特許 7475454 レチクル仕切壁を通る保持を有するレチクルポッド

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-04-18

(45)【発行日】2024-04-26

(54)【発明の名称】レチクル仕切壁を通る保持を有するレチクルポッド

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/673 20060101AFI20240419BHJP

   B65D 85/30 20060101ALI20240419BHJP

   B65D 85/48 20060101ALI20240419BHJP

   G03F 1/66 20120101ALI20240419BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 T

B65D85/30 500

B65D85/48

G03F1/66

【請求項の数】 5

(21)【出願番号】P 2022540348

(86)(22)【出願日】2020-12-09

(65)【公表番号】

(43)【公表日】2023-03-13

(86)【国際出願番号】 US2020064067

(87)【国際公開番号】W WO2021138012

(87)【国際公開日】2021-07-08

【審査請求日】2022-09-13

(31)【優先権主張番号】62/955,619

(32)【優先日】2019-12-31

(33)【優先権主張国・地域又は機関】US

(73)【特許権者】

【識別番号】505307471

【氏名又は名称】インテグリス・インコーポレーテッド

(74)【代理人】

【識別番号】110002077

【氏名又は名称】園田・小林弁理士法人

(72)【発明者】

【氏名】ラシュク， ラス ヴィー．

(72)【発明者】

【氏名】ラング， ピアース

(72)【発明者】

【氏名】ティーベン， アンソニー エム．

【審査官】杢 哲次

(56)【参考文献】

【文献】登録実用新案第３１８１２５５（ＪＰ，Ｕ）

【文献】特開２０１２－１８６３９１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特表２０１４－５２７２９１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平１０－１０７０５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１０－７２４２０（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２０１８／０４４６７８（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特表２００９－５１０５２５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１８－１２０２０１（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許出願公開第２０１２／０１７５２７９（ＵＳ，Ａ１）

【文献】特開２００６－１８４４４２（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許出願公開第２００８／００４１７６０（ＵＳ，Ａ１）

【文献】米国特許出願公開第２００４／５７０３０（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／６７３

Ｂ６５Ｄ ８５／３０

Ｂ６５Ｄ ８５／４８

Ｇ０３Ｆ １／６６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

レチクルポッドであって、
カバーおよびベースプレートを含む内側部分であって、前記カバーから前記レチクルポッドの下方に延びる、又は前記ベースプレートから前記カバーに向かって延びるレチクル仕切壁を含み、前記レチクル仕切壁が、１つまたは複数の保持特徴を含む、内側部分と、
ポッドドームおよびポッドドアを含む外側部分であって、前記ポッドドームおよび前記ポッドドアのうちの一方が、前記カバーが前記ベースプレートに接合されたときに前記１つまたは複数の保持特徴のうちの少なくとも１つに接触するように構成された、１つまたは複数の作動表面を含み、前記ポッドドームが、前記ポッドドアに接合され、前記接合されたカバーおよびベースプレートが、前記接合されたポッドドームおよびポッドドア内にある、外側部分と
を備え、
前記１つまたは複数の作動表面が前記１つまたは複数の保持特徴に接触したとき、前記保持特徴が前記１つまたは複数の作動表面との接触を介して、レチクルが配置された方向に直線移動又は回転移動し、
前記保持特徴の一部分は、前記レチクルが前記接合されたカバーおよびベースプレート内に位置決めされたときに当該保持特徴の一部分が前記レチクルの横方向から前記レチクルの上面に接触することが可能であるように配置されるように構成された、
レチクルポッド。

【請求項2】

前記１つまたは複数の保持特徴の各々が、前記レチクル仕切壁の平面に対して０度から９０度の範囲内の角度をもつ成分を有する方向に直線的に移動可能である、請求項１に記載のレチクルポッド。

【請求項3】

前記１つまたは複数の保持特徴の各々が、前記レチクル仕切壁の第１の側に位置決めされた第１の端部と、前記レチクル仕切壁の第２の側の第２の端部とを含み、前記レチクル仕切壁の前記第２の側が、前記レチクル仕切壁の前記第１の側の反対側にあり、前記１つまたは複数の保持特徴が、各々、前記レチクル仕切壁の平面と同一面にある軸を中心として回転可能である、請求項１に記載のレチクルポッド。

【請求項4】

前記１つまたは複数の作動表面の各々が、前記ポッドドアから延びる突起である、請求項３に記載のレチクルポッド。

【請求項5】

レチクルポッド内にレチクルを固定するための１つまたは複数の保持特徴を操作する方法であって、
ベースプレートにカバーを接合することであって、前記カバーおよび前記ベースプレートを含む内側部分が、前記カバーから前記レチクルポッドの下方に延びる、又は前記ベースプレートから前記カバーに向かって延びるレチクル仕切壁を含む、ベースプレートにカバーを接合することと、
ポッドドーム中に接合された前記カバーおよび前記ベースプレートを置くことと、
１つまたは複数の作動表面を、前記レチクル仕切壁上に位置決めされた１つまたは複数の保持特徴と接触させることと、
前記１つまたは複数の保持特徴を、前記１つまたは複数の作動表面との前記接触を介して、前記レチクルが配置された方向に直線移動又は回転移動させることと、
前記レチクルが前記接合されたカバーおよびベースプレート内に位置決めされたときに、前記保持特徴の一部分が前記レチクルの横方向から前記レチクルの上面に接触することが可能であるように、当該保持特徴の一部分を配置すること、
を含む、方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

関連出願の相互参照
本出願は、すべての目的のためにその全体が参照により本明細書に組み込まれる、２０１９年１２月３１日に出願された米国仮出願第６２／９５５，６１９号の利益および優先権を主張する。

【0002】

本開示は、概して、レチクルを格納および搬送するためのレチクルポッドに関する。より詳細には、本開示は、収容されたレチクルを保持するための内側ポッドのレチクル仕切壁を通って延びる移動可能な保持用特徴を含むレチクルポッドを対象とする。

【背景技術】

【0003】

レチクルポッドは、レチクルの格納および搬送ならびに処理、とりわけ、フォトリソグラフィデバイスなど、処理ツールへのおよび処理ツールからのレチクルの搬送のために使用される。レチクルポッドは、たとえば、極紫外線（ＥＵＶ）フォトリソグラフィツールと共に使用するためのＥＵＶポッドを含む。レチクルポッドは、レチクルの移動、ハンドリング、および処理中の、収容されたレチクルの汚染または物理的損傷を低減または防止する。レチクルポッドは、外側ポッドと、外側ポッド内の内側ポッドとを含み得る。内側ポッドは、レチクルを収容するベースプレートおよびカバーを含み得、外側ポッドは、内側ポッドを収容するポッドドアおよびポッドドームを含む。

【発明の概要】

【0004】

本開示は、収容されたレチクルを保持するための内側ポッドのレチクル仕切壁を通って延びる移動可能な保持用特徴を含むレチクルポッドを対象とする。

【0005】

移動可能な保持用特徴は、レチクルが、レチクルポッド内に固定的に配置され、これにより、ハンドリングまたは輸送中に衝撃を受けにくくなることを可能にする。レチクルポッドの内側ポッドのレチクル仕切壁を通る保持用特徴は、レチクルが、レチクルポッドの最終的な閉鎖より前に固定特徴との干渉なしにポッド内に適切に置かれることと、ポッドが搬送、格納、または処理のために閉じられたときに、固定されることとを可能にする。

【0006】

一実施形態では、レチクルポッドは、カバーおよびベースプレートを含む内側部分を含む。カバーおよびベースプレートのうちの一方は、カバーおよびベースプレートのうちのその一方から延びるレチクル仕切壁を含み、レチクル仕切壁は、１つまたは複数の保持特徴を含む。レチクルポッドは、ポッドドームおよびポッドドアを含む外側部分を含む。ポッドドームおよびポッドドアのうちの一方は、カバーがベースプレートに接合されたときに１つまたは複数の保持特徴のうちの少なくとも１つに接触するように構成された、１つまたは複数の作動表面を含み、ポッドドームは、ポッドドアに接合され、接合されたカバーおよびベースプレートは、接合されたポッドドームおよびポッドドア内にある。１つまたは複数の作動表面が１つまたは複数の保持特徴に接触したとき、保持特徴は、レチクルが、接合されたカバーおよびベースプレート内に位置決めされたときに、保持特徴がレチクルに接触するように配置されるように構成される。

【0007】

一実施形態では、１つまたは複数の保持特徴の各々は、レチクル仕切壁の平面に対して０度から９０度の範囲内の角度の成分を有する方向に直線的に移動可能である。

【0008】

一実施形態では、１つまたは複数の保持特徴の各々は、ばねを含む。実施形態では、ばねが静止位置にあるとき、保持特徴は、保持特徴が１つまたは複数の作動表面のうちの１つと接触するときよりも、ベースプレートの中心から遠い位置にある。

【0009】

一実施形態では、１つまたは複数の保持特徴の各々は、レチクル仕切壁の平面に対して０度から９０度の範囲内の角度を有する方向に直線的に移動可能である。

【0010】

一実施形態では、１つまたは複数の保持特徴の各々は、湾曲縁部または傾斜縁部に係合するように構成された接触表面を含む。

【0011】

一実施形態では、１つまたは複数の作動表面の各々は、１つまたは複数の保持特徴のうちの少なくとも１つの保持特徴の端部に対して摺動するように構成された表面である。

【0012】

一実施形態では、１つまたは複数の作動表面の各々は、ポッドドームから延びる。

【0013】

一実施形態では、１つまたは複数の保持特徴の各々は、レチクル仕切壁の第１の側に位置決めされた第１の端部と、レチクル仕切壁の第２の側の第２の端部とを含み、レチクル仕切壁の第２の側は、レチクル仕切壁の第１の側の反対側にあり、１つまたは複数の保持特徴は、各々、レチクル仕切壁の平面と同一面にある軸を中心として回転可能である。

【0014】

一実施形態では、１つまたは複数の作動表面の各々は、ポッドドアから延びる突起である。

【0015】

一実施形態では、１つまたは複数の作動表面の各々が、１つまたは複数の保持特徴のうちの少なくとも１つと第２の端部において接触したとき、１つまたは複数の保持特徴の各々の第１の端部は、レチクルに接触する。

【0016】

一実施形態では、１つまたは複数の保持特徴の各々は、熱可塑性材料を含む。

【0017】

一実施形態では、レチクル仕切壁は、ベースプレートから延びる。

【0018】

一実施形態では、レチクル仕切壁は、カバーから延びる。

【0019】

一実施形態では、１つまたは複数の保持特徴を操作する方法は、ベースプレートにカバーを接合することであって、カバーおよびベースプレートのうちの一方が、カバーおよびベースプレートのうちのその一方から延びるレチクル仕切壁を含む、ベースプレートにカバーを接合することと、ポッドドーム中に、接合されたカバーおよびベースプレートを置くこととを含む。本方法は、ポッドドームにポッドドアを接合することをさらに含む。ポッドドームにポッドドアを接合することは、１つまたは複数の作動表面を、レチクル仕切壁上に位置決めされた１つまたは複数の保持特徴と接触させることを含む。本方法は、１つまたは複数の作動表面との接触を介して１つまたは複数の保持特徴を移動させることをさらに含む。

【0020】

一実施形態では、１つまたは複数の保持特徴を移動させることは、レチクル仕切壁によって画定された空間の内側への１つまたは複数の保持特徴の直線移動を含む。

【0021】

一実施形態では、１つまたは複数の作動表面は、カバー上に位置決めされ、１つまたは複数の保持特徴のうちの少なくとも１つの保持特徴の端部に対して摺動するように構成される。

【0022】

一実施形態では、１つまたは複数の保持特徴を移動させることは、レチクル仕切壁の平面と同一面にある軸を中心とした１つまたは複数の保持特徴の回転移動を含む。

【0023】

一実施形態では、１つまたは複数の作動表面は、ポッドドアから延びる突起である。

【0024】

一実施形態では、レチクル仕切壁は、カバーから延びる。

【0025】

本開示は、添付の図面に関連して様々な例示的な実施形態の以下の説明を考慮することにより、より完全に理解され得る。

【図面の簡単な説明】

【0026】

【図1】実施形態による、レチクルポッドの断面図である。

【図2】実施形態による、レチクルポッドの断面図である。

【図3】実施形態による、１つまたは複数の保持特徴を操作するための方法のフローチャートである。

【発明を実施するための形態】

【0027】

本開示は、様々な変更形態および代替の形態に適用できるが、その詳細は、図面中で例として示されており、詳細に説明される。しかしながら、説明される特定の例示的な実施形態に本開示の態様を限定するものではないことを理解されたい。むしろ、本開示の趣旨および範囲内に入るすべての変更形態、均等物、および代替形態を包含するものとする。

【0028】

以下の発明を実施するための形態は、図面を参照しながら読まれるべきであり、異なる図面中の類似の要素が、同じ番号を付けられている。発明を実施するための形態、および必ずしも一定の縮尺とは限らない図面は、例示的な実施形態を描いており、本開示の範囲を限定するものではない。描かれている例示的な実施形態は、例示的なものであるにすぎない。任意の例示的な実施形態の選択された特徴は、明確に反対に述べられない限り、追加の実施形態の中に組み込まれ得る。

【0029】

本明細書および添付の特許請求の範囲で使用される、単数形「１つの（ａ）」、「１つの（ａｎ）」、および「前記（ｔｈｅ）」は、文脈が明らかに別様に規定しない限り、複数の指示対象を含む。本明細書および添付の特許請求の範囲で使用される、「または」という用語は、概して、文脈が明らかに別様に規定しない限り、「および／または（ａｎｄ／ｏｒ）」を含む意味で採用される。

【0030】

「約」という用語は、概して、（たとえば、同じ機能または結果を有する）記載された値と同等とみなされる数の範囲を指す。多くの事例では、「約」という用語は、最も近い有効数字に丸められた数を含み得る。

【0031】

本開示は、概して、フォトリソグラフィ処理ステップにおいて使用されるレチクルを格納および搬送するためのレチクルポッドに関する。より詳細には、本開示は、収容されたレチクルを保持するための内側ポッドのレチクル仕切壁を通って延びる移動可能な保持用特徴を含むレチクルポッドを対象とする。

【0032】

図１は、実施形態による、レチクルポッド１００の断面図を示す。レチクルポッド１００は、ベースプレート１０４およびカバー１０６を含む、内側部分１０２を含む。図１中に示されている実施形態では、カバー１０６は、レチクル仕切壁１０８を含む。レチクル仕切壁１０８は、レチクル保持器１１０を含む。レチクルポッド１００は、ポッドドーム１１４およびポッドドア１１６を含む、外側部分１１２をも含む。図１中に示されている実施形態では、ポッドドーム１１４は、作動表面１１８を含む。

【0033】

レチクルポッド１００は、レチクルを格納し、異なるフォトリソグラフィ処理ステップの間でレチクルを搬送するように構成されたポッドである。レチクルは、たとえば、半導体ウエハのためのフォトリソグラフィマスクである。

【0034】

内側部分１０２は、レチクルが置かれ得るレチクルポッド１００の部品である。内側部分１０２は、ベースプレート１０４およびカバー１０６によって画定された内部空間１３２を含む。内部空間１３２は、内部空間１３２がレチクルを収納することができるようにサイズ決定され得る。内側部分１０２の構成要素、すなわち、カバー１０４およびベースプレート１０６の一方または両方は、アルミニウムまたは別の同様の好適な材料など、金属または合金を含み得る。

【0035】

ベースプレート１０４は、レチクルポッド１００の内側部分１０２の部品である。レチクルポッド１００が組み立てられたとき、ベースプレート１０４は、ポッドドア１１６によって支持され得る。ベースプレート１０４は、レチクルポッド１００の内側部分１０２の下部を形成し得る。ベースプレート１０４は、レチクルがベースプレート１０４上で静止し得るように構成され得る。

【0036】

ベースプレート１０４は、１つまたは複数のレチクルコンタクト１２０を含み得る。実施形態では、レチクルコンタクト１２０は、レチクルコンタクト１２０が、レチクルポッド１００の内側部分１０２が組み立てられたとき、カバー１０６に対向するように、ベースプレート１０４の内側に固着される。実施形態では、レチクルコンタクト１２０は、ベースプレート１０４の中へのレチクルコンタクト１２０の一部分の挿入など、機械的接続を介して所定の位置に固着される。実施形態では、レチクルコンタクト１２０は、ベースプレート１０４中に一体に形成される。実施形態では、ベースプレート１０４中に形成されたまたはベースプレート１０４に取り付けられた少なくとも３つのレチクルコンタクト１２０がある。実施形態では、ベースプレート１０４中に形成されたまたはベースプレート１０４に取り付けられた４つのレチクルコンタクト１２０がある。実施形態では、レチクルコンタクト１２０は、内側部分１０２の内部空間１３２の隅角部に対応するベースプレート上の位置に位置決めされる。レチクルコンタクト１２０は、レチクル材料と親和性がある材料を含む。親和性がある材料は、レチクル材料と接触しているとき、ほとんどまたは全く粒子生成をもたらさず、レチクルを傷つけることがないかまたはさもなければレチクルに損傷を与えることがない材料を含む。実施形態では、親和性がある材料は、ポリマー材料である。レチクルコンタクト１２０は、少なくとも、レチクルポッド１００が組み立てられたときにレチクルに接触するように構成された接触点において、親和性がある材料を含み得る。実施形態では、レチクルコンタクト１２０は、全体的に、レチクルに接触するのに好適なポリマー材料で作られる。好適なポリマー材料は、たとえば、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ポリアリールエーテルケトン（ＰＡＥＫ）、ポリエチレンイミン（ＰＥＩ）、ポリアミドイミド（ＰＡＩ）、または導電性ポリマーを含む。

【0037】

カバー１０６は、ベースプレート１０４と接合されるように構成された内側部分１０２の別の部品である。カバー１０６は、内側部分１０２の上部を形成し得る。カバー１０６は、ベースプレート１０４と合致しているかまたはベースプレート１０４と機械的に親和性がある特徴を含み得る。図１中に示されている実施形態では、カバー１０６は、カバー１０６の表面から延びるレチクル仕切壁１０８を含む。

【0038】

図１中に示されている実施形態では、レチクル仕切壁１０８は、カバー１０６から延びる。レチクル仕切壁１０８は、カバー１０６およびベースプレート１０４が、内側部分１０２を形成するために組み立てられたとき、ベースプレート１０４に対向するカバー１０６の表面から延びる。レチクル仕切壁１０８は、レチクルを収納するように構成された内側部分１０２の内部空間１３２の周辺を画定し得る。実施形態では、レチクル仕切壁１０８は、１つまたは複数の貫通穴１２２を含む。レチクル保持器１１０は、貫通穴１２２を通って延び得る。レチクル保持器１１０は、さらに、ばね、たとえば、金属ばね、弾性ポリマーなどの弾性材料、またはレチクル保持器１１０へのレチクル仕切壁１０８の他の同様の好適な弾性接続を介してレチクル仕切壁１０８に接続され得る。実施形態では、レチクル保持器１１０およびレチクル仕切壁１０８の接続は、貫通穴１２２の中に延びる金属ばねであり得る。

【0039】

レチクル保持器１１０は、貫通穴１２２においてレチクル仕切壁１０８を通って延びる。レチクル保持器１１０は、直線的に移動可能である。レチクル保持器１１０の直線運動の範囲の一部分では、レチクル保持器１１０は、レチクルがレチクルポッド１００の内側部分１０２内に置かれたときに、レチクルに接触し得る。複数のレチクル保持器１１０が、レチクル仕切壁１０８に沿って分散させられ得る。実施形態では、レチクル仕切壁１０８は、正方形を形成し、少なくとも１つのレチクル保持器１１０が、その正方形の各辺に配設される。実施形態では、レチクル仕切壁１０８は、正方形を形成し、少なくとも２つのレチクル保持器１１０が、その正方形の各辺に配設される。実施形態では、レチクル仕切壁１０８によって画定された形状の各側のレチクル保持器１１０は、形状の向き合う側にある向かい合うレチクル保持器１１０であり、したがって、レチクルは、向き合うレチクル保持器１１０の間で締め付けられる。レチクル保持器１１０は、レチクルに接触したとき、レチクルポッド１００の移動およびハンドリング中など、レチクルポッド１００が移動を受けるとき、あるいはレチクルポッド１００を落とすかまたはぶつけるなどの衝撃事象中に、レチクルポッド１００の内側部分内でのレチクルの移動を制限または防止するように構成される。

【0040】

レチクル保持器１１０は、レチクル保持器１１０の一方の側に、レチクル仕切壁１０８の外側にある接触表面１２４を含む。接触表面１２４は、作動表面１１８に接触するように構成される。接触表面１２４は、作動表面１１８の接触が、ベースプレート１０４およびカバー１０６によって画定された内部空間１３２に向かう内側への成分を含む力をレチクル保持器１１０に加えるように構成される。接触表面１２４は、接触表面１２４および作動表面１１８の両方が、平坦な表面である、または接触表面１２４が、湾曲作動表面１１８と合致するように構成された湾曲面を有するなど、作動表面１１８と相補的な形状を有し得る。接触表面１２４は、たとえば、レチクル仕切壁１０８を通るレチクル保持器１１０の移動方向に関して鋭角Ａにある平面を有する平坦な表面であり得る。

【0041】

実施形態では、レチクル保持器１１０は、レチクルと界面を有するように成形された係合表面１２６を含む。実施形態では、係合表面１２６は、レチクルの上面に接触するように構成された平坦な突起を含む。実施形態では、この上面は、ベースプレート１０４中に含まれるレチクルコンタクト１２０に接触するレチクルの表面に向かい合う表面である。実施形態では、係合表面１２６は、レチクルの縁部における斜めのまたは他の形に対応する湾曲面を含む。実施形態では、係合表面１２６は、貫通穴１２２を通って延びる部分の断面積よりも大きい断面積を有するセクション１２８上に設けられる。

【0042】

実施形態では、貫通穴１２２を通って延びるレチクル保持器１１０のセクション１３０は、レチクル保持器１１０の配向が、レチクル仕切壁１０８に関して維持されるような、楕円形などの形状あるいはタブなどの１つまたは複数の特徴あるいは方形化セクションを有する少なくとも一部分を含み得る。

【0043】

実施形態では、レチクル保持器１１０は、ばねによって接触されるべきフランジまたは弾性材料を受けるように構成された溝など、ばねまたは弾性材料にレチクル保持器１１０を接続するための表面上の１つまたは複数の特徴を含み得る。

【0044】

レチクルポッド１００の外側部分１１２は、内側部分１０２を囲むように構成される。外側部分１１２は、ポリマー材料を含むか、または全体的にポリマー材料で作られ得る。外側部分は、ポッドドーム１１４およびポッドドア１１６を含む。実施形態では、ポッドドーム１１４およびポッドドア１１６は、外側部分１１２を形成するためにラッチによって互いに固定される。実施形態では、外側部分１１２は、内側部分１０２を収納するようにサイズ決定された内部空間１３４を含み、外側部分１１２は、ポッドドア１１６およびポッドドーム１１４が互いに固定されている間、内側部分１０２に接触する。外側部分１１２が組み立てられたときの外側部分１１２と内側部分１０２との間の接触は、外側部分１１２内に内側部分１０２を固定し得る。この接触は、外側部分１１２の内部空間１３４に対向する表面上にあるポッドドーム１１４およびポッドドア１１６上の１つまたは複数の突起、くぼみ、または他の同様の特徴によってもたらされ得る。実施形態では、外側部分１１２の構成要素のうちの少なくとも１つは、作動表面１１８を含む突起を含む。

【0045】

ポッドドーム１１４は、レチクルポッド１００の外側部分１１２の部品である。ポッドドーム１１４は、レチクルポッド１００が組み立てられたときにカバー１０６に接触するように構成された１つまたは複数の特徴を含み得る。ポッドドーム１１４は、１つまたは複数の作動表面１１８を含む１つまたは複数の突起をさらに含み得る。ポッドドーム１１４は、内部空間を含む。内部空間は、レチクルポッド１００の内側部分１０２を収納するようにサイズ決定された第１の内部空間１３４と、ポッドドア１１６を収納するように構成されたポッドドーム１１４の端部にある第２の空間（図示せず）とを含み得る。第２の空間は、リップ部（図示せず）によって画定され得る。第２の空間を取り囲むポッドドーム１１４の部分は、レチクルポッド１００の外側部分１１２を形成するためにポッドドア１１６にポッドドーム１１４を固定するためのラッチの部品を受けるように構成された１つまたは複数のスロットまたは他の開口を含み得る。

【0046】

ポッドドア１１６は、レチクルポッド１００の外側部分１１２の別の部品である。ポッドドア１１６は、レチクルポッド１００の外側部分１１２を形成するためにポッドドーム１１４と組み合わせられるように構成される。ポッドドア１１６は、ポッドドア１１６がポッドドーム１１４の端部を閉じるようにポッドドア１１６がポッドドーム１１４の空間に適合するように、サイズ決定され得る。ポッドドア１１６は、１つまたは複数のラッチによってポッドドーム１１４に接合され得る。ポッドドア１１６は、ラッチが、ポッドドーム１１４に係合していないとき、ポッドドーム１１４から取外し可能であり得る。

【0047】

図１中に示されている実施形態では、作動表面１１８は、ポッドドーム１１４からの突起上に設けられる。作動表面１１８は、たとえば、レチクル保持器１１０にそれの接触表面１２４において接触するように構成された摺動表面であり得る。作動表面１１８が、接触表面１２４においてレチクル保持器に接触したとき、レチクル保持器１１０は、ベースプレート１０４およびカバー１０６によって形成されたインテリア空間に関して内側に駆動され得る。実施形態では、作動表面１１８および接触表面１２４は、接触表面１２４に対する作動表面１１８の摺動が、レチクル保持器１１０の内側への移動を引き起こすような、向き合うくさびの面である。

【0048】

図２は、実施形態による、レチクルポッド２００の断面図を示す。レチクルポッド２００は、ベースプレート２０４およびカバー２０６を含む、内側部分２０２を含む。図２中に示されている実施形態では、ベースプレート２０４は、レチクル仕切壁２０８を含む。レチクル仕切壁２０８は、レチクル保持器２１０を含む。レチクルポッド２００は、ポッドドーム２１４およびポッドドア２１６を含む、外側部分２１２をも含む。図２中に示されている実施形態では、ポッドドア２１６は、作動表面２１８を含む。

【0049】

レチクルポッド２００は、上記で説明されたレチクルポッド１００と同様に、とりわけ、たとえば、極紫外線（ＥＵＶ）を含むフォトリソグラフィなどの処理のための移送、ハンドリング、および処理中にレチクルを格納するように構成されたポッドである。レチクルは、たとえば、半導体ウエハのためのフォトリソグラフィマスクである。

【0050】

内側部分２０２は、レチクルが置かれ得る、レチクルポッド２００の部品である。内側部分２０２は、ベースプレート２０４およびカバー２０６によって画定された内部空間２３０を含む。内部空間２３０は、内部空間２３０がレチクルを収納することができるようにサイズ決定され得る。内側部分２０２の構成要素、すなわち、カバー２０４およびベースプレート２０６のうちの一方または両方は、アルミニウムまたは別の同様の好適な材料など、金属または合金を含み得る。

【0051】

ベースプレート２０４は、１つまたは複数のレチクルコンタクト２２０を含み得る。実施形態では、レチクルコンタクト２２０は、レチクルコンタクト２２０が、レチクルポッド２００の内側部分２０２が組み立てられたときに、カバー２０６に対向するように、ベースプレート２０４の内側に固着される。実施形態では、レチクルコンタクト２２０は、たとえば、レチクルコンタクト２２０の一部分が、ベースプレート２０４中に形成された穴に押し通されるなど、機械的接続によって所定の位置に固着される。実施形態では、レチクルコンタクト２２０は、ベースプレート２０４中に一体に形成される。実施形態では、ベースプレート２０４中に形成されたまたはベースプレート２０４に取り付けられた少なくとも３つのレチクルコンタクト２２０がある。実施形態では、ベースプレート２０４中に形成されたまたはベースプレート２０４に取り付けられた４つのレチクルコンタクト２２０がある。実施形態では、レチクルコンタクト２２０は、内側部分２０２の内部空間２３０の隅角部に対応するベースプレート２０４上の位置に位置決めされる。レチクルコンタクト２２０は、レチクル材料と親和性がある材料を含む。親和性がある材料は、レチクル材料と接触しているとき、ほとんどまたは全く粒子生成をもたらさず、レチクル材料を傷つけることがないかまたはさもなければレチクル材料に損傷を与えることがない材料を含む。実施形態では、親和性がある材料は、ポリマー材料である。レチクルコンタクト２２０は、少なくとも、レチクルポッド２００が組み立てられたときにレチクルに接触するように構成された接触点において、親和性がある材料を含み得る。実施形態では、レチクルコンタクト２２０は、全体的に、レチクルに接触するのに好適なポリマー材料で作られる。好適なポリマー材料は、たとえば、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ポリアリールエーテルケトン（ＰＡＥＫ）、ポリエチレンイミン（ＰＥＩ）、ポリアミドイミド（ＰＡＩ）、または導電性ポリマーを含む。

【0052】

カバー２０６は、ベースプレート２０４と接合されるように構成された内側部分２０２の別の部品である。カバー２０６は、内側部分２０２の上部を形成し得る。カバー２０６は、ベースプレート２０４と合致しているかまたはベースプレート２０４と機械的に親和性がある特徴を含み得る。図２中に示されている実施形態では、カバー２０６は、カバー２０６の表面から延びるレチクル仕切壁２０８を含む。

【0053】

図２中に示されている実施形態では、レチクル仕切壁２０８は、カバー２０６から延びる。レチクル仕切壁２０８は、カバー２０６およびベースプレート２０４が、内側部分２０２を形成するために組み立てられることになるとき、ベースプレート２０４に対向するカバー２０６の表面２３４から延びる。代替実施形態では、レチクル仕切壁２０８は、ベースプレート２０４からカバー２０６に向かって延びてもよい。レチクル仕切壁２０８は、レチクルを収納するように構成された内側部分２０２の内部空間２３０の周辺を画定し得る。実施形態では、レチクル仕切壁１０８は、１つまたは複数の貫通穴２２２を含む。レチクル保持器２１０は、貫通穴２２２を通って延び得る。貫通穴２２２は、たとえば、断面が円形、正方形、または長方形であり得る。

【0054】

図２中に示されている実施形態では、レチクル保持器２１０は、レチクル仕切壁２０８の第１の側の第１の端部２２４と、第１の側の反対側の、レチクル仕切壁２０８の第２の側の第２の端部２２６とを含む。レチクル保持器２１０は、貫通穴２２２内に位置決めされたヒンジ２２８を介してレチクル仕切壁２０８に取り付けられる。レチクル保持器２１０は、力が第１の端部２２４に加えられたとき、レチクル保持器がヒンジ２２８を中心として回転し、第２の端部２２６の移動を引き起こすように、十分に堅い。実施形態では、レチクル保持器２１０は、第２の端部２２６がレチクルに接触したときに、レチクル保持器２１０が曲がることができるように、可撓性である。

【0055】

第１の端部２２４は、ベースプレート２０４およびカバー２０６によって画定された内部空間２３０の外側にある、レチクル仕切壁２０８の一方の側にある。第１の端部２２４は、第１の端部２２４が、内側部分２０２が外側部分２１２内に位置決めされたとき、ポッドドーム２１４またはポッドドア２１６など、外側部分２１２の部品上に含まれる特徴と接触し得るように、レチクル仕切壁２０８から離れる方向に延びる。

【0056】

第２の端部２２６は、ベースプレート２０４およびカバー２０６によって画定された内部空間２３０の内側にある、レチクル仕切壁２０８の一方の側にある。レチクル保持器２１０は、第２の端部２２６が、ベースプレート２０４およびカバー２０６によって画定された内部空間２３０内に位置決めされたレチクルに接触する位置に第２の端部２２６が回転させられ得るように構成される。第２の端部２２６は、ベースプレート２０４中のレチクルコンタクト２２０に接触するレチクルの表面の反対側のレチクルの表面上でレチクルに接触するように構成され得る。

【0057】

ヒンジ２２８は、レチクル仕切壁２０８にレチクル保持器２１０を接合するヒンジである。ヒンジ２２８は、貫通穴２２２内に位置決めされる。実施形態では、２２８は、互いの反対側にあるレチクル保持器２１０からの突起と、突起を受けるように構成された貫通穴２２２中に形成された対応する穴とを含む。実施形態では、ヒンジ２２８は、レチクル保持器２１０の中に延びる貫通穴２２２の表面からの突起を含む。ヒンジ２２８は、ヒンジ２２８を中心とする回転軸が、レチクル仕切壁２０８と同一面にあるように配向され得る。

【0058】

レチクルポッド２００の外側部分２１２は、内側部分２０２を囲むように構成される。外側部分２１２は、ポリマー材料を含むか、または全体的にポリマー材料で作られ得る。外側部分２１２は、ポッドドーム２１４およびポッドドア２１６を含む。実施形態では、ポッドドーム２１４およびポッドドア２１６は、外側部分２１２を形成するためにラッチによって互いに固定される。実施形態では、外側部分２１２は、内側部分２０２を収納するようにサイズ決定された内部空間２３２を含み、外側部分２１２は、ポッドドア２１６およびポッドドーム２１４が互いに固定されている間、内側部分２０２に接触する。外側部分２１２が組み立てられたときの外側部分２１２と内側部分２０２との間の接触は、外側部分２１２内に内側部分２０２を固定し得る。この接触は、外側部分２１２の内部空間２３２に対向する表面上にあるポッドドーム２１４およびポッドドア２１６上の１つまたは複数の突起、くぼみ、または他の同様の特徴によってもたらされ得る。実施形態では、外側部分２１２の構成要素のうちの少なくとも１つは、作動表面２１８を含む突起を含む。

【0059】

ポッドドーム２１４は、レチクルポッド２００の外側部分２１２の部品である。ポッドドーム２１４は、レチクルポッド２００が組み立てられたときにカバー２０６に接触するように構成された１つまたは複数の特徴を含み得る。ポッドドーム２１４は、レチクルポッド２００の内側部分２０２を収納するようにサイズ決定された内部空間２３２と、ポッドドア２１６を収納するように構成されたポッドドーム２１４の端部にある開口（図示せず）とを含み得る。開口は、リップ部（図示せず）によって画定され得る。第２の空間を取り囲むポッドドーム２１４の部分は、レチクルポッド２００の外側部分２１２を形成するためにポッドドア２１６にポッドドーム２１４を固定するためのラッチの部品を受けるように構成された１つまたは複数のスロットまたは他の開口を含み得る。

【0060】

ポッドドア２１６は、レチクルポッド２００の外側部分２１２の別の部品である。ポッドドア２１６は、レチクルポッド２００の外側部分２１２を形成するためにポッドドーム２１４と組み合わせられるように構成される。ポッドドア２１６は、ポッドドア２１６がポッドドーム２１４の端部を閉じるようにポッドドア２１６がポッドドーム２１４の空間に適合するように、サイズ決定され得る。ポッドドア２１６は、１つまたは複数のラッチによってポッドドーム２１４に接合され得る。ポッドドア２１６は、ラッチが、ポッドドーム２１４に係合していないとき、ポッドドーム２１４から取外し可能であり得る。ポッドドア２１６は、１つまたは複数の作動表面２１８を含む１つまたは複数の突起をさらに含み得る。

【0061】

図２中に示されている実施形態では、１つまたは複数の作動表面２１８は、ポッドドア２１６からの１つまたは複数の突起上に設けられる。作動表面２１８は、ポッドドア２１６およびポッドドーム２１４が、互いに接合または固定されたとき、第１の端部２２４に接触するように構成される。作動表面２１８とレチクル保持器２１０の第１の端部２２４との間の接触は、第１の端部２２４を押し、ヒンジ２２８を中心としてレチクル保持器を回転させる。この回転は、第２の端部２２６が、レチクルポッド２００の内側部分２０２内に位置決めされたレチクルに接触し得る位置に第２の端部２２６を移動させる。第２の端部２２６とレチクルとの間の接触は、第２の端部２２６の少なくとも一部分と、ベースプレート２０４中に含まれるレチクルコンタクト２２０との間でレチクルを締め付けることによってなど、レチクルを固定し得る。実施形態では、作動表面２１８は、それ自体で作動させられ得、たとえば、ポッドドア２１６中に含まれるラッチング機構の構成要素によって作用されるなど、作用されることによって、ポッドドア２１６から外側に突出するように移動させられ得る。

【0062】

図３は、実施形態による、１つまたは複数のレチクルコンタクトを移動させるための方法のフローチャートを示す。方法３００は、ベースプレートにカバーを接合すること３０２と、ポッドドームにポッドドアを接合すること３０４と、１つまたは複数の作動表面を、レチクル仕切壁上に位置決めされた１つまたは複数の保持特徴と接触させること３０６と、１つまたは複数の作動表面との接触を介して１つまたは複数の保持特徴を移動させること３０８とを含む。

【0063】

３０２において、カバーが、ベースプレートに接合される。カバーは、たとえば、上記で説明されたカバー１０６またはカバー２０６であり得る。ベースプレートは、たとえば、上記で説明されたベースプレート１０４または２０４であり得る。実施形態では、レチクルが、３０２においてベースプレートにカバーを接合するより前に、ベースプレート上に置かれる。実施形態では、ベースプレートにカバーを接合することは、レチクル仕切壁１０８など、レチクル仕切壁が、ベースプレート上で静止するように、ベースプレート上にカバーを置くことを含む。実施形態では、ベースプレートにカバーを接合することは、レチクル仕切壁２０８など、ベースプレートから延びるレチクル仕切壁上にカバーを置くことを含む。ベースプレートにカバーを接合すること３０２は、カバーおよびベースプレートが同じ配向にあるように、カバーおよびベースプレートを互いに位置合わせすることを含み得る。配向は、カバーおよびベースプレートのうちの一方または両方上のインターフェーシング特徴の位置合わせであり得る。

【0064】

３０４において、ポッドドアが、ポッドドームに接合される。ポッドドアは、たとえば、上記で説明されたポッドドア１１６または２１６であり得る。ポッドドームは、たとえば、上記で説明されたポッドドーム１１４または２１４であり得る。３０４において、ポッドドアおよびポッドドームは、３０２において接合されたカバーおよびベースプレートが、ポッドドームおよびポッドドア内に収容されるように、接合され得る。３０４において、ポッドドアが、ポッドドームに接合された後、ポッドドアおよびポッドドームは、１つまたは複数のラッチを介して互いに固定され得る。３０４において、ポッドドアおよびポッドドームは、ポッドドアがポッドドームによって画定された空間内にあるようにポッドドアの上にポッドドームを置くことによって、接合され得る。

【0065】

３０６において、１つまたは複数の作動表面は、レチクル仕切壁上に位置決めされた１つまたは複数の保持特徴と接触させられる。１つまたは複数の作動表面は、ポッドドームまたはポッドドア上に存在し得る。１つまたは複数の作動表面は、ポッドドアおよびポッドドームが３０４において接合されたとき、３０６において保持特徴に接触するように構成され得る。１つまたは複数の作動表面は、ポッドドームおよびポッドドアがラッチを介して固定されたとき、３０６において保持特徴に接触するように構成され得る。作動表面は、たとえば、保持特徴上の摺動表面に接触するように構成された摺動表面であり得る。実施形態では、摺動表面は、ポッドドームからの突起上に含まれる。作動表面は、たとえば、保持特徴がレチクル仕切壁の外側に延びる保持特徴の端部に接触するように構成された接触点であり得る。実施形態では、接触点は、ポッドドアからの突起上にある。

【0066】

３０８において、１つまたは複数の保持特徴は、１つまたは複数の作動表面との接触を介して移動させられる。実施形態では、作動表面は、レチクル仕切壁によって画定された空間の内側への、たとえば、レチクル保持器１１０などの保持特徴の直線移動を駆動する。実施形態では、作動表面は、保持特徴がレチクル仕切壁によって画定された空間の内側に移動するような、保持特徴上の対応する摺動表面に接触する摺動表面である。実施形態では、作動表面は、１つまたは複数の保持特徴の回転移動を駆動する。回転移動は、レチクル仕切壁の平面と同一面にある軸を中心とし得る。回転移動は、保持特徴上のレチクルコンタクトが、ベースプレートに向かう成分を有する方向にレチクルコンタクトが移動させられるように回転させられることを引き起こし得る。実施形態では、保持特徴は、レチクル仕切壁の第１の側の１つの端部と、レチクル仕切壁の反対側の第２の端部と、レチクル仕切壁に保持特徴を接合するヒンジとを含む。作動表面は、保持特徴の１つの端部に対して押圧し、ヒンジを中心とする回転を駆動する。ヒンジを中心とする回転は、第２の端部が、たとえば、ベースプレートに向かって移動させられることを引き起こす。保持特徴が、３０８において作動表面との接触によって移動させられたとき、保持特徴は、保持特徴がカバーおよびベースプレートによって画定された内部空間内のレチクルに接触する位置にあり得る。レチクルとの１つまたは複数の保持特徴の接触は、レチクルポッド内にレチクルを固定し得る。レチクルの固定は、ベースプレート中に形成されたまたはベースプレートに取り付けられたレチクルコンタクトとの接触をさらに含み得る。

【0067】

態様：

【0068】

態様１～１４のうちのいずれかは、態様１５～２０のうちのいずれかと組み合わせられ得ることを理解されたい。

【0069】

態様１．
カバーおよびベースプレートを含む内側部分であって、カバーおよびベースプレートのうちの一方が、カバーおよびベースプレートのうちのその一方から延びるレチクル仕切壁を含み、レチクル仕切壁が、１つまたは複数の保持特徴を含む、内側部分と、
ポッドドームおよびポッドドアを含む外側部分であって、ポッドドームおよびポッドドアのうちの一方が、カバーがベースプレートに接合されたときに１つまたは複数の保持特徴のうちの少なくとも１つに接触するように構成された、１つまたは複数の作動表面を含み、ポッドドームが、ポッドドアに接合され、接合されたカバーおよびベースプレートが、接合されたポッドドームおよびポッドドア内にある、外側部分と
を備え、
１つまたは複数の作動表面が１つまたは複数の保持特徴に接触したとき、保持特徴が、レチクルが接合されたカバーおよびベースプレート内に位置決めされたときに、保持特徴がレチクルに接触することが可能であるように配置されるように構成された、
レチクルポッド。

【0070】

態様２．
１つまたは複数の保持特徴の各々が、レチクル仕切壁の平面に対して０度から９０度の範囲内の角度をもつ成分を有する方向に直線的に移動可能である、態様１に記載のレチクルポッド。

【0071】

態様３．
１つまたは複数の保持特徴の各々が、ばねを含む、態様２に記載のレチクルポッド。

【0072】

態様４．
ばねが静止位置にあるとき、保持特徴が、保持特徴が１つまたは複数の作動表面のうちの１つと接触するときよりも、ベースプレートの中心から遠い位置にある、態様３に記載のレチクルポッド。

【0073】

態様５．
１つまたは複数の保持特徴の各々が、レチクル仕切壁の平面に対して０度から９０度の範囲内の角度を有する方向に直線的に移動可能である、態様２から４のいずれか１つに記載のレチクルポッド。

【0074】

態様６．
１つまたは複数の保持特徴の各々が、湾曲縁部または傾斜縁部に係合するように構成された接触表面を含む、態様２から５のいずれか１つに記載のレチクルポッド。

【0075】

態様７．
１つまたは複数の作動表面の各々が、１つまたは複数の保持特徴のうちの少なくとも１つの保持特徴の端部に対して摺動するように構成された表面である、態様２から６のいずれか１つに記載のレチクルポッド。

【0076】

態様８．
１つまたは複数の作動表面の各々が、ポッドドームから延びる、態様７に記載のレチクルポッド。

【0077】

態様９．
１つまたは複数の保持特徴の各々が、レチクル仕切壁の第１の側に位置決めされた第１の端部と、レチクル仕切壁の第２の側の第２の端部とを含み、レチクル仕切壁の第２の側が、レチクル仕切壁の第１の側の反対側にあり、１つまたは複数の保持特徴が、各々、レチクル仕切壁の平面と同一面にある軸を中心として回転可能である、態様１に記載のレチクルポッド。

【0078】

態様１０．
１つまたは複数の作動表面の各々が、ポッドドアから延びる突起である、態様９に記載のレチクルポッド。

【0079】

態様１１．
１つまたは複数の作動表面の各々が、１つまたは複数の保持特徴のうちの少なくとも１つと第２の端部において接触したとき、１つまたは複数の保持特徴の各々の第１の端部が、レチクルに接触する、態様１０に記載のレチクルポッド。

【0080】

態様１２．
１つまたは複数の保持特徴の各々が、熱可塑性材料を含む、態様１から１１のいずれか１つに記載のレチクルポッド。

【0081】

態様１３．
レチクル仕切壁が、ベースプレートから延びる、態様１から１２のいずれか１つに記載のレチクルポッド。

【0082】

態様１４．
レチクル仕切壁が、カバーから延びる、態様１から１２のいずれか１つに記載のレチクルポッド。

【0083】

態様１５．
１つまたは複数の保持特徴を操作する方法であって、
ベースプレートにカバーを接合することであって、カバーおよびベースプレートのうちの一方が、カバーおよびベースプレートのうちのその一方から延びるレチクル仕切壁を含む、ベースプレートにカバーを接合することと、
ポッドドーム中に接合されたカバーおよびベースプレートを置くことと、
ポッドドームにポッドドアを接合することであって、１つまたは複数の作動表面を、レチクル仕切壁上に位置決めされた１つまたは複数の保持特徴と接触させること、および、１つまたは複数の作動表面との接触を介して１つまたは複数の保持特徴を移動させることを含む、ポッドドームにポッドドアを接合することと
を含む、方法。

【0084】

態様１６．
１つまたは複数の保持特徴を移動させることが、レチクル仕切壁によって画定された空間の内側への１つまたは複数の保持特徴の直線移動を含む、態様１５に記載の方法。

【0085】

態様１７．
１つまたは複数の作動表面が、カバー上に位置決めされ、１つまたは複数の保持特徴のうちの少なくとも１つの保持特徴の端部に対して摺動するように構成された、態様１６に記載の方法。

【0086】

態様１８．
１つまたは複数の保持特徴を移動させることが、レチクル仕切壁の平面と同一面にある軸を中心とした１つまたは複数の保持特徴の回転移動を含む、態様１５から１７のいずれか１つに記載の方法。

【0087】

態様１９．
１つまたは複数の作動表面が、ポッドドアから延びる突起である、態様１８に記載の方法。

【0088】

態様２０．
レチクル仕切壁が、カバーから延びる、態様１５から１９のいずれか１つに記載の方法。

【0089】

本出願で開示された例は、あらゆる点で、例示的であり、限定的ではないとみなされるべきである。本開示の範囲は、上記の説明によってではなく、添付の特許請求の範囲によって指し示され、特許請求の範囲と同等な意味および範囲内のすべての変更は、特許請求の範囲の中に包含されるものとする。

【図1】

【図2】

【図3】