レシピ選択のための現在の方法は、光学コントラストの使用、又は測定品質の異なる側面を測定焦点及び波長の関数として特徴付けるいくつかのメトリックの組み合わせ、のいずれかを使用することに依存している。これらのメトリックは正規化され、単一の融合スコアに結合される。レシピ選択の現在の方法には欠点がある。第１に、単一のスコアに結合されるメトリックの選択は主観的であり、どのメトリックを使用するか、そしてメトリックをどのように重み付けし、正規化するかに関するユーザの決定に依存する。第２に、メトリックが正規化されるため、レシピを区別するためのダイナミックレンジが制限される。これは、スコアの飽和と測定条件の曖昧さをもたらす。その結果、レシピ選択の現在の方法は、低品質又は不安定なレシピの選択を引き起こす場合がある。したがって、で特定されたような以前のアプローチの欠点を解決するためのシステム及び方法を提供することが望ましいであろう。

計測システムが開示される。１つの実施形態では、システムは計測サブシステムに結合可能なコントローラを含み、コントローラはプログラム命令を実行するように構成された１つ以上のプロセッサを含む。１つの実施形態では、１つ以上のプロセッサは、サンプル上に配置された第１の計測ターゲットの複数の画像信号を計測サブシステムから受信するように構成される。別の実施形態では、１つ以上のプロセッサは、複数の高調波検出・・・　続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る