(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2024-05-31
(45)【発行日】2024-06-10
(54)【発明の名称】ノズル及び基板洗浄装置
(51)【国際特許分類】
H01L 21/304 20060101AFI20240603BHJP
B05B 1/02 20060101ALI20240603BHJP
B05B 1/04 20060101ALI20240603BHJP
B08B 3/02 20060101ALI20240603BHJP
【ＦＩ】
H01L21/304 643C
B05B1/02 101
B05B1/04
B08B3/02 A
【請求項の数】
9
(21)【出願番号】P 2020139153
(22)【出願日】2020-08-20
(65)【公開番号】P2021061389
(43)【公開日】2021-04-15
【審査請求日】2023-03-10
(31)【優先権主張番号】P 2019183439
(32)【優先日】2019-10-04
(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP
(73)【特許権者】
【識別番号】000000239
【氏名又は名称】株式会社荏原製作所
(74)【代理人】
【識別番号】230104019
【弁護士】
【氏名又は名称】大野 聖二
(74)【代理人】
【識別番号】230112025
【弁護士】
【氏名又は名称】小林 英了
(74)【代理人】
【識別番号】230117802
【弁護士】
【氏名又は名称】大野 浩之
(74)【代理人】
【識別番号】100106840
【弁理士】
【氏名又は名称】森田 耕司
(74)【代理人】
【識別番号】100131451
【弁理士】
【氏名又は名称】津田 理
(74)【代理人】
【識別番号】100167933
【弁理士】
【氏名又は名称】松野 知紘
(74)【代理人】
【識別番号】100174137
【弁理士】
【氏名又は名称】酒谷 誠一
(74)【代理人】
【識別番号】100184181
【弁理士】
【氏名又は名称】野本 裕史
(72)【発明者】
【氏名】中川 洋一
【審査官】堀江 義隆
(56)【参考文献】
【文献】特開昭６３－２８３７７２（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１５－１９３１０５（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開平０６－２８３４９２（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１５－１７７０１５（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１０－２４５４０４（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１３－１７５６８１（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１４－２１２２３７（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｈ０１Ｌ ２１／３０４
Ｂ０８Ｂ ３／０２
Ｂ０５Ｂ １／０４
Ｂ０５Ｂ １／０２
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
基板洗浄用の微小気泡を発生させるノズルであって、長手方向に延びる中空の筐体と、
前記筐体内に設けられ、前記筐体内を複数の空間に区画する複数の板材と、
を備え、
前記筐体の上面または側面には、ガス溶解液が流入し且つ前記板材によって区画された空間のうち最も上の空間に連通する流入口が設けられており、
前記板材それぞれには、複数の貫通孔が設けられており、
前記筐体の下面には、前記板材によって区画された空間のうち最も下の空間に連通するスリットが設けられており、
前記スリットは、前記筐体の長手方向に沿って設けられている
ノズル。
【請求項2】
前記板材は複数あり、複数の板材のうち第１の板材より下方に設けられた第２の板材において、貫通孔の数が第１の板材の貫通孔の数より多いか、及び／または、貫通孔の大きさが第１の板材の貫通孔の大きさ以下である
請求項１に記載のノズル。
【請求項3】
前記筐体または前記ガス溶解液を加熱する加熱手段を備える請求項１または２に記載のノズル。
【請求項4】
前記加熱手段は、前記筐体に設けられた電熱部材である請求項３に記載のノズル。
【請求項5】
前記加熱手段は、赤外線を前記筐体に照射する赤外線照射器である請求項３に記載のノズル。
【請求項6】
前記加熱手段は、前記筐体の内部を流通する所定の温度以上の媒体である請求項３に記載のノズル。
【請求項7】
前記加熱手段は、前記筐体の表面を流通する所定温度以上の媒体である請求項３に記載のノズル。
【請求項8】
基板洗浄用のノズルであって、
ガス溶解液が供給されるヘッダ管と、
前記ヘッダ管から供給されたガス溶解液から、微小気泡を含む液体を生成して吐出する
複数の微小気泡発生ノズルと、
スリットが設けられており、前記微小気泡発生ノズルから吐出された液体がスリットから排出される整流手段と、
を備え、
前記複数の微小気泡発生ノズルは、長手方向に沿って並んでおり、
前記スリットは、前記長手方向に沿って設けられている
ノズル。
【請求項9】
請求項１から８のいずれか一項に記載のノズルを備える基板洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【関連出願との相互参照】
【0001】
本出願は、２０１９年１０月４日に出願された日本国特許出願第２０１９－１８３４３９号の利益を主張するものであり、その全内容は参照により本明細書に組み込まれる。
【分野】
【0002】
本技術は、ノズル及び基板洗浄装置に関する。
【技術と要約】
【0003】
微小気泡（例えば、マイクロバブル）を発生させるノズルは、基板処理工程で利用されている。例えば、国際公開ＷＯ２０１１／０５２１１１では、四角形状の基板に対して、円筒形状の噴射ノズルをヘッダ本体に複数配列し、基板の移動方向に対して垂直に配置されており、噴射ノズルからオゾンマイクロバブル水を基板に吹き付けている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
しかしながら、噴射ノズルが等配列のため、噴射ノズル間で空白領域が生じ、微小気泡（例えば、マイクロバブル）を含む液を均一に吹き付け対象物（例えば基板）上へ吹き付けることが実現できないという問題がある。
【0005】
本技術は、上記問題に鑑みてなされたものであり、微小気泡を含む液を吹き付け対象物（例えば基板）へ吹きかける場合の均一性を向上させることを可能とするノズル及び基板洗浄装置を提供することが望まれる。
【0006】
一実施の形態のノズルは、微小気泡を発生させるノズルであって、中空の筐体と、前記筐体内に設けられ、前記筐体内を複数の空間に区画する複数の板材と、を備え、前記筐体の上面または側面には、ガス溶解液が流入し且つ前記板材によって区画された空間のうち最も上の空間に連通する流入口が設けられており、前記板材それぞれには、複数の貫通孔が設けられており、前記筐体の下面には、前記板材によって区画された空間のうち最も下の空間に連通するスリットが設けられている。
【0007】
一実施の形態の基板洗浄装置は上記に記載のノズルを備える。
【図面の簡単な説明】
【0008】
【図1A】第１の実施形態に係る基板洗浄装置の概略構成図である。
【図1B】第１の実施形態に係るノズルの概略斜視図である。
【図2A】配管４を外した場合のノズル１の概略斜視図である。
【図2D】第１の実施形態の第１の変形例に係る縦断面図である。
【図2E】第１の実施形態の第２の変形例に係る縦断面図である。
【図2F】スペーサ１８４ｂ、１９４ｂが別体の場合において、第１の実施形態の第２の変形例に係るノズル１ａ２の一部の組み立て工程を示す模式図である。
【図2G】スペーサ１８４ｂ、１９４ｂが一体物の場合において、第１の実施形態の第２の変形例に係るノズル１ａ２の一部の組み立て工程を示す模式図である。
【図3A】板材２１の平面図の一例である。
【図3B】板材２２の平面図の一例である。
【図3C】板材２３の平面図の一例である。
【図3D】スリット１６の実現方法の別の例を説明するための図である。
【図4A】第１の実施形態に係るノズルから液体が吐出される様子を示す模式図である。
【図4B】吐出された液体のパターンである。
【図5】第１の実施形態に係るノズルから基板に微小気泡を含む液体を吐き出される様子を示す模式図である。
【図6】第１の実施形態に係るノズルから基板に微小気泡を含む液体を吐き出される様子を示す模式図である。
【図7A】変形例１に係る板材２１ｂの平面図である。
【図7B】変形例１に係る板材２２ｂの平面図である。
【図7C】変形例１に係る板材２３ｂの平面図である。
【図8A】変形例２に係る板材２１ｃの平面図である。
【図8B】変形例２に係る板材２２ｃの平面図である。
【図8C】変形例２に係る板材２３ｃの平面図である。
【図9A】第２の実施形態に係るノズルの概略斜視図である。
【図10】第３の実施形態に係るノズルの概略斜視図である。
【図11A】第４の実施形態に係るノズルの概略斜視図である。
【図12A】第５の実施形態に係るノズルの概略斜視図である。
【図13A】第６の実施形態に係るノズルの概略斜視図である。
【図13B】第６の実施形態の変形例に係るノズルの概略斜視図である。
【図14】第１の比較例に係るノズルの概略斜視図と基板上への吹き付けパターンを示す図である。
【図15】第２の比較例に係るノズルの概略斜視図である。
【図16】第３の比較例に係るノズルの概略斜視図である。
【図17】第４の比較例に係るノズルの概略斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【0009】
以下、各実施形態について、図面を参照しながら説明する。但し、必要以上に詳細な説明は省略する場合がある。例えば、既によく知られた事項の詳細説明や実質的に同一の構成に対する重複説明を省略する場合がある。これは、以下の説明が不必要に冗長になるのを避け、当業者の理解を容易にするためである。
【0010】
一実施の形態の第１の態様に係るノズルは、微小気泡を発生させるノズルであって、中空の筐体と、前記筐体内に設けられ、前記筐体内を複数の空間に区画する複数の板材と、を備え、前記筐体の上面または側面には、ガス溶解液が流入し且つ前記板材によって区画された空間のうち最も上の空間に連通する流入口が設けられており、前記板材それぞれには、複数の貫通孔が設けられており、前記筐体の下面には、前記板材によって区画された空間のうち最も下の空間に連通するスリットが設けられている。
【0011】
この構成によれば、板材を通ることによって気液分離した液とガス気泡が板材それぞれを通過する過程で、その気泡サイズが微小化され、板材によって区画された空間のうち最も下の空間に到達する際には、微小気泡を含む液体が生成される。この微小気泡を含む液体がスリットを介して吐き出される。よって、微小気泡を含む液体を吹き付け対象物（例えば基板）へ吹きかける場合の均一性を向上させることができる。
【0012】
一実施の形態の第２の態様に係るノズルは、第１の態様に係るノズルであって、前記板材は複数あり、複数の板材のうち第１の板材より下方に設けられた第２の板材において、貫通孔の数が第１の板材の貫通孔の数より多いか、及び／または、貫通孔の大きさが第１の板材の貫通孔の大きさ以下である。
【0013】
この構成によれば、気泡サイズを微小化することができる。
【0014】
一実施の形態の第３の態様に係るノズルは、第１または２の態様に係るノズルであって、前記筐体または前記ガス溶解液を加熱する加熱手段を備える。
【0015】
この構成によれば、吹き付け対象物（例えば基板）に吹き付けられる直前の液体を加熱することでガス溶解度を意図的に下げ、気泡の発生を促進する。またこの構成によれば、ノズルに供給される直前のガス溶解液は例えば常温であり、濃度管理は容易である。また、ノズルを通過し、昇温後の液体を吹き付け対象物（例えば基板）に吹き付けるために、昇温されたガス溶解液を高い圧力にて保持しておく必要がなくなる。
【0016】
一実施の形態の第４の態様に係るノズルは、第３の態様に係るノズルであって、前記加熱手段は、前記筐体に設けられた電熱部材である。
【0017】
この構成によれば、電熱部材によって筐体もしくはノズルを通過する液体を加熱することができる。
【0018】
一実施の形態の第５の態様に係るノズルは、第３の態様に係るノズルであって、前記加熱手段は、赤外線を前記筐体に照射する赤外線照射器である。
【0019】
この構成によれば、赤外線によって筐体が加熱されることによって、ノズルを通過する液体を加熱することができる。
【0020】
一実施の形態の第６の態様に係るノズルは、第３の態様に係るノズルであって、前記加熱手段は、前記筐体の内部を流通する所定の温度以上の媒体である。
【0021】
この構成によれば、所定の温度以上の媒体が筐体の内部を通ることによって、筐体が加熱されることによって、ノズルを通過する液体を加熱することができる。
【0022】
一実施の形態の第７の態様に係るノズルは、第３の態様に係るノズルであって、前記加熱手段は、前記筐体の表面を流通する所定温度以上の媒体である。
【0023】
この構成によれば、筐体の表面を加熱することができ、ノズルを通過する液体を加熱することができる。
【0024】
一実施の形態の第８の態様に係るノズルは、第１から７のいずれかの態様に係るノズルであって、前記スリットは、前記筐体の長手方向に沿って設けられている。
【0025】
この構成によれば、一列に均一に、微小気泡を含む液体を吹き付け対象物（例えば基板）へ吹きかけることができる。
【0026】
一実施の形態の第９の態様に係るノズルは、ガス溶解液が供給されるヘッダ管と、前記ヘッダ管から供給されたガス溶解液から、微小気泡を含む液体を生成して吐出する複数の微小気泡発生ノズルと、スリットが設けられており、前記微小気泡発生ノズルから吐出された液体がスリットから排出される整流手段と、を備える。
【0027】
この構成によれば、微小気泡を含む液体を整流して均一に排出するので、微小気泡を含む液体を吹き付け対象物（例えば基板）へ吹きかける場合の均一性を向上させることができる。
【0028】
一実施の形態の第１０の態様に係る基板洗浄装置は、第１から９のいずれかの態様に係るノズルを備える。
【0029】
この構成によれば、板材を通ることによって気液分離した液とガス気泡が板材それぞれを通過する過程で、その気泡サイズが微小化され、板材によって区画された空間のうち最も下の空間に到達する際には、微小気泡を含む液体が生成される。この微小気泡を含む液体がスリットを介して吐き出される。よって、微小気泡を含む液体を基板へ吹きかける場合の均一性を向上させることができる。
【0030】
本技術の実施形態の理解を促進するために、まず比較例について説明する。
＜第１の比較例＞
図１４は、第１の比較例に係るノズルの概略斜視図と基板上への吹き付けパターンを示す図である。図１４の上側の図が、第１の比較例に係るノズルの概略斜視図であり、図１４の下側の図が、基板上への吹き付けパターンを示す図である。図１４に示すように第１の比較例に係るノズル１００は、円筒形状の複数のマイクロバブル発生ノズル１０２をヘッダ管１０１に配列させたものである。マイクロバブル発生ノズル１０２は、マイクロバブルを発生させるノズルであり、吹き出し領域Ｓ１１で示すように、マイクロバブルを含む液を吹き出す。
＜第１の比較例＞
図１４は、第１の比較例に係るノズルの概略斜視図と基板上への吹き付けパターンを示す図である。図１４の上側の図が、第１の比較例に係るノズルの概略斜視図であり、図１４の下側の図が、基板上への吹き付けパターンを示す図である。図１４に示すように第１の比較例に係るノズル１００は、円筒形状の複数のマイクロバブル発生ノズル１０２をヘッダ管１０１に配列させたものである。マイクロバブル発生ノズル１０２は、マイクロバブルを発生させるノズルであり、吹き出し領域Ｓ１１で示すように、マイクロバブルを含む液を吹き出す。
【0031】
この場合、図１４の下側の基板上への吹き付けパターンＰ２に示すように、基板Ｗ３上に、マイクロバブルを含む液が噴射されない領域が生じてしまう問題がある。また、吹き付けのムラができてしまう問題もある。
【0032】
＜第２の比較例＞
図１５は、第２の比較例に係るノズルの概略斜視図である。図１５に示すように、第２の比較例に係るノズル１１０は、マイクロバブルを発生させるマイクロバブル発生ノズル１１１と、マイクロバブル発生ノズル１１１の一端と連通する液供給口を有するヘッダ管１１２とを備える。ヘッダ管１１２の下面にはスリット（図示せず）が設けられている。これにより、このヘッダ管１１２の下面に設けられたスリットから、吹き出し領域Ｓ１２で示すように、マイクロバブルを含む液が排出される。
図１５は、第２の比較例に係るノズルの概略斜視図である。図１５に示すように、第２の比較例に係るノズル１１０は、マイクロバブルを発生させるマイクロバブル発生ノズル１１１と、マイクロバブル発生ノズル１１１の一端と連通する液供給口を有するヘッダ管１１２とを備える。ヘッダ管１１２の下面にはスリット（図示せず）が設けられている。これにより、このヘッダ管１１２の下面に設けられたスリットから、吹き出し領域Ｓ１２で示すように、マイクロバブルを含む液が排出される。
【0033】
このヘッダ管１１２の下面に設けられたスリットにマイクロバブルを含む液が到達するまでの間に、マイクロバブルの一部が消滅してしまう。これにより、図１５の領域Ｒ２では領域Ｒ１に比べて、マイクロバブルの密度が低くなり、スリットから吐出される液に含まれるマイクロバブルにムラが生じるという問題がある。
【0034】
＜第３の比較例＞
図１６は、第３の比較例に係るノズルの概略斜視図である。図１６に示すように、第３の比較例に係るノズル１２０は、マイクロバブル発生ノズル１２１と、マイクロバブル発生ノズル１２１を支持するアーム部材１２２と、当該アーム部材１２２が連結されている支柱１２３とを備える。アーム部材１２２は、矢印Ａ４に示すように、揺動可能である。図１６の吹き出し領域Ｓ１３に示すように、マイクロバブル発生ノズル１２１から、マイクロバブルを含む液が吹き出される。基板Ｗ４は、矢印Ａ５の向きに回転する。
図１６は、第３の比較例に係るノズルの概略斜視図である。図１６に示すように、第３の比較例に係るノズル１２０は、マイクロバブル発生ノズル１２１と、マイクロバブル発生ノズル１２１を支持するアーム部材１２２と、当該アーム部材１２２が連結されている支柱１２３とを備える。アーム部材１２２は、矢印Ａ４に示すように、揺動可能である。図１６の吹き出し領域Ｓ１３に示すように、マイクロバブル発生ノズル１２１から、マイクロバブルを含む液が吹き出される。基板Ｗ４は、矢印Ａ５の向きに回転する。
【0035】
ノズル吐出液の吹き付け領域の直径が、基板Ｗ４の半径より小さいため、基板Ｗ４の全域に対して吹き付けを行うためには、アーム部材１２２を揺動させて基板Ｗ４全域に行き渡らせる必要があり、時間がかかるという問題がある。
【0036】
＜第４の比較例＞
図１７は、第４の比較例に係るノズルの概略斜視図である。図１７に示すように、第４の比較例に係るノズル１３０は、四つのマイクロバブル発生ノズル１３１と、当該四つのマイクロバブル発生ノズル１３１が固定されたアーム部材１３２と、アーム部材１３２の一端が連結された支柱１３３とを備える。基板Ｗ５は矢印Ａ６の方向に直線状に搬送されていく。この基板Ｗ５に対して吹き付けを行う場合には、例えば、アーム部材１３２の長軸方向（Ｘ方向）において、隣り合うマイクロバブル発生ノズル１３１の中間の位置に相当する基板Ｗ５の位置（例えば、破線Ｌ１～Ｌ３の位置）には吹き付けのムラが出来てしまうという問題がある。
図１７は、第４の比較例に係るノズルの概略斜視図である。図１７に示すように、第４の比較例に係るノズル１３０は、四つのマイクロバブル発生ノズル１３１と、当該四つのマイクロバブル発生ノズル１３１が固定されたアーム部材１３２と、アーム部材１３２の一端が連結された支柱１３３とを備える。基板Ｗ５は矢印Ａ６の方向に直線状に搬送されていく。この基板Ｗ５に対して吹き付けを行う場合には、例えば、アーム部材１３２の長軸方向（Ｘ方向）において、隣り合うマイクロバブル発生ノズル１３１の中間の位置に相当する基板Ｗ５の位置（例えば、破線Ｌ１～Ｌ３の位置）には吹き付けのムラが出来てしまうという問題がある。
【0037】
これらの問題に対して、各実施形態では、微小気泡を含む液をカーテン状に吹き付け対象物に均一に吹きかけることを実現する。以降の各実施形態において、吹き付け対象物は一例として基板であるものとして説明する。
【0038】
また以降の各実施形態において、微小気泡とは、数ｍｍまでの径の気泡のことを言い、マイクロバブル、ナノバブルも含まれる。
【0039】
＜第１の実施形態＞
図１Ａは、第１の実施形態に係る基板洗浄装置の概略構成図である。図１Ａに示すように、第１の実施形態に係る基板洗浄装置１０は、気体（例えばオゾン）が溶解したガス溶解液体を生成する生成器８と、微小気泡を発生させるノズル１と、一端が生成器８と連通しており且つ他端がノズル１と連通している配管４と、基板（図示せず）を下から支持する支持部材９とを備える。生成器８で生成されたガス溶解液は、配管４を通って、ノズル１に供給され、ノズル１から微小気泡を含む液体が排出される。これにより、支持部材９に支持された基板に、微小気泡を含む液体が吹き付けられる。配管４上、もしくは配管４に接続される生成器８の内部の配管には液体の流れを制御するエア駆動弁が取り付けられているが、説明を簡単にするため図示しない。
図１Ａは、第１の実施形態に係る基板洗浄装置の概略構成図である。図１Ａに示すように、第１の実施形態に係る基板洗浄装置１０は、気体（例えばオゾン）が溶解したガス溶解液体を生成する生成器８と、微小気泡を発生させるノズル１と、一端が生成器８と連通しており且つ他端がノズル１と連通している配管４と、基板（図示せず）を下から支持する支持部材９とを備える。生成器８で生成されたガス溶解液は、配管４を通って、ノズル１に供給され、ノズル１から微小気泡を含む液体が排出される。これにより、支持部材９に支持された基板に、微小気泡を含む液体が吹き付けられる。配管４上、もしくは配管４に接続される生成器８の内部の配管には液体の流れを制御するエア駆動弁が取り付けられているが、説明を簡単にするため図示しない。
【0040】
図１Ｂは、第１の実施形態に係るノズルの概略斜視図である。図１Ｂに示すように、第１の実施形態に係るノズル１は、一例として、端面１１において、配管４と連結されており、アーム部材２と連結している。アーム部材２は、支柱３に連結しており、ノズル１はアーム部材２を介して支柱３に固定されている。
【0041】
【0042】
図２Ｂは、図２Ａの矢印Ａ１の矢視図である。図２Ｂに示すように、下面１４には、スリット１６が設けられており、スリット１６から微小気泡を含む液体が排出される。すなわちスリットは、微小気泡を含む液体が排出される開口である。スリット１６は例えば、筐体１７の長手方向に沿って設けられている。
【0043】
図２Ｃは、図２Ａの縦断面Ｂの断面図である。図２Ｃに示すように、ノズル１は、中空の筐体１７と、筐体１７内に設けられ中空を二つの空間ＳＰ１、ＳＰ２に区画する板材２１、筐体１７内に設けられ中空を二つの空間ＳＰ２、ＳＰ３に区画する板材２２、筐体１７内に設けられ中空を二つの空間ＳＰ３、ＳＰ４に区画する板材２３を備える。板材２１～２３は、いずれも複数の貫通孔が設けられている。筐体１７は例えば、支持部材１７５の上に天板部材１７１が固定されることによって形成されている。この固定は、ボルトを介して連結、もしくは支持部材１７５を設置した後に支持部材１７５に対して天板部材１７１を接着、溶接などすることによって実現される。
【0044】
本実施形態で微小気泡が発生する原理の概要は、気体が十分に溶解している高い圧力の気体溶解液の圧力を、一気に解放することによって溶解しているガスが微小気泡として出てくるというものである。すなわち、溶解ガスを一定圧力下で過飽和させた液体を大気開放させたときに、過飽和分のガス成分が液体中から微小気泡となって発生するというものである。ノズル１内に設置されている板材２１（オリフィス部ともいう）を気体溶解液が通過することでこの現象が生じる。オリフィス部の次段に設置されている板材２２、２３（メッシュ板ともいう）の役目は、析出された微小気泡がメッシュ板に衝突することにより微細化することである。
【0045】
ここで、それぞれの空間ＳＰ１～ＳＰ４の持つ役割（特徴）について説明する。空間ＳＰ１は、ガス溶解液が流入する空間であり、最も圧力が高い。空間ＳＰ２において、板材２１に設けられた複数の貫通孔を通ることによって、一気に圧力解放され微小気泡が発生する。空間ＳＰ３において、微小気泡がさらに微細化される。空間ＳＰ４に到達した微小気泡を含む液体は整流されてスリット１６から主に圧力により噴射される。板材２１～２３に設けられた貫通孔（スリット）を通ると圧力が下がるので、空間ＳＰ２、ＳＰ３、ＳＰ４と進む毎に、段階的に圧力が下がる。
【0046】
空間ＳＰ１～ＳＰ４の高さ寸法（図２ＣのＹ方向の長さ）は０．５ｍｍ～２０ｍｍが望ましい。
図２Ｃのように、ノズル内に段差がある場合、例えば、空間ＳＰ１～ＳＰ４のうちの一つの空間の断面積（例えば、ＸＺ面の断面積すなわち横断面の面積）を基準として、下に隣接する空間の断面積（例えば、ＸＺ面の断面積すなわち横断面の面積）が０．１～１．０の面積比を持つ相似形の形状であることが好ましい。
スリットの幅（図２ＣのＸ方向の長さ）は０．０１ｍｍ～２ｍｍが望ましい。
図２Ｃのように、ノズル内に段差がある場合、例えば、空間ＳＰ１～ＳＰ４のうちの一つの空間の断面積（例えば、ＸＺ面の断面積すなわち横断面の面積）を基準として、下に隣接する空間の断面積（例えば、ＸＺ面の断面積すなわち横断面の面積）が０．１～１．０の面積比を持つ相似形の形状であることが好ましい。
スリットの幅（図２ＣのＸ方向の長さ）は０．０１ｍｍ～２ｍｍが望ましい。
【0047】
筐体１７の内側面には段差１７２が設けられている。この段差１７２の上に板材２１が配置されている。ノズル１は、筐体１７の天板部材１７１と板材２１との間に設けられたスペーサ１８１、１９１を備える。天板部材１７１が支持部材１７５に固定されることにより、天板部材１７１によりスペーサ１８１、１９１が板材２１を支持部材１７５の段差１７２に押し当てて板材２１を筐体１７の内側に固定している。
【0048】
更に筐体１７の内側面には段差１７３が設けられている。この段差１７３の上に板材２２が配置されている。ノズル１は、板材２１と板材２２の間に設けられたスペーサ１８２、１９２を備える。板材２１により、スペーサ１８２、１９２が板材２２を支持部材１７５の段差１７３に押し当てて板材２２を固定をしている。
【0049】
更に筐体１７の内側面には段差１７４が設けられている。この段差１７４の上にスペーサ１８４、１９４が設けられている。そして、このスペーサ１８４、１９４の上に板材２３が設けられている。ノズル１は、板材２２と板材２３の間に設けられたスペーサ１８３、１９３を備える。板材２２により、スペーサ１８３、１９３が板材２３を押し当て更にこの板材２３がスペーサ１８４、１９４を支持部材１７５の段差１７４に押し当てることによって、板材２３を筐体１７の内側に固定している。すなわち、スペーサ１８４とスペーサ１９４は板材２３に押されており、板材２３はスペーサ１８３とスペーサ１９３に押されており、スペーサ１８３とスペーサ１９３は板材２２に押されており、板材２２はスペーサ１８２とスペーサ１９２に押されており、スペーサ１８２とスペーサ１９２は板材２１に押されており、板材２１はスペーサ１８１とスペーサ１９１に押されており、スペーサ１８１とスペーサ１９１は天板部材１７１に押されている。このように、板材２１～２３それぞれはスペーサ１８１～１８４、１９１～１９４により抑え付けられており、その位置がずれることがないようにされている。
【0050】
ここで、スペーサ１８１、１９１は別体であっても、一体物であってもよい。同様にスペーサ１８２、１９２は別体であっても、一体物であってもよい。同様にスペーサ１８３、１９３は別体であっても、一体物であってもよい。同様にスペーサ１８４、１９４は別体であっても、一体物であってもよい。別体の場合は棒状で、一体物の場合には四角の枠状であってもよい。一体物の方が、別体よりもノズルの組み立てが容易であるので、より好ましい。
【0051】
図２Ｃに示すように、流入口１５は、板材２１によって区画された空間ＳＰ１、ＳＰ２のうち上の空間ＳＰ１に連通する。なお、この流入口１５は、上面１２に設けられていてもよいし、端面１１に対応する端面１３に設けられていてもよい。すなわち、筐体１７の上面または側面には、ガス溶解液が流入し且つ板材２１～２３によって区画された空間ＳＰ１～ＳＰ４のうち最も上の空間ＳＰ１に連通する流入口が設けられている。上面１２からガス溶解液を供給する場合には、供給口は１つではなく、供給口の位置が等配置になるような複数でもよい。また端面１１、端面１３から同時に供給をしてもよい。
【0052】
供給される際のガス溶解液の圧力は０～１．０ＭＰａが好ましい。ガス溶解液はまず空間ＳＰ１に導入される。
なお、ノズル１の縦断面が図２Ｃのように台形である必要はなく、ノズル１内部構造はそのままに、ノズル１の筐体１７の縦断面だけ長方形でもあってもよい。内部に板材を収納できる形状であれば、縦断面形状は問わない。
図２Ｄは、第１の実施形態の第１の変形例に係る縦断面図である。図２Ｄに示すように、第１の実施形態の第１の変形例に係るノズル１ａ１は、図２Ｃのノズル１と同様に、支持部材１７５ａの縦断面が階段状に下面にいくに従って（すなわち－Ｙ方向に）先細りする点を共通しているが、筐体１７ａの縦断面を長方形に変更したものである。
なお、ノズル１の縦断面が図２Ｃのように台形である必要はなく、ノズル１内部構造はそのままに、ノズル１の筐体１７の縦断面だけ長方形でもあってもよい。内部に板材を収納できる形状であれば、縦断面形状は問わない。
図２Ｄは、第１の実施形態の第１の変形例に係る縦断面図である。図２Ｄに示すように、第１の実施形態の第１の変形例に係るノズル１ａ１は、図２Ｃのノズル１と同様に、支持部材１７５ａの縦断面が階段状に下面にいくに従って（すなわち－Ｙ方向に）先細りする点を共通しているが、筐体１７ａの縦断面を長方形に変更したものである。
【0053】
図２Ｄに示すように、ノズル１ａ１の支持部材１７５ａの内側の底面１７６にはスペーサが設けられていない点が、図２Ｃのノズル１とは異なっている。支持部材１７５ａの具体的な構造は以下の通りである。筐体１７ａの支持部材１７５ａの内側の段差１７４ａに板材２３ａが設置されている。板材２３ａの上にスペーサ１８３ａ、１９３ａが設けられている。スペーサ１８３ａ、１９３ａの上端の高さと段差１７３ａの高さが同じであり、このスペーサ１８３ａ、１９３ａと段差１７３ａの上に板材２２ａが設けられている。この板材２２ａの上にスペーサ１８２ａ、１９２ａが設けられている。同様に、スペーサ１８２ａ、１９２ａの上端の高さと段差１７２ａの高さが同じであり、このスペーサ１８２ａ、１９２ａと段差１７２ａの上に板材２１ａが設けられている。この板材２１ａの上にスペーサ１８１ａ、１９１ａが設けられている。スペーサ１８１ａ、１９１ａの上端の高さと支持部材１７５ａの上端の高さが同じであり、このスペーサ１８１ａ、１９１ａと支持部材１７５ａの上に天板部材１７１ａが設けられている。また支持部材１７５ａの底面にはスリット１６ａが設けられている。
【0054】
ここで、スペーサ１８１ａ、１９１ａは別体であっても、一体物であってもよい。同様にスペーサ１８２ａ、１９２ａは別体であっても、一体物であってもよい。同様にスペーサ１８３ａ、１９３ａは別体であっても、一体物であってもよい。同様にスペーサ１８４ａ、１９４ａは別体であっても、一体物であってもよい。別体の場合は棒状で、一体物の場合には四角の枠状であってもよい。一体物の方が、別体よりもノズルの組み立てが容易であるので、より好ましい。
【0055】
なお、図２Ｃにおいて、ノズル１の支持部材１７５の縦断面は下面にいくに従って（すなわち－Ｙ方向に）先細り（支持部材１７５の縦断面が階段構造）となっているが、支持部材１７５のＸ方向の幅は、Ｙ方向に略一定であってもよい。但し、図２Ｃのようにノズルの縦断面形状が下面にいくに従って先細りの方が、板材２１、２２、２３を段に乗せることで、固定が容易になるため、より好ましい。スペーサの高さを正確にすれば、図２Ｅに示すように、階段構造はなくしてもよい。
【0056】
図２Ｅは、第１の実施形態の第２の変形例に係る縦断面図である。図２Ｅに示すように、ノズル１ａ２は、筐体１７ｂの支持部材１７５ｂの内側の底面にスペーサ１８４ｂ、１９４ｂが設けられており、このスペーサ１８４ｂ、１９４ｂの上に板材２３ｂが設けられている。更に板材２３ｂの上に、スペーサ１８３ｂ、１９３ｂが設けられており、このスペーサ１８３ｂ、１９３ｂの上に板材２２ｂが設けられている。更に板材２２ｂの上に、スペーサ１８２ｂ、１９２ｂが設けられており、このスペーサ１８２ｂ、１９２ｂの上に板材２１ｂが設けられている。更に板材２１ｂの上に、スペーサ１８１ｂ、１９１ｂが設けられており、このスペーサ１８１ｂ、１９１ｂの上に天板部材１７１ｂが設けられている。また支持部材１７５ｂの底面にはスリット１６ｂが設けられている。
【0057】
ここで、スペーサ１８１ｂ、１９１ｂは別体であっても、一体物であってもよい。同様にスペーサ１８２ｂ、１９２ｂは別体であっても、一体物であってもよい。同様にスペーサ１８３ｂ、１９３ｂは別体であっても、一体物であってもよい。同様にスペーサ１８４ｂ、１９４ｂは別体であっても、一体物であってもよい。別体の場合は棒状で、一体物の場合には四角の枠状であってもよい。一体物の方が、別体よりもノズルの組み立てが容易であるので、より好ましい。
【0058】
図２Ｆは、スペーサ１８４ｂ、１９４ｂが別体の場合において、第１の実施形態の第２の変形例に係るノズル１ａ２の一部の組み立て工程を示す模式図である。図２Ｆに示すように、支持部材１７５ｂの内側の底面に、棒状のスペーサ１８４ｂ、１９４ｂを配置し、その後に、スペーサ１８４ｂ、１９４ｂの上に板材２３ｂを配置する。
【0059】
図２Ｇは、スペーサ１８４ｂ、１９４ｂが一体物の場合において、第１の実施形態の第２の変形例に係るノズル１ａ２の一部の組み立て工程を示す模式図である。図２Ｇに示すように、スペーサ１８４ｂ、１９４ｂは、四角枠の形状を有するスペーサの側面部分を構成する。図２Ｇに示すように、支持部材１７５ｂの内側の底面に、スペーサ１８４ｂ、１９４ｂを有する四角枠のスペーサを配置し、その後に、このスペーサの上に板材２３ｂを配置する。
【0060】
図３Ａは、板材２１の平面図の一例である。図３Ｂは、板材２２の平面図の一例である。図３Ｃは、板材２３の平面図の一例である。図３Ａに示すように、板材２１には一例として、複数の微小径の貫通孔Ｈ１（例えば、最大で直径２．０ｍｍ程度）が設けられている。図３Ａでは、一例としてこれらの貫通孔Ｈ１が等間隔で設けられている。ここでは一例として、貫通孔Ｈ２と貫通孔Ｈ３の数は略同じで、貫通孔Ｈ２と貫通孔Ｈ３の大きさは略同一である。貫通孔の軸の角度と板材２１、２２、２３の平面がなす角度は直角でも良いし、直角以外の一定の角度を有してもよい。
【0061】
ガス溶解液は板材２１に加工されている貫通孔Ｈ１を通過して空間ＳＰ２に移動する。ガス溶解液が空間ＳＰ２に移動することで供給時のガス溶解液の圧力が解放され、溶解していたガスが発生する。これにより、空間ＳＰ２において、ガス溶解液は、気液分離される。空間ＳＰ２における液体及びガス（気泡）は、板材２２を通過して空間ＳＰ３に移動する。板材２２には複数の微小径の貫通孔Ｈ２（例えば最大で直径２．０ｍｍ程度）が設けられている。このため、気泡がこの板材２２を通過する過程で、その気泡サイズが微小化する。
【0062】
同様に、空間ＳＰ３に到達した液体及びガス（気泡）は、板材２３を通過して空間ＳＰ４に移動する。板材２３には複数の微小径の貫通孔Ｈ３（例えば最大で直径２．０ｍｍ程度）が設けられている。このため、気泡がこの板材２３を通過する過程で、その気泡サイズが微小化する。
【0063】
その結果、空間ＳＰ２で気液分離した液とガス気泡が板材２２、２３それぞれを通過する過程で、その気泡サイズが微小化され空間ＳＰ４に到達する際には、微小気泡（例えば、ナノ～マイクロサイズに微小化したバブル）を含む液が生成される。筐体１７の下面には、板材２１～２３によって区画された空間ＳＰ１～ＳＰ４のうち最も下の空間ＳＰ４に連通するスリット１６が設けられている。スリット１６は、所望のスリットを刃物、ワイヤなどで加工されることによって形成されてもよい。なお、本実施形態では、スリット１６は、筐体１７の外側の下面に対して直角に設けたが、これに限らず、筐体１７の外側の下面に対して直角以外の一定の角度を有してもよく、すなわち筐体１７の外側の下面に対して斜めにスリット１６が設けられていてもよい。
【0064】
図３Ｄは、スリット１６の実現方法の別の例を説明するための図である。図３Ｄは、支持部材１７５の下面側の一例を示す斜視図である。図３Ｄに示すように、スリット１６の形状に切り欠きを設けた第１の部分１７３と第２の部分１７４とを予め用意し、第１の部分１７３と第２の部分１７４とを接着、溶接、ボルト類で締結することによって、支持部材１７５を形成してもよい。これにより、所望のスリット幅を実現することができる。
【0065】
図４Ａは、第１の実施形態に係るノズルから液体が吐出される様子を示す模式図である。図４Ｂは、基板に吐出された液体のパターンである。空間ＳＰ４に到達した微小気泡を含む液体はスリット１６を通過し、図４Ａの液Ｓ１に示すように、一列の帯状に吐出される。これにより、図４ＢのパターンＰ１に示すように、基板Ｗに一列に均一に、微小気泡を含む液体が吹きかけられる。
【0066】
この構成によって、微小気泡を含む液体を、吹き付け対象物の一例である基板上にムラを作ることなく、一列に均一に吹き付けることが可能になる。また、微小気泡を含む液体を、ノズル内で一列に均一に生成させることが可能となるので、微小気泡の数量分布が、一列内の位置に依存することも解消される。
【0067】
図５は、第１の実施形態に係るノズルから基板に微小気泡を含む液体を吐き出される様子を示す模式図である。図５に示すように、矢印Ａ２の方向に回転する基板Ｗ１に対して、吐き出された液体Ｓ２が示すように、ノズル１から一列に微小気泡を含む液体が吐き出される。ノズル１から吐き出される一列の範囲は、基板Ｗ１の中心から基板Ｗ１の外縁までを含む範囲である。これにより、基板Ｗ１が回転することによって、基板Ｗ１の全面に均一に微小気泡を含む液体を吹きかけることができる。このように、ノズル１を取り付けたアーム部材２を揺動させることなく、基板Ｗ１全体に均一に、微小気泡を含む液体を吹き付けることができる。なお、ノズル１から吐き出される一列の範囲は、上記に限らず、基板Ｗ１の中心から基板Ｗ１の外縁を超える位置までを含む範囲であってもよい。
【0068】
図６は、第１の実施形態に係るノズルから基板に微小気泡を含む液体を吐き出される様子を示す模式図である。図６に示すように、矢印Ａ３の方向に直線状に基板Ｗ２が移動するのに対して、吐き出された液体Ｓ３が示すように、ノズル１から一列に微小気泡を含む液体が吐き出される。ノズル１から吐き出される一列の範囲は、基板Ｗ２の移動方向に対して略垂直な方向における基板Ｗ２の幅を含む範囲である。これにより、基板全体に均一に、微小気泡を含む液体を吹き付けることができる。
【0069】
なお、生成される微小気泡の分布と気泡の径を所望のものにするために、板材２１～２３に設ける穴形状（丸、長穴、四角、三角）、およびそのサイズ、加工の配列は適宜変更してもよい。さらには、板材２１～２３の配置数量及び／または空間ＳＰ１～ＳＰ４の数を増減してもよい。
【0070】
＜変形例１＞
図７Ａは、変形例１に係る板材２１ｂの平面図である。図７Ｂは、変形例１に係る板材２２ｂの平面図である。図７Ｃは、変形例１に係る板材２３ｂの平面図である。
なお、図７Ａに示すように、変形例１に係る板材２１ｂは、貫通孔Ｈ１ｂ（例えば、幅２．０ｍｍ程度までのスリット）が一定間隔で設けられていてもよい。図７Ｂに示すように、変形例１に係る板材２２ｂは、板材２１ｂの貫通孔Ｈ１ｂより小さい貫通孔が複数設けられていてもよい。また、図７Ｂに示すように、変形例１に係る板材２２ｂの貫通孔Ｈ２ｂの数は、板材２１ｂの貫通孔Ｈ１ｂの数より多い。図７Ｃに示すように、変形例１に係る板材２３ｂは、板材２１ｂのスリットより小さいスリットが複数設けられていてもよい。また、図７Ｃに示すように、変形例１に係る板材２３ｂの貫通孔Ｈ３ｂの数は、板材２１ｂの貫通孔Ｈ１ｂの数より多い。ここでは一例として、貫通孔Ｈ２ｂと貫通孔Ｈ３ｂの数は略同じで、貫通孔Ｈ２ｂと貫通孔Ｈ３ｂの大きさは略同一である。
図７Ａは、変形例１に係る板材２１ｂの平面図である。図７Ｂは、変形例１に係る板材２２ｂの平面図である。図７Ｃは、変形例１に係る板材２３ｂの平面図である。
なお、図７Ａに示すように、変形例１に係る板材２１ｂは、貫通孔Ｈ１ｂ（例えば、幅２．０ｍｍ程度までのスリット）が一定間隔で設けられていてもよい。図７Ｂに示すように、変形例１に係る板材２２ｂは、板材２１ｂの貫通孔Ｈ１ｂより小さい貫通孔が複数設けられていてもよい。また、図７Ｂに示すように、変形例１に係る板材２２ｂの貫通孔Ｈ２ｂの数は、板材２１ｂの貫通孔Ｈ１ｂの数より多い。図７Ｃに示すように、変形例１に係る板材２３ｂは、板材２１ｂのスリットより小さいスリットが複数設けられていてもよい。また、図７Ｃに示すように、変形例１に係る板材２３ｂの貫通孔Ｈ３ｂの数は、板材２１ｂの貫通孔Ｈ１ｂの数より多い。ここでは一例として、貫通孔Ｈ２ｂと貫通孔Ｈ３ｂの数は略同じで、貫通孔Ｈ２ｂと貫通孔Ｈ３ｂの大きさは略同一である。
【0071】
＜変形例２＞
図８Ａに示すように、変形例２に係る板材２１ｃは、スリット（例えば、幅２．０ｍｍ程度までのスリット）が連続で設けられていてもよい。図８Ｂに示すように、変形例２に係る板材２２ｃは、板材２１ｃの貫通孔Ｈ１ｃより小さい貫通孔Ｈ２ｃが複数設けられていてもよい。また、図８Ｂに示すように、変形例２に係る板材２２ｃの貫通孔Ｈ２ｃの数は、板材２１ｃの貫通孔Ｈ１ｃの数より多い。図８Ｃに示すように、変形例２に係る板材２３ｃは、板材２１ｃの貫通孔より小さい貫通孔が複数設けられていてもよい。また、図８Ｃに示すように、変形例２に係る板材２３ｃの貫通孔Ｈ３ｃの数は、板材２１ｃの貫通孔Ｈ１ｃの数より多い。ここでは一例として、貫通孔Ｈ２ｃと貫通孔Ｈ３ｃの数は略同じで、貫通孔Ｈ２ｃと貫通孔Ｈ３ｃの大きさは略同一である。
図８Ａに示すように、変形例２に係る板材２１ｃは、スリット（例えば、幅２．０ｍｍ程度までのスリット）が連続で設けられていてもよい。図８Ｂに示すように、変形例２に係る板材２２ｃは、板材２１ｃの貫通孔Ｈ１ｃより小さい貫通孔Ｈ２ｃが複数設けられていてもよい。また、図８Ｂに示すように、変形例２に係る板材２２ｃの貫通孔Ｈ２ｃの数は、板材２１ｃの貫通孔Ｈ１ｃの数より多い。図８Ｃに示すように、変形例２に係る板材２３ｃは、板材２１ｃの貫通孔より小さい貫通孔が複数設けられていてもよい。また、図８Ｃに示すように、変形例２に係る板材２３ｃの貫通孔Ｈ３ｃの数は、板材２１ｃの貫通孔Ｈ１ｃの数より多い。ここでは一例として、貫通孔Ｈ２ｃと貫通孔Ｈ３ｃの数は略同じで、貫通孔Ｈ２ｃと貫通孔Ｈ３ｃの大きさは略同一である。
【0072】
このように、複数の板材のうち第１の板材（例えば板材２１）より下方に設けられた第２の板材（例えば板材２２）において、貫通孔の数が第１の板材（例えば板材２１）の貫通孔より多いか、及び／または、貫通孔の大きさが第１の板材（例えば板材２１）の貫通孔（例えば板材２２）の大きさ以下である。この構成によれば、気泡サイズを微小化することができる。
【0073】
以上、第１の実施形態に係るノズルは、微小気泡を発生させるノズル１であって、中空の筐体１７と、筐体１７内に設けられ、当該筐体内を複数の空間に区画する複数の板材２１～２３と、を備える。筐体１７の上面または側面には、ガス溶解液が流入し且つ板材２１～２３によって区画された空間のうち最も上の空間ＳＰ１に連通する流入口が設けられており、板材２１～２３それぞれには、複数の貫通孔が設けられており、筐体１７の下面には、板材２１～２３によって区画された空間のうち最も下の空間ＳＰ４に連通するスリット１６が設けられている。
【0074】
この構成により、板材２１を通ることによって気液分離した液とガス気泡が板材２２または２３それぞれを通過する過程で、その気泡サイズが微小化され、板材によって区画された空間のうち最も下の空間ＳＰ４に到達する際には、微小気泡を含む液体が生成される。この微小気泡を含む液体がスリット１６を介して吐き出される。よって、微小気泡を含む液体を基板へ吹きかける場合の均一性を向上させることができる。
なお、本実施形態において、複数の板材２１～２３は筐体の下面に略平行に設けられたが、これに限らず、筐体の下面に対して平行ではない角度が設けられていてもよい。また、本実施形態において、複数の板材２１～２３同士は、略平行に設けられたが、これに限らず、平行ではない角度が設けられていてもよい。
なお、本実施形態において、複数の板材２１～２３は筐体の下面に略平行に設けられたが、これに限らず、筐体の下面に対して平行ではない角度が設けられていてもよい。また、本実施形態において、複数の板材２１～２３同士は、略平行に設けられたが、これに限らず、平行ではない角度が設けられていてもよい。
【0075】
続いて第２～第５の実施形態について説明する。第２～第５の実施形態において、第１の実施形態に比べて、ノズルが、筐体１７またはガス溶解液を加熱する加熱手段を備える点が異なっている。これにより、基板に吹き付けられる直前の液体を加熱することでガス溶解度を意図的に下げ、気泡の発生を促進する。またこの構成によれば、ノズルに供給される直前のガス溶解液（例えば、オゾン水）は例えば常温であり、濃度管理は容易である。また、ノズルを通過し、昇温後の液体を基板に吹き付けるために、昇温されたガス溶解液を高い圧力にて保持しておく必要がなくなる。
【0076】
第２～第５の実施形態において、加熱手段の態様が互いに異なっている。その詳細について以下説明する。
【0077】
＜第２の実施形態＞
まず、第２の実施形態について説明する。図９Ａは、第２の実施形態に係るノズルの概略斜視図である。図９Ｂは、図９Ａの縦断面Ｃの断面図である。図９Ａの第２の実施形態に係るノズル１ｂは、図２Ａの第１の実施形態に係るノズル１に比べて、電熱部材４１に電気を供給するための配線５が追加されたものになっている。図２Ａ及び図２Ｂと同様の構成についても同一の符号を付し、その説明を省略する。
まず、第２の実施形態について説明する。図９Ａは、第２の実施形態に係るノズルの概略斜視図である。図９Ｂは、図９Ａの縦断面Ｃの断面図である。図９Ａの第２の実施形態に係るノズル１ｂは、図２Ａの第１の実施形態に係るノズル１に比べて、電熱部材４１に電気を供給するための配線５が追加されたものになっている。図２Ａ及び図２Ｂと同様の構成についても同一の符号を付し、その説明を省略する。
【0078】
第２の実施形態において、図９Ｂに示すように、加熱手段は、筐体１７ｂに設けられた電熱部材（例えば電熱線）４１であり、ここでは一例として筐体１７ｂの内部に設けられている。電熱部材４１は、配線５と接続されており、配線５によって供給された電流によって加熱する。電熱部材４１によって筐体１７が加熱されることによって、ノズル１ｂを通過する液体を加熱することができる。
【0079】
なお、電熱部材４１は、筐体１７の表面に設けられていてもよいし、筐体１７の内表面に設けられて、ガス溶解液を直接加熱してもよい。
【0080】
＜第３の実施形態＞
続いて第３の実施形態について説明する。図１０は、第３の実施形態に係るノズルの概略斜視図である。図１０の第３の実施形態に係るノズル１ｃは、図２Ａの第１の実施形態に係るノズル１に比べて、赤外線照射器５１及び赤外線照射器５１を支柱３に固定するアーム部材５２が追加されたものになっている。図２Ａと同様の構成についても同一の符号を付し、その説明を省略する。第３の実施形態において、図１０に示すように、加熱手段は、筐体１７に対向する面から赤外線を照射することによって、赤外線を筐体１７に照射する赤外線照射器５１である。これにより、赤外線によって筐体１７が加熱されることによって、ノズル１ｃを通過する液体を加熱することができる。図１０内では赤外線照射器は１つを図示しているが、筐体１７のノズルを挟んで対面側にもう一つを設置し、ノズルの両面から加熱をしてもよい。さらには、液供給を側面１１、１２から行う場合には筐体１７の上方に赤外線照射器を設置して、３方向からの加熱をしてもよい。
続いて第３の実施形態について説明する。図１０は、第３の実施形態に係るノズルの概略斜視図である。図１０の第３の実施形態に係るノズル１ｃは、図２Ａの第１の実施形態に係るノズル１に比べて、赤外線照射器５１及び赤外線照射器５１を支柱３に固定するアーム部材５２が追加されたものになっている。図２Ａと同様の構成についても同一の符号を付し、その説明を省略する。第３の実施形態において、図１０に示すように、加熱手段は、筐体１７に対向する面から赤外線を照射することによって、赤外線を筐体１７に照射する赤外線照射器５１である。これにより、赤外線によって筐体１７が加熱されることによって、ノズル１ｃを通過する液体を加熱することができる。図１０内では赤外線照射器は１つを図示しているが、筐体１７のノズルを挟んで対面側にもう一つを設置し、ノズルの両面から加熱をしてもよい。さらには、液供給を側面１１、１２から行う場合には筐体１７の上方に赤外線照射器を設置して、３方向からの加熱をしてもよい。
【0081】
＜第４の実施形態＞
続いて第４の実施形態について説明する。図１１Ａは、第４の実施形態に係るノズルの概略斜視図である。図１１Ｂは、図１１Ａの縦断面Ｄの断面図である。図１１Ａの第４の実施形態に係るノズル１ｄは、図２Ａの第１の実施形態に係るノズル１に比べて、所定の温度以上の媒体をノズル１ｄの内部に流通させるための配管６が追加されたものになっている。図２Ａ及び図２Ｂと同様の構成についても同一の符号を付し、その説明を省略する。
続いて第４の実施形態について説明する。図１１Ａは、第４の実施形態に係るノズルの概略斜視図である。図１１Ｂは、図１１Ａの縦断面Ｄの断面図である。図１１Ａの第４の実施形態に係るノズル１ｄは、図２Ａの第１の実施形態に係るノズル１に比べて、所定の温度以上の媒体をノズル１ｄの内部に流通させるための配管６が追加されたものになっている。図２Ａ及び図２Ｂと同様の構成についても同一の符号を付し、その説明を省略する。
【0082】
第４の実施形態において、加熱手段は、筐体１７ｄの内部に流通する所定の温度以上の媒体（例えば、液体または気体）である。図１１Ｂに示すように、筐体１７ｄの内部に空洞６１が設けられており、所定の温度以上の媒体がこの空洞６１を通ることによって、筐体１７ｄが加熱されることによって、ノズル１ｄを通過する液体を加熱することができる。
【0083】
＜第５の実施形態＞
続いて第５の実施形態について説明する。図１２Ａは、第５の実施形態に係るノズルの概略斜視図である。図１２Ｂは、図１２Ａの縦断面Ｅの断面図である。図１２Ａの第５の実施形態に係るノズル１ｅは、図２Ａの第１の実施形態に係るノズル１に比べて、所定の温度以上の媒体をノズル１ｅに供給するための配管７が追加されたものになっている。図２Ａ及び図２Ｂと同様の構成についても同一の符号を付し、その説明を省略する。
続いて第５の実施形態について説明する。図１２Ａは、第５の実施形態に係るノズルの概略斜視図である。図１２Ｂは、図１２Ａの縦断面Ｅの断面図である。図１２Ａの第５の実施形態に係るノズル１ｅは、図２Ａの第１の実施形態に係るノズル１に比べて、所定の温度以上の媒体をノズル１ｅに供給するための配管７が追加されたものになっている。図２Ａ及び図２Ｂと同様の構成についても同一の符号を付し、その説明を省略する。
【0084】
第５の実施形態において、加熱手段は、筐体１７の表面を流通する所定温度以上の媒体（例えば、液体または気体）である。図１２Ｂに示すように、筐体１７は、例えば一部が流路形成部材７１に覆われており、配管７が、この流路形成部材７１と筐体１７の間の空間７２に連通している。これにより、この流路形成部材７１と筐体１７の間の空間７２に所定温度以上の媒体が供給されるので、筐体１７の表面を加熱することができ、ノズル１ｅを通過する液体を加熱することができる。
【0085】
＜第６の実施形態＞
続いて第６の実施形態について説明する。図１３Ａは、第６の実施形態に係るノズルの概略斜視図である。図２Ａの第１の実施形態に係るノズル１に比べて、第６の実施形態に係るノズル１ｆは、ガス溶解液が供給されるヘッダ管８１、ヘッダ管８１に設けられた複数の微小気泡発生ノズル８２、及び整流手段８６を備える。ヘッダ管８１は、図１Ｂの配管４に連通しており、配管４を通って、ヘッダ管８１にガス溶解液が供給される。複数の微小気泡発生ノズル８２は、図１３Ａの吐出領域８４が示すように、ヘッダ管８１から供給されたガス溶解液から、微小気泡を含む液体を生成して吐出する。整流手段８６には、下面にスリット８５が設けられており、微小気泡発生ノズル８２から吐出された液体が、図１３Ａの吐出領域８７が示すように、スリット８５から排出される。ここで整流手段８６は、上面の全体が開口されており、下面にスリットが設けられた構造を有する。すなわち、整流手段８６は、器の形状を有し、下面にスリット８５が設けられている。スリット８５は、整流手段８６の長手方向に沿って設けられている。これにより、吐出する液体を一列に整流することができる。
続いて第６の実施形態について説明する。図１３Ａは、第６の実施形態に係るノズルの概略斜視図である。図２Ａの第１の実施形態に係るノズル１に比べて、第６の実施形態に係るノズル１ｆは、ガス溶解液が供給されるヘッダ管８１、ヘッダ管８１に設けられた複数の微小気泡発生ノズル８２、及び整流手段８６を備える。ヘッダ管８１は、図１Ｂの配管４に連通しており、配管４を通って、ヘッダ管８１にガス溶解液が供給される。複数の微小気泡発生ノズル８２は、図１３Ａの吐出領域８４が示すように、ヘッダ管８１から供給されたガス溶解液から、微小気泡を含む液体を生成して吐出する。整流手段８６には、下面にスリット８５が設けられており、微小気泡発生ノズル８２から吐出された液体が、図１３Ａの吐出領域８７が示すように、スリット８５から排出される。ここで整流手段８６は、上面の全体が開口されており、下面にスリットが設けられた構造を有する。すなわち、整流手段８６は、器の形状を有し、下面にスリット８５が設けられている。スリット８５は、整流手段８６の長手方向に沿って設けられている。これにより、吐出する液体を一列に整流することができる。
【0086】
以上、第６の実施形態に係るノズル１ｆは、ガス溶解液が供給されるヘッダ管８１と、ヘッダ管８１から供給されたガス溶解液から、微小気泡を含む液体を生成して吐出する複数の微小気泡発生ノズル８２と、スリット８５が設けられており、微小気泡発生ノズル８２から吐出された液体がスリット８５から排出される整流手段８６と、を備える。
【0087】
この構成により、微小気泡を含む液体を整流して均一に排出するので、微小気泡を含む液体を基板へ吹きかける場合の均一性を向上させることができる。
【0088】
＜第６の実施形態の変形例＞
図１３Ｂは、第６の実施形態の変形例に係るノズルの概略斜視図である。図１３Ｂに示すように、整流手段８６ｇは、ヘッダ管８１と複数の微小気泡発生ノズル８２を覆う筐体であってもよい。整流手段８６ｇの端面には開口８３が設けられており、この開口８３にヘッダ管８１の端面の流入口が合うようにヘッダ管８１が固定されている。ヘッダ管８１は、図１Ｂの配管４に連通しており、配管４を通って、ヘッダ管８１にガス溶解液が供給される。図１３Ｂの吐出領域８６が示すように、ヘッダ管８１から供給されたガス溶解液から、微小気泡を含む液体を生成して吐出する。整流手段８６ｇには、下面にスリット８
５が設けられており、微小気泡発生ノズル８２から吐出された液体が、図１３Ｂの吐出領域８７が示すように、スリット８５から排出される。
図１３Ｂは、第６の実施形態の変形例に係るノズルの概略斜視図である。図１３Ｂに示すように、整流手段８６ｇは、ヘッダ管８１と複数の微小気泡発生ノズル８２を覆う筐体であってもよい。整流手段８６ｇの端面には開口８３が設けられており、この開口８３にヘッダ管８１の端面の流入口が合うようにヘッダ管８１が固定されている。ヘッダ管８１は、図１Ｂの配管４に連通しており、配管４を通って、ヘッダ管８１にガス溶解液が供給される。図１３Ｂの吐出領域８６が示すように、ヘッダ管８１から供給されたガス溶解液から、微小気泡を含む液体を生成して吐出する。整流手段８６ｇには、下面にスリット８
５が設けられており、微小気泡発生ノズル８２から吐出された液体が、図１３Ｂの吐出領域８７が示すように、スリット８５から排出される。
【0089】
この場合、整流手段８６ｇの上面は開口になっていてもなっていなくてもよい。整流手段８６ｇの上面が閉じられていれば、筐体１７ｇ外に、液体の一部が飛び散ることを防止することができる。さらに整流手段８６ｇの上面が開口でないときは、開口８３に取りつく微小気泡発生ノズル８２の向きが鉛直上方になるようにしてもよい。この場合、微小気泡発生ノズル８２を通過した直後にスリット８５を通過すると、均一なカーテン状に整流しきれない可能性があるので、少し液体がたまるように調整した方がノズルからのふきつけの影響を受けにくいので好ましい。
【0090】
以上、本技術は上記実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。更に、異なる実施形態にわたる構成要素を適宜組み合わせてもよい。
【符号の説明】
【0091】
１、１ａ１、１ａ２、１ｂ、１ｃ、１ｄ、１ｅ、１ｆ ノズル
１０ 基板洗浄装置
１００ ノズル
１０１ ヘッダ管
１０２ マイクロバブル発生ノズル
１１０ ノズル
１１１ マイクロバブル発生ノズル
１１２ ヘッダ管
１２０ ノズル
１２１ マイクロバブル発生ノズル
１２２ アーム部材
１２３ 支柱
１３０ ノズル
１３１ マイクロバブル発生ノズル
１３２ アーム部材
１３３ 支柱
１５ 流入口
１６ スリット
１７、１７ａ、１７ｂ、１７ｄ、１７ｇ 筐体
１７１、１７１ａ、１７１ｂ 天板部材
１７５、１７５ａ、１７５ｂ 支持部材
１８１、１８２、１８３、１８４、１８１ａ、１８２ａ、１８３ａ、１８４ａ、１８１ｂ
、１８２ｂ、１８３ｂ、１８４ｂ スペーサ
１９１、１９２、１９３、１９４、１９１ａ、１９２ａ、１９３ａ、１９４ａ、１９１ｂ
、１９２ｂ、１９３ｂ、１９４ｂ スペーサ
２ アーム部材
２１、２１ａ、２１ｂ、２１ｃ 板材
２２、２２ａ、２２ｂ、２２ｃ 板材
２３、２３ａ、２３ｂ、２３ｃ 板材
３ 支柱
４ 配管
４１ 電熱部材
５ 配線
５１ 赤外線照射器
５２ アーム部材
６ 配管
７ 配管
７１ 流路形成部材
８ 生成器
８１ ヘッダ管
８２ 微小気泡発生ノズル
８３ 開口
８５ スリット
８６ 整流手段
８６ｇ 整流手段
９ 支持部材
１０ 基板洗浄装置
１００ ノズル
１０１ ヘッダ管
１０２ マイクロバブル発生ノズル
１１０ ノズル
１１１ マイクロバブル発生ノズル
１１２ ヘッダ管
１２０ ノズル
１２１ マイクロバブル発生ノズル
１２２ アーム部材
１２３ 支柱
１３０ ノズル
１３１ マイクロバブル発生ノズル
１３２ アーム部材
１３３ 支柱
１５ 流入口
１６ スリット
１７、１７ａ、１７ｂ、１７ｄ、１７ｇ 筐体
１７１、１７１ａ、１７１ｂ 天板部材
１７５、１７５ａ、１７５ｂ 支持部材
１８１、１８２、１８３、１８４、１８１ａ、１８２ａ、１８３ａ、１８４ａ、１８１ｂ
、１８２ｂ、１８３ｂ、１８４ｂ スペーサ
１９１、１９２、１９３、１９４、１９１ａ、１９２ａ、１９３ａ、１９４ａ、１９１ｂ
、１９２ｂ、１９３ｂ、１９４ｂ スペーサ
２ アーム部材
２１、２１ａ、２１ｂ、２１ｃ 板材
２２、２２ａ、２２ｂ、２２ｃ 板材
２３、２３ａ、２３ｂ、２３ｃ 板材
３ 支柱
４ 配管
４１ 電熱部材
５ 配線
５１ 赤外線照射器
５２ アーム部材
６ 配管
７ 配管
７１ 流路形成部材
８ 生成器
８１ ヘッダ管
８２ 微小気泡発生ノズル
８３ 開口
８５ スリット
８６ 整流手段
８６ｇ 整流手段
９ 支持部材
【図1A】
【図1B】
【図2A】
【図2B】
【図2C】
【図2D】
【図2E】
【図2F】
【図2G】
【図3A】
【図3B】
【図3C】
【図3D】
【図4A】
【図4B】
【図5】
【図6】
【図7A】
【図7B】
【図7C】
【図8A】
【図8B】
【図8C】
【図9A】
【図9B】
【図10】
【図11A】
【図11B】
【図12A】
【図12B】
【図13A】
【図13B】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
