特許 7509323 液中微粒子計測システム、液中微粒子計測方法および中空糸脱気モジュール

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-06-24

(45)【発行日】2024-07-02

(54)【発明の名称】液中微粒子計測システム、液中微粒子計測方法および中空糸脱気モジュール

(51)【国際特許分類】

   G01N 15/06 20240101AFI20240625BHJP

   B01D 61/00 20060101ALI20240625BHJP

   B01D 63/00 20060101ALI20240625BHJP

   B01D 63/02 20060101ALI20240625BHJP

   B01D 69/00 20060101ALI20240625BHJP

   B01D 69/02 20060101ALI20240625BHJP

   B01D 71/26 20060101ALI20240625BHJP

   B01D 71/32 20060101ALI20240625BHJP

   B01D 71/36 20060101ALI20240625BHJP

【ＦＩ】

G01N15/06 E

B01D61/00

B01D63/00 500

B01D63/02

B01D69/00

B01D69/02

B01D71/26

B01D71/32

B01D71/36

【請求項の数】 9

(21)【出願番号】P 2023538763

(86)(22)【出願日】2022-10-20

(86)【国際出願番号】 JP2022039121

(87)【国際公開番号】W WO2023074528

(87)【国際公開日】2023-05-04

【審査請求日】2023-06-22

(31)【優先権主張番号】P 2021174569

(32)【優先日】2021-10-26

(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP

【早期審査対象出願】

(73)【特許権者】

【識別番号】000002886

【氏名又は名称】ＤＩＣ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100149445

【弁理士】

【氏名又は名称】大野 孝幸

(74)【代理人】

【識別番号】100163290

【弁理士】

【氏名又は名称】岩本 明洋

(74)【代理人】

【識別番号】100214673

【弁理士】

【氏名又は名称】菅谷 英史

(74)【代理人】

【識別番号】100186646

【弁理士】

【氏名又は名称】丹羽 雅裕

(72)【発明者】

【氏名】川島 和保

(72)【発明者】

【氏名】佐藤 明

(72)【発明者】

【氏名】大井 和美

(72)【発明者】

【氏名】小山 真奈

【審査官】前田 敏行

(56)【参考文献】

【文献】特開２００２－１６８７６５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００８－０７３６４１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０８－１５０３０２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００４－０１６９０５（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｇ０１Ｎ １５／０６

Ｂ０１Ｄ ６１／００

Ｂ０１Ｄ ６３／００

Ｂ０１Ｄ ６３／０２

Ｂ０１Ｄ ６９／００

Ｂ０１Ｄ ６９／０２

Ｂ０１Ｄ ７１／２６

Ｂ０１Ｄ ７１／３２

Ｂ０１Ｄ ７１／３６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

液中微粒子計、及び、微粒子の計測を行う液の供給元と該液中微粒子計の液導入口との間の流路に接続された少なくとも一つの中空糸脱気モジュール、を有する液中微粒子計測システムであって、
前記中空糸脱気モジュールは、
密閉容器と、
前記密閉容器内に配置され、２本以上のチューブを結束して構成されるチューブユニットと、
前記密閉容器の液導入口に該密閉容器の内外を貫通して配置され、且つ、前記密閉容器と係合する第一コネクタ部と、
前記密閉容器の液排出口に該密閉容器の内外を貫通して配置され、且つ、前記密閉容器と係合する第二コネクタ部と、
を有し、
前記チューブ又は前記チューブユニットの一端部が、前記第一コネクタ部に気密に接続されており、
前記チューブ又は前記チューブユニットの他端部が、前記第二コネクタ部に気密に接続されており、
前記チューブが、アモルファスフロロポリマーで構成され、
前記チューブユニットは、複数のチューブと、複数のチューブの一方側の端部及び他方側の端部をそれぞれ結束する一対の結束部を備え、
前記結束部は、それぞれ、複数のチューブのそれぞれの端部に外嵌された外筒と、複数のチューブのそれぞれの端部と外筒との間に充填された封止部とを備え、
複数のチューブのそれぞれの端部が互いに離間している、
液中微粒子計測システム。

【請求項2】

前記第一コネクタ部または前記第二コネクタ部が、テトラフルオロエチレン及びパーフルオロ２，２－ジメチル－１，３－ジオキソールをコモノマーとする共重合体を含んでなる非晶質フッ素樹脂、四フッ化エチレン樹脂、ポリメチルペンテン樹脂から選択される１種又は複数種で構成され、
封止部は、複数のチューブのそれぞれの内部空間には充填されておらず、複数のチューブの間と、複数のチューブと外筒の間と、に充填されており、封止部の素材がフッ素樹脂、ポリプロピレン、シリコーン、ポリイミドまたはポリアミドである、請求項１記載の液中微粒子計測システム。

【請求項3】

前記チューブの接液面の表面粗さＲａが０．２５μｍ以下であり、かつ、気体透過係数が５×１０^－６〔ｃｍ^３・ｃｍ／ｃｍ^２・ｓｅｃ・ｃｍＨｇ〕～１×１０^－９〔ｃｍ^３・ｃｍ／ｃｍ^２・ｓｅｃ・ｃｍＨｇ〕の範囲である、請求項１記載の液中微粒子計測システム。

【請求項4】

前記第一コネクタ部は、第一貫通流路が形成された第一コネクタ部本体と、第一貫通流路の軸線方向に関して第一コネクタ部本体の一端部に設けられ、液の供給元側の流路が接続される第一凹部と、第一コネクタ部本体の他端部に設けられ、チューブユニットの一端部が接続される第二凹部と、第一コネクタ部本体の外周部に設けられた係合部と、を有する、請求項１記載の液中微粒子計測システム。

【請求項5】

前記第一コネクタ部は、
第一コネクタ部本体と密閉容器との間に配置された第一シール部、
第二凹部内に配置された第二シール部、及び、第一コネクタ部本体の他端部に設けられた切り欠き部と、当該切り欠き部に配置された環状の第三シール部、からなる群から選ばれる少なくとも１つのシール部を有する、請求項４記載の液中微粒子計測システム。

【請求項6】

前記第二コネクタ部は、第二貫通流路が形成された第二コネクタ部本体と、第二貫通流路の軸線方向に関して第二コネクタ部本体の一端部に設けられ、液中微粒子計の液導入口に接続する流路が接続される第一凹部と、第二コネクタ部本体の他端部に設けられ、チューブユニットの一端部が接続される第二凹部と、第二コネクタ部本体の外周部に設けられた係合部と、を有する、請求項１記載の液中微粒子計測システム。

【請求項7】

前記第二コネクタ部は、
第二コネクタ部本体と密閉容器との間に配置された第一シール部、
第二凹部内に配置された第二シール部、及び、第二コネクタ部本体の他端部に設けられた切り欠き部と、当該切り欠き部に配置された環状の第三シール部、からなる群から選ばれる少なくとも１つのシール部を有する、請求項６記載の液中微粒子計測システム。

【請求項8】

前記アモルファスフロロポリマーが、テトラフルオロエチレン及びパーフルオロ－２，２－ジメチル－１，３－ジオキソールをコモノマーとする共重合体を含んでなる非晶質フッ素樹脂である、請求項１記載の液中微粒子計測システム。

【請求項9】

前記請求項１～８の何れか一項に記載の液中微粒子計測システムを用いて、液中の微粒子を計測することを特徴とする、液中微粒子計測方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、液中微粒子計測システムおよびそれを用いた液中微粒子計測方法、該システムに用いる中空糸脱気モジュールに関する。

【背景技術】

【0002】

半導体業界や関連する材料業界等では、水や薬液等の液の清浄度管理に、光（レーザー光）の散乱方式を採用する液中微粒子計が、幅広く使用されている。特に、近年、半導体業界では、素子の微細化に伴い３０ｎｍ以下、さらには１０ｎｍオーダーの粒径の微粒子の管理が要求されている。しかし、そのような粒径の微粒子を液中微粒子計で測定すると、液中の溶存酸素等による気泡も微粒子と同様に光を散乱するため微粒子として計測されてしまう、誤計測（誤カウント）の問題が生じる。

【0003】

特許文献１には、被測定液体を、複数本が結束されたＰＦＡチューブユニットを用いて脱気する中空糸脱気モジュールと、脱気された被測定液体の液中微粒子を計測する液中微粒子計測手段とを備えた液中微粒子計測システムが記載されている。しかしながら、この装置に用いるＰＦＡチューブは、平滑性が優れるが脱気性能が低下するという問題があった。この接液面の平滑性と脱気性能とは背反する関係にあり、接液面の平滑性が低下すると微粒子残留を起こすことから、優れた平滑性を担保するために、チューブの有効長を長くする必要があった。

【0004】

また、特許文献１では、平滑性を内面の粗さＲｔ（粗さ曲線の最大断面高さであり、評価長さにおいて、輪郭曲線の山高さｚ_ｐの最大値と谷深さｚ_ｖの最大値との和）０．４μｍ以下の範囲と定義しているものの、当該Ｒｔ値はピーク値を利用するため、キズやごみ、測定ノイズなどの外乱の影響を受けやすいといった問題があり、必ずしも、当該範囲で優れた平滑性を担保できるわけではなかった。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【文献】特開２０２１－１５１１１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

そこで本発明が解決しようとする課題は、液中微粒子計測システムに用いる中空糸脱気モジュールであって、接液面との平滑性と脱気性能に伴に優れる中空糸脱気モジュールを提供することにある。さらに、本発明が解決しようとする課題は、このような中空糸脱気モジュールを用いて、被測定液体から気泡を効率よく取り除きつつ、かつ、接液面での微粒子残留を抑制することによって、誤計測（誤カウント）を抑制することが可能な、液中微粒子計測システムおよびそれを用いた液中微粒子計測方法を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明者らは、上記課題を解決するため鋭意検討を行った結果、テトラフルオロエチレン及びパーフルオロ－２，２－ジメチル－１，３－ジオキソールをコモノマーとする共重合体を含んでなる非晶質フッ素樹脂、ポリテトラフルオロエチレンまたはポリメチルペンテンを素材とするチューブを用いた中空糸脱気モジュールが上記課題を解決できることを見出し、本発明を完成するに至った。

【0008】

すなわち、本発明は、〔１〕液中微粒子計、及び、微粒子の計測を行う液の供給元と該液中微粒子計の液導入口との間の流路に接続された少なくとも一つの中空糸脱気モジュール、を有する液中微粒子計測システムであって、
前記中空糸脱気モジュールは、
密閉容器と、
前記密閉容器内に配置され、１本のチューブまたは２本以上のチューブを結束して構成されるチューブユニットと、
前記密閉容器の液導入口に該密閉容器の内外を貫通して配置され、且つ、前記密閉容器と係合する第一コネクタ部と、
前記密閉容器の液排出口に該密閉容器の内外を貫通して配置され、且つ、前記密閉容器と係合する第二コネクタ部と、
を有し、
前記チューブ又は前記チューブユニットの一端部が、前記第一コネクタ部に気密に接続されており、
前記チューブ又は前記チューブユニットの他端部が、前記第二コネクタ部に気密に接続されており、
前記チューブが、アモルファスフロロポリマー、ポリテトラフルオロエチレン、ポリメチルペンテンから選択される１種又は複数種で構成される、液中微粒子計測システムに関する。

【0009】

また本発明は、〔２〕前記第一コネクタ部または前記第二コネクタ部が、テトラフルオロエチレン及びパーフルオロ２，２－ジメチル－１，３－ジオキソールをコモノマーとする共重合体を含んでなる非晶質フッ素樹脂、四フッ化エチレン樹脂、ポリメチルペンテン樹脂から選択される１種又は複数種で構成される、上記〔１〕に記載の液中微粒子計測システムに関する。

【0010】

また本発明は、〔３〕前記チューブの接液面の表面粗さＲａが０．２５μｍ以下であり、かつ、気体透過係数が５×１０^－６〔ｃｍ^３・ｃｍ／ｃｍ^２・ｓｅｃ・ｃｍＨｇ〕～１×１０^－９〔ｃｍ^３・ｃｍ／ｃｍ^２・ｓｅｃ・ｃｍＨｇ〕の範囲である、上記〔１〕または〔２〕に記載の液中微粒子計測システムに関する。

【0011】

また本発明は、〔４〕前記第一コネクタ部は、第一貫通流路が形成された第一コネクタ部本体と、第一貫通流路の軸線方向に関して第一コネクタ部本体の一端部に設けられ、液の供給元側の流路が接続される第一凹部と、第一コネクタ部本体の他端部に設けられ、チューブユニットの一端部が接続される第二凹部と、第一コネクタ部本体の外周部に設けられた係合部と、を有する、上記〔１〕～〔３〕のいずれかに記載の液中微粒子計測システムに関する。

【0012】

また本発明は、〔５〕前記第一コネクタ部は、
第一コネクタ部本体と密閉容器との間に配置された第一シール部、
第二凹部内に配置された第二シール部、及び、第一コネクタ部本体の他端部に設けられた切り欠き部と、当該切り欠き部に配置された環状の第三シール部、からなる群から選ばれる少なくとも１つのシール部を有する、上記〔１〕～〔４〕のいずれかに記載の液中微粒子計測システムに関する。

【0013】

また本発明は、〔６〕前記第二コネクタ部は、第二貫通流路が形成された第二コネクタ部本体と、第二貫通流路の軸線方向に関して第二コネクタ部本体の一端部に設けられ、液中微粒子計の液導入口に接続する流路が接続される第一凹部と、第二コネクタ部本体の他端部に設けられ、チューブユニットの一端部が接続される第二凹部と、第二コネクタ部本体の外周部に設けられた係合部と、を有する、上記〔１〕～〔５〕のいずれかに記載の液中微粒子計測システムに関する。

【0014】

また本発明は、〔７〕前記第二コネクタ部は、
第二コネクタ部本体と密閉容器との間に配置された第一シール部、
第二凹部内に配置された第二シール部、及び、第二コネクタ部本体の他端部に設けられた切り欠き部と、当該切り欠き部に配置された環状の第三シール部、からなる群から選ばれる少なくとも１つのシール部を有する、上記〔１〕～〔６〕のいずれかに記載の液中微粒子計測システムに関する。

【0015】

また本発明は、〔８〕前記〔１〕～〔７〕のいずれかに記載の液中微粒子計測システムを用いて、液中の微粒子を計測することを特徴とする、液中微粒子計測方法に関する。

【0016】

さらに本発明は、〔９〕液中微粒子計測システムに用いる中空糸脱気モジュールであって、
密閉容器と、
前記密閉容器内に配置され、１本のチューブまたは２本以上のチューブを結束して構成されるチューブユニットと、
前記密閉容器の液導入口に該密閉容器の内外を貫通して配置され、且つ、前記密閉容器と係合する第一コネクタ部と、
前記密閉容器の液排出口に該密閉容器の内外を貫通して配置され、且つ、前記密閉容器と係合する第二コネクタ部と、
を有し、
前記チューブ又は前記チューブユニットの一端部が、前記第一コネクタ部に気密に接続されており、
前記チューブ又は前記チューブユニットの他端部が、前記第二コネクタ部に気密に接続されており、
前記チューブが、アモルファスフロロポリマー、ポリテトラフルオロエチレン、ポリメチルペンテンから選択される１種又は複数種で構成される、中空糸脱気モジュールに関する。

【発明の効果】

【0017】

本発明によれば、液中微粒子計測システムに用いる中空糸脱気モジュールであって、接液面との平滑性と脱気性能に伴に優れる中空糸脱気モジュールを提供することができる。さらに、本発明によれば、このような中空糸脱気モジュールを用いて、被測定液体から気泡を効率よく取り除きつつ、かつ、接液面での微粒子残留を抑制することによって、誤計測（誤カウント）を抑制することが可能な、液中微粒子計測システムおよびそれを用いた液中微粒子計測方法を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0018】

【図1】図１は、本発明の液中微粒子計測システムの一例を示す概念図である。

【図2】図２は、本発明の中空糸脱気モジュールの一例を示す概略断面図である。

【図3】図３（ａ）は、図２の第一コネクタ部の構成を示す拡大断面図であり、図３（ｂ）は、図２の第二コネクタ部の構成を示す拡大断面図である。

【図4】図４は、本発明で用いるチューブユニットの一例を示す概略斜視図である。

【図5】図５（ａ）は、図３（ａ）の第一コネクタ部の変形例を示す概略断面図であり、図５（ｂ）は、部分拡大断面図である。

【図6】図６（ａ）は、図３（ｂ）の第二コネクタ部の変形例を示す概略断面図であり、図６（ｂ）は、部分拡大断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0019】

以下、本発明の一実施形態について図面を参照しながら説明する。
図１は、本発明の液中微粒子計測システムの一例を示す概念図である。本発明の液中微粒子計測システム１は、液中微粒子計２、及び、微粒子の計測を行う液の供給元３と該液中微粒子計の液導入口との間の流路（４ａ、４ｂ）に接続された少なくとも一つの中空糸脱気モジュール５を有する。

【0020】

本発明で用いる液中微粒子計は、公知のものでよく、例えば、液に光を照射し、その光エネルギーの散乱や減少を検出することにより液中に含まれる微粒子の数をカウントする方式（光散乱方式）のものが挙げられる。

【0021】

本発明で用いる中空糸脱気モジュール５は、微粒子の計測を行う液の供給元３と該液中微粒子計２の液導入口との間の流路に接続される。また、中空糸脱気モジュール５には、微粒子の計測を行う液を脱気できるよう、脱気用の配管６ａを介して吸引ポンプ６が接続されている。

【0022】

図２は、中空糸脱気モジュールの一例を示す概略断面図である。図２に示すように、中空糸脱気モジュール５は、密閉容器９と、密閉容器９内に配置され、複数のチューブ７を結束して構成されるチューブユニット８と、密閉容器９の液導入口９ｃに密閉容器９の内外を貫通して配置され、且つ、密閉容器９と係合する第一コネクタ部１３と、密閉容器９の液排出口９ｄに密閉容器９の内外を貫通して配置され、且つ、密閉容器９と係合する第二コネクタ部１４と、を有している。中空糸脱気モジュール５は、複数のチューブ７により、密閉容器９内が、複数のチューブ７のそれぞれの内部空間（第一領域）と、複数のチューブ７の外側の空間（第二領域）と、に分けられている。第一領域は、液体が供給される領域であり、第二領域は吸気される領域である。そして、中空糸脱気モジュール５は、複数のチューブ７のそれぞれの内部空間（第一領域）に液体が供給されるとともに、複数のチューブ７の外側の空間（第二領域）から吸気されることで、液体を脱気する構造を有する。

【0023】

また、複数のチューブ７が両端部において結束されたチューブユニット８の断面は、各チューブが細密充填構造（ハチの巣状）を採用するものであることが好ましい。さらに、チューブユニット８の断面は、六角形をしていることがより好ましい。なお、チューブユニットの断面が六角形をしているとは、外側に配置された複数のチューブの中心を線で結んだ際（想像線）に、六角形をしていることを指す。従って、断面が六角形の場合のチューブ総数は、１／４×｛３（２ｎ＋１）^２＋１｝本で表される数であってよい。但し、式中、ｎは自然数であって、下限は１であり、上限は規定されないが、好ましくは６である。

【0024】

なお、上記実施形態では、チューブユニットを構成するチューブの数が複数本であるものとして説明したが、チューブユニットを構成するチューブの数は１本としてもよい。

【0025】

チューブ７は、気体を透過するが液体を透過しないチューブ状の膜である。本発明において使用するチューブ７の素材としては、例えば、ポリテトラフルオロエチレン（以下、ＰＴＦＥとも称する）、アモルファスフロロポリマー、ポリメチルペンテン（以下、ＰＭＰとも称する）から選択される１種又は複数種が挙げられる。アモルファスフロロポリマー（以下、「テフロン（登録商標）ＡＦ」とも称する）は、より詳しくは、テトラフルオロエチレン及びパーフルオロ－２，２－ジメチル－１，３－ジオキソールをコモノマーとする共重合体を含んでなる非晶質フッ素樹脂であってよい。これらは樹脂本来の平滑さを保ち、かつ気泡や気体の透過も良好であるため、有効長をより短くできる。このため、チューブ内での微粒子の滞留を抑制することができ、高精度の測定が可能となる。

【0026】

さらに、チューブがアモルファスフロロポリマーを素材とする場合、チューブ内径は０．０１５ｍｍ以上、１．０ｍｍ以下の範囲であることが好ましい。また、チューブ有効長は０．０１ｍ以上、１．５ｍ以下の範囲であることが好ましい。更に、チューブユニットを構成するチューブの数が１本で、チューブ内径が０．８ｍｍ以上、１．０ｍｍ以下の範囲がより好ましく、また、チューブユニットを構成するチューブの数が２本以上、３０本以下の範囲で、チューブ内径が０．０４５±０．０３ｍｍ以上、０．６８±０．０３ｍｍ以下の範囲がより好ましい。

【0027】

また、チューブがＰＴＦＥを素材とする場合、チューブユニットを構成するチューブの数が１０本以上、２０本以下の範囲で、チューブ内径が０．４ｍｍ以上、０．６ｍｍ以下の範囲で、有効長１ｍ以上、２ｍ以下の範囲であることが好ましい。また、チューブがＰＭＰを素材とする場合、チューブユニットを構成するチューブの数が１本で、チューブ内径が０．１ｍｍ以上、０．２ｍｍ以下の範囲で、有効長０．０１ｍ以上、１．５ｍ以下の範囲であることが好ましい。

【0028】

本発明に用いるチューブの被測定液体との接触面、すなわちチューブの接液面の算術平均粗さＲａは、０．２５μｍ以下であることが好ましく、０．１μｍ以下であることがより好ましく、０．０７μｍ以下であることが更に好ましく、０．０２μｍ以下であることが特に好ましい。本発明に用いるチューブは、上記素材を用いることで、このような優れた平滑性を有するため、外乱の影響等による誤計測（誤カウント）を抑制でき、好ましい。なお、算術平均粗さＲａは、ＩＳＯ４２８７：１９９７に準拠し、基準長さを２００μｍとし、本発明に用いるチューブの被測定液体との接触面を任意に１０本を選択して測定した値の数平均値とする。
また、本発明に用いるチューブの気体透過係数は、５×１０^－６〔ｃｍ^３・ｃｍ／ｃｍ^２・ｓｅｃ・ｃｍＨｇ〕以上、１×１０^－９〔ｃｍ^３・ｃｍ／ｃｍ^２・ｓｅｃ・ｃｍＨｇ〕以下の範囲であるのが好ましい。

【0029】

チューブユニット８は、複数のチューブ７の両端部が結束されて構成されていてもよい。つまり、チューブユニット８は、複数のチューブ７と、複数のチューブ７の一方側の端部及び他方側の端部をそれぞれ結束する一対の結束部１０ａ、１０ｂと、を備えていてもよい。なお、一対の結束部１０ａ、１０ｂは、密閉容器９に取り付けられる部位であってもよい。

【0030】

結束部１０ａ、１０ｂは、それぞれ、複数のチューブ７のそれぞれの端部に外嵌された外筒１１ａ、１１ｂと、複数のチューブ７のそれぞれの端部と外筒１１ａ、１１ｂとの間に充填された封止部１２ａ、１２ｂと、を備える構成であってよい。

【0031】

外筒１１ａ、１１ｂは、略円筒状に形成されて、結束部１０ａ、１０ｂの最外層を成す。外筒１１ａ、１１ｂは、密閉容器９に取り付けられる部位である。外筒１１ａ、１１ｂの素材としては、例えば、ＰＴＦＥ、アモルファスフロロポリマー、テトラフルオロエチレン－パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（以下、ＰＦＡとも称する）、テトラフルオロエチレン－ヘキサフルオロプロピレン共重合体（以下、ＦＥＰとも称する）、テトラフルオロエチレン－エチレン共重合体（以下、ＥＴＦＥとも称する）、ポリクロロトリフルオロエチレン（以下、ＰＣＴＦＥとも称する）、ポリフッ化ビニリデン（以下、ＰＶＤＦとも称する）等のフッ素樹脂、ＰＭＰ、ポリプロピレン（以下、ＰＰとも称する）等のオレフィン樹脂、シリコーン樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂などが挙げられる。外筒１１ａ、１１ｂは、チューブ７の素材と同じものを採用することが好ましい。

【0032】

封止部１２ａ、１２ｂは、複数のチューブ７の端部と外筒１１ａ、１１ｂとの間に充填されて、複数のチューブ７の端部を結束するとともに複数のチューブ７の端部と外筒１１ａ、１１ｂとの間を封止する。つまり、封止部１２ａ、１２ｂは、複数のチューブ７のそれぞれの内部空間には充填されておらず、複数のチューブ７の間と、複数のチューブ７と外筒１１ａ、１１ｂとの間と、に充填されている（図４参照）。このため、封止部１２ａ、１２ｂの端面からは、複数のチューブ７のそれぞれの内部空間のみが開放されている。封止部１２ａ、１２ｂの素材としては、外筒１１ａ、１１ｂで例示したいものと同様のものを用いることができる。例えば、ＰＴＦＥ、アモルファスフロロポリマー、ＰＭＰ、ＰＦＡ、ＦＥＰ、ＥＴＦＥ、ポリクロロトリフルオロエチレン（以下、ＰＣＴＦＥとも称する）、ポリフッ化ビニリデン（以下、ＰＶＤＦとも称する）等のフッ素樹脂、ポリプロピレン（以下、ＰＰとも称する）、シリコーン、ポリイミド、ポリアミドなどが挙げられる。チューブ７の素材と同じものを採用することが好ましい。

【0033】

本実施形態では、チューブユニット８（又はチューブ７）は、その一端部８ａが密閉容器９の液導入口９ｃに配置された第一コネクタ部１３に気密に接続され、チューブユニット８（又はチューブ７）の他端部８ｂが、前記密閉容器９の液排出口９ｄに配置された第二コネクタ部１４に気密に接続される。このような構造とすることで、密閉容器９と第一コネクタ部１３、第二コネクタ部１４との間の気密性を維持することができると共に、チューブユニット８（又はチューブ７）と第一コネクタ部１３、第二コネクタ部１４との間の高い気密性を長期間維持することができる。また、供給元と該液中微粒子計の液導入口との間の流路が密閉容器に直接接続されている構成と比較した場合、優れた気密性を実現することでき、加えて、第一、第二コネクタ部の設計の自由度が高く、更なる気密性の向上を容易に実現することができる。

【0034】

以下、図２に基づき、密閉容器９の一実施形態について説明する。密閉容器９は、容器本体９ａと、蓋部９ｂとを備える。
容器本体９ａは、チューブユニット８が収容される部位である。容器本体９ａは、一方の端面に開口を有する円筒状の容器である。蓋部９ｂは、容器本体９ａに気密に接合されて容器本体９ａの開口を塞ぐ蓋である。容器本体９ａに対する蓋部９ｂの接合は、例えば、溶着、螺合、嵌合等により行うことができる。なお、製造上の問題が無ければ、密閉容器９は、容器本体９ａと蓋部９ｂとに分けられておらず、一体的に形成されていてもよい。

【0035】

本実施形態では、蓋部９ｂには、第一コネクタ部１３及び第二コネクタ部１４が気密に接合されている。第一コネクタ部１３には、蓋部９ｂ（密閉容器９）の内外を貫通する第一貫通流路１５が形成されており、第二コネクタ部１４には、蓋部９ｂ（密閉容器９）の内外を貫通する第二貫通流路１６が形成されている。蓋部９ｂに対する第一コネクタ部１３及び第二コネクタ部１４の接合は、例えば、溶着、螺合、嵌合等により行うことができる。

【0036】

第一コネクタ部１３は、図３（ａ）に示すように、第一貫通流路１５が形成された第一コネクタ部本体１３１と、第一貫通流路１５の軸線方向に関して第一コネクタ部本体１３１の一端部１３１ａに設けられ、液の供給元３側の流路４ａが接続される第一凹部１３２と、第一コネクタ部本体１３１の他端部１３１ｂに設けられ、チューブユニット８の一端部８ａが接続される第二凹部１３３と、第一コネクタ部本体１３１の外周部に設けられた係合部１３４と、を有している。
また、第二コネクタ部１４は、図３（ｂ）に示すように、第二貫通流路１６が形成された第二コネクタ部本体１４１と、第二貫通流路１６の軸線方向に関して第二コネクタ部本体１４１の一端部１４１ａに設けられ、液中微粒子計２の液導入口側の流路４ｂが接続される第三凹部１４２と、第二コネクタ部本体１４１の他端部１４１ｂに設けられ、チューブユニット８の他端部８ｂが接続される第四凹部１４３と、第二コネクタ部本体１４１の外周部に設けられた係合部１４４とを有している。

【0037】

第一コネクタ部１３の第一凹部１３２には流路４ａが挿入されており、これらが接合されることにより、流路４ａと第一貫通流路１５とが連通される。この構造により、芯ズレを防ぐことができ、流路閉塞や圧力損失増加を防ぐことができる。また、第一コネクタ部１３の第二凹部１３３には、チューブユニット８の一端部８ａが結束部１０ａと共に挿入されており、第一コネクタ部本体１３１とチューブユニット８の一方の結束部１０ａとが気密に接合されることにより、第一コネクタ部１３とチューブユニット８とが気密に接続される。この構造により、芯ズレを防ぐことができ、流路閉塞や圧力損失増加を防ぐことができる。またこれにより、複数のチューブ７のそれぞれの内部空間と流路４ａとが第一貫通流路１５を介して連通される。係合部１３４は、例えば、チューブユニット８の一方の結束部１０ａと密閉容器９との間に配置された段付き部である。この段付き部は、例えば円筒状を有する第一コネクタ部本体１３１の軸線方向一端側の拡径部と、他端側の縮径部との間に形成されていてもよい。第一コネクタ部１３の上記構成により、第一コネクタ部１３と密閉容器９との間の気密性をより向上することができる。流路４ａに対する第一コネクタ部１３の接合は、例えば、溶着、螺合、嵌合等により行うことができる。また、チューブユニット８の一方の結束部１０ａに対する第一コネクタ部１３の接合は、例えば、溶着、螺合、嵌合等により行うことができる。

【0038】

第二コネクタ部１４の第三凹部１４２には流路４ｂが挿入されており、これらが接合されることにより、流路４ｂと第二貫通流路１６とが連通される。この構造により、芯ズレを防ぐことができ、流路閉塞や圧力損失増加を防ぐことができる。また、第二コネクタ部１４の第四凹部１４３には、チューブユニット８の他端部８ｂが結束部１０ｂと共に挿入されており、第二コネクタ部本体１４１とチューブユニット８の他方の結束部１０ｂとが気密に接合されることにより、第二コネクタ部１４とチューブユニット８とが気密に接続される。この構造により、芯ズレを防ぐことができ、流路閉塞や圧力損失増加を防ぐことができる。またこれにより、複数のチューブ７のそれぞれの内部空間と流路４ｂとが第二貫通流路１６を介して連通される。係合部１４４は、例えば、チューブユニット８の他方の結束部１０ｂと密閉容器９との間に配置された段付き部である。この段付き部は、例えば円筒状を有する第二コネクタ部本体１４１の軸線方向一端側の縮径部と、他端側の拡径部との間に形成されていてもよい。第二コネクタ部１４の上記構成により、第二コネクタ部１４と密閉容器９との間の気密性をより向上することができる。流路４ｂに対する第二コネクタ部１４の接合は、例えば、溶着、螺合、嵌合等により行うことができる。また、チューブユニット８の他方の結束部１０ｂに対する第二コネクタ部１４の接合は、例えば、溶着、螺合、嵌合等により行うことができる。

【0039】

第一コネクタ部１３は、テトラフルオロエチレン及びパーフルオロ－２，２－ジメチル－１，３－ジオキソールをコモノマーとする共重合体を含んでなる非晶質フッ素樹脂、四フッ化エチレン樹脂、ポリメチルペンテン樹脂から選択される１種又は複数種で構成されるのが好ましい。同様に、第二コネクタ部１４は、テトラフルオロエチレン及びパーフルオロ－２，２－ジメチル－１，３－ジオキソールをコモノマーとする共重合体を含んでなる非晶質フッ素樹脂、四フッ化エチレン樹脂、ポリメチルペンテン樹脂から選択される１種又は複数種で構成されるのが好ましい。
第一コネクタ部１３、第二コネクタ部１４は、チューブ７の素材と同じものを採用することが好ましく、さらに、結束部１０ａ、１０ｂを構成する外筒１１ａ、１１ｂ、及び／又は、封止部１２ａ、１２ｂの素材も同じものとすることがより好ましい。前記各部の素材を同じものとすることで線膨張係数を揃えることで密着性、気密性が向上するだけでなく、さらに、該第二凹部１３３に、該結束部１０ａが挿入される構造、または、第二凹部１４３に、該結束部１０ｂが挿入される構造であることと相まって、例えば、気温変化や圧力変化により素材に膨張や収縮などの変形が生じても互いに追従して接合面に隙間が生じることを防ぎ、それにより気泡が滞留することを防ぐなど、外乱の影響等による誤計測（誤カウント）を抑制できるため好ましい。

【0040】

容器本体９ａには、吸気口２０が形成されていてよい。吸気口２０は、密閉容器９内における複数のチューブ７の外側の空間から吸気するために、容器本体９ａに形成された開口である。吸気口２０には、密閉容器９内における複数のチューブ７の外側の空間と連通される配管６ａが接合されていてよい。このため、配管６ａに吸引ポンプ６を接続し、吸引ポンプ６により吸気口２０から吸気することで、密閉容器９内における複数のチューブ７の外側の空間を減圧できる。吸気口２０に対する配管６ａの接合は、例えば、溶着、螺合、嵌合等により行うことができる。

【0041】

このように構成される中空糸脱気モジュール５を用いて液体を脱気する場合は、配管６ａに接続された吸引ポンプ６により密閉容器９内における複数のチューブ７の外側の空間を吸気しながら、流路４ａに液体を供給するとともに、流路４ｂから液体を排出する。すると、流路４ａに供給された液体は、第一コネクタ部１３を介して複数のチューブ７のそれぞれの内部空間に供給される。このとき、密閉容器９内における複数のチューブ７の外側の空間は減圧された状態となっているため、液体が複数のチューブ７のそれぞれの内部空間を通過する際に、液体の溶存気体及び気泡が、複数のチューブ７のそれぞれを透過して、密閉容器９内における複数のチューブ７の外側の空間に引き込まれる。これにより、液体の脱気が行われる。そして、脱気された液体は、第二コネクタ部１４を介して流路４ｂに排出される。

【0042】

流路４ａ、４ｂはチューブであってよい。流路４ａ、４ｂは、テトラフルオロエチレン及びパーフルオロ－２，２－ジメチル－１，３－ジオキソールをコモノマーとする共重合体を含んでなる非晶質フッ素樹脂、四フッ化エチレン樹脂、ポリメチルペンテン樹脂から選択される１種又は複数種で構成されるのが好ましい。流路４ａ、４ｂはチューブ７の素材と同じものを採用することが好ましい。素材を同じにすることで線膨張係数を揃えることができ、さらに、該第一凹部１３２に該流路４ａが、また、第三凹部１４２に該流路４ｂが、挿入される構造であることから、例えば、気温変化や圧力変化といった素材に膨張や収縮などの変形が生じても、互いに追従して接合面に隙間が生じることを防ぎ、それにより気泡が滞留することを防ぐなど、外乱の影響等による誤計測（誤カウント）を抑制できるため好ましい。

【0043】

また、複数のチューブ７のそれぞれの端部が互いに離間している場合、複数のチューブ７のそれぞれの端部が封止部１２ａ、１２ｂで覆われた状態となる。これにより、複数のチューブ７のそれぞれの端部の界面から流体が漏れ出すのを抑制することができる。

【0044】

そして、本実施形態に係る中空糸脱気モジュール５では、吸気口２０から吸気しながら液導入口９ｃの第一貫通流路１５に液体を供給するとともに液排出口９ｄの第二貫通流路１６から液体を排出することで、第一貫通流路１５に供給された液体は、複数のチューブ７を通過する際に脱気されて、第二貫通流路１６から排出される。そして、上記のチューブユニット８を備えるため、複数のチューブ７の結束強度が向上する。これにより、中空糸脱気モジュール５の耐久性を向上できるとともに、第一貫通流路１５に供給された液体が複数のチューブ７の外側の空間に漏れ出すのを抑制できる。

【0045】

本発明の液中微粒子計測システムの動作を図１に基づき説明する。
液中微粒子計測システム１には、微粒子の計測を行う液（被測定液体）が、その供給元３から供給されるように構成されている。このような構成とすることにより、供給元３から液中微粒子計測システム１に、被測定液体が供給される。

【0046】

被測定液体としては、特に限定されないが、例えば、有機溶媒や、イオン交換水、純水、超純水等の水や、これらの水に酸、アルカリ、オゾン、界面活性剤、有機溶剤等を溶解させた機能性を付与した液体、超臨界水（圧力２２．１ＭＰａ以上、かつ温度３７４℃以上のもの。二酸化炭素を加えて、表面張力を極限まで低くした純水や、それを薬品とセットで用いてもよい）等が挙げられる。例えば、液晶パネルの製造装置の洗浄用に供給される液体や、シリコンウェハなどの半導体ウェハ製造装置の洗浄用もしくは加工切断用に供給される液体、好ましくは超純水であってよい。

【0047】

前記供給元３の上流側の構成は被測定液体の供給源である限り特に限定されないが、液の流れる配管から分岐させて、液の一部に対して微粒子の計測を行えるよう接続されていたり、貯留部に接続されていたり、また、高圧洗浄機等の加圧装置に接続されていてもよく、例えば、３ＭＰａ以上、２０ＭＰａ以下といった高圧化された液体（高圧液体）が供給されるようになっていてもよい。

【0048】

本発明の液中微粒子計測システム１は、供給元３から被測定液体の流路４ａを介して、中空糸脱気モジュール５の第一コネクタ部１３と接続するよう構成されている。このような構成とすることにより、供給元３から供給された被測定液体が、流路４ａを流れて、第一コネクタ部１３から中空糸脱気モジュール５内に供給される。

【0049】

中空糸脱気モジュールの密閉容器９には、脱気用の配管を介して真空ポンプ等の減圧ポンプが接続されるよう構成されている。これにより、減圧ポンプを駆動して、密閉容器９内（第二領域）から気体を密閉容器９外に送り出すことにより内圧を低下させて、チューブ７の接液面（第一領域）から被測定液体中の気泡や被測定液体中に溶存する気体が脱気される。

【0050】

本発明の液中微粒子計測システム１は、中空糸脱気モジュール５の第二コネクタ部１４から被測定液体の流路４ｂを介して、液中微粒子計２と接続するように構成されている。液中微粒子計２は、液中微粒子計２の液供給口から供給された被測定液体に光を照射し、その光エネルギーの散乱や減少を検出することにより液中に含まれる微粒子の数をカウントするように構成されており、供給された被測定液体に含まれる微粒子の数を計測して表示部に表示するようになっている。これにより中空糸脱気モジュール５で脱気された被測定液体は、第二コネクタ部１４から流路４ｂを介して、液中微粒子計２に送出されて、被測定液体に含まれる微粒子の数が計測される。本発明に用いる液中微粒子計２の定格流量は特に限定されないが、１１ｍＬ／ｍｉｎ以下であることが好ましく、さらに、１０．５ｍＬ／ｍｉｎ以下であることがより好ましく、そして、９．５ｍＬ／ｍｉｎ以上であることが好ましい。

【0051】

液中微粒子計２は、その液排出口から流路４ｃを介して、システム系外に被測定液体が送り出されるように構成されている。液中微粒子計２の液排出口から排出された被測定液体は、流路４ｃの途中に接続された送液ポンプにより、システムの下流側から吸引することによって、システム内を被測定液体が流れるように構成されていてもよい。送液ポンプに替えて、または送液ポンプと伴に、該液排出口の下流側に、さらに流路４ｃを介して、流量調整装置や圧力調整装置を接続して、流量や圧力を調整することもできる。液排出口から排出された被測定液体は、再び供給元の下流側に接続することもできるが、ドレインに廃棄されるようになっていてもよい。

【0052】

本発明の液中微粒子計測システム１は、例えば、液晶パネルの製造装置の洗浄用に供給される液体や、シリコンウェハなどの半導体ウェハ製造装置の洗浄用もしくは加工切断用に供給される液体、好ましくは超純水の中に含まれるパーティクルの数を計測する場合に用いることができる。

【0053】

図５（ａ）は、図３（ａ）の第一コネクタ部１３の変形例を示す概略断面図であり、図５（ｂ）は、部分拡大断面図である。
図５（ａ）及び図５（ｂ）に示すように、第一コネクタ部２３は、第一貫通流路１５が形成された第一コネクタ部本体２３１と、第一貫通流路１５の軸線方向に関して第一コネクタ部本体２３１の一端部２３１ａに設けられ、液の供給元３側の流路４ａが接続される第一凹部２３２と、第一コネクタ部本体２３１の他端部２３１ｂに設けられ、チューブユニット８の一端部８ａが接続される第二凹部２３３と、第一コネクタ部本体２３１の外周部に設けられた係合部２３４と、を有している。

【0054】

第一コネクタ部２３は、第一コネクタ部本体２３１と密閉容器９との間に配置されたＯリングなどの第一シール部２３５を有していてもよい。第一シール部２３５がＯリングで構成される場合、Ｏリングは第一コネクタ部本体２３１に形成された環状の溝部等に配置されるのが好ましい。第一シール部２３５の配置位置は、特に制限されないが、例えば蓋部９ｂの上方に設けることができる。これにより、第一コネクタ部２３と密閉容器９との間の気密性を更に向上することができる。Ｏリングの素材としては公知のものであればよく、例えば、ニトリルゴム、フッ素ゴム、シリコーンゴム、エチレンプロピレンゴム、クロロプレンゴム、ウレタンゴム、水素化ニトリルゴムなどのゴム、フッ素樹脂などが挙げられる。

【0055】

また、第一コネクタ部２３は、第二凹部２３３内に配置された第二シール部２３６を有していてもよい。第二シール部２３６は、例えばフェラルで構成することができる。この場合、例えば、第二凹部２３３に雌ネジ部、結束部１０ａを構成する外筒１１ａに雄ネジ部がそれぞれ設けられ、第二凹部２３３と外筒１１ａとで形成される螺合構造を有しているのが好ましい。上記フェラル及び螺合構造により、強固な接合が実現されると共に、第二シール部２３６の変形によって高い気密性が得られる。
更に、第一コネクタ部２３は、第一コネクタ部本体２３１の他端部２３１ｂに設けられた切り欠き部２３７と、当該切り欠き部２３７に配置された環状の第三シール部２３８とを有していてもよい。切り欠き部２３７の形態は、特に制限されないが、例えばＣ面取りであり、環状に形成されるのが好ましい。第三シール部２３８は、特に制限されず、接着剤などのエポキシ系樹脂や、ＰＦＡなどのフッ素樹脂をはじめとする樹脂材料で構成されてもよく、或いは、溶接金属などの金属で構成されてもよい。
上記のような構成により、第一コネクタ部２３とチューブユニット８との間の接合性、気密性を更に向上することができる。

【0056】

また、第一コネクタ部２３が、上記第一シール部、第二シール部、第三シール部のうちの一又は複数を有していてもよい。これにより、第一コネクタ部２３と密閉容器９との間の接合性、気密性、及び、第一コネクタ部とチューブユニット８との間の接合性、気密性を更に向上することができる。

【0057】

図６（ａ）は、図３（ｂ）の第二コネクタ部１４の変形例を示す概略断面図であり、図６（ｂ）は、部分拡大断面図である。
図６（ａ）及び図６（ｂ）に示すように、第二コネクタ部２４は、第二貫通流路１６が形成された第二コネクタ部本体２４１と、第二貫通流路１６の軸線方向に関して第二コネクタ部本体２４１の一端部２１ａに設けられ、液中微粒子計の液導入口に接続する流路４ｂが接続される第一凹部２４２と、第二コネクタ部本体２４１の他端部２４１ｂに設けられ、チューブユニット８の一端部８ｂが接続される第二凹部２４３と、第二コネクタ部本体２４１の外周部に設けられた係合部２４４と、を有している。

【0058】

第二コネクタ部２４は、第二コネクタ部本体２４１と密閉容器９との間に配置されたＯリングなどの第一シール部２４５を有していてもよい。第一シール部２４５がＯリングで構成される場合、Ｏリングは第二コネクタ部本体２４１に形成された環状の溝部等に配置されるのが好ましい。第一シール部２４５の配置位置は、特に制限されないが、例えば蓋部９ｂの上方に設けることができる。これにより、第二コネクタ部２４と密閉容器９との間の気密性を更に向上することができる。

【0059】

また、第二コネクタ部２４は、第二凹部２４３内に配置された第二シール部２４６を有していてもよい。第二シール部２４６は、例えばフェラルで構成することができる。この場合、例えば、第二凹部２４３に雌ネジ部、結束部１０ｂを構成する外筒１１ｂに雄ネジ部がそれぞれ設けられ、第二凹部２４３と外筒１１ｂとで形成される螺合構造を有しているのが好ましい。上記フェラル及び螺合構造により、強固な接合が実現されると共に、第二シール部２４６の変形によって高い気密性が得られる。
更に、第二コネクタ部２４は、第二コネクタ部本体２４１の他端部２４１ｂに設けられた切り欠き部２４７と、切り欠き部２４７に配置された環状の第三シール部２４８とを有していてもよい。切り欠き部２４７の形態は、特に制限されないが、例えばＣ面取りであり、環状に形成されるのが好ましい。第三シール部２４８は、特に制限されず、接着剤などのエポキシ系樹脂や、ＰＦＡなどのフッ素樹脂をはじめとする樹脂材料で構成されてもよく、或いは、溶接金属などの金属で構成されてもよい。
上記のような構成により、第二コネクタ部２４とチューブユニット８との間の接合性、気密性を更に向上することができる。

【0060】

また、第一コネクタ部２３と同様に、第二コネクタ部２４が、上記第一シール部、第二シール部、第三シール部のうちの一又は複数を有していてもよい。これにより、第二コネクタ部と密閉容器９との間の接合性、気密性、及び、第二コネクタ部とチューブユニット８との間の接合性、気密性を更に向上することができる。

【符号の説明】

【0061】

１・・・液中微粒子計測システム
２・・・液中微粒子計（パーティクルカウンター）
３・・・液体（被測定液体）の供給元
４ａ、４ｂ、４ｃ・・・流路
５・・・中空糸脱気モジュール
６・・・吸引ポンプ
６ａ・・・脱気用の配管
７・・・チューブ
８・・・チューブユニット
９・・・密閉容器
９ａ・・・容器本体
９ｂ・・・蓋部
９ｃ・・・液導入口
９ｄ・・・液排出口
１０ａ、１０ｂ・・・結束部
１１ａ、１１ｂ・・・外筒
１２ａ、１２ｂ・・・封止部
１３、２３・・・第一コネクタ部
１４・・・第二コネクタ部
１５・・・第一貫通流路
１６・・・第二貫通流路
２０・・・吸気口
１３１・・・第一コネクタ部本体
１３１ａ・・・一端部
１３１ｂ・・・他端部
１３２・・・第一凹部
１３３・・・第二凹部
１３４・・・係合部
１４１・・・第二コネクタ部本体
１４１ａ・・・一端部
１４１ｂ・・・他端部
１４２・・・第三凹部
１４３・・・第四凹部
１４４・・・係合部
２３１・・・第一コネクタ部本体
２３１ａ・・・一端部
２３１ｂ・・・他端部
２３２・・・第一凹部
２３３・・・第二凹部
２３４・・・係合部
２３５・・・第一シール部
２３６・・・第二シール部
２３７・・・切り欠き部
２３８・・・第三シール部
２４１・・・第二コネクタ部本体
２４１ａ・・・一端部
２４１ｂ・・・他端部
２４２・・・第一凹部
２４３・・・第二凹部
２４４・・・係合部
２４５・・・第一シール部
２４６・・・第二シール部
２４７・・・切り欠き部
２４８・・・第三シール部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】