特許 7491052 近赤外線カットフィルタ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-05-20

(45)【発行日】2024-05-28

(54)【発明の名称】近赤外線カットフィルタ

(51)【国際特許分類】

   G02B 5/28 20060101AFI20240521BHJP

   G02B 5/26 20060101ALI20240521BHJP

【ＦＩ】

G02B5/28

G02B5/26

【請求項の数】 7

(21)【出願番号】P 2020089018

(22)【出願日】2020-05-21

(65)【公開番号】P2021184022

(43)【公開日】2021-12-02

【審査請求日】2023-02-07

【前置審査】

(73)【特許権者】

【識別番号】000000044

【氏名又は名称】ＡＧＣ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100107766

【弁理士】

【氏名又は名称】伊東 忠重

(74)【代理人】

【識別番号】100070150

【弁理士】

【氏名又は名称】伊東 忠彦

(72)【発明者】

【氏名】長田 崇

【審査官】岩井 好子

(56)【参考文献】

【文献】国際公開第２０１４／０３４３８６（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開２０１３－１７８３３８（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２０１３／０１５３０３（ＷＯ，Ａ１）

【文献】国際公開第２０１４／１０４３７０（ＷＯ，Ａ１）

【文献】中国特許出願公開第１１１３９９１００（ＣＮ，Ａ）

【文献】米国特許出願公開第２０１５／０１６０３８６（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｇ０２Ｂ ５／２８

Ｇ０２Ｂ ５／２６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

近赤外線カットフィルタであって、
第１の表面を有する透明基板と、
該透明基板の前記第１の表面の側に設けられた光学多層膜と、
前記透明基板の前記第１の表面の側に設けられた第１の整合膜と、
前記第１の表面の最も外側に設置された第２の整合膜と、
を有し、
前記光学多層膜は、高屈折率層と低屈折率層との交互積層構造を有し、近赤外線を反射させる機能を有し、
前記第１および第２の整合膜は、可視光の反射を抑制する機能を有し、
前記第１の整合膜は、前記光学多層膜の上、または前記透明基板と前記光学多層膜の間に設置され、
前記第１の整合膜は、高屈折率層と低屈折率層との交互積層構造を有し、
光の波長の１／４の光学厚さをＱＷＯＴとし、前記高屈折率層の波長５５０ｎｍにおけるＱＷＯＴをＱ_Ｈとし、前記低屈折率層の波長５５０ｎｍにおけるＱＷＯＴをＱ_Ｌとしたとき、
前記第１の整合膜は、前記透明基板の側から、

（Ｈ_１Ｑ_Ｈ、Ｌ_１Ｑ_Ｌ、Ｈ_２Ｑ_Ｈ、Ｌ_２Ｑ_Ｌ、……Ｈ_ｎＱ_Ｈ、Ｌ_ｎＱ_Ｌ）

の構造（ここで、ｎは１以上の自然数）を有し、
各係数は、

１．７≦（Ｈ_１＋Ｈ_２＋…＋Ｈ_ｎ）／（Ｌ_１＋Ｌ_２＋…＋Ｌ_ｎ）≦２．２０

を満し、
ここで、Ｑ_ＨおよびＱ_Ｌの前の前の係数Ｈ_１…Ｈ_ｎおよびＬ_１…Ｌ_ｎは、各層の物理膜厚が前記ＱＷＯＴの何倍であるかを表し、
前記第２の整合膜は、高屈折率層および低屈折率層の２層構造を有し、
前記高屈折率層の波長５５０ｎｍにおけるＱＷＯＴをＱ_Ａとし、前記低屈折率層の波長５５０ｎｍにおけるＱＷＯＴをＱ_Ｂとしたとき、
前記第２の整合膜は、前記透明基板の側から、

（ＸＱ_Ａ、ＹＱ_Ｂ）

の構造を有し、ここで、Ｘ＞Ｙである、近赤外線カットフィルタ。

【請求項2】

前記第１の整合膜は、６層以上で構成される、請求項１に記載の近赤外線カットフィルタ。

【請求項3】

前記第１の表面の側に、高屈折率層と低屈折率層との交互積層構造を有する第３の整合膜を有し、
前記光学多層膜は、前記第１の整合膜と前記第３の整合膜の間に配置される、請求項１または請求項２に記載の近赤外線カットフィルタ。

【請求項4】

前記第３の整合膜は、前記第１の整合膜と同じ層数で構成される、請求項３に記載の近赤外線カットフィルタ。

【請求項5】

前記光学多層膜は、可視光領域に透過帯を有する、請求項１乃至４のいずれか一項に記載の近赤外線カットフィルタ。

【請求項6】

前記光学多層膜は、近紫外線領域に反射帯を有する、請求項５に記載の近赤外線カットフィルタ。

【請求項7】

請求項１乃至６のいずれか一項に記載の近赤外線カットフィルタを備える撮像装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、近赤外線カットフィルタに関する。

【背景技術】

【0002】

デジタルカメラやデジタルビデオなどの撮像装置は、人物や景色等のセンシングのため、固体撮像素子（イメージセンサ）を備える。ただし、固体撮像素子は、人間の視感に比べて、赤外光に対してより強い感度を示す。このため、固体撮像素子による画像を人間の視感度に近づけるため、撮像装置には、さらに近赤外線カットフィルタが設置される。

【0003】

一般に、そのような近赤外線カットフィルタは、透明基板上に近赤外線を遮蔽する光学多層膜を設置することにより構成される。光学多層膜は、高屈折率の誘電体（例えば、ＴｉＯ_２）からなる薄膜と、低屈折率の誘電体（例えば、ＳｉＯ_２）からなる薄膜とを、交互に積層することにより構成される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】国際公開第ＷＯ２０１４／１０４３７０号

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

光学多層膜を有する近赤外線カットフィルタにおいては、しばしば、光学特性が入射光の角度に依存して変化することが知られている。このため、例えば、法線方向に近い入射角を有する光に対しては、所望の光学特性が得られても、法線方向から大きくずれた入射角を有する光に対しては、所望の光学特性が得られないなどという問題が生じ得る。

【0006】

また、このような近赤外線カットフィルタにおける光学特性の入射角度依存性は、近赤外線カットフィルタを固体撮像素子に適用した際に、像の鮮明性の点で問題となり得る。例えば、近赤外線カットフィルタに入射した可視光の一部が透過されずに反射されると、そのような反射光は、迷光の原因となり得る。

【0007】

本発明は、このような背景に鑑みなされたものであり、本発明では、広い入射角度範囲において、可視光領域における反射率を有意に抑制することが可能な、近赤外線カットフィルタを提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0008】

本発明では、近赤外線カットフィルタであって、
第１の表面を有する透明基板と、
該透明基板の前記第１の表面の側に設けられた光学多層膜と、
前記透明基板の前記第１の表面の側に設けられた第１の整合膜と、
前記第１の表面の最も外側に設置された第２の整合膜と、
を有し、
前記光学多層膜は、高屈折率層と低屈折率層との交互積層構造を有し、近赤外線を反射させる機能を有し、
前記第１および第２の整合膜は、可視光の反射を抑制する機能を有し、
前記第１の整合膜は、前記光学多層膜の上、または前記透明基板と前記光学多層膜の間に設置され、
当該近赤外線カットフィルタにおいて、
前記第２の整合膜の側から、５゜の入射角度で入射する光の正反射率を第１反射率Ｒ_１とし、前記第２の整合膜の側から、４０゜の入射角度で入射する光の正反射率を第２反射率Ｒ_２とし、
波長４８０ｎｍ～６８０ｎｍの範囲における前記第１反射率Ｒ_１の近似直線をｙ_１とし、波長４５０ｎｍ～６５０ｎｍの範囲における前記第２反射率Ｒ_２の近似直線をｙ_２としたとき、
波長４８０ｎｍ～６８０ｎｍの範囲において、同一波長での前記第１反射率Ｒ_１と前記近似直線ｙ_１の値の間の差の絶対値の最大値ΔＲ_１は、５％未満であり、
波長４５０ｎｍ～６５０ｎｍの範囲において、同一波長での前記第２反射率Ｒ_２と前記近似直線ｙ_２の値の間の差の絶対値の最大値ΔＲ_２は、６％未満である、近赤外線カットフィルタが提供される。

【発明の効果】

【0009】

本発明では、広い入射角度範囲において、可視光領域における反射率を有意に抑制することが可能な、近赤外線カットフィルタを提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】本発明の一実施形態による近赤外線カットフィルタの断面を模式的に示した図である。

【図2】本発明の別の実施形態による近赤外線カットフィルタの断面を模式的に示した図である。

【図3】本発明のさらに別の実施形態による近赤外線カットフィルタの断面を模式的に示した図である。

【図4】例１における近赤外線カットフィルタにおいて得られた、５゜入射および４０゜入射のそれぞれにおける光学特性を示したグラフである。

【図5】図４の５゜入射における光学特性の一部を拡大して示したグラフである。

【図6】図４の４０゜入射における光学特性の一部を拡大して示したグラフである。

【図7】例２における近赤外線カットフィルタにおいて得られた、５゜入射および４０゜入射のそれぞれにおける光学特性を示したグラフである。

【図8】図７の５゜入射における光学特性の一部を拡大して示したグラフである。

【図9】図７の４０゜入射における光学特性の一部を拡大して示したグラフである。

【図10】例３における近赤外線カットフィルタにおいて得られた、５゜入射および４０゜入射のそれぞれにおける光学特性を示したグラフである。

【図11】例４における近赤外線カットフィルタにおいて得られた、５゜入射および４０゜入射のそれぞれにおける光学特性を示したグラフである。

【図12】図１１の５゜入射における光学特性の一部を拡大して示したグラフである。

【図13】図１１の４０゜入射における光学特性の一部を拡大して示したグラフである。

【図14】例１１における近赤外線カットフィルタにおいて得られた、５゜入射および４０゜入射のそれぞれにおける光学特性を示したグラフである。

【図15】図１４の５゜入射における光学特性の一部を拡大して示したグラフである。

【図16】図１４の４０゜入射における光学特性の一部を拡大して示したグラフである。

【図17】例１１における近赤外線カットフィルタにおいて得られた、５゜入射および４０゜入射のそれぞれにおける光学特性を示したグラフである。

【図18】図１７の５゜入射における光学特性の一部を拡大して示したグラフである。

【図19】図１７の４０゜入射における光学特性の一部を拡大して示したグラフである。

【図20】例１３における近赤外線カットフィルタにおいて得られた、５゜入射および４０゜入射のそれぞれにおける光学特性を示したグラフである。

【図21】例１４における近赤外線カットフィルタにおいて得られた、５゜入射および４０゜入射のそれぞれにおける光学特性を示したグラフである。

【発明を実施するための形態】

【0011】

以下、本発明の一実施形態について説明する。

【0012】

本発明の一実施形態では、近赤外線カットフィルタであって、
第１の表面を有する透明基板と、
該透明基板の前記第１の表面の側に設けられた光学多層膜と、
前記透明基板の前記第１の表面の側に設けられた第１の整合膜と、
前記第１の表面の最も外側に設置された第２の整合膜と、
を有し、
前記光学多層膜は、高屈折率層と低屈折率層との交互積層構造を有し、近赤外線を反射させる機能を有し、
前記第１および第２の整合膜は、可視光の反射を抑制する機能を有し、
前記第１の整合膜は、前記光学多層膜の上、または前記透明基板と前記光学多層膜の間に設置され、
当該近赤外線カットフィルタにおいて、
前記第２の整合膜の側から、５゜の入射角度で入射する光の正反射率を第１反射率Ｒ_１とし、前記第２の整合膜の側から、４０゜の入射角度で入射する光の正反射率を第２反射率Ｒ_２とし、
波長４８０ｎｍ～６８０ｎｍの範囲における前記第１反射率Ｒ_１の近似直線をｙ_１とし、波長４５０ｎｍ～６５０ｎｍの範囲における前記第２反射率Ｒ_２の近似直線をｙ_２としたとき、
波長４８０ｎｍ～６８０ｎｍの範囲において、同一波長での前記第１反射率Ｒ_１と前記近似直線ｙ_１の値の間の差の絶対値の最大値ΔＲ_１は、５％未満であり、
波長４５０ｎｍ～６５０ｎｍの範囲において、同一波長での前記第２反射率Ｒ_２と前記近似直線ｙ_２の値の間の差の絶対値の最大値ΔＲ_２は、６％未満である、近赤外線カットフィルタが提供される。

【0013】

本発明の一実施形態による近赤外線カットフィルタは、光学多層膜を有する。この光学多層膜は、近赤外線の透過を阻止し、該近赤外線を反射させる機能を有する。

【0014】

また、本発明の一実施形態による近赤外線カットフィルタは、第１および第２の整合膜を有する。第１および第２の整合膜は、可視光の反射を抑制する機能を有する。

【0015】

また、本発明の一実施形態による近赤外線カットフィルタは、波長４８０ｎｍ～６８０ｎｍの範囲において、同一波長での第１反射率Ｒ_１と近似直線ｙ_１の値の間の差の絶対値の最大値ΔＲ_１が５％未満であるという特徴を有する。さらに、本発明の一実施形態による近赤外線カットフィルタは、波長４５０ｎｍ～６５０ｎｍの範囲において、同一波長での第２反射率Ｒ_２と近似直線ｙ_２の値の間の差の絶対値の最大値ΔＲ_２が６％未満であるという特徴を有する。

【0016】

このような構成を有する近赤外線カットフィルタでは、後に詳しく示すように、広い入射角度範囲において、可視光領域における反射率を有意に抑制することができる。従って、本発明の一実施形態による近赤外線カットフィルタを固体撮像素子に適用した場合、鮮明な像を得ることが可能となる。

【0017】

（本発明の一実施形態による近赤外線カットフィルタ）
次に、図面を参照して、本発明の一実施形態についてより詳しく説明する。

【0018】

図１には、本発明の一実施形態による近赤外線カットフィルタ（以下、「第１の光学フィルタ」と称する）の断面を模式的に示す。

【0019】

図１に示すように、第１の光学フィルタ１００は、第１の表面１１２を有する透明基板１１０と、光学多層膜１２０と、第１の整合膜１４０と、第２の整合膜１６０と、を有する。

【0020】

光学多層膜１２０は、透明基板１１０の第１の表面１１２上に設置され、第１の整合膜１４０は、光学多層膜１２０の上に設置される。また、第２の整合膜１６０は、第１の表面１１２の最も外側に設置される。

【0021】

光学多層膜１２０は、近赤外線の透過を阻止し、該近赤外線を反射させる機能を有する。また、第１の整合膜１４０および第２の整合膜１６０は、可視光の反射を抑制する機能を有する。

【0022】

ここで、第２の整合膜１６０の側から、法線に対して５゜の入射角度で入射する光の正反射率を第１反射率Ｒ_１と称し、法線に対して４０゜の入射角度で入射する光の正反射率を第２反射率Ｒ_２と称する。また、波長４８０ｎｍ～６８０ｎｍの範囲における第１反射率Ｒ_１の近似直線をｙ_１とし、波長４５０ｎｍ～６５０ｎｍの範囲における第２反射率Ｒ_２の近似直線をｙ_２とする。

【0023】

この場合、第１の光学フィルタ１００は、
波長４８０ｎｍ～６８０ｎｍの範囲において、同一波長での第１反射率Ｒ_１と近似直線ｙ_１の値の間の差の絶対値の最大値ΔＲ_１が５％未満であり、
波長４５０ｎｍ～６５０ｎｍの範囲において、同一波長での第２反射率Ｒ_２と近似直線ｙ_２の値の間の差の絶対値の最大値ΔＲ_２が６％未満である
という特徴を有する。

【0024】

例えば、ΔＲ_１は、４％未満であってもよく、３％未満であることが好ましい。また、例えば、ΔＲ_２は、５．５％未満であってもよく、５％未満であることが好ましい。

【0025】

第１の光学フィルタ１００では、広い入射角度範囲において、可視光領域における反射率を有意に抑制することができる。従って、第１の光学フィルタ１００を固体撮像素子に適用した場合、鮮明な像を得ることが可能となる。

【0026】

（本発明の別の実施形態による近赤外線カットフィルタ）
次に、図２を参照して、本発明の別の実施形態について説明する。

【0027】

図２には、本発明の別の実施形態による近赤外線カットフィルタ（以下、「第２の光学フィルタ」と称する）の断面を模式的に示す。

【0028】

図２に示すように、第２の光学フィルタ２００は、第１の表面２１２を有する透明基板２１０と、第１の整合膜２４０と、光学多層膜２２０と、第２の整合膜２６０と、を有する。

【0029】

第１の整合膜２４０は、透明基板２１０の第１の表面２１２上に設置され、光学多層膜２２０は、第１の整合膜２４０の上に設置される。また、第２の整合膜２６０は、第１の表面２１２の最も外側に設置される。

【0030】

ここで、第１の光学フィルタ１００と同様、第２の光学フィルタ２００も、
波長４８０ｎｍ～６８０ｎｍの範囲において、同一波長での第１反射率Ｒ_１と近似直線ｙ_１の値の間の差の絶対値の最大値ΔＲ_１が５％未満であり、
波長４５０ｎｍ～６５０ｎｍの範囲において、同一波長での第２反射率Ｒ_２と近似直線ｙ_２の値の間の差の絶対値の最大値ΔＲ_２が６％未満である
という特徴を有する。

【0031】

第２の光学フィルタ２００では、広い入射角度範囲において、可視光領域における反射率を有意に抑制することができる。従って、第２の光学フィルタ２００を固体撮像素子に適用した場合、鮮明な像を得ることが可能となる。

【0032】

（本発明のさらに別の実施形態による近赤外線カットフィルタ）
次に、図３を参照して、本発明のさらに別の実施形態について説明する。

【0033】

図３には、本発明のさらに別の実施形態による近赤外線カットフィルタ（以下、「第３の光学フィルタ」と称する）の断面を模式的に示す。

【0034】

図３に示すように、第３の光学フィルタ３００は、第１の表面３１２を有する透明基板３１０と、第１の整合膜３４０と、光学多層膜３２０と、第３の整合膜３５０と、第２の整合膜３６０と、を有する。

【0035】

第１の整合膜３４０は、透明基板３１０の第１の表面３１２上に設置される。また、光学多層膜３２０は、第１の整合膜３４０の上に設置され、第３の整合膜３５０は、光学多層膜３２０の上に配置される。さらに、第２の整合膜３６０は、第１の表面３１２の最も外側に設置される。

【0036】

ここで、第１の光学フィルタ１００および第２の光学フィルタ２００と同様、第３の光学フィルタ３００も、
波長４８０ｎｍ～６８０ｎｍの範囲において、同一波長での第１反射率Ｒ_１と近似直線ｙ_１の値の間の差の絶対値の最大値ΔＲ_１が５％未満であり、
波長４５０ｎｍ～６５０ｎｍの範囲において、同一波長での第２反射率Ｒ_２と近似直線ｙ_２の値の間の差の絶対値の最大値ΔＲ_２が６％未満である
という特徴を有する。

【0037】

第３の光学フィルタ３００では、広い入射角度範囲において、可視光領域における反射率を有意に抑制することができる。従って、第３の光学フィルタ３００を固体撮像素子に適用した場合、鮮明な像を得ることが可能となる。

【0038】

（構成部材）
次に、本発明の一実施形態による近赤外線カットフィルタを構成する各部材について、より詳しく説明する。

【0039】

なお、ここでは、一例として、前述の第３の光学フィルタ３００を例に、その構成部材について説明する。従って、各部材を参照する際には、図３に示した参照符号を使用する。

【0040】

（透明基板３１０）
透明基板３１０は、可視光に対して透明（透過率が高い）である限り、いかなる材料で構成されてもよい。例えば、透明基板３１０は、ガラス（白板ガラス、近赤外線吸収ガラスなど）、または樹脂で構成されてもよい。

【0041】

（光学多層膜３２０）
光学多層膜３２０は、「高屈折率層」と「低屈折率層」との繰り返し構造を有し、近赤外線（波長７５０ｎｍ～９００ｎｍ）を反射する機能を有する。

【0042】

本願において、「高屈折率層」とは、波長５００ｎｍにおける屈折率が２．０以上の層を意味し、「低屈折率層」とは、波長５００ｎｍにおける屈折率が１．６以下の層を意味する。

【0043】

高屈折率層としては、例えば、酸化チタン、酸化タンタル、および酸化ニオブなどが挙げられる。低屈折率層としては、例えば、酸化ケイ素およびフッ化マグネシウムなどが挙げられる。例えば、波長５００ｎｍにおける酸化チタンの屈折率は、結晶状態にもよるが、一般に、２．３～２．８の範囲であり、酸化ケイ素の屈折率は、一般に１．４～１．５の範囲である。

【0044】

光学多層膜３２０の層数は、特に限られないが、例えば、４～１００の範囲である。層数は、６～２４の範囲であることが好ましい。

【0045】

なお、多層膜の層数の半分（端数の場合は、小数点以下切り捨て）を、「繰り返し数（ｎ）」とも称する。

【0046】

光学多層膜３２０の繰り返し数ｎは、２～５０の範囲であり、３～１３の範囲であることが好ましい。

【0047】

また、光学多層膜３２０の総厚さ（物理膜厚）は、例えば、２００ｎｍ～１０μｍの範囲であり、１μｍ～６μｍの範囲であることが好ましい。

【0048】

光学多層膜３２０は、さらに、近紫外線および赤外線（波長９００ｎｍ～１２００ｎｍ）を反射する機能を有してもよい。この場合、第３の光学フィルタ３００において、近紫外線および赤外線を遮蔽することが可能となる。

【0049】

（第１の整合膜３４０）
第１の整合膜３４０は、前述のように、可視光の反射を抑制する機能を有する。

【0050】

第１の整合膜３４０は、「高屈折率層」と「低屈折率層」との交互積層構造を有してもよい。「高屈折率層」および「低屈折率層」としては、前述の記載が参照できる。

【0051】

第１の整合膜３４０が高屈折率層と低屈折率層との交互積層構造を有する場合、高屈折率層の波長５５０ｎｍにおけるＱＷＯＴ（Ｑｕａｒｔｅｒ－ｗａｖｅ Ｏｐｔｉｃａｌ Ｔｈｉｃｋｎｅｓｓ）をＱ_Ｈとし、低屈折率層の波長５５０ｎｍにおけるＱＷＯＴをＱ_Ｌとしたとき、第１の整合膜３４０は、透明基板３１０の側から順に、

（Ｈ_１Ｑ_Ｈ、Ｌ_１Ｑ_Ｌ、Ｈ_２Ｑ_Ｈ、Ｌ_２Ｑ_Ｌ、……、Ｈ_ｎＱ_Ｈ、Ｌ_ｎＱ_Ｌ） （１）式

の構造（ここで、ｎは１以上の自然数）を有してもよい。また、各係数は、

１．７≦Ｗ≦２．５ （２）式

を満たしてもよい。ここで、

Ｗ＝（Ｈ_１＋Ｈ_２＋…＋Ｈ_ｎ）／（Ｌ_１＋Ｌ_２＋…＋Ｌ_ｎ） （３）式

である。

【0052】

（１）式におけるＱ_ＨおよびＱ_Ｌの前のＨ_１…Ｈ_ｎおよびＬ_１…Ｌ_ｎ等の係数は、各層の物理膜厚がＱＷＯＴの何倍であるかを表している。すなわち、Ｈ_ｎＱ_ＨおよびＬ_ｎＱ_Ｌ等は、各層の光学的膜厚を表す。

【0053】

第１の整合膜３４０の層数は、特に限られないが、例えば、２～２０層の範囲であることが好ましい。層数が２０を超えると、成膜に時間を要し、第３の光学フィルタ３００の製造コストが上昇する。第１の整合膜３４０の層数は、６層～１６層の範囲であることがより好ましく、１２層以下であることがさらに好ましい。

【0054】

（第２の整合膜３６０）
第２の整合膜３６０は、第１の整合膜３４０と同様、可視光の反射を抑制する機能を有する。

【0055】

第２の整合膜３６０は、高屈折率層および低屈折率層の２層構造を有することが好ましい（すなわち、繰り返し数ｎ＝１）。なお、「高屈折率層」および「低屈折率層」としては、前述の記載が参照できる。

【0056】

さらに、この場合、高屈折率層の波長５５０ｎｍにおけるＱＷＯＴをＱ_Ａとし、低屈折率層の波長５５０ｎｍにおけるＱＷＯＴをＱ_Ｂとしたとき、第２の整合膜３６０は、透明基板の側から、

（ＸＱ_Ａ、ＹＱ_Ｂ） （４）式

の構造を有し、ここで、Ｘ＞Ｙであることが好ましい。

【0057】

（第３の整合膜３５０）
第３の整合膜３５０は、第１の整合膜３４０および第２の整合膜３６０と同様、可視光の反射を抑制する機能を有する。

【0058】

第３の整合膜３５０は、「高屈折率層」と「低屈折率層」との交互積層構造を有してもよい。「高屈折率層」および「低屈折率層」としては、前述の記載が参照できる。

【0059】

特に、第３の整合膜３５０は、第１の整合膜３４０と同じ層数で構成されてもよい。また、第３の整合膜３５０は、前述の（１）式～（３）式を満たすように構成されてもよい。

【0060】

例えば、第３の整合膜３５０は、６層～１６層で構成されてもよい。この場合、繰り返し数ｎは、３～８となる。

【0061】

第３の整合膜３５０は、必須の構成ではないが、第３の整合膜３５０を設けることにより、可視光の反射をよりいっそう抑制することができる。

【0062】

なお、図３に示した例では、第３の整合膜３５０は、第１の整合膜３４０の上に設置された光学多層膜３２０の上に配置されている。しかしながら、この逆に、第３の整合膜３５０は、透明基板３１０と光学多層膜３２０の間に配置され、光学多層膜３２０の上には第１の整合膜３４０が設置されてもよい。

【0063】

以上、第３の光学フィルタ３００を例に、本発明の一実施形態による近赤外線カットフィルタに含まれる各部材について説明した。しかしながら、上記の記載が、第１の光学フィルタ１００および第２の光学フィルタ２００に対しても同様に適用できることは、当業者には明らかである。

【実施例】

【0064】

次に、本発明の実施例について説明する。なお、以下の記載において、例１～例４は、実施例であり、例１１～例１４は、比較例である。

【0065】

以下の各例に示した構成を有する近赤外線カットフィルタのそれぞれについて、光学特性を評価した。光学特性は、市販の光学シミュレーションソフト（Ｓｏｆｔｗａｒｅ ＳＰｅｃｔｒａ，Ｉｎｃ社のＴＦＣａｌｃ）を用いて評価した。

【0066】

なお、以下の評価において、近赤外線カットフィルタにおける反射率は、透明基板の第１の表面の側（すなわち、各種膜が設置された側）から、法線に対して所定の角度で光を入射させた際に得られる正反射率を表す。

【0067】

光の入射角度は、法線に対して５゜および４０゜とした。以下、これらの入射方向を、それぞれ、「５゜入射」および「４０゜入射」と称する。

【0068】

（例１）
例１における近赤外線カットフィルタは、図１に示した構成を有する。

【0069】

透明基板には、ガラス（Ｄ２６３；Ｓｃｈｏｔｔ社製）を使用した。なお、他の例においても、同一のガラスを使用した。

【0070】

光学多層膜は、低屈折率層（ＳｉＯ_２層）と高屈折率層（ＴｉＯ_２層）の繰り返し構造とした。層数は、１７層とした。また、第１の整合膜は、ＴｉＯ_２層とＳｉＯ_２層の繰り返し構造とし、層数は、６層とした。さらに、第２の整合膜は、ＴｉＯ_２層とＳｉＯ_２層の２層構造とした。

【0071】

以下の表１には、例１において使用した光学多層膜、第１の整合膜、および第２の整合膜の層構成をまとめて示した。

【0072】

【表1】

第１の整合膜において、前述の（３）式で表されるＷの値、すなわち（Ｈ_１＋Ｈ_２＋Ｈ_３）／（Ｌ_１＋Ｌ_２＋Ｌ_３）の値は、２．２０であった。

【0073】

また、第２の整合膜において、ＴｉＯ_２層の波長５５０ｎｍにおけるＱＷＯＴ（Ｑ_Ａ）＝１．８９８であり、ＳｉＯ_２層の波長５５０ｎｍにおけるＱＷＯＴ（Ｑ_Ｂ）は、０．８８７であった。また、第２の整合膜を前述の（４）式で表した場合、Ｘ／Ｙ＝２．１４であった。

【0074】

なお、表１において、各層は、透明基板から近い順に記載されており、従って、透明基板上には、表１の上側から下側に向かって、それぞれの層が配置される。係る記載は、以降の表２～表８においても同様である。

【0075】

（例２）
例２における近赤外線カットフィルタは、図１に示した構成を有する。

【0076】

透明基板には、ガラスを使用した。

【0077】

光学多層膜は、ＴｉＯ_２層とＳｉＯ_２の繰り返し構造とした。層数は、１８層とした。また、第１の整合膜は、ＴｉＯ_２層とＳｉＯ_２の繰り返し構造とし、層数は、６層とした。さらに、第２の整合膜は、ＴｉＯ_２層とＳｉＯ_２層の２層構造とした。

【0078】

以下の表２には、例２において使用した光学多層膜、第１の整合膜、および第２の整合膜の層構成をまとめて示した。

【0079】

【表2】

第１の整合膜において、前述の（３）式で表されるＷの値、すなわち（Ｈ_１＋Ｈ_２＋Ｈ_３）／（Ｌ_１＋Ｌ_２＋Ｌ_３）の値は、１．７１であった。

【0080】

また、第２の整合膜において、ＴｉＯ_２層の波長５５０ｎｍにおけるＱＷＯＴ（Ｑ_Ａ）＝２．０００であり、ＳｉＯ_２層の波長５５０ｎｍにおけるＱＷＯＴ（Ｑ_Ｂ）は、０．９００であった。また、第２の整合膜を前述の（４）式で表した場合、Ｘ／Ｙ＝２．２２であった。

【0081】

（例３）
例３における近赤外線カットフィルタは、図２に示した構成を有する。

【0082】

透明基板には、ガラスを使用した。

【0083】

第１の整合膜は、ＴｉＯ_２層とＳｉＯ_２の繰り返し構造とし、層数は、６層とした。また、光学多層膜は、ＳｉＯ_２層とＴｉＯ_２層の繰り返し構造とした。層数は、１７層とした。さらに、第２の整合膜は、ＴｉＯ_２層とＳｉＯ_２層の２層構造とした。

【0084】

以下の表３には、例３において使用した第１の整合膜、光学多層膜、および第２の整合膜の層構成をまとめて示した。

【0085】

【表3】

第１の整合膜において、前述の（３）式で表されるＷの値、すなわち（Ｈ_１＋Ｈ_２＋Ｈ_３）／（Ｌ_１＋Ｌ_２＋Ｌ_３）の値は、２．０９であった。

【0086】

また、第２の整合膜において、ＴｉＯ_２層の波長５５０ｎｍにおけるＱＷＯＴ（Ｑ_Ａ）＝１．５８７であり、ＳｉＯ_２層の波長５５０ｎｍにおけるＱＷＯＴ（Ｑ_Ｂ）は、０．８８４であった。また、第２の整合膜を前述の（４）式で表した場合、Ｘ／Ｙ＝１．８０であった。

【0087】

（例４）
例４における近赤外線カットフィルタは、図３に示した構成を有する。

【0088】

透明基板には、ガラスを使用した。

【0089】

第１の整合膜は、ＳｉＯ_２層とＴｉＯ_２層の繰り返し構造とし、層数は、６層とした。また、光学多層膜は、ＳｉＯ_２層とＴｉＯ_２層の繰り返し構造とした。層数は、１７層とした。また、第３の整合膜は、ＴｉＯ_２層とＳｉＯ_２層の繰り返し構造とし、層数は、６層とした。さらに、第２の整合膜は、ＴｉＯ_２層とＳｉＯ_２層の２層構造とした。

【0090】

以下の表４には、例４において使用した第１の整合膜、光学多層膜、第３の整合膜、および第２の整合膜の層構成をまとめて示した。

【0091】

【表4】

第１の整合膜において、前述の（３）式で表されるＷの値、すなわち（Ｈ_１＋Ｈ_２＋Ｈ_３）／（Ｌ_１＋Ｌ_２＋Ｌ_３）の値は、２．１５であった。

【0092】

また、第２の整合膜において、ＴｉＯ_２層の波長５５０ｎｍにおけるＱＷＯＴ（Ｑ_Ａ）＝１．９８３であり、ＳｉＯ_２層の波長５５０ｎｍにおけるＱＷＯＴ（Ｑ_Ｂ）は、０．９２１であった。また、第２の整合膜を前述の（４）式で表した場合、Ｘ／Ｙ＝２．１５であった。

【0093】

（例１１）
例１１における近赤外線カットフィルタは、透明基板の上に光学多層膜のみを有する構成を有する。光学多層膜は、ＴｉＯ_２層とＳｉＯ_２層の繰り返し構造とし、層数は、２０層とした。

【0094】

以下の表５には、例１１において使用した光学多層膜の層構成を示した。

【0095】

【表5】

（例１２）
例１２における近赤外線カットフィルタは、透明基板の上に光学多層膜のみを有する構成を有する。光学多層膜は、ＳｉＯ_２層とＴｉＯ_２層の繰り返し構造とし、層数は、２１層とした。

【0096】

以下の表６には、例１２において使用した光学多層膜の層構成を示した。

【0097】

【表6】

（例１３）
例１３における近赤外線カットフィルタは、透明基板の上に、光学多層膜と、第１の整合膜とを、この順に配置した構成を有する。

【0098】

光学多層膜は、ＳｉＯ_２層とＴｉＯ_２層の繰り返し構造とし、層数は、１７層とした。また、第１の整合膜は、ＴｉＯ_２層とＳｉＯ_２層の繰り返し構造とし、層数は、６層とした。

【0099】

以下の表７には、例１３において使用した光学多層膜、および第１の整合膜の層構成をまとめて示した。

【0100】

【表7】

（例１４）
例１４における近赤外線カットフィルタは、図１に示した構成を有する。

【0101】

透明基板には、ガラスを使用した。

【0102】

光学多層膜は、ＳｉＯ_２層とＴｉＯ_２層の繰り返し構造とした。層数は、１７層とした。また、第１の整合膜は、ＴｉＯ_２層とＳｉＯ_２層の繰り返し構造とし、層数は、６層とした。さらに、第２の整合膜は、ＴｉＯ_２層とＳｉＯ_２層の２層構造とした。

【0103】

以下の表８には、例１４において使用した光学多層膜、第１の整合膜、および第２の整合膜の層構成をまとめて示した。

【0104】

【表8】

（光学特性の評価結果）
（例１における近赤外線カットフィルタ）
図４～図６には、例１における近赤外線カットフィルタにおいて得られた光学特性の評価結果を示す。

【0105】

図４において、横軸は波長であり、縦軸は反射率である。図４には、５゜入射の際に得られる正反射率、すなわち第１反射率Ｒ_１と、４０゜入射の際に得られる正反射率、すなわち第２反射率Ｒ_２の結果が併せて示されている。

【0106】

図４の結果から、例１における近赤外線カットフィルタは、可視光の領域（波長約４５０ｎｍ～約６５０ｎｍ）に透過帯を有し、近赤外線の領域に反射帯を有することがわかる。

【0107】

なお、５゜入射における反射帯の波長範囲は、約７５０ｎｍ～約１０００ｎｍの範囲であるのに対して、４０゜入射における反射帯の波長範囲は、約７００ｎｍ～約９００ｎｍの範囲であった。すなわち、４０゜入射における反射帯の波長範囲は、５゜入射における反射帯の波長範囲よりも低波長側にシフトした。

【0108】

しかしながら、第１反射率Ｒ_１および第２反射率Ｒ_２のいずれの場合も、透過帯において、反射が十分に抑制されていることがわかる。

【0109】

図５には、図４に示した挙動のうち、波長４８０ｎｍ～６８０ｎｍの範囲における第１反射率Ｒ_１の変化を拡大して示す。

【0110】

なお、図５における直線ｙ_１は、波長４８０ｎｍ～６８０ｎｍの範囲における第１反射率Ｒ_１の近似直線であり、

ｙ_１＝０．０３５３λ－１６．０８７ （５）式

で表される。ここで、λは波長である（以下同じ）。

【0111】

また、図６には、図４に示した挙動のうち、波長４５０ｎｍ～６５０ｎｍの範囲における第２反射率Ｒ_２の変化を拡大して示す。

【0112】

図６における直線ｙ_２は、波長４５０ｎｍ～６５０ｎｍの範囲における第２反射率Ｒ_２の近似直線であり、

ｙ_２＝０．０５３２λ－２４．３１５ （６）式

で表される。

【0113】

これらの結果から、同一波長における第１反射率Ｒ_１と近似直線ｙ_１の値の間の差の絶対値の最大値ΔＲ_１を求めたところ、ΔＲ_１＝２．３５％となった。

【0114】

また、同一波長における第２反射率Ｒ_２と近似直線ｙ_２の値の間の差の絶対値の最大値ΔＲ_２を求めたところ、ΔＲ_２＝５．３８％となった。

【0115】

（例２における近赤外線カットフィルタ）
図７～図９には、例２における近赤外線カットフィルタにおいて得られた光学特性の評価結果を示す。

【0116】

図７において、横軸は波長であり、縦軸は反射率である。図７には、５゜入射の際に得られる正反射率、すなわち第１反射率Ｒ_１と、４０゜入射の際に得られる正反射率、すなわち第２反射率Ｒ_２の結果が併せて示されている。

【0117】

図７の結果から、例２における近赤外線カットフィルタは、可視光の領域（波長約４５０ｎｍ～約６５０ｎｍ）に透過帯を有し、近赤外線の領域に反射帯を有することがわかる。

【0118】

また、透過帯においては、第１反射率Ｒ_１および第２反射率Ｒ_２のいずれの場合も、反射が十分に抑制されていることがわかる。

【0119】

図８には、図７に示した挙動のうち、波長４８０ｎｍ～６８０ｎｍの範囲における第１反射率Ｒ_１の変化を拡大して示す。

【0120】

図８における直線ｙ_１は、波長４８０ｎｍ～６８０ｎｍの範囲における第１反射率Ｒ_１の近似直線であり、

ｙ_１＝－０．００４６λ＋４．６０７３ （７）式

で表される。

【0121】

また、図９には、図７に示した挙動のうち、波長４５０ｎｍ～６５０ｎｍの範囲における第２反射率Ｒ_２の変化を拡大して示す。

【0122】

図９における直線ｙ_２は、波長４５０ｎｍ～６５０ｎｍの範囲における第２反射率Ｒ_２の近似直線であり、

ｙ_２＝０．００８λ－２．０２０９ （８）式

で表される。

【0123】

これらの結果から、同一波長における第１反射率Ｒ_１と近似直線ｙ_１の値の間の差の絶対値の最大値ΔＲ_１を求めたところ、ΔＲ_１＝３．２５％となった。

【0124】

また、同一波長における第２反射率Ｒ_２と近似直線ｙ_２の値の間の差の絶対値の最大値ΔＲ_２を求めたところ、ΔＲ_２＝３．９８％となった。

【0125】

（例３における近赤外線カットフィルタ）
図１０には、例３における近赤外線カットフィルタにおいて得られた光学特性の評価結果を示す。

【0126】

図１０において、横軸は波長であり、縦軸は反射率である。図１０には、５゜入射の際に得られる正反射率、すなわち第１反射率Ｒ_１と、４０゜入射の際に得られる正反射率、すなわち第２反射率Ｒ_２の結果が併せて示されている。

【0127】

図１０の結果から、例３における近赤外線カットフィルタは、可視光の領域（波長約４５０ｎｍ～約６５０ｎｍ）に透過帯を有し、近赤外線の領域に反射帯を有することがわかる。

【0128】

また、透過帯においては、第１反射率Ｒ_１および第２反射率Ｒ_２のいずれの場合も、反射が十分に抑制されていることがわかる。

【0129】

得られた結果から、同一波長における第１反射率Ｒ_１と近似直線ｙ_１の値の間の差の絶対値の最大値ΔＲ_１を求めたところ、ΔＲ_１＝１．２７％となった。

【0130】

また、同一波長における第２反射率Ｒ_２と近似直線ｙ_２の値の間の差の絶対値の最大値ΔＲ_２を求めたところ、ΔＲ_２＝４．４１％となった。

【0131】

（例４における近赤外線カットフィルタ）
図１１～図１３には、例４における近赤外線カットフィルタにおいて得られた光学特性の評価結果を示す。

【0132】

図１１において、横軸は波長であり、縦軸は反射率である。図１１には、５゜入射の際に得られる正反射率、すなわち第１反射率Ｒ_１と、４０゜入射の際に得られる正反射率、すなわち第２反射率Ｒ_２の結果が併せて示されている。

【0133】

図１１の結果から、例４における近赤外線カットフィルタは、可視光の領域（波長約４５０ｎｍ～約６５０ｎｍ）に透過帯を有し、近赤外線の領域に反射帯を有することがわかる。

【0134】

また、透過帯においては、第１反射率Ｒ_１および第２反射率Ｒ_２のいずれの場合も、反射が十分に抑制されていることがわかる。
図１２には、図１１に示した挙動のうち、波長４８０ｎｍ～６８０ｎｍの範囲における第１反射率Ｒ_１の変化を拡大して示す。

【0135】

図１２における直線ｙ_１は、波長４８０ｎｍ～６８０ｎｍの範囲における第１反射率Ｒ_１の近似直線であり、

ｙ_１＝０．００２６λ－０．８３２５ （９）式

で表される。

【0136】

また、図１３には、図１１に示した挙動のうち、波長４５０ｎｍ～６５０ｎｍの範囲における第２反射率Ｒ_２の変化を拡大して示す。

【0137】

図１３における直線ｙ_２は、波長４５０ｎｍ～６５０ｎｍの範囲における第２反射率Ｒ_２の近似直線であり、

ｙ_２＝０．０１５λ－６．６５１５ （１０）式

で表される。

【0138】

これらの結果から、同一波長における第１反射率Ｒ_１と近似直線ｙ_１の値の間の差の絶対値の最大値ΔＲ_１を求めたところ、ΔＲ_１＝１．０３％となった。

【0139】

また、同一波長における第２反射率Ｒ_２と近似直線ｙ_２の値の間の差の絶対値の最大値ΔＲ_２を求めたところ、ΔＲ_２＝４．９８％となった。

【0140】

（例１１における近赤外線カットフィルタ）
図１４～図１６には、例１１における近赤外線カットフィルタにおいて得られた光学特性の評価結果を示す。

【0141】

図１４において、横軸は波長であり、縦軸は反射率である。図１４には、５゜入射の際に得られる正反射率、すなわち第１反射率Ｒ_１と、４０゜入射の際に得られる正反射率、すなわち第２反射率Ｒ_２の結果が併せて示されている。

【0142】

図１４の結果から、例１１における近赤外線カットフィルタの場合、５゜入射および４０゜入射のいずれにおいても、可視光の領域に反射率の低下が認められる。しかしながら、この領域において、第１反射率Ｒ_１および第２反射率Ｒ_２の値は、あまり抑制されていないことがわかる。

【0143】

図１５には、図１４に示した挙動のうち、波長４８０ｎｍ～６８０ｎｍの範囲における第１反射率Ｒ_１の変化を拡大して示す。

【0144】

図１５における直線ｙ_１は、波長４８０ｎｍ～６８０ｎｍの範囲における第１反射率Ｒ_１の近似直線であり、

ｙ_１＝０．０７３５λ－２７．７７５ （１１）式

で表される。

【0145】

また、図１６には、図１４に示した挙動のうち、波長４５０ｎｍ～６５０ｎｍの範囲における第２反射率Ｒ_２の変化を拡大して示す。

【0146】

図１６における直線ｙ_２は、波長４５０ｎｍ～６５０ｎｍの範囲における第２反射率Ｒ_２の近似直線であり、

ｙ_２＝０．０７４７λ－２７．４６７ （１２）式

で表される。

【0147】

これらの結果から、同一波長における第１反射率Ｒ_１と近似直線ｙ_１の値の間の差の絶対値の最大値ΔＲ_１を求めたところ、ΔＲ_１＝１７．５６％となった。

【0148】

また、同一波長における第２反射率Ｒ_２と近似直線ｙ_２の値の間の差の絶対値の最大値ΔＲ_２を求めたところ、ΔＲ_２＝１２．９３％となった。

【0149】

（例１２における近赤外線カットフィルタ）
図１７～図１９には、例１２における近赤外線カットフィルタにおいて得られた光学特性の評価結果を示す。

【0150】

図１７において、横軸は波長であり、縦軸は反射率である。図１７には、５゜入射の際に得られる正反射率、すなわち第１反射率Ｒ_１と、４０゜入射の際に得られる正反射率、すなわち第２反射率Ｒ_２の結果が併せて示されている。

【0151】

図１７の結果から、例１２における近赤外線カットフィルタの場合、第１反射率Ｒ_１および第２反射率Ｒ_２のいずれにおいても、可視光の領域に反射率の低下が認められる。しかしながら、この領域において、第１反射率Ｒ_１および第２反射率Ｒ_２の値は、あまり抑制されていないことがわかる。

【0152】

図１８には、図１７に示した挙動のうち、波長４８０ｎｍ～６８０ｎｍの範囲における第１反射率Ｒ_１の変化を拡大して示す。

【0153】

図１８における直線ｙ_１は、波長４８０ｎｍ～６８０ｎｍの範囲における第１反射率Ｒ_１の近似直線であり、

ｙ_１＝０．０４３５λ－２０．４９６ （１３）式

で表される。

【0154】

また、図１９には、図１７に示した挙動のうち、波長４５０ｎｍ～６５０ｎｍの範囲における第２反射率Ｒ_２の変化を拡大して示す。

【0155】

図１９における直線ｙ_２は、波長４５０ｎｍ～６５０ｎｍの範囲における第２反射率Ｒ_２の近似直線であり、

ｙ_２＝０．０４４λ－１９．１３８ （１４）式

で表される。

【0156】

これらの結果から、同一波長における第１反射率Ｒ_１と近似直線ｙ_１の値の間の差の絶対値の最大値ΔＲ_１を求めたところ、ΔＲ_１＝６．７５％となった。

【0157】

また、同一波長における第２反射率Ｒ_２と近似直線ｙ_２の値の間の差の絶対値の最大値ΔＲ_２を求めたところ、ΔＲ_２＝５．３５％となった。

【0158】

（例１３における近赤外線カットフィルタ）
図２０には、例１３における近赤外線カットフィルタにおいて得られた光学特性の評価結果を示す。

【0159】

図２０において、横軸は波長であり、縦軸は反射率である。図２０には、５゜入射の際に得られる正反射率、すなわち第１反射率Ｒ_１と、４０゜入射の際に得られる正反射率、すなわち第２反射率Ｒ_２の結果が併せて示されている。

【0160】

図２０の結果から、例１３における近赤外線カットフィルタの場合、第１反射率Ｒ_１および第２反射率Ｒ_２のいずれにおいても、可視光の領域に反射率の低下が認められる。しかしながら、この領域において、第１反射率Ｒ_１および第２反射率Ｒ_２の値は、あまり抑制されていないことがわかる。

【0161】

得られた結果から、同一波長における第１反射率Ｒ_１と近似直線ｙ_１の値の間の差の絶対値の最大値ΔＲ_１を求めたところ、ΔＲ_１＝１０．１０％となった。

【0162】

また、同一波長における第２反射率Ｒ_２と近似直線ｙ_２の値の間の差の絶対値の最大値ΔＲ_２を求めたところ、ΔＲ_２＝１０．３０％となった。

【0163】

（例１４における近赤外線カットフィルタ）
図２１には、例１４における近赤外線カットフィルタにおいて得られた光学特性の評価結果を示す。

【0164】

図２１において、横軸は波長であり、縦軸は反射率である。図２１には、５゜入射の際に得られる正反射率、すなわち第１反射率Ｒ_１と、４０゜入射の際に得られる正反射率、すなわち第２反射率Ｒ_２の結果が併せて示されている。

【0165】

図２１の結果から、例１４における近赤外線カットフィルタの場合、第１反射率Ｒ_１および第２反射率Ｒ_２のいずれにおいても、可視光の領域に反射率の低下が認められる。しかしながら、この領域において、第１反射率Ｒ_１および第２反射率Ｒ_２の値は、あまり抑制されていないことがわかる。

【0166】

得られた結果から、同一波長における第１反射率Ｒ_１と近似直線ｙ_１の値の間の差の絶対値の最大値ΔＲ_１を求めたところ、ΔＲ_１＝１０．３０％となった。

【0167】

また、同一波長における第２反射率Ｒ_２と近似直線ｙ_２の値の間の差の絶対値の最大値ΔＲ_２を求めたところ、ΔＲ_２＝１４．７７％となった。

【0168】

以下の表９には、各例における近赤外線カットフィルタにおいて得られたΔＲ_１およびΔＲ_２の値をまとめて示した。

【0169】

【表9】

このように、ΔＲ_１＜５％およびΔＲ_２＜６％を満たす、例１～例４における近赤外線カットフィルタでは、光の入射角度によらず、透過帯における光の反射を有意に抑制できることが確認された。

【符号の説明】

【0170】

１００ 第１の光学フィルタ
１１０ 透明基板
１１２ 第１の表面
１２０ 光学多層膜
１４０ 第１の整合膜
１６０ 第２の整合膜
２００ 第２の光学フィルタ
２１０ 透明基板
２１２ 第１の表面
２２０ 光学多層膜
２４０ 第１の整合膜
２６０ 第２の整合膜
３００ 第３の光学フィルタ
３１０ 透明基板
３１２ 第１の表面
３２０ 光学多層膜
３４０ 第１の整合膜
３５０ 第３の整合膜
３６０ 第２の整合膜

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】

【図20】

【図21】