特許 7492812 金属製板ばね及びその製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-05-22

(45)【発行日】2024-05-30

(54)【発明の名称】金属製板ばね及びその製造方法

(51)【国際特許分類】

   B21B 1/40 20060101AFI20240523BHJP

   C22C 9/00 20060101ALI20240523BHJP

   C22C 9/01 20060101ALI20240523BHJP

   C22C 9/02 20060101ALI20240523BHJP

   C22C 9/04 20060101ALI20240523BHJP

   C22C 9/05 20060101ALI20240523BHJP

   C22C 9/06 20060101ALI20240523BHJP

   C22C 9/10 20060101ALI20240523BHJP

   C22C 18/02 20060101ALI20240523BHJP

   F16F 1/18 20060101ALI20240523BHJP

   G02B 7/04 20210101ALI20240523BHJP

   H01R 13/03 20060101ALI20240523BHJP

   H01R 43/16 20060101ALI20240523BHJP

【ＦＩ】

B21B1/40

C22C9/00

C22C9/01

C22C9/02

C22C9/04

C22C9/05

C22C9/06

C22C9/10

C22C18/02

F16F1/18 Z

G02B7/04 E

H01R13/03 A

H01R43/16

【請求項の数】 7

(21)【出願番号】P 2019064832

(22)【出願日】2019-03-28

(65)【公開番号】P2020163409

(43)【公開日】2020-10-08

【審査請求日】2022-01-27

【審判番号】

【審判請求日】2023-10-18

(73)【特許権者】

【識別番号】502362758

【氏名又は名称】ＪＸ金属株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110000523

【氏名又は名称】アクシス国際弁理士法人

(72)【発明者】

【氏名】辻江 健太

【合議体】

【審判長】中屋 裕一郎

【審判官】内田 博之

【審判官】鎌田 哲生

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１０－３４５４１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１５－２６４４４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００６－２１２６８６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１３－１８０５４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１７－１７９５６５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１１－２０３２８３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平４－２５３０１５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１６－１６０４５２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００８－２３３７４９（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

F16F 1/00-6/00, B21B 1/00-11/00, B21B 47/00-99/00, H01R 13/00-13/08, H01R 13/15-13/35, H01R 43/027-43/28, G02B 7/02-7/16, C22C 9/00 ,C22C 18/02

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

圧延金属箔から少なくとも一つのばね部材を切り出すことを含む板ばねの製造方法であって、圧延金属箔はリン脱酸銅、無酸素銅、タフピッチ銅、チタン銅、りん青銅、コルソン合金、丹銅、黄銅、及び洋白の何れかの銅又は銅合金製であり、圧延金属箔は圧延方向の引張強さが５００ＭＰａ以上であり、各板ばねは片端又は両端が非変形部に連結されている少なくとも一か所の線形の弾性変形部を有し、当該弾性変形部の片端又は両端における延長方向とオイルピットの長手方向との間の角度が５～８５°となるように各板ばねを切り出すことを含む板ばねの製造方法。

【請求項2】

弾性変形部の幅が６０μｍ以下である請求項１に記載の製造方法。

【請求項3】

圧延金属箔の厚みが５～１００μｍである請求項１又は２に記載の製造方法。

【請求項4】

オートフォーカスモジュール用である請求項１～３の何れか一項に記載の製造方法。

【請求項5】

ビッカース硬さＨＶが１５０以上であり、片端又は両端が非変形部に連結されている少なくとも一か所の線形の弾性変形部を有し、当該弾性変形部の片端又は両端における延長方向とオイルピットの長手方向との間の角度が５～８５°であり、厚みが５～１００μｍである、リン脱酸銅、無酸素銅、タフピッチ銅、チタン銅、りん青銅、コルソン合金、丹銅、黄銅、及び洋白の何れかの銅又は銅合金製板ばね。

【請求項6】

弾性変形部の幅が６０μｍ以下である請求項５に記載の銅又は銅合金製板ばね。

【請求項7】

オートフォーカスモジュール用である請求項５又は６に記載の銅又は銅合金製板ばね。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は金属製板ばね及びその製造方法に関する。より詳細には、本発明は圧延金属箔を切り出すことによって得られた金属製板ばね及びその製造方法に関する。

【背景技術】

【0002】

金属製板ばねは、所定の板厚に圧延加工した金属シートを所定の形状にプレス打ち抜き加工する工程を経て製造することができる。プレス打ち抜き加工は、後工程（プレスによる折り曲げや他部品との接続）を容易にするために、図２に示すように、板ばね（３０１）の長手方向が金属シート（３００）の長手方向（典型的には圧延方向）に直交するように実施されることが通常である（特許文献１、特許文献２）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２００５－２０６９４２号公報

【文献】特開２０１５－６０７７０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

金属シート（３００）を圧延加工によって製造する場合、生産効率の観点から、金属シート（３００）の長手方向が圧延方向と一致するのが一般的である。この場合、金属シート（３００）から切り出す板ばね（３０１）の長手方向が、金属シート（３００）の長手方向に直交すると、当該長手方向に延びる部分を、曲げ軸が当該長手方向に直交するように屈曲させたときの耐久性、たとえばプレス加工においてＢＡＤＷＡＹの曲げ性が低下しやすいという問題がある。このため、板ばね（３０１）の長手方向に延びる部分の屈曲性を向上させるためには、金属シート（３００）から切り出す板ばね（３０１）の長手方向が、金属シート（３０１）の長手方向に平行であることが望ましいと考えられる。

【0005】

一方、圧延加工によって製造される金属シート（３００）には潤滑油に起因する、オイルピット（３０６）と呼ばれる圧延方向に直交する方向に延びた筋状の窪みが不可避的に発生する。この場合に、金属シート（３００）から切り出す板ばね（３０１）の長手方向が、金属シート（３００）の長手方向に平行だと、板ばね（３０１）の長手方向がオイルピット（３０６）の長手方向と直交するようになる。しかしながら、板ばね（３０１）の長手方向がオイルピット（３０６）の長手方向と直交すると、今度はオイルピット（３０６）を起点として破断しやすくなるという問題がある。オイルピットを起点とする破断として、たとえば、電子機器を地上に落下させたときの衝撃による破断、たわみを繰り返し与えたときの金属疲労による破断などを挙げることができる。

【0006】

近年では、板ばねの小型化に対する要求が著しく、板ばねの薄肉化が進展するにつれて当該問題も大きくなっていくと考えられる。

【0007】

本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、一側面において、オイルピットに起因する破断に対する抵抗性と屈曲に対する耐久性とのバランスに優れた薄型の板ばねを提供することを課題とする。また、本発明の目的は別の一側面において、そのような薄型の板ばねの製造方法を提供することを課題とする。

【課題を解決するための手段】

【0008】

本発明者は上記課題を解決するために鋭意検討したところ、圧延金属箔から板ばねを製造するときは、高強度の圧延金属箔を用いると共に、非変形部と連結する弾性変形部の端部における延長方向とオイルピットの長手方向との間の角度を非直角にすることが有効であることを見出した。

【0009】

本発明は上記知見に基づいて完成したものであり、以下に例示される。
［１］
圧延金属箔から少なくとも一つのばね部材を切り出すことを含む板ばねの製造方法であって、圧延金属箔は圧延方向の引張強さが５００ＭＰａ以上であり、各板ばねは片端又は両端が非変形部に連結されている少なくとも一か所の線形の弾性変形部を有し、当該弾性変形部の片端又は両端における延長方向とオイルピットの長手方向との間の角度が非直角となるように各板ばねを切り出すことを含む金属製板ばねの製造方法。
［２］
前記角度が５～８５°である［１］に記載の製造方法。
［３］
弾性変形部の幅が６０μｍ以下である［１］又は［２］に記載の製造方法。
［４］
圧延金属箔の厚みが５～１００μｍである［１］～［３］の何れか一項に記載の製造方法。
［５］
銅合金製である［１］～［４］の何れか一項に記載の製造方法。
［６］
チタン銅製である［５］に記載の製造方法。
［７］
オートフォーカスモジュール用である［１］～［６］の何れか一項に記載の製造方法。
［８］
ビッカース硬さＨＶが１５０以上であり、片端又は両端が非変形部に連結されている少なくとも一か所の線形の弾性変形部を有し、当該弾性変形部の片端又は両端における延長方向とオイルピットの長手方向との間の角度が非直角である金属製板ばね。
［９］
前記角度が５～８５°である［８］に記載の金属製板ばね。
［１０］
弾性変形部の幅が６０μｍ以下である［８］又は［９］に記載の金属製板ばね。
［１１］
厚みが５～１００μｍである［８］～［１０］の何れか一項に記載の金属製板ばね。
［１２］
銅合金製である［８］～［１１］の何れか一項に記載の金属製板ばね。
［１３］
チタン銅製である［１２］に記載の金属製板ばね。
［１４］
オートフォーカスモジュール用である［８］～［１３］の何れか一項に記載の金属製板ばね。

【発明の効果】

【0010】

本発明の一実施形態によれば、オイルピットに起因する破断に対する抵抗性と屈曲に対する耐久性とのバランスに優れた薄型の板ばねを提供することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】圧延金属箔から本発明の一実施形態に係る板ばねを切り出す方法の一例を説明するための模式図である。

【図2】金属シートから板ばねをプレス打ち抜き加工する従来の方法を説明する模式図である。

【発明を実施するための形態】

【0012】

以下、本発明の実施の形態について図面を用いて説明するが、本発明は以下の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、当業者の通常の知識に基づいて、適宜、設計の変更、改良等が加えられることが理解されるべきである。

【0013】

図１には、圧延金属箔（１１０）から本発明の一実施形態に係る板ばね（１０１）を切り出す方法の一例を説明するための模式図が示されている。

【0014】

圧延金属箔（１１０）は、オイルピット（１０６）に起因する破断に対する抵抗性と屈曲に対する耐久性を向上させるため、高強度であることが望ましい。一実施形態において、圧延金属箔（１１０）は、圧延方向の引張強さが５００ＭＰａ以上であり、好ましくは８００ＭＰａ以上であり、より好ましくは１１００ＭＰａ以上である。圧延金属箔（１１０）の引張強さに特段の上限は設定されないが、製造コストを考慮すると、２０００ＭＰａ以下であるのが好ましく、１５００ＭＰａ以下であることがより好ましい。本発明において、引張強さは、ＪＩＳ Ｚ２２４１：２０１１に規定する金属材料引張試験に準拠して測定する。

【0015】

圧延金属箔（１１０）からは、片端又は両端が非変形部に連結されている少なくとも一か所の線形の弾性変形部を有する任意の形状の板ばね（１０１）を一つ又は複数切り出すことが可能である。線形の弾性変形部（１０１ｂ）は直線状に延びていてもよいし、曲線状に延びていてもよい。

【0016】

弾性変形部の幅は、限定的ではないが、例示的には６０μｍ以下である。当該幅は５０μｍ以下の場合もあり、４０μｍ以下の場合もある。当該幅に下限は設定されないが、一般には１５μｍ以上であり、典型的には２０μｍ以上である。なお、弾性変形部の幅は、圧延金属箔を平面視したときに認識される弾性変形部の幅（すなわち、弾性線形部の延びる方向に直交する短手方向の長さ）を指し、厚み方向から観察したときの幅ではない。

【0017】

図示の板ばね（１０１）は、使用時に弾性変形及び塑性変形の何れもしない非変形部（１０１ａ）及び、一端（１０２）が自由端であり、他端（１０３）が非変形部と連結する弾性変形部（１０１ｂ）を備えた片持ち板ばねである。板ばねとしては、その他、Ｌ字型の板バネ、Ｚ字型の板バネ、オートフォーカスモジュール内に使用されるＶＣＭ用板ばねがあり、さらに電子部品、たとえばコネクタ（ＦＰＣコネクタ、サーバー用コネクタ等）、端子、スイッチ、ソケット、ジャック、リレー等、に組み込まれた板ばねが挙げられる。切り出し方法には特に制限はないが、プレス打ち抜き加工、エッチング加工、レーザー加工、ワイヤー放電加工（通称、「ワイヤーカット」ともいう。）が挙げられ、この中でも低いコストおよび高い生産性の理由によりプレス打ち抜き加工が好ましい。一枚の圧延金属箔（１１０）には一つの板バネ（１０１）を切り出してもよいし、複数の板ばね（１０１）を切り出してもよい。

【0018】

板ばねには、必要に応じて、めっき、化学研磨、陽極酸化処理及び化成処理等の種々の表面処理を行うことができる。表面処理は圧延金属箔から所望の板ばね形状を切り出す前に行ってもよいし、所望の板ばね形状を切り出した後に行ってもよい。

【0019】

圧延金属箔（１１０）が高強度である場合、圧延金属箔（１１０）から切り出された板ばねも高強度であり、圧延方向の引張強さも圧延金属箔と同様の値を示すと考えられる。しかしながら、板ばねの形状や寸法によっては圧延方向の引張強さを直接測定することができない場合があるので、板ばねの強度はビッカース硬さで表すことが便利である。具体的には、板ばねのビッカース硬さＨＶは、１５０以上であることが好ましく、２２５以上であることがより好ましく、３００以上であることが更により好ましい。板ばねのビッカース硬さＨＶに特段の上限は設定されないが、製造コストを考慮すると、６５０以下であるのが好ましく、５００以下であることがより好ましい。本発明において、ビッカース硬さＨＶは、ＪＩＳ Ｚ２２４４：２００９に規定するビッカース硬さ試験方法に準拠して測定する。

【0020】

圧延金属箔（１１０）の表面には、圧延方向に直交する方向に延びるオイルピット（１０６）が複数形成されている。非変形部（１０１ａ）と連結する線形の弾性変形部（１０１ｂ）の端部（１０３）は最も応力が作用する。従って、弾性変形部（１０１ｂ）の当該端部（１０３）において、オイルピットに起因する破断に対する抵抗性と屈曲に対する耐久性とのバランスを向上することできれば、板ばね全体として、オイルピットに起因する破断に対する抵抗性と屈曲に対する耐久性とのバランスを向上することができる。

【0021】

この目的のために、板ばねの弾性変形部の片端が非変形部に連結しているときは当該片端における弾性変形部の延長方向とオイルピットの長手方向との間の角度、板ばねの弾性変形部の両端が非変形部に連結しているときは当該両端における弾性変形部の延長方向とオイルピットの長手方向との間の角度が、非直角となるように圧延金属箔から板ばねを切り出すことが重要である。図示の実施形態においては、非変形部（１０１ａ）と連結する弾性変形部（１０１ｂ）の端部（１０３）における弾性変形部（１０１ｂ）の延長方向（１０３ａ）と、オイルピットの長手方向との間の角度が非直角であることが重要である。

【0022】

設計によっては、一つの板ばねに、非変形部に連結している弾性変形部の端部が一か所のみ存在する場合と、複数個所存在する場合がある。非変形部に連結している弾性変形部の端部が複数個所あるときは、それらすべての端部における弾性変形部の延長方向と、オイルピットの長手方向との間の角度が非直角であることが好ましい。

【0023】

当該角度（０～９０°の範囲とする。）は、オイルピットに起因する破断に対する抵抗性を向上させるには、できるだけ小さい方がよいが、屈曲に対する耐久性を向上させるには、できるだけ大きい方がよい。従って、両者のバランスを考慮すると、当該角度は５～８５°であることが好ましく、１０～８０°の範囲にあることがより好ましく、２０～７０°の範囲にあることが更により好ましく、３０～６０°の範囲にあることが更により好ましく、４０～５０°の範囲にあることが最も好ましい。

【0024】

圧延金属箔（１１０）の厚みは、薄い方がオイルピットによる破断の影響が大きくなるため、本発明による効果が大きくなる。このことから、圧延金属箔（１１０）の厚みの上限は、１００μｍ以下とすることが好ましく、８０μｍ以下とすることがより好ましく、６０μｍ以下とすることが更により好ましく、４０μｍ以下とすることが更により好ましい。但し、圧延金属箔（１１０）の厚みは、薄すぎるとハンドリング性が悪化することから、５μｍ以上であることが好ましく、１０μｍ以上であることがより好ましく、１５μｍ以上であることが更により好ましい。

【0025】

圧延金属箔（１１０）の材質には特に制限はない。例えば、銅、銅合金、アルミ、アルミ合金、鉄、鉄合金、ステンレス、ニッケル、ニッケル合金、チタン、チタン合金、金、金合金、銀、銀合金、白金族、白金族合金、クロム、クロム合金、マグネシウム、マグネシウム合金、タングステン、タングステン合金、モリブデン、モリブデン合金、鉛、鉛合金、タンタル、タンタル合金、ジルコニウム、ジルコニウム合金、錫、錫合金、インジウム、インジウム合金、亜鉛、又は、亜鉛合金等が挙げられ、さらに公知の金属材料も使用することができる。また、ＪＩＳ規格やＣＤＡ等で規格されている金属材料も使用することができる。

【0026】

金属の中でも、板ばね、コネクタ及び端子等の電子部品を製造する場合、強度及び導電率のバランスを考慮すると、銅又は銅合金製であることが好ましい。

【0027】

銅としては、典型的には、ＪＩＳ Ｈ０５００やＪＩＳ Ｈ３１００に規定されるリン脱酸銅（ＪＩＳ Ｈ３１００ 合金番号Ｃ１２０１、Ｃ１２２０、Ｃ１２２１）、無酸素銅（ＪＩＳ Ｈ３１００ 合金番号Ｃ１０２０）及びタフピッチ銅（ＪＩＳ Ｈ３１００ 合金番号Ｃ１１００）などの９５質量％以上、より好ましくは９９．９０質量％以上の純度の銅が挙げられる。Ｓｎ、Ａｇ、Ａｕ、Ｃｏ、Ｃｒ、Ｆｅ、Ｉｎ、Ｎｉ、Ｐ、Ｓｉ、Ｔｅ、Ｔｉ、Ｚｎ、Ｂ、ＭｎおよびＺｒの中の一種以上を合計で０．００１～４．０質量％含有する銅又は銅合金とすることもできる。

【0028】

銅合金としては、更に、チタン銅、りん青銅、コルソン合金、丹銅、黄銅、洋白、その他銅合金等が挙げられる。また、銅または銅合金としてはＪＩＳ Ｈ ３１００～ＪＩＳ Ｈ３５１０、ＪＩＳ Ｈ ５１２０、ＪＩＳ Ｈ ５１２１、ＪＩＳ Ｃ ２５２０～ＪＩＳ Ｃ ２８０１、ＪＩＳ Ｅ ２１０１～ＪＩＳ Ｅ ２１０２に規格されている銅または銅合金も、本発明に用いることができる。なお、本明細書においては特に断らない限りは、金属の規格を示すために挙げたＪＩＳ規格は２００１年度版のＪＩＳ規格を意味する。

【0029】

チタン銅は典型的には、Ｔｉ：０．５～５．０質量％を含有し、残部が銅及び不可避的不純物からなる組成を有する。チタン銅は更に、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｖ、Ｎｂ、Ｍｏ、Ｂ、Ｎｉ、Ｐ、Ｚｒ、Ｍｎ、Ｚｎ、Ｓｉ、Ｍｇ及びＣｒの中の１種類以上を合計で２．０質量％以下含有しても良い。

【0030】

りん青銅は典型的には、りん青銅とは銅を主成分としてＳｎ及びこれよりも少ない質量のＰを含有する銅合金のことを指す。一例として、りん青銅はＳｎを３．５～１１質量％、Ｐを０．０３～０．３５質量％含有し、残部銅及び不可避的不純物からなる組成を有する。りん青銅は、Ｎｉ、Ｚｎ等の元素を合計で１．０質量％以下含有しても良い。

【0031】

コルソン合金は典型的にはＳｉに加えてＳｉと化合物を形成する元素（例えば、Ｎｉ、Ｃｏ及びＣｒの何れか一種以上）が添加され、母相中に第二相粒子として析出する銅合金のことをいう。一例として、コルソン合金はＮｉを１．０～５．０質量％、Ｓｉを０．２～１．６質量％含有し、残部銅及び不可避的不純物から構成される組成を有する。別の一例として、コルソン合金はＮｉを１．０～５．０質量％、Ｓｉを０．２～１．６質量％、Ｃｒを０．０３～０．５質量％含有し、残部銅及び不可避的不純物から構成される組成を有する。更に別の一例として、コルソン合金はＮｉを１．０～５．０質量％、Ｓｉを０．２～１．６質量％、Ｃｏを０．１～３．５質量％含有し、残部銅及び不可避的不純物から構成される組成を有する。更に別の一例として、コルソン合金はＮｉを１．０～５．０質量％、Ｓｉを０．２～１．６質量％、Ｃｏを０．１～３．５質量％、Ｃｒを０．０３～０．５質量％含有し、残部銅及び不可避的不純物から構成される組成を有する。更に別の一例として、コルソン合金はＳｉを０．２～１．６質量％、Ｃｏを０．１～３．５質量％含有し、残部銅及び不可避的不純物から構成される組成を有する。コルソン合金には随意にその他の元素（例えば、Ｍｇ、Ｓｎ、Ｂ、Ｔｉ、Ｍｎ、Ａｇ、Ｐ、Ｚｎ、Ａｓ、Ｓｂ、Ｂｅ、Ｚｒ、Ａｌ及びＦｅ）が添加されてもよい。これらその他の元素は総計で４．０質量％程度まで添加するのが一般的である。例えば、更に別の一例として、コルソン合金はＮｉを１．０～５．０質量％、Ｓｉを０．２～１．６質量％、Ｓｎを０．０１～２．０質量％、Ｚｎを０．０１～２．０質量％含有し、残部銅及び不可避的不純物から構成される組成を有する。

【0032】

本発明において、丹銅とは、銅と亜鉛との合金であり亜鉛を１～２０質量％、より好ましくは亜鉛を１～１０質量％含有する銅合金のことをいう。また、丹銅は錫を０．１～１．０質量％含んでも良い。

【0033】

本発明において、黄銅とは、銅と亜鉛との合金で、特に亜鉛を２０質量％以上含有する銅合金のことをいう。亜鉛の上限は特には限定されないが６０質量％以下、好ましくは４５質量％以下、あるいは４０質量％以下である。

【0034】

本発明において、洋白とは銅を主成分として、銅を６０質量％から７５質量％、ニッケルを８．５質量％から１９．５質量％、亜鉛を１０質量％から３０質量％含有する銅合金のことをいう。

【0035】

本発明において、その他銅合金とはＺｎ、Ｓｎ、Ｎｉ、Ｍｇ、Ｆｅ、Ｓｉ、Ｐ、Ｃｏ、Ｍｎ、Ｚｒ、ＣｒおよびＴｉの内一種または二種以上を合計で８．０質量％以下含み、随意的にその他の元素を２０質量％以下含み、又は随意的にその他の元素を１０質量％以下含み残部が不可避的不純物と銅からなる銅合金をいう。なお、その他の元素は特に制限されるものではない。

【0036】

アルミ及びアルミ合金としては、例えばＡｌを４０質量％以上含む、あるいは８０質量％以上含む、あるいは９９質量％以上含むものを使用することができる。例えば、ＪＩＳ Ｈ ４０００～ＪＩＳ Ｈ ４１８０、ＪＩＳ Ｈ ５２０２、ＪＩＳ Ｈ ５３０３あるいはＪＩＳ Ｚ ３２３２～ＪＩＳ Ｚ ３２６３に規格されているアルミ及びアルミ合金を用いることができる。例えば、ＪＩＳ Ｈ ４０００に規格されているアルミニウムの合金番号１０８５、１０８０、１０７０、１０５０、１１００、１２００、１Ｎ００、１Ｎ３０に代表される、Ａｌ：９９．００質量％以上のアルミニウム又はその合金等を用いることができる。

【0037】

ニッケル及びニッケル合金としては、例えばＮｉを４０質量％以上含む、あるいは８０質量％以上含む、あるいは９９．０質量％以上含むものを使用することができる。例えば、ＪＩＳ Ｈ ４５４１～ＪＩＳ Ｈ ４５５４、ＪＩＳ Ｈ ５７０１またはＪＩＳ Ｇ ７６０４～ＪＩＳ Ｇ ７６０５、ＪＩＳ Ｃ ２５３１に規格されているニッケルまたはニッケル合金を用いることができる。また、例えば、ＪＩＳ Ｈ４５５１に記載の合金番号ＮＷ２２００、ＮＷ２２０１に代表される、Ｎｉ：９９．０質量％以上のニッケル又はその合金等を用いることができる。

【0038】

鉄及び鉄合金としては、例えばステンレス、軟鋼、炭素鋼、鉄ニッケル合金、鋼等を用いることができる。例えばＪＩＳ Ｇ ３１０１～ＪＩＳ Ｇ ７６０３、ＪＩＳ Ｃ ２５０２～ＪＩＳ Ｃ ８３８０、ＪＩＳ Ａ ５５０４～ＪＩＳ Ａ ６５１４またはＪＩＳ Ｅ １１０１～ＪＩＳ Ｅ ５４０２－１に記載されている鉄または鉄合金を用いることができる。ステンレスは、ＳＵＳ ３０１、ＳＵＳ ３０４、ＳＵＳ ３１０、ＳＵＳ ３１６、ＳＵＳ ４３０、ＳＵＳ ６３１（いずれもＪＩＳ規格）などを用いることができる。軟鋼は、炭素が０．１５質量％以下の軟鋼を用いることができ、ＪＩＳ Ｇ３１４１に記載の軟鋼等を用いることができる。鉄ニッケル合金は、Ｎｉを３５～８５質量％含み、残部がＦｅ及び不可避的不純物からなり、具体的には、ＪＩＳ Ｃ２５３１に記載の鉄ニッケル合金等を用いることができる。

【0039】

亜鉛及び亜鉛合金としては、例えばＺｎを４０質量％以上含む、あるいは８０質量％以上含む、あるいは９９．０質量％以上含むものを使用することができる。例えば、ＪＩＳ Ｈ ２１０７～ＪＩＳ Ｈ ５３０１に記載されている亜鉛または亜鉛合金を使用することができる。

【0040】

鉛及び鉛合金としては、例えばＰｂを４０質量％以上含む、あるいは８０質量％以上含む、あるいは９９．０質量％以上含むものを使用することができる。例えば、ＪＩＳ Ｈ ４３０１～ＪＩＳ Ｈ ４３１２、またはＪＩＳ Ｈ ５６０１に規格されている鉛または鉛合金を用いることができる。

【0041】

マグネシウム及びマグネシウム合金としては、例えばＭｇを４０質量％以上含む、あるいは８０質量％以上含む、あるいは９９．０質量％以上含むものを使用することができる。例えば、ＪＩＳ Ｈ ４２０１～ＪＩＳ Ｈ ４２０４、ＪＩＳ Ｈ ５２０３～ＪＩＳ Ｈ ５３０３、ＪＩＳ Ｈ ６１２５に規格されているマグネシウム及びマグネシウム合金を用いることができる。

【0042】

タングステン及びタングステン合金としては、例えばＷを４０質量％以上含む、あるいは８０質量％以上含む、あるいは９９．０質量％以上含むものを使用することができる。例えば、ＪＩＳ Ｈ ４４６３に規格されているタングステン及びタングステン合金を用いることができる。

【0043】

モリブデン及びモリブデン合金としては、例えばＭｏを４０質量％以上含む、あるいは８０質量％以上含む、あるいは９９．０質量％以上含むものを使用することができる。

【0044】

チタン及びチタン合金としては、例えばＴｉを４０質量％以上含む、あるいは８０質量％以上含む、あるいは９９．０質量％以上含むものを使用することができる。例えば、ＪＩＳ Ｈ ４６００～ＪＩＳ Ｈ ４６７５、ＪＩＳ Ｈ ５８０１に規格されているチタン及びチタン合金を用いることができる。

【0045】

タンタル及びタンタル合金としては、例えばＴａを４０質量％以上含む、あるいは８０質量％以上含む、あるいは９９．０質量％以上含むものを使用することができる。例えば、ＪＩＳ Ｈ ４７０１に規格されているタンタル及びタンタル合金を用いることができる。

【0046】

ジルコニウム及びジルコニウム合金としては、例えばＺｒを４０質量％以上含む、あるいは８０質量％以上含む、あるいは９９．０質量％以上含むものを使用することができる。例えば、ＪＩＳ Ｈ ４７５１に規格されているジルコニウム及びジルコニウム合金を用いることができる。

【0047】

錫及び錫合金としては、例えばＳｎを４０質量％以上含む、あるいは８０質量％以上含む、あるいは９９．０質量％以上含むものを使用することができる。例えば、ＪＩＳ Ｈ ５４０１に規格されている錫及び錫合金を用いることができる。

【0048】

インジウム及びインジウム合金としては、例えばＩｎを４０質量％以上含む、あるいは８０質量％以上含む、あるいは９９．０質量％以上含むものを使用することができる。

【0049】

クロム及びクロム合金としては、例えばＣｒを４０質量％以上含む、あるいは８０質量％以上含む、あるいは９９．０質量％以上含むものを使用することができる。

【0050】

銀及び銀合金としては、例えばＡｇを４０質量％以上含む、あるいは８０質量％以上含む、あるいは９９．０質量％以上含むものを使用することができる。

【0051】

金及び金合金としては、例えばＡｕを４０質量％以上含む、あるいは８０質量％以上含む、あるいは９９．０質量％以上含むものを使用することができる。

【0052】

白金族とはルテニウム、ロジウム、パラジウム、オスミウム、イリジウム、白金の総称である。白金族及び白金族合金としては、例えばＰｔ、Ｏｓ、Ｒｕ、Ｐｄ、Ｉｒ及びＲｈの元素群から選択される少なくとも１種以上の元素を４０質量％以上含む、あるいは８０質量％以上含む、あるいは９９．０質量％以上含むものを使用することができる。

【符号の説明】

【0053】

１０１ 板ばね
１０１ａ 非変形部
１０１ｂ 弾性変形部
１０２ 一端（弾性変形部の自由端）
１０３ 他端（非変形部と連結する弾性変形部の端部）
１０３ａ 弾性変形部の端部の延長方向
１０６ オイルピット
１１０ 圧延金属箔
３００ シート
３０１ 板ばね
３０６ オイルピット

【図1】

【図2】