特許 7480594出願番号 特願 2020-97521
電子部品部材洗浄水の製造装置
出願人 栗田工業株式会社（識別番号 1063）
2026年 特許公開件数ランキング 268位 106件（※）
2026年 特許取得件数ランキング 306位 78件（※）
公報発行日 2024年5月10
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7480594 ログイン済みの方はこのURLへ
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※ 共同出願を含む
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技術分野
電子産業分野等で使用される電子部品・電子部材の洗浄水の製造装置に関し、特にアンモニアや過酸化水を添加することで、導電性と酸化還元電位を調製した電子部品や電子部材の洗浄水の洗浄性を制御可能な電子部品や電子部材の洗浄水の製造装置
発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋
しかしながら、ウエハ材料に応じて洗浄薬液を調製していたのでは高価であり、この洗浄薬液を含む排水を回収して洗浄薬液を再利用するのは困難で、薬品コストもかかるという問題点がある。
課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋
目的に鑑み、本発明は、超純水に導電性付与剤と酸化還元電位調整剤とを添加して所望とする導電性及び酸化還元電位の電子部品部材洗浄水を製造して、この電子部品部材洗浄水をユースポイントに供給する電子部品部材洗浄水の製造装置であって、超純水供給ラインに導電性付与剤注入装置及び酸化還元電位調整剤注入装置を備え、前記導電性及び酸化還元電位調整手段とユースポイントとの間に冷却機構を設けた、電子部品部材洗・・・ 続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る
発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋
本発明の電子部品部材洗浄水の製造装置によれば、超純水に導電性付与剤と酸化還元電位調整剤を微量添加した電子部品部材洗浄水を冷却機構で所定の温度に冷却してユースポイントに供給することにより、ウエハなどの電子部品部材の溶解を抑制した洗浄が可能となる。しかも、導電性付与剤と酸化還元電位調整剤を微量添加した希薄溶液とすることで、ウエハなどの電子部品部材の表面の所定の材料のみを溶解させるという溶解性のコントロールが可能となる。
この特許の権利範囲[特許請求の範囲]
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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
【図1】
本発明の一実施形態による電子部品部材洗浄水の製造装置を示す概略図である。
【図2】
従来の電子部品部材洗浄水の製造装置を示す概略図である。
代表図 図1本件の代表的な図
１ 電子部品部材洗浄水製造装置
２ 供給ライン
３ 導電性付与剤供給装置
３Ａ 配管
３Ｂ 開閉弁
４ 酸化還元電位調整剤供給装置
４Ａ 配管
４Ｂ 開閉弁
５ 導電率計
６ ＯＲＰ計
７ 冷却機構
Ｗ 超純水
Ｗ１ 洗浄水
ＵＰ ユースポイント
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