから上方に伸長する。中央シャフトは、第１のステータ２４８Ａと並べられた第１のロータ２６０Ａを有する。外側シャフト２５０Ｂは、上部ステータ２４８Ｂから上方に伸長する。外側シャフトは、上部ステータ２４８Ｂと並べられた第２のロータ２６０Ｂを有する。シャフト２５０Ａ－２５０Ｃおよびフレーム１０６の周りに様々なベアリングが設けられることで、各シャフトは互いにおよびフレーム１０６に対して独立して回転可能になる。

【0018】

一態様では、各シャフト２５０Ａ－２５０Ｃには、位置センサ２６４が設けられてもよい。位置センサ２６４は、シャフト２５０Ａ－２５０Ｃの互いに対するおよび／またはフレーム１０６に対する回転位置の信号を制御装置１９９に送るために使用される。光学式または誘導式のセンサなど、任意の適切なセンサが使用され得る。

【0019】

駆動セクション１０８はまた、搬送装置１００のアッパーアームリンク１１０Ｕ、１２０Ｕ、フォアアームリンク１１０Ｆ、１２０Ｆ、およびエンドエフェクタ１１０Ｅ、１２０Ｅをユニットとしてショルダ回転軸ＳＡＸと実質的に略平行な（たとえば沿った）方向に移動させるための１つまたは複数の適切なＺ軸駆動部１９０を含み得る。別の態様では、搬送装置１００の１つまたは複数の回転関節（リスト軸またはエルボ軸など）が、たとえば、各アームの（１つまたは複数の）エンドエフェクタを互いに独立してＺ方向に移動させるためのＺ軸駆動部を含み得る。

【0020】

一態様では、外側シャフト２５０Ｂは、外側シャフト２５０Ｂおよびアッパーアームリンク１１０Ｕが、ショルダ回転軸ＳＡＸを中心にユニットとして回転するように、アッパーアームリンク１１０Ｕに連結される。中央シャフト２５０Ａは、中央シャフト２５０Ａおよびアッパーアームリンク１２０Ｕが、ショルダ回転軸ＳＡＸを中心にユニットとして回転するように、アッパーアームリンク１２０Ｕに連結される。他の態様では、外側シャフト２５０Ｂはアッパーアームリンク１２０Ｕに連結され得、中央シャフト２５０Ａはアッパーアームリンク１１０Ｕに連結され得る。内側シャフト１２０Ｃは、各フォアアームリンク１１０Ｆ、１２０Ｆを共に駆動させるように、フォアアームリンク１１０Ｆ、１２０Ｆの各々に接続される。

【0021】

一態様では、図１、３Ａおよび３Ｂに例示されるように、アッパーアームリンク１１０Ｕ、１２０Ｕ、およびフォアアームリンク１１０Ｆ、１２０Ｆは、略等しい長さを有し得るが、他の態様では、アッパーアームリンク１１０Ｕ、１２０Ｕ、およびフォアアームリンク１１０Ｆ、１２０Ｆは、等しくない長さを有し得る。別の態様では、第１および第２のＳＣＡＲＡアーム１１０、１２０が、図４に例示されるように収縮構成にあるときに、エンドエフェクタ１１０Ｅ、１２０Ｅは、アッパーアームリンク１１０Ｕ、１２０Ｕ、およびフォアアームリンク１１０Ｆ、１２０Ｆが、エンドエフェクタ１１０Ｅ、１２０Ｅの伸長方向４００と反対の方向に掃引されるように、所定の長さを有し得る（たとえば、リスト回転軸ＷＸ１、ＷＸ２、およびエルボ回転軸ＥＸ１、ＥＸ２は、ショルダ回転軸ＳＡＸの後ろに配置される）。図１、３Ａ、３Ｂおよび４に例示された態様では、エンドエフェクタ１１０Ｅ、１２０Ｅは、異なる移送面を画定するショルダ軸ＳＡＸ上に上下に積み重ねられ、その結果、一方のエンドエフェクタ１１０Ｅ、１２０Ｅは、他方のエンドエフェクタ１１０Ｅ、１２０Ｅ上を通過し、各ＳＣＡＲＡアーム１１０、１２０は、ショルダ回転軸ＳＡＸ上を通過し、かつＳＣＡＲＡアーム１１０、１２０の両方に共通している伸長軸Ｒ（図３Ａ、３Ｂおよび４を参照）に沿って独立した伸長および収縮を有する。他の態様では、また図５Ａ－５Ｇを参照すると、エンドエフェクタ１１０Ｅ、１２０Ｅは、同じ平面上に配置され得（たとえば、一方が他方の上を通過しない）、第１および第２のＳＣＡＲＡアーム１１０、１２０の各々の伸長および収縮の軸４００Ｒが互いに対して角度を付けられ、伸長および収縮の軸４００Ｒの間の角度は、ＳＣＡＲＡアーム１１０、１２０が配置されている移送チャンバ５０２０に連結されたプロセスモジュールＰＭ１－ＰＭ４間の角度に対応している。

【0022】

ここで図６Ａを参照して、搬送装置１００はさらに詳細に説明される。上記のように、一態様では、外側駆動シャフト２５０Ｂはアッパーアームリンク１２０Ｕに連結され、中央駆動シャフト２５０Ａはアッパーアームリンク１１０Ｕに連結され、その結果、各アッパーアームリンク１１０Ｕ、１２０Ｕは、それぞれの駆動シャフト２５０Ａ、２５０Ｂの動力の下でショルダ回転軸ＳＡＸを中心に独立して回転し、ショルダ回転軸ＳＡＸは、第１および第２のＳＣＡＲＡアーム１１０、１２０によって共有される。内側駆動シャフト２５０Ｃは、内側駆動シャフト２５０Ｃに連結されている分割駆動プーリ６０６（図９Ａおよび９Ｂの分割駆動プーリ９０６も参照）を介して両方のフォアアームリンク１１０Ｆ、１２０Ｆに接続され、分割駆動プーリ６０６、９０６は、ユニットとして、内側駆動シャフト２５０Ｃの動力の下で駆動セクション１０８のショルダ回転軸ＳＡＸで回転するように回転可能に取り付けられている。一態様では、分割駆動プーリ６０６、９０６は、少なくとも部分的に、アッパーアームリンク１１０Ｕ、１２０Ｕの各々内に配置される。他の態様では、搬送装置１００が２つまたはそれ以上のＳＣＡＲＡアーム（たとえば少なくとも２つ）を含む場合、少なくとも２つのＳＣＡＲＡアームの各アッパーアームリンクを駆動するための駆動軸、および各分割駆動プーリが少なくとも２つのフォアアームの回転を駆動させる場合など、少なくとも２つのＳＣＡＲＡアームのフォアアームリンクに接続された少なくとも１つの分割駆動プーリを駆動させるための追加の駆動軸が存在し得る。一態様では、分割駆動プーリ６０６、９０６は、少なくとも２つのアイドラプーリ６００、６０１に連結され、少なくとも２つのアイドラプーリ６００、６０１の１つは、第１のＳＣＡＲＡアーム１１０に接続されて、第１のＳＣＡＲＡアーム１１０の伸長および収縮をもたらし、少なくとも２つのアイドラプーリ６００、６０１のもう１つは、第２のＳＣＡＲＡアーム１２０に接続されて、第２のＳＣＡＲＡアーム１２０の伸長および収縮をもたらす。

【0023】

一態様では、アッパーアームリンク１１０Ｕ、１２０Ｕの各々は、エルボ回転軸ＥＸ１、ＥＸ２のそれぞれの１つに配置されたアイドラプーリ６００、６０１を含む。各アイドラプーリ６００、６０１は、アッパーアームリンク１１０Ｕ、１２０Ｕとは独立してエルボ回転軸ＥＸ１、ＥＸ２を中心に回転するように、それぞれのエルボ回転軸ＥＸ１、ＥＸ２を中心にそれぞれのアッパーアームリンク１１０Ｕ、１２０Ｕに取り付けられる。たとえば、アッパーアームリンク１１０Ｕ、１２０Ｕ内に、任意の適切なベアリング６２０Ａ、６２０Ｂが設けられ得、アッパーアームリンク１１０Ｕ、１２０Ｕに、アイドラプーリ６００、６０１がエルボ回転軸ＥＸ１、ＥＸ２を中心に回転するように取り付けられる。各アイドラプーリ６００、６０１は、アイドラプーリ６００、６０１が、それぞれのエルボ回転軸ＥＸ１、ＥＸ２を中心にそれぞれのフォアアームリンク１１０Ｆ、１２０Ｆと共にユニットとして回転するように、それぞれのフォアアームリンク１１０Ｆ、１２０Ｆに連結される。

【0024】

図６Ａ、６Ｃ、および６Ｄを参照すると、各エンドエフェクタ１１０Ｅ、１２０Ｅは、各ＳＣＡＲＡアーム１１０、１２０の伸長および収縮の軸に沿ったエンドエフェクタ１１０Ｅ、１２０Ｅの整列を維持するように、それぞれのＳＣＡＲＡアーム１１０、１２０のアッパーアームリンク１１０Ｕ、１２０Ｕに従属している。たとえば、一態様では、エルボ駆動プーリ６０３（図６Ａおよび６Ｅを参照）は、エルボ駆動プーリ６０３がアッパーアームリンク１１０Ｕに対して回転可能に固定されるような任意の適切な方法で、エルボ回転軸ＥＸ１を中心にＳＣＡＲＡアーム１１０のアッパーアームリンク１１０Ｕに取り付けられる。アイドラプーリ６０４（たとえばリスト関節プーリ）は、リスト軸ＷＸ１を中心に回転するための任意の適切な方法でフォアアームリンク１１０Ｆ内に取り付けられる。アイドラプーリ６０４は、アイドラプーリ６０４が、標準／従来の移送アームの標準／従来のリスト関節の連結部および他の構造内に収容されるように、およびそれらとインターフェース接続するように寸法決めされ、形作られるように、内径ＩＤおよび外径ＯＤ（図６Ｆを参照）を有する。たとえば、リスト関節は、所定の寸法を有し、たとえば、スロットバルブの寸法、移送アームによって担持される積載物、移送チャンバの寸法などに基づいて、所定の寸法を有する（１つまたは複数の）シャフトＳＨＴおよびベアリングＢＲＧを含む。これらの移送アームの制約を考慮すると、従来のリストプーリ（図８Ａに示されるものなど）も、所定の寸法（たとえば、内径および外径など）を有する。開示された実施形態の態様によれば、アイドラプーリ６０４は、従来のリストプーリに課せられた同じ制約を考慮して、移送アーム１１０のリスト高さを低くするように、本明細書に記載されるように形作られ、寸法決めされる。本明細書でより詳細に説明するように、エンドエフェクタ１１０Ｅは、ＳＣＡＲＡアーム１１０の伸長および収縮が、リスト軸ＷＸ１を中心としたアイドラプーリ６０４および連結された少なくとも１つのエンドエフェクタ１１０Ｅのユニットとして一緒にフォアアーム１１０Ｆに対する回転をもたらすように、アイドラプーリ６０４に取り付けられる。アイドラプーリ６０４は、（本明細書に記載されるバンドセグメント７０１、７０２、７１１、７１２に略類似した）少なくとも２つの別個のバンド６６０Ａ、６６０Ｂを有するセグメント化トランスミッションループ６６０を用いるなど、任意の適切な方法でエルボ駆動プーリ６０３に連結され、バンド６６０Ａ、６６０Ｂの各々は、フォアアームリンク１１０Ｆがアッパーアームリンク１１０Ｕに対して移動すると、エルボ回転軸ＥＸ１でのフォアアームリンク１１０Ｆに対するエルボ駆動プーリ６０３の相対回転によって、バンド６６０Ａ、６６０Ｂの一方がアイドラプーリ６０４を引っ張る一方で、他方のバンド６６０Ａ、６６０Ｂが、アイドラプーリ６０４を押して、アイドラプーリ６０４の回転をもたらし、伸長および収縮の軸に沿ったエンドエフェクタ１１０Ｅの整列を維持するように、両方向に少なくとも部分的にアイドラプーリ６０４およびエルボ駆動プーリ６０３の周りに巻き付く。エルボ駆動プーリ６０３およびアイドラプーリ６０４は、約１：２の直径比を有し得るが、他の態様では、エルボ駆動プーリ６０３およびアイドラプーリ６０４は、任意の適切な直径比を有してもよい。

【0025】

同様に、エルボ駆動プーリ６０２（図６Ａおよび６Ｄを参照）は、エルボ駆動プーリ６０２が、アッパーアームリンク１２０Ｕに対して回転可能に固定されるように、任意の適切な方法で、エルボ回転軸ＥＸ２を中心にＳＣＡＲＡアーム１２０のアッパーアームリンク１２０Ｕに取り付けられる。アイドラプーリ６０５（たとえばリスト関節プーリ）は、リスト軸ＷＸ２を中心に回転するための任意の適切な方法でフォアアームリンク１２０Ｆ内に取り付けられる。アイドラプーリ６０５は、アイドラプーリ６０４が、アイドラプーリ６０４に関する上記の方法と同じ方法で、標準／従来の移送アームの標準／従来のリスト関節の連結部および他の構造内に収容されるように、およびそれらとインターフェース接続するように寸法決めされ、形作られるように、内径ＩＤおよび外径ＯＤ（図６Ｆを参照）を有する。本明細書でより詳細に説明するように、エンドエフェクタ１２０Ｅは、ＳＣＡＲＡアーム１２０の伸長および収縮が、リスト軸ＷＸ２を中心としたアイドラプーリ６０５および連結された少なくとも１つのエンドエフェクタ１２０Ｅのユニットとして一緒にフォアアーム１２０Ｆに対する回転をもたらすように、アイドラプーリ６０５に取り付けられる。アイドラプーリ６０５は、（本明細書に記載されるバンドセグメント７０１、７０２、７１１、７１２に略類似した）少なくとも２つの別個のバンド６６１Ａ、６６１Ｂを有するセグメント化トランスミッションループ６６１を用いるなど、任意の適切な方法でエルボ駆動プーリ６０２に連結され、バンド６６１Ａ、６６１Ｂの各々は、フォアアームリンク１２０Ｆがアッパーアームリンク１２０Ｕに対して移動すると、エルボ回転軸ＥＸ２でのフォアアームリンク１２０Ｆに対するエルボ駆動プーリ６０２の相対回転によって、バンド６６１Ａ、６６１Ｂの一方がアイドラプーリ６０５を引っ張る一方で、他方のバンド６６１Ａ、６６１Ｂが、アイドラプーリ６０５を押して、アイドラプーリ６０５の回転をもたらし、伸長および収縮の軸に沿ったエンドエフェクタ１２０Ｅの整列を維持するように、両方向に少なくとも部分的にアイドラプーリ６０５およびエルボ駆動プーリ６０２の周りに巻き付く。エルボ駆動プーリ６０２およびアイドラプーリ６０５は、約１：２の直径比を有し得るが、他の態様では、エルボ駆動プーリ６０２およびアイドラプーリ６０５は、任意の適切な直径比を有してもよい。

【0026】

図５Ｈ、６Ａ、６Ｃ、６Ｄ、６Ｅ、６Ｆ、および６Ｇを参照すると、エンドエフェクタ１１０Ｅ、１２０Ｅ、およびアイドラプーリ６０４、６０５は、少なくとも１つのエンドエフェクタ１１０Ｅ、１２０Ｅの高さ６７０が、リスト関節１１０ＷＪ、１２０ＷＪ（図６Ｇ）のスタック高さプロファイル６７１（図６Ｇ）内にあり、それにより、少なくとも１つのエンドエフェクタ１１０Ｅ、１２０Ｅ、およびリスト関節１１０ＷＪ、１２０ＷＪの合計のスタック高さ６７２（図６Ｇ）が、スロットバルブ６８１（図６Ｇ）のパススルー６８０（図６Ｇ）に適合し、それを通過するように寸法決めされるように構成される。リスト関節１１０ＷＪ、１２０ＷＪのスタック高さプロファイル６７１は、それぞれのアイドラプーリ６０４、６０５を含み、ＳＣＡＲＡアームの伸長は、少なくとも１つのエンドエフェクタ１１０Ｅ、１２０Ｅ、およびそれぞれのアイドラプーリ６０４、６０５の少なくとも一部を、スロットバルブ６８１のパススルー６８０を通して伸長させる。たとえば、一態様では、アッパーアーム１１０Ｕ、１２０Ｕ、フォアアーム１１０Ｆ、１２０Ｆ、およびエンドエフェクタ１１０Ｅ、１２０Ｅは、それぞれの長さ１１０ＵＬ、１２０ＵＬ、１１０ＦＬ、１２０ＦＬ、１１０ＥＬ、１２０ＥＬを有し（たとえば、各エンドエフェクタの長さは、リスト軸ＷＸ１、ＷＸ２からエンドエフェクタ１１０Ｅ、１２０Ｅの基板保持位置１１０ＳＨＬ、１２０ＳＨＬまで測定され得る）、（および、したがってそれぞれの移送アーム１１０、１２０は、）処理モジュールＰＭ４（または他の適切な処理モジュール）の深部基板保持ステーション５００（図５Ｈを参照）にアクセスすることができる長い到達距離を提供するように構成されている。アッパーアームリンク１１０Ｕ、１２０Ｕ、およびフォアアームリンク１１０Ｆ、１２０Ｆは、略同じ長さ１１０ＦＬ、１２０ＦＬ、１１０ＵＬ、１２０ＵＬを有して例示されているが、他の態様では、アッパーアームリンク１１０Ｕ、１２０Ｕの長さ１１０ＵＬ、１２０ＵＬ、およびフォアアームリンク１１０Ｆ、１２０Ｆの長さ１１０ＦＬ、１２０ＦＬは、等しくなくてもよい。深部基板保持ステーション５００は、搬送チャンバＰＭ４のスロットバルブ６８１のパススルー（またはポート）６８０の内面５２０からの（すなわち、移送アーム１１０、１２０の伸長および収縮の軸Ｒに沿って配置された）オフセット距離ＤＩＳＴが、リスト関節１１０ＷＪ、１２０ＷＪを保持する（すなわち、リスト軸ＷＸ１、ＷＸ２での）フォアアームリンク１１０Ｆ、１２０Ｆの長さ１１０ＦＬ、１２０ＦＬの少なくとも一部の伸長と一致し、それに適応されるように、処理モジュールＰＭ４内に配置され、リスト軸ＷＸ１、ＷＸ２からのフォアアームリンク１１０Ｆ、１２０Ｆの長さ１１０ＦＬ、１２０ＦＬの一部およびエンドエフェクタ１１０Ｅ、１２０Ｅの長さ１１０ＥＬ、１２０ＥＬは、スロットバルブ６８１の内面５２０を通って伸長する。

【0027】

さらに図６Ａ、６Ｃ、６Ｄ、６Ｅ、６Ｆ、および６Ｇを参照すると、リスト関節１１０ＷＪ、１２０ＷＪは、それぞれの移送アーム１１０、１２０が、上記のようなスロットバルブ６８１（図５Ｈを参照）のパススルー６８０内に適合することを可能にするように構成されている。一態様では、それぞれのセグメント化トランスミッションループ６６０、６６１のバンド６６０Ａ、６６０Ｂ、６６１Ａ、６６１Ｂの高さ６６０Ｈ、６６１Ｈ（図６Ｃを参照）は、それぞれのバンド６６０Ａ、６６０Ｂ、６６１Ａ、６６１Ｂを収容するフォアアーム１１０Ｆ、１２０Ｆの高さ１１０ＨＴ、１２０ＨＴが、少なくとも部分的に、バンド６６０Ａ、６６０Ｂ、６６１Ａ、６６１Ｂの高さ６６０Ｈ、６６１Ｈの関数であるように、（たとえば、移送されるトルクの量、移送アームの運動学的特性などに基づいて）予め決定される。他の態様では、フォアアーム１１０Ｆ、１２０Ｆの高さ１１０ＨＴ、１２０ＨＴは、任意の適切な移送アームの特性の関数であってもよい。

【0028】

たとえば、図４および６Ｆで見ることができるように、エンドエフェクタ１１０Ｅ、１２０Ｅは、それぞれのリスト関節１１０ＷＪ、１２０ＷＪでそれぞれのフォアアーム１１０Ｆ、１２０Ｆとオーバーラップしている。図１および４で見ることができるように、フォアアーム１２０Ｆは、凹状部１２０ＦＲ内のフォアアーム１２０Ｆに対する、移送アーム１２０の伸長および収縮中の、エンドエフェクタ１２０Ｅの移動の自由を提供する凹状部または切り欠き１２０ＦＲを含む。凹状部１２０ＦＲの高さ１２０Ｈは、フォアアーム１２０Ｆの（上側）表面１２０ＦＳが、エンドエフェクタ１２０Ｅのリストプレート１２０ＥＰの（上側）表面１２０ＥＰＳと略同一平面上にあるか、またはその下にあるようなものであり得る。凹状部１２０ＦＲは、任意の適切な基板保持ステーションに対するエンドエフェクタ１２０Ｅの伸長および収縮をもたらすように、リスト軸ＷＸ２を中心にした任意の適切な量の回転をエンドエフェクタ１２０Ｅに提供するように構成され得る。図１および４でも見ることができるように、フォアアーム１１０Ｆは、凹状部１１０ＦＲ内のフォアアーム１１０Ｆに対する、移送アーム１１０の伸長および収縮中の、エンドエフェクタ１１０Ｅの移動の自由を提供する凹状部または切り欠き１１０ＦＲを含む。凹状部１１０ＦＲの高さ１１０Ｈは、フォアアーム１１０Ｆの（上側）表面１１０ＦＳが、エンドエフェクタ１１０Ｅのリストプレート１１０ＥＰの（上側）表面１１０ＥＰＳと略同一平面上にあるか、またはその下にあるようなものであり得る。凹状部１１０ＦＲは、任意の適切な基板保持ステーションに対するエンドエフェクタ１１０Ｅの伸長および収縮をもたらすように、リスト軸ＷＸ１を中心にした任意の適切な量の回転をエンドエフェクタ１１０Ｅに提供するように構成され得る。

【0029】

図６Ｆは、凹状部１１０ＦＲ、１２０ＦＲ内でのエンドエフェクタ１１０Ｅ、１２０Ｅとエンドエフェクタ１１０Ｅ、１２０Ｅを有するフォアアーム１１０Ｆ、１２０Ｆとのオーバーラップの断面を例示する。図６Ｆで見ることができるように、それぞれのフォアアーム１１０Ｆ、１２０Ｆおよびそれぞれのアイドラプーリ６０４、６０５とのエンドエフェクタ１１０Ｅ、１２０Ｅの（下部）インターフェース６１３は、エンドエフェクタ１１０Ｅ、１２０Ｅとそれぞれのフォアアーム１１０Ｆ、１２０Ｆとの間に任意の適切なクリアランスを提供するように構成されている。本態様では、エンドエフェクタ１１０Ｅ、１２０Ｅに最も隣接した、凹状部１１０ＦＲ、１２０ＦＲ内の、フォアアーム１１０Ｆ、１２０Ｆの最上縁部または表面６１２は、アイドラプーリ６０４、６０５の最上レベル縁部６２２が、それぞれの凹状部１１０ＦＲ、１２０ＦＲ内のそれぞれのフォアアーム１１０Ｆ、１２０Ｆの最上縁部または表面６１２の上に突出するように、配置される。他の態様では、アイドラプーリ６０４、６０５の最上レベル縁部６２２は、フォアアーム１１０Ｆ、１２０Ｆの最上縁部または表面６１２と略同一平面上にあり得るか、またはその下にあり得る。

【0030】

さらに図６Ａ、６Ｃ、６Ｄ、６Ｅ、６Ｆ、および６Ｇを参照すると、アイドラプーリ６０５は、少なくとも１つのエンドエフェクタ１２０Ｅに対して着座したエンドエフェクタインターフェース着座面６０５ＥＳを有する。エンドエフェクタインターフェース着座面６０５ＥＳは、フレーム１０６に対するエンドエフェクタレベルを画定する。エンドエフェクタインターフェース着座面６０５ＥＳは、アイドラプーリ６０５に連結された別個のバンドセグメント６６１Ａ、６６１Ｂの少なくとも１つと共通のレベルまたはその下にある。たとえば、図６Ｃおよび６Ｄで見ることができるように、アイドラプーリ６０５は、第１の高さ６９９を有する第１の周囲部６５１（図６Ｆ）および第２の高さ６９８を有する第２の周囲部６５２（図６Ｆ）を有する段付きプーリ周囲縁部６５０を有し、第１の高さ６９９は第２の高さ６９８よりも高い。エンドエフェクタ１２０Ｅは、基板保持位置１２０ＳＨＬの反対側のエンドエフェクタ１２０Ｅのリストプレート１２０ＥＰの端部４３７（図４および６Ｆ）が、第１の周囲部６５１に隣接して配置されるように、アイドラプーリ６０５に連結される。段付きプーリ周囲縁部６５０は、アイドラプーリ６０５の凹状部６３０を形成し、エンドエフェクタのリストプレート１２０ＥＰは、少なくとも１つのエンドエフェクタ１２０Ｅおよびリスト関節１２０ＷＪの合計のスタック高さ６７２（図６Ｇ）が、スロットバルブ６８１（図６Ｇ）のパススルー６８０（図６Ｇ）に適合し、それを通過するよう寸法決めされるように、凹状部６３０内に凹状にされている。

【0031】

各移送アーム１１０、１２０は、アイドラプーリ６０４、６０５の回転をもたらす、それぞれのアイドラプーリ６０４、６０５に連結された別個のバンドセグメント６６０Ａ、６６０Ｂ、６６１Ａ、６６０Ｂ（またはケーブルセグメントなどの任意の他の適切なトランスミッションリンク）のそれぞれのセグメント化トランスミッションループ６６０、６６１を含む。段付きプーリ周囲縁部６５０は、セグメント化トランスミッションループ６６１のそれぞれのバンド６６１Ａ、６６１Ｂとインターフェース接続するバンドラップ表面６３５、６３６を形成する。バンドセグメント６６１Ｂなどの別個のバンドセグメントの少なくとも１つがアイドラプーリ６０５に巻き付き、それにより、少なくとも１つのエンドエフェクタ１２０Ｅに最も近い（たとえば、エンドエフェクタ１２０Ｅの基板保持位置１２０ＳＨＬに最も近い）、および少なくとも１つの別個のバンドセグメント６６１Ｂの巻き付きに対向するプーリ周囲縁部が、その巻き付きのレベルにまたはそれより下に配置されるように、別個のバンドセグメント６６１Ａ、６６１Ｂの各々をアイドラプーリ６０５に接合するバンドアンカーポイント６４３、６４４が配置される。たとえば、第１の周囲部６５０は上側バンドラップ表面６３５を形成し、その周りにバンド６６１Ｂが巻き付けられる。第２の周囲部６５２は下側バンドラップ表面６３６を形成し、その周りにバンド６６１Ａが巻き付けられる。上側および下側のバンドラップ表面６３５、６３６は、バンド６６１Ａ、６６１Ｂが互いに対して異なる面に配置される（すなわち、一方のバンドが他方のバンドに巻き付かない）ように、アイドラプーリ６０５上の異なる高さに配置される。図６Ｆに示されるように、バンドセグメント６６１Ｂなどのバンドセグメントの少なくとも１つは、アイドラプーリ６０５とエンドエフェクタ１２０Ｅとの間の連結の一部を形成するアイドラプーリ６０５の（たとえば、エンドエフェクタインターフェース着座面６０５ＥＳによって画定される）レベル面６１５に対して接触し、着座するエンドエフェクタ１２０Ｅのレベル接触／着座面６１０を横切って、直立して（たとえば、リスト軸ＷＸ２と略平行に）またがる（上側バンドラップ表面の高さに対応する）起立高さを有する。

【0032】

図６Ｆに示されるように、バンドセグメント６６１Ｂなどの少なくとも１つの別個のバンドセグメントは、少なくとも１つのエンドエフェクタ１２０Ｅに隣接するアイドラプーリ６０５のレベル縁部６２２の近くに配置され、アイドラプーリ６０５に対して着座した少なくとも１つのエンドエフェクタ１２０Ｅのレベル着座面６１０から少なくとも１つのエンドエフェクタ１２０Ｅに向かって突出する。本態様では、フォアアーム１２０Ｆおよびアイドラプーリ６０５とのエンドエフェクタ１２０Ｅの（下側）インターフェース６１３は、バンドセグメント６６１Ｂが少なくとも部分的に配置されるクリアランスを提供する任意の適切な凹部６１４を含む。また図６Ｉを参照すると、凹部６１４は、リストプレート１２０ＥＰの側壁６２０に開口部または空間６１９を形成し得、その開口部６１９を通って、バンドセグメント６６１Ｂは、アイドラプーリ６０５とエルボ駆動プーリ６０２との間に伸長する。

【0033】

同様に、アイドラプーリ６０４は、少なくとも１つのエンドエフェクタ１１０Ｅに対して着座したエンドエフェクタインターフェース着座面６０４ＥＳを有する。エンドエフェクタ着座面６０４ＥＳは、フレーム１０６に対するエンドエフェクタレベルを画定する。エンドエフェクタインターフェース着座面６０４ＥＳは、アイドラプーリ６０４に連結された別個のバンドセグメント６６０Ａ、６６０Ｂの少なくとも１つと共通のレベルまたはその下にある。たとえば、図６Ｃおよび６Ｅで見ることができるように、アイドラプーリ６０４は、第１の高さ６９９を有する第１の周囲部６５１（図６Ｆ）および第２の高さ６９８を有する第２の周囲部６５２（図６Ｆ）を有する段付きプーリ周囲縁部６５０を有し、第１の高さ６９９は第２の高さ６９８よりも高い。エンドエフェクタ１１０Ｅは、基板保持位置１１０ＳＨＬの反対側のエンドエフェクタ１１０Ｅのリストプレート１１０ＥＰの端部４３８（図４および６Ｆ）が、第１の周囲部６５１に隣接して配置されるように、アイドラプーリ６０４に連結される。段付きプーリ周囲縁部６５０は、アイドラプーリ６０４の凹状部６３０を形成し、エンドエフェクタリストプレート１１０ＥＰは、少なくとも１つのエンドエフェクタ１１０Ｅおよびリスト関節１１０ＷＪの総スタック高さ６７２（図６Ｇ）がスロットバルブ６８１（図６Ｇ）のパススルー６８０（図６Ｇ）に適合し、それを通過するよう寸法決めされるように、凹状部６３０内に凹状にされている。

【0034】

段付きプーリ周囲縁部６５０は、セグメント化トランスミッションループ６６０のそれぞれのバンド６６０Ａ、６６０Ｂとインターフェース接続するバンドラップ表面６３５、６３６を形成する。バンドセグメント６６０Ｂなどの別個のバンドセグメントの少なくとも１つがアイドラプーリ６０４に巻き付き、それにより、少なくとも１つのエンドエフェクタ１１０Ｅに最も近く（たとえば、エンドエフェクタ１１０Ｅの基板保持位置１１０ＳＨＬに最も近く）、少なくとも１つの別個のバンドセグメント６６０Ｂの巻き付きに対向するプーリ周囲縁部が、その巻き付きのレベルにまたはそれより下に配置されるように、別個のバンドセグメント６６０Ａ、６６０Ｂの各々をアイドラプーリ６０４に接合するバンドアンカーポイント６４３、６４４が配置される。たとえば、第１の周囲部６５０は上側バンドラップ表面６３５を形成し、その周りにバンド６６０Ｂが巻き付けられる。第２の周囲部６５２は下側バンドラップ表面６３６を形成し、その周りにバンド６６０Ａが巻き付けられる。上側および下側のバンドラップ表面６３５、６３６は、バンド６６０Ａ、６６０Ｂが互いに対して異なる面に配置される（すなわち、一方のバンドが他方のバンドに巻き付かない）ように、アイドラプーリ６０４上の異なる高さに配置される。図６Ｆに示されるように、バンドセグメント６６０Ｂなどのバンドセグメントの少なくとも１つは、アイドラプーリ６０４とエンドエフェクタ１１０Ｅとの間の連結の一部を形成するアイドラプーリ６０４の（たとえば、エンドエフェクタインターフェース着座面６０４ＥＳによって画定される）レベル面６１５に対して接触し、着座するエンドエフェクタ１１０Ｅのレベル接触／着座面６１０を横切って、直立して（たとえば、リスト軸ＷＸ１と略平行に）またがる（上側バンドラップ表面の高さに対応する）起立高さを有する。

【0035】

図６Ｆに示されるように、バンドセグメント６６０Ｂなどの少なくとも１つの別個のバンドセグメントは、少なくとも１つのエンドエフェクタ１１０Ｅに隣接するアイドラプーリ６０４のレベル縁部６２２の近くに配置され、アイドラプーリ６０４に対して着座した少なくとも１つのエンドエフェクタ１１０Ｅのレベル着座面６１０から少なくとも１つのエンドエフェクタ１１０Ｅに向かって突出する。本態様では、フォアアーム１１０Ｆおよびアイドラプーリ６０４とのエンドエフェクタ１１０Ｅの（下部）インターフェース６１３は、バンドセグメント６６０Ｂが少なくとも部分的に配置されるクリアランスを提供する任意の適切な凹部６１４を含む。また図６Ｈを参照すると、凹部６１４は、リストプレート１１０ＥＰの側壁６２０に開口部または空間６１９を形成し得、その開口部６１９を通って、バンドセグメント６６０Ｂは、アイドラプーリ６０５とエルボ駆動プーリ６０２との間に伸長する。

【0036】

図６Ｃ－６Ｅおよび６Ｊ－６Ｍを参照すると、それぞれのアイドラプーリ６０４、６０５上の各バンドアンカーポイント６４３、６４４の位置は、バンド係合円弧Ｂ１、Ｂ２、Ｂ１１、Ｂ１２と接点ＴＴ１、ＴＴ２、ＴＴ１１、ＴＴ１２との間の回転挟角θ１、θ２、θ１１、θ１２が約９０度またはそれより小さく、接点ＴＴ１、ＴＴ２、ＴＴ１１、ＴＴ１２で、バンドアンカーポイント６４３、６４４が、それぞれのバンドセグメント６６０Ａ、６６０Ｂ、６６１Ａ、６６１Ｂとそれぞれのアイドラプーリ６０４、６０５との間に接線を形成するように、それぞれのアイドラプーリ６０４、６０５とのバンド係合円弧Ｂ１、Ｂ２、Ｂ１１、Ｂ１２を画定する。

【0037】

一態様では、アイドラプーリ６０４、６０５、およびアイドラプーリ６０４、６０５がセグメント化トランスミッションループ６６０、６６１によって連結されるそれぞれのエルボ駆動プーリ６０３、６０３は、ショルダ軸ＳＡＸから所定の距離に配置された所定の基板保持位置から／へ基板をピッキング／配置するためにＳＣＡＲＡアーム１１０、１２０を伸長および収縮させるのに十分なそれぞれのエンドエフェクタ１１０Ｆ、１２０Ｆの回転を提供する任意の適切な駆動比を有する。たとえば、エルボ駆動プーリ６０２、６０３とそれぞれのアイドラプーリ６０４、６０５との間の比は、各ＳＣＡＲＡアーム１１０、１２０の伸長運動のためのそれぞれのエンドエフェクタ１１０Ｅ、１２０Ｅの回転角θ（図３Ａおよび３Ｂを参照）（すなわち、ＳＣＡＲＡアーム１１０、１２０の完全な伸長および収縮のためのアイドラプーリ６０４、６０５の回転をもたらすための駆動軸の回転）によって、結果として、アイドラプーリ６０４、６０５上に少なくとも１つの円弧（たとえば、円弧Ｂ１、Ｂ２、Ｂ１１、Ｂ１２）をもたらし、それにより、それぞれのアイドラプーリ６０４、６０５の１つの周囲部６５１、６５２上の円弧Ｂ１、Ｂ２、Ｂ１１、Ｂ１２の１つの端部ＥＥ１での１つのバンドセグメント６６０Ａ、６６０Ｂ、６６１Ａ、６６１Ｂのバンドアンカーポイント６４３、６４４が、それぞれのアイドラプーリ６０４、６０５の別の周囲部６５１、６５２上の対向するバンドセグメント６６０Ａ、６６０Ｂ、６６１Ａ、６６１Ｂのバンドアンカーポイント６４３、６４４と一致するだけのような、アイドラプーリ６０４、６０５上のバンドアンカーポイント６４３、６４４の位置となるように構成される。たとえば、図６Ｃに例示されるように、対向するバンドセグメント６６１Ａ、６６１Ｂのためのバンドアンカーポイント６４３、６４４は、実質的に上下に配置され、対向するバンドセグメント６６０Ａ、６６０Ｂのバンドアンカーポイント６４３、６４４も、実質的に上下に配置される。他の態様では、１つのバンドセグメント６６０Ａ、６６０Ｂ、６６１Ａ、６６１Ｂのバンドアンカーポイント６４３、６４４は、それぞれの対向するバンドセグメント６６０Ａ、６６０Ｂ、６６１Ａ、６６１Ｂのバンドアンカーポイント６４３、６４４から任意の適切な分だけ円周方向に分離され得る。

【0038】

図６Ｃでも見ることができるように、バンドセグメント６６０Ａ、６６０Ｂ、６６１Ａ、６６１Ｂをそれぞれのエルボ駆動プーリ６０２、６０３に連結するバンドセグメント６６０Ａ、６６０Ｂ、６６１Ａ、６６１Ｂのバンドアンカーポイント６４５、６４６は、略１８０°離れて配置される。このように、図６Ｃ－６Ｅおよび６Ｊ－６Ｍに示される例では（上記のように、エルボ駆動プーリ６０２、６０２とそれぞれのアイドラプーリ６０４、６０５との間の直径比が約１：２であることに留意すると）、エルボ駆動プーリ６０２、６０３の約±１８０度の回転によって、結果として、それぞれのアイドラプーリ６０４、６０５の約±９０度の回転がもたらされるように、バンドアンカーポイント６４５、６４６はエルボ駆動プーリ６０２、６０３上で離間され、バンドアンカーポイント６４３、６４４はアイドラプーリ６０４、６０５上で離間される（なお、バンドプーリトランスミッションの０°構成が図６Ｃ－６Ｅおよび６Ｊ－６Ｍに例示され、バンドアンカーポイント６４３、６４４がエルボ駆動プーリ６０２、６０３から実質的に直接離れる方向に面している）が、他の態様では、（以下に記載されるように）エルボ駆動プーリ６０２、６０３とアイドラプーリ６０４、６０５との駆動比が約１：２よりも大きい場合、エルボ駆動プーリ６０２、６０３および／またはアイドラプーリ６０４、６０５の円周に沿ったバンドアンカーポイント間の相対位置は、上記のものとは異なり得る。

【0039】

円弧Ｂ１、Ｂ２、Ｂ１１、Ｂ１２の他方の端部ＥＥ２上には、バンド係合円弧Ｂ１、Ｂ２、Ｂ１１、Ｂ１２の端部ＥＥ１と接点ＴＴ１、ＴＴ２、ＴＴ１１、ＴＴ１２との間の回転挟角θ１、θ２、θ１１、θ１２が約９０度またはそれより小さいように、バンドアンカーポイント６４３、６４４が位置づけられている（すなわち、バンドセグメント６６０Ａ、６６０Ｂ、６６１Ａ、６６１Ｂは、それぞれのアイドラプーリ６０４、６０５に接しており、それぞれのアイドラプーリ６０４、６０５の周りのバンドセグメント６６０Ａ、６６０Ｂ、６６１Ａ、６６１Ｂが曲がっていない純な張力状態である）。

【0040】

一態様では、上記のように、エルボ駆動プーリ６０２、６０３およびそれぞれのアイドラプーリ６０４、６０５は、制御装置１９９によってもたらされたエルボ駆動プーリ６０２、６０３の約±１８０度の回転が、（たとえば、バンド係合円弧Ｂ１、Ｂ２、Ｂ１１、Ｂ１２に対応する）それぞれのアイドラプーリ６０４、６０５の約±９０度の回転を引き起こすように、約１：２の比を有し得る。上記のように、他の態様では、エルボ駆動プーリ６０２、６０３とそれぞれのアイドラプーリ６０４、６０５との間の駆動比は、約１：２より大きくてもよい。たとえば、エルボ駆動プーリ６０２、６０３とそれぞれのアイドラプーリ６０４、６０５との間の駆動比は、約１：２．５、約１：３、約１：４、またはＳＣＡＲＡアーム１１０、１２０の完全な伸長および収縮および／または一方のＳＣＡＲＡアーム１１０、１２０の他方のＳＣＡＲＡアーム１１０、１２０に対するショルダ軸ＳＡＸを中心にした回転をもたらすように構成された任意の他の適切な駆動比であり得る（たとえば、３を超える自由度を有する駆動が提供される場合の図５Ａ－５Ｇを参照）。

【0041】

図４、６Ａ、６Ｄ、６Ｅ、６Ｇ、および６Ｊ－６Ｍを参照すると、アイドラプーリ６０４、６０５、およびそれに連結されたそれぞれのエンドエフェクタ１１０Ｅ、１２０Ｅの回転をもたらすために、アイドラプーリ６０４、６０５は、時計回りおよび反時計回りの回転のための異なる構成（たとえば、左手および右手の構成）を有し得る。たとえば、移送アーム１１０は、右利き用アームと見なされ得る（アームが、伸長方向（たとえば、収縮構成から離れるエンドエフェクタの移動）を向いて伸長および収縮の軸の右手側に位置づけられるため）。同様に、移送アーム１２０は、左利き用アームと見なされ得る（アームが、伸長方向を向いて伸長および収縮の軸の左手側に位置づけられるため）。

【0042】

右利き用移送アーム１１０を参照すると、アッパーアームリンク１１０Ｕに対するエンドエフェクタ１１０Ｅの従属構成によって、結果として、移送アーム１１０が、図４に例示される収縮構成からの伸長および収縮の軸Ｒに沿って伸長されると、アイドラプーリ６０４およびそれに連結されたエンドエフェクタ１１０Ｅの反時計回りの回転がもたらされる。アイドラプーリ６０４の反時計回りの回転を提供するために、バンドセグメント６６０Ｂは、エンドエフェクタ１１０の基板保持位置１１０ＳＨＬよりもリスト軸ＷＸ１の反対側のアイドラプーリ６０４の上側レベル（上部）縁部６２２およびアイドラプーリ６０５の凹状部６３０の近くに配置される。バンドセグメント６６０Ａは、（たとえば、（下側）バンドセグメント６６０Ａが配置されるアイドラプーリ６０４の側が、（上部）バンドセグメント６６０Ｂと同じレベルでエンドエフェクタ１１０のための非妨害のインターフェースを形成するように）エンドエフェクタ１１０Ｅおよびエンドエフェクタインターフェース着座面６０４ＥＳの下に配置される。このようにして、バンドセグメント６６０Ａ、６６０Ｂは、エンドエフェクタインターフェース着座面６０４ＥＳに着座したエンドエフェクタ１１０Ｅに干渉することなく、アイドラプーリ６０４に巻き付き、アイドラプーリ６０４から巻き付きを解くことができる。

【0043】

左利き用移送アーム１２０を参照すると、アッパーアームリンク１２０Ｕに対するエンドエフェクタ１２０Ｅの従属構成によって、結果として、移送アーム１２０が、図４に例示される収縮構成からの伸長および収縮の軸Ｒに沿って伸長されると、アイドラプーリ６０５およびそれに連結されたエンドエフェクタ１２０Ｅの時計回りの回転がもたらされる。アイドラプーリ６０５の時計回りの回転を提供するために、バンドセグメント６６１Ｂは、エンドエフェクタ１２０の基板保持位置１２０ＳＨＬよりもリスト軸ＷＸ２の反対側のアイドラプーリ６０５の上側レベル（上部）縁部６２２およびアイドラプーリ６０５の凹状部６３０の近くに配置される。バンドセグメント６６１Ａは、（たとえば、（下側）バンドセグメント６６１Ａが配置されるアイドラプーリ６０５の側が、（上部）バンドセグメント６６１Ｂと同じレベルでエンドエフェクタ１２０のための非妨害のインターフェースを形成するように）エンドエフェクタ１２０Ｅおよびエンドエフェクタインターフェース着座面６０５ＥＳの下に配置される。このようにして、バンドセグメント６６１Ａ、６６１Ｂは、エンドエフェクタインターフェース着座面６０５ＥＳに着座したエンドエフェクタ１２０Ｅに干渉することなく、アイドラプーリ６０５に巻き付き、アイドラプーリ６０５から巻き付きを解くことができる。

【0044】

また図７Ａ－７Ｃおよび９Ａ－９Ｂを参照すると、分割駆動プーリ６０６、９０６は、開示全体が引用により本明細書に組み込まれる、２０１７年６月２７日に出願され、（２０１８年１月１８日に公開された）米国特許出願公開第２０１８／００１９１５５号明細書として公開された米国特許出願第１５／６３４，８７１号明細書に記載されるものに略類似し得る。分割駆動プーリ６０６、９０６は、それぞれのセグメント化トランスミッションループ７００、７１０によってアイドラプーリ６００、６０１に連結される。セグメント化トランスミッションループ７００は別個のバンドセグメント７０１、７０２を含み、一方で、セグメント化トランスミッションループ７１０は別個のバンドセグメント７１１、７１２を含む。各々のセグメント化トランスミッションループ７００、７１０のバンドセグメント７０１、７０２、７１１、７１２は、分割駆動プーリ６０６、９０６からそれぞれのアイドラプーリ６００、６０１へのトルクの方向に対する対向するバンドとして配置され、それぞれのセグメント化トランスミッションループ７１０、７１１は、少なくともアイドラプーリが、同時におよび同じ方向に分割駆動プーリ６０６、９０６（およびしたがって、駆動セクション１０８の対応する自由度）によって駆動されるように、分割駆動プーリ６０６、９０６からそれぞれのアイドラプーリ６００、６０１まで互いに対向する。なお、２つのアイドラプーリ６００、６０１が分割駆動プーリに連結されていると例示されているが、他の態様では、少なくとも２つのアイドラプーリは、駆動セクションの単一の自由度によって提供される原動力が少なくとも２つのアイドラプーリに分割されるように、分割駆動プーリに連結される。ここで、分割駆動プーリ６０６、９０６は、駆動セクション１０８の１つの自由度から少なくとも２つのアイドラプーリ６００、６０１を共通して駆動させるように、少なくとも２つのアイドラプーリ６００、６０１間で駆動セクションの１つの自由度を分割する共通のプーリである。以下でより詳細に説明するように、分割駆動プーリ６０６、９０６は、バンドセグメント７０１、７０２、７１１、７１２が分割駆動プーリ６０６、９０６に取り付けられる複数のバンドインターフェースのレベルまたは面を有する。一態様では、以下で説明するように、それぞれのトランスミッションループ７００、７１０のバンドセグメント７０１、７０２、７１１、７１２の少なくとも１つは、上下に配置されるよりもむしろ共通のバンド高さを有するように、共通のバンドインターフェースレベルを共有する（たとえば、共通の面に配置される）。したがって、分割駆動プーリ６０６、９０６（ショルダプーリまたはハブプーリとも呼ばれる）は、従来のショルダプーリまたはハブプーリと比較してコンパクトな高さを有すると記述され得、それに応じて、デュアルアームＳＣＡＲＡ搬送装置は、結果として、従来のデュアルアームＳＣＡＲＡ搬送装置と比較してコンパクトな高さを有する。

【0045】

図９Ａおよび９Ｂを参照すると、一態様では、分割駆動プーリは、２つのバンドインターフェースレベル９０６Ｌ１、９０６Ｌ２を含み、各バンドインターフェースレベル９０６Ｌ１、９０６Ｌ２は、共通のバンドインターフェースレベルである。たとえば、セグメント化トランスミッションループ７００のバンドセグメント７０１およびセグメント化トランスミッションループ７１０のバンドセグメント７１２は、バンドセグメント７０１、７１２が、分割駆動プーリ６０６に関して以下に説明するのと同様の方法で共通のバンド高さＢＨを共有するように、それぞれのバンドアンカーポイント７７０、７７２でバンドインターフェースレベル９０６Ｌ２において分割駆動プーリ９０６に連結される。セグメント化トランスミッションループ７００のバンドセグメント７０２およびセグメント化トランスミッションループ７１０のバンドセグメント７１１は、バンドセグメント７０２、７１１が、分割駆動プーリ６０６に関して以下に説明するのと同様の方法で共通のバンド高さＢＨを共有するように、それぞれのバンドアンカーポイント７７１、７７３でバンドインターフェースレベル９０６Ｌ１において分割駆動プーリ９０６に連結される。ここで、分割駆動プーリ９０６は一体型の単一部材である。他の態様では、分割駆動プーリは、以下に説明するように、１つを超える部品で構成され得る。

【0046】

図６Ｂおよび７Ａ－７Ｃを参照すると、一態様では、少なくとも２つのＳＣＡＲＡアーム１１０、１２０の１つは、取り外し可能なＳＣＡＲＡアームであり得る。たとえば、第１のＳＣＡＲＡアーム１１０がフレーム１０６からユニットとして取り外し可能であり得る一方で、第２のＳＣＡＲＡアーム１２０はフレーム１０６に取り付けられたままである。本態様では、分割駆動プーリ６０６は、プーリセグメント６０６Ｂをショルダ回転軸ＳＡＸから取り外すように、少なくとも１つのバンドインターフェースレベルを含む取り外し可能なプーリセグメント６０６Ｂを有するセグメント化されたプーリである。プーリセグメント６０６Ａ、６０６Ｂは、プーリセグメント６０６Ｂをプーリセグメント６０６Ａから取り外すことができる一方で、プーリセグメント６０６Ａがショルダの回転軸に固定されたままであり、各々のそれぞれのＳＣＡＲＡアーム１１０、１２０のための各トランスミッションループ７００、７１０のバンドセグメント７０１、７０２、７１１、７１２が、対応するプーリセグメント６０６Ａ、６０６Ｂに固定されたままであるように構成されている。たとえば、プーリセグメント６０６Ｂが、ショルダ回転軸ＳＡＸを中心にアッパーアームリンク１１０Ｕに回転可能に取り付けられ得る一方で、プーリセグメント６０６Ａは、ショルダ回転軸ＳＡＸを中心にアッパーアームリンク１２０Ｕに回転可能に取り付けられ得る。トランスミッションループ７００のバンドセグメント７０１、７０２がプーリセグメント６０６Ｂに連結される一方で、トランスミッションループ７１０のバンドセグメント７１１、７１２はプーリセグメント６０６Ａに連結される。ＳＣＡＲＡアーム１１０が搬送装置１００から取り外されると、ＳＣＡＲＡアーム１１０が、トランスミッションループ７００およびそれに取り付けられたプーリセグメント６０６Ｂとユニットとして取り外され得るように、プーリセグメント６０６Ｂはアッパーアーム１１０Ｕに固定されたままであり、一方でプーリセグメント６０６Ａはアッパーアーム１２０Ｕに固定されたままである。

【0047】

一態様では、プーリセグメント６０６Ａ、６０６Ｂの各々は、少なくとも１つの嵌合特徴部を含み、嵌合特徴部は、他のプーリセグメント６０６Ａ、６０６Ｂの対応する嵌合特徴部と係合し、嵌合特徴部は、プーリセグメント６０６Ａ、６０６Ｂが、ショルダ回転軸ＳＡＸを中心にユニットとして回転する（すなわち、プーリセグメントが、所定の回転方向で互いに同調される）ように、プーリセグメント６０６Ａをプーリセグメント６０６Ｂに回転可能に固定する。たとえば、一態様では、プーリセグメント６０６Ａは、プーリセグメント６０６Ｂの嵌合面７４０と嵌合する嵌合面７３０を含む。プーリセグメント６０６Ａはまた、プーリセグメント６０６Ｂの嵌合面７４１と嵌合する嵌合面７３１を含み得る。嵌合面７３０、７３１、７４０、７４１は、プーリセグメントがショルダ回転軸ＳＡＸを中心にユニットとして回転するように、プーリセグメント６０６Ａ、６０６Ｂを回転可能に固定するためのものとして例示および説明されているが、他の態様では、プーリセグメント６０６Ａ、６０６Ｂは、ピン、クリップ、ショルダボルト、または任意の他の適切な留め具の１つまたは複数を用いるなど、任意の適切な方法で回転可能に固定され得る。図６Ａ－６Ｂから理解され得るように、開示された実施形態の態様におけるＳＣＡＲＡアームのコンパクトな高さは、２つのＳＣＡＲＡアームから１つのＳＣＡＲＡアームに容易に再構成され得、その逆もしかりである。さらに、図６Ａ－６Ｂに例示される例示的なアーム構成は、交換可能であるか、または前述のようにユニットとして交換され得る、少なくとも１つのＳＣＡＲＡアームを有する。

【0048】

図７Ａ－７Ｄで見ることができるように、分割駆動プーリ６０６は、２つのトランスミッションループ７００、７１０の４つのバンドセグメント７０１、７０２、７１１、７１２に適応する３つのバンドインターフェースレベル６０６Ｌ１、６０６Ｌ２、６０６Ｌ３を含む。一態様では、取り外し可能なプーリセグメント６０６Ｂは、バンドインターフェースレベル６０６Ｌ１およびバンドインターフェースレベル６０６Ｌ２のインターフェースレベル部６０６Ｌ２Ｂを含む。プーリセグメント６０６Ａは、バンドインターフェースレベル６０６Ｌ２のインターフェースレベル部６０６Ｌ２Ａおよびインターフェースレベル６０６Ｌ３を含む。本態様では、バンドセグメント７０１がバンドアンカーポイント７７０でプーリセグメント６０６Ｂのインターフェースレベル６０６Ｌ１に連結される一方で、バンドセグメント７０２はバンドアンカーポイント７７１でプーリセグメント６０６Ｂのインターフェースレベル部６０６Ｌ２Ｂに連結される。バンドインターフェースレベル６０６Ｌ２が両方のバンドセグメント７０２およびバンドセグメント７１１に共通であるように、バンドセグメント７１２がバンドアンカーポイント７７２でプーリセグメント６０６Ａのバンドインターフェースレベル６０６Ｌ３に連結される一方で、バンドセグメント７１１はバンドアンカーポイント７７３でプーリセグメント６０６Ａのインターフェースレベル部６０６Ｌ２Ａに連結される。

【0049】

図７Ｅ－７Ｈを参照すると、分割駆動プーリ６０６、６０９上の各バンドアンカーポイント７７０－７７３の位置は、バンド係合円弧Ａ１、Ａ２、Ａ１１、Ａ１２と接点Ｔ１、Ｔ２、Ｔ１１、Ｔ１２との間の回転挟角α１、α２、α１１、α１２が約９０度またはそれより小さく、接点Ｔ１、Ｔ２、Ｔ１１、Ｔ１２で、バンドアンカーポイント７７０、７７１、７７２、７７３が、それぞれのバンドセグメント７０１、７０２、７１１、７１２と分割駆動プーリ６０６との間に接線を形成するように、分割駆動プーリ６０６とのバンド係合円弧Ａ１、Ａ２、Ａ１１、Ａ１２を画定する。

【0050】

図７Ａ－７Ｈを参照すると、一態様では、分割駆動プーリ６０６、６０９、および分割駆動プーリ６０６、６０９がトランスミッションループ７００、７１０によって連結される少なくとも２つのアイドラプーリ６００、６０１は、ショルダ軸ＳＡＸから所定の距離を離されて配置された所定の基板保持位置から／へ基板をピッキング／配置するためにＳＣＡＲＡアーム１１０、１２０を伸長および収縮させるのに十分なそれぞれのフォアアームリンク１１０Ｆ、１２０Ｆの回転を提供する任意の適切な駆動比を有する。たとえば、分割駆動プーリ６０６、６０９とアイドラプーリ６００、６０１の各々との間の比は、各ＳＣＡＲＡアーム１１０、１２０の伸長運動のための回転角β（図３Ａおよび３Ｂを参照）（すなわち、ＳＣＡＲＡアーム１１０、１２０の完全な伸長および収縮のためのアイドラプーリ６００、６０１の回転をもたらすための駆動軸の回転）によって、結果として、少なくとも１つの円弧（たとえば、円弧Ａ１、Ａ２、Ａ１１、Ａ１２）が分割駆動プーリ６０６、６０９上にきて、それにより、円弧Ａ１、Ａ２、Ａ１１、Ａ１２の１つの端部Ｅ１での１つのバンドセグメント７０１、７０２、７１１、７１２のバンドアンカーポイント７７０、７７１、７７２、７７３が、同じまたは異なるバンドインターフェースレベル６０６Ｌ１、６０６Ｌ２、６０６Ｌ３上の対向するバンドセグメント７０１、７０２、７１１、７１２のバンドアンカーポイント７７０、７７１、７７２、７７３と一致するだけのような、分割駆動プーリ６０６、６０９上のバンドアンカーポイント７７０、７７１、７７２、７７３の位置となるように構成される。たとえば、図７Ａ－７Ｃおよび９Ａに例示されるように、対向するバンドセグメント７０１、７０２のためのバンドアンカーポイント７７０、７７１は、実質的に上下に配置され、対向するバンドセグメント７１１、７１２のためのバンドアンカーポイント７７２、７７３は、実質的に上下に配置される。他の態様では、バンドアンカーポイント７７０、７７１、７７２、７７３は、対向するバンドセグメント７０１、７０２、７１１、７１２のバンドアンカーポイント７７０、７７１、７７２、７７３から任意の適切な分だけ円周方向に分離され得る。図７Ａ－７Ｈおよび９Ａ－９Ｂに示される例では、バンドアンカーポイント７７０、７７１は、分割駆動プーリ６０６、９０６の約±９０度の回転によって、結果として、アイドラプーリ６００、６０１の約±１８０度の回転がもたらされるように、バンドアンカーポイント７７２、７７３から約１８０度離れて例示されているが、他の態様では、（以下に説明するように）分割駆動プーリ６０６、９０６とアイドラプーリ６００、６０１との駆動比が約２：１よりも大きい場合、分割駆動プーリの円周に沿ったバンドアンカーポイント間の相対位置は、約１８０度離れている場合とは異なり得る。

【0051】

円弧Ａ１、Ａ２、Ａ１１、Ａ１２のもう一方の端部Ｅ２上には、バンド係合円弧Ａ１、Ａ２、Ａ１１、Ａ１２の端部Ｅ１と接点Ｔ１、Ｔ２、Ｔ１１、Ｔ１２との間の回転挟角α１、α２、α１１、α１２が約９０度またはそれより小さいように、バンドアンカーポイント７７０、７７１、７７２、７７３が位置づけられている（すなわち、バンドセグメント７０１、７０２、７１１、７１２は、分割駆動プーリ６０６に接しており、分割駆動プーリ６０６、６０９の周りのバンドセグメント７０１、７０２、７１１、７１２が曲がっていない純な張力状態である）。

【0052】

一態様では、分割駆動プーリ６０６、６０９およびアイドラプーリ６００、６０１は、制御装置１９９によってもたらされた（たとえば、バンド係合円弧Ａ１、Ａ２、Ａ１１、Ａ１２に対応する）分割駆動プーリ６０６、６０９の約±９０度の回転が、アイドラプーリ６００、６０１の約±１８０度の回転を引き起こすような約２：１の比を有し得る。上記のように、他の態様では、分割駆動プーリ６０６、６０９とアイドラプーリ６００、６０１との間の駆動比は、約２：１より大きくてもよい。たとえば、分割駆動プーリ６０６、６０９とアイドラプーリ６００、６０１との間の駆動比は、約２．５：１、約３：１、約４：１、または、上記のように、ＳＣＡＲＡアーム１１０、１２０の完全な伸長および収縮および／または一方のＳＣＡＲＡアーム１１０、１２０の他方のＳＣＡＲＡアーム１１０、１２０に対するショルダ軸ＳＡＸを中心にした回転をもたらすように構成された任意の他の適切な駆動比であり得る（たとえば図５Ａ－５Ｇを参照）。理解され得るように、分割駆動プーリ６０６、９０６とアイドラプーリ６００、６０１との間の駆動比が約２：１よりも大きい場合、制御装置１９９は、ＳＣＡＲＡアーム１１０、１２０を完全に伸長および収縮させるために、駆動比に応じて、分割駆動プーリ６０６、９０６の任意の適切な量の回転をもたらすように構成される。

【0053】

図１０Ａおよび１０Ｂを参照すると、バンドアンカーポイント７７０－７７３（バンドアンカーポイント７７０のみが例示されているが、バンドアンカーポイント６４３、６４４を含む他のバンドアンカーポイントが、バンドアンカーポイント７７０に関して説明されたものに略類似していることが理解されるべきである）は、それぞれのバンドセグメント７０１、７０２、７１１、７１２を分割駆動プーリ６０６、９０６に連結する。さらに、バンドアンカーポイントは、分割駆動プーリ６０６に関して説明されているが、分割駆動プーリ９０６（およびプーリ６００、６０１、６０２、６０３、６０４、６０５のためのバンドアンカーポイント）が略類似していることが理解されるべきである。たとえば、一態様では、各バンドアンカーポイント７７０－７７３は、ピン１０６２が取り付けられているベース１０８４を含む。各バンドセグメント７０１、７０２、７１１、７１２の端部は、ピン１０６２のスポーク１０８０が突出して通る孔を含む。バンドセグメント７０１、７０２、７１１、７１２をスポーク１０８０に固定するために、保持ばねクリップ１０８２または他の適切な保持器がスポーク１０８０に取り付けられる。スポーク１０８０は、ベース１０８４から突出して、バンドセグメント７０１、７０２、７１１、７１２のための取り付け位置を提供する。他の態様では、スポーク１０８０は、分割駆動プーリ６０６、９０６の円周方向の縁部または側部から直接突出し得る。一態様では、バンドセグメント７０１、７０２、７１１、７１２における孔は、スポーク１０８０よりもわずかに大きく、保持ばねクリップ１０８２は、バンドセグメント７０１、７０２、７１１、７１２が自由にスポーク１０８０を中心に枢動するように、バンドセグメント７０１、７０２、７１１、７１２をしっかりと保持しない。一態様では、ベース１０８４は、ピン１０６２の位置調整を提供し、それによって、バンドセグメント７０１、７０２、７１１、７１２の張力を調整するための調整可能なベースである。たとえば、ねじ１０８６は、分割駆動プーリ６０６、９０６における閾値開口部に入り、分割駆動プーリ６０６、９０６に隣接する締め付けウェッジ１０８８を保持する。締め付けウェッジ１０８８の一方の面は、ベース１０８４の対角面１０９０と係合する。バンドセグメント７０１、７０２、７１１、７１２における張力を増大させるために、ねじ１０８６が締められ、締め付けウェッジ１０８８を矢印Ａの方向に押し下げる。これにより、ウェッジ１０８８を対角面１０９０に押し付け、それによって、ベース１０８４を矢印Ｂの方向に摺動させる。逆に、バンドセグメント７０１、７０２、７１１、７１２における張力を低下させるために、ねじ１０８６は緩められる。他の態様では、バンドセグメント７０１、７０２、７１１、７１２は、任意の適切な方法で、分割駆動プーリ６０６、９０６および搬送アーム１００の他のプーリ６００、６０１、６０２、６０３、６０４、６０５に連結され得る。バンドアンカーポイントの適切な例は、開示全体が引用により本明細書に組み込まれる、１９９８年７月１４日に発行された米国特許第５，７７８，７３０号明細書に見られ得る。

【0054】

再び図２、５Ａ－５Ｇ、７Ａ－７Ｄ、および図１１Ａ－１１Ｃを参照すると、一態様では、駆動セクション１０８は、ＳＣＡＲＡアーム１１０、１２０がショルダ回転軸ＳＡＸを中心に互いに対して回転され得るように、プーリセグメント６０６Ａとプーリセグメント６０６Ｂとの間の相対運動を引き起こすように構成された限定プーリセグメント駆動部１０８Ｌを含む。たとえば、図５Ａ－５Ｇに例示されるＳＣＡＲＡアーム１１０、１２０は、同じ平面に配置されているエンドエフェクタ１１０Ｅ、１２０Ｅを有する（他の態様では、エンドエフェクタは異なる平面に配置され得る）。ここで、各ＳＣＡＲＡアーム１１０、１２０は、基板プロセスモジュールＰＭ１－ＰＭ４にアクセスし、たとえば、ＳＣＡＲＡアーム１１０は、プロセスモジュールＰＭ２－ＰＭ４のいずれか１つにアクセスするように、ＳＣＡＲＡアーム１２０に対して移動可能である一方で、ＳＣＡＲＡアーム１２０の伸長および収縮の軸４００Ｒは、プロセスモジュールＰＭ１と実質的に並べられている。ＳＣＡＲＡアーム１１０をＳＣＡＲＡアーム１２０に対して回転させるために、限定プーリセグメント駆動部１０８Ｌは、プーリセグメント６０６Ａ、６０６Ｂの両方に連結されるように、プーリセグメント６０６Ａ、６０６Ｂ間に配置され得る。他の態様では、限定プーリセグメント駆動部１０８Ｌは、プーリセグメント６０６Ａ、６０６Ｂ間の相対回転をもたらすために、アッパーアーム１１０Ｕ、１２０Ｕ内の任意の位置に配置され得る。限定プーリセグメント駆動部１０８Ｌは、たとえば、ソレノイド、ステッパモータ、リニアアクチュエータ、または回転アクチュエータなどの、プーリセグメント６０６Ａ、６０６Ｂ間の相対運動をもたらすための任意の適切な駆動部であり得る。一態様では、限定プーリセグメント駆動部１０８Ｌのベース１０８ＬＳが、プーリセグメント６０６Ａ（これは駆動シャフト２５０Ｃに連結されている）に取り付けられ得る一方で、限定プーリセグメント駆動部１０８Ｌの可動部１０８ＬＭは、プーリセグメント６０６Ｂに連結され得る。限定プーリセグメント駆動部１０８Ｌは、限定プーリセグメント駆動部１０８Ｌを作動させるための制御信号を受信するように任意の適切な方法で制御装置１９９に連結される。一態様では、プーリセグメント６０６Ａ、６０６Ｂの嵌合面７３０、７３１、７４０、７４１は、任意の適切な距離Ｄだけ互いに円周方向に離間され得、ここで、距離Ｄは、プーリセグメント６０６Ａ、６０６Ｂ間、したがってＳＣＡＲＡアーム１１０、１２０間の相対運動の角度θ２に対応している。プーリセグメント６０６Ａ、６０６Ｂの部分６０６ＡＰ、６０６ＢＰに沿って、バンドセグメント７０１、７０２、７１１、７１２は（バンドインターフェースレベル６０６Ｌ２上などで）インターフェース接続するが、プーリセグメント６０６Ａ、６０６Ｂの部分６０６ＡＰ、６０６ＢＰは、より大きな相対運動角度に適応するために、対応する嵌合面７３０、７３１、７４０、７４１が互いに接触すると、部分６０６ＡＰ、６０６ＢＰがそれらのそれぞれのプーリセグメント６０６Ａ、６０６Ｂに対する方向１１１１に移動するように、収縮可能であり得る。さらに他の態様では、プーリセグメント６０６Ａ、６０６Ｂとアイドラプーリ６００、６０１との間の駆動比はまた、ショルダ回転軸ＳＡＸを中心にしたＳＣＡＲＡアーム１１０、１２０間の相対回転を提供するために増大され得る。

【0055】

図４、５Ｈ、６Ａ、６Ｃ－６Ｅ、６Ｇ、および１２を参照すると、動作中に、２つのリンク移送アーム１１０、１２０は、エンドエフェクタ１１０Ｅ、１２０Ｅの伸長および収縮の軸４００が、プロセスモジュールＰＭ４（図４および５Ｈを参照）などのプロセスモジュールと整列させられる（図１２、ブロック１２００）ように、整列させられ得、移送アーム１１０、１２０のエンドエフェクタ１１０Ｅ、１２０Ｅの両方は、同じまたは共通のプロセスモジュール内に伸長する。他の態様では、各移送アーム１１０、１２０が、（図５Ｂに示されるように）それぞれの伸長および収縮の軸４００Ｒを有するように独立して回転可能である場合、移送アーム１１０のためのエンドエフェクタ１１０Ｅの伸長軸は、たとえば、プロセスモジュールＰＭ２と整列させられ、移送アーム１２０のためのエンドエフェクタ１２０Ｅの伸長および収縮の軸４００Ｒは、たとえば、プロセスモジュールＰＭ１と整列させられる（図１２、ブロック１２００）。一態様では、移送アーム１１０は、エンドエフェクタ１１０ＥがプロセスモジュールＰＭ２－ＰＭ４の１つと整列させられるように、ショルダ軸ＳＡＸを中心に移送アーム１２０に対して回転させられ得、少なくとも限定プーリセグメント駆動部１０８Ｌは、プーリセグメント６０６Ａをプーリセグメント６０６Ｂに対して所定の量だけ回転させるように作動され、それにより、各々のセグメント化トランスミッションループ７００、７１０のバンドアンカーポイント７７０、７７１、７７２、７７２の位置は、（図１１Ａで見ることができるように）ショルダ軸ＳＡＸを中心に互いに対して変化し、移送アーム１１０のエンドエフェクタ１１０Ｅは、プロセスモジュールＰＭ２－ＰＭ４の所定の１つと整列させられる（図１２、ブロック１２１０）。

【0056】

一態様では、駆動シャフト２５０Ａ－２０５Ｃの１つまたは複数は、限定プーリセグメント駆動部１０８Ｌの作動に加えて、ＳＣＡＲＡアーム１１０、１２０の相対回転をもたらし、エンドエフェクタ１１０Ｅ、１２０Ｅの１つまたは複数の所定のプロセスモジュールＰＭ１－ＰＭ４との整列を維持するように回転させられ得る。１つまたは複数の駆動シャフト２５０Ａ－２５０Ｃは、それぞれのエンドエフェクタ１１０Ｅ、１２０Ｅ、およびそれぞれのリスト関節１１０ＷＪ、１２０ＷＪがスロットバルブ６８１のパススルー６８０を通って伸長するように（図５Ｈおよび６Ｇを参照）、移送アーム１１０、１２０の１つの伸長をもたらすよう回転させられ得る（図１２、ブロック１２２０）。一態様では、移送アーム１１０、１２０の１つが伸長されている間に、移送アーム１１０、１２０のもう１つは収縮されたままである。一態様では、移送アーム１１０、１２０の１つがプロセスモジュールから収縮されると、移送アーム１１０、１２０のもう１つは、プロセスモジュールへ／からの基板の高速交換をもたらすように、実質的に同時に伸長し得るか、または少なくとも１つの移送アーム１１０、１２０を実質的に完全に収縮させた後に伸長し得る（図１２、ブロック１２３０）。一態様では、各移送アーム１１０、１２０のリスト関節１１０ＷＪ、１２０ＷＪの少なくとも一部またはリスト関節１１０ＷＪ、１２０ＷＪ全体は、基板の高速交換または高速交換なしの基板移送のための、それぞれのプロセスモジュールの基板保持位置５００での基板のピッキングまたは配置のために、スロットバルブ６８１のパススルーまたは開口部６８０を通って伸長し得る。

【0057】

上記のように、駆動セクション１０６は、移送アーム１１０、１２０の少なくとも１つに動作可能に接続されたＺ軸駆動部１９０を含む。Ｚ軸駆動部１９０は、それぞれのスタック高さプロファイル６７１のそれぞれの合計スタック高さ６７２（図６Ｇ）とパススルー６８０との間の（１つまたは複数の）間隙ＧＡＰ１、ＧＡＰ２（図６Ｇを参照）に基づいて、エンドエフェクタ１１０Ｅ、１２０ＥのＺ高さをスロットバルブ６８１のパススルー６８０を通過するように調整する（図１２、ブロック１２４０）ように、少なくとも１つのエンドエフェクタ１１０Ｅおよび他のエンドエフェクタ１２０Ｅのうちの１つまたは複数のＺ軸移動を生成する。たとえば、アーム１１０のエンドエフェクタ１１０ＥのＺ高さは、エンドエフェクタ１１０Ｅ、およびリスト関節１１０ＷＪの少なくとも一部が、プロセスモジュールへ／から基板を移送させるためにパススルー６８０を通って伸長するように、調整され得る。アーム１１０が実質的に収縮されると、エンドエフェクタ１２０ＥのＺ高さ（図４に例示されるようにエンドエフェクタが上下に配置される場合など）は、エンドエフェクタ１２０Ｅ、およびリスト関節１２０ＷＪの少なくとも一部が、同じまたは異なるプロセスモジュールへ／から基板を移送させるために同じまたは異なるパススルー６８０を通って伸長するように、調整される。

【0058】

一態様では、基板処理装置１００が提供され、基板処理装置１００は、フレームと、少なくとも１つの自由度を有する駆動セクション１０８を含む、フレーム１０６に連結された基板搬送装置と、駆動セクション１０８によって駆動されるＳＣＡＲＡアーム１１０、１２０とが設けられ、ＳＣＡＲＡアーム１１０、１２０は、エンドエフェクタ１１０Ｅ、１２０Ｅを含む２リンクアームであり、エンドエフェクタ１１０Ｅ、１２０Ｅは、リスト関節プーリ６０４、６０５によって２リンクアームのフォアアーム１１０Ｆ、１２０Ｆに枢動可能に連結され、リスト関節プーリ６０４、６０５は、フレーム１０６に対するエンドエフェクタレベルがリスト関節プーリ６０４、６０５によって設定され、ＳＣＡＲＡアームの伸長および収縮が、リスト関節プーリ６０４、６０５に接合された別個のバンドセグメント６６０Ａ、６６０Ｂ、６６１Ａ、６６１Ｂのトランスミッションループ６６０、６６１を介して、フォアアーム１１０Ｆ、１２０Ｆに対する、エンドエフェクタ１１０Ｅ、１２０Ｅの回転をもたらすように構成されている（図１３、ブロック１３００）。基板Ｓ（図４）は、駆動セクション１０８の少なくとも１つの自由度でＳＣＡＲＡアーム１１０、１２０を伸長および収縮させることによって、エンドエフェクタ１１０Ｅ、１２０Ｅと共に搬送される（図１３、ブロック１３１０）。搬送中、バンドセグメント６６０Ｂ、６６１Ｂの１つは、リスト関節プーリ６０４、６０５上に巻き付き、フレーム１０６に対してエンドエフェクタレベルを設定するリスト関節プーリ６０４、６０５の着座面６０４ＥＳ、６０５ＥＳに対して着座したエンドエフェクタ１１０Ｅ、１２０Ｅの接触面６１０の周りおよび上に巻き付く。基板Ｓを搬送する際に、エンドエフェクタ１１０Ｅ、１２０Ｅは、駆動セクション１０８の別の自由度で、Ｚ軸に沿って、フレーム１０６に接続されたスロットバルブ６８１のパススルー６８０によって画定された基板搬送面ＳＴＰ（図６Ｇ）に移動させられ、基板を搬送することは、エンドエフェクタ１１０Ｅ、１２０Ｅ、およびリスト関節プーリ６０４、６０５の少なくとも一部が、スロットバルブ６８１のパススルー６８０を通過するように、エンドエフェクタ１１０Ｅ、１２０Ｅを基板搬送面ＳＴＰに沿って移動させることを含む。

【0059】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、基板処理装置は、
フレームと、
ＳＣＡＲＡアームであって、ＳＣＡＲＡアームが、ＳＣＡＲＡアームのショルダ関節でフレームに枢動可能に取り付けられ、ＳＣＡＲＡアームが、少なくとも１つのエンドエフェクタが従属する２リンクアームであり、２リンクアームが、一端でショルダ関節を含み、決定するアッパーアーム、およびＳＣＡＲＡアームのエルボ関節を画定するようにアッパーアームに枢動可能に接合されたフォアアームを画定し、少なくとも１つのエンドエフェクタの各々が、リスト関節軸を中心にフォアアームに対して回転するように、ＳＣＡＲＡアームのリスト関節でフォアアームに枢動可能に接合される、ＳＣＡＲＡアームと、
ショルダ関節でショルダ軸を中心にＳＣＡＲＡアームを回転させ、ＳＣＡＲＡアームを伸長および収縮で関節運動させるように、トランスミッションを介してＳＣＡＲＡアームに動作可能に連結された少なくとも１つの自由度を有する駆動セクションと、
を備え、
少なくとも１つのエンドエフェクタはリスト関節プーリに連結され、リスト関節プーリは、ＳＣＡＲＡアームの伸長および収縮が、リスト関節プーリおよび連結された少なくとも１つのエンドエフェクタの、フォアアームに対する、リスト関節軸を中心にしたユニットとして一緒の回転をもたらすように構成され、
少なくとも１つのエンドエフェクタの高さは、少なくとも１つのエンドエフェクタおよびリスト関節の合計スタック高さが、スロットバルブのパススルーに適合し、スロットバルブのパススルーを通過するよう寸法決めされるように、リスト関節のスタック高さプロファイル内にある。

【0060】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、リスト関節のスタック高さプロファイルはリスト関節プーリを含み、ＳＣＡＲＡアームの伸長は、少なくとも１つのエンドエフェクタ、およびリスト関節プーリの少なくとも一部を、スロットバルブのパススルーを通して伸長させる。

【0061】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、基板処理装置は、リスト関節プーリの回転をもたらす、リスト関節プーリに連結された別個のバンドセグメントのセグメント化トランスミッションループをさらに備え、バンドセグメントの少なくとも１つは、プーリとエンドエフェクタとの間の連結の一部を形成するリスト関節プーリのレベル面に対して接触して着座するエンドエフェクタのレベル接触面を横切って直立してまたがる高さを有する。

【0062】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、基板処理装置は別のＳＣＡＲＡアームをさらに備え、別のＳＣＡＲＡアームは、ショルダ軸がＳＣＡＲＡアームおよび別のＳＣＡＲＡアームの両方に対する共通のショルダ軸となるように、フレームに取り付けられる。

【0063】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、別のＳＣＡＲＡアームは、別のリスト関節に別のエンドエフェクタを有し、別のエンドエフェクタおよび別のリスト関節は、スロットバルブのパススルーに適合し、スロットバルブのパススルーを通過するように寸法決めされた合計スタック高さを有する別のスタック高さプロファイルを画定する。

【0064】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、ＳＣＡＲＡアームおよび別のＳＣＡＲＡアームは、少なくとも１つのエンドエフェクタおよび別のエンドエフェクタがそれぞれ、互いに積み重ねられた異なる移送面を画定するように、構成されている。

【0065】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、駆動セクションは、ＳＣＡＲＡアームおよび別のＳＣＡＲＡアームの少なくとも１つに動作可能に接続されたＺ軸駆動部を含み、Ｚ軸駆動部は、それぞれのスタック高さプロファイルのそれぞれの合計スタック高さとパススルーとの間の間隙に基づいて、少なくとも１つのエンドエフェクタおよび別のエンドエフェクタの１つまたは複数のＺ軸移動を生成する。

【0066】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、リスト関節プーリは、別個のバンドセグメントのセグメント化トランスミッションループによって駆動セクションに連結され、少なくとも１つの別個のバンドセグメントは、少なくとも１つのエンドエフェクタに隣接したリスト関節プーリのレベル縁部に近接して配置され、リスト関節プーリに対して着座した少なくとも１つのエンドエフェクタのレベル着座面から少なくとも１つのエンドエフェクタに向かって突出する。

【0067】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、別個のバンドセグメントの少なくとも１つがプーリ上に巻き付き、それにより、少なくとも１つのエンドエフェクタに最も近接し、少なくとも１つの別個のバンドセグメントの巻き付きに対向するプーリ周囲縁部が、巻き付きのレベルまたはそれより下に配置されるように、別個のバンドセグメントの各々をリスト関節プーリに接合するバンドアンカーポイントが配置される。

【0068】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、リスト関節プーリは、フレームに対するエンドエフェクタレベルを画定する、少なくとも１つのエンドエフェクタに対して着座したエンドエフェクタインターフェース着座面を有し、エンドエフェクタインターフェース着座面は、リスト関節プーリに連結された別個のバンドセグメントの少なくとも１つと共通するまたはそれより下のレベルにある。

【0069】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、基板処理装置は、
フレームと、
ＳＣＡＲＡアームであって、ＳＣＡＲＡアームが、ＳＣＡＲＡアームのショルダ関節でフレームに枢動可能に取り付けられ、ＳＣＡＲＡアームが、少なくとも１つのエンドエフェクタが従属する２リンクアームであり、２リンクアームが、一端でショルダ関節を含み、決定するアッパーアーム、およびＳＣＡＲＡアームのエルボ関節を画定するようにアッパーアームに枢動可能に連結されたフォアアームを画定し、少なくとも１つのエンドエフェクタの各々が、リスト関節軸を中心にフォアアームに対して回転するように、ＳＣＡＲＡアームのリスト関節でフォアアームに枢動可能に連結される、ＳＣＡＲＡアームと、
ショルダ関節でショルダ軸を中心にＳＣＡＲＡアームを回転させ、ＳＣＡＲＡアームを伸長および収縮で関節運動させるように、トランスミッションを介してＳＣＡＲＡアームに動作可能に連結された少なくとも１つの自由度を有する駆動セクションと、
を備え、
少なくとも１つのエンドエフェクタはリスト関節プーリに連結され、リスト関節プーリは、ＳＣＡＲＡアームの伸長および収縮が、リスト関節プーリおよび連結された少なくとも１つのエンドエフェクタの、フォアアームに対する、リスト関節軸を中心にしたユニットとして一緒の回転をもたらすように構成され、
リスト関節プーリは、別個のバンドセグメントのセグメント化トランスミッションループによって駆動セクションに連結され、リスト関節プーリは、フレームに対するエンドエフェクタレベルを画定する、エンドエフェクタに対して着座したエンドエフェクタインターフェース着座面を有し、エンドエフェクタインターフェースの着座面は、プーリに連結された別個のバンドセグメントの少なくとも１つと共通するまたはそれより下のレベルにある。

【0070】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、少なくとも１つのエンドエフェクタの高さは、少なくとも１つのエンドエフェクタおよびリスト関節の合計スタック高さが、スロットバルブのパススルーに適合し、スロットバルブのパススルーを通過するよう寸法決めされるように、リスト関節のスタック高さプロファイル内にある。

【0071】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、リスト関節のスタック高さプロファイルはリスト関節プーリを含み、ＳＣＡＲＡアームの伸長は、少なくとも１つのエンドエフェクタ、およびリスト関節プーリの少なくとも一部を、パススルーを通して伸長させる。

【0072】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、バンドセグメントの少なくとも１つは、プーリとエンドエフェクタとの間の連結の一部を形成する、リスト関節プーリのインターフェース着座面のレベル面に対して接触して着座するエンドエフェクタのレベル接触面を横切ってまたがる、直立して起立する高さを有する。

【0073】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、別個のバンドセグメントの少なくとも１つがプーリ上に巻き付き、それにより、エンドエフェクタに最も近接し、少なくとも１つの別個のバンドセグメントの巻き付きに対向するプーリ周囲縁部が、巻き付きのレベルまたはそれより下に配置されるように、別個のバンドセグメントの各々をリスト関節プーリに接合するバンドアンカーポイントが配置される。

【0074】

【0075】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、基板処理装置において基板を処理する方法が提供される。当該方法は、
基板処理装置に、フレームと、少なくとも１つの自由度を有する駆動セクションを含む、フレームに連結される基板搬送装置と、駆動セクションによって駆動されるＳＣＡＲＡアームとを設ける工程であって、ＳＣＡＲＡアームが、エンドエフェクタを加えた２リンクアームであり、エンドエフェクタが、リスト関節プーリによって２リンクアームのフォアアームに枢動可能に連結され、リスト関節プーリは、フレームに対するエンドエフェクタレベルがリスト関節プーリによって設定され、ＳＣＡＲＡアームの伸長および収縮が、リスト関節プーリに接合された別個のバンドセグメントのトランスミッションループを介して、フォアアームに対するエンドエフェクタの回転をもたらすように構成されている、工程と、
駆動セクションの少なくとも１つの自由度でＳＣＡＲＡアームを伸長および収縮させることによって、基板をエンドエフェクタで搬送する工程と、
を含み、
搬送中、バンドセグメントの１つが、リスト関節プーリ上に巻き付き、フレームに対してエンドエフェクタレベルを設定するリスト関節プーリの着座面に対して着座したエンドエフェクタの接触面の周りおよび上に巻き付く。

【0076】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、当該方法は、エンドエフェクタを、駆動セクションの別の自由度で、Ｚ軸に沿って、フレームに接続されたスロットバルブのパススルーによって画定された基板搬送面に移動させる工程をさらに含み、基板を搬送する工程は、エンドエフェクタ、およびリスト関節プーリの少なくとも一部が、スロットバルブのパススルーを通過するように、エンドエフェクタを基板搬送面に沿って移動させることを含む。

【0077】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、方法が提供される。当該方法は、
基板処理装置のフレームを提供する工程と、
ＳＣＡＲＡアームを提供する工程であって、ＳＣＡＲＡアームが、ＳＣＡＲＡアームのショルダ関節でフレームに枢動可能に取り付けられ、ＳＣＡＲＡアームが、少なくとも１つのエンドエフェクタが従属する２リンクアームであり、２リンクアームが、一端でショルダ関節を含み、決定するアッパーアーム、およびＳＣＡＲＡアームのエルボ関節を画定するようにアッパーアームに枢動可能に接合されたフォアアームを画定し、少なくとも１つのエンドエフェクタの各々が、リスト関節軸を中心にフォアアームに対して回転するように、ＳＣＡＲＡアームのリスト関節でフォアアームに枢動可能に連結され、リスト関節プーリに連結されている、工程と、
ショルダ関節でショルダ軸を中心にＳＣＡＲＡアームを回転させ、ＳＣＡＲＡアームを伸長および収縮で関節運動させるように、トランスミッションを介してＳＣＡＲＡアームに動作可能に連結された少なくとも１つの自由度を有する駆動セクションを提供する工程と、
ＳＣＡＲＡアームの伸長および収縮の際に、リスト関節プーリおよび連結された少なくとも１つのエンドエフェクタの、フォアアームに対する、リスト関節軸を中心にしたユニットとして一緒の回転をもたらす工程と、
を含み、
少なくとも１つのエンドエフェクタの高さは、少なくとも１つのエンドエフェクタおよびリスト関節の合計スタック高さが、スロットバルブのパススルーに適合し、スロットバルブのパススルーを通過するよう寸法決めされるように、リスト関節のスタック高さプロファイル内にある。

【0078】

【0079】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、当該方法は、リスト関節プーリに連結された別個のバンドセグメントのセグメント化トランスミッションループを用いてリスト関節プーリの回転をもたらす工程であって、バンドセグメントの少なくとも１つが、プーリとエンドエフェクタとの間の連結の一部を形成するリスト関節プーリのレベル面に対して接触して着座するエンドエフェクタのレベル接触面を横切って直立してまたがる高さを有する、工程をさらに含む。

【0080】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、当該方法は、別のＳＣＡＲＡアームを提供する工程であって、別のＳＣＡＲＡアームは、ショルダ軸がＳＣＡＲＡアームおよび別のＳＣＡＲＡアームの両方に対する共通のショルダ軸となるように、フレームに取り付けられる、工程をさらに含む。

【0081】

【0082】

【0083】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、当該方法は、ＳＣＡＲＡアームおよび別のＳＣＡＲＡアームの少なくとも１つに動作可能に接続された駆動セクションのＺ軸駆動部を用いて、それぞれのスタック高さプロファイルのそれぞれの合計スタック高さとパススルーとの間の間隙に基づいて、少なくとも１つのエンドエフェクタおよび別のエンドエフェクタの１つまたは複数のＺ軸移動を生成する工程をさらに含む。

【0084】

【0085】

【0086】

【0087】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、基板処理装置が提供される。基板処理装置は、
フレームと、
フレームに連結された基板搬送装置と、
を含み、基板搬送装置は、
少なくとも１つの自由度を有する駆動セクションと、
駆動セクションによって駆動されるＳＣＡＲＡアームであって、ＳＣＡＲＡアームが、エンドエフェクタを加えた２リンクアームであり、エンドエフェクタが、リスト関節プーリによって２リンクアームのフォアアームに枢動可能に連結され、リスト関節プーリは、フレームに対するエンドエフェクタレベルが、リスト関節プーリによって設定され、ＳＣＡＲＡアームの伸長および収縮が、リスト関節プーリに接合された別個のバンドセグメントのトランスミッションループを介して、フォアアームに対するエンドエフェクタの回転をもたらすように構成されている、ＳＣＡＲＡアームと、
を含み、
エンドエフェクタが、駆動セクションの少なくとも１つの自由度でＳＣＡＲＡアームを伸長および収縮させることによって基板を搬送するように構成され、
搬送中、バンドセグメントの１つが、リスト関節プーリ上に巻き付き、フレームに対してエンドエフェクタレベルを設定するリスト関節プーリの着座面に対して着座したエンドエフェクタの接触面の周りおよび上に巻き付く。

【0088】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、駆動セクションの別の自由度によって、エンドエフェクタを、Ｚ軸に沿って、フレームに接続されたスロットバルブのパススルーによって画定された基板搬送面に移動させ、エンドエフェクタは、エンドエフェクタ、およびリスト関節プーリの少なくとも一部が、スロットバルブのパススルーを通過するように、基板を基板搬送面に沿って搬送する。

【0089】

前述の説明が、開示された実施形態の態様の例示にすぎないことが理解されるべきである。開示された実施形態の態様から逸脱することなく、当業者によって様々な代替および修正が企図され得る。したがって、開示された実施形態の態様は、本明細書に添付された任意の請求項の範囲内にあるすべてのそのような代替、修正、および変形を包含することを意図している。さらに、異なる特徴が相互に異なる従属請求項または独立請求項に記載されているという単なる事実は、これらの特徴の組み合わせが利点を有して使用することができず、そのような組み合わせが本発明の態様の範囲内にとどまることを示すものではない。

【図1】