特許 7499664 加工システム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-06-06

(45)【発行日】2024-06-14

(54)【発明の名称】加工システム

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/301 20060101AFI20240607BHJP

   B23Q 17/00 20060101ALI20240607BHJP

   G05B 19/409 20060101ALI20240607BHJP

   G05B 19/414 20060101ALI20240607BHJP

   H01L 21/304 20060101ALN20240607BHJP

【ＦＩ】

H01L21/78 A

B23Q17/00 D

G05B19/409 C

G05B19/414 R

H01L21/304 631

H01L21/304 621B

【請求項の数】 6

(21)【出願番号】P 2020163314

(22)【出願日】2020-09-29

(65)【公開番号】P2022055729

(43)【公開日】2022-04-08

【審査請求日】2023-07-25

(73)【特許権者】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】110002147

【氏名又は名称】弁理士法人酒井国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】小林 弘明

【審査官】鈴木 孝章

(56)【参考文献】

【文献】国際公開第２０１６／１４７８３４（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開２０２０－６７９５６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１４－１９７７４５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特許第３１９７０７６（ＪＰ，Ｂ２）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／３０１

Ｂ２３Ｑ １７／００

Ｇ０５Ｂ １９／４０９

Ｇ０５Ｂ １９／４１４

Ｈ０１Ｌ ２１／３０４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

保持テーブルと、該保持テーブルに保持された被加工物を加工する加工ユニットと、該加工ユニットを操作可能な操作ボタンを有する操作画面を表示する第１タッチパネルと、該操作画面に対する操作情報に基づいて該加工ユニットを制御する制御ユニットと、を備える加工装置と、
該操作画面を撮像する撮像部と、撮像した該操作画面の画像を表示する第２タッチパネルと、該画像に対する操作位置情報を送信する送信部と、を備える情報機器と通信可能な通信ユニットと、
を備える加工システムであって、
該通信ユニットは、
該情報機器が送信した該操作位置情報を受信する通信部と、
該操作位置情報を該操作画面の座標系の該操作情報に変換する変換部と、
変換した該操作情報を該加工装置に提供する提供部と、
を備え、
該加工装置の該制御ユニットは、該通信ユニットから該操作情報が提供されると、該操作情報に基づいて該加工装置を制御することを特徴とする加工システム。

【請求項2】

該情報機器の該送信部は、該操作画面の画像に対する操作位置を該画像の比率で示す該操作位置情報を送信し、
該通信ユニットの該変換部は、該操作位置情報が示す該画像の比率を、該操作画面の座標系の該操作情報に変換することを特徴とする請求項１に記載の加工システム。

【請求項3】

該情報機器は、該画像における該操作画面の領域を補正する補正部をさらに備え、
該情報機器の該第２タッチパネルは、補正した該画像を表示し、
該通信ユニットの該変換部は、補正した該画像に対する該操作位置情報を該操作画面の座標系の該操作情報に変換する請求項１に記載の加工システム。

【請求項4】

該通信ユニットは、該加工装置の接続部に着脱自在に接続可能な構成であり、無線通信によって該情報機器から該操作位置情報を受信する請求項１に記載の加工システム。

【請求項5】

該加工装置の該制御ユニットは、該操作画面の複数の操作ボタンのうち、該情報機器から操作不能な該操作ボタンに対する該操作情報を該通信ユニットから提供されると、該操作情報に基づいて該加工装置を制御しないことを特徴とする請求項２に記載の加工システム。

【請求項6】

該情報機器をさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の加工システム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、加工システムに関する。

【背景技術】

【0002】

従来から加工装置は、タッチパネル上の操作ボタンを選択することで、装置内の各ユニットを駆動させて調整作業等を行うことがある。特許文献１には、ハウジングの前面に配置したタッチパネルの所要位置にタッチして切削機の必要操作を遂行する加工装置が開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２００３－１５８０９４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかしながら、加工装置において、駆動させる加工ユニットとタッチパネルとが離れて配置されている場合、オペレータが装置内部を確認しながら作業を行うことが困難である。このような従来の加工装置は、一人で作業を行うと操作ミスの恐れがある場合、二人以上で作業をすることになり、非効率であるという問題があった。また、加工装置には特別な機能を追加したくないとの要望がある。

【0005】

本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、その目的は、加工装置の機能追加を抑制し、タッチパネルから離れても加工装置の操作を可能とすることができる加工システムを提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の加工システムは、保持テーブルと、該保持テーブルに保持された被加工物を加工する加工ユニットと、該加工ユニットを操作可能な操作ボタンを有する操作画面を表示する第１タッチパネルと、該操作画面に対する操作情報に基づいて該加工ユニットを制御する制御ユニットと、を備える加工装置と、該操作画面を撮像する撮像部と、撮像した該操作画面の画像を表示する第２タッチパネルと、該画像に対する操作位置情報を送信する送信部と、を備える情報機器と通信可能な通信ユニットと、を備える加工システムであって、該通信ユニットは、該情報機器が送信した該操作位置情報を受信する通信部と、該操作位置情報を該操作画面の座標系の該操作情報に変換する変換部と、変換した該操作情報を該加工装置に提供する提供部と、を備え、該加工装置の該制御ユニットは、該通信ユニットから該操作情報が提供されると、該操作情報に基づいて該加工装置を制御することを特徴とする。

【0007】

前記加工システムにおいて、該情報機器の該送信部は、該操作画面の画像に対する操作位置を該画像の比率で示す該操作位置情報を送信し、該通信ユニットの該変換部は、該操作位置情報が示す該画像の比率を、該操作画面の座標系の該操作情報に変換してもよい。

【0008】

前記加工システムにおいて、該情報機器は、該画像における該操作画面の領域を補正する補正部をさらに備え、該情報機器の該第２タッチパネルは、補正した該画像を表示し、該通信ユニットの該変換部は、補正した該画像に対する該操作位置情報を該操作画面の座標系の該操作情報に変換してもよい。

【0009】

前記加工システムにおいて、該通信ユニットは、該加工装置の接続部に着脱自在に接続可能な構成であり、無線通信によって該情報機器から該操作位置情報を受信してもよい。

【0010】

前記加工システムにおいて、該加工装置の該制御ユニットは、該操作画面の複数の操作ボタンのうち、該情報機器から操作不能な該操作ボタンに対する該操作情報を該通信ユニットから提供されると、該操作情報に基づいて該加工装置を制御しなくてもよい。

【0011】

前記加工システムにおいて、該情報機器をさらに備えてもよい。

【発明の効果】

【0012】

本願発明の加工システムは、加工装置の機能追加を抑制し、タッチパネルから離れても加工装置の操作を可能とすることができるという効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【0013】

【図1】図１は、実施形態に係る加工システムの構成例を示す斜視図である。

【図2】図２は、実施形態に係る加工システムを使用する一例を説明するための図である。

【図3】図３は、実施形態に係る加工システムを使用する他の一例を説明するための図である。

【図4】図４は、加工装置における従来の問題点を説明するための図である。

【図5】図５は、実施形態に係る加工装置及び通信ユニットの機能構成の一例を模式的に示す図である。

【図6】図６は、実施形態に係る情報機器の機能構成の一例を模式的に示す図である。

【図7】図７は、実施形態に係る情報機器の制御部が実行する処理手順の一例を示すフローチャートである。

【図8】図８は、実施形態に係る通信ユニットが実行する処理手順の一例を示すフローチャートである。

【図9】図９は、実施形態に係る加工装置の制御ユニットが実行する処理手順の一例を示すフローチャートである。

【図10】図１０は、実施形態の変形例に係る操作画面の一例を示す図である。

【図11】図１１は、実施形態の変形例に係る加工装置の制御ユニットが実行する処理手順の一例を示すフローチャートである。

【発明を実施するための形態】

【0014】

以下、本発明に係る実施形態につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。以下の各実施形態において、同一の部位には同一の符号を付することにより重複する説明を省略する。

【0015】

以下に説明する実施形態において、ＸＹＺ直交座標系を設定し、このＸＹＺ直交座標系を参照しつつ各部の位置関係について説明する。水平面内の一方向をＸ軸方向、水平面内においてＸ軸方向と直交する方向をＹ軸方向、Ｘ軸方向及びＹ軸方向のそれぞれと直交する方向をＺ軸方向とする。Ｘ軸及びＹ軸を含むＸＹ平面は、水平面と平行である。ＸＹ平面と直交するＺ軸方向は、鉛直方向である。

【0016】

〔実施形態〕
本発明の実施形態に係る加工システムを図面に基づいて説明する。図１は、実施形態に係る加工システムの構成例を示す斜視図である。図２は、実施形態に係る加工システムを使用する一例を説明するための図である。図３は、実施形態に係る加工システムを使用する他の一例を説明するための図である。

【0017】

図１に示すように、加工システム１は、加工装置２と、通信ユニット７０と、情報機器３００と、を備える。通信ユニット７０と情報機器３００とは、無線通信が可能なように構成されている。加工装置２は、通信ユニット７０が接続部６０に接続されており、通信ユニット７０を介して他の電子機器と通信可能な構成となっている。

【0018】

なお、本実施形態では、加工システム１は、加工装置２と、通信ユニット７０と、情報機器３００と、を備える構成について説明するが、加工システム１は、情報機器３００をシステム構成から削除してもよい。すなわち、加工システム１は、加工装置２と、通信ユニット７０と、を備える構成とすることができる。また、加工システム１は、加工装置２の通信機能として通信ユニット７０を加工装置２に組み込むように構成してもよい。

【0019】

実施形態に係る加工装置２は、箱形の筐体である本体２００を備える。加工装置２は、チャックテーブル１０と、加工ユニット２０と、タッチパネル３０と、制御ユニット４０と、接続部６０と、を備える。制御ユニット４０は、チャックテーブル１０、加工ユニット２０、タッチパネル３０及び接続部６０と電気的に接続されている。

【0020】

加工装置２の加工対象である被加工物１００は、例えば、シリコン、サファイア、ガリウムヒ素等を基板１０１とする円板状の半導体ウエーハや光デバイスウエーハである。被加工物１００は、粘着テープ１０３を介して、環状のフレーム１０２の開口に基板１０１を支持して構成される。

【0021】

チャックテーブル１０は、保持面で被加工物１００を保持する。チャックテーブル１０は、不図示の吸引源と連通しており、吸引源から供給される負圧によって被加工物１００を吸引保持する。チャックテーブル１０は、後述するＸ軸移動手段２２によってＸ軸方向に沿って移動可能であり、不図示の回転駆動源によってＺ軸周りに回転可能である。

【0022】

タッチパネル３０は、表示面を外側に向けた状態で本体２００に設置される。タッチパネル３０は、加工装置２の本体２００において見やすくて操作しやすい箇所に配設される。タッチパネル３０は、制御ユニット４０による制御の下、撮像ユニット１２が撮像した被加工物１００の表面の画像や加工処理に必要な各種情報を表示するとともに、加工処理に必要な入力操作等をオペレータから受け付ける。

【0023】

制御ユニット４０は、加工装置２を駆動する各機構（Ｘ軸移動手段２２、Ｙ軸移動手段２７、Ｚ軸移動手段１５）を制御する。制御ユニット４０は、加工装置２の各部を制御し、加工装置２による加工処理を実現する。制御ユニット４０は、例えば、操作ボタンを有する操作画面をタッチパネル３０に表示させ、該操作ボタンに対するオペレータの操作に応じて加工ユニット２０を動作させる。制御ユニット４０は、例えばオペレータにより入力設定された加工条件に従って、チャックテーブル１０や加工ユニット２０を含む加工装置２の各部を制御し、被加工物１００の加工処理を実現する。

【0024】

通信ユニット７０は、無線により通信する。通信ユニット７０によってサポートされる通信方式は、無線通信規格である。無線通信規格として、例えば、Ｂｌｕｅｔｏｏｔｈ（登録商標）、ＩＥＥＥ８０２．１１等を含む。通信ユニット７０は、情報機器３００が送信した操作位置情報を受信する受信部と、操作位置情報を操作画面の座標系の操作情報に変換する変換部と、変換した操作情報を加工装置２に提供する提供部と、を備える。通信ユニット７０の構成の詳細については、後述する。

【0025】

情報機器３００は、例えば、スマートフォンやタブレット端末等のオペレータが携帯可能な電子機器である。情報機器３００は、加工装置２と各種情報の授受が可能なように接続されることで、加工装置２のＨＩＤ（Human Interface Device）として機能する。情報機器３００は、加工装置２の操作画面を撮像する撮像部と、撮像した該操作画面の画像を表示する第２タッチパネルと、該画像に対する操作位置情報を送信する送信部と、を有する。情報機器３００の構成の詳細については、後述する。情報機器３００は、操作位置情報を通信ユニット７０に送信することで、操作画面の画像に対するオペレータの操作結果を加工装置２に提供する機能を有する。情報機器３００は、プログラムを実行することで、加工装置２の操作画面をオペレータに撮像させ、操作画面の画像をタッチパネル３０に表示させる。情報機器３００は、画像に対する操作位置情報を検出すると、該操作位置情報をペアリングされた通信ユニット７０に送信する。

【0026】

図２及び図３は、実施形態に係る加工システム１の概要を説明するための図である。図２に示す場面１００１では、加工装置２は、通信ユニット７０が接続部６０に接続されている。加工装置２は、複数の操作ボタンを有する操作画面をタッチパネル３０に表示させている。操作画面は、オペレータに操作させるために、タッチパネル３０が表示している画像である。加工装置２は、操作画面をタッチパネル３０の表示領域３３の全体に表示してもよいし、表示領域３３の一部に表示してもよい。表示領域３３は、例えば、タッチパネル３０の物理的な画面の領域であり、実サイズをアスペクト比、解像度等で表現することができる。加工装置２は、表示領域３３のサイズ等を識別可能な環境データを通信ユニット７０に提供している。

【0027】

オペレータは、情報機器３００の撮像機能によって加工装置２の操作画面をタッチパネル３２０に表示させ、表示内容を確認しながら操作画面を撮像している。情報機器３００は、場面１００２に示すように、撮像した操作画面５１０の画像をタッチパネル３２０に表示する。操作画面５１０は、オペレータが操作可能な複数の操作ボタン５２０を有する。場面１００２に示す一例では、操作画面５１０は、加工装置２の軸動作メニューを示し画面であり、「移動 インデックス＋」、「移動 インデックス－」、「移動 スキャン＋」、「移動 スキャン－」、「軸頂点に戻る」等の操作ボタン５２０を有している。なお、操作画面５１０は、加工の工程、種別等に応じて構成が異なる画面である。

【0028】

情報機器３００は、撮像した操作画面５１０の画像を補正する画像補正機能、操作画面５１０を認識する認識機能等を有する。画像補正機能は、例えば、矩形認識、台形補正等の機能を含む。矩形認識は、例えば、加工装置２のタッチパネル３０、表示領域３３、操作画面５１０等の矩形を認識する機能である。台形補正は、撮像角度による画像の台形、斜め、角度等のゆがみを四角形に補正する機能である。認識機能は、例えば、エッジ検出、画像照合等によって画像の中から操作画面５１０を認識する機能を含む。

【0029】

情報機器３００は、操作画面５１０の画像をタッチパネル３２０に表示すると、Ｂｌｕｅｔｏｏｔｈの規格を用いて、通信ユニット７０と自動でペアリングする。なお、ペアリングのタイミングは、例えば、情報機器３００が加工装置２の操作画面５１０を撮像する前であってもよい。

【0030】

図３に示す場面１００３では、情報機器３００は、タッチパネル３２０に表示している操作画面５１０の画像に対し、画像の水平方向を示すＣＸ方向と、画像の垂直方向を示すＣＹ方向としている。情報機器３００は、例えば、画像の左上を原点とし、ＣＸ方向およびＣＹ方向に向かうに従って座標が大きくなっている。

【0031】

オペレータは、情報機器３００が表示している操作画面５１０の画像の「移動 スキャン＋」の操作ボタン５２０をタッチしている。情報機器３００は、オペレータのタッチ位置を検出すると、操作画面５１０の画像に対する操作位置を示す画像の比率を求める。例えば、情報機器３００は、タッチ位置がＣＸ方向の座標ＤＸ、ＣＹ方向の座標ＤＹである場合、座標ＤＸをＣＸ方向の画像の一辺の長さで除したＤＸ比率と、座標ＳＹをＣＹ方向の画像の一辺の長さで除したＤＹ比率とを求める。

【0032】

場面１００４に示すように、情報機器３００は、求めたＤＸ比率及びＤＹ比率、操作種別等を識別可能な操作位置情報を作成し、該操作位置情報をペアリングされた通信ユニット７０に送信する。操作種別は、例えば、単発、長押し等の操作の種別を含む。操作位置情報は、例えば、タッチパネル３２０に表示している操作画面５１０の画像、画像サイズ等を識別可能な情報を含むように構成してもよい。

【0033】

通信ユニット７０は、操作位置情報を情報機器３００から受信すると、操作位置情報を加工装置２のタッチパネル３０のＳＸ－ＳＹ座標系の操作情報に変換する。例えば、通信ユニット７０は、操作位置情報が示すＤＸ比率及びＤＹ比率と環境データが示すタッチパネル３０のサイズとに基づいて、操作位置情報をタッチパネル３０の座標系の操作情報に変換する。操作情報は、例えば、情報機器３００に対するオペレータの操作位置の座標（ＤＸ，ＤＹ）を、加工装置２のタッチパネル３０の座標系に変換した操作位置の座標（ＴＸ，ＴＹ）、操作種別等を示す情報を含む。通信ユニット７０は、変換した操作情報を加工装置２に提供する。

【0034】

加工装置２は、通信ユニット７０から操作情報を取得すると、該操作情報をタッチパネル３０に表示している操作画面５１０に対する情報として認識する。加工装置２は、操作情報が示す座標（ＴＸ，ＴＹ）及び操作種別に基づいて、タッチパネル３０に表示している操作画面５１０に対する操作を検出する。すなわち、加工装置２は、情報機器３００に対する操作を、自装置のタッチパネル３０に対する操作として検出する。そして、加工装置２は、検出した操作に対応した処理を実行することで、装置の動作を制御する。よって、オペレータは、情報機器３００で加工装置２の操作画面５１０を撮像することで、加工装置２のタッチパネル３０を直接操作しなくても、情報機器３００のタッチパネル３２０の操作画面５１０の画像に基づいて加工装置２を操作することができる。

【0035】

図４は、加工装置２における従来の問題点を説明するための図である。図４に示す場面２００１では、１人のオペレータは、加工装置２のデバッグ時、調整時等に、加工装置２の側面から軸の動きを確認しながら、正面のタッチパネル３０に手を伸ばして操作しようとしている。この場合、オペレータは、操作画面５１０を誤って操作する可能性がある。また、場面２００２では、２人のオペレータは、加工装置２の誤操作を防止するために、側面に確認者、正面に操作者をそれぞれ配置している。このため、加工装置２は、安全性を向上させるために、２人以上のオペレータで作業すると、非効率的であるという問題がある。このように、加工装置２は、複数のオペレータを必要とすることなく、作業を１人で安全に操作することが望まれていた。

【0036】

実施形態に係る加工システム１は、通信ユニット７０を介して、加工装置２と情報機器３００とを無線通信可能に接続し、加工装置２の操作画面５１０を情報機器３００で撮像した画像を、情報機器３００のタッチパネル３２０に表示する。加工システム１は、情報機器３００のタッチパネル３２０に対する操作位置情報を通信ユニット７０に送信すると、通信ユニット７０が加工装置２のタッチパネル３０に対する操作情報に変換して加工装置２に提供する。これにより、加工システム１は、加工装置２が操作画面５１０の情報を情報機器３００に送信する必要がなく、通信ユニット７０からの操作情報を、あたかもタッチパネル３０からの操作情報として加工装置２に利用させることができる。その結果、加工システム１は、操作画面５１０の画像を情報機器３００に送信する機能を加工装置２に追加することなく、加工装置２のタッチパネル３０から離れて１人のオペレータが加工装置２を操作することができる。また、情報機器３００は、操作画面５１０を撮像した画像をタッチパネル３２０に表示し、該画像に対する操作位置情報を通信ユニット７０に送信する機能をインストールするだけでよい。

【0037】

また、加工システム１は、情報機器３００が操作位置を画像の比率で示す操作位置情報を送信し、通信ユニット７０が画像の比率に基づいて操作画面５１０の座標系に変換することができる。これにより、加工システム１は、情報機器３００が加工装置２の操作画面５１０の構成を認識しなくても、操作位置を画像の比率で検出すればよいので、情報機器３００の処理負担を抑制することができる。その結果、加工システム１は、加工装置２が操作画面５１０に関する情報を情報機器３００に提供する必要がないので、加工装置２に対する機能追加をより一層抑制することができる。

【0038】

（加工システムの機能構成）
図５は、実施形態に係る加工装置２及び通信ユニット７０の機能構成の一例を模式的に示す図である。図６は、実施形態に係る情報機器３００の機能構成の一例を模式的に示す図である。

【0039】

（加工装置）
本実施形態では、加工装置２は、図５に示すように、撮像ユニット１２と、駆動手段１４と、Ｚ軸移動手段１５と、加工ユニット２０と、タッチパネル３０と、制御ユニット４０と、ストレージ５０と、接続部６０と、を備える。制御ユニット４０は、撮像ユニット１２、駆動手段１４、Ｚ軸移動手段１５、加工ユニット２０、タッチパネル３０、ストレージ５０及び接続部６０と電気的に接続されている。

【0040】

撮像ユニット１２は、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）やＣＭＯＳ（Complementary Metal Oxide Semiconductor）等のイメージセンサを搭載した電子顕微鏡である。撮像ユニット１２は、チャックテーブル１０の保持面上に保持された被加工物１００の表面を撮像する。撮像ユニット１２は、加工ユニット２０用のハウジングの一部に取り付け支持されることで一体化されており、ボールねじ、ナット、パルスモータ等によるＺ軸移動手段１５によってＺ軸方向に移動可能に設けられている。撮像ユニット１２は、例えば、チャックテーブル１０の保持面に保持された被加工物１００の表面に照明光を照射する光源を備えてもよい。

【0041】

加工ユニット２０は、チャックテーブル１０に保持された被加工物１００を加工する。加工ユニット２０は、例えば、一対の切削手段であり、それぞれ切削ブレードを有する。一対の切削手段のそれぞれの切削ブレードは、Ｙ軸方向において互いに対向しており、いずれもＹ軸周りに回転する。加工ユニット２０は、回転する切削ブレードによって、被加工物１００に対して切削加工を施す。加工ユニット２０は、Ｙ軸移動手段２７によってＹ軸方向に沿って移動可能であり、Ｚ軸移動手段１５によってＺ軸方向に沿って移動可能である。チャックテーブル１０の保持面に対して撮像ユニット１２や加工ユニット２０を相対的にＹ軸方向に移動させるＹ軸移動手段２７は、ボールねじ、ナット、パルスモータ等からなり、Ｘ軸移動手段２２とともに駆動手段１４を構成する。

【0042】

加工装置２は、Ｘ軸移動手段２２、Ｙ軸移動手段２７及びＺ軸移動手段１５により、チャックテーブル１０と加工ユニット２０とを相対移動させることにより、チャックテーブル１０に保持された被加工物１００を加工する。

【0043】

なお、加工装置２が備える加工ユニット２０は、切削ブレードで被加工物１００を切削加工する切削ユニットに限定されない。他には、加工ユニット２０は、例えば、研削砥石等で同様の被加工物１００を研削加工する研削ユニットや、研磨パッド等で同様の被加工物１００を研磨加工する研磨ユニットや、同様の被加工物１００にレーザービームを照射してレーザー加工するレーザー加工ユニットなどでもよい。

【0044】

タッチパネル３０は、図２に示すように、加工装置２に関する各種情報を表示する表示部３１と、加工条件の設定入力など、加工装置２に関する各種操作入力をオペレータから受け付ける入力部３２と、を有する。表示部３１は、例えば、液晶ディスプレイや有機ＥＬディスプレイなどの表示デバイスを有する。入力部３２は、例えば、表示デバイスの表示面における物体の接触位置や座標を指定するタッチスクリーンを有する。タッチパネル３０は、矩形状の表示領域３３を有する。タッチパネル３０は、表示領域３３に対して接触した物体の座標（位置）を検出する。タッチパネル３０は、接触の間隔、接触の位置の変化、接触の回数等を検出することができる。タッチパネル３０は、検出した接触位置、接触の間隔、接触の位置の変化、接触の回数等を識別可能な操作情報を制御ユニット４０に供給する。実施形態では、タッチパネル３０は、第１タッチパネルの一例である。

【0045】

ストレージ５０は、制御ユニット４０により実行される各種処理等の機能を実現するプログラムや、かかるプログラムによる処理に用いられるデータなどを記憶する。ストレージ５０は、ＨＤＤ（Hard Disk Drive）や半導体メモリ等により実現できる。ストレージ５０は、制御ユニット４０が備えるプロセッサが制御プログラムに記述された命令を実行する際の一時的な作業領域としても利用されてもよい。

【0046】

なお、本実施形態では、加工装置２がストレージ５０を備える場合について説明するが、これに限定されない。例えば、ストレージ５０は、加工装置２の外部のコンピュータ及び電子機器、他の加工装置２等の加工装置２がアクセス可能な記憶装置とすることができる。

【0047】

ストレージ５０は、例えば、複数の操作画面データ５１、環境データ５２等の各種データを記憶できる。操作画面データ５１は、例えば、加工装置２で用いる操作画面５１０を表示するためのＨＴＭＬ（Hyper Text Markup Language）形式のデータを含む。複数の操作画面データ５１は、例えば、加工装置２における複数の加工工程、メンテナンス等に対応し、オペレータが加工装置２を操作する操作画面５１０を表示するためのデータである。操作画面５１０は、オペレータに操作させる操作ボタンを有する。環境データ５２は、上述したように、タッチパネル３０の表示領域３３のサイズ、操作画面５１０のサイズ等を識別可能なサイズ情報を含む。

【0048】

接続部６０は、他の装置が接続される端子を有する。接続部６０は、例えば、ＵＳＢ（Universal Serial Bus）のような汎用的な端子を用いることができる。本実施形態では、接続部６０は、例えば、通信ユニット７０を着脱自在に接続することができる。図１に示した一例では、接続部６０は、本体２００の外部から着脱可能なように、本体２００のタッチパネル３０の近傍に設けられている。

【0049】

制御ユニット４０は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）などの演算処理装置と、ＲＯＭ（Read Only Memory）又はＲＡＭ（Random Access Memory）などの記憶装置と、入出力インターフェース装置とを備える。制御ユニット４０は、かかる装置を用いて、加工装置２が実施する一連の加工工程に従い、上述した各構成要素を制御するための制御プログラムなどを実行可能なコンピュータである。

【0050】

制御ユニット４０は、加工装置２を駆動する各機構（Ｘ軸移動手段２２、Ｙ軸移動手段２７、Ｚ軸移動手段１５）を制御する。制御ユニット４０は、加工装置２の各部を制御し、加工装置２による加工処理を実現する。制御ユニット４０は、例えばオペレータにより入力設定された加工条件に従って、チャックテーブル１０や加工ユニット２０を含む加工装置２の各部を制御し、被加工物１００の加工処理を実現する。

【0051】

制御ユニット４０は、タッチパネル３０によって検出された物体の接触位置、接触位置の変化、接触を検出した間隔、接触を検出した回数の少なくとも１つに基づいて、ジェスチャの種別を判別する。ジェスチャは、例えば、タッチ、ロングタッチ、リリース、スワイプ、ドラッグ等を含むが、これに限定されない。

【0052】

制御ユニット４０は、タッチパネル３０の入力部３２を介してオペレータにより設定された加工条件に従って、加工装置２の動作全般を制御する。制御ユニット４０は、操作画面５１０をタッチパネル３０に表示させ、タッチパネル３０を介して、操作情報を取得すると、操作情報に基づいて操作画面５１０に対するオペレータの操作を特定する。制御ユニット４０は、操作画面５１０の操作ボタンに対する操作を特定すると、該操作ボタンに割り当てられた処理に基づいて加工ユニット２０の動作を制御する。また、制御ユニット４０は、操作画面５１０をタッチパネル３０に表示させた状態で、該通信ユニット７０から操作情報が提供されると、該操作情報に基づいて操作画面５１０に対するオペレータの操作を特定し、操作に応じた処理に基づいて加工装置２の動作を制御する。

【0053】

（通信ユニット）
通信ユニット７０は、通信部７１０と、記憶部７２０と、変換部７３０と、提供部７４０と、を備える。通信部７１０、記憶部７２０、変換部７３０及び提供部７４０は、電気的に接続されている。変換部７３０及び提供部７４０は、例えば、演算処理装置で実現してもよいし、ＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）やＦＰＧＡ（Field-Programmable Gate Array）等の集積回路により実現されてもよい。

【0054】

通信部７１０は、例えば、情報機器３００等の加工装置２の外部の電子機器と通信を行う。通信部７１０は、例えば、情報機器３００から受信した各種情報を記憶部７２０に記憶し、変換部７３０に供給する。通信部７１０は、情報機器３００から受信した操作位置情報を変換部７３０に供給する。なお、通信部７１０は、受信機能のみを有する構成としてもよいし、送受信機能を有する構成としてもよい。

【0055】

記憶部７２０は、各種データ及びプログラムを記憶する。例えば、記憶部１２０は、例えば、ＲＡＭ、フラッシュメモリ等の半導体メモリ素子である。記憶部１２０は、通信部７１０を介して受信した情報を記憶する。記憶部７２０は、例えば、加工装置２の環境データ５２のサイズ情報等を記憶できる。

【0056】

変換部７３０は、情報機器３００から受信した操作位置情報を操作画面５１０の座標系の操作情報に変換する。変換部７３０は、操作位置情報が示すＤＸ比率及びＤＹ比率とサイズ情報が示すタッチパネル３０のサイズとに基づいて、操作位置情報をタッチパネル３０の座標系の操作情報に変換する。変換部７３０は、例えば、変換テーブル、変換プログラム等を用いて、操作位置情報を操作情報に変換する。例えば、情報機器３００が表示している画像における操作画面５１０のサイズを操作位置情報が含んでいる場合、変換部７３０は、画像における操作画面５１０のサイズと加工装置２で表示している操作画面５１０のサイズとから画像における操作画面５１０のスケールを特定し、スケールに基づいて、操作位置情報を加工装置２の操作情報に変換してもよい。変換部７３０は、操作画面５１０をタッチパネル３０の表示領域３３の全体に表示している表示状態と、操作画面５１０を表示領域３３の一部に表示している表示状態とを認識し、表示状態に適した変換方法を用いて操作位置情報を加工装置２の操作情報に変換してもよい。

【0057】

提供部７４０は、変換部７３０が変換した操作情報を該加工装置２に提供する。実施形態では、提供部７４０は、例えば、操作情報を接続部６０に出力することで、操作情報を加工装置２に提供する。提供部７４０は、変換部７３０の構成に含めてもよい。なお、変換部７３０は、加工装置２のタッチパネル３０の情報を読み取る機能を有し、情報機器３００に備えられていてもよい。

【0058】

（情報機器）
図６に示すように、情報機器３００は、撮像部３１０と、タッチパネル３２０と、通信部３３０と、記憶部３４０と、制御部３５０と、を備える。制御部３５０は、撮像部３１０、タッチパネル３２０、通信部３３０及び記憶部３４０と電気的に接続されている。

【0059】

撮像部３１０は、ＣＣＤ、ＣＭＯＳ等のイメージセンサを用いて電子的に画像を撮像する。撮像部３１０は、撮像した画像を信号に変換して制御部３５０に供給する。撮像部３１０は、撮像した画像の信号をタッチパネル３２０に供給することで、該画像をタッチパネル３２０に表示させる。実施形態では、撮像部３１０は、操作画面５１０を撮像する撮像部の一例である。

【0060】

タッチパネル３２０は、例えば、表示デバイスとタッチスクリーンとが重ねて配置されている。タッチパネル３２０は、情報機器３００に関する各種情報を表示し、表示内容に対するオペレータ等の操作を受け付ける。タッチパネル３２０は、例えば、矩形状に形成されており、情報機器３００の一面に設けられている。タッチパネル３２０は、タッチパネル３２０に対して接触した物体の座標（位置）を検出する。タッチパネル３２０は、接触の間隔、接触の位置の変化、接触の回数等を検出することができる。実施形態では、タッチパネル３２０は、第２タッチパネルの一例である。タッチパネル３２０は、検出結果を制御部３５０に提供する。

【0061】

通信部３３０は、例えば、通信ユニット７０、他の通信機器等と通信を行う。通信部３３０は、例えば、制御部３５０の制御により、操作位置情報等を通信ユニット７０に送信する。通信部３３０は、外部の電子機器から受信した各種情報を制御部３５０に供給する。通信部３３０は、ペアリングされた通信機器との間で、無線による通信を行う機能を有する。通信部３３０は、他の通信機器から各種情報を受信する機能を有する。実施形態では、通信部３３０は、情報機器３００の送信部の一例である。

【0062】

記憶部３４０は、各種情報及びプログラムを記憶する。例えば、記憶部３４０は、例えば、ＲＡＭ、フラッシュメモリ等の半導体メモリ素子、ハードディスク、光ディスク等である。記憶部３４０は、撮像部３１０が撮像した撮像情報３４１、タッチパネル３２０が検出した操作位置情報３４２等の各種情報を記憶する。記憶部３４０は、情報機器３００を加工装置２のＨＩＤとして機能させるためのプログラム３４３を記憶する。プログラム３４３は、例えば、アプリケーションプログラムであり、オペレータ等によって起動される。

【0063】

制御部３５０は、ＣＰＵなどの演算処理装置と、ＲＯＭ又はＲＡＭなどの記憶装置と、入出力インターフェース装置とを備える。制御部３５０は、例えば、情報機器３００を制御する統合制御ユニットである。制御部３５０は、情報機器３００の各構成要素を制御するための制御プログラム、プログラム３４３などを実行可能なコンピュータである。

【0064】

制御部３５０は、例えばプログラム３４３を実行することで、撮像部３１０を起動させ、加工装置２の操作画面５１０をオペレータに撮像させる。制御部３５０は、撮像した操作画面５１０の画像をタッチパネル３２０に表示させ、該画像に対するオペレータの操作を受け付ける。制御部３５０は、画像に対する操作位置情報を検出すると、該操作位置情報をペアリングされた通信ユニット７０に送信するように通信部３３０を制御する。

【0065】

制御部３５０は、撮像した操作画面５１０の画像を補正する補正部３５１を備える。補正部３５１は、上述した画像補正機能を有する。補正部３５１は、矩形認識、台形補正等の機能を含む。補正部３５１は、例えば、加工装置２のタッチパネル３０、表示領域３３、操作画面５１０等の矩形を認識する。補正部３５１は、撮像角度による画像の台形、斜め、角度等のゆがみを検出すると、四角形に補正する。

【0066】

以上、本実施形態に係る加工システム１の加工装置２、通信ユニット７０及び情報機器３００の構成例について説明した。なお、図５及び図６を用いて説明した上記の構成はあくまで一例であり、本実施形態に係る加工装置２、通信ユニット７０及び情報機器３００の構成は係る例に限定されない。本実施形態に係る加工装置２、通信ユニット７０及び情報機器３００の機能構成は、仕様や運用に応じて柔軟に変形可能である。

【0067】

（加工システムの処理手順の一例）
次に、実施形態に係る加工システム１が実行する処理手順の一例を説明する。まず、情報機器３００が実行する処理手順の一例について説明する。図７は、実施形態に係る情報機器３００の制御部３５０が実行する処理手順の一例を示すフローチャートである。図７に示す処理手順は、情報機器３００の制御部３５０がプログラムを実行することによって実現される。図７に示す処理手順は、オペレータの起動指示に応じて実行される。

【0068】

図７に示すように、情報機器３００の制御部３５０は、撮像部３１０を起動させる（ステップ２１０１）。例えば、制御部３５０は、撮像部３１０を起動させ、撮像部３１０を撮像可能な状態にする。制御部３５０は、加工装置２の操作画面５１０の撮像処理を実行する（ステップ２１０２）。例えば、制御部３５０は、撮像処理を実行することで、加工装置２の操作画面５１０の撮像をオペレータに促し、操作画面５１０の画像を示す撮像情報３４１を記憶部３４０に記憶する。制御部３５０は、ステップ２１０２の処理が終了すると、処理をステップ２１０３に進める。

【0069】

制御部３５０は、撮像した操作画面５１０の画像を補正する（ステップ２１０３）。例えば、制御部３５０は、エッジ検出、パターンマッチング等により、画像から操作画面５１０を検出し、操作画面５１０のゆがみを検出すると、操作画面５１０が四角形になるように補正する。また、制御部３５０は、操作画面５１０のゆがみを検出しないと、補正を行わずに処理を終了する。制御部３５０は、ステップ２１０３の処理が終了すると、処理をステップ２１０４に進める。

【0070】

制御部３５０は、操作画面５１０の画像をタッチパネル３２０に表示する（ステップ２１０４）。例えば、制御部３５０は、操作画面５１０の画像を表示するようにタッチパネル３２０を制御する。これにより、タッチパネル３２０は、撮像部３１０が撮像した操作画面５１０の画像を表示する。制御部３５０は、ステップ２１０４の処理が終了すると、処理をステップ２１０５に進める。

【0071】

制御部３５０は、タッチパネル３２０の検出結果に基づいて、画像に対する操作を検出したか否かを判定する（ステップ２１０５）。例えば、制御部３５０は、タッチパネル３２０が操作画面５１０または操作画面５１０の操作ボタンの画像に対する物体の接触を検出した場合に、画像に対する操作を検出したと判定する。制御部３５０は、画像に対する操作を検出していないと判定した場合（ステップ２１０５でＮｏ）、処理を後述するステップ２１０８に進める。また、制御部３５０は、画像に対する操作を検出したと判定した場合（ステップ２１０５でＹｅｓ）、処理をステップ２１０６に進める。

【0072】

制御部３５０は、画像に対する操作位置情報を作成する（ステップ２１０６）。例えば、制御部３５０は、タッチパネル３２０が検出した物体の接触位置に基づいて、ＤＸ比率、ＤＹ比率、操作種別を求め、それらを識別可能な操作位置情報３４２を作成する。制御部３５０は、ステップ２１０６の処理が終了すると、処理をステップ２１０７に進める。

【0073】

制御部３５０は、操作位置情報を通信ユニット７０に送信するように通信部３３０を制御する（ステップ２１０７）。例えば、制御部３５０は、操作位置情報をペアリングされた通信ユニット７０に送信する。制御部３５０は、ステップ２１０７の処理が終了すると、処理をステップ２１０８に進める。

【0074】

制御部３５０は、終了するか否かを判定する（ステップ２１０８）。例えば、制御部３５０は、タッチパネル３２０、通信部３３０等を介して、終了指示を受け付けた場合に、終了すると判定する。制御部３５０は、終了しないと判定した場合（ステップ２１０８でＮｏ）、処理を既に説明したステップ２１０５に戻し、処理を継続する。また、制御部３５０は、終了すると判定した場合（ステップ２１０８でＹｅｓ）処理をステップ２１０９に進める。

【0075】

制御部３５０は、操作画面５１０の画像の表示を終了させる（ステップ２１０９）。例えば、制御部３５０は、操作画面５１０の画像の表示を終了するようにタッチパネル３２０を制御する。これにより、タッチパネル３２０は、撮像部３１０が撮像した操作画面５１０の画像の表示を終了する。制御部３５０は、ステップ２１０９の処理が終了すると、図７に示す処理手順を終了させる。

【0076】

図７に示す処理手順では、ステップ２１０７は、情報機器３００と通信ユニット７０とがペアリングされていることを前提に説明したが、これに限定されない。例えば、図７に示す処理手順は、通信ユニット７０とペアリングする処理をステップ２１０７に含めてもよいし、新たな処理として含めてもよい。

【0077】

次に、通信ユニット７０が実行する処理手順の一例について説明する。図８は、実施形態に係る通信ユニット７０が実行する処理手順の一例を示すフローチャートである。図８に示す処理手順は、通信ユニット７０がプログラムを実行することによって実現される。図８に示す処理手順は、通信ユニット７０によって繰り返し実行される。

【0078】

図８に示すように、通信ユニット７０は、操作位置情報３４２を受信したか否かを判定する（ステップ３１０１）。例えば、通信ユニット７０は、通信部７１０を介いて、情報機器３００から操作位置情報を受信している場合に、操作位置情報３４２を受信したと判定する。通信ユニット７０は、操作位置情報３４２を受信していないと判定した場合（ステップ３１０１でＮｏ）、図８に示す処理手順を終了させる。

【0079】

また、通信ユニット７０は、操作位置情報３４２を受信したと判定した場合（ステップ３１０１でＹｅｓ）、処理をステップ３１０１に進める。通信ユニット７０は、操作位置情報３４２を操作画面５１０の座標系の操作情報に変換する（ステップ３１０２）。例えば、通信ユニット７０は、操作位置情報が示すＤＸ比率及びＤＹ比率とサイズ情報が示すタッチパネル３０のサイズとに基づいて、操作位置情報をタッチパネル３０の座標系の操作情報に変換する。通信ユニット７０は、ステップ３１０２の処理が終了すると、処理をステップ３１０３に進める。

【0080】

通信ユニット７０は、変換した操作情報を加工装置２に提供する（ステップ３１０３）。例えば、通信ユニット７０は、変換した操作情報を加工装置２の接続部６０に出力することで、操作情報を加工装置２に提供する。通信ユニット７０は、ステップ３１０３の処理が終了すると、図８に示す処理手順を終了させる。

【0081】

次に、加工装置２が実行する処理手順の一例について説明する。図９は、実施形態に係る加工装置２の制御ユニット４０が実行する処理手順の一例を示すフローチャートである。図９に示す処理手順は、加工装置２の制御ユニット４０がプログラムを実行することによって実現される。図９に示す処理手順は、制御ユニット４０が所定のタイミングに実行される。所定のタイミングは、例えば、加工装置２をオペレータが使用するタイミング等を含む。

【0082】

図９に示すように、加工装置２の制御ユニット４０は、操作画面５１０をタッチパネル３０に表示させる（ステップ４１０１）。例えば、制御ユニット４０は、操作画面データ５１が示す操作画面５１０を表示するように、タッチパネル３０を制御する。その結果、タッチパネル３０は、操作画面５１０を表示する。制御ユニット４０は、ステップ４１０１の処理が終了すると、処理をステップ４１０２に進める。

【0083】

制御ユニット４０は、タッチパネル３０からの操作情報ありか否かを判定する（ステップ４１０２）。例えば、タッチパネル３０は、物体の接触を検出した場合に、検出結果を示す操作情報を制御ユニット４０に供給する。このため、制御ユニット４０は、タッチパネル３０から操作情報の供給があった場合に、タッチパネル３０からの操作情報ありと判定する。制御ユニット４０は、タッチパネル３０からの操作情報ありと判定した場合（ステップ４１０２でＹｅｓ）、タッチパネル３０に対する操作を検出しているので、処理を後述するステップ４１０４に進める。また、制御ユニット４０は、タッチパネル３０からの操作情報ありではない、すなわち操作情報なしと判定した場合（ステップ４１０２でＮｏ）、タッチパネル３０に対する操作を検出していないので、処理をステップ４１０３に進める。

【0084】

制御ユニット４０は、通信ユニット７０からの操作情報ありか否かを判定する（ステップ４１０３）。例えば、通信ユニット７０は、情報機器３００が操作位置情報を送信した場合に、操作位置情報を変換した操作情報を制御ユニット４０に提供する。このため、制御ユニット４０は、接続部６０を介して、通信ユニット７０から操作情報の提供があった場合に、通信ユニット７０からの操作情報ありと判定する。制御ユニット４０は、通信ユニット７０からの操作情報ありではない、すなわち操作情報なしと判定した場合（ステップ４１０３でＮｏ）、タッチパネル３０及び情報機器３００に対する操作を検出していないので、処理を後述するステップ４１０５に進める。また、制御ユニット４０は、通信ユニット７０からの操作情報ありと判定した場合（ステップ４１０３でＹｅｓ）、処理をステップ４１０４に進める。

【0085】

制御ユニット４０は、操作情報に基づく処理を実行する（ステップ４１０４）。例えば、制御ユニット４０は、操作情報が示す座標（ＴＸ，ＴＹ）及び操作種別に基づいて、タッチパネル３０に表示している操作画面５１０に対する操作を検出する。そして、制御ユニット４０は、検出した操作に応じた処理を実行することで、加工装置２の動作を制御する。例えば、制御ユニット４０は、操作画面５１０の操作ボタンが操作されたことを検出した場合、操作ボタンに割り当てられた加工装置２の制御処理を実行する。制御ユニット４０は、ステップ４１０４の処理が終了すると、処理をステップ４１０５に進める。

【0086】

制御ユニット４０は、終了するか否かを判定する（ステップ４１０５）。例えば、制御ユニット４０は、加工装置２の外部から終了指示を受け付けた場合等に、終了すると判定する。制御ユニット４０は、終了しないと判定した場合（ステップ４１０５でＮｏ）、処理を既に説明したステップ４１０２に戻し、処理を継続する。また、制御ユニット４０は、終了すると判定した場合（ステップ４１０５でＹｅｓ）、処理をステップ４１０６に進める。

【0087】

制御ユニット４０は、操作画面５１０の表示を終了させる（ステップ４１０６）。例えば、制御ユニット４０は、操作画面５１０の表示を終了するようにタッチパネル３０を制御する。これにより、タッチパネル３０は、操作画面５１０の表示を終了する。制御ユニット４０は、ステップ４１０６の処理が終了すると、図９に示す処理手順を終了させる。

【0088】

以上により、加工システム１は、情報機器３００が操作画面５１０の画像を補正してタッチパネル３２０に表示し、通信ユニット７０が補正した画像に対する操作位置情報を加工装置２の操作情報に変換することができる。これにより、加工システム１は、情報機器３００が操作画面５１０を撮像した画像を用いてオペレータに操作させても、通信ユニット７０がより一層正確な操作情報を加工装置２に供給することができる。その結果、加工システム１は、加工装置２が操作画面５１０に関する情報を情報機器３００に提供する必要がないので、加工装置２の構成を複雑化することなく、加工装置２のタッチパネル３０から離れて１人のオペレータが加工装置２を操作することができる。

【0089】

また、加工システム１は、通信ユニット７０が加工装置２の接続部６０に着脱自在に接続可能な構成であり、無線通信によって該情報機器３００から該操作位置情報を受信することができる。これにより、加工システム１は、例えば、メンテナンス時、設定時等に通信ユニット７０を加工装置２の接続部６０に一時的に接続すればよいので、加工装置２の機能の増加を抑制することができる。また、例えば、マウスやキーボードなどの周辺機器を接続した時に設定不要で使用できるよう、周辺機器の操作を有効にするＨＩＤ準拠のドライバが初期設定で加工装置２にインストールされている場合がある。この場合、加工システム１は、加工装置２に着脱自在の通信ユニット７０を介在させることで、情報機器３００を加工装置２のＨＩＤとして機能させることができるので、加工装置２の機能追加を抑制することができる。

【0090】

［変形例］
上記の実施形態では、加工システム１は、加工装置２の操作画面５１０に対する操作を、情報機器３００から受け付ける場合について説明したが、これに限定されない。加工システム１は、操作画面５１０における一部の操作を不能としてもよい。例えば、加工装置２は、操作画面５１０の操作ボタンの操作に応じて、他の画面に表示を切り替える場合がある。この場合、加工システム１は、他の画面に表示を切り替える操作を受け付けた場合、加工装置２で表示している操作画面５１０と、情報機器３００が表示している操作画面５１０の画像とが一致しなくなる可能性がある。このため、加工システム１は、操作画面５１０における一部の操作を不能とする機能をさらに備える。

【0091】

図１０は、実施形態の変形例に係る操作画面５１０の一例を示す図である。図１０に示すように、操作画面５１０は、上述した操作ボタン５２０と、第２操作ボタン５３０と、を有する。操作ボタン５２０は、情報機器３００から操作可能な操作ボタンである。第２操作ボタン５３０は、情報機器３００から操作不能な操作ボタンである。第２操作ボタン５３０は、「ＥＮＴＥＲ」及び「ＥＸＩＴ」を選択するためのボタンであり、操作に応じて操作画面５１０から他の画面への画面遷移が発生する。第２操作ボタン５３０は、加工装置２ではオペレータが操作可能であるのに対し、情報機器３００ではオペレータが操作不能である。操作不能は、例えば、加工装置２が操作を受け付けないこと、オペレータが選択できないこと等を意味する。

【0092】

例えば、情報機器３００は、図１０に示す操作画面５１０を撮像した場合、操作画面５１０の画像には、第２操作ボタン５３０の画像も含まれる。このため、オペレータは、第２操作ボタン５３０に対して操作する可能性がある。情報機器３００は、タッチパネル３２０を介して、第２操作ボタン５３０に対する操作を検出すると、該操作の位置を示す操作位置情報を作成して通信ユニット７０に送信する。

【0093】

通信ユニット７０は、操作位置情報を情報機器３００から受信すると、操作位置情報を加工装置２の操作情報に変換し、該操作情報を加工装置２に提供する。加工装置２は、通信ユニット７０からの操作情報が示す操作位置が第２操作ボタン５３０に対する操作であると、操作情報を無効とする。これにより、加工装置２は、情報機器３００からの第２操作ボタン５３０に対する操作を不能とすることができる。加工装置２は、情報機器３００からの第２操作ボタン５３０に対する操作を無効とすることで、情報機器３００では操作画面５１０の画像をそのまま利用することが可能となる。その結果、加工システム１は、情報機器３００が操作画面５１０の画像における操作ボタンを判別する処理を不要となり、多種多様な操作画面５１９に対応することができる。

【0094】

次に、実施形態の変形例に係る加工装置２が実行する処理手順の一例について説明する。図１１は、実施形態の変形例に係る加工装置２の制御ユニット４０が実行する処理手順の一例を示すフローチャートである。図１１に示す処理手順は、加工装置２の制御ユニット４０がプログラムを実行することによって実現される。図１１に示す処理手順は、制御ユニット４０が所定のタイミングに実行される。図１１に示す処理手順は、図９に示した処理手順と同一の処理には同一の符号を付することにより重複する説明を省略する。

【0095】

図１１に示すように、加工装置２の制御ユニット４０は、操作画面５１０をタッチパネル３０に表示させる（ステップ４１０１）。制御ユニット４０は、タッチパネル３０からの操作情報ありか否かを判定する（ステップ４１０２）。制御ユニット４０は、タッチパネル３０からの操作情報ありと判定した場合（ステップ４１０２でＹｅｓ）、タッチパネル３０に対する操作を検出しているので、処理をステップ４１０４に進める。また、制御ユニット４０は、タッチパネル３０からの操作情報ありではないと判定した場合（ステップ４１０２でＮｏ）、タッチパネル３０に対する操作を検出していないので、処理をステップ４１０３に進める。

【0096】

制御ユニット４０は、通信ユニット７０からの操作情報ありか否かを判定する（ステップ４１０３）。制御ユニット４０は、通信ユニット７０からの操作情報ありではない、すなわち操作情報なしと判定した場合（ステップ４１０３でＮｏ）、タッチパネル３０及び情報機器３００に対する操作を検出していないので、処理をステップ４１０５に進める。また、制御ユニット４０は、通信ユニット７０からの操作情報ありと判定した場合（ステップ４１０３でＹｅｓ）、処理をステップ４１１０に進める。

【0097】

制御ユニット４０は、情報機器３００から操作可能であるか否かを判定する（ステップ４１１０）。例えば、加工装置２は、操作不能な操作ボタン５３０を判別可能な情報を操作画面データ５１に含めたり、操作画面データ５１に関連付けたりする。例えば、制御ユニット４０は、表示している操作画面に対応した操作画面データ５１に基づいて、操作可能であるか否かを判定する。制御ユニット４０は、操作情報が操作画面５１０の第２操作ボタン５３０に対する操作ではない場合、情報機器３００から操作可能であると判定する。制御ユニット４０は、情報機器３００から操作可能ではないと判定した場合（ステップ４１１０でＮｏ）、ステップ４１０４の処理を実行せずに、処理をステップ４１０５に進める。また、制御ユニット４０は、情報機器３００から操作可能であると判定した場合（ステップ４１１０でＹｅｓ）、処理をステップ４１０４に進める。

【0098】

制御ユニット４０は、操作情報に基づく処理を実行する（ステップ４１０４）。制御ユニット４０は、タッチパネル３０からの操作情報、及び通信ユニット７０からの第２操作ボタン５３０に対する操作ではない操作情報に対するステップ４１０４の処理が終了すると、処理をステップ４１０５に進める。

【0099】

制御ユニット４０は、終了するか否かを判定する（ステップ４１０５）。制御ユニット４０は、終了しないと判定した場合（ステップ４１０５でＮｏ）、処理をステップ４１０２に戻し、処理を継続する。また、制御ユニット４０は、終了すると判定した場合（ステップ４１０５でＹｅｓ）、処理をステップ４１０６に進める。制御ユニット４０は、操作画面５１０の表示を終了させる（ステップ４１０６）。制御ユニット４０は、ステップ４１０６の処理が終了すると、図１１に示す処理手順を終了させる。

【0100】

図１１に示す処理手順では、情報機器３００から操作可能ではないと判定した場合（ステップ４１１０でＮｏ）、ステップ４１０４の処理を実行せずに、処理をステップ４１０５に進める場合について説明したが、これに限定しない。例えば、図１１に示す処理手順は、情報機器３００から操作不能であることを報知する処理を実行した後に、処理をステップ４１０５に進めるように構成してもよい。報知する処理は、例えば、加工装置２で報知する処理、情報機器３００で報知する処理等を含む。

【0101】

また、加工システム１は、加工装置２が情報機器３００から操作可能な操作ボタンと、操作不能な操作ボタンとをオペレータが判別可能なように、異なる表示態様で操作ボタンを表示してもよい。この場合、情報機器３００が撮像した操作画面の画像でも操作ボタンを判別可能になるため、加工システム１は、情報機器３００を操作するオペレータに操作可能な操作ボタンであるか操作不能な操作ボタンを遠隔操作時等に認識させることができる。

【0102】

［その他の実施形態］
なお、本発明に係る加工装置２は、上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。たとえば、加工装置２は、切削装置以外の研削装置やレーザー加工装置であってもよい。

【0103】

上記の実施形態において説明した加工システム１の各構成要素は機能概念的なものであり、必ずしも物理的に図示の如く構成されていることを要しない。すなわち、加工システム１の分散・統合の具体的形態は図示のものに限られず、その全部または一部を、各種の負荷や使用状況などに応じて、任意の単位で機能的または物理的に分散・統合して構成することができる。例えば、加工システム１は、通信ユニット７０を加工装置２に内蔵させる構成としたり、加工装置２の通信機能と通信ユニット７０とを無線通信で接続する構成としたりしてもよい。

【符号の説明】

【0104】

１ 加工システム
２ 加工装置
１０ チャックテーブル
１２ 撮像ユニット
２０ 加工ユニット
３０ タッチパネル（第１タッチパネル）
３１ 表示部
３２ 入力部
４０ 制御ユニット
５０ ストレージ
５１ 操作画面データ
５２ 環境データ
６０ 接続部
７０ 通信ユニット
１００ 被加工物
３００ 情報機器
３１０ 撮像部
３２０ タッチパネル（第２タッチパネル）
３３０ 通信部
３４０ 記憶部
３４１ 撮像情報
３４２ 操作位置情報
３４３ プログラム
３５０ 制御部
３５１ 補正部
５１０ 操作画面
７１０ 通信部
７２０ 記憶部
７３０ 変換部
７４０ 提供部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】