特許 7444632 水噴射装置および水ノズル

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-02-27

(45)【発行日】2024-03-06

(54)【発明の名称】水噴射装置および水ノズル

(51)【国際特許分類】

   B23Q 11/10 20060101AFI20240228BHJP

   H01L 21/304 20060101ALI20240228BHJP

   B05B 1/30 20060101ALI20240228BHJP

   B05B 1/34 20060101ALI20240228BHJP

   B24B 55/02 20060101ALI20240228BHJP

【ＦＩ】

B23Q11/10 A

B23Q11/10 E

H01L21/304 643C

B05B1/30

B05B1/34

B24B55/02 D

【請求項の数】 3

(21)【出願番号】P 2020027172

(22)【出願日】2020-02-20

(65)【公開番号】P2021130167

(43)【公開日】2021-09-09

【審査請求日】2022-12-16

(73)【特許権者】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】110001014

【氏名又は名称】弁理士法人東京アルパ特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】齋藤 大

【審査官】亀田 貴志

(56)【参考文献】

【文献】特開平０６－０４７６７１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０６－０４７６６６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１７－２１７７５４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００７－１６０１５５（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ２３Ｑ １１／００ － １１／１０

Ｂ２４Ｂ ５５／００ － ５５／１２

Ｈ０１Ｌ ２１／３０４

Ｈ０１Ｌ ２１／３０１

Ｂ０５Ｂ １／３０

Ｂ０５Ｂ １／３４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

加工具によって被加工物を加工する際に供給する加工水を、着水点に着水するよう噴射させる水噴射装置であって、
先端が合流するよう互いに傾斜している複数の傾斜配管と、該複数の傾斜配管の先端が合流している噴射口とを備え、該噴射口から加工水を噴射する水ノズルと、
該噴射口から噴射される加工水を着水点に着水させる着水点制御手段と、を備え、
該着水点制御手段は、
少なくとも１つの該傾斜配管を流れる水の量を調整する流量調整部と、
該流量調整部を制御する制御部と、備え、
該制御部の制御によって該少なくとも１つの傾斜配管を流れる水の量を制御することによって、該噴射口から噴射される加工水の噴射方向を変えて、加工水を所定の着水点に着水させることを特徴とする水噴射装置。

【請求項2】

該複数の傾斜配管は、第１傾斜配管、第２傾斜配管および第３傾斜配管を含む少なくとも３つの傾斜配管を備え、
該流量調整部は、
該第１傾斜配管を流れる水の量を調整する第１流量調整部と、
該第２傾斜配管を流れる水の量を調整する第２流量調整部と、
該第３傾斜配管を流れる水の量を調整する第３流量調整部と、を含む、
請求項１に記載の水噴射装置。

【請求項3】

該水ノズルは、該複数の傾斜配管に囲まれるように配置され、先端が該噴射口に接続される中央配管をさらに備え、
該制御部は、該流量調整部を制御して、該中央配管を流れる水と、少なくとも１つの傾斜配管を流れる水と、を合流させて、該噴射口から噴射させる、
請求項１記載の水噴射装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、水噴射装置および水ノズルに関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１に開示されているような切削装置では、切削ブレードに切削水を供給しながら、切削ブレードを被加工物に切り込ませる高さに位置づけ、被加工物と切削ブレードとを切削送り方向に相対的に移動させる。これにより、被加工物を、切削ブレードによって切削している。

【0003】

この際、切削ブレードによって被加工物を切削することによって生じる切削溝に、切削屑が溜まると、切削溝の溝幅が、所定の幅よりも広くなってしまう。

【0004】

このような切削溝の広がりを抑制するために、切削水の着水点が、切削ブレードの厚みの中心で、被加工物の上面と切削ブレードとの交点となるように、切削水ノズルの取り付け位置が調整されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【文献】特開２０１７－１４４５１１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

切削装置では、切削水ノズルは、切削ブレードを覆うカバーに装着されている。したがって、切削ブレードが消耗すると、切削水ノズルが被加工物に接近する。このため、切削ブレードの消耗が大きい時には、切削水ノズルの高さ調整が必要となることがある。

【0007】

また、切削ブレードの厚みが変わると、切削水の着水点が、切削ブレードの厚みの中心からズレる。このため、切削ブレードの厚み方向に沿って着水点を移動させるために、この方向に関する切削水ノズルの位置調整が必要となることもある。

【0008】

さらに、被加工物を砥石で研削する研削装置においても、被加工物と砥石との間に、研削水が供給される。この装置でも、被加工物の厚みに応じて、研削水ノズルから噴出される研削水の着水点を移動させたいことがある。

【0009】

したがって、本発明の目的は、加工具によって被加工物を加工する加工装置に用いられる水ノズルから噴射される加工水の着水点を、容易に調整することにある。

【課題を解決するための手段】

【0010】

本発明の水噴射装置（本水噴射装置）は、加工具によって被加工物を加工する際に供給する加工水を、着水点に着水するよう噴射させる水噴射装置であって、先端が合流するよう互いに傾斜している複数の傾斜配管と、該複数の傾斜配管の先端が合流している噴射口とを備え、該噴射口から加工水を噴射する水ノズルと、該噴射口から噴射される加工水を着水点に着水させる着水点制御手段と、を備え、該着水点制御手段は、少なくとも１つの該傾斜配管を流れる水の量を調整する流量調整部と、該流量調整部を制御する制御部と、備え、該制御部の制御によって該少なくとも１つの傾斜配管を流れる水の量を制御することによって、該噴射口から噴射される加工水の噴射方向を変えて、加工水を所定の着水点に着水させる。

【0011】

本水噴射装置では、該複数の傾斜配管は、第１傾斜配管、第２傾斜配管および第３傾斜配管を含む少なくとも３つの傾斜配管を備えてもよく、該流量調整部は、該第１傾斜配管を流れる水の量を調整する第１流量調整部と、該第２傾斜配管を流れる水の量を調整する第２流量調整部と、該第３傾斜配管を流れる水の量を調整する第３流量調整部と、を含んでもよい。

【0012】

本水噴射装置では、該水ノズルは、該複数の傾斜配管に囲まれるように配置され、先端が該噴射口に接続される中央配管をさらに備えてもよく、該制御部は、該流量調整部を制御して、該中央配管を流れる水と、少なくとも１つの傾斜配管を流れる水と、を合流させて、該噴射口から噴射させてもよい。

【発明の効果】

【0016】

本水噴射装置では、制御部が、流量調整部を制御することによって、少なくとも１つの傾斜配管を流れる水の量を制御している。これにより、制御部は、水ノズルの噴射口から噴射される加工水の噴射方向を変えて、所定の着水点に着水させることができる。このように、本水噴射装置では、少なくとも１つの傾斜配管を流れる水の量を制御することにより、水ノズルの位置および向きを変更することなく、水ノズルの噴射口から噴射される加工水の着水点を、容易に調整することが可能である。

【図面の簡単な説明】

【0017】

【図1】切削装置の構成を示す斜視図である。

【図2】切削手段の構成を示す説明図である。

【図3】切削水ノズルの構成を示す説明図である。

【図4】切削水ノズルの構成を示す底面図である。

【図5】切削ブレードおよび切削水ノズルを示す上面図である。

【図6】切削ブレードによるウェーハに対する切削加工を示す説明図である。

【図7】切削水ノズルの他の構成を示す説明図である。

【図8】切削水ノズルの他の構成を示す底面図である。

【図9】切削水ノズルのさらに他の構成を示す底面図である。

【発明を実施するための形態】

【0018】

図１に示すウェーハ１００は、被加工物の一例であり、概略円形状を有している。ウェーハ１００の表面には、格子状の分割予定ライン１０２が形成されている。分割予定ライン１０２によって区画された各領域には、各種デバイス（図示せず）が形成されている。

【0019】

ウェーハ１００の裏面には、ダイシングテープ１０３が貼着されている。ダイシングテープ１０３の外周には、リングフレーム１０５が貼着されている。このように、ウェーハ１００は、ダイシングテープ１０３を介してリングフレーム１０５に支持されたワークセット１０７の状態で、切削装置１において加工される。また、ワークセット１０７は、図示しないカセットに収容されて、切削装置１に搬入される。

【0020】

図１に示す切削装置１は、加工装置の一例であり、このようなウェーハ１００に対して、切削加工を実施する。切削装置１は、チャックテーブル３０の保持面３２に保持されたウェーハ１００に対して、第１切削手段６および第２切削手段７に備えられる加工具である切削ブレードを回転させて切り込ませて、切削加工を施す装置である。

【0021】

切削装置１による切削加工は、たとえば、ウェーハ１００のエッジの表面側を除去するエッジトリミング加工、あるいは、ウェーハ１００を分割予定ライン１０２に沿って分割することによってチップを形成するダイシング加工である。

【0022】

切削装置１は、基台１０、基台１０に立設された門型コラム１４、および、切削装置１の各部材を制御する制御部７０を備えている。
制御部７０は、制御プログラムに従って演算処理を行うＣＰＵ、および、メモリ等の記憶媒体等を備えている。制御部７０は、切削装置１の各部材を制御して、ウェーハ１００に対する切削加工を実施する。

【0023】

基台１０上には、Ｘ軸方向送り手段１１が配設されている。Ｘ軸方向送り手段１１は、加工送り手段であり、チャックテーブル３０と第１切削手段６および第２切削手段７とを、相対的に、チャックテーブル３０の保持面３２に平行な水平方向（加工送り方向；Ｘ軸方向）に沿って移動させる。

【0024】

Ｘ軸方向送り手段１１は、Ｘ軸方向に延びる一対のガイドレール１１１、ガイドレール１１１に載置されたＸ軸テーブル１１３、ガイドレール１１１と平行に延びるボールネジ１１０、および、ボールネジ１１０を回転させるモータ１１２を含んでいる。

【0025】

一対のガイドレール１１１は、Ｘ軸方向に平行に、基台１０の上面に配置されている。Ｘ軸テーブル１１３は、一対のガイドレール１１１上に、これらのガイドレール１１１に沿ってスライド可能に設置されている。Ｘ軸テーブル１１３上には、保持部３が載置されている。

【0026】

ボールネジ１１０は、Ｘ軸テーブル１１３の下面側に設けられたナット部（図示せず）に螺合されている。モータ１１２は、ボールネジ１１０の一端部に連結されており、ボールネジ１１０を回転駆動する。ボールネジ１１０が回転駆動されることで、Ｘ軸テーブル１１３および保持部３が、ガイドレール１１１に沿って、加工送り方向であるＸ軸方向に沿って移動する。

【0027】

保持部３は、ワークセット１０７のウェーハ１００を保持するチャックテーブル３０、および、チャックテーブル３０の周囲に備えられた４つのクランプ３３を備えている。さらに、保持部３は、チャックテーブル３０を支持して回転させるθテーブル３１を有している。

【0028】

チャックテーブル３０は、図１に示したウェーハ１００を吸着保持するための部材であり、円板状に形成されている。チャックテーブル３０は、ポーラス材からなる保持面３２を備えている。保持面３２は、図示しない吸引源に連通されている。チャックテーブル３０は、この保持面３２によって、ワークセット１０７のウェーハ１００を、ダイシングテープ１０３を介して吸引保持する。また、クランプ３３は、ワークセット１０７のリングフレーム１０５を、外側から支持する。

【0029】

チャックテーブル３０は、チャックテーブル３０の底面側に配設されたθテーブル３１に支持されている。θテーブル３１は、Ｘ軸テーブル１１３の上面に、ＸＹ平面内で回転可能に設けられている。したがって、θテーブル３１は、チャックテーブル３０を支持するとともに、チャックテーブル３０をＸＹ平面内で回転駆動することができる。

【0030】

基台１０上の後方側（－Ｘ方向側）には、門型コラム１４が、Ｘ軸方向送り手段１１を跨ぐように立設されている。門型コラム１４の前面（＋Ｘ方向側の面）には、第１切削手段６および第２切削手段７を移動させる切削手段移動機構１３が設けられている。切削手段移動機構１３は、第１切削手段６および第２切削手段７を、Ｙ軸方向にインデックス送りするとともに、Ｚ軸方向に切込み送りする。

【0031】

切削手段移動機構１３は、＋Ｙ側の第１切削手段６を切込み送り方向（Ｚ軸方向）に移動する第１Ｚ軸方向移動手段１６、－Ｙ側の第２切削手段７を切込み送り方向に移動する第２Ｚ軸方向移動手段１７、および、第１切削手段６および第２切削手段７をインデックス送り方向（Ｙ軸方向）に移動するＹ軸方向移動手段１２を備えている。

【0032】

Ｙ軸方向移動手段１２は、インデックス送り手段であり、門型コラム１４の前面に配設されている。Ｙ軸方向移動手段１２は、Ｙ軸方向に、第１切削手段６を含む第１Ｚ軸方向移動手段１６、および、第２切削手段７を含む第２Ｚ軸方向移動手段１７を往復移動させる。

【0033】

Ｙ軸方向移動手段１２は、Ｙ軸方向に延びる一対のガイドレール１２１、ガイドレール１２１に載置された第１Ｙ軸テーブル１２３および第２Ｙ軸テーブル１２５、ガイドレール１２１と平行に延びる第１ボールネジ１２０および第２ボールネジ１２２、第１ボールネジ１２０を回転させる第１モータ１２４、ならびに、第２ボールネジ１２２を回転させる第２モータ（図示せず）を含んでいる。

【0034】

一対のガイドレール１２１は、Ｙ軸方向に平行に、門型コラム１４の前面に配置されている。第１Ｙ軸テーブル１２３および第２Ｙ軸テーブル１２５は、一対のガイドレール１２１上に、これらのガイドレール１２１に沿ってスライド可能に設置されている。第１Ｙ軸テーブル１２３上には、第１Ｚ軸方向移動手段１６および第１切削手段６が取り付けられている。第２Ｙ軸テーブル１２５上には、第２Ｚ軸方向移動手段１７および第２切削手段７が取り付けられている。

【0035】

第１ボールネジ１２０は、第１Ｙ軸テーブル１２３の背面側に設けられたナット部（図示せず）に螺合されている。第１モータ１２４は、第１ボールネジ１２０の一端部に連結されており、第１ボールネジ１２０を回転駆動する。第１ボールネジ１２０が回転駆動されることで、第１Ｙ軸テーブル１２３、第１Ｚ軸方向移動手段１６および第１切削手段６が、ガイドレール１２１に沿って、インデックス送り方向であるＹ軸方向に移動する。

【0036】

同様に、第２ボールネジ１２２は、第２Ｙ軸テーブル１２５の背面側のナット部（図示せず）に螺合されており、その一端部に連結された第２モータによって回転駆動される。これにより、第２Ｙ軸テーブル１２５、第２Ｚ軸方向移動手段１７および第２切削手段７が、ガイドレール１２１に沿ってＹ軸方向に移動する。

【0037】

第１Ｚ軸方向移動手段１６は、切り込み送り手段であり、第１切削手段６をＺ軸方向（上下方向）に往復移動させる。Ｚ軸方向は、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に直交するとともに、チャックテーブル３０の保持面３２に対して直交する方向である。

【0038】

第１Ｚ軸方向移動手段１６は、Ｚ軸方向に延びる一対のガイドレール１６１、ガイドレール１６１に載置された支持部材１６３、ガイドレール１６１と平行に延びるボールネジ１６０、および、ボールネジ１６０を回転させるモータ１６２を含んでいる。

【0039】

一対のガイドレール１６１は、Ｚ軸方向に平行に、Ｙ軸テーブル１２３に配置されている。支持部材１６３は、一対のガイドレール１６１上に、これらのガイドレール１６１に沿ってスライド可能に設置されている。支持部材１６３の下端部には、第１切削手段６が取り付けられている。

【0040】

ボールネジ１６０は、支持部材１６３の背面側に設けられたナット部（図示せず）に螺合されている。モータ１６２は、ボールネジ１６０の一端部に連結されており、ボールネジ１６０を回転駆動する。ボールネジ１６０が回転駆動されることで、支持部材１６３および第１切削手段６が、ガイドレール１６１に沿って、切込み送り方向であるＺ軸方向に移動する。

【0041】

第２Ｚ軸方向移動手段１７も、第１Ｚ軸方向移動手段１６と同様に切り込み送り手段であり、第２切削手段７をＺ軸方向（上下方向）に往復移動させる。第２Ｚ軸方向移動手段１７は、第１Ｚ軸方向移動手段１６と同様の構成を有しているため、その説明を省略する。

【0042】

また、本実施形態では、第１切削手段６と第２切削手段７とは、同様の構成および機能を有している。このため、以下では、第１切削手段６の構成成および機能について説明するとともに、第２切削手段７についての説明を省略する。

【0043】

第１切削手段６は、チャックテーブル３０に保持されたウェーハ１００を切削する。第１切削手段６は、支持部材１６３の下端に設けられたハウジング６１を備えている。さらに、第１切削手段６は、図２に示すように、Ｙ軸方向に延びるスピンドル６０、スピンドル６０に装着される切削ブレード６３、スピンドル６０を駆動するモータ（図示せず）、および、切削ブレード６３を囲むブレードカバー６４を備えている。

【0044】

切削ブレード６３は、円環状のブレードであり、フランジ６３０と、フランジ６３０の外周に備えられた環状の刃先（切り刃）６３１とを有する。フランジ６３０の中心には、スピンドル６０の先端が挿入および固定されている。刃先６３１は、たとえば、ダイヤモンド砥粒等を適宜のバインダーにより固定することで形成されている。

【0045】

スピンドル６０は、ハウジング６１によって回転可能に支持されている。モータがスピンドル６０を高速で回転駆動することにより、切削ブレード６３も高速回転する。切削装置１では、高速回転する切削ブレード６３により、ウェーハ１００に対する切削加工が実施される。

【0046】

ブレードカバー６４は、ブレードカバー基部６４１を介して、ハウジング６１に支持されている。ブレードカバー６４の＋Ｘ方向側の側面には、第１ノズル支持ブロック６５が設けられている。第１ノズル支持ブロック６５には、切削ブレード６３とウェーハ１００との接触部位（加工点）に向かって斜め上方から切削水を噴射する切削水ノズル６６が配設されている。

【0047】

切削水ノズル６６は、水ノズルの一例である。切削水ノズル６６には、第１ノズル支持ブロック６５を介して、切削水供給部材６７が連通している。切削水ノズル６６の先端の噴射口は、切削ブレード６３の刃先６３１に向かって延びている。

【0048】

ブレードカバー６４の－Ｘ方向側の側面には、第２ノズル支持ブロック６８が設けられている。第２ノズル支持ブロック６８は、一対の冷却水供給部材６８１、および、この冷却水供給部材６８１に連通された一対のブレード冷却ノズル６９を支持している。ブレード冷却ノズル６９は、切削ブレード６３を冷却および洗浄するための冷却水を切削ブレード６３に供給する。

【0049】

このブレード冷却ノズル６９に連通された冷却水供給部材６８１、ならびに、切削水ノズル６６に連通された切削水供給部材６７には、水源２００（図３参照）が連結されている。

【0050】

図３に示すように、切削水ノズル６６は、先端が合流するよう互いに傾斜している複数の傾斜配管としての第１～第３傾斜配管２０１～２０３と、第１～第３傾斜配管２０１～２０３の先端が合流している噴射口２０５とを備え、噴射口２０５から水を噴射するように構成されている。

【0051】

すなわち、切削水ノズル６６は、その先端に、噴射口２０５を備えている。また、切削水ノズル６６は、その内部に、第１傾斜配管２０１、第２傾斜配管２０２および第３傾斜配管２０３を有している。第１～第３傾斜配管２０１～２０３は、切削水ノズル６６の噴射口の中心を中心とする円周方向に、例えば、１２０度おきに等間隔で設けられている。なお、第１～第３傾斜配管２０１～２０３の設置の間隔は、等間隔で無くてもよい。

【0052】

これらの第１傾斜配管２０１、第２傾斜配管２０２および第３傾斜配管２０３は、切削水ノズル６６を矢印３００の方向から示す図４にも示されているように、噴射口２０５において先端が合流するように、互いに傾斜している。
さらに、第１傾斜配管２０１、第２傾斜配管２０２および第３傾斜配管２０３は、軸線４０１によって示す切削水ノズル６６の中心軸の方向（切削水ノズル６６の延びる方向）に対しても、所定の角度をもって傾斜している。

【0053】

切削水ノズル６６の噴射口２０５では、第１傾斜配管２０１、第２傾斜配管２０２および第３傾斜配管２０３を流れる水が合流されて、合流された水が、噴射口２０５から、切削水として噴射される。

【0054】

また、図３に示すように、第１傾斜配管２０１、第２傾斜配管２０２および第３傾斜配管２０３には、それぞれ、第１流水路２１１、第２流水路２１２および第３流水路２１３が接続されている。これら第１流水路２１１、第２流水路２１２および第３流水路２１３は、水源配管２１０および切削水供給部材６７（図２参照）を介して、水源２００に連通されており、それぞれ、第１傾斜配管２０１、第２傾斜配管２０２および第３傾斜配管２０３に対して水を供給するように構成されている。

【0055】

なお、水源配管２１０には、水源バルブ２２０が設けられている。水源バルブ２２０は、水源２００からの水の供給量を調整するものである。本実施形態では、水源バルブ２２０の開度を制御することによって、たとえば、切削装置１における切削加工の際に、水源２００から予め設定した水量の水を着水点に供給している。

【0056】

また、水源配管２１０から分岐した、第１流水路２１１、第２流水路２１２および第３流水路２１３には、それぞれ、第１流量調整部２２１、第２流量調整部２２２および第３流量調整部２２３が配設されている。これら第１流量調整部２２１、第２流量調整部２２２および第３流量調整部２２３は、それぞれ、切削水ノズル６６における第１傾斜配管２０１、第２傾斜配管２０２および第３傾斜配管２０３を流れる水の量を調整するバルブである。これら第１流量調整部２２１、第２流量調整部２２２および第３流量調整部２２３は、制御部７０によって制御される。

【0057】

このような構成を有する切削装置１では、制御部７０が、たとえば、保持部３のチャックテーブル３０の保持面３２によって保持されているウェーハ１００の分割予定ライン１０２（図１参照）上に、切削ブレード６３の刃先６３１を配置する。

【0058】

この状態で、制御部７０は、図５および図６に示すように、スピンドル６０を介して切削ブレード６３を回転駆動しながら、切削ブレード６３を、ウェーハ１００に切り込ませる高さに位置づける。すなわち、制御部７０は、切削ブレード６３の刃先６３１が、ウェーハ１００の下面のダイシングテープ１０３に到達するまで、切削ブレード６３を降下させる。

【0059】

その後、制御部７０は、図６の矢印３０１に示すように、図１に示したＸ軸方向送り手段１１を用いて、チャックテーブル３０を含む保持部３を、Ｘ軸方向に切削送りする。これにより、ウェーハ１００が、分割予定ライン１０２に沿って切断される。

【0060】

また、この切削ブレード６３による切削の際に、制御部７０は、刃先６３１とウェーハ１００との接点（交点）に向けて、切削水ノズル６６から、矢印３０３によって示すように、切削水を噴射する。

【0061】

この切削加工の際、制御部７０および第１～第３流量調整部２２１～２２３は、着水点制御手段として機能し、噴射口２０５から噴射される切削水を、着水点、たとえば、作業者の所望する所定の着水点に着水させる。

【0062】

すなわち、制御部７０は、第１～第３流量調整部２２１～２２３を制御して、第１～第３傾斜配管２０１～２０３の少なくとも１つを流れる水の量を制御することによって、噴射口２０５から噴射される切削水の噴射方向を変えて、切削水を所定の着水点に着水させる（すなわち、着水点を変更（調整）する）。

【0063】

本実施形態では、制御部７０は、図３に示した第１流量調整部２２１、第２流量調整部２２２および第３流量調整部のそれぞれを制御して、切削水ノズル６６内の第１傾斜配管２０１、第２傾斜配管２０２および第３傾斜配管２０３を流れる水の量を、個別に調整する。

【0064】

上述したように、噴射口２０５では、互いに傾斜して配置されている第１～第３傾斜配管２０１～２０３を流れる水が合流されて、合流された水が噴射口２０５から切削水として噴射される。したがって、第１～第３傾斜配管２０１～２０３のいずれかを流れる水の量が増減すると、噴射口２０５から噴射される切削水の方向が変化する。

【0065】

たとえば、制御部７０が、第１～第３流量調整部２２１～２２３を制御して、第１～第３傾斜配管２０１～２０３を同量の水を流す場合、切削水は、図３に軸線４０１によって示す切削水ノズル６６の中心軸の方向に沿うように、噴射口２０５から噴射される。

【0066】

また、この状態から、制御部７０が、第１～第３流量調整部２２１～２２３を制御して、第１傾斜配管２０１および第２傾斜配管２０２を流れる水の量を、第３傾斜配管２０３を流れる水の量よりも減らすと、噴射口２０５からの切削水の噴射方向は、軸線４０１によって示す方向から、第３傾斜配管２０３の延びる方向に近づく。

【0067】

このように、制御部７０は、第１～第３流量調整部２２１～２２３を用いて、第１～第３傾斜配管２０１～２０３を流れる水の量を調整することによって、切削水の噴射方向を変えることができる。したがって、制御部７０は、切削水の着水点を調整することができる。

【0068】

以上のように、本実施形態では、第１～第３傾斜配管２０１～２０３および噴射口２０５を備えた切削水ノズル６６、第１～第３流量調整部２２１～２２３、および制御部７０が、水噴射装置を構成している。この水噴射装置は、加工具としての切削ブレード６３によってウェーハ１００を加工する際に供給する切削水（加工水）を、着水点に着水するよう噴射させるものである。

【0069】

そして、本実施形態では、制御部７０が、第１～第３流量調整部２２１～２２３を制御することによって、第１～第３傾斜配管２０１～２０３を流れる水の量を制御している。これにより、制御部７０は、切削水ノズル６６の噴射口２０５から噴射される切削水の噴射方向を変えて、所定の着水点に着水させることができる。
このように、本実施形態では、１～第３傾斜配管２０１～２０３を流れる水の量を制御することにより、切削水ノズル６６の位置および向きを変更することなく、切削水ノズル６６の噴射口２０５から噴射される切削水の着水点を、容易に調整することが可能である。

【0070】

たとえば、切削ブレード６３の刃先６３１が消耗して、切削水ノズル６６がウェーハ１００に接近するようになった場合には、制御部７０が、第１～第３流量調整部２２１～２２３を制御することによって、切削水の噴射方向を上下方向（Ｚ軸方向）に沿って変更することにより、切削水の着水点を適切な位置（ウェーハ１００と刃先６３１との接点）となるように調整することができる。

【0071】

また、切削ブレード６３の厚みが変わった場合には、制御部７０が、第１～第３流量調整部２２１～２２３を制御することによって、切削水の噴射方向を水平方向（Ｙ軸方向）に沿って変更することにより、切削水の着水点を、適切な位置（切削ブレード６３における厚み方向の中心）となるように調整することができる。

【0072】

なお、図３に示した実施形態では、切削水ノズル６６は、第１～第３傾斜配管２０１～２０３からなる３本の配管を有している。これに代えて、切削水ノズル６６は、たとえば、図７に示すような構成を有していてもよい。

【0073】

図７、および、図７に示した切削水ノズル６６を矢印３０５の方向から示す図８に示すように、この切削水ノズル６６は、図３に示した第１～第３傾斜配管２０１～２０３に加えて、中央配管２０７をさらに備えている。なお、図７では、第２傾斜配管２０２の図示を省略している。

【0074】

図７および図８に示す中央配管２０７は、軸線４０１（図３参照）によって示す切削水ノズル６６の中心軸の方向に延びている。したがって、中央配管２０７は、複数の第１～第３傾斜配管２０１～２０３に囲まれるように配置されている。また、中央配管２０７の先端は、噴射口２０５に接続されている。

【0075】

さらに、中央配管２０７には、中央流水路２１７が接続されている。中央流水路２１７は、水源配管２１０および切削水供給部材６７（図２参照）を介して、水源２００に連通されている。したがって、この構成では、水源２００から、第１傾斜配管２０１、第２傾斜配管２０２および第３傾斜配管２０３に加えて、中央配管２０７に対して水が供給される。

【0076】

そして、噴射口２０５では、第１傾斜配管２０１、第２傾斜配管２０２、第３傾斜配管２０３および中央配管２０７を流れる水が合流されて、合流された水が、噴射口２０５から、切削水として噴射される。

【0077】

この構成では、制御部７０は、第１～第３流量調整部２２１～２２３を制御して、中央配管２０７を流れる水と、第１～第３傾斜配管２０１～２０３を流れる水とを合流させて、噴射口２０５から噴射させる。

【0078】

そして、制御部７０は、第１～第３流量調整部２２１～２２３を用いて、第１～第３傾斜配管２０１～２０３を流れる水の量を調整することによって、切削水の噴射方向を代えて、着水点を調整することができる。

【0079】

また、図７および図８に示す構成において、中央流水路２１７に、中央配管２０７を流れる水の量を調整するバルブ（中央流量調整部）が備えられてもよい。この場合、制御部７０は、第１～第３流量調整部２２１～２２３および中央流量調整部を用いて、第１～第３傾斜配管２０１～２０３および中央配管２０７を流れる水の量を調整することによって、切削水の噴射方向を代えて、着水点を調整することができる。

【0080】

また、上述した実施形態では、切削水ノズル６６は、第１～第３傾斜配管２０１～２０３からなる３本の傾斜配管を有している。これに関し、切削水ノズル６６は、複数の傾斜配管を含むように構成されていればよい。

【0081】

したがって、切削水ノズル６６に含まれる傾斜配管は、３本に限らず、図９に示すように、４本であってもよい。図９に示す構成では、切削水ノズル６６は、第１～第４傾斜配管２０１～２０４からなる４本の傾斜配管を有している。第１～第４傾斜配管２０１～２０４は、切削水ノズル６６の噴射口２０５の中心を中心とする円周方向に、例えば、９０度おきに等間隔で設けられている。なお、第１～第４傾斜配管２０１～２０４の設置の間隔は、等間隔で無くてもよい。

【0082】

また、これら第１～第４傾斜配管２０１～２０４は、噴射口２０５において先端が合流するように、互いに傾斜しているとともに、切削水ノズル６６の中心軸の方向（図３の軸線４０１参照）に対しても、所定の角度をもって傾斜している。
この構成では、第１～第４傾斜配管２０１～２０４を流れる水が合流されて、合流された水が、噴射口２０５から、切削水として噴射される。

【0083】

また、この構成では、図３に示した第１～第３傾斜配管２０１～２０３を流れる水の量を調整する第１～第３流量調整部２２１～２２３に加えて、第４傾斜配管２０４を流れる水の量を調整する第４流量調整部（図示せず）が備えられる。そして、制御部７０は、第１～第３流量調整部２２１～２２３および第４流量調整部を用いて、第１～第４傾斜配管２０１～２０４を流れる水の量を調整することによって、切削水の噴射方向を代えて、着水点を調整することができる。

【0084】

なお、切削水ノズル６６は、図９に示した構成に加えて、図７に示した中央配管２０７をさらに備えてもよい。

【0085】

また、切削水ノズル６６に含まれる傾斜配管は、３本あるいは４本に限られず、２本、あるいは、５本以上であってもよい。切削水ノズル６６に含まれる傾斜配管が２本であっても、制御部７０は、少なくともいずれかの傾斜配管に設けられた流量調整部（バルブ）によって、その傾斜配管を流れる水の量を調整することによって、切削水ノズル６６の噴射口２０５から噴射される水の噴射方向を変えて、切削水を、適切な着水点に着水させることができる。

【0086】

また、本実施形態では、第１傾斜配管２０１、第２傾斜配管２０２および第３傾斜配管２０３のそれぞれの水の流量を調整するための、第１流量調整部２２１、第２流量調整部２２２および第３流量調整部２２３が設けられている。これに関し、本実施形態にかかる水噴射装置は、少なくとも１つの傾斜配管を流れる水の量を調整する流量調整部を備えていればよい。

【0087】

したがって、第１傾斜配管２０１、第２傾斜配管２０２および第３傾斜配管２０３の少なくともいずれかに、水の流量を調整可能な流量調整部（バルブ）が設けられていればよい。制御部７０は、この流量調整部を制御することによって、切削水ノズル６６の噴射口２０５から噴射される水の噴射方向を変えて、切削水を、適切な着水点に着水させることができる。

【0088】

また、上述した実施形態では、加工装置の一例として、切削装置１を示している。これに関し、本発明の一態様に関する加工装置は、たとえば、被加工物を砥石で研削する研削装置であってもよい。この場合、加工装置は、被加工物と砥石との間に研削水を供給するための、上述した切削水ノズル６６と同様の構成を有する水ノズルを備える。さらに、加工装置は、水ノズルの少なくとも１つの傾斜配管を流れる水の量を調整する流量調整部と、流量調整部を制御する制御部と、備え、制御部が、少なくとも１つの傾斜配管を流れる水の量を制御することによって、噴射口から噴射される水の噴射方向を変えて、研削水を所定の着水点に着水させる。この場合、たとえば、被加工物の厚みに応じて、水ノズルから噴出される研削水の着水点を移動させることができる。

【符号の説明】

【0089】

１：切削装置、１０：基台、１４：門型コラム、
１１：Ｘ軸方向送り手段、１２：Ｙ軸方向移動手段、１３：切削手段移動機構、
１６：第１Ｚ軸方向移動手段、１７：第２Ｚ軸方向移動手段、
３：保持部、３０：チャックテーブル、３１：θテーブル、３２：保持面、
６：第１切削手段、７：第２切削手段、
６０：スピンドル、６１：ハウジング、６４：ブレードカバー、
６３：切削ブレード、６３０：フランジ、６３１：刃先、６７：切削水供給部材、
７０：制御部、
１００：ウェーハ、１０２：分割予定ライン、１０３：ダイシングテープ、
１０５：リングフレーム、１０７：ワークセット、
６６：切削水ノズル、２０５：噴射口、４０１：軸線、
２００：水源、２１０：水源配管、２２０：水源バルブ、
２０１：第１傾斜配管、２１１：第１流水路、２２１：第１流量調整部、
２０２：第２傾斜配管、２１２：第２流水路、２２２：第２流量調整部、
２０３：第３傾斜配管、２１３：第３流水路、２２３：第３流量調整部、
２０４：第４傾斜配管、
２０７：中央配管、２１７：中央流水路

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】