特許7464794IP Force 特許公報全文掲載

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技術分野

一般に特徴付けシステムに関し、特に、特徴付けシステムのためのサンプル位置決めシステム及び方法

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

したがって、で特定された従来のアプローチの欠点を解消するシステム及び方法を提供することが望ましい。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

サンプル位置決めシステムは、本開示の１つ以上の実施形態により開示される。１つの実施形態では、システムはイメージング検出器を含む。別の実施形態では、システムは、イメージング検出器及びサンプルステージに通信可能に結合されたコントローラを含み、コントローラは、プログラム命令を実行するように構成された１つ以上のプロセッサを含み、プログラム命令は１つ以上のプロセッサに、サンプルステージに取り付けられた・・・　続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

本開示の多くの利点は、添付の図面を参照することにより、当業者によってよりよく理解されるであろう。
【図1A】 本開示の１つ以上の実施形態による、サンプル位置決めシステムの簡略化されたブロック図を示す。
【図1B】 本開示の１つ以上の実施形態による、サンプル位置決めシステムの簡略化されたブロック図を示す。
【図1C】 本開示の１つ以上の実施形態による、サンプル位置決めシステムの簡略化されたブロック図を示す。
【図2】 本開示の１つ以上の実施形態による、サンプル位置決め方法の簡略化された概略流れ図を示す。
【図3】 本開示の１つ以上の実施形態による、スミアリング振幅(smearing amplitude)とステージ移動との間の関係を示す。
【図4】 本開示の１つ以上の実施形態による、サンプル位置決めシステムを含む特徴付けシステムの簡略化された概略図を示す。
【図5】 本開示の１つ以上の実施形態による、サンプル位置決め方法を示すフローチャートを示す。

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