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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2024-05-17
(45)【発行日】2024-05-27
(54)【発明の名称】切削装置及び搬送システム
(51)【国際特許分類】
H01L 21/301 20060101AFI20240520BHJP
H01L 21/673 20060101ALI20240520BHJP
H01L 21/677 20060101ALI20240520BHJP
B24B 27/06 20060101ALI20240520BHJP
B24B 41/06 20120101ALI20240520BHJP
B24B 53/00 20060101ALI20240520BHJP
B24B 53/12 20060101ALI20240520BHJP
【ＦＩ】
H01L21/78 N
H01L21/68 U
H01L21/68 A
B24B27/06 M
B24B41/06 A
B24B41/06 L
B24B53/00 K
B24B53/12 Z
【請求項の数】
3
(21)【出願番号】P 2020069936
(22)【出願日】2020-04-08
(65)【公開番号】P2021166278
(43)【公開日】2021-10-14
【審査請求日】2023-02-28
(73)【特許権者】
【識別番号】000134051
【氏名又は名称】株式会社ディスコ
(74)【代理人】
【識別番号】100075384
【弁理士】
【氏名又は名称】松本 昂
(74)【代理人】
【識別番号】100172281
【弁理士】
【氏名又は名称】岡本 知広
(74)【代理人】
【識別番号】100206553
【弁理士】
【氏名又は名称】笠原 崇廣
(74)【代理人】
【識別番号】100189773
【弁理士】
【氏名又は名称】岡本 英哲
(74)【代理人】
【識別番号】100184055
【弁理士】
【氏名又は名称】岡野 貴之
(72)【発明者】
【氏名】関家 一馬
【審査官】杢 哲次
(56)【参考文献】
【文献】特開２０１９－２０４９２９（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１３－１２０７９４（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０２０－１３８９２（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１９－２０１１４５（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｈ０１Ｌ ２１／３０１
Ｈ０１Ｌ ２１／６７３
Ｈ０１Ｌ ２１／６７７
Ｂ２４Ｂ ２７／０６
Ｂ２４Ｂ ４１／０６
Ｂ２４Ｂ ５３／００
Ｂ２４Ｂ ５３／１２
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
切削ブレードが装着されるスピンドルを備える切削ユニットと、板状の被加工物がテープを介して環状のフレームに支持された被加工物ユニット又は該フレームに対応した形状のトレーを保持する保持面を備えるチャックテーブルと、
駆動源を備え、該チャックテーブルを加工送り方向に沿って移動させる加工送りユニットと、
駆動源を備え、該切削ユニットを該加工送り方向に垂直な割り出し送り方向に沿って移動させる割り出し送りユニットと、
該被加工物ユニット又は該トレーを収容する容器が載置される載置領域と、
該被加工物ユニット又は該トレーを保持する第１保持パッドを備え、該載置領域と該チャックテーブルとの間で該被加工物ユニット又は該トレーを搬送する搬送ユニットと、
該チャックテーブルの側方に設けられ、該チャックテーブルの該保持面よりも下方に位置し該切削ユニットの調整に使用されるボードを保持する保持面を備えたサブチャックテーブルと、
該チャックテーブルに保持された該トレーと該サブチャックテーブルとの間で該ボードを搬送するボード搬送ユニットと、を含み、
該ボード搬送ユニットは、
該ボードを保持する第２保持パッドと、
該切削ユニットとともに該割り出し送りユニットに支持され、該サブチャックテーブルに保持された該ボードに該第２保持パッドが接触する位置と、該チャックテーブルの該保持面及び該サブチャックテーブルの該保持面よりも上方の位置と、の間で該加工送り方向と該割り出し送り方向とに垂直な方向に沿って該第２保持パッドを移動させるエア駆動型のアクチュエーターと、を備える切削装置。
【請求項2】
該載置領域の下方の領域に配置され該トレーを収容できるトレー収容領域と、を更に含み、該搬送ユニットは、該トレー収容領域と該チャックテーブルとの間で該トレーを搬送することを特徴とする請求項１に記載の切削装置。
【請求項3】
請求項１又は請求項２に記載の切削装置を含む複数の装置と、該装置の上方に設置される搬送路と、
走行用の車輪が装着される車両フレームと、該車輪を駆動する駆動源と、該被加工物ユニット又は該トレーを収容する容器と、該車両フレームに設けられ、該容器を吊り下げて昇降させる昇降ユニットと、該駆動源と該昇降ユニットとを制御する制御部と、制御信号を受信する受信機と、を備え、該搬送路を走行する搬送車と、
該被加工物ユニット又は該トレーを収容するカセットが載置される第１載置領域と、該搬送車から降下した該容器が載置される第２載置領域と、制御信号を受信する受信機と、を備え、該第１載置領域に載置された該カセットと該第２載置領域に載置された該容器との間で該被加工物ユニット又は該トレーを搬送するローダー・アンローダーと、
該装置、該搬送車、及び該ローダー・アンローダーに制御信号を送信する送信機と、該送信機から送信される制御信号を生成する信号生成部と、を備える制御ユニットと、を含み、
該制御ユニットからの信号に基づき、該搬送車が該ローダー・アンローダーから受け渡された該被加工物ユニット又は該トレーを該装置に搬送する搬送システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、板状の被加工物を加工する際に用いられる切削装置、この切削装置で用いられるトレー、及びこの切削装置に対して被加工物を搬送する際に用いられる搬送システムに関する。
【背景技術】
【0002】
半導体ウェーハに代表される板状の被加工物を複数のチップへと分割する際には、例えば、環状の切削ブレードを装着した切削装置が使用される。高速に回転させた切削ブレードを被加工物に切り込ませながら、切削ブレードと被加工物とを相対的に移動させることで、この移動の経路に沿って被加工物を切削できる。
【0003】
ところで、回転軸となるスピンドルに対して切削ブレードを装着した直後には、このスピンドルに対して切削ブレードが偏心していたり、切削ブレードの切れ味が十分ではなかったりする可能性が高い。そこで、被加工物を切削する前には、この切削ブレードを回転させて調整用のボード（ドレッシングボード）に切り込ませるドレッシングと呼ばれる作業を行い、切削ブレードの状態を整えている。
【0004】
近年では、被加工物を保持するチャックテーブルとは別に、上述のようなボードを保持するサブチャックテーブルを備えた切削装置が実用化されている（例えば、特許文献１参照）。この切削装置によれば、チャックテーブルによって被加工物が保持された状態であっても、切削ブレードのドレッシングを遂行できる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0005】
【文献】特開２０１１－１６１７５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
上述の切削装置では、ドレッシングを行うタイミングの自由度は向上するものの、サブチャックテーブルに対するボードの着脱が依然としてオペレーターの手作業で行われる。そのため、サブチャックテーブルに対するボードの着脱の際に、時間をロスする可能性が高かった。
【0007】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、サブチャックテーブルに対するボードの着脱を効率良く行える切削装置、この切削装置で用いられるトレー、及びこの切削装置に対して被加工物を搬送する際に用いられる搬送システムを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【0008】
本発明の一態様によれば、切削ブレードが装着されるスピンドルを備える切削ユニットと、板状の被加工物がテープを介して環状のフレームに支持された被加工物ユニット又は該フレームに対応した形状のトレーを保持する保持面を備えるチャックテーブルと、駆動源を備え、該チャックテーブルを加工送り方向に沿って移動させる加工送りユニットと、駆動源を備え、該切削ユニットを該加工送り方向に垂直な割り出し送り方向に沿って移動させる割り出し送りユニットと、該被加工物ユニット又は該トレーを収容する容器が載置される載置領域と、該被加工物ユニット又は該トレーを保持する第１保持パッドを備え、該載置領域と該チャックテーブルとの間で該被加工物ユニット又は該トレーを搬送する搬送ユニットと、該チャックテーブルの側方に設けられ、該チャックテーブルの該保持面よりも下方に位置し該切削ユニットの調整に使用されるボードを保持する保持面を備えたサブチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された該トレーと該サブチャックテーブルとの間で該ボードを搬送するボード搬送ユニットと、を含み、該ボード搬送ユニットは、該ボードを保持する第２保持パッドと、該切削ユニットとともに該割り出し送りユニットに支持され、該サブチャックテーブルに保持された該ボードに該第２保持パッドが接触する位置と、該チャックテーブルの該保持面及び該サブチャックテーブルの該保持面よりも上方の位置と、の間で該加工送り方向と該割り出し送り方向とに垂直な方向に沿って該第２保持パッドを移動させるエア駆動型のアクチュエーターと、を備える切削装置が提供される。
【0009】
好ましくは、該載置領域の下方の領域に配置され該トレーを収容できるトレー収容領域と、を更に含み、該搬送ユニットは、該トレー収容領域と該チャックテーブルとの間で該トレーを搬送する。
【0010】
本発明の別の一態様によれば、上述した切削装置を含む複数の装置と、該装置の上方に設置される搬送路と、走行用の車輪が装着される車両フレームと、該車輪を駆動する駆動源と、該被加工物ユニット又は該トレーを収容する容器と、該車両フレームに設けられ、該容器を吊り下げて昇降させる昇降ユニットと、該駆動源と該昇降ユニットとを制御する制御部と、制御信号を受信する受信機と、を備え、該搬送路を走行する搬送車と、該被加工物ユニット又は該トレーを収容するカセットが載置される第１載置領域と、該搬送車から降下した該容器が載置される第２載置領域と、制御信号を受信する受信機と、を備え、該第１載置領域に載置された該カセットと該第２載置領域に載置された該容器との間で該被加工物ユニット又は該トレーを搬送するローダー・アンローダーと、該装置、該搬送車、及び該ローダー・アンローダーに制御信号を送信する送信機と、該送信機から送信される制御信号を生成する信号生成部と、を備える制御ユニットと、を含み、該制御ユニットからの信号に基づき、該搬送車が該ローダー・アンローダーから受け渡された該被加工物ユニット又は該トレーを該装置に搬送する搬送システムが提供される。
【発明の効果】
【0011】
本発明にかかる切削装置、トレー、及び搬送システムを用いることにより、サブチャックテーブルに対するドレッシングボードの着脱を効率良く行えるようになる。
【図面の簡単な説明】
【0012】
【図12】図１２（Ａ）は、カセット載置台を内部収容領域から外側に引き出す様子を示す一部断面側面図であり、図１２（Ｂ）は、ローラーが支持台から脱落した様子を示す一部断面側面図であり、図１２（Ｃ）は、カセット載置台を内部収容領域に戻す様子を示す一部断面側面図である。
【発明を実施するための形態】
【0013】
添付図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。図１は、板状の被加工物１１の加工（切削）に用いられる加工装置（切削装置）４の内部の構造を示す斜視図である。なお、以下の説明で用いられるＸ２軸方向、Ｙ２軸方向、及びＺ２軸方向は、互いに概ね垂直である。図１に示すように、加工装置４は、各構成要素を支持する基台２０２を備えている。
【0014】
基台２０２の角部には、凹部２０２ａが形成されており、この凹部２０２ａには、昇降機構（不図示）によって昇降する昇降台２０４が配置されている。昇降台２０４の上面の載置領域Ａには、例えば、被加工物１１やボード３１等を収容できる後述の搬送車１０の容器（カセット）１０２が載せられる。なお、昇降台２０４の上面には、容器１０２の水平方向の位置を規定する複数の位置規定部材（不図示）が設けられており、加工装置４の上方で停車した搬送車１０から降下する容器１０２は、複数の位置規定部材によって決まる載置領域Ａに載せられる。
【0015】
各位置規定部材は、例えば、搬送車１０から降下する容器１０２を載置領域Ａに向かってガイドする曲面状のガイド面を備え、昇降台２０４に載置される容器１０２の側面に対応する位置に固定されている。容器１０２を昇降台２０４に向けて下降させる際には、各位置規定部材のガイド面によって容器１０２がガイドされる。そのため、仮に、容器１０２が水平方向に揺動したとしても、容器１０２を載置領域Ａに載せることができる。
【0016】
被加工物１１は、例えば、シリコン等の半導体材料でなる円盤状のウェーハである。この被加工物１１の表面側は、互いに交差する複数の加工予定ライン（ストリート）によって複数の小領域に区画されており、各小領域には、ＩＣ（Integrated Circuit）、ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）等のデバイスが形成されている。
【0017】
被加工物１１の裏面側には、被加工物１１よりも径の大きいテープ（ダイシングテープ）１３が貼付されている。テープ１３の外周部分は、被加工物１１を囲む環状のフレーム１５に固定されている。このように、本実施形態にかかる加工装置４には、テープ１３を介してフレーム１５に支持された被加工物ユニット１７の状態で被加工物１１が搬入される。
【0018】
なお、本実施形態の被加工物１１は、シリコン等の半導体材料でなる円盤状のウェーハであるが、被加工物１１の材質、形状、構造、大きさ等に制限はない。例えば、他の半導体、セラミックス、樹脂、金属等の材料でなる基板等を被加工物１１として用いることもできる。同様に、デバイスの種類、数量、形状、構造、大きさ、配置等にも制限はない。被加工物１１には、デバイスが形成されていなくても良い。
【0019】
上述したフレーム１５の大きさは、被加工物１１の大きさ（被加工物１１の径等）に応じて設定される。例えば、約３００ｍｍの径の被加工物１１を支持するフレーム１５の外径は、約２００ｍｍの径の被加工物１１を支持するフレーム１５の外径に比べて大きくなる。つまり、大きな被加工物１１が使用される場合には、被加工物ユニット１７の外径も大きくなる。
【0020】
ボード３１は、例えば、ホワイトアランダム（ＷＡ）やグリーンカーボランダム（ＧＣ）等の砥粒を、樹脂やセラミックス等の結合剤で固定してなる平板状のドレッシングボードである。このようなボード３１に対して、回転させた切削ブレード２３２ｂを切り込ませることで、切削ブレード２３２ｂの状態を整えることができる。ただし、このボード３１は、切削ブレード２３２ｂを含む加工ユニット２３２を調整する際に使用されるものであれば良い。
【0021】
よって、ボード３１の材質、形状、構造等は、その用途に応じて適切に選択される。例えば、切削ブレード２３２ｂを上方からボード３１に切り込ませて溝を形成し、この溝に基づいて切削ブレード２３２ｂの高さを調整（測定）するような用途には、被加工物１１と同じ材質で形成された基板等をボード３１として用いることがある。
【0022】
本実施形態にかかる加工装置４には、上述のフレーム１５に対応した形状のトレー３３に支持された状態でボード３１が搬入される。トレー３３は、フレーム１５と同じ形状の外縁を有する板状の本体部３５を備えている。本体部３５の表面（一方の面）には、例えば、平面視でＬ字状に形成された複数の位置規定部材３７が設けられている。この位置規定部材３７によって、ボード３１が配置される第１ボード配置領域３９ａと第２ボード配置領域３９ｂとが規定される。第１ボード配置領域３９ａと第２ボード配置領域３９ｂとの詳細については後述する。
【0023】
昇降台２０４の載置領域Ａより下方の領域には、例えば、加工後の被加工物ユニット１７を一時的に収容できる被加工物収容領域が形成されている。加工装置４で加工された後の被加工物ユニット１７は、搬送車１０の容器１０２に対する搬送の準備が整うまでの間、この被加工物収容領域に収容される。
【0024】
なお、昇降台２０４の載置領域Ａより下方の領域には、被加工物収容領域の他にも、紫外線を照射する照射ユニット、被加工物１１のノッチの位置を検出する検出ユニット、被加工物１１等に付される識別コードを読み取る読み取りユニット等が配置されることがある。また、昇降台２０４の載置領域Ａより下方の領域には、ボードを支持した状態のトレーを収容できるトレー収容領域が配置されても良い。なお、この場合には、上述した被加工物収容領域をトレー収容領域として用いても良いし、被加工物収容領域とは別のトレー収容領域を設けても良い。
【0025】
凹部２０２ａの側方には、Ｘ２軸方向（前後方向、加工送り方向）に長い凹部２０２ｂが形成されている。凹部２０２ｂ内には、ボールねじ式のＸ軸移動機構（加工送りユニット）２０６が配置されている。このＸ軸移動機構２０６は、ボールねじに連結されるモーター（パルスモーター）等の駆動源を含んでおり、Ｘ軸移動テーブル（不図示）をＸ２軸方向に沿って移動させる。Ｘ軸移動テーブルの上方には、テーブルカバー２０６ａが配置されている。また、テーブルカバー２０６ａの前後には、蛇腹状の防塵防滴カバー２０６ｂが取り付けられている。
【0026】
Ｘ軸移動テーブルの上部には、被加工物ユニット１７やトレー３３を保持するチャックテーブル２０８がテーブルカバー２０６ａから露出する態様で配置されている。図２は、チャックテーブル２０８及びその周辺の構造を模式的に示す平面図である。チャックテーブル２０８は、モーター等の駆動源（不図示）に連結されており、Ｚ２軸方向（鉛直方向、切り込み送り方向）に概ね平行な回転軸の周りに回転する。また、チャックテーブル２０８は、上述したＸ軸移動機構２０６によりＸ２軸方向に沿って移動する（加工送り）。
【0027】
チャックテーブル２０８の上面は、上述した被加工物ユニット１７やトレー３３を保持するための保持面２０８ａになっている。保持面２０８ａは、チャックテーブル２０８の内部に形成された吸引路（不図示）等を介して真空ポンプ等の吸引源（不図示）に接続されている。また、チャックテーブル２０８の周囲には、被加工物ユニット１７のフレーム１５を四方から固定するための４個のクランプ２０８ｂが設けられている。
【0028】
チャックテーブル２０８の斜め後方（側方）には、トレー３３から搬出されたボード３１を保持するサブチャックテーブル２１０がテーブルカバー２０６ａから露出する態様で配置されている。このサブチャックテーブル２１０も、上述したＸ軸移動機構２０６によりＸ２軸方向に沿って移動する。
【0029】
サブチャックテーブル２１０の上面は、ボード３１を保持するための保持面２１０ａになっている。保持面２１０ａには、溝２１０ｂが形成されており、この溝２１０ｂは、サブチャックテーブル２１０の内部に形成された吸引路（不図示）等を介して真空ポンプ等の吸引源（不図示）に接続されている。
【0030】
図１に示すように、凹部２０２ｂの前側上方には、Ｙ２軸方向（左右方向、割り出し送り方向）に概ね平行な状態を維持しながら接近、離隔される一対のガイドレール２１２が設けられている。一対のガイドレール２１２は、それぞれ、フレーム１５を下方から支持する支持面と、支持面に概ね垂直な側面とを備え、載置領域Ａの容器１０２から引き出された被加工物ユニット１７（フレーム１５）やトレー３３をＸ２軸方向において挟み込んで所定の位置に合わせる。
【0031】
基台２０２の上方には、門型の第１支持構造２１４が凹部２０２ｂを跨ぐように配置されている。第１支持構造２１４の前面（ガイドレール２１２側の面）には、Ｙ２軸方向に沿う第１レール２１６が固定されており、この第１レール２１６には、第１移動機構２１８等を介して第１保持ユニット（搬送ユニット）２２０が連結されている。
【0032】
第１保持ユニット２２０は、被加工物ユニット１７（フレーム１５）やトレー３３を上方から保持する保持パッド（第１保持パッド）２２０ａを下部に備えており、第１移動機構２１８によって昇降するとともに、第１レール２１６に沿ってＹ２軸方向に移動する。また、第１保持ユニット２２０は、フレーム１５やトレー３３を側方から把持するための把持機構２２０ｂを昇降台２０４側に備えている。この第１保持ユニット２２０の保持パッド２２０ａとしては、例えば、真空ポンプ等の吸引源に接続される真空吸着タイプの保持パッドや、高い流速のエアによって生じる負圧を利用するベルヌーイタイプの保持パッド等が使用される。
【0033】
把持機構２２０ｂでフレーム１５やトレー３３を把持して第１保持ユニット２２０をＹ２軸方向に移動させれば、載置領域Ａの容器１０２から被加工物ユニット１７やトレー３３を一対のガイドレール２１２に引き出し、又は、一対のガイドレール２１２上の被加工物ユニット１７やトレー３３を載置領域Ａの容器１０２に挿入できる。
【0034】
同様に、把持機構２２０ｂでフレーム１５を把持して第１保持ユニット２２０をＹ２軸方向に移動させることで、載置領域Ａの下方に配置された被加工物収容領域から被加工物ユニット１７を一対のガイドレール２１２に引き出し、又は、一対のガイドレール２１２上の被加工物ユニット１７を被加工物収容領域に挿入できる。
【0035】
載置領域Ａの下方にトレー収容領域が配置されている場合にも、同様に、把持機構２２０ｂでトレー３３を把持して第１保持ユニット２２０をＹ２軸方向に移動させることで、載置領域Ａの下方に配置されたトレー収容領域からトレー３３を一対のガイドレール２１２に引き出し、又は、一対のガイドレール２１２上のトレー３３をトレー収容領域に挿入できる。
【0036】
なお、一対のガイドレール２１２で被加工物ユニット１７やトレー３３の位置を合わせた後には、被加工物ユニット１７やトレー３３を保持パッド２２０ａで保持してチャックテーブル２０８へと搬入する。このように、第１保持ユニット２２０は、載置領域Ａ、チャックテーブル２０８、及び被加工物収容領域の三者（トレー収容領域が存在する場合には、トレー収容領域を加えた四者）の間で被加工物ユニット１７やトレー３３を搬送できるように構成されている。
【0037】
また、第１支持構造２１４の前面には、Ｙ２軸方向に沿う第２レール２２２が第１レール２１６の上方に固定されている。この第２レール２２２には、第２移動機構２２４等を介して第２保持ユニット２２６が連結されている。第２保持ユニット２２６は、被加工物ユニット１７（フレーム１５）やトレー３３を上方から保持する保持パッド２２６ａを下部に備えており、第２移動機構２２４によって昇降するとともに、第２レール２２２に沿ってＹ２軸方向に移動する。保持パッド２２６ａとしては、真空吸着タイプの保持パッドや、ベルヌーイタイプの保持パッド等が使用される。
【0038】
第１支持構造２１４の後方には、門型の第２支持構造２２８が配置されている。第２支持構造２２８の前面（第１支持構造２１４側の面）には、それぞれ、ボールねじ式のＹ軸Ｚ軸移動機構（割り出し送りユニット、切り込み送りユニット）２３０を介して２組の加工ユニット（切削ユニット）２３２が設けられている。
【0039】
各Ｙ軸Ｚ軸移動機構２３０は、Ｙ軸駆動用のボールねじに連結されるモーター（パルスモーター）等の駆動源を含んでおり、各加工ユニット２３２をＹ２軸方向に沿って移動させる（割り出し送り）。また、各Ｙ軸Ｚ軸移動機構２３０は、Ｚ軸駆動用のボールねじに連結されるモーター（パルスモーター）等の駆動源を含んでおり、各加工ユニット２３２をＺ２軸方向に沿って移動させる（切り込み送り）。
【0040】
図２に示すように、各加工ユニット２３２は、Ｙ２軸方向に概ね平行な回転軸となるスピンドル２３２ａを備えている。各スピンドル２３２ａの一端側には、円環状の切削ブレード２３２ｂが装着されている。各スピンドル２３２ａの他端側には、モーター等の駆動源（不図示）が連結されている。
【0041】
また、切削ブレード２３２ｂの傍には、被加工物１１や切削ブレード２３２ｂに純水等の切削液を供給するためのノズルが配置されている。ノズルから切削液を供給しながら、回転させた切削ブレード２３２ｂをチャックテーブル２０８に保持された被加工物１１に切り込ませることで、被加工物１１を加工（切削）できる。
【0042】
加工ユニット２３２の前方には、チャックテーブル２０８に保持された被加工物１１等を撮像できる撮像ユニット（カメラ）２３４が設けられている。また、加工ユニット２３２の前方には、チャックテーブル２０８に保持されたトレー３３とサブチャックテーブル２１０との間でボード３１を搬送できるボード搬送ユニット２３６が設けられている。
【0043】
ボード搬送ユニット２３６は、例えば、エアシリンダと、このエアシリンダに挿入されＺ２軸方向にスライドできるピストンロッドと、を含むエア駆動型のアクチュエーター２３６ａ（図５（Ｂ）等参照）を備えている。アクチュエーター２３６ａの下端部には、真空ポンプ等の吸引源（不図示）に接続される保持パッド（第２保持パッド）２３６ｂが固定されている。
【0044】
よって、このアクチュエーター２３６ａを動作させることで、保持パッド２３６ｂをＺ２軸方向に移動させることができる。また、保持パッド２３６ｂをアクチュエーター２３６ａでＺ２軸方向に移動させてボード３１に接触させた後に、吸引源の負圧を作用させれば、この保持パッド２３６ｂでボード３１を保持できる。
【0045】
撮像ユニット２３４とボード搬送ユニット２３６とは、加工ユニット２３２とともに各Ｙ軸Ｚ軸移動機構２３０に支持されている。すなわち、撮像ユニット２３４とボード搬送ユニット２３６とは、加工ユニット２３２とともにＹ２軸方向に移動し、また、加工ユニット２３２とともにＺ２軸方向に移動する。
【0046】
凹部２０２ｂに対して昇降台２０４と反対側の位置には、洗浄ユニット２３８が配置されている。洗浄ユニット２３８は、筒状の洗浄空間内で被加工物ユニット１７を保持するスピンナテーブル２４０を備えている。スピンナテーブル２４０の下部には、スピンナテーブル２４０を所定の速さで回転させる駆動源（不図示）が連結されている。
【0047】
スピンナテーブル２４０の上方には、スピンナテーブル２４０により保持された被加工物ユニット１７に向けて洗浄用の流体（代表的には、水とエアーとを混合した混合流体）を噴射する噴射ノズル２４２が配置されている。被加工物ユニット１７を保持したスピンナテーブル２４０を回転させて、噴射ノズル２４２から洗浄用の流体を噴射することで、被加工物１１を洗浄できる。
【0048】
加工ユニット２３２で被加工物１１を加工した後には、例えば、第２保持ユニット２２６でフレーム１５を保持して被加工物ユニット１７を洗浄ユニット２３８へと搬入する。洗浄ユニット２３８で被加工物１１を洗浄した後には、例えば、第１保持ユニット２２０でフレーム１５を保持して被加工物ユニット１７を一対のガイドレール２１２に載せ、その後、フレーム１５を把持機構２２０ｂで把持して被加工物ユニット１７を載置領域Ａの容器１０２に収容する。
【0049】
図３は、加工装置４の外観等を示す斜視図である。なお、図３では、一部の構成要素を機能ブロックで示している。図３に示すように、基台２０２の上面側は、カバー２４４によって覆われており、上述した各構成要素は、カバー２４４の内側に収容される。凹部２０２ａの直上の領域には、カバー２４４の天井２４４ａを上下に貫通する開口（不図示）が設けられている。
【0050】
搬送車１０の容器１０２は、この開口を通じてカバー２４４の外部から内部へと移動し、この開口を通じてカバー２４４の内部から外部へと移動する。開口の形状や大きさに制限はないが、この開口は、少なくとも容器１０２を通過できるように構成される必要がある。
【0051】
上述した加工装置４の各構成要素は、制御装置２４６に接続されている。制御装置２４６は、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）等の処理装置と、ＤＲＡＭ（Dynamic Random Access Memory）等の主記憶装置と、フラッシュメモリ等の補助記憶装置と、を含むコンピュータによって構成されている。補助記憶装置に記憶されるソフトウェアに従い処理装置等を動作させることによって、制御装置２４６の機能が実現される。
【0052】
制御装置２４６には、外部からの信号（情報）を受信して制御装置２４６に送る受信機２４８と、制御装置２４６から受け取った信号（情報）を外部に送信する送信機２５０と、が更に接続されている。受信機２４８は、例えば、後述する搬送システム２の制御ユニット１２から送信される信号（制御信号）を受信して、制御装置２４６に送る。
【0053】
制御装置２４６は、例えば、受信機２４８から受け取った信号等に基づき、加工装置４の各構成要素の動作を制御する。また、制御装置２４６は、例えば、通知用の信号を生成して送信機２５０に送る。送信機２５０は、例えば、制御装置２４６から受け取った信号を搬送システム２の制御ユニット１２に送信する。
【0054】
基台２０２の側壁には、各種の配管２１が接続される配管接続部２０２ｃが設けられている。また、カバー２４４の側壁には、メンテナンス等の際に開閉される扉２４４ｂが設けられている。なお、カバー２４４の側壁には、制御装置２４６に対する指示等が入力される操作パネル（不図示）や、加工装置４に関する各種の情報が表示されるディスプレイ（不図示）等が設けられていても良い。
【0055】
図４は、加工装置４で被加工物１１が加工される様子を示す側面図である。なお、図４では、一部の構成要素をその断面で表している。被加工物１１を加工する際には、まず、被加工物１１の表面が上方を向くように、第１保持ユニット２２０等で保持面２０８ａに被加工物ユニット１７を載せて、吸引源の負圧を作用させる。併せて、被加工物ユニット１７のフレーム１５をクランプ２０８ｂで固定する。これにより、被加工物ユニット１７はチャックテーブル２０８によって保持される。
【0056】
次に、被加工物１１の任意の加工予定ラインとＸ２軸方向とが概ね平行になるように、チャックテーブル２０８の向きを調整した上で、この加工予定ラインの延長線の上方に切削ブレード２３２ｂを位置付ける。その後、切削ブレード２３２ｂの下端が被加工物１１の表面（上面）よりも低くなるように、加工ユニット２３２を下降させる。
【0057】
この状態で、切削ブレード２３２ｂを回転させて、図４に示すように、切削液を供給しながらチャックテーブル２０８をＸ２軸方向に移動させることで、切削ブレード２３２ｂを切り込ませて被加工物１１を加工（切削）できる。なお、切削ブレード２３２ｂの下端の高さ等の条件は、加工の目的等に応じて任意に調整される。
【0058】
図５（Ａ）、図５（Ｂ）、図５（Ｃ）、図６（Ａ）及び図６（Ｂ）は、サブチャックテーブル２１０のボード３１が交換される様子を示す側面図である。なお、各図では、一部の構成要素をその断面で表している。サブチャックテーブル２１０のボード３１を交換する際には、まず、図５（Ａ）に示すように、ボード３１が支持された状態のトレー３３を第１保持ユニット２２０等で保持面２０８ａに載せ、吸引源の負圧を作用させる。これにより、トレー３３はチャックテーブル２０８によって保持される。
【0059】
図５（Ａ）等に示すように、第１ボード配置領域３９ａには、サブチャックテーブル２１０に搬入される前のボード３１が配置されている。一方、図５（Ａ）の状態では、第２ボード配置領域３９ｂにボード３１が配置されていない。この第２ボード配置領域３９ｂには、サブチャックテーブル２１０から搬出された後のボード３１が配置されることになる。
【0060】
トレー３３をチャックテーブル２０８で保持した後には、サブチャックテーブル２１０に保持されているボード３１を搬出して、トレー３３の第２ボード配置領域３９ｂに載せる。具体的には、まず、サブチャックテーブル２１０とボード搬送ユニット２３６とを相対的に移動させて、図５（Ｂ）に示すように、サブチャックテーブル２１０の上方にボード搬送ユニット２３６を位置付ける。
【0061】
次に、ボード搬送ユニット２３６のアクチュエーター２３６ａ等で保持パッド２３６ｂを下降させて、サブチャックテーブル２１０上のボード３１に保持パッド２３６ｂを接触させる。そして、吸引源の負圧を保持パッド２３６ｂに作用させる。これにより、ボード３１は、保持パッド２３６ｂによって保持される。
【0062】
その後、サブチャックテーブル２１０の保持面２１０ａに作用する負圧を遮断し、図５（Ｂ）に示すように、アクチュエーター２３６ａ等で保持パッド２３６ｂを上昇させる。また、チャックテーブル２０８とボード搬送ユニット２３６とを相対的に移動させて、図５（Ｃ）に示すように、チャックテーブル２０８に保持されたトレー３３の第２ボード配置領域３９ｂの上方にボード搬送ユニット２３６を位置付ける。
【0063】
そして、アクチュエーター２３６ａ等で保持パッド２３６ｂを下降させて、トレー３３の第２ボード配置領域３９ｂにボード３１を配置する。この状態で、保持パッド２３６ｂに作用する吸引源の負圧を遮断すれば、サブチャックテーブル２１０から搬出されたボード３１を第２ボード配置領域３９ｂに載せることができる。なお、ボード３１を第２ボード配置領域３９ｂに載せた後には、アクチュエーター２３６ａ等で保持パッド２３６ｂを上昇させる。
【0064】
サブチャックテーブル２１０からボード３１を搬出して、トレー３３の第２ボード配置領域３９ｂに載せた後には、トレー３３の第１ボード配置領域３９ａに配置されている別のボード３１をサブチャックテーブル２１０に搬入する。具体的には、まず、図６（Ａ）に示すように、チャックテーブル２０８とボード搬送ユニット２３６とを相対的に移動させて、チャックテーブル２０８に保持されたトレー３３の第１ボード配置領域３９ａの上方にボード搬送ユニット２３６を位置付ける。
【0065】
そして、アクチュエーター２３６ａ等で保持パッド２３６ｂを下降させて、トレー３３の第１ボード配置領域３９ａに配置されているボード３１に保持パッド２３６ｂを接触させる。そして、吸引源の負圧を保持パッド２３６ｂに作用させる。これにより、ボード３１は、保持パッド２３６ｂによって保持される。
【0066】
その後、図６（Ａ）に示すように、アクチュエーター２３６ａ等で保持パッド２３６ｂを上昇させる。また、サブチャックテーブル２１０とボード搬送ユニット２３６とを相対的に移動させて、図６（Ｂ）に示すように、サブチャックテーブル２１０の上方にボード搬送ユニット２３６を位置付ける。
【0067】
そして、アクチュエーター２３６ａ等で保持パッド２３６ｂを下降させて、サブチャックテーブル２１０の保持面２１０ａにボード３１を配置する。この状態で、保持面２１０ａに吸引源の負圧を作用させれば、ボード３１をサブチャックテーブル２１０によって保持できる。なお、サブチャックテーブル２１０でボード３１を保持した後には、保持パッド２３６ｂに作用する吸引源の負圧を遮断してアクチュエーター２３６ａ等で保持パッド２３６ｂを上昇させる。
【0068】
以上のように、本実施形態にかかる加工装置（切削装置）４は、チャックテーブル２０８に保持されたトレー３３とサブチャックテーブル２１０との間でボード３１を搬送するボード搬送ユニット３３６を含んでいる。そして、このボード搬送ユニット３３６は、ボード３１を保持する保持パッド２３６ｂと、加工ユニット（切削ユニット）２３２とともにＹ軸Ｚ軸移動機構（割り出し送りユニット）２３０に支持され、加工送り方向（Ｘ２軸方向）と割り出し送り方向（Ｙ２軸方向）とに垂直な切り込み送り方向（Ｚ２軸方向）に沿って保持パッド２３６ｂを移動させるアクチュエーター２３６ａと、を備える。
【0069】
よって、この加工装置４を用いる場合には、サブチャックテーブル２１０に対するボード３１の着脱をオペレーターの手作業で行う必要がなくなる。その結果、サブチャックテーブル２１０に対するボード３１の着脱を効率良く行えるようになる。
【0070】
次に、上述した加工装置（切削装置）４を含む複数の装置のそれぞれに対して被加工物１１（被加工物ユニット１７）やボード３１（トレー３３）を搬送できるように構成された搬送システムについて説明する、なお、以下では、被加工物１１やボード３１の搬送先となる複数の装置がいずれも加工装置（切削装置）４である場合について説明するが、搬送システムは、任意の種類の装置に対して被加工物１１等を搬送できるように構成されていれば良い。すなわち、被加工物１１等の搬送先は、加工装置（切削装置）４以外の装置でも良い。
【0071】
例えば、搬送システムは、一連の加工に使用される複数の種類の装置に対して順に被加工物１１を搬送できるように構成されることがある。また、搬送システムは、被加工物１１の加工に付随する任意の処理で使用される様々な装置に被加工物１１を搬送できるように構成されることもある。つまり、被加工物１１等の搬送先には、被加工物１１の加工を目的としないテープ貼付装置、紫外線照射装置、洗浄装置等が含まれ得る。
【0072】
図７は、本実施形態にかかる搬送システム２の構成例を示す平面図であり、図８は、搬送システム２の接続関係の例を示す機能ブロック図である。図７に示すように、本実施形態にかかる搬送システム２は、加工装置（切削装置）４によって加工される被加工物１１等を搬送するための搬送路６を含んでいる。
【0073】
なお、上述した加工装置４は、被加工物１１等の搬送先として搬送システム２に接続されているが、必ずしも搬送システム２の構成要素ではない。また、図７では、説明の便宜上、１台の加工装置（切削装置）４ａのみを示し、図８では、２台の加工装置（切削装置）４ａ，４ｂを示しているが、本実施形態では、被加工物１１等の搬送先として、２台以上の加工装置４が必要になる。すなわち、搬送システム２に接続される加工装置４の数は、２以上である。
【0074】
搬送路６は、複数の加工装置４を連結するように、各加工装置４の上部に設置されている。この搬送路６を通じて、各加工装置４に被加工物１１やボード３１が搬送される。なお、搬送路６は、加工装置４の上方に設置されているので、各加工装置４の側面に接続される配管２１等に対して搬送路６が干渉することはない。
【0075】
搬送路６の下方には、加工装置４の他に、加工前の被加工物１１や加工後の被加工物１１、使用前のボード３１や使用後のボード３１等が収容されるローダー・アンローダー（搬送装置）８が設けられている。ローダー・アンローダー８に収容されている加工前の被加工物１１や使用前のボード３１は、任意のタイミングで搬送車１０へと搬入される。
【0076】
搬送車１０は、搬送路６上を走行し、ローダー・アンローダー８から受け取った加工前の被加工物１１や使用前のボード３１を各加工装置４へと搬送する。また、搬送車１０は、加工装置４から加工後の被加工物１１や使用後のボード３１を受け取ると、搬送路６上を走行し、加工後の被加工物１１をローダー・アンローダー８へと搬送する。
【0077】
ただし、複数の種類の装置（加工装置４等）が搬送システム２に接続されている場合には、搬送車１０は、ある加工装置４から加工後の被加工物１１を受け取ると、搬送路６上を走行し、加工後の被加工物１１を次の工程で使用される装置へと搬送することがある。なお、図７及び図８では、２台の搬送車１０ａ，１０ｂを示しているが、搬送車１０の数に制限はない。
【0078】
図８に示すように、加工装置４、ローダー・アンローダー８、搬送車１０には、これらの動作を制御する制御ユニット１２が無線で接続されている。ただし、制御ユニット１２は、加工装置４、ローダー・アンローダー８、搬送車１０等の動作を制御できるように構成されていれば良く、これらに対して有線で接続されることもある。
【0079】
図９は、ローダー・アンローダー８の構成例を模式的に示す側面図である。なお、図９では、一部の構成要素を機能ブロックで示している。図９に示すように、ローダー・アンローダー８は、各種の構成要素を収容する筐体２２を含む。なお、図９では、説明の便宜上、筐体２２を輪郭だけで示している。
【0080】
筐体２２内の高さ方向（Ｚ１軸方向）に沿って異なる２つの高さの位置には、それぞれ、カセット収容機構２４が設けられている。すなわち、本実施形態のローダー・アンローダー８は、第１カセット収容機構２４ａと、第１カセット収容機構２４ａの上方に配置された第２カセット収容機構２４ｂと、を含む。ただし、ローダー・アンローダー８が備えるカセット収容機構２４の数に制限はない。ローダー・アンローダー８は、１以上のカセット収容機構２４を備えていれば良い。
【0081】
各カセット収容機構２４は、平板状の支持台２６を有する。支持台２６の上面側には、ガイド機構（不図示）が設けられており、このガイド機構には、筐体２２の奥行方向（Ｙ１軸方向）に沿ってスライドできるように平板状のカセット載置台２８が装着されている。
【0082】
カセット載置台２８の上面には、複数（例えば、１０以上）の被加工物１１等を収容できるカセット３０が載置される。カセット３０は、複数の被加工物ユニット１７やトレー３３をまとめて搬送する際に用いられる。このようなカセット３０を用いることで、オペレーターは、複数の被加工物ユニット１７やトレー３３をまとめてローダー・アンローダー８へと搬入できる。
【0083】
筐体２２の各カセット収容機構２４に対応する位置には、カセット３０が載置されたカセット載置台２８を通過させることのできる搬入出口３２が形成されている。カセット３０の搬入出時には、カセット３０が載置されたカセット載置台２８をスライドさせることによって、この搬入出口３２をカセット３０が通過する。
【0084】
筐体２２の各搬入出口３２に対応する位置には、各搬入出口３２を閉じることのできる外扉（第２扉）３４が配置されている。外扉３４の下部は、例えば、水平な回転軸を持つヒンジ等の回転連結部材３６を介して支持台２６の外側の端部に連結されており、外扉３４は、回転連結部材３６の回転軸を中心に回転することによって開閉される。
【0085】
外扉３４が開かれた状態では、搬入出口３２よりも外側に位置する外部搬入出領域（外部領域）３８ａ（図１２（Ａ）等参照）にカセット載置台２８を引き出すことができる。なお、筐体２２の各搬入出口３２に対応する位置には、閉じられた状態の外扉３４を開かないように固定するエア駆動型のロック機構（不図示）が設けられている。
【0086】
例えば、オペレーターは、運んできたカセット３０を、外部搬入出領域３８ａに引き出されたカセット載置台２８の上に載置する。その後、オペレーターがカセット載置台２８を筐体２２の内部へ押し込むと、カセット載置台２８及びカセット３０は、搬入出口３２よりも内側に位置する内部収容領域（内部領域）３８ｂ（図１２（Ａ）等参照）に移動する。
【0087】
なお、本明細書では、この内部収容領域３８ｂを、カセット３０が載置される第１載置領域と呼ぶことがある。カセット３０をカセット収容機構２４から搬出する際には、外扉３４を開いた後に、カセット載置台２８を内部収容領域３８ｂから外部搬入出領域３８ａに引き出せば良い。
【0088】
各カセット収容機構２４の内部収容領域３８ｂに対して搬入出口３２と反対側の位置には、高さ方向に沿って移動できる態様の内扉（第１扉）４０が設けられている。第１カセット収容機構２４ａの内扉４０は、第１カセット収容機構２４ａの内部収容領域３８ｂに隣接する上方の閉位置と下方の開位置との間で移動し、第２カセット収容機構２４ｂ側の内扉４０は、第２カセット収容機構２４ｂの内部収容領域３８ｂに隣接する上方の開位置と下方の閉位置との間で移動する。よって、２つの内扉４０が互いに干渉することはない。
【0089】
図１０（Ａ）は、外扉３４が閉じ、内扉４０が開いた状態の第１カセット収容機構２４ａを示す一部断面側面図である。なお、図１０（Ａ）では、ローダー・アンローダー８の一部の構成要素を機能ブロックで示している。第２カセット収容機構２４ｂの構造及び動作は、内扉４０の移動の動作を除いて、第１カセット収容機構２４ａの構造及び動作と同様である。
【0090】
図１０（Ａ）に示すように、内扉４０には、昇降機構４２が連結されている。昇降機構４２は、例えば、空気圧を利用して対象を移動させるエアアクチュエーター（エアシリンダー）であり、シリンダーチューブ４２ａと、シリンダーチューブ４２ａに対して移動できるピストンロッド４２ｂと、を有する。
【0091】
シリンダーチューブ４２ａに収容されるピストンロッド４２ｂの基端部には、ピストン（不図示）が連結されている。また、シリンダーチューブ４２ａから露出するピストンロッド４２ｂの先端部には、内扉４０の内部収容領域３８ｂとは反対側の面に固定された連結部材４２ｃが連結されている。
【0092】
シリンダーチューブ４２ａへの吸排気を制御してピストン及びピストンロッド４２ｂを上方から下方に移動させれば、第１カセット収容機構２４ａの内扉４０は閉位置から開位置に移動する。また、ピストン及びピストンロッド４２ｂを下方から上方に移動させれば、第１カセット収容機構２４ａの内扉４０は開位置から閉位置に移動する。なお、昇降機構４２は、ロッドレスエアシリンダー等の他の機構により実現されても良い。
【0093】
支持台２６の内扉４０に面する位置には、内扉４０が開いているか否かを検知するために用いられる第１センサー４４が設けられている。第１センサー４４は、例えば、マグネットセンサであり、内扉４０の所定の位置に取り付けられた磁石４４ａ（図１０（Ｂ）参照）による磁場の強さを検知する。
【0094】
例えば、図１０（Ａ）に示すように、内扉４０が開き、磁石４４ａが第１センサー４４から離れると、磁石４４ａによる磁場の強さは第１センサー４４の位置で弱くなる。そのため、第１センサー４４が検知する磁場の強さを利用することで、内扉４０が開いているか否かを判断できる。
【0095】
第１センサー４４には、ローダー・アンローダー８の各構成要素を制御する制御装置４６が接続されており、第１センサー４４は、検知した磁場の強さに関する情報を制御装置４６に送る。制御装置４６は、第１センサー４４が検知した磁場の強さが基準より弱くなると、内扉４０が開いたと判断し、第１センサー４４が検知した磁場の強さが基準より強くなると、内扉４０が閉じたと判断する。なお、第１センサー４４は、制御装置４６に対して無線で接続されても良い。
【0096】
制御装置４６は、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）等の処理装置と、ＤＲＡＭ（Dynamic Random Access Memory）等の主記憶装置と、フラッシュメモリ等の補助記憶装置と、を含むコンピュータによって構成されている。補助記憶装置に記憶されるソフトウェアに従い処理装置等を動作させることによって、制御装置４６の機能が実現される。
【0097】
筐体２２の搬入出口３２に対応する位置には、外扉３４が開いているか否かを検知するために用いられる第２センサー４８が設けられている。第２センサー４８は、例えば、マグネットセンサであり、外扉３４の所定の位置に取り付けられた磁石４８ａによる磁場の強さを検知する。第２センサー４８は、制御装置４６に接続されている。なお、第２センサー４８は、制御装置４６に対して無線で接続されても良い。
【0098】
図１０（Ｂ）は、外扉３４が開き、内扉４０が閉じた状態を示す一部断面側面図である。なお、図１０（Ｂ）では、制御装置４６を機能ブロックで示している。図１０（Ｂ）に示すように、外扉３４が開き、磁石４８ａが第２センサー４８から離れると、磁石４８ａによる磁場の強さは第２センサー４８の位置で弱くなる。
【0099】
そのため、第２センサー４８が検知する磁場の強さを利用することで、外扉３４が開いているか否かを判断できる。具体的には、第２センサー４８は、検知した磁場の強さに関する情報を制御装置４６に送る。制御装置４６は、第２センサー４８が検知した磁場の強さが基準より弱くなると、外扉３４が開いたと判断し、第２センサー４８が検知した磁場の強さが基準より強くなると、外扉３４が閉じたと判断する。
【0100】
制御装置４６は、ローダー・アンローダー８の外部から内部へのアクセスを制限するための第１安全機構としての機能を備えている。第１安全機構は、閉じられた状態の外扉３４を開かないように固定するエア駆動型のロック機構を、制御装置４６が適切に制御することによって実現される。
【0101】
具体的には、外扉３４が閉じていると判断し、且つ、内扉４０が開いていると判断した場合に、制御装置４６は、外扉３４が開かないようにロック機構で外扉３４を固定する。このように、制御装置４６が外扉３４の開閉の可否を制御することにより、ローダー・アンローダー８の内部に位置する動作中の可動部等にオペレーターが誤ってアクセスすることを防止できる。
【0102】
また、制御装置４６は、ローダー・アンローダー８の外部から内部へのアクセスを制限するための第２安全機構としての機能を備えている。第２安全機構は、ローダー・アンローダー８の電源を、制御装置４６が適切に管理することによって実現される。具体的には、外扉３４が開いていると判断し、且つ、内扉４０が閉じていると判断した場合に、何らかの原因で内扉４０が開かれると、制御装置４６は、ローダー・アンローダー８の電源を落とす。
【0103】
第２安全機構により、外扉３４と内扉４０とが同時に開くような状況では、ローダー・アンローダー８が停止することになる。このように、制御装置４６がローダー・アンローダー８の電源を適切に管理することにより、ローダー・アンローダー８の内部に位置する動作中の可動部等にオペレーターが誤ってアクセスすることを防止できる。
【0104】
図１１（Ａ）は、カセット載置台２８等を示す一部断面側面図であり、図１１（Ｂ）は、カセット載置台２８を示す底面図である。カセット載置台２８の下面２８ａ側には、ストッパー部材５０が配置されている。ストッパー部材５０は、例えば、奥行方向に長い角棒５０ａを有している。ただし、この角棒５０ａの奥行方向の長さは、カセット載置台２８の奥行方向の長さよりも短い。また、角棒５０ａは、例えば、ステンレス鋼等の金属によって形成されている。ただし、角棒５０ａの材質や形状等に大きな制限はない。
【0105】
奥行方向で内側に位置する角棒５０ａの一端部（すなわち、内扉４０側の端部）には、高さ方向及び奥行方向に対して概ね垂直な幅方向（Ｘ１軸方向）に沿う回転軸（不図示）が設けられており、この回転軸には、ローラー５０ｂが回転できる態様で支持されている。ローラー５０ｂの径は、カセット載置台２８の下面２８ａと、支持台２６の上面２６ａとの距離よりも小さい。
【0106】
角棒５０ａの内側の一端と外側の他端との間の位置には、角棒５０ａを回転できる態様で支持する軸機構５２が設けられている。軸機構５２は、幅方向に沿う回転軸５２ａを有している。回転軸５２ａは、角棒５０ａの長手方向（奥行方向）の中央よりも他端側（外側）の位置に連結されている。
【0107】
回転軸５２ａの幅方向の両端部は、カセット載置台２８の下面２８ａ側に固定された一対の軸受け５２ｂの軸受け孔に挿入される。これにより、角棒５０ａは、高さ方向及び奥行方向に対して平行な面内（幅方向に垂直な面内）で回転軸５２ａの周りに回転できるように、軸受け５２ｂに支持される。
【0108】
上述のように、回転軸５２ａは、角棒５０ａの中央よりも他端側の位置に連結されている。よって、ストッパー部材５０に作用する重力の回転軸５２ａの周りのモーメントの向きは、角棒５０ａの一端を下方に移動させるような向きとなる。つまり、角棒５０ａに対して十分な力を付与しない限りは、角棒５０ａの一端の位置は、重力の作用で角棒５０ａの他端の位置よりも低くなる。
【0109】
そのため、例えば、カセット載置台２８の全体が内部収容領域３８ｂに位置付けられた状態では、ローラー５０ｂが支持台２６の上面２６ａに接触する。また、支持台２６の上方でカセット載置台２８を移動させると、ローラー５０ｂは、支持台２６の上面２６ａを転がる。
【0110】
角棒５０ａの他端部には、高さ方向に長いピン（押圧部）５４の下端部が連結されている。カセット載置台２８のピン５４に対応する位置には、カセット載置台２８を高さ方向に貫通する貫通孔２８ｃが形成されており、ピン５４は、この貫通孔２８ｃに挿入されている。貫通孔２８ｃは、挿入されたピン５４の高さ方向への移動を阻害しない程度の大きさに形成されている。
【0111】
ピン５４の高さ方向の長さは、カセット載置台２８の厚さよりも長い。そのため、ローラー５０ｂが支持台２６の上面２６ａに接触した状態では、ピン５４の上部がカセット載置台２８の上面２８ｂ側に露出する。このピン５４の露出部分には、ピン５４の径よりも大きな外径を有する円盤状のボタン５４ｂが固定されている。
【0112】
ピン５４に固定されたボタン５４ｂを上方から押し下げると、角棒５０ａの他端が下方に移動し、角棒５０ａの一端が上方に移動する。つまり、ローラー５０ｂが上方に移動する。なお、ピン５４の下部の近傍には、貫通孔２８ｃの径よりも大きな外径を有するリング５４ａが固定されている。
【0113】
図１２（Ａ）は、カセット載置台２８を内部収容領域３８ｂから外側に引き出す様子を示す一部断面側面図である。カセット載置台２８は、上述のガイド機構（不図示）により支持台２６に対してスライドできるように装着されており、搬入出口３２の外側に向けて引き出される。
【0114】
カセット載置台２８が外側にスライドし、ローラー５０ｂが支持台２６の上面２６ａの外側の端部よりも外に出ると、ストッパー部材５０に作用する重力の回転軸５２ａの周りのモーメントによって、角棒５０ａの一端が下方に移動する。つまり、ローラー５０ｂが支持台２６から脱落した状態になる。
【0115】
図１２（Ｂ）は、ローラー５０ｂが支持台２６から脱落した様子を示す一部断面側面図である。ローラー５０ｂが支持台２６から脱落すると、このローラー５０ｂは、上面２６ａよりも低い位置に位置付けられる。その結果、カセット載置台２８の内側への移動は、ストッパー部材５０が支持台２６の外側面２６ｂに接触することにより規制される。なお、ローラー５０ｂの脱落に伴ってピン５４は上昇し、リング５４ａがカセット載置台２８の下面２８ａに接触する。
【0116】
このように、ストッパー部材５０及び軸機構５２は、カセット載置台２８を引き出した際に、内側へのカセット載置台２８の移動を規制する移動規制機構として機能する。移動規制機構を設けることにより、例えば、比較的重いカセット３０の搬入出を行い易くなるので、カセット３０に収容されている被加工物１１等が搬入出に伴い破損するリスクを低減できる。
【0117】
すなわち、カセット３０をカセット載置台２８に載置（搬入）するときに、カセット載置台２８が内側へ移動してしまうと、オペレーターがカセット３０を落下させるリスクや、オペレーターがカセット３０を外扉３４に衝突させるリスクが高くなるが、移動規制機構によりカセット載置台２８の内側への移動を規制することで、これらのリスクを十分に低く抑えられる。
【0118】
また、オペレーターがカセット３０をカセット載置台２８から搬出するときに、カセット載置台２８が内側へ移動してしまうと、搬出予定のカセット３０が搬入出口３２の上部に位置する筐体２２の一部等に衝突するリスクが高くなるが、移動規制機構によりカセット載置台２８の内側への移動を規制することで、このリスクも十分に低く抑えられる。
【0119】
本実施形態の移動規制機構は、高さ方向及び奥行方向に平行な平面内での角棒５０ａの回転により実現されるので、例えば、カセット載置台２８の幅方向の外側の部分に移動規制機構を設ける場合のように、カセット収容機構２４が幅方向に大きくなることはない。そのため、カセット載置台２８の幅方向の外側の部分に移動規制機構を設ける場合に比べて、幅方向にコンパクトなカセット収容機構２４を実現し易くなる。
【0120】
なお、角棒５０ａの長さ、軸機構５２の位置等の条件は、角棒５０ａが支持台２６から脱落した状態で、カセット載置台２８上のカセット３０が載置される領域が筐体２２から完全に露出するように設定されている。それため、オペレーターは、カセット３０が完全に筐体２２から露出した状態で、カセット載置台２８にカセット３０を載置（搬入）できる。
【0121】
図１２（Ｃ）は、カセット載置台２８を内部収容領域３８ｂに戻す様子を示す一部断面側面図である。カセット載置台２８を内部収容領域３８ｂに戻す際には、オペレーターがボタン５４ｂを押し下げる。オペレーターは、例えば、ボタン５４ｂの下部がカセット載置台２８の上面２８ｂに接触するまでボタン５４ｂを押し下げる。これにより、ピン５４が下方に押し下げられ、ローラー５０ｂは、支持台２６の上面２６ａよりも上方に移動する。
【0122】
ローラー５０ｂは、例えば、カセット載置台２８の下面２８ａに接触するまで上昇する。その結果、カセット載置台２８の内側への移動の規制が解除され、カセット載置台２８を内部収容領域３８ｂに戻すことができるようになる。オペレーターは、ボタン５４ｂを押し下げた状態で、カセット載置台２８を内部収容領域３８ｂへと押し込めば良い。
【0123】
なお、カセット収容機構２４は、上述の例に限定されない。例えば、カセット載置台２８の幅方向で異なる２つの位置に、それぞれ、ストッパー部材５０が設けられても良い。この場合には、それぞれのピン５４に対応する位置に、貫通孔２８ｃが形成される。また、この場合には、２つのストッパー部材５０を構成する２つの角棒５０ａが、任意の位置で互いに連結されても良い。２つの角棒５０ａを互いに連結すれば、一方のピン５４を省略することもできる。
【0124】
また、貫通孔２８ｃは、カセット載置台２８のカセット３０が配置される領域に形成されても良い。この場合には、カセット載置台２８にカセット３０を載置すると、カセット３０の自重でピン５４が押し下げられる。つまり、オペレーターがピン５４を押し下げて、ストッパー部材５０による規制を解除する必要はなくなる。
【0125】
図９に示すように、ローダー・アンローダー８は、内扉４０の内部収容領域３８ｂとは反対側に配置された昇降機構５６を備えている。昇降機構５６は、高さ方向に長い支持柱５６ａを有している。支持柱５６ａの内扉４０側には、支持柱５６ａの長手方向（すなわち、高さ方向）に沿う一対のガイドレール（不図示）が設けられている。
【0126】
昇降機構５６の一対のガイドレールには、板状の昇降台５８が高さ方向にスライドできる態様で取り付けられている。昇降台５８の上面は、概ね平坦に形成されている。昇降台５８は、その上面を高さ方向に対して概ね垂直な状態に保ちながら、一対のガイドレールに沿って高さ方向にスライドする。
【0127】
支持柱５６ａの下部には、モーター（不図示）と、モーターの回転軸に連結された駆動プーリー（不図示）と、が設けられている。また、支持柱５６ａの上部には、従動プーリー（不図示）が設けられている。駆動プーリーと従動プーリーとには、１本の歯付無端ベルト（不図示）が架けられており、この歯付無端ベルトの一部は、昇降台５８に固定されている。そのため、モーターの回転軸を一方向に回転させると、昇降台５８は上昇し、モーターの回転軸を他方向に回転させると、昇降台５８は下降する。
【0128】
昇降台５８の上面側には、カセット収容機構２４内のカセット３０から搬出された被加工物ユニット１７や、カセット収容機構２４内のカセット３０に搬入される被加工物ユニット１７、ボード３１が配置されたトレー３３が仮置きされる仮置きユニット６０が設けられている。仮置きユニット６０は、カセット収容機構２４側に開口が形成された角筒状の筐体６２を有する。筐体６２の内部には、被加工物ユニット１７やトレー３３をそれぞれ把持して奥行方向に移動できる複数の搬送ユニット（搬送機構）６４が配置されている。
【0129】
仮置きユニット６０と第１カセット収容機構２４ａの第１カセット３０ａとの間で被加工物ユニット１７やトレー３３を受け渡す際には、仮置きユニット６０の高さを第１カセット収容機構２４ａの高さに合わせる。つまり、第１カセット収容機構２４ａの第１載置領域Ａ１ａに対して奥行方向で内扉４０側に隣接する第１搬送領域Ｂ１ａに、仮置きユニット６０を配置する。
【0130】
仮置きユニット６０が第１搬送領域Ｂ１ａに配置され、第１カセット収容機構２４ａの内扉４０が開かれると、搬送ユニット６４は、第１載置領域Ａ１ａの第１カセット３０ａにアクセスできるようになる。例えば、搬送ユニット６４は、第１カセット３０ａに収容されている被加工物ユニット１７やトレー３３を把持して、仮置きユニット６０に引き出す。
【0131】
また、搬送ユニット６４は、仮置きユニット６０に仮置きされている被加工物ユニット１７やトレー３３を把持して、第１カセット３０ａに収容する。このように、搬送ユニット６４は、第１搬送領域Ｂ１ａの仮置きユニット６０と、第１載置領域Ａ１ａの第１カセット３０ａとの間で、被加工物１１やボード３１を搬送できる。
【0132】
仮置きユニット６０と第２カセット収容機構２４ｂの第２カセット３０ｂとの間で被加工物ユニット１７やトレー３３を受け渡す際には、仮置きユニット６０の高さを第２カセット収容機構２４ｂの高さに合わせる。つまり、第２カセット収容機構２４ｂの第１載置領域Ａ１ｂに対して奥行方向で内扉４０側に隣接する第１搬送領域Ｂ１ｂに、仮置きユニット６０を配置する。
【0133】
仮置きユニット６０が第１搬送領域Ｂ１ｂに配置され、第２カセット収容機構２４ｂの内扉４０が開かれると、搬送ユニット６４は、第１載置領域Ａ１ｂの第２カセット３０ｂにアクセスできるようになる。例えば、搬送ユニット６４は、第２カセット３０ｂに収容されている被加工物ユニット１７やトレー３３を把持して、仮置きユニット６０に引き出す。
【0134】
また、搬送ユニット６４は、仮置きユニット６０に仮置きされている被加工物ユニット１７やトレー３３を把持して、第２カセット３０ｂに収容する。このように、搬送ユニット６４は、第１搬送領域Ｂ１ｂの仮置きユニット６０と、第１載置領域Ａ１ｂの第２カセット３０ｂとの間で、被加工物１１やボード３１を搬送できる。
【0135】
第２カセット収容機構２４ｂの更に上方には、載置台６６が設けられている。また、載置台６６の直上の領域には、筐体２２の天井２２ａを上下に貫通する開口２２ｂが設けられている。更に、載置台６６及び開口２２ｂの直上の領域には、搬送路６を上下に貫通する開口６ａが設けられている。
【0136】
搬送車１０と仮置きユニット６０との間で被加工物ユニット１７やトレー３３を搬送する際には、まず、被加工物ユニット１７やトレー３３を収容できる容器（カセット）１０２を備えた搬送車１０を、開口６ａの上方に移動させる。そして、容器１０２を吊り下げ部材１１２で吊り下げるように降下させて、載置台６６の上面（第２載置領域Ａ２）に容器１０２を載置する。
【0137】
また、仮置きユニット６０の高さを、載置台６６に載置された容器１０２の高さに合わせる。つまり、載置台６６に対して奥行方向で隣接する第２搬送領域Ｂ２に仮置きユニット６０を配置する。これにより、搬送ユニット６４は、第２載置領域Ａ２に載置された容器１０２にアクセスできるようになる。例えば、搬送ユニット６４は、容器１０２に収容されている被加工物ユニット１７やトレー３３を把持して、仮置きユニット６０に引き出す。
【0138】
また、搬送ユニット６４は、仮置きユニット６０に仮置きされている被加工物ユニット１７やトレー３３を把持して、容器１０２に収容する。このように、搬送ユニット６４は、第２搬送領域Ｂ２の仮置きユニット６０と、載置台６６に載置された容器１０２との間で、被加工物１１やボード３１を搬送できる。なお、仮置きユニット６０を昇降させる昇降機構５６や、仮置きユニット６０内の搬送ユニット６４は、上述の制御装置４６に接続されている。昇降機構５６や搬送ユニット６４の動作は、この制御装置４６によって制御される。
【0139】
制御装置４６には、外部からの信号（情報）を受信して制御装置４６に送る受信機６８と、制御装置４６から受け取った信号（情報）を外部に送信する送信機７０と、が更に接続されている。受信機６８は、例えば、搬送システム２の制御ユニット１２から送信される信号を受信して制御装置４６に送る。
【0140】
制御装置４６は、例えば、受信機６８から受け取った信号に基づき、ローダー・アンローダー８の各構成要素の動作を制御する。また、制御装置４６は、例えば、通知用の信号を生成して送信機７０に送る。送信機７０は、例えば、制御装置４６から受け取った信号を搬送システム２の制御ユニット１２に送信する。
【0141】
本実施形態のローダー・アンローダー８は、仮置きユニット６０を介して、複数の被加工物ユニット１７やトレー３３が収容されるカセット３０と、搬送車１０の容器１０２と、の間で被加工物ユニット１７やトレー３３を搬送できる。よって、各加工装置４に対して適時に被加工物１１やボード３１を搬送でき、また、各加工装置４で加工された被加工物１１や使用後のボード３１を適時に回収できる。
【0142】
図１３（Ａ）は、仮置きユニット６０の上段に被加工物ユニット１７を仮置きする様子を示す一部断面側面図であり、図１３（Ｂ）は、仮置きユニット６０の上段に被加工物ユニット１７を仮置きする様子を示す一部断面側面図である。なお、トレー３３が仮置きされる様子も被加工物ユニット１７の場合と同様である。仮置きユニット６０の筐体６２は、例えば、上部に配置される上板６２ａと、下部に配置される下板６２ｂと、を含む。
【0143】
上板６２ａの幅方向の２つの端部には、それぞれ、柱（不図示）の上端部が接続されている。また、下板６２ｂの幅方向の２つの端部には、それぞれ、柱の下端部が接続されている。つまり、上板６２ａと下板６２ｂとは、２組の柱を介して互いに連結されている。上板６２ａと下板６２ｂとの間の空間には、幅方向に離れた一対の側板６２ｃが配置されている。更に、筐体６２のカセット収容機構２４側の端部には、開口６２ｄが形成されている。
【0144】
一対の側板６２ｃの内側において同じ高さの位置には、それぞれ、奥行方向に沿って長い上段ガイドレール（第１仮置き部）７２ａが配置されている。各上段ガイドレール７２ａは、被加工物ユニット１７（フレーム１５）等を下方から支持する支持面と、被加工物ユニット１７（フレーム１５）等の幅方向の位置を規定する側面と、を有している。
【0145】
一対の側板６２ｃの内側において上段ガイドレール７２ａよりも下方の位置には、それぞれ、奥行方向に沿って長い下段ガイドレール（第２仮置き部）７２ｂが配置されている。各下段ガイドレール７２ｂは、被加工物ユニット１７（フレーム１５）等を下方から支持する支持面と、被加工物ユニット１７（フレーム１５）等の幅方向の位置を規定する側面と、を備えている。
【0146】
このように、筐体６２の内側の異なる高さの位置に、上段ガイドレール７２ａと下段ガイドレール７２ｂとを備えることで、仮置きユニット６０は、２つの被加工物ユニット１７等を同時に収容できる。そのため、仮置きユニットが１つの被加工物ユニット１７等だけを収容できる場合に比べて、搬送車１０の容器１０２又はカセット３０と、仮置きユニット６０と、の間で被加工物ユニット１７等を効率良く搬送できる。
【0147】
例えば、上段ガイドレール７２ａが加工前の被加工物ユニット１７等の収容に用いられ、下段ガイドレール７２ｂが加工後の被加工物ユニット１７等の収容に用いられる。ただし、被加工物ユニット１７等の収容の態様に制限はない。上段ガイドレール７２ａが加工後の被加工物ユニット１７等の収容に用いられ、下段ガイドレール７２ｂが加工前の被加工物ユニット１７等の収容に用いられても良い。
【0148】
上段ガイドレール７２ａに対応する高さの位置には、第１搬送ユニット６４ａが設けられており、下段ガイドレール７２ｂに対応する高さの位置には、第２搬送ユニット６４ｂが設けられている。各搬送ユニット６４は、上下に配置された２枚の板部材を含む把持部を備えている。２枚の板部材は、上側の板部材の下面と下側の板部材の上面とが概ね平行になるように配置されている。
【0149】
各搬送ユニット６４の把持部は、２枚の板部材の間隔を調整するアクチュエーター（不図示）を更に含んでいる。このアクチュエーターによって２枚の板部材の間隔を狭めることにより、被加工物ユニット１７のフレーム１５等が把持される。また、２枚の板部材の間隔を広げることにより、被加工物ユニット１７のフレーム１５等が２枚の板部材から放される。
【0150】
また、各搬送ユニット６４は、把持部を奥行方向に移動させる水平移動機構（不図示）を備えている。水平移動機構は、奥行方向に沿って設けられたリニアガイド（不図示）を有する。このリニアガイドには、搬送ユニット６４がスライドできる態様で連結されている。
【0151】
例えば、リニアガイドの一端側には、幅方向に概ね平行な回転軸を持つ従動プーリー（不図示）が設けられている。また、リニアガイドの他端側には、幅方向に概ね平行な回転軸を持つ駆動プーリー（不図示）と、この駆動プーリーに回転軸が連結されたモーター（不図示）と、が設けられている。
【0152】
従動プーリーと駆動プーリーとには、１本の歯付無端ベルト（不図示）が架けられており、この歯付無端ベルトの一部は、把持部に固定されている。そのため、モーターの回転軸を一方向に回転させると、把持部は奥行方向の一方側に移動し、モーターの回転軸を他方向に回転させると、把持部は奥行方向の他方側に移動する。
【0153】
上段ガイドレール７２ａに被加工物ユニット１７等を仮置きする際には、図１３（Ａ）に示すように、まず、昇降機構５６で仮置きユニット６０の高さを調整し、上段ガイドレール７２ａの高さを、被加工物ユニット１７等が収容されている容器１０２又はカセット３０の高さに合わせる。
【0154】
次に、第１搬送ユニット６４ａの把持部を容器１０２又はカセット３０の内部に移動させる。そして、容器１０２又はカセット３０に収容されている被加工物ユニット１７のフレーム１５等を第１搬送ユニット６４ａの把持部で把持する。その後、第１搬送ユニット６４ａの把持部を容器１０２又はカセット３０から離れる方向に移動させる。これにより、被加工物ユニット１７等が上段ガイドレール７２ａに載置される。
【0155】
上段ガイドレール７２ａに仮置きされている被加工物ユニット１７等を容器１０２又はカセット３０に収容する際の動作も同様である。この場合には、上段ガイドレール７２ａに仮置きされている被加工物ユニット１７等を第１搬送ユニット６４ａの把持部で把持した後に、この第１搬送ユニット６４ａの把持部を容器１０２又はカセット３０の内部に移動させれば良い。
【0156】
下段ガイドレール７２ｂに被加工物ユニット１７等を仮置きする際には、図１３（Ｂ）に示すように、まず、昇降機構５６で仮置きユニット６０の高さを調整し、下段ガイドレール７２ｂの高さを、被加工物ユニット１７等が収容されている容器１０２又はカセット３０の高さに合わせる。
【0157】
次に、第２搬送ユニット６４ｂの把持部を容器１０２又はカセット３０の内部に移動させる。そして、容器１０２又はカセット３０に収容されている被加工物ユニット１７のフレーム１５等を第２搬送ユニット６４ｂの把持部で把持する。その後、第２搬送ユニット６４ｂの把持部を容器１０２又はカセット３０から離れる方向に移動させる。これにより、被加工物ユニット１７等が下段ガイドレール７２ｂに載置される。
【0158】
下段ガイドレール７２ｂに仮置きされている被加工物ユニット１７等を容器１０２又はカセット３０に収容する際の動作も同様である。この場合には、下段ガイドレール７２ｂに仮置きされている被加工物ユニット１７等を第２搬送ユニット６４ｂの把持部で把持した後に、この第２搬送ユニット６４ｂの把持部を容器１０２又はカセット３０の内部に移動させれば良い。
【0159】
カセット３０と容器１０２との間の被加工物ユニット１７等の搬送にかかる動作は、例えば、次のようになる。まず、仮置きユニット６０の高さを昇降機構５６で調整し、カセット３０に収容されている加工前の被加工物ユニット１７等を上段ガイドレール７２ａに引き出す。次に、仮置きユニット６０を昇降機構５６で上昇させ、載置台６６上の容器１０２に収容されている加工後の被加工物ユニット１７等を下段ガイドレール７２ｂに引き出す。
【0160】
そして、仮置きユニット６０の高さを昇降機構５６で調整し、上段ガイドレール７２ａに仮置きされている加工前の被加工物ユニット１７等を載置台６６上の容器１０２に収容する。この動作により、加工後の被加工物ユニット１７等の容器１０２からの搬出（回収）と加工前の被加工物ユニット１７等の容器１０２への搬入（配布）とが効率良く行われる。ただし、被加工物ユニット１７等の搬送にかかる動作はこの限りでない。また、上段ガイドレール７２ａと下段ガイドレール７２ｂとの関係を必要に応じて入れ替えても良い。
【0161】
図１４（Ａ）は、２本の上段ガイドレール７２ａ等の平面図である。幅方向の一方側に位置する上段ガイドレール７２ａと下段ガイドレール７２ｂとは、第１側板６２ｃ１に固定されている。また、幅方向の他方側に位置する上段ガイドレール７２ａと下段ガイドレール７２ｂとは、第２側板６２ｃ２に固定されている。
【0162】
下板６２ｂの奥行方向の一端側には、下板６２ｂの幅方向の一方側の部分を上下に貫通する第１開口６２ｅ１と、下板６２ｂの幅方向の他方側の部分を上下に貫通する第２開口６２ｅ２とが形成されている。第１開口６２ｅ１には、第１側板６２ｃ１の奥行方向の一端側の一部が挿入されており、第２開口６２ｅ２には、第２側板６２ｃ２の奥行方向の一端側の一部が挿入されている。
【0163】
下板６２ｂの下面の第１開口６２ｅ１と第２開口６２ｅ２とに隣接する領域には、第１エアアクチュエーター７４ａの基部と第２エアアクチュエーター７４ｂの基部とが固定されている。第１エアアクチュエーター７４ａの可動部（例えば、ピストンロッド）は、第１開口６２ｅ１に挿入された第１側板６２ｃ１の一部に接続されている。第２エアアクチュエーター７４ｂの可動部（例えば、ピストンロッド）は、第２開口６２ｅ２に挿入された第２側板６２ｃ２の一部に接続されている。
【0164】
下板６２ｂの奥行方向の他端側には、第１ガイド機構７６ａと第２ガイド機構７６ｂとが設けられている。第１ガイド機構７６ａは、下板６２ｂの上面に固定され幅方向に長いガイドレールと、第１側板６２ｃ１の下部側に固定され幅方向にスライドできる状態でガイドレールに取り付けられたスライダーと、を含む。また、第２ガイド機構７６ｂは、下板６２ｂの上面に固定されたガイドレールと、第２側板６２ｃ２の下部側に固定され幅方向にスライドできる状態でガイドレールに取り付けられたスライダーと、を含む。
【0165】
よって、第１エアアクチュエーター７４ａと第２エアアクチュエーター７４ｂとで第１側板６２ｃ１と第２側板６２ｃ２との間隔を変更すれば、互いに平行な状態を維持しながら２本の上段ガイドレール７２ａの間隔を変更し、互いに平行な状態を維持しながら２本の下段ガイドレール７２ｂの間隔を変更できる。
【0166】
つまり、第１側板６２ｃ１、第１エアアクチュエーター７４ａ、第１ガイド機構７６ａ、第２側板６２ｃ２、第２エアアクチュエーター７４ｂ、第２ガイド機構７６ｂは、２本の上段ガイドレール７２ａの間隔と２本の下段ガイドレール７２ｂの間隔とを調整する間隔調整機構７８として機能する。
【0167】
第１エアアクチュエーター７４ａと第２エアアクチュエーター７４ｂとの動作は、上述の制御装置４６により制御される。つまり、制御装置４６は、被加工物ユニット１７（被加工物１１）等の大きさに応じて第１エアアクチュエーター７４ａと第２エアアクチュエーター７４ｂとの動作を制御し、２本の上段ガイドレール７２ａの間隔と２本の下段ガイドレール７２ｂの間隔とを調整する。
【0168】
例えば、被加工物１１の径が３００ｍｍの場合には、約４００ｍｍの幅を持つフレーム１５が使用される。この場合、制御装置４６は、２本の上段ガイドレール７２ａの側面の間隔７２ｃ（２本の下段ガイドレール７２ｂの側面の間隔７２ｃ）が４００ｍｍよりも僅か（例えば、数ｍｍ）に大きくなるように、第１エアアクチュエーター７４ａと第２エアアクチュエーター７４ｂとを動作させる。
【0169】
また、例えば、被加工物１１の径が２００ｍｍの場合には、約３００ｍｍの幅を持つフレーム１５が使用される。この場合、制御装置４６は、２本の上段ガイドレール７２ａの側面の間隔７２ｃ（２本の下段ガイドレール７２ｂの側面の間隔７２ｃ）が３００ｍｍよりも僅か（例えば、数ｍｍ）に大きくなるように、第１エアアクチュエーター７４ａと第２エアアクチュエーター７４ｂとを動作させる。
【0170】
図１４（Ｂ）は、２本の上段ガイドレール７２ａの間隔を狭めた様子を示す平面図である。なお、２本の上段ガイドレール７２ａの間隔を狭めると、２本の下段ガイドレール７２ｂの間隔も狭まる。このように、２本の上段ガイドレール７２ａの間隔と２本の下段ガイドレール７２ｂの間隔とを被加工物１１の径に応じて調整することで、異なる大きさの被加工物１１を仮置きユニット６０に仮置きできるようになる。つまり、１つの仮置きユニット６０で、複数の種類の大きさの被加工物ユニット１７等の搬送に対応できる。
【0171】
図１５（Ａ）は、搬送路６上を走行して被加工物ユニット１７やトレー３３を搬送する搬送車１０の上面側を示す斜視図であり、図１５（Ｂ）は、搬送車１０の底面側を示す斜視図である。図１５（Ａ）及び図１５（Ｂ）に示すように、搬送車１０は、各種の構成要素が搭載される板状の車両フレーム８２を備える。車両フレーム８２の前方側の両側端部には、一対の車軸８４が配置されている。車軸８４は、一端側が車両フレーム８２の側面から突出するように、車両フレーム８２の下面側に装着される。
【0172】
一対の車軸８４の一端側には、それぞれ、車輪（前輪）８６が固定されている。すなわち、一対の車輪８６が、車両フレーム８２の幅方向（車幅方向）に離れた２つの位置に配置されている。また、車両フレーム８２の後端部の幅方向に離れた２つの位置には、一対の車輪（後輪）８８が配置されている。車輪８８は、例えば、高さ方向に沿う回転軸の周りに３６０°回転できるキャスターであり、車両フレーム８２の下面側に装着されている。車輪８６及び車輪８８は、搬送車１０が搬送路６上を走行する際の走行用の車輪である。
【0173】
車両フレーム８２の前端部には、一対の車輪８６を駆動する駆動ユニット９０が搭載されている。駆動ユニット９０は、それぞれ、車軸８４等を介して車輪８６に連結された一対のモーター（駆動源）９２を備える。モーター９２は、回転軸（出力シャフト）９２ａを備え、車輪８６を回転させる動力を生成する。
【0174】
図１５（Ｂ）に示すように、車軸８４の他端側には、プーリー９４が設けられている。モーター９２の回転軸９２ａとプーリー９４とには、ベルト、チェーン等の無端の連結部材（不図示）が架けられている。モーター９２の回転軸９２ａ、プーリー９４、及び連結部材によって動力伝達機構が構成され、車軸８４とモーター９２とが連結される。これにより、モーター９２によって生成された動力（回転力）が車輪８６に伝達され、車輪８６が回転する。
【0175】
駆動ユニット９０は、一対のモーター９２によって一対の車輪８６の回転する方向を独立に制御する。一対の車輪８６を同方向に回転させることにより、搬送車１０が前進又は後退する。また、一対の車輪８６を互いに逆方向に回転させることにより、高さ方向に沿う回転軸の周りに搬送車１０を回転させて、搬送車１０の進行する方向を制御できる。なお、車輪８６及び車輪８８の構造に制限はない。例えば、車輪８６及び車輪８８として、傾斜した樽状（筒状）の複数の回転体が搬送路６と接触する外周面に取り付けられた、いわゆる、メカナムホイールを用いることもできる。
【0176】
駆動ユニット９０には、給電用の配線（不図示）を介して、モーター９２等に電力を供給するバッテリー（二次電池）９６が接続される。バッテリー９６は、例えば、車両フレーム８２の前端部に装着され、車輪８６を回転させるための電力をモーター９２に供給する。バッテリー９６としては、リチウムイオン電池等が用いられる。
【0177】
図１６は、搬送車１０の前端部を示す拡大斜視図である。車両フレーム８２の前端部の下面側には、充電用の配線（充電配線）９８を介してバッテリー９６に接続される一対の端子（受電端子）１００が設けられている。一対の端子１００は、例えば、搬送車１０の外部に設置された給電用の端子に接続され、バッテリー９６の充電に使用される電力の供給を受ける。なお、端子１００を用いるバッテリー９６の充電の詳細については後述する。
【0178】
図１５（Ａ）及び図１５（Ｂ）に示すように、車両フレーム８２の下側には、被加工物ユニット１７やトレー３３を収容する容器（カセット）１０２が格納される格納領域１０４が設けられている。格納領域１０４は、一対の車輪８６と一対の車輪８８とによって周りを囲まれており、且つ、車輪８６及び車輪８８の下端よりも上方に位置する。この格納領域１０４には、１又は複数の被加工物ユニット１７等を収容できる容器１０２が配置される。
【0179】
図１７（Ａ）は、容器１０２を示す斜視図であり、図１７（Ｂ）は、容器１０２を示す正面図である。容器１０２は、例えば、平面視で六角柱状に形成され、その内部に被加工物ユニット１７やトレー３３を収容可能な収容部（収容空間）１０２ａを備える。収容部１０２ａは、容器１０２の一側面側で開口するスリット状の開口１０２ｂを介して容器１０２の外部の空間に接続されている。被加工物ユニット１７やトレー３３は、開口１０２ｂを通過して収容部１０２ａに搬入されるとともに、開口１０２ｂを通過して収容部１０２ａから搬出される。
【0180】
図１７（Ｂ）に示すように、容器１０２は、例えば、大きさの異なる２種類の被加工物ユニット１７ａ等及び被加工物ユニット１７ｂ等を収容できるように構成されている。容器１０２の収容部１０２ａには、被加工物ユニット１７ａ等を保持できる一対の第１ガイドレール１０６と、被加工物ユニット１７ｂ等を保持できる一対の第２ガイドレール１０８とが設けられている。
【0181】
一対の第１ガイドレール１０６は、所定の間隔で収容部１０２ａの上壁１０２ｃに固定されており、被加工物ユニット１７ａ等の下面側を下側から保持する保持面１０６ａと、被加工物ユニット１７ａ等の水平方向の位置を規定する側面１０６ｂと、を備える。また、一対の第２ガイドレール１０８は、所定の間隔で収容部１０２ａの底壁１０２ｄに固定されており、被加工物ユニット１７ｂ等の下面側を下側から保持する保持面１０８ａを備える。なお、被加工物ユニット１７ｂ等の水平方向の位置は、容器１０２の内側の側面によって規定される。
【0182】
一対の第１ガイドレール１０６の間隔は、一対の第２ガイドレール１０８の間隔よりも狭い。そのため、一対の第１ガイドレール１０６は、第２ガイドレール１０８によって保持される被加工物ユニット１７ｂ等よりも小さい被加工物ユニット１７ａ等を保持できる。例えば、一対の第１ガイドレール１０６によって約２００ｍｍ（８インチ）の径の被加工物１１が保持され、一対の第２ガイドレール１０８によって約３００ｍｍ（１２インチ）の径の被加工物１１が保持される。
【0183】
上述のように、容器１０２は、同じ種類（同じ大きさ）の複数の被加工物ユニット１７等を収容できるようには構成されていない。この点で、容器１０２の機能及び用途は、同じ種類の複数の被加工物ユニット１７等を収容できるカセット３０の機能及び用途とは大きく異なっている。
【0184】
ただし、容器１０２や収容部１０２ａの構造に制限はない。例えば、収容部１０２ａは、１又は３以上の被加工物ユニット１７等を収容できるように構成されることがある。また、収容部１０２ａは、同じ種類の複数の被加工物ユニット１７等を収容できるように構成されても良い。
【0185】
被加工物ユニット１７やトレー３３を搬送車１０によって搬送する際には、図１５（Ａ）に示すように、容器１０２が格納領域１０４に格納される。このとき、容器１０２の下面は、車輪８６の下端や車輪８８の下端よりも上方に位置付けられる。そのため、搬送車１０の走行中に容器１０２が搬送路６と接触することはない。
【0186】
格納領域１０４の上方に位置する車両フレーム８２の上面側の領域には、容器１０２を吊り下げて昇降させる昇降ユニット（昇降機構）１１０が設けられている。昇降ユニット１１０は、格納領域１０４に格納された容器１０２を降下させて、所定の載置領域に載置する。また、昇降ユニット１１０は、所定の載置領域に載置された容器１０２を上昇させて、容器１０２を格納領域１０４に格納する。
【0187】
図１８は、容器１０２が載置領域Ａに載置された状態の搬送車１０を示す斜視図である。昇降ユニット１１０は、一端側（下端側）が容器１０２に接続された吊り下げ部材１１２と、吊り下げ部材１１２の巻き取り及び送り出しを行う駆動機構１１４とを備える。なお、載置領域Ａは、例えば、ローダー・アンローダー８の載置台６６の上面（第２載置領域Ａ２、図９参照）である。
【0188】
図１８に示すように、昇降ユニット１１０は、４本の吊り下げ部材１１２を備える。吊り下げ部材１１２としては、例えば、所定の幅を有するベルトが用いられる。４本の吊り下げ部材１１２の先端部（下端部）は、それぞれ、容器１０２の上面側の４つの位置に接続されている。
【0189】
容器１０２が格納領域１０４に格納された状態で、駆動機構１１４によって吊り下げ部材１１２が送り出されると、容器１０２が下降して載置領域Ａに載置される。また、容器１０２が載置領域Ａに載置された状態で、駆動機構１１４によって吊り下げ部材１１２が巻き取られると、容器１０２が上昇して格納領域１０４に格納される。
【0190】
吊り下げ部材１１２としてベルトを用いる場合には、図１８に示すように、収容部１０２ａから被加工物ユニット１７等が搬出される際に被加工物ユニット１７等が開口１０２ｂを通過する向きに対して、ベルトの幅方向が沿うように、容器１０２に対するベルトの向きを調整しておくことが好ましい。容器１０２はベルトの幅方向に揺れ動き難いので、この態様では、容器１０２の昇降中に被加工物ユニット１７等が開口１０２ｂから飛び出る可能性を低く抑えられる。
【0191】
なお、容器１０２に対するベルトの向きは、収容部１０２ａに対して被加工物ユニット１７等が搬入される際に被加工物ユニット１７等が開口１０２ｂを通過する向きに対して、ベルトの幅方向が沿うように調整されても良い。本実施形態では、ベルトの幅方向が、容器１０２の開口１０２ｂを含む面に対して垂直な方向に沿って配置されるように、ベルトと容器１０２とが接続されている。なお、吊り下げ部材１１２としては、巻き取り及び送り出しが可能なワイヤロープ等のベルト以外の部材を用いても良い。
【0192】
図１５（Ｂ）に示すように、車両フレーム８２の下面側には、容器１０２の上面側に接触する複数の接触部材１１６が設けられている。複数の接触部材１１６は、それぞれ、概ね同じ高さの柱状に形成され、車両フレーム８２の下面から下方に突出するように車両フレーム８２に固定されている。容器１０２が格納領域１０４に格納されると、この容器１０２の上面側が複数の接触部材１１６の下端部に接触して各接触部材１１６を上向きに押す。
【0193】
接触部材１１６は、例えば、容器１０２が押し当てられると弾性変形を生じる弾性部材により形成される。すなわち、接触部材１１６は、格納領域１０４に格納された容器１０２によって押されると、この容器１０２の上面側の形状に沿って変形し、容器１０２を下方に向かって押す復元力を生じる弾性体によって構成される。
【0194】
接触部材１１６に弾性部材を用いると、例えば、容器１０２が接触部材１１６と接触した際の衝撃が緩和され、容器１０２や容器１０２内の被加工物ユニット１７等が破損し難くなる。また、搬送車１０が搬送路６を走行する際にも、接触部材１１６が緩衝材となり、車両フレーム８２の振動が容器１０２や被加工物ユニット１７等に伝わり難くなる。
【0195】
接触部材１１６として、例えば、ゴム（ウレタンゴム、シリコーンゴム等）、スポンジ等でなる柱状の部材を用いることができる。特に、容器１０２との間に作用する摩擦力が大きいゴムで構成される接触部材１１６を用いることによって、搬送中の容器１０２の位置ずれを抑制できる。なお、接触部材１１６は、必ずしもその全体が弾性部材で構成される必要はなく、少なくとも接触部材１１６の容器１０２と接触する領域（下端部）が弾性部材によって構成されていれば良い。
【0196】
また、接触部材１１６は、容器１０２の上面側に対して３以上の位置で接触することが好ましい。本実施形態では、図１５（Ｂ）に示すように、３つの柱状の接触部材１１６が車両フレーム８２に設けられる。この場合には、容器１０２の上面が３つの接触部材１１６の下端を含む平面に沿って配置されるので、容器１０２は傾き難くなる。ただし、接触部材１１６の形状、数、配置等の条件は任意に変更され得る。例えば、互いに概ね平行に配置された一対の線状（帯状）の接触部材１１６が車両フレーム８２に設けられても良い。
【0197】
また、車両フレーム８２の振動が容器１０２に伝達され難くするために、容器１０２は、弾性部材を介して吊り下げ部材１１２に接続されていても良い。図１９は、容器１０２が弾性部材（伸縮部材）１１８を介して吊り下げ部材１１２に接続された搬送車１０を示す斜視図である。なお、この場合には、接触部材１１６が省略されても良い。
【0198】
吊り下げ部材１１２の先端側（下端側）と容器１０２との間には、弾性部材１１８が設けられている。弾性部材１１８は、吊り下げ部材１１２に揺れが生じた際に、吊り下げ部材１１２の長さ方向に沿って伸縮する部材であり、例えば、ゴム、ばね等の伸縮可能な弾性体でなる。また、弾性部材１１８として、伸縮継手等の伸縮可能な部品を用いることもできる。
【0199】
容器１０２が格納領域１０４に格納される際には、容器１０２の上面側が車両フレーム８２や接触部材１１６と接触しないように、吊り下げ部材１１２の巻き取り量が調整される。これにより、例えば、車両フレーム８２が振動しても、その振動は容器１０２に対して直接には伝達されない。また、車両フレーム８２から昇降ユニット１１０及び吊り下げ部材１１２を介して伝達される振動は、弾性部材１１８の伸縮によって緩和されるので、容器１０２に伝達され難い。このように、弾性部材１１８は防振材として機能する。
【0200】
ただし、車両フレーム８２の下面側に接触部材１１６が設けられている場合には、容器１０２が接触部材１１６と接触した状態で格納領域１０４に格納されるように、吊り下げ部材１１２の巻き取り量が調整されても良い。この場合には、車両フレーム８２から容器１０２への振動の伝達が接触部材１１６によって緩和されるとともに、吊り下げ部材１１２から容器１０２への振動の伝達が弾性部材１１８によって緩和される。
【0201】
車両フレーム８２の後端部の下側には、カバー１２０が設けられている。カバー１２０は、容器１０２が格納領域１０４に格納される際に、容器１０２の開口１０２ｂ（図１７（Ａ）参照）を覆う。開口１０２ｂがカバー１２０によって覆われると、搬送車１０の走行中に容器１０２の収容部１０２ａに異物が入り込むことを防止でき、被加工物ユニット１７等への異物の付着が防止される。
【0202】
また、搬送車１０の走行中に容器１０２が傾いたり振動したりしても、被加工物ユニット１７等の開口１０２ｂからの飛び出しがカバー１２０によって防止される。なお、カバー１２０の構造及び動作の詳細については後述する（図２３、図２４（Ａ）、図２４（Ｂ）参照）。
【0203】
車両フレーム８２の前端部及び後端部には、一対の第１センサー１２２が設けられている。すなわち、一対の第１センサー１２２は、車両フレーム８２の長さ方向（車長方向）に離れた２つの位置に設けられている。また、車両フレーム８２の両側端部には、一対の第２センサー１２４が設けられている。すなわち、一対の第２センサー１２４は、車両フレーム８２の幅方向（車幅方向）に離れた２つの位置に配置されている。
【0204】
第１センサー１２２と第２センサー１２４とは、それぞれ、搬送車１０が走行する搬送路６と対向するように装着され、搬送路６に設けられたマークを検出する。第１センサー１２２及び第２センサー１２４によるマークの検出結果に基づいて、搬送車１０の走行、旋回、停車等が制御される。第１センサー１２２及び第２センサー１２４を用いた搬送車１０の制御の詳細については後述する。
【0205】
第１センサー１２２及び第２センサー１２４が設置される具体的な位置は、搬送車１０が走行する搬送路６の仕様等に応じて調整される。例えば、一対の第１センサー１２２は、それぞれ、車両フレーム８２の前端部と後端部のうちで車両フレーム８２の幅方向の中央付近に装着される。また、一対の第２センサー１２４は、それぞれ、車両フレーム８２の両側端部のうちで車両フレーム８２の長さ方向の中央付近に装着される。
【0206】
なお、一対の第２センサー１２４は、一対の車輪８６を通る直線上に並ぶように、車両フレーム８２に固定されても良い。例えば、一対の第２センサー１２４は、車両フレーム８２の幅方向において一対の車輪８６を挟むように、一対の車輪８６の外側に設けられる。また、一対の第２センサー１２４は、車両フレーム８２の幅方向において一対の車輪８６に挟まれるように、一対の車輪８６の内側に設けられても良い。
【0207】
このように、一対の車輪８６を通る直線上に一対の第２センサー１２４を配置することで、一対の第２センサー１２４が検出の対象とするマークを車輪８６が通過するのと同時に、このマークを一対の第２センサー１２４によって検出できる。したがって、このマークが検出されるタイミングで搬送車１０を旋回させたり停車させたりすれば、何らの補正を行うことなく搬送車１０の走行を適切に制御できるようになる。
【0208】
一方で、一対の第２センサー１２４が一対の車輪８６を通る直線から離れている場合には、マークが検出されるタイミングに加えて、一対の第２センサー１２４と一対の車輪８６（一対の車軸８４）との間の距離や、搬送車１０の走行する速度等を用いて、搬送車１０の旋回や停車のタイミングを制御すると良い。
【0209】
更に、図１６に示すように、車両フレーム８２の前端部には、搬送車１０が障害物に衝突したことを検知する第３センサー１２６が設けられている。例えば、車両フレーム８２の前端部の両端側に、一対の第３センサー１２６が装着される。第３センサー１２６としては、例えば、押しボタン式のスイッチが用いられる。
【0210】
搬送車１０の前端部が障害物に衝突すると、第３センサー１２６が作動して搬送車１０の衝突が検知される。そして、第３センサー１２６によって搬送車１０の衝突が検知されると、搬送車１０は動作を停止する。なお、搬送車１０の衝突を検知できるようであれば、第３センサー１２６の構造や種類に制限はない。
【0211】
搬送車１０は、例えば、衝突等に起因する衝撃を弱めることのできる柔軟な外装カバーによって覆われることがある。この場合には、搬送車１０の前端側を覆う外装カバーが障害物に衝突すると、外装カバーが変形して第３センサー１２６に接触し、搬送車１０の衝突が検知される。
【0212】
図１５（Ａ）及び図１５（Ｂ）に示すように、昇降ユニット１１０の上側には、車両フレーム８２に固定された板状の支持台１２８が設けられている。この支持台１２８の上面には、搬送車１０の動作を制御する制御部（制御ユニット）１３０が固定されている。制御部１３０は、搬送車１０の各構成要素（駆動ユニット９０、昇降ユニット１１０、第１センサー１２２、第２センサー１２４、第３センサー１２６等）に接続されており、各構成要素の動作を制御する。
【0213】
制御部１３０は、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）等の処理装置と、ＤＲＡＭ（Dynamic Random Access Memory）等の主記憶装置と、フラッシュメモリ等の補助記憶装置と、を含むコンピュータによって構成されている。補助記憶装置に記憶されるソフトウェアに従い処理装置等を動作させることによって、制御部１３０の機能が実現される。
【0214】
また、支持台１２８上には、外部からの信号（情報）を受信して制御部１３０に送る受信機１３２と、制御部１３０から受け取った信号（情報）を外部に送信する送信機１３４と、が固定されている。受信機１３２と送信機１３４とは、それぞれ、制御部１３０に接続されている。
【0215】
受信機１３２は、例えば、搬送システム２の制御ユニット１２から送信される信号を受信して制御部１３０に送る。制御部１３０は、例えば、受信機１３２から受け取った信号に基づき、搬送車１０の動作を制御する。また、制御部１３０は、例えば、通知用の信号を生成して送信機１３４に送る。送信機１３４は、例えば、制御部１３０から受け取った信号を搬送システム２の制御ユニット１２（図８参照）に送信する。
【0216】
なお、搬送車１０の各構成要素（昇降ユニット１１０、第１センサー１２２、第２センサー１２４、第３センサー１２６、制御部１３０、受信機１３２、送信機１３４等）は、給電用の配線を介してバッテリー９６に接続されており、このバッテリー９６から供給される電力によって動作する。
【0217】
図２０（Ａ）は、昇降ユニット１１０の構成例を示す平面図であり、図２０（Ｂ）は、昇降ユニット１１０の構成例を示す側面図である。上述のように、昇降ユニット１１０は、複数の吊り下げ部材１１２の巻き取り及び送り出しを行う駆動機構１１４を備える。駆動機構１１４は、回転軸（出力シャフト）１４２ａを有するモーター１４２を含む。
【0218】
モーター１４２は、回転軸１４２ａを回転させることにより、吊り下げ部材１１２の巻き取り及び送り出しに用いられる動力を生成する。このモーター１４２を間に挟む２つの位置には、互いに概ね平行に配置された第１回転軸（第１シャフト）１４４ａと第２回転軸（第２シャフト）１４４ｂとが設けられている。
【0219】
第１回転軸１４４ａの一端側には、プーリー１４６が設けられている。モーター１４２の回転軸１４２ａとプーリー１４６とには、ベルト、チェーン等の無端の連結部材１４８が架けられている。モーター１４２の回転軸１４２ａ、プーリー１４６、及び連結部材１４８によって動力伝達機構が構成され、モーター１４２と第１回転軸１４４ａとが連結される。一方、第２回転軸１４４ｂの一端側には、モーター１４２との連結を実現するプーリー等が設けられていない。
【0220】
第１回転軸１４４ａの他端側には、プーリー１５０ａが設けられており、第２回転軸１４４ｂの他端側には、プーリー１５０ａと同径のプーリー１５０ｂが設けられている。プーリー１５０ａとプーリー１５０ｂとには、ベルト、チェーン等の無端の連結部材１５２が架けられている。プーリー１５０ａ、プーリー１５０ｂ、及び連結部材１５２によって動力伝達機構が構成され、第１回転軸１４４ａと第２回転軸１４４ｂとが連結される。
【0221】
第１回転軸１４４ａの両端部には、それぞれ、吊り下げ部材１１２が巻き付けられる円柱状のリール１５４ａが固定されている。また、各リール１５４ａより外側（モーター１４２とは反対側）かつ各リール１５４ａより下方の２つの位置には、それぞれ、吊り下げ部材１１２を支持する円柱状のローラー１５６ａが回転できるように配置されている。各ローラー１５６ａの回転軸は、第１回転軸１４４ａに対して概ね平行である。
【0222】
一方、第２回転軸１４４ｂの両端部には、それぞれ、吊り下げ部材１１２が巻き付けられる円柱状のリール１５４ｂが固定されている。また、各リール１５４ｂより外側（モーター１４２とは反対側）かつ各リール１５４ｂより下方の２つの位置には、それぞれ、吊り下げ部材１１２を支持する円柱状のローラー１５６ｂが回転できるように配置されている。各ローラー１５６ｂの回転軸は、第２回転軸１４４ｂに対して概ね平行である。
【0223】
リール１５４ａ及びリール１５４ｂには、それぞれ、吊り下げ部材１１２の基端側が固定されている。リール１５４ａに固定された吊り下げ部材１１２は、ローラー１５６ａの外側の部分に接触した状態で、下方に垂れ下がる。また、リール１５４ｂに固定された吊り下げ部材１１２は、ローラー１５６ｂの外側の部分に接触した状態で、下方に垂れ下がる。
【0224】
なお、リール１５４ａに固定された吊り下げ部材１１２は、図２０（Ｂ）に示すように、リール１５４ａの上側を通ってローラー１５６ａに支持される。一方で、リール１５４ｂに固定された吊り下げ部材１１２は、リール１５４ｂの下側を通ってローラー１５６ｂに支持される。
【0225】
モーター１４２の回転軸１４２ａを第１方向（図２０（Ｂ）に矢印Ｃ１で示す方向）に回転させると、第１回転軸１４４ａに固定されたリール１５４ａが吊り下げ部材１１２を送り出す方向（図２０（Ｂ）に矢印Ｃ２で示す方向）に回転する。これにより、吊り下げ部材１１２がリール１５４ａからローラー１５６ａを介して送り出される。
【0226】
また、第１回転軸１４４ａのトルクが連結部材１５２によって第２回転軸１４４ｂに伝達され、第２回転軸１４４ｂに固定されたリール１５４ｂが吊り下げ部材１１２を送り出す方向（図２０（Ｂ）に矢印Ｃ３で示す方向）に回転する。これにより、吊り下げ部材１１２がリール１５４ｂからローラー１５６ｂを介して送り出される。
【0227】
一方で、モーター１４２の回転軸１４２ａを第１方向とは逆方向の第２方向（図２０（Ｂ）に矢印Ｄ１で示す方向）に回転させると、第１回転軸１４４ａに固定されたリール１５４ａが吊り下げ部材１１２を巻き取る方向（図２０（Ｂ）に矢印Ｄ２で示す方向）に回転する。これにより、吊り下げ部材１１２がローラー１５６ａを介してリール１５４ａに巻き取られる。
【0228】
また、第１回転軸１４４ａのトルクが連結部材１５２によって第２回転軸１４４ｂに伝達され、第２回転軸１４４ｂに固定されたリール１５４ｂが吊り下げ部材１１２を巻き取る方向（図２０（Ｂ）に矢印Ｄ３で示す方向）に回転する。これにより、吊り下げ部材１１２がローラー１５６ｂを介してリール１５４ｂに巻き取られる。
【0229】
駆動機構１１４から各吊り下げ部材１１２が送り出されると、吊り下げ部材１１２の先端側に接続された容器１０２が下降する。これにより、容器１０２を載置領域Ａに載置できる（図１８参照）。また、駆動機構１１４によって各吊り下げ部材１１２が巻き取られると、吊り下げ部材１１２の先端側に接続された容器１０２が上昇する。これにより、容器１０２を搬送車１０の格納領域１０４に格納できる（図１５（Ａ）参照）。
【0230】
なお、上述の駆動機構１１４とは構造の異なる他の駆動機構が搭載された昇降ユニット１１０を用いることもできる。図２１（Ａ）は、昇降ユニット１１０の他の構成例を示す平面図であり、図２１（Ｂ）は、昇降ユニット１１０の他の構成例を示す側面図である。図２１（Ａ）及び図２１（Ｂ）に示す昇降ユニット１１０には、上述の駆動機構１１４の代わりに、駆動機構１６２が搭載されている。
【0231】
駆動機構１６２は、回転軸（出力シャフト）１６４ａを備えるモーター１６４と、互いに概ね平行に配置された第１回転軸（第１シャフト）１６６ａ、第２回転軸（第２シャフト）１６６ｂ、及び第３回転軸（第３シャフト）１６６ｃと、を含む。第１回転軸１６６ａは、第２回転軸１６６ｂと第３回転軸１６６ｃとの間に配置される。
【0232】
モーター１６４は、例えば、第１回転軸１６６ａと第２回転軸１６６ｂとの間に配置され、回転軸１６４ａを回転させることにより、吊り下げ部材１１２の巻き取り及び送り出しに用いられる動力を生成する。ただし、モーター１６４は、第１回転軸１６６ａと第３回転軸１６６ｃとの間に配置されても良い。
【0233】
第１回転軸１６６ａの一端側には、プーリー１６８が設けられている。モーター１６４の回転軸１６４ａとプーリー１６８とには、ベルト、チェーン等の無端の連結部材１７０が架けられている。モーター１６４の回転軸１６４ａ、プーリー１６８、及び連結部材１７０によって動力伝達機構が構成され、モーター１６４と第１回転軸１６６ａとが連結される。
【0234】
第１回転軸１６６ａには、吊り下げ部材１１２が巻き付けられる複数の円柱状のリール１７２が固定されている。具体的には、第１回転軸１６６ａの両端部に、一対のリール１７２が固定されている。各リール１７２には、２本の吊り下げ部材１１２が固定され、同じ向きに巻き付けられる。
【0235】
図２２（Ａ）は、リール１７２を示す平面図であり、図２２（Ｂ）は、リール１７２を示す側面図である。昇降ユニット１１０は、吊り下げ部材１１２をリール１７２に固定するための円柱状の固定部材１７４を備えており、２本の吊り下げ部材１１２は、この固定部材１７４によって、まとめてリール１７２に固定される。
【0236】
図２２（Ｂ）に示すように、リール１７２の外周部の一部には、リール１７２の回転軸（つまり、第１回転軸１６６ａ）に沿う溝（凹部）１７２ａが設けられている。溝１７２ａの内面は、曲面状に形成されている。また、溝１７２ａの両端は、リール１７２の回転軸方向の両端に達している。２本の吊り下げ部材１１２は、この溝１７２ａに対して基端部が重なるように、同じ向きに配置される。
【0237】
固定部材１７４は、溝１７２ａの内面の形状に対応する曲面状の外周面を有している。固定部材１７４は、溝１７２ａに対して２本の吊り下げ部材１１２の基端部が重なるように配置された状態で、この２本の吊り下げ部材１１２の基端部を溝１７２ａの内面に向かって押すように溝１７２ａに嵌め込まれる。これにより、２本の吊り下げ部材１１２の基端部は、溝１７２ａの内面と固定部材１７４の外周面とで挟まれ、リール１７２に固定される。
【0238】
なお、図２２（Ａ）に示すように、リール１７２の外周部には、リール１７２に固定された２本の吊り下げ部材１１２を、その幅方向で挟むように、一対の突起（凸部）１７２ｂが設けられている。一対の突起１７２ｂは、吊り下げ部材１１２の幅方向の位置のずれを防止するガイドとして機能する。このように構成されたリール１７２を回転させることで、２本の吊り下げ部材１１２を巻き取り、又は、２本の吊り下げ部材１１２を送り出すことができる。
【0239】
図２１（Ａ）及び図２１（Ｂ）に示すように、リール１７２に固定された２本の吊り下げ部材１１２の一方は、第２回転軸１６６ｂに接触した状態で下方に垂れ下がる。また、リール１７２に固定された２本の吊り下げ部材１１２の他方は、第３回転軸１６６ｃに接触した状態で下方に垂れ下がる。
【0240】
第２回転軸１６６ｂと第３回転軸１６６ｃとは、それぞれ、外部から付与される力にしたがって容易に回転できる状態で支持されており、外周面が吊り下げ部材１１２に接触する。第２回転軸１６６ｂと第３回転軸１６６ｃとの吊り下げ部材１１２が接触する領域の両側には、吊り下げ部材１１２の幅方向の位置のずれを防止する一対のガイド１７６が設けられている。
【0241】
モーター１６４の回転軸１６４ａを第１方向（図２１（Ｂ）に矢印Ｅ１で示す方向）に回転させると、リール１７２が吊り下げ部材１１２を送り出す方向（図２１（Ｂ）及び図２２（Ｂ）に矢印Ｅ２で示す方向）に回転する。これにより、２本の吊り下げ部材１１２がリール１７２から第２回転軸１６６ｂと第３回転軸１６６ｃとを介して送り出され、その結果、吊り下げ部材１１２に接続された容器１０２が下降する。
【0242】
一方、モーター１６４の回転軸１６４ａを第１方向とは逆方向の第２方向（図２１（Ｂ）に矢印Ｆ１で示す方向）に回転させると、リール１７２が吊り下げ部材１１２を巻き取る方向（図２１（Ｂ）及び図２２（Ｂ）に矢印Ｆ２で示す方向）に回転する。これにより、２本の吊り下げ部材１１２が第２回転軸１６６ｂと第３回転軸１６６ｃとを介してリール１７２に巻き取られ、その結果、吊り下げ部材１１２に接続された容器１０２が上昇する。
【0243】
上述のように、図２１（Ａ）に示す駆動機構１６２は、第１回転軸１６６ａに２つのリール１７２が固定されているとともに、２つのリール１７２のそれぞれに２本の吊り下げ部材１１２が固定されている。そのため、４本の吊り下げ部材１１２の送り出し及び巻き取りは、第１回転軸１６６ａの回転によって制御される。これにより、駆動機構１１４を構成する部品の数を少なくして、搬送車１０の軽量化、故障の可能性の低減、コストの削減を図ることができる。
【0244】
上述のような昇降ユニット１１０を用いることにより、被加工物ユニット１７やトレー３３が収容される容器１０２を、格納領域１０４と、この格納領域１０４よりも下方の載置領域Ａと、の間で昇降させることができる。昇降ユニット１１０の細部は、容器１０２を適切に昇降できる範囲内で変更され得る。
【0245】
なお、第２回転軸１６６ｂ及び第３回転軸１６６ｃは、回転しない状態で固定されていても良い。この場合には、吊り下げ部材１１２は、第２回転軸１６６ｂ又は第３回転軸１６６ｃの外周面を滑るように移動しながら、リール１７２から送り出され、又はリール１７２に巻き取られる。
【0246】
図２３は、カバー１２０を示す拡大斜視図である。カバー１２０は、格納領域１０４に格納された容器１０２の一側面（後部）に対して対向するように、車両フレーム８２の下面側の後端部に配置されている。このカバー１２０は、車両フレーム８２に対して回転できるように車両フレーム８２に連結された蓋部１８２を含む。蓋部１８２は、容器１０２の開口１０２ｂ（図２４（Ｂ）参照）を覆うことができる形状及び大きさに形成されている。また、蓋部１８２の上部には、容器１０２の上面側と接触するように複数の接触部１８４が固定されている。
【0247】
格納領域１０４に向かって容器１０２が上昇すると、容器１０２の上面側が接触部１８４の下端部に接触して接触部１８４を押し上げる。これにより、容器１０２に対して近付く方向に蓋部１８２が移動（回転）し、容器１０２の開口１０２ｂが蓋部１８２によって覆われる。
【0248】
図２４（Ａ）は、格納領域１０４に容器１０２が格納されていない状態のカバー１２０を示す側面図であり、図２４（Ｂ）は、格納領域１０４に容器１０２が格納された状態のカバー１２０を示す側面図である。車両フレーム８２の下面には、固定ブロック１８６が固定されている。固定ブロック１８６には、車両フレーム８２の幅方向（車幅方向）から見た形状がＬ字状の連結ブロック（Ｌ字ブロック）１８８が回転できる態様で連結される。
【0249】
連結ブロック１８８は、上方（車両フレーム８２側）の連結部１８８ａと、連結部１８８ａより下方の固定部１８８ｂと、を含んでいる。連結部１８８ａには、車両フレーム８２の幅方向に貫通する貫通孔が設けられており、この貫通孔には、固定ブロック１８６に固定される連結軸１９０が挿入される。これにより、連結ブロック１８８は、連結軸１９０の周りに回転できる状態で固定ブロック１８６に連結される。
【0250】
固定部１８８ｂの格納領域１０４側（前側）には、蓋部１８２が固定される。なお、貫通孔に挿入される連結軸１９０は、車両フレーム８２の幅方向に対して概ね平行なので、蓋部１８２は、連結ブロック１８８とともに車両フレーム８２の幅方向に対して概ね垂直な面に沿って回転することになる。
【0251】
蓋部１８２は、連結ブロック１８８の固定部１８８ｂに固定された板状部材１８２ａを備える。板状部材１８２ａの格納領域１０４側（前側）の面には、柔軟部材１８２ｂが設けられている。柔軟部材１８２ｂは、容器１０２の開口１０２ｂの全体を覆うことができる形状及び大きさに形成されている。
【0252】
また、板状部材１８２ａの格納領域１０４側（前側）には、接触部１８４が配置されている。接触部１８４は、例えば、柔軟部材１８２ｂより上方で板状部材１８２ａに固定される固定部材１８４ａと、固定部材１８４ａの格納領域１０４側（前側）の部分に支持されるローラー１８４ｂと、を含んでいる。
【0253】
ローラー１８４ｂは、例えば、ゴム等の弾性部材によって形成され、車両フレーム８２の幅方向に対して概ね平行な回転軸の周りに回転できるように固定部材１８４ａに支持されている。また、ローラー１８４ｂの下端は、固定部材１８４ａの下端より下方に位置付けられている。そのため、容器１０２の上面側がローラー１８４ｂに接触した状態では、蓋部１８２の回転に合わせてこのローラー１８４ｂも回転する。
【0254】
例えば、格納領域１０４に向かって容器１０２が上昇すると、容器１０２の上面側が接触部１８４のローラー１８４ｂに接触し、この接触部１８４を押し上げる。すると、カバー１２０は、連結軸１９０を中心に、その下端側が容器１０２に対して近付く方向（図２４（Ｂ）に矢印Ｇで示す方向）に回転し、板状部材１８２ａの格納領域１０４側（前側）の面が車両フレーム８２の下面に対して概ね平行になる。そして、蓋部１８２の柔軟部材１８２ｂが容器１０２の一側面（後部）に接触し、開口１０２ｂを塞ぐ。
【0255】
なお、格納領域１０４に格納された容器１０２の開口１０２ｂが露出したままの場合には、容器１０２の収容部１０２ａに塵等の異物が入り込む可能性がある。特に、搬送車１０の走行中には、搬送路６と車輪８８との摩擦で発生する静電気により、例えば、搬送路６が設置されるクリーンルーム内にごく僅かに存在する異物が搬送車１０に引き寄せられて、収容部１０２ａに入り込む可能性が高い。
【0256】
そこで、本実施形態では、格納領域１０４に容器１０２が格納されると、容器１０２の開口１０２ｂがカバー１２０によって覆われるようにして、搬送車１０の走行中に容器１０２の収容部１０２ａに異物が入り込まないようにしている。また、搬送車１０の走行中に容器１０２が傾いたり振動したりしても、被加工物ユニット１７やトレー３３が容器１０２から飛び出ないようにしている。
【0257】
一方で、容器１０２を昇降ユニット１１０によって昇降させる間は、搬送路６と車輪８８との摩擦で静電気が発生することはなく、また、搬送車１０の移動によって異物が巻き上げられることもない。そのため、容器１０２の昇降中に容器１０２の開口１０２ｂが覆われていなくても、収容部１０２ａに異物が入り込む可能性は低い。
【0258】
また、カバー１２０の開口１０２ｂに対応する領域には、柔軟部材１８２ｂが設けられている。柔軟部材１８２ｂは、例えば、容器１０２に収容された被加工物ユニット１７等が衝突すると変形して、この被加工物ユニット１７等に作用する衝撃を緩和する。すなわち、柔軟部材１８２ｂは、緩衝材として機能する。この柔軟部材１８２ｂにより、被加工物ユニット１７に含まれる被加工物１１等が破損し難くなる。
【0259】
柔軟部材１８２ｂの材質や構造等に制限はない。例えば、被加工物ユニット１７の被加工物１１等が破損しない程度に衝撃を緩和できる柔軟部材１８２ｂを用いると良い。より具体的には、柔軟部材１８２ｂとして、スポンジ、ゴム、綿、布等でなる部材や、発泡スチロール、気泡緩衝材等を用いることができる。
【0260】
特に、スポンジは、柔軟で変形し易いので、柔軟部材１８２ｂとしてスポンジを用いると、被加工物ユニット１７等に作用する衝撃を効果的に緩和できる。また、柔軟部材１８２ｂとしてスポンジを用いると、容器１０２に側面の形状に沿って柔軟部材１８２ｂが適切に変形し、開口１０２ｂが確実に塞がれる。
【0261】
カバー１２０の各部分の重量は、図２４（Ａ）に示すように、格納領域１０４から容器１０２を下降させる際に、カバー１２０が自重によって、その下端部が格納領域１０４から離れる方向（図２４（Ｂ）に矢印Ｇで示す方向とは反対の方向）に回転するように調整されている。よって、格納領域１０４に容器１０２が格納されていない状態では、板状部材１８２ａの格納領域１０４側（前側）の面が車両フレーム８２の下面に対して傾く。
【0262】
なお、カバー１２０の数及び配置に制限はない。例えば、車両フレーム８２の後端部に加えて車両フレーム８２の前端部にも、容器１０２の側面に接触するカバー１２０を設けることができる。この場合には、容器１０２が格納領域１０４に格納されると、容器１０２の２つの側面（前部及び後部）が一対のカバー１２０によって挟まれる。これにより、容器１０２の揺れ（振動）が抑制される。なお、この場合には、車両フレーム８２の長さ方向（前後方向）における容器１０２の揺れ（振動）を特に抑制し易い。
【0263】
更に、車両フレーム８２の前端部、後端部、及び両側端部に、それぞれカバー１２０が設けられても良い。この場合には、格納領域１０４に格納された容器１０２の４つの側面（前部、後部、両側部）が、それぞれカバー１２０と接触する。これにより、容器１０２の揺れ（振動）が抑制される。なお、この場合には、車両フレーム８２の長さ方向（前後方向）及び幅方向における容器１０２の揺れ（振動）を特に抑制し易い。
【0264】
容器１０２の昇降時には、昇降ユニット１１０のモーター１４２等の回転が、制御部１３０によって制御される。図２５（Ａ）は、格納領域１０４に格納された容器１０２が載置領域Ａに載置される際の搬送車１０を示す側面図である。容器１０２を載置領域Ａに載置する際には、駆動機構１１４から吊り下げ部材１１２が任意の速度で送り出されるように、モーター１４２の回転方向及び回転数が制御される。例えば、制御部１３０は、モーター１４２の回転数が維持されるように、モーター１４２の電流値を制御する。
【0265】
図２５（Ｂ）は、容器１０２が下降する際のモーター１４２の電流値を示すグラフである。容器１０２が下降して載置領域Ａに到達すると、容器１０２が載置領域Ａで下側から支持される。その結果、モーター１４２の回転軸１４２ａに作用する負荷が弱まり、モーター１４２の電流値が減少する。
【0266】
制御部１３０は、容器１０２が載置領域Ａに載置された際のモーター１４２の電流値の変化に基づいて、モーター１４２の回転を停止させる。例えば、制御部１３０には、予め所定の閾値が記憶されており、制御部１３０は、この閾値とモーター１４２の電流値とを比較する。そして、モーター１４２の電流値が閾値以下である場合（又は閾値未満である場合）には、制御部１３０は、モーター１４２の回転を停止させる。これにより、載置領域Ａへの容器１０２の載置が完了する。
【0267】
図２６（Ａ）は、載置領域Ａに載置された容器１０２が格納領域１０４に格納される際の搬送車１０を示す側面図である。容器１０２を格納領域１０４に格納する際には、吊り下げ部材１１２が駆動機構１１４によって任意の速度で巻き取られるように、モーター１４２の回転方向及び回転数が制御される。例えば、制御部１３０は、モーター１４２の回転数が維持されるように、モーター１４２の電流値を制御する。
【0268】
図２６（Ｂ）は、容器１０２が上昇する際のモーター１４２の電流値を示すグラフである。容器１０２が上昇して格納領域１０４に到達すると、車両フレーム８２の下面側に設けられた複数の接触部材１１６に容器１０２が押し付けられる。その結果、モーター１４２の回転軸１４２ａに作用する負荷が強まり、モーター１４２の電流値が増加する。
【0269】
制御部１３０は、容器１０２が接触部材１１６と接触した際のモーター１４２の電流値の変化に基づいて、モーター１４２の回転を停止させる。例えば、制御部１３０には、予め所定の閾値が記憶されており、制御部１３０は、この閾値とモーター１４２の電流値とを比較する。そして、モーター１４２の電流値が閾値以上である場合（又は閾値を超える場合）には、制御部１３０は、モーター１４２の回転を停止させる。これにより、格納領域１０４への容器１０２の格納が完了する。
【0270】
上述のように、容器１０２を昇降させる際のモーター１４２の動作を、モーター１４２の電流値に基づいて制御する場合には、容器１０２を検知するためのセンサーを格納領域１０４や載置領域Ａに設ける必要がない。これにより、搬送車１０や載置領域Ａ等の構造が簡略化される。また、搬送車１０の重量も低減される。
【0271】
ただし、モーター１４２の制御方法に制限はない。例えば、車両フレーム８２の下面側や載置領域Ａの上面側には、容器１０２が配置されたことを検知するセンサー（押しボタン式のスイッチ等）が設けられても良い。この場合には、センサーによって容器１０２が検知されると、制御部１３０は、モーター１４２の回転を停止させる。なお、センサーによる検知と、モーター１４２の電流値による検知と、を併用することもできる。
【0272】
なお、載置領域Ａに容器１０２が載置されたことを載置領域Ａ側（例えば、ローダー・アンローダー８側）だけで検知する場合には、搬送システム２の制御ユニット１２（図８参照）は、容器１０２が載置領域Ａに載置されたことを載置領域Ａ側から通知された後に、モーター１４２の回転を停止させるように搬送車１０に指示を出す。そして、搬送車１０の制御部１３０がモーター１４２の回転を停止させる。
【0273】
これに対して、上述のように、載置領域Ａに容器１０２が載置されたことを搬送車１０側で検知する場合には、搬送車１０の制御部１３０は、搬送システム２の制御ユニット１２からの指示を待つことなく、自らの判断でモーター１４２の回転を停止させる。これにより、容器１０２が載置領域Ａに載置されてからモーター１４２の回転を停止させるまでのタイムラグを小さくできる。
【0274】
また、容器１０２の昇降速度は、必ずしも一定でなくて良い。例えば、容器１０２が載置領域Ａに載置される直前や格納領域１０４に格納される直前に、モーター１４２の回転数を下げ、容器１０２を減速させても良い。これにより、載置領域Ａや接触部材１１６に容器１０２が接触する際の衝撃を緩和できる。なお、この場合には、制御部１３０は、例えば、モーター１４２の回転量等に基づき容器１０２の高さを監視すれば良い。
【0275】
容器１０２が載置領域Ａに載置されると、制御部１３０は、容器１０２の載置が完了した旨を通知するための信号を生成し、送信機１３４から搬送システム２の制御ユニット１２に送信する。また、容器１０２が格納領域１０４に格納されると、制御部１３０は、容器１０２の格納が完了した旨を通知するための信号を生成し、送信機１３４から搬送システム２の制御ユニット１２（図８参照）に送信する。なお、これらの信号は、加工装置４に送られても良い。
【0276】
本実施形態の搬送システム２は、加工装置４に連動して動作する。例えば、搬送車１０は、搬送路６上の停車領域に停車して、被加工物ユニット１７等が収容された容器１０２を、加工装置４の昇降台２０４の上面（載置領域Ａ）に載置する。昇降台２０４に容器１０２が載置されると、搬送車１０の制御部１３０は、その旨を通知するための信号を生成し、送信機１３４に発信させる。この信号は、送信機１３４から搬送システム２の制御ユニット１２に送信される。
【0277】
制御ユニット１２は、搬送車１０の送信機１３４から送信された信号に基づいて、容器１０２から加工前の被加工物ユニット１７等を搬出し、加工後の被加工物ユニット１７等を容器１０２へと搬入する旨を加工装置４に指示するための信号を生成する。制御ユニット１２からの信号を加工装置４の受信機２４８が受信し、この信号に基づく指示を制御装置２４６が受けると、制御装置２４６は、昇降台２０４の上面（載置領域Ａ）に載置された容器１０２から加工前の被加工物ユニット１７等を第１保持ユニット２２０に搬出させる。これにより、被加工物ユニット１７等が一対のガイドレール２１２に引き出される。
【0278】
例えば、被加工物１１の加工が開始されると、制御装置２４６は、昇降台２０４の高さを調整し、載置領域Ａの下方に設けられている収容領域から加工後の被加工物ユニット１７等を一対のガイドレール２１２に引き出す。そして、一対のガイドレール２１２上の加工後の被加工物ユニット１７等を昇降台２０４上の容器１０２に収容する。
【0279】
加工後の被加工物ユニット１７等が容器１０２に収容されると、加工装置４の制御装置２４６は、その旨を通知するための信号を生成し、送信機２５０から搬送システム２の制御ユニット１２に送信する。制御ユニット１２は、加工装置４の送信機２５０から送信された信号に基づいて、次の目的地へと向かう旨を搬送車１０に指示するための信号を生成する。
【0280】
制御ユニット１２からの信号を搬送車１０の受信機１３２が受信し、この信号に基づく指示を制御部１３０が受けると、制御部１３０は、次の目的地へと向けて搬送車１０を走行させる。このように、搬送システム２を利用することで、加工装置４は、加工前の被加工物ユニット１７等を適時に受け取り、加工後の被加工物ユニット１７等を適時に回収させることができる。
【0281】
図２や図７等に示すように、搬送システム２を構成する搬送路６は、各加工装置４がそれぞれ備えるカバー２４４の天井２４４ａの上面側や、ローダー・アンローダー８が備える筐体２２の天井２２ａの上面側等に設置される。すなわち、搬送路６は、複数の加工装置４やローダー・アンローダー８等の間を接続するように、加工装置４やローダー・アンローダー８等の真上に配置されている。
【0282】
そのため、加工装置４の側面に設けられている配管接続部２０２ｃや扉２４４ｂ等の構造に対して、搬送路６が干渉することはない。つまり、搬送路６を設計する際に、加工装置４の側面の構造を考慮する必要がなくなる。これにより、搬送システム２を容易に構築できる。また、工場の天井等に比べて低い場所に搬送路６が配置されるので、搬送路６の設置にかかる作業も容易になる。
【0283】
そして、例えば、複数の加工装置４等が既に設置されている環境で搬送路６を構築する場合には、工場の天井等に搬送路を設ける場合のように、加工装置４等を移動させて作業スペースを確保する必要がない。更に、既に設置されている加工装置４等が搬送路６の土台になるので、新たに土台を設ける場合等に比べて作業の工数も少なくなる。
【0284】
図２７は、加工装置４に設置された搬送路６の一部を示す斜視図である。なお、ローダー・アンローダー８の上方に設置される搬送路６の構造等は、加工装置４の上方に設置される搬送路６の構造等と概ね同じである。複数の加工装置４の天井２４４ａやローダー・アンローダー８の天井２２ａ等には、ねじやボルト等により下段フレーム２６２が固定される。
【0285】
下段フレーム２６２は、例えば、アルミニウム等の金属を含む材料で形成された棒状のフレーム部材の複合体であり、例えば、隣接する加工装置４やローダー・アンローダー８との間を連結するような形状に組み上げられている。この下段フレーム２６２を、各加工装置４の天井２４４ａやローダー・アンローダー８の天井２２ａ等に対して固定することで、搬送路６の土台が形成される。
【0286】
なお、各加工装置４やローダー・アンローダー８等に対して下段フレーム２６２を固定する際には、下段フレーム２６２の上面が概ね水平になり、また、下段フレーム２６２の上面の高さが概ね等しくなるように、各加工装置４やローダー・アンローダー８等に対する下段フレーム２６２の高さが調整される。
【0287】
これにより、各加工装置４の天井２４４ａやローダー・アンローダー８の天井２２ａ等の高さが完全に等しくない場合でも、水平に、且つ、同じ高さに搬送路６を形成できるようになる。加工装置４やローダー・アンローダー８等に対して下段フレーム２６２の高さを調整する方法に制限はないが、例えば、各加工装置４の天井２４４ａやローダー・アンローダー８の天井２２ａ等と、下段フレーム２６２の下面と、の間に高さ調整用の部材を配置する方法を用いることができる。
【0288】
もちろん、加工装置４やローダー・アンローダー８の高さを調整しても良い。例えば、加工装置４やローダー・アンローダー８の下端部（脚部）には、高さ調整用の調整機構が設けられている。よって、この調整機構を用いて加工装置４やローダー・アンローダー８の高さを調整し、各加工装置４の天井２４４ａやローダー・アンローダー８の天井２２ａ等の高さを等しくすれば、搬送路６の土台に適した下段フレーム２６２を実現できる。
【0289】
下段フレーム２６２の上面側には、ねじやボルト等により上段フレーム２６４が固定される。上段フレーム２６４は、例えば、アルミニウム等の金属を含む材料で構成された棒状のフレーム部材の複合体であり、搬送路６を適切に固定できるように、搬送路６の配置等に合わせた形状に組み上げられている。
【0290】
上段フレーム２６４の上方には、搬送路６が設けられる。搬送路６は、例えば、平板状の複数の路面パネル２６６を水平な方向に並べることによって形成される。このように、複数の路面パネル２６６を組み合わせて搬送路６を形成することで、複数の加工装置４やローダー・アンローダー８の配置等に応じた様々な搬送路６が容易に実現される。
【0291】
路面パネル２６６は、例えば、ポリアミドやポリカーボネート、ＣＦＲＰ（Carbon Fiber Reinforced Plastic：炭素繊維強化プラスチック）等の軽量で強度の高い材料を用いて平面視で矩形状に形成され、搬送車１０の走行に適した平坦な上面を有している。また、路面パネル２６６の端部には、この路面パネル２６６を上下に貫通する貫通孔が形成されている。
【0292】
一方で、上段フレーム２６４の上面側には、ねじ２６８の径に対応する径を持つねじ孔（不図示）が、路面パネル２６６の貫通孔に対応する位置に開口している。よって、路面パネル２６６を上段フレーム２６４の上面側に配置した上で、その貫通孔（不図示）を通じて上段フレーム２６４のねじ孔にねじ２６８を締め込めば、路面パネル２６６を上段フレーム２６４に固定できる。
【0293】
下段フレーム２６２は、例えば、それぞれが複数の棒状のフレーム部材を含む複数の下段フレームユニット２７０を組み合わせることにより形成される。同様に、上段フレーム２６４は、例えば、それぞれが複数の棒状のフレーム部材を含む複数の上段フレームユニット２７２を組み合わせることにより形成される。
【0294】
このように、複数の下段フレームユニット２７０を用いて下段フレーム２６２を形成し、複数の上段フレームユニット２７２を用いて上段フレーム２６４を形成する場合には、加工装置４が設置される工場等に対して、下段フレームユニット２７０及び上段フレームユニット２７２の形態でフレーム部材が運び込まれる。
【0295】
つまり、安定した環境で生産される高品質な下段フレームユニット２７０及び上段フレームユニット２７２を用いて、高品質な下段フレーム２６２及び上段フレーム２６４が形成される。また、棒状のフレーム部材を加工装置４の上方で連結する場合のような煩雑な作業も発生しない。よって、高品質な搬送路６を短期間で形成することができる。
【0296】
図２８（Ａ）は、下段フレーム２６２を構成する下段フレームユニット２７０ａを示す斜視図であり、図２８（Ｂ）は、下段フレーム２６２を構成する下段フレームユニット２７０ｂを示す斜視図である。下段フレームユニット２７０ａと下段フレームユニット２７０ｂとは、例えば、搬送路６の態様に合わせて選択的に用いられる。
【0297】
図２９は、下段フレーム２６２を構成する下段フレームユニット２７０の配置を示す平面図である。図２９では、合計で８台の装置（加工装置４やローダー・アンローダー８等）の間で被加工物ユニット１７やトレー３３を搬送できる搬送路６を形成する場合を示している。例えば、搬送路６の角部を除いた部分に対応する領域（搬送路６の直線状の領域）には、下段フレームユニット２７０ａが使用され、搬送路６の角部に対応する領域には、下段フレームユニット２７０ｂが使用される。
【0298】
なお、図２９の下段フレーム２６２には、下段フレームユニット２７０ａを反転させた構造の下段フレームユニット２７０ｃと、下段フレームユニット２７０ｂを反転させた構造の下段フレームユニット２７０ｄと、が併せて使用される。つまり、図２９の下段フレーム２６２には、４種類の下段フレームユニット２７０が、それぞれ、２つずつ使用される。各下段フレームユニット２７０は、搬送路６に形成される開口２８２（図３２参照、図９の開口６ａに相当）に対して棒状のフレーム部材が重ならないように構成されている。
【0299】
下段フレーム２６２を形成する際には、例えば、下段フレームユニット２７０を加工装置４やローダー・アンローダー８等に固定してから、隣接する下段フレームユニット２７０を互いに連結すると良い。隣接する下段フレームユニット２７０の連結には、例えば、継手が用いられる。ただし、下段フレームユニット２７０を連結した上で、加工装置４やローダー・アンローダー８等に固定することもできる。
【0300】
図３０（Ａ）は、上段フレーム２６４を構成する上段フレームユニット２７２ａを示す斜視図であり、図３０（Ｂ）は、上段フレーム２６４を構成する上段フレームユニット２７２ｂを示す斜視図である。上段フレームユニット２７２ａと上段フレームユニット２７２ｂとは、例えば、搬送路６の態様に合わせて選択的に用いられる。
【0301】
図３１は、上段フレーム２６４を構成する上段フレームユニット２７２の配置を示す平面図である。図３１では、図２９の下段フレーム２６２を用いて搬送路６を構成する場合を示している。例えば、隣接する加工装置４やローダー・アンローダー８等を繋ぐ領域の一部には、上段フレームユニット２７２ａが使用され、加工装置４やローダー・アンローダー８の直上の領域には、上段フレームユニット２７２ｂが使用される。
【0302】
つまり、図３１の上段フレーム２６４には、２つの上段フレームユニット２７２ａと、８つの上段フレームユニット２７２ｂと、が使用される。各上段フレームユニット２７２は、搬送路６に形成される開口２８２（図３２参照）に対して棒状のフレーム部材が重ならないように構成されている。
【0303】
上段フレーム２６４を形成する際には、例えば、下段フレーム２６２に対して、上段フレームユニット２７２を固定する。なお、隣接する２つの上段フレームユニット２７２は、互いに連結されておらず、離れていても良い。また、必要に応じて、上段フレームユニット２７２ａを反転させた構造の上段フレームユニット２７２や、上段フレームユニット２７２ｂを反転させた構造の上段フレームユニット２７２を使用することもできる。
【0304】
図３２は、複数の路面パネル２６６を並べて構成される搬送路６を模式的に示す平面図である。図３２では、図２９の下段フレーム２６２及び図３１の上段フレーム２６４を用いて搬送路６を構成する場合を示している。また、図３２では、隣接する路面パネル２６６の境界を破線で示している。
【0305】
搬送路６を形成する際には、例えば、上段フレーム２６４に対して、路面パネル２６６を固定する。なお、図３１の上段フレーム２６４では、例えば、隣接する上段フレームユニット２７２ａと上段フレームユニット２７２ｂとの間に小さな隙間が形成され、隣接する２つの上段フレームユニット２７２ｂの間に大きな隙間が形成される。よって、平面視で矩形状の路面パネル２６６だけでは、この隙間に対応する部分に搬送路６を形成できない。つまり、搬送路６にも、隙間が形成されてしまう。
【0306】
そこで、これらの隙間を埋めるように、平板状の橋渡しパネル２７４ａと平板状の橋渡しパネル２７４ｂとが使用される。隣接する上段フレームユニット２７２ａと上段フレームユニット２７２ｂとの間の小さな隙間には、小さな橋渡しパネル２７４ａが配置される。隣接する２つの上段フレームユニット２７２ｂの間の大きな隙間には、大きな橋渡しパネル２７４ｂが配置される。
【0307】
橋渡しパネル２７４ａや橋渡しパネル２７４ｂは、例えば、搬送路６に形成される隙間や段差を十分に小さくするように、上段フレーム２６４に固定される。これにより、走行中の搬送車１０への衝撃を小さく抑えて、被加工物１１等の破損を防ぐことができる。なお、搬送路６に小さな隙間が残る場合には、例えば、搬送車１０が進行する方向に沿う心材を備えたテープ等を用いて、この隙間を塞ぐと良い。
【0308】
また、橋渡しパネル２７４ａや橋渡しパネル２７４ｂの代わりに、搬送車１０が進行する方向の両端部にスロープが形成された橋渡しパネルを用いても良い。この場合には、例えば、橋渡しパネルを路面パネル２６６の上方に重ねて使用できるので、橋渡しパネルの大きさに対する要求が緩和される。これにより、橋渡しパネルの汎用性が高まる。なお、可撓性を有する薄板状の橋渡しパネルを用いて隣接する路面パネル２６６を繋ぐこともできる。
【0309】
このように構成される搬送路６を搬送車１０が走行すると、例えば、搬送車１０の車輪８６等と、搬送路６と、の摩擦により静電気が生じ、搬送車１０の容器１０２に収容された被加工物１１等に悪影響が及ぶことがある。例えば、被加工物１１に半導体デバイスが形成されている場合には、この半導体デバイスが静電気によって破壊されるおそれがある。
【0310】
そこで、搬送路６となる路面パネル２６６の上面の車輪８６等が接触する部分には、導電性部材を露出させておくことが好ましい。導電性部材としては、例えば、アルミニウムや銅等の金属の他に、ＣＦＲＰ等が用いられる。なお、路面パネル２６６がＣＦＲＰで構成されている場合には、その上面にもＣＦＲＰが露出する。つまり、路面パネル２６６の上面に導電性部材が露出した状態が実現される。
【0311】
このように、路面パネル２６６の上面に導電性部材を露出させておくことで、摩擦による静電気の発生と、その蓄積と、を抑制して、被加工物１１等に悪影響が及ぶのを防ぐことができる。なお、路面パネル２６６の上面に露出した導電性部材は、導線（不図示）等を介して接地されても良い。この場合には、車輪８６等と路面パネル２６６との接触により生じた静電気が導線を通じて放電するので、路面パネル２６６に蓄積しない。よって、被加工物１１等は、搬送車１０によって、より安全に搬送される。
【0312】
本実施形態の搬送システム２では、原則として、搬送路６の端部に搬送車１０が到達しないように、搬送車１０の動作が制御される。しかしながら、搬送車１０や制御ユニット１２等に何らかのトラブルが発生した場合には、搬送路６の端部に搬送車１０が到達し、この搬送路６の端部から搬送車１０が落下する可能性もある。
【0313】
そこで、搬送路６の端部には、図２７に示すように、搬送路６からの搬送車１０の落下を防止するための障壁となるガード部２７６を設けることが望ましい。このガード部２７６は、例えば、アルミニウム等の金属を含む材料で形成され、上段フレーム２６４や路面パネル２６６に固定される。路面パネル２６６の上面からガード部２７６の上端までの高さは、例えば、搬送車１０の車輪８６の半径より大きくなっている。好ましくは、車輪８６の直径より大きくなっている。
【0314】
なお、このガード部２７６は、搬送車１０の第３センサー１２６や外装カバーに接触する高さに形成されても良い。この場合には、搬送車１０の第３センサー１２６や外装カバーにガード部２７６が接触すると、搬送車１０は障害物との衝突を検知して停車する。そのため、より安全に搬送車１０を走行させることができる。
【0315】
図３２に示すように、搬送路６は、主に搬送車１０の走行に使用される走行領域２７８と、主に搬送車１０の停車に使用される停車領域２８０と、主に搬送車１０の待機に使用される待機領域２８４とを含む。停車領域２８０に停車した搬送車１０と、停車領域２８０の下方に位置する加工装置４やローダー・アンローダー８等と、の間で被加工物ユニット１７やトレー３３が搬送される。
【0316】
走行領域２７８は、例えば、加工装置４やローダー・アンローダー８等の配置に沿う環状に形成される。搬送車１０は、例えば、この環状の走行領域２７８に沿う一方の向きに走行し、他方の向きには走行しない（つまり、一方通行）。これにより、搬送車１０を簡単な制御で安全に走行させることができる。
【0317】
ただし、走行領域２７８の形状、搬送車１０の走行の態様等に制限はない。例えば、走行領域２７８は、搬送車１０の双方向への走行を許容するように構成されることがある。また、走行領域２７８は、終端のない環状に形成されている必要はなく、例えば、終端を持つ直線状に形成されても良い。
【0318】
一方で、停車領域２８０には、路面パネル２６６を上下に貫通する開口２８２が設けられている。開口２８２は、例えば、容器１０２の上面及び下面より僅かに大きく形成されており、容器１０２の上下への通過を許容する。一方で、搬送車１０が停車領域２８０に進入する際の進入の方向に対して垂直な方向での開口２８２の幅は、搬送車１０の一対の車輪８６の間隔よりも狭くなっている。これにより、搬送車１０が停車領域２８０に進入する際の進入の方向が適切な場合には、車輪８６は開口２８２に脱落しない。
【0319】
待機領域２８４は、例えば、搬送車１０を待機させる可能性の高い領域に配置される。待機領域２８４に搬送車１０を待機させることで、他の搬送車１０は、待機中の搬送車１０を追い越すことができる。また、搬送車１０の双方向への走行が許容されている場合には、この待機領域２８４で一時的に搬送車１０を待機させることで、２台の搬送車１０を行き違わせることができる。なお、搬送路６は、必ずしも待機領域２８４を含まなくて良い。
【0320】
搬送路６を構成する路面パネル２６６、橋渡しパネル２７４ａ、橋渡しパネル２７４ｂ等の上面には、搬送車１０が備えるセンサーによって検出される複数の種類の誘導用のマーク２８６（図２７参照）が設けられている。搬送車１０は、センサーによって検出される各種のマーク２８６に基づいて、走行、旋回、停車等の制御を行う。
【0321】
図２７に示すように、マーク２８６は、例えば、路面パネル２６６等の上面の他の領域とは異なる色彩を持つ直線状に構成される。本実施形態では、このマーク２８６として、図３２に示すように、第１マーク２８６ａ、第２マーク２８６ｂ、第３マーク２８６ｃ、及び第４マーク２８６ｄが使用される。
【0322】
ただし、マーク２８６の態様に制限はない。マーク２８６は、例えば、曲線を含んでも良いし、破線によって構成されても良い。また、マーク２８６として、文字、数字、図柄等を用いることもできる。更に、マーク２８６の色彩等にも制限はない。例えば、異なる色彩の複数のマーク２８６を用いるとともに、このマーク２８６の色彩に基づき各種の制御を行うように搬送車１０を構成しても良い。
【0323】
走行領域２７８には、搬送車１０が進行する方向に沿う第１マーク２８６ａが設けられている。第１マーク２８６ａは、例えば、走行領域２７８を走行する搬送車１０が通過すべき領域に形成される。より具体的には、第１マーク２８６ａは、走行領域２７８を走行する搬送車１０の一対の第１センサー１２２の直下に設けられる。
【0324】
図３３は、搬送車１０の制御部１３０を示す機能ブロック図である。図３３に示すように、搬送車１０の制御部１３０は、一対の第１センサー１２２のそれぞれに走行領域２７８等（搬送路６）の上面を監視させて第１マーク２８６ａを検出させる第１センサー制御部１３０ａと、第１センサー１２２によって検出された第１マーク２８６ａが示す向きを特定し、その向きに沿って搬送車１０を走行させる走行指示部１３０ｂとを含む。
【0325】
一対の第１センサー１２２はそれぞれ、第１センサー制御部１３０ａから入力される制御用の信号に従い、第１マーク２８６ａを検出する。第１センサー１２２によって検出された第１マーク２８６ａに関する情報は、第１センサー制御部１３０ａを介して走行指示部１３０ｂへと送られる。
【0326】
走行指示部１３０ｂは、第１センサー制御部１３０ａから送られた第１マーク２８６ａの情報に基づいて、第１マーク２８６ａが示す向きを特定する。そして、走行指示部１３０ｂは、駆動ユニット９０を制御して、特定された向きに沿って搬送車１０を走行させる。つまり、搬送車１０は、一対の第１センサー１２２で第１マーク２８６ａを検出し、この第１マーク２８６ａに沿って搬送路６上を走行できる。
【0327】
図３２に示すように、走行領域２７８の所定の部分では、２つの直線状の第１マーク２８６ａが交差している。搬送車１０は、一方の第１マーク２８６ａに沿って進行する間に、この一方の第１マーク２８６ａと交差する他方の第１マーク２８６ａを第２センサー１２４で検出する。第２センサー１２４で他方の第１マーク２８６ａが検出されると、搬送車１０は、必要に応じて旋回する。
【0328】
つまり、２つの直線状の第１マーク２８６ａが交差する任意の交差点で搬送車１０の進行する方向が変更される。このように、第２センサー１２４で検出される上述した他方の第１マーク２８６ａの一部は、搬送車１０が旋回する位置を示す第２マーク２８６ｂとして機能する。なお、搬送路６には、２つの第１マーク２８６ａが交差する交差点の数に対応する数の第２マーク２８６ｂが存在する。つまり、図３２の搬送路６には、複数の第２マーク２８６ｂが存在している。
【0329】
図３３に示すように、搬送車１０の制御部１３０は、第２センサー１２４に走行領域２７８等（搬送路６）の上面を監視させて第２マーク２８６ｂを検出させる第２センサー制御部１３０ｃと、第２センサー１２４によって検出された第２マーク２８６ｂの数をカウントし、カウントされた第２マーク２８６ｂの数に基づいて搬送車１０を旋回させる旋回指示部１３０ｄとを含む。
【0330】
第２センサー１２４は、第２センサー制御部１３０ｃから入力される制御用の信号に従い、第２マーク２８６ｂを検出する。そして、第２センサー制御部１３０ｃは、例えば、第２センサー１２４が第２マーク２８６ｂを検出する度に、その旨を制御部１３０の旋回指示部１３０ｄに通知する。
【0331】
旋回指示部１３０ｄは、第２センサー制御部１３０ｃからの通知に基づいて、第２センサー１２４で検出された第２マーク２８６ｂの数をカウントし、例えば、搬送システム２の制御ユニット１２からの指示に対応する第２マーク２８６ｂの数（所定の数）と比較する。そして、第２センサー１２４により検出された第２マーク２８６ｂの数が制御ユニット１２からの指示に対応する第２マーク２８６ｂの数に達すると、旋回指示部１３０ｄは、駆動ユニット９０を制御して、搬送車１０を旋回させる。
【0332】
つまり、旋回指示部１３０ｄは、検出された第２マーク２８６ｂの数に応じて搬送車１０の向きを変更する。このように、搬送車１０は、第２センサー１２４で第２マーク２８６ｂを検出し、必要に応じて向きを変更できる。なお、第２マーク２８６ｂは、例えば、走行領域２７８の角の部分（搬送路６の角部）や、走行領域２７８の停車領域２８０に隣接する部分、走行領域２７８の待機領域２８４に隣接する部分等に設けられる。
【0333】
ところで、一対の車輪８６を通る直線上に一対の第２センサー１２４が配置されている場合には、第２マーク２８６ｂを車輪８６が通過するのと同時に、この第２マーク２８６ｂを一対の第２センサー１２４によって検出できる。したがって、第２マーク２８６ｂが検出されるタイミングで搬送車１０を旋回させることで、旋回後に検出すべき第１マーク２８６ａから一対の第１センサー１２２が大きくずれてしまうことはなくなる。つまり、何らの補正を行わなくとも、搬送車１０を適切に旋回させることができるようになる。
【0334】
図３２に示すように、停車領域２８０には、搬送車１０が進入する方向に沿う第３マーク２８６ｃが設けられている。すなわち、第３マーク２８６ｃは、停車領域２８０に対して搬送車１０が進入する向きを示している。この第３マーク２８６ｃは、例えば、搬送車１０の進入する方向に対して垂直な方向で開口２８２を挟む２つの位置に形成され、搬送車１０の第２センサー１２４により検出される。
【0335】
図３３に示すように、搬送車１０の制御部１３０は、第２センサー１２４によって検出された第３マーク２８６ｃが示す向きに沿って搬送車１０を停車領域２８０に進入させる進入制御部１３０ｅを含む。進入制御部１３０ｅは第２センサー制御部１３０ｃに接続されている。
【0336】
第２センサー制御部１３０ｃは、第２センサー１２４に停車領域２８０等（搬送路６）の上面を監視させて第３マーク２８６ｃを検出させる。第２センサー１２４によって検出された第３マーク２８６ｃに関する情報は、第２センサー制御部１３０ｃを介して進入制御部１３０ｅへと送られる。
【0337】
進入制御部１３０ｅは、第２センサー制御部１３０ｃから入力された第３マーク２８６ｃの情報に基づいて、第３マーク２８６ｃが示す向きを特定する。そして、進入制御部１３０ｅは、駆動ユニット９０を制御して、特定された向きに沿って搬送車１０を停車領域２８０に進入させる。第３マーク２８６ｃは、代表的には、搬送車１０の車輪８６が通るべき領域に設けられる。ただし、第３マーク２８６ｃの配置等に制限はない。
【0338】
図３２に示すように、停車領域２８０（又は待機領域２８４）に対して搬送車１０が進入する方向において停車領域２８０（又は待機領域２８４）の後側（手前側）には、第１マーク２８６ａや第３マーク２８６ｃに対して交差する第４マーク２８６ｄが設けられている。この第４マーク２８６ｄは、停車領域２８０（又は待機領域２８４）の位置を示す。
【0339】
図３３に示すように、搬送車１０の制御部１３０は、搬送車１０の進行する方向の後側に位置する第１センサー１２２（一対の第１センサー１２２の一方）によって第４マーク２８６ｄが検出されたときに搬送車１０を停車させる停車制御部１３０ｆを含む。停車制御部１３０ｆは、第１センサー制御部１３０ａに接続されている。
【0340】
第１センサー制御部１３０ａは、第１センサー１２２に走行領域２７８や停車領域２８０等（搬送路６）の上面を監視させて第１センサー１２２に第４マーク２８６ｄを検出させる。第１センサー１２２によって第４マーク２８６ｄが検出されると、その旨が第１センサー制御部１３０ａを介して停車制御部１３０ｆへと通知される。
【0341】
停車制御部１３０ｆは、第１センサー制御部１３０ａから第４マーク２８６ｄが検出された旨が通知されると、駆動ユニット９０を制御して、搬送車１０を迅速に停止させる。つまり、搬送車１０は、例えば、後側の第１センサー１２２で第４マーク２８６ｄを検出すると、直ちに停車する。
【0342】
なお、この第４マーク２８６ｄは、停車領域２８０（又は待機領域２８４）に対して搬送車１０が進入する方向において停車領域２８０（又は待機領域２８４）の前側（奥側）に設けられても良い。この場合には、搬送車１０は、前側の第１センサー１２２で第４マーク２８６ｄを検出すると、直ちに停車することになる。
【0343】
なお、第４マーク２８６ｄは、第２センサー１２４によって検出できる位置に設けられていても良い。この場合、図３３に示す停車制御部１３０ｆは、第２センサー制御部１３０ｃに接続される。そして、停車制御部１３０ｆは、第２センサー制御部１３０ｃによって制御された第２センサー１２４が第４マーク２８６ｄを検出すると、駆動ユニット９０を制御して、搬送車１０を停車させる。
【0344】
また、停車制御部１３０ｆは、第１センサー１２２又は第２センサー１２４により第４マーク２８６ｄが検出されてから所定の時間が経過した後に、搬送車１０を停車させても良い。第４マーク２８６ｄの検出から搬送車１０の停車までの時間は、例えば、第４マーク２８６ｄと停車領域２８０との距離や、搬送車１０が走行する速度等に基づいて調整される。
【0345】
図３２に示すように、搬送車１０が進入する方向において停車領域２８０及び待機領域２８４の前側（奥側）の位置には、電源（不図示）に接続された給電用の端子（給電端子）２８８が配置されている。例えば、停車領域２８０や待機領域２８４に搬送車１０を停車させて、搬送車１０の端子（受電端子）１００を端子２８８に接触させれば、端子１００及び充電用の配線（充電配線）９８を介して、バッテリー（二次電池）９６に充電用の電力が供給される。つまり、バッテリー９６を充電できる。
【0346】
図２７に示すように、端子２８８は、路面パネル２６６又は上段フレーム２６４に固定された端子支持部２９０によって支持されており、給電用の配線（給電配線）２９２に接続されている。つまり、この端子２８８は、給電用の配線２９２を介して電源に接続されている。
【0347】
端子支持部２９０は、例えば、停車領域２８０又は待機領域２８４に向けて端子２８８を付勢する付勢部材（不図示）を備えている。付勢部材によって端子２８８を付勢することで、端子１００に対して端子２８８を適切に接続できる。ただし、端子２８８や端子支持部２９０の構造等に制限はない。
【0348】
例えば、停車領域２８０で搬送車１０が停車した後には、昇降ユニット１１０によって容器１０２が昇降される。本実施形態では、停車領域２８０に給電用の端子２８８が配置されているので、容器１０２を昇降させる際にもバッテリー９６が充電される。よって、容器１０２を昇降させる際に昇降ユニット１１０で消費される大量の電力を十分に賄うことができる。
【0349】
なお、本実施形態では、待機領域２８４にも端子２８８が配置されている。よって、例えば、搬送車１０を待機領域２８４で待機させる際にも、バッテリー９６が充電される。これにより、搬送車１０の稼働できる時間を延ばして、被加工物１１やボード３１の搬送にかかる効率を高めることができる。
【0350】
搬送路６上のある位置（出発地）から別の位置（目的地）まで搬送車１０を移動させる際の動作は、例えば、次の通りである。まず、搬送システム２の制御ユニット１２は、移動の対象となる搬送車１０に対して、出発地から目的地に移動する旨の指示に相当する信号を送る。
【0351】
制御ユニット１２の指示を受けた搬送車１０の制御部１３０は、まず、自身の現在の位置を出発地として目的地までの経路を決定し、この経路に沿って、出発地から搬送車１０が旋回すべき各位置までの間に存在する第２マーク２８６ｂの数と、旋回すべき各位置での旋回の方向と、を求める。そして、搬送車１０の制御部１３０は、自身が求めた第２マーク２８６ｂの数及び旋回の方向に基づいて、駆動ユニット９０等を制御する。
【0352】
例えば、搬送車１０の制御部１３０は、第１センサー１２２及び第２センサー１２４で搬送路６の上面を監視しながら、搬送車１０を走行させる。つまり、制御部１３０は、第１センサー１２２によって検出される第１マーク２８６ａの示す方向に沿って搬送車１０を走行させながら、第２センサー１２４が通過する第２マーク２８６ｂを、この第２センサー１２４に検出させる。
【0353】
制御部１３０は、第２センサー１２４が通過した第２マーク２８６ｂの数が、自身の求めた第２マーク２８６ｂの数に達すると、搬送車１０を自身の求めた旋回の方向に旋回させる。その後、制御部１３０は、第１マーク２８６ａの示す方向に沿って搬送車１０を再び走行させる。搬送車１０が目的地に到着すると、制御部１３０は、その旨を通知するための信号を制御ユニット１２に送る。
【0354】
なお、停車領域２８０に搬送車１０を進入させる際には、制御部１３０は、第３マーク２８６ｃを第２センサー１２４に検出させて、搬送車１０が進行する方向を細やかに調整する。これにより、搬送車１０の車輪８６が開口２８２に脱落することを防止できる。この際には、第１マーク２８６ａの示す方向に沿って搬送車１０を走行させる時に比べて、走行にかかる速度を低く抑えると良い。その後、制御部１３０は、第４マーク２８６ｄを第１センサー１２２に検出させて、搬送車１０を停車領域２８０に停車させる。
【0355】
搬送車１０は、原則として、進行する方向の前方に車輪８６が位置し、進行する方向の後方に車輪８８が位置するように走行する。ただし、停車領域２８０や待機領域２８４から走行領域２７８へと移動する際には、搬送車１０は、進行する方向の後方に車輪８６が位置し、進行する方向の前方に車輪８８が位置するように走行することになる。
【0356】
搬送車１０が停車領域２８０に停車すると、容器１０２が開口２８２の直上に位置付けられる。また、搬送路６側の端子２８８に対して搬送車１０側の端子１００が接触する。これにより、搬送車１０は、バッテリー９６を充電しながら容器１０２を降下させて、開口２８２の下方に位置する載置領域Ａに容器１０２を載せることができる。
【0357】
なお、上述した動作の態様では、第２マーク２８６ｂの数や旋回の方向を制御部１３０が求めているが、制御部１３０による判断を最小限に留めるようにしても良い。この場合には、例えば、出発地から搬送車１０が旋回すべき各位置までの間に存在する第２マーク２８６ｂの数と、旋回すべき各位置での旋回の方向に関する情報と、を含む信号が制御ユニット１２から送られる。この動作では、第２マーク２８６ｂの数や旋回の方向を制御部１３０が求めなくて良いので、制御部１３０を簡略化できる。
【0358】
次に、本実施形態にかかる搬送システム２の制御方法の例を説明する。図３４は、搬送システム２の制御方法の例を説明するための図である。例えば、加工装置４の制御装置２４６は、加工前の被加工物１１等が新たに必要な状況になると、その旨を通知するための信号（被加工物等要求信号）を生成する。制御装置２４６で生成された信号（被加工物等要求信号）は、送信機２５０から制御ユニット１２へと送信される。
【0359】
図３４に示すように、制御ユニット１２は、各種の制御を行うための信号を生成する制御部（信号生成部）３０２を備えている。この制御部３０２は、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）等の処理装置と、ＤＲＡＭ（Dynamic Random Access Memory）等の主記憶装置と、フラッシュメモリ等の補助記憶装置と、を含むコンピュータによって構成されている。補助記憶装置に記憶されるソフトウェアに従い処理装置等を動作させることによって、制御部３０２の機能が実現される。
【0360】
制御部３０２には、加工装置４、ローダー・アンローダー８、搬送車１０等から送信される信号を受信する受信機３０４と、加工装置４、ローダー・アンローダー８、搬送車１０等に対して信号を送信する送信機３０６とが接続されている。
【0361】
制御ユニット１２の受信機３０４は、加工装置４の送信機２５０から送信された通知用の信号（被加工物等要求信号）を受信すると、これを制御部３０２へと送る。制御部３０２は、加工装置４からの通知用の信号（被加工物等要求信号）を確認すると、任意の搬送車１０に対して、ローダー・アンローダー８の直上の停車領域２８０に移動し、容器１０２をローダー・アンローダー８の載置台６６の上面（第２載置領域Ａ２）に載せるように指示を出す。具体的には、制御部３０２は、この指示に相当する制御用の信号（第１載置指示信号）を生成し、送信機３０６から搬送車１０へと送信する。
【0362】
搬送車１０の受信機１３２は、制御ユニット１２からの信号（第１載置指示信号）を受信すると、これを制御部１３０へと送る。制御部１３０は、この信号（第１載置指示信号）に基づき駆動ユニット９０等を制御し、搬送車１０を搬送路６に沿って走行させる。搬送車１０がローダー・アンローダー８の直上の停車領域２８０で停車すると、容器１０２が開口２８２の直上に位置付けられる。
【0363】
搬送車１０を停車領域２８０に停車させた状態で、制御部１３０は、昇降ユニット１１０を制御して、吊り下げ部材１１２を送り出す。これにより、開口２８２等を通過するように容器１０２を下降させて、載置台６６の上面に容器１０２を載せることができる。
【0364】
載置台６６の上面に容器１０２を載せた後には、制御部１３０は、載置台６６の上面への容器１０２の載置が完了した旨を通知するための通知用の信号（第１載置完了信号）を生成する。制御部１３０で生成された信号（第１載置完了信号）は、送信機１３４から制御ユニット１２へと送信される。
【0365】
制御ユニット１２の受信機３０４は、搬送車１０の送信機１３４から送信された信号（第１載置完了信号）を受信すると、これを制御部３０２へと送る。制御部３０２は、搬送車１０からの信号（第１載置完了信号）を確認すると、ローダー・アンローダー８に対して、載置台６６の上面への容器１０２の載置が完了した旨を通知する。具体的には、制御部３０２は、載置台６６の上面への容器１０２の載置が完了した旨を通知するための通知用の信号（第２載置完了信号）を生成し、送信機３０６からローダー・アンローダー８へと送信する。
【0366】
ローダー・アンローダー８の受信機６８は、制御ユニット１２からの信号（第２載置完了信号）を受信すると、これを制御装置４６へと送る。制御装置４６は、この信号（第２載置完了信号）を受け取ると、各構成要素の動作を制御して加工前の被加工物１１等を容器１０２に搬入する。なお、容器１０２に加工後の被加工物１１等が収容されている場合には、加工後の被加工物１１等を容器１０２から搬出した後に、加工前の被加工物１１等を容器１０２に搬入する。
【0367】
加工前の被加工物１１等が容器１０２に搬入されると、制御装置４６は、容器１０２への被加工物１１等の搬入が完了した旨を通知するための通知用の信号（第１搬送完了信号）を生成する。制御装置４６で生成された信号（第１搬送完了信号）は、送信機７０から制御ユニット１２へと送信される。
【0368】
制御ユニット１２の受信機３０４は、ローダー・アンローダー８の送信機７０から送信された信号（第１搬送完了信号）を受信すると、これを制御部３０２へと送る。制御部３０２は、ローダー・アンローダー８からの信号（第１搬送完了信号）を確認すると、搬送車１０に対して、加工装置４の直上の停車領域２８０に移動し、容器１０２を加工装置４の昇降台２０４の上面（載置領域Ａ）に載せるように指示を出す。具体的には、制御部３０２は、この指示に相当する制御用の信号（第２載置指示信号）を生成し、送信機３０６から搬送車１０へと送信する。
【0369】
搬送車１０の受信機１３２は、制御ユニット１２からの信号（第２載置指示信号）を受信すると、これを制御部１３０へと送る。制御部１３０は、この信号（第２載置指示信号）に基づき昇降ユニット１１０を制御し、吊り下げ部材１１２を巻き取る。これにより、開口２８２等を通過するように容器１０２を上昇させて、格納領域１０４に格納できる。その後、制御部１３０は、駆動ユニット９０等を制御して、搬送車１０を搬送路６に沿って走行させる。
【0370】
搬送車１０が加工装置４の直上の停車領域２８０で停車すると、容器１０２が開口２８２の直上に位置付けられる。搬送車１０を停車領域２８０に停車させた状態で、制御部１３０は、昇降ユニット１１０を制御して、吊り下げ部材１１２を送り出す。これにより、開口２８２等を通過するように容器１０２を下降させて、加工装置４の昇降台２０４の上面に容器１０２を載せることができる。
【0371】
昇降台２０４の上面に容器１０２を載せた後には、制御部１３０は、昇降台２０４の上面への容器１０２の載置が完了した旨を通知するための通知用の信号（第３載置完了信号）を生成する。制御部１３０で生成された信号（第３載置完了信号）は、送信機１３４から制御ユニット１２へと送信される。
【0372】
制御ユニット１２の受信機３０４は、搬送車１０の送信機１３４から送信された信号（第３載置完了信号）を受信すると、これを制御部３０２へと送る。制御部３０２は、搬送車１０からの信号（第３載置完了信号）を確認すると、加工装置４に対して、昇降台２０４の上面への容器１０２の載置が完了した旨を通知する。具体的には、制御部３０２は、載置台６６の上面への容器１０２の載置が完了した旨を通知するための通知用の信号（第４載置完了信号）を生成し、送信機３０６から加工装置４へと送信する。
【0373】
加工装置４の受信機２４８は、制御ユニット１２からの信号（第４載置完了信号）を受信すると、これを制御装置２４６へと送る。制御装置２４６は、この信号（第４載置完了信号）を受け取ると、各構成要素の動作を制御して加工前の被加工物１１等を容器１０２から搬出する。なお、加工装置４内に加工後の被加工物１１等が存在する場合には、加工前の被加工物１１等を容器１０２から搬出した後に、加工後の被加工物１１等を容器１０２に搬入する。
【0374】
加工前の被加工物１１等が容器１０２から搬出されると、例えば、制御装置２４６は、容器１０２からの被加工物１１等の搬出が完了した旨を通知するための通知用の信号（第２搬送完了信号）を生成する。制御装置２４６で生成された信号（第２搬送完了信号）は、送信機２５０から制御ユニット１２へと送信される。
【0375】
このような手順により、ローダー・アンローダー８に収容されている加工前の被加工物１１等を任意の加工装置４に対して搬送できる。なお、ここでは、ローダー・アンローダー８から加工装置４に対して被加工物１１等を搬送する際の手順について主に説明したが、加工装置４からローダー・アンローダー８に対して被加工物１１等を搬送する際の手順等も同様である。
【0376】
なお、上述した手順は、被加工物１１等を適切に搬送できる範囲内で任意に変更できる。例えば、上述した手順に含まれている複数のステップを同時に行っても良いし、被加工物１１等の搬送に支障が出ない範囲内でステップの順序を入れ替えても良い。同様に、被加工物１１等の搬送に支障が出ない範囲内で任意のステップを追加、変更、省略して良い。
【0377】
以上のように、本実施形態にかかる搬送路６、ローダー・アンローダー（搬送装置）８、搬送車１０、カセット収容機構２４、及び昇降ユニット（昇降機構）１１０は、いずれも、被加工物１１やボード３１を効率良く安全に搬送することができるように構成されている。そのため、これらが組み込まれた搬送システム２を用いることで、被加工物１１やボード３１を効率良く安全に搬送することができる。
【0378】
（実施形態２）
本実施形態では、上述した実施形態とは異なる態様の加工装置（切削装置）について説明する。図３５は、本実施形態かかる加工装置（切削装置）４０２の内部の構造を示す斜視図である。なお、以下の説明では、上述した実施形態と共通する構成要素に同じ符号を付して、その詳細な説明を省略する。
本実施形態では、上述した実施形態とは異なる態様の加工装置（切削装置）について説明する。図３５は、本実施形態かかる加工装置（切削装置）４０２の内部の構造を示す斜視図である。なお、以下の説明では、上述した実施形態と共通する構成要素に同じ符号を付して、その詳細な説明を省略する。
【0379】
加工装置４０２の昇降台４０４には、搬送車１０の容器１０２が載置されない。その代わりに、加工装置の昇降台４０４には、上述した実施形態のローダー・アンローダー８の２段のカセット収容機構２４（すなわち、第１カセット収容機構２４ａ及び第２カセット収容機構２４ｂ）と同様の２段のカセット収容機構４０６（第１カセット収容機構４０６ａ及び第２カセット収容機構４０６ｂ）が設けられている。
【0380】
つまり、本実施形態の加工装置４０２には、カセット３０が搬入される。そして、加工装置４０２にも、ストッパー部材５０及び軸機構５２でなる移動規制機構が搭載されている。これにより、比較的重いカセット３０の搬入出を行い易くなるので、カセット３０に収容されている被加工物１１等が搬入出に伴い破損するリスクを低減できる。また、幅方向にコンパクトなカセット収容機構４０６を実現し易くなる。
【0381】
また、本実施形態の加工装置４０２でも、加工装置４０２の外部から内部へのアクセスを制限するための第１安全機構と第２安全機構とが実現されている。これにより、加工装置４０２の内部に位置する動作中の可動部等にオペレーターが誤ってアクセスすることを防止できる。
【0382】
なお、本実施形態の加工装置４０２は、上述の搬送システム２から独立していても良い。つまり、本実施形態にかかる加工装置４０２は、必ずしも上述した搬送システム２に接続されなくて良い。
【0383】
本実施形態にかかるカセット収容機構４０６は、上述した実施形態のカセット収容機構２４と同様に、被加工物１１等を効率良く安全に搬送することができるように構成されている。そのため、これが組み込まれた加工装置４を用いることで、被加工物１１等を効率良く安全に搬送することができる。
【0384】
その他、上述した実施形態や変形例等にかかる構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。
【符号の説明】
【0385】
２ ：搬送システム
４ ：加工装置（切削装置）
４ａ ：加工装置（切削装置）
４ｂ ：加工装置（切削装置）
６ ：搬送路
６ａ ：開口
８ ：ローダー・アンローダー（搬送装置）
１０ ：搬送車
１０ａ ：搬送車
１０ｂ ：搬送車
１２ ：制御ユニット
２１ ：配管
２２ ：筐体
２２ａ ：天井
２２ｂ ：開口
２４ ：カセット収容機構
２４ａ ：第１カセット収容機構
２４ｂ ：第２カセット収容機構
２６ ：支持台
２６ａ ：上面
２６ｂ ：外側面
２８ ：カセット載置台
２８ａ ：下面
２８ｂ ：上面
２８ｃ ：貫通孔
３０ ：カセット
３０ａ ：第１カセット
３０ｂ ：第２カセット
３２ ：搬入出口
３４ ：外扉（第２扉）
３６ ：回転連結部材
３８ａ ：外部搬入出領域（外部領域）
３８ｂ ：内部収容領域（内部領域）
４０ ：内扉（第１扉）
４２ ：昇降機構
４２ａ ：シリンダーチューブ
４２ｂ ：ピストンロッド
４２ｃ ：連結部材
４４ ：第１センサー
４４ａ ：磁石
４６ ：制御装置
４８ ：第２センサー
４８ａ ：磁石
５０ ：ストッパー部材
５０ａ ：角棒
５０ｂ ：ローラー
５２ ：軸機構
５２ａ ：回転軸
５２ｂ ：軸受け
５４ ：ピン（押圧部）
５４ａ ：リング
５４ｂ ：ボタン
５６ ：昇降機構
５６ａ ：支持柱
５８ ：昇降台
６０ ：仮置きユニット
６２ ：筐体
６２ａ ：上板
６２ｂ ：下板
６２ｃ ：側板
６２ｃ１ ：第１側板
６２ｃ２ ：第２側板
６２ｄ ：開口
６２ｅ１ ：第１開口
６２ｅ２ ：第２開口
６４ ：搬送ユニット（搬送機構）
６４ａ ：第１搬送ユニット
６４ｂ ：第２搬送ユニット
６６ ：載置台
６８ ：受信機
７０ ：送信機
７２ａ ：上段ガイドレール（第１仮置き部）
７２ｂ ：下段ガイドレール（第２仮置き部）
７２ｃ ：間隔
７４ａ ：第１エアアクチュエーター
７４ｂ ：第２エアアクチュエーター
７６ａ ：第１ガイド機構
７６ｂ ：第２ガイド機構
７８ ：間隔調整機構
８２ ：車両フレーム
８４ ：車軸
８６ ：車輪（前輪）
８８ ：車輪（後輪）
９０ ：駆動ユニット
９２ ：モーター（駆動源）
９２ａ ：回転軸（出力シャフト）
９４ ：プーリー
９６ ：バッテリー（二次電池）
９８ ：配線（充電配線）
１００ ：端子（受電端子）
１０２ ：容器（カセット）
１０２ａ ：収容部（収容空間）
１０２ｂ ：開口
１０２ｃ ：上壁
１０２ｄ ：底壁
１０４ ：格納領域
１０６ ：第１ガイドレール
１０６ａ ：保持面
１０６ｂ ：側面
１０８ ：第２ガイドレール
１０８ａ ：保持面
１１０ ：昇降ユニット（昇降機構）
１１２ ：吊り下げ部材
１１４ ：駆動機構
１１６ ：接触部材
１１８ ：弾性部材（伸縮部材）
１２０ ：カバー
１２２ ：第１センサー
１２４ ：第２センサー
１２６ ：第３センサー
１２８ ：支持台
１３０ ：制御部（制御ユニット）
１３０ａ ：第１センサー制御部
１３０ｂ ：走行指示部
１３０ｃ ：第２センサー制御部
１３０ｄ ：旋回指示部
１３０ｅ ：進入制御部
１３０ｆ ：停車制御部
１３２ ：受信機
１３４ ：送信機
１４２ ：モーター
１４２ａ ：回転軸（出力シャフト）
１４４ａ ：第１回転軸（第１シャフト）
１４４ｂ ：第２回転軸（第２シャフト）
１４６ ：プーリー
１４８ ：連結部材
１５０ａ ：プーリー
１５０ｂ ：プーリー
１５２ ：連結部材
１５４ａ ：リール
１５４ｂ ：リール
１５６ａ ：ローラー
１５６ｂ ：ローラー
１６２ ：駆動機構
１６４ ：モーター
１６４ａ ：回転軸（出力シャフト）
１６６ａ ：第１回転軸（第１シャフト）
１６６ｂ ：第２回転軸（第２シャフト）
１６６ｃ ：第３回転軸（第３シャフト）
１６８ ：プーリー
１７０ ：連結部材
１７２ ：リール
１７２ａ ：溝（凹部）
１７２ｂ ：突起（凸部）
１７４ ：固定部材
１７６ ：ガイド
１８２ ：蓋部
１８２ａ ：板状部材
１８２ｂ ：柔軟部材
１８４ ：接触部
１８４ａ ：固定部材
１８４ｂ ：ローラー
１８６ ：固定ブロック
１８８ ：連結ブロック（Ｌ字ブロック）
１８８ａ ：連結部
１８８ｂ ：固定部
１９０ ：連結軸
２０２ ：基台
２０２ａ ：凹部
２０２ｂ ：凹部
２０２ｃ ：配管接続部
２０４ ：昇降台
２０６ ：Ｘ軸移動機構（加工送りユニット）
２０６ａ ：テーブルカバー
２０６ｂ ：防塵防滴カバー
２０８ ：チャックテーブル
２０８ａ ：保持面
２１８ｂ ：クランプ
２１０ ：サブチャックテーブル
２１０ａ ：保持面
２１０ｂ ：溝
２１２ ：ガイドレール
２１４ ：第１支持構造
２１６ ：第１レール
２１８ ：第１移動機構
２２０ ：第１保持ユニット
２２０ａ ：保持パッド（第１保持パッド）
２２０ｂ ：把持機構
２２２ ：第２レール
２２４ ：第２移動機構
２２６ ：第２保持ユニット
２２８ ：第２支持構造
２３０ ：Ｙ軸Ｚ軸移動機構（割り出し送りユニット、切り込み送りユニット）
２３２ ：加工ユニット（切削ユニット）
２３２ａ ：スピンドル
２３２ｂ ：切削ブレード
２３４ ：撮像ユニット（カメラ）
２３６ ：ボード搬送ユニット
２３６ａ ：アクチュエーター
２３６ｂ ：保持パッド（第２保持パッド）
２３８ ：洗浄ユニット
２４０ ：スピンナテーブル
２４２ ：噴射ノズル
２４４ ：カバー
２４４ａ ：天井
２４４ｂ ：扉
２４６ ：制御装置
２４８ ：受信機
２５０ ：送信機
２６２ ：下段フレーム
２６４ ：上段フレーム
２６６ ：路面パネル
２６８ ：ねじ
２７０ ：下段フレームユニット
２７０ａ ：下段フレームユニット
２７０ｂ ：下段フレームユニット
２７０ｃ ：下段フレームユニット
２７０ｄ ：下段フレームユニット
２７２ ：上段フレームユニット
２７２ａ ：上段フレームユニット
２７２ｂ ：上段フレームユニット
２７４ａ ：橋渡しパネル
２７４ｂ ：橋渡しパネル
２７６ ：ガード部
２７８ ：走行領域
２８０ ：停車領域
２８２ ：開口
２８４ ：待機領域
２８６ ：マーク
２８６ａ ：第１マーク
２８６ｂ ：第２マーク
２８６ｃ ：第３マーク
２８６ｄ ：第４マーク
２８８ ：端子（給電端子）
２９０ ：端子支持部
２９２ ：配線（給電配線）
３０２ ：制御部（信号生成部）
３０４ ：受信機
３０６ ：送信機
４０２ ：加工装置（切削装置）
４０４ ：昇降台
４０６ ：カセット収容機構
４０６ａ ：第１カセット収容機構
４０６ｂ ：第２カセット収容機構
１１ ：被加工物
１３ ：テープ（ダイシングテープ）
１５ ：フレーム
１７ ：被加工物ユニット
１７ａ ：被加工物ユニット
１７ｂ ：被加工物ユニット
３１ ：ボード
３３ ：トレー
３５ ：本体部
３７ ：位置規定部材
３９ａ ：第１ボード配置領域 ３９ｂ ：第２ボード配置領域
Ａ ：載置領域
Ａ１ａ ：第１載置領域
Ａ１ｂ ：第１載置領域
Ａ２ ：第２載置領域
Ｂ１ａ ：第１搬送領域
Ｂ１ｂ ：第１搬送領域
Ｂ２ ：第２搬送領域
Ｃ１ ：矢印
Ｃ２ ：矢印
Ｃ３ ：矢印
Ｄ１ ：矢印
Ｄ２ ：矢印
Ｄ３ ：矢印
Ｅ１ ：矢印
Ｅ２ ：矢印
Ｆ１ ：矢印
Ｆ２ ：矢印
Ｇ ：矢印
４ ：加工装置（切削装置）
４ａ ：加工装置（切削装置）
４ｂ ：加工装置（切削装置）
６ ：搬送路
６ａ ：開口
８ ：ローダー・アンローダー（搬送装置）
１０ ：搬送車
１０ａ ：搬送車
１０ｂ ：搬送車
１２ ：制御ユニット
２１ ：配管
２２ ：筐体
２２ａ ：天井
２２ｂ ：開口
２４ ：カセット収容機構
２４ａ ：第１カセット収容機構
２４ｂ ：第２カセット収容機構
２６ ：支持台
２６ａ ：上面
２６ｂ ：外側面
２８ ：カセット載置台
２８ａ ：下面
２８ｂ ：上面
２８ｃ ：貫通孔
３０ ：カセット
３０ａ ：第１カセット
３０ｂ ：第２カセット
３２ ：搬入出口
３４ ：外扉（第２扉）
３６ ：回転連結部材
３８ａ ：外部搬入出領域（外部領域）
３８ｂ ：内部収容領域（内部領域）
４０ ：内扉（第１扉）
４２ ：昇降機構
４２ａ ：シリンダーチューブ
４２ｂ ：ピストンロッド
４２ｃ ：連結部材
４４ ：第１センサー
４４ａ ：磁石
４６ ：制御装置
４８ ：第２センサー
４８ａ ：磁石
５０ ：ストッパー部材
５０ａ ：角棒
５０ｂ ：ローラー
５２ ：軸機構
５２ａ ：回転軸
５２ｂ ：軸受け
５４ ：ピン（押圧部）
５４ａ ：リング
５４ｂ ：ボタン
５６ ：昇降機構
５６ａ ：支持柱
５８ ：昇降台
６０ ：仮置きユニット
６２ ：筐体
６２ａ ：上板
６２ｂ ：下板
６２ｃ ：側板
６２ｃ１ ：第１側板
６２ｃ２ ：第２側板
６２ｄ ：開口
６２ｅ１ ：第１開口
６２ｅ２ ：第２開口
６４ ：搬送ユニット（搬送機構）
６４ａ ：第１搬送ユニット
６４ｂ ：第２搬送ユニット
６６ ：載置台
６８ ：受信機
７０ ：送信機
７２ａ ：上段ガイドレール（第１仮置き部）
７２ｂ ：下段ガイドレール（第２仮置き部）
７２ｃ ：間隔
７４ａ ：第１エアアクチュエーター
７４ｂ ：第２エアアクチュエーター
７６ａ ：第１ガイド機構
７６ｂ ：第２ガイド機構
７８ ：間隔調整機構
８２ ：車両フレーム
８４ ：車軸
８６ ：車輪（前輪）
８８ ：車輪（後輪）
９０ ：駆動ユニット
９２ ：モーター（駆動源）
９２ａ ：回転軸（出力シャフト）
９４ ：プーリー
９６ ：バッテリー（二次電池）
９８ ：配線（充電配線）
１００ ：端子（受電端子）
１０２ ：容器（カセット）
１０２ａ ：収容部（収容空間）
１０２ｂ ：開口
１０２ｃ ：上壁
１０２ｄ ：底壁
１０４ ：格納領域
１０６ ：第１ガイドレール
１０６ａ ：保持面
１０６ｂ ：側面
１０８ ：第２ガイドレール
１０８ａ ：保持面
１１０ ：昇降ユニット（昇降機構）
１１２ ：吊り下げ部材
１１４ ：駆動機構
１１６ ：接触部材
１１８ ：弾性部材（伸縮部材）
１２０ ：カバー
１２２ ：第１センサー
１２４ ：第２センサー
１２６ ：第３センサー
１２８ ：支持台
１３０ ：制御部（制御ユニット）
１３０ａ ：第１センサー制御部
１３０ｂ ：走行指示部
１３０ｃ ：第２センサー制御部
１３０ｄ ：旋回指示部
１３０ｅ ：進入制御部
１３０ｆ ：停車制御部
１３２ ：受信機
１３４ ：送信機
１４２ ：モーター
１４２ａ ：回転軸（出力シャフト）
１４４ａ ：第１回転軸（第１シャフト）
１４４ｂ ：第２回転軸（第２シャフト）
１４６ ：プーリー
１４８ ：連結部材
１５０ａ ：プーリー
１５０ｂ ：プーリー
１５２ ：連結部材
１５４ａ ：リール
１５４ｂ ：リール
１５６ａ ：ローラー
１５６ｂ ：ローラー
１６２ ：駆動機構
１６４ ：モーター
１６４ａ ：回転軸（出力シャフト）
１６６ａ ：第１回転軸（第１シャフト）
１６６ｂ ：第２回転軸（第２シャフト）
１６６ｃ ：第３回転軸（第３シャフト）
１６８ ：プーリー
１７０ ：連結部材
１７２ ：リール
１７２ａ ：溝（凹部）
１７２ｂ ：突起（凸部）
１７４ ：固定部材
１７６ ：ガイド
１８２ ：蓋部
１８２ａ ：板状部材
１８２ｂ ：柔軟部材
１８４ ：接触部
１８４ａ ：固定部材
１８４ｂ ：ローラー
１８６ ：固定ブロック
１８８ ：連結ブロック（Ｌ字ブロック）
１８８ａ ：連結部
１８８ｂ ：固定部
１９０ ：連結軸
２０２ ：基台
２０２ａ ：凹部
２０２ｂ ：凹部
２０２ｃ ：配管接続部
２０４ ：昇降台
２０６ ：Ｘ軸移動機構（加工送りユニット）
２０６ａ ：テーブルカバー
２０６ｂ ：防塵防滴カバー
２０８ ：チャックテーブル
２０８ａ ：保持面
２１８ｂ ：クランプ
２１０ ：サブチャックテーブル
２１０ａ ：保持面
２１０ｂ ：溝
２１２ ：ガイドレール
２１４ ：第１支持構造
２１６ ：第１レール
２１８ ：第１移動機構
２２０ ：第１保持ユニット
２２０ａ ：保持パッド（第１保持パッド）
２２０ｂ ：把持機構
２２２ ：第２レール
２２４ ：第２移動機構
２２６ ：第２保持ユニット
２２８ ：第２支持構造
２３０ ：Ｙ軸Ｚ軸移動機構（割り出し送りユニット、切り込み送りユニット）
２３２ ：加工ユニット（切削ユニット）
２３２ａ ：スピンドル
２３２ｂ ：切削ブレード
２３４ ：撮像ユニット（カメラ）
２３６ ：ボード搬送ユニット
２３６ａ ：アクチュエーター
２３６ｂ ：保持パッド（第２保持パッド）
２３８ ：洗浄ユニット
２４０ ：スピンナテーブル
２４２ ：噴射ノズル
２４４ ：カバー
２４４ａ ：天井
２４４ｂ ：扉
２４６ ：制御装置
２４８ ：受信機
２５０ ：送信機
２６２ ：下段フレーム
２６４ ：上段フレーム
２６６ ：路面パネル
２６８ ：ねじ
２７０ ：下段フレームユニット
２７０ａ ：下段フレームユニット
２７０ｂ ：下段フレームユニット
２７０ｃ ：下段フレームユニット
２７０ｄ ：下段フレームユニット
２７２ ：上段フレームユニット
２７２ａ ：上段フレームユニット
２７２ｂ ：上段フレームユニット
２７４ａ ：橋渡しパネル
２７４ｂ ：橋渡しパネル
２７６ ：ガード部
２７８ ：走行領域
２８０ ：停車領域
２８２ ：開口
２８４ ：待機領域
２８６ ：マーク
２８６ａ ：第１マーク
２８６ｂ ：第２マーク
２８６ｃ ：第３マーク
２８６ｄ ：第４マーク
２８８ ：端子（給電端子）
２９０ ：端子支持部
２９２ ：配線（給電配線）
３０２ ：制御部（信号生成部）
３０４ ：受信機
３０６ ：送信機
４０２ ：加工装置（切削装置）
４０４ ：昇降台
４０６ ：カセット収容機構
４０６ａ ：第１カセット収容機構
４０６ｂ ：第２カセット収容機構
１１ ：被加工物
１３ ：テープ（ダイシングテープ）
１５ ：フレーム
１７ ：被加工物ユニット
１７ａ ：被加工物ユニット
１７ｂ ：被加工物ユニット
３１ ：ボード
３３ ：トレー
３５ ：本体部
３７ ：位置規定部材
３９ａ ：第１ボード配置領域 ３９ｂ ：第２ボード配置領域
Ａ ：載置領域
Ａ１ａ ：第１載置領域
Ａ１ｂ ：第１載置領域
Ａ２ ：第２載置領域
Ｂ１ａ ：第１搬送領域
Ｂ１ｂ ：第１搬送領域
Ｂ２ ：第２搬送領域
Ｃ１ ：矢印
Ｃ２ ：矢印
Ｃ３ ：矢印
Ｄ１ ：矢印
Ｄ２ ：矢印
Ｄ３ ：矢印
Ｅ１ ：矢印
Ｅ２ ：矢印
Ｆ１ ：矢印
Ｆ２ ：矢印
Ｇ ：矢印
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図18】
【図19】
【図20】
【図21】
【図22】
【図23】
【図24】
【図25】
【図26】
【図27】
【図28】
【図29】
【図30】
【図31】
【図32】
【図33】
【図34】
【図35】