特許 7498216 成膜装置及び成膜方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-06-03

(45)【発行日】2024-06-11

(54)【発明の名称】成膜装置及び成膜方法

(51)【国際特許分類】

   C23C 14/24 20060101AFI20240604BHJP

   C23C 14/00 20060101ALI20240604BHJP

   H05B 33/10 20060101ALI20240604BHJP

   H10K 50/10 20230101ALI20240604BHJP

【ＦＩ】

C23C14/24 U

C23C14/24 C

C23C14/00 B

H05B33/10

H05B33/14 A

【請求項の数】 10

(21)【出願番号】P 2022062513

(22)【出願日】2022-04-04

(65)【公開番号】P2023152477

(43)【公開日】2023-10-17

【審査請求日】2023-01-16

(73)【特許権者】

【識別番号】591065413

【氏名又は名称】キヤノントッキ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110003281

【氏名又は名称】弁理士法人大塚国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】菅原 由季

(72)【発明者】

【氏名】小野島 昇

【審査官】▲高▼橋 真由

(56)【参考文献】

【文献】特開２００５－３２５３９１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０２０－１３９２２７（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｃ２３Ｃ １４／２４

Ｃ２３Ｃ １４／００

Ｈ０５Ｂ ３３／１０

Ｈ１０Ｋ ５０／１０

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

基板に蒸着物質を放出する第一の蒸着源と、
前記第一の蒸着源に対して第一の方向に配置され、前記第一の蒸着源からの蒸着物質の放出状態を監視する第一の監視手段と、
前記第一の蒸着源に対して前記第一の方向と交差する第二の方向に配置され、前記基板に蒸着物質を放出する第二の蒸着源と、
前記第二の蒸着源に対して前記第一の方向に配置され、前記第二の蒸着源からの蒸着物質の放出状態を監視する第二の監視手段と、
を備えた成膜装置であって、
前記第一の蒸着源から前記第二の監視手段への前記蒸着物質の飛散を抑制し、かつ、前記第二の蒸着源から前記第一の監視手段への前記蒸着物質の飛散を抑制する防着部材を備え、
前記防着部材は、
前記第一の方向に延設された第一の壁部と、
前記第一の壁部から前記第一の方向と交差する方向に延設された第二の壁部と、を備え、
前記第一の壁部と前記第二の壁部との接続部が、前記第一の方向で、前記第一の蒸着源及び前記第二の蒸着源と、前記第一の監視手段及び前記第二の監視手段と、の間に位置しており、
前記防着部材は、前記第一の壁部から、前記第二の壁部とは反対側で、前記第一の方向と交差する方向に延設された第三の壁部を備え、
前記第一の壁部と前記第三の壁部との接続部が、前記第一の方向で、前記第一の蒸着源及び前記第二の蒸着源と、前記第一の監視手段及び前記第二の監視手段と、の間に位置している、
ことを特徴とする成膜装置。

【請求項2】

請求項１に記載の成膜装置であって、
前記第二の壁部と前記第三の壁部とは、前記第二の方向に連続的に延設されている、
ことを特徴とする成膜装置。

【請求項3】

請求項１に記載の成膜装置であって、
前記第二の壁部と前記第三の壁部とは、延設方向が互いに異なる、
ことを特徴とする成膜装置。

【請求項4】

請求項１に記載の成膜装置であって、
前記防着部材は、前記第一の方向に離間した複数の前記第三の壁部を有する、
ことを特徴とする成膜装置。

【請求項5】

請求項１に記載の成膜装置であって、
前記第一の壁部、前記第二の壁部及び前記第三の壁部は、前記第一の方向で、前記第一の蒸着源及び前記第二の蒸着源と、前記第一の監視手段及び前記第二の監視手段と、の間に位置している、
ことを特徴とする成膜装置。

【請求項6】

基板に蒸着物質を放出する第一の蒸着源と、
前記第一の蒸着源に対して第一の方向に配置され、前記第一の蒸着源からの蒸着物質の放出状態を監視する第一の監視手段と、
前記第一の蒸着源に対して前記第一の方向と交差する第二の方向に配置され、前記基板に蒸着物質を放出する第二の蒸着源と、
前記第二の蒸着源に対して前記第一の方向に配置され、前記第二の蒸着源からの蒸着物質の放出状態を監視する第二の監視手段と、
を備えた成膜装置であって、
前記第一の蒸着源から前記第二の監視手段への前記蒸着物質の飛散を抑制し、かつ、前記第二の蒸着源から前記第一の監視手段への前記蒸着物質の飛散を抑制する防着部材を備え、
前記防着部材は、
前記第一の方向に延設された第一の壁部と、
前記第一の壁部から前記第一の方向と交差する方向に延設された第二の壁部と、を備え、
前記第一の壁部と前記第二の壁部との接続部が、前記第一の方向で、前記第一の蒸着源及び前記第二の蒸着源と、前記第一の監視手段及び前記第二の監視手段と、の間に位置しており、
前記防着部材は、前記第一の方向に離間した複数の前記第二の壁部を有する、
ことを特徴とする成膜装置。

【請求項7】

基板に蒸着物質を放出する第一の蒸着源と、
前記第一の蒸着源に対して第一の方向に配置され、前記第一の蒸着源からの蒸着物質の放出状態を監視する第一の監視手段と、
前記第一の蒸着源に対して前記第一の方向と交差する第二の方向に配置され、前記基板に蒸着物質を放出する第二の蒸着源と、
前記第二の蒸着源に対して前記第一の方向に配置され、前記第二の蒸着源からの蒸着物質の放出状態を監視する第二の監視手段と、
を備えた成膜装置であって、
前記第一の蒸着源から前記第二の監視手段への前記蒸着物質の飛散を抑制し、かつ、前記第二の蒸着源から前記第一の監視手段への前記蒸着物質の飛散を抑制する防着部材を備え、
前記防着部材は、
前記第一の方向に延設された第一の壁部と、
前記第一の壁部から前記第一の方向と交差する方向に延設された第二の壁部と、を備え、
前記第一の壁部と前記第二の壁部との接続部が、前記第一の方向で、前記第一の蒸着源及び前記第二の蒸着源と、前記第一の監視手段及び前記第二の監視手段と、の間に位置しており、
前記防着部材は、
前記第一の方向に延設され、前記第一の壁部と前記第二の方向に離間した第三の壁部と、
前記第三の壁部から、前記第一の壁部とは反対側で、前記第一の方向と交差する方向に延設された第四の壁部と、を備える、
ことを特徴とする成膜装置。

【請求項8】

請求項７に記載の成膜装置であって、
前記防着部材は、前記第二の方向に延設され、前記第一の壁部と前記第三の壁部とを接続する第五の壁部を備える、
ことを特徴とする成膜装置。

【請求項9】

請求項８に記載の成膜装置であって、
前記第一の壁部及び前記第三の壁部は、前記第一の蒸着源及び前記第二の蒸着源の側の第一の端部と、前記第一の監視手段及び前記第二の監視手段の側の第二の端部と、を有し、
前記第五の壁部は、前記第一の端部において前記第一の壁部と前記第三の壁部とを接続する、
ことを特徴とする成膜装置。

【請求項10】

請求項１乃至請求項９のいずれか１項に記載の成膜装置を用いて基板に成膜する工程を備える、
ことを特徴とする成膜方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、成膜装置に関する。

【背景技術】

【0002】

有機ＥＬディスプレイ等の製造においては、マスクを用いて基板上に蒸発源から放出された有機材料や金属材料等の蒸着物質が蒸着される。基板に蒸着された蒸着物質の膜厚管理等を目的として、蒸着源からの蒸着物質の放出状態を監視する監視ユニットを設けた蒸着装置が提案されている（特許文献１及び２）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２０１９－１３７８７７号公報

【文献】特開２０１９－９９８７０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

複数の蒸着源に対応して複数の監視ユニットを設けた場合、ある監視ユニットにその監視ユニットに対応しない蒸着源から蒸着物質が到達する場合がある（クロストーク）。このクロストークにより、監視ユニットの監視精度が低下する。

【0005】

本発明は、監視ユニットの監視精度を向上する技術を提供するものである。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明によれば、
基板に蒸着物質を放出する第一の蒸着源と、
前記第一の蒸着源に対して第一の方向に配置され、前記第一の蒸着源からの蒸着物質の放出状態を監視する第一の監視手段と、
前記第一の蒸着源に対して前記第一の方向と交差する第二の方向に配置され、前記基板に蒸着物質を放出する第二の蒸着源と、
前記第二の蒸着源に対して前記第一の方向に配置され、前記第二の蒸着源からの蒸着物質の放出状態を監視する第二の監視手段と、
を備えた成膜装置であって、
前記第一の蒸着源から前記第二の監視手段への前記蒸着物質の飛散を抑制し、かつ、前記第二の蒸着源から前記第一の監視手段への前記蒸着物質の飛散を抑制する防着部材を備え、
前記防着部材は、
前記第一の方向に延設された第一の壁部と、
前記第一の壁部から前記第一の方向と交差する方向に延設された第二の壁部と、を備え、
前記第一の壁部と前記第二の壁部との接続部が、前記第一の方向で、前記第一の蒸着源及び前記第二の蒸着源と、前記第一の監視手段及び前記第二の監視手段と、の間に位置しており、
前記防着部材は、前記第一の壁部から、前記第二の壁部とは反対側で、前記第一の方向と交差する方向に延設された第三の壁部を備え、
前記第一の壁部と前記第三の壁部との接続部が、前記第一の方向で、前記第一の蒸着源及び前記第二の蒸着源と、前記第一の監視手段及び前記第二の監視手段と、の間に位置している、
ことを特徴とする成膜装置が提供される。

【発明の効果】

【0007】

本発明によれば、監視ユニットの監視精度を向上する技術を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】本発明の一実施形態に係る成膜装置の概略図。

【図2】図１のＡ－Ａ線に沿う蒸着装置の断面図。

【図3】図１の成膜装置の動作説明図。

【図4】（Ａ）は図３の部分拡大図、（Ｂ）は防着部材の斜視図。

【図5】図３のＢ－Ｂ線断面図。

【図6】（Ａ）～（Ｄ）は防着部材の他の構成例を示す図。

【図7】（Ａ）及び（Ｂ）は防着部材の他の構成例を示す図。

【図8】（Ａ）～（Ｄ）は防着部材の他の構成例を示す図。

【図9】（Ａ）及び（Ｂ）は防着部材の他の構成例を示す図。

【図10】（Ａ）は有機ＥＬ表示装置の全体図、（Ｂ）は１画素の断面構造を示す図。

【発明を実施するための形態】

【0009】

以下、添付図面を参照して実施形態を詳しく説明する。尚、以下の実施形態は特許請求の範囲に係る発明を限定するものではない。実施形態には複数の特徴が記載されているが、これらの複数の特徴の全てが発明に必須のものとは限らず、また、複数の特徴は任意に組み合わせられてもよい。さらに、添付図面においては、同一若しくは同様の構成に同一の参照番号を付し、重複した説明は省略する。

【0010】

＜成膜装置の概要＞
図１は本発明の一実施形態に係る成膜装置１の概略図、図２は図１のＡ－Ａ線に沿う蒸着装置３の断面図である。なお、各図において矢印Ｘ及びＹは互いに直交する水平方向を示し、矢印Ｚは垂直方向（鉛直方向）を示す。成膜装置１は、搬送装置２と、蒸着装置３と、を備える。搬送装置２は蒸着装置３の上方に配置されている。

【0011】

搬送装置２は、使用時に真空に維持される搬送室２０ｃを内部に形成する搬送チャンバ２０を備える。搬送チャンバ２０のＸ方向の一端部には搬入口２０ａが、他端部には搬出口２０ｂが設けられており、処理対象物は、搬入口２０ａから搬送室２０ｃ内に搬入され、処理後に搬出口２０ｂから外部へ搬出される。搬送室２０ｃには、Ｘ方向に配列された複数の搬送ローラ２１が設けられている。この搬送ローラ２１の列は、Ｙ方向に離間して二列配置されている。各搬送ローラ２１はＹ方向の回転軸周りに回転する。搬送対象物は、二列の搬送ローラ２１の列に、そのＹ方向の両端部が載置され、搬送ローラ２１の回転によってＸ方向に水平姿勢で搬送される。本実施形態では処理対象物の搬送機構としてローラ機構を用いたが、磁気浮上搬送等、他の種類の搬送機構であってもよい。

【0012】

蒸着装置３は、使用時に真空に維持される内部空間３０ａを形成するソースチャンバ３０を備える。ソースチャンバ３０は、上部に開口部が形成された箱型を有しており、開口部を介して、搬送室２０ｃと内部空間３０ａとが連通している。蒸着装置３は上方に蒸着物質を放出する蒸着ユニット５を備える。

【0013】

蒸着ユニット５は、Ｘ方向に配列された蒸着源５Ａ及び５Ｂを備える。蒸着源５Ａ及び５Ｂはいわゆるラインソースである。各蒸着源５Ａ及び５Ｂは、搬送装置２での処理対象物の搬送方向（Ｘ方向）と、交差する方向（本実施形態では搬送方向と直交するＹ方向）に延設されている。また、蒸着源５Ａに対して蒸着源５Ｂは、Ｙ方向と交差する方向（本実施形態ではＸ方向）に配置されている。

【0014】

蒸着源５Ａ及び５Ｂは、蒸着物質の原材料を収容する坩堝や、坩堝を加熱するヒータ等を備え、原材料を加熱してその蒸気である蒸着物質を搬送室２０ｃへ放出する。蒸着源５Ａは、蒸着物質として例えばＡｇを放出し、蒸着源５Ｂは蒸着物質として例えばＭｇを放出する。

【0015】

蒸着装置３は、シャッタユニット６を備える。シャッタユニット６は、シャッタ６０と、アーム部材６１と、駆動ユニット６２とを備える。シャッタ６０は、蒸着源ユニット５と搬送室２０ｃ内を搬送される処理対象物との間の位置を含む移動軌道上で回動される。移動軌道は、シャッタ６０の移動する経路であり、典型的には円軌道であるが、楕円軌道や直線軌道となることもある。

【0016】

本実施形態の場合、シャッタ６０は、蒸着ユニット５の延設方向（本実施形態ではＹ方向）に沿って延設されており、駆動ユニット６２は、アーム部材６１を介して蒸着ユニット５の延設方向に沿う回動中心（本実施形態ではＹ方向の回動中心）周りにシャッタ６０を回動する。

【0017】

本実施形態の場合、シャッタユニット６は、二組のシャッタ６０を備えている。搬送室２０ｃに対して蒸着ユニット５の放出口（ノズル）を二つのシャッタ６０で開閉し、蒸着物質の搬送室２０ｃへの放出の規制や、入射角の規制を行うことができる。

【0018】

蒸着ユニット５の上部やシャッタ７の周囲には防着部材４が設けられており、蒸着物質が周囲に付着することを抑制する。防着部材４は上下が開放した角筒形状を有しており、内部空間３０ａから搬送室２０ｃに渡って配置されている。

【0019】

蒸着装置３には、また、蒸着装置３のＹ方向の一方端部に蒸着ユニット５からの蒸着物質の放出状態を監視する監視ユニット７Ａ、７Ｂが設けられている。第一の監視手段である監視ユニット７Ａは第一の蒸着源である蒸着源５Ａに対応し、第二の監視手段である監視ユニット７Ｂは第二の蒸着源である蒸着源５Ｂに対応する。監視ユニット７Ａ、７Ｂと、蒸着源５Ａ及び５Ｂとの間には防着部材８が設けられている。蒸着装置３のＹ方向の他方端部にも、蒸着源５Ａ及び蒸着源５Ｂに対応した監視ユニット、防着部材８が設けられているが、図２に蒸着源５Ａに対応した監視ユニット７Ｃのみが図示されている。

【0020】

図３は成膜装置１の動作の一例を示す説明図である。成膜装置１は、搬送装置２により処理対象物を搬送しながら（搬送工程）、蒸着装置３により処理対象物に蒸着物質を蒸着する（蒸着工程）成膜方法を実行可能な、インライン型の成膜装置である。成膜装置１は、例えば、表示装置（フラットパネルディスプレイなど）や薄膜太陽電池、有機光電変換素子（有機薄膜撮像素子）等の電子デバイスや、光学部材等を製造する、電子デバイスの製造方法を実行する製造装置に適用可能である。

【0021】

図３では、処理対象物として基板１０が例示されている。基板１０はマスク１１と共に搬送され、基板１０の下側に位置するマスク１１を通して蒸着物質を基板１０に蒸着することにより、所定のパターンの蒸着物質の薄膜を基板１００に形成することができる。基板１０は例えばガラス、樹脂、金属等の材料からなる板材であり、蒸着物質としては、有機材料、無機材料（金属、金属酸化物など）などの物質である。

【0022】

本実施形態では、複数の蒸着源５Ａ、５Ｂが基板１０の搬送方向に配置されている。蒸着装置５Ａ、５Ｂにより異なる種類の蒸着物質を放出することができる。例えば、蒸着源５Ａは、蒸着物質として例えばＡｇを放出し、蒸着源５Ｂは蒸着物質として例えばＭｇを放出する。

【0023】

図３の例では、シャッタ６０により蒸着源５Ａ、５Ｂの放出範囲を規制し、各蒸着源５Ａ、５Ｂの蒸着物質が基板１０に対して略同じ領域に放出される態様を例示している。このように本実施形態では、基板１０に対して複数の蒸着源５Ａ、５Ｂによって蒸着物質を蒸着することができる。

【0024】

＜監視ユニット及び防着部材＞
監視ユニット７Ａ、７Ｂ及び防着部材８について、図１、図２に加えて図４（Ａ）～図５を参照して説明する。図４（Ａ）は図２の監視ユニット７Ａ部分の拡大図であり、図５は図２のＢ－Ｂ線に沿う蒸着装置３の断面図である。

【0025】

監視ユニット７Ａ及び７Ｂは支持部材９に支持されている。支持部材９は監視ユニット７Ａ及び’Ｂと蒸着源５Ａ及び５Ｂとの間の仕切り壁９０を有し、仕切り壁９０には仕切り壁９０をその厚み方向に貫通する窓部９ａ、９ｂが形成されている。監視ユニット７Ａ及び７Ｂは仕切り壁９０の背後、特に、窓部９ａ、９ｂの背後に配置されている。

【0026】

監視ユニット７Ａは、そのケースの内部に膜厚センサとして水晶振動子７ａを備えている。水晶振動子７ａには、ケースに形成された導入部７ｂを介して蒸着源５Ａから放出された蒸着物質が導入されて付着する。導入部７ｂは窓部９ａに臨んでいる。水晶振動子７ａの振動数は蒸着物質の付着量により変動する。水晶振動子７ａの振動数を監視することで、基板１０に蒸着した蒸着物質の膜厚等、蒸着源５Ａの放出状態を監視することができる。監視ユニット７Ｂも同様の構造により、蒸着源５Ｂの放出状態を監視する。

【0027】

蒸着ユニット５は、ハウジング５０を有し、その上面には蒸着源５Ａの蒸着物質が放出される複数のノズル５ａと、蒸着源５Ｂの蒸着物質が放出される複数のノズル５ａとが形成されている。複数のノズル５ａはＹ方向に配列されており、また、複数のノズル５ｂもＹ方向に配列されている。

【0028】

監視ユニット７Ａは、蒸着源５Ａに対して第一の方向であるＹ方向に配置され、本実施形態の場合、複数のノズル５ａの配列方向の延長線上に位置している。監視ユニット７Ｂは、蒸着源５Ｂに対してＹ方向に配置され、本実施形態の場合、複数のノズル５ｂの配列方向の延長線上に位置している。監視ユニット７Ａに対して監視ユニット７ＢはＹ方向と交差する第二の方向（本実施形態ではＸ方向）に配置されている。

【0029】

監視ユニット７Ａ及び７Ｂは蒸着ユニット５からＹ方向に離間して配置されており、監視ユニット７Ａ及び７Ｂと蒸着ユニット５との間には防着部材８が設けられている。防着部材８は、Ｙ方向に延設された壁部８０と、壁部８０からＹ方向と交差する方向に延設された壁部８１と、壁部８１とは壁部８０の反対側で、壁部８０からＹ方向と交差する方向に延設された壁部８２と、を含む。

【0030】

壁部８０は、Ｙ－Ｚ平面の平板状の部材であり、Ｘ方向の位置は、複数のノズル５ａと複数のノズル５ｂとの間の位置で、特に真ん中である。壁部８１及び壁部８２は、本実施係形態の場合、Ｘ方向に連続的に延設されており、Ｘ－Ｚ平面の平板状の部材である。壁部８１及び壁部８２は、壁部８０のＹ方向の端部のうち、監視ユニット７Ａ及び７Ｂ側の端部の接続部８ａにおいて壁部８０に接続されている。接続部８ａはＹ方向で蒸着源５Ａ及び５Ｂと監視ユニット７Ａ及び７Ｂとの間に位置している。防着部材８は平面視でＴ字型を有している。

【0031】

図５を参照して防着部材８の機能について説明する。監視ユニット７Ａには、ノズル５ａから線Ｌ１で示す経路で蒸着物質が導入され、また、監視ユニット７Ｂにはノズル５Ｂから線Ｌ２で示す経路で蒸着物質が導入される。各監視ユニット７Ａ、７Ｂは、対応する蒸着源５Ａ、５Ｂの放出状態を監視する。

【0032】

一方、ノズル５ａから放出される蒸着物質は放射状に飛散するため、線Ｌ３で示す経路で監視ユニット７Ｂに向かって飛散する場合がある。監視ユニット７Ｂに蒸着源５Ａの蒸着物質が到達すると、蒸着源５Ｂの監視精度が低下する。同様に、ノズル５ｂから放出される蒸着物質が線Ｌ５で示す経路で監視ユニット７Ａに向かって飛散する場合があり、監視ユニット７Ａに蒸着源５Ｂの蒸着物質が到達すると、蒸着源５Ａの監視精度が低下する。

【0033】

壁部８０はこうした蒸着物質のクロストークを防止する。すなわち、壁部８０を設けたことで、線Ｌ３で示す経路で蒸着源５Ａから監視ユニット７Ｂへ蒸着物質が飛散することが抑制される。同様に、線Ｌ５で示す経路で蒸着源５Ｂから監視ユニット７Ａへ蒸着物質が飛散することが抑制される。

【0034】

一方、壁部８０はこのように各蒸着源５Ａ及び５Ｂから蒸着物質が付着し、堆積するため、その温度が高温となる。すると、線Ｌ４で示す経路で壁部８０から蒸着源５Ａからの放射熱が監視ユニット７Ａへ向かって反射する場合があり、監視ユニット７Ａの温度が上昇すると、蒸着源５Ａの監視精度が低下する。壁部８１はこうした蒸着源５Ａからの放射熱の監視ユニット７Ａへの到達を抑制する。同様に、線Ｌ６で示す経路で壁部８０から蒸着源５Ｂからの放射熱が監視ユニット７Ｂへ向かって反射する場合があり、監視ユニット７Ｂに壁部８０で反射した蒸着源５Ｂからの放射熱が到達すると、蒸着源５Ｂの監視精度が低下する。壁部８２はこうした反射する蒸着源５Ｂからの放射熱の監視ユニット７Ｂへの到達を抑制する。

【0035】

このように本実施形態では、防着部材８を設けたことで監視ユニットの監視精度を向上することができる。

【0036】

＜防着部材の構成例＞
防着部材８は、蒸着源５Ａ及び５Ｂの仕様や使用態様に応じて様々な形態をとることができる。図６（Ａ）の防着部材８Ａは、壁部８１及び壁部８２を二組設け、壁部８０のＹ方向の端部のうち、監視ユニット７Ａ及び７Ｂ側の端部の接続部８ａと、蒸着源５Ａ及び５Ｂ側の端部の接続部８ｂとにそれぞれ接続し、平面視でＨ字型を有している。接続部８ｂに接続された壁部８１及び８２は主に蒸着物質のクロストークと反射された蒸着源５Ａ及び５Ｂからの放射熱の監視ユニット７Ａ及び７Ｂへの到達を防止する。

【0037】

図６（Ｂ）の防着部材８Ｂは、壁部８１は設けずに、壁部８０と壁部８２により防着部材を構成している。壁部８０のＸ方向の位置は、複数のノズル５ａと複数のノズル５ｂとの間の位置で、真ん中よりも監視ユニット７Ａ及び蒸着源５Ａの側に偏っている。防着部材８Ｂは平面視でＬ字型を有している。防着部材８Ｂは、例えば、蒸着源５Ａよりも蒸着源５Ｂの方がクロストークと反射された放射熱の到達の影響が強い場合に、その防止に有利な構造である。

【0038】

図６（Ｃ）の防着部材８Ｃは、壁部８２が二つ設けられており、一方の壁部８２を壁部８０のＹ方向の途中部位の接続部８ｃに接続している。壁部８０で反射された監視ユニット７Ｂへの放射熱の到達が多い場合に、その防止に有利な構造である。

【0039】

図６（Ｄ）の防着部材８Ｄは、壁部８１及び８２が三つ設けられており、壁部８０のＹ方向の端部の接続部８ａ、８ｂ、途中部位の接続部８ｃに各壁部８１及び８２を接続している。全体的に、クロストークの防止、及び、壁部８０で反射された監視ユニット７Ａ及び７Ｂへの放射熱の到達防止に有利な構造である。

【0040】

図７（Ａ）の防着部材８Ｅは、壁部８１は設けずに、壁部８０と二つの壁部８２により防着部材を構成している。二つの壁部８２は、壁部８０のＹ方向の各端部の接続部８ａ、８ｂにそれぞれ接続されており、防着部材８Ｅは平面視でＣ字型（又はＵ字型）を有している。防着部材８Ｅは、例えば、壁部８０で反射されて監視ユニット７Ａへ向かう放射熱の到達よりも、監視ユニット７Ｂへ向かう放射熱の到達の方が多い場合に、その防止に有利な構造である。

【0041】

図７（Ｂ）の防着部材８Ｆは、壁部８１及び８２に代えて、互いに延設方向が異なる壁部８３、８４を備えている。壁部８３、８４は延設方向がＸ方向から傾斜している。壁部８３は接続部８ａから蒸着源５Ａの側へ傾斜して延び、壁部８４は接続部８ａから蒸着源５Ｂの側へ傾斜して延びている。防着部材８Ｆは平面視で矢印型を有している。壁部８３、８４の幅を短くしつつ、壁部８０で反射して監視ユニット７Ａ及び７Ｂに向かう放射熱の到達を防止できる。

【0042】

図８（Ａ）の防着部材８Ｇは、二つの壁部８０をＸ方向に離間して設けている。二つの壁部８０の蒸着源５Ａ及び５Ｂ側の端部は壁部８５で接続されている。壁部８５の接続部位は、二つの壁部８０のＹ方向の途中部位でもよい。壁部８１は監視ユニット７Ａの側の壁部８０に接続部８ａで接続され、壁部８１は監視ユニット７Ｂの側の壁部８０に接続部８ａで接続されている。二つの壁部８０を設けたことにより、防着部材８Ｇの温度上昇を抑制でき、壁部８０で反射して到達する放射熱を低減できる。

【0043】

図８（Ｂ）の防着部材８Ｈは、図８（Ａ）の例において、壁部８１、８２に代えて、図７（Ｂ）の例のように傾斜した壁部８３、８４を設けた例である。図８（Ｃ）の防着部材８Ｉは、図８（Ａ）の例において、壁部８１、８２を複数設けた例であり、二つの壁部８１、８２が設けられている。一方の壁部８１、８２は壁部８０の端部の接続部８ａに接続され、他方の壁部８１、８２は壁部８０の途中部位の接続部８ｃに接続されている。図８（Ｄ）の防着部材８Ｊは、図８（Ｃ）の例において、壁部８１、８２に代えて図７（Ｂ）の例のように傾斜した壁部８３、８４を設けた例である。

【0044】

図９（Ａ）の防着部材８Ｋは、二つの壁部８０をＸ方向に離間して設けているが、図８（Ａ）の例とは異なり、二つの壁部８０を接続していない。壁部８１は、監視ユニット７Ａの側の壁部８０のＹ方向の両端部にそれぞれ設けられ、壁部８２は、監視ユニット７Ｂの側の壁部８０のＹ方向の両端部にそれぞれ設けられている。この構成例も防着部材８Ｋの温度上昇を抑制でき、壁部８０で反射して到達する放射熱を低減できる。図９（Ｂ）の例は、図９（Ａ）の例において、壁部８１、８２に代えて、図７（Ｂ）の例のように傾斜した壁部８３、８４を設けた例である。

【0045】

このように防着部材８は様々な形態をとることができ、図６（Ａ）～図９（Ｂ）に例示した構造例は適宜組み合わせることも可能である。すなわち、壁部８０と壁部８１との接続部８ａが、Ｙ方向で、蒸着源５Ａ及び蒸着源５Ｂと、監視ユニット７Ａ及び監視ユニット７Ｂと、の間に位置している構成であれば、防着部材８は様々な形態をとることができる。

【0046】

また、本実施形態では、蒸着源５Ａ、５Ｂを二つ設け、対応する監視ユニット７Ａ、７Ｂも、蒸着装置３のＹ方向の一方端部に二つ設けているが、蒸着源は３つ以上設けてもよく、対応する監視ユニットも３つ以上設けてもよい。この場合、防着部材は、蒸着源と監視ユニットの組数よりも一つ少ない数だけ設ければよい。

【0047】

＜電子デバイス＞
次に、電子デバイスの一例を説明する。以下、電子デバイスの例として有機ＥＬ表示装置の構成を例示する。

【0048】

まず、製造する有機ＥＬ表示装置について説明する。図１０（Ａ）は有機ＥＬ表示装置５００の全体図、図１０（Ｂ）は１画素の断面構造を示す図である。

【0049】

図１０（Ａ）に示すように、有機ＥＬ表示装置５００の表示領域５１には、発光素子を複数備える画素５２がマトリクス状に複数配置されている。詳細は後で説明するが、発光素子のそれぞれは、一対の電極に挟まれた有機層を備えた構造を有している。

【0050】

なお、ここでいう画素とは、表示領域５１において所望の色の表示を可能とする最小単位を指している。カラー有機ＥＬ表示装置の場合、互いに異なる発光を示す第１発光素子５２Ｒ、第２発光素子５２Ｇ、第３発光素子５２Ｂの複数の副画素の組み合わせにより画素５２が構成されている。画素５２は、赤色（Ｒ）発光素子と緑色（Ｇ）発光素子と青色（Ｂ）発光素子の３種類の副画素の組み合わせで構成されることが多いが、これに限定はされない。画素５２は少なくとも１種類の副画素を含めばよく、２種類以上の副画素を含むことが好ましく、３種類以上の副画素を含むことがより好ましい。画素５２を構成する副画素としては、例えば、赤色（Ｒ）発光素子と緑色（Ｇ）発光素子と青色（Ｂ）発光素子と黄色（Ｙ）発光素子の４種類の副画素の組み合わせでもよい。

【0051】

図１０（Ｂ）は、図１０（Ａ）のＡ－Ｂ線における部分断面模式図である。画素５２は、基板５３上に、第１の電極（陽極）５４と、正孔輸送層５５と、赤色層５６Ｒ・緑色層５６Ｇ・青色層５６Ｂのいずれかと、電子輸送層５７と、第２の電極（陰極）５８と、を備える有機ＥＬ素子で構成される複数の副画素を有している。これらのうち、正孔輸送層５５、赤色層５６Ｒ、緑色層５６Ｇ、青色層５６Ｂ、電子輸送層５７が有機層に当たる。赤色層５６Ｒ、緑色層５６Ｇ、青色層５６Ｂは、それぞれ赤色、緑色、青色を発する発光素子（有機ＥＬ素子と記述する場合もある）に対応するパターンに形成されている。

【0052】

また、第１の電極５４は、発光素子ごとに分離して形成されている。正孔輸送層５５と電子輸送層５７と第２の電極５８は、複数の発光素子５２Ｒ、５２Ｇ、５２Ｂにわたって共通で形成されていてもよいし、発光素子ごとに形成されていてもよい。すなわち、図１０（Ｂ）に示すように正孔輸送層５５が複数の副画素領域にわたって共通の層として形成された上に赤色層５６Ｒ、緑色層５６Ｇ、青色層５６Ｂが副画素領域ごとに分離して形成され、さらにその上に電子輸送層５７と第２の電極５８が複数の副画素領域にわたって共通の層として形成されていてもよい。

【0053】

なお、近接した第１の電極５４の間でのショートを防ぐために、第１の電極５４間に絶縁層５９が設けられている。さらに、有機ＥＬ層は水分や酸素によって劣化するため、水分や酸素から有機ＥＬ素子を保護するための保護層６０が設けられている。

【0054】

図１０（Ｂ）では正孔輸送層５５や電子輸送層５７が一つの層で示されているが、有機ＥＬ表示素子の構造によって、正孔ブロック層や電子ブロック層を有する複数の層で形成されてもよい。また、第１の電極５４と正孔輸送層５５との間には第１の電極５４から正孔輸送層５５への正孔の注入が円滑に行われるようにすることのできるエネルギーバンド構造を有する正孔注入層を形成してもよい。同様に、第２の電極５８と電子輸送層５７の間にも電子注入層を形成してもよい。

【0055】

赤色層５６Ｒ、緑色層５６Ｇ、青色層５６Ｂのそれぞれは、単一の発光層で形成されていてもよいし、複数の層を積層することで形成されていてもよい。例えば、赤色層５６Ｒを２層で構成し、上側の層を赤色の発光層で形成し、下側の層を正孔輸送層又は電子ブロック層で形成してもよい。あるいは、下側の層を赤色の発光層で形成し、上側の層を電子輸送層又は正孔ブロック層で形成してもよい。このように発光層の下側又は上側に層を設けることで、発光層における発光位置を調整し、光路長を調整することによって、発光素子の色純度を向上させる効果がある。

【0056】

なお、ここでは赤色層５６Ｒの例を示したが、緑色層５６Ｇや青色層５６Ｂでも同様の構造を採用してもよい。また、積層数は２層以上としてもよい。さらに、発光層と電子ブロック層のように異なる材料の層が積層されてもよいし、例えば発光層を２層以上積層するなど、同じ材料の層が積層されてもよい。

【0057】

こうした電子デバイスの製造において、上述した成膜装置１が適用可能であり、当該製造方法は、搬送装置２により基板５３を搬送する搬送工程と、搬送されている基板５３に蒸着装置３によって各層の少なくともいずれか一つの層を蒸着する蒸着工程と、を含むことができる。

【0058】

発明は上記実施形態に制限されるものではなく、発明の精神及び範囲から離脱することなく、様々な変更及び変形が可能である。従って、発明の範囲を公にするために請求項を添付する。

【符号の説明】

【0059】

１ 成膜装置、２ 搬送装置、３ 蒸着装置、５Ａ 蒸着源、５Ｂ 蒸着源、７Ａ 監視ユニット、７Ｂ 監視ユニット

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】