特許 7450412 ノズルユニット及びノズルユニットの使用方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-03-07

(45)【発行日】2024-03-15

(54)【発明の名称】ノズルユニット及びノズルユニットの使用方法

(51)【国際特許分類】

   B05C 11/10 20060101AFI20240308BHJP

   H01L 21/56 20060101ALI20240308BHJP

【ＦＩ】

B05C11/10

H01L21/56 E

【請求項の数】 8

(21)【出願番号】P 2020040121

(22)【出願日】2020-03-09

(65)【公開番号】P2021137777

(43)【公開日】2021-09-16

【審査請求日】2023-01-13

(73)【特許権者】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】110002147

【氏名又は名称】弁理士法人酒井国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】竹田 祥平

(72)【発明者】

【氏名】樋口 大地

【審査官】清水 晋治

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１０－１６４７２２（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ０５Ｃ ５／００－２１／００

Ｈ０１Ｌ ２１／５６

Ｂ０５Ｂ １２／１６－１２／３６

１４／００－１６／８０

Ｂ０５Ｄ １／００－７／２６

Ｂ６５Ｄ ３５／４４－３５／５４

３９／００－５５／１６

８３／００

８３／０８－８３／７６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

液体が充填されたタンクに差し込まれるノズルユニットであって、
該ノズルユニットは、
該タンクに形成された開口を覆うキャップと、
該キャップに形成された貫通孔内に差し込まれて該タンクに取り付けられるとともに、該タンクから取り外される際に該キャップを該タンクに固定した状態で該貫通孔内から抜き取られるノズルと、
該貫通孔に固定された環状のワイパーと、を含み、
該環状のワイパーは、該タンクに固定された該キャップに対して該ノズルを抜く際に、内周がノズルの外周に接触して該ノズルの外周に付着した該液体がタンク内に滴下することを特徴とするノズルユニット。

【請求項2】

該ノズルユニットは、
開閉弁を有するエア供給チューブを介して該ノズルと接続されるエア供給源と、
該開閉弁を制御する制御ユニットと、をさらに備え、
該ノズルを抜き取る前に、該エア供給源からエアを供給し、該ノズル内部に残存する該液体を該タンク内に落下させることを特徴とする、請求項１に記載のノズルユニット。

【請求項3】

該環状のワイパーはＯリングであることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のノズルユニット。

【請求項4】

該環状のワイパーは、該貫通孔の内周側の、該タンクが装着される側の端部に固定されることを特徴とする請求項３に記載のノズルユニット。

【請求項5】

該環状のワイパーは、該タンクの下方に向かうほどに縮径する逆テーパー状かつ環状かつ弾性部材で形成されることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のノズルユニット。

【請求項6】

該液体は、半導体ウエーハを被覆する樹脂であって、
該ノズルは、半導体ウエーハの加工装置に接続されることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のノズルユニット。

【請求項7】

請求項１に記載の該ノズルユニットの使用方法であって、
液体が充填された該タンクに固定された該キャップに形成された該貫通孔内に該ノズルを差し込むことで該ノズルを該タンクに取り付けるノズル差し込みステップと、
該ノズルによって該タンクから液体使用装置に該液体を供給する液体供給ステップと、
該タンクに該キャップを固定した状態で該貫通孔内から該ノズルを抜き取ることで該ノズルを該タンクから取り外す抜き取りステップと、
該抜き取りステップの実施後に、該タンクからキャップを外すキャップ外しステップと、を備え、
該抜き取りステップにおいて、該ノズルの外周が該環状のワイパーの内周に接触しながら抜き取られることで、該ノズルの外周に付着した該液体がタンク内に滴下することを特徴とするノズルユニットの使用方法。

【請求項8】

該ノズルユニットは、
開閉弁を有するエア供給チューブを介して該ノズルと接続されるエア供給源と、
該開閉弁を制御する制御ユニットと、をさらに備え、
該抜き取りステップの実施前に、該エア供給源から該ノズルにエアを供給し、該ノズルの内部に残存する該液体を該タンク内に落下させるエア供給ステップと、
を有することを特徴とする、請求項７に記載のノズルユニットの使用方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ノズルユニット及びノズルユニットの使用方法に関する。

【背景技術】

【0002】

液体が充填されたタンクの中にノズルが差し込まれる形態が知られている（特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２０１４－０４４９７３号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

液体が充填されたタンクの中に差し込まれたノズルを取り出し、タンクを交換する場合、ノズルの内部または外周に付着した液体がタンクの周辺に飛散し、汚れが生じるという問題があった。

【0005】

本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、ノズルをタンクから抜く際に、液体が飛散する事を防止できるノズルユニット及びノズルユニットの使用方法を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0006】

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明のノズルユニットは、液体が充填されたタンクに差し込まれるノズルユニットであって、該ノズルユニットは、該タンクに形成された開口を覆うキャップと、該キャップに形成された貫通孔内に差し込まれて該タンクに取り付けられるとともに、該タンクから取り外される際に該キャップを該タンクに固定した状態で該貫通孔内から抜き取られるノズルと、該貫通孔に固定された環状のワイパーと、を含み、該環状のワイパーは、該タンクに固定された該キャップに対して該ノズルを抜く際に、内周がノズルの外周に接触して該ノズルの外周に付着した該液体がタンク内に滴下することを特徴とする。

【0007】

該ノズルユニットは、開閉弁を有するエア供給チューブを介して該ノズルと接続されるエア供給源と、該開閉弁を制御する制御ユニットと、をさらに備え、該ノズルを抜き取る前に、該エア供給源からエアを供給し、該ノズル内部に残存する該液体を該タンク内に落下させてもよい。

【0008】

該環状のワイパーはＯリングであってもよい。また、該環状のワイパーは、該貫通孔の内周側の、該タンクが装着される側の端部に固定されていてもよい。

【0009】

該環状のワイパーは、該タンクの下方に向かうほどに縮径する逆テーパー状かつ環状かつ弾性部材で形成されていてもよい。

【0010】

該液体は、半導体ウエーハを被覆する樹脂であって、該ノズルは、半導体ウエーハの加工装置に接続されていてもよい。

【0011】

また、上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明のノズルユニットの使用方法は、上記した該ノズルユニットの使用方法であって、液体が充填された該タンクに固定された該キャップに形成された該貫通孔内に該ノズルを差し込むことで該ノズルを該タンクに取り付けるノズル差し込みステップと、該ノズルによって該タンクから液体使用装置に該液体を供給する液体供給ステップと、該タンクに該キャップを固定した状態で該貫通孔内から該ノズルを抜き取ることで該ノズルを該タンクから取り外す抜き取りステップと、該抜き取りステップの実施後に、該タンクからキャップを外すキャップ外しステップと、を備え、該抜き取りステップにおいて、該ノズルの外周が該環状のワイパーの内周に接触しながら抜き取られることで、該ノズルの外周に付着した該液体がタンク内に滴下することを特徴とする。

【0012】

該ノズルユニットは、開閉弁を有するエア供給チューブを介して該ノズルと接続されるエア供給源と、該開閉弁を制御する制御ユニットと、をさらに備え、該抜き取りステップの実施前に、該エア供給源から該ノズルにエアを供給し、該ノズルの内部に残存する該液体を該タンク内に落下させるエア供給ステップと、をさらに有していてもよい。

【発明の効果】

【0013】

本発明は、ノズルをタンクから抜く際に、液体が飛散する事を防止できる。

【図面の簡単な説明】

【0014】

【図1】図１は、実施形態１に係るノズルユニットが使用される半導体装置の構成例を示す断面図である。

【図2】図２は、実施形態１に係るノズルユニットの構成例を示す断面図である。

【図3】図３は、実施形態１に係るノズルユニットの使用方法の処理の手順の一例を示すフローチャートである。

【図4】図４は、実施形態２に係るノズルユニットの構成例を示す断面図である。

【図5】図５は、変形例１に係るノズルユニットの構成例を示す断面図である。

【図6】図６は、変形例２に係るノズルユニットの構成例を示す断面図である。

【図7】図７は、変形例３に係るノズルユニットの構成例を示す断面図である。

【図8】図８は、変形例４に係るノズルユニットの構成例を示す断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0015】

本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。

【0016】

〔実施形態１〕
本発明の実施形態１に係るノズルユニット１及びノズルユニットの使用方法を図面に基づいて説明する。まず、実施形態１に係るノズルユニット１が使用される半導体装置１００について、以下に説明する。図１は、実施形態１に係るノズルユニット１が使用される半導体装置１００の構成例を示す断面図である。半導体装置１００は、図１に示すように、保持部１１０と、テーブル１２０と、樹脂供給部１３０と、昇降部１４０と、硬化部１５０と、制御部１６０と、を備える。半導体装置１００は、半導体ウエーハ２００の加工装置の一例であり、半導体ウエーハ２００の一方の面に樹脂３００を被覆する樹脂貼り機としての機能を有する。

【0017】

半導体装置１００が樹脂３００を被覆する対象である半導体ウエーハ２００は、実施形態１では、例えば、シリコン、サファイア、シリコンカーバイド（ＳｉＣ）、ガリウムヒ素などを母材とする円板状の半導体ウエーハや光デバイスウエーハ等である。半導体ウエーハ２００は、平坦な表面の格子状に形成される複数の分割予定ラインによって区画された領域に半導体デバイスが形成されている。

【0018】

半導体装置１００が半導体ウエーハ２００に被覆する樹脂３００は、実施形態１では、０．５Ｐａ・ｓ以上４００Ｐａ・ｓ以下の粘度を有するが、本発明ではこれに限定されない。半導体装置１００が半導体ウエーハ２００に被覆する樹脂３００は、実施形態１では、紫外線硬化性樹脂であるが、本発明ではこれに限定されず、熱硬化性樹脂でもよい。樹脂３００は、紫外線硬化性樹脂である場合、例えば、紫外線硬化性樹脂等の硬化性樹脂成分と、アクリル系ポリマー等のバインダーポリマー成分とで構成される。また、樹脂３００は、熱硬化性樹脂である場合、例えば、エポキシ樹脂やフェノール樹脂等の熱硬化性樹脂成分と、アクリル系ポリマー等のバインダーポリマー成分とで構成される。また、樹脂３００は、本発明では、紫外線硬化性樹脂と熱硬化性樹脂とを混合したものでもよい。

【0019】

保持部１１０は、下方側の端部に、上方側から半導体ウエーハ２００の一方の面を吸引保持する。保持部１１０は、半導体ウエーハ２００を保持する平坦な保持面１１１が下面に形成されかつ多数のポーラス孔を備えたポーラスセラミック等から構成された円盤形状の吸着部と、吸着部を下面中央部の窪み部に嵌め込んで固定する枠体とを備えた円盤形状である。保持部１１０は、吸着部が、図示しない真空吸引経路を介して図示しない真空吸引源と接続され、保持面１１１全体で、半導体ウエーハ２００を吸引保持する。保持部１１０は、昇降部１４０により鉛直方向に移動自在に設けられている。

【0020】

テーブル１２０は、半導体ウエーハ２００の直径より少し大きい内径の凹面１２１を有する。テーブル１２０は、凹面１２１で、凹面１２１より少し大きく形成されたシート１２２を保持する。テーブル１２０は、凹面１２１で保持したシート１２２上に、樹脂供給部１３０から液状の樹脂３００が供給される。

【0021】

シート１２２の材料は、実施形態１では、紫外線の少なくとも一部を透過する材料等であり、例えば、ポリオレフィン（Poly Olefin、ＰＯ）やポリエチレンテレフタレート（Poly Ethylene Terephthalate、ＰＥＴ）等が採用される。

【0022】

樹脂供給部１３０は、ポンプ１３１と、供給ノズル１３２と、を備える。ポンプ１３１は、制御部１６０により制御される。ポンプ１３１は、実施形態１に係るノズルユニット１を介して、タンク５０に貯留された液状の樹脂３００を吸い上げ、供給ノズル１３２に供給する。供給ノズル１３２は、先端に形成された供給口側がテーブル１２０の凹面１２１で保持したシート１２２上に向けて配置されている。供給ノズル１３２は、ポンプ１３１によってタンク５０から吸い上げられて供給された液状の樹脂３００を、テーブル１２０の凹面１２１で保持したシート１２２上に供給する。

【0023】

昇降部１４０は、制御部１６０により制御される。昇降部１４０は、保持部１１０を昇降移動させることで、保持部１１０をテーブル１２０に対して相対的に接近させたり離間させたりする。昇降部１４０は、保持部１１０をテーブル１２０に十分に接近させてから、さらに下降方向に駆動することで、保持部１１０に保持された半導体ウエーハ２００とテーブル１２０の凹面１２１で保持したシート１２２との間で樹脂３００を昇降方向に沿って押し広げたり、半導体ウエーハ２００に対して樹脂３００を昇降方向に沿って押し付けたりする。

【0024】

硬化部１５０は、テーブル１２０及び凹面１２１で保持したシート１２２を介して、シート１２２上に供給された液状の樹脂３００を硬化させる。硬化部１５０は、実施形態１では樹脂３００が紫外線硬化性樹脂であるので、紫外線を照射することで、樹脂３００を紫外線硬化させるものである。このため、テーブル１２０及びシート１２２は、実施形態１では、紫外線の少なくとも一部を透過する材料等で構成される。なお、硬化部１５０は、本発明ではこれに限定されず、例えば、樹脂３００が熱硬化性樹脂である場合、加熱することで樹脂３００を熱硬化させるものであり、このため、テーブル１２０及びシート１２２は、十分に熱伝導性と耐熱性を有する材料等で構成される。

【0025】

制御部１６０は、各部及び各機構を制御して、半導体装置１００に樹脂貼り機としての各動作を実施させるものである。制御部１６０は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）のようなマイクロプロセッサを有する演算処理装置と、ＲＯＭ（Read Only Memory）又はＲＡＭ（Random Access Memory）のようなメモリを有する記憶装置と、入出力インターフェース装置とを有するコンピュータである。制御部１６０の演算処理装置は、記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムに従って演算処理を実施して、半導体装置１００を制御するための制御信号を、入出力インターフェース装置を介して半導体装置１００の各部及び各機構に出力する。

【0026】

半導体装置１００は、まず、保持部１１０の下方に半導体ウエーハ２００を供給し、保持部１１０の保持面１１１で上方から半導体ウエーハ２００を吸引保持する。半導体装置１００は、また、テーブル１２０の凹面１２１上にシート１２２を供給し、テーブル１２０の凹面１２１で下方からシート１２２を保持する。半導体装置１００は、そして、ポンプ１３１により、タンク５０から液状の樹脂３００を吸い上げて供給ノズル１３２に供給し、供給ノズル１３２によりその液状の樹脂３００をテーブル１２０の凹面１２１で保持したシート１２２上に供給する。

【0027】

半導体装置１００は、保持部１１０で半導体ウエーハ２００を吸引保持し、テーブル１２０の凹面１２１でシート１２２を介して液状の樹脂３００を保持した状態で、昇降部１４０により、保持部１１０とテーブル１２０とを相対的に接近させて、半導体ウエーハ２００と液状の樹脂３００とを接触させる。半導体装置１００は、昇降部１４０により、さらに保持部１１０とテーブル１２０とを相対的に接近させる方向に圧力を印加することで、樹脂３００を半導体ウエーハ２００に対して押圧するとともに、硬化部１５０により樹脂３００を硬化させることにより、半導体ウエーハ２００上に樹脂３００を貼り付け、被覆させる。

【0028】

次に、実施形態１に係るノズルユニット１について、以下に説明する。図２は、実施形態１に係るノズルユニット１の構成例を示す断面図である。実施形態１に係るノズルユニット１は、図２に示すように、キャップ１１と、ノズル１２と、ワイパー１３と、を含む。

【0029】

キャップ１１は、概ね板状の部材であり、タンク５０に対して着脱可能であり、タンク５０に上方から装着された際に、タンク５０の上方に形成された開口５１をさらに上方から覆う。キャップ１１は、樹脂３００に対して化学的に十分に安定な材料で構成されている。キャップ１１は、中央に円筒状の貫通孔１４が形成されている。キャップ１１の貫通孔１４は、キャップ１１がタンク５０に装着された際に、タンク５０の開口５１の一部と連通する。

【0030】

ノズル１２は、概ね管状の部材であり、略円筒状の外周１５が形成されている。ノズル１２は、樹脂３００に対して化学的に十分に安定な材料で構成されている。ノズル１２の外周１５の外周径は、キャップ１１の貫通孔１４の内周径よりも少し小さい。このため、ノズル１２は、キャップ１１の貫通孔１４に対して抜き差し可能である。ノズル１２は、一方側がキャップ１１の貫通孔１４に対して抜き差しされ、他方側が樹脂供給部１３０に接続されて連通される。ノズル１２は、一方側がキャップ１１の貫通孔１４に差し込まれて、一方側の先端がタンク５０内に貯留された液状の樹脂３００に浸されると、ポンプ１３１の作動に応じて、樹脂３００をタンク５０内から吸い上げて他方側の樹脂供給部１３０に供給する。

【0031】

ワイパー１３は、環状であり、キャップ１１の貫通孔１４の内周側の、タンク５０が装着される側の端部に固定されている。ワイパー１３は、ワイパー１３の内周１６が、貫通孔１４の内周面よりもさらに内周側に向けて突出して設けられている。また、ワイパー１３の内周１６の内周径は、ノズル１２の外周１５の外周径と同じまたは僅かに小さい。このため、ノズル１２を抜き差しする際にワイパー１３の内周１６がノズル１２の外周１５に接触する。ワイパー１３は、実施形態１では、弾性材料で形成されたＯリングである。

【0032】

ノズルユニット１は、図２に示すように、キャップ１１をタンク５０に固定した状態でノズル１２の一方側をタンク５０から抜き出す際に、ノズル１２がキャップ１１の貫通孔１４に対して相対的に鉛直方向の上方に向けて抜き取られる。このため、ノズルユニット１は、このようにノズル１２をタンク５０から抜き出す際に、ワイパー１３の内周１６がノズル１２の外周１５に接触し、ノズル１２の外周１５の壁面に付着した液状の樹脂３００をタンク５０内に滴下させる。なお、実施形態１における液状の樹脂３００は、本発明に係る液体の一例である。本発明に係る液体は、実施形態１における液状の樹脂３００に限定されず、タンク５０に貯留可能であれば、どのような液体であってもよい。

【0033】

実施形態１に係るノズルユニット１は、図２に示すように、エア供給源２１と、エア供給チューブ２２と、開閉弁２３と、制御ユニット２４と、をさらに備える。

【0034】

エア供給源２１は、樹脂３００に対して化学的に十分に安定なエアを供給する。エア供給源２１は、実施形態１では、例えば、圧縮空気や、窒素ガス等をエアとして供給する。エア供給源２１は、エア供給チューブ２２を介してノズル１２と接続される。エア供給源２１は、ノズル１２の、キャップ１１に対してタンク５０とは反対側の位置に接続される。

【0035】

エア供給チューブ２２は、エア供給源２１とノズル１２とを接続する。エア供給チューブ２２は、エア供給源２１が供給するエアに対して化学的に十分に安定な材料で構成されている。

【0036】

開閉弁２３は、エア供給チューブ２２に設置されている。開閉弁２３は、開状態の時にエア供給チューブ２２の内部を連通状態、接続状態とし、閉状態の時にエア供給チューブ２２の内部を断絶状態とする。制御ユニット２４は、開閉弁２３の開閉を制御する。制御ユニット２４は、実施形態１では、上記した制御部１６０と同様のコンピュータである。

【0037】

実施形態１に係るノズルユニット１は、上記したようにノズル１２をタンク５０から抜き取る前に、制御ユニット２４により開閉弁２３を開状態とすることでエア供給源２１からノズル１２の内部にエアを供給し、供給したエアにより、ノズル１２の内部に残存する液状の樹脂３００をタンク５０内に落下させる。

【0038】

なお、実施形態１に係るノズルユニット１は、タンク５０から半導体装置１００に液体を供給する場合、エア供給源２１、エア供給チューブ２２、開閉弁２３及び制御ユニット２４を備えることに代えて、上記したようにノズル１２をタンク５０から抜き取る前に、半導体装置１００のポンプ１３１を利用して、半導体装置１００に液状の樹脂３００を供給するときとは反対向きにポンプ１３１を作動させて、ノズル１２の内部に残存する液状の樹脂３００をタンク５０内に落下させてもよい。

【0039】

次に、本明細書は、実施形態１に係るノズルユニット１の使用方法（ノズルユニットの使用方法）の一例を図面に基づいて説明する。図３は、実施形態１に係るノズルユニットの使用方法の処理の手順の一例を示すフローチャートである。実施形態１に係るノズルユニットの使用方法は、図３に示すように、ノズル差し込みステップ１００１と、液体供給ステップ１００２と、エア供給ステップ１００３と、抜き取りステップ１００４と、キャップ外しステップ１００５と、を備える。

【0040】

実施形態１に係るノズルユニットの使用方法は、ノズルユニット１のノズル１２の他方側が、液体使用装置である半導体装置１００の樹脂供給部１３０に接続された状態で開始する。なお、ノズルユニットの使用方法は、本発明ではこれに限定されず、ノズルユニットの使用方法の開始時に、ノズル１２の他方側が、液体使用装置である半導体装置１００の樹脂供給部１３０に接続されていない場合には、液体供給ステップ１００２を開始するまでに、ノズル１２の他方側が、液体使用装置である半導体装置１００の樹脂供給部１３０に接続されればよい。

【0041】

ノズル差し込みステップ１００１は、液体（液状の樹脂３００）が充填されたタンク５０にノズル１２を差し込むステップである。ノズル差し込みステップ１００１では、具体的には、まず、ノズルユニット１のキャップ１１が、液体（液状の樹脂３００）が充填されたタンク５０の開口５１部分に上方から装着される。ノズル差し込みステップ１００１では、次に、キャップ１１の貫通孔１４に差し込まれたノズル１２の一方側が、タンク５０のある方向である下方に向けてさらに差し込まれることで、その一方側の先端がタンク５０内に貯留された液状の樹脂３００に浸される。

【0042】

液体供給ステップ１００２は、ノズル１２によってタンク５０から液体（液状の樹脂３００）を使用する液体使用装置である半導体装置１００に液体（液状の樹脂３００）を供給するステップである。液体供給ステップ１００２では、ノズル１２が、ポンプ１３１の作動に応じて、樹脂３００をタンク５０内から吸い上げて、吸い上げた樹脂３００を半導体装置１００の樹脂供給部１３０に供給する。液体供給ステップ１００２が終了すると、制御部１６０によりポンプ１３１の作動を停止し、ノズル１２による樹脂３００の樹脂供給部１３０への供給を停止する。

【0043】

エア供給ステップ１００３は、抜き取りステップ１００４の実施前に、エア供給源２１からノズル１２にエアを供給し、ノズル１２の内部に残存する液体（液状の樹脂３００）をタンク５０内に落下させるステップである。エア供給ステップ１００３では、制御ユニット２４により開閉弁２３を開状態とすることでエア供給源２１からノズル１２の内部にエアを供給し、供給したエアにより、ノズル１２の内部に残存する液状の樹脂３００をタンク５０内に落下させる。

【0044】

抜き取りステップ１００４は、タンク５０にキャップ１１を固定した状態で、タンク５０からノズル１２を抜き取るステップである。抜き取りステップ１００４では、ノズル１２の外周１５がワイパー１３の内周１６に接触しながら、ノズル１２がキャップ１１の貫通孔１４に対して相対的に鉛直方向の上方に向けて抜き取られる。抜き取りステップ１００４では、このようにノズル１２が抜き取られる際に、ワイパー１３の内周１６によってノズル１２の外周１５に付着した液体（液状の樹脂３００）が下方に向けて除去される。抜き取りステップ１００４では、ノズル１２の外周１５から除去された液体（液状の樹脂３００）が、そのままタンク５０内に落下するか、もしくは、一旦ワイパー１３の内周１６の下方の端部に付着してからタンク５０内に落下する。抜き取りステップ１００４では、ノズル１２が、ノズル１２の一方側の先端がタンク５０内に貯留された液状の樹脂３００の液面より上方に到達するまで、抜き取られる。

【0045】

キャップ外しステップ１００５は、抜き取りステップ１００４の実施後に、タンク５０からキャップ１１を外すステップである。キャップ外しステップ１００５では、キャップ１１がタンク５０から取り外されることで、ノズルユニット１全体がタンク５０から完全に分離する。これにより、キャップ外しステップ１００５の実施後には、ノズルユニット１のノズル１２の他方側が液体使用装置である半導体装置１００の樹脂供給部１３０に接続された状態を維持され、新しいタンク５０にノズルユニットを固定するだけでタンク５０を交換することを可能にする。

【0046】

以上のような構成を有する実施形態１に係るノズルユニット１及びノズルユニットの使用方法は、キャップ１１をタンク５０に固定した状態でノズル１２をタンク５０から抜き出す際に、ワイパー１３の内周１６がノズル１２の外周１５に接触し、ノズル１２の外周１５の壁面に付着した液体（液状の樹脂３００）をタンク５０内に滴下させる。このため、実施形態１に係るノズルユニット１及びノズルユニットの使用方法は、ノズル１２をタンク５０から抜く際に、ノズル１２の外周１５の壁面に付着した液体（液状の樹脂３００）が飛散する事を防止できるという作用効果を奏する。

【0047】

また、実施形態１に係るノズルユニット１及びノズルユニットの使用方法は、半導体装置１００に接続して使用するので、ノズル１２の外周１５の壁面に付着した液体（液状の樹脂３００）が飛散する事を防止することにより、高いクリーン度が求められる半導体装置１００の設置場所のクリーン度を高く維持することができるという作用効果を奏する。

【0048】

また、実施形態１に係るノズルユニット１及びノズルユニットの使用方法は、ノズル１２をタンク５０から抜き取る前に、エア供給源２１からエアを供給し、ノズル１２の内部に残存する液体（液状の樹脂３００）をタンク５０内に落下させる。このため、実施形態１に係るノズルユニット１及びノズルユニットの使用方法は、ノズル１２をタンク５０から抜く際に、ノズル１２の内部に残存する液体（液状の樹脂３００）が飛散する事を防止できるという作用効果を奏する。

【0049】

また、実施形態１に係るノズルユニット１及びノズルユニットの使用方法は、ワイパー１３がＯリングである。このため、実施形態１に係るノズルユニット１及びノズルユニットの使用方法は、Ｏリングをワイパー１３として、キャップ１１の貫通孔１４の内周側の、タンク５０が装着される側の端部に設けることで、ノズル１２をタンク５０から抜く際に液体（液状の樹脂３００）が飛散する事を防止できるという作用効果を、容易に実現することができる。

【0050】

また、実施形態１に係るノズルユニット１及びノズルユニットの使用方法は、ノズル１２に対してワイパー１３及びエア供給源２１等がユニットとして機構が形成されているので、消耗品であるタンク５０毎にワイパーやエア供給源等を用意する必要がなく、複数の種類のタンク５０に対して使用する際にかかるコストを低減することができる。

【0051】

〔実施形態２〕
本発明の実施形態２に係るノズルユニット１－２及びノズルユニットの使用方法を説明する。図４は、実施形態２に係るノズルユニット１－２の構成例を示す断面図である。図４は、実施形態１と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。

【0052】

実施形態２に係るノズルユニット１－２は、実施形態１に係るノズルユニット１において、図４に示すように、ワイパー１３をワイパー１３－２に変更したものである。ワイパー１３－２は、ワイパー１３と同様に、環状であり、弾性材料で形成された弾性部材であり、キャップ１１の貫通孔１４の内周側の、タンク５０が装着される側の端部に固定されている。

【0053】

ワイパー１３－２は、図４に示すように、内周面１８－２と、外周面１９－２と、を有する。内周面１８－２は、タンク５０の液状の樹脂３００が貯留されている方向である下方に向かうにしたがって、ノズル１２の径方向内側に向かって縮径する逆テーパー状に、傾斜して形成されている。内周面１８－２の傾斜は小さく、このため、内周面１８－２とノズル１２の外周１５との間の空間は、液体（液状の樹脂３００）の滴が残存できないほどに狭い。

【0054】

外周面１９－２は、タンク５０の下方に向かうにしたがって、ノズル１２の径方向内側に向かって縮径する逆テーパー状に形成されている。外周面１９－２の傾斜は内周面１８－２の傾斜より大きく、このため、ワイパー１３－２全体が、下方に向かうほどに縮径する逆テーパー状に形成される。すなわち、ワイパー１３－２の径方向の厚みは、タンク５０の下方に向かうにしたがって細くなっている。

【0055】

ワイパー１３－２の下方に向けて突出した先端部分は、キャップ１１の貫通孔１４の内周面よりもさらに内周側に向けて突出した突状の内周１６－２を形成している。

【0056】

ノズルユニット１－２は、図４に示すように、キャップ１１をタンク５０に固定した状態でノズル１２をタンク５０から抜き出す際に、ワイパー１３－２の内周１６－２がノズル１２の外周１５に接触し、ノズル１２の外周１５の壁面に付着した液状の樹脂３００をタンク５０内に滴下させる。

【0057】

次に、本明細書は、実施形態２に係るノズルユニット１－２の使用方法（ノズルユニットの使用方法）の一例を説明する。実施形態２に係るノズルユニットの使用方法は、実施形態１に係るノズルユニットの使用方法において、抜き取りステップ１００４を変更したものである。実施形態２に係る抜き取りステップ１００４では、ワイパー１３の内周１６に代えてワイパー１３－２の内周１６－２がノズル１２の外周１５に接触しながら、ノズル１２がキャップ１１の貫通孔１４に対して相対的に鉛直方向の上方に向けて抜き取られる。実施形態２に係る抜き取りステップ１００４では、このようにノズル１２が抜き取られる際に、ワイパー１３－２の内周１６－２によってノズル１２の外周１５の壁面に付着した液状の樹脂３００が下方に向けて除去される。

【0058】

実施形態２に係る抜き取りステップ１００４では、ワイパー１３－２の内周１６－２が下方に向かって突出した形状であるため、ノズル１２の外周１５から除去された液体（液状の樹脂３００）が、一旦ワイパー１３－２の内周１６－２の下方の端部に付着してからタンク５０内に落下する場合、自重により、内周１６－２の下方の端部で長く留まることができないため、より確実に、より素早く、タンク５０内に落下する。

【0059】

以上のような構成を有する実施形態２に係るノズルユニット１－２及びノズルユニットの使用方法は、実施形態１に係るノズルユニット１及びノズルユニットの使用方法において、ワイパー１３をワイパー１３－２に変更したものである。このため、実施形態２に係るノズルユニット１－２及びノズルユニットの使用方法は、ワイパー１３がＯリングであることによるものを除き、実施形態１と同様の作用効果を奏するものとなる。

【0060】

また、実施形態２に係るノズルユニット１－２及びノズルユニットの使用方法は、ワイパー１３－２がタンク５０の下方に向かうほどに縮径する逆テーパー状かつ環状かつ弾性部材で形成される。このため、実施形態２に係るノズルユニット１－２及びノズルユニットの使用方法は、ワイパー１３－２の下方及び内周側に向けて突出した突状の内周１６－２により、ノズル１２をタンク５０から抜く際に、ノズル１２の外周１５の壁面に付着した液体（液状の樹脂３００）をより確実により素早くタンク５０内に落下させることができるので、ノズル１２の外周１５の壁面に付着した液体（液状の樹脂３００）が飛散する事をより確実に防止できるという作用効果を奏する。

【0061】

〔変形例１〕
本発明の実施形態１の変形例１に係るノズルユニット１－３及びノズルユニットの使用方法を説明する。図５は、変形例１に係るノズルユニット１－３の構成例を示す断面図である。図５は、実施形態１と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。

【0062】

変形例１に係るノズルユニット１－３は、実施形態１に係るノズルユニット１において、図５に示すように、タンク５０がタンク５０－３に変更されたことに伴い、キャップ１１がキャップ１１－３に変更されたものである。

【0063】

タンク５０－３は、図５に示すように、上方に凸に形成された凸部５２－３の内周側に開口５１－３が形成されており、凸部５２－３の外周にねじ溝５３－３が形成されている。タンク５０－３は、その他の点についてはタンク５０と同様であり、液状の樹脂３００が貯留される。

【0064】

キャップ１１－３は、図５に示すように、タンク５０－３に向けられる下方側に凸部５２－３に嵌合する凹部３１－３が形成され、凹部３１－３の内周に、ねじ溝５３－３に螺合するねじ溝３２－３が形成されている。キャップ１１－３は、その他の点についてはキャップ１１と同様である。キャップ１１－３の凸部５２－３に嵌合する凹部３１－３と、ねじ溝５３－３に螺合するねじ溝３２－３とは、キャップ１１－３とタンク５０－３とを連結する連結ユニットを構成している。

【0065】

次に、本明細書は、変形例１に係るノズルユニット１－３の使用方法（ノズルユニットの使用方法）の一例を説明する。変形例１に係るノズルユニットの使用方法は、実施形態１に係るノズルユニットの使用方法において、ノズル差し込みステップ１００１及びキャップ外しステップ１００５を変更したものである。

【0066】

変形例１に係るノズル差し込みステップ１００１では、凸部５２－３に凹部３１－３を嵌合させつつ、ねじ溝５３－３にねじ溝３２－３を螺合させることで、ノズルユニット１－３のキャップ１１－３が、液体（液状の樹脂３００）が充填されたタンク５０－３の開口５１－３部分に装着される。変形例１に係るキャップ外しステップ１００５では、変形例１に係るノズル差し込みステップ１００１とは反対の動作をすることで、ねじ溝３２－３のねじ溝５３－３との螺合と、凹部３１－３の凸部５２－３との嵌合を解消させて、ノズルユニット１－３のキャップ１１－３がタンク５０－３から取り外される。変形例１に係るノズル差し込みステップ１００１及びキャップ外しステップ１００５は、その他の部分については、実施形態１と同様である。

【0067】

以上のような構成を有する実施形態１の変形例１に係るノズルユニット１－３及びノズルユニットの使用方法は、実施形態１に係るノズルユニット１及びノズルユニットの使用方法において、タンク５０がタンク５０－３に変更されたことに伴い、キャップ１１がタンク５０－３との連結ユニットをさらに備えるキャップ１１－３に変更されたものである。このため、実施形態１の変形例１に係るノズルユニット１－３及びノズルユニットの使用方法は、実施形態１と同様の作用効果を奏するものとなる。また、実施形態１の変形例１に係るノズルユニット１－３及びノズルユニットの使用方法は、さらに、キャップ１１－３の凹部３１－３がタンク５０－３の凸部５２－３に嵌合し、キャップ１１－３のねじ溝３２－３がタンク５０－３のねじ溝５３－３に螺合するので、タンク５０－３に装着したキャップ１１－３がタンク５０－３から外れてしまうことを防止することができる。なお、本発明では、実施形態２について上記した変形例１の変形事項を適用してもよく、この場合にも、上記と同様の作用効果をさらに奏するものとなる。

【0068】

〔変形例２〕
本発明の実施形態１の変形例２に係るノズルユニット１－４及びノズルユニットの使用方法を説明する。図６は、変形例２に係るノズルユニット１－４の構成例を示す断面図である。図６は、実施形態１と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。

【0069】

変形例２に係るノズルユニット１－４は、実施形態１に係るノズルユニット１において、図６に示すように、タンク５０がタンク５０－４に変更されたことに伴い、キャップ１１がキャップ１１－４に変更されたものである。

【0070】

タンク５０－４は、図６に示すように、上方に凸に形成された凸部５２－４の内周側に開口５１－４が形成されており、凸部５２－４の外周に凹凸溝５３－４が形成されている。タンク５０－４は、その他の点についてはタンク５０と同様であり、液状の樹脂３００が貯留される。

【0071】

キャップ１１－４は、図６に示すように、キャップ１１－４の上面から外縁側を跨ぐ方向に回動可能に設けられた爪部材３３－４をさらに備える。爪部材３３－４は、タンク５０－４の下方に向けて垂下する位置に位置付けられると、先端が凹凸溝５３－４に引っ掛かり、係合する。爪部材３３－４は、図６に示す例では、キャップ１１－４の外縁側を跨ぐように２箇所に設けられているが、本発明ではこれに限定されず、３箇所以上に設けられていてもよい。キャップ１１－４は、その他の点についてはキャップ１１と同様である。キャップ１１－４の凹凸溝５３－４に引っ掛かって係合する爪部材３３－４は、キャップ１１－４とタンク５０－４とを連結する連結ユニットを構成している。

【0072】

次に、本明細書は、変形例２に係るノズルユニット１－４の使用方法（ノズルユニットの使用方法）の一例を説明する。変形例２に係るノズルユニットの使用方法は、実施形態１に係るノズルユニットの使用方法において、ノズル差し込みステップ１００１及びキャップ外しステップ１００５を変更したものである。

【0073】

変形例２に係るノズル差し込みステップ１００１では、爪部材３３－４をタンク５０－４の下方に向けて垂下する位置に移動させて、キャップ１１－４の外縁側を跨いで凹凸溝５３－４に係合させることで、ノズルユニット１－４のキャップ１１－４が、液体（液状の樹脂３００）が充填されたタンク５０－４の開口５１－４部分に装着される。変形例２に係るキャップ外しステップ１００５では、変形例２に係るノズル差し込みステップ１００１とは反対の動作をすることで、爪部材３３－４の凹凸溝５３－４への係合を解消させて、ノズルユニット１－４のキャップ１１－４がタンク５０－４から取り外される。変形例２に係るノズル差し込みステップ１００１及びキャップ外しステップ１００５は、その他の部分については、実施形態１と同様である。

【0074】

以上のような構成を有する実施形態１の変形例２に係るノズルユニット１－４及びノズルユニットの使用方法は、実施形態１に係るノズルユニット１及びノズルユニットの使用方法において、タンク５０がタンク５０－４に変更されたことに伴い、キャップ１１がタンク５０－４との連結ユニットをさらに備えるキャップ１１－４に変更されたものである。このため、実施形態１の変形例１に係るノズルユニット１－４及びノズルユニットの使用方法は、実施形態１と同様の作用効果を奏するものとなる。また、実施形態１の変形例１に係るノズルユニット１－４及びノズルユニットの使用方法は、さらに、キャップ１１－４の爪部材３３－４がキャップ１１－４の外縁側を跨いで凹凸溝５３－４に係合するので、ノズル１２をタンク５０－４から抜き取る抜き取りステップ１００４で、作業者が手でキャップ１１－４を押さえていなくても、タンク５０－４に装着したキャップ１１－４がタンク５０－４から外れてしまうことを防止することができる。なお、本発明では、実施形態２について上記した変形例１の変形事項を適用してもよく、この場合にも、上記と同様の作用効果をさらに奏するものとなる。

【0075】

〔変形例３〕
本発明の実施形態１の変形例３に係るノズルユニット１－５及びノズルユニットの使用方法を説明する。図７は、変形例３に係るノズルユニット１－５の構成例を示す断面図である。図７は、実施形態１と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。

【0076】

変形例３に係るノズルユニット１－５は、実施形態１に係るノズルユニット１において、図７に示すように、ワイパー１３の下方に環状のガイド部材４１をさらに設けたものである。ガイド部材４１は、キャップ１１の下面に固定される。

【0077】

ガイド部材４１は、図７に示すように、内周面４２と、外周面４３と、を有する。ガイド部材４１は、内周面４２の上端が、ワイパー１３の下方の端部の直下に来るように配置される。外周面４３は、タンク５０の下方に向かうにしたがって、ノズル１２の径方向内側に向かって縮径する逆テーパー状に形成されている。このため、ガイド部材４１の径方向の厚みは、タンク５０の下方に向かうにしたがって細くなっている。

【0078】

次に、本明細書は、変形例３に係るノズルユニット１－５の使用方法（ノズルユニットの使用方法）の一例を説明する。変形例３に係るノズルユニットの使用方法は、実施形態１に係るノズルユニットの使用方法において、抜き取りステップ１００４を変更したものである。変形例３に係る抜き取りステップ１００４では、ワイパー１３によりノズル１２の外周１５から除去された液体（液状の樹脂３００）が、そのままタンク５０内に落下するか、もしくは、一旦ワイパー１３の内周１６の下方の端部に付着した後にガイド部材４１に付着してからタンク５０内に落下する。

【0079】

変形例３に係る抜き取りステップ１００４では、ワイパー１３の下方の端部の直下にガイド部材４１の内周面４２の上端が配置されているので、ワイパー１３の内周１６の下方の端部に付着した液体（液状の樹脂３００）が、速やかにガイド部材４１の内周面４２に移動し、内周面４２を伝ってガイド部材４１の下端に移動する。また、変形例３に係る抜き取りステップ１００４では、ガイド部材４１の下端が下方に向かって突出した形状であるため、ガイド部材４１の下端に移動した液体（液状の樹脂３００）が、自重により、ガイド部材４１の下方の端部で長く留まることができず、より確実に、より素早く、タンク５０内に落下する。

【0080】

以上のような構成を有する変形例３に係るノズルユニット１－５及びノズルユニットの使用方法は、実施形態１に係るノズルユニット１及びノズルユニットの使用方法において、ワイパー１３の下方に環状のガイド部材４１をさらに設けたものである。このため、変形例３に係るノズルユニット１－５及びノズルユニットの使用方法は、実施形態１と同様の作用効果を奏するものとなる。また、変形例３に係るノズルユニット１－５及びノズルユニットの使用方法は、さらに、ガイド部材４１の下端が下方に向かって突出した形状であるため、実施形態２と同様に、ノズル１２をタンク５０から抜く際に、ノズル１２の外周１５の壁面に付着した液体（液状の樹脂３００）をより確実により素早くタンク５０内に落下させることができるので、ノズル１２の外周１５の壁面に付着した液体（液状の樹脂３００）が飛散する事をより確実に防止できるという作用効果を奏する。

【0081】

〔変形例４〕
本発明の実施形態１の変形例４に係るノズルユニット１－６及びノズルユニットの使用方法を説明する。図８は、変形例４に係るノズルユニット１－６の構成例を示す断面図である。図８は、実施形態１と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。

【0082】

変形例４に係るノズルユニット１－６は、実施形態１に係るノズルユニット１において、図８に示すように、ノズル１２の外周１５に板状部材４５をさらに設けたものである。板状部材４５は、ノズル１２の外周１５の、キャップ１１の貫通孔１４に差し込まれてタンク５０内に貯留された液状の樹脂３００に浸される一方側の先端（下端）部分に装着される。板状部材４５は、キャップ１１の貫通孔１４の内径よりも大きい外径を有する。板状部材４５は、例えば、ノズル１２の外周１５の外側に嵌め合わせされる円板である。

【0083】

変形例４に係るノズルユニット１－６は、キャップ１１をタンク５０に固定した状態でノズル１２をタンク５０から抜き出す際に、ノズル１２の外周１５に装着された板状部材４５がキャップ１１の貫通孔１４内を通過できないので、ノズル１２がキャップ１１から完全に抜けて分離せず、ノズル１２またはキャップ１１が紛失することを防止できるという作用効果をさらに奏する。なお、本発明では、実施形態２、変形例１～変形例３について上記した変形例４の変形事項を適用してもよく、この場合にも、上記と同様の作用効果をさらに奏するものとなる。

【0084】

なお、本発明は上記実施形態（変形例）に限定されるものではない。ノズルユニット１は、上記実施形態では、タンク５０から半導体装置１００に樹脂３００を供給する例を挙げたが、本発明では、液体の供給先は半導体装置１００に限らず、液体も樹脂３００に限らない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。

【符号の説明】

【0085】

１，１－２，１－３，１－４，１－５，１－６ ノズルユニット
１１，１１－３，１１－４ キャップ
１２ ノズル
１３，１３－２ ワイパー
１４ 貫通孔
１５ 外周
１６ 内周
２１ エア供給源
２２ エア供給チューブ
２３ 開閉弁
２４ 制御ユニット
５０，５０－３，５０－４ タンク
５１，５１－３，５１－４ 開口
１００ 半導体装置
２００ 半導体ウエーハ
３００ 樹脂（本発明に係る液体の一例）

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】