特許 7509562 チャックテーブル

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-06-24

(45)【発行日】2024-07-02

(54)【発明の名称】チャックテーブル

(51)【国際特許分類】

   B24B 41/06 20120101AFI20240625BHJP

   H01L 21/304 20060101ALI20240625BHJP

   H01L 21/683 20060101ALI20240625BHJP

   B24B 7/04 20060101ALI20240625BHJP

【ＦＩ】

B24B41/06 L

H01L21/304 622H

H01L21/68 P

B24B7/04 A

【請求項の数】 5

(21)【出願番号】P 2020067449

(22)【出願日】2020-04-03

(65)【公開番号】P2021160067

(43)【公開日】2021-10-11

【審査請求日】2023-02-28

(73)【特許権者】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】110001014

【氏名又は名称】弁理士法人東京アルパ特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】久保 徹雄

(72)【発明者】

【氏名】山下 真司

【審査官】須中 栄治

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１７－０９２４１２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１１－０４０６３７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０４－１５２５１２（ＪＰ，Ａ）

【文献】中国特許出願公開第１０５３７４７３２（ＣＮ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ２４Ｂ４１／００－５１／００

Ｂ２４Ｂ７／００－７／０８

Ｂ２４Ｂ３７／３０

Ｈ０１Ｌ２１／３０４

Ｈ０１Ｌ２１／６８３

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

オリエンテーションフラットを有するウェーハの被研削面となる上面と相似形になるように該オリエンテーションフラットに対応して欠けた直線状の欠け部を形成した保持面を備え、該保持面の円弧状の外周の中心を環状の研削砥石が通過可能であり、該保持面の円弧状の外周の中心とウェーハの中心とを一致させ、かつ、該保持面とウェーハとの形を一致させ該保持面に保持されたウェーハの中心から外周に至る円弧状の砥石軌跡において該保持面の中心を軸に回転するウェーハを研削する研削加工に用いるチャックテーブルであって、
該保持面を有するポーラス部と、該保持面を露出させ該ポーラス部を収容する枠体と、を備え、
該砥石軌跡は、該保持面の円弧状の外周を通る際の該保持面での長さと該枠体の上面での長さとの比と、該保持面の直線状の欠け部を通る際の該保持面での長さと該枠体の上面での長さとの比とが均一になるように該枠体が形成されたチャックテーブル。

【請求項2】

オリエンテーションフラットを有するウェーハの被研削面となる上面と相似形になるように該オリエンテーションフラットに対応して欠けた直線状の欠け部を形成した保持面を備え、該保持面の円弧状の外周の中心を環状の研削砥石が通過可能であり、該保持面の円弧状の外周の中心とウェーハの中心とを一致させ、かつ、該保持面とウェーハとの形を一致させ該保持面に保持されたウェーハの中心から外周に至る円弧状の砥石軌跡において該保持面の中心を軸に回転するウェーハを研削する研削加工に用いるチャックテーブルであって、
該保持面を有するポーラス部と、該保持面を露出させ該ポーラス部を収容する枠体と、を備え、
該砥石軌跡は、
該保持面が保持する予定のウェーハの該オリエンテーションフラット以外の円弧状の外周を通る際の長さと、該保持面の円弧状の外周を通る際の該保持面での長さと該枠体の上面での長さとを合わせた長さとの第２の比と、該保持面が保持する予定のウェーハの該オリエンテーションフラットを通る際の長さと、該保持面の直線状の欠け部を通る際の該保持面での長さと該枠体の上面での長さとを合わせた長さとの第２の比とが均一になるように該枠体が形成されたチャックテーブル。

【請求項3】

該欠け部の一方の端側を通過する該砥石軌跡において該比が成立する該枠体の外周位置と、該欠け部の他方の端側を通過する該砥石軌跡において該比が成立する該枠体の外周位置と、を結ぶ直線を該枠体の外周の辺とする請求項１記載のチャックテーブル。

【請求項4】

該保持する予定のウェーハの該オリエンテーションフラットの一方の端側を通過する該砥石軌跡において該第２の比が成立する該枠体の外周位置と、該保持する予定のウェーハの該オリエンテーションフラットの他方の端側を通過する該砥石軌跡において該第２の比が成立する該枠体の外周位置と、を結ぶ直線を該枠体の外周の辺とする請求項２記載のチャックテーブル。

【請求項5】

前記保持面は、ウェーハの被研削面となる上面と同一形状で同一の大きさである請求項１、２、３、または４記載のチャックテーブル。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、オリエンテーションフラットを有するウェーハを保持するチャックテーブルに関する。

【背景技術】

【0002】

ウェーハを環状の砥石で研削する研削装置は、ウェーハをチャックテーブルの吸引力が伝達される保持面で吸引保持している。図８に示す従来のチャックテーブル３７（例えば、特許文献１参照）は、露出面である上面を保持面３７２とする円板のポーラス部３７０と、保持面３７２を露出してポーラス部３７０を収容する枠体３７３とで構成されている。

【0003】

そして、保持面３７２はウェーハ８０に形成された結晶方位を示すオリエンテーションフラット８０５に対応してウェーハ８０と同じ形状をしている。つまり、ポーラス部３７０の外周は、オリエンテーションフラット８０５に対応してフラットに欠けていて、これに対して、枠体３７３の外周は円なので、ポーラス部３７０の外周が欠けたところに対応する枠体３７３の上面は、枠体３７３のその他の上面よりも広くなっている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特開２０１２－１３４２７５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

このような特許文献１に開示されているような従来のチャックテーブル３７の上面、即ち、保持面３７２及び枠体３７３の上面を、回転する研削砥石の下面で研削することによって、研削砥石の下面に平行なチャックテーブル３７の上面を形成するセルフグラインドを行っている。

【0006】

セルフグラインド後の保持面３７２にウェーハ８０を吸引保持させ研削砥石でウェーハ８０を研削すると、ウェーハ８０の中心とウェーハ８０のオリエンテーションフラット８０５とを通る砥石軌跡Ｒ３７６の長さが、オリエンテーションフラット８０５を通らない砥石軌跡Ｒ３７７の長さに比べて短くなることから、オリエンテーションフラット８０５を通る砥石軌跡エリアにおいて、ウェーハ８０を研削砥石が保持面３７２に向かって押すウェーハ８０に掛かる研削圧力が増えて研削砥石がウェーハ８０をより研削することで、研削後のウェーハ８０のオリエンテーションフラット８０５に対応する部分の厚みが他の部分よりも薄くなるという問題がある。

【0007】

したがって、オリエンテーションフラット８０５を有するウェーハ８０を研削砥石で研削する際にウェーハ８０を吸引保持するチャックテーブルにおいては、ウェーハ８０を均一な厚みに研削することができるようにするという課題がある。

【課題を解決するための手段】

【0008】

上記課題を解決するための本発明は、オリエンテーションフラットを有するウェーハの被研削面となる上面と相似形になるように該オリエンテーションフラットに対応して欠けた直線状の欠け部を形成した保持面を備え、該保持面の円弧状の外周の中心を環状の研削砥石が通過可能であり、該保持面の円弧状の外周の中心とウェーハの中心とを一致させ、かつ、該保持面とウェーハとの形を一致させ該保持面に保持されたウェーハの中心から外周に至る円弧状の砥石軌跡において該保持面の中心を軸に回転するウェーハを研削する研削加工に用いるチャックテーブルであって、該保持面を有するポーラス部と、該保持面を露出させ該ポーラス部を収容する枠体と、を備え、該砥石軌跡は、該保持面の円弧状の外周を通る際の該保持面での長さと該枠体の上面での長さとの比と、該保持面の直線状の欠け部を通る際の該保持面での長さと該枠体の上面での長さとの比とが均一になるように該枠体が形成されたチャックテーブルである。

【0009】

また、上記課題を解決するための本発明は、オリエンテーションフラットを有するウェーハの被研削面となる上面と相似形になるように該オリエンテーションフラットに対応して欠けた直線状の欠け部を形成した保持面を備え、該保持面の円弧状の外周の中心を環状の研削砥石が通過可能であり、該保持面の円弧状の外周の中心とウェーハの中心とを一致させ、かつ、該保持面とウェーハとの形を一致させ該保持面に保持されたウェーハの中心から外周に至る円弧状の砥石軌跡において該保持面の中心を軸に回転するウェーハを研削する研削加工に用いるチャックテーブルであって、該保持面を有するポーラス部と、該保持面を露出させ該ポーラス部を収容する枠体と、を備え、該砥石軌跡は、該保持面が保持する予定のウェーハの該オリエンテーションフラット以外の円弧状の外周を通る際の長さと、該保持面の円弧状の外周を通る際の該保持面での長さと該枠体の上面での長さとを合わせた長さとの第２の比と、該保持面が保持する予定のウェーハの該オリエンテーションフラットを通る際の長さと、該保持面の直線状の欠け部を通る際の該保持面での長さと該枠体の上面での長さとを合わせた長さとの第２の比とが均一になるように該枠体が形成されたチャックテーブルである。

【0010】

該欠け部の一方の端側を通過する該砥石軌跡において該比が成立する該枠体の外周位置と、該欠け部の他方の端側を通過する該砥石軌跡において該比が成立する該枠体の外周位置と、を結ぶ直線を該枠体の外周の辺とするとよい。

【0011】

該保持する予定のウェーハの該オリエンテーションフラットの一方の端側を通過する該砥石軌跡において該第２の比が成立する該枠体の外周位置と、該保持する予定のウェーハの該オリエンテーションフラットの他方の端側を通過する該砥石軌跡において該第２の比が成立する該枠体の外周位置と、を結ぶ直線を該枠体の外周の辺とするとよい。

【0012】

本発明に係るチャックテーブルの保持面は、例えば、ウェーハの被研削面となる上面と同一形状で同一の大きさである。

【発明の効果】

【0013】

本発明に係るチャックテーブルは、オリエンテーションフラットを有するウェーハの被研削面となる上面と相似形（例えば、合同）になるようにオリエンテーションフラットに対応して欠けた直線状の欠け部を形成した保持面を備え、保持面の円弧状の外周の中心を環状の研削砥石が通過可能であり、保持面の円弧状の外周の中心とウェーハの中心とを一致させ、かつ、保持面とウェーハとの形を一致させ保持面に保持されたウェーハの中心から外周に至る円弧状の砥石軌跡においてウェーハを研削する研削加工に用いるチャックテーブルであって、保持面を有するポーラス部と、保持面を露出させポーラス部を収容する枠体と、を備え、砥石軌跡は、保持面での長さと枠体の上面での長さとの比が均一になるように枠体が形成されていることで、保持面に保持されたウェーハのオリエンテーションフラットを通る砥石軌跡エリアにおいても、ウェーハに掛かる研削圧力が増加してしまうことが無くなり、研削後のウェーハを均一な厚みにすることが可能となる。

【0014】

また、本発明に係るチャックテーブルは、オリエンテーションフラットを有するウェーハの被研削面となる上面と相似形になるようにオリエンテーションフラットに対応して欠けた直線状の欠け部を形成した保持面を備え、保持面の円弧状の外周の中心を環状の研削砥石が通過可能であり、保持面の円弧状の外周の中心とウェーハの中心とを一致させ、かつ、保持面とウェーハとの形を一致させ保持面に保持されたウェーハの中心から外周に至る円弧状の砥石軌跡においてウェーハを研削する研削加工に用いるチャックテーブルであって、保持面を有するポーラス部と、保持面を露出させポーラス部を収容する枠体と、を備え、砥石軌跡は、保持面が保持する予定のウェーハの上面での長さと、チャックテーブルの上面となる保持面での長さと枠体の上面での長さとを合わせた長さと、の第２の比が均一になるように枠体が形成されていることで、保持面に保持されたウェーハのオリエンテーションフラットを通る砥石軌跡エリアにおいても、ウェーハに掛かる研削圧力が増加してしまうことが無くなり、研削後のウェーハを均一な厚みにすることが可能となる。

【0015】

また、本発明に係るチャックテーブルは、オリエンテーションフラットを有するウェーハの被研削面となる上面と相似形（例えば、合同）になるようにオリエンテーションフラットに対応して欠けた直線状の欠け部を形成した保持面を備え、保持面の円弧状の外周の中心を環状の研削砥石が通過可能であり、保持面の円弧状の外周の中心とウェーハの中心とを一致させ、かつ、保持面とウェーハとの形を一致させ保持面に保持されたウェーハの中心から外周に至る円弧状の砥石軌跡においてウェーハを研削する研削加工に用いるチャックテーブルであって、保持面を有するポーラス部と、保持面を露出させポーラス部を収容する枠体と、を備え、該保持面の円弧状の外周を通る際の砥石軌跡の保持面での長さと枠体の上面での長さとの比を用いて、欠け部の一方の端を通過する砥石軌跡において比が成立する枠体の外周位置と、欠け部の他方の端を通過する砥石軌跡において比が成立する枠体の外周位置と、を結ぶ直線を枠体の外周の辺とすることで、保持面に保持されたウェーハのオリエンテーションフラットを通る砥石軌跡エリアにおいても、ウェーハに掛かる研削圧力が増加することが無くなり、研削後のウェーハを均一な厚みにすることが可能となる。

【0016】

また、本発明に係るチャックテーブルは、オリエンテーションフラットを有するウェーハの被研削面となる上面と相似形になるようにオリエンテーションフラットに対応して欠けた直線状の欠け部を形成した保持面を備え、保持面の円弧状の外周の中心を環状の研削砥石が通過可能であり、保持面の円弧状の外周の中心とウェーハの中心とを一致させ、かつ、保持面とウェーハとの形を一致させ保持面に保持されたウェーハの中心から外周に至る円弧状の砥石軌跡においてウェーハを研削する研削加工に用いるチャックテーブルであって、保持面を有するポーラス部と、保持面を露出させポーラス部を収容する枠体と、を備え、保持面の円弧状の外周を通る際の砥石軌跡の保持面が保持する予定のウェーハの上面での長さと、砥石軌跡のチャックテーブルの上面となる保持面での長さと枠体の上面での長さとを合わせた長さと、の第２の比を用いて、保持する予定のウェーハのオリエンテーションフラットの一方の端を通過する砥石軌跡において第２の比が成立する枠体の外周位置と、保持する予定のウェーハのオリエンテーションフラットの他方の端を通過する砥石軌跡において第２の比が成立する枠体の外周位置と、を結ぶ直線を枠体の外周の辺とすることで、保持面に保持されたウェーハのオリエンテーションフラットを通る砥石軌跡エリアにおいても、ウェーハに掛かる研削圧力が増加することが無くなり、研削後のウェーハを均一な厚みにすることが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【0017】

【図1】実施形態１のチャックテーブルを備える研削装置の一例を示す斜視図である。

【図2】実施形態１のチャックテーブルを示す分解斜視図である。

【図3】実施形態１のチャックテーブルを示す斜視図である。

【図4】保持面の円弧状の外周を通る際の砥石軌跡の保持面が保持予定のウェーハの上面での長さと、砥石軌跡のチャックテーブルの保持面での長さと枠体の上面での長さとを合わせた長さと、の第２の比を用いて、保持予定のウェーハのオリエンテーションフラットの一方の端を通過する砥石軌跡において第２の比が成立する枠体の外周位置と、保持予定のウェーハのオリエンテーションフラットの他方の端を通過する砥石軌跡において第２の比が成立する枠体の外周位置と、を結ぶ直線を枠体の外周の辺とする実施形態１のチャックテーブルを説明する平面図である。

【図5】実施形態１のチャックテーブルの改良前のチャックテーブルを説明する平面図である。

【図6】実施形態１のチャックテーブル、実施形態２のチャックテーブル、実施形態３のチャックテーブル、及び実施形態４のチャックテーブルのそれぞれの枠体の外周の辺を説明するための平面図である。

【図7】実施形態１のチャックテーブル、実施形態２のチャックテーブル、実施形態３のチャックテーブル、及び実施形態４のチャックテーブルのそれぞれの枠体の外周の辺を説明するための図６の一部を拡大した平面図である。

【図8】ウェーハを保持する従来のチャックテーブルを説明する平面図である。

【発明を実施するための形態】

【0018】

図１に示す研削装置１は、研削手段１６によって本発明に係る実施形態１のチャックテーブル３に保持されたウェーハ８０を研削する装置である。研削装置１のベース１０上の前方（－Ｙ方向側）は、チャックテーブル３に対してウェーハ８０の搬入出が行われる領域である搬入出領域１００となっており、ベース１０上の後方（＋Ｙ方向側）は、研削手段１６によってチャックテーブル３上に保持されたウェーハ８０の研削加工が行われる領域である研削領域１０１となっている。
なお、本発明に係る加工装置は、研削手段として粗研削手段と仕上げ研削手段との２軸備え、回転するターンテーブルでウェーハ８０を保持したチャックテーブル３を各研削手段の下方に位置付ける構成となっていてもよい。

【0019】

図１に示すウェーハ８０は、本実施形態においては、シリコン母材等からなる略円形の半導体ウェーハであり、図１においては下方を向いているウェーハ８０の表面８０１は、複数のデバイスが形成されており、図示しない保護テープが貼着されて保護されている。ウェーハ８０の上側を向いている裏面、即ち上面８０２は、研削加工が施される被研削面８０２となる。なお、ウェーハ８０はシリコン以外にガリウムヒ素、サファイア、窒化ガリウム、樹脂、セラミックス、又はシリコンカーバイド等で構成されていてもよい。
ウェーハ８０には、図１に示すように、外周部分に結晶方位を示すマークである直線のオリエンテーションフラット８０５が外周の一部を、外周の接線方向に平行にフラットに切欠くことで形成されている。

【0020】

研削装置１のベース１０の正面側（－Ｙ方向側）には、複数のウェーハ８０を棚状に収容可能なカセットを載置する第１のカセットステージ１５０及び第２のカセットステージ１５１が設けられており、第１のカセットステージ１５０には複数の加工前のウェーハ８０が棚状に収容される第１のカセット２１が載置され、第２のカセットステージ１５１には複数の加工後のウェーハ８０が棚状に収容される第２のカセット２２が載置される。

【0021】

第１のカセット２１の＋Ｙ方向側の開口の後方には、第１のカセット２１から加工前のウェーハ８０を搬出するとともに加工後のウェーハ８０を第２のカセット２２に搬入するロボット１５５が配設されている。ロボット１５５に隣接する位置には、仮置きテーブル１５２が設けられており、仮置きテーブル１５２に仮置きされた研削加工前のウェーハ８０は、図１に示す撮像手段１５３によって撮像され、形成された撮像画像を元にオリエンテーションフラット８０５の位置、及びウェーハ８０の中心位置が研削装置１の図示しない制御手段によって認識される。

【0022】

仮置きテーブル１５２と隣接する位置には、ウェーハ８０を保持した状態で旋回するローディングアーム１５４が配置されている。ローディングアーム１５４は、仮置きテーブル１５２においてオリエンテーションフラット８０５の位置が把握されたウェーハ８０を保持し、近傍に位置づけられたチャックテーブル３へ搬送する。ローディングアーム１５４の隣には、加工後のウェーハ８０を保持した状態で旋回するアンローディングアーム１５７が設けられている。アンローディングアーム１５７と近接する位置には、アンローディングアーム１５７により搬送された加工後のウェーハ８０を洗浄する枚葉式の洗浄手段１５６が配置されている。洗浄手段１５６により洗浄・乾燥されたウェーハ８０は、ロボット１５５により第２のカセット２２に搬入される。

【0023】

研削領域１０１の後方（＋Ｙ方向側）には、コラム１２が立設されており、コラム１２の－Ｙ方向側の前面には研削手段１６とチャックテーブル３とを相対的に保持面３０２に垂直なＺ軸方向（鉛直方向）に研削送りする研削送り手段１７が配設されている。研削送り手段１７は、Ｚ軸方向の軸心を有するボールネジ１７０と、ボールネジ１７０と平行に配設された一対のガイドレール１７１と、ボールネジ１７０の上端に連結しボールネジ１７０を回動させるモータ１７２と、内部のナットがボールネジ１７０に螺合し側部がガイドレール１７１に摺接する昇降板１７３と、昇降板１７３に連結され研削手段１６を保持するホルダ１７４とを備えており、モータ１７２がボールネジ１７０を回動させると、これに伴い昇降板１７３がガイドレール１７１にガイドされてＺ軸方向に往復移動し、ホルダ１７４に保持された研削手段１６がＺ軸方向に研削送りされる。

【0024】

チャックテーブル３に保持されたウェーハ８０を研削加工する研削手段１６は、軸方向がＺ軸方向である回転軸１６０と、回転軸１６０を回転可能に支持するハウジング１６１と、回転軸１６０を回転駆動するモータ１６２と、回転軸１６０の下端に接続された円環状のマウント１６３と、マウント１６３の下面に着脱可能に装着された研削ホイール１６４とを備える。

【0025】

研削ホイール１６４は、ホイール基台１６５と、ホイール基台１６５の底面に環状に配設された略直方体形状の複数の研削砥石１６６とを備える。研削砥石１６６は、例えば、所定のバインダー等で研削砥粒等が固着されて成形されている。本実施形態において、研削ホイール１６４は、研削砥石１６６間に所定の隙間を設けたセグメント配列のものとなっているが、一本の環状の輪である研削砥石を備えるコンテニュアス配列のものであってもよい。

【0026】

回転軸１６０の内部には、研削水の通り道となる図示しない流路が回転軸１６０の軸方向（Ｚ軸方向）に貫通して形成されている。この流路はマウント１６３を通り、ホイール基台１６５の底面において研削砥石１６６に向かって研削水を噴出できるように開口している。

【0027】

ウェーハ８０を研削する際の高さ位置まで下降した研削ホイール１６４の近傍となる位置には、例えば、研削中においてウェーハ８０の厚さを接触式にて測定する厚さ測定手段５４が配設されている。

【0028】

研削装置１は、本発明に係るチャックテーブル３を備えている。以下、チャックテーブル３を実施形態１のチャックテーブル３とする。そして、ウェーハ８０の研削加工に用いられる図１に示すチャックテーブル３の構造を、図２の分解斜視図を用いて説明する。

【0029】

チャックテーブル３は、板状のポーラス部３０と、ポーラス部３０の保持面３０２を露出させポーラス部３０を収容する枠体３１とを備えている。

【0030】

ポーラス部３０は、例えば、ポーラスセラミックス、ポーラスメタル、多孔質ポリテトラフルオロエチレン、又はポーラスカーボン等で構成されており、その外形が円形のポーラス板の外周部分を外周の接線方向に平行に直線的に一部切欠いた形状となっている。そして、ポーラス部３０の上面であり、枠体３１から露出する露出面は、オリエンテーションフラット８０５を有するウェーハ８０の被研削面８０２と相似形、即ち、例えば、ウェーハ８０と同一形状でウェーハ８０よりも僅かに小さく（又は、大きく）なるようにオリエンテーションフラット８０５に対応して欠けた欠け部３０３を形成した保持面３０２となる。または、例えば、ポーラス部３０の上面であり、枠体３１から露出する露出面は、オリエンテーションフラット８０５を有するウェーハ８０の被研削面８０２と相似形のうち、特に同一形状で同一の大きさ、即ち、合同になるようにオリエンテーションフラット８０５に対応して欠けた欠け部３０３を形成した保持面３０２となってもよい。

【0031】

そして、保持面３０２の外周は、円弧状の外周３０４と、直線状の欠け部３０３とで構成される。また、セルフグラインドを行うことにより、保持面３０２は、保持面３０２の中心３０２２を頂点とし肉眼では判断できない程度の極めてなだらかな円錐斜面となっている。

【0032】

保持面３０２の中心３０２２は、保持面３０２の外周のうち円弧状の外周３０４から等距離にある保持面３０２上の一点（中心）である。即ち、保持面３０２の中心３０２２とは、仮に保持面３０２に欠け部３０３が形成されておらず、保持面３０２が真円である場合における円中心である。

【0033】

枠体３１は、例えば、ステンレス合金、アルミニウム合金、やチタン合金等、又はセラミックスで構成されており、外形が平面視円形に形成されている枠体基部３１１と、枠体基部３１１の上面の外周側の領域に所定の高さで立設する環状壁３１２とを備えている。そして、環状壁３１２の上面を、枠体３１の上面とする。

【0034】

環状壁３１２の内側の領域はポーラス部３０が収容される凹部３１５となっている。そして、凹部３１５にポーラス部３０が嵌合可能となっている。
枠体基部３１１には、周方向に一定の間隔をおいて複数（例えば４５度間隔で８つ）のボルト挿通穴３１１２が厚み方向（Ｚ軸方向）に向かって貫通形成されている。

【0035】

枠体３１の環状壁３１２のポーラス部３０の欠け部３０３に対応する部分の壁厚みは、その他の部分よりも厚く形成されている。また、枠体３１の該欠け部３０３に対応する部分の上面は、環状壁３１２が一部切り欠かれて段差が設けられており、枠体３１の円弧状の外周に対応する円弧状上面３１３と同じ高さにある欠け部対応上面３１４と、欠け部対応上面３１４よりも一段低い段差面３１６とを備えている。

【0036】

図２に示すように、枠体３１の凹部３１５の底面（枠体基部３１１の上面）には、枠体基部３１１の中心を中心とするように形成された１本の円環状の吸引溝３１５４と、枠体基部３１１の中心に重なる吸引孔３１５５とが形成されている。なお、枠体３１の凹部３１５に形成される吸引溝は、本実施形態に限定されるものではなく、凹部３１５の底面の中心を中心とする同心円状の複数の円環状の吸引溝３１５４から、周方向に均等に吸引溝３１５４同士を連結するように放射状に延びる連結溝がさらに形成されていてもよい。
円環状の吸引溝３１５４の底には、周方向に均等間隔を空けて吸引溝３１５４を図示しない真空発生装置等の吸引源に連通する吸引孔３１５７が、Ｚ軸方向に貫通形成されている。また、枠体３１の中心に貫通形成された吸引孔３１５５も、図示しない吸引源に連通している。

【0037】

図２に示すポーラス部３０が枠体３１の凹部３１５に嵌め込まれ、図示しない接着剤等によって両部材が接着され、図１、３に示すチャックテーブル３になった状態で、チャックテーブル３は、図１に示す研削装置１のベース１０内に位置する図示しないテーブルベースの上面に形成されたねじ穴とボルト挿通穴３１１２とを重ね合わせて、ボルト挿通穴３１１２を通した固定ボルトをテーブルベースのねじ穴に螺合させ締め付けることにより、研削装置１に配設された状態になる。

【0038】

図１に示すように、チャックテーブル３は、テーブルベースの下方にスピンドル及びモータ等からなるチャックテーブル回転手段５２が連結されており、チャックテーブル回転手段５２によりＺ軸方向の回転軸回りに回転可能となっている。
また、チャックテーブル３は、例えば、図示しない傾き調整手段によって研削砥石１６６の下面に対する保持面３０２の傾きを調整可能となっている。傾き調整手段は、例えば、テーブルベースの底面に周方向に等間隔空けて２つ以上設けられている。即ち、例えば該周方向に１２０度間隔で、２つの傾き調整手段と、テーブルベースを固定する図示しない支持柱とが配設されている。２つの傾き調整手段は、例えば、電動シリンダやエアシリンダ等である。

【0039】

研削装置１において、チャックテーブル３は、カバー５０によって周囲から囲まれており、カバー５０及びカバー５０に連結された蛇腹カバー５００の下方に配設された図示しないテーブル移動手段によって、ベース１０上をＹ軸方向に往復移動可能となっている。図示しないテーブル移動手段は、電動スライダーをＹ軸方向に直動させるボールネジ機構等である。

【0040】

図１に示す研削装置１において、ウェーハ８０をチャックテーブル３で吸引保持した状態で研削する場合においては、保持面３０２に形成された欠け部３０３とウェーハ８０のオリエンテーションフラット８０５とが合わせられ、かつ、ウェーハ８０の中心と保持面３０２の中心３０２２（保持面３０２の円弧状の外周３０４の中心３０２２）とが合致した状態で、チャックテーブル３がウェーハ８０を吸引保持する。また、セルフグラインドにより極めてなだらかな円錐斜面となっている保持面３０２が研削砥石１６６の下面である研削面に対して平行になるように、図示しない傾き調整手段によってチャックテーブル３の傾きが調整されることで、円錐斜面である保持面３０２にならって吸引保持されているウェーハ８０の被研削面８０２が、研削砥石１６６の研削面に対して平行になる。そして、図示しないテーブル移動手段がチャックテーブル３を＋Ｙ方向に移動させ、ウェーハ８０を保持したチャックテーブル３が、研削手段１６の研削ホイール１６４の回転中心が保持面３０２の円弧状の外周３０４の中心３０２２、即ち、ウェーハ８０の回転中心に対して所定距離だけ水平方向にずれ、図４に示すように、回転する研削砥石１６６の砥石軌跡Ｒ１が回転するチャックテーブル３の回転中心３０２２を通過可能にウェーハ８０が位置づけられる。そして、保持面３０２とウェーハ８０との形を一致させ保持面３０２に保持されたウェーハ８０の中心から外周に至る円弧状の砥石軌跡Ｒ１等においてウェーハ８０を研削する。なお、図４に示す例においては、保持面３０２は、ウェーハ８０の被研削面８０２と相似形であり、被研削面８０２よりも僅かに小さい大きさとなっているが、保持面３０２がウェーハ８０の被研削面８０２と同一形状で同一の大きさ、即ち、合同であってもよい。
なお、本実施形態においては、例えば、図１に示す研削砥石１６６の内周側の内刃の砥石軌跡を図４に示す砥石軌跡Ｒ１とする。

【0041】

本実施形態１の図３、４に示すチャックテーブル３において、図４に示す保持面３０２の円弧状の外周３０４を通る際の研削砥石１６６の砥石軌跡Ｒ１の保持面３０２での長さを長さＬ１とする。また、砥石軌跡Ｒ１の枠体３１の円弧状上面３１３での長さを長さＬ２とする。また、砥石軌跡Ｒ１の保持面３０２が保持する予定の破線で示すウェーハ８０の上面である被研削面８０２での長さを長さＬｗ１とする。そして、該長さＬｗ１と、該長さＬ１と該長さＬ２とを合わせた長さ（Ｌ１＋Ｌ２）との第２の比＝長さＬｗ１：長さ（Ｌ１＋Ｌ２）を用いて、図３に示すチャックテーブル３の枠体３１の環状壁３１２のポーラス部３０の欠け部３０３に対応する部分の壁厚み、即ち、該対応する部分の欠け部対応上面３１４の内周の辺３１４４と、外周の辺３１４５とが設定されている。

【0042】

即ち、実施形態１のチャックテーブル３は、図４に示すように、保持面３０２が保持する予定の破線で示すウェーハ８０の被研削面８０２の中心から外周に至る円弧状の砥石軌跡のうち、保持面３０２が保持する予定のウェーハ８０のオリエンテーションフラット８０５の一方の端８０５１（図４においては、－Ｘ方向側の端）を通過する砥石軌跡Ｒ２において、砥石軌跡Ｒ２の保持面３０２での長さを長さＬ３とし、砥石軌跡Ｒ２の枠体３１の上面での長さをＬ４とし、保持面３０２が保持する予定のウェーハ８０の被研削面８０２での砥石軌跡Ｒ２の長さを長さＬｗ２とした場合に、長さＬｗ２：長さ（Ｌ３＋Ｌ４）＝長さＬｗ１：長さ（Ｌ１＋Ｌ２）が成立する枠体３１の外周位置３１４６と、保持面３０２が保持する予定のウェーハ８０のオリエンテーションフラット８０５の他方の端８０５２（図４においては、＋Ｘ方向側の端）を通過する砥石軌跡Ｒ３において、砥石軌跡Ｒ３の保持面３０２での長さを長さＬ５とし、砥石軌跡Ｒ３の枠体３１の上面での長さをＬ６とし、保持面３０２が保持する予定のウェーハ８０の被研削面８０２での砥石軌跡Ｒ３の長さを長さＬｗ３とした場合に、長さＬｗ３：長さ（Ｌ５＋Ｌ６）＝長さＬｗ１：長さ（Ｌ１＋Ｌ２）が成立する枠体３１の外周位置３１４７と、を結ぶ直線を枠体３１の外周の辺３１４５としている。例えば、欠け部対応上面３１４のＹ軸方向における幅は、－Ｘ方向側から＋Ｘ方向側に向かって徐々に短くなっている。即ち、欠け部対応上面３１４の内周の辺３１４４は、凹部３１５に嵌合されたポーラス部３０の直線状の欠け部３０３と平行であるが、外周の辺３１４５は欠け部３０３と平行となっていない。

【0043】

本発明の発明者は、ウェーハ８０のオリエンテーションフラット８０５を通る砥石軌跡エリアにおいても、ウェーハ８０に掛かる研削圧力が他よりも増加してしまうことが無いようにするために、まず、図５に示すように、枠体３１の環状壁３１２のポーラス部３０の欠け部３０３に対応する部分の上面を、環状壁３１２が一部切り欠かれて段差を設け、枠体３１の円弧状の外周に対応する円弧状上面３１３と同じ高さにある欠け部対応上面３９５８と、欠け部対応上面３９５８よりも一段低い段差面とを備えるチャックテーブル３９５、即ち、本発明に係るチャックテーブル３の改良前の段階のチャックテーブルであるチャックテーブル３９５を作成した。改良する前の実験段階における該チャックテーブル３９５においては、本発明に係るチャックテーブル３とは異なり、欠け部対応上面３９５８の幅が一定で、枠体３１の上面の全周においてその幅が一定となっている。即ち、本発明に係るチャックテーブル３を改良する前の実験段階における該チャックテーブル３９５は、図８に示すチャックテーブル３７の枠体３７３のポーラス部３７０の欠け部３７５に対応する部分の上面よりも、面積の狭い欠け部対応上面３９５８を備えており、破線で示す保持する予定のウェーハ８０は、保持された状態においてオリエンテーションフラット８０５と欠け部対応上面３９５８の内周の辺及び外周の辺が平行となる。その他の構成は、本発明に係るチャックテーブル３と同様となっている。

【0044】

この改良前の図５に示すチャックテーブル３９５をセルフグラインドした後の保持面３９５６は、欠け部３０３を通る砥石軌跡エリアの保持面３９５６の高さＨ（図６参照）が、図６に示すように他のエリアより低くなる。図６は、本発明に係るチャックテーブル３、改良前のチャックテーブル３９５、及び図に示すチャックテーブル３７について、ウェーハ８０のオリエンテーションフラット８０５に対する各枠体の対応する部分を平面視で示すとともに、各保持面をセルフグラインドした場合の各保持面の高さを正面視で示した説明図である。なお、図６では、図５に示すチャックテーブル３９５のｂ１－ｂ２線断面を示しており、平面視で示すチャックテーブル３９５の枠体３１のウェーハ８０のオリエンテーションフラット８０５に対応する部分の外周の辺を二点鎖線で示している。図６に示すように、図８に示すチャックテーブル３７をセルフグラインドした後の保持面３７２は、図８に示す欠け部３７５を通る砥石軌跡エリアの保持面３７２の高さＨが、略一定であり平坦面となっている。なお、図６では、図８に示すチャックテーブル３７のｂ１－ｂ２線断面を示しており、平面視で示すチャックテーブル３７の枠体３７３のウェーハ８０のオリエンテーションフラット８０５に対応する部分の外周の辺を破線で示している。

【0045】

そのため、該セルフグラインド後の図５、６に示すチャックテーブル３９５の保持面３９５６で保持したウェーハ８０を研削すると、ウェーハ８０のオリエンテーションフラット８０５に対応する部分が、図１に示す研削砥石１６６の下面に対してより低くなった状態で研削が行われるため、研削後のウェーハ８０のオリエンテーションフラット８０５に対応する部分の厚みが、他の部分よりも薄くなる量を図８に示すチャックテーブル３７を用いた場合よりも小さくする事ができる。即ち、より研削後のウェーハ８０の平坦度を高めることができる。しかし、依然として、研削後のウェーハ８０のオリエンテーションフラット８０５に対応する部分の厚みが、他の部分よりも薄くなる傾向はある。

【0046】

即ち、例えば図５に示す－Ｘ方向側から＋Ｘ方向側に向かって複数の砥石軌跡Ｒ９０の長さが欠け部対応上面３９５８の幅が一定であることで長くなっていくことに伴って、欠け部３０３を通る砥石軌跡エリアの保持面３９５６のセルフグラインド後の高さＨが十分に下がらず、ウェーハ８０のオリエンテーションフラット８０５に対応する部分の保持面３９５６が－Ｘ方向側から＋Ｘ方向側に向かっていく途中で平坦になってしまうためである。これが、依然として、研削後のウェーハ８０のオリエンテーションフラット８０５に対応する部分の厚みが、他の部分よりも薄くなる傾向（より、多く削られる傾向）を生み出していると考えられる。

【0047】

これに対して、図４、図６に示す本実施形態１のチャックテーブル３をセルフグラインドした後の保持面３０２は、欠け部３０３を通る砥石軌跡エリアの保持面３０２の高さＨが、図６に示すように他のエリアより低くなる。なお、図６は、図４に示すチャックテーブル３のｂ１－ｂ２線断面を示している。さらに、欠け部３０３を通る砥石軌跡エリアの保持面３０２の、即ち、保持面３０２のウェーハ８０のオリエンテーションフラット８０５に対応する部分の高さＨが、図６にチャックテーブル３９５のセルフグラインド後の保持面３９５６と比較可能に示すように、－Ｘ方向側から＋Ｘ方向側に向かっていく途中で平坦とならない。これは、図４に示す保持面３０２に保持する予定のウェーハ８０のオリエンテーションフラット８０５の一方の端８０５１（図４においては、－Ｘ方向側の端）を通過する砥石軌跡Ｒ２において第２の比である長さＬｗ１：長さ（Ｌ１＋Ｌ２）＝長さＬｗ２：長さ（Ｌ３＋Ｌ４）が成立する枠体３１の外周位置３１４６と、保持面３０２に保持する予定のウェーハ８０のオリエンテーションフラット８０５の他方の端８０５２（図４においては、＋Ｘ方向側の端）を通過する砥石軌跡Ｒ３において第２の比である長さＬｗ１：長さ（Ｌ１＋Ｌ２）＝長さＬｗ３：長さ（Ｌ５＋Ｌ６）が成立する枠体３１の外周位置３１４７と、を結ぶ直線を枠体３１の外周の辺３１４５としているためである。そして、該セルフグラインド後のチャックテーブル３の保持面３０２で保持したウェーハ８０を研削すると、ウェーハ８０のオリエンテーションフラット８０５に対応する部分が、図１に示す研削砥石１６６の下面に対してより低くなった状態で研削が行われるため、研削後のウェーハ８０のオリエンテーションフラット８０５に対応する部分の厚みが、他の部分よりも薄くなる量を図８に示すチャックテーブル３７や図５に示すチャックテーブル３９５を用いた場合よりも小さくする事ができる。即ち、研削後のウェーハ８０の平坦度を、チャックテーブル３９５等を用いた場合よりもさらに高めることができる。

【0048】

上記のように本実施形態１のチャックテーブル３は、保持面３０２を有するポーラス部３０と、保持面３０２を露出させポーラス部３０を収容する枠体３１と、を備え、保持面３０２の円弧状の外周３０４を通る際の砥石軌跡の保持面３０２が保持する予定のウェーハ８０の上面である被研削面８０２の長さと、砥石軌跡のチャックテーブル３の上面となる保持面３０２での長さと枠体３１の上面での長さとを合わせた長さと、の第２の比を用いて、保持する予定のウェーハ８０のオリエンテーションフラット８０５の一方の端８０５１を通過する砥石軌跡において第２の比が成立する枠体３１の外周位置３１４６と、保持する予定のウェーハ８０のオリエンテーションフラット８０５の他方の端８０５２を通過する砥石軌跡において第２の比が成立する枠体３１の外周位置３１４７と、を結ぶ直線を枠体３１の外周の辺３１４５とすることで、オリエンテーションフラット８０５を通る砥石軌跡エリアにおいても、ウェーハ８０に掛かる研削圧力が増加することが無くなり、研削後のウェーハ８０を均一な厚みにすることが可能となる。
なお、本発明に係るチャックテーブル３は、例えば、保持面３０２の円弧状の外周３０４の半径を７４ｍｍとしている。また、枠体３１の円弧状の外周の半径を８４ｍｍとし、保持面３０２の円弧状の外周３０４の半径（７４ｍｍ）との差を１０ｍｍとしている。また、ウェーハ８０の半径は、例えば、７５ｍｍである。

【0049】

本発明に係るチャックテーブルは、上記実施形態１のチャックテーブル３に限定されるものではなく、以下に説明する図６、図７に一部を示す実施形態２のチャックテーブル３８、実施形態３のチャックテーブル３３、実施形態４のチャックテーブル３４であってもよい。

【0050】

実施形態２のチャックテーブル３８の実施形態１のチャックテーブル３との相違点を、以下に説明する。なお、以下に説明する相違点以外の構成は、実施形態１のチャックテーブル３と実施形態２のチャックテーブル３８とで同じである。図６においては、実施形態１のチャックテーブル３との相違点である実施形態２のチャックテーブル３８の欠け部対応上面３１４の外周の辺３８１を重点的に示している。
実施形態２のチャックテーブル３８は、図４に示すオリエンテーションフラット８０５を有するウェーハ８０の被研削面と合同になるようにオリエンテーションフラット８０５に対応して欠けた欠け部３０３を形成した保持面３０２を備え、保持面３０２の円弧状の外周３０４の中心３０２２を環状の研削砥石１６６が通過可能であり、保持面３０２の円弧状の外周３０４の中心３０２２とウェーハ８０の中心とを一致させ、かつ、保持面３０２とウェーハ８０との形を一致させ保持面３０２に保持されたウェーハ８０の中心（即ち、保持面３０２の中心３０２２）から外周に至る円弧状の砥石軌跡においてウェーハ８０を研削する研削加工に用いられ、保持面３０２を有するポーラス部３０と、保持面３０２を露出させポーラス部３０を収容する枠体３１と、を備え、砥石軌跡は、保持面３０２での長さと枠体３１の上面での長さとの比が均一になるように枠体３１が形成されたチャックテーブルである。より具体的には、チャックテーブル３８は、図４に示す砥石軌跡Ｒ１の保持面３０２での長さＬ１と枠体３１の円弧状上面３１３での長さＬ２との比と、例えば直線状の欠け部３０３を通過する図６に示す砥石軌跡Ｒ３２の保持面３０２での長さＬ３１と枠体３１の上面（欠け部対応上面３１４）での長さＬ３２の比と、例えば図６に示す砥石軌跡Ｒ３３の保持面３０２での長さＬ３３と枠体３１の欠け部対応上面３１４での長さＬ３４の比とが均一になるように枠体３１が形成されている。即ち、図４に示す長さＬ１：図４に示す長さＬ２＝長さＬ３１：長さＬ３２＝長さＬ３３：長さＬ３４が成立する。

【0051】

実施形態２のチャックテーブル３８の枠体３１の欠け部対応上面３１４のＹ軸方向における幅は、－Ｘ方向側から＋Ｘ方向側に向かって徐々に短くなっている。そして、チャックテーブル３８の枠体３１の欠け部対応上面３１４の外周の辺３８１は、図６、図７に示すように、実施形態１のチャックテーブル３の外周の辺３１４５と近似している。なお、図７においては、図６に示すｂ２線の近傍を拡大して示している。

【0052】

そして、本実施形態２のチャックテーブル３８をセルフグラインドした後の保持面３０２で保持したウェーハ８０（例えば、保持面３０２と合同である被研削面８０２を備えるウェーハ８０）を研削すると、実施形態１のチャックテーブル３の場合と略同様に、ウェーハ８０のオリエンテーションフラット８０５に対応する部分が、図１に示す研削砥石１６６の下面に対してより低くなった状態で研削が行われるため、研削後のウェーハ８０のオリエンテーションフラット８０５に対応する部分の厚みが他の部分よりも薄くなる量を、図８に示すチャックテーブル３７や図５に示すチャックテーブル３９５を用いた場合よりも小さくする事ができる。即ち、研削後のウェーハ８０の平坦度をチャックテーブル３９５等よりもさらに高めることができる。

【0053】

このように、本実施形態２のチャックテーブル３８は、オリエンテーションフラット８０５を通る砥石軌跡エリアにおいても、ウェーハ８０に掛かる研削圧力が増加してしまうことが無くなり、研削後のウェーハ８０を均一な厚みにすることが可能となった。

【0054】

実施形態３のチャックテーブル３３の実施形態１のチャックテーブル３との相違点を、以下に説明する。なお、以下に説明する相違点以外の構成は、実施形態１のチャックテーブル３と実施形態３のチャックテーブル３３とで同じである。図６においては、実施形態１のチャックテーブル３との相違点である実施形態３のチャックテーブル３３の欠け部対応上面３１４の外周の辺３３４を重点的に示している。
実施形態３のチャックテーブル３３は、図４に示すオリエンテーションフラット８０５を有するウェーハ８０の被研削面と同じ形になるようにオリエンテーションフラット８０５に対応して欠けた欠け部３０３を形成した保持面３０２を備え、保持面３０２の円弧状の外周３０４の中心３０２２を環状の研削砥石１６６が通過可能であり、保持面３０２の円弧状の外周３０４の中心３０２２とウェーハ８０の中心とを一致させ、かつ、保持面３０２とウェーハ８０との形を一致させ保持面３０２に保持されたウェーハ８０の中心（即ち、保持面３０２の中心３０２２）から外周に至る円弧状の砥石軌跡においてウェーハ８０を研削する研削加工に用いられ、保持面３０２を有するポーラス部３０と、保持面３０２を露出させポーラス部３０を収容する枠体３１と、を備え、砥石軌跡は、保持面３０２が保持する予定のウェーハ８０（例えば、被研削面８０２が保持面３０２と合同のウェーハ８０）の被研削面８０２での長さと、チャックテーブル３３の上面となる保持面３０２での長さと枠体３１の上面での長さとを合わせた長さと、の第２の比が均一になるように枠体３１が形成されている。

【0055】

チャックテーブル３３においては、図４に示す砥石軌跡Ｒ１の保持面３０２で保持する予定のウェーハ８０の被研削面８０２での長さＬｗ１と、保持面３０２の円弧状の外周３０４を通る際の研削砥石１６６の砥石軌跡Ｒ１の保持面３０２での長さＬ１と砥石軌跡Ｒ１の枠体３１の円弧状上面３１３での長さＬ２と合わせた長さ（Ｌ１＋Ｌ２）との第２の比＝長さＬｗ１：長さ（Ｌ１＋Ｌ２）である。
そして、例えば直線状の欠け部３０３の一方の端３０３１を通過する図６に示す砥石軌跡Ｒ３５の保持面３０２で保持する予定のウェーハ８０の被研削面８０２での長さＬｗ４（図６には不図示）と、砥石軌跡Ｒ３５の保持面３０２での長さＬ３８と枠体３１の上面での長さＬ３９の長さとを合わせた長さ（Ｌ３８＋Ｌ３９）との第２の比＝長さＬｗ４：長さ（Ｌ３８＋Ｌ３９）＝長さＬｗ１：長さ（Ｌ１＋Ｌ２）が成立し、かつ、例えば直線状の欠け部３０３を通過する図６に示す砥石軌跡Ｒ３４の保持面３０２で保持する予定のウェーハ８０の被研削面８０２での長さＬｗ５（図６には不図示）と、砥石軌跡Ｒ３４の保持面３０２での長さＬ３５と枠体３１の上面での長さＬ３６の長さとを合わせた長さ（Ｌ３５＋Ｌ３６）との第２の比＝長さＬｗ５：長さ（Ｌ３５＋Ｌ３６）＝長さＬｗ１：長さ（Ｌ１＋Ｌ２）が成立する。

【0056】

実施形態３のチャックテーブル３３の枠体３１の欠け部対応上面３１４のＹ軸方向における幅は、－Ｘ方向側から＋Ｘ方向側に向かって徐々に短くなっている。そして、チャックテーブル３３の枠体３１の欠け部対応上面３１４の外周の辺３３４は、図６、図７に示すように実施形態１のチャックテーブル３の外周の辺３１４５と非常に近似する。

【0057】

本実施形態３のチャックテーブル３８をセルフグラインドした後の保持面３０２で保持したウェーハ８０を研削すると、実施形態１のチャックテーブル３の場合と略同様に、ウェーハ８０のオリエンテーションフラット８０５に対応する部分が、図１に示す研削砥石１６６の下面に対してより低くなった状態で研削が行われるため、研削後のウェーハ８０のオリエンテーションフラット８０５に対応する部分の厚みが他の部分よりも薄くなる量を、図８に示すチャックテーブル３７や図５に示すチャックテーブル３９５を用いた場合よりも小さくできる。即ち、研削後のウェーハ８０の平坦度をチャックテーブル３９５等よりもさらに高めることができる。

【0058】

このように、本実施形態３のチャックテーブル３３は、オリエンテーションフラット８０５を通る砥石軌跡エリアにおいても、ウェーハ８０に掛かる研削圧力が増加してしまうことが無くなり、研削後のウェーハ８０を均一な厚みにすることが可能となった。

【0059】

実施形態４のチャックテーブル３４の実施形態１のチャックテーブル３との相違点を、以下に説明する。なお、以下に説明する相違点以外の構成は、実施形態１のチャックテーブル３と実施形態４のチャックテーブル３４とで同じである。図６においては、実施形態１のチャックテーブル３との相違点である実施形態４のチャックテーブル３４の欠け部対応上面３１４の外周の辺３４６を重点的に示している。
実施形態４のチャックテーブル３４は、図４に示すオリエンテーションフラット８０５を有するウェーハ８０の被研削面と相似形になるようにオリエンテーションフラット８０５に対応して欠けた欠け部３０３を形成した保持面３０２を備え、保持面３０２の円弧状の外周３０４の中心３０２２を環状の研削砥石１６６が通過可能であり、保持面３０２の円弧状の外周３０４の中心３０２２とウェーハ８０の中心とを一致させ、かつ、保持面３０２とウェーハ８０との形を一致させ保持面３０２に保持されたウェーハ８０の中心から外周に至る円弧状の砥石軌跡においてウェーハ８０を研削する研削加工に用いられ、保持面３０２を有するポーラス部３０と、保持面３０２を露出させポーラス部３０を収容する枠体３１と、を備え、保持面３０２の円弧状の外周３０４を通る際の砥石軌跡の保持面３０２での長さと枠体３１の上面での長さとの比を用いて、欠け部３０３の一方の端３０３１を通過する砥石軌跡において該比が成立する枠体３１の外周位置３１４６と、欠け部３０３の他方の端３０３２を通過する砥石軌跡において該比が成立する枠体３１の外周位置３１４７と、を結ぶ直線を枠体３１の外周の辺３４６とするものである。

【0060】

具体的には、図４に示す保持面３０２の円弧状の外周３０４を通る際の研削砥石１６６の砥石軌跡Ｒ１の長さＬ１と砥石軌跡Ｒ１の枠体３１の円弧状上面３１３での長さＬ２との比＝長さＬ１：長さＬ２を用いて、図３に示すチャックテーブル３の枠体３１の環状壁３１２のポーラス部３０の欠け部３０３に対応する部分の壁厚み、即ち、該対応する部分の欠け部対応上面３１４の内周の辺３１４４と、外周の辺３４６とが設定されている。

【0061】

即ち、実施形態４のチャックテーブル３４は、図６に示すように、ポーラス部３０の直線状の欠け部３０３の一方の端３０３１（図６においては、－Ｘ方向側の端）を通過する砥石軌跡Ｒ３５において、砥石軌跡Ｒ３５の保持面３０２での長さＬ３８：砥石軌跡Ｒ２の枠体３１の上面での長さＬ３９＝長さＬ１：長さＬ２が成立する枠体３１の外周位置３１４８と、欠け部３０３の他方の端３０３２（図６においては、＋Ｘ方向側の端）を通過する砥石軌跡Ｒ３８において、砥石軌跡Ｒ３８の保持面３０２での長さＬ４０：砥石軌跡Ｒ３８の枠体３１の上面での長さＬ４１＝長さＬ１：長さＬ２が成立する枠体３１の外周位置３１４９と、を結ぶ直線を枠体３１の外周の辺３４６としている。

【0062】

チャックテーブル３４の枠体３１の欠け部対応上面３１４のＹ軸方向における幅は、－Ｘ方向側から＋Ｘ方向側に向かって徐々に短くなっている。そして、チャックテーブル３４の枠体３１の欠け部対応上面３１４の外周の辺３４６は、実施形態１のチャックテーブル３の外周の辺３１４５と近似し、また、実施形態２のチャックテーブル３８の外周の辺３８１と非常に近似している。

【0063】

本実施形態４のチャックテーブル３４をセルフグラインドした後の保持面３０２で保持したウェーハ８０を研削すると、実施形態１のチャックテーブル３の場合と略同様に、ウェーハ８０のオリエンテーションフラット８０５に対応する部分が、図１に示す研削砥石１６６の下面に対してより低くなった状態で研削が行われるため、研削後のウェーハ８０のオリエンテーションフラット８０５に対応する部分の厚みが、他の部分よりも薄くなる量を図８に示すチャックテーブル３７や図５に示すチャックテーブル３９５を用いた場合よりも小さくする事ができる。即ち、研削後のウェーハ８０の平坦度をチャックテーブル３９５等よりもさらに高めることができる。

【0064】

このように、本実施形態４のチャックテーブル３４は、オリエンテーションフラット８０５を通る砥石軌跡エリアにおいても、ウェーハ８０に掛かる研削圧力が増加してしまうことが無くなり、研削後のウェーハ８０を均一な厚みにすることが可能となった。

【0065】

本発明に係るチャックテーブル３は上記実施形態１のチャックテーブル３、実施形態２のチャックテーブル３８、実施形態３のチャックテーブル３３、及び実施形態４のチャックテーブル３４に限定されず、その技術的思想の範囲内において種々異なる形態にて実施されてよいことは言うまでもない。また、添付図面に図示されている研削装置１の各構成の形状等についても、これに限定されず、本発明の効果を発揮できる範囲内で適宜変更可能である。

【符号の説明】

【0066】

８０：ウェーハ ８０１：ウェーハの表面 ８０２：ウェーハの被研削面 ８０５：オリエンテーションフラット
１：研削装置 １０：ベース １２：コラム
１５０：第１のカセットステージ １５１：第２のカセットステージ
２１：第１のカセット ２２：第２のカセット
１５５：ロボット １５２：仮置きテーブル １５３：撮像手段
１５４：ローディングアーム １５７：アンローディングアーム １５６：洗浄手段
１７：研削送り手段 １６：研削手段 １６６：研削砥石 ５４：厚さ測定手段
３：実施形態１のチャックテーブル
３０：ポーラス部 ３０２：保持面 ３０２２：保持面の中心 ３０３：欠け部 ３０４：円弧状の外周
３１：枠体
３１１：枠体基部 ３１１２：ボルト挿通穴 ３１２：環状壁 ３１３：円弧状上面 ３１４：欠け部対応上面
３１５：凹部 ３１５４：吸引溝 ３１５５：吸引孔
５２：チャックテーブル回転手段 ５０：カバー ５００：蛇腹カバー
３８：実施形態２のチャックテーブル ３３：実施形態３のチャックテーブル
３４：実施形態４のチャックテーブル

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】