特許7478731有機マンガン化合物からなる化学蒸着用原料及び該化学蒸着用原料を用いた化学蒸着法

発明の名称　有機マンガン化合物からなる化学蒸着用原料及び該化学蒸着用原料を用いた化学蒸着法

出願人　田中貴金属工業株式会社　（識別番号 509352945）

　　　　特許公開件数ランキング 1635 位（8件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1045 位（8件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7478731

公報発行日　2024年5月7

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7478731

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