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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2024-02-28
(45)【発行日】2024-03-07
(54)【発明の名称】めっき装置およびめっき方法
(51)【国際特許分類】
C25D 17/08 20060101AFI20240229BHJP
H05K 3/18 20060101ALI20240229BHJP
C25D 7/06 20060101ALI20240229BHJP
C25D 17/06 20060101ALI20240229BHJP
【ＦＩ】
C25D17/08 J
H05K3/18 L
C25D7/06 E
C25D17/06 E
【請求項の数】
4
(21)【出願番号】P 2020016714
(22)【出願日】2020-02-04
(65)【公開番号】P2021123741
(43)【公開日】2021-08-30
【審査請求日】2022-10-05
【前置審査】
(73)【特許権者】
【識別番号】000183303
【氏名又は名称】住友金属鉱山株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】110001704
【氏名又は名称】弁理士法人山内特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】須田 貴広
(72)【発明者】
【氏名】大山 雅之
【審査官】祢屋 健太郎
(56)【参考文献】
【文献】特開平０６－３３１４６５（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００６－１９３７９４（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１５－０８６４００（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｃ２５Ｄ １７／０６
Ｃ２５Ｄ ７／０６
Ｃ２５Ｄ １７／０８
Ｈ０５Ｋ ３／１８
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
長尺帯状の基材フィルムを複数のクランプで把持して、めっき槽を含むめっき装置内を移動させて、前記基材フィルムの表面にめっき層を形成するめっき装置において、前記クランプは、基材フィルムをバネの付勢力で挟む一対の挟持片からなる挟持部を備えており、
前記クランプを移動させる移動経路において、前記クランプの前記バネの損傷を検出する損傷検出機構が設けられており、
前記損傷検出機構は、前記クランプの前記バネの損傷の有無を検知する損傷検出器と、
前記クランプが前記移動経路上で移動している間にバネの損傷を検出するための検出位置に位置していることを検知する位置検出器とからなる
ことを特徴とするめっき装置。
【請求項2】
前記損傷検出器は、前記挟持部のうち一方の挟持片を開方向に押す押付け部と、該一方の挟持片の反力の大きさを検出する反力検知部とからなることを特徴とする請求項１記載のめっき装置。
【請求項3】
前記損傷検出機構は、前記クランプの移動経路においてめっき槽を含むめっき設備を設けていない区間に配置されていることを特徴とする請求項１または２記載のめっき装置。
【請求項4】
長尺帯状の基材フィルムを複数のクランプで吊持して、めっき槽を含むめっき装置内の移動経路上を移動させて、前記基材フィルムの表面にめっき層を形成するめっき方法において、前記クランプは、挟持部を構成する一対の挟持片がバネの付勢力を用いて基材フィルムを把持しており、
前記クランプの前記バネの損傷の有無を検知する損傷検出器と、
前記クランプが前記移動経路上で移動している間にバネの損傷を検出するための検出位置に位置していることを検知する位置検出器を用い、
前記位置検出器によって前記検出位置を検出したとき、前記損傷検出器によって前記クランプの前記バネの損傷を検出する
ことを特徴とするめっき方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、めっき装置およびめっき方法に関する。さらに詳しくは、本発明は銅張積層板などのめっきに用いるめっき装置およびめっき方法に関する。
【背景技術】
【0002】
電気めっき装置は、長尺の基材フィルムを垂直に立てて、その上縁を多数のクランプで把持した状態で搬送し、めっき槽内を通過させる間にクランプを通じて基材フィルムに給電し、基材フィルムの表面にめっきする装置である。
【0003】
特許文献１に示すように、電気めっき装置のクランプは、一対の把持片をバネで付勢して閉じ、その閉じ力によって基材フィルムを吊下げ保持する。基材フィルムを開放するときは、一対の把持片の一方をカムで押してバネに抗して開き、基材フィルムの保持を解除する。
【0004】
しかるに、クランプは基材フィルムの脱着のたびに開閉を行うため、めっき装置の稼働に伴いクランプのバネに金属疲労が蓄積し、最終的にはバネの破損が起こる。
クランプのバネの破損が起こると、基材フィルムの把持や基材フィルムへの給電に支障をきたし、めっきの仕上がり品質を低下させるという問題が生じる。
そして、バネが破損した状態でクランプが開いたまま搬送されると、めっき装置内の各所の部材と接触し、クランプもめっき装置にも破損が生ずるという問題がある。
また、クランプの数は多いので、一つ一つのクランプのバネ損傷を確認していくには多大な手間がかかるという問題がある。
クランプのバネの破損が起こると、基材フィルムの把持や基材フィルムへの給電に支障をきたし、めっきの仕上がり品質を低下させるという問題が生じる。
そして、バネが破損した状態でクランプが開いたまま搬送されると、めっき装置内の各所の部材と接触し、クランプもめっき装置にも破損が生ずるという問題がある。
また、クランプの数は多いので、一つ一つのクランプのバネ損傷を確認していくには多大な手間がかかるという問題がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0005】
【文献】特開２０１５－６７８５２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
本発明は上記事情に鑑み、めっき装置の破損を防止でき、クランプの保守点検工数を低減できるめっき装置およびめっき方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0007】
第１発明のめっき装置は、長尺帯状の基材フィルムを複数のクランプで把持して、めっき槽を含むめっき装置内を移動させて、前記基材フィルムの表面にめっき層を形成するめっき装置において、前記クランプは、基材フィルムをバネの付勢力で挟む一対の挟持片からなる挟持部を備えており、前記クランプを移動させる移動経路において、前記クランプの前記バネの損傷を検出する損傷検出機構が設けられており、前記損傷検出機構は、前記クランプの前記バネの損傷の有無を検知する損傷検出器と、前記クランプが前記移動経路上で移動している間にバネの損傷を検出するための検出位置に位置していることを検知する位置検出器とからなるとを特徴とする。
第２発明のめっき装置は、第１発明において、前記損傷検出器は、前記挟持部のうち一方の挟持片を開方向に押す押付け部と、該一方の挟持片の反力の大きさを検出する反力検知部とからなることを特徴とする。
第３発明のめっき装置は、第１または第２発明において、前記損傷検出機構は、前記クランプの移動経路においてめっき槽を含むめっき設備を設けていない区間に配置されていることを特徴とする。
第４発明のめっき方法は、長尺帯状の基材フィルムを複数のクランプで吊持して、めっき槽を含むめっき装置内の移動経路上を移動させて、前記基材フィルムの表面にめっき層を形成するめっき方法において、前記クランプは、挟持部を構成する一対の挟持片がバネの付勢力を用いて基材フィルムを把持しており、前記クランプの前記バネの損傷の有無を検知する損傷検出器と、前記クランプが前記移動経路上で移動している間にバネの損傷を検出するための検出位置に位置していることを検知する位置検出器を用い、前記位置検出器によって前記検出位置を検出したとき、前記損傷検出器によって前記クランプの前記バネの損傷を検出することを特徴とする。
第２発明のめっき装置は、第１発明において、前記損傷検出器は、前記挟持部のうち一方の挟持片を開方向に押す押付け部と、該一方の挟持片の反力の大きさを検出する反力検知部とからなることを特徴とする。
第３発明のめっき装置は、第１または第２発明において、前記損傷検出機構は、前記クランプの移動経路においてめっき槽を含むめっき設備を設けていない区間に配置されていることを特徴とする。
第４発明のめっき方法は、長尺帯状の基材フィルムを複数のクランプで吊持して、めっき槽を含むめっき装置内の移動経路上を移動させて、前記基材フィルムの表面にめっき層を形成するめっき方法において、前記クランプは、挟持部を構成する一対の挟持片がバネの付勢力を用いて基材フィルムを把持しており、前記クランプの前記バネの損傷の有無を検知する損傷検出器と、前記クランプが前記移動経路上で移動している間にバネの損傷を検出するための検出位置に位置していることを検知する位置検出器を用い、前記位置検出器によって前記検出位置を検出したとき、前記損傷検出器によって前記クランプの前記バネの損傷を検出することを特徴とする。
【発明の効果】
【0008】
第１発明によれば、つぎの効果を奏する。
ａ）複数のクランプのうち、いずれかのクランプのバネに損傷が生ずると、損傷検出機構がバネの損傷が生じたクランプを検知するので、速やかにクランプの修理作業を行える。したがって、クランプの保守点検のための時間と工数も軽減できる。また、クランプ修理を速やかに行うことによりめっき装置の損傷も防止できる。
ｂ）複数のクランプが互いの間に間隔をあけた状態で移動するとき、バネの損傷を検知するための損傷検出位置において、クランプが位置しているのか間隔が位置しているのかの区別を位置検出部が行うので、隣接するクランプ間の隙間の検出結果をキャンセルすることができ、その結果、バネに損傷の生じたクランプの特定が容易に行える。
第２発明によれば、一対の挟持片を閉方向に付勢するバネが損傷すると、損傷検出器の押付け部で一方の挟持片を押すときの反力が軽くなっているので、これによりバネの損傷を確認できる。
第３発明によれば、めっき槽を含むめっき設備を設けていない区間に損傷検出機構を設けているので、クランプのバネ損傷を検出したときのクランプの修理、交換等の保守作業が容易に行える。
第４発明によれば、複数のクランプのうち、バネの損傷を検知するための損傷検出位置において、クランプが位置しているのか間隔が位置しているのかの区別を検出するので、隣接するクランプ間の隙間の検出結果をキャンセルすることができ、その結果、バネに損傷の生じたクランプの特定が容易に行える。そのため、クランプの保守点検のための時間と工数も軽減でき、クランプ修理を速やかに行うことによりめっき装置の損傷も防止できる。
ａ）複数のクランプのうち、いずれかのクランプのバネに損傷が生ずると、損傷検出機構がバネの損傷が生じたクランプを検知するので、速やかにクランプの修理作業を行える。したがって、クランプの保守点検のための時間と工数も軽減できる。また、クランプ修理を速やかに行うことによりめっき装置の損傷も防止できる。
ｂ）複数のクランプが互いの間に間隔をあけた状態で移動するとき、バネの損傷を検知するための損傷検出位置において、クランプが位置しているのか間隔が位置しているのかの区別を位置検出部が行うので、隣接するクランプ間の隙間の検出結果をキャンセルすることができ、その結果、バネに損傷の生じたクランプの特定が容易に行える。
第２発明によれば、一対の挟持片を閉方向に付勢するバネが損傷すると、損傷検出器の押付け部で一方の挟持片を押すときの反力が軽くなっているので、これによりバネの損傷を確認できる。
第３発明によれば、めっき槽を含むめっき設備を設けていない区間に損傷検出機構を設けているので、クランプのバネ損傷を検出したときのクランプの修理、交換等の保守作業が容易に行える。
第４発明によれば、複数のクランプのうち、バネの損傷を検知するための損傷検出位置において、クランプが位置しているのか間隔が位置しているのかの区別を検出するので、隣接するクランプ間の隙間の検出結果をキャンセルすることができ、その結果、バネに損傷の生じたクランプの特定が容易に行える。そのため、クランプの保守点検のための時間と工数も軽減でき、クランプ修理を速やかに行うことによりめっき装置の損傷も防止できる。
【図面の簡単な説明】
【0009】
【図1】本発明のめっき装置で用いる損傷検出機構の側面図であって、（Ａ）はバネの正常状態、（Ｂ）はバネの損傷状態を示す。
【図3】バネの状態と損傷検出器５０の検出結果を示す説明図である。
【図4】損傷検出器５０と位置検出器７０の検出結果を示す説明図である。
【図5】めっき装置Ａの概略構成を示す斜視図である。
【図6】クランプ５と給電機構３０の正面図である。
【図7】クランプ５と給電機構３０の側面図である。
【発明を実施するための形態】
【0010】
つぎに、本発明の実施形態を図面に基づき説明する。
まず、本発明の一実施形態に係るめっき装置Ａを図５に基づき説明する。図示のめっき装置Ａは、後述する本発明に係るめっき方法を実施する装置でもある。
まず、本発明の一実施形態に係るめっき装置Ａを図５に基づき説明する。図示のめっき装置Ａは、後述する本発明に係るめっき方法を実施する装置でもある。
【0011】
図示のめっき装置Ａは、長尺帯状の基材フィルムＦを搬送しつつ、基材フィルムＦに対して電気めっきを行なう装置である。このめっき装置Ａは、前処理槽１、めっき槽２、および後処理槽３を備えている。前処理槽１は、基材フィルムＦの表面を清浄化したり、濡れ性を高める処理を行う槽である。めっき槽２は、槽内にめっき液を貯留しており、めっき液に基材フィルムＦを浸漬して通過させる槽である。めっき槽を通過している間に基材フィルムＦに電流を供給すると電気めっきが行える。後処理槽３は、めっきがなされた基材フィルムＦの洗浄等を行う槽である。これらの各槽１，２，３には長尺帯状の基材フィルムＦが順に移動し、基材フィルムＦの表面にめっき膜が形成される。なお、本発明では、めっき膜の形成がなされたフィルムを製品フィルムという。
【0012】
基材フィルムＦの搬送は、基材フィルムＦの長手方向に沿って進行させるとき、基材フィルムＦの短手方向を上下に向けた懸垂状態で行われる。この懸垂状態の基材フィルムＦを搬送するため、エンドレスベルト４が用いられ、またエンドレスベルト４に多数のクランプ５が連結されている。
めっき装置Ａには、前処理槽１手前の入側ガイドローラ６、前処理槽１とめっき槽２の間の第１中間ガイドローラ７、めっき槽２と後処理槽３の間の第２中間ガイドローラ８、および後処理槽３出側ガイドローラ９を備えられている。
めっき装置Ａには、前処理槽１手前の入側ガイドローラ６、前処理槽１とめっき槽２の間の第１中間ガイドローラ７、めっき槽２と後処理槽３の間の第２中間ガイドローラ８、および後処理槽３出側ガイドローラ９を備えられている。
【0013】
前記エンドレスベルト４は、入側ガイドローラ６、第１中間ガイドローラ７、第２中間ガイドローラ８、および出側ガイドローラ９の順に周回するように移動していく。
そして、多数のクランプ５は基材フィルムＦの上縁を把持しているので、エンドレスベルト４と共に基材フィルムＦは、前処理槽１、めっき槽２、後処理槽３の内部を移動する。
そして、多数のクランプ５は基材フィルムＦの上縁を把持しているので、エンドレスベルト４と共に基材フィルムＦは、前処理槽１、めっき槽２、後処理槽３の内部を移動する。
【0014】
めっき装置Ａは、基材フィルムＦをロール状に巻き取った原反ロールを繰り出す供給装置１１と、めっき後の製品フィルム（たとえば、銅張積層板）を製品ロールとしてロール状に巻き取る巻取装置１２とを有する。後処理槽３と巻取装置１２との間には、乾燥用のためのヒーター１３等が配置されている。
なお、１４は基材フィルムＦを同じ姿勢で案内する水平ガイドロール、１５は基材フィルムＦの搬送姿勢を変換する傾斜ガイドロールである。
なお、１４は基材フィルムＦを同じ姿勢で案内する水平ガイドロール、１５は基材フィルムＦの搬送姿勢を変換する傾斜ガイドロールである。
【0015】
前記供給装置１１から繰り出された基材フィルムＦは、入側ガイドローラ６を通過した直後にクランプ５でその上縁が把持される。基材フィルムＦが前処理槽１、めっき槽２、および後処理槽３を通過すると、クランプ５が出側ガイドローラ９を通過する直前に基材フィルムＦを開放し、基材フィルムＦは巻取装置１２で巻き取られる。
【0016】
基材フィルムＦはめっき槽２内を搬送されつつ、電気めっきによりその表面に銅めっき等の被膜が形成される。これにより、めっき処理が完了した製品フィルムが得られる。たとえば、基材フィルムＦの材質が樹脂フィルムであり、これに下地金属層を介して銅をめっき成膜すれば、製品フィルムとしての銅張積層板が得られる。
【0017】
上記めっき装置Ａにおいて、クランプ５が入側ガイドローラ６を通過した後から第１中間ガイドローラ７、第２中間ガイドローラ８を経て出側ガイドローラ９までの間では、クランプ５が基材フィルムＦの上縁を把持している。本明細書では、この間を把持区間という。そして、出側ガイドローラ９と入側ガイドローラ６の間はクランプ５は基材フィルムＦを把持していない。本明細書では、この間を非把持区間という。
【0018】
つぎに、クランプ５まわりを図６および図７に基づき説明する。
クランプ５は、接触治具２０と、その下端に結合された吊持板２１を備えている。接触治具２０は上端部に電気の供給を受ける接触板２２を備えている。接触板２２には、移動方向の前端に前下りの案内部２２ａが形成されている。また、接触治具２０は、表裏両面にローラ２３を軸支しており、ローラ２３はめっき装置Ａ内の固定部材である案内板２４上を転動するようになっている。接触治具２０には図５に示すエンドレスベルト４（図６および図７では不図示）が結合されている。かかる構造により、エンドレスベルト４が移動すると、接触治具２０、ひいてはクランプ５が一定の高さを保って移動することになる。
クランプ５は、接触治具２０と、その下端に結合された吊持板２１を備えている。接触治具２０は上端部に電気の供給を受ける接触板２２を備えている。接触板２２には、移動方向の前端に前下りの案内部２２ａが形成されている。また、接触治具２０は、表裏両面にローラ２３を軸支しており、ローラ２３はめっき装置Ａ内の固定部材である案内板２４上を転動するようになっている。接触治具２０には図５に示すエンドレスベルト４（図６および図７では不図示）が結合されている。かかる構造により、エンドレスベルト４が移動すると、接触治具２０、ひいてはクランプ５が一定の高さを保って移動することになる。
【0019】
前記吊持板２１には、基材フィルムＦを把持するための挟持部２５が取付けられている。挟持部２５は一対の挟持片２５ａ，２５ｂからなる。一方の挟持片２５ｂは吊持板２１に固定されており、他方の挟持片２５ａにはレバー２６が固定されている。レバー２６の中間部はブラケットとピン２７を介して固定側の挟持片２５ｂに対して揺動自在に取付けられている。また、ピン２７にはねじりコイルバネ２８（以下、単にバネ２８という）が介装され、一方の挟持片２５ａを他方（固定側）の挟持片２５ｂに押し付けて閉じ方向に付勢している。このバネ２８の付勢力によって、一対の挟持片２５ａ，２５ｂの間に基材フィルムＦの上端が把持される。
前記レバー２６の先端には、ブラケットを介してローラ２９が回転自在に取付けられている。ローラ２９はバネ２８の付勢によって、一対の挟持片２５ａ，２５ｂの開状態から閉状態に至る間で、下向きの押し下げ力が与えられている。
前記レバー２６の先端には、ブラケットを介してローラ２９が回転自在に取付けられている。ローラ２９はバネ２８の付勢によって、一対の挟持片２５ａ，２５ｂの開状態から閉状態に至る間で、下向きの押し下げ力が与えられている。
【0020】
図６および図７において、３０は給電機構であり、クランプ５に電流を供給するために設けられている。給電機構３０は、電極バー３１と給電体３２と押圧バネ３３を有している。電極バー３１はクランプ５の走行方向に沿って延びる長い電極であって、整流器を介して電源に接続されている。電極バー３１の下方には複数個の給電体３２が等間隔に取付けられている。
【0021】
電極バー３１と給電体３２との間には押圧バネ３３が介装されており、この押圧バネ３３により給電体３２をクランプ５の接触治具２０に押し付けている。電極バー３１から給電される電流は、給電体３２と接触治具２０の接触を介して、吊持板２１を経て挟持部２５から基材フィルムＦに供給される。
上記の電極バー３１は、めっき槽２の上部に配置されており、めっき槽２を通過中の基材フィルムＦに電流が供給される。
上記の電極バー３１は、めっき槽２の上部に配置されており、めっき槽２を通過中の基材フィルムＦに電流が供給される。
【0022】
つぎに、クランプ５におけるバネ２８の損傷を検出する損傷検出機構を、図１～図４に基づき説明する。
損傷検出機構は、図１および図２に示すように損傷検出器５０と位置検出器７０とからなる。
損傷検出器５０は、クランプ５におけるバネ２８の損傷の有無を検知するセンサであり、バネ損傷を検出できれば、どのような検出器を用いてもよい。図示の実施形態における損傷検出器５０は、以下のように構成されている。
図１および図２において、（Ａ）はバネ２８が正常なクランプ５を示し、（Ｂ）はバネが損傷したクランプ５を示している。符号２８´は折れたり金属疲労をしてバネ力が不足する損傷したバネを示している。
損傷検出機構は、図１および図２に示すように損傷検出器５０と位置検出器７０とからなる。
損傷検出器５０は、クランプ５におけるバネ２８の損傷の有無を検知するセンサであり、バネ損傷を検出できれば、どのような検出器を用いてもよい。図示の実施形態における損傷検出器５０は、以下のように構成されている。
図１および図２において、（Ａ）はバネ２８が正常なクランプ５を示し、（Ｂ）はバネが損傷したクランプ５を示している。符号２８´は折れたり金属疲労をしてバネ力が不足する損傷したバネを示している。
【0023】
損傷検出器５０は、基板５１上に押付け部５２と反力検知部５６を取付けている。押付け部５２はロッド５３とその外周に嵌めた圧縮バネ５４と制御箱５５とを有している。
ロッド５３は、その下方部分が制御箱５５内に挿入されており、その上端は台板６１に固定されている。制御箱５５内には、ロッド５３の昇降を許容する案内機構が内蔵されている。
ロッド５３は、その下方部分が制御箱５５内に挿入されており、その上端は台板６１に固定されている。制御箱５５内には、ロッド５３の昇降を許容する案内機構が内蔵されている。
【0024】
反力検知部５６は、ロッド５７とセンサ５８と制御箱５９とを有している。ロッド５７は、その下方部分が制御箱５９内で昇降可能に支持されており、その上端は前記台板６１に固定されている。ロッド５７の長手方向の適所には細径に形成された被検知部５７ａが形成されている。センサ５８は、無接触の近接センサとか、接触式のリミットスイッチなどが用いられる。
図１および図２の（Ａ）図に示すように、被検知部５７ａがセンサ５８から離れているときは検知信号を出さないが、図１および図２の（Ｂ）図に示すように、被検知部５７ａがセンサ５８に接近して対面すると検知信号を出すことができる。
図１および図２の（Ａ）図に示すように、被検知部５７ａがセンサ５８から離れているときは検知信号を出さないが、図１および図２の（Ｂ）図に示すように、被検知部５７ａがセンサ５８に接近して対面すると検知信号を出すことができる。
【0025】
前記台板６１にはブラケットを介してローラ６２が回転自在に取付けられている。このローラ６２は押付け部５２の作用によって上昇し、また、クランプ５のローラ２９によって押し下げられる。
上記のように構成された損傷検出器５０は、クランプ５が移動する移動区間の適所に設置されている。本明細書では、この設置場所を検出位置ということがある。
上記のように構成された損傷検出器５０は、クランプ５が移動する移動区間の適所に設置されている。本明細書では、この設置場所を検出位置ということがある。
【0026】
図１および図２の（Ａ）図に示すように、クランプ５が損傷検出器５０を設置した検出位置に移動してきたときは、クランプ５のローラ２９が損傷検出器５０のローラ６２を押し下げる。このとき、クランプ５のバネ２８が正常であれば、反力検知部５６のロッド５７を押し下げるので、被検知部５７ａはセンサ５８から離れてしまう。このため、センサ５８は検知信号を出さない。
【0027】
図１および図２の（Ｂ）図に示すように、クランプ５のバネ２８´が損傷している場合は、ローラ２９の押し下げ力が不足する。このため、損傷検出器５０のローラ６２は押し下げられず上昇した状態のままとなる。
この場合、反力検知部５６のロッド５７も上昇しているので、被検知部５７ａがセンサ５８に対面するまで接近して検知信号を出す。これにより、クランプ５のバネ２８´の損傷を検知することができる。
以上のように、損傷検出器５０はクランプ５のバネ２８の反力の大小によって、バネ２８の損傷の有無を検知することができる。
この場合、反力検知部５６のロッド５７も上昇しているので、被検知部５７ａがセンサ５８に対面するまで接近して検知信号を出す。これにより、クランプ５のバネ２８´の損傷を検知することができる。
以上のように、損傷検出器５０はクランプ５のバネ２８の反力の大小によって、バネ２８の損傷の有無を検知することができる。
【0028】
前記位置検出器７０は、クランプ５のバネ損傷を検出する検出位置に位置していることを検知するセンサである。この位置検出ができれば、どのような検出器を用いてもよいが、図示の実施形態における位置検出器７０は、公知の近接センサ７１で構成されている。近接センサ７１での検知を確実にするため、クランプ５の適所、たとえば吊持板２１には板状あるいは箱状の被検知体７２が取付けられている。なお、吊持板２１を直接検出してもよい。
この位置検出器７０は、複数のクランプ５が等間隔に間隔をあけた状態で移動するとき、互いに隣接するクランプ５，５間の隙間の部分での損傷検出器５０の検出結果をキャンセルし、クランプ５が対面している状態での損傷検出器５０の検出結果を利用するために設けられている。
この位置検出器７０は、複数のクランプ５が等間隔に間隔をあけた状態で移動するとき、互いに隣接するクランプ５，５間の隙間の部分での損傷検出器５０の検出結果をキャンセルし、クランプ５が対面している状態での損傷検出器５０の検出結果を利用するために設けられている。
【0029】
本発明における損傷検出器５０と位置検出器７０とは、クランプ５の移動経路のどこに設置してもよい。つまり、クランプ５が基材フィルムＦを把持して移動する把持区間であっても、クランプ５が基材フィルムＦを把持しないで移動する非把持区間であってもよい。把持区間は、図５に示すめっき装置Ａにおいて、入側ガイドローラ６から第１中間ガイドローラ７、第２中間ガイドローラ８、そして出側ガイドローラ９までの区間である。この場合、損傷しているバネ２８´をもつクランプ５は基材フィルムＦを把持してない可能性があるが、両隣のクランプ５，５で基材フィルムＦが把持されている。
非把持区間は、図５に示すめっき装置Ａにおいて、出側ガイドローラ９から入側ガイドローラ６までの区間である。この非把持区間では、損傷しているバネ２８´をもつクランプ５も、正常なバネ２８をもつクランプ５も基材フィルムＦを把持していない。
非把持区間は、図５に示すめっき装置Ａにおいて、出側ガイドローラ９から入側ガイドローラ６までの区間である。この非把持区間では、損傷しているバネ２８´をもつクランプ５も、正常なバネ２８をもつクランプ５も基材フィルムＦを把持していない。
【0030】
クランプ５は、基材フィルムＦを把持している状態でも把持していない状態でも、基材フィルムＦは薄いので、バネ２８で押されているローラ２９の高さ位置はほぼ同じである。ゆえに、損傷検出機構は把持区間に設けた場合でも、非把持区間に設けた場合でも、損傷検出器５０のローラ６２がクランプ５のローラ２９からほぼ等しい押し下げ圧力を受けることによって、バネ２８の損傷検出が行える。
【0031】
もっとも、クランプ５の修理等の便宜を考慮すると、前処理槽１とめっき槽２と後処理槽３からなるめっき設備の存在しない区間に損傷検出機構（損傷検出器５０および位置検出器７０）を設けることが好ましい。この場合、クランプ５のバネ損傷を検出したときのクランプ５の修理、交換等の保守作業が容易に行える。
【0032】
図３は損傷検出器５０の検出結果を示している。図３は５本のクランプ５を例示しており、そのうち真中のクランプ５´が損傷したバネ２８´をもつクランプと仮定する。この場合、真中のクランプ５´については、図１（Ｂ）に示すように、損傷したバネ２８´の付勢力が不足するので、損傷検知器５０のローラ６２を押し下げることができず、図２（Ｂ）に示すように、ロッド５７の被検知部５７ａをセンサ５８が検出する。この検知動作により、クランプ５のバネ２８´の損傷を検出することができる。
【0033】
図３に示す正常な４台のクランプ５については、図１（Ａ）に示すように、正常なバネ２８によってローラ２９が損傷検出器５０のローラ６２を押し下げるので、図２（Ａ）に示すように、ロッド５７の被検知部５７ａをセンサ５８が検知することができない。
バネ２８の状態を、正常を○、損傷を×で示し、そのＯＮとＯＦＦで示すと図３のとおりである。このようにして、バネ２８の反力を利用してバネに損傷がある真中のクランプ５´をバネ不良が発生したものとして検出することができる。
バネ２８の状態を、正常を○、損傷を×で示し、そのＯＮとＯＦＦで示すと図３のとおりである。このようにして、バネ２８の反力を利用してバネに損傷がある真中のクランプ５´をバネ不良が発生したものとして検出することができる。
【0034】
図４は位置検出器７０の情報も加味した検出結果を示している。損傷検出器５０のみでは、隣接するクランプ５，５間の隙間においても、損傷検出器５０のローラ６２を押し下げる力は働かないので、図１（Ｂ）に示すバネ損傷時と同様に、損傷検出器５０のロッド５７は上昇しており、被検知部５７ａをセンサ５８が検出することになる。しかしながら、これは誤検出となる。
そこで、図１および図２に示すように、前記損傷検出器５０の設置位置の上方には位置検出器７０が設置されている。この位置検出器７０によって、検出位置にクランプ５が来たことを検知することができる。
そこで、図１および図２に示すように、前記損傷検出器５０の設置位置の上方には位置検出器７０が設置されている。この位置検出器７０によって、検出位置にクランプ５が来たことを検知することができる。
【0035】
図４において位置検出器７０の欄に立上り信号が描かれているＯＮ状態は、クランプ５が検出位置に位置している状態であり、立上り信号が描かれていないＯＦＦ状態はクランプ５が検出位置に来ていない状態である。
【0036】
図４に示すように、位置検出器７０の検出結果がＯＮであり、損傷検出器５０の検出結果がＯＮであるときは、クランプ５のバネ２８は正常である。位置検出器７０の検出結果がＯＦＦで、損傷検出器５０の検出結果もＯＦＦのときは、クランプ５の隣りの隙間を対象として検知しているので、この検出結果はキャンセルすることになる。位置検出器７０の検出結果がＯＮにも拘らず、損傷検出器５０の検出結果がＯＦＦ（点線で示した立上り信号）のときは、バネ２８´の損傷を検知したと判断することができる。このようにして、バネ損傷の生じたクランプ５´を容易かつ確実に特定することができる。
【0037】
（他の実施形態）
上記実施形態では、損傷検出器５０の押付け部５２を移動してきたクランプ５のローラ２９で押し下げたが、その代わりに、クランプ５のローラ２９を損傷検出器５０の押付け部５２で押し上げるようにしてもよい。この構成によっても、バネ２８の反力を利用して、バネ２８の損傷の有無を検知することができる。
上記実施形態では、損傷検出器５０の押付け部５２を移動してきたクランプ５のローラ２９で押し下げたが、その代わりに、クランプ５のローラ２９を損傷検出器５０の押付け部５２で押し上げるようにしてもよい。この構成によっても、バネ２８の反力を利用して、バネ２８の損傷の有無を検知することができる。
【0038】
上記実施形態では、損傷検出器５０と位置検出器７０とで損傷検出機構を構成したが、位置検出器７０を用いない損傷検出機構を構成することもできる。
たとえば、基材フィルムＦを把持するためクランプ５を開かせるのにローラ２９を徐々に押し上げていく傾斜カムを設けた実施形態では、つぎの構成が可能である。つまり、傾斜カムの途中にバネ２８によって生ずるローラ２９からの押圧力を検知する圧力センサなどを設けておけば、その位置は検出位置となり、その圧力センサは損傷検出器として機能する。この構成ではクランプ５が位置するときのみ検知信号を出すので、位置検出器７０を設けなくてもよくなる。また、圧力センサの代わりにローラ２９の押圧力を重量計で計測してもよい。この場合でも位置検出器７０を設ける必要はなくなる。
たとえば、基材フィルムＦを把持するためクランプ５を開かせるのにローラ２９を徐々に押し上げていく傾斜カムを設けた実施形態では、つぎの構成が可能である。つまり、傾斜カムの途中にバネ２８によって生ずるローラ２９からの押圧力を検知する圧力センサなどを設けておけば、その位置は検出位置となり、その圧力センサは損傷検出器として機能する。この構成ではクランプ５が位置するときのみ検知信号を出すので、位置検出器７０を設けなくてもよくなる。また、圧力センサの代わりにローラ２９の押圧力を重量計で計測してもよい。この場合でも位置検出器７０を設ける必要はなくなる。
【0039】
上記実施形態では、損傷検出器５０と位置検出器７０とは図１および図２に示す例では、同じ場所に設置しているが、必ずしも同じ場所に設置する必要はない。損傷検出器５０と位置検出器７０とは離れた場所に設置されていても、いずれかのクランプが対面する位置であればよい。なぜなら、隣接するクランプ５，５同士は等間隔に配置されているからである。
【0040】
（めっき方法）
つぎに、本発明に係るめっき方法を説明する。代表的には本発明のめっき方法は、上記しためっき装置Ａを用いて実施される。
上記めっき装置Ａにおいて、長尺帯状の基材フィルムＦを複数のクランプ５で把持して、前処理槽１、めっき槽２、および後処理槽３を順に移動させて、基材フィルムＦの表面にめっき層を形成する。
そして、クランプ５の移動経路のうち損傷検出機構（損傷検出器５０および位置検出器７０）を設置した検出位置において、クランプ５のバネ２８の損傷有無が検出される。
つぎに、本発明に係るめっき方法を説明する。代表的には本発明のめっき方法は、上記しためっき装置Ａを用いて実施される。
上記めっき装置Ａにおいて、長尺帯状の基材フィルムＦを複数のクランプ５で把持して、前処理槽１、めっき槽２、および後処理槽３を順に移動させて、基材フィルムＦの表面にめっき層を形成する。
そして、クランプ５の移動経路のうち損傷検出機構（損傷検出器５０および位置検出器７０）を設置した検出位置において、クランプ５のバネ２８の損傷有無が検出される。
【0041】
複数のクランプ５のうち、いずれかのクランプ５のバネ２８に損傷が生ずると、損傷検出器５０が損傷が生じたバネ２８´をもつクランプ５を検知するので、速やかにクランプ５の修理作業を行える。したがって、クランプの保守点検のための時間と工数も軽減できる。
【0042】
本発明のめっき方法においても、基材フィルムＦの材質が樹脂フィルムであり、これに下地金属層を介して銅をめっき成膜すれば、製品フィルムとしての銅張積層板が得られる。
【産業上の利用可能性】
【0043】
上記各実施形態では、めっきされた製品フィルムとして銅張積層板を例示したが、本発明はこれに限られず、たとえば、Ｎｉめっきフィルムなど種々のめっき膜成形フィルムの製造に適用できる。また、本発明は、フィルムを保持して搬送する装置であればあらゆる装置、たとえば無電解めっき装置や加熱処理装置などにも適用できる。
【符号の説明】
【0044】
Ａ めっき装置
Ｆ 基材フィルム
１ 前処理槽
２ めっき槽
３ 後処理槽
４ エンドレスベルト
５ クランプ
２５ 挟持部
２６ レバー
２８ コイルバネ
２９ ローラ
５０ 損傷検出器
５２ 押付け部
５６ 反力検知部
５８ センサ
７０ 位置検出器
７１ 近接センサ
７２ 被検知体
Ｆ 基材フィルム
１ 前処理槽
２ めっき槽
３ 後処理槽
４ エンドレスベルト
５ クランプ
２５ 挟持部
２６ レバー
２８ コイルバネ
２９ ローラ
５０ 損傷検出器
５２ 押付け部
５６ 反力検知部
５８ センサ
７０ 位置検出器
７１ 近接センサ
７２ 被検知体
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
