特許 7472903 測定方法、及び検査装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-04-15

(45)【発行日】2024-04-23

(54)【発明の名称】測定方法、及び検査装置

(51)【国際特許分類】

   G01R 27/02 20060101AFI20240416BHJP

【ＦＩ】

G01R27/02 A

【請求項の数】 12

(21)【出願番号】P 2021511186

(86)(22)【出願日】2020-02-15

(86)【国際出願番号】 JP2020005919

(87)【国際公開番号】W WO2020202832

(87)【国際公開日】2020-10-08

【審査請求日】2023-01-24

(31)【優先権主張番号】P 2019068676

(32)【優先日】2019-03-29

(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP

(73)【特許権者】

【識別番号】392019709

【氏名又は名称】ニデックアドバンステクノロジー株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100138689

【弁理士】

【氏名又は名称】梶原 慶

(72)【発明者】

【氏名】▲ひばり▼野 俊寿

【審査官】島▲崎▼ 純一

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１４－２３８３１８（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２０１６／０６７７０９（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開２００６－２００９４６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００３－２９４７９３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０１－２７７７７８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１５－１５２４１６（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２０１１／１２１８６２（ＷＯ，Ａ１）

【文献】米国特許出願公開第２００４／０１３８８４４（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｇ０１Ｒ ２７／０２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

複数の第１電極と複数の第２電極とが互いに離間して設けられた検査対象物における前記第１電極と前記第２電極との間の電極間インピーダンスを測定する測定方法であって、
（ａ）前記電極間インピーダンスを測定するために用いられる複数の電流検出部のうちの１つの電流検出部を較正する工程と、
（ｂ）複数の前記検査対象物のうちの１つを基準サンプルとして選定する工程と、
（ｃ）前記（ａ）工程で較正された前記電流検出部である第１電流検出部を用いて、前記基準サンプルの前記電極間インピーダンスである基準インピーダンスを第１基準インピーダンスとして測定する工程と、
（ｄ）複数の前記電流検出部を用いて、前記検査対象物の複数箇所の前記電極間インピーダンスである対象物インピーダンスを並行して測定する工程と、
（ｅ）前記（ｄ）工程で測定された前記対象物インピーダンスを、前記（ｃ）工程で測定された前記第１基準インピーダンスに基づいて補正して補正後インピーダンスを算出する工程と、
（ｆ）複数の前記電流検出部を用いて、複数の前記第１電極のそれぞれに対応する第１配線における検査対象物側の端部と、複数の前記第２電極のそれぞれに対応する第２配線における検査対象物側の端部とが開放された状態において、各前記第１配線及び各前記第２配線の間の配線間インピーダンスを第２開放配線間インピーダンスとして測定する工程と、
（ｇ）複数の前記電流検出部を用いて、前記基準インピーダンスを第２基準インピーダンスとして測定する工程と、
を含み、
前記（ｅ）工程では、前記（ｆ）工程で測定された前記第２開放配線間インピーダンス、及び前記（ｇ）工程で測定された前記第２基準インピーダンスにも基づき、前記補正後インピーダンスが算出されることを特徴とする、測定方法。

【請求項2】

請求項１に記載の測定方法において、
前記基準サンプルでは、各前記第１電極と各前記第２電極とが短絡しておらず、且つ各前記第１電極及び各前記第２電極が断線していないことを特徴とする、測定方法。

【請求項3】

請求項１又は２に記載の測定方法において、
（ｈ）複数の前記電流検出部を用いて、複数の前記第１配線における検査対象物側の端部と、複数の前記第２配線における検査対象側の端部とが短絡された状態において、各第１配線及び各第２配線の間の前記配線間インピーダンスを第２短絡配線間インピーダンスとして測定する工程、
を更に含み、
前記（ｅ）工程では、前記（ｈ）工程で測定された前記第２短絡配線間インピーダンスにも基づき、前記補正後インピーダンスが算出されることを特徴とする、測定方法。

【請求項4】

請求項３に記載の測定方法において、
（ｉ）前記第１電流検出部を用いて、複数の前記第１配線における検査対象物側の端部と、複数の前記第２配線における検査対象側の端部とが開放された状態において、各前記第１配線及び各前記第２配線の間の前記配線間インピーダンスを第１開放配線間インピーダンスとして測定する工程と、
（ｊ）前記第１電流検出部を用いて、複数の前記第１配線における検査対象物側の端部と、複数の前記第２配線における検査対象側の端部とが短絡された状態において、各前記第１配線及び各前記第２配線の間の前記配線間インピーダンスを第１短絡配線間インピーダンスとして測定する工程と、
（ｋ）前記（ｃ）工程で算出された前記第１基準インピーダンスを、前記（ｉ）工程で算出された前記第１開放配線間インピーダンスと、前記（ｊ）工程で算出された前記第１短絡配線間インピーダンスに基づいて補正して補正後基準インピーダンスを算出する工程と、
を含み、
前記（ｅ）工程では、前記（ｄ）工程で測定された前記対象物インピーダンスが、前記（ｋ）工程で補正された前記補正後基準インピーダンスに基づいて補正されることを特徴とする、測定方法。

【請求項5】

第１電極と第２電極とが互いに離間して設けられた複数の検査対象物における前記第１電極と前記第２電極との間の電極間インピーダンスを測定する測定方法であって、
（ａ）前記電極間インピーダンスを測定するために用いられる複数の電流検出部のうちの１つを較正する工程と、
（ｂ）複数の前記検査対象物から複数の基準サンプルを選定する工程と、
（ｃ）前記（ａ）工程で較正された前記電流検出部である第１電流検出部を用いて、各前記基準サンプルの前記電極間インピーダンスである基準インピーダンスを第１基準インピーダンスとして測定する工程と、
（ｄ）複数の前記電流検出部を用いて、各前記検査対象物の前記電極間インピーダンスである対象物インピーダンスを並行して測定する工程と、
（ｅ）前記（ｄ）工程で測定された前記対象物インピーダンスを、前記（ｃ）工程で測定された前記第１基準インピーダンスに基づいて補正して補正後インピーダンスを算出する工程と、
（ｆ）複数の前記電流検出部を用いて、前記第１電極に接続される第１配線における検査対象物側の端部と、前記第２電極に接続される第２配線における検査対象側の端部とが
開放された状態において、前記第１配線及び前記第２配線の間の配線間インピーダンスを第２開放配線間インピーダンスとして測定する工程と、
（ｇ）複数の前記電流検出部を用いて、各前記基準インピーダンスを第２基準インピーダンスとして測定する工程と、
を含み、
前記（ｅ）工程では、前記（ｆ）工程で測定された前記第２開放配線間インピーダンス、及び前記（ｇ）工程で測定された前記第２基準インピーダンスにも基づき、前記補正後インピーダンスが算出されることを特徴とする、測定方法。

【請求項6】

請求項５に記載の測定方法において、
各前記基準サンプルでは、前記第１電極及び前記第２電極が短絡しておらず、且つ前記第１電極及び前記第２電極が断線していないことを特徴とする、測定方法。

【請求項7】

請求項５又は６に記載の測定方法において、
（ｈ）複数の前記電流検出部を用いて、前記第１配線における検査対象物側の端部と、前記第２配線における検査対象物側の端部とが短絡された状態において、前記第１配線及び前記第２配線の間の前記配線間インピーダンスを第２短絡配線間インピーダンスとして測定する工程、
を更に含み、
前記（ｅ）工程では、前記（ｈ）工程で測定された前記第２短絡配線間インピーダンスにも基づき、前記補正後インピーダンスが算出されることを特徴とする、測定方法。

【請求項8】

請求項７に記載の測定方法において、
（ｉ）前記第１電流検出部を用いて、前記第１配線における検査対象物側の端部と、前記第２配線における検査対象物側の端部とが開放された状態において、前記第１配線及び前記第２配線の間の前記配線間インピーダンスを第１開放配線間インピーダンスとして測定する工程と、
（ｊ）前記第１電流検出部を用いて、前記第１配線における検査対象物側の端部と、前記第２配線における検査対象物側の端部とが短絡された状態において、前記第１配線及び前記第２配線の間の配線間インピーダンスである第１短絡配線間インピーダンスを測定する工程と、
（ｋ）前記（ｃ）工程で算出された前記第１基準インピーダンスを、前記（ｉ）工程で算出された前記第１開放配線間インピーダンスと、前記（ｊ）工程で算出された第１短絡配線間インピーダンスに基づいて補正して補正後基準インピーダンスを算出する工程と、
を含み、
前記（ｅ）工程では、前記（ｄ）工程で測定された前記対象物インピーダンスが、前記（ｋ）工程で補正された前記補正後基準インピーダンスに基づいて補正されることを特徴とする、測定方法。

【請求項9】

請求項４又は８に記載の測定方法において、
前記（ｋ）工程では、以下の式（Ａ）に基づいて前記補正後基準インピーダンスが算出されることを特徴とする、測定方法。
Ｚ_ＳＴＤ＝Ｚ_Ｏ１×（Ｚ_Ｓ１－Ｚ_Ｘ１）／（Ｚ_Ｘ１－Ｚ_Ｏ１） …（Ａ）
但し、Ｚ_ＳＴＤは補正後基準インピーダンス、Ｚ_Ｏ１は第１開放配線間インピーダンス、Ｚ_Ｓ１は第１短絡配線間インピーダンス、Ｚ_Ｘ１は第１基準インピーダンス、である。

【請求項10】

請求項９に記載の測定方法において、
前記（ｅ）工程では、以下の式（Ｂ）に基づき、前記補正後インピーダンスが算出されることを特徴とする、測定方法。
Ｚ_ＤＵＴ＝Ｚ_ＳＴＤ×［｛（Ｚ_Ｏ２－Ｚ_Ｘ２）×（Ｚ_ＸＭ－Ｚ_Ｓ２）｝／｛（Ｚ_Ｘ２－Ｚ_Ｓ２）×（Ｚ_Ｏ２－Ｚ_ＸＭ）｝］ …（Ｂ）
但し、Ｚ_ＤＵＴは補正後インピーダンス、Ｚ_Ｏ２は第２開放配線間インピーダンス、Ｚ_Ｘ２は第２基準インピーダンス、Ｚ_ＸＭは対象物インピーダンス、Ｚ_Ｓ２は第２短絡配線間インピーダンス、である。

【請求項11】

請求項１～１０のいずれか１項に記載の測定方法において、
前記検査対象物は、タッチパネルであることを特徴とする、測定方法。

【請求項12】

請求項１～１１のいずれか１項に記載の測定方法によって検査対象物の補正後インピーダンスを算出することを特徴とする、検査装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、測定方法及び検査装置に関する。

【背景技術】

【0002】

例えば特許文献１に開示される検査装置は、センサパネルが取り外された状態において、センサパネル検査装置のキャリブレーション部は、複数ある第２ケーブルの少なくとも何れかにシグナル部の交流信号を供給させながら、第１ケーブルに電気的に接続される電流検出部の電流計の出力がゼロになるように、キャリブレーションシグナル部において前記電流計に対応する交流電源の電圧及び位相を調整する。電流計の出力がゼロになると、そのときの前記交流電源の電圧及び位相が記憶される。センサパネルの検査時においては、記憶された電圧及び位相に基づいて、キャリブレーションシグナル部の交流電源に交流信号を発生させる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２０１４－２３８３１８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

ところで、特許文献１に開示される検査装置には、複数の電流検出部が設けられている（例えば特許文献１の図１参照）。電流検出部によって検出される電流値を正確な値とするためには、全ての電流検出部を較正することが考えられる。しかしながら、複数の電流検出部の全ての較正を行うのは時間がかかる。

【0005】

本発明は、上記課題を解決するためのものであり、その目的は、検査装置に含まれる複数の電流検出部の較正の手間を簡略化することである。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明の一実施形態に係る測定方法は、複数の第１電極と複数の第２電極とが互いに離間して設けられた検査対象物における前記第１電極と前記第２電極との間の電極間インピーダンスを測定する測定方法であって、（ａ）前記電極間インピーダンスを測定するために用いられる複数の電流検出部のうちの１つの電流検出部を較正する工程と、（ｂ）複数の前記検査対象物のうちの１つを基準サンプルとして選定する工程と、（ｃ）前記（ａ）工程で較正された前記電流検出部である第１電流検出部を用いて、前記基準サンプルの前記電極間インピーダンスである基準インピーダンスを第１基準インピーダンスとして測定する工程と、（ｄ）複数の前記電流検出部を用いて、前記検査対象物の複数箇所の前記電極間インピーダンスである対象物インピーダンスを並行して測定する工程と、（ｅ）前記（ｄ）工程で測定された前記対象物インピーダンスを、前記（ｃ）工程で測定された前記第１基準インピーダンスに基づいて補正して補正後インピーダンスを算出する工程と、を含む。

【0007】

この方法によれば、検査装置に含まれる複数の電流検出部を用いて、検査対象物の複数箇所のインピーダンス（対象物インピーダンス）を並行して測定することができる。これにより、検査対象物においてインピーダンス測定が必要な多数箇所のうちの複数箇所のインピーダンスをまとめて測定できるため、測定時間を短縮化できる。

【0008】

また、この方法によれば、上述のように測定された複数箇所の対象物インピーダンスが、較正された電流検出部（第１電流検出部）を用いて測定された基準サンプルのインピーダンス（第１基準インピーダンス）を用いて補正される。よって、この方法によれば、正確な電流値を検出可能な電流検出部を用いて第１基準インピーダンスが測定されるため、対象物インピーダンスを補正するための第１基準インピーダンスを精度よく測定できる。

【0009】

また、この方法によれば、多数の検査対象物の中から選定したものを基準サンプルとして使用できる。すなわち、この方法によれば、全ての測定箇所のインピーダンスが既知となっているサンプルをわざわざ準備する必要がないため、利便性に優れた測定方法を提供できる。

【0010】

従って、この方法によれば、検査装置に含まれる複数の電流検出部の較正の手間を簡略化できる。

【0011】

好ましくは、前記基準サンプルでは、各前記第１電極と各前記第２電極とが短絡しておらず、且つ各前記第１電極及び各前記第２電極が断線していない。

【0012】

この方法によれば、極端なインピーダンス値を有する検査対象物が基準サンプルの対象から外される。これにより、適切なインピーダンス値を有する検査対象物を基準サンプルとして選定でき、対象物インピーダンスを適切な第１基準インピーダンスで補正することができるため、より正確な補正後インピーダンスを得ることができる。

【0013】

好ましくは、上述したいずれかの測定方法は、（ｆ）複数の前記電流検出部を用いて、複数の前記第１電極のそれぞれに対応する第１配線における検査対象物側の端部と、複数の前記第２電極のそれぞれに対応する第２配線における検査対象側の端部とが開放された状態において、各前記第１配線及び各前記第２配線の間の配線間インピーダンスを第２開放配線間インピーダンスとして測定する工程と、（ｇ）複数の前記電流検出部を用いて、前記基準インピーダンスを第２基準インピーダンスとして測定する工程と、を更に含み、前記（ｅ）工程では、前記（ｆ）工程で測定された前記第２開放配線間インピーダンス、及び前記（ｇ）工程で測定された前記第２基準インピーダンスにも基づき、前記補正後インピーダンスが算出される。

【0014】

この方法によれば、複数の電流検出部を用いて測定された対象物インピーダンスに対して、いわゆるオープン補正及びロード補正が行われる。これにより、より正確な補正後インピーダンスを得ることができる。

【0015】

更に好ましくは、上述した測定方法は、（ｈ）複数の前記電流検出部を用いて、複数の前記第１配線における検査対象物側の端部と、複数の前記第２配線における検査対象側の端部とが短絡された状態において、各第１配線及び各第２配線の間の前記配線間インピーダンスを第２短絡配線間インピーダンスとして測定する工程、を更に含み、前記（ｅ）工程では、前記（ｈ）工程で測定された前記第２短絡配線間インピーダンスにも基づき、前記補正後インピーダンスが算出される。

【0016】

この方法によれば、複数の電流検出部を用いて測定された対象物インピーダンスに対して、上述したオープン補正及びロード補正だけでなく、いわゆるショート補正も行われる。これにより、より一層正確な補正後インピーダンスを得ることができる。

【0017】

更に好ましくは、上述した測定方法は、（ｉ）前記第１電流検出部を用いて、複数の前記第１配線における検査対象物側の端部と、複数の前記第２配線における検査対象側の端部とが開放された状態において、各前記第１配線及び各前記第２配線の間の前記配線間インピーダンスを第１開放配線間インピーダンスとして測定する工程と、（ｊ）前記第１電流検出部を用いて、複数の前記第１配線における検査対象物側の端部と、複数の前記第２配線における検査対象側の端部とが短絡された状態において、各前記第１配線及び各前記第２配線の間の前記配線間インピーダンスを第１短絡配線間インピーダンスとして測定する工程と、（ｋ）前記（ｃ）工程で算出された前記第１基準インピーダンスを、前記（ｉ）工程で算出された前記第１開放配線間インピーダンスと、前記（ｊ）工程で算出された前記第１短絡配線間インピーダンスに基づいて補正して補正後基準インピーダンスを算出する工程と、を含み、前記（ｅ）工程では、前記（ｄ）工程で測定された前記対象物インピーダンスが、前記（ｋ）工程で補正された前記補正後基準インピーダンスに基づいて補正される。

【0018】

この方法によれば、第１電流検出部を用いて測定された第１基準インピーダンスに対して、いわゆるオープン補正及びショート補正が行われる。これにより、基準サンプルのより正確な補正後基準インピーダンスを得ることができるため、より一層正確な補正後インピーダンスを得ることができる。

【0019】

また、本発明の一実施形態に係る測定方法は、第１電極と第２電極とが互いに離間して設けられた複数の検査対象物における前記第１電極と前記第２電極との間の電極間インピーダンスを測定する測定方法であって、（ａ）前記電極間インピーダンスを測定するために用いられる複数の電流検出部のうちの１つを較正する工程と、（ｂ）複数の前記検査対象物から複数の基準サンプルを選定する工程と、（ｃ）前記（ａ）工程で較正された前記電流検出部である第１電流検出部を用いて、各前記基準サンプルの前記電極間インピーダンスである基準インピーダンスを第１基準インピーダンスとして測定する工程と、（ｄ）複数の前記電流検出部を用いて、各前記検査対象物の前記電極間インピーダンスである対象物インピーダンスを並行して測定する工程と、（ｅ）前記（ｄ）工程で測定された前記対象物インピーダンスを、前記（ｃ）工程で測定された前記第１基準インピーダンスに基づいて補正して補正後インピーダンスを算出する工程と、を含む。

【0020】

この方法によれば、検査装置に含まれる複数の電流検出部を用いて、各検査対象物の対象物インピーダンスを並行して測定することができる。これにより、各検査対象物における所望箇所のインピーダンスをまとめて測定できるため、測定時間を短縮化できる。

【0021】

また、この方法によれば、上述のように測定された各対象物インピーダンスが、較正された電流検出部（第１電流検出部）を用いて測定された基準サンプルの第１基準インピーダンスを用いて補正される。よって、この方法によれば、正確な電流値を検出可能な電流検出部を用いて第１基準インピーダンスが測定されるため、検査対象物のインピーダンス（対象物インピーダンス）を補正するための第１基準インピーダンスを精度よく測定できる。

【0022】

また、この方法によれば、多数の検査対象物の中から選定したものを基準サンプルとして使用できる。すなわち、この方法によれば、インピーダンスが既知となっているサンプルをわざわざ準備する必要がないため、利便性に優れた測定方法を提供できる。

【0023】

従って、この方法によれば、検査装置に含まれる複数の電流検出部の較正の手間を簡略化できる。

【0024】

好ましくは、各前記基準サンプルでは、前記第１電極及び前記第２電極が短絡しておらず、且つ前記第１電極及び前記第２電極が断線していない。

【0025】

この方法によれば、極端なインピーダンス値を有する検査対象物が基準サンプルの対象から外される。これにより、適切なインピーダンス値を有する検査対象物を基準サンプルとして選定でき、対象物インピーダンスを適切な第１基準インピーダンスで補正することができるため、より正確な補正後インピーダンスを得ることができる。

【0026】

好ましくは、上述したいずれかの測定方法は、（ｆ）複数の前記電流検出部を用いて、前記第１電極に接続される第１配線における検査対象物側の端部と、前記第２電極に接続される第２配線における検査対象側の端部とが開放された状態において、前記第１配線及び前記第２配線の間の配線間インピーダンスを第２開放配線間インピーダンスとして測定する工程と、（ｇ）複数の前記電流検出部を用いて、各前記基準インピーダンスを第２基準インピーダンスとして測定する工程と、を更に含み、前記（ｅ）工程では、前記（ｆ）工程で測定された前記第２開放配線間インピーダンス、及び前記（ｇ）工程で測定された前記第２基準インピーダンスにも基づき、前記補正後インピーダンスが算出される。

【0027】

この方法によれば、複数の電流検出部を用いて測定された対象物インピーダンスに対して、いわゆるオープン補正及びロード補正が行われる。これにより、より正確な補正後インピーダンスを得ることができる。

【0028】

更に好ましくは、上述した測定方法は、（ｈ）複数の前記電流検出部を用いて、前記第１配線における検査対象物側の端部と、前第２配線における検査対象側の端部とが短絡された状態において、前記第１配線及び前記第２配線の間の前記配線間インピーダンスを第２短絡配線間インピーダンスとして測定する工程、を更に含み、前記（ｅ）工程では、前記（ｈ）工程で測定された前記第２短絡配線間インピーダンスにも基づき、前記補正後インピーダンスが算出される。

【0029】

この方法によれば、複数の電流検出部を用いて測定された対象物インピーダンスに対して、上述したオープン補正及びロード補正だけでなく、いわゆるショート補正も行われる。これにより、より一層正確な補正後インピーダンスを得ることができる。

【0030】

更に好ましくは、上述した測定方法は、（ｉ）前記第１電流検出部を用いて、前記第１配線における検査対象物側の端部と、前記第２配線における検査対象側の端部とが開放された状態において、前記第１配線及び前記第２配線の間の前記配線間インピーダンスを第１開放配線間インピーダンスとして測定する工程と、（ｊ）前記第１電流検出部を用いて、前記第１配線における検査対象物側の端部と、前記第２配線における検査対象側の端部とが短絡された状態において、前記第１配線及び前記第２配線の間の配線間インピーダンスである第１短絡配線間インピーダンスを測定する工程と、（ｋ）前記（ｃ）工程で算出された前記第１基準インピーダンスを、前記（ｉ）工程で算出された前記第１開放配線間インピーダンスと、前記（ｊ）工程で算出された第１短絡配線間インピーダンスに基づいて補正して補正後基準インピーダンスを算出する工程と、を含み、前記（ｅ）工程では、前記（ｄ）工程で測定された前記対象物インピーダンスが、前記（ｋ）工程で補正された前記補正後基準インピーダンスに基づいて補正される。

【0031】

この方法によれば、第１電流検出部を用いて測定された基準サンプルの第１基準インピーダンスに対して、いわゆるオープン補正及びショート補正が行われる。これにより、基準サンプルのより正確な補正後基準インピーダンスを得ることができるため、より一層正確な補正後インピーダンスを得ることができる。

【0032】

好ましくは、前記（ｋ）工程では、Ｚ_ＳＴＤ＝Ｚ_Ｏ１×（Ｚ_Ｓ１－Ｚ_Ｘ１）／（Ｚ_Ｘ１－Ｚ_Ｏ１）、で表される数式に基づいて前記補正後基準インピーダンスＺ_ＳＴＤが算出される。但し、Ｚ_ＳＴＤは補正後基準インピーダンス、Ｚ_Ｏ１は第１開放配線間インピーダンス、Ｚ_Ｓ１は第１短絡配線間インピーダンス、Ｚ_Ｘ１は第１基準インピーダンス、である。

【0033】

この方法によれば、適切な数式を用いて補正後基準インピーダンスを得ることができる。

【0034】

更に好ましくは、前記（ｅ）工程では、Ｚ_ＤＵＴ＝Ｚ_ＳＴＤ×［｛（Ｚ_Ｏ２－Ｚ_Ｘ２）×（Ｚ_ＸＭ－Ｚ_Ｓ２）｝／｛（Ｚ_Ｘ２－Ｚ_Ｓ２）×（Ｚ_Ｏ２－Ｚ_ＸＭ）｝］、で表される数式に基づいて前記補正後インピーダンスＺ_ＤＵＴが算出される。但し、Ｚ_ＤＵＴは補正後インピーダンス、Ｚ_Ｏ２は第２開放配線間インピーダンス、Ｚ_Ｘ２は第２基準インピーダンス、Ｚ_ＸＭは対象物インピーダンス、Ｚ_Ｓ２は第２短絡配線間インピーダンス、である。

【0035】

この方法によれば、適切な数式を用いて検査対象物の補正後インピーダンスを得ることができる。

【0036】

好ましくは、前記検査対象物は、タッチパネルである。

【0037】

この方法によれば、タッチパネルが有する各電極間のインピーダンスを正確に測定することができる。

【0038】

また、本発明の一実施形態に係る検査装置は、上述したいずれかの測定方法によって検査対象物の補正後インピーダンスを算出する。

【0039】

この構成によれば、複数の電流検出部の較正の手間を簡略化しつつ、正確なインピーダンスを得ることができる。

【発明の効果】

【0040】

本発明の一つの態様によれば、検査装置に含まれる複数の電流検出部の較正の手間を簡略化しつつ、正確なインピーダンス値を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【0041】

【図1】図１は、本発明の実施形態に係る検査装置の模式図を、検査対象物であるタッチパネルの模式図とともに示す図である。

【図2】図２は、本実施形態に係る検査装置を用いて行われる第１実施形態に係るインピーダンス測定方法を説明するためのフローチャートである。

【図3】図３は、図２のフローチャートのステップＳ３を説明するための図である。

【図4】図４は、図２のフローチャートのステップＳ４を説明するための図である。

【図5】図５は、図２のフローチャートのステップＳ５を説明するための図である。

【図6】図６は、図２のフローチャートのステップＳ６を説明するための図である。

【図7】図７は、図２のフローチャートのステップＳ７を説明するための図である。

【図8】図８は、図２のフローチャートのステップＳ８を説明するための図である。

【図9】図９は、図２のフローチャートのステップＳ１０を説明するための図である。

【図10】図１０は、式（１）を説明するための図であって、検査装置ユニットに基準パネルを接続した状態を示す模式図である。

【図11A】図１１Ａは、式（２）を説明するための図であって、検査装置ユニットに補正後基準インピーダンスの値がＺ_ＳＴＤとなる負荷を仮に接続した場合の模式図である。

【図11B】図１１Ｂは、検査装置ユニットにタッチパネルを接続した状態を示す模式図である。

【図12】図１２は、第２実施形態に係るインピーダンス測定方法を説明するためのフローチャートである。

【図13】図１３は、図１２のフローチャートのステップＳ２７を説明するための図である。

【図14】図１４は、図１２のフローチャートのステップＳ２８を説明するための図である。

【図15】図１５は、図１２のフローチャートのステップＳ３０を説明するための図である。

【発明を実施するための形態】

【0042】

以下、本発明に係る一実施形態を図面に基づいて説明する。なお、各図において同一の符号を付した構成は、同一の構成であることを示し、その説明を省略する。

【0043】

〔第１実施形態〕
図１は、本発明の実施形態に係る検査装置１の模式図を、検査対象物であるタッチパネル５０の模式図とともに示す図である。なお、以下で説明する各図において、Ｘと付されている矢印が示す方向をタッチパネル５０のＸ方向、Ｙと付されている矢印が示す方向をタッチパネルのＹ方向とする。以下では、まず、検査装置１の測定対象となるタッチパネル５０の構成を説明し、次に検査装置１の構成について説明する。

【0044】

［タッチパネルの概略構成］
図１には、タッチパネル５０の一部分のみが模式的に図示されている。実施形態に係るタッチパネル５０は、いわゆる静電容量方式のタッチパネルである。タッチパネル５０は、平面視において（タッチパネルの厚み方向から視て）、それぞれがＸ方向に沿って延びる複数の第１透明電極５１（５１ａ，５１ｂ，５１ｃ，５１ｄ，…）と、それぞれがＹ方向に沿って延びる複数の第２透明電極５２（５２ａ，５２ｂ，５２ｃ，５２ｄ,…）とを備えている。なお、タッチパネル５０は、例えばタブレットデバイスのタッチパネルであり、２４本の第１透明電極５１、及び３２本の第２透明電極５２を備えている。図１及び以下で説明する各図では、４本の第１透明電極５１及び４本の第２透明電極５２のみを図示している。

【0045】

第１透明電極５１及び第２透明電極５２は、タッチパネル５０の厚み方向に間隔をあけて、平面視で互いに直交するように設けられている。各透明電極５１，５２は、例えば酸化インジウムスズ（Ｉｎｄｉｕｍ Ｔｉｎ Ｏｘｉｄｅ、ＩＴＯ）で構成されている。第１透明電極５１及び第２透明電極５２の端部には、配線部５３が接続されている。各配線部５３の一端は、対応する透明電極５１，５２に接続される一方、各配線部５３の他端は、タッチパネル５０の外縁部まで延びている。各配線部５３の他端は、配線部５３を外部機器に接続するためのタッチパネル端子部５４として機能する。

【0046】

静電容量方式のタッチパネル５０では、複数の第１透明電極５１のそれぞれと、複数の第２透明電極５２のそれぞれとの間の各ポイントＰ（Ｐ_１１～Ｐ_４４）において、タッチパネル５０の厚み方向に一種のコンデンサが形成される。ユーザがタッチパネルにおける所望位置を指などでタッチすると、その位置の静電容量が変化する。タッチパネル５０は、その静電容量の変化を検出することにより、ユーザにタッチされた位置を検出することができる。

【0047】

［検査装置の構成］
検査装置１は、複数の第１透明電極５１のそれぞれと、複数の第２透明電極５２のそれぞれとの間（言い換えれば、図１における各ポイントＰ_１１～Ｐ_４４）のインピーダンスを測定するためのものである。例えば、２４本の第１透明電極５１、及び３２本の第２透明電極５２を備えたタッチパネルの場合、７６８ポイントのインピーダンスが測定される。検査装置１は、複数の検査装置側端子部６ａを有し、これらの端子部６ａを介して、タッチパネル５０の各電極５１，５２に交流信号を出力したり、各透明電極５１，５２間の（すなわち、各ポイントＰ_１１～Ｐ_４４の）インピーダンスを測定したりする。本実施形態では、検査装置側端子部６ａは、フラットケーブル６０及び接続基板７０を介してタッチパネル端子部５４と電気的に接続される。

【0048】

フラットケーブル６０は、互いに僅かな間隔をあけて平行に配置された複数の配線６１と、それらの両端に設けられたコネクタ６２，６３とを備えている。コネクタ６２，６３は、装置側コネクタ６２及び基板側コネクタ６３を有している。フラットケーブル６０では、複数の配線６１が、可撓性の樹脂部材によって覆われている。

【0049】

フラットケーブル６０では、装置側コネクタ６２が検査装置１のコネクタ６と接続される一方、基板側コネクタ６３が接続基板コネクタ７２と接続される。これにより、フラットケーブル６０の各配線６１の一端側が検査装置１の各端子部６ａに接続される一方、フラットケーブル６０の各配線６１の他端側が接続基板７０の各端子部に接続される。

【0050】

接続基板７０は、例えばガラスエポキシ基板を用いて構成されている。接続基板７０は、複数の配線７１と、フラットケーブル６０側に設けられた接続基板コネクタ７２と、タッチパネル端子部５４の各端子に対応する間隔となるように形成された接続基板端子部７３とを備えている。

【0051】

接続基板７０では、接続基板コネクタ７２が、フラットケーブル６０の基板側コネクタ
６３と接続される一方、接続基板端子部７３が、異方導電部材７５を介してタッチパネル端子部５４に接続される。異方導電部材７５は、例えば一例として異方導電ゴムシートで構成されており、その厚み方向に押圧すると押圧した方向の抵抗値が低くなるように構成されている。タッチパネル端子部５４の露出部を異方導電部材７５で覆い、その上に接続基板端子部７３をセットしてタッチパネル５０側へ押圧すると、接続基板端子部７３が異方導電部材７５を介してタッチパネル端子部５４に接続される。これにより、フラットケーブル６０とタッチパネル５０とが、接続基板７０及び異方導電部材７５を介して電気的に接続される。

【0052】

［検査装置の構成］
図１を参照して、検査装置１は、シグナルジェネレータ２と、電圧検出部３と、複数の電流検出部４（４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ）と、複数の切替スイッチ５（５ａ～５ｋ）と、検査装置コネクタ６と、制御部７と、演算部８とを備えている。複数の電流検出部４は、１つの第１電流検出部４ａと、複数の第２電流検出部４ｂ，４ｃ，４ｄとを有している。なお、例えば一例として、検査装置１は、第２透明電極５２と同じ数量の電流検出部４を有している。図１では、図示されている第２透明電極５２と同じ数の電流検出部４のみが図示されている。

【0053】

シグナルジェネレータ２は、フラットケーブル６０及び接続基板７０を介して、第１透明電極５１及び第２透明電極５２へ交流信号を出力する。シグナルジェネレータ２は、一方側の端子が切替スイッチ５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄと接続され、他方側の端子が接地されている。

【0054】

電圧検出部３は、フラットケーブル６０及び接続基板７０を介して、第１透明電極５１及び第２透明電極５２の間の交流電圧を検出する。電圧検出部３は、一方側の端子が切替スイッチ５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄと接続され、他方側の端子が接地されている。

【0055】

各電流検出部４は、フラットケーブル６０及び接続基板７０を介して、第１透明電極５１及び第２透明電極５２の間を流れる交流電流を検出する。第１電流検出部４ａは、一方
側の端子が切替スイッチ５ｅ，５ｇ，５ｉ，５ｋと接続され、他方側の端子が接地されている。第２電流検出部４ｂは、一方側の端子が切替スイッチ５ｆと接続され、他方側の端子が接地されている。第２電流検出部４ｃは、一方側の端子が切替スイッチ５ｈと接続され、他方側の端子が接地されている。第２電流検出部４ｄは、一方側の端子が切替スイッチ５ｊと接続され、他方側の端子が接地されている。

【0056】

第１電流検出部４ａは、検査装置１が出荷される前に較正される。検査装置１の較正は、フラットケーブル６０及び接続基板７０が外された状態の検査装置１に対して行われる。第１電流検出部４ａの較正では、例えば一例として、切替スイッチ５ａ，５ｅがオンとなった状態で各切替スイッチ５ａ，５ｅに繋がる配線間に標準キャパシタが接続された状態において、当該標準キャパシタのインピーダンスが計測される。そして、計測された容量値と標準キャパシタの値とのずれが所定値以上の場合には、そのずれが所定値未満となるように第１電流検出部４ａの調整が行われることにより較正が完了する。一方、計測された容量値と標準キャパシタの値とのずれが所定値未満の場合には、計測された容量値と標準キャパシタの値とのずれが所定値未満であることが確認されたことになり、これにより較正が完了する。なお、第２電流検出部４ｂ，４ｃ，４ｄは、較正されていない。

【0057】

切替スイッチ５は、上述したシグナルジェネレータ２、電圧検出部３、及び電流検出部４と、第１透明電極５１及び第２透明電極５２との接続状態を切り替えるためのものである。切替スイッチ５は、制御部７からの指令信号に応じて、オン状態又はオフ状態に切り替わる。
具体的には、切替スイッチ５ａは、シグナルジェネレータ２及び電圧検出部３と第１透明電極５１ｄとの接続状態を、オン又はオフに切り替える。切替スイッチ５ｂは、シグナルジェネレータ２及び電圧検出部３と第１透明電極５１ｃとの接続状態を、オン又はオフに切り替える。切替スイッチ５ｃは、シグナルジェネレータ２及び電圧検出部３と第１透明電極５１ｂとの接続状態を、オン又はオフに切り替える。切替スイッチ５ｄは、シグナルジェネレータ２及び電圧検出部３と第１透明電極５１ａとの接続状態を、オン又はオフに切り替える。

【0058】

また、切替スイッチ５ｅは、第１電流検出部４ａと第２透明電極５２ａとの接続状態を、オン又はオフに切り替える。切替スイッチ５ｆは、第２電流検出部４ｂと第２透明電極５２ｂとの接続状態を、オン又はオフに切り替える。切替スイッチ５ｇは、第１電流検出部４ａと第２透明電極５２ｂとの接続状態を、オン又はオフに切り替える。切替スイッチ５ｈは、第２電流検出部４ｃと第２透明電極５２ｃとの接続状態を、オン又はオフに切り替える。切替スイッチ５ｉは、第１電流検出部４ａと第２透明電極５２ｃとの接続状態を、オン又はオフに切り替える。切替スイッチ５ｊは、第２電流検出部４ｄと第２透明電極５２ｄとの接続状態を、オン又はオフに切り替える。切替スイッチ５ｋは、第１電流検出部４ａと第２透明電極５２ｄとの接続状態を、オン又はオフに切り替える。

【0059】

制御部７及び演算部８は、ハードウェア・プロセッサ（例えば、ＣＰＵ、ＦＰＧＡ等）及び不揮発性メモリ等のデバイスで構成される。例えば、ＣＰＵが不揮発性メモリからプログラムを読み出して実行することにより、制御部７及び演算部８は、下記で説明するように動作する。

【0060】

制御部７は、各切替スイッチ５の接続状態を切り替えるために、対象となる切替スイッチ５を制御して、切替スイッチ５をオン又はオフに切り替える。

【0061】

演算部８は、電圧検出部３で検出された電圧値、及び電流検出部４で検出された電流値に基づき、各ポイントＰ_１１～Ｐ_４４における正確なインピーダンス値を測定する。この演算部８によるインピーダンス値の測定方法については、詳しくは後述する。

【0062】

なお、以下では、互いに電気的に接続された状態における検査装置１、フラットケーブル６０、及び接続基板７０を、検査装置ユニット１０と称する。検査装置ユニット１０とは、検査装置１と、該検査装置１をタッチパネル５０に接続するための接続部（本実施形態の場合、フラットケーブル６０及び接続基板７０）とを備えている。

【0063】

［検査装置によるインピーダンスの測定方法］
図２は、実施形態に係る検査装置１を用いて行われる第１実施形態に係るインピーダンスの測定方法を説明するためのフローチャートである。また、図３から図９は、それぞれ、図２におけるステップＳ３～Ｓ８，Ｓ１０のそれぞれを説明するための図である。

【0064】

なお、図２に示すフローチャートにおいて、ステップＳ１は、検査装置１が出荷される前に行われる工程であり、ステップＳ２以降は、検査装置１でタッチパネル５０の検査を行う段階、言い換えれば検査装置１が出荷された後に行われる工程である。ステップＳ１は、例えば一例として検査装置１の製造者側で行われる作業であり、ステップＳ２以降は、検査装置１のユーザ側で行われる作業である。しかしながら、ステップＳ１で行われる工程が、ユーザ側で行われてもよい。

【0065】

まず、ステップＳ１（（ａ）工程）では、第１電流検出部４ａの較正が行われる。較正には、例えば一例として、１ｐＦ、１０ｐＦ、１００ｐＦ、１０００ｐＦの標準キャパシタが用いられる。第１電流検出部４ａの較正では、例えば一例として、切替スイッチ５ａ，５ｅがオンとなった状態で各切替スイッチ５ａ，５ｅに繋がる配線間に標準キャパシタが接続された状態において、当該標準キャパシタのインピーダンスが計測される。そして、計測された容量値と標準キャパシタの値とのずれが所定値以上の場合には、そのずれが所定値未満となるように第１電流検出部４ａの調整が行われることにより較正が完了する。一方、計測された容量値と標準キャパシタの値とのずれが所定値未満の場合には、計測された容量値と標準キャパシタの値とのずれが所定値未満であることが確認されたことになり、これにより較正が完了する。

【0066】

次に、ステップＳ２（（ｂ）工程）では、検査対象となるタッチパネル５０の中から、基準パネルＳが選定される。この基準パネルＳとしては、各ポイントＰ_１１～Ｐ_４４のインピーダンスが、標準的なタッチパネル５０における各ポイントＰ_１１～Ｐ_４４のインピーダンスと大きくかけ離れていないものが選定される。基準パネルＳの各ポイントＰ_１１～Ｐ_４４における正確なインピーダンス値は算出されている必要がなく、他のタッチパネル５０における各ポイントＰ_１１～Ｐ_４４のインピーダンス値と相対的に大きく異なっていないことが確認されていればよい。基準パネルＳとして、透明電極５１，５２が断線していないもの、第１透明電極５１と第２透明電極５２とが短絡していないものが好ましい。なお、ステップＳ１とステップＳ２とが行われる手順は、逆であってもよい。

【0067】

引き続き、ステップＳ３からステップＳ９が行われる。これらステップＳ３からステップＳ９は、検査対象物であるタッチパネル５０の各ポイントＰ_１１～Ｐ_４４の正確なインピーダンスを測定するために、後述するステップＳ１０で測定されるタッチパネル５０の各ポイントＰ_１１～Ｐ_４４のインピーダンスを補正するための補正パラメータを導出するための工程である。

【0068】

ステップＳ３（（ｉ）工程）では、図３を参照して、第１電流検出部４ａを用いて、検査装置ユニット１０が開放状態にある場合のインピーダンス測定（以降、単にＺ測定と称する場合もある）が行われる。開放状態にある検査装置ユニット１０とは、全ての接続基板端子部７３が開放された状態の検査装置ユニット１０である。具体的には、ステップＳ３でのＺ測定では、第１透明電極５１と接続されうる第１配線１１，１２，１３，１４のいずれかと、第２透明電極５２と接続されうる第２配線１５，１６，１７，１８のいずれかとの間のインピーダンスが、較正済みの電流検出部である第１電流検出部４ａのみを用いて測定される。例えば一例として、ステップＳ３では、切替スイッチ５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄのそれぞれがオンされた状態で、スイッチ５ｅ，５ｇ，５ｉ，５ｋが順次切り替えられ、全ての組み合わせのそれぞれでインピーダンスが測定される。このステップＳ３での測定値は、補正パラメータとしての第１開放配線間インピーダンスＺ_Ｏ１である。

【0069】

なお、第１配線１１～１４及び第２配線１５～１８は、フラットケーブル６０における検査装置１側の端部から、接続基板７０における接続基板端子部７３に亘る範囲の配線である。言い換えれば、第１配線１１～１４及び第２配線１５～１８は、検査装置１とタッチパネル５０とを繋ぐ配線である。

【0070】

次に、ステップＳ４（（ｆ）工程）では、図４を参照して、全ての電流検出部４ａ～４ｄを用いて、検査装置ユニット１０が開放状態にある場合のＺ測定が行われる。具体的には、ステップＳ４でのＺ測定では、第１配線１１～１４のいずれかと、第２配線１５～１８のいずれかとの間のインピーダンスが、全ての電流検出部４ａ～４ｄを用いて測定される。例えば一例として、ステップＳ４では、切替スイッチ５ｅ，５ｆ，５ｈ，５ｊの全てがオンされた状態で、切替スイッチ５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄのいずれか１つがオンされる。これにより、電圧検出部３で検出された電圧値と第１電流検出部４ａで検出された電流値とに基づくインピーダンスと、電圧検出部３で検出された電圧値と第２電流検出部４ｂで検出された電流値とに基づくインピーダンスと、電圧検出部３で検出された電圧値と第２電流検出部４ｃで検出された電流値とに基づくインピーダンスと、電圧検出部３で検出された電圧値と第２電流検出部４ｄで検出された電流値とに基づくインピーダンスとが、並行して一度に測定される。このステップＳ４での測定値は、補正パラメータとしての第２開放配線間インピーダンスＺ_Ｏ２である。

【0071】

次に、ステップＳ５（（ｊ）工程）では、図５を参照して、第１電流検出部４ａを用いて、検査装置ユニット１０が短絡状態にある場合のＺ測定が行われる。短絡状態にある検査装置ユニット１０とは、全ての接続基板端子部７３が短絡された状態の検査装置ユニット１０である。具体的には、ステップＳ５でのＺ測定では、第１配線１１～１４のいずれかと、第２配線１５～１８のいずれかとの間のインピーダンスが、第１電流検出部４ａのみを用いて測定される。ステップＳ５でのＺ測定の具体的手順の一例は、接続基板端子部７３の状態（短絡状態か開放状態か）が異なる点を除き、ステップＳ３と同じであるため、その説明を省略する。このステップＳ５での測定値は、補正パラメータとしての第１短絡配線間インピーダンスＺ_Ｓ１である。

【0072】

次に、ステップＳ６（（ｈ）工程）では、図６を参照して、全ての電流検出部４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄを用いて、検査装置ユニット１０が短絡状態にある場合のＺ測定が行われる。具体的には、ステップＳ６でのＺ測定では、第１配線１１～１４のいずれかと、第２配線１５～１８のいずれかとの間のインピーダンスが、全ての電流検出部４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄを用いて測定される。ステップＳ６でのＺ測定の具体的手順の一例は、接続基板端子部７３の状態（短絡状態か開放状態か）が異なる点を除き、ステップＳ４と同じであるため、その説明を省略する。このステップＳ６での測定値は、補正パラメータとしての第２短絡配線間インピーダンスＺ_Ｓ２である。

【0073】

次に、ステップＳ７（（ｃ）工程）では、図７を参照して、第１電流検出部４ａを用いて、基準パネルＳの各ポイントＰ_１１～Ｐ_４４のＺ測定が行われる。具体的には、ステップＳ７では、配線１１～１４のいずれかと、配線１５～１８のいずれかとの間のインピーダンスが、第１電流検出部４ａのみを用いて測定される。ステップＳ７における基準パネルＳのＺ測定の具体的手順の一例は、接続基板端子部７３に基準パネルＳが接続されているか否かが異なる点を除き、ステップＳ３と同じであるため、その説明を省略する。このステップＳ７での測定値は、補正パラメータとしての第１基準インピーダンスＺ_Ｘ１である。なお、図７及び図８では、図９に示すタッチパネル５０と区別するため、基準パネルＳにハッチングを付している。

【0074】

次に、ステップＳ８（（ｇ）工程）では、図８を参照して、全ての電流検出部４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄを用いて、基準パネルＳの各ポイントＰ_１１～Ｐ_４４のＺ測定が行われる。具体的には、ステップＳ８では、配線１１～１４のいずれかと、配線１５～１８のいずれかとの間のインピーダンスが、全ての電流検出部４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄを用いて測定される。ステップＳ８における基準パネルＳのＺ測定の具体的手順の一例は、接続基板端子部７３に基準パネルＳが接続されているか否かが異なる点を除き、ステップＳ４と同じであるため、その説明を省略する。このステップＳ８での測定値は、補正パラメータとしての第２基準インピーダンスＺ_Ｘ２である。

【0075】

次に、ステップＳ９（（ｋ）工程）では、ステップＳ３，Ｓ５で求めた各補正パラメータ（第１開放配線間インピーダンスＺ_Ｏ１，第１短絡配線間インピーダンスＺ_Ｓ１）に基づき、ステップＳ７で求めた基準パネルＳの各ポイントＰ_１１～Ｐ_４４の第１基準インピーダンスＺ_Ｘ１が補正される。これにより、基準パネルＳの各ポイントＰ_１１～Ｐ_４４の補正後基準インピーダンスＺ_ＳＴＤが算出される。具体的には、ステップＳ９では、以下の式（１）に基づき、補正パラメータとしての補正後基準インピーダンスＺ_ＳＴＤが算出される。

【0076】

［数１］
Ｚ_ＳＴＤ＝Ｚ_Ｏ１×｛（Ｚ_Ｓ１－Ｚ_Ｘ１）／（Ｚ_Ｘ１－Ｚ_Ｏ１）｝・・・（１）

【0077】

以上のように、ステップＳ３からステップＳ９によって、各補正パラメータ及び補正基準後インピーダンスが算出された後、ステップＳ１０及びステップＳ１１で、タッチパネル５０の各ポイントのＺ測定が行われる。

【0078】

なお、上述したステップＳ３からステップＳ８の工程は、ここで説明したものに限らず、どのような順序であってもよい。また、上述したステップＳ９の工程は、少なくともステップＳ３、Ｓ５、Ｓ７が行われた後であればよい。

【0079】

ステップＳ１０（（ｄ）工程）では、図９を参照して、全ての電流検出部４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄを用いて、タッチパネル５０の各ポイントＰ_１１～Ｐ_４４のＺ測定が行われる。具体的には、ステップＳ１０では、配線１１～１４のいずれかと、配線１５～１８のいずれかとの間のインピーダンスが、全ての電流検出部４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄを用いて測定される。

【0080】

ステップＳ１０におけるＺ測定の具体的手順の一例は、基準パネルＳの代わりにタッチパネル５０が接続される点の除き、ステップＳ８の場合と同じである。

【0081】

具体的には、ステップＳ１０では、切替スイッチ５ｅ，５ｆ，５ｈ，５ｊの全てがオンされた状態で、切替スイッチ５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄのいずれか１つがオンされる。これにより、電圧検出部３で検出された電圧値と第１電流検出部４ａで検出された電流値とに基づくインピーダンスと、電圧検出部３で検出された電圧値と第２電流検出部４ｂで検出された電流値とに基づくインピーダンスと、電圧検出部３で検出された電圧値と第２電流検出部４ｃで検出された電流値とに基づくインピーダンスと、電圧検出部３で検出された電圧値と第２電流検出部４ｄで検出された電流値とに基づくインピーダンスとが、並行して一度に測定される。このステップＳ１０で測定されたインピーダンスは、タッチパネル５０の各ポイントＰ_１１～Ｐ_４４の対象物インピーダンスＺ_ＸＭとして測定される。

【0082】

そして、ステップＳ１１（（ｅ）工程）では、ステップＳ４，Ｓ６，Ｓ８で求めた各補正パラメータ（第２開放配線間インピーダンスＺ_Ｏ２，第２短絡配線間インピーダンスＺ_Ｓ２，第２基準インピーダンスＺ_Ｘ２）、及びステップＳ９で求めた補正後基準インピーダンスＺ_ＳＴＤに基づき、ステップＳ１０で求めたタッチパネル５０の各ポイントＰ_１１～Ｐ_４４のインピーダンスＺ_ＸＭが補正され、補正後インピーダンスＺ_ＤＵＴが算出される。具体的には、ステップＳ１１では、以下の式（２）に基づき、補正後インピーダンスＺ_ＤＵＴが算出される。

【0083】

［数２］
Ｚ_ＤＵＴ＝Ｚ_ＳＴＤ×［｛（Ｚ_Ｏ２－Ｚ_Ｘ２）×（Ｚ_ＸＭ－Ｚ_Ｓ２）｝／｛（Ｚ_Ｘ２－Ｚ_Ｓ２）×（Ｚ_Ｏ２－Ｚ_ＸＭ）｝］・・・（２）

【0084】

上述のようにして算出された補正後インピーダンスＺ_ＤＵＴは、例えば一例として、測定値としてディスプレイに表示される。或いは、この補正後インピーダンスＺ_ＤＵＴが所定の閾値と比較され、その比較結果に基づいてタッチパネル５０が良品であるか不良品であるかが判定され、その判定結果がディスプレイに表示される。

【0085】

［式（１）の求め方について］
図１０は、上述した式（１）を説明するための図であって、検査装置ユニット１０に基準パネルＳを接続した状態を示す模式図である。

【0086】

検査装置１と基準パネルＳとを接続するフラットケーブル６０及び接続基板７０の残留インピーダンスを図１０に示すＦパラメータ（Ａ、Ｂ，Ｃ，Ｄ）で表される線形回路としてモデル化した場合、電圧検出部３及び較正した第１電流検出部４ａを用いて測定した基準パネルＳのインピーダンス（すなわち、ステップＳ７で測定されたインピーダンスＺ_Ｘ１）は、以下の式（３）で表すことができる。

【0087】

［数３］
Ｚ_Ｘ１＝（ＡＶ_２＋ＢＩ_２）／（ＣＶ_２＋ＤＩ_２） …（３）
ただし、Ｖ_２は出力電圧、Ｉ_２は出力電流である。

【0088】

また、図１０における接続基板端子部７３が開放された状態でインピーダンス（すなわち、ステップＳ３で測定されたインピーダンスＺ_Ｏ１）は、以下の式（４）で表すことができる。

【0089】

［数４］
Ｚ_Ｏ１＝Ａ／Ｃ …（４）

【0090】

また、図１０における接続基板端子部７３が短絡された状態でインピーダンス（すなわち、ステップＳ５で測定された第１短絡配線間インピーダンスＺ_Ｓ１）は、以下の式（５）で表すことができる。

【0091】

［数５］
Ｚ_Ｓ１＝Ｂ／Ｄ …（５）

【0092】

また、フラットケーブル６０及び接続基板７０は対称回路であるため、以下の式（６）が成り立つ。

【0093】

［数６］
Ａ＝Ｄ …（６）

【0094】

また、図１０における基準パネルＳの補正後基準インピーダンスＺ_ＳＴＤは、以下の式（７）で表すことができる。

【0095】

［数７］
Ｚ_ＳＴＤ＝Ｖ_２／Ｉ_２ …（７）

【0096】

式（３）から式（７）を用いてＦパラメータＡ～Ｄを消去すると、式（１）を得ることができる。

【0097】

［式（２）の求め方について］
図１１Ａは、上述した式（２）を説明するための図であって、検査装置ユニット１０に補正後基準インピーダンスの値がＺ_ＳＴＤとなる負荷を接続した場合の模式図である。また、図１１Ｂは、検査装置ユニット１０にタッチパネル５０を接続した状態を示す模式図である。

【0098】

ステップＳ９では、較正された電流検出部である第１電流検出部４ａを用いて測定された基準パネルＳの第１基準インピーダンスＺ_Ｘ１を補正することにより、補正後基準インピーダンスＺ_ＳＴＤが算出された。この補正後基準インピーダンスＺ_ＳＴＤを用いれば、図１１Ｂに示すタッチパネル５０のインピーダンスの測定誤差、具体的には、較正されていない電流検出部である第２電流検出部４ｂ，４ｃ，４ｄを用いて測定されたタッチパネル５０のＺの測定誤差を補正することができる。

【0099】

具体的には、図１１Ａを参照して、補正後基準インピーダンスＺ_ＳＴＤの負荷を接続基板端子部７３に接続した場合に、検査装置１でのＺ測定値がＺ_１となると仮定すると、以下の式（８）が成り立つ。

【0100】

［数８］
Ｚ_１＝Ｖ_１／Ｉ_１、Ｚ_２＝Ｖ_２／Ｉ_２、 Ｚ_１＝（ＡＶ_２＋ＢＩ_２）／（ＣＶ_２＋ＤＩ_２）＝（ＡＺ_２＋Ｂ）／（ＣＺ_２＋Ｄ） …（８）
ただし、Ｖ_１は入力電圧、Ｉ_１は入力電流、Ｚ_１は入力インピーダンス、Ｚ_２は出力インピーダンスである。

【0101】

上述したパラメータＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄは、以下の値を式（８）に適用することにより消去できる。具体的には、ステップＳ４での測定値である第２開放配線間インピーダンスＺ_Ｏ２と、ステップＳ６での測定値である第２短絡配線間インピーダンスＺ_Ｓ２と、ステップＳ８での測定値である第２基準インピーダンスＺ_Ｘ２と、ステップＳ１０での測定値である対象物インピーダンスＺ_ＸＭと、ステップＳ９での測定値である補正後基準インピーダンスＺ_ＳＴＤと、を式（８）に適用することによりＡ～Ｄを消去でき、式（２）を算出することができる。ここで、第２開放配線間インピーダンスＺ_Ｏ２、第２短絡配線間インピーダンスＺ_Ｓ２、第２基準インピーダンスＺ_Ｘ２、および、対象物インピーダンスＺ_ＸＭは、較正されていない電流検出部４ｂ，４ｃ，４ｄの測定結果による値である。すなわち、補正後基準インピーダンスＺ_ＳＴＤと、較正されていない電流検出部４ｂ，４ｃ，４ｄの測定結果とにより、タッチパネル５０のＺの測定誤差を補正できる。

【0102】

以上のように、第１実施形態に係るインピーダンス測定方法によれば、複数の電流検出部４ａ，４ｂによって一度に複数のポイントのインピーダンスを同時に測定することができるため、検査速度を高速化できる。

【0103】

しかも、第１実施形態によれば、式（２）を用いて、較正が行われていない第２電流検出部４ｂ，４ｃ，４ｄを含む全ての電流検出部４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄを用いて測定されたインピーダンスを補正することにより、正確なインピーダンス測定を行うことができる。言い換えれば、全ての電流検出部４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄを較正せずとも正確なインピーダンス測定を行うことができるため、検査装置１の性能を維持しつつ、製品出荷時に通常必要となる全ての電流検出部４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄの較正作業を簡略化できる。

【0104】

［効果］
以上のように、第１実施形態に係る検査装置１を用いたインピーダンスの測定方法によれば、検査装置１に含まれる複数の電流検出部４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄを用いて、タッチパネル５０の複数ポイント（例えばＰ_１１，Ｐ_２１，Ｐ_３１，Ｐ_４１，…）の対象物インピーダンスＺ_ＸＭを並行して測定することができる。これにより、タッチパネル５０においてインピーダンス測定が必要な多数箇所のうちの複数箇所のインピーダンスをまとめて測定できるため、測定時間を短縮できる。

【0105】

また、この測定方法によれば、上述のように測定された複数箇所の対象物インピーダンスＺ_ＸＭが、較正された電流検出部（第１電流検出部４ａ）を用いて測定された基準パネルＳの第１基準インピーダンスＺ_Ｘ１を用いて補正される。よって、この方法によれば正確な電流値を検出可能な第１電流検出部４ａを用いて第１基準インピーダンスＺ_Ｘ１が測定されるため、タッチパネル５０の対象物インピーダンスＺ_ＸＭを補正するための第１基準インピーダンスＺ_Ｘ１を精度よく測定できる。

【0106】

また、この測定方法によれば、多数のタッチパネル５０の中から選定したものを基準パネルＳとして使用できる。すなわち、この方法によれば、全ての測定箇所のインピーダンスが既知となっているサンプルをわざわざ準備する必要がないため、利便性に優れた測定方法を提供できる。

【0107】

従って、この測定方法によれば、検査装置１に含まれる複数の電流検出部４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄの較正の手間を簡略化しつつ、正確なインピーダンス値を得ることができる。

【0108】

また、この測定方法によれば、極端なインピーダンス値を有するタッチパネル５０が基準サンプルＳの対象から外される。これにより、適切なインピーダンス値を有するタッチパネル５０を基準サンプルＳとして選定でき、対象物インピーダンスＺ_ＸＭを適切な第１基準インピーダンスＺ_Ｘ１で補正することができるため、より正確な補正後インピーダンスＺ_ＤＵＴを得ることができる。

【0109】

また、この測定方法によれば、複数の電流検出部４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄを用いて測定された対象物インピーダンスＺ_ＸＭに対して、いわゆるオープン補正及びロード補正が行われる。これにより、より正確な補正後インピーダンスＺ_ＤＵＴを得ることができる。

【0110】

また、この測定方法によれば、複数の電流検出部４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄを用いて測定された対象物インピーダンスＺ_ＸＭに対して、上述したオープン補正及びロード補正だけでなく、いわゆるショート補正も行われる。これにより、より一層正確な補正後インピーダンスＺ_ＤＵＴを得ることができる。

【0111】

また、この測定方法によれば、較正された電流検出部（第１電流検出部４ａ）を用いて測定された基準パネルＳの第１基準インピーダンスＺ_Ｘ１に対して、いわゆるオープン補正及びショート補正が行われる。これにより、基準パネルＳのより正確な補正後基準インピーダンスＺ_ＳＴＤを得ることができるため、より一層正確な補正後インピーダンスＺ_ＤＵＴを得ることができる。

【0112】

また、この測定方法によれば、式（１）を用いて適切な補正後基準インピーダンスＺ_ＳＴＤを得ることができる。フラットケーブル６０及び接続基板７０のインピーダンスを含んだ値である第１基準インピーダンスＺ_Ｘ１から、フラットケーブル６０及び接続基板７０のインピーダンスを含まない値である補正後基準インピーダンスＺ_ＳＴＤを得ることができる。

【0113】

また、この測定方法によれば、式（２）を用いて適切な補正後インピーダンスＺ_ＤＵＴを得ることができる。

【0114】

また、この測定方法によれば、タッチパネル５０が有する各電極５１，５２間の補正後インピーダンスＺ_ＤＵＴを正確に測定することができる。

【0115】

また、検査装置１によれば、複数の電流検出部４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄの較正の手間を簡略化しつつ、正確な補正後インピーダンスＺ_ＤＵＴを得ることができる。

【0116】

なお、第１実施形態に関する説明は本測定方法及び本検査装置が取り得る形態の例示であり、その形態を制限することを意図していない。本測定方法および本検査装置は第１実施形態以外に例えば以下に示される上記実施形態の変形例、及び、相互に矛盾しない少なくとも２つの変形例が組み合わせられた形態を取り得る。

【0117】

上述した実施形態では、検査装置１の検査対象物としてタッチパネル５０を例に挙げて説明した。しかし、これに限らず、検査対象物は、互いに離間した複数の導電部を有するものであればよい。

【0118】

例えば、検査装置１の検査対象物は、ＩＣ（Integrated Circuit）であってもよい。この場合、ＩＣのピンは、タッチパネル５０のタッチパネル端子部５４に相当する。検査装置１は、接続基板端子部７３に相当するソケット（図示省略）に挿入されたＩＣと電気的に接続される。これにより、ＩＣのピン間のインピーダンスを測定できる。また、検査装置１の検査対象物は、ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical System）デバイスであってもよい。ＭＥＭＳデバイスの入出力端子は、タッチパネル５０のタッチパネル端子部５４に相当する。検査装置１は、ＭＥＭＳデバイスと電気的に接続される。これにより、ＭＥＭＳデバイスのインピーダンスを測定できる。

【0119】

［第２実施形態］
図１２は、検査装置１によるインピーダンスの測定方法であって上述した測定方法とは異なる別の測定方法（第２実施形態に係る測定方法）を説明するためのフローチャートである。また、図１３から図１５は、それぞれ、図１２におけるステップＳ２７，２８，３０のそれぞれを説明するための図である。

【0120】

第２実施形態に係る測定方法によれば、複数のタッチパネル５０のそれぞれにおける所望箇所のインピーダンス、具体的には１つの第１透明電極５１Ｘ（図示省略）と１つの第２透明電極５１Ｙ（図示省略）とが交わるポイント（例えば図１のＰ_１１）のインピーダンスを、複数のタッチパネル５０において並行して測定することができる。以下では、各タッチパネル５０のＰ_１１におけるインピーダンスを並行して測定する例を挙げて説明する。なお、ステップＳ２１及びＳ２３～Ｓ２６は、ステップＳ１及びＳ３～Ｓ６と同様であるため、説明を省略する。また、各タッチパネル５０を区別して説明するときには、タッチパネル５０の符号として５０ａ，５０ｂ，５０ｃ，５０ｄを用いる。

【0121】

ステップＳ２２では、複数の基準パネルＳ_１～Ｓ_Ｎが選定される。Ｎは２以上の自然数であればよいが、本実施形態ではＮ＝４として説明する。基準パネルＳ_１において、所望箇所（Ｐ_１１）がインピーダンスの測定対象として選定される。同様に、他の基準パネルＳ_２～Ｓ_４においても、Ｐ_１１がインピーダンス測定対象として選定される。基準パネルＳとしては、Ｐ_１１におけるインピーダンスが、標準的なタッチパネル５０のＰ_１１におけるインピーダンスと大きくかけ離れていないものが選定される。基準パネルＳのＰ_１１における正確なインピーダンスは算出されている必要がなく、他のタッチパネル５０のＰ_１１におけるインピーダンスを相対的に大きく異なっていないことが確認されていればよい。基準パネルＳとして、第１透明電極５１Ｘ及び第２透明電極５１Ｙの少なくともいずれか一方が断線していないもの、第１透明電極５１Ｘと第２透明電極５１Ｙとが短絡していないものが好適である。

【0122】

ステップＳ２７では、第１電流検出部４ａを用いて、各基準パネルＳ_１～Ｓ_４のポイントＰ_１１における第１基準インピーダンスＺ_Ｘ１が測定される。

【0123】

ステップＳ２７では、図１３を参照して、まず検査装置１側の各第１配線１１～１８が各基準パネルＳ_１～Ｓ_４の配線５３ａ，５３ｂに対して接続される。具体的には、例えば、図１３に示すように、第１配線１４及び第２配線１５が、基準パネルＳ_１の配線５３ａ及び配線５３ｂのそれぞれに接続され、第１配線１３及び第２配線１６が、基準パネルＳ_２の配線５３ａ及び配線５３ｂのそれぞれに接続され、第１配線１２及び第２配線１７が、基準パネルＳ_３の配線５３ａ及び配線５３ｂのそれぞれに接続され、第１配線１１及び第２配線１８が、基準パネルＳ_４の配線５３ｄ及び配線５３ｅのそれぞれに接続される。これにより、４つの基準パネルＳ_１～Ｓ_４が検査装置１と適切に接続される。なお、図１３及び図１４では、図１５に示すタッチパネル５０ａ～５０ｄと区別するため、基準パネルＳ１～Ｓ４にハッチングを付している。また、図１３から図１５では、第２実施形態に係るインピーダンス測定方法においてインピーダンス測定される箇所（Ｐ_１１）、及びＰ_１１に接続されている配線５３ａ，５３ｂのみが模式的に図示されており、それ以外の部分については図示が省略されている。

【0124】

この状態において、切替スイッチ５ｄ及び切替スイッチ５ｅをオンし且つその他の切替スイッチ５をオフにすることにより基準パネルＳ_１のポイントＰ_１１における第１基準インピーダンスＺ_Ｘ１が測定される。また、切替スイッチ５ｃ及び切替スイッチ５ｇをオンし且つその他の切替スイッチをオフにすることにより基準パネルＳ_２のポイントＰ_１１における第１基準インピーダンスＺ_Ｘ１が測定される。また、切替スイッチ５ｂ及び切替スイッチ５ｉをオンし且つその他の切替スイッチをオフにすることにより基準パネルＳ_３のポイントＰ_１１における第１基準インピーダンスＺ_Ｘ１が測定される。また、切替スイッチ５ａ及び切替スイッチ５ｋをオンし且つその他の切替スイッチ５をオフにすることにより基準パネルＳ_４のポイントＰ_１１における第１基準インピーダンスＺ_Ｘ１が測定される。これにより、各基準パネルＳ_１～Ｓ_４のＰ_１１における第１基準インピーダンスＺ_Ｘ１が、第１電流検出部４ａを用いて測定される。

【0125】

ステップＳ２８では、図１４を参照して、全ての電流検出部４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄを用
いて、各基準パネルＳ_１～Ｓ_４のＰ_１１における第２基準インピーダンスＺ_Ｘ２が測定さ
れる。

【0126】

ステップ２８におけるインピーダンス測定を実施する際の、配線１１～１８と各基準パネルＳ_１～Ｓ_４の配線５３ａ，５３ｂとの接続状態は、ステップ２７の場合と同じである。具体的には、第１配線１４及び第２配線１５が基準パネルＳ_１の配線５３ａ及び配線５３ｂのそれぞれに接続され、第１配線１３及び第２配線１６が基準パネルＳ_２の配線５３ａ及び配線５３ｂのそれぞれに接続され、第１配線１２及び第２配線１７が基準パネルＳ_３の配線５３ａ及び配線５３ｂのそれぞれに接続され、第１配線１１及び第２配線１８が基準パネルＳ_４の配線５３ｄ及び配線５３ｅのそれぞれに接続されている。この状態において、ステップＳ２８におけるインピーダンス測定が行われる。

【0127】

具体的には、切替スイッチ５ｄ及び切替スイッチ５ｅをオンし且つその他の切替スイッチ５をオフにすることにより基準パネルＳ_１のポイントＰ_１１におけるインピーダンスが測定される。また、切替スイッチ５ｃ及び切替スイッチ５ｆをオンし且つその他の切替スイッチ５をオフにすることにより基準パネルＳ_２のポイントＰ_１１におけるインピーダンスが測定される。また、切替スイッチ５ｂ及び切替スイッチ５ｈをオンし且つその他の切替スイッチ５をオフにすることにより基準パネルＳ_３のポイントＰ_１１におけるインピーダンスが測定される。また、切替スイッチ５ａ及び切替スイッチ５ｊをオンし且つその他の切替スイッチ５をオフにすることにより基準パネルＳ_４のポイントＰ_１１におけるインピーダンスが測定される。これにより、各基準パネルＳ_１～Ｓ_４のＰ_１１におけるインピーダンスが、全ての電流検出部４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄを用いて測定される。

【0128】

ステップＳ２９では、ステップＳ２３，Ｓ２５で求めた各補正パラメータ（第１開放配線間インピーダンスＺ_Ｏ１，第１短絡配線間インピーダンスＺ_Ｓ１）に基づき、ステップＳ２７で求めた各基準パネルＳ_１～Ｓ_４のＰ_１１におけるインピーダンスが補正される。これにより、各基準パネルＳ_１～Ｓ_４の補正後基準インピーダンスＺ_ＳＴＤが算出される。補正には、ステップＳ９と同様に式（１）を用いる。

【0129】

ステップＳ３０では、図１５を参照して、全ての電流検出部４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄを用いて、各タッチパネル５０のＰ_１１におけるインピーダンスが測定される。ステップＳ３０におけるＺ測定の具体的手順の一例は、基準パネルＳの代わりにタッチパネル５０が接続される点を除き、ステップＳ２８の場合と同じであるため、説明を省略する。

【0130】

そして、ステップＳ３１では、ステップＳ２４，Ｓ２６，Ｓ２８で求めた各補正パラメータ（第２開放配線間インピーダンスＺ_Ｏ２，第２短絡配線間インピーダンスＺ_Ｓ２，第２基準インピーダンスＺ_Ｘ２）及びステップＳ２９で求めた補正後基準インピーダンスＺ_ＳＴＤに基づき、ステップＳ３０で求めた各タッチパネル５０のＰ_１１におけるインピーダンスが補正され、補正後インピーダンスＺ_ＤＵＴが算出される。これにより、各タッチパネル５０の補正後インピーダンスＺ_ＤＵＴが算出される。補正には、ステップＳ１１と同様に式（２）を用いる。

【0131】

［第２実施形態の効果］
以上のように、第２実施形態に係るインピーダンス測定方法によれば、検査装置１に含まれる複数の電流検出部４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄを用いて、複数のタッチパネル５０ａ～５０ｄのポイントＰ_１１における対象物インピーダンスＺ_ＸＭを並行して測定することができる。これにより、複数のタッチパネル５０ａ～５０ｄの対象物インピーダンスＺ_ＸＭをまとめて測定できるため、測定時間を短縮できる。

【0132】

また、この測定方法によれば、上述のように測定された各タッチパネル５０の対象物インピーダンスＺ_ＸＭが、較正された電流検出部（第１電流検出部４ａ）を用いて測定された基準パネルの第１基準インピーダンスＺ_Ｘ１を用いて補正される。よって、この方法によれば正確な電流値を検出可能な電流検出部４ａを用いて第１基準インピーダンスＺ_Ｘ１が測定されるため、タッチパネル５０の対象物インピーダンスＺ_ＸＭを補正するための第１基準インピーダンスＺ_Ｘ１を精度よく測定できる。

【0133】

また、この測定方法によれば、多数のタッチパネル５０の中から選定したものを基準パネルＳとして使用できる。すなわち、この方法によれば、インピーダンスが既知となっているサンプルをわざわざ準備する必要がないため、利便性に優れた測定方法を提供できる。

【0134】

従って、この方法によれば、第１実施形態に係るインピーダンス測定方法の場合と同様、検査装置に含まれる複数の電流検出部４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄの較正の手間を簡略化しつつ、正確なインピーダンス値を得ることができる。

【0135】

なお、第２実施形態に係るインピーダンス測定方法では、検査対象物がタッチパネル５０である例を挙げて説明した。しかし、これに限らず、検査対象物は、ＩＣ、或いはＭＥＭＳデバイスであってもよい。更には、検査対象物は、複数の第１電極及び複数の第２電極を有するものでなくてもよく、１つの第１電極及び１つの第２電極を有するものであってもよい。

【符号の説明】

【0136】

１ 検査装置
４ａ 第１電流検出部（較正された電流検出部）
４ｂ、４ｃ、４ｄ 第２電流検出部
５０、５０ａ～５０ｄ タッチパネル（検査対象物）
５１、５１ａ～５１ｄ 第１透明電極（第１電極）
５２、５２ａ～５２ｄ 第２透明電極（第２電極）
Ｓ、Ｓ_１～Ｓ_Ｎ 基準パネル（基準サンプル）
Ｚ_ＤＵＴ 補正後インピーダンス
Ｚ_ＳＴＤ 補正後基準インピーダンス
Ｚ_ＸＭ 対象物インピーダンス
Ｚ_Ｘ１ 第１基準インピーダンス
Ｚ_Ｘ２ 第２基準インピーダンス
Ｚ_Ｏ１ 第１開放配線間インピーダンス
Ｚ_Ｏ２ 第２開放配線間インピーダンス
Ｚ_Ｓ１ 第１短絡配線間インピーダンス
Ｚ_Ｓ２ 第２短絡配線間インピーダンス

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11A】

【図11B】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】