発明の名称 坩堝,蒸発源及び蒸着装置
出願人 キヤノントッキ株式会社 (識別番号 591065413)
特許公開件数ランキング 1059 位(7件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 605 位(12件)(共同出願を含む)
公報番号 特許-7465761
公報発行日 2024年4月11
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7465761
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