特許 7451039 ブレード保持治具、切削装置、及び、切削ブレードの装着方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-03-08

(45)【発行日】2024-03-18

(54)【発明の名称】ブレード保持治具、切削装置、及び、切削ブレードの装着方法

(51)【国際特許分類】

   B24B 45/00 20060101AFI20240311BHJP

   B24B 27/06 20060101ALI20240311BHJP

   B23Q 17/00 20060101ALI20240311BHJP

   B23B 31/00 20060101ALI20240311BHJP

   B23B 31/02 20060101ALI20240311BHJP

   H01L 21/301 20060101ALI20240311BHJP

【ＦＩ】

B24B45/00 A

B24B27/06 M

B23Q17/00 A

B23B31/00 D

B23B31/02 601A

H01L21/78 F

【請求項の数】 10

(21)【出願番号】P 2020070793

(22)【出願日】2020-04-10

(65)【公開番号】P2021167034

(43)【公開日】2021-10-21

【審査請求日】2023-02-28

(73)【特許権者】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】100075384

【弁理士】

【氏名又は名称】松本 昂

(74)【代理人】

【識別番号】100172281

【弁理士】

【氏名又は名称】岡本 知広

(74)【代理人】

【識別番号】100206553

【弁理士】

【氏名又は名称】笠原 崇廣

(74)【代理人】

【識別番号】100189773

【弁理士】

【氏名又は名称】岡本 英哲

(74)【代理人】

【識別番号】100184055

【弁理士】

【氏名又は名称】岡野 貴之

(72)【発明者】

【氏名】蘇 志博

(72)【発明者】

【氏名】寺田 一貴

(72)【発明者】

【氏名】藤江 健一

【審査官】マキロイ 寛済

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１６－０６４４５０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１９－０１３９８８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１０－２８４７７４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１８－１８１２６６（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ２４Ｂ ４５／００

Ｂ２４Ｂ ２７／０６

Ｂ２３Ｑ １７／００

Ｂ２３Ｂ ３１／００

Ｂ２３Ｂ ３１／０２

Ｈ０１Ｌ ２１／３０１

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

スピンドルの先端部に固定された受けフランジと共にワッシャー型の切削ブレードを挟持するように該先端部に装着される環状の押さえフランジを介して、該切削ブレードを保持するブレード保持治具であって、
該押さえフランジの第１環状面を吸引保持する環状のフランジ保持部と、
該フランジ保持部の外周部に配置され、該フランジ保持部で保持された該押さえフランジの外周部に向かって該押さえフランジの外周部の周りで流体の旋回流が生じるように流体を噴射することにより負圧を発生させて、該押さえフランジに向かって該切削ブレードを引き寄せる環状の非接触吸引部と、を備え、
該非接触吸引部によって該押さえフランジに向かって引き寄せられた該切削ブレードは、該押さえフランジの該第１環状面とは反対側に位置し該切削ブレードの一面に接する第２環状面から該第１環状面まで貫通するように該押さえフランジに設けられた複数の貫通穴を介して、該フランジ保持部から作用する吸引力により該押さえフランジで保持されることを特徴とするブレード保持治具。

【請求項2】

該非接触吸引部は、
環状凸部と、
該環状凸部の外周側面に設けられた複数の開口と、を有し、
該複数の開口の各々には、該外周側面の接線方向に対して所定角度傾いて流体が噴射される様に流路が接続されていることを特徴とする請求項１に記載のブレード保持治具。

【請求項3】

該フランジ保持部は、該押さえフランジの該第１環状面に接触する環状のパッド部を含むことを特徴とする請求項１又は２に記載のブレード保持治具。

【請求項4】

該フランジ保持部には、第１開閉弁を介して該フランジ保持部に負圧を作用させる第１流路が接続されており、
該非接触吸引部には、第２開閉弁を介して該非接触吸引部に流体を供給する第２流路が接続されていることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載のブレード保持治具。

【請求項5】

該第１流路に発生する負圧を測定する圧力測定器と、
該圧力測定器で測定された該第１流路の負圧と第１の圧力とを比較することにより、該押さえフランジが該フランジ保持部に吸着されているか否かと、該圧力測定器で測定された該第１流路の負圧と該第１の圧力の大きさよりも大きさが大きい第２の圧力とを比較することにより、該切削ブレードが該押さえフランジの該第２環状面に吸着されているか否かと、を判定する吸着判定部と、を更に備えることを特徴とする請求項４に記載のブレード保持治具。

【請求項6】

環状の該押さえフランジの開口を貫通するように配置された円柱状の凸部に対して嵌合する位置決め嵌合部を有することを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載のブレード保持治具。

【請求項7】

該切削ブレードの該一面に形成され該切削ブレードの種類に関する情報を含むマークを撮像するカメラユニットと、
該カメラユニットで撮像された該マークを読み取るマーク読み取り部と、を更に備えることを特徴とする請求項１から６のいずれかに記載のブレード保持治具。

【請求項8】

該フランジ保持部には、第３開閉弁を介して第３流路が接続されており、
該フランジ保持部によって該押さえフランジの該第２環状面で吸引保持された該切削ブレードに向かって該第３流路から流体を噴射することにより、該押さえフランジの該第２環状面から該切削ブレードが離れることを特徴とする請求項１から７のいずれかに記載のブレード保持治具。

【請求項9】

スピンドルの先端部に固定された受けフランジに切削ブレードが装着される切削ユニットを備える切削装置であって、
該切削ブレードを収容するブレードストックボードと、
該受けフランジに装着される該切削ブレードを交換する交換装置と、
該切削ブレードを交換する交換位置と退避位置との間で該交換装置を移動させる移動ユニットと、を備え、
該交換装置は、
請求項１から８のいずれかに記載のブレード保持治具と、
該受けフランジに締結される押さえナットを保持するナット保持部と、
該押さえナットを回動させるナット回動部と、を有することを特徴とする切削装置。

【請求項10】

ブレード保持治具を用いて、スピンドルの先端部に固定された受けフランジにワッシャー型の切削ブレードを装着する切削ブレードの装着方法であって、
該ブレード保持治具は、
該先端部に装着される環状の押さえフランジの第１環状面を吸引保持する環状のフランジ保持部と、
該フランジ保持部の外周部に配置され、該フランジ保持部で保持された該押さえフランジの外周部に向かって該押さえフランジの外周部の周りで流体の旋回流が生じるように流体を噴射することにより負圧を発生させて、該押さえフランジに向かって該切削ブレードを引き寄せる環状の非接触吸引部と、を備え、
該押さえフランジは、該押さえフランジの該第１環状面とは反対側に位置し該切削ブレードの一面に接する第２環状面から該第１環状面まで貫通するように設けられた複数の貫通穴と、を有し、
該切削ブレードの装着方法は、
ブレードストックボードに該第２環状面が支持された該押さえフランジの該第１環状面を該フランジ保持部で吸引保持する押さえフランジ保持ステップと、
吸引保持された該押さえフランジの該第２環状面を該ブレードストックボードに載置された該切削ブレードに近づけて、該第２環状面と該切削ブレードとの距離を所定の長さ以下にする押さえフランジ近接ステップと、
該押さえフランジ近接ステップの後、該押さえフランジの外周部の周りで流体の旋回流が生じるように該非接触吸引部から流体を噴射することで負圧を発生させて該切削ブレードを吸引し、該切削ブレードを該第２環状面に引き寄せる切削ブレード引き寄せステップと、
該切削ブレード引き寄せステップで該第２環状面に近づいた該切削ブレードを、該複数の貫通穴から作用する吸引力により該第２環状面で保持する切削ブレード保持ステップと、
該切削ブレードが該押さえフランジの該第２環状面で吸引力により保持された状態で、該受けフランジと該押さえフランジとで該切削ブレードを挟持する様に、該スピンドルに固定された該受けフランジに該切削ブレードと該押さえフランジとを装着する装着ステップと、を備えることを特徴とする切削ブレードの装着方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、押さえフランジを介してワッシャー型の切削ブレードを保持するブレード保持治具、当該ブレード保持治具を備える切削装置、及び、当該ブレード保持治具を用いて受けフランジにワッシャー型の切削ブレードを装着する切削ブレードの装着方法に関する。

【背景技術】

【0002】

半導体ウェーハなど各種板状の被加工物を切削するための切削装置が知られている。切削装置は、スピンドルを備え、当該スピンドルの一端部には、切削ブレードが装着される。切削ブレードは消耗品であり、使用済の切削ブレードは、通常、オペレーターによって手作業で交換される。

【0003】

切削ブレードの交換作業には熟練を要する。また、異なる種類の切削ブレードが誤ってスピンドルに装着されると、被加工物の破損につながりかねない。それゆえ、切削ブレードの交換作業は、被加工物の切削において重要であり、且つ、注意を要する作業である。

【0004】

切削ブレードの交換作業での人為的な誤りを排除するために、オペレーターによる手作業に代えて、使用済の切削ブレードを新品の切削ブレードに自動で交換するブレード交換装置が開発された（例えば、特許文献１参照）。

【0005】

当該ブレード交換装置は、アルミニウム等の金属で形成された環状の基台（即ち、ハブ）と、基台の外周部に設けられた切り刃とが一体形成されたハブ型の切削ブレードを交換対象としている。

【0006】

当該ブレード交換装置は、ハブを把持した状態で使用済のハブ型の切削ブレードをスピンドルから取り外し、同様に、ハブを把持した状態で新品のハブ型の切削ブレードをスピンドルに装着する。

【0007】

しかし、切削ブレードとしては、ハブ型の切削ブレードだけではなく、基台を有さない（つまり、環状の切り刃のみから成る）ワッシャー型の切削ブレードも多く利用されている。ワッシャー型の切削ブレードは、スピンドルに固定された環状の受けフランジと、当該受けフランジに装着される環状の押さえフランジとに挟持されることで、スピンドルに対して固定される。

【0008】

ワッシャー型の切削ブレードには把持対象となるハブが存在しないので、ワッシャー型の切削ブレードを機械的に把持することは困難である。そこで、環状の押さえフランジを介してワッシャー型の切削ブレードを吸引保持するブレード交換治具が考案された（例えば、特許文献２参照）。

【0009】

押さえフランジは、ワッシャー型の切削ブレードに接するフランジ面と、フランジ面とは反対側に位置する環状面とを含む。また、押さえフランジには、内径と外径との間において、フランジ面から環状面までそれぞれ貫通する複数の貫通穴が形成されている。

【0010】

ブレード交換治具の吸引部が押さえフランジの環状面に接した状態で、ブレード交換治具から複数の貫通穴を介してフランジ面に負圧を作用させれば、フランジ面でワッシャー型の切削ブレードを吸引保持できる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0011】

【文献】特開２００７－９８５３６号公報

【文献】特開２０１６－６４４５０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0012】

但し、ワッシャー型の切削ブレードを吸引保持するためには、フランジ面側にワッシャー型の切削ブレードが配置された状態で、ブレード交換治具の吸引部を押さえフランジの環状面側に押し当てる。このとき、ワッシャー型の切削ブレードが、押圧されることで破損する恐れがある。

【0013】

本発明は係る問題点に鑑みてなされたものであり、押さえフランジを介してワッシャー型の切削ブレードを保持する際に、ワッシャー型の切削ブレードが破損するリスクを低減可能なブレード保持治具を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0014】

本発明の一態様によれば、スピンドルの先端部に固定された受けフランジと共にワッシャー型の切削ブレードを挟持するように該先端部に装着される環状の押さえフランジを介して、該切削ブレードを保持するブレード保持治具であって、該押さえフランジの第１環状面を吸引保持する環状のフランジ保持部と、該フランジ保持部の外周部に配置され、該フランジ保持部で保持された該押さえフランジの外周部に向かって該押さえフランジの外周部の周りで流体の旋回流が生じるように流体を噴射することにより負圧を発生させて、該押さえフランジに向かって該切削ブレードを引き寄せる環状の非接触吸引部と、を備え、該非接触吸引部によって該押さえフランジに向かって引き寄せられた該切削ブレードは、該押さえフランジの該第１環状面とは反対側に位置し該切削ブレードの一面に接する第２環状面から該第１環状面まで貫通するように該押さえフランジに設けられた複数の貫通穴を介して、該フランジ保持部から作用する吸引力により該押さえフランジで保持されるブレード保持治具が提供される。

【0016】

また、好ましくは、該非接触吸引部は、環状凸部と、該環状凸部の外周側面に設けられた複数の開口と、を有し、該複数の開口の各々には、該外周側面の接線方向に対して所定角度傾いて流体が噴射される様に流路が接続されている。

【0017】

また、好ましくは、該フランジ保持部は、該押さえフランジの該第１環状面に接触する環状のパッド部を含む。

【0018】

また、好ましくは、該フランジ保持部には、第１開閉弁を介して該フランジ保持部に負圧を作用させる第１流路が接続されており、該非接触吸引部には、第２開閉弁を介して該非接触吸引部に流体を供給する第２流路が接続されている。

【0019】

また、好ましくは、ブレード保持治具は、該第１流路に発生する負圧を測定する圧力測定器と、該圧力測定器で測定された該第１流路の負圧と第１の圧力とを比較することにより、該押さえフランジが該フランジ保持部に吸着されているか否かと、該圧力測定器で測定された該第１流路の負圧と該第１の圧力の大きさよりも大きさが大きい第２の圧力とを比較することにより、該切削ブレードが該押さえフランジの該第２環状面に吸着されているか否かと、を判定する吸着判定部と、を更に備える。

【0020】

また、好ましくは、該フランジ保持部は、環状の該押さえフランジの開口を貫通するように配置された円柱状の凸部に対して嵌合する位置決め嵌合部を有する。

【0021】

また、好ましくは、ブレード保持治具は、該切削ブレードの該一面に形成され該切削ブレードの種類に関する情報を含むマークを撮像するカメラユニットと、該カメラユニットで撮像された該マークを読み取るマーク読み取り部と、を更に備える。

【0022】

また、好ましくは、該フランジ保持部には、第３開閉弁を介して第３流路が接続されており、該フランジ保持部によって該押さえフランジの該第２環状面で吸引保持された該切削ブレードに向かって該第３流路から流体を噴射することにより、該押さえフランジの該第２環状面から該切削ブレードが離れる。

【0023】

本発明の他の態様によれば、スピンドルの先端部に固定された受けフランジに切削ブレードが装着される切削ユニットを備える切削装置であって、該切削ブレードを収容するブレードストックボードと、該受けフランジに装着される該切削ブレードを交換する交換装置と、該切削ブレードを交換する交換位置と退避位置との間で該交換装置を移動させる移動ユニットと、を備え、該交換装置は、上述のブレード保持治具と、該受けフランジに締結される押さえナットを保持するナット保持部と、該押さえナットを回動させるナット回動部と、を有する切削装置が提供される。

【0024】

また、本発明の更なる他の態様によれば、ブレード保持治具を用いて、スピンドルの先端部に固定された受けフランジにワッシャー型の切削ブレードを装着する切削ブレードの装着方法であって、該ブレード保持治具は、該先端部に装着される環状の押さえフランジの第１環状面を吸引保持する環状のフランジ保持部と、該フランジ保持部の外周部に配置され、該フランジ保持部で保持された該押さえフランジの外周部に向かって該押さえフランジの外周部の周りで流体の旋回流が生じるように流体を噴射することにより負圧を発生させて、該押さえフランジに向かって該切削ブレードを引き寄せる環状の非接触吸引部と、を備え、該押さえフランジは、該押さえフランジの該第１環状面とは反対側に位置し該切削ブレードの一面に接する第２環状面から該第１環状面まで貫通するように設けられた複数の貫通穴と、を有し、該切削ブレードの装着方法は、ブレードストックボードに該第２環状面が支持された該押さえフランジの該第１環状面を該フランジ保持部で吸引保持する押さえフランジ保持ステップと、吸引保持された該押さえフランジの該第２環状面を該ブレードストックボードに載置された該切削ブレードに近づけて、該第２環状面と該切削ブレードとの距離を所定の長さ以下にする押さえフランジ近接ステップと、該押さえフランジ近接ステップの後、該押さえフランジの外周部の周りで流体の旋回流が生じるように該非接触吸引部から流体を噴射することで負圧を発生させて該切削ブレードを吸引し、該切削ブレードを該第２環状面に引き寄せる切削ブレード引き寄せステップと、該切削ブレード引き寄せステップで該第２環状面に近づいた該切削ブレードを、該複数の貫通穴から作用する吸引力により該第２環状面で保持する切削ブレード保持ステップと、該切削ブレードが該押さえフランジの該第２環状面で吸引力により保持された状態で、該受けフランジと該押さえフランジとで該切削ブレードを挟持する様に、該スピンドルに固定された該受けフランジに該切削ブレードと該押さえフランジとを装着する装着ステップと、を備える切削ブレードの装着方法が提供される。

【発明の効果】

【0025】

本発明の一態様に係るブレード保持治具は、押さえフランジの第１環状面を吸引保持する環状のフランジ保持部を備える。更に、ブレード保持治具は、フランジ保持部の外周部に配置され、フランジ保持部で保持された押さえフランジの外周部に向かって流体を噴射することにより負圧を発生させて、押さえフランジに向かってワッシャー型の切削ブレードを引き寄せる環状の非接触吸引部を備える。

【0026】

押さえフランジには、第１環状面の反対側に位置し切削ブレードの一面に接する第２環状面から、第１環状面まで貫通するように複数の貫通穴が設けられている。フランジ保持部で押さえフランジの第１環状面を吸引保持した後、非接触吸引部から流体を噴射することで発生した負圧によって、切削ブレードは押さえフランジに向かって引き寄せられる。

【0027】

そして、切削ブレードは、押さえフランジにおける複数の貫通穴を介して、押さえフランジで吸引保持される。この様に、押さえフランジを介してブレード交換治具でワッシャー型の切削ブレードを押圧することなく切削ブレードを吸引保持できるので、ワッシャー型の切削ブレードが破損するリスクを低減できる。

【図面の簡単な説明】

【0028】

【図1】第１の実施形態に係る切削装置の斜視図である。

【図2】切削ユニットの分解斜視図である。

【図3】切削ユニットの一部断面側面図である。

【図4】待機時のブレード交換ユニットの斜視図である。

【図5】交換作業時のブレード交換ユニットの斜視図である。

【図6】交換装置の側面図である。

【図7】ブレード保持治具の拡大斜視図である。

【図8】ブレード保持治具等の一部断面側面図である。

【図9】ブレードストックボードの斜視図である。

【図10】切削ブレード引き寄せステップを示す図である。

【図11】切削ブレード保持ステップを示す図である。

【図12】切削ブレードを取り外す様子を示す図である。

【図13】切削ブレードの装着方法のフロー図である。

【図14】切削ユニットの変形例を示す一部断面側面図である。

【図15】ブレード保持治具の正面側の斜視図である。

【図16】ブレード保持治具の背面側の斜視図である。

【図17】第２の実施形態に係るブレード保持治具等の一部断面側面図である。

【図18】切削ブレードを取り外す様子を示す図である。

【図19】第３の実施形態に係る切削装置の斜視図である。

【発明を実施するための形態】

【0029】

添付図面を参照して、本発明の一態様に係る実施形態について説明する。図１は、第１の実施形態に係る切削装置２の斜視図である。図１に示すＸ軸方向（加工送り方向）、Ｙ軸方向（割り出し送り方向）及びＺ軸方向（鉛直方向、高さ方向）は、互いに直交する方向である。

【0030】

なお、図１では、構成要素の一部を機能ブロックで示す。切削装置２は、各構成要素を支持する基台４を備える。基台４の角部には、昇降機構（不図示）によって昇降するエレベータ６が設けられている。

【0031】

エレベータ６の昇降台６ａの上面には、カセット８が載せられる。カセット８は、例えば、対向する一対の側面と、一対の側面を接続する接続部とを有する。各側面の内側には、高さ方向に所定の間隔で配置された複数の支持板８ａが設けられている。

【0032】

各側面の内側において同じ高さ位置にある一対の支持板８ａにより、１つの被加工物１１が支持される。被加工物１１は、例えば、シリコン等の半導体材料でなる円盤状のウェーハである。なお、被加工物１１の材質、形状、構造、大きさ等に制限はない。

【0033】

被加工物１１の表面側には、互いに交差する複数の分割予定ライン（ストリート）が設定されている。複数の分割予定ラインによって区画された各領域の表面側には、ＩＣ（Integrated Circuit）等のデバイスが形成されている。

【0034】

被加工物１１の裏面（表面とは反対側に位置する面）側には、円形のテープ（ダイシングテープ）１３が貼り付けられる。テープ１３は、被加工物１１の径よりも大きな径を有し、テープ１３の中央部には、被加工物１１の裏面側が貼り付けられる。

【0035】

また、テープ１３の外周部分には、金属製の環状のフレーム１５が貼り付けられている。被加工物１１は、テープ１３を介してフレーム１５によって支持された被加工物ユニット１７の形態で、カセット８に収容されている。なお、カセット８には、１又は複数の被加工物１１が収容される。

【0036】

エレベータ６にＸ軸方向で隣接する領域には、開口４ａが形成されている。開口４ａには、切削後の被加工物１１を洗浄する洗浄ユニット１０が配置されている。洗浄ユニット１０は、Ｚ軸方向に平行な回転軸を中心に回転するスピンナテーブル１２を有する。

【0037】

スピンナテーブル１２の上方には、純水等の液体とエアーとが混合された気液混合流体を噴射するためのノズル（不図示）が配置されている。洗浄ユニット１０の上方には、一対のガイドレール１４が設けられている。

【0038】

一対のガイドレール１４は、不図示の駆動機構により、Ｙ軸方向に沿って互いに近づいたり離れたりする様に移動する。これにより、被加工物ユニット１７のＹ軸方向の位置が調整される。ガイドレール１４に対してＹ軸方向に隣接する位置には、開口４ｂが形成されている。

【0039】

開口４ｂは、Ｘ軸方向に沿う長手部を有する矩形状の開口である。開口４ｂには、開口４ｂの一部を覆う矩形状のテーブルカバー１６が設けられている。テーブルカバー１６のＸ軸方向に両側には、Ｘ軸方向に伸縮可能な蛇腹状の防塵防滴カバー１８が設けられている。

【0040】

テーブルカバー１６の上方には、被加工物ユニット１７等を吸引保持するためのチャックテーブル２０が設けられている。チャックテーブル２０は、ステンレス鋼等の金属で形成された円盤状の枠体（不図示）を有する。

【0041】

枠体の上部には、円盤状の凹部が形成されており、当該凹部には円盤状のポーラス板（不図示）が固定されている。ポーラス板の下面側は、流路の一端側に接続されている。当該流路の他端側には、エジェクタ等の吸引源（不図示）が接続されている。

【0042】

吸引源を動作させると、ポーラス板の略平坦な上面（保持面）には負圧が生じる。例えば、被加工物１１の表面が露出する様に被加工物ユニット１７をチャックテーブル２０に載置した後、吸引源を動作させると、被加工物１１の裏面側が保持面で吸引保持される。

【0043】

チャックテーブル２０の側部には、被加工物ユニット１７のフレーム１５を挟持するクランプユニット２０ａが設けられている。例えば、チャックテーブル２０の保持面の中心を挟む様に、一対のクランプユニット２０ａが設けられている。

【0044】

テーブルカバー１６上において、チャックテーブル２０のＸ軸方向の一端側には、Ｙ軸方向に離れた態様で一対のドレステーブル２２が配置されている。ドレステーブル２２は、チャックテーブル２０よりも小型であり、上面視で矩形状である。

【0045】

ドレステーブル２２は、略平坦な上面（保持面）を有する。ドレステーブル２２の保持面上には、矩形板状のドレッシングボード（不図示）の一面側が吸引保持される。ドレッシングボードは、後述する切削ブレード３４の目立てを行う際に使用される。

【0046】

テーブルカバー１６の下方には、Ｚ軸方向に略平行な回転軸の周りにチャックテーブル２０を回転させるモーター等の回転駆動源（不図示）が配置されている。回転駆動源の回転軸は、チャックテーブル２０の枠体の下面に接続されている。

【0047】

回転駆動源の下方には、ボールネジ式のＸ軸移動機構（加工送りユニット）（不図示）が設けられている。Ｘ軸移動機構を動作させることにより、テーブルカバー１６及びチャックテーブル２０はＸ軸方向に沿って移動する。

【0048】

開口４ｂのうち、Ｙ軸方向で開口４ａと隣接する領域は、被加工物１１の搬入及び搬出が行われる搬入搬出領域である。また、開口４ｂのうち、搬入搬出領域に対してＸ軸方向の反対側に位置する領域は、被加工物１１の切削が行われる切削領域である。

【0049】

切削領域の上方には、金属等で形成された直方体状のカバー部材２４が設けられている。カバー部材２４によって覆われた空間の内部には、一対の切削ユニット２６が配置されている。ここで、図２及び図３を用いて切削ユニット２６の構成について説明する。

【0050】

図２は、切削ユニット２６の分解斜視図であり、図３は、切削ユニット２６の一部断面側面図である。切削ユニット２６は、筒状のスピンドルハウジング２８を有する。スピンドルハウジング２８内には、円柱状のスピンドル３０の一部が配置されている。スピンドル３０は、回転可能な態様でスピンドルハウジング２８に支持されている。

【0051】

スピンドル３０の一端部には、サーボモーター等の回転駆動源（不図示）が連結されている。スピンドル３０の他端部（先端部）は、スピンドルハウジング２８から突出しており、スピンドル３０の先端部には、ネジ穴３０ａが形成されている。

【0052】

スピンドル３０の先端部には、略円盤形状の受けフランジ３２が配置される。受けフランジ３２の中央部の一面側には、第１のボス部３２ａが形成されている。第１のボス部３２ａの内側凹部には、スピンドル３０の先端部が嵌合する。

【0053】

受けフランジ３２の中央部の他面側（即ち、第１のボス部３２ａとは反対側）には、ワッシャー型の切削ブレード３４と接する環状のフランジ面３２ｂが設けられている。フランジ面３２ｂよりも内側には、環状の凹部３２ｃが形成されている。

【0054】

凹部３２ｃよりも内側には、第２のボス部３２ｄが形成されている。第２のボス部３２ｄよりも内側には、第２のボス部３２ｄよりも受けフランジ３２の他面側に突出する態様で、第３のボス部３２ｅが形成されている。

【0055】

第３のボス部３２ｅの外周側面には雄ネジが形成されている。また、第３のボス部３２ｅの内側には、ワッシャー３８及びボルト４０を受けるための環状の受け部３２ｆが形成されている。

【0056】

受けフランジ３２の他面側には、受けフランジ３２と共に切削ブレード３４を挟持する環状の押さえフランジ３６が配置される。押さえフランジ３６は、受けフランジ３２に面する側に、環状の突出部３６ａを有する。

【0057】

突出部３６ａは、上述の凹部３２ｃに嵌合する形状を有する。突出部３６ａよりも内側には、第２のボス部３２ｄの外径と略同じ内径を有する貫通開口（開口）３６ｂが形成されており、突出部３６ａよりも外側には、切削ブレード３４に接する面となるフランジ面（第２環状面）３６ｃが形成されている。

【0058】

突出部３６ａは、フランジ面３６ｃよりも突出しており、突出部３６ａの外周部の底部には、フランジ面３６ｃの内周端部に直交する態様で接続する外周側面３６ａ_１が形成されている。

【0059】

突出部３６ａは、環状の表面３６ａ_２を有し、表面３６ａ_２側の外周部には、ラウンド形状を有する角部が形成されている。つまり、突出部３６ａの外径は、突出部３６ａの底部から突出部３６ａの表面３６ａ_２に進むにつれて徐々に小さくなる。

【0060】

突出部３６ａ及びフランジ面３６ｃとは反対側には、環状面（第１環状面）３６ｄが形成されている。押さえフランジ３６には、環状面３６ｄからフランジ面３６ｃまで貫通する複数の貫通穴３６ｅが形成されている。

【0061】

各貫通穴３６ｅは、環状面３６ｄからフランジ面３６ｃに進むにつれて、押さえフランジ３６の径方向の外側に向かう様に形成されている。押さえフランジ３６には、例えば、４つの貫通穴３６ｅが形成される。４つの貫通穴３６ｅは、例えば、それぞれ約１ｍｍの穴径を有し、環状面３６ｄの周方向に沿って略等間隔で配置される。

【0062】

環状面３６ｄに接する態様で、受けフランジ３２の第３のボス部３２ｅの外周部には、環状の押さえナット４２が配置される。押さえナット４２の内周側面には、雌ネジ４２ａが形成されている。

【0063】

押さえナット４２の外周側面には、押さえナット４２を把持する際に利用される環状溝４２ｂが形成されている。また、押さえナット４２の環状の一側面には、後述するピン８４が嵌合する複数の嵌合穴４２ｃが形成されている。

【0064】

ここで、切削ブレード３４をスピンドル３０の先端部に装着する手順の概要を説明する。まず、受け部３２ｆにワッシャー３８を配置した状態で、ボルト４０の軸をネジ穴３０ａに締結する。これにより、スピンドル３０の先端部に受けフランジ３２を固定する。

【0065】

次に、フランジ面３６ｃで切削ブレード３４を吸引保持した状態で（詳細は後述する）、突出部３６ａを凹部３２ｃに嵌合させる。このとき、貫通開口３６ｂの内周側面は、第２のボス部３２ｄに接する。

【0066】

この状態で、押さえナット４２を第３のボス部３２ｅに締結することで、切削ブレード３４は、受けフランジ３２と押さえフランジ３６との間で固定され、切削ブレード３４及び押さえフランジ３６が受けフランジ３２に装着される。

【0067】

ここで、図１に戻って、切削装置２の他の構成要素について説明する。カバー部材２４の搬入搬出領域側の側面には、ドア部５０が設けられている。ドア部５０は、上下方向又は左右方向に移動することで、カバー部材２４の側面を開閉する。

【0068】

基台４の上方には、第１の搬送ユニット５２が設けられている。第１の搬送ユニット５２は、水平方向移動機構（不図示）によりＸ軸方向及びＹ軸方向に沿って移動可能である。第１の搬送ユニット５２は、長手部がＺ軸方向に沿って配置されたエアシリンダを有する。

【0069】

エアシリンダ内には、ロッドの一部が収容されている。エアシリンダを動作させると、ロッドはＺ軸方向に移動する。ロッドの下端部には、吸着ユニット５２ａが設けられている。吸着ユニット５２ａは、上面視で略十字形状のブラケットと、ブラケットの下面側に設けられた複数の吸着ヘッド（不図示）と、を有する。

【0070】

吸着ユニット５２ａは、被加工物ユニット１７のフレーム１５を吸着可能である。吸着ユニット５２ａのエレベータ６側の端部には、フレーム１５の外周部の一部を把持可能な把持機構５２ｂが設けられている。

【0071】

第１の搬送ユニット５２の上方には、第２の搬送ユニット５４のアーム部が設けられている。第２の搬送ユニット５４は、Ｙ軸移動機構（不図示）によりＹ軸方向に沿って移動可能である。

【0072】

第２の搬送ユニット５４も、長手部がＺ軸方向に沿って配置されたエアシリンダと、エアシリンダ内に一部が収容されたロッドと、を有する。ロッドの下端部には、吸着ユニット５４ａが設けられている。吸着ユニット５４ａも、上面視で略十字形状のブラケットと、ブラケットの下面側に設けられた複数の吸着ヘッド（不図示）と、を有する。

【0073】

ここで、切削装置２を用いて被加工物１１を切削する手順を簡単に説明する。まず、把持機構５２ｂでフレーム１５を把持した状態で、第１の搬送ユニット５２によりカセット８から一対のガイドレール１４へ被加工物ユニット１７を引き出す。

【0074】

一対のガイドレール１４で被加工物ユニット１７のＹ軸方向の位置を調整した後、吸着ユニット５２ａでフレーム１５を吸着し、第１の搬送ユニット５２により、図１に示す搬入搬出領域にあるチャックテーブル２０へ被加工物ユニット１７を搬送する。

【0075】

そして、チャックテーブル２０で被加工物１１の裏面側を吸引保持した状態で、Ｘ軸移動機構を動作させてチャックテーブル２０を切削領域へ移動させる。その後、アライメント等を行った後、切削ユニット２６で被加工物１１を切削する。

【0076】

切削後、チャックテーブル２０を再び搬入搬出領域へ移動させる。そして、吸着ユニット５４ａでフレーム１５を吸着し、第２の搬送ユニット５４により、チャックテーブル２０から洗浄ユニット１０へ被加工物ユニット１７を搬送する。

【0077】

被加工物１１の洗浄時には、スピンナテーブル１２で被加工物１１の裏面側を吸引保持した状態で、スピンナテーブル１２を回転させる。そして、被加工物１１の表面側に気液混合流体を噴射することで、被加工物１１を洗浄し、その後、乾燥させる。

【0078】

乾燥後、第１の搬送ユニット５２で被加工物ユニット１７を一対のガイドレール１４へ搬送する。その後、第１の搬送ユニット５２の把持機構を利用して、一対のガイドレール１４からカセット８へ被加工物ユニット１７を押し込む。

【0079】

ところで、切削を進めるにつれて、切削ブレード３４は摩耗するので、摩耗した切削ブレード３４を交換する必要がある。本実施形態の切削装置２は、ワッシャー型の切削ブレード３４を交換するためのブレード交換ユニット５６を有する。

【0080】

図４及び図５を用いてブレード交換ユニット５６を説明する。図４は、待機時のブレード交換ユニット５６の斜視図であり、図５は、使用済の切削ブレード３４を新しい切削ブレード３４に交換する交換作業時のブレード交換ユニット５６の斜視図である。

【0081】

ブレード交換ユニット５６は、基台４に対して固定されたベース板５８を有する。ベース板５８には、多関節型ロボットをＺ軸方向に沿って移動させるための昇降機構６０が設けられている。

【0082】

昇降機構６０は、ベース板５８の下部に設けられたモーター（不図示）と、モーターの回転軸に連結された駆動プーリー（不図示）とを有する。また、ベース板５８の上部には、従動プーリー（不図示）が設けられている。

【0083】

駆動プーリーと従動プーリーとには、１本の歯付無端ベルト（不図示）が架けられており、この歯付無端ベルトの一部には、金属製の第１の支持具６２が固定されている。第１の支持具６２は、歯付無端ベルトの移動に伴いＺ軸方向に沿って移動する。

【0084】

例えば、昇降機構６０のモーターの回転軸を所定方向に回転させると、第１の支持具６２は上昇し、モーターの回転軸を所定方向と反対方向に回転させると、第１の支持具６２は下降する。なお、昇降機構６０は、歯付無端ベルト等の構成に限定されない。

【0085】

昇降機構６０は、ボールネジ式の昇降機構であってもよい。ボールネジ式の昇降機構は、長手部がＺ軸方向に沿って配置された一対のガイドレール（不図示）を有する。一対のガイドレールには、移動プレート（不図示）がＺ軸方向にスライド可能な態様で取り付けられている。

【0086】

移動プレートの一面側には、ナット部（不図示）が設けられている。ナット部には、ガイドレールに略平行なボールネジが螺合されている。ボールネジの一端には、パルスモーター（不図示）が連結されている。

【0087】

また、移動プレートの他面には、上述の第１の支持具６２が固定される。パルスモーターを所定方向に回転させると、第１の支持具６２は上昇し、パルスモーターを所定方向とは反対方向に回転させると、第１の支持具６２は下降する。

【0088】

第１の支持具６２には、モーター等の回転駆動源を有する第１の回転機構６４が取り付けられている。当該回転駆動源の回転軸は、Ｚ軸方向に略平行に配置されている。当該回転軸には、長手部がＺ軸方向に略直交する様に配置された第１のアーム６６の一端部が取り付けられている。

【0089】

第１のアーム６６の他端部には、第２の回転機構６８が取り付けられている。第２の回転機構６８は、回転軸がＺ軸方向に略平行に配置されたモーター等の回転駆動源を有する。この回転軸には、長手部がＺ軸方向に略直交する様に配置された第２のアーム７０の一端部が取り付けられている。

【0090】

第２のアーム７０の他端部には、第３の回転機構７２が取り付けられている。第３の回転機構７２は、モーター等の回転駆動源を有し、当該回転駆動源の回転軸は、Ｚ軸方向に略平行に配置されている。当該回転軸には、金属製の第２の支持具７４が取り付けられている。

【0091】

第２の支持具７４には、交換装置７６が固定されている。交換装置７６は、各々上述の昇降機構６０、第１の回転機構６４、第１のアーム６６、第２の回転機構６８、第２のアーム７０、第３の回転機構７２等で構成される移動ユニットにより、図４に示す退避位置と、図５に示す交換位置との間で移動させられる。

【0092】

交換装置７６は、略円筒状の筐体７６ａを有する。筐体７６ａの内部には、筐体７６ａの高さ方向に沿う回転軸７６ｂの周りに筐体７６ａを回転させるための、モーター等の回転駆動源（不図示）が収容されている。

【0093】

図６は、交換装置７６の側面図である。筐体７６ａの側面には、回転軸７６ｂを挟む様に一対のブレード保持治具７８が配置されている。また、筐体７６ａの側面において一対のブレード保持治具７８の間には、押さえナット４２を回転させるためのナット保持部８０が設けられている。

【0094】

ナット保持部８０は、円柱状の小径部と、当該小径部と同軸状に配置された大径部とを含む凸部８２を有する。大径部の一端部には、バネ等の付勢部材で一端が付勢された４つのピン８４が、大径部の周方向に沿って等間隔に配置されている。大径部とは反対側に位置する小径部の一端部には、モーター（回転駆動源）８６の出力軸（所定の回転軸）８８が連結されている。モーター８６及び出力軸８８は、ナット回動部を構成する。

【0095】

出力軸８８の周りには、凸部８２の周方向に沿って等間隔で４つの爪部９０が配置されており、各爪部９０の基端部は、凸部８２の小径部に連結されている。各爪部９０の先端部は、凸部８２の大径部の一端部よりも突出し、大径部及び小径部の外側に位置している。

【0096】

各爪部９０の先端部及び基端部の間の領域と、大径部の外周部との間には、圧縮バネ等の付勢部材（不図示）が配置されており、各爪部９０は、凸部８２の径方向の外側に付勢されている。爪部９０の外側には、円筒状のカバー部材９２が設けられている。

【0097】

カバー部材９２は、出力軸８８に固定されたエアシリンダ等のアクチュエーター９４により、出力軸８８の長手方向に沿って移動可能である。カバー部材９２が外側に押し出されると、各爪部９０の先端部は、凸部８２に近づく様に移動する。

【0098】

これに対して、カバー部材９２が内側に引き込まれると、各爪部９０の先端部は、付勢部材により凸部８２から離れる様に移動する。この様に、カバー部材９２を移動させることで、各爪部９０の先端部を、互いに近づけたり、互いに遠ざけたりできる。

【0099】

ナット保持部８０で押さえナット４２を回転させる場合には、まず、上述のピン８４を嵌合穴４２ｃに挿入する。そして、カバー部材９２を外側に押し出すことで、各爪部９０の先端部を環状溝４２ｂに係合させる。

【0100】

複数の爪部９０で押さえナット４２を保持した状態で、モーター８６を動作させて出力軸８８を所定方向に回転させると、ナット保持部８０が所定方向に回転し、押さえナット４２が受けフランジ３２から取り外される。なお、ナット保持部８０を所定方向の反対方向に回転させれば、押さえナット４２を受けフランジ３２に締結できる。

【0101】

次に、ブレード保持治具７８の構造について説明する。図７は、ブレード保持治具７８の拡大斜視図であり、図８は、ブレード保持治具７８等の一部断面側面図である。なお、図８では、構成要素の一部を機能ブロックで示し、流体の流路を簡略化して線で示す。

【0102】

ブレード保持治具７８は、金属等で形成された有底円筒状の枠体９８を有する。枠体９８の開口部には、ゴム、樹脂、エラストマー等の弾性材料で形成された環状のフランジ保持部１００が配置されている。

【0103】

フランジ保持部１００は、枠体９８の底部側に配置された環状の基部１０２を含む。基部１０２の一面の内周側には、基部１０２から枠体９８の開口部側へ突出する環状の内側リップ部１０４ａが形成されている。

【0104】

内側リップ部１０４ａは、基端部の径が先端部の径よりも大きくなる様に、枠体９８の径方向の中心側に傾いた傾斜面を有する。基部１０２の一面の外周側には、基部１０２から枠体９８の開口部側へ突出している環状の外側リップ部１０４ｂが形成されている。

【0105】

外側リップ部１０４ｂは、基端部の径が先端部の径よりも小さくなる様に、枠体９８の径方向の外側に傾いた傾斜面を有する。内側リップ部１０４ａ及び外側リップ部１０４ｂは、押さえフランジ３６の環状面３６ｄに接触する環状のパッド部として機能する。

【0106】

内側リップ部１０４ａ及び外側リップ部１０４ｂと、基部１０２とにより、基部１０２の一面側には、環状の凹部１０４ｃが形成される。なお、内側リップ部１０４ａ及び外側リップ部１０４ｂに代えて、径の異なる２つのＯリングを同心円状に基部１０２に配置することで、基部１０２の一面側に、環状の凹部１０４ｃを形成してもよい。

【0107】

凹部１０４ｃの底部側には、基部１０２を貫通する複数の貫通孔１０６が形成されている。本実施形態では、凹部１０４ｃの周方向に沿って互いに離れるように、４つの貫通孔１０６が形成されている（図７参照）。

【0108】

図８に示す様に、貫通孔１０６は、第１流路１１０の一端に接続されている。また、第１流路１１０の他端には、エアー供給源１１２が接続されている。エアー供給源１１２は、例えば、エアーを圧縮するコンプレッサーと、圧縮されたエアーが溜められたタンクと、エアー中の水滴やダストを除去するフィルターと、を有する。

【0109】

第１流路１１０において、エアー供給源１１２と貫通孔１０６との間には、第１のバルブ（第１開閉弁）１１４が設けられている。第１のバルブ１１４は、例えば、開閉が電気的に制御される電磁弁である。

【0110】

第１のバルブ１１４と貫通孔１０６との間には、エジェクタ１１６が設けられている。第１のバルブ１１４が開状態になり、エアー供給源１１２からエジェクタ１１６にエアーが供給されると、エジェクタ１１６は、ベンチュリの法則に従い負圧を発生させる。

【0111】

エジェクタ１１６で発生した負圧は、第１流路１１０を介して、貫通孔１０６に作用する。第１流路１１０には、エジェクタ１１６と貫通孔１０６との間の位置での圧力を測定するための圧力測定器１１８（圧力センサ）が配置されている。

【0112】

例えば、圧力測定器１１８によりゲージ圧（絶対圧と大気圧との差）を測定することで、第１流路１１０における圧力（例えば、負圧）が測定される。第１流路１１０には、エアー供給源１１２及び第１のバルブ１１４の間と、圧力測定器１１８及び貫通孔１０６の間とを結ぶバイパス流路（第３流路）１２０が接続されている。

【0113】

つまり、バイパス流路１２０は、第１流路１１０を介して貫通孔１０６（即ち、フランジ保持部１００）に接続されている。バイパス流路１２０には、バイパス流路用バルブ（第３開閉弁）１２２が配置されている。バイパス流路用バルブ１２２は、例えば、開閉が電気的に制御される電磁弁である。

【0114】

第１のバルブ１１４を閉状態とし、バイパス流路用バルブ１２２を開状態とすれば、バイパス流路１２０からエアー（流体）が噴射される。この様にして、フランジ保持部１００で吸引保持された押さえフランジ３６に対して、貫通孔１０６からエアーを噴射できる。

【0115】

フランジ保持部１００の外周部には、枠体９８の底部及び外周壁９８ｂと、フランジ保持部１００の外周側部とにより、環状の外側凹部９８ａが形成されている。外側凹部９８ａには、金属等で形成された環状の部品である非接触吸引部１２４が配置されている。

【0116】

非接触吸引部１２４は、フランジ保持部１００の開口部よりも突出しない程度に枠体９８の開口部側に突出する環状凸部１２４ａを含む。環状凸部１２４ａの外周側面１２４ｂには、複数の開口１２４ｃが形成されている。

【0117】

本実施形態では、環状凸部１２４ａの周方向に沿って略等間隔で８つの開口１２４ｃが形成されているが、開口１２４ｃの数は、８つに限定されるものではない。各開口１２４ｃには、第２流路１２６の一端が接続されている。

【0118】

第２流路１２６の他端は、エアー供給源１１２に接続されている。エアー供給源１１２と開口１２４ｃとの間には、第２のバルブ（第２開閉弁）１２８が設けられている。第２のバルブ１２８は、例えば、開閉が電気的に制御される電磁弁である。

【0119】

第２流路１２６の一端は、外周側面１２４ｂの接線方向に対して鋭角を成す所定角度θだけ傾く様に接続されている（図７参照）。第２のバルブ１２８を開状態にすると、第２流路１２６にエアーが供給される。

【0120】

外周側面１２４ｂの外側には、非接触吸引部１２４の外側凹部１２４ｄを隔てて枠体９８の外周壁９８ｂが存在する。外周壁９８ｂには、複数の切り欠き９８ｃが形成されている。本実施形態では、４つの切り欠き９８ｃが、外周壁９８ｂの周方向に沿って略等間隔に形成されているが、切り欠き９８ｃの数は、４つに限定されるものではない。

【0121】

第２のバルブ１２８を開状態とすると、外周側面１２４ｂの接線方向に対して所定角度θだけ傾く方向で、複数の開口１２４ｃからエアー（流体）が噴射される。開口１２４ｃから噴射されたエアーにより、外側凹部１２４ｄには旋回流が生じる。

【0122】

旋回流は、枠体９８の開口部から外側に進むにつれて、枠体９８の径方向の外側に広がる様に旋回する。それゆえ、旋回流が生じると、枠体９８の開口部の近傍での圧力が、ベルヌーイの定理に従って低下する。これにより、枠体９８の開口部の近傍では、負圧が生じる。

【0123】

なお、外周壁９８ｂを設けない場合、エアーは枠体９８の外側に逃げ、旋回流が形成され難くなる。本実施形態では、外周壁９８ｂを設けない場合に比べて、適切な流速を有する旋回流を形成し易くなるので、枠体９８の開口部の近傍に適切な負圧を発生できる。

【0124】

枠体９８のうちフランジ保持部１００よりも内側には、円柱状の内側凹部９８ｄが形成されている。当該内側凹部９８ｄは、外側凹部９８ａよりも深い位置まで形成されており、後述する様に、位置決め嵌合部として機能する。

【0125】

内側凹部９８ｄの底部には、カメラユニット１３０の光学系を構成するレンズ１３２が配置されている。カメラユニット１３０は、被写体に対して光を照射するＬＥＤ等の光源（不図示）と、レンズ１３２等を含む光学系を介して撮像を行うＣＭＯＳイメージセンサ又はＣＣＤイメージセンサ等の撮像素子（不図示）とを更に有する。

【0126】

ここで、再び図１に戻り、切削装置２の他の構成要素について説明する。開口４ｂのブレード交換ユニット５６側の縁部には、矩形状の仮置き用カバー１３４の一端辺がヒンジ１３６を介して回転可能な態様で固定されている。

【0127】

仮置き用カバー１３４は、被加工物１１の切削時には、図１の実線で示す様に立った状態となる。これに対して、ブレード交換ユニット５６による切削ブレード３４の交換作業時には、仮置き用カバー１３４は、図１の二点鎖線で示す様に横になった状態となる。

【0128】

基台４において、カバー部材２４とは反対側に位置する縁部の外側には、円盤状の載置台１３８が配置されている。載置台１３８の下方には、モーター等の回転駆動源（不図示）が配置されている。

【0129】

載置台１３８の底面の中心部には、回転駆動源の出力軸が連結されている。回転駆動源を動作させれば、載置台１３８は所定方向に回転する。載置台１３８の上面には、円盤状のブレードストックボード１４０が載置されている。

【0130】

図９は、ブレードストックボード１４０の斜視図である。ブレードストックボード１４０の一面１４０ａ側には、ブレードケース１４２が配置される第１凹部１４４と、押さえフランジ３６が配置される第２凹部１４６とが形成されている。

【0131】

本実施形態では、一面１４０ａの中心を挟む様に、２つの第２凹部１４６が設けられている。更に、一面１４０ａの周方向において、２つの第２凹部１４６の間の一方の円弧状の領域と他方の円弧状の領域とには、それぞれ４つの第１凹部１４４が設けられている。

【0132】

なお、第１凹部１４４及び第２凹部１４６の数は、図９に示す例に限定されない。第１凹部１４４には、樹脂製のブレードケース１４２をそれぞれ構成する第１蓋及び第２蓋のうち、第１蓋から分離された第２蓋だけが配置されている。

【0133】

第２蓋には、円柱状の第１凸部１４２ａが設けられている。第１凸部１４２ａは、ワッシャー型の切削ブレード３４の開口部に嵌合し、第２蓋に対する切削ブレード３４の位置を決める位置決め部として機能する。第１凸部１４２ａに切削ブレード３４を配置することで、ブレードケース１４２に切削ブレード３４が収容される。

【0134】

切削ブレード３４における環状の両面のうち少なくとも一面には、マーク３４ａが設けられる。マーク３４ａは、例えば、文字バーコード、２次元コード等の形態で切削ブレード３４に設けられる。

【0135】

マーク３４ａは、切削ブレード３４に直接印字されてよく、マーク３４ａが表記されたシールを切削ブレード３４に貼り付けてもよい。マーク３４ａは、例えば、上述のブレード交換ユニット５６のカメラユニット１３０で撮像される。

【0136】

マーク３４ａは、切削ブレード３４の種類に関する情報を含む。当該情報は、例えば、切削ブレード３４の外径、内径、厚さ、砥粒の種類、砥粒の粒度、ボンドの種類、シリアル番号、収容されるブレードケース１４２を特定する識別情報等である。

【0137】

なお、ブレードケース１４２には、所定のブレードケース１４２に配置される切削ブレード３４を特定する識別情報を含むマークが、文字、バーコード、２次元コード等の形態で設けられていてもよい。当該マークも、カメラユニット１３０で撮像可能である。

【0138】

ところで、ブレードストックボード１４０は、ガラス、プラスチック等で形成され、少なくとも一部が透明であってもよい。例えば、第１凹部１４４、第２凹部１４６等に対応する部分が透明である場合には、切削ブレード３４やブレードケース１４２の識別情報をブレードストックボード１４０越しにカメラユニット１３０で読み取ることができる。

【0139】

第１凸部１４２ａの内側には、第１凸部１４２ａよりも突出し、第１凸部１４２ａよりも小径の第２凸部１４２ｂが設けられている。第２凸部１４２ｂは、後述する様に、押さえフランジ３６と切削ブレード３４との位置合わせに利用される。

【0140】

また、第２凹部１４６には、円柱状の第３凸部（凸部）１４６ａが設けられている。第３凸部１４６ａは、押さえフランジ３６の貫通開口３６ｂに貫通することで、押さえフランジ３６の位置を決める。第２凹部１４６には、第２凹部１４６の底部にフランジ面３６ｃが支持され、環状面３６ｄが露出する態様で、押さえフランジ３６が配置される。

【0141】

なお、第３凸部１４６ａには、第２凹部１４６に配置される押さえフランジ３６を特定する識別情報を含むマークが、文字、バーコード、２次元コード等の形態で設けられてもよい。当該マークも、カメラユニット１３０で撮像可能である。

【0142】

ところで、ブレードストックボード１４０には、矩形状のドレッシングボードが配置される第３凹部（不図示）が更に設けられてもよい。第３凹部は、ブレードストックボード１４０の上面視で矩形状の開口を有する。

【0143】

また、ドレッシングボードには、砥粒の種類、砥粒の粒度、集中度、ボンドの種類、シリアル番号等の情報を含むマークが、文字、バーコード、２次元コード等の形態で設けられてもよい。なお、第３凹部にも、第３凹部に配置されるドレッシングボードを特定する識別情報を含むマークが、文字、バーコード、２次元コード等の形態で記載されてもよい。

【0144】

ところで、図９では、ブレードケース１４２の第２蓋のみが配置される場合を示したが、下方に配置される第２蓋と、第２蓋を覆う様に第２蓋の上方に配置される第１蓋とが、セットで第１凹部１４４に配置されてもよい。

【0145】

この場合、第１蓋の外周部の一部には、第２蓋に係合する爪等の係合部（不図示）が形成されている。第１蓋の中心に対して、係合部と反対側に位置する外周部の一部は、粘着テープ等の接続部材（不図示）が貼り付けられている。

【0146】

第１蓋は、接続部材を介して、第２蓋の外周部の一部に接続されている。接続部は、第１蓋及び第２蓋のヒンジ部として機能し、第１蓋及び第２蓋は、接続部を支点として、開閉される。

【0147】

第１蓋及び第２蓋のセットは、係合部が一面１４０ａの外周側に位置し、接続部が一面１４０ａの中心側に位置する様に配置される。なお、第１凹部１４４の底面の一部には、円盤状の吸引パッド（不図示）を進退可能にするための貫通開口（不図示）が形成される。

【0148】

貫通開口の下方には、第２蓋の下面を吸引保持する吸引パッドを有する吸引機構（不図示）が配置される。また、吸引機構の近傍には、第１蓋の係合部を下方から突き上げて、第１蓋の係合を解除する突き上げ機構（不図示）が配置される。

【0149】

突き上げ機構の近傍であって、一面１４０ａの外周部には、一面１４０ａの径方向に沿って伸縮可能な押し当てピンを有する、押し当て機構（不図示）が配置されている。押し当て機構は、一面１４０ａの中心へ押し当てピンを伸ばすことで、第１蓋の内側を押して、接続部を支点として第１蓋を開く。

【0150】

一面１４０ａの中心近傍には、一面１４０ａに略平行に配置されたバー部材（不図示）が設けられている。バー部材は、一面１４０ａの径方向に沿って進退可能である。バー部材の一端には、一対のローラー部（不図示）が連結されている。

【0151】

バー部材は、第１蓋を閉じる際に使用される。具体的には、バー部材が、一面１４０ａの外周へ進むことで、第１蓋の外側が一対のローラー部により押され、接続部を支点として第１蓋が閉じられる。

【0152】

この様に、吸引機構、突き上げ機構、押し当て機構及びバー部材を用いてブレードケース１４２の開閉を行うことで、通常は切削ブレード３４を保護しつつも、交換作業時には切削装置２側でブレードケース１４２を自動的に開閉できる。

【0153】

再び図１に戻り、切削装置２の他の構成要素について説明する。エレベータ６、ガイドレール１４、チャックテーブル２０用の回転駆動源及びＸ軸移動機構、切削ユニット２６、第１の搬送ユニット５２、第２の搬送ユニット５４、ブレード交換ユニット５６、載置台１３８等の動作は、制御ユニット１５０により制御される。

【0154】

制御ユニット１５０は、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）に代表されるプロセッサ等の処理装置と、ＤＲＡＭ（Dynamic Random Access Memory）、ＳＲＡＭ（Static Random Access Memory）、ＲＯＭ（Read Only Memory）等の主記憶装置と、フラッシュメモリ、ハードディスクドライブ、ソリッドステートドライブ等の補助記憶装置と、を含むコンピュータによって構成されている。

【0155】

補助記憶装置には、ソフトウェアが記憶されており、このソフトウェアに従い処理装置等を動作させることによって、制御ユニット１５０の機能が実現される。補助記憶装置には、上述の圧力測定器１１８で測定された圧力を所定の圧力と比較するための所定のプログラムが記憶されている。

【0156】

所定のプログラムは、吸着判定部１５２ａとして機能する。吸着判定部１５２ａは、圧力測定器１１８で測定された負圧（ゲージ圧）を監視する。更に、吸着判定部１５２ａは、圧力測定器１１８で測定されたゲージ圧を予め定められた圧力と比較する。

【0157】

具体的には、吸着判定部１５２ａは、圧力測定器１１８で測定されたゲージ圧を、予め定められた第１ゲージ圧（第１の圧力）や、第１ゲージ圧の大きさよりも大きさが大きい値の第２ゲージ圧（第２の圧力）と比較する。

【0158】

これにより、吸着判定部１５２ａは、ブレード保持治具７８における吸着対象の吸着の成否を判定する。なお、第１ゲージ圧及び第２ゲージ圧の大きさは、貫通穴３６ｅの大きさや、エジェクタ１１６等の吸引源の性能に応じて、適宜調整される。

【0159】

補助記憶装置には、上述のカメラユニット１３０で撮像されたマーク３４ａ等の各種マークをデコードする他のプログラムが記憶されている。他のプログラムは、各種マークに含まれている情報を読み取るためのマーク読み取り部１５２ｂとして機能する。

【0160】

マーク読み取り部１５２ｂで読み取られた情報は、液晶ディスプレイ、タッチパネル等の表示装置（不図示）に表示される。表示装置は、例えば、基台４を覆う筐体（不図示）の一側面に配置される。

【0161】

次に、図８、及び、図１０から図１３等を参照しながら、ブレード交換ユニット５６を用いて受けフランジ３２に切削ブレード３４を装着する装着方法について説明する。なお、図１３は、切削ブレード３４の装着方法のフロー図である。

【0162】

まず、仮置き用カバー１３４を、図１において二点鎖線で示す様に、横になった状態とする。次いで、そして、図５に示す様に、ブレード交換ユニット５６の第１のアーム６６等を展開させる。次いで、図８に示す様に、一のブレード保持治具７８を、ブレードストックボード１４０の押さえフランジ３６に対面させる。

【0163】

そして、交換装置７６を下降させて、内側凹部９８ｄを第３凸部１４６ａに嵌合させる。本実施形態では、内側凹部９８ｄが位置決め嵌合部として機能するので、フランジ保持部１００を、環状面３６ｄ上にスムーズに配置できる。

【0164】

次いで、第１のバルブ１１４を開状態として、エジェクタ１１６が発生する負圧により、押さえフランジ３６の環状面３６ｄを、フランジ保持部１００で吸引保持する（押さえフランジ保持ステップ（Ｓ１０））（図８参照）。

【0165】

押さえフランジ３６がフランジ保持部１００で吸着されると、フランジ保持部１００へのエアーの流入量が減少し、圧力測定器１１８で測定される負圧の大きさが、予め定められた第１ゲージ圧（例えば、－０．００５ＭＰａ）の大きさを超える。

【0166】

例えば、圧力測定器１１８で測定される負圧は、－０．０１１ＭＰａとなり、負圧の大きさが、第１ゲージ圧の大きさを超える。この場合、吸着判定部１５２ａは、押さえフランジ３６がフランジ保持部１００で吸引保持されたと判定する。

【0167】

押さえフランジ保持ステップ（Ｓ１０）の後、交換装置７６を水平方向に移動させ、吸引保持した押さえフランジ３６のフランジ面３６ｃを、ブレードストックボード１４０に載置された切削ブレード３４に近づける。

【0168】

なお、このとき、上述のマーク３４ａをカメラユニット１３０で撮像し、マーク３４ａに含まれる情報を、マーク読み取り部１５２ｂで読み取ってもよい。次に、交換装置７６を下降させる。

【0169】

そして、フランジ面３６ｃと切削ブレード３４との距離を所定の長さ以下とする（押さえフランジ近接ステップ（Ｓ２０））。例えば、押さえフランジ３６の表面３６ａ_２を第１凸部１４２ａの上面に接触させる。

【0170】

押さえフランジ近接ステップ（Ｓ２０）の後、第１のバルブ１１４を開状態としたまま、第２のバルブ１２８を開状態とし、各開口１２４ｃから押さえフランジ３６の外周部３６ｆに向かってエアー（流体）を噴射する。

【0171】

外周部３６ｆの周りで生じるエアーの旋回流によって負圧が生じ、切削ブレード３４は、フランジ面３６ｃに向かって上昇するように吸引され、フランジ面３６ｃに引き寄せられる（切削ブレード引き寄せステップ（Ｓ３０））。

【0172】

図１０は、切削ブレード引き寄せステップ（Ｓ３０）を示す図である。切削ブレード引き寄せステップ（Ｓ３０）の後、第１のバルブ１１４を開状態としたまま、第２のバルブ１２８を閉状態にする。

【0173】

これにより、フランジ面３６ｃに近づいた切削ブレード３４は、貫通穴３６ｅから作用する吸引力によって、フランジ面３６ｃに接した状態で、フランジ面３６ｃで保持される（切削ブレード保持ステップ（Ｓ４０））。

【0174】

図１１は、切削ブレード保持ステップ（Ｓ４０）を示す図である。切削ブレード保持ステップ（Ｓ４０）では、押さえフランジ３６を介してブレード保持治具７８で切削ブレード３４を吸引保持する。それゆえ、押さえフランジ３６及びブレード保持治具７８は、切削ブレード３４を吸引保持する保持ユニットとして機能する。

【0175】

本実施形態では、切削ブレード３４を吸引保持する際に押さえフランジ３６を介してブレード交換治具で切削ブレード３４を押圧しないので、切削ブレード３４を押圧することにより切削ブレード３４が破損するリスクを低減できる。

【0176】

加えて、切削ブレード保持ステップ（Ｓ４０）では、切削ブレード３４の内周部３４ｂが、突出部３６ａの外周側面３６ａ_１に接する。それゆえ、突出部３６ａを利用して、切削ブレード３４の位置を自動的に決めることができる。

【0177】

フランジ面３６ｃで、切削ブレード３４が吸引保持されると、フランジ保持部１００へのエアーの流入量が更に減少し、圧力測定器１１８で測定される負圧の大きさが、予め定められた第２ゲージ圧（例えば、－０．０４ＭＰａ）の大きさを超える。

【0178】

例えば、圧力測定器１１８で測定される負圧は、－０．０５５ＭＰａとなり、負圧の大きさが、第２ゲージ圧の大きさを超える。この場合、吸着判定部１５２ａは、切削ブレード３４が押さえフランジ３６で吸引保持されたと判定する。

【0179】

この様に、吸着判定部１５２ａは、圧力測定器１１８で測定されるゲージ圧の測定結果から、押さえフランジ３６がフランジ保持部１００に吸着されているか否かに加えて、切削ブレード３４がフランジ面３６ｃに吸着されているかを判定する。

【0180】

切削ブレード保持ステップ（Ｓ４０）の後、開状態のドア部５０に第２のアーム７０を挿入し、交換装置７６のナット保持部８０を切削ユニット２６の押さえナット４２に対面させる。

【0181】

ピン８４を嵌合穴４２ｃに挿入した後、各爪部９０の先端部を押さえナット４２の環状溝４２ｂに係合させて、押さえナット４２を保持する。この状態で、ナット保持部８０を所定方向に回転させ、押さえナット４２を受けフランジ３２から取り外す（押さえナット取り外しステップ（Ｓ５０））。

【0182】

押さえナット取り外しステップ（Ｓ５０）の後、筐体７６ａを回転軸７６ｂの周りに９０度回転させて、押さえナット４２が取り外された切削ユニット２６の切削ブレード３４に、切削ブレード３４を保持していない他のブレード保持治具７８を対面させる。

【0183】

そして、他のブレード保持治具７８で、スピンドル３０に装着されていた押さえフランジ３６及び切削ブレード３４を吸引して保持する。これにより、スピンドル３０から切削ブレード３４等が取り外される（切削ブレード取り外しステップ（Ｓ６０））。

【0184】

その後、筐体７６ａを再度回転させて、一のブレード保持治具７８を、受けフランジ３２に対面させる。そして、第１のバルブ１１４を閉状態とし、バイパス流路用バルブ１２２を開状態とすることで、フランジ保持部１００から、切削ブレード３４及び押さえフランジ３６へエアーを噴射する。

【0185】

これにより、切削ブレード３４及び押さえフランジ３６は、受けフランジ３２側へ離れる。なお、このとき、第１流路１１０、バイパス流路１２０、バイパス流路用バルブ１２２、フランジ保持部１００等は、エアーを噴射する噴射ユニットとして機能する。

【0186】

その後、ナット保持部８０で保持されていた押さえナット４２を、第３のボス部３２ｅに挿入し、所定方向の反対方向に回転させて、押さえナット４２を受けフランジ３２に締結する。

【0187】

これにより、受けフランジ３２と押さえフランジ３６とで切削ブレード３４を挟持する様に、切削ブレード３４及び押さえフランジ３６が受けフランジ３２に装着される（装着ステップ（Ｓ７０））。

【0188】

切削ユニット２６から取り出された使用済の切削ブレード３４は、ブレードストックボード１４０に戻される。具体的には、他のブレード保持治具７８を空のブレードケース１４２上に位置付け、突出部３６ａの内周側面を第２凸部１４２ｂに嵌合させる。

【0189】

なお、このとき、カメラユニット１３０等を用いて、切削ブレード３４が戻されるブレードケース１４２を特定してもよい。突出部３６ａを第２凸部１４２ｂに嵌合させた後、切削ブレード３４を取り外す。

【0190】

図１２は、切削ブレード３４を取り外す様子を示す図である。使用済の切削ブレード３４は、純水等の切削水が付着しているので、第１のバルブ１１４を閉状態としただけでは、外れ難い。そこで、バイパス流路用バルブ１２２を開状態にし、フランジ保持部１００から、切削ブレード３４へエアー（流体）を噴射する。この場合も、フランジ保持部１００等が、上述の噴射ユニットとして機能する。

【0191】

フランジ保持部１００からのエアーの噴射により、濡れた切削ブレード３４であってもフランジ保持部１００から取り外しできる。取り外された切削ブレード３４は、押さえフランジ３６から離れて、第１凸部１４２ａの外周部に移動する。

【0192】

次いで、押さえフランジ３６をブレード保持治具７８から離す場合には、再び、第１のバルブ１１４を開状態とし、押さえフランジ３６を吸引保持し、空の第２凹部１４６上に押さえフランジ３６を配置する。そして、エアーを噴射することで、フランジ保持部１００から押さえフランジ３６を離す。

【0193】

次に、切削ユニット２６の変形例について説明する。図１４は、切削ユニット２６の変形例を示す一部断面側面図である。変形例に係る切削ユニット２６は、スピンドルハウジング２８の先端部に固定されたロータリージョイント１５４を有する。

【0194】

ロータリージョイント１５４は、円筒状のボス部１５６を有する。ボス部１５６の内周部には、環状溝１５８が形成されている。環状溝１５８のうちボス部１５６の頂部に対応する位置には、円柱状の吸引路１６０が形成されている。吸引路１６０は、電磁弁１６２を介して、エジェクタ等の吸引源１６４に接続されている。

【0195】

受けフランジ３２には、連通路３２ｇが形成されている。連通路３２ｇの一端は、第１のボス部３２ａの外周側面に形成されている。連通路３２ｇの一端は、受けフランジ３２が回転しても、常に環状溝１５８に面する。それゆえ、電磁弁１６２を開状態にすると、連通路３２ｇには常に負圧が作用する。

【0196】

連通路３２ｇの他端は、受けフランジ３２の径方向において、凹部３２ｃよりも内側に位置し、且つ、第２のボス部３２ｄよりも外側に位置している。連通路３２ｇの当該他端は、押さえフランジ３６に対面する開口である。

【0197】

電磁弁１６２を開状態にすると、連通路３２ｇの他端には負圧が作用し、押さえフランジ３６は、この負圧により受けフランジ３２に吸引保持される。この様に、当該変形例では、押さえフランジ３６を負圧により吸引保持するので、押さえナット４２を省略できる。また、受けフランジ３２の第３のボス部３２ｅの雄ネジも省略できる。

【0198】

加えて、交換装置７６において、ナット保持部８０を省略できる。それゆえ、交換装置７６の構成を第１の実施形態に比べて簡略化でき、加えて、交換装置７６もコンパクト化できるという利点もある。

【0199】

次に、交換装置７６の変形例について説明する。当該変形例では、ブレード保持治具７８が、昇降機構６０等の移動ユニットで移動されない。当該変形例では、ブレード保持治具７８が、オペレーターが手に持って移動させることができる態様で、切削装置２に搭載されている。

【0200】

図１５は、ブレード保持治具７８の正面側の斜視図であり、図１６は、ブレード保持治具７８の背面側の斜視図である。ブレード保持治具７８は、半円柱形状の基部１６６を有する。なお、図１５及び図１６では、構成要素の一部を機能ブロックで示し、流体の流路、配線等を簡略化して線で示す。

【0201】

基部１６６は、例えば、オペレーターがブレード保持治具７８を把持する際の持ち手部分として機能する。基部１６６の一端側には、フランジ保持部１００、非接触吸引部１２４等を含む枠体９８が連結されている。基部１６６の底部には、エジェクタ１１６が収容されている。

【0202】

エジェクタ１１６と貫通孔１０６との間の第１流路１１０には、圧力測定器１１８が接続されている。本例の圧力測定器１１８は、ブレード保持治具７８に搭載されている。圧力測定器１１８には、吸着判定部１５２ａが接続されている。

【0203】

圧力測定器１１８及び吸着判定部１５２ａは、例えば、基部１６６に搭載されるが、基部１６６と、基部１６６を覆うカバー部材（不図示）との間の任意の位置に配置されてもよい。吸着判定部１５２ａは、例えば、ＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）等の集積回路で構成される。

【0204】

吸着判定部１５２ａには、１又は複数のＬＥＤ（不図示）が接続されてもよい。吸着判定部１５２ａは、カバー部材の側面に配置され、押さえフランジ３６及び切削ブレード３４の吸着の成否に応じて１又は複数のＬＥＤを発光させてもよい。

【0205】

また、基部１６６には、カメラユニット１３０が搭載されている。カメラユニット１３０には、上述のレンズ１３２、撮像素子等に加えて、撮像されたマーク３４ａ等の各種マークをデコードするためのマーク読み取り部１５２ｂが接続されている。

【0206】

マーク読み取り部１５２ｂは、例えば、基部１６６に搭載されるが、基部１６６と、基部１６６を覆うカバー部材との間の任意の位置に配置されてもよい。マーク読み取り部１５２ｂは、例えば、ＡＳＩＣ等の集積回路で構成される。

【0207】

基部１６６の上部には、カバー部材から露出する態様で、レバーを有する手動式の切替弁である第１のバルブ（第１開閉弁）１１４が配置されている。また、カバー部材から露出する態様で、それぞれ押しボタンを有する手動式の切替弁である、バイパス流路用バルブ１２２及び第２のバルブ（第２開閉弁）１２８が配置されている。

【0208】

図１５及び図１６に示すブレード保持治具７８を用いて、切削ブレード３４を交換する場合には、まず、オペレーターが手作業で押さえナット４２を取り外す（押さえナット取り外しステップ（Ｓ４））。

【0209】

次いで、ドア部５０を通じてカバー部材２４の内部にブレード保持治具７８を入れる。そして、ブレード保持治具７８で、スピンドル３０及び押さえフランジ３６を吸引保持して、スピンドル３０から取り外す（切削ブレード取り外しステップ（Ｓ８））。

【0210】

次に、ブレード保持治具７８をブレードストックボード１４０上に位置付ける。そして、フランジ保持部１００からエアーを噴射することで、フランジ保持部１００から切削ブレード３４を離し、切削ブレード３４を空のブレードケース１４２に配置する。

【0211】

その後、押さえフランジ３６をそのまま使用する場合には、押さえフランジ近接ステップ（Ｓ２０）を経て、切削ブレード引き寄せステップ（Ｓ３０）及び切削ブレード保持ステップ（Ｓ４０）を順次行う。

【0212】

なお、スピンドル３０に装着されていた押さえフランジ３６を、新しい押さえフランジ３６と交換する場合には、押さえフランジ保持ステップ（Ｓ１０）を経て、Ｓ２０からＳ４０を順次行う。

【0213】

そして、第１のバルブ１１４を閉状態とし、バイパス流路用バルブ１２２を開状態とすることで、フランジ保持部１００から、切削ブレード３４及び押さえフランジ３６へエアーを噴射する。

【0214】

これにより、切削ブレード３４及び押さえフランジ３６が受けフランジ３２に向かって離れる。最後に、オペレーターが押さえナット４２を受けフランジ３２に締結することで、切削ブレード３４等が受けフランジ３２に装着される（装着ステップ（Ｓ７０））。

【0215】

次に、図１７及び図１８を用いて、第２の実施形態について説明する。以下では、第１の実施形態のブレード保持治具７８との相違点を、主に説明する。図１７は、第２の実施形態に係るブレード保持治具７８の一部断面側面図である。

【0216】

第１流路１１０において第１のバルブ１１４に対して貫通孔１０６と反対側には、真空ポンプ、エジェクタ等の吸引源１７０が配置されている。第１のバルブ１１４を開状態にすれば、貫通孔１０６に負圧を作用させ、押さえフランジ３６の環状面３６ｄを、フランジ保持部１００で吸引保持できる。

【0217】

また、第２の実施形態において、第２流路１２６とエアー供給源１１２との間には、電磁駆動される三位置クローズドセンター型の三ポート弁（第２開閉弁）１７２が接続されている。三ポート弁１７２は２つの出力部を有する。

【0218】

２つの出力部のうち、１つの出力部には、第２流路１２６が接続されており、もう１つの出力部には、接続流路１７４の一端が接続されている。なお、この接続流路１７４の他端は、第１流路１１０に接続されている。

【0219】

三ポート弁１７２の入力部には、エアー供給源１１２が接続されている。三ポート弁１７２は、エアー供給源１１２からのエアーを第２流路１２６に出力する第１の開状態、当該エアーを接続流路１７４に出力する第２の開状態、及び、当該エアーを第２流路１２６にも接続流路１７４にも出力させない閉状態のいずれかに制御する。

【0220】

第２の実施形態のブレード保持治具７８には、第１の実施形態に記載のエジェクタ１１６が搭載されておらず、エアー供給源１１２は、ブレード保持治具７８の外部に配置されている。それゆえ、ブレード保持治具７８をコンパクト化できるという利点がある。

【0221】

なお、第１のバルブ１１４、圧力測定器１１８、三ポート弁１７２等は、交換装置７６の外部に設けられてもよいし、枠体９８と一体的にブレード保持治具７８に搭載されてもよい。

【0222】

第２の実施形態のブレード保持治具７８を用いた押さえフランジ保持ステップ（Ｓ１０）では、三ポート弁１７２を図１７に示す閉状態に制御した上で、第１のバルブ１１４を開状態とする。これにより、フランジ保持部１００で押さえフランジ３６を吸引保持する。

【0223】

また、押さえフランジ近接ステップ（Ｓ２０）後の切削ブレード引き寄せステップ（Ｓ３０）では、第１のバルブ１１４を開状態とした上で、三ポート弁１７２を第１の開状態とする。これにより、開口１２４ｃから噴射されるエアーによって旋回流が生じる。

【0224】

この旋回流により、非接触吸引部１２４に負圧が生じ、切削ブレード３４がフランジ面３６ｃに引き寄せられる。更に、第１のバルブ１１４を開状態としたまま、三ポート弁１７２を閉状態にする。これにより、切削ブレード３４は、フランジ面３６ｃで吸引保持される（切削ブレード保持ステップ（Ｓ４０））（図１７参照）。

【0225】

これに対して、装着ステップ（Ｓ７０）の後、貫通穴３６ｅからエアーを噴射する際には、第１のバルブ１１４を閉状態とした上で、三ポート弁１７２を第２の開状態とする。これにより、フランジ保持部１００からエアーが噴射される。

【0226】

このとき、フランジ保持部１００、第１流路１１０、三ポート弁１７２、接続流路１７４等は、噴射ユニットとして機能する。図１８は、切削ブレード３４を取り外す様子を示す図である。この様にして、切削ブレード３４を押さえフランジ３６から離すことができる。

【0227】

なお、第２の実施形態に係るブレード保持治具７８も、図４等に示す昇降機構６０を含む移動ユニットにより移動可能な態様で、交換装置７６に搭載されてもよいし、オペレーターが手に持って移動させることができる態様で、切削装置２に搭載されてもよい。

【0228】

次に、第３の実施形態について説明する。図１９は、第３の実施形態に係る切削装置２の斜視図である。第３の実施形態に係る切削装置２は、ブレードストックボード１４０を収納する収納箱１７６がエレベータ６とカセット８との間に配置されている。係る点が第１の実施形態と異なる。

【0229】

収納箱１７６の洗浄ユニット１０側には、開閉可能なドア部（不図示）が設けられている。収納箱１７６からブレードストックボード１４０を取り出す場合、エレベータ６を上昇させ、収納箱１７６を一対のガイドレール１４と略同じ高さまで移動させる。

【0230】

そして、収納箱１７６のドア部（不図示）を開き、第１の搬送ユニット５２の把持機構５２ｂで、ブレードストックボード１４０を一対のガイドレール１４に引き出す。その後、吸着ユニット５２ａでブレードストックボード１４０を仮置き用カバー１３４上に移動させる。

【0231】

なお、第３の実施形態の変形例として、ブレードストックボード１４０はカセット８に収容されていてもよい。その他、上記実施形態に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。各実施形態及びその変形例は、他の実施形態と組み合わせてもよい。

【0232】

また、ブレード保持治具７８は、切削ブレード３４に限らず、ドレッシングボードを吸引保持してもよい。ブレード保持治具７８は、フランジ保持部１００でドレッシングボードを吸引保持してもよく、非接触吸引部１２４でドレッシングボードを吸引保持してもよい。

【符号の説明】

【0233】

２：切削装置
４：基台、４ａ：開口、４ｂ：開口
６：エレベータ、６ａ：昇降台
８：カセット、８ａ：支持板
１０：洗浄ユニット
１１：被加工物
１２：スピンナテーブル
１３：テープ
１４：ガイドレール
１５：フレーム
１６：テーブルカバー
１７：被加工物ユニット
１８：防塵防滴カバー
２０：チャックテーブル、２０ａ：クランプユニット
２２：ドレステーブル
２４：カバー部材
２６：切削ユニット
２８：スピンドルハウジング
３０：スピンドル、３０ａ：ネジ穴
３２：受けフランジ、３２ａ：第１のボス部、３２ｂ：フランジ面、３２ｃ：凹部、
３２ｄ：第２のボス部、３２ｅ：第３のボス部、３２ｆ：受け部、３２ｇ：連通路
３４：切削ブレード、３４ａ：マーク、３４ｂ：内周部
３６：押さえフランジ、３６ａ：突出部、３６ａ_１：外周側面、３６ａ_２：表面、３６ｂ：貫通開口、３６ｃ：フランジ面、３６ｄ：環状面、３６ｅ：貫通穴、３６ｆ：外周部
３８：ワッシャー
４０：ボルト
４２：押さえナット、４２ａ：雌ネジ、４２ｂ：環状溝、４２ｃ：嵌合穴
５０：ドア部
５２：第１の搬送ユニット、５２ａ：吸着ユニット、５２ｂ：把持機構
５４：第２の搬送ユニット、５４ａ：吸着ユニット
５６：ブレード交換ユニット
５８：ベース板
６０：昇降機構
６２：第１の支持具
６４：第１の回転機構
６６：第１のアーム
６８：第２の回転機構
７０：第２のアーム
７２：第３の回転機構
７４：第２の支持具
７６：交換装置、７６ａ：筐体、７６ｂ：回転軸
７８：ブレード保持治具
８０：ナット保持部
８２：凸部
８４：ピン
８６：モーター
８８：出力軸
９０：爪部
９２：カバー部材
９４：アクチュエーター
９８：枠体、９８ａ：外側凹部、９８ｂ：外周壁、９８ｃ：切り欠き、９８ｄ：内側凹部
１００：フランジ保持部
１０２：基部
１０４ａ：内側リップ部、１０４ｂ：外側リップ部、１０４ｃ：凹部
１０６：貫通孔
１１０：第１流路
１１２：エアー供給源
１１４：第１のバルブ
１１６：エジェクタ
１１８：圧力測定器
１２０：バイパス流路
１２２：バイパス流路用バルブ
１２４：非接触吸引部、１２４ａ：環状凸部、１２４ｂ：外周側面、１２４ｃ：開口、１２４ｄ：外側凹部
１２６：第２流路
１２８：第２のバルブ
１３０：カメラユニット、１３２：レンズ
１３４：仮置き用カバー、１３６：ヒンジ
１３８：載置台
１４０：ブレードストックボード、１４０ａ：一面
１４２：ブレードケース、１４２ａ：第１凸部、１４２ｂ：第２凸部
１４４：第１凹部
１４６：第２凹部、１４６ａ：第３凸部
１５０：制御ユニット
１５２ａ：吸着判定部、１５２ｂ：マーク読み取り部
１５４：ロータリージョイント、１５６：ボス部、１５８：環状溝、１６０：吸引路
１６２：電磁弁、１６４：吸引源
１７０：吸引源、１７２：三ポート弁、１７４：接続流路
１７６：収納箱

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】