発明の名称 シリコンウェーハの製造方法
出願人 グローバルウェーハズ・ジャパン株式会社 (識別番号 312007423)
特許公開件数ランキング 1036 位(7件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 1186 位(5件)(共同出願を含む)
公報番号 特許-7495238
公報発行日 2024年6月4
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7495238
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