特許 7455464 加工装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-03-15

(45)【発行日】2024-03-26

(54)【発明の名称】加工装置

(51)【国際特許分類】

   G05B 19/409 20060101AFI20240318BHJP

   G05B 19/418 20060101ALI20240318BHJP

【ＦＩ】

G05B19/409 C

G05B19/418 Z

【請求項の数】 3

(21)【出願番号】P 2020021384

(22)【出願日】2020-02-12

(65)【公開番号】P2021128410

(43)【公開日】2021-09-02

【審査請求日】2022-12-16

(73)【特許権者】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】100075384

【弁理士】

【氏名又は名称】松本 昂

(74)【代理人】

【識別番号】100172281

【弁理士】

【氏名又は名称】岡本 知広

(74)【代理人】

【識別番号】100206553

【弁理士】

【氏名又は名称】笠原 崇廣

(74)【代理人】

【識別番号】100189773

【弁理士】

【氏名又は名称】岡本 英哲

(74)【代理人】

【識別番号】100184055

【弁理士】

【氏名又は名称】岡野 貴之

(72)【発明者】

【氏名】平野 大輔

【審査官】野口 絢子

(56)【参考文献】

【文献】特開平０５－０１９８２９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１６－１１８８３２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１７－０６８６３０（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｇ０５Ｂ１９／１８－１９／４１６

Ｇ０５Ｂ１９／４２－１９／４６

Ｂ２３Ｑ１５／００－１５／２８

Ｂ２３Ｑ１７／００－２３／００

Ｂ２３Ｑ １／００－ １／７６

Ｂ２３Ｑ ９／００－ ９／０２

Ｇ０６Ｑ１０／０６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

被加工物を加工する加工ユニットを有する加工装置であって、
複数の検査項目の名称を表示可能な表示部と、
該加工ユニット及び該表示部を制御する制御部と、
検査項目に関する情報を該制御部に入力するための入力部と、
を備え、
該制御部は、基準となる所定の点数と、検査項目に対応する検査を行う予定日を経過しても行われていない各検査項目に対応する点数とに基づいて、第１の演算方式に従い演算を行い、検査の進捗状況を表す演算後の点数を該表示部に表示させ、
該予定日を経過しても行われていない検査項目のうち１以上の検査項目に対応する検査が行われた旨が該入力部を介して該制御部に入力された場合に、該制御部は、検査が行われた該１以上の検査項目に対応する点数と、該第１の演算方式に従って行われた演算後の点数とに基づいて、第２の演算方式に従い演算を行い、該第２の演算方式での演算後の点数を該表示部に表示させることを特徴とする加工装置。

【請求項2】

該制御部は、該予定日を経過しても行われていない各検査項目の名称を、演算後の点数と共に該表示部に表示させることを特徴とする請求項１に記載の加工装置。

【請求項3】

該制御部は、演算後の点数に対応する所定のイラストレーションを該表示部に表示させることを特徴とする請求項１又は２に記載の加工装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、被加工物を加工する加工装置に関する。

【背景技術】

【0002】

携帯電話、パソコン等の電気機器に利用される半導体デバイスチップは、例えば、複数のデバイスが表面側に形成されている半導体ウェーハの裏面側を研削することにより所定の厚さに薄化した後、半導体ウェーハをデバイス単位に分割して製造される。

【0003】

半導体ウェーハを所定の厚さに薄化するためには、代表的には、研削装置が用いられる（例えば、特許文献１参照）。また、半導体ウェーハを分割するためには、切削装置、レーザー加工装置等が用いられる。

【0004】

研削装置、切削装置、レーザー加工装置等の各種加工装置が正常に動作する様に、通常、作業者は、チェックシートに記載された点検項目（即ち、複数の検査項目）に従って、加工装置を構成する構成要素を定期的に検査することが要求される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【文献】特開２０００－２８８８８１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

しかし、作業者が定期的な検査を行わない場合には、加工装置の適切なメンテナンスが行われず、加工装置の故障、加工精度の低下等が生じ得る。加工装置の故障、加工精度の低下等が生じると、被加工物の加工中に被加工物の破損等が生じ、多大な損失が発生する恐れがある。

【0007】

本発明は係る問題点に鑑みてなされたものであり、加工装置の構成要素の定期的な検査を作業者に促すことができる加工装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0008】

本発明の一態様によれば、被加工物を加工する加工ユニットを有する加工装置であって、複数の検査項目の名称を表示可能な表示部と、該加工ユニット及び該表示部を制御する制御部と、検査項目に関する情報を該制御部に入力するための入力部と、を備え、該制御部は、基準となる所定の点数と、検査項目に対応する検査を行う予定日を経過しても行われていない各検査項目に対応する点数とに基づいて、第１の演算方式に従い演算を行い、検査の進捗状況を表す演算後の点数を該表示部に表示させ、該予定日を経過しても行われていない検査項目のうち１以上の検査項目に対応する検査が行われた旨が該入力部を介して該制御部に入力された場合に、該制御部は、検査が行われた該１以上の検査項目に対応する点数と、該第１の演算方式に従って行われた演算後の点数とに基づいて、第２の演算方式に従い演算を行い、該第２の演算方式での演算後の点数を該表示部に表示させる加工装置が提供される。

【0009】

好ましくは、該制御部は、該予定日を経過しても行われていない各検査項目の名称を、演算後の点数と共に該表示部に表示させる。

【0011】

また、好ましくは、該制御部は、演算後の点数に対応する所定のイラストレーションを該表示部に表示させる。

【発明の効果】

【0012】

本発明の一態様に係る加工装置の制御部は、所定の点数と、検査項目に対応する検査を行う予定日を経過しても行われていない各検査項目に対応する点数とに基づいて、第１の演算方式に従い演算を行い、演算後の点数を表示部に表示させる。

【0013】

例えば、第１の演算方式が減算である場合に、予定日を経過しても行われていない検査項目があると、行われていない検査項目に対応する点数が所定の点数から減算された点数が表示部に表示される。これにより、加工装置の点検の必要性の程度を作業者に対して定量的且つ視覚的に知らせることができ、作業者に対して加工装置の点検を促すことができる。

【図面の簡単な説明】

【0014】

【図1】研削装置の斜視図である。

【図2】モニターに表示されるチェックシートの一例を示す図である。

【図3】イラストレーション付き画像の一例を示す図である。

【図4】図４（Ａ）は第１のイラストレーションを示す図であり、図４（Ｂ）は第２のイラストレーションを示す図であり、図４（Ｃ）は第３のイラストレーションを示す図であり、図４（Ｄ）は第４のイラストレーションを示す図であり、図４（Ｅ）は第５のイラストレーションを示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0015】

添付図面を参照して、本発明の一態様に係る実施形態について説明する。図１は、研削装置２の斜視図である。研削装置（加工装置）２は、略直方体形状の基台４を備える。図１では、基台４の左右方向をＸ軸方向とし、基台４の前後方向をＹ軸方向とし、基台４の上下方向をＺ軸方向とする。

【0016】

基台４の前方（Ｙ軸方向の一方）には、凹部４ａが形成されている。凹部４ａに対して右方（Ｘ軸方向の一方）にはカセット載置領域６ａがあり、凹部４ａに対して左方（Ｘ軸方向の他方）にはカセット載置領域６ｂがある。

【0017】

カセット載置領域６ａ上には、研削装置２で加工前の１以上の被加工物１１が収容されているカセット８ａが載置される。また、カセット載置領域６ｂ上には、研削装置２で加工後の１以上の被加工物１１が収容されるカセット８ｂが載置される。

【0018】

凹部４ａには、搬送ロボット１０が設けられている。搬送ロボット１０は、複数のリンクが回動可能に連結された屈曲リンク機構と、最も上部に位置するリンクの端部に連結されたエンドエフェクタとしてのハンド部とを含む。

【0019】

搬送ロボット６は、カセット８ａに収容されている被加工物１１を、カセット載置領域６ａの後方（Ｙ軸方向の他方）に設けられている位置決めテーブル１２へ搬送する。位置決めテーブル１２の中央部には、円盤状の吸引台１２ａが設けられている。

【0020】

吸引台１２ａの上面には、１又は複数の吸引口（不図示）が形成されている。各吸引口には、流路の一端が接続されており、流路の他端には、エジェクタ等の吸引源（不図示）が接続されている。

【0021】

吸引台１２ａの周囲には複数のピン１２ｂが環状に配置されている。各ピン１２ｂは、吸引台１２ａに近づく方向、又は、吸引台１２ａから遠ざかる方向に移動可能であり、吸引台１２ａ上に配置された被加工物１１の外周部に接触することで、基台４に対する被加工物１１の位置を所定の位置に調整する。

【0022】

位置決めテーブル１２の左方には、ローディングアーム部１４が設けられている。ローディングアーム部１４は、所定の長さのアームを有している。アームの一端部は、Ｚ軸方向に平行な直線を回転軸として回転可能且つＺ軸方向に移動可能である。

【0023】

アームの他端部には、被加工物１１を吸引可能なパッドが設けられている。ローディングアーム部１４のパッドの下面側には開口が形成されており、この開口には流路（不図示）の一端が接続され、流路の他端にはエジェクタ等の吸引源が接続されている。

【0024】

ローディングアーム部１４の一端部の後方には円盤状のターンテーブル１６が設けられている。ターンテーブル１６は、基台４上で回転可能であり、ターンテーブル１６の上面には、円周方向に略１２０度離れる態様で３個のチャックテーブル１８が設けられている。

【0025】

ローディングアーム部１４に最も近い領域（搬入搬出領域Ａ）と、搬入搬出領域Ａから上面視で反時計回りに略１２０度進んだ領域（粗研削領域Ｂ）との各々には、１つのチャックテーブル１８が配置されている。また、搬入搬出領域Ａから上面視で時計回りに略１２０度進んだ領域（仕上げ研削領域Ｃ）にも、１つのチャックテーブル１８が配置されている。

【0026】

各チャックテーブル１８は、セラミックス等で形成された円盤状の枠体を有する。枠体の上面側には、円盤状の凹部（不図示）が形成されている。この凹部には、多孔質材料で形成された円盤状のポーラス板が固定されている。

【0027】

ポーラス板の上面は、上方に露出しており、ポーラス板の下面は、チャックテーブル１８内に形成されている流路（不図示）の一端に接続されている。この流路の他端には、エジェクタ等の吸引源（不図示）が接続されている。

【0028】

吸引源を動作させるとポーラス板の上面には負圧が生じ、ポーラス板の上面は被加工物１１等を吸引して保持する保持面１８ａとして機能する。ターンテーブル１６よりも後方には、四角柱状の支持構造２０ａ，２０ｂが設けられている。

【0029】

支持構造２０ａの前方に位置する前面にはＺ軸移動機構２２が設けられている。Ｚ軸移動機構２２は、支持構造２０ａの前面に配置されＺ軸方向に概ね平行な一対のＺ軸ガイドレール２４を備える。

【0030】

一対のＺ軸ガイドレール２４には、Ｚ軸移動プレート２６がスライド可能に取り付けられている。Ｚ軸移動プレート２６の裏面側（後方側）には、ナット部（不図示）が設けられており、このナット部には、一対のＺ軸ガイドレール２４の間でＺ軸ガイドレール２４に沿って設けられたＺ軸ボールネジ２８が回転可能な態様で連結している。

【0031】

Ｚ軸ボールネジ２８の上方の端部には、Ｚ軸パルスモーター３０が連結されている。Ｚ軸パルスモーター３０でＺ軸ボールネジ２８を回転させれば、Ｚ軸移動プレート２６は、Ｚ軸ガイドレール２４に沿ってＺ軸方向に移動する。Ｚ軸移動プレート２６の前面側には、粗研削ユニット（加工ユニット）３２ａが固定されている。

【0032】

粗研削ユニット３２ａは、Ｚ軸移動プレート２６の前面側に固定されている筒状のスピンドルハウジング３４を有する。スピンドルハウジング３４内には、Ｚ軸方向に平行に配置されたスピンドル（不図示）の一部が回転可能な状態で収容されている。

【0033】

スピンドルの上端部には、スピンドルモーター３６が連結されている。スピンドルの下端部は、スピンドルハウジング３４から突出している。スピンドルの下端部には、円盤状のホイールマウントの上面側が連結されており、ホイールマウントの下面側には粗研削ホイール３８ａが装着されている。

【0034】

粗研削ホイール３８ａは、アルミニウム合金等の金属材料で形成された略円盤状のホイール基台４０ａと、ホイール基台４０ａの下面側に装着された複数の粗研削砥石４２ａとを有する。

【0035】

複数の粗研削砥石４２ａの各々は、略直方体形状を有している。複数の粗研削砥石４２ａは、ホイール基台４０ａの下面の円周に沿って、隣り合う研削砥石同士の間に間隙が設けられる態様で環状に配列されている。

【0036】

粗研削砥石４２ａは、例えば、金属、セラミックス、樹脂等の結合材に、ダイヤモンド、ｃＢＮ（cubic boron nitride）等の砥粒を混合して形成される。なお、結合材や砥粒の材料に特段の制限はなく、粗研削砥石４２ａの仕様に応じて適宜選択できる。粗研削ホイール３８ａの直下は、上述の粗研削領域Ｂに対応する。

【0037】

粗研削ユニット３２ａが設けられる支持構造２０ａの左方に隣接して、四角柱状の支持構造２０ｂが設けられている。支持構造２０ｂの前方に位置する前面には、支持構造２０ａと同様に、Ｚ軸移動機構２２が設けられている。

【0038】

また、支持構造２０ｂのＺ軸移動機構２２には、Ｚ軸移動プレート２６を介して、仕上げ研削ユニット（加工ユニット）３２ｂが連結されている。仕上げ研削ユニット３２ｂも、粗研削ユニット３２ａと同様に、スピンドルハウジング３４、スピンドル（不図示）、及び、スピンドルモーター３６を有する。

【0039】

仕上げ研削ユニット３２ｂのスピンドルの下端部には、円盤状のホイールマウントの上面側が連結されており、ホイールマウントの下面側には、円盤状の仕上げ研削ホイール３８ｂが装着されている。

【0040】

仕上げ研削ホイール３８ｂは、略円盤状のホイール基台４０ｂと、ホイール基台４０ｂの下面側に装着された複数の仕上げ研削砥石４２ｂとを有する。複数の仕上げ研削砥石４２ｂの各々は、略直方体形状を有している。複数の仕上げ研削砥石４２ｂは、ホイール基台４０ｂの下面の円周に沿って、隣り合う研削砥石同士の間に間隙が設けられる態様で環状に配列されている。

【0041】

仕上げ研削砥石４２ｂも、結合材に砥粒を混合して形成されている。仕上げ研削砥石４２ｂでは、粗研削砥石４２ａの砥粒よりも平均粒径が小さい。但し、仕上げ研削砥石４２ｂの結合材や砥粒の材料に特段の制限はなく、仕上げ研削砥石４２ｂの仕様に応じて適宜選択できる。仕上げ研削ホイール３８ｂの直下は、上述の仕上げ研削領域Ｃに対応する。

【0042】

ローディングアーム部１４の一端部の左方には、アンローディングアーム部４４が設けられている。アンローディングアーム部４４は、所定の長さのアームを有している。アームの一端部は、Ｚ軸方向に平行な直線を回転軸として回転可能且つＺ軸方向に移動可能である。

【0043】

アームの他端部には、被加工物１１を吸引可能なパッドが設けられている。アンローディングアーム部４４のパッドの下面側には開口が形成されており、この開口には流路（不図示）の一端が接続され、流路の他端にはエジェクタ等の吸引源が接続されている。

【0044】

アンローディングアーム部４４の左方には、研削後の被加工物１１を洗浄するためのスピンナ洗浄ユニット４６が設けられている。スピンナ洗浄ユニット４６の前方には、上述のカセット載置領域６ｂが設けられている。

【0045】

カセット載置領域６ｂの前方には、モニター（表示部）４８が設けられている。モニター４８は、液晶ディスプレイ、液晶ビデオモニター等であり、モニター４８には、被加工物１１の加工条件や、図２に示す様に、研削装置２に関する複数の検査項目が記載されたチェックシート５６が表示される。

【0046】

研削装置２は、制御部５０を有する。制御部５０は、位置決めテーブル１２、ローディングアーム部１４、ターンテーブル１６、チャックテーブル１８、粗研削ユニット３２ａ、仕上げ研削ユニット３２ｂ、アンローディングアーム部４４、スピンナ洗浄ユニット４６、モニター４８等を制御する。

【0047】

制御部５０は、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）に代表されるプロセッサ等の処理装置と、ＤＲＡＭ（Dynamic Random Access Memory）、ＳＲＡＭ（Static Random Access Memory）、ＲＯＭ（Read Only Memory）等の主記憶装置と、フラッシュメモリ、ハードディスクドライブ、ソリッドステートドライブ等の補助記憶装置と、を含むコンピュータによって構成されている。補助記憶装置に記憶されるソフトウェアに従い処理装置（ハードウェア資源）等を動作させることによって、制御部５０の機能が実現される。

【0048】

制御部５０には、キーボード等の入力装置（入力部）５２が接続されている。作業者は、入力装置５２を使用して、制御部５０へ所定の指令を与えることができ、また、数値、日付等を入力できる。なお、モニター４８がタッチパネル式のモニターである場合には、モニター４８は表示部と入力部とを兼ねる。

【0049】

入力装置５２等を介して制御部５０に入力された情報は、記憶部５４に記憶される。本実施形態の記憶部５４は、補助記憶装置の一部である。記憶部５４に記憶された情報のうち検査項目に関する情報は、モニター４８に表示されるチェックシート５６に反映される。

【0050】

次に、研削装置２で被加工物１１を加工する方法について簡単に説明する。まず、被加工物１１は、搬送ロボット１０によりカセット８ａから位置決めテーブル１２へ搬送される。位置決めテーブル１２で位置が調整された後、被加工物１１はローディングアーム部１４により搬入搬出領域Ａに位置するチャックテーブル１８へ搬入される。

【0051】

その後、ターンテーブル１６が上面視で反時計回りに回転することで、被加工物１１の一面側が吸引保持されたチャックテーブル１８が粗研削領域Ｂに位置付けられ、粗研削ユニット３２ａで被加工物１１の他面側が粗研削される。

【0052】

更にその後、ターンテーブル１６を上面視で反時計回りに更に回転させることで、チャックテーブル１８が仕上げ研削領域Ｃに位置付けられた後、仕上げ研削ユニット３２ｂで被加工物１１の他面側が仕上げ研削される。

【0053】

次いで、ターンテーブル１６を上面視で時計回りに回転させることで、チャックテーブル１８は搬入搬出領域Ａに戻される。その後、アンローディングアーム部４４で、被加工物１１はチャックテーブル１８からスピンナ洗浄ユニット４６へ搬送される。スピンナ洗浄ユニット４６で洗浄された被加工物１１は、搬送ロボット１０によりカセット８ｂへ搬送される。

【0054】

次に、モニター４８に表示されるチェックシート５６（図２参照）等を用いて行われる、研削装置２の検査について説明する。図２は、モニター４８に表示されるチェックシート５６の一例を示す図である。

【0055】

モニター４８には、研削装置２の点検項目（複数の検査項目）として予め用意された項目の名称等が、チェックシート５６として表示される。検査項目のＮｏ．１は、緊急遮断（ＥＭＯ）スイッチの動作の検査である。

【0056】

緊急遮断スイッチ（不図示）は、例えば、研削装置２の基台４を覆う筐体（不図示）の側面に設けられている。緊急遮断スイッチの動作の検査では、例えば、研削装置２の電源が入った状態で作業者が緊急遮断スイッチを押下することで、安全に研削装置２がシャットダウン状態に移行するか否かを検査する。

【0057】

検査項目のＮｏ．２は、エアー（バキューム）圧力の検査である。吸引台１２ａ、ローディングアーム部１４、チャックテーブル１８、アンローディングアーム部４４等の各流路には、圧力センサ（不図示）が接続されている。

【0058】

エアー圧力の確認では、各圧力センサを利用して、例えば、吸引口及び開口を被加工物１１で塞いだ場合や、ポーラス板を被加工物１１で覆った場合に、流路が所定の圧力以下に低下するかどうかを測定する。

【0059】

検査項目のＮｏ．３は、搬送ロボット６のハンド部の清掃の検査である。搬送ロボット６のハンド部にゴミ等の異物があると、カセット８ａから位置決めテーブル１２へ被加工物１１を搬送する際に、被加工物１１に異物が付着する恐れがある。それゆえ、ハンド部の清掃の有無が検査される。

【0060】

検査項目のＮｏ．４は、搬送ロボット６のセンサの動作の検査である。通常、搬送ロボット６のハンド部の先端部には、カセット８ａ内において被加工物１１の有無を検出するための光学式センサ（いわゆるマッピングセンサ）が設けられている。例えば、ハンド部をカセット８ａ内に進入させて、この光学式センサが正常に動作するか否かを検査する。

【0061】

検査項目のＮｏ．５は、ローディングアーム部１４及びアンローディングアーム部４４のパッドの清掃の検査である。パッドにゴミ等の異物があると、被加工物１１をチャックテーブル１８へ搬入する際や、チャックテーブル１８から被加工物１１を搬出する際に、被加工物１１に異物が付着する恐れがある。それゆえ、パッドの清掃の有無が検査される。

【0062】

検査項目のＮｏ．６は、チャックテーブル１８の検査である。研削装置２に使用されるチャックテーブル１８の下方には、チャックテーブル１８の回転の中心軸を鉛直方向から所定角度傾けるための角度調整機構（不図示）が設けられている。チャックテーブル１８の検査では、例えば、角度調整機構が正常に動作するか否かを検査する。

【0063】

検査項目のＮｏ．７は、ホイール（粗研削ホイール３８ａ，仕上げ研削ホイール３８ｂ）の検査である。例えば、ホイールに破損がないか、ホイールとホイールマウントとの間にゴミ等の異物がないか、ホイールは規定のトルク値でホイールマウントに取り付けられているか等を検査する。

【0064】

検査項目のＮｏ．８は、スピンドルモーター３６の電流値の検査である。例えば、各スピンドルモーター３６を駆動させて、粗研削ホイール３８ａ及び仕上げ研削ホイール３８ｂをそれぞれ無負荷状態で回転させる。このとき、各スピンドルモーター３６の電流値を監視し、異常が生じていないかを検査する。

【0065】

検査項目のＮｏ．９は、漏水の検査である。粗研削砥石４２ａや仕上げ研削砥石４２ｂで被加工物１１を研削する場合には、研削砥石と被加工物１１との接触領域に純水等の研削水が供給される。使用後の研削水は、廃液となり、例えば、チャックテーブル１８の下方の所定領域へ流れる。

【0066】

チャックテーブル１８の下方の所定領域には、使用後の研削水が一時的に貯留される廃液受け部（不図示）が設けられており、廃液受け部は、ホース等の連結部材（不図示）で廃液回収機構（不図示）に接続されている。漏水の検査では、廃液受け部、連結部材、廃液回収機構等において、廃液が漏れていないかを、漏水センサ、目視等で検査する。

【0067】

検査項目のＮｏ．１０は、ミスト漏れの検査である。研削ホイール（粗研削ホイール３８ａ、仕上げ研削ホイール３８ｂ）と、チャックテーブル１８とは、金属製のカバー（不図示）により側方及び上方が覆われており、当該カバーにはミスト等を排気するための排気装置（不図示）が設けられている。ミスト漏れの検査では、ミストがカバーから漏れていないかを、漏水センサ、目視等で検査する。

【0068】

検査項目のＮｏ．１１は、フルオート運転終了後の清掃の検査である。例えば、所定枚数の被加工物１１について、フルオート運転により、搬出、粗研削、仕上げ研削、洗浄、及び、搬入が完了した後に、ターンテーブル１６、廃液受け部等を清掃したかが検査される。

【0069】

各検査項目には、検査を行う予定日が記入される検査年月日の欄が設けられている。なお、図２では、便宜上、全ての予定日がドット及びスラッシュで示されているが、予定日はそれぞれ異なっていてもよいし、２以上が同じであってもよいし、全てが同じであってもよい。

【0070】

各検査項目には、予め点数が割り振られている。本実施形態では、Ｎｏ．１からＮｏ．９には、それぞれ１０点が割り振られ、ＮＯ．１０及びＮｏ．１１には、それぞれ５点が割り振られている。なお、点数の大小は、検査項目の重要性に応じて作業者が適宜定めてもよい。

【0071】

また、検査項目の数は、１１個に限定されず、１１個よりも多くても少なくてもよい。チェックシート５６には予備的な空欄が設けられてもよい。この場合、作業者は、空欄に任意の検査項目を記載できる。作業者は、この任意の検査項目に対しても適宜点数を割り振ってよい。

【0072】

制御部５０は、検査年月日に示されている検査を行う予定日を経過しても行われていない各検査項目に対応する点数と、基準となる所定の点数とに基づいて、第１の演算方式に従う演算を行う。本実施形態において、第１の演算方式は減算であり、制御部５０は、所定の点数（例えば、１００点）から、予定日経過後も行われていない各検査項目に対応する点数を減算する。

【0073】

演算後の点数は、検査の進捗状況を表す。演算後の点数は、例えば、記憶部５４に記憶される。制御部５０は、演算後の点数と、予定日を経過しても行われていない各検査項目の名称とに加えて、演算後の点数に対応する所定のイラストレーションを含むイラストレーション付き画像５８を、モニター４８に表示させる。

【0074】

図３は、イラストレーション付き画像５８の一例を示す図である。図３では、演算後の点数が、「装置の健康状態」と記載した文字列の隣に示されている。また、この文字列の下に、演算後の点数に対応するイラストレーションが示されている。

【0075】

なお、図３に示すイラストレーション付き画像５８を示す画像領域と、図２に示すチェックシート５６を示す画像領域とは、例えば、作業者が、モニター４８の枠部分に常時表示されるＧＵＩ（Graphical User Interface）のボタンＤを押下することにより切り替えられる。

【0076】

例えば、モニター４８にチェックシート５６が表示されている状態で、ボタンＤを１回押すと、チェックシート５６が表示されている画像領域は、イラストレーション付き画像５８を示す画像領域に切り替わる。また、更に、ボタンＤをもう１回押すと、イラストレーション付き画像５８を示す画像領域は、チェックシート５６を示す画像領域に切り替わる。

【0077】

図３に示す例では、Ｎｏ．２及びＮｏ．１０の検査が行われていないことを理由に１５点が減算されている。また、所定の検査項目で検査の対象となる構成要素（例えば、検査項目Ｎｏ．２での圧力センサ等）で生じたエラーのログは制御部５０に保存されており、一定期間に所定回数のエラーが発生したことを理由に５点が減算されている。

【0078】

１００点から２０点が減算された８０点は、この点数に対応するイラストレーションと共に表示されている。イラストレーションは、図４（Ａ）、図４（Ｂ）、図４（Ｃ）、図４（Ｄ）及び図４（Ｅ）に示す様に演算後の点数に応じて予め定められている。各イラストレーションと、イラストレーションと演算後の点数との関係とは、予め記憶部５４に記憶されている。

【0079】

図４（Ａ）は、第１のイラストレーションを示す図であり、例えば、演算後の点数が８１点以上１００点以下の場合に表示される。図４（Ｂ）は、第２のイラストレーションを示す図であり、例えば、演算後の点数が６１点以上８０点以下の場合に表示される。

【0080】

図４（Ｃ）は、第３のイラストレーションを示す図であり、例えば、演算後の点数が４１点以上６０点以下の場合に表示される。図４（Ｄ）は、第４のイラストレーションを示す図であり、例えば、演算後の点数が２１点以上４０点以下の場合に表示される。

【0081】

図４（Ｅ）は、第５のイラストレーションを示す図であり、例えば、演算後の点数が０点以上２０点以下の場合に表示される。本実施形態では、予定日を経過しても行われていない検査項目がある場合には、検査項目に対応する点数が減算された点数がモニター４８に表示される。

【0082】

この様に、検査の進捗状況がモニター４８に表示されるので、研削装置２の点検の必要性の程度を作業者に対して定量的且つ視覚的に作業者に知らせることができる。これにより、作業者に対して研削装置２の点検を促すことができる。

【0083】

次に、チェックシート５６等を用いた研削装置２の点検方法について説明する。研削装置２の電源を入れると、例えば、モニター４８には、図３に示すイラストレーション付き画像５８が表示される。

【0084】

作業者は、減点の対象となっている（即ち、予定日を経過しても行われていない）検査項目（以下、非検査項目）の名称を確認し、この非検査項目について検査を適宜行う。１以上の非検査項目について検査を行った後、作業者は、ボタンＤを押してチェックシート５６を表示させる。

【0085】

そして、検査を行った年月日（検査項目に関する情報）を、入力装置５２を介して制御部５０に入力する。これにより、非検査項目に対応する検査が行われた旨が制御部５０により把握され、チェックシート５６には、制御部５０を介して検査を行った年月日が反映（入力）される。

【0086】

なお、年月日を入力することに代えて、チェックシート５６にチェックボックス（不図示）を設け、作業者が入力装置５２を介してこのチェックボックスにチェックを入れてもよい。これにより、検査を行った旨が制御部５０により把握される。この場合、制御部５０が有している年月日の情報が自動的に検査年月日の欄に反映される。

【0087】

制御部５０は、非検査項目のうち検査が行われた検査項目に対応する点数と、第１の演算方式に従って行われた演算後の点数とに基づいて、第２の演算方式に従い演算を行う。第２の演算方式は、例えば、第１の演算方式とは異なる。

【0088】

本実施形態において第２の演算方式は、加算である。制御部５０は、第１の演算方式での演算後の点数（図３の例では、８０点）に対して、非検査項目のうち検査が行われた各検査項目に対応する点数を加算する。例えば、非検査項目のＮｏ．１及びＮｏ．１０の検査が行われた場合、演算後の点数は９５点（＝８０点＋１５点）となる。

【0089】

制御部５０は、イラストレーション付き画像５８の表示が選択された場合に、第２の演算方式での演算後の点数と、演算後の点数に対応する所定のイラストレーションとを含むイラストレーション付き画像５８を、モニター４８に表示させる。演算後の点数が９５点である場合、この９５点と、図４（Ａ）のイラストレーションとが表示される。

【0090】

この様に、研削装置２の点検を促して、作業者に点検を実行させることにより、研削装置２の故障、研削精度の低下等に起因して、研削中に被加工物１１が破損してしまう事態等を防止できる。

【0091】

（第１の変形例）第１及び第２の演算方式は、上述の例に限定されない。例えば、第１の演算方式を加算とし、第２の演算方式を減算にしてもよい。この場合、例えば、各検査項目に対応してマイナスの点数（－１０点、－５点等）が割り当てられる。

【0092】

そして、基準となる所定の点数（１００点）に、非検査項目に対応するマイナスの点数を加算した点数Ｘが算出され、イラストレーション付き画像５８では、検査の進捗状況を表す点数Ｘが表示される。また、非検査項目の名称も表示される。

【0093】

作業者は、１以上の非検査項目について検査を行った場合、チェックシート５６が表示されている状態で、その検査を行った年月日を、入力装置５２を介して制御部５０に入力する。

【0094】

制御部５０は、点数Ｘから、非検査項目のうち検査が行われた検査項目に対応するマイナスの点数（－Ｙ）を減算することにより、第２の演算方式での演算後の点数Ｚ（Ｚ＝Ｘ－（－Ｙ））を算出する。

【0095】

更に、制御部５０は、イラストレーション付き画像５８においては、検査の進捗状況を表す点数Ｚと、点数Ｚに対応する所定のイラストレーションとを、モニター４８に表示させる。なお、非検査項目が未だ存在する場合には、非検査項目の名称も表示される。

【0096】

（第２の変形例）第１及び第２の演算方式は、上述の様に互いに異なってもよく、共に同じであってもよい。例えば、第１及び第２の演算方式が共に加算の場合、基準となる所定の点数は０点で、検査済の項目の点数が順次加算される。

【0097】

この場合、例えば、各検査項目に対応してプラスの点数（１０点、５点等）が割り当てられる。そして、イラストレーション付き画像５８では、基準となる所定の点数（０点）に、予定日までに検査が完了した検査項目（即ち、非検査項目以外の検査項目）に対応するプラスの点数が加算された点数Ｘ（検査の進捗状況を表す点数）が、モニター４８に表示される。また、非検査項目の名称も表示される。

【0098】

作業者は、１以上の非検査項目について検査を行った後、チェックシート５６が表示されている状態で、その検査を行った年月日（検査項目に関する情報）を、入力装置５２を介して制御部５０に入力する。

【0099】

制御部５０は、点数Ｘから、非検査項目のうち検査が行われた検査項目に対応するプラスの点数Ｙを更に加算することにより、第２の演算方式での演算後の点数Ｚ（Ｚ＝Ｘ＋Ｙ）を算出する。

【0100】

更に、制御部５０は、イラストレーション付き画像５８においては、検査の進捗状況を表す点数Ｚと、点数Ｚに対応する所定のイラストレーションとを、モニター４８に表示させる。なお、非検査項目が未だ存在する場合には、非検査項目の名称も表示される。

【0101】

その他、上記実施形態に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。上述のモニター４８、制御部５０、入力装置５２等は、研削装置２に限定されず、研磨装置、切削装置等の他の加工装置に適用されてもよい。また、第１及び第２の演算方式の各々は、上述の実施形態、第１及び第２の変形例に限定されず、加算、減算、乗算及び除算の中から適宜選択されてもよい。

【符号の説明】

【0102】

２ 研削装置（加工装置）
４ 基台
４ａ 凹部
６ａ，６ｂ カセット載置領域
８ａ，８ｂ カセット
１０ 搬送ロボット
１１ 被加工物
１２ 位置決めテーブル
１２ａ 吸引台
１２ｂ ピン
１４ ローディングアーム部
１６ ターンテーブル
１８ チャックテーブル
１８ａ 保持面
２０ａ，２０ｂ 支持構造
２２ Ｚ軸移動機構
２４ Ｚ軸ガイドレール
２６ Ｚ軸移動プレート
２８ Ｚ軸ボールネジ
３０ Ｚ軸パルスモーター
３２ａ 粗研削ユニット
３２ｂ 仕上げ研削ユニット
３４ スピンドルハウジング
３６ スピンドルモーター
３８ａ 粗研削ホイール
３８ｂ 仕上げ研削ホイール
４０ａ，４０ｂ ホイール基台
４２ａ 粗研削砥石
４２ｂ 仕上げ研削砥石
４４ アンローディングアーム部
４６ スピンナ洗浄ユニット
４８ モニター（表示装置）
５０ 制御部
５２ 入力装置（入力部）
５４ 記憶部
５６ チェックシート
５８ イラストレーション付き画像
Ａ 搬入搬出領域
Ｂ 粗研削領域
Ｃ 仕上げ研削領域
Ｄ ボタン

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】