特許 7450482 保護部材形成装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-03-07

(45)【発行日】2024-03-15

(54)【発明の名称】保護部材形成装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/683 20060101AFI20240308BHJP

   B05C 9/12 20060101ALI20240308BHJP

   H01L 21/304 20060101ALI20240308BHJP

   H01L 21/301 20060101ALI20240308BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 N

B05C9/12

H01L21/304 622J

H01L21/78 N

【請求項の数】 1

(21)【出願番号】P 2020121641

(22)【出願日】2020-07-15

(65)【公開番号】P2022018500

(43)【公開日】2022-01-27

【審査請求日】2023-05-25

(73)【特許権者】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】110002147

【氏名又は名称】弁理士法人酒井国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】柿沼 良典

(72)【発明者】

【氏名】右山 芳国

(72)【発明者】

【氏名】斉藤 誠

【審査官】内田 正和

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１３－２４８５４４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平５－１０４０５０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００５－１４５０３１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平１１－１０６９４（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／６８３

Ｂ０５Ｃ ９／１２

Ｈ０１Ｌ ２１／３０４

Ｈ０１Ｌ ２１／３０１

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

板状の被加工物の一方の面に所望の厚さの樹脂の層を形成する保護部材形成装置であって、
被加工物をシートを介して保持するチャックテーブルと、
外的刺激によって硬化する液状樹脂を貯留するタンクと、
該タンクから該チャックテーブルに保持されたシートに該液状樹脂を供給するポンプ及び配管を備える樹脂供給ユニットと、
該チャックテーブルに保持されたシートの一方の面に供給された該液状樹脂に被加工物の該一方の面を対面させて被加工物を押圧する押圧ユニットと、
該押圧ユニットで押圧された該液状樹脂に外的刺激を付与し該液状樹脂を硬化させる硬化ユニットと、
該液状樹脂の品質変化に伴う粘度の変化を検知する樹脂検査部と、
作業者に情報を伝達する報知ユニットと、を備え、
該樹脂検査部は、
該ポンプによって該配管を流れる該液状樹脂の流量、又は該液状樹脂を押圧する該押圧ユニットにかかる荷重を測定し、
測定値が予め設定した許容範囲を外れた場合、該測定値が許容範囲外であることを報知ユニットで報知する保護部材形成装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、保護部材形成装置に関する。

【背景技術】

【0002】

半導体デバイスチップや各種電子部品を製造する過程で、各種デバイスが形成されたウェーハ等の板状の被加工物を薄くしたりチップに分割する工程がある。被加工物は、チャックテーブルに保持されて加工されるが、その際、被加工物が破損しないよう、被加工物の表面は粘着テープ等の樹脂シートや基板に貼られて保護されている。

【0003】

例えば、金属電極バンプなど凹凸が表面にある被加工物の場合、凹凸に粘着テープを密着させて貼着するのは難しく、隙間に加工屑や加工液が浸入し剥がれやすい。さらに、粘着テープが充分に凹凸を吸収できないため、被加工物を研削して薄化する際に、凹凸が被加工物に転写されてしまうという課題がある。

【0004】

そこで、紫外線などの外的刺激で硬化する液状樹脂を平坦に積層させて、保護部材とする加工方法が考案された（例えば、特許文献１及び特許文献２参照）とを備える。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【文献】特許第６３１２３４３号公報

【文献】特開２０１７－１６８５６５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

しかしながら、前述した特許文献１及び特許文献２に示された加工方法において用いられる液状樹脂は、保管方法（保管温度や保管日数）によって劣化（変化）しやすく、劣化した液状樹脂を使うと所望の固定力が得られない場合がある。

【0007】

特に、液状樹脂が保管中に固まると、所望の量が被加工物の表面に供給されずに、被加工物の表面全体を被覆できなくなる場合が生じたり、所望の厚さで液状樹脂を積層できなくなる場合が生じる。このように、前述した特許文献１及び特許文献２に示された加工方法において用いられる液状樹脂は、劣化により被加工物に積層させると不具合が生じることがあった。しかし、液状樹脂をみただけでは、液状樹脂の変化に気づくことは難しい。

【0008】

本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、液状樹脂を積層して構成される保護部材の積層時の不具合を抑制することができる保護部材形成装置を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0009】

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の保護部材形成装置は、板状の被加工物の一方の面に所望の厚さの樹脂の層を形成する保護部材形成装置であって、被加工物をシートを介して保持するチャックテーブルと、外的刺激によって硬化する液状樹脂を貯留するタンクと、該タンクから該チャックテーブルに保持されたシートに該液状樹脂を供給するポンプ及び配管を備える樹脂供給ユニットと、該チャックテーブルに保持されたシートの一方の面に供給された該液状樹脂に被加工物の該一方の面を対面させて被加工物を押圧する押圧ユニットと、該押圧ユニットで押圧された該液状樹脂に外的刺激を付与し該液状樹脂を硬化させる硬化ユニットと、該液状樹脂の品質変化に伴う粘度の変化を検知する樹脂検査部と、作業者に情報を伝達する報知ユニットと、を備え、該樹脂検査部は、該ポンプによって該配管を流れる該液状樹脂の流量、又は該液状樹脂を押圧する該押圧ユニットにかかる荷重を測定し、測定値が予め設定した許容範囲を外れた場合、該測定値が許容範囲外であることを報知ユニットで報知することを特徴とする。

【発明の効果】

【0010】

本発明は、液状樹脂を積層して構成される保護部材の積層時の不具合を抑制することができるという効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】図１は、実施形態１に係る保護部材形成装置の構成例を一部断面で模式的に示す側面図である。

【図2】図２は、図１に示された保護部材形成装置により保護部材が形成される被加工物を示す斜視図である。

【図3】図３は、図２に示された被加工物の要部の断面図である。

【図4】図４は、図１に示された保護部材形成装置の樹脂供給ユニットの要部を模式的に示す断面図である。

【図5】図５は、図１に示された保護部材形成装置の押圧ユニットが液状樹脂に被加工物を押圧している状態を一部断面で模式的に示す側面図である。

【図6】図６は、実施形態２に係る保護部材形成装置の構成例を一部断面で模式的に示す側面図である。

【発明を実施するための形態】

【0012】

本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。

【0013】

〔実施形態１〕
本発明の実施形態１に係る保護部材形成装置を図面に基づいて説明する。図１は、実施形態１に係る保護部材形成装置の構成例を一部断面で模式的に示す側面図である。図２は、図１に示された保護部材形成装置により保護部材が形成される被加工物を示す斜視図である。図３は、図２に示された被加工物の要部の断面図である。図４は、図１に示された保護部材形成装置の樹脂供給ユニットの要部を模式的に示す断面図である。図５は、図１に示された保護部材形成装置の押圧ユニットが液状樹脂に被加工物を押圧している状態を一部断面で模式的に示す側面図である。

【0014】

実施形態１に係る図１に保護部材形成装置１は、図２に示された被加工物２００の一方の面である表面２０３に所望の厚さの樹脂の層である図３に示す保護部材２１０を形成する装置である。実施形態１に係る保護部材形成装置１により保護部材２１０が形成される被加工物２００は、シリコン（Ｓｉ）、サファイア（Ａｌ_２Ｏ_３）、ガリウムヒ素（ＧａＡｓ）または炭化ケイ素（ＳｉＣ）等を基板２０１とする円板状の半導体ウェーハ、光デバイスウェーハ等のウェーハである。

【0015】

被加工物２００は、図２に示すように、交差する複数の分割予定ライン２０２で区画された表面２０３の各領域それぞれにデバイス２０４が形成されている。各デバイス２０４は、図３に示すように、各デバイス２０４の電極に接続して、表面２０３よりも突出したバンプ２０５を有している。デバイス２０４は、例えば、ＩＣ（Integrated Circuit）、あるいやＬＳＩ（Large Scale Integration）等の集積回路、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）、あるいはＣＭＯＳ（Complementary Metal Oxide Semiconductor）等のイメージセンサ、またはＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）等である。バンプ２０５は、導電性の金属により構成され、実施形態１では、球状に形成されている。

【0016】

バンプ２０５は、デバイス２０４とこのデバイス２０４が実装される基板等の電極とを電気的に接続するものである。実施形態１において、被加工物２００は、表面２０３よりも突出したバンプ２０５を有することで、表面２０３に凹凸が形成されている。また、実施形態１では、被加工物２００は、バンプ２０５を有して表面２０３に凹凸が形成されているが、本発明では、バンプ２０５を備えていなくても良い。また、本発明では、被加工物２００は、ウェーハに限らず、樹脂により封止されたデバイスを複数有した矩形状の樹脂パッケージ基板、セラミックス板、又はガラス板等でも良い。

【0017】

実施形態１において、被加工物２００は、表面２０３側に保護部材２１０が形成され、保護部材２１０を介して表面２０３側が研削装置のチャックテーブルに保持された状態で表面２０３の裏側の裏面２０７側が研削されて、所定の仕上げ厚さまで薄化される。被加工物２００は、薄化された後、分割予定ライン２０２に沿って個々のデバイス２０４に分割される。

【0018】

実施形態１において、保護部材２１０は、図３に示すように、樹脂フィルム２１１、樹脂層２１２及び樹脂シート２１３（シートに相当）を備えて、２層以上の樹脂で形成されている。実施形態１では、樹脂フィルム２１１は、薄手の可撓性を有する合成樹脂（実施形態１では、ＰＯ（Polyolefin））により構成され、シート状に形成されている。樹脂フィルム２１１は、被加工物２００の表面２０３及びバンプ２０５の表面に密着して、これらに貼着されている。

【0019】

実施形態１では、樹脂層２１２は、外的刺激が付与されることによって硬化する液状樹脂２１４（図１に示す）により構成され、樹脂フィルム２１１上に積層されている。樹脂層２１２を構成する液状樹脂２１４は、外的刺激として紫外線が照射されることによって硬化する紫外線硬化型の液状樹脂であるが、本発明では、これに限定されずに例えば、加熱されることによって硬化する液状樹脂でも良い。液状樹脂２１４は、例えば、ＤＩＳＣＯ株式会社製ResiFlat、又はデンカ株式会社製のTEMPLOCにより構成される。

【0020】

樹脂シート２１３は、紫外線を透過しかつ薄手の可撓性を有する合成樹脂（実施形態１では、ＰＯ（Polyolefin））により構成され、フィルム状に形成されている。樹脂シート２１３は、樹脂層２１２上に積層されている。樹脂層２１２は、樹脂フィルム２１１と樹脂シート２１３との間に積層された液状樹脂２１４が、外的刺激が付与されることによって硬化して構成されている。保護部材２１０と被加工物２００を合わせた厚さは表面２０３の全体に亘って一様の厚さである。

【0021】

実施形態１に係る保護部材形成装置１は、図１に示すように、チャックテーブル１０と、タンク２０と、樹脂供給ユニット３０と、押圧ユニット５０と、硬化ユニット６０と、樹脂検査部７０と、報知ユニット１０３とを備える。

【0022】

チャックテーブル１０は、被加工物２００よりも大径な円盤状に形成され、上面１１が水平方向に沿って平坦に形成されている。チャックテーブル１０は、上面１１に被加工物２００よりも大径な円板状の樹脂シート２１３が載置される。チャックテーブル１０は、上面１１に図示しない吸引源に接続された吸引孔が複数開口しており、吸引源により吸引孔が吸引されることで、上面１１に樹脂シート２１３を吸引保持する。また、実施形態１では、チャックテーブル１０は、ガラス等の透光性を有する材料により構成されている。

【0023】

タンク２０は、液状樹脂２１４を貯留するものである。実施形態１では、タンク２０は、第１タンク２１と、第２タンク２３とを備える。第１タンク２１は、上部に開口２２を設け、内部に液状樹脂２１４を収容する容器である。第２タンク２３は、上部に流入口２４を設け、下部に排出口２５を設けた、内部に液状樹脂２１４を収容する容器である。

【0024】

樹脂供給ユニット３０は、タンク２０からチャックテーブル１０に保持された樹脂シート２１３の一方の面である表面２１５に液状樹脂２１４を供給するものである。樹脂供給ユニット３０は、配管３１と、ポンプ４０とを備える。

【0025】

配管３１は、供給側配管３２と、排出側配管３３とを備える。供給側配管３２及び排出側配管３３は、内側に液状樹脂２１４を通すことが可能な筒状（実施形態１では、円筒状）の配管である。供給側配管３２は、一端が第１タンク２１の開口２２に接続し、他端が第２タンク２３の上部に設けられた流入口２４に接続している。供給側配管３２は、第１タンク２１内の液状樹脂２１４を第２タンク２３内に導く。

【0026】

排出側配管３３は、一端が第２タンク２３の排出口２５に接続し、他端がチャックテーブル１０の上面１１に対面可能なノズル３４に接続している。排出側配管３３は、第２タンク２３内の液状樹脂２１４をノズル３４に導く。ノズル３４は、チャックテーブル１０の上面１１の中央と鉛直方向に沿って対向する樹脂供給位置と、チャックテーブル１０の上面１１上から退避する退避位置とに亘って図示しない移動機構により移動自在に設けられている。ノズル３４は、樹脂供給位置に位置付けられて、チャックテーブル１０の上面１１に保持された樹脂シート２１３上に液状樹脂２１４を供給する。

【0027】

ポンプ４０は、タンク２０の第１タンク２１からチャックテーブル１０の上面１１に保持された樹脂シート２１３上に液状樹脂２１４を供給するものである。ポンプ４０は、第１ポンプ４１と、第２ポンプ４２とを備える。

【0028】

第１ポンプ４１は、供給側配管３２に設置され、第１タンク２１内の液状樹脂２１４を第２タンク２３に向けて供給側配管３２を通して送り出す。第２ポンプ４２は、排出側配管３３に設置され、第２タンク２３内の液状樹脂２１４をノズル３４に向けて排出側配管３３を通して送り出す。

【0029】

第２ポンプ４２は、図４に示すように、シリンダ４３と、第１弁４４と、第２弁４５と、ピストンユニット４６とを備える。シリンダ４３は、内部に空間４３１が形成され、排出側配管３３に接続する流入口４３２及び排出口４３３とを備える。流入口４３２及び排出口４３３は、シリンダ４３の内外を連通する開口であり、実施形態１では、互いに対向している。流入口４３２は、排出側配管３３の第２タンク２３側の部分が接続して、第２タンク２３から液状樹脂２１４が流入する。排出口４３３は、排出側配管３３のノズル３４側の部分が接続して、シリンダ４３内の液状樹脂２１４をノズル３４に向けて排出する。

【0030】

第１弁４４は、流入口２４に設置され、流入口２４を開閉する開閉弁である。第１弁４４は、開くと、流入口２４を通して第２タンク２３から液状樹脂２１４がシリンダ４３内に流入することを許容する。第１弁４４は、閉じると、流入口２４を通して第２タンク２３から液状樹脂２１４がシリンダ４３内に流入することを規制するとともに、シリンダ４３内の液状樹脂２１４が流入口２４を通して第２タンク２３側に排出されることを規制する。

【0031】

第２弁４５は、排出口４３３に設置され、排出口４３３を開閉する開閉弁である。第２弁４５は、開くと、排出口４３３を通してシリンダ４３内の液状樹脂２１４がノズル３４に向けて排出することを許容する。第２弁４５は、閉じると、排出口４３３を通してシリンダ４３内の液状樹脂２１４がノズル３４に向けて排出することを規制する。

【0032】

ピストンユニット４６は、シリンダ４３内を移動自在に設けられたピストン４６１と、駆動用シリンダ４６２とを備える。ピストン４６１は、シリンダ４３内を移動することで、空間４３１の容積即ちシリンダ４３内の容積を変化させる。ピストン４６１は、流入口２４及び排出口４３３に近接する図４に示す近接位置と、近接位置よりも流入口２４及び排出口４３３から離れた離間位置とに亘ってシリンダ４３内を移動する。ピストン４６１は、近接位置では、シリンダ４３内の容積を縮小させ、離間位置では、シリンダ４３内の容積を近接位置よりも拡大させる。なお、ピストン４６１は、シリンダ４３の内面との間が液密に保たれている。

【0033】

駆動用シリンダ４６２は、シリンダ本体４６３と、シリンダ本体４６３から伸縮自在でかつ先端にピストン４６１を接続した伸縮ロッド４６４とを備える。駆動用シリンダ４６２は、伸縮ロッド４６４をシリンダ本体４６３から伸縮することで、ピストン４６１を近接位置と離間位置とに亘って移動させる。実施形態１では、駆動用シリンダ４６２は、伸縮ロッド４６４をシリンダ本体４６３から伸長することで、ピストン４６１を近接位置に位置付け、伸縮ロッド４６４をシリンダ本体４６３に縮小することで、ピストン４６１を離間位置に位置付ける。

【0034】

第２ポンプ４２は、駆動用シリンダ４６２が伸縮ロッド４６４を伸長して、ピストン４６１が近接位置に位置した状態で第２弁４５を閉じ、第１弁４４を開いて、駆動用シリンダ４６２が伸縮ロッド４６４を縮小して、ピストン４６１を離間位置に向けて移動させて流入口２４を通してシリンダ４３内に液状樹脂２１４を取り込む。第２ポンプ４２は、駆動用シリンダ４６２が伸縮ロッド４６４を縮小して、ピストン４６１が離間位置に位置した状態で第１弁４４を閉じ、第２弁４５を開いて、駆動用シリンダ４６２が伸縮ロッド４６４を伸長して、ピストン４６１を近接位置に向けて移動させて排出口４３３を通してシリンダ４３内の液状樹脂２１４をノズル３４に向けて送り出す。

【0035】

押圧ユニット５０は、チャックテーブル１０に保持された樹脂シート２１３の表面２１５に供給された液状樹脂２１４に被加工物２００の表面２０３を対面させて被加工物２００を液状樹脂２１４に向けて押圧するものである。押圧ユニット５０は、保持部材５１と、保持部材５１に取り付けられた昇降部材５２と、送りユニット５３とを備える。

【0036】

保持部材５１は、被加工物２００よりも大径な円盤状に形成され、下面５１１が水平方向に沿って平坦に形成されている。保持部材５１は、下面５１１に図示しない吸引源に接続された吸引孔が複数開口しており、吸引源により吸引孔が吸引されることで、下面５１１に被加工物２００を吸引保持する。実施形態１では、保持部材５１は、外周縁に環状フレーム２１６が貼着されかつ被加工物２００よりも大径な樹脂フィルム２１１が表面２０３及びバンプ２０５の表面に隙間なく密着した被加工物２００の裏面２０７及び環状フレーム２１６を下面５１１に吸引保持する。

【0037】

昇降部材５２は、保持部材５１の上面などに固定されている。送りユニット５３は、鉛直方向と平行に配置されかつ軸心回りに回転自在に設けられているとともに昇降部材５２のねじ孔に螺合した周知のボールねじ５４と、図示しない装置本体に取り付けられかつボールねじ５４を軸心回りに回転させて保持部材５１を鉛直方向に沿って昇降させるモータ５５と、装置本体に取り付けられかつ昇降部材５２を鉛直Ｚ軸方向に移動自在に支持する周知の図示しないガイドレールと、モータ５５に供給する電力を制御するモータ制御部５６とを備える。モータ制御部５６は、樹脂検査部７０の制御ユニット１００からの制御信号にしたがってモータ５５に供給する電力を制御する所謂モータドライバである。モータ制御部５６は、単一回路、複合回路、プログラム化したプロセッサー、又は並列プログラム化したプロセッサー等の専用の処理回路（ハードウェア）で構成されている。

【0038】

押圧ユニット５０は、保持部材５１の下面５１１に被加工物２００を吸引保持し、送りユニット５３がボールねじ５４を軸心回りに回転することで、保持部材５１に保持した被加工物２００をチャックテーブル１０に保持された樹脂シート２１３の表面２１５に供給された液状樹脂２１４に向けて押圧する。

【0039】

硬化ユニット６０は、押圧ユニット５０で押圧された液状樹脂２１４に外的刺激を付与し液状樹脂２１４を硬化させるものである。実施形態１では、硬化ユニット６０は、液状樹脂２１４に外的刺激である紫外線を照射する紫外線照射ランプであり、チャックテーブル１０内に設置されている。

【0040】

樹脂検査部７０は、樹脂供給ユニット３０がチャックテーブル１０に保持された樹脂シート２１３の表面２１５に供給する液状樹脂２１４の品質変化に伴う粘度の変化を検知するものである。樹脂検査部７０は、測定ユニット７１と、制御ユニット１００とを備える。

【0041】

測定ユニット７１は、ポンプ４０の第２ポンプ４２によって配管３１の排出側配管３３内を流れてノズル３４に供給される液状樹脂２１４の流量を測定する流量計である。実施形態１では、測定ユニット７１は、排出側配管３３の第２ポンプ４２よりもノズル３４寄りの位置に設置されている。測定ユニット７１は、液状樹脂２１４の流量を測定し、測定値を制御ユニット１００に出力する。測定ユニット７１は、電磁式流量計、カルマン渦式流量計、羽車式流量計、浮き子式流量計、又は熱式流量計により構成される。

【0042】

制御ユニット１００は、第２ポンプ４２によって配管３１の排出側配管３３内を流れてノズル３４に供給される液状樹脂２１４の流量の許容範囲を予め記憶している。許容範囲は、予め設定された範囲であって、押圧ユニット５０で被加工物２００を押圧した際に、液状樹脂２１４が所望の厚さで被加工物２００全体を被覆することが可能な排出側配管３３内を流れる液状樹脂２１４の流量の範囲である。

【0043】

制御ユニット１００は、測定ユニット７１の測定値が許容範囲を外れた場合、測定値が許容範囲外であることを作業員に情報を伝達する報知ユニット１０３で報知するものである。制御ユニット１００は、測定ユニット７１の測定値が許容範囲を外れたか否かを判定する。制御ユニット１００は、測定ユニット７１の測定値が許容範囲を外れた場合には、報知ユニット１０３を動作させて、作業員に測定値が許容範囲を外れた旨を報知する。

【0044】

また、制御ユニット１００は、保護部材形成装置１を構成する各構成要素を制御して、被加工物２００の表面２０３側に保護部材２１０を形成する保護部材形成動作を保護部材形成装置１に実行させるものである。制御ユニット１００は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）のようなマイクロプロセッサを有する演算処理装置と、ＲＯＭ（Read Only Memory）又はＲＡＭ（Random Access Memory）のようなメモリを有する記憶装置と、入出力インタフェース装置とを有し、コンピュータプログラムを実行可能なコンピュータである。

【0045】

制御ユニット１００の演算処理装置は、ＲＯＭに記憶されているコンピュータプログラムをＲＡＭ上で実行して、保護部材形成装置１を制御するための制御信号を生成する。制御ユニット１００の演算処理装置は、生成した制御信号を入出力インタフェース装置を介して保護部材形成装置１の各構成要素に出力する。

【0046】

また、制御ユニット１００は、加工動作の状態や画像などを表示する液晶表示装置などにより構成される表示ユニット１０１や、オペレータが加工内容情報などを登録する際に用いる入力ユニット１０２と、報知ユニット１０３とに接続されている。入力ユニット１０２は、表示ユニット１０１に設けられたタッチパネルと、キーボード等とのうち少なくとも一つにより構成される。報知ユニット１０３は、音と光とのうち少なくとも一方を発することで、作業員に情報を伝達し、作業員に報知するものである。また、本発明では、報知ユニット１０３は、情報を通線通信手段または無線通信手段で発信し、サーバーや端末等の電子機器を介して作業員に通知するものでも良い。

【0047】

前述した構成の保護部材形成装置１は、制御ユニット１００が各構成要素を制御して、保護部材２１０を形成する保護部材形成動作を実行する。保護部材形成動作では、保護部材形成装置１は、樹脂供給ユニット３０のノズル３４を退避位置に位置付けて、第１ポンプ４１を動作させて第１タンク２１から第２タンク２３に液状樹脂２１４を供給して、第２タンク２３内に液状樹脂２１４を貯留する。保護部材形成動作では、保護部材形成装置１は、チャックテーブル１０の上面１１に樹脂シート２１３を吸引保持し、チャックテーブル１０から離間した保持部材５１の下面５１１に被加工物２００の裏面２０７側及び環状フレーム２１６を吸引保持する。

【0048】

保護部材形成動作では、保護部材形成装置１は、樹脂供給ユニット３０のノズル３４を樹脂供給位置に位置付けて、第２ポンプ４２等を動作させるなどして、第２タンク２３内の所定の量の液状樹脂２１４をノズル３４から樹脂シート２１３の表面２１５に供給する。保護部材形成動作では、保護部材形成装置１は、測定ユニット７１が第２ポンプ４２によって排出側配管３３を流れる液状樹脂２１４の流量を測定し、測定値が許容範囲を外れたか否かを制御ユニット１００が判定する。

【0049】

保護部材形成動作では、保護部材形成装置１は、測定値が許容範囲を外れたと制御ユニット１００が判定すると、報知ユニット１０３を動作させて、作業員に測定値が許容範囲外であることを報知ユニット１０３で報知して、保護部材形成動作を停止する。保護部材形成動作では、保護部材形成装置１は、測定値が許容範囲を外れていないと制御ユニット１００が判定すると、樹脂供給ユニット３０のノズル３４を退避位置に位置付けて、押圧ユニット５０により保護部材２１０に吸引保持した被加工物２００を、保護部材２１０が所望の厚さになる位置まで下降する。

【0050】

すると、被加工物２００の表面２０３側が樹脂フィルム２１１を介して樹脂シート２１３の表面２１５上の液状樹脂２１４に接触し、被加工物２００の下降とともに、液状樹脂２１４が樹脂シート２１３の外周に向かって押し広げられる。そして、被加工物２００が、図５に示すように、保護部材２１０が所望の厚さになる位置まで下降すると、液状樹脂２１４が樹脂シート２１３及び樹脂フィルム２１１に密着して、被加工物２００の表面２０３全体を樹脂フィルム２１１を介して被覆することとなる。

【0051】

保護部材形成動作では、保護部材形成装置１は、保護部材２１０が所望の厚さになる位置で被加工物２００を停止させ、硬化ユニット６０を動作させて、硬化ユニット６０から紫外線を樹脂シート２１３と樹脂フィルム２１１との間の液状樹脂２１４に所定時間照射する。保護部材形成装置１は、液状樹脂２１４を硬化して、被加工物２００の表面２０３に所望の厚さの保護部材２１０を形成する。保護部材形成装置１は、保持部材５１の吸引保持を停止する。すると、チャックテーブル１０が、被加工物２００を樹脂シート２１３を介して吸引保持する。保護部材形成装置１は、押圧ユニット５０により保持部材５１を上昇させて、保護部材形成動作を終了する。

【0052】

以上説明した実施形態１に係る保護部材形成装置１は、液状樹脂２１４の粘度が変化する事によって生じる、配管３１内での液状樹脂２１４の流量を樹脂検査部７０の測定ユニット７１で測定し、測定値が許容範囲を外れた場合にはその旨を報知ユニット１０３により報知する。このために、保護部材形成装置１は、劣化（変化）した液状樹脂２１４を誤って用いる事を抑制することができる。その結果、保護部材形成装置１は、液状樹脂２１４を積層して構成される保護部材２１０の積層時の不具合を抑制することができるという効果を奏する。

【0053】

〔実施形態２〕
実施形態２に係る保護部材形成装置を図面に基づいて説明する。図６は、実施形態２に係る保護部材形成装置の構成例を一部断面で模式的に示す側面図である。図６は、実施形態１と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。

【0054】

実施形態２に係る保護部材形成装置１は、樹脂検査部７０－２が実施形態１と異なること以外、実施形態１と同じである。実施形態２に係る保護部材形成装置１の樹脂検査部７０－２は、図６に示すように、測定ユニット７１－２と、制御ユニット１００とを備える。

【0055】

樹脂検査部７０－２は、押圧ユニット５０が保持部材５１に保持した被加工物２００を下降させて被加工物２００で液状樹脂２１４を押圧する際の押圧ユニット５０にかかる荷重を測定するものである。実施形態２では、測定ユニット７１は、昇降部材５２に取り付けられ、前述した荷重に応じた歪みを測定する歪みゲージである。なお、本発明では、測定ユニット７１が取り付けられるのは、昇降部材５２に限定されない。測定ユニット７１－２は、押圧ユニット５０が保持部材５１に保持した被加工物２００を下降させて被加工物２００で液状樹脂２１４を押圧する際の歪みを測定し、測定結果を制御ユニット１００に出力する。

【0056】

制御ユニット１００は、測定ユニット７１の測定結果である歪みから押圧ユニット５０にかかる荷重を算出し、測定値である算出した荷重が、予め記憶した荷重の許容範囲（押圧ユニット５０で被加工物２００を押圧した際に、液状樹脂２１４が所望の厚さで被加工物２００全体を被覆することが可能な荷重の範囲）を外れたか否かを判定する。制御ユニット１００は、測定値である算出した荷重が許容範囲を外れた場合には、報知ユニット１０３を動作させて、作業員に測定値が許容範囲外であることを報知ユニット１０３で報知する。

【0057】

実施形態２に係る保護部材形成装置１は、液状樹脂２１４の粘度が変化する事によって生じる、押圧ユニット５０にかかる荷重を樹脂検査部７０－２で測定し、測定値が許容範囲を外れた場合にはその旨を報知ユニット１０３により報知するため、劣化（変化）した液状樹脂２１４を誤って用いる事を抑制することができる。その結果、保護部材形成装置１は、実施形態１と同様に、液状樹脂２１４を積層して構成される保護部材２１０の積層時の不具合を抑制することができるという効果を奏する。

【0058】

また、本発明では、樹脂検査部７０－２は、一定速度で保持部材５１を下降させる際のモータ５５の負荷電流値から押圧ユニット５０にかかる荷重を算出して測定するもので良い。

【0059】

なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。

【符号の説明】

【0060】

１ 保護部材形成装置
１０ チャックテーブル
２０ タンク
３０ 樹脂供給ユニット
３１ 配管
４０ ポンプ
５０ 押圧ユニット
６０ 硬化ユニット
７０ 樹脂検査部
１０３ 報知ユニット
２００ 被加工物
２０３ 表面（一方の面）
２１０ 保護部材（樹脂の層）
２１３ 樹脂シート（シート）
２１４ 液状樹脂
２１５ 表面（一方の面）

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】