知財求人 - 知財ポータルサイト「IP Force」
(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2024-06-20
(45)【発行日】2024-06-28
(54)【発明の名称】研削装置
(51)【国際特許分類】
B24B 7/04 20060101AFI20240621BHJP
B24B 45/00 20060101ALI20240621BHJP
B24B 51/00 20060101ALI20240621BHJP
B24B 41/06 20120101ALI20240621BHJP
【ＦＩ】
B24B7/04 A
B24B45/00 C
B24B51/00
B24B41/06 A
【請求項の数】
5
(21)【出願番号】P 2020042836
(22)【出願日】2020-03-12
(65)【公開番号】P2021142602
(43)【公開日】2021-09-24
【審査請求日】2023-01-13
(73)【特許権者】
【識別番号】000134051
【氏名又は名称】株式会社ディスコ
(74)【代理人】
【識別番号】110001014
【氏名又は名称】弁理士法人東京アルパ特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】宮本 弘樹
(72)【発明者】
【氏名】万波 秀年
【審査官】亀田 貴志
(56)【参考文献】
【文献】特開２０１１－１３１２９１（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０２０－０２３０４８（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１８－０６９３４３（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０００－１７６８０２（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｂ２４Ｂ ７／０４
Ｂ２４Ｂ ４５／００
Ｂ２４Ｂ ５１／００
Ｂ２４Ｂ ４１／０６
Ｈ０１Ｌ ２１／３０４
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
円環状の粗研削砥石と円環状の仕上げ研削砥石とを用いて被加工物を研削する研削装置であって、保持面によって被加工物を保持する保持手段と、
該粗研削砥石または該仕上げ研削砥石のいずれか一方の砥石が該いずれか一方の砥石の中心を軸に回転可能に装着される単研削手段と、
該粗研削砥石と該仕上げ研削砥石とを装着し該中心を軸に回転可能に装着し、該粗研削砥石と該仕上げ研削砥石とを相対的に該軸方向に進退可能とし、粗研削と仕上げ研削とを可能とする複合研削手段と、
該粗研削砥石を用いて被加工物を研削するための粗研削条件と、該仕上げ研削砥石を用いて被加工物を研削するための仕上げ研削条件とを設定する研削条件設定部と、
該粗研削条件の粗研削時間と該仕上げ研削条件の仕上げ研削時間とを比較する制御手段と、
該制御手段から該比較の結果の通知を受けて、研削時間が長い方の研削の実施に用いる研削砥石を作業者に通知する通知手段と、
を備え、
該制御手段は、該粗研削時間が長い場合は、該単研削手段に装着された該粗研削砥石を使用して粗研削加工を施し該複合研削手段を用いて粗研削加工と仕上げ研削加工とを施すことによって、該単研削手段と該複合研削手段との加工終了時刻を同時にさせ、
該仕上げ研削時間が長い場合は、該複合研削手段を用いて粗研削加工と仕上げ研削加工とを施し、該単研削手段に装着された該仕上げ研削砥石を使用して仕上げ研削加工を施すことによって、該複合研削手段と該単研削手段との加工終了時刻を同時にさせる制御をする、研削装置。
【請求項2】
該制御手段は、該仕上げ研削時間に対し該粗研削時間が長い場合、
該単研削手段は、装着した該粗研削砥石を用いて（該粗研削時間＋該仕上げ研削時間）／２の時間、粗研削加工させ、
該複合研削手段は、該粗研削砥石を用いて（該粗研削時間－該仕上げ研削時間）／２の時間、粗研削した後、
切換手段を用いて該被加工物に該仕上げ研削砥石を接触可能に該粗研削砥石に対し突出させ、該仕上げ研削砥石を用いて該仕上げ研削時間、仕上げ研削加工する制御と、
該粗研削時間に対し該仕上げ研削時間が長い場合、
該複合研削手段は、該粗研削砥石を用いて（該粗研削時間＋該仕上げ研削時間）／２の時間、粗研削した後、
該切換手段を用いて該被加工物に該仕上げ研削砥石を接触可能に該粗研削砥石に対し突出させ、該仕上げ研削砥石を用いて（該仕上げ研削時間－該粗研削時間）／２の時間、仕上げ研削加工させ、
該単研削手段は、該仕上げ研削砥石を用いて該仕上げ研削時間、仕上げ研削加工する制御と、を行う請求項１記載の研削装置。
【請求項3】
少なくとも３つの該保持手段を等間隔でターンテーブルに配置し、該ターンテーブルの中心を軸に回転させ、該保持手段を該単研削手段の研削位置及び該複合研削手段の研削位置に位置づけ、該複合研削手段の該粗研削砥石及び該仕上げ研削砥石が該保持面の中心を通過可能に該複合研削手段を水平移動可能な水平移動手段を備える請求項１記載の研削装置。
【請求項4】
該保持手段は、該単研削手段の研削位置に配置される第１保持手段と、該複合研削手段の研削位置に配置される第２保持手段と、を備え、
該第１保持手段と該第２保持手段との間で被加工物を搬送する搬送手段を備える請求項１記載の研削装置。
【請求項5】
請求項1記載の研削装置を用いた被加工物の研削方法であって、（該粗研削時間＋該仕上げ研削時間）／２を算出する第１算出工程と、
｛（該粗研削時間－該仕上げ研削時間）の絶対値｝／２を算出する第２算出工程と、
該粗研削時間と該仕上げ研削時間とのどちらが長いか比較する比較工程と、
該比較工程の結果に基づき、該単研削手段に該粗研削砥石または該仕上げ研削砥石のいずれかを装着する装着工程と、
該比較工程の結果、該粗研削時間が長い場合は、
該単研削手段に装着された該粗研削砥石を用いて該第１算出工程にて算出した時間、粗研削する第１研削工程と、
該複合研削手段に装着された該粗研削砥石を用いて該第２算出工程にて算出した時間、粗研削する第２研削工程と、
該切換手段を用いて該粗研削砥石より該仕上げ研削砥石を被加工物に接近させ突出させる切換工程と、
該複合研削手段に装着された該仕上げ研削砥石を用いて該仕上げ条件による該仕上げ研削時間、仕上げ研削する第３研削工程と、を実施し、
該比較工程の結果、該仕上げ研削時間が長い場合は、
該複合研削手段に装着された該粗研削砥石を用いて該粗研削条件による該粗研削時間、粗研削する第４研削工程と、
該切換手段を用いて該粗研削砥石より該仕上げ研削砥石を該被加工物に接近させ突出させる該切換工程と、
該複合研削手段に装着された該仕上げ研削砥石を用いて該第２算出工程にて算出した時間、仕上げ研削する第５研削工程と、
該単研削手段に装着された該仕上げ研削砥石を用いて該第１算出工程にて算出した時間、仕上げ研削する第６研削工程と、を実施する
被加工物の研削方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、研削装置に関する。
【背景技術】
【0002】
特許文献１、２に開示の研削装置は、粗研削砥石を用いた粗研削加工と仕上げ研削砥石を用いた仕上げ研削加工とを実施している。上記研削加工では、粗研削手段に装着された粗研削砥石を用いて被加工物を所定の第１厚みに粗研削した後、仕上げ研削手段に装着された仕上げ研削砥石を用いて被加工物を第１厚みよりも小さな第２厚みに仕上げ研削している。
例えば、上記のように粗研削加工を行ってからその粗研削加工された被加工物に対して仕上げ研削加工を行うという作業を複数の被加工物に対して連続して行う際に、粗研削時間が仕上げ研削時間より長い場合、前の被加工物の仕上げ研削加工が終了した仕上げ研削手段は、次の被加工物の粗研削加工が終了するまで待機している。
上記の場合、被加工物が第１厚みまで薄化される前であっても所定の研削時間が経過したら、被加工物の粗研削を終わらせて、その後粗研削によって薄化させる予定だった厚み分を仕上げ研削砥石を用いて研削することにより、２つの研削手段が同時に研削加工終了し、研削装置の待機時間をなくすことができる。これにより、加工時間を短縮することが可能である。
例えば、上記のように粗研削加工を行ってからその粗研削加工された被加工物に対して仕上げ研削加工を行うという作業を複数の被加工物に対して連続して行う際に、粗研削時間が仕上げ研削時間より長い場合、前の被加工物の仕上げ研削加工が終了した仕上げ研削手段は、次の被加工物の粗研削加工が終了するまで待機している。
上記の場合、被加工物が第１厚みまで薄化される前であっても所定の研削時間が経過したら、被加工物の粗研削を終わらせて、その後粗研削によって薄化させる予定だった厚み分を仕上げ研削砥石を用いて研削することにより、２つの研削手段が同時に研削加工終了し、研削装置の待機時間をなくすことができる。これにより、加工時間を短縮することが可能である。
【0003】
しかし、上記の加工方法によると、仕上げ研削時間が通常の研削加工における仕上げ研削時間よりも長くなるため、仕上げ研削砥石の消耗が大きくなり、仕上げ研削砥石の交換を頻繁に行う必要が生じて、生産性が低下するという問題がある。
そのため、特許文献３に開示のように、粗研削砥石を装着した第１研削手段と、粗研削砥石と仕上げ研削砥石とを装着した第２研削手段とを備え、第１研削手段を用いて研削する予定の粗研削加工の一部を第２研削手段の粗研削砥石で研削し、続いて第２研削手段の仕上げ研削砥石を用いて仕上げ研削することで、第１研削手段と第２研削手段との終了時間を一致させるという発明がある。
そのため、特許文献３に開示のように、粗研削砥石を装着した第１研削手段と、粗研削砥石と仕上げ研削砥石とを装着した第２研削手段とを備え、第１研削手段を用いて研削する予定の粗研削加工の一部を第２研削手段の粗研削砥石で研削し、続いて第２研削手段の仕上げ研削砥石を用いて仕上げ研削することで、第１研削手段と第２研削手段との終了時間を一致させるという発明がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【文献】特開１９９５－１３０６９２号公報
【文献】特開２００７－３３５４５８号公報
【文献】特開２０１１－１３１２９１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
しかし、上記の発明は、仕上げ研削時間が長い場合に、第１研削手段と第２研削手段との終了時間を一致させることができないため、仕上げ研削時間が粗研削時間より長い研削加工条件に対しても第１研削手段と第２研削手段との終了時間を一致させたいという要望がある。
すなわち、粗研削砥石を用いた粗研削と仕上げ研削砥石を用いた仕上げ研削とによって被加工物を薄化する２つの研削手段を備えた研削装置は、いずれかの研削手段を待機させないようにして研削加工時間を短縮させるという課題がある。
すなわち、粗研削砥石を用いた粗研削と仕上げ研削砥石を用いた仕上げ研削とによって被加工物を薄化する２つの研削手段を備えた研削装置は、いずれかの研削手段を待機させないようにして研削加工時間を短縮させるという課題がある。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本発明は、円環状の粗研削砥石と円環状の仕上げ研削砥石とを用いて被加工物を研削する研削装置を用いてあって、保持面によって被加工物を保持する保持手段と、該粗研削砥石または該仕上げ研削砥石いずれか一方の砥石の中心が該いずれか一方の砥石を軸に回転可能に装着される単研削手段と、該粗研削砥石と該仕上げ研削砥石とを装着し該中心を軸に回転可能に装着し、該粗研削砥石と該仕上げ研削砥石とを相対的に該軸方向に進退可能とし、粗研削と仕上げ研削とを可能とする複合研削手段と、該粗研削砥石を用いて被加工物を研削するための粗研削条件と、該仕上げ研削砥石を用いて被加工物を研削するための仕上げ研削条件とを設定する研削条件設定部と、該粗研削条件の粗研削時間と該仕上げ研削条件の仕上げ研削時間とを比較する制御手段と、該制御手段から該比較の結果の通知を受けて、研削時間が長い方の研削の実施に用いる研削砥石を作業者に通知する通知手段と、を備え、該制御手段は、該粗研削時間が長い場合は、該単研削手段に装着された該粗研削砥石を使用して粗研削加工を施し該複合研削手段を用いて粗研削加工と仕上げ研削加工とを施すことによって、該単研削手段と該複合研削手段との加工終了時刻を同時にさせ、該仕上げ研削時間が長い場合は、該複合研削手段を用いて粗研削加工と仕上げ研削加工とを施し、該単研削手段に装着された該仕上げ研削砥石を使用して仕上げ研削加工を施すことによって、該複合研削手段と該単研削手段との加工終了時刻を同時にさせる制御をする、研削装置である。
上記の研削装置に備える該制御手段は、該仕上げ研削時間に対し該粗研削時間が長い場合、該単研削手段は、装着した該粗研削砥石を用いて（該粗研削時間＋該仕上げ研削時間）／２の時間、粗研削加工させ、該複合研削手段は、該粗研削砥石を用いて（該粗研削時間－該仕上げ研削時間）／２の時間、粗研削した後、切換手段を用いて該被加工物に該仕上げ研削砥石を接触可能に該粗研削砥石に対し突出させ、該仕上げ研削砥石を用いて該仕上げ研削時間、仕上げ研削加工する制御と、該粗研削時間に対し該仕上げ研削時間が長い場合、該複合研削手段は、該粗研削砥石を用いて（該粗研削時間＋該仕上げ研削時間）／２の時間、粗研削した後、該切換手段を用いて該被加工物に該仕上げ研削砥石を接触可能に該粗研削砥石に対し突出させ、該仕上げ研削砥石を用いて（該仕上げ研削時間－該粗研削時間）／２の時間、仕上げ研削加工させ、該単研削手段は、該仕上げ研削砥石を用いて該仕上げ研削時間、仕上げ研削加工する制御と、を行うことが望ましい。
上記の研削装置は、少なくとも３つの該保持手段を等間隔でターンテーブルに配置し、該ターンテーブルの中心を軸に回転させ、該保持手段を該単研削手段の研削位置及び該複合研削手段の研削位置に位置づけ、該複合研削手段の該粗研削砥石及び該仕上げ研削砥石が該保持面の中心を通過可能に該複合研削手段を水平移動可能な水平移動手段を備える研削装置であることが望ましい。
上記の研削装置に備える該保持手段は、該単研削手段の研削位置に配置される第１保持手段と、該複合研削手段の研削位置に配置される第２保持手段と、を備え、該第１保持手段と該第２保持手段との間で被加工物を搬送する搬送手段を備えていることが望ましい。
本発明は、上記の研削装置を用いた被加工物の研削方法であって、（該粗研削時間＋該仕上げ研削時間）／２を算出する第１算出工程と、｛（該粗研削時間－該仕上げ研削時間）の絶対値｝／２を算出する第２算出工程と、該粗研削時間と該仕上げ研削時間とのどちらが長いか比較する比較工程と、該比較工程の結果に基づき、該単研削手段に該粗研削砥石または該仕上げ研削砥石のいずれかを装着する装着工程と、該比較工程の結果、該粗研削時間が長い場合は、該単研削手段に装着された該粗研削砥石を用いて該第１算出工程にて算出した時間、粗研削する第１研削工程と、該複合研削手段に装着された該粗研削砥石を用いて該第２算出工程にて算出した時間、粗研削する第２研削工程と、該切換手段を用いて該粗研削砥石より該仕上げ研削砥石を被加工物に接近させ突出させる切換工程と、該複合研削手段に装着された該仕上げ研削砥石を用いて該仕上げ条件による該仕上げ研削時間、仕上げ研削する第３研削工程と、を実施し、該比較工程の結果、該仕上げ研削時間が長い場合は、該複合研削手段に装着された該粗研削砥石を用いて該粗研削条件による該粗研削時間、粗研削する第４研削工程と、該切換手段を用いて該粗研削砥石より該仕上げ研削砥石を該被加工物に接近させ突出させる該切換工程と、該複合研削手段に装着された該仕上げ研削砥石を用いて該第２算出工程にて算出した時間、仕上げ研削する第５研削工程と、該単研削手段に装着された該仕上げ研削砥石を用いて該第１算出工程にて算出した時間、仕上げ研削する第６研削工程と、を実施する被加工物の研削方法である。
上記の研削装置に備える該制御手段は、該仕上げ研削時間に対し該粗研削時間が長い場合、該単研削手段は、装着した該粗研削砥石を用いて（該粗研削時間＋該仕上げ研削時間）／２の時間、粗研削加工させ、該複合研削手段は、該粗研削砥石を用いて（該粗研削時間－該仕上げ研削時間）／２の時間、粗研削した後、切換手段を用いて該被加工物に該仕上げ研削砥石を接触可能に該粗研削砥石に対し突出させ、該仕上げ研削砥石を用いて該仕上げ研削時間、仕上げ研削加工する制御と、該粗研削時間に対し該仕上げ研削時間が長い場合、該複合研削手段は、該粗研削砥石を用いて（該粗研削時間＋該仕上げ研削時間）／２の時間、粗研削した後、該切換手段を用いて該被加工物に該仕上げ研削砥石を接触可能に該粗研削砥石に対し突出させ、該仕上げ研削砥石を用いて（該仕上げ研削時間－該粗研削時間）／２の時間、仕上げ研削加工させ、該単研削手段は、該仕上げ研削砥石を用いて該仕上げ研削時間、仕上げ研削加工する制御と、を行うことが望ましい。
上記の研削装置は、少なくとも３つの該保持手段を等間隔でターンテーブルに配置し、該ターンテーブルの中心を軸に回転させ、該保持手段を該単研削手段の研削位置及び該複合研削手段の研削位置に位置づけ、該複合研削手段の該粗研削砥石及び該仕上げ研削砥石が該保持面の中心を通過可能に該複合研削手段を水平移動可能な水平移動手段を備える研削装置であることが望ましい。
上記の研削装置に備える該保持手段は、該単研削手段の研削位置に配置される第１保持手段と、該複合研削手段の研削位置に配置される第２保持手段と、を備え、該第１保持手段と該第２保持手段との間で被加工物を搬送する搬送手段を備えていることが望ましい。
本発明は、上記の研削装置を用いた被加工物の研削方法であって、（該粗研削時間＋該仕上げ研削時間）／２を算出する第１算出工程と、｛（該粗研削時間－該仕上げ研削時間）の絶対値｝／２を算出する第２算出工程と、該粗研削時間と該仕上げ研削時間とのどちらが長いか比較する比較工程と、該比較工程の結果に基づき、該単研削手段に該粗研削砥石または該仕上げ研削砥石のいずれかを装着する装着工程と、該比較工程の結果、該粗研削時間が長い場合は、該単研削手段に装着された該粗研削砥石を用いて該第１算出工程にて算出した時間、粗研削する第１研削工程と、該複合研削手段に装着された該粗研削砥石を用いて該第２算出工程にて算出した時間、粗研削する第２研削工程と、該切換手段を用いて該粗研削砥石より該仕上げ研削砥石を被加工物に接近させ突出させる切換工程と、該複合研削手段に装着された該仕上げ研削砥石を用いて該仕上げ条件による該仕上げ研削時間、仕上げ研削する第３研削工程と、を実施し、該比較工程の結果、該仕上げ研削時間が長い場合は、該複合研削手段に装着された該粗研削砥石を用いて該粗研削条件による該粗研削時間、粗研削する第４研削工程と、該切換手段を用いて該粗研削砥石より該仕上げ研削砥石を該被加工物に接近させ突出させる該切換工程と、該複合研削手段に装着された該仕上げ研削砥石を用いて該第２算出工程にて算出した時間、仕上げ研削する第５研削工程と、該単研削手段に装着された該仕上げ研削砥石を用いて該第１算出工程にて算出した時間、仕上げ研削する第６研削工程と、を実施する被加工物の研削方法である。
【発明の効果】
【0007】
本研削装置においては、単研削手段及び複合研削手段を備え、単研削手段が砥石の種類を交換可能であるとともに、複合研削手段が粗研削加工と仕上げ研削加工とを選択的に実施することができるため、粗研削加工の時間と仕上げ研削加工の時間との関係に応じ、単研削手段に粗研削砥石を装着するか仕上げ研削砥石を装着するかを選択するとともに、複合研削手段における粗研削の時間と仕上げ研削の時間とを調整することにより、単研削手段による研削加工と複合研削手段による研削加工との終了時刻を一致させることが可能となる。本研削装置を用いた研削方法を用いて、単研削手段と複合研削手段との終了時刻を一致させることにより、両研削手段に待機時間が生ずることが解消され、加工時間の短縮が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【0008】
【図1】研削装置全体を表す斜視図である。
【図2】複合研削手段を表す断面図である。
【図3】複合研削手段の粗研削砥石が仕上げ研削砥石よりも下方に位置付けられている様子を表す断面図である。
【図4】複合研削手段の仕上げ研削砥石が粗研削砥石よりも下方に位置付けられている様子を表す断面図である。
【図5】単研削手段及び複合研削手段を保持面の中心を通過するように水平移動させる様子を研削装置の上方からみた上面図である。
【図6】研削加工の手順を表す流れ図である。
【図7】（ａ）は、単研削手段を用いて粗研削する様子を保持手段の側方から見た断面図であり、（ｂ）は、複合研削手段を用いて粗研削する様子を保持手段の側方から見た断面図であり、（ｃ）は、複合研削手段を用いて仕上げ研削する様子を保持手段の側方から見た断面図である。
【図8】（ａ）は、複合研削手段を用いて粗研削する様子を保持手段の側方から見た断面図であり、（ｂ）は、複合研削手段を用いて仕上げ研削する様子を保持手段の側方から見た断面図であり、（ｃ）は、単研削手段を用いて仕上げ研削する様子を保持手段の側方から見た断面図である。
【図9】研削装置の別の例の全体を表す斜視図である。
【図10】背板の両側面に配設された第３搬送手段及び第４搬送手段を表す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【0009】
（第１実施形態）
１－１ 研削装置
図１に示す研削装置１は、単研削手段３及び複合研削手段５を用いて被加工物１１を研削する研削装置である。被加工物１１の下面１１４には、保護テープ１１５が貼着されている。以下、研削装置１の構成について説明する。
１－１ 研削装置
図１に示す研削装置１は、単研削手段３及び複合研削手段５を用いて被加工物１１を研削する研削装置である。被加工物１１の下面１１４には、保護テープ１１５が貼着されている。以下、研削装置１の構成について説明する。
【0010】
図１に示すように、研削装置１は、Ｙ軸方向に延設されたベース１０を備えている。ベース１０の＋Ｙ方向側には、第１コラム１１１、第２コラム１１２、及び第３コラム１１３が立設されている。
【0011】
ベース１０の－Ｙ方向側には、第１カセット載置部７０１０及び第２カセット載置部７０２０が配設されている。
第１カセット載置部７０１０には、第１カセット７０１が配設されている。第１カセット７０１には、研削加工前の被加工物１１が収容されている。
第２カセット載置部７０２０には、第２カセット７０２が配設されている。第２カセット７０２には、研削加工後の被加工物１１を収容することができる。
第１カセット載置部７０１０には、第１カセット７０１が配設されている。第１カセット７０１には、研削加工前の被加工物１１が収容されている。
第２カセット載置部７０２０には、第２カセット７０２が配設されている。第２カセット７０２には、研削加工後の被加工物１１を収容することができる。
【0012】
第１カセット７０１の＋Ｙ方向側には、ロボット７１が配設されている。ロボット７１を用いて第１カセット７０１に収容されている被加工物１１を第１カセット７０１から取り出して、仮置き領域７２０に搬送することができる。
【0013】
ロボット７１の可動域における＋Ｘ方向側には、研削加工前の被加工物１１が仮置きされる仮置き領域７２０が設けられており、ロボット７１の可動域における－Ｘ方向側には、研削加工後の被加工物１１を洗浄する洗浄領域７３２が設けられている。
【0014】
仮置き領域７２０には、位置合わせ手段７２が配設されている。カセット７０から搬出されて仮置き領域７２０に載置された被加工物１１は、位置合わせ手段７２によって所定の位置に位置合わせされることとなる。
【0015】
洗浄領域７３２には、スピンナ洗浄手段７３が配設されている。スピンナ洗浄手段７３は、被加工物１１が保持されるスピンナテーブル７３０と、スピンナテーブル７３０に保持された被加工物１１に向けて洗浄水を噴出する洗浄水供給ノズル７３１とを備えている。
例えば、スピンナテーブル７３０の上面に研削加工後の被加工物１１が保持されている状態で、洗浄水供給ノズル７３１から洗浄水を供給することにより被加工物１１を洗浄することができる。
例えば、スピンナテーブル７３０の上面に研削加工後の被加工物１１が保持されている状態で、洗浄水供給ノズル７３１から洗浄水を供給することにより被加工物１１を洗浄することができる。
【0016】
ベース１０の上における＋Ｙ方向側には円板形状のターンテーブル２９が配設されており、ターンテーブル２９の上面には、少なくとも３つの保持手段２が周方向に等間隔を空けて配設されている。ターンテーブル２９は、図示しない回転手段に接続されており、該回転手段を用いてターンテーブル２９の中心を通るＺ軸方向の軸心を軸にして回転可能となっている。ターンテーブル２９が回転することによって、ターンテーブル２９の上に配設されている３つの保持手段２がターンテーブル２９の中心を軸にして公転することとなる。
【0017】
３つの保持手段２は円板形状を有している。３つの保持手段２は、その各々が被加工物１１を吸着する吸引部２０と吸引部２０を支持する枠体２１とを備えている。吸引部２０の上面は被加工物１１が保持される保持面２００となっている。枠体２１の上面２１０は、保持面２００に面一に形成されている。
吸引部２０は、図示しない吸引手段に接続されている。被加工物１１が保持面２００に載置された状態で、該吸引手段により生み出される吸引力を吸引部２０に伝達することによって、保持面２００の上に被加工物１１を吸引保持することができる。
また、保持手段２は、図示しない回転手段に接続されている。該回転手段を用いて、保持手段２を保持面２００の中心を通るＺ軸方向の軸心を軸にして自転させることができる。
吸引部２０は、図示しない吸引手段に接続されている。被加工物１１が保持面２００に載置された状態で、該吸引手段により生み出される吸引力を吸引部２０に伝達することによって、保持面２００の上に被加工物１１を吸引保持することができる。
また、保持手段２は、図示しない回転手段に接続されている。該回転手段を用いて、保持手段２を保持面２００の中心を通るＺ軸方向の軸心を軸にして自転させることができる。
【0018】
仮置き領域７２０に隣接する位置には、位置合わせ手段７２によって位置合わせされた被加工物１１を３つの保持手段２のうちのいずれかに搬入する第１搬送手段７４１が配設されている。
第１搬送手段７４１は、円板状のプレート７５及びプレート７５を上下自在に吊持するアーム７６を備えている。アーム７６の端部には、軸部７７が連結されている。例えば、軸部７７には軸部７７を回転させる図示しない回転手段等が接続されている。
図示しない回転手段等を用いてＺ軸方向の軸心を軸にして軸部７７を回転させることにより、軸部７７に連結されているアーム７６が旋回する構成となっている。
第１搬送手段７４１の－Ｘ方向側には、研削加工後の被加工物１１を搬出する第２搬送手段７４２が配設されている。第２搬送手段７４２は、第１搬送手段７４１と同様に構成されているため、第１搬送手段７４１と同様の符号を付してその説明を省略する。
第１搬送手段７４１は、円板状のプレート７５及びプレート７５を上下自在に吊持するアーム７６を備えている。アーム７６の端部には、軸部７７が連結されている。例えば、軸部７７には軸部７７を回転させる図示しない回転手段等が接続されている。
図示しない回転手段等を用いてＺ軸方向の軸心を軸にして軸部７７を回転させることにより、軸部７７に連結されているアーム７６が旋回する構成となっている。
第１搬送手段７４１の－Ｘ方向側には、研削加工後の被加工物１１を搬出する第２搬送手段７４２が配設されている。第２搬送手段７４２は、第１搬送手段７４１と同様に構成されているため、第１搬送手段７４１と同様の符号を付してその説明を省略する。
【0019】
第１コラム１１１の－Ｙ方向側の側面には、単研削手段３を昇降可能に支持する第１研削送り手段４１が配設されている。
単研削手段３は、Ｚ軸方向の回転軸３５を有するスピンドル３０と、スピンドル３０を回転可能に支持するハウジング３１と、回転軸３５を軸にしてスピンドル３０を回転駆動するスピンドルモータ３２と、スピンドル３０の下端に接続された円環状のマウント３３と、を備えている。マウント３３の下面には、粗研削ホイール３４または仕上げ研削ホイール３６が適宜着脱されることとなる。
被加工物１１を粗研削する際には、マウント３３の下面に粗研削ホイール３４が装着され、被加工物１１を仕上げ研削する際には、マウント３３の下面に仕上げ研削ホイール３６が装着されることとなる。
粗研削ホイール３４は、ホイール基台３４１と、ホイール基台３４１の下面に環状に配列された略直方体形状の複数の粗研削砥石３４０とを備えている。
仕上げ研削ホイール３６は、ホイール基台３４１と、ホイール基台３４１の下面に環状に配列された仕上げ研削砥石３６０とを備えている。仕上げ研削砥石３６０の砥粒は、粗研削砥石３４０の砥粒よりも細かいものとする。
単研削手段３は、Ｚ軸方向の回転軸３５を有するスピンドル３０と、スピンドル３０を回転可能に支持するハウジング３１と、回転軸３５を軸にしてスピンドル３０を回転駆動するスピンドルモータ３２と、スピンドル３０の下端に接続された円環状のマウント３３と、を備えている。マウント３３の下面には、粗研削ホイール３４または仕上げ研削ホイール３６が適宜着脱されることとなる。
被加工物１１を粗研削する際には、マウント３３の下面に粗研削ホイール３４が装着され、被加工物１１を仕上げ研削する際には、マウント３３の下面に仕上げ研削ホイール３６が装着されることとなる。
粗研削ホイール３４は、ホイール基台３４１と、ホイール基台３４１の下面に環状に配列された略直方体形状の複数の粗研削砥石３４０とを備えている。
仕上げ研削ホイール３６は、ホイール基台３４１と、ホイール基台３４１の下面に環状に配列された仕上げ研削砥石３６０とを備えている。仕上げ研削砥石３６０の砥粒は、粗研削砥石３４０の砥粒よりも細かいものとする。
【0020】
第１研削送り手段４１は、Ｚ軸方向の回転軸４５を有するボールネジ４００と、ボールネジ４００に対して平行に配設された一対のガイドレール４１０と、回転軸４５０を軸にしてボールネジ４００を回転させるＺ軸モータ４２０と、内部のナットがボールネジ４００に螺合して側部がガイドレール４１０に摺接する昇降板４３０と、昇降板４３０に連結され単研削手段３を支持するホルダ４４０とを備えている。
【0021】
Ｚ軸モータ４２０によってボールネジ４００が駆動されて、ボールネジ４００が回転軸４５０を軸にして回転すると、これに伴って、昇降板４３０がガイドレール４１０に案内されてＺ軸方向に昇降移動するとともに、ホルダ４４０に保持されている単研削手段３がＺ軸方向に移動することとなる。
【0022】
例えば、単研削手段３の下方に、被加工物１１が保持されている保持手段２が位置付けられている状態で、第１研削送り手段４１を用いて単研削手段３を－Ｚ方向に下降させることにより、単研削手段３を被加工物１１の研削開始位置に位置づけることができる。
【0023】
第２コラム１１２の－Ｙ方向側の側面には、複合研削手段５を昇降可能に支持する第２研削送り手段４２が配設されている。
第２研削送り手段４２は、第１研削送り手段４１と同様に構成されているため、同様の符号を付してその説明を省略する。
第２研削送り手段４２は、第１研削送り手段４１と同様に構成されているため、同様の符号を付してその説明を省略する。
【0024】
ベース１０の上における単研削手段３の下方には、第１厚み測定手段１００１が配設されている。第１厚み測定手段１００１は、上面ハイトゲージ１１０１と保持面ハイトゲージ１０１２とを備えている。また、第１厚み測定手段１００１は、図示しない算出部を備えている。
例えば、保持面２００に被加工物１１が保持されている状態で、保持面ハイトゲージ１１０２の先端部を枠体２１の上面２１０に接触させつつ、上面ハイトゲージ１１０１の先端部を被加工物１１の上面１１０に接触させることにより、枠体２１の上面２１０に面一な保持面２００の高さと、被加工物１１の上面１１０の高さをそれぞれ測定することができる。そして、測定された保持面２００の高さと被加工物１１の上面１１０の高さとを該算出部にて差し引くことにより、被加工物１１の厚みを算出することができる。
例えば、保持面２００に被加工物１１が保持されている状態で、保持面ハイトゲージ１１０２の先端部を枠体２１の上面２１０に接触させつつ、上面ハイトゲージ１１０１の先端部を被加工物１１の上面１１０に接触させることにより、枠体２１の上面２１０に面一な保持面２００の高さと、被加工物１１の上面１１０の高さをそれぞれ測定することができる。そして、測定された保持面２００の高さと被加工物１１の上面１１０の高さとを該算出部にて差し引くことにより、被加工物１１の厚みを算出することができる。
【0025】
ベース１０の上における複合研削手段５の下方には、第２厚み測定手段１００２が配設されている。第２厚み測定手段１００２は、第２厚み測定手段１００２は、第１厚み測定手段１００１と同様に構成されており、同様の符号を付してその説明を省略する。
【0026】
図２に示すように、複合研削手段５は、Ｚ軸方向に延びるスピンドル１９を備えている。スピンドル１９の上端には、ロータリジョイント１７が接続されており、スピンドル１９の下端にはマウント１３が連結されている。
【0027】
ロータリジョイント１７には、電磁弁９００が接続されている。電磁弁９００には、シリンダ用エア供給源９０が接続されている。
図３に示すように、ロータリジョイント１７の内部には、第１の連通路９０１と、第１の連通路９０１に接続された第３のエア供給路９３と、第３のエア供給路９３に接続された第１のエア供給路９１とが備えられている。
また、同じくロータリジョイント１７の内部には、第２の連通路９０２と、第２の連通路９０２に接続された第４のエア供給路９４と、第４のエア供給路９４に接続された第３のエア供給路９３とが備えられている。
第１の連通路９０１と第２の連通路９０２とは、それぞれ電磁弁９００を介してシリンダ用エア供給源９０に接続されている。
電磁弁９００の開閉状態の切り替えを行うことによって、シリンダ用エア供給源９０と第１の連通路９０１とが接続された状態と、シリンダ用エア供給源９０と第２の連通路９０２とが接続された状態と、を切り替えることができる。
図３に示すように、ロータリジョイント１７の内部には、第１の連通路９０１と、第１の連通路９０１に接続された第３のエア供給路９３と、第３のエア供給路９３に接続された第１のエア供給路９１とが備えられている。
また、同じくロータリジョイント１７の内部には、第２の連通路９０２と、第２の連通路９０２に接続された第４のエア供給路９４と、第４のエア供給路９４に接続された第３のエア供給路９３とが備えられている。
第１の連通路９０１と第２の連通路９０２とは、それぞれ電磁弁９００を介してシリンダ用エア供給源９０に接続されている。
電磁弁９００の開閉状態の切り替えを行うことによって、シリンダ用エア供給源９０と第１の連通路９０１とが接続された状態と、シリンダ用エア供給源９０と第２の連通路９０２とが接続された状態と、を切り替えることができる。
【0028】
スピンドル１９は、Ｚ軸方向に延設された円筒状の第１軸部１９１と、第１軸部１９１の下方にＺ軸方向に延設され、第１軸部１９１よりも大きな外径を有する円筒状の第２軸部１９２とを備えている。第１軸部１９１と第２軸部１９２との間には、とプレート１９０が配設されている。
スピンドル１９の内部には、研削水の流路である研削水供給路１９３がＺ軸方向に延ばされて形成されている。研削水供給路１９３の周りには、シリンダ用エア供給源９０から供給されるエアの流路である第１のエア供給路９１と第２のエア供給路９２とがＺ軸方向に延ばされて形成されている。
スピンドル１９の内部には、研削水の流路である研削水供給路１９３がＺ軸方向に延ばされて形成されている。研削水供給路１９３の周りには、シリンダ用エア供給源９０から供給されるエアの流路である第１のエア供給路９１と第２のエア供給路９２とがＺ軸方向に延ばされて形成されている。
【0029】
第１軸部１９１の周りには、スピンドル１９をＺ軸方向の軸心を軸にして、回転駆動するモータ１６が配設されている。モータ１６は、スピンドル１９に設けられたロータ１６０と、ロータ１６０の周りに配設されたステータ１６２とを備えている。
【0030】
複合研削手段５は、ケーシング１２を備えている。ケーシング１２は、第１軸部１９１及びモータ１６を囲繞する上部ケーシング１２０と、第２軸部１９２を囲繞する下部ケーシング１２１と、上部ケーシング１２０と下部ケーシング１２１とを連結し、プレート１９０を囲繞する中部ケーシング１２２とを備えている。
【0031】
上部ケーシング１２０は、中空円筒状の部材であり、第１軸部１９１に貫通される開口が形成された上底面を備えている。
上部ケーシング１２０の側面の下部には、冷却ジャケット１６１に冷却水を供給するための冷却水供給口１２３が形成されている。また、上部ケーシング１２０の側面の上部には、冷却ジャケット１６１から冷却水を排出するための冷却水排出口１２４が形成されている。
上部ケーシング１２０の側面の下部には、冷却ジャケット１６１に冷却水を供給するための冷却水供給口１２３が形成されている。また、上部ケーシング１２０の側面の上部には、冷却ジャケット１６１から冷却水を排出するための冷却水排出口１２４が形成されている。
【0032】
上部ケーシング１２０とステータ１６２との間には、ケーシング１２の内部を冷却する冷却ジャケット１６１が配設されている。冷却ジャケット１６１の内部には多数の冷却水路が形成されている。
図示しない冷却水供給源等から冷却水供給口１２３を通じて冷却ジャケット１６１に供給することにより、上部ケーシング１２０の内部を冷却することができる。上部ケーシング１２０の内部の冷却に用いられた冷却水は、冷却水排出口１２４から上部ケーシング１２０の外部へと排出されることとなる。
図示しない冷却水供給源等から冷却水供給口１２３を通じて冷却ジャケット１６１に供給することにより、上部ケーシング１２０の内部を冷却することができる。上部ケーシング１２０の内部の冷却に用いられた冷却水は、冷却水排出口１２４から上部ケーシング１２０の外部へと排出されることとなる。
【0033】
中部ケーシング１２２は円筒側面状の部材である。中部ケーシング１２２の内部にはエア流路１９７が形成されている。エア流路１９７の一方の端部にはエア供給口１９９が形成されており、エア流路１９７は、エア供給口１９９を通じて中部ケーシング１２２の外部の空間へと接続されている。
【0034】
下部ケーシング１２１は比較的大きな厚みを有する環状の部材である。
下部ケーシング１２１の内部には、エア流路１９７に接続され、複数の流路に分岐したエア流路１９８が形成されている。
下部ケーシング１２１の上面には複数の上側噴出口１８１が形成されており、下部ケーシング１２１の下面には複数の下側噴出口１８３が形成されている。また、下部ケーシング１２１の内側面には複数の内側噴出口１８５が形成されている。
エア流路１９８のエア流路１９７に接続されていない複数の端部は、上側噴出口１８１、下側噴出口１８３、及び内側噴出口１８５に接続されている。
下部ケーシング１２１の内部には、エア流路１９７に接続され、複数の流路に分岐したエア流路１９８が形成されている。
下部ケーシング１２１の上面には複数の上側噴出口１８１が形成されており、下部ケーシング１２１の下面には複数の下側噴出口１８３が形成されている。また、下部ケーシング１２１の内側面には複数の内側噴出口１８５が形成されている。
エア流路１９８のエア流路１９７に接続されていない複数の端部は、上側噴出口１８１、下側噴出口１８３、及び内側噴出口１８５に接続されている。
【0035】
図示しない高圧エア源からエア供給口１９９に高圧エアを供給すると、供給された高圧エアは中部ケーシング１２２の内部のエア流路１９７から下部ケーシング１２１の内部のエア流路１９８を通っていき、上側噴出口１８１、下側噴出口１８３、及び内側噴出口１８５から下部ケーシング１２１の外へと噴出することとなる。
【0036】
マウント１３は、スピンドル１９の下端に連結された切換手段６と、円板マウント５４と、円板マウント５４の外側に配設された環状マウント１３０とを備えている。
【0037】
切換手段６はシリンダ１５を備えている。シリンダ１５は、下部ケーシング１２１の下面に連結された大径部１５０と、大径部１５０の下端に連なる小径部１５１とを備えている。
シリンダ１５の大径部１５０の内部には、収容室６１が形成されている。収容室６１の内部には、ピストン６００が収容されている。ピストン６００の下部にはピストン６００の周方向に等間隔を空けて複数設けられたロッド６０が連結されている。ロッド６０は、図２においては１本のみが図示されている。
シリンダ１５の大径部１５０の内部には、収容室６１が形成されている。収容室６１の内部には、ピストン６００が収容されている。ピストン６００の下部にはピストン６００の周方向に等間隔を空けて複数設けられたロッド６０が連結されている。ロッド６０は、図２においては１本のみが図示されている。
【0038】
シリンダ１５の内部には、第１流路１４１と第２流路１４２とが形成されている。第１流路１４１は、第１のエア供給路９１に接続されている。第２流路１４２は、第２のエア供給路９２に接続されている。
【0039】
収容室６１の上面には第１のエア供給口１４１０が形成されている。第１のエア供給口１４１０は、第１流路１４１に接続されている。
収容室６１の下面には第２のエア供給口１４２０が形成されている。第２のエア供給口１４２０は、第２流路１４２に接続されている。
収容室６１の下面には第２のエア供給口１４２０が形成されている。第２のエア供給口１４２０は、第２流路１４２に接続されている。
【0040】
例えば、シリンダ用エア供給源９０が第１の連通路９０１と連通している状態で、シリンダ用エア供給源９０を作動させて、第１のエア供給口１４１０から収容室６１にエアを供給することにより、収容室６１の上方の空間の圧力が上昇して、ピストン６００が下方に移動させられることとなる。
一方、例えば、シリンダ用エア供給源９０が第２の連通路９０２と連通している状態で、シリンダ用エア供給源９０を作動させて、第２のエア供給口１４２０から収容室６１にエアを供給することにより、収容室６１の下方の空間の圧力が上昇してピストン６００が上方に移動させられることとなる。
一方、例えば、シリンダ用エア供給源９０が第２の連通路９０２と連通している状態で、シリンダ用エア供給源９０を作動させて、第２のエア供給口１４２０から収容室６１にエアを供給することにより、収容室６１の下方の空間の圧力が上昇してピストン６００が上方に移動させられることとなる。
【0041】
ロッド６０の下面には、環状マウント１３０が連結されている。環状マウント１３０にはガイド５７が貫通するガイド穴５７０が形成されている。環状マウント１３０は、シリンダ用エア供給源９０から供給されるエアの作用によるピストン６００の上下移動に伴って、ガイド穴５７０に沿って、Ｚ軸方向に昇降移動することとなる。
【0042】
環状マウント１３０の内側の開口には、シリンダ１５の小径部１５１が貫通している。環状マウント１３０の下面には環状の粗研削ホイール５１が着脱可能に配設されている。粗研削ホイール５１には、複数の粗研削砥石５２０が環状に配設されている。
シリンダ用エア供給源９０と第１の連通路９０１とが接続されている状態でのシリンダ用エア供給源９０からのエアの供給によって環状マウント１３０が上下移動すると、環状マウント１３０の下面に配設されている粗研削ホイール５１が環状マウント１３０と一体的に上下移動することとなる。
シリンダ用エア供給源９０と第１の連通路９０１とが接続されている状態でのシリンダ用エア供給源９０からのエアの供給によって環状マウント１３０が上下移動すると、環状マウント１３０の下面に配設されている粗研削ホイール５１が環状マウント１３０と一体的に上下移動することとなる。
【0043】
シリンダ１５の小径部１５１の下面には、円板マウント５４が固定されている。円板マウント５４と、シリンダ１５の大径部１５０の下面との間には、両者を連結するガイド５７が設けられている。ガイド５７は、例えば、円板マウント５４の周方向に、隣り合うロッド６０の間にそれぞれ配置されている。図３においては１つのみが示されている。
【0044】
円板マウント５４の下面には、被加工物１１を研削加工する仕上げ研削ホイール５５が着脱可能に配設されている。仕上げ研削ホイール５５には複数の仕上げ研削砥石５５０が環状に配設されている。
【0045】
複合研削手段５においては、シリンダ用エア供給源９０からのエアの供給と電磁弁９００の開閉状態の切り替えとによる切換手段６の作用により、環状マウント１３０及び環状マウント１３０に配設された粗研削ホイール５１が一体的に上下移動する。これにより、仕上げ研削砥石５５０が粗研削砥石５２０に対して進退可能である。
具体的には、図３に示すように、シリンダ用エア供給源９０と第１の連通路９０１とが連通している状態でシリンダ用エア供給源９０からエアを供給すると、供給されたエアが、第１の連通路９０１、第３のエア供給路９３、第１のエア供給路９１、及び第１流路１４１を通って第１のエア供給口１４１０から切換手段６の収容室６１の内部に供給される。これにより、ピストン６００が上方からエアの圧力を受けて粗研削ホイール５１が押し下げられて、仕上げ研削砥石５５０の下面５５２が粗研削砥石５２０の下面５２２よりも上に位置づけられ、仕上げ研削砥石５５０が粗研削砥石５２０の内側に退避させられた状態となる。
かかる状態から、図４に示すように、電磁弁９００の開閉状態を切り替えて、シリンダ用エア供給源９０と第２の連通路９０２とが連通している状態でシリンダ用エア供給源９０からエアを供給する。すると、第１のエア供給口１４１０から収容室６１へのエアの供給が停止されるとともに、今度は、供給されたエアが第２の連通路９０２、第４のエア供給路９４、第２のエア供給路９２、及び第２流路１４２を通って、第２のエア供給口１４２０から収容室６１にエアが供給される。これにより、ピストン６００が下方からエアの圧力を受けて粗研削ホイール５１が押し上げられて、仕上げ研削砥石５５０の下面５５２が粗研削砥石５２０の下面５２２に対して－Ｚ方向に進行していく。こうして、仕上げ研削砥石５５０の下面５５２が粗研削砥石５２０の下面５２２よりも下に位置づけられた状態になる。
上記のように、電磁弁９００の開閉状態の切り替えとシリンダ用エア供給源９０からのエアの供給とを行って切換手段６を作動させることにより、仕上げ研削砥石５５０を粗研削砥石５２０に対して－Ｚ方向に進行させたり、＋Ｚ方向に退避させたりすることが可能となっている。
具体的には、図３に示すように、シリンダ用エア供給源９０と第１の連通路９０１とが連通している状態でシリンダ用エア供給源９０からエアを供給すると、供給されたエアが、第１の連通路９０１、第３のエア供給路９３、第１のエア供給路９１、及び第１流路１４１を通って第１のエア供給口１４１０から切換手段６の収容室６１の内部に供給される。これにより、ピストン６００が上方からエアの圧力を受けて粗研削ホイール５１が押し下げられて、仕上げ研削砥石５５０の下面５５２が粗研削砥石５２０の下面５２２よりも上に位置づけられ、仕上げ研削砥石５５０が粗研削砥石５２０の内側に退避させられた状態となる。
かかる状態から、図４に示すように、電磁弁９００の開閉状態を切り替えて、シリンダ用エア供給源９０と第２の連通路９０２とが連通している状態でシリンダ用エア供給源９０からエアを供給する。すると、第１のエア供給口１４１０から収容室６１へのエアの供給が停止されるとともに、今度は、供給されたエアが第２の連通路９０２、第４のエア供給路９４、第２のエア供給路９２、及び第２流路１４２を通って、第２のエア供給口１４２０から収容室６１にエアが供給される。これにより、ピストン６００が下方からエアの圧力を受けて粗研削ホイール５１が押し上げられて、仕上げ研削砥石５５０の下面５５２が粗研削砥石５２０の下面５２２に対して－Ｚ方向に進行していく。こうして、仕上げ研削砥石５５０の下面５５２が粗研削砥石５２０の下面５２２よりも下に位置づけられた状態になる。
上記のように、電磁弁９００の開閉状態の切り替えとシリンダ用エア供給源９０からのエアの供給とを行って切換手段６を作動させることにより、仕上げ研削砥石５５０を粗研削砥石５２０に対して－Ｚ方向に進行させたり、＋Ｚ方向に退避させたりすることが可能となっている。
【0046】
マウント１３の内部には、２本の流路１９４が形成されている。流路１９４は、研削水供給路１９３に連通されている。
円板マウント５４及び仕上げ研削ホイール５５の内部には研削水の流路１９５、１９６が形成されている。流路１９５と１９６とは連通されている。
また、流路１９５は、流路１９４に接続されている。
被加工物１１の研削加工時に、研削水供給路１９３に接続されている図示しない研削水供給源から研削水供給路１９３に研削水を供給することにより、研削水が研削水供給路１９３及び各流路１９４、１９５、１９６を通って仕上げ研削ホイール５５の流路１９６の下流端から流れ出し、被加工物１１の上面１１０に供給されることとなる。これにより、被加工物１１の上面１１０に付着している研削屑を洗い流すことができる。また、研削水の供給により、粗研削砥石５２０、仕上げ研削砥石５５０、及び被加工物１１を冷却することができる。
円板マウント５４及び仕上げ研削ホイール５５の内部には研削水の流路１９５、１９６が形成されている。流路１９５と１９６とは連通されている。
また、流路１９５は、流路１９４に接続されている。
被加工物１１の研削加工時に、研削水供給路１９３に接続されている図示しない研削水供給源から研削水供給路１９３に研削水を供給することにより、研削水が研削水供給路１９３及び各流路１９４、１９５、１９６を通って仕上げ研削ホイール５５の流路１９６の下流端から流れ出し、被加工物１１の上面１１０に供給されることとなる。これにより、被加工物１１の上面１１０に付着している研削屑を洗い流すことができる。また、研削水の供給により、粗研削砥石５２０、仕上げ研削砥石５５０、及び被加工物１１を冷却することができる。
【0047】
スピンドル１９の周りには、ベアリング１８が形成されている。ベアリング１８は、上アキシャルベアリング１８０、下アキシャルベアリング１８２、及びラジアルベアリング１８４から構成されている。
【0048】
上アキシャルベアリング１８０では、下部ケーシング１２１の上側噴出口１８１からプレート１９０の下面に高圧エアを噴きつけることにより、プレート１９０の下面と下部ケーシング１２１の上面との間にエアが流れ込んでいき、プレート１９０の下面と下部ケーシング１２１の上面との間に僅かな隙間が形成されることとなる。
上側噴出口１８１からプレート１９０の下面に高圧エアが噴きつけられている状態では、プレート１９０の下面と下部ケーシング１２１の上面との間に形成された隙間が維持される。
上側噴出口１８１からプレート１９０の下面に高圧エアが噴きつけられている状態では、プレート１９０の下面と下部ケーシング１２１の上面との間に形成された隙間が維持される。
【0049】
下アキシャルベアリング１８２では、下部ケーシング１２１の下側噴出口１８３からシリンダ１５の上面に対して高圧エアを噴きつけることにより、シリンダ１５の上面と下部ケーシング１２１の下面との間にエアが流れ込んでいき、シリンダ１５の上面と下部ケーシング１２１の下面との間に僅かな隙間が形成されることとなる。
下側噴出口１８３からシリンダ１５の上面に高圧エアが噴きつけられている状態では、シリンダ１５の上面と下部ケーシング１２１の下面との間に形成された隙間が維持される。
下側噴出口１８３からシリンダ１５の上面に高圧エアが噴きつけられている状態では、シリンダ１５の上面と下部ケーシング１２１の下面との間に形成された隙間が維持される。
【0050】
ラジアルベアリング１８４では、下部ケーシング１２１の内側噴出口１８５から第２軸部１９２の外周面に高圧エアを噴きつけることにより、第２軸部１９２の外周面と下部ケーシング１２１の内周面との間にエアが流れ込んでいき、第２軸部１９２の外周面と下部ケーシング１２１の内周面との間に僅かな隙間が形成されることとなる。
内側噴出口１８５から第２軸部１９２の外周面に高圧エアが噴きつけられている状態では、第２軸部１９２の外周面と下部ケーシング１２１の内周面との間に形成された隙間が維持される。
内側噴出口１８５から第２軸部１９２の外周面に高圧エアが噴きつけられている状態では、第２軸部１９２の外周面と下部ケーシング１２１の内周面との間に形成された隙間が維持される。
【0051】
図５に示すように、第１コラム１１１と第３コラム１１３との間には、単研削手段３を第３コラム１１３の第１ガイド面１１３１に沿って矢印４９１の方向に水平移動させる第１水平移動手段４８１が配設されている。
第１水平移動手段４８１は、図示しないボールネジやモータ等を備えている。該モータを用いて該ボールネジを回動させることによって、例えば単研削手段３に備える粗研削砥石３４０が保持面２００の中心２０１を通るように、単研削手段３を水平移動することができる。
第１水平移動手段４８１は、図示しないボールネジやモータ等を備えている。該モータを用いて該ボールネジを回動させることによって、例えば単研削手段３に備える粗研削砥石３４０が保持面２００の中心２０１を通るように、単研削手段３を水平移動することができる。
【0052】
保持面２００に被加工物１１が保持されており、かつ、粗研削砥石３４０の下面３４２が被加工物１１の上面１１０に接触している状態で、第１水平移動手段４８１を用いて、単研削手段３を粗研削砥石３４０が保持面２００の中心２０１を通るように水平移動させることにより、被加工物１１の粗研削加工を行うことができる。
単研削手段３に粗研削砥石３４０にかえて仕上げ研削砥石３６０が装着されている場合には、第１水平移動手段４８１を同様に作動させることにより、被加工物１１の仕上げ研削加工を行うことができる。
単研削手段３に粗研削砥石３４０にかえて仕上げ研削砥石３６０が装着されている場合には、第１水平移動手段４８１を同様に作動させることにより、被加工物１１の仕上げ研削加工を行うことができる。
【0053】
同様に、第２コラム１１２と第３コラム１１３との間には、複合研削手段５を第３コラム１１３の第２ガイド面１１３２に沿って矢印４９２の方向に水平移動させる第２水平移動手段４８２が配設されている。
第２水平移動手段４８２は、図示しないボールネジやモータ等を備えている。該モータを用いて該ボールネジを回動させることによって、複合研削手段５の粗研削砥石が保持面２００の中心２０１を通るように、複合研削手段５を水平移動することができる。
第２水平移動手段４８２は、図示しないボールネジやモータ等を備えている。該モータを用いて該ボールネジを回動させることによって、複合研削手段５の粗研削砥石が保持面２００の中心２０１を通るように、複合研削手段５を水平移動することができる。
【0054】
例えば、粗研削砥石５２０の下面５２２が被加工物１１の上面１１０に接触している状態で、第２水平移動手段４８２を用いて、複合研削手段５を粗研削砥石５２０が保持面２００の中心２０１を通るように水平移動させることにより、被加工物１１の研削加工を行うことができる。
【0055】
図１に示すように、研削装置１は、研削条件設定部１００を備えている。研削条件設定部１００は、粗研削砥石５２０を用いて被加工物１１を研削するための粗研削条件と、仕上げ研削砥石５５０を用いて被加工物１１を研削するための仕上げ研削条件とを設定する機能を有している。
ここで、粗研削条件には、粗研削開始前の被加工物１１の厚みであるいわゆる投入厚み等に応じて予め定められる粗研削時間の条件が含まれる。また、仕上げ研削条件には、粗研削後に被加工物１１を所望の仕上げ厚みに仕上げ研削するために、予め定められる仕上げ研削時間の条件が含まれるものとする。
ここで、粗研削条件には、粗研削開始前の被加工物１１の厚みであるいわゆる投入厚み等に応じて予め定められる粗研削時間の条件が含まれる。また、仕上げ研削条件には、粗研削後に被加工物１１を所望の仕上げ厚みに仕上げ研削するために、予め定められる仕上げ研削時間の条件が含まれるものとする。
【0056】
研削装置１は研削装置１の諸々の動作を制御する制御手段１０１を備えている。
制御手段１０１は、粗研削時間と仕上げ研削時間とを比較する機能を有している。
制御手段１０１は、該粗研削時間が大きい場合は、単研削手段３に粗研削砥石を装着して粗研削加工を施して、複合研削手段５を用いて粗研削加工と仕上げ研削加工とを施すための制御を行う機能を有している。
また、制御手段１０１は、該仕上げ研削時間が大きい場合は、複合研削手段５を用いて粗研削加工と仕上げ研削加工とを施して、単研削手段３に仕上げ研削砥石を装着して仕上げ研削加工を施すための制御を行う機能を有している。
制御手段１０１は、粗研削時間と仕上げ研削時間とを比較する機能を有している。
制御手段１０１は、該粗研削時間が大きい場合は、単研削手段３に粗研削砥石を装着して粗研削加工を施して、複合研削手段５を用いて粗研削加工と仕上げ研削加工とを施すための制御を行う機能を有している。
また、制御手段１０１は、該仕上げ研削時間が大きい場合は、複合研削手段５を用いて粗研削加工と仕上げ研削加工とを施して、単研削手段３に仕上げ研削砥石を装着して仕上げ研削加工を施すための制御を行う機能を有している。
【0057】
研削装置１は、通知手段１０２を備えている。通知手段１０２は、制御手段１０１による粗研削時間と仕上げ研削時間との比較の結果をうけて、両時間のうち大きい方の研削加工を実施するための研削砥石を単研削手段３のマウント３３に装着することを作業者に通知する機能を有している。
【0058】
１－２ 研削方法
（１）第１算出工程
上記の研削装置１を用いて被加工物１１を研削する研削方法について、図６に示すフローチャートと、図７及び図８に示す研削加工の各工程の様子を表す図面とを参照して、以下に説明する。
まず、図１に示した研削条件設定部１００にて、粗研削砥石を用いて被加工物１１を研削する粗研削条件と、仕上げ研削砥石を用いて被加工物１１を研削する仕上げ研削条件とを設定する。
粗研削条件には粗研削砥石を用いて被加工物１１を研削する時間である粗研削時間Ａが含まれている。また、仕上げ研削条件には、被加工物１１を仕上げ研削する時間である仕上げ研削時間Ｂが含まれている。
（１）第１算出工程
上記の研削装置１を用いて被加工物１１を研削する研削方法について、図６に示すフローチャートと、図７及び図８に示す研削加工の各工程の様子を表す図面とを参照して、以下に説明する。
まず、図１に示した研削条件設定部１００にて、粗研削砥石を用いて被加工物１１を研削する粗研削条件と、仕上げ研削砥石を用いて被加工物１１を研削する仕上げ研削条件とを設定する。
粗研削条件には粗研削砥石を用いて被加工物１１を研削する時間である粗研削時間Ａが含まれている。また、仕上げ研削条件には、被加工物１１を仕上げ研削する時間である仕上げ研削時間Ｂが含まれている。
【0059】
そして、粗研削時間Ａと仕上げ研削時間Ｂとを足した値を２で割った値Ｃ（Ｃ＝（Ａ＋Ｂ）／２）を算出する。
（２）第２算出工程
次に、粗研削時間Ａから仕上げ研削時間Ｂを差し引いた値の絶対値を２で割った値Ｄ（Ｄ＝｜Ａ－Ｂ｜／２）を算出する。
（２）第２算出工程
次に、粗研削時間Ａから仕上げ研削時間Ｂを差し引いた値の絶対値を２で割った値Ｄ（Ｄ＝｜Ａ－Ｂ｜／２）を算出する。
【0060】
（３）比較工程
次に、制御手段１０１を用いて粗研削時間Ａと仕上げ研削時間Ｂとを比較する。制御手段１０１により比較された比較結果は、通知手段１０２に伝達される。そして、通知手段１０２により、粗研削砥石３４０か仕上げ研削砥石３６０かいずれかのうち、研削時間の大きい方の研削加工を実施するための研削砥石を単研削手段３のマウント３３に装着すべき旨が作業者に通知される。
次に、制御手段１０１を用いて粗研削時間Ａと仕上げ研削時間Ｂとを比較する。制御手段１０１により比較された比較結果は、通知手段１０２に伝達される。そして、通知手段１０２により、粗研削砥石３４０か仕上げ研削砥石３６０かいずれかのうち、研削時間の大きい方の研削加工を実施するための研削砥石を単研削手段３のマウント３３に装着すべき旨が作業者に通知される。
【0061】
（４－１）装着工程：粗研削時間のほうが長い場合
比較工程にて、粗研削時間Ａと仕上げ研削時間Ｂとが比較された結果、仕上げ研削時間Ｂよりも粗研削時間Ａの方が長いと判断された場合には、通知手段１０２により、単研削手段３に粗研削砥石３４０を備える粗研削ホイール３４を装着すべき旨が作業者に通知される。通知を受けた作業者は、単研削手段３のマウント３３に粗研削砥石３４０を備える粗研削ホイール３４を装着する。
比較工程にて、粗研削時間Ａと仕上げ研削時間Ｂとが比較された結果、仕上げ研削時間Ｂよりも粗研削時間Ａの方が長いと判断された場合には、通知手段１０２により、単研削手段３に粗研削砥石３４０を備える粗研削ホイール３４を装着すべき旨が作業者に通知される。通知を受けた作業者は、単研削手段３のマウント３３に粗研削砥石３４０を備える粗研削ホイール３４を装着する。
【0062】
（５－１）第１研削工程
上記装着工程にて、単研削手段３に粗研削砥石３４０を備える粗研削ホイール３４を装着した後、単研削手段３に装着された粗研削砥石３４０を用いて、第１算出工程にて算出された時間Ｃをかけて、被加工物１１を粗研削する。
具体的には、まず、図１に示した研削装置１の第１カセット７０１からロボット７１を用いて被加工物１１を１枚取り出して、仮置き領域７２０に載置する。そして、位置合わせ手段７２を用いて適切に位置合わせをした後、第１搬送手段７４１を用いて仮置き領域７２０から、ターンテーブル２９の上において－Ｙ方向側に位置づけられている保持手段２の保持面２００に搬送する。
被加工物１１を保持面２００の上に載置した後、図示しない吸引手段等を用いて、保持面２００に被加工物１１を吸引保持する。
上記装着工程にて、単研削手段３に粗研削砥石３４０を備える粗研削ホイール３４を装着した後、単研削手段３に装着された粗研削砥石３４０を用いて、第１算出工程にて算出された時間Ｃをかけて、被加工物１１を粗研削する。
具体的には、まず、図１に示した研削装置１の第１カセット７０１からロボット７１を用いて被加工物１１を１枚取り出して、仮置き領域７２０に載置する。そして、位置合わせ手段７２を用いて適切に位置合わせをした後、第１搬送手段７４１を用いて仮置き領域７２０から、ターンテーブル２９の上において－Ｙ方向側に位置づけられている保持手段２の保持面２００に搬送する。
被加工物１１を保持面２００の上に載置した後、図示しない吸引手段等を用いて、保持面２００に被加工物１１を吸引保持する。
【0063】
そして、ターンテーブル２９をターンテーブル２９の上から見て時計回りに１２０°だけ回転させる。これにより、保持手段２に保持されている被加工物１１がターンテーブル２９の中心を回転の中心として１２０°公転させられて、図７（ａ）に示すように、被加工物１１が単研削手段３の下方に位置付けられる。
さらに、図５に示した第１水平移動手段４８１を用いて、粗研削砥石３４０が保持面２００の中心２０１を通るように、単研削手段３を矢印４９１の方向に水平移動させる。そしてこの状態で、第１研削送り手段４１を用いて単研削手段３を－Ｚ方向に移動させて、単研削手段３の粗研削砥石３４０の下面３４２を被加工物１１の上面１１０に接触させる。粗研削砥石３４０による上面１１０の粗研削は、時間Ｃをかけて行われる。
さらに、図５に示した第１水平移動手段４８１を用いて、粗研削砥石３４０が保持面２００の中心２０１を通るように、単研削手段３を矢印４９１の方向に水平移動させる。そしてこの状態で、第１研削送り手段４１を用いて単研削手段３を－Ｚ方向に移動させて、単研削手段３の粗研削砥石３４０の下面３４２を被加工物１１の上面１１０に接触させる。粗研削砥石３４０による上面１１０の粗研削は、時間Ｃをかけて行われる。
【0064】
（６－１）第２研削工程
次に、複合研削手段５に装着された粗研削砥石５２０を用いて第２算出工程にて算出された時間Ｄだけ、被加工物１１を粗研削する。
具体的には、まず、図３に示したシリンダ用エア供給源９０を第１の連通路９０１に連通させる。かかる状態で、シリンダ用エア供給源９０からエアを供給する。すると、第１のエア供給口１４１０から収容室６１の内部にエアが供給されて、ピストン６００がエアにより押し下げられ、環状マウント１３０、粗研削ホイール５１、及び粗研削砥石５２０が－Ｚ方向に移動する。これにより、仕上げ研削砥石５５０が粗研削砥石５２０に対して＋Ｚ方向に退避させられた状態になる。
次に、複合研削手段５に装着された粗研削砥石５２０を用いて第２算出工程にて算出された時間Ｄだけ、被加工物１１を粗研削する。
具体的には、まず、図３に示したシリンダ用エア供給源９０を第１の連通路９０１に連通させる。かかる状態で、シリンダ用エア供給源９０からエアを供給する。すると、第１のエア供給口１４１０から収容室６１の内部にエアが供給されて、ピストン６００がエアにより押し下げられ、環状マウント１３０、粗研削ホイール５１、及び粗研削砥石５２０が－Ｚ方向に移動する。これにより、仕上げ研削砥石５５０が粗研削砥石５２０に対して＋Ｚ方向に退避させられた状態になる。
【0065】
次いで、図１に示したターンテーブル２９をターンテーブル２９の中心を軸に、ターンテーブル２９の上から見て時計回りに１２０°回転させる。これにより、保持手段２に保持されている被加工物１１がターンテーブル２９の中心を回転の中心として１２０°公転させられて、図７（ｂ）に示すように、複合研削手段５の下方に位置付けられる。
【0066】
さらに、図５に示した第２水平移動手段４８２を用いて、粗研削砥石５２０が保持面２００の中心２０１を通るように、複合研削手段５を矢印４９２の方向に水平移動させる。かかる状態で、第２研削送り手段４２を用いて複合研削手段５を－Ｚ方向に移動させて、複合研削手段５の粗研削砥石５２０の下面５２２を被加工物１１の上面１１０に接触させる。粗研削砥石５２０による上面１１０の粗研削は、時間Ｄをかけて行われる。
【0067】
（７－１）切換工程
次いで、図４に示すように、切換手段６を用いて粗研削砥石５２０の下方に仕上げ研削砥石５５０を突出させて、粗研削砥石５２０よりも仕上げ研削砥石５５０が被加工物１１に接近している状態にする。
具体的には、図４に示すように、シリンダ用エア供給源９０を第２の連通路９０２に連通させる。かかる状態で、シリンダ用エア供給源９０からエアを供給する。すると、第２のエア供給口１４２０から収容室６１の内部にエアが供給されて、ピストン６００がエアにより押し下げられ、環状マウント１３０、粗研削ホイール５１、及び粗研削砥石５２０が－Ｚ方向に移動する。これにより、仕上げ研削砥石５５０が粗研削砥石５２０に対して－Ｚ方向に突出させられた状態になる。
次いで、図４に示すように、切換手段６を用いて粗研削砥石５２０の下方に仕上げ研削砥石５５０を突出させて、粗研削砥石５２０よりも仕上げ研削砥石５５０が被加工物１１に接近している状態にする。
具体的には、図４に示すように、シリンダ用エア供給源９０を第２の連通路９０２に連通させる。かかる状態で、シリンダ用エア供給源９０からエアを供給する。すると、第２のエア供給口１４２０から収容室６１の内部にエアが供給されて、ピストン６００がエアにより押し下げられ、環状マウント１３０、粗研削ホイール５１、及び粗研削砥石５２０が－Ｚ方向に移動する。これにより、仕上げ研削砥石５５０が粗研削砥石５２０に対して－Ｚ方向に突出させられた状態になる。
【0068】
（８－１）第３研削工程
その後、図７（ｃ）に示すように、複合研削手段５に装着された仕上げ研削砥石５５０を用いて、仕上げ条件の仕上げ研削時間Ｂをかけて仕上げ研削する。
第３研削工程において被加工物１１を仕上げ研削する際の複合研削手段５の動作は、上記の第２研削工程において被加工物１１を粗研削する際の複合研削手段５の動作と同様である。
その後、図７（ｃ）に示すように、複合研削手段５に装着された仕上げ研削砥石５５０を用いて、仕上げ条件の仕上げ研削時間Ｂをかけて仕上げ研削する。
第３研削工程において被加工物１１を仕上げ研削する際の複合研削手段５の動作は、上記の第２研削工程において被加工物１１を粗研削する際の複合研削手段５の動作と同様である。
【0069】
以上のようにして、単研削手段３を用いて時間Ｃをかけて被加工物１１の粗研削をし、次いで、複合研削手段５を用いて時間Ｄをかけて被加工物１１の粗研削をし、最後に、複合研削手段５を用いて時間Ｂをかけて仕上げ研削を行う。これにより、単研削手段３を用いた被加工物１１の研削加工にかかる時間と、複合研削手段５を用いた被加工物１１の研削加工にかかる時間とを同じにすることができる。
【0070】
（４－２）装着工程：仕上げ研削時間のほうが長い場合
比較工程にて、粗研削時間Ａと仕上げ研削時間Ｂとを比較した結果、粗研削時間Ａよりも仕上げ研削時間Ｂの方が長い場合には、通知手段１０２により、仕上げ研削砥石３６０を備える仕上げ研削ホイール３６を単研削手段３に装着すべき旨が作業者に通知される。通知を受けた作業者は、仕上げ研削砥石３６０を備える仕上げ研削ホイール３６をマウント３３に装着する。
比較工程にて、粗研削時間Ａと仕上げ研削時間Ｂとを比較した結果、粗研削時間Ａよりも仕上げ研削時間Ｂの方が長い場合には、通知手段１０２により、仕上げ研削砥石３６０を備える仕上げ研削ホイール３６を単研削手段３に装着すべき旨が作業者に通知される。通知を受けた作業者は、仕上げ研削砥石３６０を備える仕上げ研削ホイール３６をマウント３３に装着する。
【0071】
（５－２）第４研削工程
比較工程にて、粗研削時間Ａと仕上げ研削時間Ｂとを比較した結果、粗研削時間Ａよりも仕上げ研削時間Ｂの方が長い場合には、まず、図８（ａ）に示すように、複合研削手段５に装着された粗研削砥石５２０を用いて粗研削時間Ａをかけて被加工物１１を粗研削する。なお、第４研削工程における複合研削手段５による被加工物１１の粗研削の動作は、上記の第２研削工程における動作と同様である。
比較工程にて、粗研削時間Ａと仕上げ研削時間Ｂとを比較した結果、粗研削時間Ａよりも仕上げ研削時間Ｂの方が長い場合には、まず、図８（ａ）に示すように、複合研削手段５に装着された粗研削砥石５２０を用いて粗研削時間Ａをかけて被加工物１１を粗研削する。なお、第４研削工程における複合研削手段５による被加工物１１の粗研削の動作は、上記の第２研削工程における動作と同様である。
【0072】
（６－２）切換工程
次に、切換手段６を用いて粗研削砥石５２０よりも仕上げ研削砥石５５０を被加工物１１に接近させて、仕上げ研削砥石５５０を粗研削砥石５２０から－Ｚ方向に突出させる。
次に、切換手段６を用いて粗研削砥石５２０よりも仕上げ研削砥石５５０を被加工物１１に接近させて、仕上げ研削砥石５５０を粗研削砥石５２０から－Ｚ方向に突出させる。
【0073】
（７－２）第５研削工程
そして、複合研削手段５に装着された仕上げ研削砥石５５０を用いて、時間Ｄをかけて、被加工物１１を仕上げ研削する。第５研削工程における複合研削手段５による被加工物１１の仕上げ研削の動作は、上記の第２研削工程における複合研削手段５による被加工物１１の仕上げ研削の動作と同様である。
そして、複合研削手段５に装着された仕上げ研削砥石５５０を用いて、時間Ｄをかけて、被加工物１１を仕上げ研削する。第５研削工程における複合研削手段５による被加工物１１の仕上げ研削の動作は、上記の第２研削工程における複合研削手段５による被加工物１１の仕上げ研削の動作と同様である。
【0074】
（８－２）第６研削工程
最後に、単研削手段３に装着された仕上げ研削砥石３６０を用いて、時間Ｃをかけて、被加工物１１を仕上げ研削する。第６研削工程における単研削手段３による被加工物１１の仕上げ研削の動作は、上記の第１研削工程における単研削手段３による被加工物１１の粗研削の動作と同様である。
最後に、単研削手段３に装着された仕上げ研削砥石３６０を用いて、時間Ｃをかけて、被加工物１１を仕上げ研削する。第６研削工程における単研削手段３による被加工物１１の仕上げ研削の動作は、上記の第１研削工程における単研削手段３による被加工物１１の粗研削の動作と同様である。
【0075】
これにより、単研削手段３を用いた被加工物１１の研削加工にかかる時間と、複合研削手段５を用いた被加工物１１の研削加工にかかる時間とを同じにすることができる。
【0076】
例えば、図１に示したターンテーブル２９を回転させながら、ターンテーブル２９の上に配設されている複数の保持手段２の保持面２００に、次々に被加工物１１を搬送していき、複数の被加工物１１を単研削手段３と複合研削手段５とを用いて順次研削加工していく際に、上記のようにして、単研削手段３を用いた研削加工と、複合研削手段５を用いた研削加工とにかかる時間を同じにすることにより、単研削手段３と複合研削手段５との研削終了時刻を同時にすることが可能となる。これにより、一方の研削手段の稼働時に、他方の研削手段が待機しているというような状況を防ぐことができ、研削加工時間を短縮することができる。
【0077】
なお、従来、半導体ウェーハ等の被加工物に形成されている電極を保護層から露出させるための研削加工においては、仕上げ研削加工を行ったときに、研削砥石が電極を引きずってしまい、被加工物の上面に糸状のバリが発生してしまい、そのバリがデバイス不良を招くおそれがあった。そこで、仕上げ研削加工において研削砥石を被加工物から一度離すという研削加工方法を採っていため、粗研削時間より仕上げ研削時間の方が長くなっていた。
その一方で、本研削方法によれば、仕上げ研削加工に複合研削手段５の仕上げ研削砥石５５０と、単研削手段３の仕上げ研削砥石３６０とを用いるため、確実に被加工物１１から仕上げ研削砥石を離すことと、両研削手段の研削終了を一致させることが可能であり、加工結果を良好にすることができる。
その一方で、本研削方法によれば、仕上げ研削加工に複合研削手段５の仕上げ研削砥石５５０と、単研削手段３の仕上げ研削砥石３６０とを用いるため、確実に被加工物１１から仕上げ研削砥石を離すことと、両研削手段の研削終了を一致させることが可能であり、加工結果を良好にすることができる。
【0078】
（第２実施形態）
２－１ 研削装置
図９に示す研削装置１０９は、Ｙ軸方向に延設されたベース１０を備えている。ベース１０の＋Ｙ方向側、かつ＋Ｘ方向側には、第１コラム１１１０が立設されており、第１コラム１１１０の－Ｘ方向側には、第２コラム１１２０が立設されている。
２－１ 研削装置
図９に示す研削装置１０９は、Ｙ軸方向に延設されたベース１０を備えている。ベース１０の＋Ｙ方向側、かつ＋Ｘ方向側には、第１コラム１１１０が立設されており、第１コラム１１１０の－Ｘ方向側には、第２コラム１１２０が立設されている。
【0079】
ベース１０の上における＋Ｘ方向側には、第１保持手段２４が配設されており、ベース１０の上における－Ｘ方向側には第２保持手段２５が配設されている。
第１保持手段２４は吸引部２４０と吸引部２４０を支持する枠体２４１とを備えている。吸引部２４０の上面は被加工物１１が保持される保持面２４２であり、保持面２４２は、枠体２４１の上面２４３と面一に形成されている。
第２保持手段２５は吸引部２５０と吸引部２５０を支持する枠体２５１とを備えている。吸引部２５０の上面は被加工物１１が保持される保持面２５２であり、保持面２５２は、枠体２５１の上面２５３と面一に形成されている。
第１保持手段２４は吸引部２４０と吸引部２４０を支持する枠体２４１とを備えている。吸引部２４０の上面は被加工物１１が保持される保持面２４２であり、保持面２４２は、枠体２４１の上面２４３と面一に形成されている。
第２保持手段２５は吸引部２５０と吸引部２５０を支持する枠体２５１とを備えている。吸引部２５０の上面は被加工物１１が保持される保持面２５２であり、保持面２５２は、枠体２５１の上面２５３と面一に形成されている。
【0080】
第１保持手段２４及び第２保持手段２５は、それぞれ図示しない吸引源等に接続されている。例えば、第１保持手段２４と第２保持手段２５とのいずれか一方、または両方に被加工物が載置された状態で、第１保持手段２４及び第２保持手段２５に接続されているそれぞれの該吸引源を適宜作動させて、生み出された吸引力を保持面２４２、及び２５２に伝達することによって被加工物を吸引保持することができる。
【0081】
また、第１保持手段２４及び第２保持手段２５は、図示しないＹ軸移動手段に接続されている。該Ｙ軸移動手段を用いることにより、第１保持手段２４及び第２保持手段２５をＹ軸方向に往復移動することができる。
【0082】
さらに、第１保持手段２４及び第２保持手段２５は、図示しない回転手段に接続されている。該回転手段を用いることにより、第１保持手段２４及び第２保持手段２５は、Ｚ軸方向の回転軸を軸にして回転可能となっている。
【0083】
第１保持手段２４の周囲にはカバー２７及びカバー２７に伸縮自在に連結された蛇腹２８が配設されている。例えば、第１保持手段２４がＹ軸方向に移動すると、カバー２７が第１保持手段２４とともにＹ軸方向に移動して蛇腹２８が伸縮することとなる。
第２保持手段２５の周囲には、第１保持手段２４の周囲に配設されているカバー２７及び蛇腹２８と同様の構成を有するカバー２７及び蛇腹２８が配設されている。
第２保持手段２５の周囲には、第１保持手段２４の周囲に配設されているカバー２７及び蛇腹２８と同様の構成を有するカバー２７及び蛇腹２８が配設されている。
【0084】
第１コラム１１１０の－Ｙ方向側の側面には、単研削手段３を昇降可能に支持する第１研削送り手段４１が配設されている。
単研削手段３は、図１に示した研削装置１に備える単研削手段３と同様に構成されている。また、第１研削送り手段４１も、図１に示した研削装置１に備える単研削手段３と同様に構成されている。従って、図１と同様の符号を付してその説明を省略する。
単研削手段３は、図１に示した研削装置１に備える単研削手段３と同様に構成されている。また、第１研削送り手段４１も、図１に示した研削装置１に備える単研削手段３と同様に構成されている。従って、図１と同様の符号を付してその説明を省略する。
【0085】
第２コラム１１２０の－Ｙ方向側の側面には、複合研削手段５を昇降可能に支持する第２研削送り手段４２が配設されている。
複合研削手段５は、図２に示した複合研削手段５と同様に構成されているため、同様の符号を付してその説明を省略する。また、第２研削送り手段４２は、図１に示した研削装置１に備える第２研削送り手段４２と同様に構成されているため、同様の符号を付してその説明を省略する。
複合研削手段５は、図２に示した複合研削手段５と同様に構成されているため、同様の符号を付してその説明を省略する。また、第２研削送り手段４２は、図１に示した研削装置１に備える第２研削送り手段４２と同様に構成されているため、同様の符号を付してその説明を省略する。
【0086】
ベース１０の－Ｙ方向側には、仮置き領域７２０及び洗浄領域７３２に跨るようにＸ軸方向に向けて架設された門型の支持台７９０が配設されている。
支持台７９０の上には、薄板状のガイドボード７９２がＸ軸方向に延設されており、ガイドボード７９２の上には、可動板７９４が配設されている。また、可動板７９４の上には、スライドテーブル７９３が配設されている。
支持台７９０の上には、薄板状のガイドボード７９２がＸ軸方向に延設されており、ガイドボード７９２の上には、可動板７９４が配設されている。また、可動板７９４の上には、スライドテーブル７９３が配設されている。
【0087】
スライドテーブル７９３は、保持部７９５と保持部７９５を支持する枠体７９７とを備えており、保持部７９５の上面は被加工物１１が保持される保持面７９６となっている。
【0088】
可動板７９４は、図示しないＸ軸移動手段に接続されている。可動板７９４が、該Ｘ軸移動手段によって駆動されてガイドボード７９２に案内されながらＸ軸方向に往復移動するのに伴って、可動板７９４に支持されているスライドテーブル７９３が可動板７９４と一体的にＸ軸方向に往復移動することとなる。
【0089】
スライドテーブル７９３の保持面７９６は、図示しない吸引源等に接続されている。
例えば、スライドテーブル７９３の保持面７９６に被加工物１１が載置されている状態で、図示しない吸引源等を用いて吸引力を発揮して、生み出された吸引力を保持面７９６に伝達することによって、保持面７９６に被加工物１１を吸引保持することができる。
例えば、スライドテーブル７９３の保持面７９６に被加工物１１が載置されている状態で、図示しない吸引源等を用いて吸引力を発揮して、生み出された吸引力を保持面７９６に伝達することによって、保持面７９６に被加工物１１を吸引保持することができる。
【0090】
ベース１０の上における第１保持手段２４と第２保持手段２５との間の領域には、背板８００が配設されている。
【0091】
背板８００の＋Ｘ方向側の側面には、第１搬送手段８００１が配設されている。
第１搬送手段８００１は、被加工物１１を吸引保持する第１搬送パッド８０１を備えている。第１搬送パッド８０１は、略円形状の部材の中央部分から略長方形状の部分を切り欠いた形状を有している。第１搬送パッド８０１は、被加工物１１を吸引保持する第１吸引面８１１と第１吸引面８１１に対して背中合わせに配設された第２吸引面８１２とを備えている。
第１吸引面８１１の外周には、複数の吸盤８１１０が形成されており、複数の吸盤８１１０はそれぞれ図示しない吸引源に接続されている。第１吸引面８１１の吸盤８１１０に被加工物１１が接触している状態で該吸引源を作動させて、生み出された吸引力を第１吸引面８１１に伝達することにより、第１吸引面８１１に被加工物１１を吸引保持できる。
同様に、第２吸引面８１２の外周にも、図示しない複数の吸盤が形成されており、複数の吸盤はそれぞれ図示しない吸引源に接続されている。第２吸引面８１２の該吸盤に被加工物１１が接触している状態で該吸引源を作動させて、生み出された吸引力を該吸引面に伝達することにより、第２吸引面８１２に被加工物１１を吸引保持できる。
第１搬送手段８００１は、被加工物１１を吸引保持する第１搬送パッド８０１を備えている。第１搬送パッド８０１は、略円形状の部材の中央部分から略長方形状の部分を切り欠いた形状を有している。第１搬送パッド８０１は、被加工物１１を吸引保持する第１吸引面８１１と第１吸引面８１１に対して背中合わせに配設された第２吸引面８１２とを備えている。
第１吸引面８１１の外周には、複数の吸盤８１１０が形成されており、複数の吸盤８１１０はそれぞれ図示しない吸引源に接続されている。第１吸引面８１１の吸盤８１１０に被加工物１１が接触している状態で該吸引源を作動させて、生み出された吸引力を第１吸引面８１１に伝達することにより、第１吸引面８１１に被加工物１１を吸引保持できる。
同様に、第２吸引面８１２の外周にも、図示しない複数の吸盤が形成されており、複数の吸盤はそれぞれ図示しない吸引源に接続されている。第２吸引面８１２の該吸盤に被加工物１１が接触している状態で該吸引源を作動させて、生み出された吸引力を該吸引面に伝達することにより、第２吸引面８１２に被加工物１１を吸引保持できる。
【0092】
第１搬送手段８００１は、反転手段８１を備えている。反転手段８１は、その端部が上下移動ブロック８２３の＋Ｘ方向側の側面に連結された円柱状の部材であり、その内部には図示しないモータ等の回転制御機構が配設されている。
また、反転手段８１の上下移動ブロック８２３に連結されていない側の端部には、第１搬送パッド８０１が連結されている。反転手段８１を用いて水平方向の回転軸を軸にして第１搬送パッド８０１を１８０度回転させることにより、第１搬送パッド８０１の上面と下面とを反転させることができる。
また、反転手段８１の上下移動ブロック８２３に連結されていない側の端部には、第１搬送パッド８０１が連結されている。反転手段８１を用いて水平方向の回転軸を軸にして第１搬送パッド８０１を１８０度回転させることにより、第１搬送パッド８０１の上面と下面とを反転させることができる。
【0093】
ここで、上面とは、第１吸引面８１１と第２吸引面８１２とのいずれかの面のうち、＋Ｚ方向側に向いている面を指し、下面とは、第１吸引面８１１と第２吸引面８１２とのいずれかの面のうち、－Ｚ方向側に向いている面を指す。すなわち、第１吸引面８１１が＋Ｚ方向側に向いて上面となるときには、第２吸引面８１２が－Ｚ方向に向いて下面となる。同様に、第１吸引面８１１が－Ｚ方向側に向いて下面となるときには、第２吸引面８１２が＋Ｚ方向に向いて上面となる。
例えば、第１吸引面８１１が上面であるときに、反転手段８１を用いて第１搬送パッド８０１を１８０度回転させることによって上面と下面とを反転させて、第１吸引面８１１を下面にすることができる。
例えば、第１吸引面８１１が上面であるときに、反転手段８１を用いて第１搬送パッド８０１を１８０度回転させることによって上面と下面とを反転させて、第１吸引面８１１を下面にすることができる。
【0094】
第１搬送手段８００１においては、例えば、第１吸引面８１１に、ある被加工物１１が吸引保持されている状態で、反転手段８１を用いて第１搬送パッド８０１の上下を反転させた後、第２吸引面８１２に別の被加工物１１を吸引保持することが可能となっている。
【0095】
第１搬送手段８００１は、第１搬送パッド８０１を水平方向に移動させるＹ軸移動手段８３を備えている。
Ｙ軸移動手段８３は、背板８００の＋Ｘ方向側の側面に配設され、Ｙ軸方向の回転軸８３５を有するボールネジ８３０と、ボールネジ８３０に対して平行に配設された一対のガイドレール８３１と、回転軸８３５を軸にしてボールネジ８３０を回転させる水平軸モータ８３２と、内部のナットがボールネジ８３０に螺合して側部がガイドレール８３１に摺接する水平移動ブロック８３３とを備えている。
Ｙ軸移動手段８３は、背板８００の＋Ｘ方向側の側面に配設され、Ｙ軸方向の回転軸８３５を有するボールネジ８３０と、ボールネジ８３０に対して平行に配設された一対のガイドレール８３１と、回転軸８３５を軸にしてボールネジ８３０を回転させる水平軸モータ８３２と、内部のナットがボールネジ８３０に螺合して側部がガイドレール８３１に摺接する水平移動ブロック８３３とを備えている。
【0096】
第１搬送手段８００１は、第１搬送パッド８０１の上面が水平方向に向いている状態における当該上面に垂直な上下方向（Ｚ軸方向）に第１搬送パッド８０１を移動させるＺ軸移動手段８２を備えている。
Ｚ軸移動手段８２は、水平移動ブロック８３３の＋Ｘ方向側の側面に連結された支持板８２４を備えている。
また、Ｚ軸移動手段８２は、支持板８２４の＋Ｘ方向側の側面に配設されたＺ軸方向の回転軸８２５を有するボールネジ８２０と、ボールネジ８２０に平行に配列されたガイドレール８２１と、回転軸８２５を軸にしてボールネジ８２０を回転させる垂直軸モータ８２２と、側部のナットがボールネジ８２０にして側部がガイドレール８２１に摺接する上下移動ブロック８２３とを備えている。
Ｚ軸移動手段８２は、水平移動ブロック８３３の＋Ｘ方向側の側面に連結された支持板８２４を備えている。
また、Ｚ軸移動手段８２は、支持板８２４の＋Ｘ方向側の側面に配設されたＺ軸方向の回転軸８２５を有するボールネジ８２０と、ボールネジ８２０に平行に配列されたガイドレール８２１と、回転軸８２５を軸にしてボールネジ８２０を回転させる垂直軸モータ８２２と、側部のナットがボールネジ８２０にして側部がガイドレール８２１に摺接する上下移動ブロック８２３とを備えている。
【0097】
水平軸モータ８３２に駆動されてボールネジ８３０が回転軸８３５を軸にして回転すると、ガイドレール８３１に案内されながら水平移動ブロック８３３がＹ軸方向に往復移動する。そして、水平移動ブロック８３３のＹ軸方向への移動に伴い、水平移動ブロック８３３に支持されている支持板８２４、支持板８２４に支持されている上下移動ブロック８２３、及び上下移動ブロック８２３に反転手段８１を介して連結されている第１搬送パッド８０１が、一体的にＹ軸方向に移動することとなる。
【0098】
また、垂直軸モータ８２２に駆動されてボールネジ８２０が回転軸８２５を軸にして回転すると、ガイドレール８２１に案内されながら上下移動ブロック８２３がＺ軸方向に往復移動する。上下移動ブロック８２３のＺ軸方向への移動に伴って、上下移動ブロック８２３に反転手段８１を介して連結されている第１搬送パッド８０１がＺ軸方向に移動する構成となっている。
【0099】
背板８００の－Ｘ方向側の側面には第２搬送手段８００２が配設されている。
第２搬送手段８００２は、第１搬送手段８００１に備える第１搬送パッド８０１と同様の構成を有する第２搬送パッド８０２を備えている。第２搬送手段８００２のその他の部分については、第１搬送手段８００１と同様に構成されているため、その説明を省略する。
研削装置１０９は、研削条件設定部１００、制御手段１０１、及び通知手段１０２を備えている。研削条件設定部１００、制御手段１０１、及び通知手段１０２は、図１に示した研削装置１に備えるものと同様の機能を有しているため、その説明を省略する。
第２搬送手段８００２は、第１搬送手段８００１に備える第１搬送パッド８０１と同様の構成を有する第２搬送パッド８０２を備えている。第２搬送手段８００２のその他の部分については、第１搬送手段８００１と同様に構成されているため、その説明を省略する。
研削装置１０９は、研削条件設定部１００、制御手段１０１、及び通知手段１０２を備えている。研削条件設定部１００、制御手段１０１、及び通知手段１０２は、図１に示した研削装置１に備えるものと同様の機能を有しているため、その説明を省略する。
【0100】
研削装置１０９のその他の部分については、研削装置１と同様に構成されているため、同様の符号を付してその説明を省略する。
【0101】
２－２ 研削方法
（１）第１算出工程
上記の研削装置１０９を用いて被加工物１１を研削する研削方法について、図６に示すフローチャートと、図７～８に示す研削加工の各工程の様子とを参照して、以下に説明する。
まず、図９に示した研削条件設定部１００にて、粗研削砥石を用いて被加工物１１を研削する粗研削条件と、仕上げ研削砥石を用いて被加工物１１を研削する仕上げ研削条件とを設定する。
粗研削条件には粗研削砥石を用いて被加工物１１を研削する時間である粗研削時間Ａが含まれている。また、仕上げ研削条件には、被加工物１１を仕上げ研削する時間である仕上げ研削時間Ｂが含まれている。
（１）第１算出工程
上記の研削装置１０９を用いて被加工物１１を研削する研削方法について、図６に示すフローチャートと、図７～８に示す研削加工の各工程の様子とを参照して、以下に説明する。
まず、図９に示した研削条件設定部１００にて、粗研削砥石を用いて被加工物１１を研削する粗研削条件と、仕上げ研削砥石を用いて被加工物１１を研削する仕上げ研削条件とを設定する。
粗研削条件には粗研削砥石を用いて被加工物１１を研削する時間である粗研削時間Ａが含まれている。また、仕上げ研削条件には、被加工物１１を仕上げ研削する時間である仕上げ研削時間Ｂが含まれている。
【0102】
そして、粗研削時間Ａと仕上げ研削時間Ｂとを足した値を２で割った値Ｃ（Ｃ＝（Ａ＋Ｂ）／２）を算出する。
（２）第２算出工程
次に、粗研削時間Ａから仕上げ研削時間Ｂを差し引いた値の絶対値を２で割った値Ｄ（Ｄ＝｜Ａ－Ｂ｜／２）を算出する。
（２）第２算出工程
次に、粗研削時間Ａから仕上げ研削時間Ｂを差し引いた値の絶対値を２で割った値Ｄ（Ｄ＝｜Ａ－Ｂ｜／２）を算出する。
【0103】
（３）比較工程
次に、粗研削時間Ａと仕上げ研削時間Ｂとのどちらが長いかを比較する。
次に、粗研削時間Ａと仕上げ研削時間Ｂとのどちらが長いかを比較する。
【0104】
（４－１）装着工程：粗研削時間の方が長い場合
比較工程にて、粗研削時間Ａと仕上げ研削時間Ｂとを比較した結果、仕上げ研削時間Ｂよりも粗研削時間Ａの方が長い場合には、通知手段１０２によりその旨が作業者に通知される。通知を受けた作業者は、粗研削砥石３４０を備える粗研削ホイール３４をマウント３３に装着する。
比較工程にて、粗研削時間Ａと仕上げ研削時間Ｂとを比較した結果、仕上げ研削時間Ｂよりも粗研削時間Ａの方が長い場合には、通知手段１０２によりその旨が作業者に通知される。通知を受けた作業者は、粗研削砥石３４０を備える粗研削ホイール３４をマウント３３に装着する。
【0105】
（５－１）第１研削工程
上記装着工程にて、単研削手段３のマウント３３に粗研削砥石３４０を備える粗研削ホイール３４を装着した後、単研削手段３に装着された粗研削砥石３４０を用いて第１算出工程にて算出された時間Ｃだけ、被加工物１１を粗研削する。
具体的には、まず、ロボット７１を用いて第１カセット７０１から被加工物１１を一枚取り出して仮置き領域７２０に載置し、位置合わせ手段７２を用いて被加工物１１の位置合わせをする。
上記装着工程にて、単研削手段３のマウント３３に粗研削砥石３４０を備える粗研削ホイール３４を装着した後、単研削手段３に装着された粗研削砥石３４０を用いて第１算出工程にて算出された時間Ｃだけ、被加工物１１を粗研削する。
具体的には、まず、ロボット７１を用いて第１カセット７０１から被加工物１１を一枚取り出して仮置き領域７２０に載置し、位置合わせ手段７２を用いて被加工物１１の位置合わせをする。
【0106】
次いで、第１搬送手段８００１を用いて仮置き領域７２０から第１保持手段２４へと被加工物１１を搬送する。
ここで、第１搬送手段８００１を用いて仮置き領域７２０から第１保持手段２４へと被加工物１１を搬送する際には、まず、第１搬送手段８００１に備える第１搬送パッド８０１が、仮置き領域７２０において位置合わせされている被加工物１１を把持できるように、Ｙ軸移動手段８３を用いて、第１搬送パッド８０１を－Ｙ方向に移動させる。
そして、第１搬送パッド８０１の第１吸引面８１１の吸盤８１１０を被加工物１１に接触させて、図示しない吸引手段等を用いて被加工物１１の第１吸引面８１１に接触されている面を吸引することにより、第１吸引面８１１に被加工物１１を吸引保持する。
ここで、第１搬送手段８００１を用いて仮置き領域７２０から第１保持手段２４へと被加工物１１を搬送する際には、まず、第１搬送手段８００１に備える第１搬送パッド８０１が、仮置き領域７２０において位置合わせされている被加工物１１を把持できるように、Ｙ軸移動手段８３を用いて、第１搬送パッド８０１を－Ｙ方向に移動させる。
そして、第１搬送パッド８０１の第１吸引面８１１の吸盤８１１０を被加工物１１に接触させて、図示しない吸引手段等を用いて被加工物１１の第１吸引面８１１に接触されている面を吸引することにより、第１吸引面８１１に被加工物１１を吸引保持する。
【0107】
次に、Ｙ軸移動手段８３を用いて第１搬送パッド８０１を＋Ｙ方向に移動させて、第１搬送パッド８０１を第１保持手段２４の下方に位置付ける。
その後、Ｚ軸移動手段８２を用いて第１搬送パッド８０１を－Ｚ方向に移動させるとともに、該吸引源を停止させて、第１吸引面８１１に作用している吸引力を取り除く。これにより、被加工物１１が、第１保持手段２４の保持面２００に載置される。
その後、Ｚ軸移動手段８２を用いて第１搬送パッド８０１を－Ｚ方向に移動させるとともに、該吸引源を停止させて、第１吸引面８１１に作用している吸引力を取り除く。これにより、被加工物１１が、第１保持手段２４の保持面２００に載置される。
【0108】
その後、第１保持手段２４に接続されている図示しない吸引源を用いて第１保持手段２４の保持面２４２に被加工物１１を吸引保持する。
【0109】
次いで、図示しないＹ軸移動手段を用いて第１保持手段２４に吸引保持されている被加工物１１を＋Ｙ方向に移動させて、単研削手段３の下方に位置付ける。
【0110】
さらに、図示しない回転手段を用いて第１保持手段２４を回転させることにより、保持面２００に保持されている被加工物１１を回転させるとともに、スピンドルモータ３２を用いて回転軸３５を軸にして粗研削砥石３４０を回転させる。
【0111】
被加工物１１が回転しており、かつ、粗研削砥石３４０が回転軸３５を軸にして回転している状態で、第１研削送り手段４１を用いて粗研削砥石３４０を－Ｚ方向に下降させて、粗研削砥石３４０の下面３４２を被加工物１１の上面１１０に接触させる。
下面３４２が被加工物１１の上面１１０に接触している状態で、第１研削送り手段４１を用いてさらに粗研削砥石３４０を－Ｚ方向に下降させていく。
このとき、第１研削送り手段４１による粗研削砥石３４０の－Ｚ方向への下降の速度は制御手段１０１によって制御されており、粗研削砥石３４０は第１算出工程にて算出された時間Ｃをかけて、所定の高さ位置まで下降していく。かかる動作によって被加工物１１は、時間Ｃをかけて粗研削される。
下面３４２が被加工物１１の上面１１０に接触している状態で、第１研削送り手段４１を用いてさらに粗研削砥石３４０を－Ｚ方向に下降させていく。
このとき、第１研削送り手段４１による粗研削砥石３４０の－Ｚ方向への下降の速度は制御手段１０１によって制御されており、粗研削砥石３４０は第１算出工程にて算出された時間Ｃをかけて、所定の高さ位置まで下降していく。かかる動作によって被加工物１１は、時間Ｃをかけて粗研削される。
【0112】
その後、第１研削送り手段４１を用いて単研削手段３を＋Ｚ方向に上昇させて粗研削砥石３４０を被加工物１１の上面１１０から離間させる。
次いで、Ｙ軸移動手段８３を用いて第１搬送パッド８０１を＋Ｙ方向に移動させて、第１搬送パッド８０１を第１保持手段２４の上方に位置づけてから、Ｚ軸移動手段８２を用いて第１搬送パッド８０１を－Ｚ方向に下降させる。これにより、第１搬送パッド８０１の第１吸引面８１１が被加工物１１の上面１１０に接触する。第１搬送パッド８０１の第１吸引面８１１が被加工物１１の上面１１０に接触している状態で、第１吸引面８１１に接続されている図示しない吸引源を作動して、第１吸引面８１１に吸引力を伝達し、第１吸引面８１１に被加工物１１を吸引保持する。
次いで、Ｙ軸移動手段８３を用いて第１搬送パッド８０１を＋Ｙ方向に移動させて、第１搬送パッド８０１を第１保持手段２４の上方に位置づけてから、Ｚ軸移動手段８２を用いて第１搬送パッド８０１を－Ｚ方向に下降させる。これにより、第１搬送パッド８０１の第１吸引面８１１が被加工物１１の上面１１０に接触する。第１搬送パッド８０１の第１吸引面８１１が被加工物１１の上面１１０に接触している状態で、第１吸引面８１１に接続されている図示しない吸引源を作動して、第１吸引面８１１に吸引力を伝達し、第１吸引面８１１に被加工物１１を吸引保持する。
【0113】
第１吸引面８１１に被加工物１１が吸引保持されている状態で、Ｙ軸移動手段８３を用いて第１搬送パッド８０１を－Ｙ方向に移動させて、スライドテーブル７９３の保持面７９６の上方に位置づける。そして、第１吸引面８１１に接続されている該吸引源を停止させて、第１吸引面８１１に作用している吸引力を取り除くことにより、スライドテーブル７９３の保持面７９６に被加工物１１を載置する。
【0114】
そして、スライドテーブル７９３に接続されている図示しない吸引源を作動させてスライドテーブル７９３の保持面７９６に被加工物１１を吸引保持する。
【0115】
次に、図示しないＸ軸移動手段を用いてスライドテーブル７９３を－Ｘ方向に移動させる。そして、スライドテーブル７９３に接続されている該吸引源を停止して、スライドテーブル７９３に作用している吸引力を取り除いてから、第２搬送手段８００２を用いてスライドテーブル７９３に保持されている被加工物１１を第２保持手段２５の保持面２００に搬送する。このときの第２搬送手段８００２の動作は、上記の第１搬送手段８００１による被加工物１１の搬送動作と同様である。
【0116】
（６－１）第２研削工程
そして、複合研削手段５に装着された粗研削砥石５２０を用いて第２算出工程にて算出された時間Ｄだけ、被加工物１１を粗研削する。
具体的には、まず、これにより、シリンダ用エア供給源９０と切換手段６とを用いて、仕上げ研削砥石５５０が粗研削砥石５２０に対して＋Ｚ方向に退避させられた状態にする。
そして、複合研削手段５に装着された粗研削砥石５２０を用いて第２算出工程にて算出された時間Ｄだけ、被加工物１１を粗研削する。
具体的には、まず、これにより、シリンダ用エア供給源９０と切換手段６とを用いて、仕上げ研削砥石５５０が粗研削砥石５２０に対して＋Ｚ方向に退避させられた状態にする。
【0117】
かかる状態で、図７（ｂ）に示すように、上記第１研削工程にて粗研削された被加工物１１を複合研削手段５の下方に位置付ける。そして、第２研削送り手段４２を用いて複合研削手段５を－Ｚ方向に移動させて、複合研削手段５の粗研削砥石５２０の下面５２２を被加工物１１の上面１１０に接触させる。粗研削砥石５２０の下面５２２が被加工物１１の上面１１０に接触している状態で、さらに第２算出工程にて算出された時間Ｄをかけて、粗研削砥石５２０を－Ｚ方向に移動させることにより、被加工物１１を粗研削加工する。
【0118】
（７－１）切換工程
次いで、図３に示した切換手段６を用いて、図４に示すように、粗研削砥石５２０の下方に仕上げ研削砥石５５０を突出させて、粗研削砥石５２０よりも仕上げ研削砥石５５０が被加工物１１に接近している状態にする。
次いで、図３に示した切換手段６を用いて、図４に示すように、粗研削砥石５２０の下方に仕上げ研削砥石５５０を突出させて、粗研削砥石５２０よりも仕上げ研削砥石５５０が被加工物１１に接近している状態にする。
【0119】
（８－１）第３研削工程
その後、図７（ｃ）に示すように、複合研削手段５に装着された仕上げ研削砥石５５０を用いて仕上げ条件による仕上げ研削時間Ｂをかけて仕上げ研削する。
これにより、単研削手段３を用いた被加工物１１の研削加工にかかる時間と、複合研削手段５を用いた被加工物１１の研削加工にかかる時間とを同じにすることができる。
その後、図７（ｃ）に示すように、複合研削手段５に装着された仕上げ研削砥石５５０を用いて仕上げ条件による仕上げ研削時間Ｂをかけて仕上げ研削する。
これにより、単研削手段３を用いた被加工物１１の研削加工にかかる時間と、複合研削手段５を用いた被加工物１１の研削加工にかかる時間とを同じにすることができる。
【0120】
（４－２）装着工程：仕上げ研削時間のほうが長い場合
比較工程にて、粗研削時間Ａと仕上げ研削時間Ｂとを比較した結果、粗研削時間Ａよりも仕上げ研削時間Ｂの方が長い場合には、単研削手段３に仕上げ研削砥石３６０を備える仕上げ研削ホイール３６を装着する。
比較工程にて、粗研削時間Ａと仕上げ研削時間Ｂとを比較した結果、粗研削時間Ａよりも仕上げ研削時間Ｂの方が長い場合には、単研削手段３に仕上げ研削砥石３６０を備える仕上げ研削ホイール３６を装着する。
【0121】
（５－２）第４研削工程
比較工程にて、粗研削時間Ａと仕上げ研削時間Ｂとを比較した結果、粗研削時間Ａよりも仕上げ研削時間Ｂの方が長い場合には、まず、図８（ａ）に示すように、複合研削手段５に装着された粗研削砥石５２０を用いて粗研削時間Ａをかけて被加工物１１を粗研削する。
具体的には、シリンダ用エア供給源９０と切換手段６とを用いて、複合研削手段５に装着された粗研削砥石５２０が仕上げ研削砥石５５０よりも－Ｚ方向に位置づけられている状態で、複合研削手段５を回転させて、被加工物１１の上面１１０に接触させ、時間Ａをかけて被加工物１１を粗研削する。
比較工程にて、粗研削時間Ａと仕上げ研削時間Ｂとを比較した結果、粗研削時間Ａよりも仕上げ研削時間Ｂの方が長い場合には、まず、図８（ａ）に示すように、複合研削手段５に装着された粗研削砥石５２０を用いて粗研削時間Ａをかけて被加工物１１を粗研削する。
具体的には、シリンダ用エア供給源９０と切換手段６とを用いて、複合研削手段５に装着された粗研削砥石５２０が仕上げ研削砥石５５０よりも－Ｚ方向に位置づけられている状態で、複合研削手段５を回転させて、被加工物１１の上面１１０に接触させ、時間Ａをかけて被加工物１１を粗研削する。
【0122】
（６－２）切換工程
次に、切換手段６を用いて粗研削砥石５２０よりも仕上げ研削砥石５５０を被加工物１１に接近させて、仕上げ研削砥石５５０を粗研削砥石５２０から－Ｚ方向に突出させる。
次に、切換手段６を用いて粗研削砥石５２０よりも仕上げ研削砥石５５０を被加工物１１に接近させて、仕上げ研削砥石５５０を粗研削砥石５２０から－Ｚ方向に突出させる。
【0123】
（７－２）第５研削工程
そして、複合研削手段５に装着された仕上げ研削砥石５５０を用いて、時間Ｄをかけて、被加工物１１を仕上げ研削する。
そして、複合研削手段５に装着された仕上げ研削砥石５５０を用いて、時間Ｄをかけて、被加工物１１を仕上げ研削する。
【0124】
（８－２）第６研削工程
最後に、単研削手段３に装着された仕上げ研削砥石３６０を用いて、時間Ｃをかけて、被加工物１１を仕上げ研削する。
これにより、単研削手段３を用いた被加工物１１の研削加工にかかる時間と、複合研削手段５を用いた被加工物１１の研削加工にかかる時間とを同じにすることができる。
最後に、単研削手段３に装着された仕上げ研削砥石３６０を用いて、時間Ｃをかけて、被加工物１１を仕上げ研削する。
これにより、単研削手段３を用いた被加工物１１の研削加工にかかる時間と、複合研削手段５を用いた被加工物１１の研削加工にかかる時間とを同じにすることができる。
【0125】
なお、図９に示した研削装置１０９のベース１０の上における第１保持手段２４と第２保持手段２５との間の領域に配設される背板８００には、上記の第１搬送手段８００１及び第２搬送手段８００２にかえて、図１０に示す第３搬送手段８００３及び第４搬送手段８００４が配設されていてもよい。
【0126】
第３搬送手段８００３は、図１０に示すように、被加工物１１を吸引保持する第３搬送パッド８０３を備えている。第３搬送パッド８０３は、第２反転手段８４を介して上下移動ブロック８２３に支持されており、回転軸８１５を軸に回転可能となっている。
第３搬送パッド８０３は、被加工物１１を吸引保持する薄板状の第３保持板８１３と、第２反転手段８４の大径部８４０を介して第３保持板８１３に平行に配設された第４保持板８１４とを備えている。
第３保持板８１３の面のうち大径部８４０に接触していない側の面は被加工物１１が吸引保持される第３吸引面８９３となっており、第４保持板８１４の面のうち大径部８４０に接触していない側の面は被加工物１１が吸引保持される第４吸引面８９４となっている。
第３搬送パッド８０３は、被加工物１１を吸引保持する薄板状の第３保持板８１３と、第２反転手段８４の大径部８４０を介して第３保持板８１３に平行に配設された第４保持板８１４とを備えている。
第３保持板８１３の面のうち大径部８４０に接触していない側の面は被加工物１１が吸引保持される第３吸引面８９３となっており、第４保持板８１４の面のうち大径部８４０に接触していない側の面は被加工物１１が吸引保持される第４吸引面８９４となっている。
【0127】
第３吸引面８９３には、複数の吸盤８９３０が行列状に並べられている。同様に、第４吸引面８９４には、図示しない吸盤が、行列状に並べられている。
【0128】
第３吸引面８９３及び第４吸引面８９４は、それぞれ図示しない吸引源に接続されている。例えば、第３吸引面８９３の吸盤８９３０に被加工物１１が接触している状態で該吸引源を作動させて、生み出された吸引力を第３吸引面８９３に伝達することにより、第３吸引面８９３を吸引保持できる。また、第４吸引面８９４の該吸盤に被加工物１１が接触している状態で該吸引源を作動させて、生み出された吸引力を該吸引面に伝達することにより、第４吸引面８９４に被加工物１１を吸引保持できる。
【0129】
第３搬送手段８００３は、第２反転手段８４を備えている。第２反転手段８４は、第３吸引面８９３と第４吸引面８９４とに挟まれた大径部８４０と、一端が大径部８４０に連結され、他端が上下移動ブロック８２３に連結された小径部８４１とを備えている。
例えば小径部８４１の内部には図示しないモータ等の回転制御機構が配設されており、第２反転手段８４を用いて水平方向の回転軸８１５を軸にして第３搬送パッド８０３を１８０度回転させることにより、第３搬送パッド８０３の上面と下面とを反転させることができる。すなわち、第２反転手段８４を用いることにより、第３吸引面８９３と第４吸引面８９４との上下関係を反転させることが可能となっている。
例えば小径部８４１の内部には図示しないモータ等の回転制御機構が配設されており、第２反転手段８４を用いて水平方向の回転軸８１５を軸にして第３搬送パッド８０３を１８０度回転させることにより、第３搬送パッド８０３の上面と下面とを反転させることができる。すなわち、第２反転手段８４を用いることにより、第３吸引面８９３と第４吸引面８９４との上下関係を反転させることが可能となっている。
【0130】
第３搬送手段８００３のその他の部分は、図９に示した第１搬送手段８００１と同様の構成を有している。従って、同様の符号を付して説明を省略する。
【0131】
第４搬送手段８００４は、図１０に示すように、第３搬送手段８００３に備える第３搬送パッド８０３と同様の構成を有する第４搬送パッド８０４を備えている。第４搬送手段８００４のその他の部分は、第３搬送手段８００３と同様に構成されているため、その説明を省略する。
【0132】
第３搬送パッド８０３の第３吸引面８９３の吸盤８９３０に被加工物１１が接触している状態で、図示しない吸引源を作動させて、吸引力を吸盤８９３０に伝達することにより、第３吸引面８９３に被加工物１１を吸引保持できる。
また、第４搬送パッド８０４の第４吸引面８９４の該吸盤に被加工物１１が接触している状態で該吸引源を作動させて、生み出された吸引力を該吸引面に伝達することにより、第４吸引面８９４に被加工物１１を吸引保持できる。
また、第４搬送パッド８０４の第４吸引面８９４の該吸盤に被加工物１１が接触している状態で該吸引源を作動させて、生み出された吸引力を該吸引面に伝達することにより、第４吸引面８９４に被加工物１１を吸引保持できる。
【符号の説明】
【0133】
１：研削装置 １０９：研削装置 １０：ベース １１１：第１コラム
１１２：第２コラム １１３：第３コラム １１：被加工物 １１０：上面
２：保持手段 ２０：吸引部 ２００：保持面 ２０１：保持面の中心
２１：枠体 ２１０：枠体の上面 ２４：第１保持手段 ２５：第２保持手段
２４０：吸引部 ２４１：枠体 ２４２：保持面 ２４３：枠体の上面
２５０：吸引部 ２５１：枠体 ２５２：保持面 ２５３：枠体の上面
２７：カバー ２８：蛇腹 ２９：ターンテーブル
３：単研削手段 ３０：スピンドル ３１：ハウジング ３２：スピンドルモータ
３３：マウント ３４：粗研削ホイール ３５：回転軸 ３６：仕上げ研削ホイール
３４０：粗研削砥石 ３４１：ホイール基台 ３４２：下面 ３６０：仕上げ研削砥石
４：移動手段 ４１：第１研削送り手段 ４２：第２研削送り手段 ４５：回転軸
４００：ボールネジ ４１０：ガイドレール ４２０：Ｚ軸モータ ４３０：昇降板
４４０：ホルダ ４５０：回転軸 ４８１：第１水平移動手段
４８２：第２水平移動手段 ４９１：矢印 ４９２：矢印
５：複合研削手段 ５１：粗研削ホイール ５４：円板マウント
５５：仕上げ研削ホイール ５７：ガイド ５２０：粗研削砥石 ５２２：下面
５５０：仕上げ研削砥石 ５５２：下面 ５７０：ガイド穴
６：切換手段 ６０：ロッド ６１：収容室 ６００：ピストン
１２：ケーシング １２０：上部ケーシング １２１：下部ケーシング
１２２：中部ケーシング １２３：冷却水供給口 １２４：冷却水排出口
１３：マウント １３０：環状マウント１５ ：シリンダ １５０：大径部
１５１：小径部
１６：モータ １６０：ロータ １６１：冷却ジャケット １６２：ステータ
１７：ロータリジョイント
１８：ベアリング １８０：上アキシャルベアリング １８１：上側噴出口
１８２：下アキシャルベアリング １８３：下側噴出口
１８４：ラジアルベアリング １８５：内側噴出口
１９：スピンドル １９０：プレート １９１：第１軸部 １９２：第２軸部
１９３：研削水供給路 １９４：流路 １９５：流路 １９６：流路 １９７：エア流路
１９８：エア流路 １９９：エア供給口
７０：カセット ７１：ロボット ７２：位置合わせ手段 ７３：スピンナ洗浄手段
７５：プレート ７６：アーム ７７：軸部
７０１：第１カセット ７０２：第２カセット ７０１０：第１カセット載置部
７０２０：第２カセット載置部
７２０：仮置き領域 ７３０：スピンナテーブル ７３１：洗浄水供給ノズル
７３２：洗浄領域 ７４１：第１搬送手段 ７４２：第２搬送手段 ７９０：支持台
７９２：ガイドボード ７９３：スライドテーブル ７９４：可動板 ７９５：保持部
７９６：保持面 ７９７：枠体
８００：背板 ８００１：第１搬送手段 ８００２：第２搬送手段
８００３：第３搬送手段 ８００４：第４搬送手段
８０１：第１搬送パッド ８０２：第２搬送パッド
８０３：第３搬送パッド ８０４：第４搬送パッド
８１：反転手段 ８１１：第１吸引面 ８１２：第２吸引面 ８１３：第３保持板
８１４：第４保持板 ８１５：回転軸
８２：Ｚ軸移動手段 ８２０：ボールネジ ８２１：ガイドレール
８２２：垂直軸モータ ８２３：上下移動ブロック ８２４：支持板 ８２５：回転軸
８３：Ｙ軸移動手段 ８３０：ボールネジ ８３１：ガイドレール
８３２：水平軸モータ ８３３：水平移動ブロック ８３５：回転軸
８４：第２反転手段 ８４０：大径部 ８４１：小径部 ８９３：第３吸引面
８９３０：吸盤 ８９４：第４吸引面
９０：シリンダ用エア供給源 ９１：第１のエア供給路 ９２：第２のエア供給路
９３：第３のエア供給路 ９４：第４のエア供給路
９００：電磁弁 ９０１：第１の連通路 ９０２：第２の連通路
１００：研削条件設定部 １０１：制御手段 １０２：通知手段
１４１：第１流路 １４２：第２流路
１００１：測定手段 １００２：測定手段
１０１２：保持面ハイトゲージ １１０１：上面ハイトゲージ
１１０２：保持面ハイトゲージ １１１０：第１コラム
１１２０：第２コラム １１３１：第１ガイド面
１１３２：第２ガイド面 １４１０：第１のエア供給口
１４２０：第２のエア供給口
１１２：第２コラム １１３：第３コラム １１：被加工物 １１０：上面
２：保持手段 ２０：吸引部 ２００：保持面 ２０１：保持面の中心
２１：枠体 ２１０：枠体の上面 ２４：第１保持手段 ２５：第２保持手段
２４０：吸引部 ２４１：枠体 ２４２：保持面 ２４３：枠体の上面
２５０：吸引部 ２５１：枠体 ２５２：保持面 ２５３：枠体の上面
２７：カバー ２８：蛇腹 ２９：ターンテーブル
３：単研削手段 ３０：スピンドル ３１：ハウジング ３２：スピンドルモータ
３３：マウント ３４：粗研削ホイール ３５：回転軸 ３６：仕上げ研削ホイール
３４０：粗研削砥石 ３４１：ホイール基台 ３４２：下面 ３６０：仕上げ研削砥石
４：移動手段 ４１：第１研削送り手段 ４２：第２研削送り手段 ４５：回転軸
４００：ボールネジ ４１０：ガイドレール ４２０：Ｚ軸モータ ４３０：昇降板
４４０：ホルダ ４５０：回転軸 ４８１：第１水平移動手段
４８２：第２水平移動手段 ４９１：矢印 ４９２：矢印
５：複合研削手段 ５１：粗研削ホイール ５４：円板マウント
５５：仕上げ研削ホイール ５７：ガイド ５２０：粗研削砥石 ５２２：下面
５５０：仕上げ研削砥石 ５５２：下面 ５７０：ガイド穴
６：切換手段 ６０：ロッド ６１：収容室 ６００：ピストン
１２：ケーシング １２０：上部ケーシング １２１：下部ケーシング
１２２：中部ケーシング １２３：冷却水供給口 １２４：冷却水排出口
１３：マウント １３０：環状マウント１５ ：シリンダ １５０：大径部
１５１：小径部
１６：モータ １６０：ロータ １６１：冷却ジャケット １６２：ステータ
１７：ロータリジョイント
１８：ベアリング １８０：上アキシャルベアリング １８１：上側噴出口
１８２：下アキシャルベアリング １８３：下側噴出口
１８４：ラジアルベアリング １８５：内側噴出口
１９：スピンドル １９０：プレート １９１：第１軸部 １９２：第２軸部
１９３：研削水供給路 １９４：流路 １９５：流路 １９６：流路 １９７：エア流路
１９８：エア流路 １９９：エア供給口
７０：カセット ７１：ロボット ７２：位置合わせ手段 ７３：スピンナ洗浄手段
７５：プレート ７６：アーム ７７：軸部
７０１：第１カセット ７０２：第２カセット ７０１０：第１カセット載置部
７０２０：第２カセット載置部
７２０：仮置き領域 ７３０：スピンナテーブル ７３１：洗浄水供給ノズル
７３２：洗浄領域 ７４１：第１搬送手段 ７４２：第２搬送手段 ７９０：支持台
７９２：ガイドボード ７９３：スライドテーブル ７９４：可動板 ７９５：保持部
７９６：保持面 ７９７：枠体
８００：背板 ８００１：第１搬送手段 ８００２：第２搬送手段
８００３：第３搬送手段 ８００４：第４搬送手段
８０１：第１搬送パッド ８０２：第２搬送パッド
８０３：第３搬送パッド ８０４：第４搬送パッド
８１：反転手段 ８１１：第１吸引面 ８１２：第２吸引面 ８１３：第３保持板
８１４：第４保持板 ８１５：回転軸
８２：Ｚ軸移動手段 ８２０：ボールネジ ８２１：ガイドレール
８２２：垂直軸モータ ８２３：上下移動ブロック ８２４：支持板 ８２５：回転軸
８３：Ｙ軸移動手段 ８３０：ボールネジ ８３１：ガイドレール
８３２：水平軸モータ ８３３：水平移動ブロック ８３５：回転軸
８４：第２反転手段 ８４０：大径部 ８４１：小径部 ８９３：第３吸引面
８９３０：吸盤 ８９４：第４吸引面
９０：シリンダ用エア供給源 ９１：第１のエア供給路 ９２：第２のエア供給路
９３：第３のエア供給路 ９４：第４のエア供給路
９００：電磁弁 ９０１：第１の連通路 ９０２：第２の連通路
１００：研削条件設定部 １０１：制御手段 １０２：通知手段
１４１：第１流路 １４２：第２流路
１００１：測定手段 １００２：測定手段
１０１２：保持面ハイトゲージ １１０１：上面ハイトゲージ
１１０２：保持面ハイトゲージ １１１０：第１コラム
１１２０：第２コラム １１３１：第１ガイド面
１１３２：第２ガイド面 １４１０：第１のエア供給口
１４２０：第２のエア供給口
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】