特許7432707荷電粒子ビームシステムにおいてレベル変動を測定するための自己示差共焦点傾斜センサ

発明の名称　荷電粒子ビームシステムにおいてレベル変動を測定するための自己示差共焦点傾斜センサ

出願人　エーエスエムエル　ネザーランズ　ビー．ブイ．　（識別番号 504151804）

　　　　特許公開件数ランキング 226 位（142件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 339 位（77件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7432707

公報発行日　2024年2月16

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7432707

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