特許 7486345 エキスパンド方法及びエキスパンド装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-05-09

(45)【発行日】2024-05-17

(54)【発明の名称】エキスパンド方法及びエキスパンド装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/301 20060101AFI20240510BHJP

   H01L 21/683 20060101ALI20240510BHJP

   B28D 7/04 20060101ALI20240510BHJP

   B28D 5/04 20060101ALI20240510BHJP

   B26F 3/00 20060101ALI20240510BHJP

【ＦＩ】

H01L21/78 X

H01L21/68 N

B28D7/04

B28D5/04 Z

B26F3/00 A

【請求項の数】 8

(21)【出願番号】P 2020081418

(22)【出願日】2020-05-01

(65)【公開番号】P2021176175

(43)【公開日】2021-11-04

【審査請求日】2023-04-03

(73)【特許権者】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】110002147

【氏名又は名称】弁理士法人酒井国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】藤澤 晋一

(72)【発明者】

【氏名】陳 曄

【審査官】渡井 高広

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１６－０８２１３９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１６－０８１９７６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１４－０６３８１３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１９－１１７８９１（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／３０１

Ｈ０１Ｌ ２１／６８３

Ｂ２８Ｄ ７／０４

Ｂ２８Ｄ ５／０４

Ｂ２６Ｆ ３／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

ワークが貼着されたシートをエキスパンドするエキスパンド方法であって、
第１方向でワークを挟んで互いに対向する第１バー状挟持部材と第２バー状挟持部材とで該シートを挟持し、
且つ、該第１方向に直交する第２方向でワークを挟んで互いに対向し、それぞれ該第２方向と平行な回転軸を中心に回転する複数のコロを有した第３ローラー挟持部材と、第４ローラー挟持部材とで該シートを挟持する挟持ステップと、
該第１バー状挟持部材と該第２バー状挟持部材と該第３ローラー挟持部材と該第４ローラー挟持部材とで該シートを挟持した状態で、
該第１バー状挟持部材と該第２バー状挟持部材とをそれぞれ離反する方向に移動させることで該シートを第１方向にエキスパンドするエキスパンドステップと、を備え、
該シートは、該第１方向の方が該第２方向よりもエキスパンドされ易いエキスパンド方法。

【請求項2】

第２方向でワークを挟んで互いに対向する第３バー状挟持部材と第４バー状挟持部材とで該シートを挟持し、
且つ、該第１方向でワークを挟んで互いに対向し、それぞれ該第１方向と平行な回転軸を中心に回転する複数のコロを有した第１ローラー挟持部材と、第２ローラー挟持部材とで該シートを挟持した状態で、
該第３バー状挟持部材と該第４バー状挟持部材とをそれぞれ離反する方向に移動させることで該シートを第２方向にエキスパンドする第２エキスパンドステップを備えた、請求項１に記載のエキスパンド方法。

【請求項3】

ワークが貼着されたシートをエキスパンドするエキスパンド装置であって、
第１方向でワークを挟んで互いに対向して配設され、それぞれシートを挟持する第１バー状挟持部材と第２バー状挟持部材と、
該第１方向に直交する第２方向でワークを挟んで互いに対向して配設され、該第２方向と平行な回転軸を中心に回転する複数のコロをそれぞれ有した第３ローラー挟持部材と、第４ローラー挟持部材と、を有した挟持機構と、
該第１バー状挟持部材と該第２バー状挟持部材と該第３ローラー挟持部材と該第４ローラー挟持部材とで該シートを挟持した状態で、該第１バー状挟持部材と該第２バー状挟持部材を該第１方向で互いに離反する方向に移動させる第１方向移動手段、を有する移動機構と、を備え、
該シートは、該第１方向の方が該第２方向よりもエキスパンドされ易いエキスパンド装置。

【請求項4】

該移動機構は、第３ローラー挟持部材と、第４ローラー挟持部材と、を該第２方向で互いに離反する方向に移動させる第２方向移動手段を更に有した、請求項３に記載のエキスパンド装置。

【請求項5】

該第１バー状挟持部材と該第２バー状挟持部材とは、それぞれ、鉛直方向に対向して互いの間に該シートを挟持する挟持ブロックを該第２方向に複数並べて配置し、
該第１バー状挟持部材と該第２バー状挟持部材の該鉛直方向に対向する挟持ブロックのうち上方の挟持ブロックを該第１方向と平行な回転軸を中心として回転自在に支持する、請求項３又は請求項４に記載のエキスパンド装置。

【請求項6】

該挟持機構は、該第２方向でワークを挟んで互いに対向して配設され、それぞれシートを挟持する第３バー状挟持部材と第４バー状挟持部材と、
該第１方向でワークを挟んで互いに対向して配設され、該第１方向と平行な回転軸を中心に回転する複数のコロをそれぞれ有した第１ローラー挟持部材と、第２ローラー挟持部材と、を有し、
該移動機構は、該第１ローラー挟持部材と該第２ローラー挟持部材と該第３バー状挟持部材と該第４バー状挟持部材とで該シートを挟持した状態で、該第３バー状挟持部材と該第４バー状挟持部材を該第２方向で互いに離反する方向に移動させる第２方向移動手段を更に有した、請求項３に記載のエキスパンド装置。

【請求項7】

該第３バー状挟持部材と該第４バー状挟持部材とは、それぞれ、鉛直方向に対向して互いの間に該シートを挟持する挟持ブロックを該第１方向に複数並べて配置し、
該第３バー状挟持部材と該第４バー状挟持部材の該鉛直方向に対向する挟持ブロックのうち上方の挟持ブロックを該第２方向と平行な回転軸を中心として回転自在に支持している、請求項６に記載のエキスパンド装置。

【請求項8】

該挟持ブロックの該シートと接触する表面に溝を設けている、請求項５又は請求項７に記載のエキスパンド装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ワークが貼着されたシートをエキスパンドするエキスパンド方法及びエキスパンド装置に関する。

【背景技術】

【0002】

ワークへのレーザービーム照射により改質層を形成した後、シートをエキスパンドすることでワークを分割する方法が実用化されている（例えば、特許文献１参照）。例えばチップの縦横のサイズが異なるウェーハでは、チップ間に同程度の間隔を形成しようとすると、方向によってシートのエキスパンド量を変える必要があるため、ワークが貼着されたシートの外周４辺を挟持してエキスパンドするエキスパンド装置も提案されている（例えば、特許文献２参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２００５－２５１９８６号公報

【文献】特開２０１４－６７７４９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献２に示されたエキスパンド装置は、上下に複数のコロを備えた挟持部材でシートを挟持する。コロでシートを挟持することで、直交方向へのシートのエキスパンドを妨げることなくエキスパンドが可能となる。

【0005】

ところで、一般にシートは帯状に製造されるが、製造工程上シートの伸長方向にテンションがかかっていて収縮し易く、つまり、エキスパンドされにくい。対してシートの伸長方向に直交する方向ではシートが比較的エキスパンドし易い。シートの種類によっては、特許文献２に示されたエキスパンド装置がエキスパンドすると、エキスパンドされやすい方向では上下のコロと接触した領域が局所的に引き延ばされ、コロに接触していない領域が十分にエキスパンドされないという問題がある。また、特許文献２に示されたエキスパンド装置がエキスパンドすると、コロに接触していない領域もエキスパンドするべく更にエキスパンド量を増やすと、局所的に引き延ばされた領域のみが更に引き延ばされてテープが破断するおそれもある。

【0006】

本発明の目的は、シートが局所的に引き延ばされてしまうことを抑制することができるエキスパンド方法及びエキスパンド装置を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明のエキスパンド方法は、ワークが貼着されたシートをエキスパンドするエキスパンド方法であって、第１方向でワークを挟んで互いに対向する第１バー状挟持部材と第２バー状挟持部材とで該シートを挟持し、且つ、該第１方向に直交する第２方向でワークを挟んで互いに対向し、それぞれ該第２方向と平行な回転軸を中心に回転する複数のコロを有した第３ローラー挟持部材と、第４ローラー挟持部材とで該シートを挟持する挟持ステップと、該第１バー状挟持部材と該第２バー状挟持部材と該第３ローラー挟持部材と該第４ローラー挟持部材とで該シートを挟持した状態で、該第１バー状挟持部材と該第２バー状挟持部材とをそれぞれ離反する方向に移動させることで該シートを第１方向にエキスパンドするエキスパンドステップと、を備え、該シートは、該第１方向の方が該第２方向よりもエキスパンドされ易いことを特徴とする。

【0008】

前記エキスパンド方法では、第２方向でワークを挟んで互いに対向する第３バー状挟持部材と第４バー状挟持部材とで該シートを挟持し、且つ、該第１方向でワークを挟んで互いに対向し、それぞれ該第１方向と平行な回転軸を中心に回転する複数のコロを有した第１ローラー挟持部材と、第２ローラー挟持部材とで該シートを挟持した状態で、該第３バー状挟持部材と該第４バー状挟持部材とをそれぞれ離反する方向に移動させることで該シートを第２方向にエキスパンドする第２エキスパンドステップを備えても良い。

【0009】

本発明のエキスパンド装置は、ワークが貼着されたシートをエキスパンドするエキスパンド装置であって、第１方向でワークを挟んで互いに対向して配設され、それぞれシートを挟持する第１バー状挟持部材と第２バー状挟持部材と、該第１方向に直交する第２方向でワークを挟んで互いに対向して配設され、該第２方向と平行な回転軸を中心に回転する複数のコロをそれぞれ有した第３ローラー挟持部材と、第４ローラー挟持部材と、を有した挟持機構と、該第１バー状挟持部材と該第２バー状挟持部材と該第３ローラー挟持部材と該第４ローラー挟持部材とで該シートを挟持した状態で、該第１バー状挟持部材と該第２バー状挟持部材を該第１方向で互いに離反する方向に移動させる第１方向移動手段、を有する移動機構と、を備え、該シートは、該第１方向の方が該第２方向よりもエキスパンドされ易いことを特徴とする。

【0010】

前記エキスパンド装置では、該移動機構は、第３ローラー挟持部材と、第４ローラー挟持部材と、を該第２方向で互いに離反する方向に移動させる第２方向移動手段を更に有しても良い。
前記エキスパンド装置では、該第１バー状挟持部材と該第２バー状挟持部材とは、それぞれ、鉛直方向に対向して互いの間に該シートを挟持する挟持ブロックを該第２方向に複数並べて配置し、該第１バー状挟持部材と該第２バー状挟持部材の該鉛直方向に対向する挟持ブロックのうち上方の挟持ブロックを該第１方向と平行な回転軸を中心として回転自在に支持しても良い。

【0011】

前記エキスパンド装置では、該挟持機構は、該第２方向でワークを挟んで互いに対向して配設され、それぞれシートを挟持する第３バー状挟持部材と第４バー状挟持部材と、該第１方向でワークを挟んで互いに対向して配設され、該第１方向と平行な回転軸を中心に回転する複数のコロをそれぞれ有した第１ローラー挟持部材と、第２ローラー挟持部材と、を有し、該移動機構は、該第３バー状挟持部材と該第４バー状挟持部材を該第２方向で互いに離反する方向に移動させる第２方向移動手段を更に有しても良い。
前記エキスパンド装置では、該第３バー状挟持部材と該第４バー状挟持部材とは、それぞれ、鉛直方向に対向して互いの間に該シートを挟持する挟持ブロックを該第１方向に複数並べて配置し、該第３バー状挟持部材と該第４バー状挟持部材の該鉛直方向に対向する挟持ブロックのうち上方の挟持ブロックを該第２方向と平行な回転軸を中心として回転自在に支持しても良い。
前記エキスパンド装置では、該挟持ブロックの該シートと接触する表面に溝を設けても良い。

【発明の効果】

【0012】

本発明は、シートが局所的に引き延ばされてしまうことを抑制することができるという効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【0013】

【図1】図１は、実施形態１に係るエキスパンド装置の構成例を示す斜視図である。

【図2】図２は、図１に示されたエキスパンド装置の加工対象のワークを示す斜視図である。

【図3】図３は、図２に示されたワークとエキスパンドシート等を示す斜視図である。

【図4】図４は、図１に示されたエキスパンド装置のワーク、各挟持ユニットを模式的に示す平面図である。

【図5】図５は、図４に示された第１保持ユニット及び第２保持ユニットを模式的に示す正面図である。

【図6】図６は、図５に示された第１保持ユニット及び第２保持ユニットの挟持ブロックを示す斜視図である。

【図7】図７は、実施形態１に係るエキスパンド方法の流れを示すフローチャートである。

【図8】図８は、図７に示されたエキスパンド方法の挟持ステップの第１方向と平行な方向のエキスパンド装置の要部を模式的に示す側面図である。

【図9】図９は、図７に示されたエキスパンド方法の挟持ステップの第２方向と平行な方向のエキスパンド装置の要部を模式的に示す側面図である。

【図10】図１０は、図７に示されたエキスパンド方法のエキスパンドステップの第１方向と平行な方向のエキスパンド装置の要部を模式的に示す側面図である。

【図11】図１１は、図７に示されたエキスパンド方法のエキスパンドステップの第１保持ユニットで保持されたエキスパンドシートを模式的に示す平面図である。

【図12】図１２は、比較例のエキスパンド装置がエキスパンドした第１保持ユニットで保持されたエキスパンドシートを模式的に示す平面図である。

【図13】図１３は、実施形態２に係るエキスパンド装置のワーク、各挟持ユニットを模式的に示す平面図である。

【図14】図１４は、実施形態２に係るエキスパンド方法の流れを示すフローチャートである。

【発明を実施するための形態】

【0014】

本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。

【0015】

〔実施形態１〕
本発明の実施形態１に係るエキスパンド装置を図面に基づいて説明する。図１は、実施形態１に係るエキスパンド装置の構成例を示す斜視図である。図２は、図１に示されたエキスパンド装置の加工対象のワークを示す斜視図である。図３は、図２に示されたワークとエキスパンドシート等を示す斜視図である。図４は、図１に示されたエキスパンド装置のワーク、各挟持ユニットを模式的に示す平面図である。図５は、図４に示された第１保持ユニット及び第２保持ユニットを模式的に示す正面図である。図６は、図５に示された第１保持ユニット及び第２保持ユニットの挟持ブロックを示す斜視図である。

【0016】

実施形態１に係る図１に示すエキスパンド装置１は、図２に示すワーク２００が貼着されたシートであるエキスパンドシート２０１（図３に示す）をエキスパンド（拡張ともいう）して、ワーク２００を個々のチップ２２０に分割する装置である。実施形態１に係るエキスパンド装置１の加工対象であるワーク２００は、図２に示すように、シリコン、サファイア、ガリウムヒ素又はＳｉＣ（炭化ケイ素）などを基板２０３とする円板状の半導体ウェーハや光デバイスウェーハなどのウェーハである。

【0017】

実施形態１では、ワーク２００は、図２に示すように、基板２０３の表面２０４の互いに交差する複数の分割予定ライン２０５で区画された各領域にそれぞれデバイス２０２が形成されている。ワーク２００は、分割予定ライン２０５に沿って基板２０３の内部に分割起点である改質層２０６（図２中に破線で示す）が形成されている。改質層２０６は、密度、屈折率、機械的強度やその他の物理的特性が周囲のそれとは異なる状態になった領域のことを意味し、溶融処理領域、クラック領域、絶縁破壊領域、屈折率変化領域、及びこれらの領域が混在した領域等を例示できる。実施形態１では、改質層２０６は、基板２０３の他の部分よりも機械的な強度が低い。

【0018】

また、実施形態１において、ワーク２００は、図３に示すように、基板２０３の裏面２０７側にエキスパンドシート２０１が貼着され、エキスパンド装置１により改質層２０６に沿って個々のチップ２２０に分割される。チップ２２０は、基板２０３の一部分と、基板２０３の表面２０４に形成されたデバイス２０２とを備える。

【0019】

エキスパンドシート２０１は、伸縮性を有し、例えば、加熱された合成樹脂が第２方向２１２に沿って伸長されながら、第２方向２１２に対して直交する第１方向２１１に延伸されて成形される。即ち、第２方向２１２は、第１方向２１１に対して直交している。エキスパンドシート２０１は、伸縮性を有する合成樹脂により構成された基材層と、基材層に積層されかつ伸縮性と粘着性とを有する合成樹脂により構成された粘着層とを備える。実施形態１では、第２方向２１２は、所謂流れ方向（ＭＤ：Machine Direction方向）であり、第１方向２１１は、所謂垂直方向（ＴＤ：Transverse Direction方向）である。なお、粘着層の表面を、以下、粘着面２０１－１と記し、基材層の表面を、以下、基材面２０１－２と記す。

【0020】

実施形態１に係るエキスパンド装置１は、ワーク２００に貼着したエキスパンドシート２０１を第２方向２１２と、第１方向２１１とにエキスパンドして、ワーク２００を個々のチップ２２０に分割するとともに、互いに隣接するチップ２２０間に間隔を形成する装置である。また、エキスパンド装置１は、エキスパンドシート２０１をエキスパンドして、互いに隣接するチップ２２０間に間隔を形成した後、エキスパンドシート２０１に内径がワーク２００よりも大径な環状フレーム２０９を貼着して、環状フレーム２０９の開口２１０内にワーク２００を支持する。

【0021】

また、実施形態１において、エキスパンドシート２０１は、第２方向２１２に伸長されながら整形されるため、第２方向２１２にテンションが付与されており、第２方向２１２の方が、第１方向２１１よりもエキスパンドされにくい。即ち、実施形態１では、エキスパンドシート２０１は、第１方向２１１の方が第２方向２１２よりもエキスパンドされ易い。なお、本発明では、エキスパンドシート２０１のエキスパンドされにくい方向及びエキスパンドされ易い方向は、実施形態１に記載された方向に限定されない。

【0022】

エキスパンド装置１は、図１に示すように、平板状の固定基台２と、固定基台２の中央に設けられた保持テーブル１０と、図示しないワーク搬送ユニットと、エキスパンドシート挟持ユニット５０と、図示しないフレーム搬送ユニットと、シート切断ユニット９０と、制御ユニット１００とを備える。

【0023】

保持テーブル１０は、円板状に形成され、エキスパンドシート２０１が保持面１１に載置される。保持テーブル１０は、移動機構によって鉛直方向に移動自在に設けられている。保持面１１は、水平方向に沿って平坦に形成され、エキスパンドシート２０１を介してワーク２００が載置可能な直径を有している。保持面１１は、エキスパンドシート２０１を介して、ワーク２００が載置される。

【0024】

ワーク搬送ユニットは、エキスパンドシート挟持ユニット５０の上方に配置され、かつ下面にワーク２００を保持する。ワーク搬送ユニットは、昇降ユニットにより鉛直方向に移動自在に設けられているとともに、水平方向移動ユニットにより水平方向に移動自在に設けられる。ワーク搬送ユニットは、水平方向移動ユニットにより、下面に保持したワーク２００が保持テーブル１０と同軸となる位置に配置されて、保持テーブル１０と鉛直方向に対面する位置にワーク２００を位置付ける。また、ワーク搬送ユニットは、昇降ユニットにより下降されることで、エキスパンドシート２０１にワーク２００を貼着する。

【0025】

エキスパンドシート挟持ユニット５０は、エキスパンドシート２０１を保持するものである。エキスパンドシート挟持ユニット５０は、第１保持ユニット５１－１と、第２保持ユニット５１－２と、第３保持ユニット５１－３と、第４保持ユニット５１－４と、を備える。第１保持ユニット５１－１、第２保持ユニット５１－２、第３保持ユニット５１－３、及び第４保持ユニット５１－４は、ワーク２００が貼着されたエキスパンドシート２０１をワーク２００の外周で保持する挟持ユニットである。

【0026】

第１保持ユニット５１－１、第２保持ユニット５１－２、第３保持ユニット５１－３及び第４保持ユニット５１－４は、それぞれエキスパンドシート２０１のワーク２００よりも外周側の位置を挟持して保持する。第１保持ユニット５１－１と第２保持ユニット５１－２は、互いに構成が略等しいので、同一部分に同一符号を付して説明し、第３保持ユニット５１－３と第４保持ユニット５１－４は、互いに構成が略等しいので、同一部分に同一符号を付して説明する。また、第１保持ユニット５１－１、第２保持ユニット５１－２、第３保持ユニット５１－３及び第４保持ユニット５１－４の同一部分に同一符号を付して説明する。

【0027】

第１保持ユニット５１－１、第２保持ユニット５１－２、第３保持ユニット５１－３及び第４保持ユニット５１－４は、固定基台２上に設けられた柱状の移動基台５２を備える。

【0028】

第１保持ユニット５１－１及び第２保持ユニット５１－２は、それぞれ、挟持ユニット６０を備える。第１保持ユニット５１－１の挟持ユニット６０と、第２保持ユニット５１－２の挟持ユニット６０とは、図４に示すように、第１方向２１１で保持テーブル１０に保持されるワーク２００を挟んで対向して配設され、互いの間に保持テーブル１０を位置付けている。なお、図４は、ワーク２００のデバイス２０２を省略している。

【0029】

第１保持ユニット５１－１及び第２保持ユニット５１－２の挟持ユニット６０の構成は、等しいので、以下、第１保持ユニット５１－１の挟持ユニット６０を代表して説明する。挟持ユニット６０は、図５に示すように、互いに鉛直方向に沿って対向する上方挟持部６１と、下方挟持部６２とを備える。上方挟持部６１及び下方挟持部６２は、第２方向２１２と平行な直線状に形成されている。上方挟持部６１は、移動基台５２の上端部から水平方向に伸びた支持アーム６３の先端に支持され、下方挟持部６２は、移動基台５２の上端部から水平方向に伸びた支持アーム６３の先端に支持されている。

【0030】

上方挟持部６１及び下方挟持部６２は、それぞれ、支持アーム６３の先端に固定された挟持部本体部材６４と、ローラー挟持部材６５と、バー状挟持部材６６とを備える。挟持部本体部材６４は、第２方向２１２と平行な直線状の柱状に形成されている。

【0031】

ローラー挟持部材６５は、上方挟持部６１及び下方挟持部６２それぞれの挟持部本体部材６４の長手方向と平行でかつ挟持部本体部材６４と全長が等しい柱状に形成されているとともに、挟持部本体部材６４に固定されたシリンダ６７の伸縮ロッドの先端に取り付けられている。上方挟持部６１のローラー挟持部材６５と、下方挟持部６２のローラー挟持部材６５とは、鉛直方向に対向して配置され、互いに対向する表面に第１方向２１１と平行な回転軸６８を中心に回転する円柱状の複数のコロ６９を回転自在に支持して、それぞれ、複数のコロ６９を有している。

【0032】

また、上方挟持部６１のローラー挟持部材６５と、下方挟持部６２のローラー挟持部材６５とは、シリンダ６７の伸縮ロッドが伸長すると、互いに近づいて互いのコロ６９の間にエキスパンドシート２０１を挟持するとともに、シリンダ６７の伸縮ロッドが縮小すると、互いに離れる。なお、第１保持ユニット５１－１の挟持ユニット６０のローラー挟持部材６５を、以下、第１ローラー挟持部材６５（以下、符号６５－１で示す）と記し、第２保持ユニット５１－１の挟持ユニット６０のローラー挟持部材６５を、以下、第２ローラー挟持部材６５（以下、符号６５－２で示す）と記す。このために、第１ローラー挟持部材６５－１と、第２ローラー挟持部材６５－２とは、第１方向２１１で保持テーブル１０に保持されるワーク２００を挟んで互いに対向して配設されている。

【0033】

バー状挟持部材６６は、図５に示すように、上方挟持部６１及び下方挟持部６２それぞれの挟持部本体部材６４の長手方向に沿って複数並べられて配置された挟持ブロック７０を備え、挟持ブロック７０が、挟持部本体部材６４に固定されたシリンダ７１の伸縮ロッドの先端に取り付けられている。上方挟持部６１のバー状挟持部材６６の挟持ブロック７０と、下方挟持部６２のバー状挟持部材６６の挟持ブロック７０とは、鉛直方向に対向して配置され、ローラー挟持部材６５－１，６５－２の第１方向２１１の隣に配置されている。上方挟持部６１のバー状挟持部材６６の挟持ブロック７０と、下方挟持部６２のバー状挟持部材６６の挟持ブロック７０との互いに対向する表面７２は、水平方向に沿って平坦に形成されている。

【0034】

また、上方挟持部６１のバー状挟持部材６６では、図５及び図６に示すように、二つの挟持ブロック７０が一つのシリンダ７１の伸縮ロッドの先端に回動支持部材７３を介して取り付けられている。回動支持部材７３は、二つの挟持ブロック７０を第１方向２１１と平行な回転軸７４を中心として回転自在に支持している。実施形態１では、下方挟持部６２のバー状挟持部材６６では、全ての挟持ブロック７０が互いに固定されている。

【0035】

また、上方挟持部６１のバー状挟持部材６６と、下方挟持部６２のバー状挟持部材６６とは、シリンダ７１の伸縮ロッドが伸長すると、互いに近づいて互いの挟持ブロック７０の間にエキスパンドシート２０１を挟持するとともに、シリンダ７１の伸縮ロッドが縮小すると、互いに挟持ブロック７０が離れる。上方挟持部６１のバー状挟持部材６６の挟持ブロック７０が回動支持部材７３より回転軸７４を中心として回転自在に支持されているので、下方挟持部６２のバー状挟持部材６６との間にエキスパンドシート２０１を挟持する際に、上方挟持部６１の挟持ブロック７０がエキスパンドシート２０１の向きに応じて回転して、バー状挟持部材６６は、挟持ブロック７０間にエキスパンドシート２０１を挟持することができる。

【0036】

バー状挟持部材６６は、挟持ブロック７０間にエキスパンドシート２０１を挟持する際に、上方挟持部６１の挟持ブロック７０の表面７２にエキスパンドシート２０１の粘着面２０１－１が接触し、下方挟持部６２の挟持ブロック７０の表面７２にエキスパンドシート２０１の基材面２０１－２が接触する。なお、第１保持ユニット５１－１のバー状挟持部材６６を、以下、第１バー状挟持部材６６（以下、符号６６－１で示す）と記し、第２保持ユニット５１－２のバー状挟持部材６６を、以下、第２バー状挟持部材６６（以下、符号６６－２で示す）と記す。

【0037】

また、バー状挟持部材６６－１，６６－２の各挟持ブロック７０は、図６に示すように、表面７２に第２方向と平行な溝７５を複数設け、表面７２の保持テーブル１０寄りの外縁部に冷却されたエアーを噴出可能な噴出口７６を第２方向２１２と平行に複数並べて配置している。なお、実施形態１では、上方挟持部６１と下方挟持部６２との双方の挟持ブロック７０の表面７２に溝７５を複数設けたが、本発明では、下方挟持部６２の挟持ブロック７０の表面７２に溝７５を設けなくても良い。本発明では、バー状挟持部材６６－１，６６－２の少なくとも上方挟持部６１の挟持ブロック７０の表面７２に溝７５を設けるので、挟持ブロック７０の粘着面２０１－１との接触面積を抑制して、挟持ブロック７０が粘着面２０１－１に貼り付いてしまうことを抑制することができる。

【0038】

第３保持ユニット５１－３、第４保持ユニット５１－４は、固定基台２上に設けられた柱状の移動基台５２に鉛直方向に移動自在に設けられたローラー挟持部材６５と、一対のローラー挟持部材６５を互いに近づく方向及び互いに離れる方向に移動する部材移動ユニット５４とを備える。一対のローラー挟持部材６５は、互いに鉛直方向に間隔をあけて配置され、部材移動ユニット５４により互いに近づけられて互いの間にエキスパンドシート２０１を挟んで保持する。

【0039】

第３保持ユニット５１－３の一対のローラー挟持部材６５と第４保持ユニット５１－４の一対のローラー挟持部材６５とは、第２方向２１２で保持テーブル１０に保持されるワーク２００を挟んで対向して配設され、互いの間に保持テーブル１０を位置付けている部材移動ユニット５４は、移動基台５２に設けられている。

【0040】

第３保持ユニット５１－３及び第４保持ユニット５１－４の一対のローラー挟持部材６５は、第１方向２１１と平行な柱状に形成されている。第３保持ユニット５１－３及び第４保持ユニット５１－４の一対のローラー挟持部材６５は、鉛直方向に対向して配置され、互いに対向する表面に第２方向２１２と平行な回転軸７８を中心に回転する円柱状の複数のコロ７９を回転自在に支持して、それぞれ、複数のコロ７９を有している。なお、第３保持ユニット５１－３のローラー挟持部材６５を、以下、第３ローラー挟持部材６５（以下、符号６５－３で示す）と記し、第４保持ユニット５１－４のローラー挟持部材６５を、以下、第４ローラー挟持部材６５（以下、符号６５－４で示す）と記す。

【0041】

部材移動ユニット５４は、一対のローラー挟持部材６５－３，６５－４を鉛直方向に移動自在とするモータ５５と、モータ５５により軸心回りに回転されるボールねじ５６と、ボールねじ５６に螺合しかつローラー挟持部材６５－３，６５－４とアーム部材５７を介して連結したナット５８とを備える。部材移動ユニット５４は、モータ５５がボールねじ５６を軸心回りに回転させることで、ナット５８、アーム部材５７及びローラー挟持部材６５－３，６５－４を鉛直方向に移動させる。

【0042】

また、部材移動ユニット５４は、モータ５５によりボールねじ５６を軸心回りに回転することで、一対のローラー挟持部材６５－３，６５－４を鉛直方向に同方向に移動させることもできる。

【0043】

なお、第１バー状挟持部材６６－１、第２バー状挟持部材６６－２、第１ローラー挟持部材６５－１、第２ローラー挟持部材６５－２、第３ローラー挟持部材６５－３及び第４ローラー挟持部材６５－４は、エキスパンドシート２０１のワーク２００の外周を挟持する挟持機構８０を構成している。

【0044】

また、エキスパンド装置１は、移動機構３０を備える。移動機構３０は、第１方向移動手段である第１方向移動機構３１と、第２方向移動手段である第２方向移動機構３２とを備える。

【0045】

第１方向移動機構３１は、第１保持ユニット５１－１の移動基台５２と第２保持ユニット５１－２の移動基台５２を第１方向２１１に沿って移動させることで、第１バー状挟持部材６６－１と第２バー状挟持部材６６－２とを第１方向２１１で互いに離反する方向に移動させるとともに、第１ローラー挟持部材６５－１と第２ローラー挟持部材６５－２とを第１方向２１１で互いに離反する方向に移動させるものである。第１方向移動機構３１は、第１保持ユニット５１－１の移動基台５２を第１方向２１１に移動させる第１移動ユニット３３－１と、第２保持ユニット５１－２の移動基台５２を第１方向２１１に移動させる第２移動ユニット３３－２とを備える。

【0046】

第２方向移動機構３２は、第３保持ユニット５１－３の移動基台５２と第４保持ユニット５１－４の移動基台５２を第２方向２１２に沿って移動させることで、第３ローラー挟持部材６５－３と第４ローラー挟持部材６５－４とを第２方向２１２で互いに離反する方向に移動させるものである。第２方向移動機構３２は、第３保持ユニット５１－３の移動基台５２を第２方向２１２に移動させる第３移動ユニット３３－３と、第４保持ユニット５１－４の移動基台５２を第２方向２１２に移動させる第４移動ユニット３３－４とを備える。

【0047】

第１移動ユニット３３－１、第２移動ユニット３３－２、第３移動ユニット３３－３及び第４移動ユニット３３－４は、互いに構成が略等しいので、同一部分に同一符号を付して説明する。

【0048】

第１移動ユニット３３－１、第２移動ユニット３３－２、第３移動ユニット３３－３及び第４移動ユニット３３－４は、保持ユニット５１－１，５１－２，５１－３，５１－４の移動基台５２を第１方向２１１又は第２方向２１２に移動可能とするモータ３４と、モータ３４により軸心回りに回転されて移動基台５２を第１方向２１１又は第２方向２１２に移動させるボールねじ３５とを有する。

【0049】

第１移動ユニット３３－１、第２移動ユニット３３－２、第３移動ユニット３３－３及び第４移動ユニット３３－４は、保持ユニット５１－１，５１－２，５１－３，５１－４を第１方向２１１又は第２方向２１２に互いに離反する方向に移動させることで、保持ユニット５１－１，５１－２，５１－３，５１－４が保持したエキスパンドシート２０１をエキスパンドする。

【0050】

フレーム搬送ユニットは、エキスパンドシート挟持ユニット５０の上方に配置され、下面に環状フレーム２０９を保持する。フレーム搬送ユニットは、昇降ユニットにより鉛直方向に移動自在に設けられているとともに、図示しない水平方向移動ユニットにより水平方向に移動自在に設けられる。フレーム搬送ユニットは、水平方向移動ユニットにより、下面に保持した環状フレーム２０９の開口２１０が保持テーブル１０と同軸となる位置に配置されて、環状フレーム２０９の開口２１０と保持テーブル１０に載置されたエキスパンドシート２０１に貼着したワーク２００とが鉛直方向に対面する位置に環状フレーム２０９を位置付ける。また、フレーム搬送ユニットは、昇降ユニットにより下降されることで、保持ユニット５１－１，５１－２，５１－３，５１－４により保持されて拡張されたエキスパンドシート２０１に環状フレーム２０９を貼着する。

【0051】

シート切断ユニット９０は、環状フレーム２０９に貼着されたエキスパンドシート２０１を環状フレーム２０９に沿って切断するものである。シート切断ユニット９０は、図１に示すように、エキスパンドシート２０１を切断するカッター９１を備える。シート切断ユニット９０は、エキスパンドシート２０１に環状フレーム２０９が貼着された後に、カッター９１を裏面２０７側からエキスパンドシート２０１の環状フレーム２０９の内縁と外縁との間に切り込ませて、カッター９１を環状フレーム２０９に沿って回転させて、エキスパンドシート２０１の環状フレーム２０９の内縁と外縁との間を切断する。

【0052】

制御ユニット１００は、エキスパンド装置１の各構成要素を制御して、エキスパンド装置１にエキスパンドシート２０１に対するワーク２００の貼着動作、エキスパンドシートのエキスパンド動作及びエキスパンドシート２０１に対する環状フレーム２０９の貼着動作等を実施させるものである。なお、制御ユニット１００は、ＣＰＵ（central processing unit）のようなマイクロプロセッサを有する演算処理装置と、ＲＯＭ（read only memory）又はＲＡＭ（random access memory）のようなメモリを有する記憶装置と、入出力インターフェース装置とを有するコンピュータである。制御ユニット１００の演算処理装置は、記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムに従って演算処理を実施して、エキスパンド装置１を制御するための制御信号を、入出力インターフェース装置を介してエキスパンド装置１の各構成要素に出力する。

【0053】

また、制御ユニット１００は、各種の情報や画像などを表示する液晶表示装置などにより構成される表示ユニットと、オペレータが加工内容情報などを登録する際に用いる入力ユニットとが接続されている。入力ユニットは、表示ユニットに設けられたタッチパネルと、キーボード等の外部入力装置とのうち少なくとも一つにより構成される。

【0054】

なお、本発明では、エキスパンド装置１は、上述した構成に加え、ロールに巻かれたエキスパンドシート２０１を保持するシート挟持ユニットと、粘着面２０１－１を上向きにしてシート挟持ユニットからエキスパンドシート２０１を保持ユニット５１－１，５１－２，５１－３，５１－４に送り出す送り出しユニットと、送り出しユニットにより送り出されたエキスパンドシート２０１を切断する切断ユニットとを備えても良い。

【0055】

次に、本明細書は、実施形態１に係るエキスパンド方法を図面に基づいて説明する。図７は、実施形態１に係るエキスパンド方法の流れを示すフローチャートである。図８は、図７に示されたエキスパンド方法の挟持ステップの第１方向と平行な方向のエキスパンド装置の要部を模式的に示す側面図である。図９は、図７に示されたエキスパンド方法の挟持ステップの第２方向と平行な方向のエキスパンド装置の要部を模式的に示す側面図である。図１０は、図７に示されたエキスパンド方法のエキスパンドステップの第１方向と平行な方向のエキスパンド装置の要部を模式的に示す側面図である。図１１は、図７に示されたエキスパンド方法のエキスパンドステップの第１保持ユニットで保持されたエキスパンドシートを模式的に示す平面図である。図１２は、比較例のエキスパンド装置がエキスパンドした第１保持ユニットで保持されたエキスパンドシートを模式的に示す平面図である。

【0056】

実施形態１に係るエキスパンド方法は、前述したエキスパンド装置１のエキスパンドシート２０１のエキスパンド動作でもある。エキスパンド装置１は、オペレータが入力ユニットを操作するなどして入力した加工内容情報を受け付け、オペレータが入力ユニットを操作する等して入力した加工動作の開始指示を受け付けると、エキスパンド動作を開始する。エキスパンド方法は、図７に示すように、挟持ステップ１００１と、エキスパンドステップ１００２と、フレーム貼着ステップ１００３とを備える。

【0057】

（挟持ステップ）
挟持ステップ１００１は、第１方向２１１でワーク２００を挟んで互いに対向する第１バー状挟持部材６６－１と第２バー状挟持部材６６－２とでエキスパンドシート２０１を挟持し、且つ、第２方向２１２でワークを挟んで互いに対向する第３ローラー挟持部材６５－３と第４ローラー挟持部材６５－４とでエキスパンドシート２０１を挟持するステップである。

【0058】

挟持ステップ１００１では、エキスパンド装置１は、図８に示すように、エキスパンドシート２０１を第１保持ユニット５１－１の第１バー状挟持部材６６－１間に挟持し、第２保持ユニット５１－２の第２バー状挟持部材６６－２間に挟持し、図９に示すように、エキスパンドシート２０１を第３保持ユニット５１－３の第３ローラー挟持部材６５－３間に挟持し、第４保持ユニット５１－４の第４ローラー挟持部材６５－４間に挟持する。なお、挟持ステップ１００１では、第１保持ユニット５１－１の第１ローラー挟持部材６５－１が、エキスパンドシート２０１から離れ、第２保持ユニット５１－２の第２ローラー挟持部材６５－２が、エキスパンドシート２０１から離れている。

【0059】

挟持ステップ１００１では、エキスパンド装置１は、ワーク搬送ユニットに保持した改質層２０６が形成されたワーク２００の裏面２０７をエキスパンドシート２０１の第１バー状挟持部材６６－１と第２バー状挟持部材６６－２と第３ローラー挟持部材６５－３と第４ローラー挟持部材６５－４とで囲まれた領域に対向させた後、ワーク搬送ユニットを下降させて、図８及び図９に示すように、エキスパンドシート２０１にワーク２００の裏面２０７を貼着する。

【0060】

（エキスパンドステップ）
第１バー状挟持部材６６－１と第２バー状挟持部材６６－２と第３ローラー挟持部材６５－３と第４ローラー挟持部材６５－４とでエキスパンドシート２０１を挟持した状態で、第１バー状挟持部材６６－１と第２バー状挟持部材６６－２とをそれぞれ離反する方向に移動させることで、エキスパンドシート２０１を第１方向２１１にエキスパンドするステップである。

【0061】

エキスパンドステップ１００２では、第１バー状挟持部材６６－１と第２バー状挟持部材６６－２と第３ローラー挟持部材６５－３と第４ローラー挟持部材６５－４とでエキスパンドシート２０１を挟持した状態で、エキスパンド装置１は、図１０中の矢印３００で示すように、移動ユニット３３－１，３３－２，３３－３，３３－４に保持ユニット５１－１，５１－２，５１－３，５１－４を第１方向２１１又は第２方向２１２に離反する同時に方向に移動させる。すると、エキスパンド装置１は、保持ユニット５１－１，５１－２，５１－３，５１－４の移動基台５２の移動とともに、第１バー状挟持部材６６－１と第２バー状挟持部材６６－２とが第１方向２１１に沿って互いに離反する方向に移動させるとともに、第３ローラー挟持部材６５－３と第４ローラー挟持部材６５－４とを第２方向２１２に沿って互いに離反する方向に移動させて、エキスパンドシート２０１を第１方向２１１と第２方向２１２との双方にエキスパンドする。エキスパンドシート２０１のエキスパンドの結果、エキスパンドシート２０１に第１方向２１１と第２方向２１２との双方に沿った引張力が作用する。

【0062】

このようにワーク２００が貼着されたエキスパンドシート２０１に第１方向２１１と第２方向２１２との双方に沿った引張力が作用すると、ワーク２００は、分割予定ライン２０５に沿って改質層２０６が形成されているので、改質層２０６を基点として分割予定ライン２０５に沿って個々のチップ２２０に分割される。なお、実施形態１において、エキスパンドステップ１００２では、保持ユニット５１－１，５１－２，５１－３，５１－４を第１方向２１１又は第２方向２１２に離反する同時に方向に移動させたが、本発明では、これに限定されることなく、保持ユニット５１－１，５１－２を第１方向２１１に離反する方向に移動させたのち、エキスパンド装置１に対してエキスパンドシート２０１の向きを９０度回転させて、保持ユニット５１－１，５１－２，５１－３，５１－４でエキスパンドシート２０１を保持し、保持ユニット５１－１，５１－２を第２方向２１２に離反させても良い。

【0063】

（フレーム貼着ステップ）
フレーム貼着ステップ１００３は、エキスパンドされたエキスパンドシート２０１に環状フレーム２０９を貼着するステップである。フレーム貼着ステップ１００３では、エキスパンド装置１は、開口２１０とエキスパンドシート２０１に貼着されたワーク２００とが対面する位置にフレーム搬送ユニットに保持した環状フレーム２０９を位置付ける。エキスパンド装置１は、フレーム搬送ユニットを下降させて、フレーム搬送ユニットが保持した環状フレーム２０９をエキスパンドシート２０１に貼着する。フレーム貼着ステップ１００３では、エキスパンド装置１は、シート切断ユニット９０のカッター９１にエキスパンドシート２０１の環状フレーム２０９の内縁と外縁との間を環状フレーム２０９に沿って切断させ、エキスパンド装置１のエキスパンド動作即ち実施形態１に係るエキスパンド方法を終了する。

【0064】

以上説明した実施形態１に係るエキスパンド方法及びエキスパンド装置１は、エキスパンドステップ１００２では、バー状挟持部材６６－１，６６－２でエキスパンドシート２０１を挟持して第１方向２１１にエキスパンドシート２０１をエキスパンドする。このように、エキスパンド方法及びエキスパンド装置１は、エキスパンドシート２０１の伸び易い方向である第１方向２１１のワーク２００の両側をバー状挟持部材６６－１，６６－２で挟持して第１方向２１１にエキスパンドシート２０１をエキスパンドするため、図１１に示すように、エキスパンドシート２０１の全体を第１方向２１１にエキスパンドすることができる。なお、エキスパンドシート２０１の伸び易い方向である第１方向２１１のワーク２００の両側を複数の円柱状のコロ４００で挟持して、エキスパンドする比較例では、図１２に示すように、エキスパンドシート２０１のコロ４００の回転軸４０１の近傍が延ばされて、エキスパンドシート２０１のコロ４００の回転軸４０１から離れた箇所が延ばされずに、エキスパンドシート２０１が局所的に引き伸ばされてしまう。その結果、実施形態１に係るエキスパンド方法及びエキスパンド装置１は、比較例ではエキスパンドシート２０１が局所的に引き伸ばされてしまうのに対し、図１１に示すように、エキスパンドシート２０１が局所的に引き伸ばされてしまうことを抑制することができる、という効果を奏する。

【0065】

また、エキスパンド方法及びエキスパンド装置１は、エキスパンドステップ１００２において、バー状挟持部材６６－１，６６－２で挟持してエキスパンドする間、第１方向２１１に対して直交する第２方向２１２のワーク２００の両側をローラー挟持部材６５－３，６５－４のコロ７９で挟持するので、第１方向２１１のエキスパンドに伴ってコロ７９が回転して、バー状挟持部材６６－１，６６－２のエキスパンドシート２０１の第１方向２１１のエキスパンドをローラー挟持部材６５－３，６５－４が妨げることがない。

【0066】

〔実施形態２〕
本発明の実施形態２に係るエキスパンド装置及びエキスパンド方法を図面に基づいて説明する。図１３は、実施形態２に係るエキスパンド装置のワーク、各挟持ユニットを模式的に示す平面図である。図１４は、実施形態２に係るエキスパンド方法の流れを示すフローチャートである。なお、図１３は、ワーク２００のデバイス２０２を省略している。図１３及び図１４は、実施形態１と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。

【0067】

実施形態２に係るエキスパンド装置１－２は、図１３に示すように、第３保持ユニット５１－３及び第４保持ユニット５１－４が、第１保持ユニット５１－１及び第２保持ユニット５１－２と同じ構成であること以外、実施形態１と同じである。なお、第３保持ユニット５１－３のバー状挟持部材６６－１，６６－２と同じ構成のバー状挟持部材６６を、以下、第３バー状挟持部材６６（以下、符号６６－３で示す）と記し、第４保持ユニット５１－４のバー状挟持部材６６－１，６６－２と同じ構成のバー状挟持部材６６を、以下、第４バー状挟持部材６６（以下、符号６６－４で示す）と記す。

【0068】

第３バー状挟持部材６６－３と、第４バー状挟持部材６６－４とは、第２方向２１２で保持テーブル１０に保持されるワーク２００を挟んで互いに対向して配設され、第１方向２１１と平行に形成されている。実施形態２に係るエキスパンド装置１－２の挟持機構８０は、第１バー状挟持部材６６－１、第２バー状挟持部材６６－２、第１ローラー挟持部材６５－１、第２ローラー挟持部材６５－２、第３ローラー挟持部材６５－３及び第４ローラー挟持部材６５－４に加え、第３バー状挟持部材６６－３及び第４バー状挟持部材６６－４を備えている。

【0069】

実施形態２に係るエキスパンド方法は、エキスパンドステップ１００２が、図１４に示すように、第１エキスパンドステップ１００２－１と、第２エキスパンドステップ１００２－２とを備えること以外、実施形態１と同じである。

【0070】

第１エキスパンドステップ１００２－１は、第１バー状挟持部材６６－１と第２バー状挟持部材６６－２と第３ローラー挟持部材６５－３と第４ローラー挟持部材６５－４とでエキスパンドシート２０１を挟持した状態で、第１バー状挟持部材６６－１と第２バー状挟持部材６６－２とをそれぞれ離反する方向に移動させることで、エキスパンドシート２０１を第１方向２１１にエキスパンドするステップである。実施形態２に係るエキスパンド方法の第１エキスパンドステップ１００２－１では、エキスパンド装置１は、第１バー状挟持部材６６－１と第２バー状挟持部材６６－２と第３ローラー挟持部材６５－３と第４ローラー挟持部材６５－４とでエキスパンドシート２０１を挟持した状態で、第１移動ユニット３３－１及び第２移動ユニット３３－２に第１バー状挟持部材６６－１と第２バー状挟持部材６６－２とを第１方向２１１に沿って互いに離反する方向に移動させる。

【0071】

第２エキスパンドステップ１００２－２は、第３バー状挟持部材６６－３と第４バー状挟持部材６６－４とでエキスパンドシート２０１を挟持し、且つ、第１ローラー挟持部材６５－１と、第２ローラー挟持部材６５－２とでエキスパンドシート２０１を挟持した状態で、第３バー状挟持部材６６－３と第４バー状挟持部材６６－４とをそれぞれ離反する方向に移動させることでエキスパンドシート２０１を第２方向２１２にエキスパンドするステップである。

【0072】

第２エキスパンドステップ１００２－２では、エキスパンド装置１は、第１バー状挟持部材６６－１と第２バー状挟持部材６６－２と第３ローラー挟持部材６５－３と第４ローラー挟持部材６５－４とでエキスパンドシート２０１を挟持した状態で、第１ローラー挟持部材６５－１と第２ローラー挟持部材６５－２と第３バー状挟持部材６６－３と第４バー状挟持部材６６－４とでエキスパンドシート２０１を挟持する。第２エキスパンドステップ１００２－２では、エキスパンド装置１は、第１バー状挟持部材６６－１と第２バー状挟持部材６６－２と第３ローラー挟持部材６５－３と第４ローラー挟持部材６５－４とをエキスパンドシート２０１から離し、第３移動ユニット３３－３及び第４移動ユニット３３－４に第３バー状挟持部材６６－３と第４バー状挟持部材６６－４とを第２方向２１２に沿って互いに離反する方向に移動させる。

【0073】

第１エキスパンドステップ１００２－１及び第２エキスパンドステップ１００２－２では、ワーク２００が貼着されたエキスパンドシート２０１に第１方向２１１と第２方向２１２との双方に沿った引張力を作用させて、改質層２０６を基点として分割予定ライン２０５に沿ってワーク２００を個々のチップ２２０に分割する。

【0074】

実施形態２に係るエキスパンド方法及びエキスパンド装置１－２は、第１エキスパンドステップ１００２－１では、バー状挟持部材６６－１，６６－２でエキスパンドシート２０１を挟持して第１方向２１１にエキスパンドシート２０１をエキスパンドし、第２エキスパンドステップ１００２－２では、バー状挟持部材６６－３，６６－４でエキスパンドシート２０１を挟持して第２方向２１２にエキスパンドシート２０１をエキスパンドする。その結果、エキスパンド方法及びエキスパンド装置１－２は、エキスパンドシート２０１の全体を第１方向２１１及び第２方向２１２にエキスパンドすることができ、エキスパンドシート２０１が局所的に引き伸ばされてしまうことを抑制することができる、という効果を奏する。

【0075】

また、実施形態２に係るエキスパンド方法及びエキスパンド装置１－２は、第１エキスパンドステップ１００２－１において、バー状挟持部材６６－１，６６－２で挟持してエキスパンドする間、第１方向２１１に対して直交する第２方向２１２のワーク２００の両側をローラー挟持部材６５－３，６５－４のコロ７９で挟持し、第２エキスパンドステップ１００２－２において、バー状挟持部材６６－３，６６－４で挟持してエキスパンドする間、第１方向２１１のワーク２００の両側をローラー挟持部材６５－１，６５－２のコロ６９で挟持する。その結果、実施形態２に係るエキスパンド方法及びエキスパンド装置１－２は、第１方向２１１及び第２方向２１２のエキスパンドに伴ってコロ６９，７９が回転して、バー状挟持部材６６－１，６６－２，６６－３，６６－４のエキスパンドシート２０１の第１方向２１１及び第２方向２１２のエキスパンドをローラー挟持部材６５－１，６５－２，６５－３，６５－４が妨げることがない。

【0076】

なお、本発明は、上記実施形態等に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。

【符号の説明】

【0077】

１，１－２ エキスパンド装置
３１ 第１方向移動機構（第１方向移動手段）
３２ 第２方向移動機構（第２方向移動手段）
６５－１ 第１ローラー挟持部材
６５－２ 第２ローラー挟持部材
６５－３ 第３ローラー挟持部材
６５－４ 第４ローラー挟持部材
６６－１ 第１バー状挟持部材
６６－２ 第２バー状挟持部材
６６－３ 第３バー状挟持部材
６６－４ 第４バー状挟持部材
６８ 回転軸
６９ コロ
７８ 回転軸
７９ コロ
８０ 挟持機構
２００ ワーク
２０１ エキスパンドシート（シート）
２１１ 第１方向
２１２ 第２方向
１００１ 挟持ステップ
１００２ エキスパンドステップ
１００２－１ 第１エキスパンドステップ
１００２－２ 第２エキスパンドステップ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】