知財求人 - 知財ポータルサイト「IP Force」
▶ アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドの特許一覧
(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2024-06-20
(45)【発行日】2024-06-28
(54)【発明の名称】ナノインプリントスタンプ
(51)【国際特許分類】
B29C 59/02 20060101AFI20240621BHJP
B29C 33/30 20060101ALI20240621BHJP
H01L 21/027 20060101ALI20240621BHJP
【ＦＩ】
B29C59/02 B
B29C33/30
H01L21/30 502D
【請求項の数】
19
(21)【出願番号】P 2023505448
(86)(22)【出願日】2021-06-17
(65)【公表番号】
(43)【公表日】2023-08-21
(86)【国際出願番号】 US2021037807
(87)【国際公開番号】W WO2022026073
(87)【国際公開日】2022-02-03
【審査請求日】2023-03-23
(31)【優先権主張番号】63/059,809
(32)【優先日】2020-07-31
(33)【優先権主張国・地域又は機関】US
(31)【優先権主張番号】17/034,004
(32)【優先日】2020-09-28
(33)【優先権主張国・地域又は機関】US
(73)【特許権者】
【識別番号】390040660
【氏名又は名称】アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド
【氏名又は名称原語表記】ＡＰＰＬＩＥＤ ＭＡＴＥＲＩＡＬＳ，ＩＮＣＯＲＰＯＲＡＴＥＤ
【住所又は居所原語表記】３０５０ Ｂｏｗｅｒｓ Ａｖｅｎｕｅ Ｓａｎｔａ Ｃｌａｒａ ＣＡ ９５０５４ Ｕ．Ｓ．Ａ．
(74)【代理人】
【識別番号】110002077
【氏名又は名称】園田・小林弁理士法人
(72)【発明者】
【氏名】マクマッキン， イアン マシュー
(72)【発明者】
【氏名】ゴデット， ルドヴィーク
【審査官】神田 和輝
(56)【参考文献】
【文献】特開２０１０－１６１１８６（ＪＰ，Ａ）
【文献】国際公開第２０１４／０１３５６３（ＷＯ，Ａ１）
【文献】国際公開第２０２１／１１０２３７（ＷＯ，Ａ１）
【文献】米国特許出願公開第２０１９／００８６７９４（ＵＳ，Ａ１）
【文献】中国特許出願公開第１１４５５６２１１（ＣＮ，Ａ）
【文献】韓国登録特許第１０－１５５１７７２（ＫＲ，Ｂ１）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｂ２９
Ｂ８１
Ｇ０２Ｂ
Ｈ０１Ｌ
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
マスタテンプレートスタンプからナノインプリントリソグラフィスタンプを製造するための装置であって、スタンプチャックであって、スタンプバッキング材料を前記スタンプチャックに選択的に固定するように構成されたスタンプチャックと、
マスタパターンを上に含むマスタテンプレートスタンプを支持するように構成されたマスタチャックであって、前記スタンプバッキング材料が前記スタンプチャックに選択的に固定されたときに前記スタンプバッキング材料に対面する位置関係で前記マスタテンプレートスタンプを支持するように構成されたマスタチャックとを備え、
前記マスタテンプレートスタンプは、前記マスタパターン上および前記マスタパターン内に電磁エネルギー硬化可能材料を含み、
前記スタンプチャックは、前記スタンプチャック上の前記スタンプバッキング材料の一部を、前記スタンプチャックから間隔を置いて前記電磁エネルギー硬化可能材料と接触するように位置決めするように、構成および配置されており、前記スタンプチャックはさらに、前記電磁エネルギー硬化可能材料と接触している前記スタンプバッキング材料の前記一部を、前記電磁エネルギー硬化可能材料が硬化された後に、前記スタンプチャックと接触するように位置決めするように構成されている、装置。
【請求項2】
スタンプバッキング材料の長さのストックロールをさらに備えた、請求項１に記載の装置。
【請求項3】
巻取ロールであって、前記巻取ロール上にスタンプバッキング材料を受けるように構成された巻取ロールをさらに備えた、請求項２に記載の装置。
【請求項4】
スタンプバッキング材料の前記長さは、前記マスタテンプレートスタンプと前記スタンプチャックの間に延びている、請求項３に記載の装置。
【請求項5】
前記ストックロールおよび前記巻取ロールの少なくとも１つが、前記ストックロールと前記巻取ロールの間の方向に前記スタンプバッキング材料の別個の部分を移動させるように構成されている、請求項４に記載の装置。
【請求項6】
スタンプバッキング材料の前記長さは前記マスタテンプレートスタンプと前記スタンプチャックの間に延び、シンギュレーション装置は、前記マスタチャックに隣接して、前記マスタチャックの前記ストックロールとは反対の側に配置されている、請求項２に記載の装置。
【請求項7】
互いに対面する位置関係でクッション層マスタおよびクッション層スタンプチャックをさらに備え、前記クッション層マスタおよび前記クッション層スタンプチャックは前記ストックロールと前記マスタチャックの間に配置されている、請求項２に記載の装置。
【請求項8】
マスタテンプレートスタンプからナノインプリントリソグラフィスタンプを製造する方法であって、スタンプバッキング材料をスタンプチャックに選択的に固定することと、
マスタチャック上のマスタテンプレートスタンプを位置決めすることであって、前記マスタテンプレートスタンプは上にマスタパターンを含み、前記マスタチャックは、前記スタンプバッキング材料が前記スタンプチャックに選択的に固定されたときに前記スタンプバッキング材料に対面する位置関係で前記マスタテンプレートスタンプを支持するように構成される、マスタテンプレートスタンプを位置決めすることと、
前記マスタパターン上および前記マスタパターン内に電磁エネルギー硬化可能材料を含むことと、
前記スタンプチャックによって支持された前記スタンプバッキング材料の一部を、前記スタンプチャックから間隔を置いて前記電磁エネルギー硬化可能材料と接触するように位置決めし、前記電磁エネルギー硬化可能材料を電磁エネルギーに曝し、前記電磁エネルギー硬化可能材料を硬化して前記電磁エネルギー硬化可能材料の固体を形成することと、
前記電磁エネルギー硬化可能材料が硬化された後に、前記電磁エネルギー硬化可能材料と接触している前記スタンプバッキング材料の前記一部を、前記スタンプチャックと接触するように位置決めすることとを含む、方法。
【請求項9】
前記マスタパターン上および前記マスタパターン内に前記電磁エネルギー硬化可能材料を含むことの前に、解放材料で前記マスタパターンをコーティングすることと、前記スタンプチャックに前記スタンプバッキング材料を固定することの前に、プライマーで前記マスタチャックに面するように前記スタンプバッキング材料をコーティングすることとをさらに含む、請求項８に記載の方法。
【請求項10】
スタンプバッキング材料の長さのストックロールをさらに備えた、請求項９に記載の方法。
【請求項11】
巻取ロールであって、前記巻取ロール上にスタンプバッキング材料を受けるように構成された巻取ロールをさらに備えた、請求項１０に記載の方法。
【請求項12】
スタンプバッキング材料の前記長さは、前記マスタテンプレートスタンプと前記スタンプチャックの間に延びている、請求項１１に記載の方法。
【請求項13】
前記ストックロールおよび前記巻取ロールの少なくとも１つは、前記ストックロールと前記巻取ロールの間の方向に前記スタンプバッキング材料の別個の部分を移動させるように構成されている、請求項１２に記載の方法。
【請求項14】
スタンプバッキング材料の前記長さは前記マスタテンプレートスタンプと前記スタンプチャックの間に延び、シンギュレーション装置は、前記マスタチャックに隣接して、前記マスタチャックの前記ストックロールとは反対の側に配置されている、請求項１０に記載の方法。
【請求項15】
互いに対面する位置関係でクッション層マスタおよびクッション層スタンプチャックをさらに備え、前記クッション層マスタおよび前記クッション層スタンプチャックは前記ストックロールと前記マスタチャックの間に配置されている、請求項１０に記載の方法。
【請求項16】
マスタテンプレートスタンプからナノインプリントリソグラフィスタンプを製造するための装置であって、第１のスタンプチャックであって、スタンプバッキング材料を前記第１のスタンプチャックに選択的に固定するように構成された第１のスタンプチャックと、
上にブランクパターンを含むクッションマスタを支持するように構成された第１のマスタチャックであって、前記スタンプバッキング材料が前記第１のスタンプチャックに選択的に固定されたときに前記スタンプバッキング材料に対面する位置関係でクッションマスタを支持するように構成された、第１のマスタチャックと、を備え、
前記クッションマスタは前記ブランクパターン上および前記ブランクパターン内に電磁エネルギー硬化可能材料を含み、
前記第１のスタンプチャックは、前記第１のスタンプチャック上の前記スタンプバッキング材料の一部を、前記第１のスタンプチャックから間隔を置いて前記電磁エネルギー硬化可能材料と接触するように位置決めするように、構成および配置され、前記第１のスタンプチャックはさらに、前記電磁エネルギー硬化可能材料と接触している前記スタンプバッキング材料の前記一部を、前記電磁エネルギー硬化可能材料が硬化された後に、前記第１のスタンプチャックと接触するように位置決めするように構成され、前記装置はさらに、
第２のスタンプチャックであって、スタンプバッキング材料を前記第２のスタンプチャックに選択的に固定するように構成された第２のスタンプチャックと、
上にマスタパターンを含むマスタテンプレートスタンプを支持するように構成された第２のマスタチャックであって、前記スタンプバッキング材料が前記第２のスタンプチャックに選択的に固定されたときに前記スタンプバッキング材料と対面する位置関係で前記マスタテンプレートスタンプを支持するように構成された第２のマスタチャックと、を備え、
前記マスタテンプレートスタンプは前記マスタパターン上および前記マスタパターン内に電磁エネルギー硬化可能材料を含み、
前記第２のスタンプチャックは、前記第２のスタンプチャック上の前記スタンプバッキング材料の一部を、前記第２のスタンプチャックから間隔を置いて前記電磁エネルギー硬化可能材料と接触するように位置決めするように、構成および配置され、前記第２のスタンプチャックはさらに、前記電磁エネルギー硬化可能材料と接触している前記スタンプバッキング材料の前記一部を、前記電磁エネルギー硬化可能材料が硬化された後に、前記第２のスタンプチャックと接触するように位置決めするように構成された、装置。
【請求項17】
スタンプバッキング材料の長さのストックロールをさらに備えた、請求項１６に記載の装置。
【請求項18】
巻取ロールであって、前記巻取ロール上にスタンプバッキング材料を受けるように構成された、巻取ロールをさらに備えた、請求項１７に記載の装置。
【請求項19】
スタンプバッキング材料の前記長さは、前記クッションマスタと前記スタンプチャックの間に延びている、請求項１８に記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本開示は、ナノインプリントリソグラフィに関し、より詳細には、ナノインプリントリソグラフィで使用されるスタンプ、およびマスタテンプレートスタンプを使用したその製造に関する。スタンプのパターン化された層は、ナノインプリントリソグラフィ（ＮＩＬ）プロセスで形成される複数のサブミクロン光学装置のパターンに対応する。
【0002】
関連技術の説明
ナノインプリントリソグラフィに使用されるスタンプは普通、ガラスなどのバッキング材料を提供し、スタンプのパターン化された層を形成する材料を上に蒸着することによって製造される。その後、マスタテンプレートスタンプは、コーティングされたバッキング材料に手動で加えられ、そのことがエアポケットおよび他の問題につながる可能性がある。したがって、マスタテンプレートスタンプからのナノインプリントリソグラフィスタンプの製造のためのより頑丈で繰り返し可能な方法が当業界には必要である。
ナノインプリントリソグラフィに使用されるスタンプは普通、ガラスなどのバッキング材料を提供し、スタンプのパターン化された層を形成する材料を上に蒸着することによって製造される。その後、マスタテンプレートスタンプは、コーティングされたバッキング材料に手動で加えられ、そのことがエアポケットおよび他の問題につながる可能性がある。したがって、マスタテンプレートスタンプからのナノインプリントリソグラフィスタンプの製造のためのより頑丈で繰り返し可能な方法が当業界には必要である。
【発明の概要】
【0003】
本明細書では、マスタテンプレートスタンプからナノインプリントリソグラフィを製造するための装置および方法が提供される。
【0004】
一態様では、マスタテンプレートスタンプからナノインプリントリソグラフィスタンプを製造するための装置は、スタンプバッキング材料をそこに選択的に固定するように構成されたスタンプチャックと、マスタパターンをその上に含むマスタテンプレートスタンプを支持するように構成され、スタンプチャックに選択的に固定される場合にスタンプバッキング材料に対する面関係でマスタテンプレートスタンプを支持するように構成されたマスタチャックとを含み、マスタテンプレートスタンプは、マスタパターン上および内に電磁エネルギー硬化可能材料を含み、スタンプチャックはそこから間隔を置いて配置され電磁エネルギー硬化可能材料と接触してバッキング材料の一部を上に位置決めするように構成および配置されており、スタンプチャックはさらに、硬化した後に、スタンプチャックと接触してエネルギー硬化可能材料と接触するバッキング材料の一部を位置決めするように構成されている。
【0005】
別の態様では、スタンプバッキング材料をスタンプチャックに選択的に固定することと、マスタテンプレートスタンプをマスタチャック上に位置決めすることであって、マスタテンプレートスタンプはその上にマスタパターンを含み、マスタチャックはスタンプチャックに選択的に固定された場合に、スタンプバッキング材料に対して面関係でマスタテンプレートスタンプを支持するように構成される、位置決めすることと、マスタパターン上および内に電磁エネルギー硬化可能材料を含むことと、スタンプチャックによって支持され、そこから間隔を置いて配置されたバッキング材料の一部を電磁エネルギー硬化可能材料と接触して位置決めし、電磁硬化可能材料を電磁エネルギーに曝し、硬化可能材料を硬化してその固体を形成することと、硬化した後に、スタンプチャックと接触してエネルギー硬化可能材料と接触してバッキング材料の一部を位置決めすることとを含む、マスタテンプレートスタンプからナノインプリントリソグラフィスタンプを製造する方法が提供される。
【0006】
別の態様では、スタンプバッキング材料をそこに選択的に固定するように構成された第１のスタンプチャックと、その上にブランクパターンを含むクッションマスタを支持するように構成され、第１のスタンプチャックに選択的に固定される場合にスタンプバッキング材料に面関係でクッションマスタを支持するように構成された第１のマスタチャックであって、クッションマスタはマスタブランクパターン上および内に電磁エネルギー硬化可能材料を含み、第１のスタンプチャックはそこから間隔を置いて電磁エネルギー硬化可能材料と接触してバッキング材料の一部をその上に位置決めするように構成および配置され、第１のスタンプチャックはさらに、硬化された後に、第１のスタンプチャックと接触してエネルギー硬化可能材料と接触するバッキング材料の一部を位置決めするように構成された第１のマスタチャックと、スタンプバッキング材料をそこに選択的に固定するように構成された第２のスタンプチャックと、その上にマスタパターンを含むマスタテンプレートスタンプを支持するように構成され、第２のスタンプチャックに選択的に固定される場合にスタンプバッキング材料と面関係でマスタテンプレートスタンプを支持するように構成された第２のマスタチャックであって、マスタテンプレートスタンプはマスタパターン上および内に電磁エネルギー硬化可能材料を含み、第２のスタンプチャックはそこから間隔を置いて電磁エネルギー硬化可能材料と接触してバッキング材料の一部をその上に位置決めするように構成および配置され、第２のスタンプチャックはさらに、硬化された後に、第２のスタンプチャックと接触してエネルギー硬化可能材料と接触するバッキング材料の一部を位置決めするように構成された第２のマスタチャックとを備えた、マスタテンプレートスタンプからナノインプリントリソグラフィスタンプを製造するための装置が提供される。
【図面の簡単な説明】
【0007】
【図1】一実施形態による、ナノインプリントリソグラフィスタンプの等角図である。
【図3】一実施形態による、マスタテンプレートスタンプからナノインプリントリソグラフィスタンプを製造する装置の側面図である。
【図4】一実施形態による、電磁放射を使用してマスタテンプレートスタンプからナノインプリントリソグラフィスタンプを製造する装置の側面図である。
【図4A】一実施形態による、バッキング材料が離れ始めて、スタンプ材料に接触するときの、マスタテンプレートスタンプからナノインプリントリソグラフィスタンプを製造する装置の側面図である。
【図4B】一実施形態による、バッキング材料が離れている過程であるときの、マスタテンプレートスタンプからナノインプリントリソグラフィスタンプを製造する装置の側面図である。
【図4C】バッキング材料が完全に離れたときの、マスタテンプレートスタンプからナノインプリントリソグラフィスタンプを製造する装置の側面図である。
【図5】スタンプパターンが形成された後に、マスタテンプレートスタンプからナノインプリントリソグラフィスタンプを製造する装置の側面図である。
【図6】マスタテンプレートスタンプからナノインプリントリソグラフィスタンプを製造する方法を示すフローチャートである。
【図7】マスタテンプレートスタンプからのナノインプリントリソグラフィスタンプの製造を自動化する装置の側面図である。
【図7A】マスタテンプレートスタンプからのナノインプリントリソグラフィスタンプの製造を自動化する装置の等角図である。
【図8】マスタテンプレートスタンプからのナノインプリントリソグラフィスタンプの製造を自動化する方法を示すフローチャートである。
【図9】ナノインプリントリソグラフィスタンプのシンギュレーションを自動化する装置の側面図である。
【図10】マスタテンプレートスタンプからナノインプリントリソグラフィスタンプ用のクッションを製造する装置の側面図である。
【図11】電磁放射を使用してマスタテンプレートスタンプからナノインプリントリソグラフィスタンプ用のクッションを製造する装置の側面図である。
【図12】クッションが形成された後に、マスタテンプレートスタンプからナノインプリントリソグラフィスタンプ用のクッションを製造する装置の側面図である。
【図13】マスタテンプレートスタンプからクッション化されたナノインプリントリソグラフィスタンプを製造する装置の側面図である
【図14】電磁放射を使用してマスタテンプレートスタンプからクッション化されたナノインプリントリソグラフィスタンプを製造する装置の側面図である。
【図15】クッション化されたスタンプが形成された後に、マスタテンプレートスタンプからクッション化されたナノインプリントリソグラフィスタンプを製造する装置の側面図である。
【図16A】マスタテンプレートスタンプからのクッション化されたナノインプリントリソグラフィスタンプの製造を自動化する方法を示すフローチャートである。
【図16B】マスタテンプレートスタンプからのクッション化されたナノインプリントリソグラフィスタンプの製造を自動化する方法を示すフローチャートである。
【図17】マスタテンプレートスタンプからのクッション化されたナノインプリントリソグラフィスタンプの製造を自動化する装置の側面図である。
【図18】マスタテンプレートスタンプからのクッション化されたナノインプリントリソグラフィスタンプの製造を自動化する装置の等角図である。
【発明を実施するための形態】
【0008】
最初に図１および２を参照すると、ナノインプリントリソグラフィに有用なスタンプ１０が示されており、スタンプ１０はその上のパターン化された層１８の安全な取り扱いおよび保護の目的で、バッキング材料１２をその上のパターン化された層１８でプロセスツール（図示せず）に取り付けるために設けられたバッキング材料１２を含んで、パターン化された層１８を液体、あるいはパターン化された層１８内のパターンの印が中に作られるその他の適合材料と接触するように移動させることを可能にする。したがって、スタンプ１０を使用して、例えば熱硬化可能液体の内向きにスタンプ１０のパターン化された層１８に刻印することによって別の材料内にパターン化された層１８の反転画像を刻印し、その内向きに延びるスタンプ１０のパターン化された層１８で液体を硬化して、硬化した硬化可能材料内にパターン化された層１８のものと反転したパターンを形成する。スタンプ１０のパターン化された層１８は、ＮＩＬプロセスで形成される複数のサブミクロン光学装置のパターンに対応している。
【0009】
ここで、それ自体がバッキング材料の前側に位置決めされた、パターン化された層１８用の支持基板として構成されたバッキング材料１２を含むスタンプ１０が示されている。ここで、バッキング材料１２は、約２００ミクロンの厚さの薄いガラスシート２０であるが、パターン化された層１８のパターンが中に刻印される、硬化可能液体などの材料層を支持する下層基板と一致するのに近い適切な熱膨張係数を有する他の材料であってもよい。パターン化された層１８はここで、その一方側でバッキング材料１２に物理的または化学的に付着された表面からなる硬化されたポリジメチルシロキサン（ＰＤＭＳ）層と、その反対側でエンボス加工または刻印されたパターン化された層１８のパターン１９とを含んでいる。パターン１９は、スタンプ１０ユーザによって望まれるレイアウトに配列された突起１９ａおよび窪み１９ｂを含んでいる。
【0010】
図２に示すようなスタンプ１０の断面では、バッキング材料１２、すなわちここではガラス２０は、パターン化された層１８とバッキング材料１２の間に配置された等角層１６を上に含み、等角層１６は接着層、ここではパターン化された層１８の形成前にバッキング材料１２に付着されるプライマー層２６を通してバッキング材料１２に接続されている。任意である等角層１６は、例えば、粒子または他の外乱がパターン化された層１８のパターンが中に移送されている材料内または上に存在する場合に、材料、例えばパターン化された層１８の反転画像が中に形成される硬化可能液体の内向きに、パターン化された層１８を押すことを可能にするように設けられ、したがって、パターン化された層１８より柔らかいことが望ましい。ここで、パターン化された層がＰＤＭＳである場合、等角層１６は同様に、異なるより柔らかい弾性係数を有する硬化されたＰＤＭＳからなっていてもよい。しかし、上に記したように、スタンプ内の等角層１６の存在は任意である。
【0011】
スタンプ１０を製造するために、製造基板（図示せず）上に最終的に形成されるパターンを有するマスタスタンプテンプレート３０（図３から５）が、従来のフォトリソグラフィおよびパターン化エッチング技術を使用して準備されて、中に所望のパターンを形成する。パターンは、下層マスタ基板、例えば単結晶シリコンウェーハなどの半導体基板、またはその上に形成された、パターンがエッチングされる予備パターン化層を備えた単結晶シリコンウェーハを含む他の基板内にエッチングされてもよい。その中にエッチングされる基板上、またはその上に形成された層内で硬化可能材料に形成される最終パターンを有するこのようなマスタを使用して、スタンプ１０４のパターン化された層１８としてそのパターンの反転を形成し、その結果、スタンプ１０がその後、製造基板の硬化可能層内でそのパターン化された層１８の反転を形成するために使用され、マスタスタンプテンプレート３０のパターンは製造基板の硬化された材料層内で複製される。
【0012】
図３から５は、スタンプの製造に有用な設備を表す略側面図であり、上記製造は、スタンプ１０のバッキング部材１２上にマスタスタンプテンプレート３０上のパターンの相補形態である所望のパターン１９を有するパターン化された層１８を形成すること、例えばバッキング部材１２としてのガラス２０上にパターン化された層１８を形成することを含む。パターン化された層１８の材料がガラス２０などのバッキング材料１２上に最初に形成され、マスタテンプレート３０がガラス２０上の材料内に押され、ガラス２０上の材料が硬化されてパターン化された層１８を形成する従来のスタンプ形成動作に対して、ここでは、パターン化された層１８用の材料が最初にマスタスタンプテンプレート３０上に形成され、その後、マスタ上に存在するパターン化された層１８を形成するために使用される材料と接触しているガラス２０、およびその硬化された材料に転送され、パターン化された層１８を備えたバッキング材料１２はその上に残り、取り除かれたスタンプ１０を形成する。
【0013】
この製造のプロセスを行うために、その一表面側に形成されたマスタパターン４を有するマスタテンプレート３０は、そのマスタテンプレート取付表面で１つまたは複数の通路開口を通して真空を引くことなどによって、マスタ支持チャック４０に取り付けられている。マスタパターン２８は、スタンプ１０上に形成されるのと反転パターンであるが、スタンプが製造基板上の層内にパターンを刻印するために使用される場合に、スタンプ１０が製造基板上の層内に形成するパターンである。マスタテンプレートをマスタチャック４０に取り付ける前に、そのマスタパターン２８の表面は、解放層４２として働くフッ素化した自己整合単層（ＳＡＭ）、およびここでは電磁放射または光硬化可能液体材料であるパターン層材料４４でコーティングされる。
【0014】
バッキング材料１２、ここではガラス２０は、その上に前に形成されたプライマー層２６を有するその表面がマスタテンプレートチャック４０に面しているように、スタンプチャック３２に固定される。マスタテンプレートチャック４０上のマスタスタンプテンプレート３０で、マスタスタンプテンプレート３０上のマスタパターン２８とマスタスタンプテンプレート３０に面するガラス２０の表面の間の間隔は、約１ｍｍ未満である。ここで、マスタチャック４０、スタンプチャック３２、または両方とも互いに向けておよび互いから離れるように移動可能であり、スタンプチャック上のガラス２０（バッキング材料１２）およびマスタチャック４０上のマスタスタンプテンプレート３０の配置および除去と、新しいバージョンとの交換を可能にするために、スタンプチャック３２、マスタチャック３０、または両方の位置および配向、および図３に示すようなその再位置決めを変更するように構成された装置内に取り付けられてもよいことが企図される。
【0015】
ここで、ガラス２０（バッキング材料１２）をスタンプチャック３２にチャッキングするために、スタンプチャック３２は、そのスタンプガラスチャッキング表面に開口する複数の流体通路５２ａ～ｃ（図４Ａ～Ｃ）と、スタンプチャックの表面に対してガラス２０（バッキング材料１２）の周面のスタンプガラスチャック面側を維持するように構成された周面クランプ３８（断面で示す）とを含んでいる。
【0016】
図４は、スタンプガラス２０（バッキング材料１２）がパターン層材料４４、すなわち、図２のパターン化された層１８のパターン１９が中に形成される材料、ここではＰＤＭＳなどのＵＶ硬化可能材料と接触しているときの、スタンプ形成装置５０の側面図である。スタンプ１０形成動作中、スタンプガラス２０（バッキング材料１２）は、そのパターン化された層受け側、すなわち、図３のように約１ｍｍ未満だけマスタスタンプテンプレート３０のパターン化された層に面しそこから間隔を置いて配置された、その上にプライマー層２６を有する側に位置決めされ、その後、スタンプガラス２０（パターン化された層１２）のパターン化された層受け部分がスタンプチャック３２から離れるように、図４に示すようにパターン材料層４４と接触して作動される。図３に示すようにスタンプチャック３２のチャッキング表面に対して配置しているところから図４のその位置までスタンプガラス２０を移動させるために、スタンプガラスチャック３８は、ここでは図４Ａ～４ＣのゾーンＡ、ＢおよびＣに略図的に示されるスタンプチャック３２内の代表的流体通路５２ａ～ｃによって作り出された複数の圧力ゾーンを有する。最初に、図３におけるように、真空圧力、すなわち、周辺大気圧より小さい流体圧力が、ここでは代表的流体通路５２ａ～ｃに流体接続される３つのゾーンＡ、ＢおよびＣとして略図的に示された、その全てのゾーン内のスタンプチャック３２のチャッキング表面内に開口する流体通路５２ａ～ｃ内に存在するが、より多くまたは少ない数のゾーンが使用されてもよい。その後、真空がゾーンＢおよびＣと連通して通路５２ｂ、ｃ内に維持される間に、数ｐ．ｓ．ｉ．程度の圧力がゾーンＡの通路５２ａを通して裏側、すなわち、ガラス２０（バッキング材料１２）のスタンプチャック３２面側に加えられて、局所的に変形させ、したがって、その上のプライマー層２６を図４Ａに示すようにマスタテンプレート３０上のパターン層材料４４と接触させる。その後、ゾーンＡ内の正の圧力およびゾーンＣ内の真空圧力を維持しながら、正の圧力がゾーンＢ内の通路５２ｂに加えられて、その中の圧力をゾーンＡ内に存在するものまで上げて、ガラスチャック３２のガラスチャッキング表面から離れるようにガラス２０を押し、したがって、その上のプライマー層２６を図４Ｂに示すように、ゾーンＢ内のパターン層材料４４にも接触させる。このパラダイムは、図４Ｃに示すようにゾーンＣで繰り返されて、ゾーンＡ、ＢおよびＣの３つ全てのガラス２０上のプライマー層２６をゾーンＡ、ＢおよびＣの全てに加えられる同じ圧力でマスタスタンプテンプレート３０上のパターン層材料４４の完全な広がりに接触させる。
【0017】
支持リング５０はマスタチャック４０を囲んで、ガラス２０（バッキング材料１２）がマスタテンプレート３０の方向に移動することができる距離を制限し、パターン形成領域の外側、すなわちパターン化された層１８が形成される領域の外側の径方向のガラス２０（バッキング材料１２）の周面が、マスタパターン３６の参照平面でパターン形成領域の周面周りでリング５０と完全に接触する場合に、ガラス２０（バッキング材料１２）のマスタテンプレート面表面間の相対的な並行を保証する。ガラス２０（バッキング材料１２）がこの位置で、プライマー層２６がガラス２０（バッキング材料１２）のパターン形成領域全体を通してパターン材料層４４と接触して、ガラスチャック３２の後ろに（図４の上で）配置されたＵＶ ＬＥＤ４８のアレイなどからの図４の矢印ＵＶによって示されたＵＶ電磁エネルギーは、ガラスチャック３２およびガラス２０（バッキング材料１２）およびプライマー層２６を通して通過し、パターン層材料４４内で少なくとも部分的に吸収される。パターン層材料４４がＰＤＭＳである場合、固体形に硬化させることができる。マスタスタンプテンプレート３０内のマスタパターン３６の反転であるパターン１９を備えたパターン化された層１８が次に、硬化されたＰＤＭＳ内に存在する。
【0018】
そこに接着されたパターン化された層１８でガラス２０を取り除くために、図４Ａから４Ｃの順序の逆が行われ、それにより、ゾーンＡおよびＢ内の圧力は大気圧以上に維持されながらゾーンＣ内の流体通路５２ｃ内の圧力はサブ大気圧まで減少され、ゾーンＣはサブ大気レベルに維持されながらゾーンＢ内の圧力は大気より下まで減少され、その後、ゾーンＡ内の通路５２ａはゾーンＢおよびＣのサブ大気圧にされる。その結果、プライマー層２６を介してガラス２０（バッキング材料１２）に固定されたパターン化された層１２はマスタテンプレート３０から離れるように剥離され、プライマー２６が接着性状を有する場合、パターン化された層１８を形成する硬化されたＰＤＭＳは図５に示すようにガラスに取り付けられたままであり、マスタスタンプテンプレート３０のマスタパターンとは反転のパターンを有する完成または製造されたスタンプ１０を生じさせる。
【0019】
図６は、図３から５に関して記載されたプロセスの順序によって、スタンプ１０を製造するための一連のアクティビティを示すフローチャートである。最初に、製造されるスタンプ１０用のバッキング材料１２、およびスタンプのバッキング材料１２上にパターン化された層１８を形成するようにマスタスタンプテンプレート３０を構成するための準備が取られる。本明細書では、製造されるスタンプ１０のバッキング材料１２としてのガラス２０の準備が最初に記載され、その後に、スタンプ１０の製造のためのマスタスタンプテンプレート３０の準備の記載がある。しかし、これらのアクティビティは、バッキング材料１２、ここではガラス２０、または最初に準備されるマスタスタンプテンプレート３０のいずれかで順に行われてもよく、これらは並行して行われてもよい。
【0020】
活動６００では、スタンプ１０のバッキング材料１２、ここでは図１のＺ方向に約２００ミクロンの厚さであり、図１のＸおよびＹ方向に完成スタンプのパターン化された領域１８の直径より大きい矩形側部を有する薄いガラスシート２０は、使用の好みに基づいて選択されるが、バッキング材料１２は、スタンプ１０のバッキング材料として機能するのに有用であり、電磁エネルギーをそこを通過させることが可能な適切な熱膨張係数および物理的性状を有する他の材料であってもよい。ガラスはシートとして設けられ、例えば、イソプロピルアルコール（ＩＰＡ）などの溶剤で洗浄されて、その後活動６０６において脱イオン化水ですすぎ、活動６０８で乾燥される。乾燥は、ガラスの汚染物質またはスポッティングを残すことなく水が取り除かれるあらゆるプロセス、例えば、ガラスがＩＰＡ蒸気環境内に洗浄剤から持ち上げられるマランゴーニ洗浄、スピンリンス乾燥、または当業界で知られているような他の方法によって達成されてもよい。プライマー層２６はその後、スタンプのパターン化された層１８が形成されるガラス２０の表面側で、活動６１２内で洗浄ガラス表面に接着される。これは、ガラス２０（バッキング材料１２）上にプライマー材料を噴霧すること、その上にスピンコーティングすること、または他の方法によって達成することができる。活動６１４では、ガラス２０（バッキング材料１２）はその後、そのバッキング材料受け表面で開口する流体ポート５２ａ～ｃを有するスタンプチャック３２を提供する圧力チャックに取り付けられ、ガラス２０（バッキング材料１２）は、真空をこれらのポート５２ａ～ｃに加え、また、クランプ２８でスタンプチャック３２にスタンプガラスの周面に物理的に締め付けることによって、そこに対して保持される。
【0021】
マスタスタンプテンプレート３０は、活動６１８では、化学気相堆積チャンバ５４内に装填され、マスタパターン２８からのパターン化された層１８の分離を可能にするように解放層４２として働くＳＡＭコーティングは、解放層４２材料として自己整合単層を形成するためにその上に自己整合単層（ＳＡＭ）材料を堆積することなどによって、そのマスタパターン２８の表面に塗布される。自己整合単層は、パターン化された層２８がプライマー層２６のプライマー材料で有するものより、製造されるスタンプ１０のパターン化された層１８の材料との接触の平方センチメートル毎のかなり低い接着を有するフッ化材料であることが好ましい。その後、活動６２２では、マスタスタンプテンプレート３０がマスタチャック４０に取り付けられる。液体形のパターン層材料４４は、スピンコータ５５を使用して、活動６３２でマスタスタンプテンプレート３０のマスタパターン３６の凹部上および内でコーティングされる。このパターン層材料４４は、マスタスタンプテンプレート３０がマスタチャック４０に取り付けられる前または後に、マスタスタンプの上にコーティングされてもよい。例えば、ＵＶ硬化可能液体、例えば、ポリジメチルシロキサン（ＰＤＭＳ）は、マスタパターン３６上にスピンコーティングされて、パターン化された層１８が中に形成されるパターン材料４４を形成する。マスタパターン３６の表面上へのＰＤＭＳ材料のスピンコーティングが行われた後に、マスタスタンプテンプレート３０、およびその上にプライマー２６を備えたスタンプガラス２０は、活動６２４において面配列して配置され、スタンプガラス２０のプライマー２６コーティングされた表面はマスタスタンプテンプレート３０上でＰＤＭＳ層に面し、ガラス２０はスタンプチャック３２に真空チャッキングされる。
【0022】
その後、活動６２５では、ガラス２０（バッキング材料１２）の図１のＸまたはＹ方向の一方側は、そのゾーンＡにおいてスタンプチャック３２内の流体開口５２ａを加圧し、図４Ａ～４Ｃに示すように、その後、ゾーンＡ内の押圧力を維持しながらゾーンＢに圧力を加え、その後ゾーンＡおよびＢ内の押圧力を維持しながらガラスチャックのゾーンＣ内の開口を加圧することによって、スタンプチャック３２から離れるように押される。本明細書で論じるように、マスタに向けたガラスのプライマーコーティングされた側部の表面の進行は、間隔リング５０によって限定される。パターン材料層４４の液体ＰＤＭＳと接触するガラス２０（バッキング材料１２）のプライマーコーティングされた表面で、ＵＶ光は、固体材料に活動６２６におけるＰＤＭＳを硬化するために、スタンプチャック３２およびガラス２０（バッキング材料１２）を通して液体ＰＤＭＳパターン材料層４４に加えられる。その後、活動６３４では、その上で硬化され、次にパターン化された層１８を形成するＰＤＭＳを備えたガラス２０（バッキング材料１２）は、図４Ａから４Ｃの逆順序でマスタスタンプテンプレート３０から離れるように引かれ、真空は連続して活動６３０において、最初ゾーンＣ、その後ゾーンＢ、最後にゾーンＡで加えられる。プライマー２６はマスタスタンプテンプレート３０上の解放層４２として働くＳＡＭ層より、パターン化された層１８の硬化されたＰＤＭＳへの大きな接着を有するので、次に硬化され、スタンプ１０のパターン化された層１８を形成するＰＤＭＳは、ガラス２０（バッキング材料１２）がマスタ３０から離れるように引かれるときに、ガラス２０（バッキング材料１２）への接着を維持する。その後、圧力は通路５２ａ～ｄに加えられ、周面クランプ３８は下げられて、スタンプチャック３２から完成スタンプ１０を解放する。
【0023】
図７は、自動化されたスタンプ製造装置６０の略側面図であり、図７Ａは装置５０の等角図である。図３から５のスタンプ製造装置５０に対して、ここでは、バッキング材料１２、ここでは約２００ミクロンの厚さを有する薄いスタンプガラス２０’は、バッキング材料供給またはストックロール７０上に設けられ、ガラス２０’（バッキング材料１２’）の長さは図１のＸまたはＹ方向で完成スタンプ１０の少なくともいくつかの片のガラス２０に等しく、パターン層がその別個の部分６２に形成された後に、長さガラス２０’（バッキング材料１２’）は巻取ロール７３に向けてその上に移動される。パターン化された層１８がガラス２０’のストリップまたは長さ上に形成されると、プレスタンプ１０’が形成され、その後、ガラス２０’（バッキング材料１２’）の長さから切り取って、ナノインプリントリソグラフィでの使用のために完成スタンプ１０を形成することができる。プレスタンプ１０’を製造するために、マスタスタンプテンプレート３０を保持するためのマスタチャック４０、および流体通路５２ａ～ｃを有する、スタンプチャック３２とマスタチャック３０の直接の間のガラス３０’の長さ、および図３から５に関して本明細書に記載された動作をチャッキングするように構成されたスタンプチャック３２は、ガラス２０’（バッキング材料１２’）の長さがその間を通過するように、ストックロール７０と巻取ロール７３の間に提供される。ここで、プレスタンプ１０’を形成するために、ストックロール７０は回転されて、ガラス２０’のストリップまたは長さの別個の量または別個の部分６２をそこから展開させ、別個の部分６２は、完成スタンプ１０の側部寸法より僅かに大きいストックロール７０と巻取ロール７３の間の方向に寸法を有する。例えば、図１および２の完成スタンプのガラス２０（バッキング材料１２）は、ＸおよびＹ方向にその各側に１５インチの長さである場合、１５インチより大きいガラス２０’（バッキング材料１２’）の長さの別個の部分６２は、ストックロール７０から展開され、巻取ロール７３によって巻き取られ、それにより、ガラス２０’（バッキング材料１２’）のストリップまたは長さの新しいまたは新規の別個の部分６２は、マスタチャック４０とスタンプチャック３２の間に位置決めされる。ここで、ガラス０’は、ストックロール７０から延びるその長さ２と垂直な方向に１５インチの寸法を有する。ストックロール７０上のガラス２０’（バッキング材料１２’）のストリップまたは長さは、ストックロール７０を提供するために巻き取られる前に予め洗浄されることが好ましく、ストックロール７０のガラス２０’（バッキング材料１２’）が展開されると、（図７の深さ方向に）ガラス２０’（バッキング材料１２’）の幅にわたって延びるスプレイヤバーなどのプライマー塗布装置７４は、その下を通過するときに、プライマー層２６を形成するために、そこから解かれるガラス２０’（バッキング材料１２’）の長さの洗浄部分上にプライマー材料を塗布する。任意選択では、プライマー層２６を形成する材料でコーティングされる前に、ストックロール７０から分配されるガラス２０’（バッキング材料１２’）の長さの別個の部分６２は、ストックロール７０から解かれるときに、洗浄および乾燥させることができる。その後、プライマー塗布装置７４は、ストックロール７０から取られるガラス２０’（バッキング材料１２’）の長さのちょうど洗浄した別個の部分６２にプライマー層２６を形成するために、プライマー材料を塗布する。ここでは、ガラス２０’（バッキング材料１２’）がストックロール７０からスタンプチャック３２の位置まで離れ、マスタチャック３０に面する距離は、プレスタンプ１０’を製造するために使用されるガラス２０’（バッキング材料１２’）の部分のロール間方向の長さより大きい。ガラス２０’（バッキング材料１２’）の一部分は、プライマー材料で洗浄およびコーティング、または単にコーティングされて、プライマー層２６を形成するので、ガラス２０’（バッキング材料１２’）の前にプライマー材料でコーティングした部分は、スタンプチャック３２とマスタチャック４０の間に移動される。
【0024】
この図３から５に記載されたスタンプ形成装置５０と同様に、パターン化された層１８を形成するようにパターンを刻印するためのマスタスタンプテンプレート３０の各使用後に、マスタを洗浄し、解放層で再コーティングし、再使用のために再位置決めして、別のパターン化された層１８を形成しなければならない。ここで、マスタスタンプテンプレート３０またはマスタチャック４０をターンテーブル８０上に取り付け、ターンテーブル８０をスタンプマスタスタンプテンプレート３０がスタンプチャック３２に面して位置決めされる位置とスタンプマスタスタンプテンプレート３０がスタンプチャック３２から間隔を置いて配置され、いくらかその側部に対する位置の間でターンテーブル８０を回転させて、図７Ａに示すようにスタンプチャック３０の取り除き中にスタンプチャック３２と物理的または機械的干渉することなく、スタンプチャック３０の取り除きを可能にすることなどによって、スタンプチャック３２の位置の側部にマスタスタンプテンプレート３０、または上にマスタスタンプテンプレート３０を備えたマスタチャック４０を機械的に移動することによって達成される。例えば、その上に、またはそのスタンプチャック３２受け表面８８内に１つまたは複数のマスタ受けステーション８６を有するターンテーブル８０は、各受けステーションで、マスタスタンプテンプレート３０またはマスタチャック４０を受けることができる。シャフトの中心線８４周りでその中心でターンテーブル８０の中心に接続されたシャフト８２を回転させることによって、マスタ受けステーション８６は、スタンプチャック３２の下にこれに面して位置決めされる弧で移動させ、マスタスタンプテンプレート３０とスタンプチャックの間に配置されたガラス２０’（バッキング材料１２’）の別個の部分６２にパターン化された層１８を形成するプロセスのためにそこで停止させることができ、その後、ターンテーブルは軸８４周りで別の回転動きでインデックスして、スタンプチャック３２に面するように追加のマスタチャック４０を位置決めおよび固定することができる。したがって、複数の同一のマスタスタンプ３０を提供することによって、マスタスタンプテンプレート３０を使用してパターン化された層１８を形成し、スタンプチャック３２の位置から離れるように移動されると、化学蒸着堆積チャンバ５４（略図的に示す）内でその上に形成された解放層４２、および液体パターン層材料ディスペンサ５６でスピンチャック５５上でスピンコーティングすることによってその上に塗布されたパターン形成材料４４の層を備えた新しいマスタスタンプテンプレート３０は、ターンテーブル８０によってインデックスされて、スタンプチャック３２の面表面に面するように位置決めされ、これに対して適切に配列される。
【0025】
その上に解放層４２およびパターン材料層４４を備えたマスタスタンプテンプレート３０が、スタンプチャック３２の面表面に面するように位置決めされ、これに対して適切に配列されるターンテーブル８０によってインデックスされ、プライマーコーティングされたガラス２０’（バッキング材料１２’）の別個の部分６２がマスタチャック４０に向けて面するプライマー層２６でスタンプ形成装置６０内に移動されると、装置はスタンプチャック３２の下にあるガラス２０’の別個の部分６２上にパターン化された層１８を形成する準備ができている。同時に、パターン化された層１８を形成するためにちょうど使用され、ターンテーブル８０によってスタンプチャック３２の間の位置から離れるように移動されたマスタスタンプテンプレート３０は、手動、またはロボットでなどの自動化された方法によってなど、スタンプ形成装置のターンテーブル８０上でマスタチャック４０から取り除かれる。きれいで、解放層４２およびパターン形成材料４４でコーティングされた、マスタスタンプテンプレート３０はその後、開口マスタチャック４０上に配置される。別の方法では、ちょうど取り除かれたマスタスタンプテンプレート３０は、洗浄し、解放層４２で再コーティングし、新しいパターン材料層４４でコーティングし、そこから取り除かれた開口マスタチャック４０上に配置することができる。新しい解放層４２および新しいパターン材料層４４でコーティングされた新しいまたは前のマスタスタンプテンプレート３０がスタンプ形成装置内に入れられた後に、スタンプチャック３２に面する位置に移動されてもよく、ガラス２０’（バッキング材料２０’）の新しい部分がその間に位置決めされ、新しいスタンプは図３から６に関して本明細書で記載されるように作り出される。
【0026】
図３から６のスタンプ１０の製造に対して、ここではスタンププレフォーム１０’は、パターン化された層１８がそのガラスチャッキング表面に対して形成されるガラス２０’（バッキング材料１２’）の別個の部分６２を引くように、スタンプチャック３２内で真空を通路５２ａ～ｃに最初に加えることによって形成され、周面クランプ３８は、ガラス２０’（バッキング材料２０’）の一部の下の位置から押されて、パターン化された層がスタンプチャック３２の周面に対して形成されるガラス２０’（バッキング材料２０’）の一部に沿って延び、これを押す。その後、パターン化された層１８の製造は同様の順にしたがい、ガラス、ここでは液体の形のパターン材料層４４と接触するガラス２０’（バッキング材料２０’）のプライマーコーティングされた表面を位置決めするためのパラダイム、硬化するためにパターン材料層４４内でスタンプチャック３２およびガラス２０’（バッキング材料２０’）を通してＵＶエネルギーまたは光を案内することによる硬化、およびそこに接着されたパターン化された材料層１８でマスタ２０から離れるようにガラス、ここではガラス２０’（バッキング材料２０’）を引っ張る順が行われる。
【0027】
上に形成されたパターン化された層をちょうど有するガラス２０’（バッキング材料２０’）の一部がマスタ２０から引かれると、通路５２ａ～ｃ内の真空が解放され、周面クランプ３８は大気に対して僅かに正に引っ込められ、圧力が通路５２ａ～ｃに加えられて、ガラス２０’がスタンプチャック３２に対して移動することができることを保証し、ストックロール７０および巻取ロール７３は、スタンプチャック３２とスタンプチャック３２に面するマスタ２０の現在のまたは予測される位置の間の位置までガラス２０’（バッキング材料２０’）の新しい別個の部分６２をインデックスするように移動され、プロセスが繰り返される。ガラス２０’（バッキング材料１２’）の一部をインデックスし、マスタスタンプ３０を洗浄および再コーティングし、スタンプチャック３２に面するように位置決めするプロセスは、ガラス２０’のロール全体がパターン化された層１８でコーティングされ、その後、ガラス２０’（バッキング材料１２’）の新しいロールは装置内に装填することができるまで繰り返され、プロセスが繰り返される。スタンププレフォーム１０’が形成され、ストックロール７０および巻取ロール７３は、スタンプチャック３２とスタンプチャック３２に面するマスタ２０の現在のまたは予測される位置の間の位置までガラス２０’（バッキング材料２０’）の新しい部分をインデックスするように移動されると、スタンププレフォーム１０’は、後で広がる可能性がある巻取ロール７３、およびそこから形成された個別のスタンプ１０内に巻かれるようになる。
【0028】
図９は、別の代替の自動化されたスタンプ形成装置７０の側面図である。図７のスタンプ製造装置６０に対して、ここでは、プレスタンプ１０’は、ガラス２０’（バッキング材料１２’）に進む供給方向にほぼ垂直な線に沿ってガラス１２’（バッキング材料２０’）を切るためにシンギュレーション装置が存在するのに十分な距離だけ、マスタチャック４０およびスタンプチャック３２の下流側のガラス２０’（バッキング材料２０’）供給方向に配置されたスタンプ分離装置９０によってスタンプガラス２０’から分離またはシンギュレーションされる。パターン化された層１８が図７に関して図示および記載されるようにストックロール７０から分配されるガラス２０’（バッキング材料２０’）の長さの所望の別個の部分６２に形成されると、ガラス２０’（バッキング材料１２’）の一部からなるプレスタンプ１０’が形成され、完成スタンプ１０を形成するためにガラス２０’（バッキング材料１２’）の長さからその後に切断される、上のプライマー層２６およびパターン化された層１８で、ストックロール７０から分配されているガラス２０’（バッキング材料１２’）の長さまたはストリップにまだ取り付けられている。
【0029】
このプレスタンプ１０’を製造するために、スタンプマスタスタンプテンプレート３０を保持するためのマスタチャック４０、および流体通路を有する、スタンプチャック３２とマスタチャック３０の直接の間のガラス３０’の長さ、および図３から５に関して本明細書に記載された動作をチャッキングするように構成されたスタンプチャック３２は、ガラス２０’（バッキング材料１２’）の長さがその間に配置されるように、ストックローラ７０から分配または引かれたガラス２０’（バッキング材料１２’）の別個の部分６２を受けるために設けられている。巻取ロール７３がここでは設けられていないので、ストックロール７０から分配されるガラス２０’（バッキング材料１２’）を位置決めするために、第１の対のローラ８４ａ、ｂが、マスタチャック４０のストックロール７０側に隣接してガラス２０’（バッキング材料１２’）の各側にそれぞれ配置され、ガラス２０’のいずれか側にそれぞれある第２の対の８６ａ、ｂは、マスタチャック４０およびスタンプチャック３２が第２の対のローラ８６ａ、ｂと第１の対のローラ８４ａ、ｂの間に配置されるように配置される。第１の対のローラ８４ａ、ｂおよび第２の対のローラ８６ａ、ｂの各ローラ８４ａ、ｂおよび８６ａ、ｂは、ガラス２０’（バッキング材料１２’）の幅方向、すなわち、図９のページ内の方向にわたって延び、第１の対のローラ８４ａ、ｂの少なくとも１つおよび第２の対のローラ８６ａ、ｂの１つは、パターン化された層１８がマスタチャック４０とスタンプチャック３２の間に形成されるガラス２０’（バッキング材料１２’）の一部を積極的に位置決めし、ガラス２０’（バッキング材料１２’）移動中にマスタチャック４０またはスタンプチャック３２上のマスタスタンプテンプレート３０に対する削りを防ぐために平らな平面に十分近くに維持されるようにその間に延びるガラス２０’（バッキング材料１２’）の一部に十分な張力を維持する両方のために、サーボモータなどによって正に回転される。したがって、このバージョンのスタンプ製造装置７０では、プレスタンプ１０’を形成するために、ストックロール７０は、ガラス２０’（バッキング材料２０’）の長さまたはストリップの別個の部分６２をそこから展開するように回転され、別個の部分６２はストックロール７０と第２の対のローラ８６ａ、ｂの間の方向に、完成スタンプ１０の側部寸法より僅かに大きい寸法を有する。例えば、完成スタンプのガラス２０（バッキング材料１２）が図１のＸおよびＹ方向の各側で１５インチの長さである場合、１５インチより大きいガラス２０’（バッキング材料１２’）の長さの別個の部分はストックロール７０から展開され、第１および第２の対のローラ８４ａ、ｂ、８６ａ、ｂによって巻き取られる。ここで、ガラス２０’はまた、ストックロール７０から延びる長さと垂直な方向に、１５インチの寸法を有する。その結果、ガラス２０’（バッキング材料１２’）の長さの新しいまたは新規の別個の部分６２は、マスタチャック４０とスタンプチャック３２の間に位置決めされる。ストックロール上のガラス２０’（バッキング材料１２’）の長さは、ストックロール７０を提供するために巻き取られる前に予め洗浄されることが好ましく、ストックロール７０のガラス’（バッキング材料１２’）が展開されると、（図９の深さ方向に）ガラス２０’（バッキング材料１２’）の幅にわたって延びるスプレイヤバーなどのプライマー塗布装置７４は、その下を通過するときに、プライマー層２６を形成するために、そこから解かれるガラス２０’（バッキング材料１２’）の長さの洗浄部分上にプライマー材料を塗布する。任意選択では、プライマー層２６を形成する材料でコーティングされる前に、ガラス２０’（バッキング材料１２’）の長さの部分は、ストックロール７０から解かれるときに、洗浄および乾燥させることができる。その後、プライマー塗布装置７４は、ストックロール７０から取られるガラス２０’（バッキング材料１２’）の長さのちょうど洗浄した部分にプライマー層２６を形成するために、プライマー材料を塗布する。ここでは、ガラス２０’（バッキング材料１２’）がストックロール７０からスタンプチャック３２の位置まで離れ、マスタチャック３０に面する距離は、プレスタンプ１０’を製造するために使用されるガラス２０’（バッキング材料１２’）の部分のロール間方向の長さより大きい。ガラス２０’（バッキング材料１２’）の一部分は、プライマー材料で洗浄およびコーティング、または単にコーティングされるので、ガラス２０’（バッキング材料１２’）の前にプライマー材料でコーティングした部分は、ストックロール７０および第１および第２の対のローラ８４ａ、ｂ、８６ａ、ｂの解きによって、スタンプチャック３２とマスタチャック４０の間に移動される。
【0030】
この図３から５に記載された装置と同様に、パターン化された層１８を形成するようにパターンを刻印するためのマスタスタンプテンプレート３０の各使用後に、マスタを洗浄し、解放層で再コーティングし、再使用のために再位置決めして、別のパターン化された層１８を形成しなければならない。ここでは、図７に関して本明細書に記載されたのと同じ方法を使用して達成される。
【0031】
図３から６のスタンプ１０の製造に対して、ここではスタンププレフォーム１０’は、バッキング層１８が上に形成され、そこに対するストックロール７０およびローラの移動によってその下に位置決めされたガラス２０’（バッキング材料１２’）の一部を引くように、スタンプチャック３２内で真空を通路５２ａ、ｂに最初に加えることによって形成され、周面クランプ３８は、ガラス２０’（バッキング材料１２’）のこの部分の下の位置から押されて、パターン化された層１８がスタンプチャック３２の周面に対して形成されるガラス２０’（バッキング材料２０’）の別個の部分６２の周面に沿って延び、これを押す。その後、パターン化された層１８の製造は図３から６に関して図示および記載したのと同様の順にしたがい、ガラス、ここでは液体の形のパターン材料層４４と接触するガラス２０’（バッキング材料２０’）のプライマーコーティングされた表面を位置決めするためのパラダイム、硬化するためにパターン材料層４４内へスタンプチャック３２およびガラス２０’（バッキング材料２０’）を通してＵＶエネルギーまたは光を案内することによるパターン材料層４４の硬化、およびそこに接着されたパターン化された材料層１８でマスタ２０から離れるようにガラス、ここではガラス２０’（バッキング材料２０’）を引っ張る順が行われる。
【0032】
上に形成されたパターン化された層をちょうど有するガラス２０’（バッキング材料２０’）の一部がマスタ２０から引かれると、周面クランプ３８が引き出され、スタンプチャック３２の通路５２ａ、ｂ内の真空が解放され、スタンプチャック３２を囲む大気圧と比較して僅かに正の圧力は、スタンプチャック３２のガラス２０’（バッキング材料２０’）に面する表面からガラス２０’（バッキング材料２０’）を離すのを助け、ストックロール７０および第１および第２のローラ８４ａ、ｂおよび８６ａ、ｂは、スタンプチャック３２とスタンプチャック３２に面するマスタ２０の現在のまたは予測される位置の間の位置までガラス２０’（バッキング材料２０’）の新しいまたは新規のプライマー層２６でコーティングされた別個の部分６２をインデックスするように回転される。ガラス２０’（バッキング材料１２’）の別個の部分６２のインデックス、マスタスタンプテンプレート３０の洗浄および再コーティング、スタンプチャック３２に面するためのマスタスタンプテンプレート３０の位置決め、およびガラス２０’（バッキング材料１２’）の部分上へのパターン化された層１８の形成は、ガラス２０’（バッキング材料１２’）のロール全体が使い果たされるまで繰り返され、その後、ガラス２０’（バッキング材料１２’）の新しいロールを装置内に装填することができ、プロセスが繰り返される。
【0033】
スタンププレフォーム１０’が形成され、ストックロール７０およびローラ８４ａ、ｂ、８６ａ、ｂがスタンプチャック３２とスタンプチャック３２に面するマスタ２０の現在のまたは予測される位置の間の位置までガラス２０’（バッキング材料２０’）の新しい部分をインデックスするために回転されると、スタンププレフォーム１０’はスタンプ分離装置９０のガラス２０’（バッキング材料２０’）供給方向に下流側に配置される。ストックロール７０およびローラの回転は、スタンププレフォーム１０’の先端縁部を形成するガラス２０’（バッキング材料２０’）の端部が、スタンプ１０がそこからスタンプをシンギュレーションするためにガラス２０’（バッキング材料２０’）を線に沿って切断または折り目付けおよび破断することによって、スタンプチャック３２のガラス２０’（バッキング材料２０’）に面する表面の長さからシンギュレーションされる位置からの完成スタンプ１０の所望の側壁長さであるように位置決めされるスタンププレフォーム１０’を位置決めする。スタンププレフォーム１０は、テーブル（図示せず）または他の支持機構によって定位置に保持され、その長さ方向にわたってガラス２０’（バッキング材料２０’）に折り目付けし、その後折り目に沿って曲げることによって、スタンプ分離装置９０、例えばレーザ、またはダイヤモンド切断ホイールまたは他の切断装置の使用などによる他の機構で切断される。今分離されたスタンプ１０は、可動ロボットアーム９２によって移動され、カセット装置、例えば、リフトロッド９６に接続された棚９３ａ～ｃを備えたカセット９３のカセット保持部分のちょうど上に配置される。棚９３ａ～ｃは、可動ロボットアーム９２がアクセス可能にするのに十分な、棚９３ａ～ｃの空間を備えてスタンプ１０を受けるように配列された等しく間隔を置いて配置された対向する側部棚である。スタンプ１０が、例えば棚９３ａの上に配置されると、リフトロッド９６はその後、カセット９３、したがって棚９３ａを上向きに移動させて、棚９３ａ上にスタンプ１０を配置し、棚９３ｂを、次のスタンプ１０がロボットアーム９２によって位置決めされるちょうど下に位置決めする。
【0034】
図８は、図７に関して記載したプロセスの順および装置による、スタンプ１０を製造するための一連の活動を示すフローチャートである。ここでは、バッキング材料１２、ここでは約２００ミクロンの厚さを有する薄いスタンプガラス２０’（バッキング材料１２’）は、バッキング材料供給またはストックロール７０上に設けられ、ガラス２０’（バッキング材料１２’）の長さは図１のＸまたはＹ方向で完成スタンプ１０の少なくともいくつかの片のガラス２０に等しく、パターン層がその別個の部分６２に形成された後に、ガラス２０’（バッキング材料１２’）の長さまたはストリップは巻取ロール７３に向けて移動される。パターン化された層１８がガラス２０’の別個の部分６２上に形成されると、プレスタンプ１０’が形成され、その後、ガラス２０’（バッキング材料１２’）の長さから切り取って、スタンプ１０を形成することができる。プレスタンプ１０’を製造するために、スタンプマスタスタンプテンプレート３０を保持するためのマスタチャック４０、および流体通路５２ａ～ｃを有する、スタンプチャック３２とマスタチャック３０の直接の間のガラス３０’の長さ、および図３から５に関して本明細書に記載された動作をチャッキングするように構成されたスタンプチャック３２は、ガラス２０’（バッキング材料１２’）の長さがその間を通過するように、ストックロール７０と巻取ロール７３の間に提供される。ここで、プレスタンプ１０’を形成するために、ストックロール７０は活動８００で回転されて、ガラス２０のストリップまたは長さの別個の量または別個の部分６２をそこから展開させ、部分は、完成スタンプ１０の側部寸法より僅かに大きいストックロール７０と巻取ロール７３の間の方向に寸法を有し、ガラス２０’（バッキング材料１２’）はそれに垂直な方向に同様の寸法を有する。ストックロール上のガラス２０’（バッキング材料１２’）の長さまたはストリップは、ストックロール７０を提供するために巻き取られる前に予め洗浄および乾燥され、ストックロール７０が活動８００で展開されると、（図７の深さ方向に）ガラス２０’（バッキング材料１２’）の幅にわたって延びるスプレイヤバーなどのプライマー塗布装置７４は、その下を通過するときに、プライマー層２６を形成するために、そこから解かれるガラス２０’（バッキング材料１２’）の長さの洗浄部分上に活動８１２でプライマー材料を塗布する。任意選択では、プライマー層２６を形成する材料でコーティングされる前に、ガラス２０’（バッキング材料１２’）の長さの一部は、ストックロール７０から解かれるときに、活動８０４で洗浄し、活動８０８で乾燥させることができる。その後、プライマー塗布装置７４は、活動８１２でストックロール７０から取られるガラス２０’（バッキング材料１２’）の長さのちょうど洗浄した部分にプライマー層２６を形成するために、プライマー層材料４４を塗布する。ここでは、ガラス２０’（バッキング材料１２’）がストックロール７０からスタンプチャック３２の位置まで離れ、マスタチャック３０に面する距離は、プレスタンプ１０’を製造するために使用されるガラス２０’（バッキング材料１２’）の部分のロール間方向の長さより大きい。ガラス２０’（バッキング材料１２’）の一部分は、プライマー材料で洗浄およびコーティング、または単にコーティングされるので、ガラス２０’（バッキング材料１２’）の前にプライマー材料でコーティングした部分は、活動８１４でスタンプチャック３２とマスタチャック４０の間に移動され、スタンプチャックにチャッキングされる。
【0035】
マスタスタンプテンプレート３０が活動８１８で解放層４２のコーティング、およびその上にパターン材料層４４を形成する液体ＰＤＭＳの層を受けると、ターンテーブル上に取り付けられ、活動８１６でスタンプチャック３２の面表面に面するように位置決めされ、これに対して適切に配列されるターンテーブル８０によってインデックスされる。これは、ガラス２０’の別個の部分６２が活動８１４でマスタスタンプテンプレート３０とスタンプチャック３２の間に位置決めされる前または後に行うことができる。別の方法では、マスタスタンプテンプレート３０がターンテーブル８０上にある間にマスタチャック４０上で交換されるように、マスタチャック４０をターンテーブル８０に取り付けることができる。真空は活動８２５で真空通路５２ａ～ｃに加えられ、活動８２６で周面クランプ３８は持ち上げられて、スタンプチャック３０に対してガラス２０’の別個の部分６２の周面を押す。活動８２５および８２６の順は逆にしてもよい。
【0036】
ガラス２０’（バッキング材料２０’）の一部のプライムされた表面が位置決めされ、マスタスタンプテンプレート３０に面した後に、周面クランプ３８は、パターン化された層１８が活動８２４でスタンプチャック３２の周面に対して形成されるガラス２０’（バッキング材料２０’）の一部の周面に沿って延び、これを押すように、ガラス２０’（バッキング材料２０’）の一部の下の位置から持ち上げられる。その後、パターン化された層の製造は図３から４に関して図示および記載したのと同様の順にしたがい、活動８２６では、ガラス、ここではガラス２０’（バッキング材料２０’）のコーティングされた表面は、図４Ａから４Ｃに関して図示および記載したようにスタンプチャック３２から離れて、液体の形のパターン材料層４４と接触するように移動され、活動８３０では、パターン層材料４４は、硬化するためにパターン材料層４４内でスタンプチャック３２およびガラス２０’（バッキング材料２０’）を通してＵＶエネルギーまたは光を案内することによって硬化され、活動８３４では、ガラス２０’（バッキング材料１２’）の一部およびそのパターン層は、図４Ｃから４Ａに関して図示および記載したように、そこに接着されたパターン化された材料層１８でマスタ２０から取り除かれる。
【0037】
上に形成されたパターン化された層をちょうど有するガラス２０’（バッキング材料２０’）の一部がマスタ２０から引かれると、通路５２ａ～ｃ内の真空が解放され、ストックロール７０および巻取ロール７３は活動８００で再び、スタンプチャック３２とスタンプチャック３２に面するマスタ２０の現在のまたは予測される位置の間の位置までガラス２０’（バッキング材料２０’）の新しい別個の部分６２をインデックスするように移動され、ちょうど形成されたプレスタンプが活動８３８で巻き取りロールに向けて移動する間に、プロセスが繰り返される。マスタスタンプテンプレート３０はその後、活動８４４でスタンプチャック３２との配列から外れてターンテーブル８０によって移動され、活動８５０でターンテーブルから取り除かれ洗浄され、活動８１８で再び解放層４４でコーティングされる。解放層４４でコーティングされたマスタスタンプテンプレート３０はその後、活動８２２でパターン層材料４４で再びコーティングされ、活動８２３でマスタチャック４０に再び取り付けられる。ガラス２０’（バッキング材料１２’）の一部をインデックスし、マスタを洗浄および再コーティングし、スタンプチャック３２に面するように位置決めするプロセスは、ガラスのロール全体がパターン化された層１８でコーティングされ、その後、ガラス２０（バッキング材料１２’）の新しいロールは装置内に装填することができるまで繰り返され、プロセスが繰り返される。ガラス２０’（バッキング材料１２’）の一部、プライマー層２６およびパターン化された層１８からなるスタンププレフォーム１０’が形成され、ストックロール７０および巻取ロール７３は、スタンプチャック３２とスタンプチャック３２に面するマスタ２０の現在のまたは予測される位置の間の位置までガラス２０’（バッキング材料２０’）の新しい部分をインデックスするように移動されると、スタンププレフォーム１０’は、ガラス２０’（バッキング材料１２’）が後で広がる可能性がある巻取ロール７３、およびそこから形成された個別のスタンプ１０内に巻かれるようになる。
【0038】
図８Ａでは、図９による上にスタンププレフォーム１０１を有するガラスのシートからスタンプ１０をシンギュレーションするのに必要な動作が示されている。ここで、活動８３４を含むそこまでの図８の活動は、図８と同じである。しかし、ここで、ガラス２０’が活動８３４でマスタスタンプテンプレート３０から離れるように移動された後に、スタンププレフォーム１０’を形成するガラス２０’は、活動８４０において支持体上に受けられるストックローラ７０およびローラ８４ａ、ｂおよび８６ａ、ｂの回転によって、スタンプチャック３２とマスタスタンプテンプレート３０の間の空間から外向きに移動される。その後、スタンプ分離装置９０を使用して、活動８４２でガラス２０’からスタンプ１０をシンギュレーションし、活動８４４でカセット９３内のセットの棚９３ａ～ｃの１つ上に格納される。
【0039】
図１０から１５および１７は、クッション化されたスタンプ１０の製造に有用な代表的設備の略側面図であり、クッション化されたスタンプ１０は、すなわち、バッキング材料１２とパターン化された層１８の間にクッション層１００を有するものであり、上記製造は、バッキング材料１２上にクッション層１００を形成し、クッション層１００上で、マスタスタンプテンプレート３０上のパターンの相補形態である所望のパターン１９を有するパターン化された層１８を形成することを含み、クッション層１００は、パターン化された層１８が上に形成されるバッキング材料１２の別個の部分に形成される。図１７および１８に示すように、スタンプ製造装置１５０はここでは図７または９に示すのと同様であり、ストリップの形の、すなわち、シンギュレーションされていないバッキング材料１２’としてのガラス２０’は、ストックロール７０から解かれて、巻取ロール７３に向けてガラス２０’（バッキング材料１２’）の長さの別個の部分６２を増加的に移動させる。しかし、図７および９の装置に対して、これに対してガラス２０’（バッキング材料１２’）を保持および位置決めするための対応するスタンプガラスチャックを備えた２セットのマスタチャックが、ストックロール７０と巻取ロール７３の間（または、本明細書に記載し、図９に略図的に図示したようにストックロール７０とシンギュレーション装置の間）に設けられて、最初にガラス２０’（バッキング材料１２’）の別個の部分にクッション層１００を形成し、その後、クッション層１００上にパターン化された層１８を形成する。パターン化された層１８がクッション層１００上に形成されると、プレスタンプ１０’が形成され、その後、ガラス２０’（バッキング材料１２’）の長さから切断して、完成されたスタンプ１０を形成することができる。
【0040】
クッション層１００を有するプレスタンプ１０’を製造するために、クッション層マスタ１０３を保持するためのブランキングマスタチャック１０１、およびスタンプマスタスタンプテンプレート３０を保持するためのマスタチャック４０が設けられ、ブランキングマスタチャック１０１に面するブランキングスタンプチャック１０２、およびスタンプマスタチャック４０に面するスタンプチャック３２は、図１７に示すように、ストックロール７０から巻取ロール７３まで物理的順で設けられている。スタンプチャック３２およびブランキングスタンプチャック１０２はそれぞれ、クッション層１００およびパターニング層１８が連続して上に形成されるガラス２０’（バッキング材料１２’）の長さの別個の部分をチャッキングするように構成され、スタンプチャック３２およびブランキングスタンプチャック１０２はそれぞれ、図３から５に図示され、これに関して本明細書で記載されたスタンプチャック３２の構造および動作能力を有し、ガラス２０’（バッキング材料１２’）の長さが下を通過するように、ストックロール７０と巻取ロール７３の間に設けられている。
【0041】
ここで、クッション層１００を有するプレスタンプ１０’を形成するために、ストックロール７０は回転されて、ガラス２０’の長さの別個の量または別個の部分６２をそこから展開させ、部分は、ストックロール７０と巻取ロール７３の間の方向に競争したスタンプの側部寸法より僅かに大きい寸法を有する。例えば、完成スタンプのガラス２０（バッキング材料１２）は、ＸおよびＹ方向にその各側に１５インチの長さである場合、１５インチより大きいガラス２０’（バッキング材料１２’）の長さの別個の部分は、ストックロール７０から展開され、巻取ロール７３によって巻き取られ、それにより、ガラス２０’（バッキング材料１２’）の長さまたはストリップの新しいまたは新規の別個の部分６２は、ブランキングマスタチャック１０１とスタンプクッションチャックの間に位置決めされ、クッション層マスタ１０３を使用して前に上に形成されたクッション層１００を有するガラス２０’（バッキング材料１２’）の別個の部分６２は、マスタチャック４０とスタンプチャック３２の間の空間内にインデックスする。ここで、例えば１５×１５インチの側部寸法のバッキング材料１２を有するスタンプ１０を作るために、ガラスのストリップは（ページ内の）図１７の深さ方向で１５インチである。ストックロール７０上のガラス２０’（バッキング材料１２’）の長さは、ストックロール７０を提供するために巻き取られる前に予め洗浄されることが好ましく、ストックロール７０が展開されると、（図１７の深さ方向に）ガラス２０’（バッキング材料１２’）の長さの幅にわたって延びるスプレイヤバーなどのプライマー塗布装置７４は、その下を通過するときに、プライマー層２６を形成するために、そこから解かれるガラス２０’（バッキング材料１２’）の長さの洗浄部分上にプライマー材料を塗布する。任意選択では、プライマー層２６を形成する材料でコーティングされる前に、ガラス２０’（バッキング材料１２’）の長さの一部は、ストックロール７０から解かれるときに、洗浄および乾燥させることができる。その後、プライマー塗布装置７４は、ストックロール７０から取られるガラス２０’（バッキング材料１２’）の長さのちょうど洗浄した部分にプライマー層２６を形成するために、プライマー材料を塗布する。ここでは、ガラス２０’（バッキング材料１２’）がストックロール７０からスタンプクッションチャック１０２の位置まで離れ、マスタクッションチャック１０１に面する距離は、クッション層が上に形成されるガラス２０’（バッキング材料１２’）の別個の部分６２の長さより大きい、すなわち、完成スタンプ１０のバッキング材料１２の側部寸法より大きい。しかし、クッション層１００およびパターニング層１８が形成されるガラス２０’（バッキング材料１２’）の隣接する部分の間の間隙は、ガラス２０’（バッキング材料１２’）の無駄を防ぐために最小限に抑えるべきである。したがって、マスタクッションチャック１０２とマスタチャック１０２の間の中心間間隔は、完成スタンプの側壁長さの倍数、例えばその長さの２または３倍であり、それによりスタンプクッションチャック１０２とマスタチャック４０の間のガラス２０’（１２’）の部分はその上でのプレスタンプの製造中、壁面長さの側部の倍数マイナス１に等しいいくつかのクッション層を上に含む。例えば、倍数が２である場合、１つのクッション層１００がスタンプクッションチャック１０２とマスタチャック４０の間のガラス２０’（１２’）の部分に配置され、倍数が３である、すなわち、マスタクッションチャック１０２とマスタチャック１０２の間の中心間間隔が完成スタンプの側部長さの３倍である場合、２つのクッション層１００が、ガラス２０’（バッキング材料１２’）上のスタンププレフォームの製造中にスタンプクッションチャック１０２とマスタチャック４０の間でガラス２０’（１２’）の部分上に配置される。
【0042】
ガラス２０’（バッキング材料１２’）の一部分は、プライマー材料で洗浄およびコーティング、または単にコーティングされて、プライマー層２６を上に形成するので、プライマー層２６を上に有するガラス２０’（バッキング材料１２’）の前にプライマー材料でコーティングした部分は、スタンプクッションチャック１０２と面するマスタクッションチャック１０１の間に移動され、同時に、その上に形成されたクッション層１００を有するガラス２０’（バッキング層１２’）の別個の部分は、スタンプチャック３２とマスタチャック４０の間に移動される。
【0043】
パターニング層１８を形成するために使用されるマスタスタンプテンプレート３０の洗浄および交換に関して図３から５に関して記載された装置と同様に、ガラス２０’（バッキング材料１２’）の別個の部分上に薄い平面外側表面クッション層１００を形成するためのクッション層マスタ１０３の各使用後に、クッション層マスタ１０３を洗浄し、例えば、図７Ａに示すＣＶＤチャンバを使用して解放層で、および図７Ａのスピンコータ５５などのスピンコータを使用してその液体未硬化の形でクッション層の材料で再コーティングし、再使用のために再位置決めして、別のクッション層１００を形成しなければならない。ここで、クッション層マスタ１０３またはマスタチャック１０１をターンテーブル８０上で上のクッション層マスタで取り付け、マスタがスタンプクッションチャック１０２に面して位置決めされる位置とクッション層マスタ１０３がスタンプクッションチャック１０２から間隔を置いて配置され、いくらかその側部に対する位置の間でターンテーブル８０を回転させて、スタンプクッションチャック１０２と物理的または機械的干渉することなく、クッション層マスタ１０３の取り除きを可能にすることなどによって、スタンプチャック１０２の位置の側部に、その１つの表面側に形成されたブランク表面を有するクッション層マスタ１０３、または上にクッション層マスタ１０３を備えたマスタチャック１０１を機械的に移動させることによって達成される。例えば、上にまたはそのマスタチャック受け表面内に１つまたは複数のマスタ受けステーション８６を有するターンテーブル８０は、各受けステーションで、クッション層１０３またはマスタクッションチャック１０１またはマスタチャック４０を受けることができる。シャフトの中心線８４周りでその中心でターンテーブル８０の中心に接続されたシャフト８２を回転させることによって、マスタ受けステーション８６は、スタンプクッションチャック１０２の下にこれに面して位置決めされる弧で移動させ、マスタ１０３とスタンプクッションチャック１０２の間のガラス２０’（バッキング材料１２’）の一部にクッション層１００を形成するプロセスのためにそこで停止させることができ、その後、ターンテーブル８０は軸８４周りで別の回転動作でインデックスして、スタンプクッションチャック１０２に面するように追加のマスタクッションチャック１０１を位置決めおよび固定することができる。したがって、複数の同一のクッション層マスタ１０３を提供することによって、各クッション層マスタ１０３を使用してクッション層１００を形成し、スタンプクッションチャック１０２の位置から離れるように移動されると、上に解放層４２およびクッション層材料１０４として液体ＰＤＭＳの層を備えたブランク表面一側部を有する新しいクッション層マスタ１０３は、ターンテーブル８０によってインデックスされて、スタンプクッションチャック１０２の面表面に面するように位置決めされ、これに対して適切に配列される。
【0044】
その上に解放層４２およびクッション層材料１０４として液体ＰＤＭＳの層を備えたクッション層マスタ１０３が、スタンプクッションチャック１０２の面表面に面するように位置決めされ、これに対して適切に配列されるターンテーブル８０によってインデックスされ、プライマーコーティングされたガラス２０’（バッキング材料１２’）の一部分がマスタクッションチャック１０１に向けて面するプライマー層２６でクッション層１００形成装置内に移動されると、装置はスタンプクッションチャック１０２の下にあるガラス２０’（バッキング材料１２’）の部分上にクッション層１００を形成する準備ができている。同時に、クッション層１００を形成するためにちょうど使用され、ターンテーブル８０によってスタンプクッションチャック１０２に面する位置から離れるように移動されたクッション層マスタ１０３は、手動、またはロボットでなどの自動化された方法によってなど、スタンプ形成装置のターンテーブル８０上でマスタクッションチャック１０１から取り除かれる。きれいで、解放層４２およびクッション層材料１０４でコーティングされた、クッション層マスタ１０３はその後、開口マスタチャック１０１上に配置される。別の方法では、ちょうど取り除かれたマスタ１０３は、洗浄し、解放層４２で再コーティングし、新しいクッション材料層１０４でコーティングし、そこから取り除かれた開口マスタクッションチャック１０１上に配置することができる。新しい解放層４２およびクッション材料層１０４でコーティングされた新しいまたは前のクッション層マスタ１０３がターンテーブル８０上に配置された後に、スタンプクッションチャック１０２に面する位置に移動されてもよく、ガラス２０’（バッキング材料１２’）の新しいまたは新規の別個の部分がその間に位置決めされ、ガラス２０’（バッキング材料１２’）の別個の部分に形成された新しいクッション層１００は本明細書に記載するようにその上に形成される。
【0045】
スタンプクッションチャック１０２は、スタンプチャック３２と同じ構造を有する。したがって、図３から６のスタンプ１０のパターニング層１８の製造と同様に、ここでは、クッション層１００は、そこに対してガラス２０’（バッキング材料１２’）の別個の部分を引くようにスタンプクッションチャック１０２内で通路５２ａ、ｂに最初に真空を加えることによってガラス２０上に形成され、周面クランプ３８は、ガラス２０’（バッキング材料２０’）の一部の下の位置から上向きに押されて、クッション層１００がスタンプクッションチャック１０２の周面に対して形成されるガラス２０’（バッキング材料２０’）の別個の部分６２の周面に沿って延び、これを押す。その後、クッション層１００の製造は順にしたがい、液体の形のクッション層材料１０４と接触するガラス２０’（バッキング層１２’）の別個の部分のプライマーコーティングされた表面を位置決めするためのパラダイム、硬化するためにクッション層材料１０４内でスタンプクッションチャック１０２およびガラス２０’（バッキング材料１２’）を通してＵＶエネルギーまたは光を案内することによる硬化、およびそこに接着された新しく形成されたクッション層１００でマスタ１０１から離れるようにガラス２０’（バッキング材料１２’）を引っ張る順が行われる。
【0046】
次に、クッション層を有するガラス２０’（バッキング材料１２’）の別個の部分は、バッキング材料１２’ロール７０の解け、および巻取ロール７３によって上に形成されたプレスタンプ１０’を有するバッキング材料１２’の一部を巻き取ることによって、面チャック、スタンプチャック３２およびマスタチャック３０の次のセットに向けて横方向に移動される。プレスタンプ１０’のパターン化された層１８はそこで、図３から５でパターニング層を形成するために使用されるのと同じ順を使用して、すなわち、そこに対してガラス２０’（バッキング材料１２’）の別個の部分を引くためにスタンプクッションチャック１０２内で通路５２ａ、ｂに最初に真空を加えることによって、クッション層１００上に形成され、周面クランプ３８は、パターン化された層１８がスタンプチャック３２の周面に対して上に形成されるクッション層１００を有するガラス２０’（バッキング材料１２’）の別個の部分の周面を押すために上でほぼ中心にされたクッション層１００を有するガラス２０’（バッキング材料１２’）の別個の部分の下の位置から押される。その後、図３から５に示すように、ガラス２０’（バッキング材料１２’）とスタンプチャック３２の面表面の間の領域の押圧順の後に、クッション層１００は液体の形のパターン材料層４４と接触して位置決めされ、パターン材料層４４は、パターン材料層４４内にスタンプチャック３２、クッション層１００、およびガラス２０’（バッキング材料１２’）を通してＵＶエネルギーまたは光を案内することによって硬化され、その後、図４Ａから４ＣのゾーンＣからＡ内の真空の連続付加を使用して記載されたように、そこに接着されたパターン化された材料層１８でマスタ２０から離れるプレスタンプに対して形成されたクッション層１００およびパターン化された層１８を有するガラス２０’（バッキング材料１２’）を引く順が行われる。
【0047】
上に形成されたパターン化された層１８をちょうど有するガラス２０’（バッキング材料１２’）の一部がマスタ２０から引かれると、通路内の真空が解放され、スタンプチャック３２とスタンプチャック３２に面するマスタ２０の現在のまたは予測される位置の間の位置までガラス２０’（バッキング材料１２’）の新しい部分をインデックスするようにストックロール７０および巻取ロール７３が移動され、プロセスが繰り返される。ガラス２０’（バッキング材料１２’）の一部をインデックスし、マスタを洗浄および再コーティングし、スタンプチャック３２に面するように位置決めするプロセスは、ガラスのロール全体がその上でクッション化された層１００およびパターン化された層１８でコーティングされるまで繰り返され、その後、ガラス２０（バッキング材料１２’）の新しいロールを装置内に装填することができ、プロセスが繰り返される。スタンププレフォーム１０’が形成され、ストックロール７０および巻取ロール７３が各セットのチャックの間の位置までガラス２０’（バッキング材料１２’）の新しい別個の部分をインデックスするように移動されると、スタンププレフォーム１０’は後に広がることができるロール内に巻かれ、個別のスタンプがそこから形成されるようになる。
【0048】
図１６は、図１０～１５および１７に関して記載したプロセスの順にしたがって、クッション化されたスタンプ１０を製造するための一連の活動を示すフローチャートである。ここでバッキング材料１２’、ここでは約２００ミクロンの厚さを有する薄いスタンプガラス２０’は、バッキング材料供給またはストックロール７０上に設けられ、ガラス２０’（バッキング材料１２’）の長さは図１のＸまたはＹ方向で少なくともいくつかの片のガラス２０に等しく、クッション層１００およびパターン化された層１８の両方がその別個の部分に形成された後に、ガラス２０’（バッキング材料１２’）の長さは巻取ロール７３に向けて移動される。ガラス２０’（バッキング材料１２’）は、やがて分離される別個のステップでストックロール７０から巻取ロール７３まで移動し、ガラス２０’（バッキング材料１２’）の一部の物理的長さは、クッション層１００がその別個の部分に形成されるストックロール７０位置からガラス２０’（バッキング材料１２’）の引張位置からの距離の関数だけ各ステップで移動される。クッション層１００およびパターン化された層１８の両方がガラスの別個の部分に形成されると、プレスタンプ１０’が形成され、その後、ガラス２０’（バッキング材料１２’）の長さから切断して、完成スタンプ１０を形成することができる。
【0049】
ここで、プレスタンプを製造するために、ストックロール７０は活動１６００で回転されて、ガラス２０の長さの別個の量または部分をそこから展開する。ストックロール上のガラス２０’（バッキング材料１２’）の長さは、ストックロール７０を提供するために巻き取られる前に予め洗浄および乾燥されてもよく、ストックロール７０が活動１６００で展開されると、（図１７の深さ方向に）ガラス２０’（バッキング材料１２’）の幅にわたって延びるスプレイヤバーなどのプライマー塗布装置７４は、その下を通過するときに、プライマー層２６を形成するために、そこから解かれるガラス２０’（バッキング材料１２’）の長さの洗浄部分上に活動１６１２でプライマー材料を塗布する。任意選択では、プライマー層２６を形成する材料でコーティングされる前に、ガラス２０’（バッキング材料１２’）の長さの一部は、ストックロール７０から解かれるときに、活動１６０４で洗浄し、活動１６０８で乾燥させることができる。その後、プライマー塗布装置７４は、活動１６１２でストックロール７０から取られるガラス２０’（バッキング材料１２’）の長さのちょうど洗浄した部分にプライマー層２６を形成するために、プライマー材料を塗布する。ここでは、ガラス２０’（バッキング材料１２’）がストックロール７０からスタンプクッションチャック１０２の位置まで離れ、マスタクッションチャック１０１に面する距離は、プレスタンプ１０を製造するために使用されるガラス２０’（バッキング材料１２’）の別個の部分のロール間方向の長さより大きく、ガラス２０’（バッキング材料１２’）の一部分は、プライマー材料で洗浄およびコーティング、または単にコーティングされるので、ガラス２０’（バッキング材料１２’）の前にプライマー材料でコーティングした部分は、活動１６１４でスタンプクッションチャック１０２とマスタクッションチャック１０１の間に移動される。
【0050】
活動１６２２で、その上にクッション層マスタ１０３が活動１６１８で解放層４２のコーティングを、その後、液体クッション層材料１０４、例えばＰＤＭＳの層を受けると、クッション層マスタ１０３は活動１６２３でマスタクッションチャック１０１上に位置決めされ、活動１６２４でスタンプクッションチャック１０２の面表面に面し、位置決めされ、これに対して適切に配列されるように解放層でコーティングされクッション層材料でコーティングされたクッション層マスタ１０３を配置するために、ターンテーブル８０によってインデックスされる。その後、上にクッション材料層１０４を備えたマスタクッションチャック１０１に向けて面するプライマー層２６を備えたプライマーコーティングされたガラス２０’（バッキング材料１２’）の別個の部分６２で、装置はスタンプクッションチャック１０２の下にあるガラス２０’（バッキング材料１２’）の別個の部分６２上にクッション層１００を形成する準備ができている。同時に、活動１６０１では、クッション層１００を形成するためにちょうど使用されたマスタ１０３は、ターンテーブル８０を使用して取り除かれ、洗浄され、解放層４２およびクッション層材料１０４でコーティングされ、活動１６１８および１６２２を繰り返す。
【0051】
クッション層１００は、活動１６２６で、周面クランプ３８を持ち上げて、スタンプクッションチャック１０２に対してガラスの別個の部分６２用の周面を押し、真空を加えて、スタンプクッションチャック１０２の面表面に対してガラス２０’（バッキング材料１２’）の別個の部分を引っ張ることによって形成される。その後、ガラス２０’（バッキング材料２０’）のプライマーコーティングされた表面は、活動１６２６で液体の形のクッション材料層１０４と接触するように移動され、活動１６３０でクッション層１００内でクッション材料層１０４を硬化するように、スタンプクッションチャック１０２およびガラス２０’（バッキング材料２０’）を通してＵＶエネルギーおよび光を案内することによって活動１６３０で硬化され、上にクッション層１００を備えたガラス２０’（バッキング材料２０’）は活動１６３４でクッション層マスタ１０３から離れるように引かれる。
【0052】
上に形成されたクッション層１００をちょうど有するガラス２０’（バッキング材料１２’）の一部分がクッション層マスタ１０３から引かれると、スタンプクッションチャック１０２内の通路中の真空が解放され、周面クランプ３８が引き出され、ストックロール７０および巻取ロール７３は、スタンプクッションチャック１０２とスタンプクッションチャック１０２に面するクッション層マスタ１０３の現在のまたは予測される位置の間の位置までガラス２０’（バッキング材料２０’）の新しい部分をインデックスするように移動され、上にクッション層を有するガラス２０’（バッキング材料１２’）の別個の部分は、活動１６４０でスタンプチャック３２とマスタチャック４０の間の領域に同時に移動される。
【0053】
マスタスタンプテンプレート３０が活動１６５８で解放層４２のコーティングを、活動１６６２でその上のパターニング層材料４４の層、例えば液体ＰＤＭＳの層を受けると、マスタスタンプテンプレート３０は、活動１６６４でスタンプチャック３２の面バッキング材料チャッキング表面に面し、これに適切に配列されるように、活動１６６３でマスタチャック４０に位置決めされるようにターンテーブル８０によってインデックスされる。
【0054】
スタンププレフォーム１０’のパターン化された層１８は、ガラス２０’（バッキング材料２０’）の部分の下の位置から周面クランプ３８を持ち上げて、スタンプチャック３２の周面に対して上でほぼ中心にされたクッション層１００を有するガラス２０’（バッキング材料１２’）の別個の部分の周面に沿って延び、これを押し、活動１６５５でスタンプチャック３２内で通路５２ａ～ｃに真空を加えて、そこに対してスタンプを引っ張ることによって形成される。その後、パターン化された層１８の製造は図３から５に図示し、これに関して本明細書に記載するのと同様の順にしたがい、クッション層１００は、活動１６６６においてパターン材料層４４に接触して移動され、パターン材料層４４は、活動１６７０で、スタンプチャック３２およびガラス２０’（バッキング材料２０’）並びにクッション層１００を通って、パターン材料層４４内へ、ＵＶエネルギーまたは光を案内することによって硬化される。パターン材料層４４が硬化されてパターン化された層１８を形成すると、上にクッション層１００およびパターン化された層１８を備えたガラス２０’（バッキング材料２０’）は、活動１６７４でマスタ２０から離れるように引かれる。
【0055】
上に形成されたパターン化された層をちょうど有するクッション層１００の一部分がマスタ２０から引かれると、通路内の真空が解放され、ストックロール７０および巻取ロール７３は、活動１６００でガラス２０’（バッキング材料１２’）を移動することによって、スタンプチャック３２とスタンプチャック３２に面するマスタ２０の現在のまたは予測される位置の間の位置まで新しいクッション層１００、およびスタンプクッションチャック１０２に面するマスタクッションチャックの間でガラス２０’（バッキング材料１２’）のプライマー層２６でコーティングされた別個の部分を同時にインデックスするようにストックロール７０および巻取ロール７３が移動され、プロセスが繰り返される。
【0056】
前述は本開示の実施形態を対象としているが、開示の他のおよび別の実施形態は、その基本的範囲から逸脱することなく考えられてもよく、その範囲は以下の特許請求の範囲によって判断される。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図4A】
【図4B】
【図4C】
【図5】
【図6】
【図7】
【図7A】
【図8】
【図8A】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16A】
【図16B】
【図17】
【図18】