特許 7483309 切削装置及び切削方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-05-07

(45)【発行日】2024-05-15

(54)【発明の名称】切削装置及び切削方法

(51)【国際特許分類】

   B24B 55/02 20060101AFI20240508BHJP

   H01L 21/301 20060101ALI20240508BHJP

   B24B 27/06 20060101ALI20240508BHJP

   B23Q 11/10 20060101ALI20240508BHJP

【ＦＩ】

B24B55/02 D

H01L21/78 F

B24B27/06 M

B23Q11/10 E

【請求項の数】 6

(21)【出願番号】P 2020037870

(22)【出願日】2020-03-05

(65)【公開番号】P2021137915

(43)【公開日】2021-09-16

【審査請求日】2023-01-13

(73)【特許権者】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】100075384

【弁理士】

【氏名又は名称】松本 昂

(74)【代理人】

【識別番号】100172281

【弁理士】

【氏名又は名称】岡本 知広

(74)【代理人】

【識別番号】100206553

【弁理士】

【氏名又は名称】笠原 崇廣

(74)【代理人】

【識別番号】100189773

【弁理士】

【氏名又は名称】岡本 英哲

(74)【代理人】

【識別番号】100184055

【弁理士】

【氏名又は名称】岡野 貴之

(72)【発明者】

【氏名】サム キン ガイ

【審査官】山内 康明

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１０－１５８７６０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１６－１１１１７３（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許出願公開第２０１６／０３１１１２７（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ２４Ｂ ５５／０２

Ｈ０１Ｌ ２１／３０１

Ｂ２４Ｂ ２７／０６

Ｂ２３Ｑ １１／１０

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

切削ブレードが装着されるスピンドルを有した切削ユニットと、
被加工物を保持する保持面を有した保持テーブルと、
該切削ブレードに隣接するノズルと、該ノズルに接続され切削液を供給する供給源と、の間に設けられ、該供給源から該ノズルに該切削液が供給される開状態と、該供給源から該ノズルに該切削液が供給されない閉状態と、が選択されるバルブと、
該切削ユニットと該保持テーブルとを相対的に移動させる移動機構と、
該移動機構の動作を制御する移動機構制御部と、該バルブの該開状態又は該閉状態を選択するバルブ制御部と、を有する制御ユニットと、を含む切削装置であって、
該制御ユニットの該バルブ制御部は、該切削ブレードによる被加工物の切削が完了し、該切削装置が停止することなく該移動機構制御部が該移動機構を停止させる第１のタイミングで、該バルブを該開状態から該閉状態に変更し、該第１のタイミングの後の第２のタイミングまでに該切削装置が停止せず、且つ別の被加工物を切削する旨の指示が該制御ユニットに入力されない場合に、該第２のタイミングで、該バルブを該閉状態から該開状態に変更し、該第２のタイミングの後の第３のタイミングで、該バルブを該開状態から該閉状態に変更する切削装置。

【請求項2】

該制御ユニットの該バルブ制御部は、別の被加工物を切削する旨の指示が該制御ユニットに入力されていない状態で、該バルブの該閉状態から該開状態への変更と、該バルブの該開状態から該閉状態への変更と、を繰り返す請求項１に記載の切削装置。

【請求項3】

該第２のタイミングは、該第１のタイミングから１０分以上１２０分以下の時間ｔ１が経過したタイミングであり、第３のタイミングは、該第２のタイミングから１秒以上６０秒以下の時間ｔ２が経過したタイミングである請求項１又は請求項２に記載の切削装置。

【請求項4】

切削ブレードが装着されるスピンドルを有した切削ユニットと、被加工物を保持する保持面を有した保持テーブルと、該切削ブレードに隣接するノズルと、該ノズルに接続され切削液を供給する供給源と、の間に設けられ、該供給源から該ノズルに該切削液が供給される開状態と、該供給源から該ノズルに該切削液が供給されない閉状態と、が選択されるバルブと、該切削ユニットと該保持テーブルとを相対的に移動させる移動機構と、を含む切削装置の該バルブの該開状態を選択することにより該切削液を供給しながら該移動機構を動作させて、該保持テーブルにより保持された第１の被加工物を該切削ブレードで切削する第１切削ステップと、
該第１切削ステップの後、該切削装置が停止することなく該移動機構を停止させる第１のタイミングで、該バルブを該開状態から該閉状態に変更し、該切削液の供給を停止する供給停止ステップと、
該供給停止ステップの後の第２のタイミングまでに該切削装置が停止せず、且つ第２の被加工物を切削する旨の指示が該切削装置に入力されない場合に、該第２のタイミングで、該バルブを該閉状態から該開状態に変更し、該切削液の供給を開始する供給再開ステップと、
該供給再開ステップの後の第３のタイミングで、該バルブを該開状態から該閉状態に変更し、該切削液の供給を停止する供給再停止ステップと、
該供給再停止ステップの後、第２の被加工物を切削する旨の指示が該切削装置に入力された場合に、該バルブの該開状態を選択することにより該切削液を供給しながら該移動機構を動作させて、該保持テーブルにより保持された第２の被加工物を該切削ブレードで切削する第２切削ステップと、を含む切削方法。

【請求項5】

該供給停止ステップの後、第２の被加工物を切削する旨の指示が該切削装置に入力されていない状態で、該供給再開ステップと該供給再停止ステップとを繰り返す請求項４に記載の切削方法。

【請求項6】

該第２のタイミングは、該第１のタイミングから１０分以上１２０分以下の時間ｔ１が経過したタイミングであり、第３のタイミングは、該第２のタイミングから１秒以上６０秒以下の時間ｔ２が経過したタイミングである請求項４又は請求項５に記載の切削方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、被加工物を切削する際に使用される切削装置及び切削方法に関する。

【背景技術】

【0002】

携帯電話機やパーソナルコンピュータに代表される電子機器では、電子回路等のデバイスを備えるデバイスチップが必須の構成要素になっている。デバイスチップは、例えば、シリコン等の半導体材料でなるウェーハの表面側を加工予定ライン（ストリート）で複数の領域に区画し、各領域にデバイスを形成した後、この加工予定ラインに沿ってウェーハを分割することで得られる。

【0003】

ウェーハに代表される板状の被加工物をデバイスチップ等の小片へと分割する際には、例えば、回転軸であるスピンドルに対して、切削ブレードと呼ばれる環状の砥石工具を装着した切削装置が使用される。切削ブレードを高速に回転させて、切削液と呼ばれる液体を供給しながら加工予定ラインに沿って被加工物に切削ブレードを切り込ませることで、この被加工物を切削して複数の小片へと分割できる（例えば、特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特開平３－１９８３６３号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

ところで、切削液の供給に使用されるノズルや配管の内部に長時間に亘って切削液が留まると、ノズルや配管が切削液によって詰まることがある。特に、粘度の高い切削液が使用されると、この傾向はより顕著になる。そこで、被加工物を切削した後、次の被加工物を切削するまでの期間（すなわち、被加工物を切削しない期間）にも、切削液を供給し続けるようにすることが考えられる。しかしながら、この方法では、被加工物の切削に寄与しない切削液の消費が問題になる。

【0006】

本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、ノズル等の詰まりを防ぎながら切削液の消費を抑えることができる切削装置、及び切削方法を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明の一態様によれば、切削ブレードが装着されるスピンドルを有した切削ユニットと、被加工物を保持する保持面を有した保持テーブルと、該切削ブレードに隣接するノズルと、該ノズルに接続され切削液を供給する供給源と、の間に設けられ、該供給源から該ノズルに該切削液が供給される開状態と、該供給源から該ノズルに該切削液が供給されない閉状態と、が選択されるバルブと、該切削ユニットと該保持テーブルとを相対的に移動させる移動機構と、該移動機構の動作を制御する移動機構制御部と、該バルブの該開状態又は該閉状態を選択するバルブ制御部と、を有する制御ユニットと、を含む切削装置であって、該制御ユニットの該バルブ制御部は、該切削ブレードによる被加工物の切削が完了し、該切削装置が停止することなく該移動機構制御部が該移動機構を停止させる第１のタイミングで、該バルブを該開状態から該閉状態に変更し、該第１のタイミングの後の第２のタイミングまでに該切削装置が停止せず、且つ別の被加工物を切削する旨の指示が該制御ユニットに入力されない場合に、該第２のタイミングで、該バルブを該閉状態から該開状態に変更し、該第２のタイミングの後の第３のタイミングで、該バルブを該開状態から該閉状態に変更する切削装置が提供される。

【0008】

本発明の一態様において、該制御ユニットの該バルブ制御部は、別の被加工物を切削する旨の指示が該制御ユニットに入力されていない状態で、該バルブの該閉状態から該開状態への変更と、該バルブの該開状態から該閉状態への変更と、を繰り返すことがある。本発明の一態様において、例えば、該第２のタイミングは、該第１のタイミングから１０分以上１２０分以下の時間ｔ１が経過したタイミングであり、第３のタイミングは、該第２のタイミングから１秒以上６０秒以下の時間ｔ２が経過したタイミングである。

【0009】

本発明の別の一態様によれば、切削ブレードが装着されるスピンドルを有した切削ユニットと、被加工物を保持する保持面を有した保持テーブルと、該切削ブレードに隣接するノズルと、該ノズルに接続され切削液を供給する供給源と、の間に設けられ、該供給源から該ノズルに該切削液が供給される開状態と、該供給源から該ノズルに該切削液が供給されない閉状態と、が選択されるバルブと、該切削ユニットと該保持テーブルとを相対的に移動させる移動機構と、を含む切削装置の該バルブの該開状態を選択することにより該切削液を供給しながら該移動機構を動作させて、該保持テーブルにより保持された第１の被加工物を該切削ブレードで切削する第１切削ステップと、該第１切削ステップの後、該切削装置が停止することなく該移動機構を停止させる第１のタイミングで、該バルブを該開状態から該閉状態に変更し、該切削液の供給を停止する供給停止ステップと、該供給停止ステップの後の第２のタイミングまでに該切削装置が停止せず、且つ第２の被加工物を切削する旨の指示が該切削装置に入力されない場合に、該第２のタイミングで、該バルブを該閉状態から該開状態に変更し、該切削液の供給を開始する供給再開ステップと、該供給再開ステップの後の第３のタイミングで、該バルブを該開状態から該閉状態に変更し、該切削液の供給を停止する供給再停止ステップと、該供給再停止ステップの後、第２の被加工物を切削する旨の指示が該切削装置に入力された場合に、該バルブの該開状態を選択することにより該切削液を供給しながら該移動機構を動作させて、該保持テーブルにより保持された第２の被加工物を該切削ブレードで切削する第２切削ステップと、を含む切削方法が提供される。

【0010】

本発明の別の一態様において、該供給停止ステップの後、第２の被加工物を切削する旨の指示が該切削装置に入力されていない状態で、該供給再開ステップと該供給再停止ステップとを繰り返すことがある。本発明の別の一態様において、例えば、該第２のタイミングは、該第１のタイミングから１０分以上１２０分以下の時間ｔ１が経過したタイミングであり、第３のタイミングは、該第２のタイミングから１秒以上６０秒以下の時間ｔ２が経過したタイミングである。

【発明の効果】

【0011】

本発明の一態様にかかる切削装置では、切削ブレードによる被加工物の切削が完了し、移動機構制御部が移動機構を停止させる第１のタイミングで、バルブが開状態から閉状態に変更され、第１のタイミングの後、移動機構が停止している第２のタイミングで、バルブが閉状態から開状態に変更され、第２のタイミングの後、移動機構が停止している第３のタイミングで、バルブが開状態から閉状態に変更される。

【0012】

つまり、切削ブレードによる被加工物の切削が完了した後には、ノズルに切削液が間欠的に供給される。そのため、ノズルに切削液を連続的に供給し続ける場合に比べて、切削液の消費を抑えることができる。また、適切なタイミングで切削液を供給することで、切削液の供給を完全に停止する場合のように、ノズルが切削液によって詰まることもない。よって、本発明の一態様にかかる切削装置によれば、ノズル等の詰まりを防ぎながら切削液の消費を抑えることができる。

【0013】

また、本発明の別の一態様にかかる切削方法では、切削液を供給しながら第１の被加工物を切削する第１切削ステップと、該第１切削ステップの後、切削液の供給を停止する供給停止ステップと、供給停止ステップの後、切削液の供給を開始する供給再開ステップと、供給再開ステップの後、切削液の供給を停止する供給再停止ステップと、供給再停止ステップの後、切削液を供給しながら第２の被加工物を切削する第２切削ステップと、を含む。

【0014】

つまり、第１切削ステップの後、第２切削ステップの前には、ノズルに切削液が間欠的に供給される。そのため、ノズルに切削液を連続的に供給し続ける場合に比べて、切削液の消費を抑えることができる。また、適切なタイミングで切削液を供給することで、切削液の供給を完全に停止する場合のように、ノズルが切削液によって詰まることもない。よって、本発明の別の一態様にかかる切削方法によれば、ノズル等の詰まりを防ぎながら切削液の消費を抑えることができる。

【図面の簡単な説明】

【0015】

【図1】図１は、切削装置の構成例を示す斜視図である。

【図2】図２は、チャックテーブル及びその周辺の構造を模式的に示す断面図である。

【図3】図３は、制御ユニットの機能的な構造を示す機能ブロック図である。

【図4】図４は、切削方法の概要を示すフローチャートである。

【図5】図５は、切削液の供給が停止された状態の切削装置を示す断面図である。

【図6】図６は、切削液の供給が開始された状態の切削装置を示す断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0016】

添付図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。図１は、本実施形態にかかる切削装置２の構成例を示す斜視図である。なお、図１では、切削装置２の一部の構成要素を機能ブロックで示している。また、以下の説明に用いられるＸ軸方向（加工送り方向、前後方向）、Ｙ軸方向（割り出し送り方向、左右方向）、及びＺ軸方向（切込み送り方向、上下方向）は、互いに垂直である。

【0017】

図１に示すように、切削装置２は、各構成要素を支持する基台４を備えている。基台４の上面の角部には、開口４ａが形成されており、この開口４ａ内には、昇降機構（不図示）によって昇降するカセット支持台６が設けられている。カセット支持台６の上面には、複数の被加工物１１を収容するためのカセット８が載せられる。図１では、説明の便宜上、カセット８の輪郭のみを示している。

【0018】

被加工物１１は、例えば、リチウムタンタレートやリチウムナイオベート等でなる円盤状のウェーハである。被加工物１１の表面（図１では上面）側は、互いに交差する複数の加工予定ライン（ストリート）によって複数の小領域に区画されており、各小領域には、ＳＡＷ（Surface Acoustic Wave）デバイス等のデバイスが形成されている。

【0019】

この被加工物１１の裏面（図１では下面）側には、被加工物１１よりも径の大きいテープ（ダイシングテープ）１３が貼付されている。テープ１３の外周部分は、環状のフレーム１５に固定されている。このように、被加工物１１は、テープ１３を介してフレーム１５に支持された状態でカセット８に収容される。

【0020】

なお、本実施形態では、リチウムタンタレートやリチウムナイオベート等でなる円盤状のウェーハを被加工物１１としているが、被加工物１１の材質、形状、構造、大きさ等に制限はない。例えば、半導体（シリコンや、シリコンカーバイド等を含む）、セラミックス（ガラスや、サファイア等を含む）、樹脂、金属等の材料でなる基板等を被加工物１１として用いることもできる。同様に、デバイスの種類、数量、形状、構造、大きさ、配置等にも制限はない。被加工物１１には、デバイスが形成されていなくても良い。

【0021】

カセット支持台６の側方には、Ｘ軸方向に長い開口４ｂが形成されている。開口４ｂ内には、ボールねじ式のＸ軸移動機構（加工送りユニット）１０が配置されている。このＸ軸移動機構１０は、ボールねじに連結されるモーター（パルスモーター）等の駆動源（不図示）と、Ｘ軸移動テーブル（不図示）とを含んでおり、このＸ軸移動テーブルをＸ軸方向に沿って移動させる。

【0022】

Ｘ軸移動テーブルの上方は、テーブルカバー１０ａによって覆われている。また、テーブルカバー１０ａの前後には、蛇腹状の防塵防滴カバー１０ｂが取り付けられている。このＸ軸移動テーブルの上部には、被加工物１１を保持するチャックテーブル（保持テーブル）１２が、テーブルカバー１０ａから露出する態様で配置されている。

【0023】

チャックテーブル１２は、モーター等の回転駆動源（不図示）に連結されており、Ｚ軸方向に対して概ね平行な回転軸の周りに回転する。また、チャックテーブル１２は、上述したＸ軸移動機構１０によって、Ｘ軸移動テーブルとともにＸ軸方向に移動する（加工送り）。図２は、チャックテーブル１２及びその周辺の構造を模式的に示す断面図である。なお、図２では、一部の構成要素を機能ブロックで示している。

【0024】

チャックテーブル１２は、例えば、ステンレス鋼に代表される金属で形成された円盤状の枠体１４を含む。枠体１４の上面には、平面視で円形状の凹部１４ａが形成されている。凹部１４ａには、この凹部１４ａの形状に対応した円盤状の保持板１６が嵌め込まれている。また、枠体１４の周囲には、被加工物１１を支持する環状のフレーム１５を固定するための４個のクランプ１８が設けられている。

【0025】

保持板１６は、例えば、セラミックス等の材料を用いて多孔質状に形成され、この保持板１６の上面が、被加工物１１を保持する保持面１６ａとして機能する。なお、保持面１６ａは、保持板１６が凹部１４ａに嵌め込まれた状態で、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に対して概ね平行になるように形成される。

【0026】

凹部１４ａの底面１４ｂには、流路１４ｃの一端が接続されている。流路１４ｃの他端側には、バルブ（不図示）等を介して吸引源（不図示）が接続されている。そのため、バルブを開けば、流路１４ｃ等を通じて、吸引源の負圧を保持板１６の保持面１６ａに作用させることができる。なお、吸引源としては、例えば、エアーの供給源とエジェクタとを組み合わせた真空ポンプを用いることができる。ただし、ロータリーポンプ等を吸引源としても良い。

【0027】

図１に示す開口４ｂの上方には、上述した被加工物１１（フレーム１５）をチャックテーブル１２等へと搬送するための搬送ユニット（不図示）が配置されている。搬送ユニットで搬送された被加工物１１は、例えば、表面側が上方に露出するようにチャックテーブル１２の保持面１６ａに載せられる。

【0028】

開口４ｂに隣接する位置には、片持ち梁状の支持構造２０が配置されている。支持構造２０の上部には、Ｙ軸Ｚ軸移動機構（割り出し送りユニット、切り込み送りユニット）２２が設けられている。Ｙ軸Ｚ軸移動機構２２は、支持構造２０の前面（表面）に配置されＹ軸方向に対して概ね平行な一対のＹ軸ガイドレール２４を備えている。

【0029】

Ｙ軸ガイドレール２４には、Ｙ軸Ｚ軸移動機構２２を構成するＹ軸移動プレート２６がスライドできる態様で取り付けられている。Ｙ軸移動プレート２６の後面側（裏面側）には、ボールねじを構成するナット（不図示）が固定されており、このナットには、Ｙ軸ガイドレール２４に対して概ね平行なねじ軸２８が、回転できる態様でねじ込まれている。

【0030】

ねじ軸２８の一端部には、モーター（パルスモーター）（不図示）が連結されている。モーターによってねじ軸２８を回転させることで、Ｙ軸移動プレート２６はＹ軸ガイドレール２４に沿ってＹ軸方向に移動する。Ｙ軸移動プレート２６の前面（表面）には、Ｚ軸方向に対して概ね平行な一対のＺ軸ガイドレール３０が設けられている。Ｚ軸ガイドレール３０には、Ｚ軸移動プレート３２がスライドできる態様で取り付けられている。

【0031】

Ｚ軸移動プレート３２の後面側（裏面側）には、ボールねじを構成するナット（不図示）が固定されており、このナットには、Ｚ軸ガイドレール３０に対して概ね平行なねじ軸３４が、回転できる態様でねじ込まれている。ねじ軸３４の一端部には、モーター（パルスモーター）３６が連結されている。モーター３６によってねじ軸３４を回転させることで、Ｚ軸移動プレート３２はＺ軸ガイドレール３０に沿ってＺ軸方向に移動する。

【0032】

Ｚ軸移動プレート３２の下部には、切削ユニット３８が固定されている。図２に示すように、切削ユニット３８は、Ｙ軸方向に対して概ね平行な軸心を持つスピンドル４０を備えている。スピンドル４０の一端部（基端部）には、モーター等の回転駆動源（不図示）が接続されている。一方で、スピンドル４０の他端部（先端部）には、ダイヤモンド等の砥粒を樹脂等の結合剤で固定して得られる環状の切削ブレード４２が装着される。

【0033】

スピンドル４０に装着される切削ブレード４２の周囲には、ブレードカバー４４が配置されている。ブレードカバー４４は、切削ブレード４２の下端部を除く外周部を覆うことができる形状に構成されている。このブレードカバー４４の下部には、切削ブレード４２の下端部や被加工物１１に向けて切削液を噴射する第１ノズル４６が設けられている。

【0034】

また、ブレードカバー４４の第１ノズル４６よりも上方の位置には、切削ブレード４２の外周部に向けて切削液を噴射する第２ノズル４８が設けられている。すなわち、第１ノズル４６及び第２ノズル４８は、切削ブレード４２に対して隣接する位置に配置されており、それぞれが切削ブレード４２等に対して切削液を供給する。

【0035】

第１ノズル４６の上流側には、配管５０ａの下流側が接続されている。第２ノズル４８の上流側には、配管５０ｂの下流側が接続されている。配管５０ａ及び配管５０ｂの上流側には、バルブ５２等を介して、切削液を供給する供給源５４が接続されている。すなわち、バルブ５２は、第１ノズル４６及び第２ノズル４８と、この第１ノズル４６及び第２ノズル４８に接続される供給源５４と、の間に設けられている。

【0036】

バルブ５２が開いた開状態が選択されると、供給源５４から第１ノズル４６及び第２ノズル４８に切削液が供給される。また、バルブ５２が閉じた閉状態が選択されると、供給源５４から第１ノズル４６及び第２ノズル４８に切削液が供給されなくなる。供給源５４から供給される切削液としては、例えば、純水や、純水にグリセリンを添加した液体等が使用される。

【0037】

図１に示すように、Ｚ軸移動プレート３２の下部には、チャックテーブル１２によって保持される被加工物１１等を撮像するための撮像ユニット（カメラ）５６が、切削ユニット３８に隣接するように設けられている。よって、Ｙ軸Ｚ軸移動機構２２でＹ軸移動プレート２６をＹ軸方向に移動させれば、切削ユニット３８及び撮像ユニット５６は、Ｙ軸方向に移動する。

【0038】

また、Ｙ軸Ｚ軸移動機構２２でＺ軸移動プレート３２をＺ軸方向に移動させれば、切削ユニット３８及び撮像ユニット５６は、Ｚ軸方向に移動する。このように、本実施形態の切削装置２は、それぞれがモーターを有するＸ軸移動機構１０とＹ軸Ｚ軸移動機構２２とによって、チャックテーブル１２と切削ユニット３８とを相対的に移動させることができるように構成されている。

【0039】

開口４ｂに対して開口４ａと反対側の位置には、開口４ｃが形成されている。開口４ｃ内には、切削後の被加工物１１等を洗浄するための洗浄ユニット５８が配置されている。Ｘ軸移動機構１０、搬送ユニット、Ｙ軸Ｚ軸移動機構２２、切削ユニット３８、バルブ５２、撮像ユニット５６、洗浄ユニット５８等の構成要素には、制御ユニット６０が接続されている。制御ユニット６０は、被加工物１１の切削にかかる条件等に合わせて各構成要素を制御する。

【0040】

制御ユニット６０は、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）等の処理装置と、ＤＲＡＭ（Dynamic Random Access Memory）等の主記憶装置と、ハードディスクドライブやフラッシュメモリ等の補助記憶装置と、を含むコンピュータによって構成される。補助記憶装置に記憶されるソフトウェアに従い処理装置等を動作させることによって、制御ユニット６０の機能を実現できる。ただし、制御ユニット６０は、ハードウェアのみによって実現されても良い。

【0041】

図３は、制御ユニット６０の機能的な構造を示す機能ブロック図である。図３に示すように、制御ユニット６０は、Ｘ軸移動機構１０の動作を制御するＸ軸移動機構制御部６０ａと、Ｙ軸Ｚ軸移動機構２２の動作を制御するＹ軸Ｚ軸移動機構制御部６０ｂと、バルブ５２の動作を制御するバルブ制御部６０ｃと、を含んでいる。

【0042】

Ｘ軸移動機構制御部６０ａによってＸ軸移動機構１０を制御することで、チャックテーブル１２等をＸ軸方向に沿って移動させることができる。また、Ｙ軸Ｚ軸移動機構制御部６０ｂによってＹ軸Ｚ軸移動機構２２を制御することで、切削ユニット３８や撮像ユニット５６等をＹ軸方向又はＺ軸方向に沿って移動させることができる。

【0043】

更に、バルブ制御部６０ｃによってバルブ５２の開状態又は閉状態を選択することで、切削ブレード４２等に対する切削液の供給と非供給とを切り替えることができる。制御ユニット６０（Ｘ軸移動機構制御部６０ａ、Ｙ軸Ｚ軸移動機構制御部６０ｂ、バルブ制御部６０ｃ）の具体的な機能及び動作は、切削方法を説明する際に詳述する。

【0044】

次に、上述した切削装置２を用いる切削方法について説明する。図４は、本実施形態にかかる切削方法の概要を示すフローチャートである。本実施形態にかかる切削方法では、切削装置２を起動した後、図４に示すように、被加工物（第１の被加工物）１１の切削が開始される（切削ステップＳＴ１、第１切削ステップ）。

【0045】

具体的には、まず、制御ユニット６０は、被加工物１１に貼付されているテープ１３がチャックテーブル１２の保持面１６ａに接触するように、搬送ユニット等で被加工物１１をチャックテーブル１２に載せる。そして、保持面１６ａに吸引源の負圧を作用させる。併せて、フレーム１５をクランプ１８で固定する。これにより、被加工物１１は、チャックテーブル１２等によって保持される。

【0046】

次に、制御ユニット６０は、被加工物１１の任意の加工予定ラインとＸ軸方向とが概ね平行になるように、チャックテーブル１２の向きを調整する。また、所定の速度で回転させた状態の切削ブレード４２を加工予定ラインの延長線の上方に位置付ける。つまり、Ｘ軸移動機構制御部６０ａがＸ軸移動機構１０を、Ｙ軸Ｚ軸移動機構制御部６０ｂがＹ軸Ｚ軸移動機構２２を、それぞれ動作させて、チャックテーブル１２と切削ユニット３８との位置の関係を調整する。

【0047】

その後、Ｙ軸Ｚ軸移動機構制御部６０ｂがＹ軸Ｚ軸移動機構２２を動作させて、切削ブレード４２の下端の高さが被加工物１１の表面（上面）の高さよりも低くなるように切削ユニット３８を下降させる。また、バルブ制御部６０ｃがバルブ５２の開状態を選択し、第１ノズル４６及び第２ノズル４８から切削ブレード４２等に対する切削液の供給を開始する。

【0048】

この状態で、Ｘ軸移動機構制御部６０ａがＸ軸移動機構１０を動作させて、チャックテーブル１２をＸ軸方向に移動させる。これにより、図２に示すように、切削ブレード４２を加工予定ラインに切り込ませて被加工物１１を切削できる。任意の加工予定ラインの切削が完了すると、制御ユニット６０は、未切削の加工予定ラインが被加工物１１に存在するか否かを判定する（切削完了判定ステップＳＴ２）。

【0049】

未切削の加工予定ラインが被加工物１１に存在する場合、つまり、被加工物１１の切削が完了していない場合（切削完了判定ステップＳＴ２：ＮＯ）、制御ユニット６０は、残りの未切削の加工予定ラインを切削する。上述の動作は、全ての加工予定ラインで被加工物１１が切削されるまで繰り返される。ただし、バルブ制御部６０ｃは、被加工物１１の切削が完了するまでバルブ５２の開状態を維持する。

【0050】

未切削の加工予定ラインが被加工物１１に存在しない場合、つまり、被加工物１１の切削が完了した場合（切削完了判定ステップＳＴ２：ＹＥＳ）、制御ユニット６０は、搬送ユニット等でチャックテーブル１２から被加工物１１を搬出した上で、Ｘ軸移動機構１０及びＹ軸Ｚ軸移動機構２２を停止させる。すなわち、Ｘ軸移動機構制御部６０ａがＸ軸移動機構１０を、Ｙ軸Ｚ軸移動機構制御部６０ｂがＹ軸Ｚ軸移動機構２２を、それぞれ停止させる。

【0051】

また、このタイミング（第１のタイミング）で、制御ユニット６０は、切削液の供給を停止し（供給停止ステップＳＴ３）、同時に計時を開始する。図５は、切削液の供給が停止された状態の切削装置２を示す断面図である。なお、図５では、一部の構成要素を機能ブロックで示している。図５に示すように、バルブ制御部６０ｃがバルブ５２を開状態から閉状態に変更すると、切削液の供給が停止される。

【0052】

制御ユニット６０は、切削液の供給を停止したタイミング（第１のタイミング）から時間ｔ１が経過するまでに切削装置２を停止させる旨の指示が入力されたか否かを確認する（停止指示確認ステップＳＴ４）。切削装置２を停止させる旨の指示が入力された場合（停止指示確認ステップＳＴ４：ＹＥＳ）、制御ユニット６０は、切削装置２の全体を停止させる。

【0053】

切削液の供給を停止したタイミング（第１のタイミング）から時間ｔ１が経過するまでに停止の指示が入力されなかった場合（停止指示確認ステップＳＴ４：ＮＯ、経過時間確認ステップＳＴ５：ＹＥＳ）、制御ユニット６０は、時間ｔ１が経過したタイミング（第２のタイミング）で切削液の供給を開始する（供給再開ステップＳＴ６）。

【0054】

時間ｔ１の好ましい範囲は、例えば、１０分以上１２０分以下である。ただし、時間ｔ１に大きな制限はない。時間ｔ１は、例えば、切削液の種類や、第１ノズル４６及び第２ノズル４８の形状、配管の太さや長さ等の条件に合わせて任意に設定され得る。図６は、切削液の供給が開始された状態の切削装置２を示す断面図である。なお、図６では、一部の構成要素を機能ブロックで示している。図６に示すように、バルブ制御部６０ｃがバルブ５２を閉状態から開状態に変更すると、切削液の供給が開始される。

【0055】

また、制御ユニット６０は、切削液の供給を開始したタイミング（第２のタイミング）から時間ｔ２が経過したタイミング（第３のタイミング）で切削液の供給を停止する（供給再停止ステップＳＴ７）。つまり、バルブ制御部６０ｃがバルブ５２を開状態から閉状態に変更する。

【0056】

時間ｔ２の好ましい範囲は、例えば、１秒以上６０秒以下である。ただし、時間ｔ２にも大きな制限はない。時間ｔ２も、例えば、切削液の種類や、第１ノズル４６及び第２ノズル４８の形状、配管の太さや長さ等の条件に合わせて任意に設定され得る。なお、切削液の供給を停止するタイミング（第１のタイミング）から、再び切削液の供給を停止するタイミング（第３のタイミング）まで、Ｘ軸移動機構１０及びＹ軸Ｚ軸移動機構２２は停止している。

【0057】

その後、制御ユニット６０は、切削液の供給を再び停止したタイミング（第３のタイミング）から時間ｔ１が経過するまでに、別の被加工物（第２の被加工物）１１を切削する旨の指示が入力されたか否かを確認する（切削指示確認ステップＳＴ８）。切削の指示が入力された場合（切削指示確認ステップＳＴ８：ＹＥＳ）、別の被加工物１１の切削が開始される（切削ステップＳＴ１、第２切削ステップ）。

【0058】

切削液の供給を再び停止したタイミング（第３のタイミング）から時間ｔ１が経過するまでに切削の指示が入力されなかった場合（切削指示確認ステップＳＴ８：ＮＯ、経過時間確認ステップＳＴ５：ＹＥＳ）、制御ユニット６０は、時間ｔ１が経過したタイミング（第２のタイミング）で切削液の供給を開始する（供給再開ステップＳＴ６）。

【0059】

そして、制御ユニット６０は、切削液の供給を開始したタイミング（第２のタイミング）から時間ｔ２が経過したタイミング（第３のタイミング）で切削液の供給を停止する（供給再停止ステップＳＴ７）。また、制御ユニット６０は、切削液の供給を再び停止したタイミング（第３のタイミング）から時間ｔ１が経過するまでに、別の被加工物（第２の被加工物）１１を切削する旨の指示が入力されたか否かを確認する（切削指示確認ステップＳＴ８）。

【0060】

このように、本実施形態の切削方法では、被加工物（第１の被加工物）１１の切削が完了した後、別の被加工物（第２の被加工物）１１の切削が開始されるまでに、切削液の供給（供給再開ステップＳＴ６）と供給の停止（供給再停止ステップＳＴ７）とが繰り返されることになる。

【0061】

なお、切削液の供給を停止（又は再停止）したタイミング（第１のタイミング（又は第３のタイミング））から時間ｔ１が経過するまでに、別の被加工物１１を切削する旨の指示が入力された場合には（経過時間確認ステップＳＴ５：ＮＯ、切削指示確認ステップＳＴ８：ＹＥＳ）、切削液の供給の開始（供給再開ステップＳＴ６）と供給の停止（供給再停止ステップＳＴ７）とを行うことなく、別の被加工物１１の切削が開始される（切削ステップＳＴ１）。

【0062】

以上のように本実施態様にかかる切削装置２では、切削ブレード４２による被加工物１１の切削が完了し、Ｘ軸移動機構制御部６０ａ又はＹ軸Ｚ軸移動機構制御部６０ｂがＸ軸移動機構１０又はＹ軸Ｚ軸移動機構２２を停止させるタイミング（第１のタイミング）で、バルブ５２が開状態から閉状態に変更され、このタイミング（第１のタイミング）の後、Ｘ軸移動機構１０やＹ軸Ｚ軸移動機構２２が停止しているタイミング（第２のタイミング）で、バルブ５２が閉状態から開状態に変更され、このタイミング（第２のタイミング）の後、Ｘ軸移動機構１０やＹ軸Ｚ軸移動機構２２が停止しているタイミング（第３のタイミング）で、バルブ５２が開状態から閉状態に変更される。

【0063】

つまり、切削ブレード４２による被加工物１１の切削が完了した後には、第１ノズル４６、第２ノズル４８、配管５０ａ、配管５０ｂ等に切削液が間欠的に供給される。そのため、第１ノズル４６、第２ノズル４８、配管５０ａ、配管５０ｂ等に切削液を連続的に供給し続ける場合に比べて、切削液の消費を抑えることができる。また、適切なタイミングで切削液を供給することで、切削液の供給を完全に停止する場合のように、第１ノズル４６、第２ノズル４８、配管５０ａ、配管５０ｂ等が切削液によって詰まることもない。よって、第１ノズル４６、第２ノズル４８、配管５０ａ、配管５０ｂ等の詰まりを防ぎながら切削液の消費を抑えることができる。

【0064】

また、本実施態様にかかる切削方法では、切削液を供給しながら被加工物（第１の被加工物）１１を切削し（切削ステップＳＴ１、第１切削ステップ）、その後、切削液の供給を停止し（供給停止ステップＳＴ３）、その後、切削液の供給を開始し（供給再開ステップＳＴ６）、その後、切削液の供給を停止し（供給再停止ステップＳＴ７）、その後、切削液を供給しながら別の被加工物（第２の被加工物）１１を切削する（切削ステップＳＴ１、第２切削ステップ）。

【0065】

つまり、被加工物（第１の被加工物）１１を切削した後、別の被加工物（第２の被加工物）１１を切削する前には、第１ノズル４６、第２ノズル４８、配管５０ａ、配管５０ｂ等に切削液が間欠的に供給される。そのため、第１ノズル４６、第２ノズル４８、配管５０ａ、配管５０ｂ等に切削液を連続的に供給し続ける場合に比べて、切削液の消費を抑えることができる。また、適切なタイミングで切削液を供給することで、切削液の供給を完全に停止する場合のように、第１ノズル４６、第２ノズル４８、配管５０ａ、配管５０ｂ等が切削液によって詰まることもない。よって、第１ノズル４６、第２ノズル４８、配管５０ａ、配管５０ｂ等の詰まりを防ぎながら切削液の消費を抑えることができる。

【0066】

なお、本発明は、上述した実施形態の記載に制限されず種々変更して実施可能である。例えば、上述した実施形態では、時間ｔ１の間隔で切削液を繰り返し供給する切削方法について説明したが、時間ｔ１が定数である必要はない。時間ｔ１を変数とすることで、例えば、１回目の切削液の供給までの時間を長くし、２回目以降の切削液の供給までの時間を短くする、といった制御が可能になる。同様に、時間ｔ２を変数としても良い。

【0067】

その他、上述した実施形態や変形例にかかる構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。

【符号の説明】

【0068】

２ ：切削装置
４ ：基台
４ａ ：開口
４ｂ ：開口
４ｃ ：開口
６ ：カセット支持台
８ ：カセット
１０ ：Ｘ軸移動機構（加工送りユニット）
１０ａ ：テーブルカバー
１０ｂ ：防塵防滴カバー
１２ ：チャックテーブル（保持テーブル）
１４ ：枠体
１４ａ ：凹部
１４ｂ ：底面
１４ｃ ：流路
１６ ：保持板
１６ａ ：保持面
１８ ：クランプ
２０ ：支持構造
２２ ：Ｙ軸Ｚ軸移動機構（割り出し送りユニット、切り込み送りユニット）
２４ ：Ｙ軸ガイドレール
２６ ：Ｙ軸移動プレート
２８ ：ねじ軸
３０ ：Ｚ軸ガイドレール
３２ ：Ｚ軸移動プレート
３４ ：ねじ軸
３６ ：モーター（パルスモーター）
３８ ：切削ユニット
４０ ：スピンドル
４２ ：切削ブレード
４４ ：ブレードカバー
４６ ：第１ノズル
４８ ：第２ノズル
５０ａ ：配管
５０ｂ ：配管
５２ ：バルブ
５４ ：供給源
５６ ：撮像ユニット（カメラ）
５８ ：洗浄ユニット
６０ ：制御ユニット
６０ａ ：Ｘ軸移動機構制御部
６０ｂ ：Ｙ軸Ｚ軸移動機構制御部
６０ｃ ：バルブ制御部
１１ ：被加工物（第１の被加工物、第２の被加工物）
１３ ：テープ（ダイシングテープ）
１５ ：フレーム
ＳＴ１ ：切削ステップ
ＳＴ２ ：切削完了判定ステップ
ＳＴ３ ：供給停止ステップ
ＳＴ４ ：停止指示確認ステップ
ＳＴ５ ：経過時間確認ステップ
ＳＴ６ ：供給再開ステップ
ＳＴ７ ：供給再停止ステップ
ＳＴ８ ：切削指示確認ステップ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】