特許 7451972 液吐出ユニット、液吐出装置および液吐出方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-03-11

(45)【発行日】2024-03-19

(54)【発明の名称】液吐出ユニット、液吐出装置および液吐出方法

(51)【国際特許分類】

   B41J 2/14 20060101AFI20240312BHJP

   G01N 35/10 20060101ALI20240312BHJP

   B01J 4/00 20060101ALI20240312BHJP

   C12M 1/34 20060101ALI20240312BHJP

【ＦＩ】

B41J2/14 301

G01N35/10 A

B01J4/00 105C

C12M1/34 A

C12M1/34 Z

【請求項の数】 15

(21)【出願番号】P 2019217527

(22)【出願日】2019-11-29

(65)【公開番号】P2021084429

(43)【公開日】2021-06-03

【審査請求日】2022-09-14

【前置審査】

(73)【特許権者】

【識別番号】000006747

【氏名又は名称】株式会社リコー

(74)【代理人】

【識別番号】110001634

【氏名又は名称】弁理士法人志賀国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】村松 功一

【審査官】小宮山 文男

(56)【参考文献】

【文献】国際公開第２００４／０３６２２８（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開２０１９－１５５２６８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００２－１１６２０５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１８－１０３１４１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００９－２７９８４８（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ４１Ｊ ２／０１－２／２１５

Ｇ０１Ｎ ３５／１０

Ｂ０１Ｊ ４／００

Ｃ１２Ｍ １／３４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

液を吐出する吐出口を有し、液を保持する液保持部と、
前記液保持部に保持された前記液の圧力を調整する圧力調整部と、
圧力が調整された前記液の少なくとも一部を変位させ、前記液保持部から前記液を吐出させる変位部材と、を有し、
前記変位部材は、前記液保持部を前記液の吐出方向と略平行に変位させ、
前記液保持部に前記液を供給する供給部を有し、
前記供給部は、前記圧力調整部を兼ねる液吐出ユニット。

【請求項2】

前記圧力調整部により前記液が前記液保持部に供給されたとき、前記液保持部の内部は正圧になることを特徴とする請求項１に記載の液吐出ユニット。

【請求項3】

前記液保持部は、前記液の吐出方向と略平行に伸びる管状部材であり、
前記液保持部と前記変位部材とは、平面視で重なって配置され、
前記液保持部の平面視形状は、前記変位部材の平面視形状よりも小さい請求項１又は２に記載の液吐出ユニット。

【請求項4】

前記供給部は、配管を介して前記液保持部と接続されている請求項１から３のいずれか１項に記載の液吐出ユニット。

【請求項5】

前記液保持部の少なくとも一部が弾性材料で形成され、
前記圧力調整部は、前記液保持部の前記弾性材料で形成された箇所に設けられ、前記液保持部を変形させて前記液保持部の容積を変化させる手段である請求項１から３のいずれか１項に記載の液吐出ユニット。

【請求項6】

前記圧力調整部は、前記液保持部に保持され圧力が調整された前記液の圧力を、直接または間接的に検出する検出部を含む請求項１から５のいずれか１項に記載の液吐出ユニット。

【請求項7】

前記検出部は、前記液保持部に保持され圧力が調整された前記液の圧力を検出し、
前記圧力調整部は、前記検出部の検出結果に基づいて、前記液の圧力を、予め定めた液吐出時の前記液の圧力の設定値に近づくように調整する請求項６に記載の液吐出ユニット。

【請求項8】

前記検出部は、前記吐出口に形成されるメニスカスを観察し、
前記圧力調整部は、前記メニスカスの形成位置または前記メニスカスの運動情報の少なくともいずれか一方に基づいて、前記液の圧力を、予め定めた液吐出時の前記液の圧力の設定値に近づくように調整することを特徴とする請求項６に記載の液吐出ユニット。

【請求項9】

前記検出部は、前記液保持部から吐出された液滴を観察し、
前記圧力調整部は、前記液滴の飛翔位置、前記液滴の形状、前記液滴の体積および前記液滴の速度からなる群から選択される少なくとも一つに基づいて、前記液の圧力を、予め定めた液吐出時の前記液の圧力の設定値に近づくように調整することを特徴とする請求項６または８に記載の液吐出ユニット。

【請求項10】

前記検出部は、撮像装置またはレーザー測定器である請求項９に記載の液吐出ユニット。

【請求項11】

前記液は、粒子と、前記粒子が分散した分散媒とを有する分散液である請求項１から１０のいずれか１項に記載の液吐出ユニット。

【請求項12】

前記粒子が細胞である請求項１１に記載の液吐出ユニット。

【請求項13】

請求項１から１２のいずれか１項に記載の液吐出ユニットを有する液吐出装置。

【請求項14】

前記液吐出ユニットを複数有し、
複数の前記液吐出ユニットが前記液の吐出方向と交差する方向に配列している請求項１３に記載の液吐出装置。

【請求項15】

液を吐出する吐出口を有し前記液を保持する液保持部から、前記液を吐出させる液吐出方法であって、
前記液保持部に保持された前記液の圧力を予め定めた液吐出時の前記液の圧力の設定値に近づけるよう調整するために、前記液保持部に前記液を供給又は前記液保持部から前記液を吸い上げ、
圧力が調整された前記液の少なくとも一部を前記液の吐出方向と略平行に変位させ、前記液保持部から前記液を吐出させる液吐出方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、液吐出ユニットおよび液吐出装置に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、インクなどの液状体（液）を所望の位置に吐出する液吐出装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の液吐出装置では、吐出ヘッドに設けられた配管の一部に圧電素子が設けられている。このような液吐出装置では、圧電素子により流路をつぶして変形させることにより、流路内の液を加圧しながら押し出し、液を吐出している。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0003】

特許文献１のような液吐出装置においては、従来の二次元印刷の際に用いたインクに変わる種々の液を吐出することが求められる。例えば、吐出の対象となる液は、溶液のほか分散液も挙げられる。分散液に含まれる分散質としては、樹脂材料のような有機材料、金属粒子や酸化物粒子のような無機材料、細胞や遺伝子のような生体由来材料を挙げることができる。

【0004】

このような種々の液は、粘度も様々であり、従来の二次元印刷で用いたインクと比べて高粘度である液も多い。特許文献１に記載の液吐出装置は、圧電素子の駆動によって流路を変形させ、流路から液を押し出している。

【0005】

しかし、吐出する液が高粘度である場合、圧電素子から流路に圧力を加えても、液吐出装置の吐出口に付着したまま吐出口で液滴を形成し、液を吐出する対象物に液滴が飛翔しないことがある。すなわち、特許文献１に記載の液吐出装置は、高粘度の液の吐出には不向きであるため、高粘度の液を吐出可能な液吐出装置が求められていた。

【0006】

本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであって、高粘度の液を好適に吐出可能な液吐出ユニットを提供することを目的とする。また、このような液吐出ユニットを有し、高粘度の液を好適に吐出可能な液吐出装置を提供することをあわせて目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上記の課題を解決するため、本発明の一態様は、液を吐出する吐出口を有し、液を保持する液保持部と、前記液保持部に保持された前記液の圧力を調整する圧力調整部と、圧力が調整された前記液の少なくとも一部を変位させ、前記液保持部から前記液を吐出させる変位部材と、を有する液吐出ユニットを提供する。

【発明の効果】

【0008】

本発明によれば、高粘度の液を好適に吐出可能な液吐出ユニットを提供することができる。また、このような液吐出ユニットを有し、高粘度の液を好適に吐出可能な液吐出装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】図１は、第１実施形態に係る液吐出ユニットおよび液吐出装置を示す概略斜視図である。

【図2】図２は、液吐出ユニットを示す模式図である。

【図3】図３は、液吐出ユニットにより液Ｌが吐出される様子を示す説明図である。

【図4】図４は、第２実施形態に係る液吐出ユニットおよび液吐出装置の説明図である。

【図5】図５は、第３実施形態に係る液吐出ユニットおよび液吐出装置の説明図である。

【図6】図６は、第４実施形態に係る液吐出ユニットおよび液吐出装置の説明図である。

【発明を実施するための形態】

【0010】

［第１実施形態］
以下、図１～図３を参照しながら、本発明の第１実施形態に係る液吐出ユニットおよび液吐出装置について説明する。なお、以下の全ての図面においては、図面を見やすくするため、各構成要素の寸法や比率などは適宜異ならせてある。

【0011】

以下の説明においては、ｘｙｚ直交座標系を設定し、このｘｙｚ直交座標系を参照しつつ各部材の位置関係について説明する。ここでは、水平面内の所定方向をｘ軸方向、水平面内においてｘ軸方向と直交する方向をｙ軸方向、ｘ軸方向およびｙ軸方向のそれぞれと直交する方向（すなわち鉛直方向）をｚ軸方向とする。

【0012】

また、鉛直方向上方を＋ｚ方向とし、鉛直方向下方を－ｚ方向とする。以下の説明において、「上方」「上面」の「上」、「下方」「下面」の「下」も同じ意味とする。

【0013】

さらに、以下の説明において「平面視」とは、対象物を上方から視ることを指し、「平面形状」とは、対象物を上方から視た形状を指すものとする。

【0014】

図１は、液吐出ユニット１０１および液吐出装置１を示す概略斜視図である。図１に示すように、本実施形態の液吐出装置１は、液を保持し保持した液を吐出する吐出部１０と、吐出された液滴が付着する付着部３０と、付着部３０を載置する載置部４０と、液吐出装置１の各部の動作を制御する制御部５０とを有する。

【0015】

液吐出装置１は、吐出部１０で保持する液を付着部３０に向けて吐出する。液吐出装置１から吐出される液は、特に制限はなく、溶液であってもよいし、粒子と粒子が分散した分散媒とを有する分散液であってもよい。

【0016】

分散媒に分散する粒子としては、ポリマー粒子のような有機材料、金属微粒子、無機酸化物粒子のような無機材料を挙げることができる。また、粒子として、細胞を用いることもできる。

【0017】

本実施形態においては、液吐出装置１で吐出する液が、分散媒に細胞を分散させた分散液であることとして説明する。この場合、分散媒としては、リン酸緩衝生理食塩水（Phosphate Buffered Saline）やHank's Balanced Salt Solutionなどの公知の緩衝液を用いることができる。

【0018】

＜吐出部＞
吐出部１０は、複数（図１では４つ）の液吐出ユニット１０１と、液吐出ユニット１０１を搬送する搬送部１３０と、を有する。

【0019】

複数の液吐出ユニット１０１は、それぞれ同じ液Ｌを吐出してもよく、互いに異なる液Ｌを吐出してもよい。以下の説明において、液吐出ユニットが吐出する液Ｌは、粒子Ｐが分散した分散液であることとする。

【0020】

（液吐出ユニット）
液吐出ユニット１０１は、液吐出ヘッド１１０と、液吐出ヘッド１１０に接続された圧力調整部１２０Ａと、を有する。
液吐出ユニット１０１の詳細については、後述する。

【0021】

（搬送部）
搬送部１３０は、支持部材１３１と、直動部１３２とを有する。

【0022】

支持部材１３１は、平面視において矩形の部材であり、複数の液吐出ヘッド１１０を支持する。複数の液吐出ヘッド１１０は、支持部材１３１に支持され、ｘ軸に沿って配列している。

【0023】

直動部１３２は、ｙ軸方向に伸びた長尺の部材である。直動部１３２は、支持部材１３１をｙ軸方向に水平移動させる。直動部１３２の両端は、それぞれ不図示の支持部材に支持されている。

【0024】

直動部１３２は、例えば、駆動源としてステッピングモータを備えた公知のリニアアクチュエータを採用することができる。

【0025】

搬送部１３０は、支持部材１３１をｙ軸方向に移動させることにより、支持部材１３１が支持する複数の吐出手段１１を、符号Ｄ１で示す両矢印方向であるｙ軸方向に移動させる。

【0026】

＜付着部＞
付着部３０は、吐出部１０から吐出される液滴Ｌ１の吐出方向に配置され、液滴Ｌ１が付着する。付着部３０は、吐出される液Ｌの種類や吐出目的等により任意のものを用い得るが、本実施形態では、付着部３０としてシャーレを用いる。

【0027】

また、付着部３０は、複数のウェルがマトリクス状に等間隔に配置された、いわゆるウェルプレートであってもよいし、微小な電極が規則的に配置された微小電極アレイ（ＭＥＡ）であってもよい。

【0028】

＜載置部＞
載置部４０は、ｘステージ４０１と、ｙステージ４０２と、基台４０３を有する。

【0029】

ｘステージ４０１は、付着部３０が載置され、付着部３０を支持し固定する。また、ｘステージ４０１は、付着部３０を、符号Ｄ２で示す両矢印方向であるｘ軸方向に水平移動させる。

【0030】

ｙステージ４０２は、ｘステージ４０１を、符号Ｄ３で示す両矢印方向であるｙ軸方向に水平移動させる。
基台４０３は、ｙステージ４０２を支持する。

【0031】

載置部４０は、ｘｙステージとして公知の構成を採用することができる。

【0032】

搬送部１３０および載置部４０は、液吐出ユニット１０１と付着部３０との相対位置を制御する。これにより、液吐出装置１では、液吐出ユニット１０１から吐出された液を、付着部３０の所望の位置に付着させることができる。

【0033】

＜制御部＞
制御部５０は、液吐出装置１の各部を動作させる信号を作成し、各部に供給して制御する。

【0034】

制御部５０は、例えば、吐出部１０に供給する駆動信号、載置部４０に供給する駆動信号を作成し、各部に供給して各部の動作を制御する。

【0035】

＜液吐出ユニット＞
図２は、液吐出ユニット１０１を示す模式図である。

【0036】

液吐出ヘッド１１０は、液保持部１１１、支持部１１２、変位部材１１３、配管１１５を有する。
圧力調整部１２０Ａは、供給部１２１と、検出部１２２とを有する。

【0037】

＜液吐出ヘッド＞
（液保持部）
液保持部１１１は、液吐出方向であるｚ軸方向と略平行に伸びる、管状の部材である。液保持部１１１は、例えばガラスや樹脂材料を形成材料とする。液保持部１１１の内部１１１ｘに面する壁面は、内部を流動させる液Ｌの性質に応じ、本願発明の目的に応じた適切な液吐出を可能とするために、撥液処理や親液処理が施されていてもよい。
液保持部１１１は、管状の部材のほか、内部に流路が形成された板状の部材を用いることもできる。

【0038】

液保持部１１１は、内部を流動する液Ｌの状態を確認可能とするために、光透過性を有していると好ましい。

【0039】

液保持部１１１は、－ｚ方向に向かって内径が漸減している。液保持部１１１の下端は、吐出口１１１ａとして開口している。例えば、液保持部１１１の外径は数ｍｍである。また、吐出口１１１ａの内径は、数十μｍ以上数百μｍ以下である。液保持部１１１の上端は、配管１１５と接続している。

【0040】

液保持部１１１は、吐出口１１１ａから－ｚ方向に液Ｌを吐出する。

【0041】

（支持部）
支持部１１２は、液保持部１１１を着脱自在に支持している。支持部１１２は、液保持部１１１を支持可能であれば、通常知られた種々の構成を採用することができる。

【0042】

支持部１１２は、液保持部１１１を支持する支持本体１１２ａと、支持本体１１２ａに液保持部１１１を固定するねじ１１２ｘとを有する。

【0043】

図２において、支持本体１１２ａは、液保持部１１１が挿入される挿入部１１２ｂを有する直方体状の部材として示している。ねじ１１２ｘは、挿入部１１２ｂに挿入された液保持部１１１を、ねじ止めしている。

【0044】

（変位部材）
変位部材１１３は、支持本体１１２ａの上面１１２ｓに設けられた平面視矩形の部材である。図１では、変位部材１１３の平面視形状は正方形として示している。例えば、変位部材１１３の平面視形状は、数ｍｍ×数ｍｍの正方形である。

【0045】

変位部材１１３は、平面視で液保持部１１１と重なる位置に設けられている。変位部材１１３の平面視形状は、液保持部１１１の平面視形状よりも大きい。詳しくは、変位部材１１３を平面視した形状である正方形の一片の長さは、液保持部１１１の外径よりも長い。

【0046】

変位部材１１３は、下面１１３ａが支持本体１１２ａの上面１１２ｓに接着され、上面１１３ｂが支持部材１３１の下面１３１ａに接着されている。

【0047】

変位部材１１３としては、圧電素子、磁石とコイルとで構成されたアクチュエータなどを用いることができるが、圧電素子が好適に用いられる。圧電素子としては、例えば、圧電材料の上面および下面に電圧を印加するための電極を設けた構造とすることができる。この場合、変位部材１１３は、制御部５０から変位部材１１３（圧電素子）の上下電極間に電圧を印加することによって上下電極の面横方向に圧縮応力が加わる。これにより、変位部材１１３は、膜の面上下方向（図中の符号Ｄ４で示す両矢印方向）に振動する。

【0048】

変位部材１１３の振動方向はｚ軸方向であり、液Ｌの吐出方向と略平行に設定されている。ここで、「略平行」の「略」とは、変位部材１１３の振動方向と液Ｌの吐出方向とが、数学的に厳密にｚ軸と平行であることまでは求めないことを意味している。例えば、変位部材１１３の振動方向は、液Ｌの吐出方向（すなわち、ｚ軸方向）を０°としたとき、ｚ軸に対して±１０°以内であれば傾いていてもよい。

【0049】

上述のように動作することにより、変位部材１１３は、支持部１１２を液Ｌの吐出方向と略平行に変位させ、さらに支持部１１２が支持する液保持部１１１および液保持部１１１が保持する液Ｌの少なくとも一部を変位させる。

【0050】

本明細書において、「変位」とは、物体が位置を変えることを指し、本実施形態においては、物体がｘｙｚ直交座標系における座標を変えることを指す。この意味において、液保持部１１１を変位させるとは、ｘｙｚ直交座標系における液保持部１１１の座標を変えることを指す。本実施形態においては、液保持部１１１は、変位部材１１３の振動により、ｚ軸方向に変位する。

【0051】

圧電材料としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、ジルコン酸チタン酸鉛（ＰＺＴ）、ビスマス鉄酸化物、ニオブ酸金属物、チタン酸バリウム、又はこれらの材料に金属や異なる酸化物を加えたものなどが挙げられる。これらの中でも、ジルコン酸チタン酸鉛（ＰＺＴ）が好ましい。

【0052】

（配管）
配管１１５は、液保持部１１１と圧力調整部１２０Ａとを接続する。配管１１５は、第１配管１１５ａ、第２配管１１５ｂ、第３配管１１５ｃ、分岐管１１５ｄを有する。

【0053】

第１配管１１５ａ、第２配管１１５ｂ、第３配管１１５ｃは、軟質の樹脂材料を形成材料とする管である。軟質の樹脂材料としては、ポリウレタン、シリコーンゴム、フッ素樹脂などが挙げられる。

【0054】

分岐管１１５ｄは、三方管（三方継手）であり、通常知られた構成を採用することができる。

【0055】

配管１１５は、第１配管１１５ａの一端が液保持部１１１の上端に接続されている。第１配管１１５ａの他端は、分岐管１１５ｄに接続されている。

【0056】

分岐管１１５ｄには、第２配管１１５ｂおよび第３配管１１５ｃが接続されている。第２配管１１５ｂは、一端が分岐管１１５ｄに接続され、他端が供給部１２１に接続されている。第３配管１１５ｃは、一端が分岐管１１５ｄに接続され、他端が検出部１２２に接続されている。

【0057】

＜圧力調整部＞
（供給部）
供給部１２１は、液保持部１１１と配管１１５を介して接続され、閉鎖系で液Ｌを液保持部１１１に供給する。供給部１２１は、液を供給可能であればいかなるものであってもよく、例えば重力などにより液Ｌを供給するようなものであってもよいし、シリンジポンプ、チューブポンプ、ダイヤフラムポンプなどの微量ポンプを用いて、所望の速度で供給可能なものを用いてもよい。

【0058】

また、供給部１２１は、液保持部１１１に保持された液Ｌの圧力を調整する調整部としての機能を兼ね備えていてもよい。具体的には、供給部１２１から液保持部１１１に向けて液Ｌを供給すると、液Ｌの圧力が高くなり、供給部１２１が液保持部１１１から液Ｌを吸い上げると、液Ｌの圧力が低くなる。

【0059】

（検知部）
検出部１２２は、液保持部１１１に保持された液Ｌの圧力を検出する。検出部１２２には、例えば、半導体隔膜式の圧力センサーを採用することができる。

【0060】

図３は、液吐出ユニット１０１により液Ｌが吐出される様子を示す説明図であり、液保持部１１１の吐出口１１１ａ付近の様子を示す模式図である。

【0061】

図３（ａ）は、静置状態における液保持部１１１を示す。
液保持部１１１の内部１１１ｘに液Ｌを供給すると、液Ｌの表面張力により液保持部１１１で毛管現象が生じる。これにより、液保持部１１１内の液Ｌには、＋ｚ方向に引き上げる力Ｆ１が加わる。

【0062】

一方、液Ｌには、－ｚ方向に重力が加わる。さらに吐出口１１１ａ付近の液Ｌには、液Ｌの圧力に応じて、吐出口１１１ａから外部に向かう力が加わる。これにより、液保持部１１１内の液Ｌには、－ｚ方向に押し下げる力Ｆ２が加わる。

【0063】

液保持部１１１において、力Ｆ２が力Ｆ１よりも小さい状態では、液保持部１１１の下端が開口しているにも関わらず、液Ｌは、吐出口１１１ａから排出されることなく、液保持部１１１の内部１１１ｘに保持される。

【0064】

次いで、図３（ｂ）に示すように、供給部１２１から液保持部１１１に液Ｌを供給する。液吐出ユニット１０１においては、液保持部１１１から圧力調整部１２０Ａまで閉鎖系でつながっている。そのため、供給部１２１から液保持部１１１に液Ｌを供給すると、液保持部１１１では、液Ｌの供給圧力に応じて液Ｌが加圧される。これにより、液保持部１１１では、液Ｌを－ｚ方向に押し下げる力Ｆ３が図３（ａ）の力Ｆ２よりも増大する。

【0065】

このとき、力Ｆ１が力Ｆ３よりも大きい状態とすると、液保持部１１１の吐出口１１１ａでは、液Ｌは吐出口１１１ａで保持される。一方で、力Ｆ３が力Ｆ２より大きいため、吐出口１１１ａの液Ｌは、－Ｚ方向に押し出されて突出し、メニスカスＬＭが形成される。

【0066】

次いで、図３（ｃ）に示すように、変位部材１１３により液保持部１１１を変位させると、液ＬおよびメニスカスＬＭには、変位部材１１３の振動によりＺ方向に加わる慣性力が加わる。これにより、吐出口１１１ａでは、液ＬのメニスカスＬＭを－ｚ方向に押し下げる力Ｆ４が図３（ｂ）の力Ｆ３よりも増大する。

【0067】

力Ｆ４が力Ｆ１よりも大きくなると、メニスカスＬＭは吐出口１１１ａで形状を維持できなくなり、図３（ｄ）に示すように、吐出口１１１ａから離れ、液滴Ｌ１として飛翔する。

【0068】

供給部１２１を駆動し続けると、液保持部１１１には、図３（ｂ）に示すように供給部１２１から連続的に液Ｌが供給される。また、変位部材１１３を駆動し続けると、液保持部１１１は、ｚ軸方向に振動し続ける。そのため、供給部１２１および変位部材１１３を駆動し続けると、液保持部１１１では、図３（ｂ）～図３（ｄ）に示す現象が繰り返し生じ、液滴Ｌ１を連続して吐出することができる。

【0069】

ここで、図２に示す圧力調整部１２０Ａの検出部１２２では、供給部１２１により加圧された液Ｌの圧力を検出している。液吐出装置１の使用時には、予め液Ｌの圧力と、吐出される液滴Ｌ１の状態との対応関係を予備実験で確認しておき、液滴Ｌ１を適切に吐出可能とする液Ｌの圧力を確認しておくとよい。

【0070】

「吐出される液滴Ｌ１の状態」とは、液滴Ｌ１の体積、付着部３０における液滴Ｌ１の付着位置などが挙げられる。

【0071】

また、制御部５０には、液Ｌの適切な圧力を、液吐出時の液Ｌの圧力として予め入力しておく。制御部５０は、検出部１２２の検出結果に基づいて、液Ｌの圧力を、予め定めた液吐出時の液Ｌの圧力の設定値に近づくように調整する。

【0072】

すなわち、検出部１２２の検出結果が、設定した圧力よりも高い場合には、制御部５０は、供給部１２１から供給する液Ｌの供給量を減らすよう供給部１２１を制御する。
また、検出部１２２の検出結果が、設定した圧力よりも低い場合には、制御部５０は、供給部１２１から供給する液Ｌの供給量を増やすよう供給部１２１を制御する。

【0073】

これにより、液吐出ユニット１０１は、検出部１２２の検出結果に基づいて、好適に液Ｌの圧力を調整し、液滴Ｌ１を吐出することができる。

【0074】

上述したように、本実施形態の液吐出ユニット１０１では、液保持部１１１に保持された液Ｌの圧力を調整する圧力調整部１２０Ａと、液保持部１１１を変位させる変位部材１１３とが別構成となっている。これにより、以下のような効果を奏する。

【0075】

まず、液吐出ユニットが、上述のように液Ｌの圧力を調整する構成を有さない場合を考える。この場合、液保持部１１１の吐出口１１１ａにおける液Ｌの圧力は、液保持部１１１における液Ｌの液面から吐出口までの高さ（深さ）に応じて定まる。このような場合、高粘度の液Ｌを吐出しようとした場合には、液保持部１１１を大型化し、液面から吐出口までの高さを高くする必要が生じ得る。

【0076】

これに対し、本実施形態の液吐出ユニット１０１では、液保持部１１１で保持する液Ｌの圧力を調整するための圧力調整部１２０Ａを有している。そのため、高粘度の液Ｌを吐出しようとした場合であっても、圧力調整部１２０Ａによって液保持部１１１の液Ｌに加える圧力を調整することにより、好適に液Ｌの圧力を調整可能となる。これにより、本実施形態の液吐出ユニット１０１では、装置の小型化が可能となる。

【0077】

また、液吐出ユニット１０１のように、液保持部１１１に液Ｌを供給する供給部１２１により液Ｌの圧力を調整する構成の場合、供給部１２１から連続して液Ｌを供給することで、液吐出ユニット１０１から連続的に液Ｌを排出するディスペンサとしても使用可能となる。

【0078】

さらに、液吐出ユニットが、例えば液が流動する流路の一部を変形させて、液保持部が有する液の一部の変位させ、液を吐出させる構成を考える。この場合、高粘度の液を吐出しようとすると、流路の一部を大きくまたは強く変形させる必要が生じる。流路を変形させる構成として、例えば圧電素子を採用すると、流路の一部を大きくまたは強く変形させるためには、圧電素子を大型化する必要が生じ得る。

【0079】

これに対し、液吐出ユニット１０１では、変位部材１１３と圧力調整部１２０Ａとが別体であるため、図３（ｂ）の状態とする圧力調整部１２０Ａの動作と、図３（ｃ）（ｄ）の状態とする変位部材１１３の動作とを、それぞれ独立して制御することができる。そのため、例えば、粘度の異なる液をそれぞれ吐出する場合に、圧力調整部１２０Ａの駆動条件を液の粘度に応じて調整することで、変位部材１１３を一定の駆動条件で駆動させるだけで好適に液を吐出可能となる。

【0080】

また、図３にて示したように、液吐出ユニット１０１では、液保持部１１１から液Ｌを吐出させるために加える力（力Ｆ２を力Ｆ４にするために加える力）を、変位部材１１３と圧力調整部１２０Ａとで分担している。そのため、小型の変位部材１１３であっても、好適に液Ｌを吐出させることができる。これにより、本実施形態の液吐出ユニット１０１では、装置の小型化が可能となる。

【0081】

以上のような構成の液吐出ユニット１０１によれば、高粘度の液を好適に吐出可能な液吐出ユニットを提供することができる。

【0082】

また、以上のような構成の液吐出装置１によれば、上述の液吐出ユニットを有するため、高粘度の液を好適に吐出可能となる。

【0083】

なお、本実施形態において、圧力調整部１２０Ａは、供給部１２１により液保持部１１１に液Ｌを供給し、液Ｌを加圧したが、圧力調整部１２０Ａによる液Ｌの圧力調整はこれに限らない。圧力調整部１２０Ａは、液保持部１１１から液Ｌを吸い出し、液Ｌの圧力を下げるよう調整してもよい。

【0084】

この場合、例えば、まず圧力調整部１２０Ａで液保持部１１１の内部を負圧にすることで、吐出口１１１ａのメニスカスが液保持部へと吸い込まれる。その後、メニスカスが吐出口１１１ａへと自然に戻るタイミング、または圧力調整部１２０Ａで加圧し液保持部１１１の内部が正圧になるタイミングで、変位部材１１３を変位させ液保持部１１１を変位させることで、液滴を吐出することができる。

【0085】

液Ｌの圧力を下げた状態で変位部材１１３を駆動し、液Ｌを吐出すると、生じる液滴Ｌ１の直径は、加圧した液Ｌを吐出したときの液の液滴Ｌ１の直径と比べ、小さくなる傾向にある。

【0086】

また、本実施形態の液吐出装置１は、複数の液吐出ユニット１０１を有することとしたが、これに限らず、液吐出ユニット１０１を一つだけ有する構成としてもよい。

【0087】

また、本実施形態の液吐出ユニット１０１では、変位部材１１３が液Ｌの吐出方向と略平行に液Ｌを変位させることとしたが、これに限らない。変位部材１１３が液Ｌを液Ｌの吐出方向と交差する方向に変位させる構成であっても、高粘度の液を好適に吐出可能であり、本発明の課題を解決する液吐出ユニットとすることができる。

【0088】

［第２実施形態］
図４は、本発明の第２実施形態に係る液吐出ユニットおよび液吐出装置の説明図であり、図２に対応する図である。本実施形態の液吐出ユニット１０２は、第１実施形態の液吐出ユニット１０１と一部共通している。したがって、本実施形態において第１実施形態と共通する構成要素については同じ符号を付し、詳細な説明は省略する。

【0089】

液吐出ユニット１０２は、液吐出ヘッド１１０と、圧力調整部１２０Ｂとを有する。

【0090】

本実施形態の液吐出装置２は、上述の液吐出装置１から液吐出ユニット１０１を液吐出ユニット１０２に替えた構成とする。

【0091】

（圧力調整部）
圧力調整部１２０Ｂは、供給部１２１と、検出部１２３とを有する。

【0092】

供給部１２１は、液保持部１１１と配管１１６を介して接続されている。配管１１６は、上述した第１配管１１５ａと同様の構成とすることができる。

【0093】

検出部１２３は、吐出口１１１ａで形成されたメニスカスの状態を観察する観察装置である。「メニスカスの状態」とは、メニスカスの形状、体積およびメニスカスの形成位置からなる群から選ばれる少なくとも一つが挙げられる。検出部１２３としては、例えば、メニスカスを撮像する撮像装置や、メニスカスの位置、大きさ、形状を検出するレーザー測定器を挙げることができる。
メニスカスの位置を連続的に検出することで、メニスカスの運動状態を検出することができる。「メニスカスの運動状態」とは、変位部材が駆動することによるメニスカスの振動の振幅、位相が挙げられる。

【0094】

液吐出ユニット１０２を有する液吐出装置２の使用時には、予め、メニスカスの状態と液Ｌの圧力との対応関係を予備実験で確認しておく。

【0095】

メニスカスの状態は、液Ｌの圧力に応じて変化する。これにより、液Ｌの圧力を直接測定しなくても、液吐出ユニット１０２では、検出部１２３を用いてメニスカスの状態を確認することで、液Ｌの圧力を間接的に検出することができる。

【0096】

また、予め、液Ｌの圧力と吐出される液滴Ｌ１の状態との対応関係を、予備実験で確認しておく。

【0097】

制御部５０には、液Ｌの適切な圧力を、液吐出時の液Ｌの圧力として予め入力しておく。また、制御部５０には、メニスカスの状態と液Ｌの圧力との対応関係について、予め保存しておく。このような制御部５０は、検出部１２３の検出結果に基づいて、メニスカスの状態から液Ｌの圧力を間接的に検出し、液Ｌの圧力を、予め定めた液吐出時の液Ｌの圧力の設定値に近づくように調整する。

【0098】

すなわち、検出部１２３の検出結果から間接的に検出した液Ｌの圧力が、設定した圧力よりも高い場合には、制御部５０は、供給部１２１から供給する液Ｌの供給量を減らすよう供給部１２１を制御する。
また、検出部１２３の検出結果から間接的に検出した液Ｌの圧力が、設定した圧力よりも低い場合には、制御部５０は、供給部１２１から供給する液Ｌの供給量を増やすよう供給部１２１を制御する。

【0099】

これにより、液吐出ユニット１０２は、検出部１２３の検出結果に基づいて、好適に液Ｌの圧力を調整し、液滴Ｌ１を吐出することができる。

【0100】

なお、本実施形態においては、検出部１２３が吐出口に形成されたメニスカスの状態を検出することとしたが、これに限らない。検出部１２３は、液保持部１１１から吐出された液滴Ｌ１の飛翔時の状態を観察することとしてもよい。

【0101】

「液滴Ｌ１の飛翔時の状態」とは、液滴Ｌ１の形状、体積、液滴Ｌ１の速度、液滴Ｌ１の飛翔位置からなる群から選ばれる少なくとも一つが挙げられる。検出部１２３としては、例えば、液滴Ｌ１を撮像する撮像装置や、液滴Ｌ１の大きさ、形状、動きを検出するレーザー測定器を挙げることができる。

【0102】

液吐出ユニット１０２を有する液吐出装置２の使用時には、予め、液滴Ｌ１の状態と液Ｌの圧力との対応関係を予備実験で確認しておく。

【0103】

液滴Ｌ１の状態は、液Ｌの圧力に応じて変化する。これにより、液Ｌの圧力を直接測定しなくても、液吐出ユニット１０２では、検出部１２３を用いて液滴Ｌ１の状態を確認することで、液Ｌの圧力を間接的に検出することができる。

【0104】

また、予め、液Ｌの圧力と吐出される液滴Ｌ１の状態との対応関係を、予備実験で確認しておく。

【0105】

制御部５０には、液Ｌの適切な圧力を、液吐出時の液Ｌの圧力として予め入力しておく。また、制御部５０には、メニスカスの状態と液Ｌの圧力との対応関係について、予め保存しておく。このような制御部５０は、検出部１２３の検出結果に基づいて、液滴Ｌ１の状態から液Ｌの圧力を間接的に検出し、液Ｌの圧力を、予め定めた液吐出時の液Ｌの圧力の設定値に近づくように調整する。液Ｌの圧力調整方法は、上述したメニスカスの状態を検出した後の調整の方法と同じでよい。

【0106】

これにより、液吐出ユニット１０２は、検出部１２３の検出結果に基づいて、好適に液Ｌの圧力を調整し、液滴Ｌ１を吐出することができる。

【0107】

以上のような構成の液吐出ユニット１０２によっても、高粘度の液を好適に吐出可能な液吐出ユニットを提供することができる。

【0108】

また、以上のような構成の液吐出装置２によっても、上述の液吐出ユニットを有するため、高粘度の液を好適に吐出可能となる。

【0109】

なお、検出部１２３として、メニスカスの状態を検出する装置と、液滴Ｌ１の飛翔時の状態を検出する装置との両方を説明したが、液吐出装置は、これら２種の検出部１２３を両方備えてもよい。この場合、制御部５０は、２種の検出部１２３による検出結果に基づいて、液Ｌの圧力を間接的に検出し、液Ｌの圧力を制御するとよい。

【0110】

［第３実施形態］
図５は、本発明の第３実施形態に係る液吐出ユニットおよび液吐出装置の説明図であり、図２，４に対応する図である。本実施形態の液吐出ユニット１０３は、上述の実施形態の液吐出ユニットと一部共通している。したがって、本実施形態において上述の実施形態と共通する構成要素については同じ符号を付し、詳細な説明は省略する。

【0111】

液吐出ユニット１０３は、液吐出ヘッド１６０と、圧力調整部１２０Ｃとを有する。

【0112】

本実施形態の液吐出装置３は、上述の液吐出装置１から液吐出ユニット１０１を液吐出ユニット１０３に替えた構成とする。

【0113】

液吐出ヘッド１６０は、液保持部１６１、支持部１６２、変位部材１６３、配管１１６を有する。
圧力調整部１２０Ａは、供給部１２１と、検出部１２２とを有する。

【0114】

＜液吐出ヘッド＞
（液保持部）
液保持部１６１は、上述した液保持部１１１と同様の構成を採用することができる。

【0115】

（支持部）
支持部１６２は、液保持部１６１を着脱自在に支持している。支持部１６２は、液保持部１６１を支持可能であれば、通常知られた種々の構成を採用することができる。

【0116】

支持部１６２は、液保持部１６１を支持する支持本体１６２ａと、支持本体１６２ａに液保持部１６１を固定するねじ１６２ｘとを有する。

【0117】

（変位部材）
変位部材１６３は、上述した変位部材１１３と同様の構成を採用することができる。

【0118】

（配管）
配管１１６は、液保持部１６１と供給部１２１とを接続する。

【0119】

<圧力調整部＞
圧力調整部１２０Ｃは、加圧部１２５と、検出部１２３とを有する。

【0120】

（加圧部）
加圧部１２５は、軟質部１２６と押圧部１２７とを有する。

【0121】

軟質部１２６は、液保持部１６１と配管１１６とを接続して設けられ、液保持部１６１および配管１１６と連通した管状部材である。軟質部１２６は、軟質の樹脂材料を形成材料とする。軟質の樹脂材料としては、ポリウレタン、シリコーンゴム、フッ素樹脂などが挙げられる。

【0122】

軟質部１２６は、配管１１６と一体的に設けられてもよく、別部材であってもよい。

【0123】

押圧部１２７は、軟質部１２６に設けられ、制御部５０の指示によって軟質部１２６を押圧する部材である。押圧部１２７としては、軟質部１２６を押圧することが可能であれば、種々の公知の構成を採用することができる。例えば、押圧部１２７としては、上述した変位部材１１３と同様の圧電素子を用いることができる。

【0124】

加圧部１２５においては、押圧部（圧電素子）１２７に通電して押圧部１２７を圧縮することで、押圧部１２７が設けられた軟質部１２６を押圧して圧縮する。これにより、軟質部１２６および液保持部１６１の内部の液Ｌが加圧され、液保持部１６１の吐出口１６１ｘから一部が押し出される。

【0125】

以上のような液吐出ユニット１０３では、まず、加圧部１２５において液保持部１６１内の液Ｌを加圧することにより、液保持部１６１の吐出口１６１ｘでは、液保持部１６１で保持された液Ｌの一部が押し出され、メニスカスが形成される。

【0126】

次いで、変位部材１６３を駆動させ、液保持部１６１を変位させることにより、図３と同様に駆動し、液滴が吐出される。

【0127】

以上のような構成の液吐出ユニット１０３によっても、高粘度の液を好適に吐出可能な液吐出ユニットを提供することができる。

【0128】

また、以上のような構成の液吐出装置３によっても、上述の液吐出ユニットを有するため、高粘度の液を好適に吐出可能となる。

【0129】

［第４実施形態］
図６は、本発明の第４実施形態に係る液吐出ユニットおよび液吐出装置の説明図であり、図２，４，５に対応する図である。本実施形態の液吐出ユニット１０４は、上述の実施形態の液吐出ユニットと一部共通している。したがって、本実施形態において上述の実施形態と共通する構成要素については同じ符号を付し、詳細な説明は省略する。

【0130】

液吐出ユニット１０４は、液吐出ヘッド１７０と、圧力調整部１２０Ｂとを有する。

【0131】

本実施形態の液吐出装置４は、上述の液吐出装置１から液吐出ユニット１０１を液吐出ユニット１０４に替えた構成とする。

【0132】

液吐出ヘッド１７０は、液保持部１７１、ノズルプレート１７２、変位部材１７３、配管１１６を有する。

【0133】

（液保持部）
液保持部１７１は、ｚ軸方向の下端が開口した筒状の部材である。液保持部１７１の内部には液Ｌが保持されている。また、液保持部１７１の上方は、配管１１６と接続されている。

【0134】

液保持部１７１の下方端部１７１ｘは、ノズルプレート１７２と変位部材１７３とで塞がれている。液保持部１７１とノズルプレート１７２と変位部材１７３とで囲まれた空間には、液Ｌが保持されている。

【0135】

（ノズルプレート）
ノズルプレート１７２は、吐出口１７２ｘを有する環状の部材である。ノズルプレート１７２は、液保持部１７１の下方端部１７１ｘを塞いでいる。吐出口１７２ｘは、液保持部１７１と連通している。

【0136】

ノズルプレート１７２の平面形状、平面視したときの大きさ、材質、および構造については特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができる。

【0137】

ノズルプレート１７２の外縁の平面形状としては、例えば、円形、楕円形、長方形、正方形、菱形などが挙げられる。例えば、ノズルプレート１７２の外縁の形状が円形である場合、ノズルプレート１７２は円環状の部材となる。

【0138】

ノズルプレート１７２は、吐出口１７２ｘ側の端部が支持されておらず、上下に振動可能である。ノズルプレート１７２は、吐出口１７２ｘ側の端部が振動することにより、吐出口１７２ｘ近傍の液Ｌに対して下方に力を加え、吐出口１７２ｘから液滴Ｌ１として吐出する。

【0139】

ノズルプレート１７２の材質としては、柔らかすぎるとノズルプレート１７２が簡単に振動し、吐出しないときに直ちに振動を抑えることが困難であるため、ある程度の硬さを有する材質を用いることが好ましい。

【0140】

ノズルプレート１７２の材質としては、例えば、金属、セラミックス、高分子材料などが挙げられる。ノズルプレート１７２の材質として、具体的には、ステンレス鋼、ニッケル、アルミニウム、二酸化ケイ素、アルミナ、ジルコニアなどが挙げられる。

【0141】

吐出口１７２ｘの開口形状としては、目的に応じて適宜選択することができる。吐出口１７２ｘの開口形状としては、例えば、円形、楕円形、四角形などが挙げられる。なかでも、吐出口１７２ｘの開口形状としては、円形が好ましい。

【0142】

吐出口１７２ｘの平均開口径としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができる。吐出する液Ｌが分散液である場合には、液Ｌ中に分散する細胞などの分散質が吐出口１７２ｘに詰まることを避けるため、吐出口１７２ｘの開口形状は、分散質の最大径の２倍以上とすることが好ましい。

【0143】

（変位部材）
変位部材１７３は、ノズルプレート１７２を振動させて吐出口１７２ｘから液滴Ｌ１を吐出させる。

【0144】

変位部材１７３は、液保持部１７１の下方端部１７１ｘとノズルプレート１７２との間に挟まれ、液保持部１７１の下方端部１７１ｘを塞いでいる。

【0145】

変位部材１７３の形状、大きさ、材質、及び構造については特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができる。

【0146】

変位部材１７３の形状や配置は、発明の効果を阻害しないならば特に制限はなく、ノズルプレート１７２の形状に合わせて適宜設計することができる。例えば、ノズルプレート１７２の平面形状が円環状である場合には、吐出口１７２ｘの周囲に、同心状に変位部材１７３を設けることが好ましい。

【0147】

変位部材１７３としては、圧電素子が好適に用いられる。圧電素子としては、変位部材１１３で採用する圧電素子と同様の構成の部材を用いることができる。

【0148】

以上のような液吐出ユニット１０４では、まず、供給部１２１において液保持部１７１内の液Ｌを加圧することにより、液保持部１７１の吐出口１７２ｘでは、液保持部１７１で保持された液Ｌの一部が押し出され、メニスカスが形成される。

【0149】

次いで、変位部材１７３を駆動させ、液保持部１７１に保持された液Ｌの一部を変位させることにより、液滴Ｌ１が吐出される。

【0150】

以上のような構成の液吐出ユニット１０４によっても、高粘度の液を好適に吐出可能な液吐出ユニットを提供することができる。

【0151】

また、以上のような構成の液吐出装置４によっても、上述の液吐出ユニットを有するため、高粘度の液を好適に吐出可能となる。

【0152】

以上、添付図面を参照しながら本発明に係る好適な実施の形態例について説明したが、本発明は係る例に限定されない。上述した例において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の主旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能である。

【0153】

上述の第１～４実施形態に記載した液吐出ユニットおよび液吐出装置の構成のうち、同じ効果を奏する構成については、発明の効果を損なわない範囲において相互に交換可能である。

【0154】

例えば、第１実施形態の液吐出装置は、検出部１２２に替えて、第２～４実施形態の液吐出装置が備える検出部１２３を有していてもよい。

【0155】

同様に、第２～４実施形態の液吐出装置は、検出部１２３に替えて、第１実施形態の液吐出装置が備える検出部１２２を有していてもよい。

【0156】

また、第１～４実施形態に記載した液吐出ユニットおよび液吐出装置の構成のうち、同じ効果を奏する構成については、発明の効果を損なわない範囲において重複して備えていてもよい。

【0157】

例えば、液吐出装置は、検出部１２２と検出部１２３との両方を備えていてもよい。この場合、制御部５０は、検出部１２２と検出部１２３との両方の検出結果に基づいて、液Ｌの圧力を求め、液Ｌの圧力を制御するとよい。

【0158】

また、第１～４実施形態に記載した液吐出装置が複数の液吐出ユニットを備える場合、複数の液吐出ユニットは、全て同じ構成であってもよく、上述した液吐出ユニット１０１～１０４からなる群から選ばれる２種以上を有することとしてもよい。

【0159】

本発明は、以下の態様を含む。

【0160】

［１］液を吐出する吐出口を有し、液を保持する液保持部と、前記液保持部に保持された前記液の圧力を調整する圧力調整部と、圧力が調整された前記液の少なくとも一部を変位させ、前記液保持部から前記液を吐出させる変位部材と、を有する液吐出ユニット。

【0161】

［２］前記変位部材は、前記液保持部を前記液の吐出方向と略平行に変位させる［１］に記載の液吐出ユニット。

【0162】

［３］前記液保持部は、前記液の吐出方向と略平行に伸びる管状部材であり、前記液保持部と前記変位部材とは、平面視で重なって配置され、前記液保持部の平面視形状は、前記変位部材の平面視形状よりも小さい［２］に記載の液吐出ユニット。

【0163】

［４］前記液保持部に前記液を供給する供給部を有し、前記供給部は、前記圧力調整部を兼ねる［１］から［３］のいずれか１項に記載の液吐出ユニット。

【0164】

［５］前記液保持部の少なくとも一部が弾性材料で形成され、前記圧力調整部は、前記液保持部の前記弾性材料で形成された箇所に設けられ、前記液保持部を変形させて前記液保持部の容積を変化させる手段である［１］から［３］のいずれか１項に記載の液吐出ユニット。

【0165】

［６］前記圧力調整部は、前記液保持部に保持され圧力が調整された前記液の圧力を、直接または間接的に検出する検出部を含む［１］から［５］のいずれか１項に記載の液吐出ユニット。

【0166】

［７］前記検出部は、前記液保持部に保持され圧力が調整された前記液の圧力を検出し、前記圧力調整部は、前記検出部の検出結果に基づいて、前記液の圧力を、予め定めた液吐出時の前記液の圧力の設定値に近づくように調整する［６］に記載の液吐出ユニット。

【0167】

［８］前記検出部は、前記吐出口に形成されるメニスカスを観察し、前記圧力調整部は、前記メニスカスの形成位置または前記メニスカスの運動情報の少なくともいずれか一方に基づいて、前記液の圧力を、予め定めた液吐出時の前記液の圧力の設定値に近づくように調整することを特徴とする［６］に記載の液吐出ユニット。

【0168】

［９］前記検出部は、前記液保持部から吐出された液滴を観察し、前記圧力調整部は、前記液滴の飛翔位置、前記液滴の形状、前記液滴の体積および前記液滴の速度からなる群から選択される少なくとも一つに基づいて、前記液の圧力を、予め定めた液吐出時の前記液の圧力の設定値に近づくように調整することを特徴とする［６］または［８］に記載の液吐出ユニット。

【0169】

［１０］前記検出部は、撮像装置またはレーザー測定器である［９］に記載の液吐出ユニット。

【0170】

［１１］前記液は、粒子と、前記粒子が分散した分散媒とを有する分散液である［１］から［１０］のいずれか１項に記載の液吐出ユニット。

【0171】

［１２］前記粒子が細胞である［１１］に記載の液吐出ユニット。

【0172】

［１３］［１］から［１２］のいずれか１項に記載の液吐出ユニットを有する液吐出装置。

【0173】

［１４］前記液吐出ユニットを複数有し、複数の前記液吐出ユニットが前記液の吐出方向と交差する方向に配列している［１３］に記載の液吐出装置。

【0174】

［１］から［１２］のいずれか１項に記載の液吐出ユニットおよび［１３］または［１４］に記載の液吐出装置によれば、従来の課題を解決し、本発明の目的を達することができる。

【符号の説明】

【0175】

１，２，３，４…液吐出装置、５０…制御部、１０１，１０２，１０３，１０４…液吐出ユニット、１１０，１６０，１７０…液吐出ヘッド、１１１，１６１，１７１…液保持部、１１１ａ，１６１ｘ，１７２ｘ…吐出口、１１３，１６３，１７３…変位部材、１２０Ａ，１２０Ｂ，１２０Ｃ…圧力調整部、１２１…供給部、１２２，１２３…検出部、１２７…押圧部（圧電素子）、Ｌ…液、Ｌ１…液滴、ＬＭ…メニスカス

【先行技術文献】

【特許文献】

【0176】

【文献】特許第５７１６２１３号公報

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】