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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2024-05-27
(45)【発行日】2024-06-04
(54)【発明の名称】外観検査準備装置および外観検査準備方法
(51)【国際特許分類】
G01N 21/88 20060101AFI20240528BHJP
【ＦＩ】
G01N21/88 J
【請求項の数】
9
(21)【出願番号】P 2020141698
(22)【出願日】2020-08-25
(65)【公開番号】P2022037516
(43)【公開日】2022-03-09
【審査請求日】2023-07-19
(73)【特許権者】
【識別番号】000005083
【氏名又は名称】株式会社プロテリアル
(74)【代理人】
【識別番号】110001807
【氏名又は名称】弁理士法人磯野国際特許商標事務所
(72)【発明者】
【氏名】村松 克俊
(72)【発明者】
【氏名】中須 信昭
(72)【発明者】
【氏名】榎本 敦子
(72)【発明者】
【氏名】山内 雄太
(72)【発明者】
【氏名】西 雄一
(72)【発明者】
【氏名】染次 孝博
(72)【発明者】
【氏名】園田 真志
(72)【発明者】
【氏名】西村 崇善
【審査官】横尾 雅一
(56)【参考文献】
【文献】特開２０１５－１３５２５３（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１９－１０９５６３（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０２０－１０６２９５（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０２０－０５１８０６（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１９－０４５３３０（ＪＰ，Ａ）
【文献】特表２０１２－５１４１９３（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｇ０１Ｎ ２１／８４ － Ｇ０１Ｎ ２１／９５８
Ｇ０６Ｔ １／００
Ｇ０６Ｔ ３／００ － Ｇ０６Ｔ ５／９４
Ｇ０１Ｂ １１／００ － Ｇ０１Ｂ １１／３０
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
製品に係る複数の不良品の欠陥の位置を取得する取得手段と、前記欠陥の位置に基づき、前記欠陥を検査するロボットの検査条件であるカメラによる撮像方向および照明による照明方向を出力する検査条件算出手段と、
前記検査条件および前記製品の形状データをもとに、前記検査条件の撮像方向を満たすように前記カメラを駆動するマニピュレータの関節角度、および前記検査条件の照明方向を満たすように前記照明を駆動するマニピュレータの関節角度の組み合わせである検査ポイント列を算出する検査ポイント列算出手段と、
を有することを特徴とする外観検査準備装置。
【請求項2】
製品に係る複数の不良品の欠陥の位置を取得する取得手段と、前記欠陥の位置に基づき、前記欠陥を検査するロボットの検査条件であるカメラによる撮像方向および照明による照明方向を出力する検査条件算出手段と、
前記検査条件および前記製品の形状データをもとに、固定したカメラに対して、前記検査条件の撮像方向を満たすように前記製品を把持するマニピュレータの関節角度、および前記検査条件の照明方向を満たすように前記照明を駆動するマニピュレータの関節角度の組み合わせである検査ポイント列を算出する検査ポイント列算出手段と、
を有することを特徴とする外観検査準備装置。
【請求項3】
製品に係る複数の不良品の欠陥の位置を取得する取得手段と、前記欠陥の位置に基づき、前記欠陥を検査するロボットの検査条件であるカメラによる撮像方向および照明による照明方向を出力する検査条件算出手段と、
前記検査条件および前記製品の形状データをもとに、固定した照明に対して、前記検査条件の照明方向を満たすように前記製品を把持するマニピュレータの関節角度、および前記検査条件の撮像方向を満たすように前記カメラを駆動するマニピュレータの関節角度の組み合わせである検査ポイント列を算出する検査ポイント列算出手段と、
を有することを特徴とする外観検査準備装置。
【請求項4】
前記検査条件算出手段は、欠陥の輝度の閾値を、欠陥の検査可否の境界における輝度として設定する、ことを特徴とする請求項１から３のうち何れか１項に記載の外観検査準備装置。
【請求項5】
前記検査条件算出手段は、前記欠陥を検査可能な条件の積集合を前記検査条件として算出する、ことを特徴とする請求項１から３のうち何れか１項に記載の外観検査準備装置。
【請求項6】
前記検査ポイント列算出手段は、前記製品を包含する球上の検査ポイントのうち前記検査条件に合致するものを算出する、ことを特徴とする請求項１から３のうち何れか１項に記載の外観検査準備装置。
【請求項7】
前記検査ポイント列算出手段は、前記製品を包含する球上の検査ポイントのうち前記マニピュレータが前記製品の検査可能ファセットを遮蔽しないものを抽出する、ことを特徴とする請求項６に記載の外観検査準備装置。
【請求項8】
前記検査ポイント列算出手段は、前記製品の形状データを構成するファセットのうち、前記検査条件を満たす撮像方向および照明方向から検査可能な集合を作成し、最少の姿勢変換コストで前記集合を検査可能な検査ポイント列を算出する、ことを特徴とする請求項１から３のうち何れか１項に記載の外観検査準備装置。
【請求項9】
製品に係る複数の不良品の欠陥の位置を取得するステップと、前記欠陥の位置に基づき、前記欠陥を検査するロボットの検査条件であるカメラによる撮像方向および照明による照明方向を出力するステップと、
前記検査条件をおよび前記製品の形状データをもとに、前記検査条件の撮像方向を満たすように前記カメラを駆動するマニピュレータの関節角度、および前記検査条件の照明方向を満たすように前記照明を駆動するマニピュレータの関節角度の組み合わせである検査ポイント列を算出するステップと、
を有することを特徴とする外観検査準備方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、製品の外観検査前に検査条件を設定するための外観検査準備装置および外観検査準備方法に関する。
【背景技術】
【0002】
製造ラインにおける製品表面のキズや欠けなどを検査する外観検査は、多くの人手に頼っており、高いスキルが必要な熟練作業となっている。近年、生産年齢人口の減少を背景に、人手不足が深刻化しており、外観検査の自動化が望まれている。
【0003】
このような背景のもと、外観検査の自動化技術に関連して、例えば特許文献１に開示されるように、多関節ロボットを用いて製品に対するカメラや照明の位置を様々に変え、製品表面に所定方向から照明を施し、製品表面の反射光を撮影する外観検査装置や、撮影した画像において輝度やコントラスト、色彩などが周囲と明確に異なる領域を欠陥として検出する技術が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【文献】特開２００７－２４８２４１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
一般的に、外観検査において欠陥を精度よく検出するためには、欠陥とその近傍のコントラストが良い画像を得られるよう、製品の表面の向きや対象とする欠陥に応じて撮像方向や照明方向を適切に調整する必要がある。
【0006】
これに関し、特許文献１では、欠陥が検査しやすくなる撮像方向と照明方向の条件である検査条件をもとに、製品全面を撮影するカメラや照明の位置および姿勢である検査ポイントを複数決める技術が開示されている。特許文献１に開示の技術では、検査条件は自動的に決定されず、ユーザによって決定される。
【0007】
代表的な検査条件の決定手法として、製品を撮影した画像において、欠陥の輝度が一定以上となる範囲に対して撮像方向・照明方向が満たす条件を検査条件とする明視野法がある。検査条件の撮像方向や照明方向などを満たすようにカメラや照明などを駆動するマニピュレータの関節角度の組み合わせである検査ポイント列を生成して、製品の外観検査を準備する。この検査ポイント列により、製品の外観検査を好適に実施可能である。
【0008】
明視野法を用いて検査条件を決める際、欠陥を検査可能と判定する輝度の閾値は、製品が明確に明るく写る箇所における輝度が用いられることが多い。その場合、１枚の撮影画像において、検査条件を満たす範囲は、欠陥の検査可否の境界における輝度を閾値とした場合に比べ狭くなる。つまり、製品全面検査に必要な撮影回数が増えて、検査時間が長くなる。検査時間や撮影回数は、検査に係るコストである。検査時間は、より短いことが望ましい。撮影回数は、より少ないことが望ましい。
【0009】
本発明は以上の問題に着目してなされたものであり、最少の検査コストで製品を検査可能な検査ポイント列を生成することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0010】
前記した課題を解決するため、本発明の外観検査準備装置は、製品に係る複数の不良品の欠陥の位置を取得する取得手段と、前記欠陥の位置に基づき、前記欠陥を検査するロボットの検査条件であるカメラによる撮像方向および照明による照明方向を出力する検査条件算出手段と、前記検査条件および前記製品の形状データをもとに、前記検査条件の撮像方向を満たすように前記カメラを駆動するマニピュレータの関節角度、および前記検査条件の照明方向を満たすように前記照明を駆動するマニピュレータの関節角度の組み合わせである検査ポイント列を算出する検査ポイント列算出手段と、を有することを特徴とする。
【0011】
本発明の外観検査準備方法は、製品に係る複数の不良品の欠陥の位置を取得するステップと、前記欠陥の位置に基づき、前記欠陥を検査するロボットの検査条件であるカメラによる撮像方向および照明による照明方向を出力するステップと、前記検査条件および前記製品の形状データをもとに、前記検査条件の撮像方向を満たすように前記カメラを駆動するマニピュレータの関節角度、および前記検査条件の照明方向を満たすように前記照明を駆動するマニピュレータの関節角度の組み合わせである検査ポイント列を算出するステップと、を有することを特徴とする。
その他の手段については、発明を実施するための形態のなかで説明する。
その他の手段については、発明を実施するための形態のなかで説明する。
【発明の効果】
【0012】
本発明によれば、最少の検査コストで製品を検査可能な検査ポイント列を生成することができる。
【図面の簡単な説明】
【0013】
【図1】本発明の一実施形態に係る外観検査準備システムの構成例を示す図である。
【図2】欠陥を撮影する撮影装置の装置構成の一例を示す図である。
【図3】不良品情報テーブルの一例を示す図である。
【図4】ユーザインタフェース装置における表示操作画面の一例を示す図である。
【図5】検査条件算出装置において不良品の位置・姿勢をもとに製品を撮影し、検査条件を求める処理を示すフローチャートである。
【図6A】撮像方向の角度と照明方向の角度の組み合わせを示す図である。
【図6B】次の撮像方向の角度と照明方向の角度の組み合わせを示す図である。
【図7A】不良品Ａの検査条件を説明する図である。
【図7B】不良品Ｂの検査条件を説明する図である。
【図7C】検査条件の積集合を説明する図である。
【図8】撮影装置における準運動学を表す図である。
【図9A】検査ポイント算出装置において、検査条件をもとに検査ポイントを最適化する処理を示すフローチャート（その１）である。
【図9B】検査ポイント算出装置において、検査条件をもとに検査ポイントを最適化する処理を示すフローチャート（その２）である。
【図10】検査ポイント算出装置において、検査ポイントに係る姿勢を決める処理におけるパラメータおよびその検査ポイントにおけるカメラ姿勢を説明する図である。
【図11】検査ポイント算出装置において、撮像方向と照明方向を説明する図である。
【図12A】第０検査ポイントから検査可能な領域を説明する図である。
【図12B】第１検査ポイントから検査可能な領域を説明する図である。
【図12C】第２検査ポイントから検査可能な領域を説明する図である。
【図12D】２つの検査ポイントから検査可能な領域の論理和を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【0014】
以降、本発明を実施するための形態を、各図を参照して詳細に説明する。
図１は、本発明の一実施形態に係る外観検査準備システム１の構成例を示す図である。
外観検査準備システム１は、ユーザインタフェース装置１１と、検査条件算出装置１２と、検査ポイント列算出装置１３と、撮影装置１４と、記憶装置１５とを備えている。この外観検査準備システム１は、最少の検査コストで製品の全面を検査可能な検査ポイント列を生成する。ここで検査コストとは、検査時間や撮影回数やマニピュレータの姿勢変換のコストなどである。
図１は、本発明の一実施形態に係る外観検査準備システム１の構成例を示す図である。
外観検査準備システム１は、ユーザインタフェース装置１１と、検査条件算出装置１２と、検査ポイント列算出装置１３と、撮影装置１４と、記憶装置１５とを備えている。この外観検査準備システム１は、最少の検査コストで製品の全面を検査可能な検査ポイント列を生成する。ここで検査コストとは、検査時間や撮影回数やマニピュレータの姿勢変換のコストなどである。
【0015】
図２は、欠陥を撮影する撮影装置１４の装置構成の一例を示す図である。
撮影装置１４は、カメラ１４１をマニピュレータ１４３で把持して撮像方向を変え、照明１４２をマニピュレータ１４４で把持して照明方向を変えて、検査ステージ１４５に静置した製品５を撮影できる装置である。
撮影装置１４は、カメラ１４１をマニピュレータ１４３で把持して撮像方向を変え、照明１４２をマニピュレータ１４４で把持して照明方向を変えて、検査ステージ１４５に静置した製品５を撮影できる装置である。
【0016】
カメラ１４１は、検査ステージ１４５に静置した製品５の光学像を撮影する装置である。マニピュレータ１４３は、カメラ１４１を把持して撮像方向を変えるものである。照明１４２は、製品５に可視光などを照射するものである。マニピュレータ１４４は、この照明１４２を把持して照明方向を変えるものである。
【0017】
図１に戻り説明を続ける。検査条件算出装置１２は、パーソナルコンピュータなどの公知要素から構成され、検査条件算出部１２１を備える。検査条件算出部１２１は、ロボットの各姿勢と、予め入力された欠陥位置に基づき、撮影装置１４を用いて様々な撮像条件・照明条件下で不良品の欠陥を撮影する。そして、検査条件算出部１２１は、撮影によって得られた画像から欠陥が検査可能となる撮像条件および照明条件を算出する。つまり、検査条件算出装置１２は、不良品の欠陥の位置に基づき、この欠陥を検査するロボットの検査条件であるカメラによる撮像方向および照明による照明方向を出力する検査条件算出手段として機能する。
【0018】
検査ポイント列算出装置１３は、パーソナルコンピュータなどの公知要素から構成されている。検査ポイント列算出装置１３は、製品形状および検査条件をもとに、製品５の全面を最少回数で撮影するための検査ポイント列を算出する。検査ポイント列算出装置１３は、検査条件および製品の形状データをもとに、検査条件の撮像方向を満たすようにカメラ１４１を駆動するマニピュレータの関節角度、および検査条件の照明方向を満たすように照明１４２を駆動するマニピュレータの関節角度の組み合わせである検査ポイント列を算出する検査ポイント列算出手段として機能する。
【0019】
記憶装置１５は、ハードディスクドライブやソリッドステートドライブなどの公知の大容量記憶装置によって構成される。記憶装置１５は、検査対象記憶部１５１、不良品情報記憶部１５２、検査条件記憶部１５３、検査ポイント列記憶部１５４を備える。
【0020】
検査対象記憶部１５１には、製品番号に紐づけられた製品形状データが格納されている。製品形状データは、例えば、ＳＴＬ（Stereolithography）等の公知のフォーマットにて定義される。
【0021】
不良品情報記憶部１５２は、後記する図３に示す不良品情報テーブル１５２１に記載の情報を記憶する部分であり、不良品を識別するための個体番号情報と、不良品に係る製品番号情報と、この不良品にて発見された欠陥の位置などを記憶する。
【0022】
図３は、不良品情報テーブル１５２１の一例を示す図である。
不良品情報テーブル１５２１は、不良品の個体番号欄と、製品番号欄と、欠陥位置・姿勢情報欄を有する。
不良品個体番号欄は、不良品を特定するための識別番号を格納する欄である。
製品番号欄は、製品の版数などを特定するための製品番号を格納する欄である。
欠陥位置・姿勢情報欄は、不良品における欠陥の３次元的な位置・姿勢情報である。この欄に格納される情報は、位置を表す３次元ベクトルとその時のロール・ピッチ・ヨーなどで表される姿勢の組や、アフィン変換に用いられる拡大行列として表現される。
不良品情報テーブル１５２１は、不良品の個体番号欄と、製品番号欄と、欠陥位置・姿勢情報欄を有する。
不良品個体番号欄は、不良品を特定するための識別番号を格納する欄である。
製品番号欄は、製品の版数などを特定するための製品番号を格納する欄である。
欠陥位置・姿勢情報欄は、不良品における欠陥の３次元的な位置・姿勢情報である。この欄に格納される情報は、位置を表す３次元ベクトルとその時のロール・ピッチ・ヨーなどで表される姿勢の組や、アフィン変換に用いられる拡大行列として表現される。
【0023】
図１に戻り説明を続ける。検査条件記憶部１５３は、欠陥が検出可能になるときの撮像方向や照明方向の条件を記憶する。
検査ポイント列記憶部１５４には、製品５に対するカメラ１４１および照明１４２の位置・姿勢の集合である検査ポイント列集合が、製品番号に紐づけて格納されている。カメラ１４１および照明１４２の位置および姿勢は、位置を表す３次元ベクトルとロール・ピッチ・ヨーなどで表される姿勢を組にしたものや、アフィン変換に用いられる拡大行列として表現される。
検査ポイント列記憶部１５４には、製品５に対するカメラ１４１および照明１４２の位置・姿勢の集合である検査ポイント列集合が、製品番号に紐づけて格納されている。カメラ１４１および照明１４２の位置および姿勢は、位置を表す３次元ベクトルとロール・ピッチ・ヨーなどで表される姿勢を組にしたものや、アフィン変換に用いられる拡大行列として表現される。
【0024】
図４は、ユーザインタフェース装置１１における表示操作画面６の一例を示す図である。
ユーザインタフェース装置１１は、検査対象入力部１１１、欠陥位置入力部１１２、検査条件表示部１１３、検査ポイント表示部１１４を含んだ表示操作画面６を表示する。
ユーザインタフェース装置１１は、検査対象入力部１１１、欠陥位置入力部１１２、検査条件表示部１１３、検査ポイント表示部１１４を含んだ表示操作画面６を表示する。
【0025】
検査対象入力部１１１は、検査対象の製品情報を入力する部位であり、表示操作画面６のペイン（Pane）として表示される。ここでペインとは、画面を複数の表示領域に分割して使用する表示方式における、分割された個々の表示領域のことである。検査対象入力部１１１には、不良品個体番号テキストボックス１１１１と、製品番号テキストボックス１１１２とが表示されている。不良品個体番号テキストボックス１１１１には、“A-000001”が入力されている。製品番号テキストボックス１１１２には、“p00001”が入力されている。ここで入力された情報は、図３に示す不良品情報テーブル１５２１に格納される。
【0026】
欠陥位置入力部１１２は、不良品の欠陥の位置を入力する部位である。操作者が欠陥位置入力部１１２に表示された製品モデルの表面の何れかをクリックすることで、この製品において頻出する欠陥の位置を指定することができる。
【0027】
検査条件表示部１１３は、検査条件をグラフに表示する部位である。このグラフの縦軸は撮像方向を示し、横軸は照明方向を示している。
【0028】
検査ポイント表示部１１４には、検査ポイントの位置１１４１～１１４４がコンピュータグラフィックの製品画像の周囲に表示される。検査ポイント表示部１１４は、これら検査ポイントの位置１１４１～１１４４を生成する。また、検査ポイント表示部１１４は、ユーザが検査ポイントの位置１１４１～１１４４の何れかをクリックする操作により、対応する検査ポイントから検査可能な製品表面領域を、この製品画像上に重畳表示する。ここでは位置１１４１がユーザによってクリックされているので、位置１１４１の検査ポイントから検査可能な製品表面領域が、濃いハッチングによって表示されている。
【0029】
図５は、検査条件算出装置１２において不良品の位置・姿勢をもとに製品５を撮影し、検査条件を求める処理を示すフローチャートである。
検査条件算出部１２１は、ステップＳ１０～Ｓ１８における処理を、全ての不良品について繰り返す。これら不良品には、製品について発生する欠陥が含まれている。
検査条件算出部１２１は、ステップＳ１０～Ｓ１８における処理を、全ての不良品について繰り返す。これら不良品には、製品について発生する欠陥が含まれている。
【0030】
ステップＳ１１において、検査条件算出部１２１は、この不良品の製品番号ｊと不良品個体番号ｉ、欠陥の位置・姿勢情報Ａ０を、不良品情報記憶部１５２から取得する。検査条件算出部１２１は、製品に係る複数の不良品の欠陥の位置を取得する取得手段として機能する。
検査条件算出部１２１は、ステップＳ１２～Ｓ１６における処理を、撮像方向と欠陥の法線の成す角度αを０度から＋９０度まで刻み幅Δαとして独立して動かし、照明方向と欠陥の法線の成す角度βを０度から＋９０度まで刻み幅Δβとして独立して動かす。つまり検査条件算出部１２１は、これら撮像方向と照明方向の全ての組み合わせについて処理を繰り返す。ここで欠陥の法線とは、製品をポリゴン（多面体）で表したとき、この欠陥を含むファセット（面）の法線のことをいう。
検査条件算出部１２１は、ステップＳ１２～Ｓ１６における処理を、撮像方向と欠陥の法線の成す角度αを０度から＋９０度まで刻み幅Δαとして独立して動かし、照明方向と欠陥の法線の成す角度βを０度から＋９０度まで刻み幅Δβとして独立して動かす。つまり検査条件算出部１２１は、これら撮像方向と照明方向の全ての組み合わせについて処理を繰り返す。ここで欠陥の法線とは、製品をポリゴン（多面体）で表したとき、この欠陥を含むファセット（面）の法線のことをいう。
【0031】
図６Ａは、撮像方向の角度αと、照明方向の角度βとの組み合わせを示す図である。
ファセット５１は、製品を多面体で表したときのファセット（面）であり、かつ欠陥位置のファセットでもある。法線ｎｐは、このファセット５１の法線であり、かつ欠陥の法線でもある。
ファセット５１は、製品を多面体で表したときのファセット（面）であり、かつ欠陥位置のファセットでもある。法線ｎｐは、このファセット５１の法線であり、かつ欠陥の法線でもある。
【0032】
ファセット５１からカメラ１４１へのベクトルは、撮像方向である。ここでは各撮像方向を、カメラ１４１へのベクトルで示している。実線で示したカメラ１４１は、現在の撮像方向を示している。破線で示したカメラ１４１は、過去または将来の撮像方向を示している。法線ｎｐと現在の撮像方向とが成す角度は、αである。撮像方向の角度の刻み幅は、Δαである。検査条件算出部１２１は、撮像方向と欠陥の法線の成す角度αを０度から＋９０度まで刻み幅Δαとして動かす。
【0033】
ファセット５１から照明１４２へのベクトルは、照明方向である。ここでは各照明方向を、照明１４２へのベクトルで示している。実線で示した照明１４２は、現在の照明方向を示している。破線で示した照明１４２は、過去または将来の照明方向を示している。照明方向の角度の刻み幅は、Δβである。法線ｎｐと現在の照明方向とが成す角度は、βである。検査条件算出部１２１は、照明方向と欠陥の法線の成す角度βを－９０度から＋９０度まで刻み幅Δβとして動かす。そして検査条件算出部１２１は、撮像方向と照明方向の全ての組み合わせについて検査する。
【0034】
図６Ｂは、次の撮像方向の角度αと、照明方向の角度βとの組み合わせを示す図である。
この図６Ｂにおいて、検査条件算出部１２１は、照明１４２の方向を固定したまま、撮像方向と欠陥の法線の成す角度αを刻み幅Δαだけ増加させ、次の撮像方向を算出して組み合わせている。
その後、検査条件算出部１２１は、或る照明方向と全ての撮像方向とを組み合わせると、照明方向と欠陥の法線の成す角度βを刻み幅Δβだけ増加させる。このようにして、検査条件算出部１２１は、撮像方向と照明方向の組み合わせのうち、欠陥検査が可能な範囲を決定する。
この図６Ｂにおいて、検査条件算出部１２１は、照明１４２の方向を固定したまま、撮像方向と欠陥の法線の成す角度αを刻み幅Δαだけ増加させ、次の撮像方向を算出して組み合わせている。
その後、検査条件算出部１２１は、或る照明方向と全ての撮像方向とを組み合わせると、照明方向と欠陥の法線の成す角度βを刻み幅Δβだけ増加させる。このようにして、検査条件算出部１２１は、撮像方向と照明方向の組み合わせのうち、欠陥検査が可能な範囲を決定する。
【0035】
図５に戻り説明を続ける。ステップＳ１３において、検査条件算出部１２１は、欠陥が画像中心に写る場合のカメラ１４１の位置および姿勢を算出する。カメラ１４１が画像中心に欠陥を撮影する場合とは、カメラ１４１が欠陥に正対する場合である。本ステップでは、欠陥に正対するカメラ１４１の位置・姿勢をＰｃ（α）とし、以下の式（１）で算出する。
【数1】
【0036】
欠陥に正対する照明１４２の位置・姿勢をＰｌ（β）とし、以下の式（２）で算出する。
【数2】
【0037】
なお、αは、撮像方向と欠陥の法線npのなす角度であり、カメラ１４１の光軸の入射角である。βは、照明方向と欠陥の法線npのなす角度であり、照明１４２の光線の入射角である。Ｄｃは、カメラ１４１から製品５までの距離であり、カメラ１４１の仕様として規定される。Ｄｌは、照明１４２から製品５までの距離であり、照明１４２の仕様として規定される。
【0038】
ステップＳ１４において、検査条件算出部１２１は、この姿勢におけるマニピュレータ１４３，１４４の関節角を導出する。すなわち、検査条件算出部１２１は、カメラ１４１が所与の撮像方向となるときのマニピュレータ１４３の関節角を導出し、照明１４２が所与の照明方向となるときのマニピュレータ１４４の関節角を導出する。
【0039】
【0040】
なお、Ｊｎ（Θ）は、各関節の回転による姿勢変換を表す拡大行列である。Ｗは、マニピュレータ１４３に設定された座標系における製品５の姿勢を表す拡大行列である。なお、図８中の太破線矢印は、各姿勢変換を表す。
【0041】
この順運動学を、一般的な手法を用いて逆運動学に変換することで、所与の撮像方向で製品５を撮影するための、マニピュレータ１４３の各関節角を求めることができる。製品５を照明するための、マニピュレータ１４４の各関節角も同様にして求めることができる。
【0042】
ステップＳ１５において、検査条件算出部１２１は、上記姿勢になるよう、ステップＳ１３で求めた関節角になるようマニピュレータ１４３，１４４をそれぞれ動作させ、欠陥を中心に捉えて製品５を撮影する。
【0043】
検査条件算出部１２１は、撮影装置１４を制御して、様々な撮像方向・照明方向で欠陥を中心に捉えつつ、製品５を撮影した画像群を得る。
【0044】
ステップＳ１６において、検査条件算出部１２１は、撮像方向と照明方向の全ての組み合わせについて処理を繰り返していなかったならば、ステップＳ１２に戻る。検査条件算出部１２１は、撮像方向と照明方向の全ての組み合わせについて処理を繰り返していたならば、ステップＳ１７に進む。
【0045】
ステップＳ１７において、検査条件算出部１２１は、撮影した各画像による欠陥検査の可否（検査結果）を判定し、この欠陥検査の可否と撮影時の撮像方向および照明方向の組み合わせの情報とを紐付けることで検査条件を求める。手順の詳細を以下に示す。なお、以下の手順では、検査条件Ｃｊｉは、欠陥検査可能と欠陥検査不能の二値で表現され、各撮像方向に対応する水平方向のピクセル位置ｗと鉛直方向のピクセル位置ｈは、以下の式（４）と式（５）で求めるものとする。
【数4】
【0046】
【数5】
【0047】
検査条件算出部１２１は、撮像方向と欠陥の法線の成す角α０、照明方向と欠陥の法線の成す角β０において撮影した画像において、画像の中心に存在する欠陥の輝度ｂｄ０と、欠陥近傍の輝度ｂｓ０を比較する。検査条件算出部１２１は、この差が一定値ｂｃ以上であった場合には検査可能と判定し、この差が一定値ｂｃ未満であった場合には検査不能と判定する。検査条件算出部１２１は、欠陥とその近傍の画像の輝度差により、撮影時の撮像方向および照明方向の組み合わせの検査可否を判定し、検査条件を求めることができる。
欠陥が検査可能であった場合、α０、β０に対応する検査条件Ｃｊｉ（ｗ０，ｈ０）を、式（６）のように定める。
欠陥が検査可能であった場合、α０、β０に対応する検査条件Ｃｊｉ（ｗ０，ｈ０）を、式（６）のように定める。
【数6】
【0048】
ステップＳ１８において、検査条件算出部１２１は、上記処理を、製品番号ｊに属する全ての不良品個体（個体番号ｉ）について繰り返したか否かを判定する。検査条件算出部１２１は、処理されていない不良品個体があったならば、ステップＳ１０に戻り、全ての不良品個体について処理したならば、ステップＳ１９に進む。
【0049】
ステップＳ１９において、検査条件算出部１２１は、製品番号ｊに属する全ての不良品個体（個体番号ｉ）に対して処理を行い、不良品の検査条件Ｃｊｉを求める。そして、検査条件算出部１２１は、製品番号ｊに属する不良品の検査条件Ｃｊｉの積集合条件を製品番号ｊの検査条件Ｃｊとする。積集合条件とは、複数の検査条件の集合の論理積をとったものであり、下の式（７）で定義される。
【数7】
【0050】
【0051】
図７Ａの矩形は撮像方向と照明方向の空間３を示し、ハッチング部は、或る製品に係る不良品Ａにおける検査条件３ａを示している。図７Ｂのハッチング部は、同一の製品に係る他の不良品Ｂにおける検査条件３ｂを示している。この時、図７Ｃの灰色ハッチング部に示す不良品ＡおよびＢの積集合条件３ｃは、不良品Ａに存在する欠陥と不良品Ｂに存在する欠陥のうちいずれであっても検査が可能な撮像方向および照明方向の条件を表す。図７Ｃの破線で囲まれた検査条件３ｄは、不良品Ａに存在する欠陥または不良品Ｂに存在する欠陥の何れか１つ以上の検査が可能な撮像方向および照明方向の条件を表す。
【0052】
検査条件算出部１２１は、このようにして得られた検査条件Ｃｊを、検査条件記憶部１５３に出力する。全ての撮像方向と照明方向の組み合わせからなる空間３のうち、積集合条件３ｃに限定して検査することで、カメラ１４１の撮影回数とマニピュレータの動作回数とを限定するので、検査条件算出部１２１は、既知の不良品の欠陥を迅速に検査可能となる。
【0053】
図５に戻り説明を続ける。検査条件算出部１２１は、ステップＳ１９の処理を終了すると、図５の処理を終了する。
図５の処理において、検査条件算出部１２１は、欠陥の検査可否の境界における輝度を、欠陥の輝度の閾値としている。これにより、製品が明確に明るく写る箇所における輝度を欠陥の輝度の閾値とした場合よりも、１枚の撮影画像が検査条件を満たす範囲を広くすることができる。
図５の処理において、検査条件算出部１２１は、欠陥の検査可否の境界における輝度を、欠陥の輝度の閾値としている。これにより、製品が明確に明るく写る箇所における輝度を欠陥の輝度の閾値とした場合よりも、１枚の撮影画像が検査条件を満たす範囲を広くすることができる。
【0054】
なお、図５の処理において、検査条件算出部１２１は、実際に不良品を撮像して欠陥位置に基づいて、検査条件を算出しているが、仮想的に不良品の撮像をシミュレーションして、入力された欠陥位置に基づいて検査条件を算出してもよい。
【0055】
図９Ａと図９Ｂは、検査ポイント列算出装置１３での処理のフローチャートである。
ステップＳ３０において、検査ポイント列算出装置１３は、検査対象記憶部１５１に記憶された製品番号ｊを1つ選び、その製品番号ｊにおける製品形状データＭおよび検査条件Ｃｊを取得する。
ステップＳ３０において、検査ポイント列算出装置１３は、検査対象記憶部１５１に記憶された製品番号ｊを1つ選び、その製品番号ｊにおける製品形状データＭおよび検査条件Ｃｊを取得する。
【0056】
ステップＳ３１において、検査ポイント列算出装置１３は、製品形状データＭの中心と中心を同じくし、製品形状データＭを包含する球上にカメラや照明を様々に配置し、検査ポイント集合を算出する。球の中心、つまり製品形状データＭの中心は、製品形状データＭを構成する頂点を包含するＡＡＢＢ（Axis-aligned bounding box）の中心として求める。点集合に対するＡＡＢＢの求め方を、以下にて説明する。検査ポイント列算出装置１３は、まず、点の集合において各軸の最大値、最小値を求める。次に、頂点の座標が前記各軸の最大値ないし最小値となる直方体を求める。製品形状データＭを包含する球は、このようにして求めたＡＡＢＢの中心を中心とし、カメラ１４１や照明１４２の既定の作動距離を半径とする球として求める。
【0057】
図１０を用いて、製品形状データＭに対するカメラ１４１や照明１４２の位置及び姿勢を求める処理を説明する。図１０において、ａ，ｂは角度パラメータであり、ある直交座標系において、3軸をそれぞれｘ軸、ｙ軸、ｚ軸としたとき、ａはｙ軸中心の回転角（ピッチ角）、ｂはｚ軸中心の回転角（ヨー角）をそれぞれ表す。
【0058】
【0059】
カメラ１４１の姿勢を表現する３×３行列Ｔｃ（ａ，ｂ）を式（９）で定義する。
【数9】
【0060】
カメラ１４１の位置を表現する三次元ベクトルｐｃ（ａ，ｂ）を式（１０）で定義する。
【数10】
【0061】
以上のカメラ１４１の位置・姿勢設定と同様に、ピッチ角ｃとヨー角ｄを用いて、照明１４２の位置・姿勢を表現する拡大行列Ｐｌ（ｃ，ｄ）を式（１１）で定義する。
【数11】
【0062】
照明１４２の姿勢を表現する３×３行列Ｔｌ（ｃ，ｄ）を式（１２）で定義する。
【数12】
【0063】
照明１４２の位置を表現する三次元ベクトルｐｌ（ｃ，ｄ）を以下の式（１３）で定義する。
【数13】
【0064】
以上の式に従い、カメラ１４１のピッチ角ａと照明１４２のピッチ角ｃを０度から９０度まで一定刻みで与え、カメラ１４１のヨー角ｂと照明１４２のヨー角ｄを０度から３６０度まで一定刻みで与える。これにより、製品５を包含する球上に、複数の検査ポイントを自動で算出することができる。
【0065】
図９Ａに戻り説明を続ける。検査ポイント列算出装置１３は、ステップＳ３２～Ｓ３５において、算出した検査ポイントについて繰り返す。
ステップＳ３３において、検査ポイント列算出装置１３は、算出した検査ポイントから無作為に1つ選んだ検査ポイントについて、カメラ１４１の位置・姿勢をＰｃ（ａ０，ｂ０）、照明１４２の位置・姿勢をＰｌ（ｃ０，ｄ０）とする。本処理では、Ｐｃ，Ｐｌで定義される検査ポイントに対し、撮像方向および照明方向を求めたうえで検査可能なファセットを求める。ここでファセットとは、製品形状データＭをポリゴン（多面体）で表した場合の各面のことをいう。
ステップＳ３３において、検査ポイント列算出装置１３は、算出した検査ポイントから無作為に1つ選んだ検査ポイントについて、カメラ１４１の位置・姿勢をＰｃ（ａ０，ｂ０）、照明１４２の位置・姿勢をＰｌ（ｃ０，ｄ０）とする。本処理では、Ｐｃ，Ｐｌで定義される検査ポイントに対し、撮像方向および照明方向を求めたうえで検査可能なファセットを求める。ここでファセットとは、製品形状データＭをポリゴン（多面体）で表した場合の各面のことをいう。
【0066】
ここで、検査可能なファセットを求める処理について説明する。検査ポイント列算出装置１３は、製品形状データＭからファセットｆを選ぶ。このファセットｆの撮像方向は、カメラ１４１の位置からファセットｆの重心へ向かうベクトルである。そしてファセットｆの照明方向は、照明１４２の位置からファセットｆの重心へ向かうベクトルである。これにより、検査ポイント列算出装置１３は、カメラ１４１の光軸の入射角αｆと照明１４２の光線の入射角βｆとを定める。撮像方向と、照明方向と、ファセットの３者の関係を図１１に示す。このとき、カメラ１４１の光軸の入射角αｆは、式（１４）で定義される。
【数14】
【0067】
照明１４２の光線の入射角βｆは、式（１５）で定義される。
【数15】
【0068】
なお、式（１４）と式（１５）において、ｎ（ｆ）はｆの単位法線ベクトルである。ｇ（ｆ）はｆの重心の位置ベクトルである。Ｎ（ｖ）はベクトルｖの単位ベクトルである。検査ポイント列算出装置１３は、これらのカメラ１４１の光軸の入射角αｆ、照明１４２の光線の入射角βｆについて、検査条件におけるピクセル座標ｗｆ、ｈｆを求める。この時、検査ポイント列算出装置１３は、ステップＳ３０で取得した検査条件Ｃｊ（ｗｆ、ｈｆ）が１ならば、そのファセットを検査可能とする。検査ポイント列算出装置１３は、以上の処理を全ファセットについて繰り返し、そのファセットの検査可否を得る。このように、検査条件Ｃｊ（ｗｆ、ｈｆ）によってファセットが検査可能か否かを判定することで、検査対象であるファセットの集合を算出して絞り込む。ここで検査対象であるファセットの集合を検査可能ファセットに絞り込む理由は、ステップＳ３４において、マニピュレータ１４３，１４４が製品５の検査可能ファセットを遮蔽しないものを抽出するためである。
【0069】
図９Ａに戻り説明を続ける。ステップＳ３４において、検査ポイント列算出装置１３は、カメラ１４１の位置・姿勢Ｐｃに合致するマニピュレータ１４３の姿勢を算出し、照明１４２の位置・姿勢Ｐｌに合致するマニピュレータ１４４の姿勢を算出する。
【0070】
ここで得られたマニピュレータ１４３，１４４の姿勢について、カメラ１４１ないし照明１４２と製品形状データＭの検査可能ファセットを結ぶ線分と、マニピュレータ１４３，１４４とが交点を持つ場合、その検査点は、製品５の検査可能ファセットがマニピュレータ１４３，１４４によって遮蔽されるため、検査ポイントから除外する。すなわち、検査ポイント列算出手段は、製品５を包含する球上の検査ポイントのうちマニピュレータ１４３，１４４が製品５の検査可能ファセットを遮蔽しないものを抽出する。なお、マニピュレータ１４３，１４４が、所定のロボット姿勢をとったときに製品５のファセットを遮蔽したとしても、それが検査不能なファセットならば、そのロボット姿勢は問題とならない。これにより、ロボット姿勢の自由度が向上し、ロボットの姿勢変換コストをより低減可能となる。
【0071】
検査ポイント列算出装置１３は、ステップＳ３５において、算出した検査ポイントの処理を全て繰り返したならば、ステップＳ３６に進み、未処理の検査ポイントがあったならば、ステップＳ３２に戻る。
【0072】
ステップＳ３６において、検査ポイント列算出装置１３は、ファセット集合Ｓを全検査ポイントから検査可能な領域とする。全検査ポイントから検査可能な領域は、ある検査ポイントｕｉ（ｉ＝０，１，２，…）で検査可能なファセット集合Ｆｕｉを用いて、以下の式（１６）で定義される。
【数16】
【0073】
以下のステップＳ３７～Ｓ４１までの処理を、図１２Ａから図１２Ｄを用いて説明する。ある検査ポイントｕｉについて、ファセット集合Ｓに含まれるファセット内で検査可能なファセット集合Ｆ´ｕｉは、以下の式（１７）で求められる。
【数17】
【0074】
ステップＳ３７において、検査ポイント列算出装置１３は、これをすべての検査ポイントｕｉ（ｉ＝０，１，２，…）について求める。得られたファセット集合Ｆ´ｕｉに含まれるファセットの総面積が最大のものを、検査ポイント列に追加する。なお、検査ポイント列の初期値は、空である。
図１２Ａに、ファセット集合Ｓが全検査ポイントから検査可能な領域であるときにおける、検査ポイントｕ０におけるファセット集合Ｆ´ｕ０を開示する。
図１２Ｂに、ファセット集合Ｓが全検査ポイントから検査可能な領域であるときにおける、検査ポイントｕ１におけるファセット集合Ｆ´ｕ１を開示する。
図１２Ｃに、ファセット集合Ｓが全検査ポイントから検査可能な領域であるときにおける、検査ポイントｕ２におけるファセット集合Ｆ´ｕ２を開示する。
図１２Ｂに示すように、図１２Ａから図１２Ｃに開示される例ではＦ´ｕ１の要素数が最大であるため、この例では検査ポイントｕ１が検査ポイント列に追加される。
図１２Ａに、ファセット集合Ｓが全検査ポイントから検査可能な領域であるときにおける、検査ポイントｕ０におけるファセット集合Ｆ´ｕ０を開示する。
図１２Ｂに、ファセット集合Ｓが全検査ポイントから検査可能な領域であるときにおける、検査ポイントｕ１におけるファセット集合Ｆ´ｕ１を開示する。
図１２Ｃに、ファセット集合Ｓが全検査ポイントから検査可能な領域であるときにおける、検査ポイントｕ２におけるファセット集合Ｆ´ｕ２を開示する。
図１２Ｂに示すように、図１２Ａから図１２Ｃに開示される例ではＦ´ｕ１の要素数が最大であるため、この例では検査ポイントｕ１が検査ポイント列に追加される。
【0075】
検査ポイント列算出装置１３は、ステップＳ３８～Ｓ４１の処理を、ファセット集合Ｓが空集合になるまで繰り返す。
ステップＳ３９において、検査ポイント列算出装置１３は、検査ポイント列末尾の検査ポイントｕｊから他の検査ポイントｕｋに移動する際の姿勢変換コストｆ（ｕｊ，ｕｋ）が最少となる検査ポイント列を求める。ここで、ファセット集合Ｆ´ｕｉの総面積をＡ（Ｆ´ｕｉ）とするとき、姿勢変換コストｆは、式（１８）で求められる。
ステップＳ３９において、検査ポイント列算出装置１３は、検査ポイント列末尾の検査ポイントｕｊから他の検査ポイントｕｋに移動する際の姿勢変換コストｆ（ｕｊ，ｕｋ）が最少となる検査ポイント列を求める。ここで、ファセット集合Ｆ´ｕｉの総面積をＡ（Ｆ´ｕｉ）とするとき、姿勢変換コストｆは、式（１８）で求められる。
【数18】
【0076】
ただし、ω（ｕｊ，ｕｋ）は、検査ポイントｕｊからｕｋにマニピュレータを動作させるときにおける各ジョイントの回転量の最大値である。各ジョイントの回転速度が所定値であると仮定すると、各ジョイントの回転量は、ロボットの姿勢変換の時間に比例する。
ステップＳ４０において、検査ポイント列算出装置１３は、ファセット集合Ｓを、以下の式（１９）に従い更新する。
ステップＳ４０において、検査ポイント列算出装置１３は、ファセット集合Ｓを、以下の式（１９）に従い更新する。
【数19】
【0077】
更新されたファセット集合Ｓの例を図１２Ｄに示す。図１２Ｄにおけるファセット集合Ｓは、図１２Ａから図１２Ｃに開示される検査ポイントから検査可能な全ファセットの集合Ｓから、図１２Ｂに開示される検査ポイントｕ１から検査可能なファセットの集合Ｆ´ｕ１に含まれる集合の差を算出したものである。また、図１２ＤにおけるＦ´ｕ０とは、図１２Ｄにおけるファセット集合Ｓと、検査ポイントｕ０から検査可能なファセット集合Ｆ´ｕ０との論理積を算出したものである。
【0078】
図９Ｂの説明に戻る。ステップＳ４１において、検査ポイント列算出装置１３は、ファセット集合Ｓが空集合になるまで処理を繰り返したならば、ステップＳ４２に進み、ファセット集合Ｓが空集合でなければ、ステップＳ３８に戻る。
【0079】
ステップＳ４１において、検査ポイント列算出装置１３は、ステップＳ３８～Ｓ４１のループ処理にて求めた検査ポイント列中の検査ポイントについて、ＲＲＴ（rapidly-exploring random tree）法などを用いて検査ポイント列を経由するロボット動作を最適化する。すなわら、検査ポイント列算出装置１３は、製品５の形状データを構成するファセットのうち、検査条件を満たす撮像方向および照明方向から検査可能な集合を作成し、最少の姿勢変換コストで集合を検査可能な検査ポイント列を算出する。
その後、検査ポイント列算出装置１３は、得られた検査ポイント列ならびにロボット動作を出力すると、図９Ｂの処理を終了する。
その後、検査ポイント列算出装置１３は、得られた検査ポイント列ならびにロボット動作を出力すると、図９Ｂの処理を終了する。
【0080】
以上に開示するように、外観検査準備システム１は、不良品の実検査データに基づき、見逃しなく欠陥を検査可能な検査条件を設定し、この検査条件に基づき検査ポイント列を自動生成する。これにより、外観検査準備システム１は、最少の撮影回数で製品５を検査可能な検査ポイント列を自動生成して、製品の外観検査を準備する。この検査ポイント列により、製品の外観検査を好適に実施可能である。
【0081】
（変形例）
本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、様々な変形例が含まれる。例えば上記した実施形態は、本発明を分かりやすく説明するために詳細に説明したものであり、必ずしも説明した全ての構成を備えるものに限定されるものではない。ある実施形態の構成の一部を他の実施形態の構成に置き換えることが可能であり、ある実施形態の構成に他の実施形態の構成を加えることも可能である。また、各実施形態の構成の一部について、他の構成の追加・削除・置換をすることも可能である。
本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、様々な変形例が含まれる。例えば上記した実施形態は、本発明を分かりやすく説明するために詳細に説明したものであり、必ずしも説明した全ての構成を備えるものに限定されるものではない。ある実施形態の構成の一部を他の実施形態の構成に置き換えることが可能であり、ある実施形態の構成に他の実施形態の構成を加えることも可能である。また、各実施形態の構成の一部について、他の構成の追加・削除・置換をすることも可能である。
【0082】
上記の各構成、機能、処理部、処理手段などは、それらの一部または全部を、例えば集積回路などのハードウェアで実現してもよい。上記の各構成、機能などは、プロセッサがそれぞれの機能を実現するプログラムを解釈して実行することにより、ソフトウェアで実現してもよい。各機能を実現するプログラム、テーブル、ファイルなどの情報は、メモリ、ハードディスク、ＳＳＤ（Solid State Drive）などの記録装置、または、フラッシュメモリカード、ＤＶＤ（Digital Versatile Disk）などの記録媒体に置くことができる。
【0083】
各実施形態に於いて、制御線や情報線は、説明上必要と考えられるものを示しており、製品上必ずしも全ての制御線や情報線を示しているとは限らない。実際には、殆ど全ての構成が相互に接続されていると考えてもよい。
【0084】
本発明の変形例として、例えば、次の（ａ）～（ｂ）のようなものがある。
（ａ） 撮影装置は、カメラを固定し、第一マニピュレータで照明を把持して駆動し、第二マニピュレータで製品を把持／運搬することで、製品に対する相対的な撮像方向と照明方向を変える構成であってもよい。かかる変形例において、照明を駆動する第一マニピュレータの関節角度および製品を把持／運搬する第二マニピュレータの関節角度の組み合わせが、検査ポイント列である。
（ｂ） 撮影装置は、照明を固定し、第一マニピュレータでカメラを把持して駆動し、第二マニピュレータで製品を把持／運搬することで、製品に対する相対的な撮像方向と照明方向を変える構成であってもよい。かかる変形例において、カメラを駆動する第一マニピュレータの関節角度および製品を把持／運搬する第二マニピュレータの関節角度の組み合わせが、検査ポイント列である。
（ａ） 撮影装置は、カメラを固定し、第一マニピュレータで照明を把持して駆動し、第二マニピュレータで製品を把持／運搬することで、製品に対する相対的な撮像方向と照明方向を変える構成であってもよい。かかる変形例において、照明を駆動する第一マニピュレータの関節角度および製品を把持／運搬する第二マニピュレータの関節角度の組み合わせが、検査ポイント列である。
（ｂ） 撮影装置は、照明を固定し、第一マニピュレータでカメラを把持して駆動し、第二マニピュレータで製品を把持／運搬することで、製品に対する相対的な撮像方向と照明方向を変える構成であってもよい。かかる変形例において、カメラを駆動する第一マニピュレータの関節角度および製品を把持／運搬する第二マニピュレータの関節角度の組み合わせが、検査ポイント列である。
【符号の説明】
【0085】
１ 外観検査準備システム （外観検査準備装置）
１１ ユーザインタフェース装置
１１１ 検査対象入力部
１１１１ 不良品個体番号テキストボックス
１１１２ 製品番号テキストボックス
１１２ 欠陥位置入力部
１１３ 検査条件表示部
１１４ 検査ポイント表示部
１１４１ 位置
１２ 検査条件算出装置 （検査条件算出手段）
１２１ 検査条件算出部
１３ 検査ポイント列算出装置 （検査ポイント列算出手段）
１４ 撮影装置
１４１ カメラ
１４２ 照明
１４３，１４４ マニピュレータ
１４５ 検査ステージ
１５ 記憶装置
１５１ 検査対象記憶部
１５２ 不良品情報記憶部
１５２１ 不良品情報テーブル
１５３ 検査条件記憶部
１５４ 検査ポイント列記憶部
５ 製品
６ 表示操作画面
６１ 不良品情報入力ペイン
６１１ 不良品個体番号
６１２ 製品番号テキストボックス
６１３ 欠陥位置情報テキストボックス
６２ 検査条件ペイン
６３ 検査ポイントペイン
６３１ 検査ポイント
１１ ユーザインタフェース装置
１１１ 検査対象入力部
１１１１ 不良品個体番号テキストボックス
１１１２ 製品番号テキストボックス
１１２ 欠陥位置入力部
１１３ 検査条件表示部
１１４ 検査ポイント表示部
１１４１ 位置
１２ 検査条件算出装置 （検査条件算出手段）
１２１ 検査条件算出部
１３ 検査ポイント列算出装置 （検査ポイント列算出手段）
１４ 撮影装置
１４１ カメラ
１４２ 照明
１４３，１４４ マニピュレータ
１４５ 検査ステージ
１５ 記憶装置
１５１ 検査対象記憶部
１５２ 不良品情報記憶部
１５２１ 不良品情報テーブル
１５３ 検査条件記憶部
１５４ 検査ポイント列記憶部
５ 製品
６ 表示操作画面
６１ 不良品情報入力ペイン
６１１ 不良品個体番号
６１２ 製品番号テキストボックス
６１３ 欠陥位置情報テキストボックス
６２ 検査条件ペイン
６３ 検査ポイントペイン
６３１ 検査ポイント
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6A】
【図6B】
【図7A】
【図7B】
【図7C】
【図8】
【図9A】
【図9B】
【図10】
【図11】
【図12A】
【図12B】
【図12C】
【図12D】
