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特許 7503635出願番号 特願 2022-539154
荷電粒子評価ツール、検査方法
出願人 エーエスエムエル ネザーランズ ビー．ブイ．（識別番号 504151804）
2026年 特許公開件数ランキング 191位 162件（※）
2026年 特許取得件数ランキング 324位 74件（※）
公報発行日 2024年6月20
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7503635 ログイン済みの方はこのURLへ
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※ 共同出願を含む
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技術分野
関連出願の相互参照
[0001] 本出願は、２０２０年１月６日に出願された欧州特許出願第２０１５０３９４．３号及び２０２０年７月６日に出願された欧州特許出願第２０１８４１６０．８号及び２０２０年９月２４日に出願された欧州特許出願第２０１９８２０１．４号の優先権を主張するものである。これらの特許出願はそれぞれ、全体として本明細書に援用される。
この特許の権利範囲[特許請求の範囲]
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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
【図1】
[0014]例示的な荷電粒子ビーム検査装置を示す概略図である。
【図2】
[0015]図１の例示的な荷電粒子ビーム検査装置の一部である例示的なマルチビーム装置を示す概略図である。
【図3】
[0016]図１の例示的な荷電粒子ビーム検査装置のソース変換ユニットの例示的な構成を示す例示的なマルチビーム装置の概略図である。
【図4】
[0017]ある実施形態による、検査装置の対物レンズの概略断面図である。
【図5】
[0018]図４の対物レンズの底面図である。
【図6】
[0019]図４の対物レンズの変更形態の底面図である。
【図7】
[0020]図４の対物レンズに組み込まれた検出器の拡大概略断面図である。
【図8】
[0021]理論上のトランスインピーダンス増幅器の概略図である。
【図9】
[0022]熱雑音の効果を示すトランスインピーダンス増幅器の概略図である。
【図10】
[0023]図１の例示的な荷電粒子ビーム検査装置の一部であり得る別の例示的なマルチビーム装置を示す概略図である。
【図11】
[0024]ある実施形態による、別の例示的なマルチビーム装置を示す概略図である。
【図12】
[0025]ある実施形態による、別の例示的なマルチビーム装置の概略図である。
【図13】
[0026]ある実施形態による、検査装置の対物レンズの概略断面図である。
【図14】
[0027]図１３の対物レンズに組み込まれた検出器ユニットの底面図である。
【図15】
[0028]ある実施形態による、別の例示的なマルチビーム装置を示す概略図である。
【図16】
[0029]検出器が異なる位置にある、図１５の装置の対物レンズに組み込まれた検出器の拡大概略断面図である。
【図17】
[0030]図１５の装置の対物レンズにおいて使用することができる代替検出器の拡大概略断面図である。
代表図 図1本件の代表的な図
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