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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2024-02-16
(45)【発行日】2024-02-27
(54)【発明の名称】搬送機構及びシート拡張装置
(51)【国際特許分類】
H01L 21/677 20060101AFI20240219BHJP
H01L 21/301 20060101ALI20240219BHJP
B65G 49/07 20060101ALI20240219BHJP
B23Q 7/04 20060101ALN20240219BHJP
【ＦＩ】
H01L21/68 B
H01L21/78 X
H01L21/78 P
B65G49/07 C
B23Q7/04 K
【請求項の数】
4
(21)【出願番号】P 2020061923
(22)【出願日】2020-03-31
(65)【公開番号】P2021163803
(43)【公開日】2021-10-11
【審査請求日】2023-01-13
(73)【特許権者】
【識別番号】000134051
【氏名又は名称】株式会社ディスコ
(74)【代理人】
【識別番号】100075384
【弁理士】
【氏名又は名称】松本 昂
(74)【代理人】
【識別番号】100172281
【弁理士】
【氏名又は名称】岡本 知広
(74)【代理人】
【識別番号】100206553
【弁理士】
【氏名又は名称】笠原 崇廣
(74)【代理人】
【識別番号】100189773
【弁理士】
【氏名又は名称】岡本 英哲
(74)【代理人】
【識別番号】100184055
【弁理士】
【氏名又は名称】岡野 貴之
(72)【発明者】
【氏名】柿沼 良典
(72)【発明者】
【氏名】木村 公
(72)【発明者】
【氏名】川瀬 雅之
【審査官】杢 哲次
(56)【参考文献】
【文献】実開平２－１１７８８５（ＪＰ，Ｕ）
【文献】特開２０００－１８３１３２（ＪＰ，Ａ）
【文献】実開昭５９－１５１６８９（ＪＰ，Ｕ）
【文献】特開２０１７－１２７９５５（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開平１－１７６５１２（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開平９－２７２１２１（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０００－２１９５２（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開平７－１８６０８０（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００１－３４１０９０（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１８－１９８２４２（ＪＰ，Ａ）
【文献】国際公開第２００５／０４９２８７（ＷＯ，Ａ１）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｈ０１Ｌ ２１／６７７
Ｈ０１Ｌ ２１／３０１
Ｂ６５Ｇ ４９／０７
Ｂ２３Ｑ ７／０４
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
対象物としてのシートを吸引保持して搬送する搬送機構であって、それぞれ吸引パッドを有し、該対象物を該吸引パッドで吸引保持する複数の吸引部と、
揺動可能な継手を介して該複数の吸引部に接続されたブラケットと、
一端部が該複数の吸引部の異なる吸引部にそれぞれ固定され、他端部が該ブラケットにそれぞれ固定された複数の弾性部材と、
複数の蛇腹状吸引パッドと、
該複数の吸引部に接続された所定の流路に配置されたバルブを有し、該複数の吸引部における負圧の発生を制御する負圧制御ユニットと、
該ブラケットを移動させる移動ユニットと、
を備え、
該ブラケットは、一対の直線部と、該一対の直線部の長手方向の中間部分において該一対の直線部を連結する連結部と、該一対の直線部の各々において両端部の下部に固定された水平板と、を含み、
それぞれの該水平板には、１つの吸引部と、２つの蛇腹状吸引パッドと、が直角三角形状に配置されており、該１つの吸引部は直角状部分に位置し、該２つの蛇腹状吸引パッドはそれぞれ鋭角状部分に位置しており、該１つの吸引部は、該一対の直線部の長手方向において該２つの蛇腹状吸引パッドのうち１つの蛇腹状吸引パッドよりも端部側に位置し、且つ、該連結部の長手方向において該２つの蛇腹状吸引パッドのうちもう１つの蛇腹状吸引パッドよりも端部側に位置しており、
該複数の弾性部材は、吸引保持された該対象物の傾き又は変形に応じて該複数の吸引部の揺動を許容し、且つ、該対象物の吸引保持が解除されると、該吸引パッドが該対象物を吸引保持していないときの所定の向きに該吸引パッドの向きを戻すことを特徴とする搬送機構。
【請求項2】
該複数の弾性部材のそれぞれは、ゴムシート、樹脂シート、エラストマーシート又はバネであることを特徴とする請求項１に記載の搬送機構。
【請求項3】
板状物に貼り付けられたシートを拡張するシート拡張装置であって、該板状物に貼り付けられた矩形状の該シートを、所定の平面方向に拡張する拡張ユニットと、
該板状物の一面の大きさよりも大きな直径を有する開口が形成されている環状フレームを吸引するための第１の吸引パッドを有し、該環状フレームが該板状物の周囲を囲む様に、該拡張ユニットで拡張された該シートの一面側に該環状フレームを配置するフレーム配置ユニットと、
切刃を有し、該板状物と該環状フレームとが貼り付けられた該シートのうち該開口の外側を該切刃でカットするためのカットユニットと、
該シートのうち、該切刃でカットされて形成された穴の外周部を吸引保持して、該シートを廃棄箱へ搬送する搬送機構と、を備え、
該搬送機構は、
第２の吸引パッドを有し、該シートを該第２の吸引パッドで吸引保持する吸引部と、
揺動可能な継手を介して該吸引部に接続されたブラケットと、
一端部が該吸引部に固定され、他端部が該ブラケットに固定された弾性部材と、
該吸引部に接続された所定の流路に配置されたバルブを有し、該吸引部における負圧の発生を制御する負圧制御ユニットと、
該ブラケットを移動させる移動ユニットと、を備え、
該弾性部材は、吸引保持された該シートの傾き又は変形に応じて該吸引部の揺動を許容し、且つ、該シートの吸引保持が解除されると、該第２の吸引パッドが該シートを吸引保持していないときの所定の向きに該第２の吸引パッドの向きを戻すことを特徴とするシート拡張装置。
【請求項4】
該搬送機構は、該廃棄箱に先に収容されている該シートの該一面に、該吸引部で吸引保持された該シートを押圧して接着させた後に、該シートの吸引を解除することにより、該廃棄箱に先に収容されている該シート上に、押圧して接着させた該シートを積み重ねることを特徴とする請求項３に記載のシート拡張装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、対象物を吸引保持して搬送する搬送機構、及び、板状物に貼り付けられたシートを拡張するシート拡張装置に関する。
【背景技術】
【0002】
可撓性及び伸縮性を有するシート状の対象物を吸引して搬送する搬送機構が知られている。この搬送機構は、例えば、上面視で略Ｈ字形状を有する金属製のブラケットを備える。ブラケットには、複数の吸引ユニットが設けられている。各吸引ユニットは、吸引パッドを備える吸引部と、吸引部とブラケットとの間に配置された継手と、を有する。
【0003】
搬送機構で対象物を吸引保持すると、対象物が変形したり、傾いたりすることがある。これに対して、継手を揺動可能に（即ち、首振り可能に）構成することにより、対象物に変形、傾き等が生じたとしても吸引パッドの底面の向きを対象物の表面に追従させ、対象物を適切に保持する技術が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【文献】特開２０１４－１９４９９１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
しかし、吸引パッドの底面の向きを対象物の表面に追従させた場合、搬送後に吸引を解除して対象物を吸引パッドから放しても、吸引パッドの底面の向きが搬送時の向きから元に戻らず、次の対象物を吸引保持できないことがある。
【0006】
本発明は係る問題点に鑑みてなされたものであり、吸引を解除した後に吸引パッドの底面の向きが元に戻る搬送機構を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0007】
本発明の一態様によれば、対象物としてのシートを吸引保持して搬送する搬送機構であって、それぞれ吸引パッドを有し、該対象物を該吸引パッドで吸引保持する複数の吸引部と、揺動可能な継手を介して該吸引部に接続されたブラケットと、一端部が該複数の吸引部の異なる吸引部にそれぞれ固定され、他端部が該ブラケットにそれぞれ固定された複数の弾性部材と、複数の蛇腹状吸引パッドと、該複数の吸引部に接続された所定の流路に配置されたバルブを有し、該複数の吸引部における負圧の発生を制御する負圧制御ユニットと、該ブラケットを移動させる移動ユニットと、を備え、該ブラケットは、一対の直線部と、該一対の直線部の長手方向の中間部分において該一対の直線部を連結する連結部と、該一対の直線部の各々において両端部の下部に固定された水平板と、を含み、それぞれの該水平板には、１つの吸引部と、２つの蛇腹状吸引パッドと、が直角三角形状に配置されており、該１つの吸引部は直角状部分に位置し、該２つの蛇腹状吸引パッドはそれぞれ鋭角状部分に位置しており、該１つの吸引部は、該一対の直線部の長手方向において該２つの蛇腹状吸引パッドのうち１つの蛇腹状吸引パッドよりも端部側に位置し、且つ、該連結部の長手方向において該２つの蛇腹状吸引パッドのうちもう１つの蛇腹状吸引パッドよりも端部側に位置しており、該複数の弾性部材は、吸引保持された該対象物の傾き又は変形に応じて該複数の吸引部の揺動を許容し、且つ、該対象物の吸引保持が解除されると、該吸引パッドが該対象物を吸引保持していないときの所定の向きに該吸引パッドの向きを戻す搬送機構が提供される。
【0008】
好ましくは、該複数の弾性部材のそれぞれは、ゴムシート、樹脂シート、エラストマーシート又はバネである。
【0009】
本発明の他の態様によれば、板状物に貼り付けられたシートを拡張するシート拡張装置であって、該板状物に貼り付けられた矩形状の該シートを、所定の平面方向に拡張する拡張ユニットと、該板状物の一面の大きさよりも大きな直径を有する開口が形成されている環状フレームを吸引するための第１の吸引パッドを有し、該環状フレームが該板状物の周囲を囲む様に、該拡張ユニットで拡張された該シートの一面側に該環状フレームを配置するフレーム配置ユニットと、切刃を有し、該板状物と該環状フレームとが貼り付けられた該シートのうち該開口の外側を該切刃でカットするためのカットユニットと、該シートのうち、該切刃でカットされて形成された穴の外周部を吸引保持して、該シートを廃棄箱へ搬送する搬送機構と、を備え、該搬送機構は、第２の吸引パッドを有し、該シートを該第２の吸引パッドで吸引保持する吸引部と、揺動可能な継手を介して該吸引部に接続されたブラケットと、一端部が該吸引部に固定され、他端部が該ブラケットに固定された弾性部材と、該吸引部に接続された所定の流路に配置されたバルブを有し、該吸引部における負圧の発生を制御する負圧制御ユニットと、該ブラケットを移動させる移動ユニットと、を備え、該弾性部材は、吸引保持された該シートの傾き又は変形に応じて該吸引部の揺動を許容し、且つ、該シートの吸引保持が解除されると、該第２の吸引パッドが該シートを吸引保持していないときの所定の向きに該第２の吸引パッドの向きを戻すシート拡張装置が提供される。
【0010】
好ましくは、該搬送機構は、該廃棄箱に先に収容されている該シートの該一面に、該吸引部で吸引保持された該シートを押圧して接着させた後に、該シートの吸引を解除することにより、該廃棄箱に先に収容されている該シート上に、押圧して接着させた該シートを積み重ねる。
【発明の効果】
【0011】
本発明の一態様に係る搬送機構は、一端部が吸引部に固定され他端部がブラケットに固定された弾性部材を備える。弾性部材は、吸引保持された対象物の傾き又は変形に応じて吸引部の揺動を許容する。更に、対象物の吸引保持が解除されると、対象物から吸引部に作用する外力がなくなるので、吸引パッドの底面の向きは、弾性部材の復元力により自然と元の向きに戻される。従って、次に吸引する対象物を吸引する際の動作が阻害されないという利点がある。
【図面の簡単な説明】
【0012】
【図1】シート拡張装置の斜視図である。
【図2】受渡ユニットの斜視図である。
【図3】拡張ユニットの上面図である。
【図6】シート拡張ステップを示す図である。
【図7】フレーム配置ステップ及びカットステップを示す図である。
【図8】デバイスチップユニット分離ステップを示す図である。
【図9】シート吸引ステップを示す図である。
【図10】挟持ユニット退避ステップを示す図である。
【図11】シート廃棄ステップを示す図である。
【図12】シートの処理方法を示すフロー図である。
【図13】変形例に係るシート廃棄ステップを示す図である。
【図14】第２の実施形態に係る搬送機構の一部拡大図である。
【図15】吸引パッド及び蛇腹状吸引パッドの位置関係を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【0013】
添付図面を参照して、本発明の一態様に係る実施形態について説明する。図１は、第１の実施形態に係るシート拡張装置２の斜視図である。シート拡張装置２は、板状の被加工物（板状物）１１に、伸縮性を有するエキスパンドテープであるシート（対象物）１９を貼り付けた後（図２等参照）、当該シート１９を拡張するための装置である。
【0014】
まず、図２を参照して、被加工物１１等について説明する。本実施形態の被加工物１１は、シリコン等の半導体材料で形成された円盤状のウェーハである。被加工物１１の表面１１ａ側には、互いに交差する複数の分割予定ライン１３が設定されている。
【0015】
分割予定ライン１３で区画された各領域には、ＩＣ（Integrated Circuit）、ＬＳＩ（Large Scale Integration）等のデバイス１５が形成されている。なお、表面１１ａ側には、被加工物１１と略同径であり樹脂製の保護部材１７が貼り付けられている。
【0016】
本実施形態の被加工物１１には、複数の改質層が、各分割予定ライン１３に沿って被加工物１１の異なる深さ位置に形成されている。改質層は、レーザー加工装置（不図示）を用いて形成される。
【0017】
例えば、被加工物１１を透過する波長を有するレーザービームの集光点を、被加工物１１の内部の所定の深さに位置付けて、集光点を分割予定ライン１３に沿って移動させることで、１つの改質層が形成される。
【0018】
図２に示す被加工物１１は、各分割予定ライン１３に複数の改質層を形成した後、被加工物１１に外力を印加することで、被加工物１１は改質層を起点として複数のデバイスチップ２５（図６等参照）に分割される前の状態である。なお、被加工物１１は、分割される前の状態に限定されず、研削、切削等を経て、複数のデバイスチップ２５に分割された状態であってもよい。
【0019】
ところで、被加工物１１の材質、形状、構造、大きさ等に特に制限はない。例えば、シリコン以外の他の半導体材料で成る基板を被加工物１１として用いることもできる。また、デバイス１５の種類、数量、形状、構造、大きさ、配置等にも制限はない。
【0020】
【0021】
Ｘ軸方向の一方側の端部に位置する基台４の角部には、被加工物１１にシート１９を供給するためのシート供給ユニット８が配置されている。なお、図１では、シート供給ユニット８を簡略化して直方体で示す。
【0022】
シート供給ユニット８には、離型フィルム付きのシート１９がロール状に巻回されたロール体（不図示）が配置されている。シート１９は、基材層と、基材層の一面側に設けられた粘着層（糊層）とで構成される。
【0023】
基材層は、例えば、ポリオレフィン系樹脂等の樹脂で形成されている。また、粘着層は、例えば、紫外線硬化樹脂等の樹脂で形成されており、粘着層には上述の離型フィルムが貼り付けられている。
【0024】
シート供給ユニット８は、ロール体から離型フィルム付きのシート１９を送り出す送出ローラー（不図示）と、離型フィルム付きのシート１９から離型フィルムを剥がす剥離プレート（不図示）と、を有する。
【0025】
更に、シート供給ユニット８は、剥離された離型フィルムを巻き取る巻取ローラー（不図示）と、離型フィルムが剥離されたシート１９の基材層側を支持する貼付ローラー（不図示）と、を有する。
【0026】
シート供給ユニット８の上方には、被加工物１１を吸引保持した状態で、被加工物１１をシート１９の粘着層側に押し付ける貼付ユニット１０が配置されている。貼付ユニット１０は、長手部が各々Ｙ軸方向に略平行に配置された一対の腕部を含む支持部１２を備える。
【0027】
一対の腕部の端部は、Ｘ軸方向に略平行に配置された連結部により連結されている。また、一対の腕部の間には、高さ方向がＸ軸方向と略平行な円柱状の軸部１４が配置されている。軸部１４の一端部には、モータ等の回転駆動源（不図示）が連結されている。
【0028】
軸部１４の一端部及び他端部の間において、軸部１４には、平板状のベース部１６が固定されている。このベース部１６の一面には、円盤状のチャックテーブル２０が固定されている。
【0029】
チャックテーブル２０は、所定の流路を介してエジェクタ等の吸引源に接続された円盤状の多孔質板を有する。多孔質板の上面２０ａは、チャックテーブル２０の表面に露出しており、吸引源を動作させると上面２０ａ（保持面）には負圧が生じる。
【0030】
支持部１２の連結部において、ベース部１６とは反対側に位置する側面には、支持部１２をＺ軸方向に沿って移動させるためのエアシリンダ１８が配置されている。エアシリンダ１８は、シリンダチューブとピストンロッドとを有し、ピストンロッドの上端部に、上述の支持部１２が固定されている。
【0031】
エアシリンダ１８の下部には、矩形板２２が固定されている。矩形板２２は、チャックテーブル２０の直下に位置しており、チャックテーブル２０の外径よりも大きい直径の貫通開口２２ａを有する。
【0032】
矩形板２２のＸ軸方向の一方側の側面には、シート１９を切断するための切刃を有する切刃部２４と、切刃を加熱するためのヒーター２６とが配置されている。切刃部２４は、矩形板２２に設けられた移動機構（不図示）により、Ｙ軸方向に沿って移動可能である。
【0033】
矩形板２２のＹ軸方向の一方側の端部には、貼付ユニット１０をＸ軸方向に移動させるためのボールネジ式のＸ軸移動機構２８が設けられている。Ｘ軸移動機構２８は、Ｘ軸方向に略平行でありＺ軸方向に重なる様に配置された一対のガイドレール３０を有する。
【0034】
各ガイドレール３０には、Ｘ軸方向に移動可能な態様で移動板３２が取り付けられている。移動板３２の裏面側には、ナット部（不図示）が設けられており、このナット部には、Ｘ軸方向に略平行なボールネジ３４が回転可能な態様で連結されている。ボールネジ３４の一端部には、モータ等の回転駆動源３６が連結されている。
【0035】
ここで、被加工物１１の裏面１１ｂ側にシート１９を貼り付ける手順を簡単に説明する。まず、貼付ユニット１０をシート供給ユニット８の上方に配置する。そして、チャックテーブル２０の上面２０ａを上方に向けた状態で、被加工物１１の表面１１ａ側を上面２０ａで吸引保持する。
【0036】
その後、軸部１４を回転させて上面２０ａを下方に向ける。そして、エアシリンダ１８を動作させて上面２０ａを下方に移動させることにより、被加工物１１の裏面１１ｂ側の全体にシート１９の粘着層を貼り付ける。
【0037】
次に、切刃部２４をＹ軸方向に沿って移動させることによりシート１９を切断した後、貼付ユニット１０をＸ軸方向の他方側に移動させる。これにより、シート１９は略正方形（矩形）に切り取られ、保護部材１７及び被加工物１１と、シート１９とが一体化される（図２参照）。
【0038】
シート１９が貼り付けられた被加工物１１は、貼付ユニット１０の下方に配置された受渡ユニット４０へ受け渡される。図２は、受渡ユニット４０の斜視図である。受渡ユニット４０は、矩形状の移動板４２を有する。
【0039】
移動板４２上には、モータ等の回転駆動源４４が設けられている。回転駆動源４４の出力軸（不図示）は、Ｚ軸方向と略平行に配置されており、この出力軸には、円盤４６の下面の中央部が固定されている。
【0040】
円盤４６の上面の中央部には、エアシリンダ４８が設けられている。エアシリンダ４８は、Ｚ軸方向と略平行に配置された円柱状のシリンダチューブ４８ａを有する。シリンダチューブ４８ａの内部には、ピストンロッド４８ｂの下部が配置されている。
【0041】
ピストンロッド４８ｂの上端部には、チャックテーブル５０の下部が固定されている。チャックテーブル５０の構造は、上述のチャックテーブル２０と略同じである。チャックテーブル５０の上面には、負圧が生じる保持面５０ａが露出している。
【0042】
チャックテーブル５０の側面において、チャックテーブル５０の周方向の異なる四箇所の各々には、シート１９の四隅を挟持するためのクランプ機構５２が設けられている。チャックテーブル５０の周方向においてクランプ機構５２の間には、直方体状の支柱５４が設けられている。
【0043】
支柱５４の下端部は、円盤４６の上面に固定されている。支柱５４の上端部には、２つのローラー部５６が設けられている。各ローラー部５６は、後述する環状フレーム２３をシート１９に貼り付ける際に使用される。
【0044】
各ローラー部５６の下部には、エアシリンダ（不図示）が設けられており、このエアシリンダにより各ローラー部５６の高さは調節される。２つのローラー部５６の間には、円環状の切刃５８ａを有するカットユニット５８が設けられている。
【0045】
カットユニット５８の下部にも、エアシリンダ（不図示）が設けられている。切刃５８ａの上端の高さは、このエアシリンダにより調節される。受渡ユニット４０の移動板４２の下部には、図１に示す様にＸ軸移動機構６０が連結されている。
【0046】
Ｘ軸移動機構６０は、Ｘ軸方向に略平行に配置された一対のガイドレール６２を有する。ガイドレール６２上には、移動板４２がＸ軸方向に移動可能な態様で取り付けられている。移動板４２の裏面側には、ナット部（不図示）が設けられている。
【0047】
ナット部には、Ｘ軸方向に略平行なボールネジ６４が回転可能な態様で連結されている。ボールネジ６４の一端部には、モータ等の回転駆動源（不図示）が連結されている。ところで、受渡ユニット４０よりも上方には、被加工物１１の表面１１ａ側に貼り付けられた保護部材１７を剥離するための剥離機構７０が設けられている。
【0048】
裏面１１ｂ側にシート１９を貼り付けた後、剥離機構７０で表面１１ａ側の保護部材１７が剥離されると、被加工物１１及びシート１９から成る被加工物ユニット２１が形成される（図３等参照）。
【0049】
図１に示す様に、剥離機構７０に対してＸ軸方向の他方側、且つ、受渡ユニット４０の上方には、拡張ユニット７２が設けられている。拡張ユニット７２は、受渡ユニット４０で保持された被加工物ユニット２１のシート１９を、ＸＹ平面方向（所定の平面方向）に沿って拡張する。
【0050】
図３を主として参照しながら、拡張ユニット７２について説明する。図３は、拡張ユニット７２の上面図である。拡張ユニット７２は、シート１９を挟持する第１挟持ユニット７４Ａを有する。第１挟持ユニット７４Ａは、それぞれＹ軸方向に沿う長手部を有する下側挟持部７６ａ（図６参照）と上側挟持部７６ｂとを有する。
【0051】
下側挟持部７６ａの上面側には、複数のローラー７６ａ１（図６参照）がＹ軸方向に沿って配置されている。各ローラー７６ａ１は、Ｘ軸方向と略平行な回転軸を中心として回転可能であり、下側挟持部７６ａの上面から径方向の略半分が上方に突出している。
【0052】
同様に、上側挟持部７６ｂの下面側には、複数のローラー７６ｂ１（図６参照）がＹ軸方向に沿って配置されている。各ローラー７６ｂ１は、Ｘ軸方向と略平行な回転軸を中心として回転可能であり、上側挟持部７６ｂの下面から径方向の略半分が下方に突出している。
【0053】
下側挟持部７６ａの略中央部には、下面視で略Ｌ字形状の下アーム（図３では不図示）の一端部が連結されている。上側挟持部７６ｂの略中央部にも、同様に、下面視で略Ｌ字形状の上アーム７８の一端部が連結されている。
【0054】
下アームの他端部には、下側可動板（図３では不図示）が連結されており、上アーム７８の他端部には、上側可動板８０が連結されている。下側可動板及び上側可動板８０は、Ｚ軸方向と略平行に配置されたガイドレール８２に対して、Ｚ軸方向に移動可能な態様で取り付けられている。
【0055】
下側可動板のうち下アームと反対側（裏面側）には、ナット部が設けられており、上側可動板８０のうち上アーム７８とは反対側（裏面側）にも、ナット部が設けられている（いずれも図３では不図示）。
【0056】
【0057】
同様に、上側可動板８０のナット部には、Ｚ軸方向に略平行なボールネジ（図３では不図示）が回転可能な態様で連結されており、このボールネジの上端部には、モータ等の回転駆動源８４が連結されている。
【0058】
回転駆動源を動作させることにより下アームを上昇させ、回転駆動源８４を動作させることにより上アーム７８を下降させれば、下側挟持部７６ａの複数のローラー７６ａ１と、上側挟持部７６ｂの複数のローラー７６ｂ１とで、シート１９を挟持できる。
【0059】
ガイドレール８２は、直方体状のベース部の一面に固定されており、このベース部の下部には、第１挟持ユニット７４ＡをＸ軸方向に沿って移動させるためのＸ軸移動機構８６が設けられている。
【0060】
Ｘ軸移動機構８６は、ベース部の下部に設けられたナット部（不図示）と、このナット部に回転可能な態様で連結されたＸ軸方向に略平行なボールネジ８８とを有する。ボールネジ８８の一端部には、モータ等の回転駆動源９０が連結されている。
【0061】
また、ボールネジ８８の他端部には、軸受け９２が連結されている。下側挟持部７６ａ及び上側挟持部７６ｂでシート１９を挟持した状態で、第１挟持ユニット７４ＡをＸ軸方向の一方側へ移動させれば、シート１９はＸ軸方向の一方側へ引っ張られる。
【0062】
拡張ユニット７２を上面視した場合に、拡張ユニット７２のＸ軸方向の中心を通りＹ軸方向と平行な直線（第１の線対称軸）に対して、第１挟持ユニット７４Ａの反対側には、第２挟持ユニット７４Ｂが配置されている。
【0063】
第２挟持ユニット７４Ｂの構成は、基本的には第１挟持ユニット７４Ａと同じである。但し、第２挟持ユニット７４Ｂの下アーム及び上アーム７８は、第１の線対称軸に対して、第１挟持ユニット７４Ａの下アーム及び上アーム７８と線対称に配置されている。
【0064】
第２挟持ユニット７４Ｂの下側挟持部７６ａと上側挟持部７６ｂとでシート１９を挟持した状態で、第２挟持ユニット７４Ｂ用のＸ軸移動機構８６を用いて第２挟持ユニット７４ＢをＸ軸方向の他方側へ移動させれば、シート１９はＸ軸方向の他方側へ引っ張られる。
【0065】
第１挟持ユニット７４Ａ及び第２挟持ユニット７４Ｂの間において、上側挟持部７６ｂのＹ軸方向の他方側の端部よりも更に他方側には、第３挟持ユニット７４Ｃが配置されている。第３挟持ユニット７４Ｃは、それぞれＸ軸方向に沿う長手部を有する下側挟持部（図３では不図示）と上側挟持部９４とを有する。
【0066】
下側挟持部の上面側には、複数のローラー（図３では不図示）がＸ軸方向に沿って配置されている。各ローラーは、Ｙ軸方向と略平行な回転軸を中心として回転可能であり、下側挟持部の上面から径方向の略半分が上方に突出している。
【0067】
同様に、上側挟持部９４の下面側には、複数のローラー（不図示）がＸ軸方向に沿って配置されている。各ローラーは、Ｙ軸方向と略平行な回転軸を中心として回転可能であり、上側挟持部９４の下面から径方向の略半分が下方に突出している。
【0068】
下側挟持部の略中央部には、Ｙ軸方向の他方側に延伸する態様で、直線形状の下アーム（不図示）の一端部が連結されており、上側挟持部９４の略中央部にも、Ｙ軸方向の他方側に延伸する態様で、直線形状の上アーム９６の一端部が連結されている。
【0069】
下アームの他端部には、下側可動板（不図示）が連結されており、上アーム９６の他端部には、上側可動板９８が連結されている。下側可動板及び上側可動板９８は、Ｚ軸方向と略平行に配置されたガイドレール１００に対して、Ｚ軸方向に移動可能な態様で取り付けられている。
【0070】
下側可動板のうち下アームとは反対側（裏面側）には、ナット部が設けられており、上側可動板９８のうち上アーム９６とは反対側（裏面側）にも、ナット部が設けられている（いずれも不図示）。
【0071】
下側可動板のナット部には、Ｚ軸方向に略平行なボールネジ（不図示）が回転可能な態様で連結されており、このボールネジの下端部には、モータ等の回転駆動源（不図示）が連結されている。
【0072】
同様に、上側可動板９８のナット部には、Ｚ軸方向に略平行なボールネジ（不図示）が回転可能な態様で連結されており、このボールネジの上端部には、モータ等の回転駆動源１０２が連結されている。
【0073】
下側挟持部用の回転駆動源を動作させることにより下アームを上昇させ、回転駆動源１０２を動作させることにより上アーム９６を下降させれば、下側挟持部の各ローラーと、上側挟持部９４の各ローラーとで、シート１９を挟持できる。
【0074】
ガイドレール１００は、直方体状のベース部の一面に固定されており、このベース部の下部には、第３挟持ユニット７４ＣをＹ軸方向に沿って移動させるためのＹ軸移動機構１０４が設けられている。
【0075】
Ｙ軸移動機構１０４は、ベース部の下部に設けられたナット部（不図示）と、このナット部に回転可能な態様で連結されたＹ軸方向に平行なボールネジ１０６と、を有する。ボールネジ１０６の一端部には、モータ等の回転駆動源１０８が連結されている。
【0076】
ボールネジ１０６の他端部には、軸受けが連結されている。下側挟持部と上側挟持部９４とでシート１９を挟持した状態で、第３挟持ユニット７４ＣをＹ軸方向の他方側へ移動させれば、シート１９はＹ軸方向の他方側へ引っ張られる。
【0077】
第１挟持ユニット７４Ａの下側挟持部７６ａ及び上側挟持部７６ｂに対して、第３挟持ユニット７４Ｃの反対側には、第４挟持ユニット７４Ｄが配置されている。第４挟持ユニット７４Ｄの構成は、第３挟持ユニット７４Ｃと略同じである。
【0078】
但し、下側挟持部には、Ｙ軸方向の一方側に延伸する態様で、直線形状の下アーム（不図示）の一端部が連結されており、上側挟持部９４にも、Ｙ軸方向の一方側に延伸する態様で、直線形状の上アーム９６の一端部が連結されている。
【0079】
第４挟持ユニット７４Ｄの下側挟持部と上側挟持部９４とでシート１９を挟持した状態で、第４挟持ユニット７４ＤをＹ軸方向の一方側へ移動させれば、シート１９はＹ軸方向の一方側へ引っ張られる。
【0080】
再び図１に戻って、シート拡張装置２の他の構成要素について説明する。拡張ユニット７２のＹ軸方向の一方側には、金属製の環状フレーム２３（図７参照）がＺ軸方向に重ねて配置されたフレームストック領域（不図示）が存在する。
【0081】
なお、環状フレーム２３は、リング状の薄板であり、被加工物１１の表面１１ａ又は裏面１１ｂ（即ち、一面）の直径（大きさ）よりも大きな直径を有する貫通開口（開口）２３ａを有する（図７参照）。
【0082】
基台４の上方には、１つの環状フレーム２３を吸引保持した状態で搬送し、拡張ユニット７２で拡張されたシート１９の一面１９ａ（即ち、シート１９の粘着層側の面。図７参照）側に、環状フレーム２３を配置するフレーム配置ユニット１１０が設けられている。
【0083】
フレーム配置ユニット１１０は、上面視で円盤形であり、金属製のベース部１１２を含む。ベース部１１２の下面側には、ベース部１１２の周方向に沿って互いに離れた態様で４つの吸引パッド（第１の吸引パッド）１１２ａが配置されている。
【0084】
本実施形態の吸引パッド１１２ａは、バキューム方式の吸引機構で使用されるパッドであり、吸引パッド１１２ａには、バキュームポンプ、エジェクタ等の吸引源（不図示）に一端が接続された流路（不図示）の他端が接続されている。
【0085】
当該流路には、電磁弁等のバルブ（不図示）が配置されている。バルブを開状態とすれば吸引パッド１１２ａの底面側には負圧が生じる。なお、吸引パッド１１２ａは、バキューム方式に限定されず、ベルヌーイ方式の吸引機構で使用されるパッドであってもよい。
【0086】
ベルヌーイ方式の場合、流路の一端には、吸引源に代えて、エアー等の気体を供給するための気体供給源が設けられる。なお、独立した複数個の吸引パッド１１２ａに代えて、ベース部１１２の下面側に環状の吸引パッドが設けられてもよい。
【0087】
ベース部１１２の上面には、Ｚ軸方向に長手部を有する角柱状の支持柱１１４ａの下端部が接続されている。支持柱１１４ａの上端部には、Ｘ軸方向に沿って延伸する角柱状の接続部１１４ｂの一端部が接続されている。
【0088】
接続部１１４ｂの他端部には、矩形状の移動板１１４ｃの一面（表面）が接続されている。移動板１１４ｃの他面（裏面）側には、Ｚ軸方向移動機構１１６が設けられている。図４（Ａ）は、Ｚ軸方向移動機構１１６等の斜視図である。
【0089】
Ｚ軸方向移動機構１１６は、長手部がＺ軸方向に沿って配置された平板状の移動板１１８を有する。移動板１１８の一面（表面）には、Ｚ軸方向に沿って配置された一対のガイドレール１２０が固定されている。
【0090】
一対のガイドレール１２０上には、上述の移動板１１４ｃがＺ軸方向に沿って移動可能な態様で配置されている。移動板１１４ｃの裏面側には、ナット部（不図示）が設けられており、このナット部には、一対のガイドレール１２０に沿って配置されたボールネジ１２２が回転可能な態様で連結されている。
【0091】
ボールネジ１２２の上端部には、モータ等の回転駆動源１２４が配置されている。移動板１１８、ガイドレール１２０、ボールネジ１２２及び回転駆動源１２４等は、支持柱１１４ａをＺ軸方向に沿って移動させるＺ軸方向移動機構１１６を構成する。
【0092】
移動板１１８の他面（裏面）側には、移動ブロック１２６の一面（表面）側が固定されている。移動ブロック１２６は、Ｙ軸方向に略平行でありＺ軸方向に重なる様に配置された一対のガイドレール１２８に、移動可能な態様で取り付けられている。
【0093】
移動ブロック１２６の他面（裏面）側にはナット部（不図示）が設けられており、このナット部は、一対のガイドレール１２８の間においてＹ軸方向に略平行に配置されたボールネジ１３０に回転可能な態様で連結されている。
【0094】
ボールネジ１３０の一端部には、モータ等の回転駆動源１３２が連結されている。移動ブロック１２６、ガイドレール１２８、ボールネジ１３０及び回転駆動源１３２等は、支持柱１１４ａ等をＹ軸方向に沿って移動させるＹ軸移動機構１３４を構成する。
【0095】
図１に示す様に、支持柱１１４ａの側面には、エアシリンダ１３８が固定されている。エアシリンダ１３８は、長手方向がＺ軸方向に沿って配置されたシリンダチューブ１３８ａを有する。シリンダチューブ１３８ａの内部には、ピストン１３８ｂの上部が配置されている。
【0096】
ピストン１３８ｂの下部には、搬送機構１４０が固定されている。Ｚ軸方向移動機構１１６、Ｙ軸移動機構１３４及びエアシリンダ１３８は、搬送機構１４０をＺ軸方向及びＹ軸方向に沿って移動させるための移動ユニット１３６（図４（Ａ）参照）を構成する。
【0097】
図４（Ｂ）は、シート１９（対象物）を吸引保持して搬送する搬送機構１４０の斜視図である。なお、図４（Ｂ）では、構成要素の一部を、線、機能ブロック等で簡略化して示す。搬送機構１４０は、上面視で略Ｈ字形状を有する金属製のブラケット１４２を含む。
【0098】
ブラケット１４２は、Ｘ軸方向に略平行に配置された一対の直線部１４２ａを含む。一対の直線部１４２ａの長手方向の中間部分は、Ｙ軸方向に略平行に配置された連結部１４２ｂにより連結されている。
【0099】
直線部１４２ａの両端部の下部には、円筒部１４２ｃが形成されている。なお、円筒部１４２ｃは、ブラケット１４２の一部である。円筒部１４２ｃには、流路が形成されており、円筒部１４２ｃの上部には、流路１５０（所定の流路）を構成するホース、チューブ（いずれも不図示）等の一端が接続されている。
【0100】
流路１５０の他端には、バキュームポンプ、エジェクタ等の吸引源１５２が接続されており、また、流路１５０には、後述する制御ユニットにより制御される電磁弁等のバルブ１５４が配置されている。
【0101】
円筒部１４２ｃの底部側の外周側面には、弾性部材１４４の上端部（他端部）１４４ａが固定されている。本実施形態の弾性部材１４４は、弾性材料を用いて円筒状に形成された弾性シートである。
【0102】
弾性材料としては、例えば、天然ゴム、合成ゴム等のゴム、ポリエチレン（ＰＥ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリスチレン（ＰＳ）等のポリオレフィン系樹脂や、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタラート）等のポリエステル系樹脂、又は、エラストマーが用いられる。
【0103】
なお、弾性部材１４４の形状は、円筒状に限定されず、短冊状であってもよい。つまり、弾性部材１４４は、円筒状又は短冊状のゴムシート、樹脂シート、エラストマーシート等であってよい。
【0104】
弾性部材１４４の形状が短冊状の場合、円筒部１４２ｃの周方向において離散的に複数の短冊状のシートが配置される。また、弾性部材１４４は、円筒状又は短冊状のシートではなく、バネであってもよい。
【0105】
弾性部材１４４としてバネを用いる場合、円筒部１４２ｃの周方向において離散的に複数のバネが配置される。各バネとしては、コイルバネ、薄板バネ等の種々のバネを用いてよい。なお、弾性部材１４４は、ＸＹ平面方向において復元力を発揮できるならば、材料及び形状は上述の例に限定されない。
【0106】
弾性部材１４４の下端部（一端部）１４４ｂには、円柱状の吸引部１４６の外周側面が固定されている。図５（Ａ）は、吸引部１４６等の一部断面側面図である。図５（Ａ）では、円筒部１４２ｃと、弾性部材１４４と、吸引部１４６の一部とを断面で示す。
【0107】
図５（Ａ）に示す様に、円筒部１４２ｃの底部には、継手１４８が所定の立体角の範囲で揺動可能な態様で接続されており、継手１４８の下部には、吸引部１４６の上部の中央部が固定されている。
【0108】
吸引部１４６には、流路１４６ａが形成されており、流路１４６ａは、負圧が生じる保持面が下方を向く様に配置された吸引パッド（第２の吸引パッド）１４６ｂに接続されている。なお、図５（Ａ）では、吸引パッド１４６ｂの側面が示されている。
【0109】
吸引パッド１４６ｂ自体はゴム等で形成されているが、吸引パッド１４６ｂの表面は、ポリテトラフルオロエチレン（polytetrafluoroethylene）等の離型剤で覆われている。それゆえ、吸引パッド１４６ｂは、シート１９の粘着層に接した後であっても、容易にシート１９から離れる。
【0110】
流路１４６ａは、継手１４８の流路１４８ａを介して、ブラケット１４２における流路１５０の他端部に接続されている。吸引パッド１４６ｂは、バルブ１５４等で構成される負圧制御ユニット１５６により負圧の発生が制御される。
【0111】
例えば、バルブ１５４を開状態にすると、吸引パッド１４６ｂと吸引源１５２とが連通し、吸引パッド１４６ｂには負圧が発生する。また、バルブ１５４を閉状態にすると、吸引パッド１４６ｂと吸引源１５２とが遮断され、吸引源１５２から吸引パッド１４６ｂへの負圧の伝達が遮断される。
【0112】
本実施形態の吸引パッド１４６ｂは、バキューム方式の吸引機構で使用されるパッドであるが、これに限定されず、ベルヌーイ方式の吸引機構で使用されるパッドであってもよい。ベルヌーイ方式の場合、流路１５０の一端には、吸引源１５２に代えて、エアー等の気体を供給するための気体供給源が設けられる。
【0113】
気体供給源は、例えば、エアーを圧縮するコンプレッサーと、圧縮されたエアーが溜められたタンクと、エアー中の水滴やダストを除去するフィルターと、を有する。バルブ１５４を開状態にすると、気体供給源から吸引パッド１４６ｂへ気体が供給される。
【0114】
吸引パッド１４６ｂが、円形の底面の径方向の外側へ気体を噴射する、又は、底面の下方に旋回流が生じる様に気体を噴射すると、吸引パッド１４６ｂの底面の中央部の近傍では、ベルヌーイの定理に従って圧力が低下して負圧が生じる。
【0115】
次に、継手１４８について更に詳しく説明する。継手１４８は、金属製の球状部１４８ｂを有する。球状部１４８ｂの下部には、円筒部１４８ｃが固定されている。球状部１４８ｂ及び円筒部１４８ｃには、両者を貫通する様に、流路１５０の径よりも小さい径を有する流路１４８ａが形成されている。
【0116】
球状部１４８ｂは、Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸方向に沿う平行移動が規制されているが、流路１４８ａが流路１５０と連通する限りにおいて任意の方向に回転可能な態様で、円筒部１４２ｃの底部で保持されている。
【0117】
この様な球状部１４８ｂの回転を可能にする構造は、例えば、上述の特許文献１に記載されている。球状部１４８ｂの回転に伴い、継手１４８及び吸引部１４６は、一体となって揺動できる（即ち、揺動が許容される）。
【0118】
例えば、Ｚ軸方向と直交する任意の方向で継手１４８を見た場合に、継手１４８は、Ｚ軸方向に対して＋１５度から－１５度までの範囲で揺動可能である。それゆえ、吸引パッド１４６ｂがシート１９を吸引保持している場合に、シート１９の変形、傾き等が生じても、吸引パッド１４６ｂの底面の向きは、シート１９の表面に追従して変化できる。
【0119】
図５（Ｂ）は、吸引パッド１４６ｂの底面の向きが、Ｚ軸方向に平行な所定の向きＡ１から、向きＡ１とは異なる向きＡ２に変化したときの吸引部１４６等の拡大図である。シート１９の吸引保持を解除した場合、シート１９から吸引部１４６に作用する外力が無くなる。
【0120】
それゆえ、弾性部材１４４の復元力により、継手１４８及び吸引部１４６は揺動し、吸引パッド１４６ｂの底面の向きは、シート１９を吸引保持していないときの元の所定の向きＡ１（即ち、図５（Ａ）の状態）に戻る。従って、本実施形態の搬送機構１４０では、次に吸引するシート１９を吸引する際の動作が阻害されないという利点がある。
【0121】
ところで、シート拡張装置２には、各回転駆動源、各吸引源、バルブ１５４等の動作を制御する制御ユニット（不図示）が設けられている。制御ユニットは、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）に代表されるプロセッサ等の処理装置と、ＤＲＡＭ（Dynamic Random Access Memory）、ＳＲＡＭ（Static Random Access Memory）、ＲＯＭ（Read Only Memory）等の主記憶装置と、フラッシュメモリ、ハードディスクドライブ、ソリッドステートドライブ等の補助記憶装置と、を含むコンピュータによって構成されている。
【0122】
補助記憶装置には、所定のプログラムを含むソフトウェアが記憶されている。このソフトウェアに従い処理装置等を動作させることによって、制御ユニットの機能が実現される。次に、主として図６から図１２を用いて、シート拡張装置２の動作を説明する。なお、図１２は、シート拡張装置２を用いたシート１９の処理方法を示すフロー図である。
【0123】
受渡ユニット４０には、シート１９の四隅をクランプ機構５２で挟持した状態で、被加工物ユニット２１が吸引保持されている。まず、この受渡ユニット４０を拡張ユニット７２の下方へ移動させる。
【0124】
そして、エアシリンダ４８で受渡ユニット４０のチャックテーブル５０を上昇させ、第１挟持ユニット７４Ａから第４挟持ユニット７４Ｄと略同じ高さまで被加工物ユニット２１を移動させる。
【0125】
第１挟持ユニット７４Ａから第４挟持ユニット７４Ｄでシート１９の四辺を挟持した後、チャックテーブル５０の吸引を解除し、チャックテーブル５０を下方へ退避させる。次に、第１挟持ユニット７４Ａから第４挟持ユニット７４Ｄが、シート１９をＸＹ平面方向に沿って拡張する。
【0126】
シート１９の拡張に伴い、被加工物１１には外力が印加され、被加工物１１は、改質層を起点として複数のデバイスチップ２５に分割される（シート拡張ステップＳ１０）。図６は、シート拡張ステップＳ１０を示す図である。
【0127】
次に、図７に示す様に、フレーム配置ユニット１１０の吸引パッド１１２ａで環状フレーム２３の一面側を吸引保持して搬送し、拡張されたシート１９の粘着層側に環状フレーム２３を配置する（フレーム配置ステップＳ２０）。
【0128】
環状フレーム２３は、分割後の被加工物１１（即ち、デバイスチップ２５全体）を囲む様に配置される。そして、受渡ユニット４０の２つのローラー部５６を上昇させた後、回転駆動源４４を動作させて、所定方向に支柱５４を回転させる。これにより、環状フレーム２３がシート１９に確実に貼り付けられる。
【0129】
その後、２つのローラー部５６を下降させ、代わりに、カットユニット５８を上昇させて、シート１９のうち、貫通開口２３ａの外側であって環状フレーム２３の直下に位置する領域に切刃５８ａを切り込ませる。そして、所定方向に支柱５４を回転させる。
【0130】
これにより、切刃５８ａの上端の軌跡に沿って、シート１９が円形にカットされる（カットステップＳ３０）。図７は、フレーム配置ステップＳ２０及びカットステップＳ３０を示す図である。なお、図７では、搬送機構１４０を省略している。
【0131】
カットステップＳ３０により、円形のシート１９、環状フレーム２３及び複数のデバイスチップ２５が一体と成ったデバイスチップユニット２７が形成される（図８参照）。また、シート１９には、カットステップＳ３０に伴う穴１９ｂが形成される（図８参照）。
【0132】
次に、Ｚ軸方向移動機構１１６を動作させて、フレーム配置ユニット１１０を上方へ移動させる。これにより、デバイスチップユニット２７をシート１９から分離する（デバイスチップユニット分離ステップＳ４０）。
【0133】
図８は、デバイスチップユニット分離ステップＳ４０を示す図である。なお、図８でも、搬送機構１４０を省略している。デバイスチップユニット分離ステップＳ４０の後、Ｚ軸方向移動機構１１６で支持柱１１４ａを下降させると供に、ピストン１３８ｂを下方に伸ばして、搬送機構１４０を拡張された状態のシート１９へ向けて下降させる。
【0134】
そして、搬送機構１４０の吸引部１４６で、第１挟持ユニット７４Ａ及び第２挟持ユニット７４ＢのＹ軸方向の端部よりも外側に位置するシート１９の外周部１９ｃを吸引保持する（シート吸引ステップＳ５０）。図９は、シート吸引ステップＳ５０を示す図である。なお、図９では、フレーム配置ユニット１１０を省略している。
【0135】
吸引部１４６でシート１９を保持した後、各挟持ユニットの上側挟持部と下側挟持部とをＺ軸方向で離すことにより、各挟持ユニットでのシート１９の挟持を解除する。その後、第１挟持ユニット７４ＡをＸ軸方向の一方側へ移動させ、第２挟持ユニット７４ＢをＸ軸方向の他方側へ移動させる。
【0136】
また、第３挟持ユニット７４ＣをＹ軸方向の他方側へ移動させ、第４挟持ユニット７４ＤをＹ軸方向の一方側へ移動させる。この様にして、シート１９から各挟持ユニットを退避する（挟持ユニット退避ステップＳ６０）。
【0137】
図１０は、挟持ユニット退避ステップＳ６０を示す図である。なお、図１０でも、フレーム配置ユニット１１０を省略している。また、図６から図１０では、第３挟持ユニット７４Ｃ及び第４挟持ユニット７４Ｄを省略している。
【0138】
挟持ユニット退避ステップＳ６０では、外力が解除されたことにより、拡張されていたシート１９が収縮する。それゆえ、シート１９に変形等が生じる。しかし、上述の様に、吸引部１４６及び継手１４８は一体として揺動可能であるので、吸引パッド１４６ｂの底面の向きは、シート１９の表面に追従して変化できる。
【0139】
挟持ユニット退避ステップＳ６０の後、拡張ユニット７２のＹ軸方向の一方側に配置されたシート廃棄領域（不図示）上に搬送機構１４０を移動させる。シート廃棄領域には、使用済のシート１９が配置される廃棄箱１５８が設けられている。
【0140】
廃棄箱１５８は、ブラケット１４２を上面視した場合のブラケット１４２のＸＹ平面方向の大きさよりも大きな矩形状の開口を、上部に有する。廃棄箱１５８は、４つの側板と、１つの底板とから成る直方体状の箱体である。
【0141】
搬送機構１４０は、廃棄箱１５８上において使用済のシート１９の吸引保持を解除し、シート１９を下方へ落下させる（シート廃棄ステップＳ７０）。これにより、使用済のシート１９を廃棄箱１５８へ搬送する。図１１は、シート廃棄ステップＳ７０を示す図である。なお、図１１でも、フレーム配置ユニット１１０を省略している。
【0142】
本実施形態では、シート廃棄ステップＳ７０後、弾性部材１４４の復元力により継手１４８が揺動され、吸引パッド１４６ｂの底面の向きが元の所定の向きに戻される。それゆえ、搬送機構１４０を用いて次にシート１９を吸引する際の動作が阻害されないという利点がある。
【0143】
Ｓ７０の後、フレーム配置ユニット１１０は、不図示の搬送テーブルの上方へ移動し、搬送テーブルにデバイスチップユニット２７を受け渡す。その後、デバイスチップユニット２７は、搬送テーブルにより、シート拡張装置２における所定の領域へ搬送される。
【0144】
【0145】
当該変形例において、搬送機構１４０は、吸引部１４６でシート１９を吸引保持した状態で、ブラケット１４２を廃棄箱１５８の内部へ搬送する。そして、シート１９の他面（粘着層とは反対側に位置する基材層の表面）が廃棄箱１５８の底板の上面に接するまでブラケット１４２を下降させた後、シート１９の吸引を解除する。
【0146】
次に、ブラケット１４２を上昇させる。この様にして、１枚目のシート１９は、廃棄箱１５８の底板に載置される。また、２回目のＳ１０からＳ６０の後、２回目のシート廃棄ステップＳ７０でも、同様に、搬送機構１４０は、シート１９を吸引保持した状態で、ブラケット１４２を廃棄箱１５８の内部へ搬送する。
【0147】
これにより、廃棄箱１５８に先に収容されている１枚目のシート１９の一面１９ａに、２枚目のシート１９が押圧されて接着される。その後、シート１９の吸引を解除する。この様にして、先に廃棄箱１５８に収容されているシート１９上のＸＹ平面方向の略同じ位置に、２枚目以降のシート１９が配置される。
【0148】
従って、使用済のシート１９が、Ｚ軸方向に比較的整然と積み重ねられるので、複数枚のシート１９がランダムに積み重ねられる場合に比べて、使用済の複数枚のシート１９により形成される積層体の高さを抑えることができる。それゆえ、当該積層体の搬送、処分等が容易になる。
【0149】
次に、第２実施形態について説明する。図１４は、第２の実施形態に係る搬送機構１４０の一部拡大図である。第２実施形態の搬送機構１４０では、ブラケット１４２の直線部１４２ａの両端部の下部に、２つの板状の柱１４２ｄの上部が固定されている。
【0150】
各柱１４２ｄは、長手部がＺ軸方向と各々略平行に配置されている。各柱１４２ｄの下部には、上面視で直角三角形状の水平板１４２ｅが固定されている。水平板１４２ｅの直角状部分と、２つの鋭角状部分の各々とには、上述の円筒部１４２ｃが固定されている。
【0151】
各円筒部１４２ｃの上部には、流路１５０を構成するホース、チューブ等が接続されるが、図１４では、ホース等を省略している。水平板１４２ｅの直角状部分に配置された円筒部１４２ｃの下部には、上述の弾性部材１４４の上端部１４４ａが固定されている。
【0152】
更に、弾性部材１４４の下端部１４４ｂには、吸引部１４６の外周側面の上部が固定されている。なお、吸引部１４６の上部の中央部は、第１の実施形態と同様に、継手１４８の下部に固定されている。
【0153】
水平板１４２ｅの２つの鋭角状部分の各々に配置された円筒部１４２ｃには、蛇腹状吸引パッド１６０が固定されている。蛇腹状吸引パッド１６０の表面も、吸引部１４６の吸引パッド１４６ｂと同様に、離型剤で覆われている。
【0154】
蛇腹状吸引パッド１６０と、吸引部１４６の吸引パッド１４６ｂとは、シート１９の一面１９ａを吸引保持する。図１５は、各水平板１４２ｅにおける、吸引パッド１４６ｂ及び蛇腹状吸引パッド１６０の位置関係を示す図である。
【0155】
第２の実施形態では、吸引パッド１４６ｂ及び蛇腹状吸引パッド１６０でシート１９を吸引保持する。それゆえ、シート１９に変形等が生じ、シート１９が吸引パッド１４６ｂ及び蛇腹状吸引パッド１６０のいずれかから離れたとしても、シート１９を吸引保持できる。
【0156】
つまり、第１の実施形態に比べて、より確実にシート１９を吸引保持できる。その他、上記実施形態に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。
【符号の説明】
【0157】
２：シート拡張装置
４：基台
８：シート供給ユニット
１０：貼付ユニット
１２：支持部
１４：軸部
１６：ベース部
１８：エアシリンダ
２０：チャックテーブル、２０ａ：上面
２２：矩形板、２２ａ：貫通開口
２４：切刃部
２６：ヒーター
２８：Ｘ軸移動機構
３０：ガイドレール、３２：移動板、３４：ボールネジ、３６：回転駆動源
４０：受渡ユニット
４２：移動板
４４：回転駆動源
４６：円盤
４８：エアシリンダ、４８ａ：シリンダチューブ、４８ｂ：ピストンロッド
５０：チャックテーブル、５０ａ：保持面
５２：クランプ機構
５４：支柱
５６：ローラー部
５８：カットユニット、５８ａ：切刃
６０：Ｘ軸移動機構
６２：ガイドレール、６４：ボールネジ
７０：剥離機構
７２：拡張ユニット
７４Ａ：第１挟持ユニット、７４Ｂ：第２挟持ユニット
７４Ｃ：第３挟持ユニット、７４Ｄ：第４挟持ユニット
７６ａ：下側挟持部、７６ａ１：ローラー
７６ｂ：上側挟持部、７６ｂ１：ローラー
７８：上アーム、８０：上側可動板
８２：ガイドレール、８４：回転駆動源
８６：Ｘ軸移動機構
８８：ボールネジ、９０：回転駆動源、９２：軸受け
９４：上側挟持部、９６：上アーム、９８：上側可動板
１００：ガイドレール、１０２：回転駆動源
１０４：Ｙ軸移動機構
１０６：ボールネジ、１０８：回転駆動源
１１０：フレーム配置ユニット
１１２：ベース部、１１２ａ：吸引パッド
１１４ａ：支持柱、１１４ｂ：接続部、１１４ｃ：移動板
１１６：Ｚ軸方向移動機構
１１８：移動板、１２０：ガイドレール、１２２：ボールネジ、１２４：回転駆動源
１２６：移動ブロック、１２８：ガイドレール
１３０：ボールネジ、１３２：回転駆動源
１３４：Ｙ軸移動機構、
１３６：移動ユニット
１３８：エアシリンダ、１３８ａ：シリンダチューブ、１３８ｂ：ピストン
１４０：搬送機構
１４２：ブラケット、１４２ａ：直線部、１４２ｂ：連結部、１４２ｃ：円筒部
１４２ｄ：柱、１４２ｅ：水平板
１４４：弾性部材、１４４ａ：上端部、１４４ｂ：下端部
１４６：吸引部、１４６ａ：流路、１４６ｂ：吸引パッド
１４８：継手、１４８ａ：流路、１４８ｂ：球状部、１４８ｃ：円筒部
１５０：流路、１５２：吸引源、１５４：バルブ、１５６：負圧制御ユニット
１５８：廃棄箱
１６０：蛇腹状吸引パッド
１１：被加工物、１１ａ：表面、１１ｂ：裏面、１３：分割予定ライン、１５：デバイス
１７：保護部材、１９：シート、１９ａ：一面、１９ｂ：穴、１９ｃ：外周部
２１：被加工物ユニット、２３：環状フレーム、２３ａ：貫通開口
２５：デバイスチップ、２７：デバイスチップユニット
Ａ１，Ａ２：向き
４：基台
８：シート供給ユニット
１０：貼付ユニット
１２：支持部
１４：軸部
１６：ベース部
１８：エアシリンダ
２０：チャックテーブル、２０ａ：上面
２２：矩形板、２２ａ：貫通開口
２４：切刃部
２６：ヒーター
２８：Ｘ軸移動機構
３０：ガイドレール、３２：移動板、３４：ボールネジ、３６：回転駆動源
４０：受渡ユニット
４２：移動板
４４：回転駆動源
４６：円盤
４８：エアシリンダ、４８ａ：シリンダチューブ、４８ｂ：ピストンロッド
５０：チャックテーブル、５０ａ：保持面
５２：クランプ機構
５４：支柱
５６：ローラー部
５８：カットユニット、５８ａ：切刃
６０：Ｘ軸移動機構
６２：ガイドレール、６４：ボールネジ
７０：剥離機構
７２：拡張ユニット
７４Ａ：第１挟持ユニット、７４Ｂ：第２挟持ユニット
７４Ｃ：第３挟持ユニット、７４Ｄ：第４挟持ユニット
７６ａ：下側挟持部、７６ａ１：ローラー
７６ｂ：上側挟持部、７６ｂ１：ローラー
７８：上アーム、８０：上側可動板
８２：ガイドレール、８４：回転駆動源
８６：Ｘ軸移動機構
８８：ボールネジ、９０：回転駆動源、９２：軸受け
９４：上側挟持部、９６：上アーム、９８：上側可動板
１００：ガイドレール、１０２：回転駆動源
１０４：Ｙ軸移動機構
１０６：ボールネジ、１０８：回転駆動源
１１０：フレーム配置ユニット
１１２：ベース部、１１２ａ：吸引パッド
１１４ａ：支持柱、１１４ｂ：接続部、１１４ｃ：移動板
１１６：Ｚ軸方向移動機構
１１８：移動板、１２０：ガイドレール、１２２：ボールネジ、１２４：回転駆動源
１２６：移動ブロック、１２８：ガイドレール
１３０：ボールネジ、１３２：回転駆動源
１３４：Ｙ軸移動機構、
１３６：移動ユニット
１３８：エアシリンダ、１３８ａ：シリンダチューブ、１３８ｂ：ピストン
１４０：搬送機構
１４２：ブラケット、１４２ａ：直線部、１４２ｂ：連結部、１４２ｃ：円筒部
１４２ｄ：柱、１４２ｅ：水平板
１４４：弾性部材、１４４ａ：上端部、１４４ｂ：下端部
１４６：吸引部、１４６ａ：流路、１４６ｂ：吸引パッド
１４８：継手、１４８ａ：流路、１４８ｂ：球状部、１４８ｃ：円筒部
１５０：流路、１５２：吸引源、１５４：バルブ、１５６：負圧制御ユニット
１５８：廃棄箱
１６０：蛇腹状吸引パッド
１１：被加工物、１１ａ：表面、１１ｂ：裏面、１３：分割予定ライン、１５：デバイス
１７：保護部材、１９：シート、１９ａ：一面、１９ｂ：穴、１９ｃ：外周部
２１：被加工物ユニット、２３：環状フレーム、２３ａ：貫通開口
２５：デバイスチップ、２７：デバイスチップユニット
Ａ１，Ａ２：向き
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】