技術分野
ウェーハに形成された半導体チップの電気的特性の検査に適用される、温度制御装置、温度制御方法、プログラム、プローバ及び学習モデル生成方法
要約特許出願時に添付された[要約書]
【課題】チャック温度制御パラメータの自動調整を実施し得る、温度制御装置、温度制御方法、プログラム、プローバ及び学習モデル生成方法を提供する。
発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋
しかしながら、特許文献１に記載のウェーハに対して温度センサを具備する態様及び特許文献２に記載のプローブカードに温度センサを具備する態様では、プローバのシステムの外部に具備される温度センサが必要となる。設計上の問題などに起因してウェーハやプローブカードに温度センサを装備できないと、精度良く温度制御をできない場合がある。
課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋
本開示の第１態様に係る温度制御装置は、複数の半導体チップが形成されたウェーハを保持するウェーハチャックの温度を表すチャック温度を取得するチャック温度取得部と、チャック温度の変化の特徴と、チャック温度の変化が分類された規定の数の温度変化パターンと、の対応関係を学習した学習済モデルが適用され、チャック温度が入力された場合に入力されたチャック温度の変化に応じた温度変化パターンを出力する分類部と、分・・・ 続きを
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発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋
本発明によれば、チャック温度の変化の特徴とチャック温度の変化のパターンとの対応関係を学習した学習済モデルが適用される分類部を用いて、取得されたチャック温度が分類部へ入力された際に分類部から出力される温度制御パラメータが、チャック温度を調整する温度調整部へ適用される。これにより、チャック温度に基づくチャック温度を調整するチャック温度調整部へ適用される温度制御パラメータの自動調整を実施し得る。
この特許の権利範囲[特許請求の範囲]
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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
【図1】
図１はプローバの概略構成図である。
【図2】
図２は図１に示すプローバの外観斜視図である。
【図3】
図３はウェーハの上面図である。
【図4】
図４は図１に示すプローバの電気的構成を示す機能ブロック図である。
【図5】
図５は図４に示すチャック温度制御部の構成例を示す機能ブロック図である。
【図6】
図６は図５に示すチャック温度制御部の変形例を示す機能ブロック図である。
【図7】
図７はウェーハ検査中における温度制御パラメータの最適化の模式図である。
【図8】
図８は従来技術に係るチャック温度制御パラメータ調整の模式図である。
【図9】
図９はチャック温度の変化の第１パターンの説明図である。
【図10】
図１０はチャック温度の変化の第２パターンの説明図である。
【図11】
図１１はチャック温度の変化の第３パターンの説明図である。
【図12】
図１２はチャック温度の変化の第４パターンの説明図である。
【図13】
図１３はチャック温度の変化のパターンの分類に適用される学習済モデル生成の模式図である。
【図14】
図１４は図１３に示す学習済モデルが適用されるチャック温度の変化のパターンの分類の模式図である。
【図15】
図１５はチャック温度制御の具体例を示す模式図である。
９ 半導体チップ
９ａ 電極パッド
１０ プローバ
１２ ベース
１３ Ｙステージ
１４ Ｙ移動部
１５ Ｘステージ
１６ Ｘ移動部
１７ Ｚθステージ
１８ Ｚθ移動部
２０ ウェーハチャック
２０ａ チャック温度調整部
２０ｂ チャック温度センサ
２１ チャック温度制御部
２１ａ チャック温度制御部
２３ 支柱
２４ ヘッドステージ
２５ カードホルダ
２５ａ 保持穴
２６ プローブカード
２９ ウェーハ位置合わせカメラ
３０ 上下ステージ
３１ 針位置合わせカメラ
３２ クリーニング板
３４ 温度センサ
３５ プローブ針
４０ 制御装置
４２ カード温度取得部
４４ 針位置取得部
４６ ウェーハ情報取得部
５２ 移動制御部
９１ 半導体チップ
９２ 半導体チップ
９３ 半導体チップ
９４ 半導体チップ
１００ チャック温度取得部
１０２ 分類部
１０２ａ 分類部
１０３ 学習済モデル取得部
１０４ チャック温度制御パラメータ設定部
１０４ａ チャック温度制御パラメータ設定部
１１０ 加熱制御パラメータ導出部
１１０ａ 加熱制御パラメータ導出部
１１２ 冷却制御パラメータ導出部
１１２ａ 冷却制御パラメータ導出部
２００ 学習済モデル
２１０ 出力
Ｇ１ グラフ
Ｇ２ グラフ
Ｇ３ グラフ
Ｇ１０ グラフ
Ｇ１２ グラフ
Ｇ１４ グラフ
Ｇ２０ グラフ
Ｇ２２ グラフ
Ｇ２４ グラフ
Ｇ２６ グラフ
Ｇ３０ グラフ
Ｇ３２ グラフ
Ｇ３４ グラフ
Ｇ４０ グラフ
Ｇ４２ グラフ
Ｇ４４ グラフ
Ｇ４６ グラフ
Ｇ５０ グラフ
ＳＰ１ 温度変化サンプル
ＳＰ２ 温度変化サンプル
ＳＰ３ 温度変化サンプル
ＳＰ４ 温度変化サンプル
ＳＰ５ 温度変化サンプル
ＳＰ６ 温度変化サンプル
Ｗ ウェーハ
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