特許 7486333 ブロックゲージを用いたセットアップ方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-05-09

(45)【発行日】2024-05-17

(54)【発明の名称】ブロックゲージを用いたセットアップ方法

(51)【国際特許分類】

   B24B 47/22 20060101AFI20240510BHJP

   B24B 7/04 20060101ALI20240510BHJP

   B23Q 17/22 20060101ALI20240510BHJP

   H01L 21/304 20060101ALI20240510BHJP

【ＦＩ】

B24B47/22

B24B7/04 A

B23Q17/22 D

H01L21/304 631

【請求項の数】 2

(21)【出願番号】P 2020054018

(22)【出願日】2020-03-25

(65)【公開番号】P2021154396

(43)【公開日】2021-10-07

【審査請求日】2023-01-13

(73)【特許権者】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】110001014

【氏名又は名称】弁理士法人東京アルパ特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】服部 真人

【審査官】マキロイ 寛済

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１８－０５８１６０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００８－０８７１０４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１７－１９３０４３（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ２４Ｂ ４７／２２

Ｂ２４Ｂ ７／０４

Ｂ２３Ｑ １７／２２

Ｈ０１Ｌ ２１／３０４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

被加工物を保持する保持面を有するチャックテーブルと、加工具を用いて該保持面に保持された被加工物を加工する加工手段と、該加工具を該保持面に垂直な方向に移動させる移動手段と、を備える加工装置において、
該加工具を該チャックテーブルに接近させて、該保持面と該加工具の先端との間の距離を測定することによって、該保持面に該加工具の先端が接触する際の該加工具の位置を記憶させるセットアップ方法であって、
該移動手段を用いて該加工具を該チャックテーブルに接近する方向に移動させることにより、該保持面と該加工具の先端との間に隙間を形成して、該隙間に進入可能な予め厚みが定められた第１ブロックゲージと、該隙間に進入できない該第１ブロックゲージより厚い予め厚みが定められた第２ブロックゲージとを用いて該隙間に該第１ブロックゲージが進入可能で該第２ブロックゲージが進入できないことを確認する確認工程と、
該第２ブロックゲージと該第１ブロックゲージとの厚み差の半分の距離だけ、該加工具を該保持面に接近させて該保持面と該加工具の先端との間に第２隙間を形成する第２隙間形成工程と、
該第２隙間形成工程によって形成した該第２隙間に該第１ブロックゲージが進入できれば該加工具の位置を記憶部に記憶させて、該第２隙間に該第１ブロックゲージが進入できなければ該確認工程にて位置付けられた該加工具の位置を該記憶部に記憶させる記憶工程と、
を備えるセットアップ方法。

【請求項2】

被加工物を保持する保持面を有するチャックテーブルと、加工具を用いて該保持面に保持された被加工物を加工する加工手段と、該加工具を該保持面に垂直な方向に移動させる移動手段と、を備える加工装置において、
該加工具を該チャックテーブルに接近させて、該保持面と該加工具の先端との間の距離を測定することによって、該保持面に該加工具の先端が接触する際の該加工具の位置を記憶させるセットアップ方法であって、
該移動手段を用いて該加工具を該チャックテーブルに接近する方向に移動させることにより、該保持面と該加工具の先端との間に隙間を形成して、該隙間に進入可能な予め厚みが定められた第１ブロックゲージと、該隙間に進入できない該第１ブロックゲージより厚い予め厚みが定められた第２ブロックゲージとを用いて該隙間に該第１ブロックゲージが進入可能で該第２ブロックゲージが進入できないことを確認する確認工程と、
該第２ブロックゲージと該第１ブロックゲージとの厚み差の半分の距離だけ、該加工具を該保持面に接近させて該保持面と該加工具の先端との間に第２隙間を形成する第２隙間形成工程と、
該第２隙間形成工程によって形成した該第２隙間に該第１ブロックゲージが進入できれば、その位置から、
また、該第２隙間に該第１ブロックゲージが進入できなければ、直前に該加工具を該保持面に接近させた移動距離だけ該加工具を該保持面から遠ざけた位置から、
直前に該加工具を該保持面に接近させた移動距離の半分の距離だけ該加工具を該保持面に接近させることと、該加工具を該保持面に接近させた後の該保持面と該加工具の先端との間に該第１ブロックゲージが進入可能か否かを確認することとを、該保持面と該加工具の先端との間に該第１ブロックゲージが進入できなくなるまで繰り返し、
最後に該保持面と該加工具の先端との間に該第１ブロックゲージが進入できたときの該加工具の位置を、該記憶部に記憶させる記憶工程と、
を備えるセットアップ方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ブロックゲージを用いたセットアップ方法に関する。

【背景技術】

【0002】

研削砥石を用いてチャックテーブルの保持面に保持された被加工物を研削する研削加工では、チャックテーブルの保持面に研削砥石の下面を接触させた際の研削砥石の高さを加工装置に記憶させるセットアップを行う。セットアップにおいて記憶された研削砥石の高さと、被加工物の厚みとを用いることによって、保持面に保持された被加工物の上面に研削砥石の下面が接触する位置である研削開始位置へ素早く研削砥石を位置付けることができる。
セットアップでは、特許文献１に開示のように、保持面と研削砥石の下面との間に予め厚みがわかっているブロックゲージを進入させて、ブロックゲージが辛うじて進入できる隙間になったときの研削砥石の高さ位置を装置に記憶させており、記憶される研削砥石の位置には、作業者の違い等による、ばらつきが生まれる場合がある。このばらつきを小さくするために、所定の厚みのブロックゲージにもう一段厚みを厚くしたブロックゲージを連接させて形成した少なくとも二段の階段を有する階段状のブロックゲージを用いてセットアップを行っている。

【0003】

セットアップにおいては、例えば、階段状のブロックゲージの一段目が保持面と研削砥石の下面との隙間には進入できるが、二段目が該隙間に進入できないときの研削砥石の高さを記憶させる。
これによって、どの作業者がセットアップを行っても一段目と二段目との高さの差の間に研削砥石の高さが記憶されることになるので、作業者の違いによって記憶される研削砥石の位置が大きく異なる位置になることが防止できる。しかし、その高さの差の範囲において作業者によって記憶される研削砥石の高さに、ばらつきがある。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特開２００８－０８７１０４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

記憶される研削砥石の高さにばらつきがあると、研削砥石の下面が被加工物の上面に接触するまでに無駄な時間がかかるばかりでなく、研削砥石を研削開始位置に位置づけた際に被加工物の上面に研削砥石の下面が接触して、被加工物が破損することとなる。
従って、ブロックゲージを用いたセットアップには、誤差をできる限り小さくするという解決すべき課題がある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明は、被加工物を保持する保持面を有するチャックテーブルと、加工具を用いて該保持面に保持された被加工物を加工する加工手段と、該加工具を該保持面に垂直な方向に移動させる移動手段と、を備える加工装置において、該加工具を該チャックテーブルに接近させて、該保持面と該加工具の先端との間の距離を測定することによって、該保持面に該加工具の先端が接触する際の該加工具の位置を記憶させるセットアップ方法であって、該移動手段を用いて該加工具を該チャックテーブルに接近する方向に移動させることにより、該保持面と該加工具の先端との間に隙間を形成して、該隙間に進入可能な予め厚みが定められた第１ブロックゲージと、該隙間に進入できない該第１ブロックゲージより厚い予め厚みが定められた第２ブロックゲージとを用いて該隙間に該第１ブロックゲージが進入可能で該第２ブロックゲージが進入できないことを確認する確認工程と、該第２ブロックゲージと該第１ブロックゲージとの厚み差の半分の距離だけ、該加工具を該保持面に接近させて該保持面と該加工具の先端との間に第２隙間を形成する第２隙間形成工程と、該第２隙間形成工程によって形成した該第２隙間に該第１ブロックゲージが進入できれば該加工具の位置を記憶部に記憶させて、該第２隙間に該第１ブロックゲージが進入できなければ該確認工程にて位置付けられた該加工具の位置を該記憶部に記憶させる記憶工程と、を備えるセットアップ方法である。
本発明は、被加工物を保持する保持面を有するチャックテーブルと、加工具を用いて該保持面に保持された被加工物を加工する加工手段と、該加工具を該保持面に垂直な方向に移動させる移動手段と、を備える加工装置において、該加工具を該チャックテーブルに接近させて、該保持面と該加工具の先端との間の距離を測定することによって、該保持面に該加工具の先端が接触する際の該加工具の位置を記憶させるセットアップ方法であって、該移動手段を用いて該加工具を該チャックテーブルに接近する方向に移動させることにより、該保持面と該加工具の先端との間に隙間を形成して、該隙間に進入可能な予め厚みが定められた第１ブロックゲージと、該隙間に進入できない該第１ブロックゲージより厚い予め厚みが定められた第２ブロックゲージとを用いて該隙間に該第１ブロックゲージが進入可能で該第２ブロックゲージが進入できないことを確認する確認工程と、該第２ブロックゲージと該第１ブロックゲージとの厚み差の半分の距離だけ、該加工具を該保持面に接近させて該保持面と該加工具の先端との間に第２隙間を形成する第２隙間形成工程と、該第２隙間形成工程によって形成した該第２隙間に該第１ブロックゲージが進入できれば、その位置から、また、該第２隙間に該第１ブロックゲージが進入できなければ、直前に該加工具を該保持面に接近させた移動距離だけ該加工具を該保持面から遠ざけた位置から、直前に該加工具を該保持面に接近させた移動距離の半分の距離だけ該加工具を該保持面に接近させることと、該加工具を該保持面に接近させた後の該保持面と該加工具の先端との間に該第１ブロックゲージが進入可能か否かを確認することとを、該保持面と該加工具の先端との間に該第１ブロックゲージが進入できなくなるまで繰り返し、最後に該保持面と該加工具の先端との間に該第１ブロックゲージが進入できたときの該加工具の位置を、該記憶部に記憶させる記憶工程と、を備えるセットアップ方法である。

【発明の効果】

【0007】

本セットアップ方法を用いることによって、機械的に保持面と加工具の先端との間隔を狭めることができる。これにより、異なる作業者がセットアップを行うことによって生じるセットアップ誤差を小さくすることができる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】加工装置全体を表す斜視図である。

【図2】階段ブロックゲージを用いてセットアップを行う様子を側方からみた断面図である。

【図3】セットアップの流れを表す流れ図である。

【図4】（ａ）は、加工具の先端が第１高さ位置に位置づけられている様子を表す断面図であり（ｂ）は、加工具の先端が第２高さ位置に位置づけられている様子を表す断面図である。

【図5】加工具を移動させた際の加工具の先端の高さ位置と、チャックテーブルの保持面と加工具の先端との間の距離の関係を表す表である。

【図6】（ａ）は、加工具の先端が第２高さ位置に位置づけられている様子を表す断面図であり（ｂ）は、加工具の先端が第３高さ位置に位置づけられている様子を表す断面図である。

【図7】（ａ）は、加工具の先端が第３高さ位置に位置づけられている様子を表す断面図であり（ｂ）は、加工具の先端が第４高さ位置に位置づけられている様子を表す断面図である。

【図8】（ａ）は、加工具の先端が第３高さ位置に位置づけられている様子を表す断面図であり（ｂ）は、加工具の先端が第５高さ位置に位置づけられている様子を表す断面図である。

【図9】（ａ）は、加工具の先端が第５高さ位置に位置づけられている様子を表す断面図であり（ｂ）は、加工具の先端が第６高さ位置に位置づけられている様子を表す断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0009】

１ 加工装置
図１に示す加工装置１は、加工手段３を用いて被加工物１３を加工する加工装置である。以下、加工装置１について説明する。

【0010】

図１に示すように、加工装置１は、Ｙ軸方向に延設されたベース１０と、ベース１０の＋Ｙ方向側に立設されたコラム１１とを備えている。

【0011】

コラム１１の－Ｙ方向側の側面には、加工手段３を昇降可能に支持する移動手段４が配設されている。加工手段３は、Ｚ軸方向の回転軸３５を有するスピンドル３０と、スピンドル３０を回転可能に支持するハウジング３１と、回転軸３５を軸にしてスピンドル３０を回転駆動するスピンドルモータ３２と、スピンドル３０の下端に接続された円環状のマウント３３と、マウント３３の下面に着脱可能に装着された加工具３４とを備えている。
加工具３４は、例えば研削ホイールであり、ホイール基台３４１と、ホイール基台３４１の下面に環状に配列された略直方体形状の複数の研削砥石３４０とを備えている。研削砥石３４０の先端３４２は、被加工物１３に接触する研削面となっている。

【0012】

移動手段４は、Ｚ軸方向の回転軸４５を有するボールネジ４０と、ボールネジ４０に対して平行に配設された一対のガイドレール４１と、回転軸４５を軸にしてボールネジ４０を回転させるＺ軸モータ４２と、Ｚ軸モータ４２の回転量の測定・制御等を行うエンコーダ４２０と、内部のナットがボールネジ４０に螺合して側部がガイドレール４１に摺接する昇降板４３と、昇降板４３に連結され加工手段３を支持するホルダ４４とを備えている。

【0013】

Ｚ軸モータ４２によってボールネジ４０が駆動されて、ボールネジ４０が回転軸４５を軸にして回転すると、これに伴って、昇降板４３がガイドレール４１に案内されてＺ軸方向に昇降移動するとともに、ホルダ４４に保持されている加工手段３の加工具３４が保持面２００に垂直な方向（Ｚ軸方向）に移動することとなる。

【0014】

エンコーダ４２０には、加工具３４の高さ位置を記憶する記憶部４２１が接続されている。エンコーダ４２０によって測定されるＺ軸モータ４２の回転量は、加工具３４のＺ軸方向の移動量に換算されて、記憶部４２１に記憶されることとなる。
移動手段４のＺ軸方向の移動量の最小分解能は、例えば０．１μｍとする。

【0015】

ベース１０の上には、チャックテーブル２が配設されている。チャックテーブル２は円板状の吸引部２０と吸引部２０を支持する環状の枠体２１とを備えている。吸引部２０の上面は被加工物１３が保持される保持面２００であり、枠体２１の上面２１０は保持面２００に面一に形成されている。
保持面２００には図示しない吸引手段等が接続されている。保持面２００に被加工物１３が載置されている状態で、図示しない吸引手段等を用いて吸引力を発揮させることにより、生み出された吸引力が保持面２００に伝達されて、保持面２００に被加工物１３を吸引保持することができる。

【0016】

チャックテーブル２の周囲にはカバー２７及びカバー２７に伸縮自在に連結された蛇腹２８が配設されている。例えば、チャックテーブル２がＹ軸方向に移動すると、カバー２７がチャックテーブル２とともにＹ軸方向に移動して蛇腹２８が伸縮することとなる。

【0017】

加工装置１のチャックテーブル２の保持面２００上には、階段ブロックゲージ８を載置可能である。階段ブロックゲージ８は、厚み８１１を有する第１ブロックゲージ８１と、第１ブロックゲージ８１に連接され第１ブロックゲージ８１より厚み差６１だけ厚い厚み８２１を有する第２ブロックゲージ８２とを備えている。第１ブロックゲージ８１の厚み８１１は、例えば２μｍとし、厚み差６１は、例えば２０μｍとする。
なお、階段ブロックゲージ８は、第１ブロックゲージ８１の上に厚み差６１の厚みのブロックゲージを積み重ねて第２ブロックゲージ８２の厚み８２１を形成してもよい。
移動手段４を用いた加工具３４のチャックテーブル２に接近する方向への移動により、保持面２００と加工具３４の先端３４２との間に形成された隙間への、階段ブロックゲージ８の進入を試みることによって、加工具３４の先端３４２と保持面２００との間に、第１ブロックゲージ８１及び第２ブロックゲージ８２がそれぞれ進入可能かどうかを確認することができる。

【0018】

チャックテーブル２は、図２に示すように、枠体２１を支持する基台２２と、基台２２を支持する３本の支持柱２３（図２において２本が図示されている）とを備えている。
基台２２の下部には、Ｚ軸方向の回転軸２５を軸にして基台２２を回転させる回転手段２４が連結されている。回転手段２４に駆動されて基台２２が回転軸２５を軸にして回転すると、基台２２に支持されているチャックテーブル２が回転軸２５を軸にして回転する構成となっている。

【0019】

加工装置１は、Ｙ軸方向に延設された内部ベース１００を備えている。内部ベース１００の上には、チャックテーブル２をＹ軸方向に移動させるＹ軸移動手段５が配設されている。
Ｙ軸移動手段５は、Ｙ軸方向の回転軸５５を有するボールネジ５０と、ボールネジ５０に対して平行に配設されたガイドレール５１と、底部に連結されたナット５４がボールネジ５０に螺合して、ガイドレール５１に沿ってＹ軸方向に往復移動する可動板５３とを備えている。可動板５３の上には支持柱２３が立設されており、可動板５３は、支持柱２３を介してチャックテーブル２を支持している。
また、Ｙ軸移動手段５は、回転軸５５を軸にしてボールネジ５０を回転させる図示しないＹ軸モータ等を備えている。
図示しないＹ軸モータ等に駆動されてボールネジ５０が回転すると、可動板５３がガイドレール５１に案内されてＹ軸方向に移動するとともに、支持柱２３を介して支持されているチャックテーブル２がＹ軸方向に移動することとなる。

【0020】

加工装置１を用いて被加工物１３を研削加工する際には、まず、被加工物１３をチャックテーブル２の保持面２００に載置して、図示しない吸引源等を作動させる。これにより、生み出された吸引力が保持面２００に伝達されて、被加工物１３が保持面２００に吸引保持される。

【0021】

そして、被加工物１３が保持面２００に吸引保持されている状態で、Ｙ軸移動手段５を用いてチャックテーブル２を＋Ｙ方向に移動させて、加工手段３の下方に位置付ける。
次いで、回転手段２４を用いて回転軸２５を軸にしてチャックテーブル２を回転させることにより、保持面２００に保持されている被加工物１３を回転させるとともに、スピンドルモータ３２を用いて回転軸３５を軸にして研削砥石３４０を回転させる。

【0022】

被加工物１３が回転軸２５を軸にして回転しており、かつ、研削砥石３４０が回転軸３５を軸にして回転している状態で、移動手段４を用いて研削砥石３４０を－Ｚ方向に下降させて、研削砥石３４０の先端３４２を被加工物１３の上面１３０に接触させる。先端３４２が被加工物１３の上面１３０に接触している状態で、さらに研削砥石３４０を－Ｚ方向に下降させることによって被加工物１３が研削される。

【0023】

２ ブロックゲージを用いたセットアップ方法
（１）確認工程
上記の階段ブロックゲージ８を用いて、加工装置１の加工具３４の高さ位置を記憶部４２１に記憶させるセットアップ方法について、以下に説明する。階段ブロックゲージ８を用いたセットアップは、図３に示すフローチャートに従って行われる。

【0024】

まず、図１に示した移動手段４を用いて加工具３４をチャックテーブル２に接近する方向（－Ｚ方向）に移動させる。
これにより、図４（ａ）に示すように、加工具３４の先端３４２の高さ位置が第１高さ位置７１に位置づけられて、保持面２００と加工具３４の先端３４２との間に第１隙間９１が形成される。第１隙間９１は、例えば１８．４μｍとする。

【0025】

保持面２００と加工具３４の先端３４２との間に第１隙間９１を形成した後、第１隙間９１に階段ブロックゲージ８を進入させる。これにより、第１ブロックゲージ８１は第１隙間９１に進入可能であるのに対して、第２ブロックゲージ８２は第１隙間９１に進入できないことを確認する。

【0026】

ここで、形成された隙間に階段ブロックゲージ８が進入したときに、該隙間に第１ブロックゲージ８１だけでなく第２ブロックゲージ８２も進入できる場合には、該隙間から一旦階段ブロックゲージ８を抜去してから、さらに加工具３４をチャックテーブル２に接近させて保持面２００と加工具３４の先端３４２との間の隙間の大きさを調整した後、再び階段ブロックゲージ８を隙間に進入させて第２ブロックゲージ８２が進入できるかどうかを確認する。
確認工程では、例えば上記の調整を、保持面２００と加工具３４の先端３４２との間の隙間が、該隙間に第１ブロックゲージ８１は進入できるが、第２ブロックゲージ８２は進入できない大きさになるまで繰り返し行い、該隙間に第１ブロックゲージ８１は進入できるが、第２ブロックゲージ８２は進入できないことを確認して終了する。

【0027】

（２）記憶工程
（イ）繰り返し工程
確認工程の終了後、第１隙間９１に進入している階段ブロックゲージ８を第１隙間９１から抜去する。そして、図４（ｂ）に示すように、第２ブロックゲージ８２と第１ブロックゲージ８１との厚み差６１の半分の距離６２（１０μｍ）だけ加工具３４を保持面２００に接近させる。これにより、加工具３４の先端３４２が第２高さ位置７２に位置づけられて、保持面２００と加工具３４の先端３４２との間に第２隙間９２が形成される。ここで、第２隙間９２は、第１隙間９１である１８．４μｍから距離６２である１０μｍを差し引いた８．４μｍである。
図５には、加工具３４を保持面２００に段階的に接近させていったときの加工具３４の先端４３２の高さ位置と、チャックテーブル２の保持面２００と加工具３４の先端３４２との間の距離との関係を表す表が示されている。

【0028】

加工具３４を保持面２００に接近させた後、第１ブロックゲージ８１が進入できるかどうかを確認する。第２隙間９２が第１ブロックゲージ８１の厚み８１１よりも大きいため、図４（ｂ）に示すように、第２隙間９２に第１ブロックゲージ８１を進入させることができる。

【0029】

加工具３４が位置付けられた第２高さ位置７２が、図６（ａ）に示すように、第１ブロックゲージ８１の上面８１０の高さ位置７００から、距離６３だけ高い高さ位置である段差四半位置７０２よりも高い高さ位置であるとする。距離６３は、移動距離６２の半分の距離であり、厚み差６１の４分の１にあたる５μｍとする。

【0030】

加工具３４の先端３４２が第２高さ位置７２に位置づけられている状態から、直前に加工具３４を保持面２００に接近させた際の加工具３４の移動距離６２の半分の距離６３である５μｍだけ、加工具３４を保持面２００に接近させる。これにより、図６（ｂ）に示すように、加工具３４の先端３４２は第３高さ位置７３に位置づけられて、保持面２００と加工具３４の先端３４２との間に第３隙間９３が形成される。
ここで、第３隙間９３は、第２隙間９２である８．４μｍから距離６２である５μｍを差し引いた３．４μｍである。

【0031】

その後、第３隙間９３に第１ブロックゲージ８１が進入可能か否かを確認する。第３隙間９３が第１ブロックゲージ８１の厚み８１１よりも大きいため、図６（ｂ）に示すように、第３隙間９３に第１ブロックゲージ８１を進入させることができる。

【0032】

第３高さ位置７３は、図７（ａ）に示すように、第１ブロックゲージ８１の上面８１０の高さ位置７００から、距離６４だけ高い高さ位置である段差八分位置７０３よりも高い高さ位置であるとする。
上記繰り返し工程の後、加工具３４の先端３４２が第３高さ位置７３に位置づけられている状態から、直前に加工具３４を保持面２００に接近させた際の加工具３４の移動距離６３の半分の距離であり、厚み差６１の８分の１にあたる距離６４である２．５μｍだけ、加工具３４を保持面２００に接近させる。これにより、図７（ｂ）に示すように、加工具３４の先端３４２は第４高さ位置７４に位置づけられて、保持面２００と加工具３４の先端３４２との間に第４隙間９４が形成される。
ここで、第４隙間９４は、第３隙間９３である３．４μｍから距離６４である２．５μｍを差し引いた０．９μｍである。

【0033】

その後、第８隙間９８に第１ブロックゲージ８１が進入可能か否かを確認する。第４隙間９４は、第１ブロックゲージ８１の厚み８１１よりも小さいため、図７（ｂ）に示すように、第４隙間９４に第１ブロックゲージ８１を進入させることができない。

【0034】

（ロ）離間工程
第１ブロックゲージ８１を進入させることができない場合には、直前に加工具３４を保持面２００に接近させた距離６４だけ加工具３４を保持面２００から遠ざける。これにより、図８（ａ）に示すように、加工具３４の先端３４２が第３高さ位置７３に戻される。

【0035】

（ハ）第２繰り返し工程
（甲）下降ステップ
そして、離間工程の後、加工具３４の先端３４２が第３高さ位置７３に位置づけられている状態で、直前に加工具３４を接近させた距離６４の半分の距離６５である１．２５μｍの小数第２位を切り上げた１．３μｍだけ、加工具３４を下降させる。
これにより、図８（ｂ）に示すように、加工具３４の先端３４２が第５高さ位置７５に位置づけられて、保持面２００と加工具３４の先端３４２との間に第５隙間９５が形成される。第５隙間９５は、第３隙間９３である３．４μｍから１．３μｍを差し引いた２．１μｍである。

【0036】

（乙）判断ステップ
下降ステップの後、加工具３４の先端３４２と保持面２００との間に第１ブロックゲージ８１が進入可能か否かを判断する。
第５隙間９５は第１ブロックゲージ８１の厚み８１１よりも大きいため、第１ブロックゲージ８１を加工具３４の先端３４２と保持面２００との間に進入させることができる。

【0037】

次いで、再び下降ステップを行う。すなわち、図９（ａ）に示すように、保持面２００と加工具３４の先端３４２との間に第５隙間９５が形成されている状態で、直前に加工具３４を保持面２００に接近させた距離６５の半分の距離６６である０．６５μｍの小数第２位を切り上げた０．７μｍだけ加工具３４を下降させる。これにより、図９（ｂ）に示すように、加工具３４の先端３４２が第６高さ位置７６に位置づけられて、保持面２００と加工具３４の先端３４２との間に第６隙間９６が形成される。第６隙間９６は、第５隙間９５である２．１μｍから０．７μｍを差し引いた１．４μｍである。

【0038】

その後、再び判断ステップを行う。すなわち、加工具３４の先端３４２と保持面２００との間に第１ブロックゲージ８１が進入可能か否かを判断する。第６隙間９６は第１ブロックゲージ８１の厚み８１１よりも小さいため、第１ブロックゲージ８１を加工具３４の先端３４２と保持面２００との間に進入させることができない。よって、第２繰り返し工程を終了する。

【0039】

そして、第２繰り返し工程終了直後の加工具３４の高さ位置である第６高さ位置７６から、直前に加工具３４を保持面２００に接近させた移動距離、すなわち距離６６だけ加工具３４を上昇させて、保持面２００から加工具３４を遠ざけたときの加工具３４の高さ位置である第５高さ位置９５を記憶部４２１に記憶させる。

【0040】

本セットアップ方法を用いて、セットアップを行うことによって、およそ機械的に保持面２００と加工具３４の先端３４２との間隔を狭めることができる。これにより、異なる作業者がセットアップを行うことによって生じるセットアップ誤差を小さくすることができる。また、加工具３４の下降量を、第２ブロックゲージ８２の厚み８２１の半分、４分の１、８分の１、・・・と、徐々に小さくしていくため、セットアップの誤差をより小さくすることができる。
また、保持面２００と加工具３４の先端３４２との間隔を狭めることにより、被加工物１３の研削加工時に、加工具３４を被加工物１３の上面１３０に接近させ始めてから、加工具３４の先端３４２が被加工物１３の上面１３０に接触するまでの時間を短縮することができる。これにより、研削加工にかかる時間を削減することが可能となる。
なお、階段ブロックゲージ８の取り扱いを容易にするため、一段目、すなわち第一ブロックゲージ８１の厚み８１１を、２μｍではなく、例えば５．００ｍｍとしてもよい。

【符号の説明】

【0041】

１：加工装置 １０：ベース １００：内部ベース １１：コラム
２：チャックテーブル ２０：吸引部 ２００：保持面
２１：枠体 ２１０：枠体上面 ２２：基台 ２３：支持柱
２４：回転手段 ２５：回転軸 ２７：カバー ２８：蛇腹
３：加工手段 ３０：スピンドル ３１：ハウジング ３２：スピンドルモータ
３３：マウント ３４：加工具 ３４０：研削砥石 ３４２：加工具の先端（研削面）
３４１：ホイール基台 ３５：回転軸
４：移動手段 ４０：ボールネジ ４１：ガイドレール
４２：Ｚ軸モータ ４２０：エンコーダ ４３：昇降板 ４４：ホルダ ４５：回転軸
５：Ｙ軸移動手段 ５０：ボールネジ ５１：ガイドレール ５３：可動板
５４：ナット ５５：回転軸 ４２１：記憶部 ８：階段ブロックゲージ
８１：第１ブロックゲージ ８１０：第１ブロックゲージの上面
８２：第２ブロックゲージ ８２０：第２ブロックゲージの上面
１３：被加工物 １３０：被加工物の上面
８１１：第１ブロックゲージの厚み ８２１：第２ブロックゲージの厚み
６１～６６：加工具の移動距離 ７１～７６：加工具の先端の高さ位置
７００：第１ブロックゲージの上面の高さ位置 ７０１：段差真中位置
７０２：段差四半位置 ７０３：段差八分位置
９１～９６：保持面と加工具の先端のとの間の隙間

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】